JP4338467B2

JP4338467B2 - 大型ペリクル収納容器

Info

Publication number: JP4338467B2
Application number: JP2003278264A
Authority: JP
Inventors: 芳真栗山; 一郎脇元
Original assignee: Asahi Kasei E Materials Corp
Current assignee: Asahi Kasei Corp
Priority date: 2003-07-23
Filing date: 2003-07-23
Publication date: 2009-10-07
Anticipated expiration: 2023-07-23
Also published as: JP2005043708A

Description

本発明は、ＬＳＩ等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクや、レティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの収納容器に関し、特に大型ペリクルの収納容器に関するものである。

従来、半導体回路パターン等の製造に於いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている（例えば特許文献１）。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ10μm以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体などの透明な高分子膜（以下、ペリクル膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或いはレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護するものである。

このペリクルを製造者から使用者に運搬するに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルをトレイと蓋とからなる収納容器に収納し、更に防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である（特許文献２など参照）。

図７（ａ）に、従来のペリクル収納容器の概略斜視図を示す。図に示すように、ペリクル50はトレイ51の平坦な面である設置面52の上に設置される。そして蓋60を上方からかぶせ、クリップまたは粘着テープを用いてトレイ51と蓋60とを固定する。また図７（ｂ）に示すように、トレイ51および蓋60の外縁には、それぞれ起立した縁部53、63が成形されている。これにより、トレイ51に蓋60を嵌め合わせた際の互いの位置決めが行なわれると共に、縁部53、63の端辺をそろえることにより粘着シールによるシーリングも行なうことができる。

また図８は、従来の蓋の平面図および断面図である。図に示すように、蓋６０の隆起した収容部６１の両側面の中央に、それぞれつまみ６２を形成している。ペリクルを使用する際に蓋を開こうとした場合、図９（ａ）に示すように収容部６１を両手ではさみこんで持ち上げたり、図９（ｂ）に示すように上記つまみ６２を把持して持ち上げている。

特公昭５４−２８７１８号公報特開２００１−１００３９４号公報

しかし近年のペリクルの大型化に伴って収納容器も大型化しているため、蓋が重くなり、またはさみこむ間隔も広くなることから、持ち上げにくいという問題がある。まして大型ペリクル用ケースは、薄肉で大型一体成形品が容易にできるため真空成形で成形される場合が多いが、金型からの抜き勾配を設けているため、滑りやすくなっている。蓋を開けるときに蓋が滑ってトレイ上のペリクルの上に落下すると、ペリクルは損傷して使用できなくなる。

すなわち、５インチ、６インチの小型ペリクル用収納容器であれば問題がないが、ペリクルの面積が1000cm²を越えるような大型ペリクル用の収納容器にあっては、確実に蓋を把持して開封するための手段が要請されている。

そこで本発明は、大型ペリクル用の収納容器において、確実に蓋を把持して開封することが可能なペリクル収納容器を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明に係るペリクル収納容器の代表的な構成は、ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられる真空成形にて製造したペリクル収納容器であって、ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、前記蓋の端辺の少なくとも一辺に、前記トレイの端辺と重ならずに露出している把持部を設けたことを特徴とする。この構成であれば真空成形によって蓋と一体に形成することができ、作業者は把持部を確実に把持して蓋を開封することが可能となる。

また前記把持部は、前記蓋の端辺の少なくとも一部が突出することにより、前記トレイの端辺と重ならずに露出していることを特徴とする。把持部を露出させる構成の例である。なお一部とは、蓋の四辺のうちの一辺、その一辺のさらに一部、および対向する二辺、その二辺の対向する一部などが好適な配置である。

また、前記把持部は、前記蓋の端辺に対し平行または直交方向に突出することを特徴とする。平行とは蓋の端辺をそのまま延長させてトレイの端辺より露出させた構成をいい、直交方向とは延長させた蓋の端辺を屈曲させてトレイの端辺の延長方向を遮るように配置した構成をいう。

また前記把持部の縁には糸面取りを設け、また角部にはアールを設けたことを特徴とする。作業者の取り回しを考慮したものであって、作業性を向上させることができる。

また前記把持部は、前記トレイの端辺が後退することにより、前記蓋の端辺が露出していることを特徴とする。

また前記把持部が前記蓋の端辺から露出する長さは、10mm以上200mm以下であることを特徴とする。あまり少なくては把持する用に足りず、また大きすぎては収納容器を防塵袋に収納する際に邪魔となるからである。またトレイの端辺を後退させる場合には、後退部の幅は5mm以上200mm以下、深さが5mm以上100mm以下であることが望ましい。後退部は、トレイの底面まで設けてもよい。

また前記把持部に穴を設けたことを特徴とする。これにより、穴に指や治具を掛けて、より容易に、かつ確実に把持することができる。

また前記トレイまたは蓋は、真空成形にて製造したものであることを特徴とする。かかる場合において特に本発明が有効だからである。

本発明によれば、大型ペリクル用の収納容器において、確実に蓋を把持して開封することが可能なペリクル収納容器を提供することができる。従って、収納容器の蓋を容易に開封することが可能となると共に、開封の際に蓋を取り落としてペリクルを損傷する可能性を著しく低減することができる。

［第一実施形態］
本発明に係るペリクル収納容器の実施形態について、図を用いて説明する。図１はペリクル収納容器を説明する断面図、図２は把持部を説明する要部拡大斜視図、図３は蓋を開封する様子を説明する図である。

図１（ａ）に示すようにペリクル収納容器は、内部にペリクル１を収納するものであり、トレイ２と、蓋３とからなる。ペリクル１は、ペリクル膜11と、ペリクル膜11が貼着された枠体12、および枠体12をマスクやレティクルに貼着するための粘着材13などから構成されている。ここで本実施形態においてペリクル１は、ペリクル膜11の面積が1000cm²を越える大型ペリクルである。

トレイ２には、周辺に沿ってペリクル１が載置される隆起部21が形成されており、また隆起部21の上部にはペリクル１の枠体12の横方向の移動を拘束する複数の突起22が起立突設されている。またトレイ２の端辺はペリクル設置面に対して直交方向に起立した端部面23が形成されている。

蓋３には、全体的に大きく隆起した収容部31が形成され、また端辺にはペリクル設置面に対して直交方向に起立した端部面33が形成されている。蓋３は、図１（ｂ）に示すようにトレイ２にかぶせることによって、収容部31内にペリクル１を収納する。このとき蓋３の端部面33はトレイ２の端部面23の内側と原則的に一致し、トレイ２と蓋３との位置決めを行なっている。トレイ２と蓋３とをあわせた後は、不図示の粘着テープを端部面23、33の合わせ目に張り巡らすことによって密封する。

トレイ２および蓋３の材質は特に指定はないが、アクリル樹脂やポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリルニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂等を用いればよい。更に上記樹脂以外に、ポリエチレンテレフタレート以外のポリエステル樹脂、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリル・スチレン樹脂などのポリスチレン系樹脂等を用いることもできる。

ここでトレイ２および蓋３は、上記樹脂材料を用いて、射出成形や真空成形にて製造するのが一般である。しかし５インチ、６インチの半導体用ペリクルの収納容器は、射出成形で成形することも多いが、面積が1000cm²以上ともなる大型ペリクル用の収納容器は、真空成形する場合が多い。真空成形の方が薄肉で大型一体成形品が容易にできるからである。

真空成形を用いると、従来例にて説明した如く、金型からの抜き勾配を形成する必要があるため、蓋３の収容部31の側面32は隆起する方向（図の上方）に向かって幅が狭くなるように傾斜しており、作業員が両手で挟んで持ち上げる際に滑りやすい。

そこで図２に示すように、本実施形態においては、蓋３の一辺に一つの把持部34を形成している。図２（ａ）に示すように把持部34は蓋３の端辺である端部面33をそのまま延長させたものであり、すなわち端部面33に対して平行となっている。そして図２（ｂ）に示すように、トレイ２と蓋３とを組み合わせた際には、蓋３の端部面33はトレイ２端部面23と一致して隠れるが、把持部34はトレイ２の端部面23から突出して露出することとなる。なお図２（ｃ）に示すように、把持部34の縁には糸面取り34ａを設け、角部34ｂには丸みを付けてアールを設けている。これにより作業者の取り回しが向上すると共に、無塵袋に擦れて破れたり、傷ついたりすることを防止することができる。

上記構成のペリクル収納容器において、蓋３を開封する際には、図３に示すように、作業者はまず一方の手で把持部34を把持して蓋３を引き上げ、蓋３がトレイ２より持ち上がった時点で他方の手で下から支えることでよい。すなわち、把持部34を設けたことによって、作業者はこれを確実に把持して蓋３を開封することが可能となり、蓋３を取り落としてペリクルを損傷させる可能性を著しく低減することができる。

［他の実施形態］
上記実施形態にて説明した以外にも、本発明に係るペリクル収納容器は、把持部の構成においてさまざまな形態が考えられる。以下にいくつかの例について説明するが、すなわち本発明に係る把持部は、蓋の端辺の少なくとも一辺に、前記トレイの端辺と重ならずに露出していればよい。

図４は把持部の他の配置を説明する図である。上記実施形態においては一辺に一つの把持部34を設けて説明したが、図４（ａ）では対向する２辺において、それぞれ対向する位置に一つずつ、あわせて二つの把持部34を設けている。これにより、作業者は二つの把持部を両手で把持して蓋３を持ち上げることができる。また図４（ｂ）では、４辺のそれぞれ対向する位置に一つずつ、あわせて四つの把持部34を設けている。これにより異なる方向からも把持部34を利用しやすくなり、作業の自由度を向上させることができる。また上記実施形態において把持部34は一辺の一部を露出させて構成しているが、図４（ｃ）に示すように、辺の全長に渡って把持部35を設けることでもよい。

図５は把持部の他の形態を説明する図である。上記実施形態においては把持部34は蓋３の端部面33に対して平行としていたが、図５（ａ）に示す把持部36のように、端部面33に対し直交方向に突出させることでもよい。すなわち、端部面33から突出させた部分を略直角に屈曲させて、トレイ２の端部面23を遮るように配置している。これにより、作業者が把持した際に滑りにくく、より確実に把持することが可能となる。

また上記実施形態において把持部34は蓋の端辺をトレイの端辺よりも突出させることによって構成していたが、図５（ｂ）に示す把持部37のようにトレイ２の端部面23に後退部23ａを形成することによって構成してもよい。このとき、把持部37をつかむ作業性とトレイの強度を考え合わせると、後退部23ａの幅は5mm以上200mm以下、深さが5mm以上100mm以下であることが望ましい。なお後退部23ａは、トレイの底面まで設けてもよい。

さらには、図５（ｃ）に示す把持部38のように、蓋３の端部面33を突出させ、かつトレイ２の端部面23に後退部23ａを形成することによって構成してもよい。このように構成することにより、把持部38の露出する面積を確保しつつ突出量を抑えることができ、またトレイ２の強度低下も少なくすることができる。

図６は把持部に穴を設けた例を示す図である。上記実施形態において把持部34は板状であるが、さらに図６（ａ）に示す把持部39のように指を掛ける穴41を設けることにより、さらに取り回しを向上させることができる。また穴41が大きくなると把持部の強度が低下することから、図６（ｂ）に示す把持部40のように、治具43用の小さな穴42を設けることでもよい。治具は鉤状のものを好適に用いることができる。

ペリクル収納容器を説明する断面図である。把持部を説明する要部拡大斜視図である。蓋を開封する様子を説明する図である。把持部の他の配置を説明する図である。把持部の他の形態を説明する図である。把持部に穴を設けた例を示す図である。従来のペリクル収納容器の概略斜視図を示す図である。従来の蓋の平面図および断面図である。従来の蓋を持ち上げる状態を説明する図である。

符号の説明

１ …ペリクル
２ …トレイ
３ …蓋
11 …ペリクル膜
12 …枠体
13 …粘着材
21 …隆起部
22 …突起
23 …端部面
23ａ …後退部
31 …収容部
32 …側面
33 …端部面
34 …把持部
34ａ …糸面取り
34ｂ …角部
35〜40 …把持部
41、42 …穴
43 …治具
50 …ペリクル
51 …トレイ
52 …設置面
53 …縁部
60 …蓋
61 …収容部
62 …つまみ
63 …縁部

Claims

ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられる真空成形にて製造したペリクル収納容器であって、
ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、
前記蓋の端辺の少なくとも一辺に、前記トレイの端辺と重ならずに露出している把持部を設けたことを特徴とするペリクル用収納容器。
前記把持部は、前記蓋の端辺の少なくとも一部が突出することにより、前記トレイの端辺と重ならずに露出していることを特徴とする請求項１記載のペリクル用収納容器。
前記把持部は、前記蓋の端辺に対し平行または直交方向に突出することを特徴とする請求項２記載のペリクル用収納容器。
前記把持部の縁には糸面取りを設け、また角部にはアールを設けたことを特徴とする請求項２記載のペリクル用収納容器。
前記把持部は、前記トレイの端辺が後退することにより、前記蓋の端辺が露出していることを特徴とする請求項１記載のペリクル用収納容器。
前記把持部が前記蓋の端辺から露出する長さは、１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のペリクル用収納容器。
前記把持部に穴を設けたことを特徴とする請求項１記載のペリクル用収納容器。