JP3297089B2 - データ検証システム - Google Patents
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一つ一つの製造工程の
一連の流れを表すプロセスフロー情報と、実際の生産管
理情報を利用し、生産ラインへ投入すべき製品を決定す
るデータ検証システムに関するものである。
一連の流れを表すプロセスフロー情報と、実際の生産管
理情報を利用し、生産ラインへ投入すべき製品を決定す
るデータ検証システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の製造ラインへ投入する製品の選択
は、生産管理者の判断に一任されていた。その時のチェ
ック項目と判断材料は、（１）プロセスフローデータフ
ァイルのチェック、（２）製品名のチェック、（３）製
品種間での優先度分類、（４）製品種内での優先度分
類、（５）優先度による投入部所の許容製品数のチェッ
ク、（６）製造ラインの装置／製品進捗状況からの判断
（６−１．残製品数、６−２．装置の生産能力、６−
３．装置への滞留製品数／時間、６−４．ストップ製品
数／時間）と、大きく分類すると６つのアイテムに分類
でき、この情報を基に投入製品数や投入順序を決定して
いた。
は、生産管理者の判断に一任されていた。その時のチェ
ック項目と判断材料は、（１）プロセスフローデータフ
ァイルのチェック、（２）製品名のチェック、（３）製
品種間での優先度分類、（４）製品種内での優先度分
類、（５）優先度による投入部所の許容製品数のチェッ
ク、（６）製造ラインの装置／製品進捗状況からの判断
（６−１．残製品数、６−２．装置の生産能力、６−
３．装置への滞留製品数／時間、６−４．ストップ製品
数／時間）と、大きく分類すると６つのアイテムに分類
でき、この情報を基に投入製品数や投入順序を決定して
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、投
入製品を決定する生産管理者が、常に一つ一つの製品の
プロセスフローデータをチェックするとともに、製造ラ
インの装置状況や製品の進捗状況を把握していなければ
ならない。このため、プロセスフローデータの長大化、
製造装置の種類や投入製品数が増加するに伴い、装置と
製品進捗の対応付けや生産計画（進捗スケジュール）の
予測が困難になっている。更に、製品決定の判断に多く
の時間を費やしてしまう。
入製品を決定する生産管理者が、常に一つ一つの製品の
プロセスフローデータをチェックするとともに、製造ラ
インの装置状況や製品の進捗状況を把握していなければ
ならない。このため、プロセスフローデータの長大化、
製造装置の種類や投入製品数が増加するに伴い、装置と
製品進捗の対応付けや生産計画（進捗スケジュール）の
予測が困難になっている。更に、製品決定の判断に多く
の時間を費やしてしまう。
【０００４】本発明の目的は、従来の生産管理者が決定
していた投入可能な製品の検証や判断を自動的に行い、
製造ラインの進捗状況に応じて効率的かつ短時間に製品
を投入することができるデータ検証システムを提供する
ことにある。
していた投入可能な製品の検証や判断を自動的に行い、
製造ラインの進捗状況に応じて効率的かつ短時間に製品
を投入することができるデータ検証システムを提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成させるた
めに、この発明は、製造ラインにおけるプロセスフロー
データの作成を行うデータ作成部と、製造ライン上の製
品及び製造装置の進捗状況を管理する生産管理部と、前
記データ作成部によって作成されたプロセスフローデー
タから得られる情報と前記生産管理部によって管理され
ている製品管理データ及び製造装置管理データを基に生
産管理部へ投入を希望する製品の投入検証を行い、投入
可能と判断した製品に関するデータを生産管理部へ転送
するデータ検証部とから構成されている。
めに、この発明は、製造ラインにおけるプロセスフロー
データの作成を行うデータ作成部と、製造ライン上の製
品及び製造装置の進捗状況を管理する生産管理部と、前
記データ作成部によって作成されたプロセスフローデー
タから得られる情報と前記生産管理部によって管理され
ている製品管理データ及び製造装置管理データを基に生
産管理部へ投入を希望する製品の投入検証を行い、投入
可能と判断した製品に関するデータを生産管理部へ転送
するデータ検証部とから構成されている。
【０００６】これらのうちデータ検証部は、前記データ
作成部で作成されたプロセスフローデータを取り込むデ
ータ取り込み部と、そのプロセスフローデータに誤りが
あるか否かを判断するデータ解析部と、該データ解析部
にて誤りがあると判断された前記プロセスフローデータ
のエラーを出力するエラー出力部と、該エラー出力部か
ら出力されたエラー情報を前記データ作成部に転送する
エラー転送部と、該データ解析部にて誤りがないと判断
された前記プロセスフローデータを投入検証するために
呼び出すデータ引き出し部と、製品投入後の各製造装置
における処理能力の進捗予測を行う進捗予測部と、前記
プロセスフローデータと前記進捗予測値と前記生産管理
部にて管理されている製品管理データ及び装置管理デー
タとを基に投入検証を行う生産管理状況検査部と、該生
産管理状況検査部による投入検証結果に基づき投入すべ
き製品を決定する投入製品決定部と、投入決定された製
品をソートして任意の順に出力するデータ並び換え部
と、投入決定した製品及びその製品に対応するプロセス
フローデータを前記生産管理部へ転送するデータ転送部
とを備えている。
作成部で作成されたプロセスフローデータを取り込むデ
ータ取り込み部と、そのプロセスフローデータに誤りが
あるか否かを判断するデータ解析部と、該データ解析部
にて誤りがあると判断された前記プロセスフローデータ
のエラーを出力するエラー出力部と、該エラー出力部か
ら出力されたエラー情報を前記データ作成部に転送する
エラー転送部と、該データ解析部にて誤りがないと判断
された前記プロセスフローデータを投入検証するために
呼び出すデータ引き出し部と、製品投入後の各製造装置
における処理能力の進捗予測を行う進捗予測部と、前記
プロセスフローデータと前記進捗予測値と前記生産管理
部にて管理されている製品管理データ及び装置管理デー
タとを基に投入検証を行う生産管理状況検査部と、該生
産管理状況検査部による投入検証結果に基づき投入すべ
き製品を決定する投入製品決定部と、投入決定された製
品をソートして任意の順に出力するデータ並び換え部
と、投入決定した製品及びその製品に対応するプロセス
フローデータを前記生産管理部へ転送するデータ転送部
とを備えている。
【０００７】特に前記生産管理状況検査部は、前記デー
タ作成部にて作成したプロセスフローデータ内に管理し
ている各製造装置に対応する生産能力理論値と前記進捗
予測部によって予測された稼動中の各製造装置の実生産
能力予測値とを比較検証する生産能力チェック部と、同
様に管理している各製造装置の製品滞留時間理論値と実
滞留時間予測値とを比較検証する滞留時間チェック部と
を具備することを特徴としている。
タ作成部にて作成したプロセスフローデータ内に管理し
ている各製造装置に対応する生産能力理論値と前記進捗
予測部によって予測された稼動中の各製造装置の実生産
能力予測値とを比較検証する生産能力チェック部と、同
様に管理している各製造装置の製品滞留時間理論値と実
滞留時間予測値とを比較検証する滞留時間チェック部と
を具備することを特徴としている。
【０００８】また前記投入製品決定部は、各製造装置に
おける投入許容製品数の制限値となる許容投入製品設定
値と、実際に製造装置へ投入されている製品数である投
入製品実績値との比較によって投入余裕製品数を求め、
さらにこの投入余裕製品数と投入を希望する製品数とを
比較することによって前記生産管理部へ投入可能な製品
数を決定することを特徴としている。
おける投入許容製品数の制限値となる許容投入製品設定
値と、実際に製造装置へ投入されている製品数である投
入製品実績値との比較によって投入余裕製品数を求め、
さらにこの投入余裕製品数と投入を希望する製品数とを
比較することによって前記生産管理部へ投入可能な製品
数を決定することを特徴としている。
【０００９】
【作用】上記構成において、この発明は、予め、データ
検証部にて各装置における生産能力の理論値を設定する
生産能力理論値設定テーブルと、各装置に滞留する製品
に最終製品処理開始時間−仕掛り製品処理終了時間を表
す滞留時間理論値設定テーブルを管理する。
検証部にて各装置における生産能力の理論値を設定する
生産能力理論値設定テーブルと、各装置に滞留する製品
に最終製品処理開始時間−仕掛り製品処理終了時間を表
す滞留時間理論値設定テーブルを管理する。
【００１０】また、投入製品決定部にて、製造ラインに
投入できる製品に許容数を製品種、部所、グループ、製
品名順に階層構造で設定する許容投入製品設定テーブル
と、同様形式で実際に製造ラインに投入された製品数を
管理する投入製品実績テーブルを管理する。
投入できる製品に許容数を製品種、部所、グループ、製
品名順に階層構造で設定する許容投入製品設定テーブル
と、同様形式で実際に製造ラインに投入された製品数を
管理する投入製品実績テーブルを管理する。
【００１１】このようなもとで、まず、データ作成部に
て作成されたプロセスフローデータは、データ送出部を
経てデータ取り込み部へ渡される。データ検証が開始さ
れると、データ解析部にて、プロセスフローデータファ
イル名のチェック及び内容のチェックが行われる。
て作成されたプロセスフローデータは、データ送出部を
経てデータ取り込み部へ渡される。データ検証が開始さ
れると、データ解析部にて、プロセスフローデータファ
イル名のチェック及び内容のチェックが行われる。
【００１２】その後、生産管理状況検査部にて生産能力
理論値設定テーブルと生産管理部で管理している装置の
実生産能力との比較を、プロセスフローデータの一工程
毎に付随している装置について実行する。更に同様の方
法で滞留時間についても、滞留時間理論値設定テーブル
と生産管理部に管理されている実滞留時間との比較を行
う。
理論値設定テーブルと生産管理部で管理している装置の
実生産能力との比較を、プロセスフローデータの一工程
毎に付随している装置について実行する。更に同様の方
法で滞留時間についても、滞留時間理論値設定テーブル
と生産管理部に管理されている実滞留時間との比較を行
う。
【００１３】以下同様にして、データ解析部より渡され
た一つ一つのプロセスフローデータについて検証を行
う。
た一つ一つのプロセスフローデータについて検証を行
う。
【００１４】上記検証が終了すると、次に投入製品決定
部にて、プロセスフローデータの投入が可能か否かのチ
ェックを行う。この際、前記許容投入製品設定テーブル
と投入製品実績テーブルを比較し、投入製品を決定す
る。
部にて、プロセスフローデータの投入が可能か否かのチ
ェックを行う。この際、前記許容投入製品設定テーブル
と投入製品実績テーブルを比較し、投入製品を決定す
る。
【００１５】投入が決定された製品は、データ並び換え
部にて製品名や優先度順にソートされ、例えば、ＣＲＴ
上に表示する。更にデータ転送部にて、生産管理部の生
産管理コンピュータや製造装置ブロックコンピュータへ
プロセスフローデータが転送される。
部にて製品名や優先度順にソートされ、例えば、ＣＲＴ
上に表示する。更にデータ転送部にて、生産管理部の生
産管理コンピュータや製造装置ブロックコンピュータへ
プロセスフローデータが転送される。
【００１６】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１７】図１には本発明が適用されるデータ検証シ
ステムの概略図を示しており、データ検証の中核を成す
「データ検証部２」、製造工程の処理条件とその一連の
流れ（プロセスフロー）を生成する「データ作成部
１」、さらに実際に製品管理や装置管理を行っている
「生産管理部３」により構成されている。
ステムの概略図を示しており、データ検証の中核を成す
「データ検証部２」、製造工程の処理条件とその一連の
流れ（プロセスフロー）を生成する「データ作成部
１」、さらに実際に製品管理や装置管理を行っている
「生産管理部３」により構成されている。
【００１８】プロセスフローデータは、「データ作成部
１」のデータ作成ワークステーション（ＷＳ）群１０１
により作成され、工場内ＬＡＮ（ローカルエリアネット
ワーク）１０２を介して、「データ検証部２」のデータ
検証ワークステーション１０３付随の記録媒体（検証
用）１０７へ転送される。
１」のデータ作成ワークステーション（ＷＳ）群１０１
により作成され、工場内ＬＡＮ（ローカルエリアネット
ワーク）１０２を介して、「データ検証部２」のデータ
検証ワークステーション１０３付随の記録媒体（検証
用）１０７へ転送される。
【００１９】記録媒体１０７は、工場内ＬＡＮ１０２に
接続された複数のデータ作成ワークステーション１０１
から転送されたプロセスフローデータの蓄積部であり、
例えばデータ検証ワークステーション１０３付随のハー
ドディスク装置、フロッピーディスク装置などがそれに
当たる。
接続された複数のデータ作成ワークステーション１０１
から転送されたプロセスフローデータの蓄積部であり、
例えばデータ検証ワークステーション１０３付随のハー
ドディスク装置、フロッピーディスク装置などがそれに
当たる。
【００２０】上記記憶媒体１０７に格納したプロセスフ
ローデータは、「生産管理部３」の生産ライン内ＬＡＮ
１０４を介して、生産管理（ＣＩＭ）ホストコンピュー
タ（Ｈ／Ｃ）１０５付随の記録媒体（生産管理用）１０
６内の生産管理データ及び、製造装置ブロックコンピュ
ータ（Ｂ／Ｃ）１０８付随の記録媒体（装置管理用）１
０９内の装置データとの間で、データ解析、生産管理状
況のチェック、投入製品数決定のチェック等が行われ、
最終的に、「生産管理部３」側へ転送するプロセスフロ
ーデータを決定する。
ローデータは、「生産管理部３」の生産ライン内ＬＡＮ
１０４を介して、生産管理（ＣＩＭ）ホストコンピュー
タ（Ｈ／Ｃ）１０５付随の記録媒体（生産管理用）１０
６内の生産管理データ及び、製造装置ブロックコンピュ
ータ（Ｂ／Ｃ）１０８付随の記録媒体（装置管理用）１
０９内の装置データとの間で、データ解析、生産管理状
況のチェック、投入製品数決定のチェック等が行われ、
最終的に、「生産管理部３」側へ転送するプロセスフロ
ーデータを決定する。
【００２１】データ検証ワークステーション１０３で決
定されたプロセスフローデータは、生産ライン内ＬＡＮ
１０４を介して、生産管理（ＣＩＭ）ホストコンピュー
タ１０５付随の記録媒体１０６内あるいは、製造装置ブ
ロックコンピュータ１０８付随の記録媒体１０９内へ送
られる。
定されたプロセスフローデータは、生産ライン内ＬＡＮ
１０４を介して、生産管理（ＣＩＭ）ホストコンピュー
タ１０５付随の記録媒体１０６内あるいは、製造装置ブ
ロックコンピュータ１０８付随の記録媒体１０９内へ送
られる。
【００２２】次に、それぞれ「データ作成部１」、「デ
ータ検証部２」、「生産管理部３」の機能について説明
する。
ータ検証部２」、「生産管理部３」の機能について説明
する。
【００２３】図２は「データ作成部１」の機能ブロック
図を示している。
図を示している。
【００２４】プロセスフローデータはデータ作成ワーク
ステーション１０１におけるデータ生成部２０１にて作
成される。
ステーション１０１におけるデータ生成部２０１にて作
成される。
【００２５】図３に、データ生成部２０１にて作成され
たプロセスフローデータの内容の一例を示す。プロセス
フローデータには、製品種、製品名、製品番号、依頼部
所、依頼グループ、作成者、製品優先度の情報と、処理
内容と処理装置名が処理順に一工程ずつ入力されてい
る。
たプロセスフローデータの内容の一例を示す。プロセス
フローデータには、製品種、製品名、製品番号、依頼部
所、依頼グループ、作成者、製品優先度の情報と、処理
内容と処理装置名が処理順に一工程ずつ入力されてい
る。
【００２６】作成されたデータは、例えば、該ワークス
テーション１０１付随の記録媒体へ格納される。その
後、データ送出部２０２により、工場内ＬＡＮ１０２を
介して、「データ検証部２」へ送出される。
テーション１０１付随の記録媒体へ格納される。その
後、データ送出部２０２により、工場内ＬＡＮ１０２を
介して、「データ検証部２」へ送出される。
【００２７】次に、「データ検証部２」の機能ブロック
図を図４に示す。
図を図４に示す。
【００２８】図２で示したデータ送出部２０２より送出
したプロセスフローデータは、データ検証ワークステー
ション１０３内のデータ取り込み部４０１へ格納され
る。その後、データ解析部４０２により、データ検証の
後述する前段階チェックが行われる。
したプロセスフローデータは、データ検証ワークステー
ション１０３内のデータ取り込み部４０１へ格納され
る。その後、データ解析部４０２により、データ検証の
後述する前段階チェックが行われる。
【００２９】前段階チェックでは、既に記録媒体１０７
内へ転送されているプロセスフローデータのファイル名
との重複チェック及び、入力内容に不備がないか等のチ
ェックを行う。当チェックにてパスしたプロセスフロー
データは、記録媒体１０７と共有するデータ格納部４０
９へ格納される。
内へ転送されているプロセスフローデータのファイル名
との重複チェック及び、入力内容に不備がないか等のチ
ェックを行う。当チェックにてパスしたプロセスフロー
データは、記録媒体１０７と共有するデータ格納部４０
９へ格納される。
【００３０】一方、エラーが検出されたプロセスフロー
データは、エラー出力部４０８及びエラー転送部４１０
により、転送元のデータ作成ワークステーション１０１
へ工場内ＬＡＮ１０２を介して、例えば、メイル機能や
データ転送ツール等を利用して、エラーメッセージを転
送し、データ転送に失敗したことを知らせる。また、同
時にエラー出力部４０８では、エラー検出されたデータ
を削除したり、あるいはデータ解析部４０２のデータベ
ースへ一旦退避する等の処置を施す。
データは、エラー出力部４０８及びエラー転送部４１０
により、転送元のデータ作成ワークステーション１０１
へ工場内ＬＡＮ１０２を介して、例えば、メイル機能や
データ転送ツール等を利用して、エラーメッセージを転
送し、データ転送に失敗したことを知らせる。また、同
時にエラー出力部４０８では、エラー検出されたデータ
を削除したり、あるいはデータ解析部４０２のデータベ
ースへ一旦退避する等の処置を施す。
【００３１】次に、記録媒体１０７内へ格納されたプロ
セスフローデータの検証の流れについて説明する。ま
ず、データ引き出し部４０３により、記録媒体１０７内
に格納されているプロセスフローデータはＣＩＭ（生産
管理）状況検査部４０４へ引き渡される。
セスフローデータの検証の流れについて説明する。ま
ず、データ引き出し部４０３により、記録媒体１０７内
に格納されているプロセスフローデータはＣＩＭ（生産
管理）状況検査部４０４へ引き渡される。
【００３２】ＣＩＭ状況検査部４０４では、（１）製造
ライン内の製造装置の生産能力チェック、（２）製造装
置での製品の滞留時間チェックを行う。
ライン内の製造装置の生産能力チェック、（２）製造装
置での製品の滞留時間チェックを行う。
【００３３】製造装置の生産能力チェックは、製造装置
の生産能力チェック部４１１にてあらかじめ生産能力理
論値設定テーブル４１３に設定してある生産能力理論値
と、実生産能力値とを比較し、投入検証の判断を行う。
の生産能力チェック部４１１にてあらかじめ生産能力理
論値設定テーブル４１３に設定してある生産能力理論値
と、実生産能力値とを比較し、投入検証の判断を行う。
【００３４】図５にデータ検証ワークステーション１０
３で設定する生産能力設定テーブル４１３の一例を示
す。このテーブル４１３では、左側に製造装置名を、右
側に各々の製造装置に割り当てることのできる理論製品
数の最大値を設定する。例えば、装置Ａには、１０個ま
で製品を割り当てることが可能であるということを示し
ている。
３で設定する生産能力設定テーブル４１３の一例を示
す。このテーブル４１３では、左側に製造装置名を、右
側に各々の製造装置に割り当てることのできる理論製品
数の最大値を設定する。例えば、装置Ａには、１０個ま
で製品を割り当てることが可能であるということを示し
ている。
【００３５】一方、生産管理ホストコンピュータ１０５
付随の記録媒体１０６内あるいは、製造装置ブロックコ
ンピュータ１０８付随の記録媒体１０９内には、実際に
製品が割り当てられている時の実生産能力値が管理され
ており、実生産能力引出し部４１２により、データ検証
ワークステーション１０３へ呼び出される。
付随の記録媒体１０６内あるいは、製造装置ブロックコ
ンピュータ１０８付随の記録媒体１０９内には、実際に
製品が割り当てられている時の実生産能力値が管理され
ており、実生産能力引出し部４１２により、データ検証
ワークステーション１０３へ呼び出される。
【００３６】生産能力チェック時は、データ検証ワーク
ステーション１０３付随の記録媒体１０７内に存在する
プロセスフローデータの処理番号順に登録されている製
造装置に、生産能力理論値設定テーブル４１３からその
装置に対応する許容製品数（生産能力理論値）を付加す
る。その後、データ検証ワークステーション１０３から
実生産能力引出し部４１２によりアクセスされた実生産
能力値と、生産能力理論値と比較し、後述する判断基準
により投入の可否が判断される。
ステーション１０３付随の記録媒体１０７内に存在する
プロセスフローデータの処理番号順に登録されている製
造装置に、生産能力理論値設定テーブル４１３からその
装置に対応する許容製品数（生産能力理論値）を付加す
る。その後、データ検証ワークステーション１０３から
実生産能力引出し部４１２によりアクセスされた実生産
能力値と、生産能力理論値と比較し、後述する判断基準
により投入の可否が判断される。
【００３７】この時の検証判断は、「生産能力理論値＞
実生産能力値」の場合は製造ラインへの投入可能製品と
判断され、次のチェック項目である滞留時間チェック部
４１４での対象製品となる。「生産能力理論値＜実生産
能力値」の場合は投入対象製品から取り除かれ、以後の
チェックは行われない。但し、該データは、転送先であ
る記録媒体１０７内からは削除されず、次回の検証時
に、再び、対象製品となる。生産能力チェックを終了
し、投入対象となった製品は、次の滞留時間チェックが
行われる。
実生産能力値」の場合は製造ラインへの投入可能製品と
判断され、次のチェック項目である滞留時間チェック部
４１４での対象製品となる。「生産能力理論値＜実生産
能力値」の場合は投入対象製品から取り除かれ、以後の
チェックは行われない。但し、該データは、転送先であ
る記録媒体１０７内からは削除されず、次回の検証時
に、再び、対象製品となる。生産能力チェックを終了
し、投入対象となった製品は、次の滞留時間チェックが
行われる。
【００３８】次に、滞留時間チェック部４１４について
説明する。製造装置の生産能力チェック部４１１より渡
されたプロセスフロー情報は、滞留時間チェックによる
検証を受ける。
説明する。製造装置の生産能力チェック部４１１より渡
されたプロセスフロー情報は、滞留時間チェックによる
検証を受ける。
【００３９】滞留時間チェックは、上記製造装置の生産
能力と同様の方法により、滞留時間チェック部４１４で
製造装置毎の滞留時間を管理する滞留時間理論値設定テ
ーブル４１６と、生産管理ホストコンピュータ１０５あ
るいは、製造装置ブロックコンピュータ１０８で管理さ
れている実滞留時間との比較により検証する。
能力と同様の方法により、滞留時間チェック部４１４で
製造装置毎の滞留時間を管理する滞留時間理論値設定テ
ーブル４１６と、生産管理ホストコンピュータ１０５あ
るいは、製造装置ブロックコンピュータ１０８で管理さ
れている実滞留時間との比較により検証する。
【００４０】この際、実滞留時間は、実滞留時間引出し
部４１５により、滞留時間チェック部４１４へ呼び出さ
れる。実滞留時間とは、現在、装置に滞留している製品
群における「最終製品の処理開始時間−仕掛り製品の処
理終了時間」で定義される。図６に検証ワークステーシ
ョン１０３にて管理されている滞留時間理論値設定テー
ブル４１６の一例を示す。このテーブル４１６は、各々
の製造装置に対する滞留時間の理論値（分）が管理され
ている。例えば、装置Ａの理論滞留時間は、３００分で
あることを示している。
部４１５により、滞留時間チェック部４１４へ呼び出さ
れる。実滞留時間とは、現在、装置に滞留している製品
群における「最終製品の処理開始時間−仕掛り製品の処
理終了時間」で定義される。図６に検証ワークステーシ
ョン１０３にて管理されている滞留時間理論値設定テー
ブル４１６の一例を示す。このテーブル４１６は、各々
の製造装置に対する滞留時間の理論値（分）が管理され
ている。例えば、装置Ａの理論滞留時間は、３００分で
あることを示している。
【００４１】検証判断は、「滞留時間理論値＞実滞留時
間」の場合は製造ラインへの投入可能製品と判断され、
投入製品決定部４０５へ当該製品が渡される。「滞留時
間理論値＜実滞留時間」の場合は投入対象製品から取り
除かれ、以後のチェックは行われない。但し、該データ
は、転送先である記録媒体１０７内からは削除されず、
次回の検証時に、再び、対象製品となる。
間」の場合は製造ラインへの投入可能製品と判断され、
投入製品決定部４０５へ当該製品が渡される。「滞留時
間理論値＜実滞留時間」の場合は投入対象製品から取り
除かれ、以後のチェックは行われない。但し、該データ
は、転送先である記録媒体１０７内からは削除されず、
次回の検証時に、再び、対象製品となる。
【００４２】上記製造装置の生産能力チェック及び滞留
時間チェックにおいて、プロセスフローデータは通常複
数の工程を有するため、製品投入後の進捗予測を行い、
その時の装置の実生産能力や製品の実滞留時間と各々の
理論値とを、上記のように比較する必要がある。
時間チェックにおいて、プロセスフローデータは通常複
数の工程を有するため、製品投入後の進捗予測を行い、
その時の装置の実生産能力や製品の実滞留時間と各々の
理論値とを、上記のように比較する必要がある。
【００４３】そこで、当チェックの対象製品内に複数の
工程からなるプロセスフローデータが存在する場合は、
現時点での生産ライン状況と、対象となるプロセスフロ
ーデータから進捗予測部４１９にて、進捗予測を行い、
各装置の実生産能力予測値と製品の実滞留時間予測値を
決定する。このように、あらかじめ予測値を決定し、製
造装置の生産能力チェック部４１１及び滞留時間チェッ
ク部４１４にてチェックが行われる。
工程からなるプロセスフローデータが存在する場合は、
現時点での生産ライン状況と、対象となるプロセスフロ
ーデータから進捗予測部４１９にて、進捗予測を行い、
各装置の実生産能力予測値と製品の実滞留時間予測値を
決定する。このように、あらかじめ予測値を決定し、製
造装置の生産能力チェック部４１１及び滞留時間チェッ
ク部４１４にてチェックが行われる。
【００４４】なお、今回の実施例では、生産能力チェッ
クと滞留時間チェックについてのみ示したが、これに限
らず装置の故障頻度などを考慮した装置の稼働率チェッ
クなど、他のチェック項目も行うようにしても良いもの
である。
クと滞留時間チェックについてのみ示したが、これに限
らず装置の故障頻度などを考慮した装置の稼働率チェッ
クなど、他のチェック項目も行うようにしても良いもの
である。
【００４５】ＣＩＭ状況検査部４０４を終了すると、投
入製品決定部４０５にて、製造ラインへ投入すべき製品
を決定するためのチェックを行う（製品投入決定チェッ
ク）。投入製品の決定は、製品種別、部別、グループ
別、製品名別に決めることが可能である。
入製品決定部４０５にて、製造ラインへ投入すべき製品
を決定するためのチェックを行う（製品投入決定チェッ
ク）。投入製品の決定は、製品種別、部別、グループ
別、製品名別に決めることが可能である。
【００４６】図７に許容投入製品設定テーブル４１７の
一例を示す。この例では、製品種「Ａ」の許容製品数は
１２０個であり、その内訳は、「部所１」で５０個、
「部所２」では７０個となっている。更に、部所１に
は、「グループ１」と「グループ２」が存在し、それぞ
れ３０個、２０個の投入が許可される。更に、グループ
１内での製品名別に「Ａ１ＡＡ」は１０個、「Ａ１Ａ
Ｂ」は２０個に設定されている。
一例を示す。この例では、製品種「Ａ」の許容製品数は
１２０個であり、その内訳は、「部所１」で５０個、
「部所２」では７０個となっている。更に、部所１に
は、「グループ１」と「グループ２」が存在し、それぞ
れ３０個、２０個の投入が許可される。更に、グループ
１内での製品名別に「Ａ１ＡＡ」は１０個、「Ａ１Ａ
Ｂ」は２０個に設定されている。
【００４７】このように、製品種から製品名まで階層的
に表現し、詳細に許容投入製品を設定することができ
る。同様に、図８の例では、実際に製造ラインへ現在投
入されている製品数を表す投入製品実績テーブル４１８
が管理される。
に表現し、詳細に許容投入製品を設定することができ
る。同様に、図８の例では、実際に製造ラインへ現在投
入されている製品数を表す投入製品実績テーブル４１８
が管理される。
【００４８】製品投入決定チェックを開始すると、テー
ブルの各項目（製品種、部、グループ、製品名）に入力
されている製品数について、許容投入製品設定テーブル
４１７と投入製品実績テーブル４１８の間で「投入余裕
製品数」を求める。
ブルの各項目（製品種、部、グループ、製品名）に入力
されている製品数について、許容投入製品設定テーブル
４１７と投入製品実績テーブル４１８の間で「投入余裕
製品数」を求める。
【００４９】例えば、グループ１において、許容投入製
品テーブル４１７では、「３０個」が設定されている。
これに対し、投入製品実績テーブル４１８は、「２０
個」となり、グループ１での投入余裕製品数は、「１０
個」に設定される。また、グループ３においては、両テ
ーブル共に、「７０個」となっており、投入余裕製品数
は「０個」で、これ以上投入できないことを示す。
品テーブル４１７では、「３０個」が設定されている。
これに対し、投入製品実績テーブル４１８は、「２０
個」となり、グループ１での投入余裕製品数は、「１０
個」に設定される。また、グループ３においては、両テ
ーブル共に、「７０個」となっており、投入余裕製品数
は「０個」で、これ以上投入できないことを示す。
【００５０】投入製品決定部４０５では、ＣＩＭ状況検
査部４０４より渡されたプロセスフローデータの内容を
もとに、各項目別（製品種別、部所別、グループ別、製
品名別）に投入を希望する全対象製品数の集計処理を行
う。このデータを「集計製品数」とする。
査部４０４より渡されたプロセスフローデータの内容を
もとに、各項目別（製品種別、部所別、グループ別、製
品名別）に投入を希望する全対象製品数の集計処理を行
う。このデータを「集計製品数」とする。
【００５１】次に、各項目での投入余裕製品数と集計製
品数との比較を行い、（１）投入余裕製品数≦集計製品
数の場合は、投入できない。（２）投入余裕製品数＞集
計製品数の場合は、投入が可能である。
品数との比較を行い、（１）投入余裕製品数≦集計製品
数の場合は、投入できない。（２）投入余裕製品数＞集
計製品数の場合は、投入が可能である。
【００５２】一製品ずつ上記のチェックがなされ、
（２）の場合は、当該製品の投入を決定し、データ並び
換え部４０６へプロセスフローデータ転送する。同時
に、このプロセスフローデータの該当する各項目の投入
余裕製品数に「−１」を加える。更に投入製品実績テー
ブル４１８の該当欄へ実績製品数を「＋１」し、次製品
へ投入製品決定チェックを移行する。
（２）の場合は、当該製品の投入を決定し、データ並び
換え部４０６へプロセスフローデータ転送する。同時
に、このプロセスフローデータの該当する各項目の投入
余裕製品数に「−１」を加える。更に投入製品実績テー
ブル４１８の該当欄へ実績製品数を「＋１」し、次製品
へ投入製品決定チェックを移行する。
【００５３】「投入余裕製品数＝集計製品数」あるい
は、対象製品がなくなった時点で、当チェックを終了す
る。同時に、この時点の投入製品実績テーブル４１８に
格納された製品数は、この状態のまま保持され、次回の
投入製品決定チェックに利用される。
は、対象製品がなくなった時点で、当チェックを終了す
る。同時に、この時点の投入製品実績テーブル４１８に
格納された製品数は、この状態のまま保持され、次回の
投入製品決定チェックに利用される。
【００５４】以上のチェックにて投入すべき製品を決定
すると、データ並び換え部４０６にて、投入決定したプ
ロセスフローデータの内容をもとに各項目別に分類して
並び換え、例えば、データ検証ワークステーション１０
３のＣＲＴ上に部所別や製品名別にプロセスフローのフ
ァイル名が表示される。
すると、データ並び換え部４０６にて、投入決定したプ
ロセスフローデータの内容をもとに各項目別に分類して
並び換え、例えば、データ検証ワークステーション１０
３のＣＲＴ上に部所別や製品名別にプロセスフローのフ
ァイル名が表示される。
【００５５】最後に、データ転送部４０７では、投入決
定されたプロセスフローデータを生産ライン用ＬＡＮ１
０４を介して、生産管理ホストコンピュータ１０５付随
の記録媒体１０６内及び、製造装置ブロックコンピュー
タ１０８付随の記録媒体１０９内へ転送する。
定されたプロセスフローデータを生産ライン用ＬＡＮ１
０４を介して、生産管理ホストコンピュータ１０５付随
の記録媒体１０６内及び、製造装置ブロックコンピュー
タ１０８付随の記録媒体１０９内へ転送する。
【００５６】更に、工場内ＬＡＮ１０２を介して、転送
元のデータ作成ワークステーションへ１０１当プロセス
フローデータが投入決定したことを、メール機能等を利
用して知らせる。転送し終えたプロセスフローは、必要
に応じて記録媒体１０７内から削除しても良い。
元のデータ作成ワークステーションへ１０１当プロセス
フローデータが投入決定したことを、メール機能等を利
用して知らせる。転送し終えたプロセスフローは、必要
に応じて記録媒体１０７内から削除しても良い。
【００５７】
【発明の効果】以上説明してきたように、この発明によ
るデータ検証システムによれば、プロセスフローデータ
と生産管理コンピュータ側に管理されている装置データ
及び製品滞留データにより、投入を希望する製品群のデ
ータ検証を行い、自動的に投入可能な製品を決定するこ
とが可能となる。
るデータ検証システムによれば、プロセスフローデータ
と生産管理コンピュータ側に管理されている装置データ
及び製品滞留データにより、投入を希望する製品群のデ
ータ検証を行い、自動的に投入可能な製品を決定するこ
とが可能となる。
【００５８】これにより、製造ラインの進捗状況に応じ
て効率的かつ短時間に、投入すべき製品を決定すること
ができる。
て効率的かつ短時間に、投入すべき製品を決定すること
ができる。
【図１】本発明のデータ検証システムの概略図。
【図２】図１で示したデータ作成部の機能ブロック図。
【図３】図２で示したデータ生成部で作成されたプロセ
スフローデータの一例。
スフローデータの一例。
【図４】図１で示したデータ検証部の機能ブロック図。
【図５】図４で示した生産能力理論値設定テーブルの一
例。
例。
【図６】図４で示した滞留時間理論値設定テーブルの一
例。
例。
【図７】図４で示した許容投入製品設定テーブルの一
例。
例。
【図８】図４で示した投入製品実績テーブルの一例。
１ データ作成部 ２ データ検証部 ４０１ データ取り込み部 ４０２ データ解析部 ４０３ データ引き出し部 ４０４ ＣＩＭ状況検査部 ４０５ 投入製品決定部 ４０６ データ並び換え部 ４０７ データ転送部 ４０８ エラー出力部 ４０９ データ格納部 ４１０ エラー転送部 ４１１ 生産能力チェック部 ４１２ 実生産能力引出し部 ４１３ 生産能力理論値設定テーブル ４１４ 滞留時間チェック部 ４１５ 実滞留時間引出し部 ４１６ 滞留時間理論値設定テーブル ４１７ 許容投入製品設定テーブル ４１８ 投入製品実績テーブル ４１９ 進捗予測部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G05B 19/418 B23Q 37/00 - 41/08 G06F 17/60
Claims (3)
- 【請求項１】 製造ラインにおけるプロセスフローデー
タの作成を行うデータ作成部と、 製造ライン上の製品及び製造装置の進捗状況を管理する
生産管理部と、 前記データ作成部で作成されたプロセスフローデータを
取り込むデータ取り込み部、そのプロセスフローデータ
に誤りがあるか否かを判断するデータ解析部、該データ
解析部にて誤りがあると判断された前記プロセスフロー
データのエラーを出力するエラー出力部、該エラー出力
部から出力されたエラー情報を前記データ作成部に転送
するエラー転送部、該データ解析部にて誤りがないと判
断された前記プロセスフローデータを投入検証するため
に呼び出すデータ引き出し部、製品投入後の各製造装置
における処理能力の進捗予測を行う進捗予測部、前記プ
ロセスフローデータと前記進捗予測値と前記生産管理部
にて管理されている製品管理データ及び装置管理データ
とを基に投入検証を行う生産管理状況検査部、該生産管
理状況検査部による投入検証結果に基づき投入すべき製
品を決定する投入製品決定部、投入決定された製品をソ
ートして任意の順に出力するデータ並び換え部、投入決
定した製品及びその製品に対応するプロセスフローデー
タを前記生産管理部へ転送するデータ転送部とを有する
データ検証部 とを備えることを特徴とするデータ検証システム。 - 【請求項２】 前記生産管理状況検査部は、 前記データ作成部にて作成したプロセスフローデータ内
に管理している各製造装置に対応する生産能力理論値と
前記進捗予測部によって予測された稼動中の各製造装置
の実生産能力予測値とを比較検証する生産能力チェック
部と、同様に管理している各製造装置の製品滞留時間理
論値と実滞留時間予測値とを比較検証する滞留時間チェ
ック部とを具備することを特徴とする請求項１記載のデ
ータ検証システム。 - 【請求項３】 前記投入製品決定部は、 各製造装置における投入許容製品数の制限値となる許容
投入製品設定値と、実際に製造装置へ投入されている製
品数である投入製品実績値との比較によって投入余裕製
品数を求め、さらにこの投入余裕製品数と投入を希望す
る製品数とを比較することによって前記生産管理部へ投
入可能な製品数を決定することを特徴とする請求項１又
は請求項２に記載のデータ検証システム。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25976992A JP3297089B2 (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | データ検証システム |
| US08/031,881 US5495417A (en) | 1990-08-14 | 1993-03-16 | System for automatically producing different semiconductor products in different quantities through a plurality of processes along a production line |
| US08/562,173 US5694325A (en) | 1990-08-14 | 1995-11-22 | Semiconductor production system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25976992A JP3297089B2 (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | データ検証システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06110894A JPH06110894A (ja) | 1994-04-22 |
| JP3297089B2 true JP3297089B2 (ja) | 2002-07-02 |
Family
ID=17338716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25976992A Expired - Fee Related JP3297089B2 (ja) | 1990-08-14 | 1992-09-29 | データ検証システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3297089B2 (ja) |
Families Citing this family (19)
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|---|---|---|---|---|
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| US7188142B2 (en) | 2000-11-30 | 2007-03-06 | Applied Materials, Inc. | Dynamic subject information generation in message services of distributed object systems in a semiconductor assembly line facility |
| US6910947B2 (en) | 2001-06-19 | 2005-06-28 | Applied Materials, Inc. | Control of chemical mechanical polishing pad conditioner directional velocity to improve pad life |
| US7160739B2 (en) | 2001-06-19 | 2007-01-09 | Applied Materials, Inc. | Feedback control of a chemical mechanical polishing device providing manipulation of removal rate profiles |
| US7047099B2 (en) | 2001-06-19 | 2006-05-16 | Applied Materials Inc. | Integrating tool, module, and fab level control |
| US7201936B2 (en) | 2001-06-19 | 2007-04-10 | Applied Materials, Inc. | Method of feedback control of sub-atmospheric chemical vapor deposition processes |
| US6913938B2 (en) | 2001-06-19 | 2005-07-05 | Applied Materials, Inc. | Feedback control of plasma-enhanced chemical vapor deposition processes |
| US7082345B2 (en) | 2001-06-19 | 2006-07-25 | Applied Materials, Inc. | Method, system and medium for process control for the matching of tools, chambers and/or other semiconductor-related entities |
| US7101799B2 (en) | 2001-06-19 | 2006-09-05 | Applied Materials, Inc. | Feedforward and feedback control for conditioning of chemical mechanical polishing pad |
| US7337019B2 (en) | 2001-07-16 | 2008-02-26 | Applied Materials, Inc. | Integration of fault detection with run-to-run control |
| US6984198B2 (en) | 2001-08-14 | 2006-01-10 | Applied Materials, Inc. | Experiment management system, method and medium |
| KR20050026099A (ko) | 2002-08-01 | 2005-03-14 | 어플라이드 머티어리얼즈 인코포레이티드 | 고급 처리 제어 시스템 내의 부정확한 계측 데이터의 취급방법, 시스템 및 매체 |
| WO2004046835A2 (en) | 2002-11-15 | 2004-06-03 | Applied Materials, Inc. | Method, system and medium for controlling manufacture process having multivariate input parameters |
| US7333871B2 (en) | 2003-01-21 | 2008-02-19 | Applied Materials, Inc. | Automated design and execution of experiments with integrated model creation for semiconductor manufacturing tools |
| US7205228B2 (en) | 2003-06-03 | 2007-04-17 | Applied Materials, Inc. | Selective metal encapsulation schemes |
| US7354332B2 (en) | 2003-08-04 | 2008-04-08 | Applied Materials, Inc. | Technique for process-qualifying a semiconductor manufacturing tool using metrology data |
| US7356377B2 (en) | 2004-01-29 | 2008-04-08 | Applied Materials, Inc. | System, method, and medium for monitoring performance of an advanced process control system |
| US6961626B1 (en) | 2004-05-28 | 2005-11-01 | Applied Materials, Inc | Dynamic offset and feedback threshold |
| US7096085B2 (en) | 2004-05-28 | 2006-08-22 | Applied Materials | Process control by distinguishing a white noise component of a process variance |
-
1992
- 1992-09-29 JP JP25976992A patent/JP3297089B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06110894A (ja) | 1994-04-22 |
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