JP3768455B2

JP3768455B2 - 直交励起型レーザ発振器

Info

Publication number: JP3768455B2
Application number: JP2002109694A
Authority: JP
Inventors: 正一郎原; 幸治船岡; 隆雄小原; 聡西田
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2002-04-11
Filing date: 2002-04-11
Publication date: 2006-04-19
Anticipated expiration: 2022-04-11
Also published as: US20030193985A1; US6920170B2; JP2003304015A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、発振器筐体が熱によって変形した場合にも、一対の光共振器の平行度や軸ずれなどの位置関係を一定に保つことによって、レーザビームの出力やビームモードなどの品質を安定に保つことが可能な構造を有する直交励起型レーザ発振器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ガスレーザ発振器は、一般に、レーザ気体が封入されて放電によりレーザを励起する放電管と、この放電管の両側に配置される２枚のミラーを有する光共振器とを備えている。レーザ発振時に放電管で大きい発熱が生じると、その熱の一部が光共振器、または放電管や光共振器を支持しているベース板側に伝達し、それらが熱により変形する結果、光共振器を構成する一対の光学基台の平行度の狂いや、光共振器の軸と発振器筐体の軸との間の位置のずれなどを生じる。また、光共振器自体も外気温度の変化によりフレームの棒部材、端面板部材等の構成部材相互の間で熱膨張差を生じ、これによっても光共振器の位置のずれなどを生じる恐れがある。このような光共振器の位置のずれは、ミラーアライメントの狂いを招来して、レーザ光のレーザ出力やビームモードを不安定にする。そこで、このような熱の影響による光共振器の位置のずれなどに対処するために、種々の構成を有するレーザ発振器が提案されている。
【０００３】
従来のレーザ発振器に関する発明としては、図１２に示す特開２０００−１８３４２５号公報に開示されている従来技術がある。この従来技術では、発振器筐体１の両側に、前部光学基台９と後部光学基台７とが設けられている。前部光学基台９には部分反射鏡が、後部光学基台７には全反射鏡が固定されており、部分反射鏡と全反射鏡とが同一光軸上に互いに平行に固定されるように、前部光学基台９と後部光学基台７とは、下部１本、上部２本の合計３本のレーザビーム進行方向（光軸方向）に延在する支持棒１１２〜１１４によって互いに剛固に接続されている。発振器筐体１上側における支持棒１１３，１１４は、それぞれ軸方向中央部をブラケット１２０，１２１によって発振器筐体１上面の光軸方向中央部分に接続されている。熱変形の少ない送風器側に位置する支持棒１１３の発振器筐体１に対するブラケット１２０による接続は完全な固定接続であり、他方の高温側に位置する支持棒１１４の発振器筐体１に対するブラケット１２１による接続は、軸方向および高さ方向の動きを拘束したスライド台１２２による可動接続とされている。すなわち、ブラケット１２１は、矢印で示すように左右方向にスライド台１２２上をスライド可能である。下部の支持棒１１２は、発振器筐体１とブラケットによる接続はなされておらず、支持棒１１２の両端が光学基台９，７に固定されているのみである。発振器筐体１と後部光学基台７との間および発振器筐体１と前部光学基台９との間のレーザビーム通過部分は、それぞれベローズによって接続されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来技術のものにあっては、３本の支持棒１１２〜１１４とブラケット１２０，１２１による支持構造によって、レーザ媒質ガスの温度分布による２つの光学基台７，９間の位置関係の変化を抑えることが可能であるけれども、発振器筐体１はレーザ媒質ガスの温度分布によって自由に熱変形するため、その両端面の位置や角度は変化してしまう。その結果、発振器筐体１両端に取り付けられたベローズの位置が変化する。一般に、ベローズの芯ずれ方向の剛性は軸方向の剛性に比べて非常に大きく、ベローズの位置がずれることによって有害な反力が発生する。この反力によって、光共振器の構造体が変形し、２つの光学基台９，７の位置関係が崩れてしまう。そして、このような光学基台９，７の位置関係のずれは、レーザ出力またはビームモードを不安定にする。
【０００５】
この発明は、上記に鑑みてなされたもので、発振器筐体が熱変形しても、平行に配置された二つの光学基台と支持棒とからなる光共振器が変形力を受けないようにすることができる直交励起型レーザ発振器を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明にかかる直交励起型レーザ発振器は、発振器筐体と、前記発振器筐体の両側に設置され、光軸方向に延在する少なくとも３本の支持棒によって互いに平行接続された、光共振器を構成する光学部品をそれぞれ支持する一対の光学基台と、前記一対の光学基台と前記発振器筐体との間を接続する一対のベローズとを備える直交励起型レーザ発振器において、前記光共振器の光軸方向をＹ軸とし、前記光軸方向に垂直な高さ方向をＺ軸とし、前記Ｙ軸およびＺ軸に垂直な方向をＸ軸とした場合、前記光学基台側と接続されている前記ベローズの中心位置が、前記発振器筐体の側端部側と接続されている前記ベローズの中心位置に対して、Ｘ軸およびＺ軸方向の曲げ運動とＹ軸まわりの回転運動を拘束し、Ｙ軸方向の曲げ運動とＸ軸およびＺ軸まわりの回転運動を可能とするように、前記発振器筐体の側端部と前記光学基台とを連結する連結部材を備えることを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、光学基台側と接続されているベローズの中心位置が、発振器筐体の側端部側と接続されているベローズの中心位置に対して、Ｘ軸およびＺ軸方向の曲げ運動とＹ軸まわりの回転運動を拘束し、Ｙ軸方向の曲げ運動とＸ軸およびＺ軸まわりの回転運動を可能とするように、発振器筐体の側端部と光学基台とを連結する連結部材を備えるようにしている。
【０００８】
つぎの発明にかかる直交励起型レーザ発振器は、上記の発明において、前記連結部材は、板バネによって構成されることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、連結部材は、板バネによって構成されるようにしている。
【００１０】
つぎの発明にかかる直交励起型レーザ発振器は、上記の発明において、前記連結部材はコの字型形状の板バネによって構成されることを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、連結部材はコの字型形状の板バネによって構成されるようにしている。
【００１２】
つぎの発明にかかる直交励起型レーザ発振器は、上記の発明において、前記板バネの上端部は前記発振器筐体の側端部側で支持され、その下端部は前記光学基台側で支持されることを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、板バネの上端部は発振器筐体の側端部側で支持され、その下端部は光学基台側で支持されるようにしている。
【００１４】
つぎの発明にかかる直交励起型レーザ発振器は、上記の発明において、前記板バネの下端部は前記発振器筐体の側端部側で支持され、その上端部は前記光学基台側で支持されることを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、板バネの下端部は発振器筐体の側端部側で支持され、その上端部は光学基台側で支持されるようにしている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる直交励起型レーザ発振器の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００１７】
実施の形態１．
図１はこの発明にかかる直交励起型レーザ発振器の実施の形態１を示す全体斜視図であり、図２はその正面図である。図３と図４は、この発明にかかる直交励起型レーザ発振器の実施の形態１の具体的状態を示す模式図であり、図３は発振器筐体と光学基台との間に設けられた連結部材の連結状態を示す図であり、図４は発振器筐体と光学基台とを連結部材で連結した状態を模式的に示す図である。図５と図６は、発振器筐体の熱変形の様子を模式的に表す図である。また、図７〜図９は、発振器筐体が熱変形した場合の連結部材の具体的状態を示す模式図であり、図７と図８は前部光学基台付近の正面図であり、そして図９は、連結部材がＺ軸回りに変形を受けた場合の様子を示す斜視図である。なお、以下の説明では、レーザ光の光軸方向をＹ軸とし、この光軸に垂直な高さ方向をＺ軸とし、これらＹ軸およびＺ軸に垂直な方向をＸ軸とする。
【００１８】
発振器筐体１は、ＣＯ₂ガス等のレーザ媒体ガスが封入された密閉構造を有しており、その内部には、図示されていないが、レーザビーム発生用の放電電極、レーザ媒体ガスを冷却する熱交換器、レーザ媒体ガスを循環させる送風器などが設けられている。この発振器筐体１の光軸方向の両端には、発振器筐体１の上面よりも突出するように端板１８，２８が設けられている。
【００１９】
発振器筐体１の光軸方向の両側には、全反射鏡６を保持した後部光学基台７と、全反射鏡６と同一光軸上に部分反射鏡８を保持した前部光学基台９とが、下部に１本、上部に２本の合計３本の支持棒１１２〜１１４によって互いに平行に配置されている。そして、全反射鏡６を保持する後部光学基台７と部分反射鏡８を保持する前部光学基台９とが光共振器を構成している。なお、上部支持棒１１３，１１４は、発振器筐体１の端部に設けられている端板１８，２８を貫通してレーザ光の進行方向（光軸方向）に延在している。また、以下では、支持棒１１２〜１１４が３本の場合について説明するが、３本に限られる趣旨ではなく、４本以上の支持棒を有する場合でもよい。
【００２０】
発振器筐体１の端板２８と後部光学基台７との間および発振器筐体１の端板１８と前部光学基台９との間は、それぞれベローズ１０，１１によって接続されており、これらベローズ１０，１１中を、レーザ光が貫通する。
【００２１】
また、発振器筐体１の端板２８と後部光学基台７との間および発振器筐体１の端板１８と前部光学基台９との間は、また、連結部材２２，１２を介しても連結されている。この連結部材２２，１２によって、光学基台７，９と接続される側のベローズ１０，１１の中心位置が、発振器筐体１の端板２８，１８と接続される側のベローズ１０，１１の中心位置に対して、Ｘ軸方向（図２における前後方向）、Ｚ軸方向（同じく高さ方向）、およびＹ軸（同じくレーザ光の光軸）まわりの回転方向の自由度を拘束し、それ以外のＹ軸方向、Ｘ軸まわりの回転方向およびＺ軸まわりの回転方向は可動とされる。
【００２２】
この連結部材１２，２２として、例えば、Ｘ軸方向の長さがＺ軸方向の長さよりも長く、そしてＹ軸方向の厚さがＸ軸方向およびＺ軸方向の長さに比べて極めて短い矩形状の板バネ１２，２２を用いて、発振器筐体１の端板２８と後部光学基台７との間および発振器筐体１の端板１８と前部光学基台９との間を連結することができる（図２および図３参照）。前部光学基台９側において、この板バネ１２の上端部は、板バネ取付座１４と板バネ固定板１５とで挟み付けられた状態で、発振器筐体１の端板１８に固定された板バネ支持板１３の上端部に取り付けられる。また、板バネ１２の下端部は、前部光学基台９に取り付けられた板バネ取付座１６と板バネ固定板１７とで挟み付けられた状態で固定される。なお、端板１８、板バネ支持板１３、板バネ取付座１４、板バネ１２および板バネ固定板１５の間は、ネジ止めなどによって固定され、前部光学基台９、板バネ取付座１６、板バネ１２および板バネ固定板１７の間もネジ止めなどによって固定される。説明は省略するが、後部光学基台７側も同様にして後部光学基台７と発振器筐体１の端板２８との間に板バネ２２が連結される。
【００２３】
このように板バネ１２，２２を介して発振器筐体１と光学基台７，９とを連結することによって、前部光学基台９と後部光学基台７とによって構成される光共振器の構成は、図４に示すように発振器筐体１の上端部から板バネ１２，２２によって、つり下げられた状態と等しくなる。すなわち、Ｘ軸またはＺ軸方向の曲げに対して変形し難く、Ｙ軸まわりの回転方向に対する高い剛性を有する一方、Ｙ軸方向の曲げに対しては容易に変形し、またＸ軸またはＺ軸まわりの回転方向に対して容易に変形し得る構造を有する。
【００２４】
ここで、発振器筐体１は、その作動中において、レーザ媒質ガスの熱によって光軸方向（Ｙ軸方向）に伸びるとともに、レーザ媒質ガスの温度分布によって湾曲するように熱変形する。例えば、この熱変形を受けた発振器筐体１を真上から見た場合には、図５に示されるように、発振器筐体１は元の長さよりも光軸方向（Ｙ軸方向）に伸びるとともに、発振器筐体１の後側はその前側に比較して大きく膨張しており、Ｙ軸に沿って湾曲するような（Ｚ軸まわりに回転するような）変形を受けている。また、熱変形を受けた発振器筐体１を正面から見た場合には、図６に示されるように、発振器筐体１は元の長さよりも光軸方向（Ｙ軸方向）に伸びるとともに、発振器筐体１の下側はその上側に比較して大きく膨張しており、これもＹ軸に沿って湾曲するような（Ｘ軸まわりに回転するような）変形を受けている。なお、図５および図６中に点線で示した矩形は、変形前の発振器筐体１の形状を示している。
【００２５】
さらに、図５および図６に示されるような発振器筐体１の熱変形に伴って、発振器筐体１の両端に取り付けられたベローズ１０，１１の位置も変化する。一般にベローズ１０，１１の芯ずれ方向の剛性は軸方向の剛性に比べて非常に大きいので、ベローズ１０，１１の位置がずれることによって有害な反力が発生する。すなわち、この反力によって、ベローズ１０，１１と接続されている光共振器の構造体が変形し、二つの光学基台７，９の位置関係をずらしてしまう。
【００２６】
このような発振器筐体１の両端面の平行な位置関係を崩すように作用する発振器筐体１の熱変形に対して、この実施の形態１では、二つの光学基台７，９と発振器筐体１の両端面とを板バネ２２，１２を介して連結したことによって、二つの光学基台７，９は発振器筐体１の熱変形による変形力を受けることがない。すなわち、図７に示されるように、発振器筐体１のＹ軸方向の伸びによる変形に対しては、板バネ１２，２２がその伸びを吸収するように変形する。そして、このときの板バネ１２，２２の変形によって生じる反力は非常に小さいので、この反力によって光学基台７，９が受ける力は小さい。その結果、二つの光学基台７，９の間の平行性が維持される。また、図６に示されるような発振器筐体１のＹＺ平面内でのＹ軸に沿った湾曲は、図８に示されるように、板バネ１２（２２）がＸ軸のまわりに反るような変形によって吸収される。この場合も板バネ１２（２２）の変形によって生じる反力は非常に小さいので、光学基台７，９に変形を与えるような大きな力は加わらない。さらに、図５に示されるような発振器筐体１のＸＹ平面内でのＹ軸に沿った湾曲は、図９に示されるように、板バネ１２，２２がＺ軸のまわりにねじれるように変形することによって吸収されるので、光学基台７，９に変形を与えるような大きな力は加わらない。
【００２７】
また、板バネ１２，２２が、光学基台９，７側でのベローズ１１，１０の中心位置を、発振器筐体１の光軸方向の端面におけるベローズ１１，１０の中心位置に対して、Ｘ軸方向、Ｚ軸方向およびＹ軸まわりの回転方向の自由度を拘束しているので、発振器筐体１の熱変形に伴うベローズ１１，１０の位置のずれによる軸ずれ変形は発生せず、光学基台９，７に対する有害な変形力の発生を抑えることもできる。
【００２８】
なお、この実施の形態１では、板バネ１２，２２の上端を発振器筐体１側で支持し、その下端を光学基台７，９側で支持しているので、光学基台７，９の質量による重力方向の力が板バネ１２，２２に対して常時作用する。そして、この力によって板バネ１２，２２には、応力として引張り応力が発生する。そのために、板バネ１２，２２のＹ軸方向の厚さを薄くすることができる。すなわち、板バネ１２，２２の剛性をＸ軸方向とＺ軸方向の曲げおよびＹ軸まわりの回転方向については極めて大きくし、Ｙ軸方向の曲げおよびＸ軸とＺ軸まわりの回転方向については非常に小さくすることが可能となる。
【００２９】
以上で説明したように、発振器筐体１の熱による変形が生じた場合に、光共振器を構成する二つの光学基台７，９が発振器筐体１の両端面にしっかりと固定されているような構成を有する直交励起型レーザ発振器では、発振器筐体１の変形に追従して二つの光学基台７，９は変形力を受け、その結果として二つの光学基台７，９の平行性が失われてしまうが、この実施の形態１によれば、連結部材としての板バネ１２，２２が発振器筐体１の変形を吸収し、光学基台９，７へ変形を伝えることがないので、二つの光学基台７，９の位置関係を維持することができる。また、この実施の形態１によれば、板バネ１２，２２によって、ベローズ１１，１０の軸ずれ変形が及ぼす二つの光学基台９，７への有害な変形力を抑えることもできる。その結果、レーザ光のレーザ光軸を一定に保つことが可能となる。
【００３０】
実施の形態２．
図１０は、この発明にかかる直交励起型レーザ発振器の実施の形態２を示す図であり、連結部材である板バネ１２（２２）としてコの字型形状のものを使用する場合を示している。なお、この図１０では、発振器筐体１と前部光学基台９とを連結する板バネ１２’を取り付ける場合の状態を示しており、上述した実施の形態１と同一の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略している。
【００３１】
上述した実施の形態１では、Ｘ軸方向の長さがＺ軸方向の長さよりも長い矩形状の板バネ１２（２２）を例に挙げて説明したが、この実施の形態２では、コの字型形状の板バネ１２’（２２’）を連結部材として使用する。
【００３２】
このコの字型形状の板バネ１２’は、脚部１２ａ’，１２ｂ’をＺ軸下方に向けて、そして、これらの脚部１２ａ’，１２ｂ’でベローズ１１（１０）を挟むようにして配置される。すなわち、前部光学基台９側において、この板バネ１２’の上端部は板バネ取付座１４と板バネ固体板１５とで挟み付けられた状態で、発振器筐体１の端板１８に固定された板バネ支持板１３の上端部に取り付けられている。また、板バネ１２’の２本の脚部１２ａ’，１２ｂ’は、それぞれ前部光学基台９に取り付けられた板バネ取付座１６ａ’，１６ｂ’と板バネ固定板１７ａ’，１７ｂ’とで挟み付けられた状態で固定される。ただし、板バネ取付座１６ａ’，１６ｂ’と板バネ固定板１７ａ’，１７ｂ’によって固定される板バネ１２’の脚部１２ａ’，１２ｂ’の位置は、ベローズ１１の中心位置の高さと同じ高さとなる。
【００３３】
このように、コの字型形状の板バネ１２’（２２’）は、実施の形態１の矩形状の板バネ１２（２２）と比較して、その形状と配置方法からＺ軸回りの方向に変形し易いものとなっている。つまり、Ｚ軸回りの回転方向の変形を効率的に吸収することが可能となる。
【００３４】
この実施の形態２によれば、コの字型形状の板バネ１２’，２２’を連結部材として使用したので、板バネ１２’，２２’のＺ軸まわりのねじり変形が容易に発生し、板バネ１２’，２２’の変形反力を一層小さくすることができる。その結果、発振器筐体１の熱変形による影響とそれによるベローズ１０，１１の軸ずれ変形による影響を、光共振器を構成する二つの光学基台７，９に与えることがない。
【００３５】
実施の形態３．
図１１は、この発明にかかる直交励起型レーザ発振器の実施の形態３を示す図であり、発振器筐体１と前部光学基台９との接続部分における正面図を示している。上述した実施の形態１では、板バネ１２，２２の上端部は発振器筐体１側に連結され、その下端部は光学基台７，９側に連結される場合を示したが、この実施の形態３では、図１１に示されるように実施の形態１とは逆の場合、すなわち板バネ１２，２２の上端部は光学基台７，９側に連結され、その下端部は発振器筐体１側に連結される場合を示している。
【００３６】
すなわち、前部光学基台９側において、この板バネ１２の下端部は、板バネ取付座１４と板バネ固定板１５とで挟み付けられた状態で、発振器筐体１の光軸方向の側端部に固定された板バネ支持板１３の上端部に取り付けられる。また、板バネ１２の上端部は、前部光学基台９に取り付けられた板バネ取付座１６と板バネ固定板１７とで挟み付けられた状態で固定される。なお、発振器筐体１の側端部、板バネ支持板１３、板バネ取付座１４、板バネ１２および板バネ固定板１５の間は、ネジ止めなどによって固定され、前部光学基台９、板バネ取付座１６、板バネ１２および板バネ固定板１７の間もネジ止めなどによって固定される。図示されていないが、後部光学基台７側も同様にして、板バネ２２の上端部は後部光学基台７側に連結され、その下端部は発振器筐体１の端板２８側に連結される。
【００３７】
この実施の形態３によれば、板バネ１２，２２の発振器筐体１側への連結位置を、光学基台７，９側への連結位置よりも下方にする構成としたので、板バネ１２，２２に光学基台９，７の重力がかかり、そのために板バネ１２，２２の座屈を防止することができる程度に板バネ１２，２２の板厚を厚くする必要があるが、実施の形態１に比べて直交励起型レーザ発振器の組立構造をシンプルにすることが可能となる。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明による直交励起型レーザ発振器によれば、光共振器の光軸方向をＹ軸とし、光軸方向に垂直な高さ方向をＺ軸とし、Ｙ軸およびＺ軸に垂直な方向をＸ軸とした場合に、光学基台側と接続されているベローズの中心位置が、発振器筐体の側端部側と接続されている前記ベローズの中心位置に対して、Ｘ軸およびＺ軸方向の曲げ運動とＹ軸まわりの回転運動を拘束し、Ｙ軸方向の曲げ運動とＸ軸およびＺ軸まわりの回転運動を可能とするように、発振器筐体の光軸方向の側端部と光学基台とを連結する連結部材を備えるように構成したので、発振器筐体の熱変形やベローズの軸ずれ変形による力を吸収することができるという効果を有する。そして、二個の光学基台の位置関係（平行度、軸ずれ）は初期の状態を保つことができ、レーザ光の品質（出力、ビームモード）を安定に保つことができるという効果を有する。
【００３９】
つぎの発明によれば、連結部材を板バネによって構成するようにしたので、発振器筐体の熱変形やベローズの軸ずれ変形による力を効果的に吸収することができるという効果を有する。その結果、２個の光学基台の位置関係（平行度、軸ずれ）は初期の状態を保つことができ、レーザ光の品質（出力、ビームモード）を安定に保つことができるという効果を有する。さらに、リニアベアリング等のガイド機構によって光学基台間の変形を防止する場合には、微小な変位に対して摩擦力によるスティックスリップが発生し、光学基台に有害な変形が発生してしまうが、板バネによるガイド機構を用いる場合には、摩擦力が発生しないためこのようなスティックスリップが発生することがないという効果を有する。そして、板バネによるガイド機構はリニアベアリング等のガイド機構に比べて安価に構成できるという効果を有する。
【００４０】
つぎの発明によれば、連結部材をコの字型形状の板バネによって構成するようにしたので、板バネのＺ軸まわりのねじり変形が容易に発生し、板バネの変形反力を一層小さくすることができるという効果を有する。その結果、発振器筐体の熱変形による影響とそれによるベローズの軸ずれ変形による影響を、光共振器を構成する二つの光学基台に与えることがない。
【００４１】
つぎの発明によれば、板バネの上端部は発振器筐体の側端部側で支持され、その下端部は光学基台側で支持されるように構成したので、光学基台の質量による重力によって板バネに引張り応力が発生するために、板バネのＹ軸方向の厚さを薄くすることができるという効果を有する。
【００４２】
つぎの発明によれば、板バネの下端部は発振器筐体の側端部側で支持され、その上端部は光学基台側で支持されるように構成したので、直交励起型レーザ発振器の組立構造をシンプルにすることができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１の直交励起型レーザ発振器の全体斜視図である。
【図２】この発明の実施の形態１の直交励起型レーザ発振器の正面図である。
【図３】この発明の実施の形態１の直交励起型レーザ発振器における連結部材の連結の様子を示す斜視図である。
【図４】この発明の実施の形態１の直交励起型レーザ発振器における発振器筐体と光学基台との間の関係を示す模式図である。
【図５】発振器筐体の熱変形状態を示す平面図である。
【図６】発振器筐体の熱変形状態を示す正面図である。
【図７】連結部材のＹ軸方向の曲げ変形の様子を示す図である。
【図８】連結部材のＸ軸まわりの回転の変形の様子を示す図である。
【図９】連結部材のＺ軸まわりの回転の変形の様子を示す図である。
【図１０】この発明の実施の形態２の直交励起型レーザ発振器における連結部材とベローズの位置関係を示す模式図である。
【図１１】この発明の実施の形態３の直交励起型レーザ発振器の連結部材の位置関係を示す模式図である。
【図１２】直交励起型レーザ発振器の従来例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１発振器筐体、６全反射鏡、７後部光学基台、８部分反射鏡、９前部光学基台、１０，１１ベローズ、１２，１２’，２２，２２’ 連結部材（板バネ）、１３板バネ支持板、１４，１６，１６ａ’，１６ｂ’ 板バネ取付座、１５，１７，１７ａ’，１７ｂ’ 板バネ固定板、１８，２８端板、１１２〜１１５支持棒。

Claims

発振器筐体と、前記発振器筐体の両側に設置され、光軸方向に延在する少なくとも３本の支持棒によって互いに平行接続された、光共振器を構成する光学部品をそれぞれ支持する一対の光学基台と、前記一対の光学基台と前記発振器筐体との間を接続する一対のベローズとを備える直交励起型レーザ発振器において、
前記光共振器の光軸方向をＹ軸とし、前記光軸方向に垂直な高さ方向をＺ軸とし、前記Ｙ軸およびＺ軸に垂直な方向をＸ軸とした場合、
前記光学基台側と接続されている前記ベローズの中心位置が、前記発振器筐体の側端部側と接続されている前記ベローズの中心位置に対して、Ｘ軸およびＺ軸方向の曲げ運動とＹ軸まわりの回転運動を拘束し、Ｙ軸方向の曲げ運動とＸ軸およびＺ軸まわりの回転運動を可能とするように、前記発振器筐体の側端部と前記光学基台とを連結する連結部材を備えることを特徴とする直交励起型レーザ発振器。
前記連結部材は、板バネによって構成されることを特徴とする請求項１に記載の直交励起型レーザ発振器。
前記連結部材はコの字型形状の板バネによって構成されることを特徴とする請求項１に記載の直交励起型レーザ発振器。
前記板バネの上端部は前記発振器筐体の側端部側で支持され、その下端部は前記光学基台側で支持されることを特徴とする請求項２に記載の直交励起型レーザ発振器。
前記板バネの下端部は前記発振器筐体の側端部側で支持され、その上端部は前記光学基台側で支持されることを特徴とする請求項２に記載の直交励起型レーザ発振器。