JP4503076B2 - 揺動駆動装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明にかかる揺動駆動装置の実施の形態1を示す斜視図であり、図2は、実施の形態1の揺動駆動装置の分解斜視図であり、図3は、実施の形態1の揺動駆動装置の揺動部の斜視図であり、図4−1は、矩形環状のコイルの正面図であり、図4−2は、図4−1のA−A線に沿う矩形環状のコイルの縦断面図であり、図5は、単位トルク当たりのイナーシャJとトルクTの腕の長さとの関係を示すグラフである。
図6は、実施の形態1の帯状板ばね2の捻り梁部2aを無くした板ばね21(図示せず)の板厚のばらつきに対する、揺動部10aが0.2度傾いたときのばね反力のばらつきを示した図であり、図7は、本発明にかかる画素ずらし装置の実施の形態2の帯状板ばね22の構造を示す正面図であり、図8は、帯状板ばね22の板厚とばね反力の関係を示す図である。
図9は、本発明にかかる実施の形態3の揺動駆動装置13の帯状板ばね23の構造を示す正面図であり、図10は、帯状板ばね23の板厚とばね反力との関係を示す図である。
1a 揺動軸心
1b 取付部
2,22,23 帯状板ばね
2a,22a,23a 捻り梁部
2b,22b,23b 撓み梁部
3 ガラス
4 矩形環状のコイル
4a 孔部
5a,5b ヨーク
6 永久磁石
7 ベース
7a 揺動支点
10,12,13 揺動駆動装置
10a 揺動部
10b ボイスコイルモータ
22c,23c 固定部
Claims (5)
- 揺動軸心および取付部を有する揺動部と、
略中央に前記揺動軸心を支持する揺動支点が設けられ、略周辺に支持部が形成されたベースと、
前記揺動支点の内側に配置された前記揺動部の前記取付部に取付けられる固定部、一端が前記ベースの前記支持部に取付けられる撓み梁部および前記揺動支点を挟むように前記揺動軸心と略平行に配置されて一端が前記固定部に接続され他端が前記撓み梁部に接続される捻り梁部を有し、前記揺動部を前記ベースに揺動可能に軸支させる帯状板ばねと、
を備えることを特徴とする揺動駆動装置。 - 前記取付部は、前記揺動軸心上に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の揺動駆動装置。
- 前記帯状板ばねの撓み梁部が、前記揺動部の揺動軸心と略垂直に形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の揺動駆動装置。
- 前記撓み梁部は、前記支持部に取付けられた端から前記揺動軸心に略平行で外側に延び、前記撓み梁部および前記捻り梁部は、略U字形状に湾曲して結合していることを特徴とする請求項1又は2に記載の揺動駆動装置。
- 前記揺動部は、前記揺動軸心の下寄りに矩形環状コイルを有し、前記揺動軸心の上側の窓部に投射光を透過させるガラスを備え、前記ベースは、前記矩形環状コイルの一辺に磁力線を通す永久磁石及びヨークを備え、前記揺動軸心は、前記矩形環状コイルの一辺に平行であり、かつ、前記矩形環状コイルの一辺と平行な他辺と前記矩形環状コイルの図心との間に位置することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の揺動駆動装置。
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|---|---|---|---|---|
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| US6002506A (en) * | 1997-06-11 | 1999-12-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical deflector and beam scanner using the same |
| JPH11212020A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-06 | Olympus Optical Co Ltd | ガルバノミラーの取付装置 |
| US6486995B2 (en) * | 2000-04-28 | 2002-11-26 | Denso Corporation | Vibration-resisting structure of optical scanner |
| JP4461654B2 (ja) * | 2001-08-20 | 2010-05-12 | ブラザー工業株式会社 | 光走査装置、光走査装置に用いられる振動体及び光走査装置を備えた画像形成装置 |
| JP4307171B2 (ja) * | 2002-07-19 | 2009-08-05 | キヤノン株式会社 | マイクロ可動体 |
| US20050018322A1 (en) * | 2003-05-28 | 2005-01-27 | Terraop Ltd. | Magnetically actuated fast MEMS mirrors and microscanners |
| US7177063B2 (en) * | 2003-08-12 | 2007-02-13 | Terraop Ltd. | Bouncing mode operated scanning micro-mirror |
| JP4023426B2 (ja) * | 2003-09-30 | 2007-12-19 | ブラザー工業株式会社 | 網膜走査型ディスプレイ装置 |
| JP2005293718A (ja) | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Nippon Chemicon Corp | 磁界変調ヘッドの支持装置 |
| JP5084121B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2012-11-28 | 日本信号株式会社 | アクチュエータ |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11448945B2 (en) | 2018-11-15 | 2022-09-20 | Seiko Epson Corporation | Optical path shifting device and image display device |
| US11262574B2 (en) | 2018-12-04 | 2022-03-01 | Seiko Epson Corporation | Light path shifting device and image display device |
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