JP4086461B2

JP4086461B2 - インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ

Info

Publication number: JP4086461B2
Application number: JP2000349541A
Authority: JP
Inventors: 嘉隆林
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2000-11-16
Filing date: 2000-11-16
Publication date: 2008-05-14
Anticipated expiration: 2020-11-16
Also published as: JP2002144565A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェットヘッド及びインクジェットプリンタに関し、さらに詳しくは、磁歪素子の変形を利用してインクをノズルから射出させるインクジェットヘッド、及びそのインクジェットヘッドを用いることにより、制御性良くインクを射出するオンデマンド方式のインクジェットプリンタに関する。
また、本発明はインクに限らずノズル穴から制御性良く液体を噴射する素子、及びその素子を用いた装置に応用可能である。
【０００２】
【従来の技術】
従来、パソコン等の情報処理装置からの出力用プリンタとしてインパクトドットプリンタ等が多く使用されたが、その後レーザープリンタに変わり、最近では、低価格，カラー化の要求のもとにオンデマンド方式のインクジェットプリンタが多く使用されるようになっている。
オンデマンド方式のインクジェットプリンタとして代表的なものは、インクを急激に加熱し、インクの体積変化の圧力によりインクを吐き出させる方式（例えば、特公昭６１−５９９１１号公報等）と、また電圧を印加することにより変形する性質を有する圧電体を用いてインクを吐き出させる方式がある（例えば、特公平２−５１７３４号公報等）。
【０００３】
圧電方式はインクの噴出の制御性が良いことが特徴としてあげられ、そのヘッドとしては圧電材料が用いられており、その構成も種々のものが周知である。例えば、振動子円筒缶のように円筒状の圧電素子を取り付け、その圧電素子に電圧をかけたときの体積変化によりインクを噴出させる方式や、平板振動子をインク室の外側に配置し、電圧を印加した際のインク室の体積変化によりインクを吐き出させる方式等がある。
従来の圧電素子を用いたインクジェットヘッドは、先端にノズルを有するインク室があり、そのなかにインクが充填されている。インク室の外側に振動板が設けられ、その上部に圧電素子が設けられる構成となっている。圧電素子の両面には電極が設けられ、その電極に印加した電圧を入切することにより圧電素子が変形し、圧電素子と振動板とのバイメタル効果によりたわみ変形が起き、その体積変化でインクが吐き出される。
【０００４】
圧電素子に代えて磁歪素子を用いた従来技術もあるが、単に圧電素子を置き換えできるというもので、詳しい具体的な報告はない。
また、静電気力を利用したものも報告されている（例えば、特開平７−８１０８８号公報等）。この原理は、２つの平板に電圧をかけたとき、平板間に静電気力が働き、引き合ったり、反発したりする現象を利用したものである。静電気力を利用したものは構造を簡単化しやすく、半導体などの微細加工プロセスを利用して製造することができ、小型化に有利という面があるが、２つの電極間にごみがつまる等で短絡が起こり、素子が壊れてしまうという現象が起こりやすいため、電極間隔を広げたり、精密な制御が必要となるといった欠点があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前記のように、圧電素子や静電気力を利用したインクジェットヘッドが報告されているが、圧電素子においては一般に圧電素子の材質がセラミックであるため、素子を作製する際に高温での焼結が必要となり、振動子以外の材料に制約があるという問題点があった。また、焼結体であるため、半導体加工のような薄膜プロセスにはなじみにくく、作製が煩雑になるという問題があった。
また、静電気力を利用したインクジェットヘッドの場合、静電気力は電極間隔が狭くなるほど力が大きくなるため、電極間隔が狭いほうが有利であるが、狭くすることによりほこり等に対して弱くなり、精密な電極間隔の制御が必要となるといった問題点があった。
【０００６】
以上のような従来のインクジェットヘッドが有する問題点は、駆動部に磁歪材料を用いることで解決され、大きな変形量，発生力を有する駆動部を備えたインクジェットヘッドを実現することができる。しかし、磁歪材料は励磁する必要があるため、コイルなどの励磁部が大きくなってしまうといった問題点があった。
したがって、本発明は、駆動部の変形量、発生力が大きいとともに、従来例に比較し、制御性、省消費電力性、生産性等に優れたインクジェットヘッド、及びインクジェットプリンタを実現することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その第１の技術手段は、インクを射出する駆動部に磁歪素子を用い、該磁歪素子に常時磁界を印加し該磁歪素子を変形しておき、前記変形した磁歪素子に熱を加え前記変形を戻す変形を起こさせることによりインクを射出するインクジェットヘッドであることを特徴とする。
【０００８】
第２の技術手段は、第１の技術手段のインクジェットヘッドにおいて、前記磁歪素子は、Ｔｂ及びＦｅを含む化合物またはＳｍ及びＦｅを含む化合物からなることを特徴とする。
【０００９】
本発明の第３の技術手段は、第１の技術手段のインクジェットヘッドにおいて、前記磁歪素子は、磁界を印加することにより磁界と平行方向に伸びる性質を持つ材料と磁界と平行方向に縮む性質を持つ材料の積層体であることを特徴とし、第４の技術手段は、該磁歪素子が、Ｔｂ及びＦｅを含む化合物とＳｍ及びＦｅを含む化合物の積層体からなることを特徴とする。
【００１０】
本発明の第５の技術手段は、第１〜第４の技術手段のインクジェットヘッドにおいて、前記磁歪素子に磁界を印加する手段は、永久磁石であることを特徴とする。
【００１１】
本発明の第６の技術手段は、第５の技術手段のインクジェットヘッドにおいて、前記永久磁石は、ＳｍＣｏ系合金、またはＮｄＦｅＢ系合金からなることを特徴とする。
【００１２】
本発明の第７の技術手段は、第１〜第６の技術手段のインクジェットヘッドにおいて、前記磁歪素子と永久磁石の一方または双方を、薄膜で作製することを特徴とする。
【００１３】
本発明の第８の技術手段は、第１〜第７の技術手段のインクジェットヘッドにおいて、前記磁歪素子に熱を加える手段は、発熱体であることを特徴とする。
【００１４】
本発明の第９の技術手段は、第１〜第７の技術手段のインクジェットヘッドにおいて、前記磁歪素子に熱を加える手段は、光または電磁波であることを特徴とする。
【００１５】
本発明の第１０の技術手段は、インクを射出するインクジェットヘッドに第１〜第９の技術手段のインクジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタであることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図１３に示す実施例に基づいて説明する。なお、本発明の技術的範囲は、実施例の記載によって何ら限定されて解釈されるものではない。
（第１実施例）
第１実施例は請求項１の発明に対応し、インクを射出させるための駆動部として磁歪素子を用い、その磁歪素子を励磁するために磁歪素子に磁界を印加し磁歪素子を変形させておき、磁歪素子に熱を加えることにより変形を戻す変化を起こさせることによりインクを射出するインクジェットヘッドに関する。
【００１７】
ここで、磁歪とは磁性体が磁界印加されることにより伸びるまたは縮むといった変形を起こす性質であり、磁性材料は程度の差はあるが、この性質を持っている。特にその変形量が大きいものを磁歪材料と呼び、古くから超音波発生用の振動子等に用いられている。
磁歪材料の例としては、Ｎｉ，ＦｅＡｌ，ＦｅＣｏ，ＮｉＦｅ，ＮｉＣｏ，ＦｅＳｉ，ＦｅＢ，ＦｅＳｉＢ，ＦｅＣｏＳｉＢ，ＦｅＰｄ等の合金系のほか、Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ｃｕ等を１種類以上混合し焼結などで作製するＮｉＣｏフェライト、ＮｉＣｕＣｏフェライト等のフェライト材料もある。
ＦｅＢ，ＦｅＳｉＢ，ＦｅＣｏＳｉＢ等の合金は、歪み量は比較的小さな値であるが、電気的エネルギーを機械的エネルギーに変えるための変換効率の良さを示す電気機械結合係数が圧電素子よりも高い値を示すものがあり、これらの材料を用いることは効果が大きい。
フェライト材料の中でマグネタイト系の材料は、材料に強い圧力がかかった状態でも良好な動作をするという性質がある。また、磁歪材料には印加磁界と平行な方向に伸びる性質を持つ材料と縮む性質を持つ材料がある。
【００１８】
図１は、本発明の第１実施例によるインクジェットヘッドの磁歪素子周辺の概略を示す断面図であり、磁界が印加することにより縮む性質を有する磁歪素子を用いた例である。
インクジェットヘッドは、基板１，振動板２，ノズル３，磁歪素子４，磁界印加手段（図示せず），加熱手段（図示せず）を主な構成要素とし、磁歪素子４に磁界を印加することにより変形することと、その変形が加熱手段による加熱により元の状態に戻る変化に基づいて、インク室５内のインクがノズル３より押し出されて射出される。
図１の状態では、磁歪素子４に磁界が印加されておらず、磁歪素子４は変形していないので、インク室５は大きな容積を占めている。第１実施例のインクジェットヘッドの使用時、磁歪素子４には常時磁界Ｈが印加されているので、磁歪素子４は磁界方向の長さが縮むように変形しており、それに伴い図２に示すように振動板２もインク室５の容積が小さくなるように変形している。この状態で、磁歪素子４を加熱手段により加熱しキュリー点以上の温度に加熱すると、変形がない図１の状態に戻る。
なお、加熱手段の具体例については後述する。
【００１９】
次に、インクが射出される原理を説明する。
図２は、図１に示すインクジェットヘッドの状態から磁歪素子４に磁界Ｈを印加した状態を示す図で、磁界Ｈの印加に伴う磁歪素子４の変形により振動板２が変形し、インクが射出され、その直後の磁歪素子４は収縮した状態である。
次に、その状態から磁歪素子４に熱を加え、磁歪素子４をキュリー温度以上に加熱すると、磁歪素子４は変形前の状態に戻り、磁歪素子４と振動板２は図１のような変形前の平面の状態に戻る。この時インクは供給口６よりインク室５内へ供給されてインク室５はインクで満たされる。
インク室５がインクで満たされた時点で、磁歪素子４の温度が下がると磁歪素子４と振動板２は、再び図２のように変形してインク室５のインクを押し出しノズル３よりインク滴７となって射出される。
磁界の印加方法は特に限定されるものではない。
また、振動板２の代わりに磁歪素子４を単体で用いることも可能である。その場合は、変形をより大きくすることができ素子の小型化が可能となる。またその場合、磁歪素子４とインクが接する面に薄い保護層等を構成するとさらに好ましい。
【００２０】
（第２実施例）
第２実施例は請求項２の発明に対応し、磁歪素子４として磁界Ｈを印加することにより磁界と平行方向に伸びる性質を持つ材料と磁界と平行方向に縮む性質を持つ材料とを積層して用いたインクジェットヘッドに関する。
磁界Ｈと平行方向に伸びる性質を持つ材料と磁界Ｈと平行方向に縮む性質を持つ材料とを積層することにより磁歪素子の変形量を大きくすることが可能である。
図５，図６は、第２実施例のインクジェットヘッドに用いる磁歪素子４の構成を示す図で、例えばＴｂＦｅとＳｍＦｅを積層することにより、図５のように磁界を印加しない状態では平行であるが、図６のように磁界Ｈを印加することによりＴｂＦｅは伸び、ＳｍＦｅは縮むため変形が生じる。
それぞれの磁歪素子を単独で用いた場合に比べ大きな変形が得られるためインクの射出を制御し易くなる。
【００２１】
（第３実施例）
第３実施例は請求項３の発明に対応し、磁歪素子４としてＴｂ及びＦｅを含む化合物、またはＳｍ及びＦｅを含む化合物を用いるインクジェットヘッドに関する。
ＴｂＦｅ，ＳｍＦｅ合金等のいわゆるレーベス相を有するＴｂＦｅ₂合金等では、長さＬの磁性体の長さ方向に磁界を印加した場合の磁性体の伸び、または縮み量をΔＬとすると、ΔＬ／Ｌ＝２０００×１０^-6程度とかなり大きな変位量を示すことが知られている。ＴｂＦｅは磁界印加により伸びる性質を持ち、ＳｍＦｅは縮む性質を持つ。
本発明の磁歪素子に用いられる化合物としてＴｂＤｙＦｅ，ＴｂＤｙＨｏＦｅ，ＴｂＦｅＢ，ＳｍＦｅＢ等の合金系が例示できる。大きな磁歪を保ったまま結晶磁気異方性を小さくしたような材料が好ましい。
【００２２】
図１，図２のインクジェットヘッドは、磁歪素子４が磁界Ｈの印加により磁界Ｈと平行方向に縮む性質の材料からなるものであったが、図３，図４の例は、磁歪素子４が磁界Ｈの印加により磁界Ｈと平行方向に伸びる性質の材料からなるものを用いたインクジェットヘッドの例を示すものである。
磁歪素子４に磁界Ｈを印加した図３の状態では、磁歪素子４は伸び変形しており、それに伴い振動板２も変形し、容積が大きくなったインク室５にはインクが満たされている。
インクが射出される原理は、図１，図２の第１実施例で示したものとほぼ同じであり、磁歪素子４が変形することにより振動板２が変形し、図示しない加熱手段により変形した磁歪素子４がキュリー温度以上に加熱されることにより、インク室５内のインクがノズル３より押し出されて射出される。
【００２３】
Ｔｂ及びＦｅを含む化合物としてＴｂＦｅ₂合金を用いた場合、インクが射出される原理を説明する。
図３に示すようにインクを射出した直後の状態では、磁歪素子４は磁界Ｈを印加され伸びて変形している。この状態ではインクは供給口６より供給されてインク室５はインクで満たされている。
次に、その状態から磁歪素子４に熱を加えキュリー温度以上にすると、図４のように磁歪素子２と振動板４は変形前の平面の状態に戻る。この時インク室７のインクを押し出しノズル３よりインク滴７となって射出される。
磁界の印加方法は特に限定されるものではない。また、振動板４を無くし磁歪素子２を単体で振動板と兼用として用いることも可能である。その場合はより変形を大きくすることができ素子の小型化が可能となる。またその場合，磁歪素子２とインクが接する面に薄い保護層などを構成するとさらに好ましい。
Ｓｍ及びＦｅを含む化合物としてＳｍＦｅＢを用いた場合は実施例１で説明したように図１と図２の変形を繰り返すことによりインクが射出される。
【００２４】
（第４実施例）
第４実施例は請求項４の発明に対応し、磁歪素子に磁界を印加する手段として永久磁石を用いるインクジェットヘッドに関する。
磁歪素子４に印加する磁界Ｈを発生する手段としてコイルを用い磁界を発生させることができるが、より省消費電力化をするために永久磁石を用い、そこから発生する磁界を磁歪素子の駆動に利用する。
図７は磁歪素子４を上から見た平面図であるが、磁歪素子４をはさむようにその両側に永久磁石８，８を配置し磁界Ｈを印加する。
また、図８に示すように磁歪素子４の上面または横面等に軟磁性材料９を配置することにより磁気回路が閉じるように構成でき、効率良く磁歪素子４に磁界Ｈを印加することができるようになり好ましい。
【００２５】
（第５実施例）
第５実施例は請求項５の発明に対応し、磁歪素子の励磁用の永久磁石８，８としてＳｍＣｏ系合金、またはＮｄＦｅＢ系合金を用いるインクジェットヘッドに関する。
ＳｍＣｏ系合金は、磁石の強度が強く、キュリー温度が高いため、温度にも強いという利点がある。
また、ＮｄＦｅＢ系合金は、磁石として磁力の強度が最強であるため、強い磁界を印加できる。
また、これらの合金に元素を添加したものも開発されている。最近ではＳｍＦｅＮなどの窒化物、炭化物なども強力な磁力を有することが明らかとなり、それらの合金系も適用可能である。
また、磁石の腐食等による性能劣化を防ぐため、保護膜等で覆う等しても良い。
【００２６】
ここでは、ＳｍＣｏ₅合金を用いた例を示す。
図９は、第５実施例のインクジェットヘッドに用いる磁歪素子４の概略の平面図であるが、ＳｍＦｅ₂からなる磁歪素子４ａの両側に永久磁石８ａ，８ａとしてＳｍＣｏ₅合金を配置し、永久磁石８ａ，８ａと磁歪素子４ａに効率良く磁界が印加されるように軟磁性材料９ａとしてＮｉＦｅ合金等を用いて閉磁路が形成されるように各素子を構成した。
【００２７】
（第６実施例）
第６実施例は請求項６の発明に対応し、磁歪素子及び／または永久磁石を薄膜で作製するインクジェットヘッドに関する。
図１０は、第６実施例のインクジェットヘッドの概略の断面を示す図であるが、磁歪素子４または永久磁石８ｂ，８ｂを、または磁歪素子４ｂ，永久磁石８ｂ，８ｂの両方を薄膜で作製する。
磁歪素子、永久磁石を薄膜で作製することによりフォトリソグラフィ等のプロセス技術を応用することができ、作成法が容易になる。
【００２８】
（第７実施例）
第７実施例は請求項７の発明に対応し、磁歪素子に熱を加える加熱手段として発熱体を用いたインクジェットヘッドに関する。
図１１は、第７実施例のインクジェットヘッドに用いる磁歪素子４の概略の平面図であるが、磁歪素子４の近傍に発熱体１０を設け、発熱体１０に電流を流すことにより温度を上昇させ、磁歪素子４の温度をキュリー温度以上にすることにより駆動する。磁歪素子４としてＴｂＤｙＦｅＢアモルファス合金を用いる。発熱体１０はヒータ線だけで構成できるため、簡単な構成のインクジェットヘッドを形成することができる。
【００２９】
（第８実施例）
第８実施例は請求項８の発明に対応し、磁歪素子に熱を加える手段として光または電磁波を用いたインクジェットヘッドに関する。
磁歪素子４にレーザ等の光を照射することにより光のエネルギーを熱に変換させ磁歪素子をキュリー温度以上にする。光により磁歪素子４の温度を制御し駆動を行う。
図１２は、第８実施例のインクジェットヘッドの概略の断面を示す図であるが、磁歪素子４にレーザーダイオード１１が発光したレーザ光を照射し、そのエネルギを熱に変えることにより磁歪素子４を駆動する。レーザ等の光を用いることにより、磁歪素子４から離れて駆動手段を構成することができ、また光は応答が速く、高速駆動に適する。
【００３０】
（第９実施例）
第９実施例は請求項９の発明に対応し、インクを射出するインクジェットヘッドとして第１〜第９実施例のインクジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタに関する。
図１３は、インクジェットプリンタの概略の構成を示す側断面図である。
このインクジェットプリンタは、給紙カセット２１から送り出した用紙２２を給紙ローラ２３で搬送し、更に搬送部２４で用紙２２を搬送しながらインクジェットヘッドからなる記録ヘッド２５によって用紙２２上に画像を記録して排紙トレイ２６に排紙する構成である。
そして、給紙ローラ２３の下流側に用紙２２の有無を検知したり用紙２２の種別を検出するセンサ２７，センサ２８を配置している。ここで、センサ２７，センサ２８は透過型フォトセンサを用いることができるが、これに限るものではなく、その他の光学式，メカ式等種々の検知手段を用いることができる。
【００３１】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば次のような効果を奏する。
（１）請求項１の発明によれば、インクジェットヘッドの駆動部を磁歪素子により形成し、磁歪素子に磁界を印加し、また磁歪素子を加熱することにより駆動するので、従来にない新規な構成で、制御性，省消費電力性，生産性に優れたインクジェットヘッドが実現可能となる。
【００３２】
（２）請求項２の発明によれば、磁歪素子として、磁界を印加することにより磁界と平行方向に伸びる磁歪素子材料と磁界と平行方向に縮む磁歪素子材料の積層体を用いるので、いずれかの磁歪素子材料を単独で用いた場合に比べ大きな変形が得られるため、インクの射出制御が容易である。
【００３３】
（３）請求項３の発明によれば、磁歪素子として、Ｔｂ及びＦｅを含む化合物、またはＳｍ及びＦｅを含む化合物を用いるので、インクジェットヘッドのインク室の体積変化が大きくでき、インクの射出量の制御性が向上する。
【００３４】
（４）請求項４の発明によれば、磁歪素子に磁界を印加する手段が永久磁石であるので、省消費電力化が可能となる。
【００３５】
（５）請求項５の発明によれば、永久磁石はＳｍＣｏ系合金、またはＮｄＦｅＢ系合金からなるので、より大きな駆動力が得られる。
【００３６】
（６）請求項６の発明によれば、磁歪素子，永久磁石は、薄膜で作製するので、インクジェットヘッドの作製にあたってより簡便なプロセスを適用することが可能となる。
【００３７】
（７）請求項７の発明によれば、磁歪素子の加熱手段が発熱体であるので、比較的単純な素子の構成にすることができ、その簡単な構成でも大きな駆動力が得られる。
【００３８】
（８）請求項８の発明によれば、磁歪素子の加熱手段が光または電磁波であるので、素子の駆動に関して制御性が良くなりインクの射出量などの制御性も向上する。
【００３９】
（９）請求項９の発明によれば、駆動部が磁歪素子よりなるインクジェットヘッドを用いたので、従来とは異なる新規な構成で、制御性，省消費電力性，生産性に優れたインクジェットプリンタが実現可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例のインクジェットヘッドにおいて、駆動部の磁歪素子が磁界を印加することにより縮む性質を持つ材料である場合の構成を示す概略断面図である。
【図２】図１に示すインクジェットヘッドがインクを射出する時の概略断面図である。
【図３】第１実施例のインクジェットヘッドにおいて、駆動部の磁歪素子が磁界を印加することにより伸びる性質を持つ材料である場合の構成を示す概略断面図である。
【図４】図２に示すインクジェットヘッドがインクを射出する時の概略断面図である。
【図５】第２及び第３実施例のインクジェットヘッドにおける、ＳｍＦｅとＴｂＦｅ合金の積層体からなる磁歪素子の積層状態を示す模式図である。
【図６】図５に示す磁歪素子に磁界を印加した時のＳｍＦｅとＴｂＦｅ合金の積層状態を示す模式図である。
【図７】第４実施例のインクジェットヘッドにおける、永久磁石を用いた磁界印加手段を示す概略平面図である。
【図８】図７に示す永久磁石に磁気回路を形成した磁界印加手段を示す概略平面図である。
【図９】第５実施例のインクジェットヘッドにおける、ＳｍＣｏ系合金またはＮｄＦｅＢ系合金からなる永久磁石を用いた磁界印加手段を示す概略平面図である。
【図１０】第６実施例のインクジェットヘッドにおいて、薄膜で作成された磁歪素子、永久磁石を用いたインクジェットヘッドの断面の概略図である。
【図１１】第７実施例のインクジェットヘッドにおける、発熱体からなる加熱手段を備えた磁界印加手段を示す概略平面図である。
【図１２】第８実施例のインクジェットヘッドにおいて、光を用いた加熱手段を備えたインクジェットヘッドを示す概略断面図である。
【図１３】第９実施例のインクジェットプリンタの概略断面図である。
【符号の説明】
１…基板、２…振動板、３…ノズル、４，４ａ，４ｂ…磁歪素子、５…インク室、６…供給口、７…インク滴、８，８ａ，８ｂ…永久磁石、９，９ａ…軟磁性材料、１０…発熱体、１１…レーザーダイオード、２１…給紙カセット、２２…用紙、２３…ローラ、２４…搬送部、２５…記録ヘッド、２６…排紙トレイ、２７…センサ、２８…センサ。

Claims

インクを射出する駆動部に磁歪素子を用い、該磁歪素子に常時磁界を印加し該磁歪素子を変形しておき、前記変形した磁歪素子に熱を加え前記変形を戻す変化を起こさせることによりインクを射出することを特徴とするインクジェットヘッド。
前記磁歪素子は、Ｔｂ及びＦｅを含む化合物またはＳｍ及びＦｅを含む化合物からなることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
前記磁歪素子は、磁界を印加することにより磁界と平行方向に伸びる性質を持つ材料と磁界と平行方向に縮む性質を持つ材料の積層体であることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
前記磁歪素子は、Ｔｂ及びＦｅを含む化合物とＳｍ及びＦｅを含む化合物の積層体からなることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
前記磁歪素子に磁界を印加する手段は、永久磁石であることを特徴とする請求項１乃至４いずれか記載のインクジェットヘッド。
前記永久磁石は、ＳｍＣｏ系合金、またはＮｄＦｅＢ系合金からなることを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッド。
前記磁歪素子と永久磁石の一方または双方を、薄膜で作製することを特徴とする請求項１乃至６いずれか記載のインクジェットヘッド。
前記磁歪素子に熱を加える手段は、発熱体であることを特徴とする請求項１乃至７いずれか記載のインクジェットヘッド。
前記磁歪素子に熱を加える手段は、光または電磁波であることを特徴とする請求項１乃至７いずれか記載のインクジェットヘッド。
インクを射出するインクジェットヘッドが、請求項１乃至９いずれか記載のインクジェットヘッドであることを特徴とするインクジェットプリンタ。