JP4354687B2

JP4354687B2 - ２連式ベローズポンプ

Info

Publication number: JP4354687B2
Application number: JP2002369193A
Authority: JP
Inventors: 貢一木; 尚道高橋
Original assignee: Entegris Inc
Current assignee: Entegris Inc
Priority date: 2002-12-20
Filing date: 2002-12-20
Publication date: 2009-10-28
Anticipated expiration: 2022-12-20
Also published as: JP2004197689A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ベローズポンプのうち、特にポンプヘッドの両側にシリンダケース及びベローズを設けた２連式ベローズポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
まず、２連式ベローズポンプ構造を本発明である図４及び図５により概説する。主部材は、ポンプヘッド１と、左右のシリンダケース２Ａ，２Ｂと、該シリンダケース同士を締め付けている複数の締結手段４ａ〜４ｄと、各シリンダケース内に配設された左右のベローズ３ａ，３Ｂと、各ベローズの自由端面側に対し軸部材８を介し取り付けられている連結板９と、各連結板同士を連結しているロッド１０とからなる。ポンプヘッド１は、吸入通路１１及び吐出通路１２を形成し、又、吸込用逆止弁１３及び吐出用逆止弁１４を有している。各シリンダケース２Ａ，２Ｂは、ポンプヘッド１を両側より挟み込むよう配置されて給排気される駆動流体により対応するベローズ３Ａ，３Ｂを伸縮可能にする。締結手段４ａ〜４ｄは、シリンダケース同士を外周側にあって略上下左右の角部である合計４箇所で締め付けている。各ベローズ３Ａ，３Ｂは略有底円筒形であり、ポンプヘッド１の端面に取り付けられた状態で伸縮される。各連結板９は、対応軸部材８に取り付けられ、又、２本のロッド１０を介して互いに連結されている。そして、各シリンダケース２Ａ，２Ｂには交互に駆動流体が導入される。すると、各ベローズ３Ａ，３Ｂは交互に伸長・収縮され、逆止弁１３，１４を介して、一方ベローズ内に液体を吸入通路１１から吸引し、他方ベローズから吐出通路１２を通じ一方向へ移送する。これらの作動は下記の特許文献１のものでも同じ。
【０００３】
即ち、図８（ａ）は特許文献１に開示されているベローズポンプの外観図であり、同（ｂ）は両側のカバー部材を外した状態で作図した説明用の模式側端面図である。図において、符号５２、５３は前記シリンダケース２，３に対応し、符号５４ａ〜５４ｄは前記締結手段４ａ〜４ｄに対応し、符号５６は前記ロッド１０に対応し、符号５７は前記連結板９に対応している。ロッド５６及び連結板５７は、動くため安全対策としてロッド５６が筒部材５８に挿通され、連結板５７がカバー部材５９により覆われている。そして、この構造では、各シリンダケース５２，５３が有底円筒形本体５２ａ，５３ａに一体化された張出端面壁５２ｂ，５３ｂを有している。各連結板５７は、張出端面壁５２ｂ，５３ｂにあって幅中間上下方向に配置され、上下に配置された２本のロッド５６により連結されている。各締結手段５４ａ〜５４ｄは、各シリンダケース５２，５３の張出端面壁５２ｂ，５３ｂを利用し、上下左右の角部である合計４箇所に設定されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−１７４１８０号公報（第３〜５頁、図１と図２）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
以上の２連式ベローズポンプは、簡明な機構で安定したポンプ性能を保ち易く、又、接液部であるベローズ及びポンプヘッドを耐熱性及び耐薬品性のフッ素樹脂等で構成可能なことから、半導体製造等においてクリーンルームに設置されることも多い。そのような仕様では、ポンプ出力を犠牲にすることなく一層の小型・軽量化が要求されている。一方、ポンプ設計では、ポンプヘッド及びシリンダケースがベローズに対応して概略円盤又は円筒形になり、シリンダケース同士を少なくとも４箇所の締結手段により同軸線上に確実強固に結合したり、ベローズ同士の安定作動を確保する上で２本のロッドで連結しなければならない。
【０００６】
上記の要件を満たすため、特許文献１のシリンダケース５２，５３では、本体５２ａ，５３ａに張出端面壁５２ｂ，５３ｂを設け、締結手段５４ａ〜５４ｄの配置部として、該張出端面壁５２ｂ，５３ｂのうち本体から離れた略上下左右の角部である合計４箇所を利用し、又、各ロッド５６及び筒部材５８の配置部として、張出端面壁５２ｂ，５３ｂのうち本体から離れた上下の２箇所を利用している。このため、この構造では、高さＴが本体５２ａ，５３ａの外径に２本のロッド配置部分を加えた寸法となるため大きくなる。しかも、各締結手段５４ａ〜５４ｄ（ボルトやスタッドボルト及びナット等）と、各ロッド５６及び筒部材５８とが無関係に設けられているため、４つの締結手段と、２本のロッドと、２本の筒部材とが必要となり部材数が多くなったり重量増となる。
【０００７】
なお、従来構造には、上記連結板をシリンダケースに対し上下ではなく横方向に配置する構成（特開２０００−２１３４６５等）もある。図８（ｃ）は、そのような構成を参照して図８（ｂ）の連結板５７を横方向に配置した模式図である。この場合には、前記高さＴ寸法を低くできるが、今度は張出端面壁等として本体に対し横方向に突出した端面壁部分５２ｃ等が必要となり幅寸法Ｌが大きくなる。図８（ｂ），（ｃ）では、ベローズ６０の外径と、本体５２ａ（５３ａ）の外径と、張出端面壁５２ｂ（５３ｂ），５２ｃの張出箇所との関係を示しており、実最には上記した筒部材等により本体からの突出部分が更に大きくなる。
【０００８】
本発明者らは、特開平１１−４２４２号や特開２０００−２１３４６５等においてポンプヘッドの吸入通路及び吐出通路、又は、逆止弁等を工夫することにより小型化にもそれなりに対処してきたが、更なる小型・軽量化を図るべく検討を重ねた結果、本発明を完成した。本発明の目的は、ポンプ出力や性能を維持して小型化及び軽量化をより一層可能にすることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成するため本発明は、図１〜図５の例で特定すると、吸入通路１１及び吐出通路１２等を形成しているポンプヘッド１と、前記ポンプヘッド１を両側より挟み込むよう配置された左右のシリンダケース２Ａ，２Ｂと、前記シリンダケース同士を外周側にあって少なくとも略上下左右の角部である合計４箇所で締め付けているボルト等からなる複数の締結手段４ａ〜４ｄと、前記各シリンダケース内に配設されてシリンダケースに吸排気される駆動流体により伸縮する両側の概略有底円筒形ベローズ３Ａ，３Ｂと、前記各ベローズの自由端面側に突設されている軸部材８と、前記各軸部材に取り付けられている連結板９と、前記各連結板同士を連結している２本のロッド１０とを備え、前記両ベローズ３Ａ，３Ｂが前記駆動流体の吸排気及びロッド等を介し交互に伸長・収縮されることにより、移送流体を前記吸入通路１１から吸引し前記吐出通路１２から吐出する２連式ベローズポンプにおいて、前記締結手段４ａ〜４ｄは前記ボルトとして軸方向に貫通した筒形ボルト１５を有し、当該筒形ボルト１５を前記４箇所のうち斜め方向に位置する２箇所に使用し、かつ各筒形ボルト１５の筒内に前記対応するロッド１０を挿通していると共に、前記各連結板９は前記ロッド１０の両端部と連結された状態でそれぞれ斜めに配設されていることを特徴としている。
【００１０】
以上のポンプ構造は、ポンプヘッド１を中心として左右対称形である２連式において、段落０００５に記載したシリンダケース２Ａ，２Ｂ同士を４箇所の締結手段４ａ〜４ｄで同軸線上に確実強固に結合することと、各連結板９同士を２本のロッド１０で連結してベローズ３Ａ，３Ｂ同士の安定した作動連結を充足しながら、従来品に比べて小型・軽量化を実現した点に工夫点がある。即ち、本発明では、締結手段４ａ〜４ｄが軸方向に貫通した筒形ボルト１５を有し、該筒形ボルト１５を４箇所のうち斜め方向に位置する２箇所に使用し、同時に、各連結板９同士を連結するロッド１０を該筒形ボルト１５の筒内に挿通することにより、シリンダケース２Ａ，２Ｂに対し連結板及びロッド用の張出端面壁部分を不要にしたものである。原理的には、例えば、図８（ｂ）や（ｃ）において、斜めにある締結手段５４ｂ，５４ｃ又は締結手段５４ａ，５４ｄに本発明を適用すると、連結板及びロッド用の張出端面壁部分を省略したり小さくできる点に着目したものである。また、筒形ボルト１５は、シリンダケース同士を同軸線上に締め付ける結合機能と、ロッド１０を軸線方向に貫通する保護機能とを兼ねているため、従来のロッド保護用筒部材５８を省略でき、従来品に比べ部材数を少なくしたり軽量化も容易となる。なお、本発明の筒形ボルトは、前記結合機能及び保護機能を兼ねるものであればよく、図３に示される頭部が軸部の片側に設けられて片側をナットで締め付ける構成、図６に示される軸部の両側に雄ねじ部を有し両側をナットで締め付ける構成等を含む。
【００１１】
上記本発明は、実施に際し請求項２や３のように具体化されることが好ましい。（請求項２）前記各シリンダケース２Ａ，２Ｂの端面壁にそれぞれ斜めに取り付けられて、前記連結板９を覆っているカバー部材３４を有している構成である。このカバー部材３４は従来のカバー部材５９と同じ目的のものである。但し、本発明の場合は、カバー部材３４が図１のように斜めに配されている関係で前記筒形ボルトを含めて目視不能にしたり斬新性を付与できる。
（請求項３）前記各シリンダケース２Ａ，２Ｂは、前記ベローズ３Ａ，３Ｂに対応した概略有底筒形からなり、外周にあって略上下左右の角部である合計４箇所に突設されて長手方向に延び、かつ通し孔を形成している４個のボス部２６を有し、前記締結手段４ａ〜４ｄのボルト１７及び筒形ボルト１５を前記対応するボス部２６の通し孔にそれぞれ挿通している構成である。このボス部２６は、図１から分かるように、ポンプの高さや幅寸法を抑えながら、ボルト１７及び筒形ボルト１５等を完全に目視不能にしてシンプルナ化を図り易くする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明を適用した実施形態について図１〜図７を参照し説明する。図１はベローズポンプを示す概略外観図、図２は両側のカバー部材を外した状態での概略外観図、図３は締結手段と連結板及びロッドとの関係を示す一部破断した概略外観図である。図４及び図５はカバー部材を外した状態でベローズポンプを示す細部図であり、同（ａ）は正面図、同（ｂ）は（ａ）の右側から見た側端面図、図５は図４（ｂ）のＡ−Ａ線断面図である。図６及び図７は２つの変形例を示している。以下の説明では、図１〜図５のポンプ構造、締結操作等について詳述した後、変形例に言及する。
【００１３】
（ポンプ構造）図１〜図５の２連式ベローズポンプは、構成主部材として、ポンプヘッド１と、左右のシリンダケース２Ａ，２Ｂと、シリンダケース２Ａ，２Ｂ内に配置されたベローズ３Ａ，３Ｂと、シリンダケース２Ａ，２Ｂ同士を結合している締結手段４ａ〜４ｄと、ベローズ３Ａ，３Ｂ同士を連結している連結板９及び２本のロッド１０と、カバー部材３４等を備えている。なお、ポンプヘッド１、ベローズ３Ａ，３Ｂ、カバー部材３４はプラスチック製であり、シリンダケース２Ａ，２Ｂ、締結手段４ａ〜４ｄ、連結板９、ロッド１０は金属製であるが、材質的にはこれ以外でもよい。
【００１４】
このうち、ポンプヘッド１は略円盤状をなし、水平方向の吸入通路１１及び上下方向の吐出通路１２を形成し、又、吸込用逆止弁１３及び吐出用逆止弁１４を有している。外周面１ａには、吸入通路１１に装着された片側のパイプ１９ａと、吐出通路１２に装着された上側のパイプ１９ｂとが突設されている。両端面には、外周面１ａより少し内側にベローズ装着用の取付溝１ｂが周設されている。該取付溝１ｂの内側には、逆止弁１３が吸入通路１１に対応し、逆止弁１４が吐出通路１２に対応してそれぞれ装着されている。逆止弁１３，１４自体は、特願２００２−２９０８１９号に記載のものと同じため細部説明を省く。要は、逆止弁１３の方は左右に対に設けられ、弁体１３ａを内蔵した弁ケース１３ｂからなる自重式一方向弁であり、吸入通路１１から供給される液体を各逆止弁１３を介し対応するベローズ３Ａ，３Ｂ内に交互に導入可能にする。逆止弁１４の方は、軸方向に貫通された連通孔に対し摺動自在に配置された弁部材１４ａと、該連通孔の両孔縁内に装着されたリング形弁座１４ａとからなるフローチャッキであり、各ベローズ３Ａ，３Ｂ内の液体を吐出通路１２へ交互に移送して、パイプ１９ｂを通じて目的の箇所へ供給可能にする。これら逆止弁１３，１４は、スプリングを廃止したり各ベローズ内への突出する部材を極力なくしたものであるが、これ以外の弁構造でも差し支えない。
【００１５】
シリンダケース２Ａ，２Ｂは、概略有底円筒形で左右対称となっており、ポンプヘッド１を両側より挟み込むよう配置される。外周面は、開口側の外径２０ａに対し端面側の外径２０ｂが少し小さくなっている。開口側の外径２０ａには、外周にあって略上下左右の角部である合計４箇所にボス部２６が延設されていると共に、前記パイプ１９ａ，１９ｂを通す孔２０ｃ等が設けられている。４個のボス部２６は軸方向に貫通した通し孔を形成している。各ボス部２６は同形であるが、前記通し孔は後述する締結手段４ａ〜４ｄに対応した孔形状となっている。即ち、図３のごとく、締結手段４ｂと４ｃに対応する通し孔は、両側が大きな孔径２６ａで中間部が筒形ボルト１５に対応した孔径２６ｂである。締結手段４ａと４ｄに対応する通し孔は、両側が大きな孔径２６ａで中間部がボルト１７に対応した孔径２６ｃである。。これに対し、内周面は、開口側の内径２１ａがポンプヘッド１に対応して径大に形成され、対応ベローズが少し径小となった内径２１ｂの筒内に配置される。端面には、中心部に装着された軸受部材２２と、外周側の下側に設けられた取付孔２８ａ，２８ｂと、軸受部材２２の外側に設けられた取付孔２８ｃ等が設けられている。取付孔２８ａには駆動流体をシリンダケース内に給排気するノズル２３が装着され、取付孔２８ｂには液漏れを検出するリークセンサ２５が装着され、取付孔２８ｃには後述するカバー部材３４が取り付けられる。また、図面上は図５を除いて省略したが、端面には近接センサ２４が付設されている。この近接センサ２４は、ベローズ３Ａ，３Ｂの伸長状態を検出し、該検出信号を特許第２７９８６６４号に記載のごとく駆動流体用の２位置方向切換弁の制御用として用い、駆動流体が両側のノズル２３から交互に導入可能にする。なお、下両側のボス部２６にはポンプ設置用の突片２７がケース径方向に突設されている。この突片２７は、特許文献１のごとくケース軸方向に突設されることもある
【００１６】
ベローズ３Ａ，３Ｂは、水平方向に伸縮自在の略円筒状本体３０と、開口している一端側に設けられた鍔状取付部３１と、閉じられて厚くなった他端３２に埋設されている硬質板３３とを有しており、取付部３１がポンプヘッド１の対応取付溝１ｂに対し装着される。この装着状態では、取付部３１の外周が取付溝１ｂの内周により規制され、外側端面がシリンダケース２Ａ，２Ｂの対応段差端面にシール材２９ａ等を介在して押え込まれる。硬質板３３には、軸部材８がベローズ中心線方向に突設されている。この軸部材８は、先端に雄ねじ部８ａを有し、前記した軸受部材２２及びシール材２９ｂ等を介し対応シリンダケース２Ａ，２Ｂ内より外へ突出されている。なお、各軸部材８には、後述するようにシリンダケース２Ａ，２Ｂ同士を締結手段４ａ〜４ｄにより結合した後、連結板９が取り付けられる。各連結板９は、４箇所のボス部２６のうち、斜めにあるボス部２６とボス部２６とを結ぶ長さにほぼ設定され、中間の取付孔９ａと、両端側の取付孔９ｂとを形成している。そして、各連結板９は、対応軸部材８に対し雄ねじ部８ａを取付孔９ａに挿通し、ナット１６ｃで係止することにより取り付けられる。
【００１７】
締結手段４ａ〜４ｄは、シリンダケース２Ａ，２Ｂ同士を前記した４箇所のボス部２６で設計強度に締め付ける部材であり、図３のごとく筒形ボルト１５及びナット１６ａを組とした構成と、通常のボルト１７及びナット１６ｂを組とした構成、つまり２種類が用いられる。また、筒形ボルト１５及びナット１６ａと、ボルト１７及びナット１６ｂとは、４箇所のボス部２６のうち、斜めに位置するボス部２６にそれぞれ適用される。この例では、締結手段４ｂ，４ｃとして筒形ボルト１５及びナット１６ａを用い、締結手段４ａ，４ｄとしてボルト１７及びナット１６ｂを用いているが、逆であってもよい。ここで、筒形ボルト１５は、内径がロッド１０に対応し、外径に頭部１５ａと軸部１５ｂ及び軸部先端側の雄ねじ部１５ｃとを形成している。長さは、同軸線上に配置されるボス部２６同士の通し孔よりも同じか若干長くなっている。ボルト１７は、長さが同軸線上に配置されるボス部２６同士の通し孔内に収まる長さであり、外径に頭部と軸部及び軸部先端側の雄ねじ部とを形成している。
【００１８】
（締結操作等）次に、シリンダケース２Ａ，２Ｂ同士を締結手段４ａ〜４ｄにより結合する操作について概説する。図３と図４において、シリンダケース２Ａ，２Ｂ同士は、締結手段４ａ，４ｄと締結手段４ｂ，４ｃとを共に対角線上にある２箇所のボス部２６を利用し締め付けることで同軸線上に結合される。この操作では、形態例のごとく締結手段４ａ，４ｄの各ボルト１７を対応するボス部１６同士の通し孔に対し異方向から挿入して各ナット１６ｂに増す締めして偏りを生じないようにしたり、締結手段４ｂ，４ｃの各筒形ボルト１５を対応するボス部１６同士の通し孔に挿通した後、ナット１６ａを孔径２６ａ内に収まる弾性筒形スペーサ１８を介在して増す締めして緩み防止することが好ましい。なお、図面上は、各筒形ボルト１５が対応するボス部１６同士の通し孔に対し同方向に挿通しているが、前記ボルト１７の場合と同じ理由で異方向から挿入することもある。そして、シリンダケース２Ａ，２Ｂ同士は、このようにして締結手段４ａ〜４ｃにより外周側にあって略上下左右の角部である合計４箇所で締め付けられると、同軸線上に精度よく強固に結合される。その後、上記した連結板９同士は、斜めに配置された状態で前記対応する筒形ボルト１５内を摺動自在に挿通される２本のロッド１０により連結される。連結板９に対するロッド１０の連結構造は、ロッド１０が両端に雄ねじ部を有し、該雄ねじ部を対応する連結板９の取付孔９ｂに挿通し、ナッド１６ｄで係止する構成である。また、シリンダケース２Ａ，２Ｂの端面には、前記した取付孔２８ｃ等を利用してカバー部材３４が取り付けられる。カバー部材３４は、図１や図２のごとく連結板９を余裕を持って覆う大きさであり、シリンダケース２Ａ，２Ｂの外周面のうち、端面側の外径２０ｂを逃げる切り欠き部３４ａと、対の取付片３４ｂとを有している。そして、取付状態では、連結板９、ロッド１０の筒形ボルト１５から突出した部分、締結手段４ｂ，４ｃを構成しているナット１６ａを目視不能に覆う。
【００１９】
以上のようにした組み立てられたベローズポンプは、例えば、特許文献１のものに比べて、シリンダケース側に必要となる連結板及びロッド用の張出端面壁部分を省略したり小さくでき、同じポンプ出力の場合に数段小型化できる。また、２本の筒形ボルト１５は、シリンダケース同士を同軸線上に締め付ける結合機能と、ロッド１０を軸線方向に貫通する保護機能とを兼ねているため、従来のロッド保護用筒部材５８を省略でき、その分だけ部材数を少なくしたり軽量化される。しかも、外観上は、特許文献１のものに比べてボルトやナッド等が一切見えないためシンプル化されている。
【００２０】
なお、ポンプ作動は特願２００２−２９０８１９のものと実質的に同じ。要は、駆動流体が左右のノズル２３から交互に導入されると、その駆動流体圧により各ベローズ３Ａ，３Ｂが交互に伸長・収縮される。例えば、図５の状態は、シリンダケース２Ｂ内に駆動流体が導入され始めたときであり、シリンダケース２Ａ内の駆動流体が排気される。ベローズ３Ｂは収縮し、ベローズ３Ａはロッド１０を介して連動して伸長する。そして、ベローズ３Ｂ内の液体は逆止弁１４、吐出流体通路１２及びパイプ１９ｂを通じて液体移送部へ移送される。ベローズ３Ａ内へは、液体貯蔵部の液体がパイプ１９ａ、吸入通路１１、対応逆止弁１３を介して導入される。これは、ベローズ３Ａが設計値まで伸長されたことを近接センサ２４で検出し、該検出信号に基づいて駆動流体の供給経路が切り換えられるまで継続される。切り換えられると、今度は駆動流体が左側のノズル２３からシリンダケース２Ａ内に導入され、シリンダケース２Ｂ内の駆動流体が排気される。ベローズ３Ａは収縮し、ベローズ３Ｂは連動して伸長する。このように、ベローズポンプは、ベローズ３Ａ，３Ｂが交互に伸縮作動され、液体を吸入通路１１からベローズ３Ａ又は３Ｂ内に導入し、吐出通路１２を通じて移送する。
【００２１】
（変形例）図６は前記筒形ボルト１５を変形した一例であり、同（ａ）は図４（ａ）に対応させて図示し、同（ｂ）は筒形ボルトの外観図である。変形例の筒形ボルト３５は、内径がロッド１０に対応し、軸部３５ａの外周両側に雄ねじ部３５ｃを形成している。長さは、同軸線上に配置されるボス部２６同士の通し孔よりも少し長くなっている。そして、この構造でも、シリンダケース２Ａ，２Ｂ同士は、締結手段４ａ，４ｄと締結手段４ｂ，４ｃとを共に対角線上にある２箇所のボス部２６を利用し締め付けることで同軸線上に結合される。そして、締結手段４ｂ，４ｃとして筒形ボルト３５及びナット１６ａを用いる場合には、筒形ボルト３５を対応するボス部１６同士の通し孔に挿通して、両側から対応孔径２６ａ内に収まる弾性筒形スペーサ１８をそれぞれ装着した後、各ナット１６ａを両側の雄ねじ部３５ｃに均等に増す締めして偏りを生じないようにする。
【００２２】
図７は締結手段４ａ〜４ｄがシリンダケース２Ａ，２Ｂをポンプヘッド１を含めて結合するようにした一例であり、図２に対応して図示している。この変形例では、図５を参照して説明すると、ポンプヘッド１が上記した外周面１ａのうち左右中間部を一回り大きくした径大部１ｃと、該径大部１ｃに対し突設された上記各ボス部２６に対応した４箇所のボス部１ｄとを有しており、シリンダケース２Ａ，２Ｂが上記した開口側の外径２０ａを前記径大部１ｃに対応する寸法分だけ短く形成している。また、４箇所のボス部１ｄは、上記したロッド１０又はボルト１７に対応した通し孔を形成している。そして、この構造では、シリンダケース２Ａ，２Ｂ同士が締結手段４ａ，４ｄと締結手段４ｂ，４ｃとを共に対角線上にある２箇所のボス部２６、及び、ボス部１ｄを利用し締め付けることで同軸線上に結合される。この利点は、上記図１〜図５と同じ大きさを保ちながら、シリンダケース２Ａ，２Ｂがポンプヘッド１を両側から挟持し、かつ、締結手段４ａ〜４ｄにより共締めされた状態で結合されるため、部材間の一体化が安定かつ強化され信頼性を向上できる。このように、本発明は、請求項で特定される要件を充足する範囲で種々変形可能なものである。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明の２連式ベローズポンプでは、締結手段が軸方向に貫通した筒形ボルトを有し、該筒形ボルトを４箇所のうち斜め方向に位置する２箇所に使用し、同時に、各連結板同士を連結するロッドを該筒形ボルトの筒内に挿通することにより、従来のシリンダケースに付設されていた連結板及びロッド用の張出端面壁部分を省略したり極力なくして、ポンプ出力や性能を犠牲にすることなく小型化及び軽量化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したベローズポンプの概略外観図である。
【図２】図１のカバー部材を外した状態での概略外観図である。
【図３】図２の締結手段と連結板及びロッドとの関係を示す図である。
【図４】図１のカバー部材を外した状態での正面及び側端面図である。
【図５】上記ベローズポンプの縦断面図である。
【図６】上記ベローズポンプの変形例を示す図である。
【図７】上記ベローズポンプの他の変形例を示す図である。
【図８】従来ベーズポンプ及び参考用の図である。
【符号の説明】
１…ポンプヘッド（１１は吸入通路、１２は吐出通路）
２Ａ，２Ｂ…シリンダケース
３Ａ，３Ｂ…ベローズ
４ａ〜４ｄ…締結手段
８…軸部材
９…連結板
１０…ロッド
１５，３５…筒形ボルト
１６ａ，１６ｂ…ナット
１７…ボルト
２６，１ｄ…ボス部
３４…カバー部材

Claims

吸入通路及び吐出通路等を形成しているポンプヘッドと、前記ポンプヘッドを両側より挟み込むよう配置された左右のシリンダケースと、前記シリンダケース同士を外周側にあって少なくとも略上下左右の角部である合計４箇所で締め付けているボルト等からなる複数の締結手段と、前記各シリンダケース内に配設されてシリンダケースに吸排気される駆動流体により伸縮する両側の概略有底円筒形ベローズと、前記各ベローズの自由端面側に突設されている軸部材と、前記各軸部材に取り付けられている連結板と、前記各連結板同士を連結している２本のロッドとを備え、前記両ベローズが前記駆動流体の吸排気及びロッド等を介し交互に伸長・収縮されることにより、移送流体を前記吸入通路から吸引し前記吐出通路から吐出する２連式ベローズポンプにおいて、
前記各シリンダケースは、外周にあって略上下左右の角部である合計４箇所に突設されて長手方向に延びかつ通し孔を形成している４個の部を有し、該ボス部のうち下両側のボス部はポンプ設置用の手段を有し、
前記締結手段は前記ボルトとして軸方向に貫通した筒形ボルトを有し、当該筒形ボルトを前記４箇所のうち斜め方向に位置する２箇所に使用し、かつ各筒形ボルトの筒内に前記対応するロッドを挿通していると共に、
前記各連結板は前記ロッドの両端部と連結された状態でそれぞれ斜めに配設されていることを特徴とする２連式ベローズポンプ。
前記各シリンダケースの端面壁にそれぞれ斜めに取り付けられて、前記連結板を覆っているカバー部材を有している請求項１に記載の２連式ベローズポンプ。
前記各シリンダケースは、前記ベローズに対応した概略有底筒形からなり、前記締結手段のボルト及び筒形ボルトを前記対応するボス部の通し孔にそれぞれ挿通している請求項１又は２に記載の２連式ベローズポンプ。