JP3533936B2 - ウェーハの剥離方法及び剥離装置 - Google Patents
ウェーハの剥離方法及び剥離装置Info
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- JP3533936B2 JP3533936B2 JP9643698A JP9643698A JP3533936B2 JP 3533936 B2 JP3533936 B2 JP 3533936B2 JP 9643698 A JP9643698 A JP 9643698A JP 9643698 A JP9643698 A JP 9643698A JP 3533936 B2 JP3533936 B2 JP 3533936B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固定部材に接着剤
で接着されたウェーハ列から該ウェーハ列を構成する各
ウェーハを１枚宛剥離する方法及び装着に関する。
で接着されたウェーハ列から該ウェーハ列を構成する各
ウェーハを１枚宛剥離する方法及び装着に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体材料、磁性材料、セラミッ
クス等のウェーハを作製するに際しては、これらの材料
をインゴットの状態で固定部材に接着し、その後、ワイ
ヤソーを利用して、長さ方向の垂直方向にインゴットを
下からスライスすることが行われている。
クス等のウェーハを作製するに際しては、これらの材料
をインゴットの状態で固定部材に接着し、その後、ワイ
ヤソーを利用して、長さ方向の垂直方向にインゴットを
下からスライスすることが行われている。
【０００３】通常、ワイヤソーによるスライスは、固定
部材の一部に達するまで行われ、インゴットを各部分に
おいて完全に切り離すが、スライスによって形成された
ウェーハどうしはそのまま固定部材に接着されているた
め、固定部材から離れることなくウェーハ列を構成して
一体化されたまま残される。
部材の一部に達するまで行われ、インゴットを各部分に
おいて完全に切り離すが、スライスによって形成された
ウェーハどうしはそのまま固定部材に接着されているた
め、固定部材から離れることなくウェーハ列を構成して
一体化されたまま残される。
【０００４】上記のウェーハ列からウェーハを剥離する
作業は、従来、インゴットのスライス状態から固定部材
とインゴット（ウェーハ列）の上下を逆にして固定部材
とウェーハ列の接着部分を、接着剤軟化温度、例えば、
９０〜９５℃に保たれた温水に浸漬し、接着剤を軟化さ
せた状態で行っている。
作業は、従来、インゴットのスライス状態から固定部材
とインゴット（ウェーハ列）の上下を逆にして固定部材
とウェーハ列の接着部分を、接着剤軟化温度、例えば、
９０〜９５℃に保たれた温水に浸漬し、接着剤を軟化さ
せた状態で行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】直径が８インチ程度の
これまでのウェーハの場合、上記の方法で支障なく剥離
することができる。しかし、直径が１２インチにも及ぶ
大径で重量のある新しいウェーハの場合であると、固定
部材を上にウェーハ列を下にしたスライス状態から、そ
れらの上下を逆にして接着部分を温水槽に入れる際、或
いは入れた後に、ウェーハが自重で折れ曲がって厚さ方
向に倒れやすく、これまでの方法及び装置ではウェーハ
を支障なく剥離することが難しい。
これまでのウェーハの場合、上記の方法で支障なく剥離
することができる。しかし、直径が１２インチにも及ぶ
大径で重量のある新しいウェーハの場合であると、固定
部材を上にウェーハ列を下にしたスライス状態から、そ
れらの上下を逆にして接着部分を温水槽に入れる際、或
いは入れた後に、ウェーハが自重で折れ曲がって厚さ方
向に倒れやすく、これまでの方法及び装置ではウェーハ
を支障なく剥離することが難しい。
【０００６】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
ので、大径で重量のあるウェーハであっても支障なく的
確に剥離することができるウェーハの剥離方法及び剥離
装置を提供することを目的とする。
ので、大径で重量のあるウェーハであっても支障なく的
確に剥離することができるウェーハの剥離方法及び剥離
装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために以下の構成を採用した。すなわち、請求項
１記載のウェーハの剥離方法は、ウェーハ列からウェー
ハを１枚宛剥離するウェーハの剥離方法であって、固定
部材に接着されたウェーハ列を、上記固定部材を上にし
た状態で支持枠に設けられた支持部材上にほぼ水平に支
持するとともに、前記支持枠に設けられた係止部材で前
記ウェーハ列の外周面を該ウェーハ列のほぼ中央方向に
押し、前記支持部材と協働して前記ウェーハ列を係止す
ることにより前記支持枠に装着する工程と、支持枠に装
着されたウェーハ列から固定部材を分離する工程と、固
定部材を分離されたウェーハ列の最端部のウェーハを面
方向移動手段で該ウェーハの面方向に移動させることに
よりウェーハ列から１枚宛剥離して支持枠から取り出す
工程とを具備したことを特徴とするものである。
決するために以下の構成を採用した。すなわち、請求項
１記載のウェーハの剥離方法は、ウェーハ列からウェー
ハを１枚宛剥離するウェーハの剥離方法であって、固定
部材に接着されたウェーハ列を、上記固定部材を上にし
た状態で支持枠に設けられた支持部材上にほぼ水平に支
持するとともに、前記支持枠に設けられた係止部材で前
記ウェーハ列の外周面を該ウェーハ列のほぼ中央方向に
押し、前記支持部材と協働して前記ウェーハ列を係止す
ることにより前記支持枠に装着する工程と、支持枠に装
着されたウェーハ列から固定部材を分離する工程と、固
定部材を分離されたウェーハ列の最端部のウェーハを面
方向移動手段で該ウェーハの面方向に移動させることに
よりウェーハ列から１枚宛剥離して支持枠から取り出す
工程とを具備したことを特徴とするものである。
【０００８】この構成によれば、ウェーハ列の各ウェー
ハは、固定部材に垂下された状態を保ち、決して倒れる
ことがない。したがって、横倒れに起因するウェーハの
損傷が完全に防止されるようになる。また、固定部材と
ウェーハ列の上下をわざわざ逆にする必要がなく、スラ
イス終了状態のままそれらをスライス装置から取り出す
ことができるので、剥離装置への移送が容易となり、移
送ロボットの簡略化が可能となる。
ハは、固定部材に垂下された状態を保ち、決して倒れる
ことがない。したがって、横倒れに起因するウェーハの
損傷が完全に防止されるようになる。また、固定部材と
ウェーハ列の上下をわざわざ逆にする必要がなく、スラ
イス終了状態のままそれらをスライス装置から取り出す
ことができるので、剥離装置への移送が容易となり、移
送ロボットの簡略化が可能となる。
【０００９】請求項２記載のウェーハの剥離方法は、請
求項１記載のウェーハの剥離方法において、ウェーハ
を、支持部材と係止部材の間から支持部材の前端部を乗
り越えて取り出すことを特徴とするものである。
求項１記載のウェーハの剥離方法において、ウェーハ
を、支持部材と係止部材の間から支持部材の前端部を乗
り越えて取り出すことを特徴とするものである。
【００１０】この構成によれば、各ウェーハは、支持部
材の前端部を乗り越え、ねじれるように転回して抜け出
される。また支持部材の前端部を乗り越えるだけの外力
がウェーハに加えられない限り支持枠に安定よく係止さ
れることとなる。したがって、ウェーハは円滑にウェー
ハ列から剥離されるようになり、また振動等によるウェ
ーハの支持枠からの勝手な離脱が防止される。
材の前端部を乗り越え、ねじれるように転回して抜け出
される。また支持部材の前端部を乗り越えるだけの外力
がウェーハに加えられない限り支持枠に安定よく係止さ
れることとなる。したがって、ウェーハは円滑にウェー
ハ列から剥離されるようになり、また振動等によるウェ
ーハの支持枠からの勝手な離脱が防止される。
【００１１】請求項３記載のウェーハの剥離装置は、固
定部材に接着されたウェーハ列を、上記固定部材を上に
した状態でほぼ水平に支持する支持部材の両端に側板が
それぞれ取り付けられ、該一対の側板の間に、ウェーハ
列の外周面をウェーハ列のほぼ中心方向に押してウェー
ハ列を係止する係止部材が設けられた支持枠と、該支持
枠を載せる載台と、上記支持枠に装着されて載台に載せ
られた後に前記固定部材を取り外されたウェーハ列の最
端部のウェーハを吸着する吸着盤と、前記吸着盤を前記
ウェーハの面方向に移動させ、前記支持部材及び前記係
止部材の係止を解いて前記ウェーハ列から前記ウェーハ
を剥離させる面方向移動手段とを具備したことを特徴と
するものである。
定部材に接着されたウェーハ列を、上記固定部材を上に
した状態でほぼ水平に支持する支持部材の両端に側板が
それぞれ取り付けられ、該一対の側板の間に、ウェーハ
列の外周面をウェーハ列のほぼ中心方向に押してウェー
ハ列を係止する係止部材が設けられた支持枠と、該支持
枠を載せる載台と、上記支持枠に装着されて載台に載せ
られた後に前記固定部材を取り外されたウェーハ列の最
端部のウェーハを吸着する吸着盤と、前記吸着盤を前記
ウェーハの面方向に移動させ、前記支持部材及び前記係
止部材の係止を解いて前記ウェーハ列から前記ウェーハ
を剥離させる面方向移動手段とを具備したことを特徴と
するものである。
【００１２】この構成では、固定部材に接着されたウェ
ーハ列を、固定部材を上にした状態で支持枠の支持部材
にほぼ水平に支持し、係止部材で係止して支持枠に装着
してから、その支持枠を載台の上に載せる。ウェーハ列
を接着した固定部材は、適当な時機に適宜の方法でウェ
ーハ列から分離する。この状態で吸着盤を作動させてウ
ェーハ列の最端部の１枚のウェーハを吸着し、そのウェ
ーハを面方向移動手段でウェーハの面方向に移動させ
て、支持部材及び係止部材の係止を解いてウェーハをウ
ェーハ列から剥離する。ウェーハ列の各ウェーハは、垂
下状態で支持枠に支持されているので、大径のものであ
っても横に倒れることはない。
ーハ列を、固定部材を上にした状態で支持枠の支持部材
にほぼ水平に支持し、係止部材で係止して支持枠に装着
してから、その支持枠を載台の上に載せる。ウェーハ列
を接着した固定部材は、適当な時機に適宜の方法でウェ
ーハ列から分離する。この状態で吸着盤を作動させてウ
ェーハ列の最端部の１枚のウェーハを吸着し、そのウェ
ーハを面方向移動手段でウェーハの面方向に移動させ
て、支持部材及び係止部材の係止を解いてウェーハをウ
ェーハ列から剥離する。ウェーハ列の各ウェーハは、垂
下状態で支持枠に支持されているので、大径のものであ
っても横に倒れることはない。
【００１３】請求項４記載のウェーハの剥離装置は、請
求項３記載のウェーハの剥離装置において、吸着盤によ
るウェーハの吸着位置に配設され、吸着盤に吸着された
１枚のウェーハのみを通過させるスリットを有するゲー
ト部材を具備したことを特徴とするものである。
求項３記載のウェーハの剥離装置において、吸着盤によ
るウェーハの吸着位置に配設され、吸着盤に吸着された
１枚のウェーハのみを通過させるスリットを有するゲー
ト部材を具備したことを特徴とするものである。
【００１４】この構成によれば、最端部の１枚のウェー
ハに次位のウェーハが水等で付着しているようなことが
あっても、ゲート部材は次位のウェーハがスリットを通
過するのを阻止する。したがって、ウェーハ列からウェ
ーハを１枚宛的確に剥離することができる。
ハに次位のウェーハが水等で付着しているようなことが
あっても、ゲート部材は次位のウェーハがスリットを通
過するのを阻止する。したがって、ウェーハ列からウェ
ーハを１枚宛的確に剥離することができる。
【００１５】請求項５記載のウェーハの剥離装置は、請
求項３又は４記載のウェーハの剥離装置において、吸着
盤に吸着される最端部の１枚のウェーハと次位のウェー
ハとの間にエアを噴出して上記次位のウェーハから最端
部のウェーハを剥離するノズルを具備したことを特徴と
するものである。
求項３又は４記載のウェーハの剥離装置において、吸着
盤に吸着される最端部の１枚のウェーハと次位のウェー
ハとの間にエアを噴出して上記次位のウェーハから最端
部のウェーハを剥離するノズルを具備したことを特徴と
するものである。
【００１６】この構成では、ノズルから噴出されたエア
は、ウェーハ列の最端部の１枚のウェーハを次位のウェ
ーハから離すように作用する。この場合もウェーハ列か
らウェーハが１枚宛一層円滑に剥離されるようになる。
は、ウェーハ列の最端部の１枚のウェーハを次位のウェ
ーハから離すように作用する。この場合もウェーハ列か
らウェーハが１枚宛一層円滑に剥離されるようになる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。本発明に係るウェーハの剥離
装置は、支持枠１と載台２及び吸着盤３とを主体とす
る。
図面を参照して説明する。本発明に係るウェーハの剥離
装置は、支持枠１と載台２及び吸着盤３とを主体とす
る。
【００１８】支持枠１は、円筒状の支持チューブ１１を
嵌合した断面円形の支持軸１２，１３，１４の両端部に
左右一対の側板１６，１７をボルト結合し、係止チュー
ブ１９を嵌合した係止軸２０を側板１６，１７の間に設
けて成る。支持軸１２，１３，１４は、支持枠１の側面
視において、時計のほぼ７時、これに対称なほぼ５時、
３時の位置に固定され、また、係止軸２０は支持軸１２
に向き合うほぼ１時の位置に移動可能に設けられてい
る。支持軸１２，１３，１４と係止軸２０、及び側板１
６，１７は、それぞれ互いに平行である。
嵌合した断面円形の支持軸１２，１３，１４の両端部に
左右一対の側板１６，１７をボルト結合し、係止チュー
ブ１９を嵌合した係止軸２０を側板１６，１７の間に設
けて成る。支持軸１２，１３，１４は、支持枠１の側面
視において、時計のほぼ７時、これに対称なほぼ５時、
３時の位置に固定され、また、係止軸２０は支持軸１２
に向き合うほぼ１時の位置に移動可能に設けられてい
る。支持軸１２，１３，１４と係止軸２０、及び側板１
６，１７は、それぞれ互いに平行である。
【００１９】支持軸１２，１３，１４の各支持チューブ
１１は、ウェーハ列Ｗａの外周面にそれぞ接してウェー
ハ列Ｗａを支持するものであり、各支持軸１２，１３，
１４にそれぞれ固定されている。支持軸１２，１３，１
４とそれらに嵌合された支持チューブ１１とは支持部材
を構成している。
１１は、ウェーハ列Ｗａの外周面にそれぞ接してウェー
ハ列Ｗａを支持するものであり、各支持軸１２，１３，
１４にそれぞれ固定されている。支持軸１２，１３，１
４とそれらに嵌合された支持チューブ１１とは支持部材
を構成している。
【００２０】係止軸２０は、一対の付勢ばね２１によっ
て側板１６，１７に取り付けられており、各支持チュー
ブ１１に支持されたウェーハ列Ｗａの外周面を支持軸１
２に向け係止チューブ１９で所定量押してウェーハ列Ｗ
ａを適度な力で係止するようになっている。付勢ばね２
１は、側板１６，１７の掛金１６ａ，１７ａと係止軸２
０の端部との間に張設されており、係止軸２０を側板１
６，１７に当たるまで牽引して係止力を生じさせ、また
係止位置Ａ（図３）から退避位置Ｂへの係止軸２０の移
動を可能にしている。係止軸２０とこれに固定された係
止チューブ１９は係止部材を構成している。なお、各チ
ューブ１１，１９は、摩擦抵抗が大きく、かつ当たりが
軟らかいゴム若しくはこれと同効材料或いはブラシ等の
柔軟材料で製作されており、ウェーハ列Ｗａを弾性的に
支持するようになっている。
て側板１６，１７に取り付けられており、各支持チュー
ブ１１に支持されたウェーハ列Ｗａの外周面を支持軸１
２に向け係止チューブ１９で所定量押してウェーハ列Ｗ
ａを適度な力で係止するようになっている。付勢ばね２
１は、側板１６，１７の掛金１６ａ，１７ａと係止軸２
０の端部との間に張設されており、係止軸２０を側板１
６，１７に当たるまで牽引して係止力を生じさせ、また
係止位置Ａ（図３）から退避位置Ｂへの係止軸２０の移
動を可能にしている。係止軸２０とこれに固定された係
止チューブ１９は係止部材を構成している。なお、各チ
ューブ１１，１９は、摩擦抵抗が大きく、かつ当たりが
軟らかいゴム若しくはこれと同効材料或いはブラシ等の
柔軟材料で製作されており、ウェーハ列Ｗａを弾性的に
支持するようになっている。
【００２１】側板１６，１７はほぼＣ字状（逆Ｃ字状も
含む）に形成され、その上部に、ウェーハ列Ｗａを接着
した固定部材５の受座１６ｂ，１７ｂが設けられ、また
下部に下窄り状の脚部１６ｃ，１７ｃが設けられてい
る。側板１６，１７の上部の外面には受具２３がそれぞ
れボルトで取り付けられている。
含む）に形成され、その上部に、ウェーハ列Ｗａを接着
した固定部材５の受座１６ｂ，１７ｂが設けられ、また
下部に下窄り状の脚部１６ｃ，１７ｃが設けられてい
る。側板１６，１７の上部の外面には受具２３がそれぞ
れボルトで取り付けられている。
【００２２】載台２は支持枠１を載せるものであり、固
定具２５，２６，２７，２７（図３で手前側のものしか
現われていない。）によって囲まれた空間に側板１６，
１７の脚部１６ｃ，１７ｃを上から嵌め込んで支持枠１
を所定位置に正しく固定することができるようになって
いる。各固定具２５，２６，２７はボルトで載台２にそ
れぞれ取り付けられている。
定具２５，２６，２７，２７（図３で手前側のものしか
現われていない。）によって囲まれた空間に側板１６，
１７の脚部１６ｃ，１７ｃを上から嵌め込んで支持枠１
を所定位置に正しく固定することができるようになって
いる。各固定具２５，２６，２７はボルトで載台２にそ
れぞれ取り付けられている。
【００２３】吸着盤３は１枚のウェーハＷを真空吸着す
るもので、真空吸着源（図示せず）に連絡されており、
取付板２９に４個取り付けられている。取付板２９は、
デュアルロッドシリンダ等の吸着移動手段３０により、
ウェーハ列の長手方向（図２で左右方向）に動かされ
る。吸着移動手段３０は、ロッドレスシリンダ等の面方
向移動手段３１によって、支持枠１に支持されたウェー
ハＷの面方向に水平に動かされる可動体３２に取り付け
られている。また、面方向移動手段３１は、ポジショニ
ングアクチュエータ等の長手方向移動手段３３によっ
て、支持枠１に支持されたウェーハ列Ｗａの長手方向に
水平に動かされる移動体３４に取り付けられている。移
動体３４の自由端（図３で左端）は案内部材３５に沿っ
て移動する。
るもので、真空吸着源（図示せず）に連絡されており、
取付板２９に４個取り付けられている。取付板２９は、
デュアルロッドシリンダ等の吸着移動手段３０により、
ウェーハ列の長手方向（図２で左右方向）に動かされ
る。吸着移動手段３０は、ロッドレスシリンダ等の面方
向移動手段３１によって、支持枠１に支持されたウェー
ハＷの面方向に水平に動かされる可動体３２に取り付け
られている。また、面方向移動手段３１は、ポジショニ
ングアクチュエータ等の長手方向移動手段３３によっ
て、支持枠１に支持されたウェーハ列Ｗａの長手方向に
水平に動かされる移動体３４に取り付けられている。移
動体３４の自由端（図３で左端）は案内部材３５に沿っ
て移動する。
【００２４】上記の構成により、吸着移動手段３０で吸
着盤３を吸着移動させてウェーハ列Ｗａの最端部のウェ
ーハＷを吸着し、面方向移動手段３１で吸着盤３を移動
させて吸着ウェーハＷをウェーハ列Ｗａから剥離して支
持枠１から取り出した後、ウェーハＷの吸着を解いて吸
着盤３を元の状態に戻し、長手方向移動手段３３の作動
で吸着盤３を次のウェーハＷの位置に動かすことができ
る。
着盤３を吸着移動させてウェーハ列Ｗａの最端部のウェ
ーハＷを吸着し、面方向移動手段３１で吸着盤３を移動
させて吸着ウェーハＷをウェーハ列Ｗａから剥離して支
持枠１から取り出した後、ウェーハＷの吸着を解いて吸
着盤３を元の状態に戻し、長手方向移動手段３３の作動
で吸着盤３を次のウェーハＷの位置に動かすことができ
る。
【００２５】移動体３４には、ゲート部材３７と起倒部
材３８が設けられている。ゲート部材３７は、位置決め
部３７ａ，３７ｂとスリット３７ｃ，３７ｄとを有す
る。位置決め部３７ａ，３７ｂは、吸着盤３に吸着され
た最端部の１枚のウェーハＷを接触させて位置決めする
ものであり、スリット３７ｃ，３７ｄは吸着盤３に吸着
された１枚のウェーハＷのみを通過させるものであっ
て、その隙間幅は１枚のウェーハＷの厚さよりも大き
く、２枚のウェーハＷの厚さよりも小さくされている。
材３８が設けられている。ゲート部材３７は、位置決め
部３７ａ，３７ｂとスリット３７ｃ，３７ｄとを有す
る。位置決め部３７ａ，３７ｂは、吸着盤３に吸着され
た最端部の１枚のウェーハＷを接触させて位置決めする
ものであり、スリット３７ｃ，３７ｄは吸着盤３に吸着
された１枚のウェーハＷのみを通過させるものであっ
て、その隙間幅は１枚のウェーハＷの厚さよりも大き
く、２枚のウェーハＷの厚さよりも小さくされている。
【００２６】起倒部材３８は、吸着盤３の面方向移動に
よりスリット３７ｃ，３７ｄを通って移送されてきた１
枚のウェーハＷを支承溝３８ａに受けて水平に倒され、
そのウェーハＷを搬出コンベヤ３９の上に載せるもの
で、起倒用シリンダ４１によって取付軸４２を支点に上
下に起倒させられるようになっている。支承溝３８ａは
起倒部材３８の起立状態においてスリット３７ｃ，３７
ｄの位置に正しく一致する。搬出コンベヤ３９はモータ
４３によって駆動される。
よりスリット３７ｃ，３７ｄを通って移送されてきた１
枚のウェーハＷを支承溝３８ａに受けて水平に倒され、
そのウェーハＷを搬出コンベヤ３９の上に載せるもの
で、起倒用シリンダ４１によって取付軸４２を支点に上
下に起倒させられるようになっている。支承溝３８ａは
起倒部材３８の起立状態においてスリット３７ｃ，３７
ｄの位置に正しく一致する。搬出コンベヤ３９はモータ
４３によって駆動される。
【００２７】ゲート部材３７のスリット３７ｃ，３７ｄ
の挿入端の部分には、それぞれ１対のノズル４５（図３
と図５）が設けられている。ノズル４５は、吸着盤３に
吸着される最端部の１枚のウェーハＷと次位のウェーハ
Ｗとの間にエアを噴出して上記次位のウェーハＷから最
端部のウェーハＷを剥離するもので、コンプレッサ等の
空気供給源（図示せず）に連絡されている。
の挿入端の部分には、それぞれ１対のノズル４５（図３
と図５）が設けられている。ノズル４５は、吸着盤３に
吸着される最端部の１枚のウェーハＷと次位のウェーハ
Ｗとの間にエアを噴出して上記次位のウェーハＷから最
端部のウェーハＷを剥離するもので、コンプレッサ等の
空気供給源（図示せず）に連絡されている。
【００２８】符号４７と４８は光電センサである。光電
センサ４７は、支持枠１に支持されたウェーハＷの有無
を検知するものであり、また他の光電センサ４８は、ウ
ェーハＷの搬出を確認するものである。また、符号４９
と５０はケーブルベアである。
センサ４７は、支持枠１に支持されたウェーハＷの有無
を検知するものであり、また他の光電センサ４８は、ウ
ェーハＷの搬出を確認するものである。また、符号４９
と５０はケーブルベアである。
【００２９】次に上記の構成とされた本発明に係るウェ
ーハの剥離装置の作用を説明する。ワイヤソーによるス
ライスで形成されたウェーハ列Ｗａは、そのままの状
態、つまり固定部材５を上にした状態でロボット等で運
ばれ、予め係止軸２０を退避位置Ｂにつけた支持枠１の
受座１６ｂ，１７ｂに固定部材５を載せて支持軸１２，
１３，１４の支持チューブ１１に支持される。
ーハの剥離装置の作用を説明する。ワイヤソーによるス
ライスで形成されたウェーハ列Ｗａは、そのままの状
態、つまり固定部材５を上にした状態でロボット等で運
ばれ、予め係止軸２０を退避位置Ｂにつけた支持枠１の
受座１６ｂ，１７ｂに固定部材５を載せて支持軸１２，
１３，１４の支持チューブ１１に支持される。
【００３０】上記の状態で作業員が係止軸２０を係止位
置Ａに移動させて支持軸１２，１３，１４と協働してウ
ェーハ列Ｗａを係止し、ウェーハ列Ｗａから固定部材５
を取り外す。この際、必要があれば、９０〜９５℃の温
水で接着剤を軟化させて固定部材５の取外しを容易にす
る。
置Ａに移動させて支持軸１２，１３，１４と協働してウ
ェーハ列Ｗａを係止し、ウェーハ列Ｗａから固定部材５
を取り外す。この際、必要があれば、９０〜９５℃の温
水で接着剤を軟化させて固定部材５の取外しを容易にす
る。
【００３１】上記のようにしてウェーハ列Ｗａを装着し
た支持枠１は、固定部材５の除去後、ロボット或いは作
業員により載台２の上に運び、側板１６，１７の脚部１
６ｂ，１７ｂを固定具２５，２６，２７，２７の空間に
嵌め込んで固定する。この運込みは、脚部１６ｂ，１７
ｂが下窄り状となっているため、的確かつ円滑に行うこ
とができる。
た支持枠１は、固定部材５の除去後、ロボット或いは作
業員により載台２の上に運び、側板１６，１７の脚部１
６ｂ，１７ｂを固定具２５，２６，２７，２７の空間に
嵌め込んで固定する。この運込みは、脚部１６ｂ，１７
ｂが下窄り状となっているため、的確かつ円滑に行うこ
とができる。
【００３２】載台２上の支持枠１に装着されたウェーハ
列ＷａからのウェーハＷの剥離は次のようにして行われ
る。まず、吸着移動手段３０の作動により、吸着盤３が
ウェーハ列Ｗａの最端部のウェーハＷに近づけられてそ
のウェーハＷを吸着し、直ちに元の位置に戻される。こ
の際、ノズル４５からエアが最端部のウェーハＷと次位
のウェーハＷとの間に噴出され、ウェーハ列Ｗａに水等
で付着している最端部のウェーハＷの剥離を助ける。そ
して、吸着盤３に吸着された１枚のウェーハＷは、吸着
盤３の戻り移動で位置決め部３７ａ，３７ｂに軽く触れ
スリット３７ｃ，３７ｄの位置につく。
列ＷａからのウェーハＷの剥離は次のようにして行われ
る。まず、吸着移動手段３０の作動により、吸着盤３が
ウェーハ列Ｗａの最端部のウェーハＷに近づけられてそ
のウェーハＷを吸着し、直ちに元の位置に戻される。こ
の際、ノズル４５からエアが最端部のウェーハＷと次位
のウェーハＷとの間に噴出され、ウェーハ列Ｗａに水等
で付着している最端部のウェーハＷの剥離を助ける。そ
して、吸着盤３に吸着された１枚のウェーハＷは、吸着
盤３の戻り移動で位置決め部３７ａ，３７ｂに軽く触れ
スリット３７ｃ，３７ｄの位置につく。
【００３３】次いで、面方向移動手段３１が作動して可
動体３２と一緒に吸着盤３を図３で左に移動させる。吸
着盤３に吸着されたウェーハＷは、吸着盤３の上記の面
方向移動により、前端部の支持軸１２の支持チューブ１
１を乗り越え、ウェーハ列Ｗａに対してねじれるように
転回して支持軸１２の支持チューブ１１と係止軸２０の
係止チューブ１９との間からそれらの係止を解いて強制
的に抜き出され、スリット３７ｃ，３７ｄを通って起立
状態の起倒部材３８の支承溝３８ａに挿入される。ウェ
ーハ列Ｗａを弾性的に支持した支持軸１２と係止軸２０
のチューブ１１，１９はウェーハＷの抜け出しを円滑に
する。また、ウェーハＷは、支持軸１２の支持チューブ
１１を支点とするねじれ転回によってウェーハ列Ｗａか
ら円滑に剥離されるようになる。スリット３７ｃ，３７
ｄは、１枚のウェーハＷのみを通過させ、次位のウェー
ハＷが通過するのを阻止する。
動体３２と一緒に吸着盤３を図３で左に移動させる。吸
着盤３に吸着されたウェーハＷは、吸着盤３の上記の面
方向移動により、前端部の支持軸１２の支持チューブ１
１を乗り越え、ウェーハ列Ｗａに対してねじれるように
転回して支持軸１２の支持チューブ１１と係止軸２０の
係止チューブ１９との間からそれらの係止を解いて強制
的に抜き出され、スリット３７ｃ，３７ｄを通って起立
状態の起倒部材３８の支承溝３８ａに挿入される。ウェ
ーハ列Ｗａを弾性的に支持した支持軸１２と係止軸２０
のチューブ１１，１９はウェーハＷの抜け出しを円滑に
する。また、ウェーハＷは、支持軸１２の支持チューブ
１１を支点とするねじれ転回によってウェーハ列Ｗａか
ら円滑に剥離されるようになる。スリット３７ｃ，３７
ｄは、１枚のウェーハＷのみを通過させ、次位のウェー
ハＷが通過するのを阻止する。
【００３４】このようにして１枚のウェーハＷが起倒部
材３８に支承されると、吸着盤３によるウェーハＷの吸
着が解除されるとともに、起倒用シリンダ４１が作動し
て起倒部材３８をほぼ水平に倒し、支承溝３８ａ内のウ
ェーハＷを搬出コンベヤ３９の上に載せる。搬出コンベ
ヤ３９はウェーハＷを次の系に搬出する。
材３８に支承されると、吸着盤３によるウェーハＷの吸
着が解除されるとともに、起倒用シリンダ４１が作動し
て起倒部材３８をほぼ水平に倒し、支承溝３８ａ内のウ
ェーハＷを搬出コンベヤ３９の上に載せる。搬出コンベ
ヤ３９はウェーハＷを次の系に搬出する。
【００３５】吸着盤３はウェーハＷの吸着を解除する
と、面方向移動手段３１の作動によって支持枠１の部分
に戻される。また起倒用シリンダ４１は、搬出コンベヤ
３９の作動によってウェーハＷが支承溝３８ａから抜け
出ると、起倒部材３８を垂直に起立させて次の作動に備
える。起倒部材３８が起立させられると、長手方向移動
手段３３が作動して移動体３４を図１で左に動かして次
の剥離位置につける。なお、吸着移動手段３０によって
吸着盤３をウェーハ列Ｗａの長手方向に移動させること
ができるので、ウェーハＷを１回剥離するごとに移動体
３４を長手方向移動手段３３で移動させる必要はない。
と、面方向移動手段３１の作動によって支持枠１の部分
に戻される。また起倒用シリンダ４１は、搬出コンベヤ
３９の作動によってウェーハＷが支承溝３８ａから抜け
出ると、起倒部材３８を垂直に起立させて次の作動に備
える。起倒部材３８が起立させられると、長手方向移動
手段３３が作動して移動体３４を図１で左に動かして次
の剥離位置につける。なお、吸着移動手段３０によって
吸着盤３をウェーハ列Ｗａの長手方向に移動させること
ができるので、ウェーハＷを１回剥離するごとに移動体
３４を長手方向移動手段３３で移動させる必要はない。
【００３６】以下、上記の作動を繰り返えして、支持枠
１に支持されたウェーハ列ＷａのすべてのウェーハＷを
剥離する。
１に支持されたウェーハ列ＷａのすべてのウェーハＷを
剥離する。
【００３７】図の係止軸２０は、前端部の支持軸１２と
ウェーハ列Ｗａの中心とを結ぶ直線の延長線上において
ウェーハ列Ｗａの外周面をその中心方向に押す構造とな
っているが、その位置が図３で１２時方向又は３時方向
に多少ずれていてもよい。支持軸の設備本数と吸着盤３
の個数は図のものに限らず任意である。長手方向移動手
段によって載台２を吸着盤３に対して移動させる構成と
してもよい。
ウェーハ列Ｗａの中心とを結ぶ直線の延長線上において
ウェーハ列Ｗａの外周面をその中心方向に押す構造とな
っているが、その位置が図３で１２時方向又は３時方向
に多少ずれていてもよい。支持軸の設備本数と吸着盤３
の個数は図のものに限らず任意である。長手方向移動手
段によって載台２を吸着盤３に対して移動させる構成と
してもよい。
【００３８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば，次のような効果を奏することができる。 （ａ） 請求項１記載のウェーハの剥離方法によれば、
大径で重量のあるウェーハであっても横に倒して損傷さ
せるようなことなく、的確に剥離することができる。し
かも、固定部材とウェーハ列の上下をわざわざ逆にする
必要がないので、スライス装置から剥離装置への移送が
容易で、装置の簡略化が可能となる。
によれば，次のような効果を奏することができる。 （ａ） 請求項１記載のウェーハの剥離方法によれば、
大径で重量のあるウェーハであっても横に倒して損傷さ
せるようなことなく、的確に剥離することができる。し
かも、固定部材とウェーハ列の上下をわざわざ逆にする
必要がないので、スライス装置から剥離装置への移送が
容易で、装置の簡略化が可能となる。
【００３９】（ｂ） 請求項２記載のウェーハの剥離方
法によれば、上記（ａ）の効果に加え、ウェーハは、支
持部材の前端部を乗り越える際にねじれるように転回す
ることとなり、一層円滑にウェーハを剥離することがで
きる。また、大きい外力がウェーハに加えられない限り
支持枠に適当な係止力で安定よく係止されているので、
振動等によるウェーハの離脱を防止できる。
法によれば、上記（ａ）の効果に加え、ウェーハは、支
持部材の前端部を乗り越える際にねじれるように転回す
ることとなり、一層円滑にウェーハを剥離することがで
きる。また、大きい外力がウェーハに加えられない限り
支持枠に適当な係止力で安定よく係止されているので、
振動等によるウェーハの離脱を防止できる。
【００４０】（ｃ） 請求項３記載のウェーハの剥離装
置によれば、請求項１記載の剥離方法を実施して前記
（ａ）の効果をあげることができる。また、構造が簡単
で実施しやすい長所がある。
置によれば、請求項１記載の剥離方法を実施して前記
（ａ）の効果をあげることができる。また、構造が簡単
で実施しやすい長所がある。
【００４１】（ｄ） 請求項４記載のウェーハの剥離装
置によれば、上記（ｃ）の効果に加え、ウェーハを１枚
宛、一層的確に剥離することができる。 （ｅ） 請求項５記載のウェーハの剥離装置によれば、
上記（ｃ）と（ｄ）の効果に加え、ウェーハを１枚宛、
より一層的確かつ円滑に剥離することができる。
置によれば、上記（ｃ）の効果に加え、ウェーハを１枚
宛、一層的確に剥離することができる。 （ｅ） 請求項５記載のウェーハの剥離装置によれば、
上記（ｃ）と（ｄ）の効果に加え、ウェーハを１枚宛、
より一層的確かつ円滑に剥離することができる。
【図１】 本発明の実施の形態を示す一部破断の平面図
である。
である。
【図２】 図１の剥離装置の一部分を破断した正面図で
ある。
ある。
【図３】 同じく側面図である。
【図４】 取付板に対する吸着盤の取付状態を示す断面
図である。
図である。
【図５】 ゲート部材の平面図である。
１ 支持枠 ２ 載台
３ 吸着盤 ５ 固定部材
１１ 支持チューブ １２，１３，１４
支持軸 １６，１７ 側板 １６ｂ，１７ｂ
受座 １９ 係止チューブ ２０ 係止軸 ２１ 付勢ばね ３１ 面方向移動
手段 ３７ ゲート部材 ３７ａ，３７ｂ
位置決め部 ３７ｃ，３７ｄ スリット ４５ ノズル Ｗ ウェーハ Ｗａ ウェーハ列
支持軸 １６，１７ 側板 １６ｂ，１７ｂ
受座 １９ 係止チューブ ２０ 係止軸 ２１ 付勢ばね ３１ 面方向移動
手段 ３７ ゲート部材 ３７ａ，３７ｂ
位置決め部 ３７ｃ，３７ｄ スリット ４５ ノズル Ｗ ウェーハ Ｗａ ウェーハ列
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
B65G 49/07
H01L 21/304 611
Claims (5)
- 【請求項１】 ウェーハ列からウェーハを１枚宛剥離す
るウェーハの剥離方法であって、 固定部材に接着されたウェーハ列を、上記固定部材を上
にした状態で支持枠に設けられた支持部材上にほぼ水平
に支持するとともに、前記支持枠に設けられた係止部材
で前記ウェーハ列の外周面を該ウェーハ列のほぼ中央方
向に押し、前記支持部材と協働して前記ウェーハ列を係
止することにより前記支持枠に装着する工程と、 支持枠に装着されたウェーハ列から固定部材を分離する
工程と、 固定部材を分離されたウェーハ列の最端部のウェーハを
面方向移動手段で該ウェーハの面方向に移動させること
によりウェーハ列から１枚宛剥離して支持枠から取り出
す工程とを具備したことを特徴とするウェーハの剥離方
法。 - 【請求項２】 ウェーハを、支持部材と係止部材の間か
ら支持部材の前端部を乗り越えて取り出すことを特徴と
する請求項１記載のウェーハの剥離方法。 - 【請求項３】 固定部材に接着されたウェーハ列を、上
記固定部材を上にした状態でほぼ水平に支持する支持部
材の両端に側板がそれぞれ取り付けられ、該一対の側板
の間に、ウェーハ列の外周面をウェーハ列のほぼ中心方
向に押してウェーハ列を係止する係止部材が設けられた
支持枠と、 該支持枠を載せる載台と、 上記支持枠に装着されて載台に載せられた後に前記固定
部材を取り外されたウェーハ列の最端部のウェーハを吸
着する吸着盤と、 前記吸着盤を前記ウェーハの面方向に移動させ、前記支
持部材及び前記係止部材の係止を解いて前記ウェーハ列
から前記ウェーハを剥離させる面方向移動手段とを 具備
したことを特徴とするウェーハの剥離装置。 - 【請求項４】 吸着盤によるウェーハの吸着位置に配設
され、吸着盤に吸着された１枚のウェーハのみを通過さ
せるスリットを有するゲート部材を具備したことを特徴
とする請求項３記載のウェーハの剥離装置。 - 【請求項５】 吸着盤に吸着される最端部の１枚のウェ
ーハと次位のウェーハとの間にエアを噴出して上記次位
のウェーハから最端部のウェーハを剥離するノズルを具
備したことを特徴とする請求項３又は４記載のウェーハ
の剥離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9643698A JP3533936B2 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | ウェーハの剥離方法及び剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9643698A JP3533936B2 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | ウェーハの剥離方法及び剥離装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11292280A JPH11292280A (ja) | 1999-10-26 |
| JP3533936B2 true JP3533936B2 (ja) | 2004-06-07 |
Family
ID=14164974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9643698A Expired - Fee Related JP3533936B2 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | ウェーハの剥離方法及び剥離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3533936B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102862805A (zh) * | 2011-07-08 | 2013-01-09 | 无锡尚德太阳能电力有限公司 | 用于生产线的自动装卸载设备 |
| JP6846816B2 (ja) * | 2018-06-26 | 2021-03-24 | 株式会社コスモグローブ | ウェーハ剥離装置 |
| KR102507055B1 (ko) * | 2022-10-28 | 2023-03-07 | 손귀욱 | 변위센서를 기반으로 한 웨이퍼 낱장 분리장치 |
| CN118431122B (zh) * | 2024-07-04 | 2024-10-01 | 迈为技术(珠海)有限公司 | 晶圆分离机构以及分离方法 |
-
1998
- 1998-04-08 JP JP9643698A patent/JP3533936B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11292280A (ja) | 1999-10-26 |
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