JP3385950B2 - ガス放電パネル及びその製造方法 - Google Patents

ガス放電パネル及びその製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス放電パネル及
びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、ガス放電パネルの一例として
は図2に示すようなAC型のプラズマディスプレイパネ
ル(以下、PDPという)が知られている。以下図面を
参照しながら、従来のPDPのパネル構成とその動作を
説明する。図2は、従来のPDPの模式的な断面斜視図
である。
【0003】同図において、1はフロント基板であり、
6はバック基板である。PDPは、フロント基板1とバ
ック基板6とが対向配置され、その外周端縁部の間に
は、ガス放電用空間を形成するために低融点ガラスから
なる封止部材(図省略)により封止されており、その密
閉空間に、300Torrから500Torrの希ガス
(ヘリウム、キセノン、ネオンなどの混合ガス)が封入
された構成である。
【0004】フロント基板1は、バックパネルガラス7
の表面にパターン形成されたアドレス電極8とそれを覆
うように成膜された隔壁下地層9と、複数の隔壁10
と、隔壁10同士の間に塗布されたRGBの蛍光体11
から構成されている。
【0005】ここで、隔壁10は、上記ガス放電用空間
を区切るための手段である。このようにして区切られた
空間部12が発光領域となるものであり、蛍光体11
は、この発光領域毎に塗布されている。また、隔壁10
とアドレス電極5とは同一方向に形成されており、表示
電極3はアドレス電極8と直交している。
【0006】以上のように構成されたPDPは、アドレ
ス電極8、表示電極3に適当なタイミングで電圧を印加
することにより、表示画素に相当する、隔壁10で区切
られた空間部12で放電が起こり、紫外線が発生し、紫
外線に励起されたRGB蛍光体11から可視光が放出さ
れ、それが画像として表示されるのである。
【0007】次に、このような従来のPDPの製造方法
について、図面を参照しながら述べる。フロント基板1
については、フロントパネルガラス2上に表示電極3を
形成し、それを覆って誘電体膜4を成膜し、焼成し、そ
の上に保護膜5をEB蒸着法によって成膜し作製する。
【0008】また、バック基板6については、バックパ
ネルガラス7上にアドレス電極8を形成し、それを覆っ
てバリア層9を成膜し、焼成し、その上一面に印刷によ
って隔壁材料を成膜した後、サンドブラスト法によっ
て、隔壁10を形成しない部分を削り取り、焼成工程を
経てライン状になった隔壁10を形成する。その後、隔
壁10の間に印刷法などによって蛍光体11を充填し、
乾燥し、焼成して製作する。
【0009】このようにして完成したフロント基板1と
バック基板6は、周囲に低融点ガラスを封止部材として
塗布した後、焼成することで封着し、チップ管13より
真空引きをした後、希ガスを封入し、チップオフして完
成させるものである。
【0010】現在、PDPの最大の課題は、発光効率が
低いことである。発光効率を向上させることを目的とし
て、バリア層9に可視光を反射に対する反射性を付与
し、蛍光体によって変換された可視光を効率よく外部に
放出させることが知られている(特開昭61−2412
6号公報)。
【0011】可視光に対して高い反射性を有する層を形
成するためには、電極を形成した基板上に、反射性の高
い酸化チタンなどの無機フィラーと、前記無機フィラー
と屈折率に差がある鉛ガラスなどの低融点ガラスと、有
機バインダー、有機溶剤などからなるペースト材料を一
面に塗布、乾燥後、焼成工程を経ることで行う。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、酸化チ
タンなどの無機フィラーは融点が高いため、焼成工程で
は溶融せず、初期の粒子形状が保たれる。したがって、
バリア層形成後の隔壁形成プロセスにおいて、例えば洗
浄工程やドライフィルム現像工程などで、炭酸ナトリウ
ム水溶液などの塩基性処理液、または塩酸などの酸性処
理液により、無機フィラーの界面にある溶融性ガラスが
溶出することで、無機フィラーの脱落などが生じ、バリ
ア層の表面平滑度が著しく低下するなどの影響が現れ
る。
【0013】このため、バリア層の反射性が損なわれる
ばかりか、隔壁の安定した形成が困難であり、また、場
所によってバリア層の膜厚が変化することで、アドレス
電極による画素選択性にバラツキが生じる。したがっ
て、反射性バリア層を作成した場合、隔壁形成プロセス
や洗浄プロセスなどに大きな制限があった。
【0014】本発明は、上述したプラズマディスプレイ
パネルのこのような課題を考慮し、従来に比べて反射性
が高く、かつ、表面が平滑なバリア層により、輝度が高
くかつ安定性の高い画像を形成できるガス放電パネルと
その製造方法を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、第1電極を有する第1パネル基板と、前
記第1パネル基板と対向する、第2電極を有する第2パ
ネル基板と、前記第1と第2パネル基板との間にガス放
電用空間を形成するための、それら双方の基板の外周端
縁部の間に設けられた封止部と、前記第2電極を被覆す
るバリア層と、前記バリア層の上に配置され、前記ガス
放電用空間を区切る隔壁とを備えるガス放電パネルであ
って、前記バリア層が少なくとも2層からなり、前記第
1電極に接触する第1層は、光反射性の材料を含み、前
記隔壁に接触する第2層は、光透過性の材料を含むこと
を特徴とする。
【0016】また、本発明のガス放電パネルの製造方法
は、第1電極を有する第1パネル基板と、前記第1パネ
ル基板と対向する、第2電極を有する第2パネル基板
と、前記第1と第2パネル基板との間にガス放電用空間
を形成するための、それら双方の基板の外周端縁部の間
に設けられた封止部と、前記第2電極を被覆するバリア
層と、前記バリア層の上に配置され、前記ガス放電用空
間を区切る隔壁とを備えるガス放電パネルの製造方法で
あって、前記バリア層製造工程が、光反射性を有する第
1層形成工程と、第1層の上部に、光透過性を有する第
2層形成工程を含むことを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明のガス放電パネル及
びその製造方法に係る実施の形態を図面に基づいて説明
する。図1は、本実施の形態に係るPDPの要部の構成
を示す断面図である。
【0018】図に示すように、PDPはマトリクス表示
の単位発光領域に一対の表示電極3とアドレス電極8と
は対応する3電極構造を有し、蛍光体の配置形態による
分類の上で反射型と呼称される面放電型PDPである。
【0019】図2のPDPとの構造上の相違点は、バリ
ア層9が2層構造を有している点である。すなわち、バ
リア層9は、アドレス電極8側のバリア層9bと隔壁1
0側のバリア層9aとから構成されている。
【0020】以下、バリア層9の形成工程を中心に製造
方法について図1を参照して説明する。バック基板6の
製造に際しては、まず、印刷や蒸着などによってガラス
基板上にアドレス電極8を形成する。
【0021】次にアドレス電極8を被覆するように、バ
ックパネルガラス7の表面に溶融性ガラスペーストを塗
布して、バリア層9を形成する。
【0022】このとき、平均粒径5μmの酸化チタン8
wt%を含有した低融点鉛ガラス(酸化鉛の組成比60
wt%、軟化点580℃)を主成分のガラス材料として
含むペーストを用い、焼成を行い、バリア層9bを形成
する。
【0023】焼成後のバリア層9bは、表面粗さが5〜
6μmの粗い面、すなわち酸化チタン材料の大きさに依
存した凸凹を有する面となる。
【0024】続いてバリア層9bの上に、透明性のバリ
ア層9a(例えばPLS3244)を印刷、乾燥後に所
定の温度(例えば580℃)で焼成を行う。バリア層9
bの凹凸は、バリア層9aによって解消され、平滑性は
極めて高い。バリア層9bの膜厚は、3μm以上の時に
バリア層9aの凹凸は完全に解消され、より望ましい。
【0025】その後、隔壁形成を行う。隔壁形成は、例
えば以下に示すプラズマ溶射法で行う。図3は隔壁形成
する際に用いるプラズマ溶射装置とバックパネルガラス
7との概略図である。
【0026】バリア層を設けたパック基板6に感光性フ
ィルム23(例えば、東京応化工業株式会社製、型番α
−450T)と所定のパターン孔を有するフォトマスク
を重ね合わせる。しかる後、所定の露光量(例えば25
mJ/cm2)で紫外線を照射し、所定の現像液(例え
ば0.5wt%の炭酸ナトリウム水溶液)を行い、フォ
トマスクを通して露光されなかった感光性フィルムの部
分を除去し、開口部24を形成する。
【0027】次いで、陰極14と陽極15の間に電源1
6を用いて、電界を印加しながら直流アーク17を発生
させ、作動ガス(アルゴンガス)18を流してアークプ
ラズマジェット19を生成させる。尚、20はノズル、
21は溶射材料、22は粉末供給ボートである。
【0028】隔壁材料として、平均粒径5μmの酸化珪
素を使用し、所定の電力(例えば5kW)のプラズマジ
ェットを生成させ、開口部24に、感光性フィルム23
をマスクとして所定の時間溶射し、所定の剥離液(例え
ば0.5wt%の水酸化ナトリウム水溶液)にて感光性
フィルムの除去後、ガラスペーストの焼成(例えば58
0℃、30分)を行い、所定の洗浄液(例えば0.1w
t%の塩酸)にて洗浄するものである。
【0029】上述の実施の形態によれば、隔壁形成にお
ける現像工程、剥離工程での塩基性処理液による処理や
酸性処理液による洗浄工程を経ても、バリア層の剥離、
溶解等はいっさい起こらず、安定性および強度が極めて
高い隔壁を形成することができる。
【0030】また、反射層の色を規定しなかったが、ガ
ス放電パネルの色調が変化しないために、白色すなわち
反射特性に可視光での波長依存性が無いことが望まし
い。
【0031】また、バリア層9aの組成として、酸化チ
タン8wt%の例を示したが、焼成後に反射性を示す材
料であればこれに限定されるものではない。ただし、黒
色顔料を含まないガラス粉末材料20wt%以上と、前
記ガラス粉末材料との屈折率に差がある粉末材料からな
る材料を少なくとも1種類以上5〜80wt%を含むガ
ラス材からなる組成のとき、反射性が良好で望ましい。
【0032】また、バリア層9a及びバリア層9bの軟
化点、焼成温度には特に制限はないが、バリア層9bを
印刷、焼成後にバリア層9aを印刷、焼成する場合、バ
リア層9bの軟化点はバリア層9aを焼成する温度より
高い方が、バリア層9aの焼成の際にバリア層9bの膜
表面が乱れず、望ましい。さらに、バリア層9bの軟化
点とバリア層9aの焼成温度との差が10℃から100
℃が最も望ましい。
【0033】また、2層のバリア層は、順次印刷、焼成
を行っても、2層同時に印刷後に一括焼成を行ってもよ
い。膜安定性からは、各層独立に焼成を行うことが望ま
しいが、工程の簡略化を行うために、同時焼成が望まし
い。
【0034】なお、本実施の形態では、隔壁形成をプラ
ズマ溶射法で実施する際の処理工程を述べたが、他にサ
ンドブラスト法、リフトオフ法など、感光性フィルムを
利用し、塩基性処理液や酸性処理液による感光性樹脂の
現像工程または感光性樹脂の剥離工程を有するガス放電
パネルの製造方法やフォトペースト法など、感光性樹脂
を利用しないが、塩基性処理液や酸性処理液による現像
工程を有するガス放電パネルの製造方法、または、バリ
ア層形成後に塩基性処理液や酸性処理液を利用して基板
の洗浄を行う工程を有するガス放電パネルの製造方法に
も有効である。
【0035】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、反射性が
高いバリア層と、安定性に優れた隔壁を同時に有するガ
ス放電パネルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態におけるPDPの要部断
面図
【図2】従来のプラズマディスプレイ装置の構成を示す
斜視図
【図3】本実施の形態におけるプラズマ溶射装置とバッ
クパネルとの概略図
【符号の説明】
1 フロント基板 2 フロントパネルガラス 3 表示電極 4 誘電体 5 保護膜 6 バック基板 7 バックパネルガラス 8 アドレス電極 9a (隔壁側の)バリア層 9b (アドレス電極側の)バリア層 10 隔壁 11 蛍光体 12 放電空間 13 チップ管 14 陰極 15 陽極 16 電源 17 直流アーク 18 作動ガス 19 アークプラズマジェット 20 ノズル 21 溶射材料 22 粉末供給ボート 23 感光性フィルム 24 開口部
フロントページの続き (72)発明者 大谷 光弘 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 青木 正樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 大谷 和夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 桐原 信幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平3−20926(JP,A) 特開 平8−77931(JP,A) 特開 平8−212929(JP,A) 特開 平8−293259(JP,A) 特開 平9−213215(JP,A) 特開 平10−233171(JP,A) 特開 平10−334811(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 11/02 H01J 9/02

Claims (17)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1電極を有する第1パネル基板と、前
    記第1パネル基板と対向配置された第2電極を有する第
    2パネル基板と、前記第1と第2パネル基板との間にガ
    ス放電用空間を形成し、前記第2電極を被覆するバリア
    層と、前記バリア層の上に配置され、前記ガス放電用空
    間を区切る隔壁とを備えるガス放電パネルであって、 前記バリア層が少なくとも2層からなり、前記第2電極
    に接触する第1層は光反射性の材料とガラス材料を含
    み、前記隔壁に接触する第2層は光透過性のガラス材料
    を含むガス放電パネル。
  2. 【請求項2】 前記光反射性の材料は、白色であること
    を特徴とする請求項1記載のガス放電パネル。
  3. 【請求項3】 前記バリア層の第1層は、前記ガラス材
    料として黒色顔料を含まないガラス粉末材料20重量%
    以上と、前記光反射性の材料として、前記ガラス粉末材
    料と異なる屈折率を有する粉末材料からなる材料を少な
    くとも1種類以上5〜80重量%を含むことを特徴とす
    る請求項1又は2記載のガス放電パネル。
  4. 【請求項4】 前記第1層の軟化点は前記第2層の焼成
    温度より高いことを特徴とする請求項1〜請求項3のい
    ずれかに記載のガス放電パネル。
  5. 【請求項5】 前記第1層の軟化点は、前記第2層の焼
    成温度より高く、その差が10℃以上100℃以下であ
    ることを特徴とする請求項4記載のガス放電パネル。
  6. 【請求項6】 前記第1層の膜厚は3μm以上であるこ
    とを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の
    ガス放電パネル。
  7. 【請求項7】 第1電極を有する第1パネル基板と、前
    記第1パネル基板と対向する、第2電極を有する第2パ
    ネル基板と、前記第1と第2パネル基板との間にガス放
    電用空間を形成し、前記第2電極を被覆するバリア層
    と、前記バリア層の上に配置され、前記ガス放電用空間
    を区切る隔壁とを備えるガス放電パネルの製造方法であ
    って、 前記バリア層を製造する工程が、光反射性の材料とガラ
    ス材料により第1層を形成する第1層形成工程と、前記
    第1層形成後に前記第1層の上部に光透過性を有する
    ラス材料により第2層を形成する第2層形成工程とを含
    むガス放電パネルの製造方法。
  8. 【請求項8】 前記第1層形成工程および前記第2層形
    成工程は、少なくとも溶融性ガラスと有機バインダーと
    有機溶剤とを含む部材を塗布、乾燥する工程を含むこと
    を特徴とする請求項7記載のガス放電パネルの製造方
    法。
  9. 【請求項9】 前記第2層形成工程の後に、前記第1層
    と前記第2層との一括焼成する工程を含むことを特徴と
    する請求項7又は請求項8記載のガス放電パネルの製造
    方法。
  10. 【請求項10】 前記第1層形成工程および前記第2層
    形成工程は、それぞれ焼成工程を含むことを特徴とする
    請求項7又は請求項8記載のガス放電パネルの製造方
    法。
  11. 【請求項11】 前記第1層の軟化点は、前記第2層の
    焼成温度より高いことを特徴とする請求項10記載のガ
    ス放電パネルの製造方法。
  12. 【請求項12】 前記第2層形成工程の後に、前記第2
    層の少なくとも一部を塩基性または酸性処理液に接触さ
    せる処理液接触工程を有することを特徴とする請求項
    〜請求項11記載のガス放電パネルの製造方法。
  13. 【請求項13】 前記隔壁を形成する隔壁形成工程に前
    記処理液接触工程を含むことを特徴とする請求項12記
    載のガス放電パネルの製造方法。
  14. 【請求項14】 前記隔壁形成工程は、感光性樹脂の現
    像工程を含み、かつ前記現像工程が前記処理液接触工程
    を含むことを特徴とする請求項13記載のガス放電パネ
    ルの製造方法。
  15. 【請求項15】 前記隔壁形成工程は、感光性樹脂の剥
    離工程を含み、かつ前記剥離工程が前記処理液接触工程
    を含むことを特徴とする請求項13記載のガス放電パネ
    ルの製造方法。
  16. 【請求項16】 前記隔壁を形成する隔壁形成工程は、
    プラズマ溶射法を用いて隔壁材料を溶射する工程を含む
    ことを特徴とする請求項7〜請求項15のいずれかに記
    載のガス放電パネルの製造方法。
  17. 【請求項17】 基板洗浄工程は、前記処理液接触工程
    である請求項12記載のガス放電パネルの製造方法。
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