JP3305155B2 - 溝加工方法および動圧軸受の製造方法 - Google Patents
溝加工方法および動圧軸受の製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ねじポンプ作用によっ
て軸受間隙の流体に動圧を発生させる動圧軸受の動圧発
生溝等を加工するための溝加工方法および動圧軸受の製
造方法に関するものである。
て軸受間隙の流体に動圧を発生させる動圧軸受の動圧発
生溝等を加工するための溝加工方法および動圧軸受の製
造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ねじポンプ作用によって軸受間隙の流体
に動圧を発生させる動圧軸受は、互いに回転自在に嵌合
する軸受シャフトと軸受スリーブのうちの少なくとも一
方にヘリングボーン溝等のら旋状の動圧発生溝を必要と
する。従来、このような動圧発生溝を軸受シャフトまた
は軸受スリーブに加工する方法としてはエッチングによ
る溝加工が一般的であった。ところがエッチング処理は
エッチング液の濃度や性能劣化等によって加工精度が大
きく左右されるうえに、全体的に工程数が多くて加工に
必要な時間も長く従って生産性が低い。
に動圧を発生させる動圧軸受は、互いに回転自在に嵌合
する軸受シャフトと軸受スリーブのうちの少なくとも一
方にヘリングボーン溝等のら旋状の動圧発生溝を必要と
する。従来、このような動圧発生溝を軸受シャフトまた
は軸受スリーブに加工する方法としてはエッチングによ
る溝加工が一般的であった。ところがエッチング処理は
エッチング液の濃度や性能劣化等によって加工精度が大
きく左右されるうえに、全体的に工程数が多くて加工に
必要な時間も長く従って生産性が低い。
【０００３】このために近年では、特に小径の動圧軸受
を製造する際には、軸受シャフトまたは軸受スリーブの
表面にボールを押しつけて塑性加工することによって動
圧発生溝を形成する方法が広く用いられている。これ
は、軸受シャフトや軸受スリーブ等の被加工物より硬質
のボールを工具軸の外周面のボール保持孔に保持させ、
ボールを被加工物に押しつけて表面層を塑性加工し、ボ
ールの形状を転写しながら工具軸を回転させこれと同時
に軸方向の送りを行なうものであり、回転速度と軸方向
の送り速度を変化させることで様々な形状のら旋溝を形
成することができる。一般的に軸受シャフトや軸受スリ
ーブ等の被加工物の材質は黄銅（ビッカース硬度１５０
程度）等の銅系の材料であり、溝加工のためのボールに
は比較的安価な玉軸受用硬球（ビッカース硬度７００〜
９００）等が用いられている。
を製造する際には、軸受シャフトまたは軸受スリーブの
表面にボールを押しつけて塑性加工することによって動
圧発生溝を形成する方法が広く用いられている。これ
は、軸受シャフトや軸受スリーブ等の被加工物より硬質
のボールを工具軸の外周面のボール保持孔に保持させ、
ボールを被加工物に押しつけて表面層を塑性加工し、ボ
ールの形状を転写しながら工具軸を回転させこれと同時
に軸方向の送りを行なうものであり、回転速度と軸方向
の送り速度を変化させることで様々な形状のら旋溝を形
成することができる。一般的に軸受シャフトや軸受スリ
ーブ等の被加工物の材質は黄銅（ビッカース硬度１５０
程度）等の銅系の材料であり、溝加工のためのボールに
は比較的安価な玉軸受用硬球（ビッカース硬度７００〜
９００）等が用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、前述のように、溝加工用のボールに玉
軸受用硬球等が用いられており、他方、ボールを保持す
る工具軸のボール保持孔のまわりは、放電加工等によっ
てボール保持孔を加工する際に玉軸受用硬球の硬度以上
に加工硬化していることが多いため、ボールを工具軸の
ボール保持孔に装着する工程でボールの表面に傷がつい
たりボールの真球度が著しく損なわれる傾向がある。こ
のようにボールの形状が劣化すると、被加工物の溝加工
の加工精度が低下し、また、ボールの表面に傷がつく
と、その傷が被加工物の表面にそのまま転写されたり、
被加工物の表面が不必要に削られる等の不都合が生じ
る。その結果、動圧軸受の軸受シャフトや軸受スリーブ
に動圧発生溝等を加工する工程において動圧発生溝等の
形状精度が不充分になり、このために高性能な動圧軸受
を得ることができないという未解決の課題がある。
の技術によれば、前述のように、溝加工用のボールに玉
軸受用硬球等が用いられており、他方、ボールを保持す
る工具軸のボール保持孔のまわりは、放電加工等によっ
てボール保持孔を加工する際に玉軸受用硬球の硬度以上
に加工硬化していることが多いため、ボールを工具軸の
ボール保持孔に装着する工程でボールの表面に傷がつい
たりボールの真球度が著しく損なわれる傾向がある。こ
のようにボールの形状が劣化すると、被加工物の溝加工
の加工精度が低下し、また、ボールの表面に傷がつく
と、その傷が被加工物の表面にそのまま転写されたり、
被加工物の表面が不必要に削られる等の不都合が生じ
る。その結果、動圧軸受の軸受シャフトや軸受スリーブ
に動圧発生溝等を加工する工程において動圧発生溝等の
形状精度が不充分になり、このために高性能な動圧軸受
を得ることができないという未解決の課題がある。
【０００５】本発明は、上記従来の技術の有する未解決
の課題に鑑みてなされたものであり、溝加工用のボール
の表面の傷や真球度の低下等の形状劣化のために動圧軸
受の動圧発生溝等の溝加工の精度が低下するおそれのな
い溝加工方法および動圧軸受の製造方法を提供すること
を目的とするものである。
の課題に鑑みてなされたものであり、溝加工用のボール
の表面の傷や真球度の低下等の形状劣化のために動圧軸
受の動圧発生溝等の溝加工の精度が低下するおそれのな
い溝加工方法および動圧軸受の製造方法を提供すること
を目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の溝加工方法は、ボール保持孔を有し、該ボ
ール保持孔の周辺に放電加工によってビッカース硬度１
２００程度の加工硬化層が形成された工具軸と、該工具
軸の前記ボール保持孔に圧入することによって保持され
た少なくとも１個のボールとから成る工具を用い、前記
工具軸を回転させて前記ボールを被加工物に押しつけて
その表面を溝加工する溝加工方法であって、前記ボール
が、ビッカース硬度１２００以上、縦弾性係数２５０Ｇ
Ｐａ以上の窒化珪素から成る硬質な球状体であることを
特徴とする。
め、本発明の溝加工方法は、ボール保持孔を有し、該ボ
ール保持孔の周辺に放電加工によってビッカース硬度１
２００程度の加工硬化層が形成された工具軸と、該工具
軸の前記ボール保持孔に圧入することによって保持され
た少なくとも１個のボールとから成る工具を用い、前記
工具軸を回転させて前記ボールを被加工物に押しつけて
その表面を溝加工する溝加工方法であって、前記ボール
が、ビッカース硬度１２００以上、縦弾性係数２５０Ｇ
Ｐａ以上の窒化珪素から成る硬質な球状体であることを
特徴とする。
【０００７】本発明の動圧軸受の製造方法は、ボール保
持孔を有し、該ボール保持孔の周辺に放電加工によって
ビッカース硬度１２００程度の加工硬化層が形成された
工具軸と、該工具軸の前記ボール保持孔に圧入すること
によって保持された少なくとも１個のボールとから成る
工具を用い、前記工具軸を回転させて前記ボールを、動
圧軸受の軸受シャフトおよび軸受スリーブの少なくとも
一方に押しつけてその表面に動圧発生溝を加工する工程
を有し、前記ボールが、ビッカース硬度１２００以上、
縦弾性係数２５０ＧＰａ以上の窒化珪素から成る硬質な
球状体であることを特徴とする。
持孔を有し、該ボール保持孔の周辺に放電加工によって
ビッカース硬度１２００程度の加工硬化層が形成された
工具軸と、該工具軸の前記ボール保持孔に圧入すること
によって保持された少なくとも１個のボールとから成る
工具を用い、前記工具軸を回転させて前記ボールを、動
圧軸受の軸受シャフトおよび軸受スリーブの少なくとも
一方に押しつけてその表面に動圧発生溝を加工する工程
を有し、前記ボールが、ビッカース硬度１２００以上、
縦弾性係数２５０ＧＰａ以上の窒化珪素から成る硬質な
球状体であることを特徴とする。
【０００８】
【作用】ボールは工具軸のボール保持孔に取り付けられ
る。工具軸のボール保持孔は、放電加工によって形成さ
れたものであり、ボール保持孔のまわりは工具軸の材質
以上の硬質な組織に加工硬化している。ボールを工具軸
のボール保持孔に取り付けるときに、前述のように加工
硬化した部分との摩擦によってボールの表面が傷つけら
れたり、ボールの真球度等が損なわれる等のトラブルが
発生し、このために溝加工の精度が著しく損なわれるお
それがある。
る。工具軸のボール保持孔は、放電加工によって形成さ
れたものであり、ボール保持孔のまわりは工具軸の材質
以上の硬質な組織に加工硬化している。ボールを工具軸
のボール保持孔に取り付けるときに、前述のように加工
硬化した部分との摩擦によってボールの表面が傷つけら
れたり、ボールの真球度等が損なわれる等のトラブルが
発生し、このために溝加工の精度が著しく損なわれるお
それがある。
【０００９】そこで、ボールにビッカース硬度１２００
以上、縦弾性係数２５０ＧＰａ以上の窒化珪素から成る
硬質な球状体を用いることで、ボールの表面に傷がつい
たり、ボールの真球度等が損なわれて形状劣化を招くの
回避する。このように傷や形状劣化等のトラブルのない
ボールを用いることで、形状精度の高い動圧発生溝を溝
加工し、極めて高性能な動圧軸受を製造することができ
る。
以上、縦弾性係数２５０ＧＰａ以上の窒化珪素から成る
硬質な球状体を用いることで、ボールの表面に傷がつい
たり、ボールの真球度等が損なわれて形状劣化を招くの
回避する。このように傷や形状劣化等のトラブルのない
ボールを用いることで、形状精度の高い動圧発生溝を溝
加工し、極めて高性能な動圧軸受を製造することができ
る。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１１】図１は一実施例による溝加工方法および動
圧軸受の製造方法に用いられる工具である溝加工装置を
示すもので、これは、加工台１に支持されたワークホル
ダ２と、先端に複数のボール３１を保持する工具軸３を
回転自在に支持するホルダ４と、工具軸３を回転させる
回転駆動機構５と、ホルダ４とともに垂直方向に往復移
動自在であるＺスライダ６と、Ｚスライダ６を垂直方向
に移動させるＺ駆動機構７を有し、回転駆動機構５は回
転駆動モータ５ａと、その駆動を工具軸３に伝達するカ
ップリング５ｂおよび回転軸５ｃからなり、Ｚ駆動機構
７は、Ｚ駆動モータ７ａと、その駆動をＺスライダ６に
伝達するカップリング７ｂおよび回転軸７ｃからなる。
圧軸受の製造方法に用いられる工具である溝加工装置を
示すもので、これは、加工台１に支持されたワークホル
ダ２と、先端に複数のボール３１を保持する工具軸３を
回転自在に支持するホルダ４と、工具軸３を回転させる
回転駆動機構５と、ホルダ４とともに垂直方向に往復移
動自在であるＺスライダ６と、Ｚスライダ６を垂直方向
に移動させるＺ駆動機構７を有し、回転駆動機構５は回
転駆動モータ５ａと、その駆動を工具軸３に伝達するカ
ップリング５ｂおよび回転軸５ｃからなり、Ｚ駆動機構
７は、Ｚ駆動モータ７ａと、その駆動をＺスライダ６に
伝達するカップリング７ｂおよび回転軸７ｃからなる。
【００１２】回転駆動機構５とＺ駆動機構７はほぼ同時
に駆動され、ワークホルダ２に保持された被加工物であ
る軸受スリーブＷに対して工具軸３を垂直に下降させな
がら回転させて、図２に示すように、ボール３１を軸受
スリーブＷの内面に押しつけてボール３１の形状を転写
し、ヘリングボーン溝等の動圧発生溝Ｗａを形成する。
に駆動され、ワークホルダ２に保持された被加工物であ
る軸受スリーブＷに対して工具軸３を垂直に下降させな
がら回転させて、図２に示すように、ボール３１を軸受
スリーブＷの内面に押しつけてボール３１の形状を転写
し、ヘリングボーン溝等の動圧発生溝Ｗａを形成する。
【００１３】工具軸３は、図３に示すように、放電加工
によって形成されたボール保持孔３ａを有する小径軸部
３ｂと、これと一体である大径軸部３ｃを有し、大径軸
部３ｃは図１の回転軸５ｃと一体であり、ホルダ４に回
転自在に支持される。
によって形成されたボール保持孔３ａを有する小径軸部
３ｂと、これと一体である大径軸部３ｃを有し、大径軸
部３ｃは図１の回転軸５ｃと一体であり、ホルダ４に回
転自在に支持される。
【００１４】ボール３１はそれぞれ工具軸３のボール保
持孔３ａに圧入によって固定される。各ボール３１は、
縦弾性係数が２５０ＧＰａ以上でビッカース硬度１２０
０以上の硬質の球状体であり、その材質は、窒化硅素か
ら成る。
持孔３ａに圧入によって固定される。各ボール３１は、
縦弾性係数が２５０ＧＰａ以上でビッカース硬度１２０
０以上の硬質の球状体であり、その材質は、窒化硅素か
ら成る。
【００１５】工具軸３のボール保持孔３ａは、前述のよ
うに放電加工によって形成されたものであるため、その
周辺には放電加工による溶融層、焼入れ層、焼きもどし
層等の加工硬化層が形成されており、それぞれビッカー
ス硬度９００，１２００，６００程度に加工硬化してい
るのが普通である。従って、ボール３１をボール保持孔
３ａに圧入するときにボール３１がボール保持孔３ａの
まわりの加工硬化層よりも軟らかいとボール３１の表面
に傷がつき、圧入中にボール３１が回転して傷が露出し
たままで工具軸３に固定されると、前述のように、軸受
スリーブＷの表面に傷が転写されたり軸受スリーブＷの
内面が削られたりするおそれがある。また、ボール３１
の縦弾性係数が工具軸３の縦弾性係数と同程度あるいは
これより低いと、ボール保持孔３ａに圧入するときにボ
ール３１が塑性変形してその真球度が低下し、著しい形
状劣化を招くおそれもある。
うに放電加工によって形成されたものであるため、その
周辺には放電加工による溶融層、焼入れ層、焼きもどし
層等の加工硬化層が形成されており、それぞれビッカー
ス硬度９００，１２００，６００程度に加工硬化してい
るのが普通である。従って、ボール３１をボール保持孔
３ａに圧入するときにボール３１がボール保持孔３ａの
まわりの加工硬化層よりも軟らかいとボール３１の表面
に傷がつき、圧入中にボール３１が回転して傷が露出し
たままで工具軸３に固定されると、前述のように、軸受
スリーブＷの表面に傷が転写されたり軸受スリーブＷの
内面が削られたりするおそれがある。また、ボール３１
の縦弾性係数が工具軸３の縦弾性係数と同程度あるいは
これより低いと、ボール保持孔３ａに圧入するときにボ
ール３１が塑性変形してその真球度が低下し、著しい形
状劣化を招くおそれもある。
【００１６】そこで本実施例においては、ボール３１の
材質として、縦弾性係数３２０ＧＰａ、ビッカース硬度
１５００の窒化硅素を用いることで、ボール３１をボー
ル保持孔３ａに圧入するときにボール３１に傷がついた
りその真球度が低下するのを防ぐ。
材質として、縦弾性係数３２０ＧＰａ、ビッカース硬度
１５００の窒化硅素を用いることで、ボール３１をボー
ル保持孔３ａに圧入するときにボール３１に傷がついた
りその真球度が低下するのを防ぐ。
【００１７】窒化硅素のボールは、近年、耐熱ベアリン
グ用軸受球として安価に入手できるものであり、また、
塑性加工を行なう工具として重要である摺動摩耗量も通
常の炭素鋼に比べて２０分の１程度であり、工具寿命の
長い溝加工装置を得るうえでも好適な素材であり、加え
て、縦弾性係数も一般的に溝加工用のボールに用いる材
料よりはるかに大である。従って、本発明の動圧軸受の
製造方法に用いる溝加工用のボールとして最も有効な素
材である。
グ用軸受球として安価に入手できるものであり、また、
塑性加工を行なう工具として重要である摺動摩耗量も通
常の炭素鋼に比べて２０分の１程度であり、工具寿命の
長い溝加工装置を得るうえでも好適な素材であり、加え
て、縦弾性係数も一般的に溝加工用のボールに用いる材
料よりはるかに大である。従って、本発明の動圧軸受の
製造方法に用いる溝加工用のボールとして最も有効な素
材である。
【００１８】本実施例によれば、軸受スリーブの内面に
ヘリングボーン溝等の動圧発生溝を形成するボールが硬
質でその表面に傷等がないうえに真球度も充分であるた
めに、極めて形状精度の高い動圧発生溝を有する動圧軸
受を製造できる。また、ボールの工具寿命が長いために
動圧軸受の製造コストの削減にも大きく貢献できる。
ヘリングボーン溝等の動圧発生溝を形成するボールが硬
質でその表面に傷等がないうえに真球度も充分であるた
めに、極めて形状精度の高い動圧発生溝を有する動圧軸
受を製造できる。また、ボールの工具寿命が長いために
動圧軸受の製造コストの削減にも大きく貢献できる。
【００１９】
【発明の効果】発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。
で、次に記載するような効果を奏する。
【００２０】傷や形状劣化等のトラブルのないボールを
用いることで、形状精度の高い動圧発生溝を加工し、極
めて高性能な動圧軸受を製造することができる。加え
て、ボールの硬度が高く従って工具寿命が長いために装
置のメンテナンスのコストが低く、その結果、動圧軸受
の製造コストを大幅に低減できるという利点もある。
用いることで、形状精度の高い動圧発生溝を加工し、極
めて高性能な動圧軸受を製造することができる。加え
て、ボールの硬度が高く従って工具寿命が長いために装
置のメンテナンスのコストが低く、その結果、動圧軸受
の製造コストを大幅に低減できるという利点もある。
【図１】一実施例による溝加工方法および動圧軸受の製
造方法に用いる溝加工装置を説明する説明図である。
造方法に用いる溝加工装置を説明する説明図である。
【図２】図１の装置による溝加工工程を説明するもので
ある。
ある。
【図３】図１の装置の工具軸とボールを示すもので、
（ａ）はその立面図、（ｂ）はボールと工具軸の一部分
を示す部分断面図である。
（ａ）はその立面図、（ｂ）はボールと工具軸の一部分
を示す部分断面図である。
１ 加工台 ２ ワークホルダ ３ 工具軸 ３ａ ボール保持孔 ３１ ボール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B21C 37/00 - 43/04 B21D 53/10 F16C 17/10
Claims (2)
- 【請求項１】 ボール保持孔を有し、該ボール保持孔の
周辺に放電加工によってビッカース硬度１２００程度の
加工硬化層が形成された工具軸と、該工具軸の前記ボー
ル保持孔に圧入することによって保持された少なくとも
１個のボールとから成る工具を用い、前記工具軸を回転
させて前記ボールを被加工物に押しつけてその表面を溝
加工する溝加工方法であって、前記ボールが、ビッカー
ス硬度１２００以上、縦弾性係数２５０ＧＰａ以上の窒
化珪素から成る硬質な球状体であることを特徴とする溝
加工方法。 - 【請求項２】 ボール保持孔を有し、該ボール保持孔の
周辺に放電加工によってビッカース硬度１２００程度の
加工硬化層が形成された工具軸と、該工具軸の前記ボー
ル保持孔に圧入することによって保持された少なくとも
１個のボールとから成る工具を用い、前記工具軸を回転
させて前記ボールを、動圧軸受の軸受シャフトおよび軸
受スリーブの少なくとも一方に押しつけてその表面に動
圧発生溝を加工する工程を有し、前記ボールが、ビッカ
ース硬度１２００以上、縦弾性係数２５０ＧＰａ以上の
窒化珪素から成る硬質な球状体であることを特徴とする
動圧軸受の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09804695A JP3305155B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 溝加工方法および動圧軸受の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09804695A JP3305155B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 溝加工方法および動圧軸受の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08267129A JPH08267129A (ja) | 1996-10-15 |
| JP3305155B2 true JP3305155B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=14209220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09804695A Expired - Fee Related JP3305155B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 溝加工方法および動圧軸受の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3305155B2 (ja) |
-
1995
- 1995-03-30 JP JP09804695A patent/JP3305155B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08267129A (ja) | 1996-10-15 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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