JP3434097B2 - 微動機構 - Google Patents
微動機構Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路の露光装
置や干渉計等に使用する微動機構に関する。
置や干渉計等に使用する微動機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、干渉計等においては、レンズ等の
機能素子に傾きを生じさせることなく直線方向に微小量
移動させる微動機構が使用されている。
機能素子に傾きを生じさせることなく直線方向に微小量
移動させる微動機構が使用されている。
【０００３】このような微動機構としては、図１０乃至
図１３に示すような微動機構が用いられている。図１０
は平面図、図１１は図１０におけるＡ−Ａ側断面図、図
１２は図１０における一部を破断したＢ−Ｂ側断面図で
ある。また図１３はこの微動機構に光を射出するレンズ
系および微動させるレンズ系を配置したときのＡ−Ａ側
断面図である。
図１３に示すような微動機構が用いられている。図１０
は平面図、図１１は図１０におけるＡ−Ａ側断面図、図
１２は図１０における一部を破断したＢ−Ｂ側断面図で
ある。また図１３はこの微動機構に光を射出するレンズ
系および微動させるレンズ系を配置したときのＡ−Ａ側
断面図である。
【０００４】図１０乃至図１２において、６０は円筒状
の固定部材であり、円筒状の支持枠６３と、この支持枠
６３の底部に設けた環状の固定ベース６２とを具備し、
前記固定ベース６２にはその中央に穴６１を備え、ま
た、支持枠６３の内周部の下側に環状の支持縁６４を突
設することにより構成される。
の固定部材であり、円筒状の支持枠６３と、この支持枠
６３の底部に設けた環状の固定ベース６２とを具備し、
前記固定ベース６２にはその中央に穴６１を備え、ま
た、支持枠６３の内周部の下側に環状の支持縁６４を突
設することにより構成される。
【０００５】また、図１０乃至図１２において、６５は
移動部材であり、この移動部材６５は、前記固定部材６
０の固定ベース６２に穿設された穴６１の内径とほぼ同
一径の内径からなる円筒状の枠６６と、この枠６６の外
周の上部に突設した環状の支持縁６７とにより構成され
る。
移動部材であり、この移動部材６５は、前記固定部材６
０の固定ベース６２に穿設された穴６１の内径とほぼ同
一径の内径からなる円筒状の枠６６と、この枠６６の外
周の上部に突設した環状の支持縁６７とにより構成され
る。
【０００６】さらに、固定部材６０と移動部材６５と
は、上下配置の一対の環状の板バネ６８、６９により連
結され、これにより、移動部材６５は、固定部材６０内
でこの固定部材６０と同一軸上を上下方向に移動可能と
なっている。即ち、前記板バネ６８、６９は、それぞれ
の外周縁を固定部材６０の内周壁部に埋設固定するとと
もに内周縁を移動部材６５の外周壁部に埋設固定する状
態で固定部材６０と移動部材６５との間に介装されてい
る。
は、上下配置の一対の環状の板バネ６８、６９により連
結され、これにより、移動部材６５は、固定部材６０内
でこの固定部材６０と同一軸上を上下方向に移動可能と
なっている。即ち、前記板バネ６８、６９は、それぞれ
の外周縁を固定部材６０の内周壁部に埋設固定するとと
もに内周縁を移動部材６５の外周壁部に埋設固定する状
態で固定部材６０と移動部材６５との間に介装されてい
る。
【０００７】図１１、図１２に示す７０は環状の梃子部
材であり、この梃子部材７０は、固定部材６０と移動部
材６５間に介装されるとともに、この梃子部材７０と固
定部材６０の支持縁６４間に対向せしめ、支点連結部
（支点として作用する）としての支点バネ７１、７２を
取り付けることにより、前記梃子部材７０を固定部材６
０に連結している。
材であり、この梃子部材７０は、固定部材６０と移動部
材６５間に介装されるとともに、この梃子部材７０と固
定部材６０の支持縁６４間に対向せしめ、支点連結部
（支点として作用する）としての支点バネ７１、７２を
取り付けることにより、前記梃子部材７０を固定部材６
０に連結している。
【０００８】また、移動部材６５の支持縁６７と、梃子
部材７０との間にピエゾ素子（力点として作用する）７
３を取り付けるとともに、このピエゾ素子７３と前記移
動部材６５に関して対向する位置において、移動部材６
５の支持縁６７に末端を固定して取り付けた支点部材７
４の先端７４ａ（作用点として作用する）を梃子部材７
０の図１２における上面に当接させつつ配置することに
より、梃子部材７０をピエゾ素子７３、支点部材７４を
介して移動部材６５に連結させている。
部材７０との間にピエゾ素子（力点として作用する）７
３を取り付けるとともに、このピエゾ素子７３と前記移
動部材６５に関して対向する位置において、移動部材６
５の支持縁６７に末端を固定して取り付けた支点部材７
４の先端７４ａ（作用点として作用する）を梃子部材７
０の図１２における上面に当接させつつ配置することに
より、梃子部材７０をピエゾ素子７３、支点部材７４を
介して移動部材６５に連結させている。
【０００９】以上の構成からなる従来の微動機構におい
て、図１３に示すように、レンズ７９と枠８０からなる
微動させたいレンズ系７８を移動部材６５にセットした
後、このンズ系７５から射出され、前記固定部材６０の
固定ベース６２に開いた穴６１を透過した所望の光線
を、移動部材６５に取り付けた別のレンズ系７８に照射
するとともに、ピエゾ素子７３に制御回路を介して駆動
信号を入力しつつ駆動することにより移動部材６５を微
動させ、レンズ系７８のピント位置を調整しつつ使用す
る。
て、図１３に示すように、レンズ７９と枠８０からなる
微動させたいレンズ系７８を移動部材６５にセットした
後、このンズ系７５から射出され、前記固定部材６０の
固定ベース６２に開いた穴６１を透過した所望の光線
を、移動部材６５に取り付けた別のレンズ系７８に照射
するとともに、ピエゾ素子７３に制御回路を介して駆動
信号を入力しつつ駆動することにより移動部材６５を微
動させ、レンズ系７８のピント位置を調整しつつ使用す
る。
【００１０】また、ピエゾ素子７３を駆動することによ
り、移動部材６５の変位量は、固定部材６０とこれに板
バネ６８、６９を介して保持される移動部材６５との間
に介装されている梃子部材７０を介して半減されるとと
もに、支点部材７４を介して環状の板バネ６８、６９に
保持される移動部材６５が固定部材６０の同軸上を軸方
向に対して傾くことなく変位する。
り、移動部材６５の変位量は、固定部材６０とこれに板
バネ６８、６９を介して保持される移動部材６５との間
に介装されている梃子部材７０を介して半減されるとと
もに、支点部材７４を介して環状の板バネ６８、６９に
保持される移動部材６５が固定部材６０の同軸上を軸方
向に対して傾くことなく変位する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来技術では、図１３に示すように、別のレンズ系７
５を固定部材６０の固定ベース６２に取り付け、微動さ
せたいレンズ系７８を移動部材６５に取り付けている。
このため、レンズ系７５と、レンズ系７８の間が大きく
開いてしまい、微動機構の省スペース化を図れないとい
う課題がある。
た従来技術では、図１３に示すように、別のレンズ系７
５を固定部材６０の固定ベース６２に取り付け、微動さ
せたいレンズ系７８を移動部材６５に取り付けている。
このため、レンズ系７５と、レンズ系７８の間が大きく
開いてしまい、微動機構の省スペース化を図れないとい
う課題がある。
【００１２】上述した従来技術において、レンズ系７５
を、移動部材の円筒状枠６６の内部に配置することは可
能であるが、この場合には、レンズ系７５を固定ベース
６２に固定する枠が必要となり、この枠を円筒状枠６６
の内部に収めなければならず、微動機構が非常に複雑と
なり、微動機構の低コトス化を図れないという課題があ
る。
を、移動部材の円筒状枠６６の内部に配置することは可
能であるが、この場合には、レンズ系７５を固定ベース
６２に固定する枠が必要となり、この枠を円筒状枠６６
の内部に収めなければならず、微動機構が非常に複雑と
なり、微動機構の低コトス化を図れないという課題があ
る。
【００１３】本発明は、このような従来の微動機構の不
具合を解決し、従来の微動機構に比べ小型化、低コスト
化を図ることが可能な微動機構を提供する。
具合を解決し、従来の微動機構に比べ小型化、低コスト
化を図ることが可能な微動機構を提供する。
【００１４】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
る微動機構は機能素子を内側に有した固定部材と、この
固定部材の外側に配置され、前記固定部材により弾性部
材を介して軸方向に移動可能に支持された微動させる機
能素子を取り付けた移動部材と、前記固定部材と移動部
材との間に介装され、一方の面には前記移動部材の軸方
向に変位する微動素子と該微動素子に対向せしめた支点
部材とを備え、他方の面には前記微動素子の位置と９０
度離間した位置に対向する配置に一対の支点連結部を設
けた環状の梃子部材とを有し、前記微動素子を力点と
し、前記支点連結部を支点とし、前記支点部材を作用点
として、前記梃子部材を介して前記移動部材を微動させ
る機能素子とともに微動するようにしたことを特徴とす
るものである。
る微動機構は機能素子を内側に有した固定部材と、この
固定部材の外側に配置され、前記固定部材により弾性部
材を介して軸方向に移動可能に支持された微動させる機
能素子を取り付けた移動部材と、前記固定部材と移動部
材との間に介装され、一方の面には前記移動部材の軸方
向に変位する微動素子と該微動素子に対向せしめた支点
部材とを備え、他方の面には前記微動素子の位置と９０
度離間した位置に対向する配置に一対の支点連結部を設
けた環状の梃子部材とを有し、前記微動素子を力点と
し、前記支点連結部を支点とし、前記支点部材を作用点
として、前記梃子部材を介して前記移動部材を微動させ
る機能素子とともに微動するようにしたことを特徴とす
るものである。
【００１５】請求項２記載の発明に係る微動機構は、第
１の光学系を内周部にネジ結合で軸方向に移動可能に備
えた円筒状の固定部材と、この固定部材の外側に配置さ
れ、前記固定部材により弾性部材を介して軸方向に移動
可能に支持されるとともに光を微動させる第２の光学系
を取り付けた円筒状の移動部材と、前記固定部材と移動
部材との間に介装され、一方の面には前記移動部材の軸
方向に変位する微動素子と該微動素子に対向せしめた支
点部材とを備え、他方の面には前記微動素子の位置と９
０度離間した位置に対向する配置に一対の支点連結部を
設けた環状の梃子部材とを有し、前記微動素子を力点と
し、前記支点連結部を支点とし、前記支点部材を作用点
として、前記梃子部材を介して前記移動部材を第２の光
学系とともに微動させるとともに、前記第１の光学系の
円筒状の固定部材に対する軸方向の移動による光学調整
を可能としたことを特徴とするものである。
１の光学系を内周部にネジ結合で軸方向に移動可能に備
えた円筒状の固定部材と、この固定部材の外側に配置さ
れ、前記固定部材により弾性部材を介して軸方向に移動
可能に支持されるとともに光を微動させる第２の光学系
を取り付けた円筒状の移動部材と、前記固定部材と移動
部材との間に介装され、一方の面には前記移動部材の軸
方向に変位する微動素子と該微動素子に対向せしめた支
点部材とを備え、他方の面には前記微動素子の位置と９
０度離間した位置に対向する配置に一対の支点連結部を
設けた環状の梃子部材とを有し、前記微動素子を力点と
し、前記支点連結部を支点とし、前記支点部材を作用点
として、前記梃子部材を介して前記移動部材を第２の光
学系とともに微動させるとともに、前記第１の光学系の
円筒状の固定部材に対する軸方向の移動による光学調整
を可能としたことを特徴とするものである。
【００１６】請求項３記載の発明に係る微動機構は、第
１の光学系を内周部に軸方向に移動可能に、かつ、着脱
可能に備えた円筒状の固定部材と、この固定部材の外側
に配置され、前記固定部材により弾性部材を介して軸方
向に移動可能に支持されるとともに光を微動させる第２
の光学系を取り付けた円筒状の移動部材と、前記固定部
材と移動部材との間に介装され、一方の面には前記移動
部材の軸方向に変位する微動素子と該微動素子に対向せ
しめた支点部材とを備え、他方の面には前記微動素子の
位置と９０度離間した位置に対向する配置に一対の支点
連結部を設けた環状の梃子部材とを有し、前記微動素子
を力点とし、前記支点連結部を支点とし、前記支点部材
を作用点として、前記梃子部材を介して前記移動部材を
第２の光学系とともに微動させるとともに、前記第１の
光学系の固定部材に対する着脱によりこの第１の光学系
を取換え可能としたことを特徴とするものである。
１の光学系を内周部に軸方向に移動可能に、かつ、着脱
可能に備えた円筒状の固定部材と、この固定部材の外側
に配置され、前記固定部材により弾性部材を介して軸方
向に移動可能に支持されるとともに光を微動させる第２
の光学系を取り付けた円筒状の移動部材と、前記固定部
材と移動部材との間に介装され、一方の面には前記移動
部材の軸方向に変位する微動素子と該微動素子に対向せ
しめた支点部材とを備え、他方の面には前記微動素子の
位置と９０度離間した位置に対向する配置に一対の支点
連結部を設けた環状の梃子部材とを有し、前記微動素子
を力点とし、前記支点連結部を支点とし、前記支点部材
を作用点として、前記梃子部材を介して前記移動部材を
第２の光学系とともに微動させるとともに、前記第１の
光学系の固定部材に対する着脱によりこの第１の光学系
を取換え可能としたことを特徴とするものである。
【００１７】請求項１記載の発明に係る微動機構によれ
ば、固定部材の内側に機能素子を配置し、前記微動素子
を力点とし、前記支点連結部を支点とし、前記支点部材
を作用点として、前記梃子部材を介して前記移動部材を
微動させる機能素子とともに微動するようにしたので、
従来例に比べ部品点数が減少し、かつ、前記両機能素子
間の距離を短くでき、構造が簡略となって、小型化、低
コスト化を図ることが可能となる。
ば、固定部材の内側に機能素子を配置し、前記微動素子
を力点とし、前記支点連結部を支点とし、前記支点部材
を作用点として、前記梃子部材を介して前記移動部材を
微動させる機能素子とともに微動するようにしたので、
従来例に比べ部品点数が減少し、かつ、前記両機能素子
間の距離を短くでき、構造が簡略となって、小型化、低
コスト化を図ることが可能となる。
【００１８】請求項２記載の発明に係る微動機構によれ
ば、請求項１記載の発明に係る微動機構と同様部品点数
が減少し、かつ、前記第１、第２の光学系間の距離を短
くでき、構造が簡略となって、小型化、低コスト化を図
ることが可能となるとともに、第１の光学系の円筒状の
固定部材に対する軸方向の移動による光学調整もできる
ので、ピント調整等が容易となる。
ば、請求項１記載の発明に係る微動機構と同様部品点数
が減少し、かつ、前記第１、第２の光学系間の距離を短
くでき、構造が簡略となって、小型化、低コスト化を図
ることが可能となるとともに、第１の光学系の円筒状の
固定部材に対する軸方向の移動による光学調整もできる
ので、ピント調整等が容易となる。
【００１９】請求項３記載の発明に係る微動機構によれ
ば、請求項２記載の発明に係る微動機構と同様部品点数
が減少し、かつ、前記第１、第２の光学系間の距離を短
くでき、構造が簡略となって、小型化、低コスト化を図
ることが可能となるとともに、第１の光学系を取換えで
きるので、既存の第１の光学系に対してこの微動機構を
取り付け光学調整を行うことが可能となる。
ば、請求項２記載の発明に係る微動機構と同様部品点数
が減少し、かつ、前記第１、第２の光学系間の距離を短
くでき、構造が簡略となって、小型化、低コスト化を図
ることが可能となるとともに、第１の光学系を取換えで
きるので、既存の第１の光学系に対してこの微動機構を
取り付け光学調整を行うことが可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００２１】［実施の形態１］図１乃至図３は、本発明
の実施の形態１の微動機構を示し、図１は実施の形態１
の微動機構の平面図、図２は図１におけるＣ−Ｃ側断面
図、図３は図１における一部を破断したＤ−Ｄ側断面図
をそれぞれ示すものである。
の実施の形態１の微動機構を示し、図１は実施の形態１
の微動機構の平面図、図２は図１におけるＣ−Ｃ側断面
図、図３は図１における一部を破断したＤ−Ｄ側断面図
をそれぞれ示すものである。
【００２２】図１乃至図３において、２１は固定部材で
あり、この固定部材２１は、中央に穴２２を穿設した円
筒状の支持枠５２の外周部の上部に、環状の支持縁２３
を突設するとともに、支持枠５２の内周部には、穴２２
を通り、微動させる機能素子である第２の光学系として
のレンズ系３６に入射する光を射出する機能素子である
第１のレンズ系２４を配置している。
あり、この固定部材２１は、中央に穴２２を穿設した円
筒状の支持枠５２の外周部の上部に、環状の支持縁２３
を突設するとともに、支持枠５２の内周部には、穴２２
を通り、微動させる機能素子である第２の光学系として
のレンズ系３６に入射する光を射出する機能素子である
第１のレンズ系２４を配置している。
【００２３】固定部材２１の外周には、移動部材２５を
配置している。この移動部材２５は、微動させる第２の
光学系としてのレンズ系３６の取り付け部が挿入可能な
穴２８を底部に有する略円筒状の枠体２６と、この枠体
２６の内周の穴２８側に突設した環状の支持縁２７とに
より構成している。
配置している。この移動部材２５は、微動させる第２の
光学系としてのレンズ系３６の取り付け部が挿入可能な
穴２８を底部に有する略円筒状の枠体２６と、この枠体
２６の内周の穴２８側に突設した環状の支持縁２７とに
より構成している。
【００２４】また、移動部材２５は、固定部材２１の外
側に同一軸上を上下方向に移動可能となるように一対の
環状の板バネ２９、３０により保持されている。一対の
板バネ２９、３０は、それぞれの外周縁を移動部材２５
の内周壁部に埋設固定するとともに、内周縁を固定部材
２１の外周壁部に埋設固定する構造であり、これによ
り、固定部材２１と移動部材２５間に介装される状態と
なっている。
側に同一軸上を上下方向に移動可能となるように一対の
環状の板バネ２９、３０により保持されている。一対の
板バネ２９、３０は、それぞれの外周縁を移動部材２５
の内周壁部に埋設固定するとともに、内周縁を固定部材
２１の外周壁部に埋設固定する構造であり、これによ
り、固定部材２１と移動部材２５間に介装される状態と
なっている。
【００２５】図２、図３において、３１は環状の梃子部
材で、この梃子部材３１は、固定部材２１と移動部材２
５との間に介装されるとともに、この梃子部材３１と移
動部材２５の支持縁２７との間に固定部材２１に関して
対向する配置で支点連結部（支点として作用する）とし
ての支点バネ３２、３３を取り付けることにより、梃子
部材３１を支点バネ３２、３３を介して移動部材２５に
連結している。
材で、この梃子部材３１は、固定部材２１と移動部材２
５との間に介装されるとともに、この梃子部材３１と移
動部材２５の支持縁２７との間に固定部材２１に関して
対向する配置で支点連結部（支点として作用する）とし
ての支点バネ３２、３３を取り付けることにより、梃子
部材３１を支点バネ３２、３３を介して移動部材２５に
連結している。
【００２６】また、固定部材２１の支持縁２３と、梃子
部材３１との間にピエゾ素子（力点として作用する）３
４を取り付けるとともに、このピエゾ素子３４と固定部
材２１に関して対向位置に、固定部材２１の支持縁２３
に端部を固定して取り付けた支点部材３５の先端３５ａ
（作用点として作用する）を梃子部材３１に当接させつ
つ配置することにより、梃子部材３１をピエゾ素子３
４、支点部材３５を介して固定部材２１に連結してい
る。
部材３１との間にピエゾ素子（力点として作用する）３
４を取り付けるとともに、このピエゾ素子３４と固定部
材２１に関して対向位置に、固定部材２１の支持縁２３
に端部を固定して取り付けた支点部材３５の先端３５ａ
（作用点として作用する）を梃子部材３１に当接させつ
つ配置することにより、梃子部材３１をピエゾ素子３
４、支点部材３５を介して固定部材２１に連結してい
る。
【００２７】微動させるレンズ系３６は、レンズ３８
と、このレンズ３８を移動部材２５に固定させる枠３７
とから構成している。
と、このレンズ３８を移動部材２５に固定させる枠３７
とから構成している。
【００２８】上述した微動機構において、微動させたい
レンズ系３６を、移動部材２５にセットした後、前記レ
ンズ系２４に入射した光４１は光４２となり、固定部材
２１の穴２２を透過し、微動させたいレンズ系３６に入
射し、このレンズ系３６から所望の光４３を射出させる
とともに、前記ピエゾ素子３４に図示しない制御回路を
介して駆動信号を入力しつつ駆動することにより、ピエ
ゾ素子３４の変位で移動部材２５を微動し、レンズ系３
６のピント位置を調整する。
レンズ系３６を、移動部材２５にセットした後、前記レ
ンズ系２４に入射した光４１は光４２となり、固定部材
２１の穴２２を透過し、微動させたいレンズ系３６に入
射し、このレンズ系３６から所望の光４３を射出させる
とともに、前記ピエゾ素子３４に図示しない制御回路を
介して駆動信号を入力しつつ駆動することにより、ピエ
ゾ素子３４の変位で移動部材２５を微動し、レンズ系３
６のピント位置を調整する。
【００２９】また、前記ピエゾ素子３４を駆動すること
により、その変位量は固定部材２１と、この固定部材２
１より板バネ２９、３０を介して保持される移動部材２
５との間に介装されている梃子部材３１を介して半減さ
れるとともに、支点部材３５を介して環状の板バネ２
９、３０に保持される移動部材２５が固定部材２１の同
軸上を軸方向に対して傾くことなく変位せしめられる。
により、その変位量は固定部材２１と、この固定部材２
１より板バネ２９、３０を介して保持される移動部材２
５との間に介装されている梃子部材３１を介して半減さ
れるとともに、支点部材３５を介して環状の板バネ２
９、３０に保持される移動部材２５が固定部材２１の同
軸上を軸方向に対して傾くことなく変位せしめられる。
【００３０】本実施の形態１によれば、光を射出するレ
ンズ系２４を直接固定部材２１の穴２２に固定配置して
いるので、従来例に比べ、微動機構を構成する部品の数
を少なくすることができ、構造が簡略化して省スペース
化、低コスト化を図れる微動機構を提供することができ
る。
ンズ系２４を直接固定部材２１の穴２２に固定配置して
いるので、従来例に比べ、微動機構を構成する部品の数
を少なくすることができ、構造が簡略化して省スペース
化、低コスト化を図れる微動機構を提供することができ
る。
【００３１】また、図２、図３に示すように、レンズ系
３６の外径が入るような穴３９を穿設したカバー４０内
に、上述した微動機構を収納すれば、移動部材２５に不
用意に手や物が接触することを防げ、この微動機構の保
護が万全となる。
３６の外径が入るような穴３９を穿設したカバー４０内
に、上述した微動機構を収納すれば、移動部材２５に不
用意に手や物が接触することを防げ、この微動機構の保
護が万全となる。
【００３２】［実施の形態２］次に、図４乃至図６を参
照して本発明の第２実施の形態を説明する。図４は実施
の形態２の微動機構の平面図であり、図５は図４におけ
るＥ−Ｅ側断面図であり、図６は図４における一部を破
断したＦ−Ｆ側断面図である。
照して本発明の第２実施の形態を説明する。図４は実施
の形態２の微動機構の平面図であり、図５は図４におけ
るＥ−Ｅ側断面図であり、図６は図４における一部を破
断したＦ−Ｆ側断面図である。
【００３３】本実施の形態２では、実施の形態１におけ
る固定部材２１の穴２２に対応する部分を雌ネジ４４と
し、光を射出させるレンズ系２４を保持するレンズ枠４
５の外周に設けた雄ネジ４６を前記雌ネジ４４に螺合す
る構成としたことが特徴である。この他の構成は実施の
形態１の構成と同様である。
る固定部材２１の穴２２に対応する部分を雌ネジ４４と
し、光を射出させるレンズ系２４を保持するレンズ枠４
５の外周に設けた雄ネジ４６を前記雌ネジ４４に螺合す
る構成としたことが特徴である。この他の構成は実施の
形態１の構成と同様である。
【００３４】実施の形態２の微動機構において、光を射
出させるレンズ系２４は、レンズ枠４５が雄ネジ４６と
雌ネジ４４との螺合構造により固定部材２１に連結され
ているので、本微動機構を例えば干渉計に取り付けた後
に、レンズ系２４から射出される光を所望の光になるよ
うに、レンズ枠４５を雄ネジ４６の雌ネジ４４に対する
回転で固定部材２１と同じ軸方向に移動させてピント位
置調整等の光学調整を容易に行うこととができる。
出させるレンズ系２４は、レンズ枠４５が雄ネジ４６と
雌ネジ４４との螺合構造により固定部材２１に連結され
ているので、本微動機構を例えば干渉計に取り付けた後
に、レンズ系２４から射出される光を所望の光になるよ
うに、レンズ枠４５を雄ネジ４６の雌ネジ４４に対する
回転で固定部材２１と同じ軸方向に移動させてピント位
置調整等の光学調整を容易に行うこととができる。
【００３５】本実施の形態２によれば、レンズ系２４を
固定部材２１の軸方向に移動可能であるので、本実施の
形態２の微動機構を干渉計等に取り付けた後、レンズ系
２４から射出される光が所望の光になるように、レンズ
枠４５を回転させるだけでこのレンズ系２４のピント位
置調整等の光学調整を外部から容易に行うことができ
る。
固定部材２１の軸方向に移動可能であるので、本実施の
形態２の微動機構を干渉計等に取り付けた後、レンズ系
２４から射出される光が所望の光になるように、レンズ
枠４５を回転させるだけでこのレンズ系２４のピント位
置調整等の光学調整を外部から容易に行うことができ
る。
【００３６】［実施の形態３］次に、図７乃至図９を参
照して本発明の第３実施の形態を説明する。図７は実施
の形態３の微動機構の平面図であり、図８は図７におけ
るＧ−Ｇ側断面図であり、図９は図７における一部を破
断したＨ−Ｈ側断面図である。
照して本発明の第３実施の形態を説明する。図７は実施
の形態３の微動機構の平面図であり、図８は図７におけ
るＧ−Ｇ側断面図であり、図９は図７における一部を破
断したＨ−Ｈ側断面図である。
【００３７】本実施の形態３では、実施の形態１におけ
る光を射出させるレンズ系２４を内部に保持するととも
に、円形の外周４９を有した円筒状のレンズ枠４８と、
このレンズ枠４８の外周４９と摺動可能に嵌合する穴５
１を備えるとともに、外周上端部に設けた鍔部５０ａに
前記レンズ枠４８の外周４９に当接させるネジ５３を配
置した前記固定部材２１と略同様な構造の固定部材５０
とを有することが特徴である。他の構成は実施の形態１
の構成と同様である。
る光を射出させるレンズ系２４を内部に保持するととも
に、円形の外周４９を有した円筒状のレンズ枠４８と、
このレンズ枠４８の外周４９と摺動可能に嵌合する穴５
１を備えるとともに、外周上端部に設けた鍔部５０ａに
前記レンズ枠４８の外周４９に当接させるネジ５３を配
置した前記固定部材２１と略同様な構造の固定部材５０
とを有することが特徴である。他の構成は実施の形態１
の構成と同様である。
【００３８】本実施の形態３の微動機構において、レン
ズ系２４を取り付けたレンズ枠４８を固定部材５０より
取り外したい場合（微動機構とレンズ系２４を取り付け
たレンズ枠４８とを分離させたい場合）固定部材５０の
ネジ５３を弛め、レンズ枠４８の外周４９と固定部材５
０の穴５１とを摺動させつつレンズ枠４８を軸方向に引
き抜くだけでよい。
ズ系２４を取り付けたレンズ枠４８を固定部材５０より
取り外したい場合（微動機構とレンズ系２４を取り付け
たレンズ枠４８とを分離させたい場合）固定部材５０の
ネジ５３を弛め、レンズ枠４８の外周４９と固定部材５
０の穴５１とを摺動させつつレンズ枠４８を軸方向に引
き抜くだけでよい。
【００３９】本実施の形態３によれば、レンズ枠４８を
例えば干渉計に取り付けたままの状態で微動機構をレン
ズ枠４８から取り外すことができ、再び微動機構を取り
付けた後に、レンズ系２４の光学調整をやり直す必要が
なくなる。
例えば干渉計に取り付けたままの状態で微動機構をレン
ズ枠４８から取り外すことができ、再び微動機構を取り
付けた後に、レンズ系２４の光学調整をやり直す必要が
なくなる。
【００４０】また、既存のレンズ枠４８の外周４９に合
わせて固定部材５０の穴５１を製作すれば、微動機構が
無かったレンズ系２４に、容易に微動機構を付加でき
る。更に、前記穴５１を共通とする複数の微動機構を製
作しておけば、固定部材５０のネジ５３を使用して微動
機構の交換が可能となり、保守、点検が容易になる。
わせて固定部材５０の穴５１を製作すれば、微動機構が
無かったレンズ系２４に、容易に微動機構を付加でき
る。更に、前記穴５１を共通とする複数の微動機構を製
作しておけば、固定部材５０のネジ５３を使用して微動
機構の交換が可能となり、保守、点検が容易になる。
【００４１】尚、上述した実施の形態１乃至３では、固
定部材の内側に機能素子としての光学系を配置した場合
について説明したが、機能素子としては光学系に限定さ
れるものではなく、レーザダイオード、ＬＥＤ等の各種
の光源素子でもよい。また、光学系としては、レンズに
代表される透過光学系の他、ミラーやプリズム等の反射
光学系でもよい。
定部材の内側に機能素子としての光学系を配置した場合
について説明したが、機能素子としては光学系に限定さ
れるものではなく、レーザダイオード、ＬＥＤ等の各種
の光源素子でもよい。また、光学系としては、レンズに
代表される透過光学系の他、ミラーやプリズム等の反射
光学系でもよい。
【００４２】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、従来例に
比べ部品点数が減少し、かつ、前記両機能素子間の距離
を短くでき、構造が簡略となって、小型化、低コスト化
を図ることが可能な微動機構を提供することができる。
比べ部品点数が減少し、かつ、前記両機能素子間の距離
を短くでき、構造が簡略となって、小型化、低コスト化
を図ることが可能な微動機構を提供することができる。
【００４３】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の効果に加えて、第１の光学系の固定部材に対
する軸方向の移動による光学調整も可能な微動機構を提
供することができる。
載の発明の効果に加えて、第１の光学系の固定部材に対
する軸方向の移動による光学調整も可能な微動機構を提
供することができる。
【００４４】請求項３記載の発明によれば、請求項２記
載の発明の効果に加えて、既存の第１の光学系に対して
この微動機構を取り付け光学調整を行うことが可能な微
動機構を提供することができる。
載の発明の効果に加えて、既存の第１の光学系に対して
この微動機構を取り付け光学調整を行うことが可能な微
動機構を提供することができる。
【図１】図１は実施の形態１の微動機構を示す平面図で
ある。
ある。
【図２】図１におけるＣ−Ｃ側断面図である。
【図３】図１における一部を破断したＤ−Ｄ側断面図で
ある。
ある。
【図４】実施の形態２の微動機構の平面図である。
【図５】図４におけるＥ−Ｅ側断面図である。
【図６】図４における一部を破断したＦ−Ｆ側断面図で
ある。
ある。
【図７】実施の形態３の微動機構の平面図である。
【図８】図７におけるＧ−Ｇ側断面図である。
【図９】図７における一部を破断したＨ−Ｈ側断面図で
ある。
ある。
【図１０】従来の微動機構の平面図である。
【図１１】図１０に示す微動機構におけるＡ−Ａ側断面
図である。
図である。
【図１２】図１０に示す微動機構おける一部を破断した
Ｂ−Ｂ側断面図である。
Ｂ−Ｂ側断面図である。
【図１３】図１０に示す微動機構に光を射出するレンズ
系および微動させるレンズ系を配置したときのＡ−Ａ側
断面図である。
系および微動させるレンズ系を配置したときのＡ−Ａ側
断面図である。
２１ 固定部材
２２ 穴
２３ 支持縁
２４ レンズ系
２５ 移動部材
２６ 枠体
２７ 支持縁
２９ 板バネ
３０ 板バネ
３１ 梃子部材
３２ 支点バネ
３３ 支点バネ
３４ ピエゾ素子
３６ レンズ系
３７ 枠
３８ レンズ
５２ 支持枠
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−139290（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−123831（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−256333（ＪＰ，Ａ)
特開 昭59−201237（ＪＰ，Ａ)
実開 昭61−171016（ＪＰ，Ｕ)
実開 平５−4115（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 7/04
G12B 5/00
H01L 41/09
Claims (3)
- 【請求項１】 機能素子を内側に有した固定部材と、 この固定部材の外側に配置され、前記固定部材により弾
性部材を介して軸方向に移動可能に支持された微動させ
る機能素子を取り付けた移動部材と、 前記固定部材と移動部材との間に介装され、一方の面に
は前記移動部材の軸方向に変位する微動素子と該微動素
子に対向せしめた支点部材とを備え、他方の面には前記
微動素子の位置と９０度離間した位置に対向する配置に
一対の支点連結部を設けた環状の梃子部材とを有し、 前記微動素子を力点とし、前記支点連結部を支点とし、
前記支点部材を作用点として、前記梃子部材を介して前
記移動部材を微動させる機能素子とともに微動するよう
にしたことを特徴とする微動機構。 - 【請求項２】 第１の光学系を内周部にネジ結合で軸方
向に移動可能に備えた円筒状の固定部材と、 この固定部材の外側に配置され、前記固定部材により弾
性部材を介して軸方向に移動可能に支持されるとともに
光を微動させる第２の光学系を取り付けた円筒状の移動
部材と、 前記固定部材と移動部材との間に介装され、一方の面に
は前記移動部材の軸方向に変位する微動素子と該微動素
子に対向せしめた支点部材とを備え、他方の面には前記
微動素子の位置と９０度離間した位置に対向する配置に
一対の支点連結部を設けた環状の梃子部材とを有し、 前記微動素子を力点とし、前記支点連結部を支点とし、
前記支点部材を作用点として、前記梃子部材を介して前
記移動部材を第２の光学系とともに微動させるととも
に、前記第１の光学系の円筒状の固定部材に対する軸方
向の移動による光学調整を可能としたこと、 を特徴とする微動機構。 - 【請求項３】 第１の光学系を内周部に軸方向に移動可
能に、かつ、着脱可能に備えた円筒状の固定部材と、 この固定部材の外側に配置され、前記固定部材により弾
性部材を介して軸方向に移動可能に支持されるとともに
光を微動させる第２の光学系を取り付けた円筒状の移動
部材と、 前記固定部材と移動部材との間に介装され、一方の面に
は前記移動部材の軸方向に変位する微動素子と該微動素
子に対向せしめた支点部材とを備え、他方の面には前記
微動素子の位置と９０度離間した位置に対向する配置に
一対の支点連結部を設けた環状の梃子部材とを有し、 前記微動素子を力点とし、前記支点連結部を支点とし、
前記支点部材を作用点として、前記梃子部材を介して前
記移動部材を第２の光学系とともに微動させるととも
に、前記第１の光学系の固定部材に対する着脱によりこ
の第１の光学系を取換え可能としたこと、 を特徴とする微動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25261895A JP3434097B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 微動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25261895A JP3434097B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 微動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0996752A JPH0996752A (ja) | 1997-04-08 |
| JP3434097B2 true JP3434097B2 (ja) | 2003-08-04 |
Family
ID=17239873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25261895A Expired - Fee Related JP3434097B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | 微動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3434097B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100649638B1 (ko) * | 2005-04-18 | 2006-11-27 | 삼성전기주식회사 | 조립성이 향상된 렌즈 이송장치 |
| CN113977258B (zh) * | 2021-12-27 | 2022-03-15 | 极限人工智能有限公司 | 一种双目镜头组装调试设备及组装调试方法 |
-
1995
- 1995-09-29 JP JP25261895A patent/JP3434097B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0996752A (ja) | 1997-04-08 |
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