JP3962469B2 - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ Download PDF

Info

Publication number
JP3962469B2
JP3962469B2 JP00873198A JP873198A JP3962469B2 JP 3962469 B2 JP3962469 B2 JP 3962469B2 JP 00873198 A JP00873198 A JP 00873198A JP 873198 A JP873198 A JP 873198A JP 3962469 B2 JP3962469 B2 JP 3962469B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
case
joint
pressure
circuit board
pressure sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP00873198A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH11211600A (ja
Inventor
幸造 山岸
陽司 芹沢
晴彦 関谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nagano Keiki Co Ltd
Original Assignee
Nagano Keiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nagano Keiki Co Ltd filed Critical Nagano Keiki Co Ltd
Priority to JP00873198A priority Critical patent/JP3962469B2/ja
Priority to US09/208,689 priority patent/US6298730B1/en
Priority to DE69815801T priority patent/DE69815801T2/de
Priority to EP98310141A priority patent/EP0922946B1/en
Publication of JPH11211600A publication Critical patent/JPH11211600A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3962469B2 publication Critical patent/JP3962469B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧力センサに係り、その外郭を形成する継手とカバー部材とのシール性を向上させるのに好適な圧力センサに関する。
【0002】
【背景技術】
流体圧力の測定には、被検知圧力および大気圧の圧力差を検出して電気信号に変換する圧力センサが用いられている。
このような圧力センサは、被設置部にボルト止め等されて固定される金属製の継手と、継手にビーム溶接等によって取り付けられる圧力検出素子と、圧力検出素子に電気的に接続される出力手段と、これらの圧力検出素子および出力手段を覆って継手に取り付けられる樹脂製のカバー部材とを備え、継手の圧力導入孔内に導かれた流体圧が圧力検出素子を形成するダイアフラムの歪みに変換され、この歪みがダイアフラム上の歪みゲージで検出され、この歪みゲージの抵抗値に応じた電気信号が出力手段からコネクタやケーブルを介してカバー部材外へと出力されるようになっている。
そして、継手とカバー部材とは、継手をかしめることで互いに接続されており、それらの部材間にOリング等を介在させてシール性の向上を図っている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、継手を金属製とし、カバー部材を樹脂製とした場合、金属と樹脂との熱膨張係数が著しく異なるため、カバー部材の特に内側への収縮度合いによっては、継手のかしめ部分からカバー材が離れてしまい、シール性を失う可能性がある。
【0004】
そこで、カバー材の収縮を極力抑えるために、カバー材の内部にウレタン樹脂やエポキシ樹脂等を充填して硬化させることも行われるが、このような場合には、充填作業や硬化させるのに手間がかかり、作業性が問題となる。
【0005】
本発明の目的は、良好なシール性を容易に得ることができる圧力センサを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の圧力センサは、薄肉状のかしめ部を有する金属製の継手と、この継手に設けられた圧力導入孔の一端側に取り付けられる圧力検出素子と、この圧力検出素子を囲うようにして前記継手に取り付けられる金属製のケースと、このケースを覆うように配置されかつ前記かしめ部をかしめることで継手に取り付けられる樹脂製のカバー部材と、前記圧力検出素子に対して間隔を空けて配置された回路基板とを備え、前記カバー部材の内面における前記かしめ部に対応した位置には、前記ケースの外面が近接対向し、前記ケースには前記回路基板を保持する保持手段が設けられ、この保持手段は、前記ケースの側面の一部で形成された支持部と、前記ケースの上端縁の一部を折り曲げて形成された接点部とで構成され、これら支持部および接点部で前記回路基板が挟持されていることを特徴とするものである。
【0007】
このような本発明によれば、カバー部材の内面に近接対向させて金属製のケースを配置するため、内側に収縮しようとするカバー部材がケースに押さえられ、その収縮が抑制される。従って、カバー部材と継手とのかしめ状態が確実に維持され、良好なシール性が得られる。また、ケースを継手に取り付けるだけでカバー材の収縮が防げるから、従来のように液状の樹脂を用意して充填したり、硬化させたりする手間が省け、作業性が良好になる。そして、ケースに前記回路基板を保持する保持手段を設けることで、熱による回路基板の変位量が抑えられる。
【0008】
この際、ケースを前記圧力検出素子に電気的に接続された電気回路部品をも囲った状態で継手に取り付けることが好ましい。
このような場合には、金属製のケースが電磁遮蔽用の部材として作用するため、電気回路部品が電磁ノイズから確実に保護され、圧力センサの耐ノイズ性が向上する。
【0009】
また、本発明の圧力センサでは、圧力検出素子に対して間隔を空けて配置された回路基板上に前記電気回路部品を実装し、その回路基板を前記ケース内の樹脂製の台部材に設けられた端子を介して圧力検出素子と電気的に接続し、ケースには台部材の取付方向に沿って突出した突片を設け、台部材にはその突片が挿入される挿入部を設けてもよい。
このような場合には、台部材をケースに取り付けるにあたって、ケースの突片を台部材の挿入部に挿入して嵌合させ、この嵌合部分をも例えば接着剤を用いて接着することにより、単に接着する場合に比してその接着強度が大きくなるうえ、ケースに対する台部材の位置決めも正確に行え、また、位置決め後に台部材がずれる心配もない。
【0010】
本発明での圧力センサでは、前記接点部は、前記回路基板のアースラインと電気的に接続されていることを特徴とする。
【0011】
以上において、カバー部材をコネクタとし、このコネクタを、継手に取り付けられるコネクタ本体と、このコネクタ本体の内側から外側に向かって貫通したターミナルと、このターミナルに一体に設けられてコネクタ本体の内面に取り付けられる受部材とで構成し、この受部材をコネクタ本体に対する取付方向の後方側からケースで支持することが好ましい。
このような場合には、前記コネクタを相手方(例えば雄型コネクタに対する雌型コネクタ、あるいはその逆)に接続した際に、その接続時の挿入抵抗等によって受部材に力が作用しても、受部材がケースに支持されて押さえられるため、コネクタ本体からの受部材の外れが確実に防止される。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本実施形態に係る圧力センサ1を示す断面図、図2は、その分解斜視図である。
【0013】
圧力センサ1は、図中の二点鎖線で示す被設置部Aの挿入孔Bに挿入される継手10と、継手10にビーム溶接された圧力検出素子20と、検出した圧力に応じて外部に電気信号を出力する出力手段30とを備えたものであり、車載用で油圧を検出するセンサである。
【0014】
継手10は、金属製とされているとともに、一体に設けられたフランジ部140に挿通されるボルトCによって被設置部Aに締着されるようになっている。継手10には図中の上下(以下、上および下の記載は、図中での位置を意味し、必ずしも実際に取り付けられた場合の位置を意味するものではない)に貫通した圧力導入孔11が設けられている。
【0015】
この圧力導入孔11の上部には、一回り大きな径寸法の嵌合部12が設けられ、この嵌合部12には、引抜加工で得られるパイプ13が圧力導入孔11から一部突出した状態に嵌合している。そして、パイプ13に設けられた貫通孔14の径寸法は、圧力導入孔11の径寸法よりも小さく、これによって圧力導入孔11内の容積がより小さく調整され、また、パイプ13が圧力検出素子20を溶接する際の裏あて部材を兼ねるようになっている。そして、圧力導入孔11の上部外周縁部分にはテーパ面15が設けられ、テーパ面15のさらに外周側には係止部としての一段低い位置決め溝16が設けられている。
【0016】
この位置決め溝16は、後述するケース31の取付時に利用されるものであり、平面環状に連続して設けられている。位置決め溝16の底面側(すなわち深さ方向の奥側)は、圧力導入孔11の径方向の内側に向かって抉られた状態に設けられている。
【0017】
圧力検出素子20は、金属ダイアフラム21の上面に酸化シリコン等の絶縁膜を介して歪みゲージを設けた歪みゲージ型の素子(モジュール)である。この圧力検出素子20では、ダイアフラム21が下方の筒状部22と一体に形成され、筒状部22の内側面をパイプ13の外側面に接触させることにより、圧力検出素子20全体がガイドされながら継手10の上部に配置され、これによって筒状部22の内部と圧力導入孔11とが連通してダイアフラム21の感圧面に油圧が作用する。そして、筒状部22の下端には継手10のテーパ面15と対向当接する別のテーパ面23が設けられ、各テーパ面15,23同士が当接した状態でその傾斜角度に沿った方向からビーム溶接されている。
【0018】
出力手段30は、電気回路部品50をノイズから保護する電磁遮蔽用の金属製ケース31と、ケース31内の底部分に接着されて圧力検出素子20を囲う樹脂製の台部材32と、台部材32の上方に配置された回路基板33と、これらの各部材31〜33の全体を覆うカバー部材としての樹脂製のコネクタ34とで構成され、台部材32および回路基板33が第1端子35で接続され、回路基板33およびコネクタ34が第2端子36で電気的に接続されている。
【0019】
ケース31は、底部分が継手10の取付面10B上に配置された状態でプロジェクション溶接等され、底の中央部分に設けられた開口を通して圧力検出素子20がケース31内に収容されるようになっている。ケース31の底側開口部周縁の一部分には、しぼり加工等によって下方に折曲した突起部31Aが設けられており、この突起部31Aが断面凹略状に設けられた前記位置決め溝16の上部周縁に嵌合係止し、これによってケース31が継手10に対して位置決めされるようになっている。また、ケース31の底側開口部周縁の他の部分には、上方に折曲した突片31B(図2)が設けられ、この突片31Bが台部材32を取り付ける際に利用される。
【0020】
このケース31には、側面の一部をプレスや切り起こし等で加工した支持部37が設けられ、この支持部37上に回路基板33が載置されるようになっている。また、ケース31の上端縁の一部には、回路基板33の上面に折り曲げられる接点部38が設けられており、接点部38を介して回路基板33のアースラインとケース31(最終的には継手10)とが電気的に接続されることで、回路基板33の下面に実装されてケース31に囲われたIC等の電気回路部品50が確実に電磁遮蔽され、また、その接点部38によって回路基板33がケース31に上方から確実に押さえ込まれるようになっている。すなわち、それら支持部37および接点部38で本発明に係る保持手段を形成している。
【0021】
台部材32にはケース31の突片31Bに対応した挿入部32A(図2)が設けられ、接着剤を台部材32の下面に塗布するのみならず挿入部32A内にも充填することにより、この挿入部32Aと突片31Bとを嵌合させて台部材32を取り付け、これによってケース31に対する台部材32の取付強度を向上させている。このような台部材32には第1端子35の下端側がインサートモールドされている。第1端子35の下端側は台部材32の上面に露出しており、この露出した部分と圧力検出素子20の前述した歪みゲージとがワイヤーボンディング等で電気的に接続されている。
【0022】
コネクタ34には樹脂製の受部材52にインサートモールドされた複数のターミナル53が設けられ、これらのターミナル53の下端側に穿設された挿通孔に第2端子36の上端側が挿通されて半田付けされている。各ターミナル53は、受部材52ごとコネクタ本体54の内側から固定され、外側に貫通した先端のみが露出するようになっている。受部材52の下部側にはケース31の上端縁と当接して支持される受部52Aが設けられ、受部材52がコネクタ本体54の挿入部69から外れるのを防止している。
【0023】
このようなコネクタ本体54の下端側は、継手10の薄肉状のかしめ部である立上部17の内側にOリング56を介して位置されるとともに、その内面がケース31の外面と近接対向するようになっており、立上部17の先端をかしめることで継手10に固定される。なお、コネクタ本体54の内面とケース31の外面とは、図1に示すように互いに接触していることが好ましいが、コネクタ34の内側への収縮をシール性が失われない程度に抑制できれば、若干の隙間を空けて近接対向させてもよい。
【0024】
このような出力手段30では、圧力検出素子20のダイアフラム21に作用する圧力は、ダイアフラム21上の歪みゲージおよびこれに第1端子35を介して接続された回路基板33上の電気回路によって電気抵抗値に変換され、さらに、電気回路によってその抵抗値が所定の電気信号に変換され、その電気信号が第2端子36を介してコネクタ34のターミナル53から出力される。
【0025】
このような本実施形態においては、先ず、継手10に圧力検出素子20をビーム溶接する。
次いで、ケース31を上方から継手10に配置するとともに、ケース31の突起部31Aを位置決め溝16に係止させることでケース31を位置決めし、この後、ケースを継手10に対してプロジェクション溶接で固定する。
そして、台部材32の下面および挿入部32Aに接着剤を塗布および充填した後、その挿入部32Aと突片31Bとを嵌合させてケース31内に台部材32を接着し、ワイヤーボンディングを行って圧力検出素子20と第1端子35を導通させる。
さらに、第1端子35がスルーホール等に挿通されるようにして回路基板33を上方から配置し、ケース31の接点部38を折り曲げて回路基板33を固定し、第1端子35の半田付けを行う。
【0026】
次に、受部材52と一体になったターミナル53を第2端子36に半田付けするとともに、受部材52をケース31の上端縁に載せて支持させ、この状態を維持ししながら受部材52をコネクタ本体54の挿入部69に挿入して接着剤等で固定する。そして、コネクタ34をケース31等を覆うように配置し、最後に、継手10をかしめてコネクタ34を固定し、これにより圧力センサ1の組立が完了する。
また、圧力センサ1を被設置部Aに取り付ける際には、フランジ部140にボルトCを挿通して締め付ければよい。
【0027】
このような本実施形態によれば、以下のような効果がある。
1)圧力センサ1では、金属製のケース31が樹脂製のコネクタ本体54の内面に近接対向させて配置されているため、継手10のかしめ部分から離れて内側に収縮しようとするコネクタ34をケース31で押さえることができ、その収縮を抑制できる。従って、コネクタ34と継手10とのかしめ状態を確実に維持でき、良好なシール性を得ることができる。
【0028】
2)ケース31を継手10に取り付けるだけでコネクタ34の収縮を防止できるため、液状の樹脂を用意してコネクタ34の内部に充填したり、硬化させたりする必要がなく、作業性を良好にできる。
【0029】
3)金属製のケース31は、電気回路部品50をも囲った状態で継手10に取り付けられているため、そのケース31を電磁遮蔽用の部材として作用させることができ、電気回路部品50を電磁ノイズから確実に保護して圧力センサ1の耐ノイズ性を向上させることができる。
【0030】
4)台部材32をケース31に取り付けるにあたっては、ケース31の突片31Bを台部材32の挿入部32Aに挿入して嵌合させるが、この際、それらの嵌合部分をも接着剤を用いて接着するため、単に台部材32の底面に接着剤を塗布して接着する場合に比し、その接着強度を大きくできる。
【0031】
5)台部材32の挿入部32Aにケース31の突片31Bを嵌合させることにより、ケース31に対する台部材32の位置決めも正確に行える。また、位置決め後においても、接着剤が硬化するまでの間に台部材32がずれるのを防止できる。
【0032】
6)ケース31には回路基板33を保持するための支持部37および接点部38が設けられているため、熱による回路基板33の変位量を小さく抑えることができ、回路基板33と第1端子35との半田付け部分や、第2端子36とターミナル53と半田付け部分等の応力疲労を低減でき、信頼性を向上させることができる。
【0033】
7)受部材52の下部側には、ケース31の上端縁に当接する受部52Aが設けられているため、コネクタ34を相手方に接続した際に、その接続時の挿入抵抗等によって受部材52に力が作用しても、受部材52をケース31で支持させて押さえることができ、受部材52がコネクタ本体54の挿入部69から外れるのを確実に防止できる。
【0034】
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる他の構成等を含み、以下に示すような変形等も本発明に含まれる。
例えば、前記第実施形態では、圧力センサ1はフランジ部140にボルトCを挿通することで被設置部Aに締着されるようになっていたが、挿入孔Bの内周面に雌ねじを刻設し、この雌ねじに対応させた雄ねじを圧力導入孔11周りに刻設し、これによって圧力センサ自身を回転させて締着してもよく、こうすることでフランジ部を不要にできる。
【0035】
前記実施形態では、圧力センサ1の外郭を形成する部材としてコネクタ34が用いられていたが、例えば電気信号をケーブル等で外部に出力するなど、コネクタが不要な場合には、樹脂製のカバー部材を用いて圧力センサの外郭を形成してもよい。
【0037】
さらに、そのケース31に設けられた突片31Bや、これと勘合する台部材32の挿入部32Aを省略した場合でも本発明に含まれる。
しかしながら、そのような突片や挿入部を設けることにより、前述した効果を得ることができるので好ましい。
【0038】
前記実施形態では、ケース31が電磁遮蔽用の部材としても作用するようになっていたが、本発明では、ケースがカバー部材の内面と近接対向するように配置され、その結果、かしめ部分のシール性を向上させることができる構成であればよく、電気回路部品をケースで囲むことで電磁遮蔽に用いるか否かは、使用される環境等がノイズ対策を必要とするか否かを勘案して決められればよい。
【0039】
前記実施形態では、車載用で油圧を検出する圧力センサが示されていたが、本発明の圧力センサは、それに限定されないことは勿論であり、船舶、建築用重機、冷凍機、その他あらゆる機器に適用でき、また、空気圧、水圧等、任意の流体の圧力検出に適用できる。
【0040】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明によれば、カバー部材の内面に近接対向させて金属製のケースが配置されているため、内側に収縮しようとするカバー部材をケースで押さえることができ、その収縮を抑制できる。従って、カバー部材と継手とのかしめ状態を確実に維持して良好なシール性を得ることができる。また、ケースを継手に取り付けるだけでカバー材の収縮を防げるため、液状の樹脂を用意して充填したり、硬化させたりする手間を省け、作業性を良好にできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る圧力センサを示す断面図である。
【図2】前記実施形態を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
1 圧力センサ
10 継手
11 圧力導入孔
17 かしめ部である立上部
20 圧力検出素子
31 ケース
31B 突片
32 台部材
32A 挿入部
33 回路基板
34 カバー部材であるコネクタ
35 端子である第1端子
37,38 保持手段を構成する支持部および接点部
50 電気回路部品
52 受部材
53 ターミナル
54 コネクタ本体

Claims (5)

  1. 薄肉状のかしめ部を有する金属製の継手と、この継手に設けられた圧力導入孔の一端側に取り付けられる圧力検出素子と、この圧力検出素子を囲うようにして前記継手に取り付けられる金属製のケースと、このケースを覆うように配置されかつ前記かしめ部をかしめることで前記継手に取り付けられる樹脂製のカバー部材と、前記圧力検出素子に対して間隔を空けて配置された回路基板とを備え、前記カバー部材の内面における前記かしめ部に対応した位置には、前記ケースの外面が近接対向し、前記ケースには前記回路基板を保持する保持手段が設けられ、この保持手段は、前記ケースの側面の一部で形成された支持部と、前記ケースの上端縁の一部を折り曲げて形成された接点部とで構成され、これら支持部および接点部で前記回路基板が挟持されていることを特徴とする圧力センサ。
  2. 請求項1に記載の圧力センサにおいて、前記ケースは、前記圧力検出素子に電気的に接続された電気回路部品をも囲った状態で前記継手に取り付けられることを特徴とする圧力センサ。
  3. 請求項2に記載された圧力センサにおいて、前記電気回路部品は、前記回路基板上に実装され、この回路基板は、前記ケース内の樹脂製の台部材に設けられた端子を介して前記圧力検出素子と電気的に接続され、前記ケースには前記台部材の取付方向に沿って突出した突片が設けられ、前記台部材には前記突片が挿入される挿入部が設けられていることを特徴とする圧力センサ。
  4. 請求項1または請求項2に記載された圧力センサにおいて、前記接点部は、前記回路基板のアースラインと電気的に接続されていることを特徴とする圧力センサ。
  5. 請求項1〜4のいずれかに記載の圧力センサにおいて、前記カバー部材はコネクタであり、このコネクタは、前記継手に取り付けられるコネクタ本体と、このコネクタ本体の内側から外側に向かって貫通したターミナルと、このターミナルに一体に設けられて前記コネクタ本体の内面に取り付けられる受部材とを備え、この受部材は、前記コネクタ本体に対する取付方向の後方側が前記ケースで支持されていることを特徴とする圧力センサ。
JP00873198A 1997-12-11 1998-01-20 圧力センサ Expired - Fee Related JP3962469B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP00873198A JP3962469B2 (ja) 1998-01-20 1998-01-20 圧力センサ
US09/208,689 US6298730B1 (en) 1997-12-11 1998-12-10 Pressure sensor
DE69815801T DE69815801T2 (de) 1997-12-11 1998-12-10 Druckwandler
EP98310141A EP0922946B1 (en) 1997-12-11 1998-12-10 Pressure sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP00873198A JP3962469B2 (ja) 1998-01-20 1998-01-20 圧力センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11211600A JPH11211600A (ja) 1999-08-06
JP3962469B2 true JP3962469B2 (ja) 2007-08-22

Family

ID=11701111

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP00873198A Expired - Fee Related JP3962469B2 (ja) 1997-12-11 1998-01-20 圧力センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3962469B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013019781A (ja) * 2011-07-12 2013-01-31 Denso Corp 圧力センサおよび圧力センサの取り付け構造

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5972850B2 (ja) * 2013-11-15 2016-08-17 長野計器株式会社 物理量測定センサ
JP6834405B2 (ja) * 2016-11-25 2021-02-24 日本電産トーソク株式会社 油圧センサ取付構造
JP6827212B2 (ja) * 2016-12-20 2021-02-10 パナソニックIpマネジメント株式会社 センサ装置及び照明器具

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013019781A (ja) * 2011-07-12 2013-01-31 Denso Corp 圧力センサおよび圧力センサの取り付け構造

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11211600A (ja) 1999-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100530434B1 (ko) 내연기관 흡입관내의 압력 및 온도 검출장치와 이 장치의 제조방법
EP0922946B1 (en) Pressure sensor
EP1970686B1 (en) Pressure sensor and manufacturing method of said sensor
KR19990082707A (ko) 압력센서
CN100390516C (zh) 压力传感器
JP3198773B2 (ja) 半導体圧力検出器及びその製造方法
KR20050018590A (ko) 압력 센서
US20100206085A1 (en) Sensor
US6763724B2 (en) Hermetic pressure transducer
JP4118990B2 (ja) 圧力センサ
US6715357B2 (en) Hermetic pressure transducer
US6619132B2 (en) Sensor including a circuit lead frame and a terminal lead frame formed by a metal plate
US6672170B1 (en) Hermetic pressure transducer
JP3962469B2 (ja) 圧力センサ
ES2427167T3 (es) Alojamiento para un sensor de presión y procedimiento para su fabricación
JP3871430B2 (ja) 圧力センサ
JP5050392B2 (ja) 圧力センサ
JP3509627B2 (ja) 圧力検出装置
JP3880176B2 (ja) 圧力センサ
JPH11201852A (ja) 圧力センサ
JP4622666B2 (ja) 電子装置
JP4049109B2 (ja) 圧力センサ
JP4442399B2 (ja) 圧力センサおよびその組み付け構造
JP3722191B2 (ja) 半導体圧力センサ
JP2002162305A (ja) 圧力センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040614

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060718

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060725

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060921

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070508

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070521

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130525

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees