JP4333659B2 - フレキシブル配線基板 - Google Patents

Description

本発明は、電子機器などの内部配線や電子機器間の配線接続に用いる端子部を有するフレキシブル配線基板に関する。

近年、電子機器などにあってはＥＭＩ（電磁干渉）対策が重要な問題となっている。例えば、電子機器内部の回路基板を別の回路などと接続する場合、ケーブルであるフレキシブル配線基板がアンテナとなって電磁ノイズが電子機器内外に輻射され、大きな問題となる。

従来、回路基板での電磁ノイズの防止は、回路基板と同一平面上や、例えばフレキシブル配線基板接続用のオス型コネクタの周囲にＥＭＩ対策用のフィルタ素子であるチップコンデンサの一方の電極端子を端子ピンに接続し、他方の電極端子を接地するなどのフィルタ回路構成により行われている。

このような構成では、電子部品の周囲にさらにチップコンデンサを実装する接地スペースが必要なために、電子機器の小型化が極めて困難であった。

また、フレキシブル配線基板そのものを電磁シールドすることにより、電磁ノイズを防止する方法もあるが、フレキシブル配線基板のコストアップを招いていた。

これらの問題を解消するため、一面に信号線とグランド線を形成したベースフィルムの端子部の裏側に、ベタ電極であるグランド電極を形成し、グランド電極の上に端子部を補強するための補強板を設け、グランド線とグランド電極とをベースフィルムに設けた導電ビアを介して接続したフレキシブル配線基板が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

これによれば、コネクタと接続するための端子部の配線を一面のみに設けているので、背の低いコネクタを使用することができる。また、ベースフィルムを介した信号線とグランド電極間でコンデンサを形成しフィルタ素子とするため、回路基板上に別途チップコンデンサなどを設ける必要がなく、回路基板のスペースの増大を低減できることが示されている。
特開平８−２７９６６７号公報

しかしながら、上述の特許文献１に示すフレキシブル配線基板においては、ベースフィルムを誘電体として用いるため、対向する配線とグランド電極との面積や誘電体の厚みと誘電率でコンデンサ容量が決まり、任意のコンデンサ容量を実現することが困難である。そのため、要望される電磁ノイズに対する防止性能を得るには限度があった。

また、ベースフィルムの材料により誘電率が決まるため、フレキシブル配線基板のベースフィルムに用いる材料が制限されるという課題があった。さらに、要望されるコンデンサ容量により、ベースフィルムの厚みが変わるため、補強板の厚みをそれに合わせて設計しなければならず、生産性が低下するという課題もあった。

本発明は上記課題を解決するためになされたもので、シート状デバイスからなるシート部材で端子部の補強と電磁ノイズの防止機能を兼用するとともに、任意のコンデンサ容量の設定により電磁ノイズの防止性能を大幅に向上できるフレキシブル配線基板を提供することを目的とする。

上述したような課題を解決するために、本発明のフレキシブル配線基板は、少なくとも一方の面に信号線とグランド線を形成したベースフィルムと、ベースフィルムの少なくとも一方の端部の他方の面側にシート部材を有する端子部とを備え、シート部材は、信号線とグランド線とに接続される薄膜コンデンサが複数形成されたシート状デバイスで構成される。

また、シート状デバイスの薄膜コンデンサの第１の電極端子はベースフィルムに設けた第１の導電ビアを介してグランド線と接続され、薄膜コンデンサの第２の電極端子はベースフィルムに設けた第２の導電ビアを介して信号線と接続されていてもよい。

これらにより、シート状デバイスが、補強部と電磁ノイズ防止用のフィルタ素子とを兼ねるので、ベースフィルムの材料に依存せずにコンデンサ容量を任意に設定し、電磁ノイズを広範囲に抑制することができる。

また、本発明のフレキシブル配線基板は、少なくとも一方の面に信号線とグランド線を形成したベースフィルムと、ベースフィルムの少なくとも一方の先端部は折り畳まれ、先端部の折り畳まれた表面にシート部材を有する端子部とを備え、シート部材は、信号線とグランド線とに接続される薄膜コンデンサが複数形成されたシート状デバイスで構成される。

さらに、シート状デバイスの薄膜コンデンサの第１の電極端子はグランド線と接続され、薄膜コンデンサの第２の電極端子は信号線と接続されていてもよい。

これらにより、導電ビアを介してシート状デバイスと信号線とグランド線と接続しないため、簡単な工程で生産性よくフレキシブル配線基板を作製できる。

さらに、シート状デバイスは、シート状基板の片面に、誘電体材料を挟んで第１の電極端子と第２の電極端子を有する薄膜コンデンサを、所定の配置でアレイ状に形成してもよい。

これにより、少なくとも信号線ごとに対応して電磁ノイズ防止を図ることができる。

さらに、ベースフィルムには、信号線とグランド線とが交互に配置されていてもよい。

これにより、信号線が、隣接するグランド線で電磁シールドされるため、信号線間のクロストークを抑えることができる。

本発明のフレキシブル配線基板によれば、シート状デバイスからなるシート部材により、端子部の補強と電磁ノイズ防止用のフィルタ素子を兼用することができる。さらに、コンデンサ容量を任意に設定できるため電磁ノイズの防止性能に優れるフレキシブル配線基板を実現できるという大きな効果を奏する。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

（第１の実施の形態）
図１（ａ）は本発明の第１の実施の形態におけるフレキシブル配線基板の要部を説明する斜視図で、図１（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図、図１（ｃ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。

図１（ａ）に示すように、本発明の第１の実施の形態におけるフレキシブル配線基板１００は、長手方向１１０と短手方向（本明細書では、長手方向に対する直角方向を短手方向と表現し、以下においても同様とする）１３０とで示される、例えば帯状のベースフィルム１の一方の面に、少なくとも、例えば４本の信号線２と２本のグランド線３を有する。ここでは、４本の信号線２が、短手方向１３０において、２本のグランド線３の間に形成された例を示しているが、これに限られるものではない。

そして、フレキシブル配線基板１００の端子部８以外の信号線２とグランド線３は、例えばレジストなどの絶縁性樹脂からなる保護膜６で被覆されている。

また、端子部８において、信号線２の所定の位置に、例えばドーナッツ状のランド４が形成されている。同様にグランド線３の所定の位置に、例えばドーナッツ状のランド５が形成されている。なお、上記各ランドは、以下で述べる導電ビアと確実に接続するために、所定の大きさで形成されるが、必ずしも必要なものではない。つまり、ベースフィルムに形成される導電ビアと信号線やグランド線の幅で確実に接続される場合にはなくてもよいものである。

さらに、端子部８において、ベースフィルム１の他方の面にシート状デバイス９からなるシート部材１０が、例えば接着剤などで貼り付けて設けられている。以下においては、電気的な特性を示す場合にはシート状デバイス９と表現し、端子部の補強などの機械的な特性を示す場合にはシート部材１０と表現する。つまり、シート部材１０は、端子部８を補強する補強部材にもなりうるものである。

そして、シート状デバイス９は、図１（ｂ）に示すように信号線２のランド４に対応してベースフィルム１に形成された第１の導電ビア１１と、図１（ｃ）に示すようにグランド線３のランド５に対応してベースフィルム１に形成された第２の導電ビア１２により電気的に接続される。

ここで、シート状デバイス９は、以下で詳細に説明するが、少なくとも信号線２に対応したアレイ状の薄膜コンデンサと第１の電極端子と第２の電極端子で構成されている。

以上の構成により、本発明の第１の実施の形態のフレキシブル配線基板１００が得られる。

なお、信号線２やグランド線３は、例えばベースフィルム１の表面に貼り付けた銅（Ｃｕ）やアルミニウム（Ａｌ）などの金属箔のエッチング法やめっき法あるいは導電性ペーストなどのスクリーン印刷法などにより形成される。

また、ベースフィルム１の材料としては、例えばポリイミドフィルムやポリエステルなどの絶縁性樹脂を主成分としたフィルムが用いられる。

以下に、本発明の第１の実施の形態におけるシート状デバイスの構成について、図２を用いて説明する。

図２（ａ）は本発明の第１の実施の形態におけるフレキシブル配線基板のシート状デバイス９の構成を説明する透視平面図で、図２（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。

図２に示すように、シート状デバイス９は、例えばポリイミドやポリフェニレンサルファイド（例えば、厚み１２５μｍ）などのシート状基板１２０上に、誘電体膜１７０を挟んで第１の電極端子２２および第２の電極端子２３を備えた薄膜コンデンサ１６０から構成される。なお、シート状基板１２０は、少なくともフレキシブル配線基板の端子部程度の大きさが好ましい。そして、フレキシブル配線基板の信号線とグランド線の配置や本数に合わせて、複数の薄膜コンデンサ１６０が、例えばアレイ状に形成されている。ここで、各薄膜コンデンサ１６０の第１の電極端子２２は、フレキシブル配線基板１００の信号線２のランド４に対応した位置に設けられ、薄膜コンデンサ１６０ごとに個別の下層電極１８０と接続される。また、各薄膜コンデンサ１６０に対応する第２の電極端子２３は、フレキシブル配線基板１００のグランド線３のランド５位置に対応して設けられ、各薄膜コンデンサ１６０を共通に接続する上層電極１９０と接続される。

そして、少なくとも第１の電極端子２２と第２の電極端子２３を除き、シート状デバイス９を保護するために、絶縁性保護膜２００を形成する。このとき、絶縁性保護膜２００は第１の電極端子２２と第２の電極端子２３の高さ以下であることが好ましい。

以下に、シート状デバイス９を構成する薄膜デバイスの具体的な構成例と製造方法について、図２を参照しながら説明する。

まず、薄膜コンデンサ１６０は、低抵抗でシート状基板１２０と密着性のよい、例えばアルミニウム（Ａｌ）の下層電極１８０、上層電極１９０が対向し、比誘電率の大きな、例えば二酸化シリコン（ＳｉＯ_２）などの誘電体膜１７０を挟んで構成される。

ここで、下層電極１８０、上層電極１９０は、例えばスパッタリング法、真空蒸着法、めっき法などを組み合わせ、厚みを、例えばそれぞれ１μｍで形成する。誘電体膜１７０は、上記二酸化シリコン（ＳｉＯ_２）の他、例えばチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ_３）などから選択されて構成され、スパッタリング法、真空蒸着法、プラズマ化学気相成膜法（ＰＣＶＤ法）などで、所定の膜厚、例えば０．２μｍ〜０．３μｍの厚みに成膜し、所定のコンデンサ容量値を得る。

さらに、少なくとも誘電体膜１７０上を覆うように絶縁性保護膜２００として耐湿性に優れる、例えばエポキシ樹脂を印刷法で約１０μｍ形成する。

また、フレキシブル配線基板１００の信号線２およびグランド線３と接続する第１の電極端子２２、第２の電極端子２３は、電気抵抗の小さな、例えば銅（Ｃｕ）をスパッタリング法などの真空成膜法、あるいは導電性ペーストをスクリーン印刷法で、例えば約５μｍの厚さで、下層電極１８０上に形成する。

このようにして、シート状デバイス９として、薄膜コンデンサ１６０は、対向する上層電極と下層電極の面積、誘電体膜材料の誘電率、誘電体膜の膜厚などを任意に設定することにより、例えば広い周波数範囲の電磁ノイズを防止するために必要なコンデンサ容量値を任意に得ることができる。

これにより、シート状デバイス９は、コンデンサ容量を任意に設定し調整できるので、広い周波数範囲の電磁ノイズを防止できる。

以上述べたように、本発明の第１の実施の形態によれば、シート状デバイス９からなるシート部材１０は、フレキシブル配線基板１００の端子部８において、機械的に補強するための補強部材としての役目と、電磁ノイズを防止するためのコンデンサ容量を任意に設定できるフィルタ素子としての役目を少なくとも兼用することができる。

これにより、フレキシブル配線基板の端子部に、別途シート部材を貼り付ける必要がなく、電磁ノイズの防止性能に優れたフレキシブル配線基板を得ることができる。

なお、本発明の第１の実施の形態では、フレキシブル配線基板の一方の端子部に、シート状デバイスからなるシート部材を設けた例で説明したが、これに限らない。例えば、図３のフレキシブル配線基板の別の例を説明する電気等価回路図に示すように、コンデンサ３１、３２からなるシート状デバイス９をフレキシブル配線基板１００の両端部の端子部８に設けてもよい。これにより、フレキシブル配線基板の電磁ノイズの防止性能をさらに向上させることができる。

また、本発明の第１の実施の形態では、シート状デバイスの薄膜コンデンサの大きさが同程度であるように説明したが、これに限られない。例えば、信号線の１本が電源線などの場合には、他の信号線と接続される薄膜コンデンサより、例えば、形状などを大きくすることによりコンデンサ容量の大きい薄膜コンデンサを形成してもよい。これにより、信号線を伝送する信号の伝達速度（周波数）などに対応して、信号線ごとに効率よく電磁ノイズなどを防止することができる。

（第２の実施の形態）
以下に、本発明の第２の実施の形態におけるフレキシブル配線基板について、図４を用いて詳細に説明する。

図４（ａ）は本発明の第２の実施の形態におけるフレキシブル配線基板の要部を説明する透視平面図で、図４（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図、図４（ｃ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。なお、図１と同じ構成要素には同じ符号を用い説明を省略する。

図４において、フレキシブル配線基板の端部近傍を折り畳んで形成した端子部に、折り畳まれた端子部の先端部側で信号線が形成された面にシート部材を設ける構成とした点で、図１とは異なるものである。

図４に示すように、本発明の第２の実施の形態におけるフレキシブル配線基板４００は、長手方向１１０と短手方向１３０とで示される、例えば帯状のポリイミドなどのベースフィルム４１の一方の面に、少なくとも、例えば４本の信号線４２と２本のグランド線４３を有する。

そして、信号線４２が露出したベースフィルム４１の先端部４４側に、シート状デバイス４９からなるシート部材５０を、例えば熱圧着などにより、信号線４２とグランド線４３とシート状デバイス４９の第１の電極端子５２および第２の電極端子５３と接続する。さらに、図４（ｂ）に示すように、シート部材５０を設けた部分のベースフィルム４１を折り畳んで、ベースフィルム４１の他方の面同士を、例えば接着剤などで貼り合わすことにより、端子部４８を形成する。以下では、電気的な特性を示す場合には、シート状デバイス４９と表現し、端子部の補強などの機械的な特性を示す場合にはシート部材５０と表現する。つまり、シート部材５０は、端子部４８を補強する補強部材にもなりうるものである。

このとき、シート状デバイス４９は、図４（ｂ）に示すように信号線４２と第１の電極端子５２と、図４（ｃ）に示すようにグランド線４３と第２の電極端子５３が電気的に接続される。

さらに、フレキシブル配線基板４００の端子部４８以外の信号線４２とグランド線４３は、例えばレジストなどの絶縁性樹脂からなる保護膜４６を形成し被覆する。

ここで、シート状デバイス４９は、以下で詳細に説明するが、少なくとも信号線４２の本数に対応したアレイ状の薄膜コンデンサと第１の電極端子と第２の電極端子で構成されている。

以上の構成により、本発明の第２の実施の形態のフレキシブル配線基板４００が得られる。

なお、信号線４２やグランド線４３は、第１の実施の形態と同様な方法により形成される。また、ベースフィルム４１などの材料も、第１の実施の形態と同様の材料を用いることができる。

以下に、本発明の第２の実施の形態におけるシート状デバイスの構成について、図５を用いて説明する。

図５（ａ）は本発明の第２の実施の形態におけるフレキシブル配線基板のシート状デバイス４９の構成を説明する透視平面図で、図５（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。

図５に示すように、シート状デバイス４９は、例えばポリイミドやポリフェニレンサルファイド（例えば、厚み１２５μｍ）などのシート状基板１２０上に、誘電体膜１７０を挟んで第１の電極端子５２および第２の電極端子５３を備えた薄膜コンデンサ４６０から構成される。なお、シート状基板１２０は、少なくともフレキシブル配線基板４００の端子部４８程度の大きさが好ましい。そして、フレキシブル配線基板４００の信号線４２とグランド線４３の配置や本数に合わせて、複数の薄膜コンデンサ４６０が、例えばアレイ状に形成されている。ここで、各薄膜コンデンサ４６０の第１の電極端子５２は、フレキシブル配線基板４００の信号線４２の位置に対応して設けられ、薄膜コンデンサ４６０ごとに個別の下層電極１８０と接続される。また、各薄膜コンデンサ４６０に対応する第２の電極端子５３は、フレキシブル配線基板４００のグランド線４３の位置に対応して設けられ、各薄膜コンデンサ４６０を共通に接続する上層電極１９０と接続される。

そして、少なくとも第１の電極端子５２と第２の電極端子５３を除き、シート状デバイス４９を保護するために、絶縁性保護膜２００を形成する。このとき、絶縁性保護膜２００は第１の電極端子５２と第２の電極端子５３の高さ以下であることが好ましい。

なお、シート状デバイス４９の薄膜コンデンサ４６０は、第１の実施の形態と同様に形成できるので、説明は省略する。

以上述べたように、本発明の第２の実施の形態によれば、シート状デバイス４９からなるシート部材５０は、フレキシブル配線基板４００の端子部４８において、機械的に補強するための補強部材としての役目と、電磁ノイズを防止するためのコンデンサ容量を任意に設定できるフィルタ素子としての役目を少なくとも兼用することができる。つまり、折り畳まれた先端部４４側にシート状デバイス４９を貼り付けて形成された端子部４８はオス型コネクタとして機能し、別途用意したメス型コネクタ（図示せず）に、これを嵌め込み接続されるものである。

これにより、フレキシブル配線基板の端子部に、別途シート部材を貼り付ける必要がなく、電磁ノイズの防止性能に優れたフレキシブル配線基板を得ることができる。

また、本発明の第２の実施の形態によれば、フレキシブル配線基板４００の端子部４８において、導電ビアを設けることなく、信号線４２およびグランド線４３とそれぞれ接続する第１の電極端子５２と第２の電極端子５３を有する薄膜コンデンサを内蔵したフィルタ素子として機能するシート状デバイス４９を設けることができる。

これにより、生産性に優れるとともに、安価でシート状デバイスとの接続信頼性に優れたフレキシブル配線基板が得られる。

以下に、本発明の第２の実施の形態におけるフレキシブル配線基板の変形例について、図６と図７を用いて説明する。

図６（ａ）は、本発明の第２の実施の形態のフレキシブル配線基板の変形例における要部を説明する透視平面図で、図６（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図、図６（ｃ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。また、図７（ａ）は本発明の第２の実施の形態のフレキシブル配線基板の変形例におけるシート状デバイス４９の構成を説明する透視平面図で、図７（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。なお、図４、図５と同じ構成要素には同じ符号を用い説明を省略する。

図６において、フレキシブル配線基板の信号線とグランド線を交互に設け、薄膜コンデンサの第１の電極端子と第２の電極端子をそれに対応して交互に配置した点で、図４とは異なるものである。

図６（ａ）に示すように、本発明の第２の実施の形態の変形例におけるフレキシブル配線基板６００は、長手方向１１０と短手方向１３０とで示される、例えば帯状のポリイミドなどのベースフィルム６１の一方の面に、例えば３本の信号線６２と４本のグランド線６３が交互に配置して構成されるものである。

そして、信号線６２が露出したベースフィルム６１の先端部６４側に、シート状デバイス６９からなるシート部材７０を、例えば熱圧着などにより、信号線６２とグランド線６３とシート状デバイス６９の第１の電極端子７２および第２の電極端子７３と接続する。さらに、図６（ｂ）に示すように、シート部材７０を設けた部分のベースフィルム６１を折り畳んで、ベースフィルム６１の他方の面同士を、例えば接着剤などで貼り合わすことにより、端子部６８を形成する。以下では、電気的な特性を示す場合には、シート状デバイス６９と表現し、端子部の補強などの機械的な特性を示す場合にはシート部材７０と表現する。つまり、シート部材７０は、端子部６８を補強する補強部材にもなりうるものである。

このとき、シート状デバイス６９は、図６（ｂ）に示すように信号線６２と第１の電極端子７２と、図６（ｃ）に示すようにグランド線６３と第２の電極端子７３が電気的に接続される。

さらに、フレキシブル配線基板６００の端子部６８以外の信号線６２とグランド線６３は、例えばレジストなどの絶縁性樹脂からなる保護膜６６を形成し被覆する。

なお、他の構成は、図４に示す第２の実施の形態と同様であるので、説明を省略する。

以下に、本発明の第２の実施の形態の変形例におけるシート状デバイスの構成について、図７を用いて説明する。

図７に示すように、シート状デバイス６９は、例えばポリイミドやポリフェニレンサルファイド（例えば、厚み１２５μｍ）などのシート状基板１２０上に、誘電体膜１７０を挟んで第１の電極端子７２および第２の電極端子７３を備えた薄膜コンデンサ６６０から構成される。なお、シート状基板１２０は、少なくともフレキシブル配線基板６００の端子部６８程度の大きさが好ましい。そして、フレキシブル配線基板６００の信号線６２とグランド線６３の配置や本数に合わせて、複数の薄膜コンデンサ６６０が、例えばアレイ状に形成されている。ここで、各薄膜コンデンサ６６０の第１の電極端子７２は、フレキシブル配線基板６００にグランド線６３と交互に形成された信号線６２の位置に対応して設けられ、薄膜コンデンサ６６０ごとに個別の下層電極１８０と接続される。また、各薄膜コンデンサ６６０に対応する第２の電極端子７３は、フレキシブル配線基板６００に信号線６２と交互に形成されたグランド線６３の位置に対応して設けられ、各薄膜コンデンサ６６０を共通に接続する上層電極１９０と接続される。

なお、上記以外のシート状デバイスの構成は第２の実施の形態と同様であり、また、シート状デバイスの薄膜コンデンサは、第１の実施の形態と同様に形成できるので、説明は省略する。

以上の構成により、信号線とグランド線とが交互に形成されたフレキシブル配線基板が得られる。

なお、本発明の第２の実施の形態の変形例を、第１の実施の形態に適用できることはいうまでもない。

本発明の第２の実施の形態の変形例によれば、ベースフィルム上に信号線とグランド線を交互に配置して形成することにより、信号線が隣接するグランド線で電磁シールドされるため、信号線間のクロストークを抑えることができる。その結果、信号線で伝送される信号の品質をさらに高めたフレキシブル配線基板が得られる。

なお、本発明の各実施の形態において、シート状デバイスは、薄膜コンデンサをアレイ状に形成する例で説明したが、これに限られない。例えば、フレキシブル配線基板のグランド線と信号線に対応して接続できる第１の電極端子と第２の電極端子を有する薄膜コンデンサであれば、上層電極や下層電極などの形状パターンや配置などは制限されない。また、シート状デバイスにおける薄膜コンデンサは、積層した構成としてもよい。

これらにより、コンデンサ容量をさらに広範囲で任意に設定できるため、さらに電磁ノイズの防止性能に優れたフレキシブル配線基板が得られる。

また、本発明の各実施の形態において、シート状デバイスは、薄膜コンデンサで構成される例で説明したが、これに限られない。例えば、薄膜の抵抗やインダクタンスと組み合わせることにより、各種フィルタ特性を有するシート状デバイスをシート部材として用いてもよい。これにより、さらに信頼性に優れたフレキシブル配線基板が得られる。

本発明におけるフレキシブル配線基板は、電磁ノイズの高い防止性能が要望される電子機器などに使用されるフレキシブル配線基板として有用である。

（ａ）本発明の第１の実施の形態におけるフレキシブル配線基板の要部を説明する斜視図（ｂ）図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｃ）図１（ａ）のＢ−Ｂ線断面図 （ａ）本発明の第１の実施の形態におけるフレキシブル配線基板のシート状デバイスの構成を説明する透視平面図（ｂ）図２（ａ）のＡ−Ａ線断面図 本発明の第１の実施の形態におけるフレキシブル配線基板の別の例を説明する電気等価回路図 （ａ）本発明の第２の実施の形態におけるフレキシブル配線基板の要部を説明する透視平面図（ｂ）図４（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｃ）図４（ａ）のＢ−Ｂ線断面図 （ａ）本発明の第２の実施の形態におけるフレキシブル配線基板のシート状デバイスの構成を説明する透視平面図（ｂ）図５（ａ）のＡ−Ａ線断面図 （ａ）本発明の第２の実施の形態のフレキシブル配線基板の変形例における要部を説明する透視平面図（ｂ）図６（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｃ）図６（ａ）のＢ−Ｂ線断面図 （ａ）本発明の第２の実施の形態のフレキシブル配線基板の変形例におけるシート状デバイスの構成を説明する透視平面図（ｂ）図７（ａ）のＡ−Ａ線断面図

符号の説明

１，４１，６１ ベースフィルム
２，４２，６２ 信号線
３，４３，６３ グランド線
４，５ ランド
６，４６，６６ 保護膜
８，４８，６８ 端子部
９，４９，６９ シート状デバイス
１０，５０，７０ シート部材
１１ 第１の導電ビア
１２ 第２の導電ビア
２２，５２，７２ 第１の電極端子
２３，５３，７３ 第２の電極端子
３１，３２ コンデンサ
４４，６４ 先端部
１００，４００，６００ フレキシブル配線基板
１１０ 長手方向
１２０ シート状基板
１３０ 短手方向
１６０，４６０，６６０ 薄膜コンデンサ
１７０ 誘電体膜
１８０ 下層電極
１９０ 上層電極
２００ 絶縁性保護膜

Claims (6)

1. 少なくとも一方の面に信号線とグランド線を形成したベースフィルムと、
   前記ベースフィルムの少なくとも一方の端部の他方の面側にシート部材を有する端子部とを備え、
   前記シート部材は、前記信号線と前記グランド線とに接続される薄膜コンデンサが複数形成されたシート状デバイスであることを特徴とするフレキシブル配線基板。
2. 前記シート状デバイスの前記薄膜コンデンサの第１の電極端子は前記ベースフィルムに設けた第１の導電ビアを介して前記グランド線と接続され、前記薄膜コンデンサの第２の電極端子は前記ベースフィルムに設けた第２の導電ビアを介して前記信号線と接続されていることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル配線基板。
3. 少なくとも一方の面に信号線とグランド線を形成したベースフィルムと、
   前記ベースフィルムの少なくとも一方の先端部は折り畳まれ、前記先端部の折り畳まれた表面にシート部材を有する端子部とを備え、
   前記シート部材は、前記信号線と前記グランド線とに接続される薄膜コンデンサが複数形成されたシート状デバイスであることを特徴とするフレキシブル配線基板。
4. 前記シート状デバイスの前記薄膜コンデンサの第１の電極端子は前記グランド線と接続され、前記薄膜コンデンサの第２の電極端子は前記信号線と接続されていることを特徴とする請求項３に記載のフレキシブル配線基板。
5. 前記シート状デバイスは、シート状基板の片面に、誘電体材料を挟んで前記第１の電極端子と前記第２の電極端子を有する前記薄膜コンデンサを、所定の配置でアレイ状に形成してなることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のフレキシブル配線基板。
6. 前記ベースフィルムには、前記信号線と前記グランド線とが交互に配置されていることを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のフレキシブル配線基板。

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