JP3375265B2 - 光透過型表示パネルの欠陥修正方法および欠陥修正装置 - Google Patents
光透過型表示パネルの欠陥修正方法および欠陥修正装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶表示パ
ネルのような光透過型表示パネルの検査を効率的に行う
ことができる光透過型表示パネルの検査方法および検査
装置に関するものである。
ネルのような光透過型表示パネルの検査を効率的に行う
ことができる光透過型表示パネルの検査方法および検査
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置、ＥＬ（エレクトロ・ルミ
ネッセンス）表示装置およびプラズマ表示装置等の表示
装置を製造する工程では、光学的検査装置または電気的
検査装置等の検査装置を用いて、製造途中の表示装置の
品質状態を検査する。このとき、製造途中の表示装置が
所定基準の品質状態を満たしていない場合には、その工
程において不合格としている。
ネッセンス）表示装置およびプラズマ表示装置等の表示
装置を製造する工程では、光学的検査装置または電気的
検査装置等の検査装置を用いて、製造途中の表示装置の
品質状態を検査する。このとき、製造途中の表示装置が
所定基準の品質状態を満たしていない場合には、その工
程において不合格としている。
【０００３】不合格となった表示装置は、不合格となっ
た工程の前工程における合格の品質状態に修復すること
が可能な場合、修復を行い、不合格となった工程から表
示装置の製造を再開している。
た工程の前工程における合格の品質状態に修復すること
が可能な場合、修復を行い、不合格となった工程から表
示装置の製造を再開している。
【０００４】例えば、液晶表示装置に用いられる液晶表
示パネルの検査工程では、目視により、液晶表示パネル
を透過する光源からの透過光を検査者が検査し、液晶表
示パネルの各絵素の不良並びに走査線および信号線の断
線またはショートという欠陥の存在を検出して、欠陥が
存在する場合には、欠陥位置を特定して不合格としてい
る。
示パネルの検査工程では、目視により、液晶表示パネル
を透過する光源からの透過光を検査者が検査し、液晶表
示パネルの各絵素の不良並びに走査線および信号線の断
線またはショートという欠陥の存在を検出して、欠陥が
存在する場合には、欠陥位置を特定して不合格としてい
る。
【０００５】この欠陥位置の特定方法について説明す
る。欠陥が存在する場合には、修復の可否を判断し、修
復可能な液晶表示パネルに検査者が別途その内容を記述
して、次工程に送っている。次工程では、記述された内
容に基づいて、検査者が目視により、液晶表示パネルを
透過する光源からの透過光から欠陥の種類およびおおま
かな位置を検出し、液晶表示パネル本体の欠陥位置にマ
ーキングを実施する。さらに次の工程では、マーキング
された位置を顕微鏡等の所定の装置で拡大視して、正確
な位置を特定している。
る。欠陥が存在する場合には、修復の可否を判断し、修
復可能な液晶表示パネルに検査者が別途その内容を記述
して、次工程に送っている。次工程では、記述された内
容に基づいて、検査者が目視により、液晶表示パネルを
透過する光源からの透過光から欠陥の種類およびおおま
かな位置を検出し、液晶表示パネル本体の欠陥位置にマ
ーキングを実施する。さらに次の工程では、マーキング
された位置を顕微鏡等の所定の装置で拡大視して、正確
な位置を特定している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述したように、欠陥
位置を特定するために、マーキングおよび正確な位置の
特定という工程を行う必要がある。このため、検査を実
質２回実施していることになり、検査装置のスループッ
トが長くなり、また工数が増加することによる表示装置
の製造原価の増加を招いている。
位置を特定するために、マーキングおよび正確な位置の
特定という工程を行う必要がある。このため、検査を実
質２回実施していることになり、検査装置のスループッ
トが長くなり、また工数が増加することによる表示装置
の製造原価の増加を招いている。
【０００７】本発明は、以上のような従来の問題点に鑑
みなされたものであって、微細な絵素を有する光透過型
表示パネルであっても、欠陥位置の特定および修正を正
確かつ迅速に行うことができる光透過型表示パネルの欠
陥修正方法および欠陥修正装置を提供することを目的と
している。
みなされたものであって、微細な絵素を有する光透過型
表示パネルであっても、欠陥位置の特定および修正を正
確かつ迅速に行うことができる光透過型表示パネルの欠
陥修正方法および欠陥修正装置を提供することを目的と
している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の光透過型表示パ
ネルの欠陥修正方法は、光透過型表示パネルの後方に光
源を配置し、前記光透過型表示パネルに所定の駆動信号
を入力して欠陥を検査し、前記欠陥を修正する光透過型
表示パネルの欠陥修正方法において、前記光源の前方で
あって光透過型表示パネルの後方に、欠陥修正対象であ
る光透過型表示パネルと同一仕様の光透過型の欠陥位置
特定用パネルを配置し、該欠陥位置特定用パネルに対し
て、該欠陥位置特定用パネルを覆うように配置された前
記欠陥を修正する光透過型表示パネルをアライメントし
て所定位置に固定し、前記欠陥位置特定用パネルに常に
表示される欠陥位置特定用のマークを、入力端末の操作
により、前記光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入
力して前記光源からの光が照射されることによって表示
される前記光透過型表示パネルの欠陥位置に移動させ、
前記マークの位置から前記欠陥位置を特定し、前記欠陥
の位置座標に基づいて前記欠陥の修復を自動化すること
を特徴とする。
ネルの欠陥修正方法は、光透過型表示パネルの後方に光
源を配置し、前記光透過型表示パネルに所定の駆動信号
を入力して欠陥を検査し、前記欠陥を修正する光透過型
表示パネルの欠陥修正方法において、前記光源の前方で
あって光透過型表示パネルの後方に、欠陥修正対象であ
る光透過型表示パネルと同一仕様の光透過型の欠陥位置
特定用パネルを配置し、該欠陥位置特定用パネルに対し
て、該欠陥位置特定用パネルを覆うように配置された前
記欠陥を修正する光透過型表示パネルをアライメントし
て所定位置に固定し、前記欠陥位置特定用パネルに常に
表示される欠陥位置特定用のマークを、入力端末の操作
により、前記光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入
力して前記光源からの光が照射されることによって表示
される前記光透過型表示パネルの欠陥位置に移動させ、
前記マークの位置から前記欠陥位置を特定し、前記欠陥
の位置座標に基づいて前記欠陥の修復を自動化すること
を特徴とする。
【０００９】また、本発明の光透過型表示パネルの欠陥
修正装置は、光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入
力するテスタヘッドと、欠陥修正対象である光透過型表
示パネルと同一仕様であり、前記光透過型表示パネルの
後方に、該光透過型表示パネルにて覆われるように配置
されて、マークを表示する光透過型の欠陥位置特定用パ
ネルと、前記光透過型表示パネルおよび前記欠陥位置特
定用パネルに光を照射する光源と、前記欠陥位置特定用
パネルに対して前記欠陥を修正する光透過型表示パネル
をアライメントして所定位置に固定した状態で、該欠陥
位置特定用パネルに常に表示された欠陥位置特定用のマ
ークを、入力端末の操作により、前記光透過型表示パネ
ルに所定の駆動信号を入力して前記光源からの光が照射
されることによって表示される前記光透過型表示パネル
の欠陥位置に移動させることにより、前記マークの位置
データーを出力する制御手段と、前記制御手段に接続さ
れ、前記マークの位置データを記憶するホストコンピュ
ータとを有し、前記マークの位置データに基づいて欠陥
の修復を自動化することを特徴とする。
修正装置は、光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入
力するテスタヘッドと、欠陥修正対象である光透過型表
示パネルと同一仕様であり、前記光透過型表示パネルの
後方に、該光透過型表示パネルにて覆われるように配置
されて、マークを表示する光透過型の欠陥位置特定用パ
ネルと、前記光透過型表示パネルおよび前記欠陥位置特
定用パネルに光を照射する光源と、前記欠陥位置特定用
パネルに対して前記欠陥を修正する光透過型表示パネル
をアライメントして所定位置に固定した状態で、該欠陥
位置特定用パネルに常に表示された欠陥位置特定用のマ
ークを、入力端末の操作により、前記光透過型表示パネ
ルに所定の駆動信号を入力して前記光源からの光が照射
されることによって表示される前記光透過型表示パネル
の欠陥位置に移動させることにより、前記マークの位置
データーを出力する制御手段と、前記制御手段に接続さ
れ、前記マークの位置データを記憶するホストコンピュ
ータとを有し、前記マークの位置データに基づいて欠陥
の修復を自動化することを特徴とする。
【００１０】本発明の光透過型表示パネルの欠陥修正方
法によれば、光透過型表示パネルの後方に光源を配置
し、前記光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入力し
て欠陥を検査し、前記欠陥を修正する光透過型表示パネ
ルの欠陥修正方法において、前記光源の前方に、欠陥修
正対象である光透過型表示パネルと同一仕様の光透過型
の欠陥位置特定用パネルを配置し、前記欠陥位置特定用
パネルにマークを表示させ、前記光透過型表示パネルの
欠陥位置に前記マークを移動し、前記マークの位置から
前記欠陥位置を特定し、前記欠陥の位置座標に基づいて
前記欠陥の修復を自動化することにより、１回の目視検
査で正確かつ迅速に欠陥位置を特定することができる。
法によれば、光透過型表示パネルの後方に光源を配置
し、前記光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入力し
て欠陥を検査し、前記欠陥を修正する光透過型表示パネ
ルの欠陥修正方法において、前記光源の前方に、欠陥修
正対象である光透過型表示パネルと同一仕様の光透過型
の欠陥位置特定用パネルを配置し、前記欠陥位置特定用
パネルにマークを表示させ、前記光透過型表示パネルの
欠陥位置に前記マークを移動し、前記マークの位置から
前記欠陥位置を特定し、前記欠陥の位置座標に基づいて
前記欠陥の修復を自動化することにより、１回の目視検
査で正確かつ迅速に欠陥位置を特定することができる。
【００１１】本発明の光透過型表示パネルの欠陥修正装
置によれば、光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入
力するテスタヘッドと、欠陥修正対象である光透過型表
示パネルと同一仕様であり、マークを表示するための光
透過型の欠陥位置特定用パネルと、前記光透過型表示パ
ネルおよび前記欠陥位置特定用パネルに光を照射する光
源と、前記マークを前記光透過型表示パネルの欠陥位置
に移動し、前記マークの位置データーを出力する制御手
段と、前記制御手段に接続され、前記マークの位置デー
ターを記憶するホストコンピュータとを有し、前記マー
クの位置データーに基づいて欠陥の修復を自動化するこ
とにより、１回の目視検査で正確かつ迅速に欠陥位置を
特定することができる。
置によれば、光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入
力するテスタヘッドと、欠陥修正対象である光透過型表
示パネルと同一仕様であり、マークを表示するための光
透過型の欠陥位置特定用パネルと、前記光透過型表示パ
ネルおよび前記欠陥位置特定用パネルに光を照射する光
源と、前記マークを前記光透過型表示パネルの欠陥位置
に移動し、前記マークの位置データーを出力する制御手
段と、前記制御手段に接続され、前記マークの位置デー
ターを記憶するホストコンピュータとを有し、前記マー
クの位置データーに基づいて欠陥の修復を自動化するこ
とにより、１回の目視検査で正確かつ迅速に欠陥位置を
特定することができる。
【００１２】さらに、制御手段をホストコンピューター
等に接続し、欠陥位置の情報をホストコンピューター等
に記憶させれば、次工程での欠陥の修復を無人で行うこ
ともできる。
等に接続し、欠陥位置の情報をホストコンピューター等
に記憶させれば、次工程での欠陥の修復を無人で行うこ
ともできる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１乃至図３を用いて、本発明の
実施の形態について説明する。図１は本発明に係わる光
透過型表示パネルの検査装置を示す概略構成図、図２は
液晶表示パネルの合成映像を示す説明図、図３は欠陥位
置にマークを移動したときの液晶表示パネルの合成映像
を示す説明図である。
実施の形態について説明する。図１は本発明に係わる光
透過型表示パネルの検査装置を示す概略構成図、図２は
液晶表示パネルの合成映像を示す説明図、図３は欠陥位
置にマークを移動したときの液晶表示パネルの合成映像
を示す説明図である。
【００１４】本発明の検査装置は、例えば液晶表示装置
の製造工程において、駆動用ＬＳＩが実装されているフ
ィルムキャリアが液晶表示パネルに接続される前に、液
晶表示パネルの絵素の不良並びに走査線および信号線の
断線またはショート等の欠陥を検出し、欠陥位置を特定
するために用いるものである。
の製造工程において、駆動用ＬＳＩが実装されているフ
ィルムキャリアが液晶表示パネルに接続される前に、液
晶表示パネルの絵素の不良並びに走査線および信号線の
断線またはショート等の欠陥を検出し、欠陥位置を特定
するために用いるものである。
【００１５】図１に示すように、本発明の検査装置の構
成は、マスターボード１上にＸＹθテーブル２が載置さ
れており、その上には光源３、光透過型の欠陥位置特定
用パネル４およびＸＹθテーブル５を内蔵したボックス
６が載置されている。ＸＹθテーブル２およびＸＹθテ
ーブル５は、水平面において相互に直行するＸ方向およ
びＹ方向へ移動可能で、かつ水平方向へ回転（θ方向へ
の移動）可能に構成されている。
成は、マスターボード１上にＸＹθテーブル２が載置さ
れており、その上には光源３、光透過型の欠陥位置特定
用パネル４およびＸＹθテーブル５を内蔵したボックス
６が載置されている。ＸＹθテーブル２およびＸＹθテ
ーブル５は、水平面において相互に直行するＸ方向およ
びＹ方向へ移動可能で、かつ水平方向へ回転（θ方向へ
の移動）可能に構成されている。
【００１６】ボックス６の上面には、被検査物である光
透過型の液晶表示パネル７が、光源３および欠陥位置特
定用パネル４を覆うようにパネル保持台８上に載置され
ており、真空吸引機（図示せず）によってパネル保持台
８に固定保持されている。
透過型の液晶表示パネル７が、光源３および欠陥位置特
定用パネル４を覆うようにパネル保持台８上に載置され
ており、真空吸引機（図示せず）によってパネル保持台
８に固定保持されている。
【００１７】パネル保持台８の上方にはマスターテーブ
ル９があり、マスターテーブル９はマスターボード１上
に固定されたエアーシリンダー１０によって上下動する
ように構成されている。このマスターテーブル９には、
中央部に液晶表示パネル７と略同一の大きさの開口部が
設けられており、この開口部の各側辺に沿ってフィルム
キャリアにより構成されたテスタヘッド１１が張り付け
られている。
ル９があり、マスターテーブル９はマスターボード１上
に固定されたエアーシリンダー１０によって上下動する
ように構成されている。このマスターテーブル９には、
中央部に液晶表示パネル７と略同一の大きさの開口部が
設けられており、この開口部の各側辺に沿ってフィルム
キャリアにより構成されたテスタヘッド１１が張り付け
られている。
【００１８】テスタヘッド１１は、パネル保持台８に固
定保持された液晶表示パネル７に接触し、液晶表示パネ
ル７の各絵素に所定の駆動信号を入力する機能を有して
いる。すなわち、テスタヘッド１１は、マスターテーブ
ル９が下降すると、パネル保持台８に固定保持された液
晶表示パネル７の外部信号接続端子部に接触し、液晶表
示パネル７に駆動信号を入力する。
定保持された液晶表示パネル７に接触し、液晶表示パネ
ル７の各絵素に所定の駆動信号を入力する機能を有して
いる。すなわち、テスタヘッド１１は、マスターテーブ
ル９が下降すると、パネル保持台８に固定保持された液
晶表示パネル７の外部信号接続端子部に接触し、液晶表
示パネル７に駆動信号を入力する。
【００１９】マスターテーブル９の上方には、２台のＣ
ＣＤカメラ１２が設けられ、パネル保持台８に載置され
た液晶表示パネル７の所定位置を撮像し、例えば液晶表
示パネル７のアライメントに利用する。
ＣＤカメラ１２が設けられ、パネル保持台８に載置され
た液晶表示パネル７の所定位置を撮像し、例えば液晶表
示パネル７のアライメントに利用する。
【００２０】欠陥位置特定用パネル４には制御手段１３
が接続され、制御手段１３から駆動信号を入力すること
によって、欠陥位置特定用パネル４にマークを表示させ
ておく。このマークは、制御手段１３に接続されたキー
ボードまたはマウス等の入力端末１４を操作することに
よって、自由に動かすことができる。
が接続され、制御手段１３から駆動信号を入力すること
によって、欠陥位置特定用パネル４にマークを表示させ
ておく。このマークは、制御手段１３に接続されたキー
ボードまたはマウス等の入力端末１４を操作することに
よって、自由に動かすことができる。
【００２１】次に、欠陥位置の特定方法について説明す
る。まず、マスターテーブル９を上昇させた状態で、液
晶表示パネル７を外部信号接続端子部を上側にしてパネ
ル保持台８上に略水平状態で載置する。
る。まず、マスターテーブル９を上昇させた状態で、液
晶表示パネル７を外部信号接続端子部を上側にしてパネ
ル保持台８上に略水平状態で載置する。
【００２２】このとき、２台のＣＣＤカメラ１２を用い
て、液晶表示パネル７に設けられたアライメントマーク
（図示せず）と、マスターテーブル９に設けられたアラ
イメントマーク（図示せず）と、欠陥位置特定用パネル
４に設けられたアライメントマーク（図示せず）とを、
ＸＹθテーブル２およびＸＹθテーブル５を調節して合
わせ、液晶表示パネル７がパネル保持台８の所定の位置
に載置されるようにする。こうして液晶表示パネル７の
アライメントが終了すると、液晶表示パネル７を真空吸
引機によってパネル保持台８に吸着して固定保持する。
て、液晶表示パネル７に設けられたアライメントマーク
（図示せず）と、マスターテーブル９に設けられたアラ
イメントマーク（図示せず）と、欠陥位置特定用パネル
４に設けられたアライメントマーク（図示せず）とを、
ＸＹθテーブル２およびＸＹθテーブル５を調節して合
わせ、液晶表示パネル７がパネル保持台８の所定の位置
に載置されるようにする。こうして液晶表示パネル７の
アライメントが終了すると、液晶表示パネル７を真空吸
引機によってパネル保持台８に吸着して固定保持する。
【００２３】そして、マスターボード１上に取り付けら
れたエアーシリンダー１０を駆動し、マスターテーブル
９を下降して、テスタヘッド１１を液晶表示パネル７の
外部信号接続端子部に接触させる。テスタヘッド１１が
液晶表示パネル７の外部信号接続端子部に接触すれば、
テスタヘッド１１を介して液晶表示パネル７に所定の駆
動信号が入力され、液晶表示パネル７が駆動される。
れたエアーシリンダー１０を駆動し、マスターテーブル
９を下降して、テスタヘッド１１を液晶表示パネル７の
外部信号接続端子部に接触させる。テスタヘッド１１が
液晶表示パネル７の外部信号接続端子部に接触すれば、
テスタヘッド１１を介して液晶表示パネル７に所定の駆
動信号が入力され、液晶表示パネル７が駆動される。
【００２４】光源３から液晶表示パネル７および欠陥位
置特定用パネル４に光を照射すれば、図２に示すよう
に、検査者は液晶表示パネル７と欠陥位置特定用パネル
４との合成映像１５を目視することができる。尚、欠陥
位置特定用パネル４には、前述したように制御手段１３
から駆動信号が入力されており、マーク１６が常に表示
されている。
置特定用パネル４に光を照射すれば、図２に示すよう
に、検査者は液晶表示パネル７と欠陥位置特定用パネル
４との合成映像１５を目視することができる。尚、欠陥
位置特定用パネル４には、前述したように制御手段１３
から駆動信号が入力されており、マーク１６が常に表示
されている。
【００２５】このとき、例えば＋で示すマーク１６が表
示され、その左下に×で示す液晶表示パネル７の欠陥１
７が表示されたとすると、検査者はこの合成映像１５を
目視しながら制御手段１３のキーボードまたはマウス等
の入力端末１４を操作し、図３に示すように、マーク１
６を移動制御して欠陥１７と重ね合わせる。
示され、その左下に×で示す液晶表示パネル７の欠陥１
７が表示されたとすると、検査者はこの合成映像１５を
目視しながら制御手段１３のキーボードまたはマウス等
の入力端末１４を操作し、図３に示すように、マーク１
６を移動制御して欠陥１７と重ね合わせる。
【００２６】このようにすれば、制御手段１３はマーク
１６の位置座標を常に把握しているため、マーク１６の
座標位置から欠陥１７の位置を正確に特定することがで
き、制御手段１３に接続したモニター（図示せず）の画
面上で、または制御手段１３に接続したプリンター（図
示せず）で位置座標をプリントアウトして検査者が確認
できる。
１６の位置座標を常に把握しているため、マーク１６の
座標位置から欠陥１７の位置を正確に特定することがで
き、制御手段１３に接続したモニター（図示せず）の画
面上で、または制御手段１３に接続したプリンター（図
示せず）で位置座標をプリントアウトして検査者が確認
できる。
【００２７】また、この位置座標を制御手段１３に接続
したホストコンピューター（図示せず）に記憶させれ
ば、欠陥１７の修復工程を無人で行うこともできる。
したホストコンピューター（図示せず）に記憶させれ
ば、欠陥１７の修復工程を無人で行うこともできる。
【００２８】本実施の形態においては、液晶表示パネル
７を上側に配置し、欠陥位置特定用パネル４を下側に配
置する構成としたが、欠陥位置特定用パネル４を上側に
配置し、液晶表示パネル７を下側に配置してもかまわな
い。その場合、テスタヘッド１１を横方向から液晶表示
パネル７に近づけるようにすればよい。
７を上側に配置し、欠陥位置特定用パネル４を下側に配
置する構成としたが、欠陥位置特定用パネル４を上側に
配置し、液晶表示パネル７を下側に配置してもかまわな
い。その場合、テスタヘッド１１を横方向から液晶表示
パネル７に近づけるようにすればよい。
【００２９】また、液晶表示パネル７と欠陥位置特定用
パネル４とは、絵素の形状、絵素の大きさ、絵素の数お
よび絵素の間隔等が等しいものを用いれば、欠陥１７の
位置座標の特定が容易になるため好ましい。
パネル４とは、絵素の形状、絵素の大きさ、絵素の数お
よび絵素の間隔等が等しいものを用いれば、欠陥１７の
位置座標の特定が容易になるため好ましい。
【００３０】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明の光透過型
表示パネルの欠陥修正方法によれば、光透過型表示パネ
ルの後方に光源を配置し、前記光透過型表示パネルに所
定の駆動信号を入力して欠陥を検査し、前記欠陥を修正
する光透過型表示パネルの欠陥修正方法において、前記
光源の前方に、欠陥修正対象である光透過型表示パネル
と同一仕様の光透過型の欠陥位置特定用パネルを配置
し、前記欠陥位置特定用パネルにマークを表示させ、前
記光透過型表示パネルの欠陥位置に前記マークを移動
し、前記マークの位置から前記欠陥位置を特定し、前記
欠陥の位置座標に基づいて前記欠陥の修復を自動化する
ことにより、１回の目視検査で正確かつ迅速に欠陥位置
を特定することができるため、工数を減少させてコスト
ダウンを図ることができる。
表示パネルの欠陥修正方法によれば、光透過型表示パネ
ルの後方に光源を配置し、前記光透過型表示パネルに所
定の駆動信号を入力して欠陥を検査し、前記欠陥を修正
する光透過型表示パネルの欠陥修正方法において、前記
光源の前方に、欠陥修正対象である光透過型表示パネル
と同一仕様の光透過型の欠陥位置特定用パネルを配置
し、前記欠陥位置特定用パネルにマークを表示させ、前
記光透過型表示パネルの欠陥位置に前記マークを移動
し、前記マークの位置から前記欠陥位置を特定し、前記
欠陥の位置座標に基づいて前記欠陥の修復を自動化する
ことにより、１回の目視検査で正確かつ迅速に欠陥位置
を特定することができるため、工数を減少させてコスト
ダウンを図ることができる。
【００３１】本発明の光透過型表示パネルの欠陥修正装
置によれば、光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入
力するテスタヘッドと、欠陥修正対象である光透過型表
示パネルと同一仕様であり、マークを表示するための光
透過型の欠陥位置特定用パネルと、前記光透過型表示パ
ネルおよび前記欠陥位置特定用パネルに光を照射する光
源と、前記マークを前記光透過型表示パネルの欠陥位置
に移動し、前記マークの位置データーを出力する制御手
段と、前記制御手段に接続され、前記マークの位置デー
ターを記憶するホストコンピュータとを有し、前記マー
クの位置データーに基づいて欠陥の修復を自動化するこ
とにより、１回の目視検査で正確かつ迅速に欠陥位置を
特定することができるため、工数を減少させてコストダ
ウンを図ることができる。
置によれば、光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入
力するテスタヘッドと、欠陥修正対象である光透過型表
示パネルと同一仕様であり、マークを表示するための光
透過型の欠陥位置特定用パネルと、前記光透過型表示パ
ネルおよび前記欠陥位置特定用パネルに光を照射する光
源と、前記マークを前記光透過型表示パネルの欠陥位置
に移動し、前記マークの位置データーを出力する制御手
段と、前記制御手段に接続され、前記マークの位置デー
ターを記憶するホストコンピュータとを有し、前記マー
クの位置データーに基づいて欠陥の修復を自動化するこ
とにより、１回の目視検査で正確かつ迅速に欠陥位置を
特定することができるため、工数を減少させてコストダ
ウンを図ることができる。
【００３２】さらに、制御手段をホストコンピューター
等に接続し、欠陥位置の情報をホストコンピューター等
に記憶させれば、次工程での欠陥の修復を無人で行うこ
ともできるため、さらにコストダウンを図ることができ
る。
等に接続し、欠陥位置の情報をホストコンピューター等
に記憶させれば、次工程での欠陥の修復を無人で行うこ
ともできるため、さらにコストダウンを図ることができ
る。
【図１】本発明に係わる光透過型表示パネルの検査装置
を示す概略構成図である。
を示す概略構成図である。
【図２】液晶表示パネルの合成映像を示す説明図であ
る。
る。
【図３】欠陥位置にマークを移動したときの液晶表示パ
ネルの合成映像を示す説明図である。
ネルの合成映像を示す説明図である。
１ マスターボード
２ ＸＹθテーブル
３ 光源
４ 欠陥位置特定用パネル
５ ＸＹθテーブル
６ ボックス
７ 液晶表示パネル
８ パネル保持台
９ マスターテーブル
１０ エアーシリンダー
１１ テスタヘッド
１２ ＣＣＤカメラ
１３ 制御手段
１４ 入力端末
１５ 合成映像
１６ マーク
１７ 欠陥
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平８−5509（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−11454（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−175096（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−1173（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−151547（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−331945（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−43655（ＪＰ，Ａ)
実開 平４−37927（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01M 11/00 - 11/08
G01N 21/84 - 21/958
G02F 1/13
Claims (2)
- 【請求項１】 光透過型表示パネルの後方に光源を配置
し、前記光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入力し
て欠陥を検査し、前記欠陥を修正する光透過型表示パネ
ルの欠陥修正方法において、 前記光源の前方であって光透過型表示パネルの後方に、
欠陥修正対象である光透過型表示パネルと同一仕様の光
透過型の欠陥位置特定用パネルを配置し、該欠陥位置特
定用パネルに対して、該欠陥位置特定用パネルを覆うよ
うに配置された前記欠陥を修正する光透過型表示パネル
をアライメントして所定位置に固定し、前記欠陥位置特
定用パネルに常に表示される欠陥位置特定用のマーク
を、入力端末の操作により、前記光透過型表示パネルに
所定の駆動信号を入力して前記光源からの光が照射され
ることによって表示される前記光透過型表示パネルの欠
陥位置に移動させ、前記マークの位置から前記欠陥位置
を特定し、前記欠陥の位置座標に基づいて前記欠陥の修
復を自動化することを特徴とする光透過型表示パネルの
欠陥修正方法。 - 【請求項２】 光透過型表示パネルに所定の駆動信号を
入力するテスタヘッドと、 欠陥修正対象である光透過型表示パネルと同一仕様であ
り、前記光透過型表示パネルの後方に、該光透過型表示
パネルにて覆われるように配置されて、マークを表示す
る光透過型の欠陥位置特定用パネルと、 前記光透過型表示パネルおよび前記欠陥位置特定用パネ
ルに光を照射する光源と、 前記欠陥位置特定用パネルに対して前記欠陥を修正する
光透過型表示パネルをアライメントして所定位置に固定
した状態で、該欠陥位置特定用パネルに常に表示された
欠陥位置特定用のマークを、入力端末の操作により、前
記光透過型表示パネルに所定の駆動信号を入力して前記
光源からの光が照射されることによって表示される前記
光透過型表示パネルの欠陥位置に移動させることによ
り、前記マークの位置データーを出力する制御手段と、 前記制御手段に接続され、前記マークの位置データを記
憶するホストコンピュータとを有し、 前記マークの位置データに基づいて欠陥の修復を自動化
することを特徴とする光透過型表示パネルの欠陥修正装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06757597A JP3375265B2 (ja) | 1997-03-21 | 1997-03-21 | 光透過型表示パネルの欠陥修正方法および欠陥修正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06757597A JP3375265B2 (ja) | 1997-03-21 | 1997-03-21 | 光透過型表示パネルの欠陥修正方法および欠陥修正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10260110A JPH10260110A (ja) | 1998-09-29 |
| JP3375265B2 true JP3375265B2 (ja) | 2003-02-10 |
Family
ID=13348887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06757597A Expired - Fee Related JP3375265B2 (ja) | 1997-03-21 | 1997-03-21 | 光透過型表示パネルの欠陥修正方法および欠陥修正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3375265B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100673793B1 (ko) * | 2004-11-29 | 2007-01-24 | 주식회사 디이엔티 | 평판 표시패널 검사장치용 광원유닛 |
| JP2008216810A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Uinzu:Kk | 液晶パネル検査装置及び液晶パネル検査方法 |
-
1997
- 1997-03-21 JP JP06757597A patent/JP3375265B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10260110A (ja) | 1998-09-29 |
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