JP4574716B2 - 手動ステージ構成システム - Google Patents

Description

本発明は、手動ステージ構成システムに係り、特に、締付具により精密機器が取付けられる摺動部品と、締結具により土台に接続される固定部品とが摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う手動ステージユニットを用いた手動ステージ構成システムに関する。

ＣＣＤカメラやセンサなどの電機・電子機器、レンズや顕微鏡等の光学機器、ＬＥＤなどの照明機器といった精密機器は、取り付けに際し、位置決めやピント合わせのために位置調整しなければならない。また、取り付け後において、さらにその位置を微調整する場合も発生する。

これらの精密機器は、一般的に「ステージ」と称される機械要素上に設置されて位置調整される。手動ステージとは、これらのステージのうち、ハンドル操作により部品を手動で摺動させるステージをいう。この手動ステージは、機器が取付けられる摺動部品と、土台に接続される固定部品とが摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を固定部品に対して手動で摺動させるのが一般的である。この手動ステージには、その摺動機構により、例えば、アリ溝式ステージ、送りネジ式ステージ、リニアボール式ステージ、クロスローラ式ステージ、簡易ボール式ステージ、アリ溝スライドレール式ステージなどが含まれる。また、それぞれのステージには、使用目的に応じて多様な形式があり、例えば、アリ溝式ステージの場合には、１方向に摺動するＸ軸アリ溝式ステージ、略直交する２方向に摺動するＸＹ軸アリ溝式ステージ、上下方向に摺動するＺ軸アリ溝ステージ、回転して摺動する回転ステージなどがある。

図２９に、従来の一般的なＸ軸アリ溝式ステージを示す。Ｘ軸アリ溝式ステージ２００は、台形状に窪んだアリ溝２０３を有する固定部品２０５に対し、台形状に突出したアリ２０２を有する摺動部品２０４が移動可能に嵌合される。この固定部品２０５は、土台固定用締結孔２０６を有するベース板２０８を介し、締結具（図示せず）により土台（図示せず）に固定される。また、摺動部品２０４は、精密機器用取付け孔２０７に挿入される締付具（図示せず）を介して精密機器（図示せず）に接続される。摺動部品２０４は、ハンドル２０９を回転させることにより図中の矢印の方向に移動する。これは、Ｘ軸アリ溝式ステージ２００の内部に、ラック及びピニオンギア（図示せず）、或いは送りねじ（図示せず）などの駆動機構が組み込まれていることによる。これらの駆動機構により、ハンドル２０９の回転が、摺動部品２０４の水平方向への移動に変換される。そして、この移動量は、対となるバーニア目盛（図２９のＸ軸アリ溝式ステージ２００の裏面）により測定される。

このＸ軸アリ溝式ステージ２００には、固定部品２０５に対して摺動部品２０４を任意の位置に固定するストッパ機能が設けられている。このストッパ機能は、固定部材２０５の側面に止めネジ２１７により締結された押さえ板２１１と、摺動部品２０４に明けられたネジ孔（図示せず）にねじ込まれるワッシャ２１８付き摺動固定ネジ２１０から構成される。この摺動固定ネジ２１０は、押さえ板２１１に明けられた開口２１６に挿入される。そして、摺動固定ネジ２１０を締め込むとワッシャ２１８を介して押さえ板２１１が摺動部品２０４に押し付けられ、摩擦力により固定部品２０５に対して摺動部品２０４をその位置に固定する。

図３０に、図２９のＸ軸アリ溝式ステージ２００の側面及び分解した平面を示す。図３０（ａ）は、図２９のＬ方向からみたアリ溝ステージ２００の側面図であり、図３０（ｂ）は、図３０（ａ）のＭ−Ｍ方向からみた平面図であり、図３０（ｃ）は、図３０（ａ）のＮ−Ｎ方向からみた平面図である。このＸ軸アリ溝式ステージ２００は、摺動部品２０４にアリ２０２が取付けられ、さらにラック取付けピン２１５によりラック２１３がアリ２０２に固定される。また、固定部品２０５内に挿入されたピニオンギア２１４はハンドル２０９に連結される。すなわち、ハンドル２０９を回転させることでハンドル２０９に連結されたピニオンギア２１４を回転させ、ピニオンギア２１４に係合するラック２１３を並進移動させる。

また、摺動固定ネジ２１０は、固定部品２０５に取付けられた押さえ板２１１の開口２１６内を摺動部品２０４の移動と共に移動する。この摺動固定ネジ２１０のネジを締め込むことで、摺動部品２０４はその位置に固定される。また、固定部品２０５内に挿入されたピニオンギア２１４は、一端がハンドル２０９に連結されるが、他端は、与圧調整ネジ２１２に接触する。この与圧調整ネジ２１２は、ピニオンギア２１４を押さえつけることで、ラック２１３及びピニオンギア２１４による摺動を接触摩擦により微調整する。すなわち、与圧調整ネジ２１２を締め込むとハンドル２０９による回転操作が重くなり、与圧調整ネジ２１２を緩めるとハンドル２０９による回転操作が軽くなる。

図３１に、従来の一般的な送りネジ式ステージを示す。図３１（ａ）は、送りネジ式ステージ３００の側面図であり、図３１（ｂ）は、図３１（ａ）のＰ−Ｐ方向からみた平面図であり、図３１（ｃ）は、図３１（ａ）のＱ−Ｑ方向からみた平面図である。送りネジ式ステージ３００は、アリ３０２を有する摺動部品３０４、アリ溝３０３を有する固定部品３０５、摺動機構である雄ネジ棒３０７、雌ネジ筒３０６、ハンドル３０９、及びストッパ３１６から構成される。そして、摺動部品３０４側には目盛表示板３１０ｂが取り付き、固定部品３０５側には、目盛表示板３１０ａが取り付く。この雄ネジ棒３０７を雌ネジ筒３０６に係合させ、ハンドル３０９を回転させることで摺動部品３０４が固定部品３０５に対して摺動する。ストッパ３１６は、任意の位置で摺動部品３０４を固定部品３０５に対して固定する。

図３２に、従来の一般的なアリ溝スライドレール式ステージを示す。図３２（ａ）は、アリ溝スライドレール式ステージ４００の平面図であり、図３２（ｂ）は、図３２（ａ）のＲ−Ｒ断面を示す。アリ溝スライドレール式ステージ４００は、アリ溝４０３を有する摺動部品４０４、アリ４０２を有する固定部品４０５、ハンドル４０９、及び摺動部品４０４に取付けられた脚部４０８から構成される。そして、摺動部品４０４側には目盛表示板４１０ｂが取り付き、固定部品４０５側には、目盛表示板４１０ａが取り付く。また、固定部品４０５には土台固定用締結孔４０６が設けられ、摺動部品４０４には精密機器用取付け孔４０７が設けられる。この摺動部品４０４と固定部品４０５とは、摺動部品４０４に取付けられた複数の脚部４０８により接触する。すなわち、この脚部４０８が固定部品４０５のレール状のアリ４０２に接触しながらスライドする。ハンドル４０９は先端にネジが切られ、緩めると摺動部品４０４を固定部品４０５に対して摺動させることができ、締め付けると摺動部品４０４を固定部品４０５に対して固定させることができる。

簡易ボール式ステージは、摺動部品に設けられた溝及び固定部品に設けられた溝が、互いに対向する略半円筒状の溝であり、これらが組み合わされると略円筒状となる。この略円筒状の溝内に複数のボールが嵌め込まれて配置される。そして、このボールの回転により摺動部品と固定部品とが滑らかにスライドする機構である。この摺動部品を固定部品に対して摺動させるために、スプリングが組み込まれたワイヤがリング状に張られている。そして、ワイヤの一部がハンドルに巻き取られ、ハンドルを回転させることでワイヤが移動し、ワイヤが接続された摺動部品が固定部品に対して摺動する。

リニアボール式ステージは、固定部品と摺動部品とが擬円筒の摺動面であるゴシックアーク溝を形成し、ボールがそのゴシックアーク溝に挟まれるように配置されることで固定部品に対して摺動部品を摺動させる機構である。

クロスローラ式ステージは、固定部品と摺動部品とにＶ字型の溝であるローラレースが形成され、円筒コロがこの２本のローラレースに挟まれた空間に互い違いに配置されることで固定部品に対して摺動部品を摺動させる機構である。

これらの手動ステージは、摺動部品及び固定部品から構成される手動ステージ本体と、例えば、目盛表示板、摺動固定ネジ、摺動調整ネジ、ハンドル、ベース板、与圧調整ネジ、移動制限プレートなどの部品とに分解することができる。しかし、手動ステージ本体に標準的な各部品が取付けられて手動ステージとするのが一般的である。そして、特殊な部品が要求される場合には、その都度、その部品を取付けた手動ステージを特注として製作する場合があった。

一方、特許文献１には、ＸＹ軸アリ溝式ステージである汎用アリ溝摺動ユニットが開示されている。ここでは、複数のアリ溝摺動ユニットを、締結具により着脱自在である連結部品により組合せることで、精密機器を平面状の２軸方向に位置調整でき、また、複数のアリ溝摺動ユニットが着脱自在であることで、例えば、ハンドルの方向などを容易に変更できるアリ溝摺動ユニットが記載されている。

また、特許文献２には、ＸＹ軸アリ溝式ステージである複合アリ溝摺動ユニットが開示されている。ここでは、更に複数のアリ溝摺動ユニットを、連結部品を用いずに連結させる技術が記載されている。また、複数のアリ溝摺動ユニットのそれぞれのハンドルの回転軸を共有させ、２つのハンドル操作を１箇所で行うことができるアリ溝摺動ユニットが記載されている。

特許第３９２３９９７号 特開２００８−８４４６号公報

従来の手動ステージは、手動ステージ本体に標準的な各部品が取付けられ、手動ステージの完成品として販売されるのが一般的であった。しかし、手動ステージが普及するにつれて、ユーザからの使い勝手の改善要求が増大しつつある。また、ユーザが手動ステージを使用する用途が多様化し、また高度化しており、ユーザから手動ステージに対する機能追加の要求が高まり、標準的な手動ステージでは対応が難しくなりつつある。一方、手動ステージの機種を増加するにも、各部品を組合せるには膨大な機種を製品としてラインアップしなければならず現実的ではない。また、ユーザにとっても膨大な製品のラインアップから所望の機種を選択するのは容易ではない。

ユーザからの手動ステージに対する使い勝手の改善要求の例として、従来の手動ステージは目盛表示板が手動ステージの一方の側面にしか取付いていないため、ハンドル操作や摺動固定ネジを目盛と反対側から操作することができず、操作性が悪いという問題がある。また、目盛の表示方法について、従来のバーニア目盛ではなく使用目的に合わせた異なる形式の目盛を使用したいという要求がある。さらに、従来の手動ステージでは、ストッパ機能を固定部品の一方の側からしか操作できず、操作性が悪いという問題がある。

また、ユーザからの手動ステージの機能追加の要求の例として、手動ステージは、固定部品に接続するベース板が締結具の締め付けにより土台に固定されるが、手動ステージの使用中に取付けられる精密機器、或いは周囲の駆動装置などの繰り返しの機械振動を受け、締め込まれた締結具が緩み手動ステージの位置がずれてしまうという問題がある。そして、ユーザから締結具の緩みを低減する手動ステージの要求や、機械振動を受けても振動が低減される手動ステージの要求などがある。

本願の目的は、かかる課題を解決し、手動ステージ本体に取付けられる部品を、使い勝手、要求される機能、及び使用される用途に合わせて選択できる高機能な手動ステージ構成システムを提供することである。

上記目的を達成するため、本発明に係る手動ステージ構成システムは、アリを有して精密機器が取付けられる摺動部品、及びアリ溝を有して土台に固定されるベース板に接続される固定部品からなり、複数の目盛表示板部品の全てのネジの取付け位置に合わせて摺動部品及び固定部品の両側面にそれぞれ設けられ、全ての目盛表示板部品が交換自在な目盛取付け用ネジ孔と、固定部品の両側にそれぞれ複数箇所設けられ、突出部に突き当てて突出部を内側に傾斜させて摺動部品を押さえ込ませて固定部品に対する摺動部品の位置を固定する複数の摺動固定ネジ部品が交換自在な摺動固定用ネジ孔と、固定部品の両側にそれぞれ複数箇所設けられ、突出部に突き当てて突出部を内側に傾斜させて摺動部品を押し、固定部品と摺動部品との摺動の程度を微調整する摺動調整ネジ部品が交換自在な摺動調整用ネジ孔と、複数のハンドル部品が交換自在なハンドル連結手段と、ハンドルと反対側の固定部品の側面に設けられ、複数の与圧調整ネジ部品が交換自在な与圧調整用ネジ孔と、複数のベース板部品が交換自在なベース板取付け孔と、を有し、手動ステージ本体の両側には、固定部品の両側の壁部に逆三角形の突出部を形成するようにそれぞれ縦方向に溝が設けられる手動ステージ本体、及び摺動部品又は固定部品に取り付けられる、複数の目盛表示板部品群と、手動ステージ本体の何れかの側から、又は両側から摺動部品を固定するために使用可能な複数の摺動固定ネジ部品群と、手動ステージ本体の何れかの側から又は両側から摺動部品の摺動の程度を調整するために使用可能な複数の摺動調整ネジ部品群と、複数のハンドル部品群と、複数の与圧調整ネジ部品群と、複数のベース板部品群と、からなる部品群により構成され、ユーザにより手動ステージ本体に組み込む部品群が選択され、さらに選択された部品群から部品が選択され、それらの部品が手動ステージ本体に組み込まれて完成された１組の手動ステージとなる手動ステージ構成システムであって、複数のユーザの各端末機と、手動ステージステーションのサーバと、が通信ネットワークを介して接続され、手動ステージステーションのサーバは、手動ステージ本体に関する情報を記憶する手動ステージ本体情報記憶部と、各部品に関する情報を記憶する部品情報記憶部と、ユーザにより選択された部品群、及びその部品群の中から選択された部品に関する情報を部品情報記憶部から受信する部品情報受信部と、部品を手動ステージ本体に組み込んで完成された手動ステージとした際の適合性を検証する部品適合性検証部と、適合性検証部が適合性に問題がないと判断すると、選択された部品を手動ステージ本体に組み込んだ画像を生成する画像生成部と、適合性検証部が適合性に問題があると判断すると警告のメッセージをユーザの端末機に発信し、適合性検証部が適合性に問題がないと判断すると、画像生成部が生成した画像をユーザの端末機に発信する部品情報発信部と、
を備え、適合性検証部は、手動ステージ本体情報記憶部に記憶された情報と、ユーザにより選択された部品について部品情報記憶部に記憶された情報とから、選択された各部品が手動ステージ本体に合体させた際のシステム上の問題を検証することを特徴とする。

上記構成により、手動ステージ構成システムは、固定部品の両側において、摺動固定ネジを壁部に設けられた摺動固定用ネジ孔を貫通させて突出部に突き当て、突出部を内側に傾斜させて摺動部品を押さえ込ませ、固定部品に対する摺動部品の位置を固定するストッパ機構とする。このストッパ機構により、従来、摺動部品にねじ込まれる摺動固定ネジと固定部品に取付けられた押さえ板とにより固定部品に対する摺動部品の位置を固定していたストッパ機構が不要となり、固定部品及び摺動部品の両側面のネジ孔の配置の自由度が増大する。

その結果、摺動部品又は固定部品の側面に取り付けられる目盛表示板部品、摺動固定ネジ部品、ハンドル部品などが相互に干渉することなく取り付けられる。従って、摺動部品及び固定部品から構成される手動ステージ本体の側面に、目盛取付け用ネジ孔、摺動固定用ネジ孔、ハンドル連結手段、及びベース板取付け孔の配置を機能的に設定し、複数の目盛表示板部品、複数の摺動固定ネジ部品、複数のハンドル部品、及び複数のベース板部品をそれぞれ交換自在にすることができる。これにより、手動ステージの使い勝手を改善し、要求される機能に合わせて部品を選択するユニット化が可能となる。

また、手動ステージ構成システムは、ユーザにより部品群の中から所望の部品群が選択され、選択された部品群の中から所望の部品が選択され、それらの部品が手動ステージ本体に組み込まれて完成された１組の手動ステージとなることが好ましい。これにより、手動ステージの使い勝手を改善し、ユーザから要求される機能に合わせて部品を選択させることができる。

また、手動ステージ構成システムは、目盛取付け用ネジ孔が、複数の目盛表示板部品の全てのネジの取付け位置に合わせて手動ステージ本体の両側面にそれぞれ設けられることが好ましい。この目盛表示板部品には、目盛を中心振り分けとする形式、目盛の両端部を基点とする形式、目盛の主尺と副尺とを逆にする形式が含まれることが好ましい。これにより、手動ステージについて、事前に数種の目盛表示方法による目盛表示板が選択でき、ユーザからの要望に対処することができる。また、目盛表示部品の選択によっては、空いた目盛取付け用ネジ孔が生じるが、この孔に他の用途の表示板として活用することができる。

また、手動ステージ構成システムは、摺動固定用ネジ部品が、固定部品の両側面にそれぞれ複数箇所設けられることが好ましい。この摺動固定用ネジ部品には、ネジにレバーが取り付き、レバーを回転させることでネジを締め込むレバー式の摺動固定用ネジ部品が含まれることが好ましい。これにより、操作者は、摺動固定ネジ部品により手動ステージの摺動を固定する作業を手動ステージの左右のいずれでもでき、或いは手動ステージの両側から固定することもできる。また、レバー式の摺動固定用ネジ部品を用いることで、ドライバ等の工具を用いることなく強固に締め込むことができ、衝撃の際の手動ステージのずれを嫌うような使用条件の場合に手動ステージの固定度を高めることができる。

また、手動ステージ構成システムは、部品群が、更に、ハンドルと反対側の固定部品の側面に与圧調整ネジ部品を備え、手動ステージ本体は、複数の与圧調整ネジ部品が交換自在な与圧調整用ネジ孔を有することが好ましい。この与圧調整ネジ部品には、つまみを回転させることでネジを締め込むつまみネジ式の与圧調整ネジ部品が含まれることが好ましい。これにより、ハンドルと反対の側に取り付く与圧調整ネジ部品についても、与圧調整ネジ部品に要求される機能に合わせて複数の与圧調整ネジ部品のなかから所望の部品を選択することができる。例えば、従来、つまみネジをドライバ等により回転させてネジを調整していたのが、つまみネジ式の与圧調整ネジ部品を用いることで、ドライバ等の工具を用いることなく、素早く軽い動きからしっとり滑らかな動きまで微調整することができる。

また、手動ステージ構成システムは、部品群が、更に、固定部品に取り付けられる摺動調整ネジ部品を含み、手動ステージ本体が、固定部品に設けられ、突出部に突き当てて突出部を内側に傾斜させて摺動部品を押し、固定部品と摺動部品との摺動の程度を微調整する摺動調整ネジ部品が取り付く摺動調整用ネジ孔を有することが好ましく、この摺動調整用ネジ孔は、固定部品の両側面にそれぞれ複数箇所設けられることが好ましい。これにより、固定部品に対する摺動部品の位置を固定するストッパ機構を活用し、固定部品に取り付けられる複数の摺動調整ネジ部品により、固定部品と摺動部品との摺動の程度を微調整することができる。さらに、摺動調整ネジ部品を固定部品の両側面に取り付け可能としたことで、操作者は、摺動調整ネジ部品により手動ステージの摺動を調整する作業を手動ステージの左右のいずれでもでき、或いは左右の摺動調整ネジ部品を同時に用いて調整することが可能となる。

また、手動ステージ構成システムは、部品群は、更に、固定部品に取り付けられる複数の移動制限プレート部品を備え、移動制限プレート部品が、摺動部品に取付けられた摺動固定ネジ部品の移動範囲を、移動制限プレート部品内に設けられた開口部の幅により制限し、手動ステージ本体が、移動制限プレート部品が取り付くネジ孔を固定部品に設けられた目盛取付け用ネジ孔に兼用させることが好ましい。これにより、手動ステージユニットは、従来使用されていた摺動固定ネジ部品及び移動制限プレート部品の組合せに対し、そのネジ孔を目盛取付け用ネジ孔に兼用させることで、新たにネジ孔を配置することなく手動ステージユニットに包含することができる。

また、手動ステージ構成システムは、ハンドル部品には、一端がハンドル連結手段に連結し、他端が延長用の棒の先端部の雄ネジに係合する雌ネジ部を有し、ストッパにより雄ネジの回転を止める継手ハンドル部品が含まれることが好ましい。これにより、手動ステージを離れた位置からハンドル操作する場合であっても、継手ハンドル部品を用いることで容易に操作できる。また、ハンドル部品には、ハンドル連結手段に連結するハンドル部品を更に包み込むカプラにより電動機に接続するハンドル部品が含まれることが好ましい。これにより、従来、手動によりハンドルを回転させていたのを、電動機などにより電動で操作させることができる。

また、手動ステージ構成システムは、ベース板部品には、ベース板の裏面に磁石が嵌め込まれる凹部が設けられたベース板部品が含まれることが好ましい。これにより、手動ステージは、ベース板部品の裏面に嵌め込まれた磁石の磁気により土台と強固に連結され、機械振動などの発生に起因する土台に対するベース板の微細なずれが回避できる。このように、ベース板部品に要求される機能に合わせて複数のベース板部品のなかから所望の部品を選択することができる。

また、手動ステージ構成システムは、ベース板部品には、板状の弾性体を保持し、ベース板部品を土台に固定させる締結具を締付けることで弾性体を圧縮させて収納する凹状の収納部を裏面に備えるベース板部品が含まれることが好ましい。これにより、手動ステージは、ベース板部品の裏面に収納された弾性体の圧縮に対する復元力により締結具に張力が導入され、機械振動などの発生に起因する締結具の緩みが回避できる。このように、ベース板部品に要求される機能に合わせて複数のベース板部品のなかから所望の部品を選択することができる。

また、手動ステージ構成システムは，ベース板部品には、板状の粘弾性体を保持し、ベース板部品を土台に固定させる締結具を締付けると粘弾性体を介してベース板部品と土台とが接続するように構成された凹状の収納部を裏面に備えるベース板部品が含まれることが好ましい。これにより、手動ステージは、ベース板部品の裏面に収納された粘弾性体がそのせん断に対する復元力によりエネルギ吸収を行い、機械振動などの発生に起因する微小振動が回避できる。このように、ベース板部品に要求される機能に合わせて複数のベース板部品のなかから所望の部品を選択することができる。

以上のように、本発明に係る手動ステージ構成システムによれば、手動ステージ本体に取付けられる部品を、使い勝手、要求される機能、及び使用される用途に合わせて選択できる高機能な手動ステージ構成システムを提供することができる。

本発明に係るアリ溝式の手動ステージユニットの全体構成を示す説明図である。 組立てが完成したアリ溝式ステージの１つの組立例を示す斜視図である。 アリ溝式ステージの側面図、及び分解したアリ溝式ステージの平面図である。 アリ溝式ステージの固定ユニットの摺動固定機構及び摺動調整機構を示す断面図である。 摺動ユニット及び固定ユニットの側面におけるハンドル、摺動固定ネジ、摺動調整用ネジ孔、摺動固定用ネジ孔、与圧調整ネジなどの配置を示す側面図である。 手動ステージ本体の斜視図、及び手動ステージ本体の側面図である。 目盛表示板部品群を構成する部品の例を示す説明図である。 摺動固定ネジ部品群を構成する部品の例を示す説明図である。 ハンドル部品群を構成する部品の例を示す説明図である。 与圧調整ネジ部品群を構成する部品の例を示す説明図である。 ベース板部品群を構成する部品の例を示す説明図である。 移動制限プレート群を構成する部品の例を示す説明図である。 本発明に係る手動ステージ構成システムを示す説明図である。 本発明の対象となるＸ軸ステージの平面図及び側面図である。 本発明の対象となるＸ軸ステージ（ハンドル延長タイプ）の平面図及び側面図である。 本発明の対象となるＸＹ軸ステージの平面図及び側面図である。 本発明の対象となるＺ軸ステージの平面図及び側面図である。 本発明の対象となるＸ軸ステージの平面図、底面図、及び側面図である。 本発明の対象となるＺ軸ステージの平面図、底面図、及び側面図である。 本発明の対象となるＸ軸ステージの平面図、底面図、及び側面図である。 本発明の対象となるＸステージ（アリ溝送りネジタイプ）の平面図、底面図、及び側面図である。 本発明の対象となるＸ軸ステージ（アリ溝スリム送りネジタイプ）の平面図、底面図、及び側面図である。 本発明の対象となるＸ軸ステージ（アリ溝スリム送りネジタイプ）の平面図、底面図、及び側面図である。 本発明の対象となる回転ステージの平面図、底面図、及び側面図である。 本発明の対象となるＸ軸ステージの平面図、底面図、及び側面図である。 本発明の対象となるＸ軸粗微動ステージの平面図、底面図、及び側面図である。 本発明の対象となるＺ軸支柱取付けステージの平面図及び側面図である。 本発明の対象となるＺ軸支柱取付けステージの平面図及び側面図である。 従来の一般的なＸ軸アリ溝式ステージを示す斜視図である。 従来の一般的なＸ軸アリ溝式ステージの側面図、及び分解した平面図である。 従来の一般的な送りネジ式ステージを示す側面図、及び分解した平面図である。 従来の一般的なアリ溝スライドレール式ステージを示す平面図及び断面図である。

以下に、図面を用いて本発明に係る手動ステージユニットの１つの実施形態につき、詳細に説明する。本実施形態では、手動ステージユニットの一つの実施例としてＸ軸アリ溝式ステージについて説明するが、それに限らずＸＹ軸アリ溝式ステージ、Ｚ軸アリ溝式ステージ、回転ステージなどにも適用される。また、アリ溝式ステージ以外の図３１に示す送りネジ式ステージ、図３２に示すアリ溝スライドレール式にも適用される。さらにその他の手動ステージ、例えば、リニアボール式ステージ、クロスローラ式ステージ、簡易ボール式ステージなどにも適用可能である。

（アリ溝式の手動ステージユニットの構成）
図１に、アリ溝式の手動ステージユニットの全体構成を説明図で示す。図１（ａ）の破線で囲んだブロックは、手動ステージユニット１の手動ステージ本体２を示す。また、図１（ｂ）の破線で囲んだブロックは、手動ステージユニット１の部品群２０を示す。この部品群２０には、例えば、目盛表示板部品群３、摺動固定ネジ部品群４、ハンドル部品群５、与圧調整ネジ部品群６、摺動調整ネジ部品群７、ベース板部品群８、移動制限プレート部品群９などが含まれる。アリ溝式の手動ステージユニット１は、アリ１０２を有する摺動部品１０４、及びアリ溝１０３を有する固定部品１０５から構成される手動ステージ本体２と、上述した部品群２０とから構成され、選択された各部品群２０の中からさらに選択された各部品を、それぞれ手動ステージ本体２に取付けることで完成したアリ溝式ステージとなる。なお、図１（ｂ）の部品群２０には、それぞれの部品の標準的な部品を図示する。また、本アリ溝式の手動ステージユニット１の手動ステージ本体２は、摺動部品１０４及び固定部品１０５が長方形の平面、或いは直方体となっているが、これに限らず、正方形の平面、或いは立方体を有する手動ステージ本体２であっても良い。

（アリ溝式ステージの構成）
アリ溝式の手動ステージユニット１について説明する前提として、手動ステージ本体２に各部品が組立てられて完成したアリ溝式ステージ１００についてその構成を説明する。図２に、組立てられて完成したアリ溝式ステージ１００の１つの組立例を斜視図で示す。なお、図２では、手動ステージ本体２に一般的な部品を選択して組み立てた組立例を示す。アリ溝式ステージ１００は、台形状に窪んだアリ溝１０３を含む固定部品１０５に対して台形状に突出したアリ１０２を含む摺動部品１０４が摺動可能に嵌合される。この固定部品１０５は、土台固定用締結孔１０６を有するベース板１０８を介して土台（図示せず）に固定される。また、摺動部品１０４は、精密機器用取付け孔１０７に挿入される締付具（図示せず）を介して精密機器（図示せず）に接続される。摺動部品１０４は、ハンドル１０９を回転させることにより固定部品１０５に対して図中の矢印の方向に相対的に移動する。

図３に、アリ溝式ステージ１００の側面図、及び分解したアリ溝式ステージ１００の平面図を示す。図３（ａ）は、図１のＡ方向からみたアリ溝式ステージ１００の側面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ方向からみた平面図であり、図３（ｃ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ方向からみた平面図である。アリ溝式ステージ１００の摺動機構は、摺動部品１０４に取付けられたラック１３、及び固定部品１０５内に挿入されたピニオンギア１４から構成される。すなわち、ハンドル１０９を回転させることでハンドル１０９に連結されたピニオンギア１４を回転させ、ピニオンギア１４に係合するラック１３を並進移動させる。

また、固定部品１０５内に挿入されたピニオンギア１４は、一端がハンドル１０９に連結されるが、他端は、与圧調整ネジ１２に接触する。この与圧調整ネジ１２は、ピニオンギア１４を押さえつけることで、ラック１３及びピニオンギア１４による摺動を接触摩擦により微調整する。すなわち、与圧調整ネジ１２を締め込むとハンドル１０９による回転操作が重くなり、与圧調整ネジ１２を緩めるとハンドル１０９による回転操作が軽くなる。

図４（ａ）に、アリ溝式の手動ステージのストッパ機構を図２のＤ−Ｄ断面で示す。また、図５に、摺動部品１０４及び固定部品１０５の側面におけるハンドル１０９、摺動固定ネジ１０、摺動調整用ネジ孔１５、摺動固定用ネジ孔１６、与圧調整ネジ１２などの配置を示す。固定部品１０５の側面には摺動固定ネジ１０が取付けられる。そして、固定部品１０５のアリ溝１０３の側部に逆三角形の突出部３１を形成するように溝部３２が設けられ、摺動固定ネジ１０の先端部である摺動固定ネジ先端部３３を溝部３２から突出部３１に突き当てて突出部３１を図３（ｂ）の矢印で示すように内側に傾斜させる。そして、固定部品１０５のアリ溝１０３と嵌合する摺動部品１０４のアリ１０２を押さえ込ませる。このようにして、固定部品１０５に対する摺動部品１０４の位置を固定する。

この突出部３１は、固定部品１０５に接続する箇所の厚みが小さくなっているため、摺動固定ネジ１０の摺動固定ネジ先端部３３により容易に弾性変形する。そして、摺動固定ネジ１０に突き当てて内側に傾斜した突出部３１の復元力により摺動固定ネジ１０を外側に向かって押す圧縮力が発生する。

この突出部３１と溝部３２は、固定部品１０５の両側の壁部に設けられ、摺動固定ネジ１０は、左右いずれからも装着して使用できる。或いは、摺動固定ネジ１０を左右両方に装着して同時に使用できる。すなわち、本アリ溝式ステージ１００におけるストッパ機能は、アリ溝式ステージ１００の何れの側からも固定部品１０５に対する摺動部品１０４の位置を固定でき、更には両側から強固に固定できる。また、図５に示すように摺動固定用ネジ孔１６は、本実施形態では片側に２箇所ずつ配置され、何れの位置でもストッパ機能を発揮させることができる。また、４箇所全てに摺動固定ネジ１０を装着して使用しても良い。

図４（ｂ）に、アリ溝式ステージ１００の調整機構を図３のＥ−Ｅ断面で示す。上述したストッパ機能が使用する突出部３１及び溝部３２を活用し、摺動調整ネジ用孔１５に摺動調整ネジ１１を挿入し、図中の矢印に示す方向に突出部３１を内側に傾斜させて摺動部品１０４を押し、固定部品１０５と摺動部品１０４との摺動の程度を微調整する。この摺動調整ネジ用孔１５は、図３に示すように、固定部品１０５の両側に設けられ、本実施形態では、片側に３箇所ずつ設けられる。すなわち、本手動ステージ１における調整機能は、手動ステージ１の何れの側からも調整でき、更には両側からも左右のバランスをとりながら調整できる。また、図５に示すように、摺動調整用ネジ孔１５は、本実施形態では、片側に３箇所ずつ配置され、何れの位置でも調整機能を発揮させることができる。また、２箇所を選択し、或いは３箇所全てを選択して摺動調整ネジ１１を挿入して調整しても良い。

このように、アリ溝式ステージ１００は、固定部品１０５の両側において、摺動固定ネジ１０を壁部に設けられた摺動固定用ネジ孔１６を貫通させて突出部３１に突き当て、突出部３１を内側に傾斜させて摺動部品１０４を押さえ込ませ、固定部品１０５に対する摺動部品１０４の位置を固定するストッパ機構とする。このストッパ機構により、図２９に示すように、従来、摺動部品２０４にねじ込まれる摺動固定ネジ２１０と固定部品２０５に取付けられた押さえ板２１１とにより固定部品２０５に対する摺動部品２０４の位置を固定していたストッパ機構が不要となり、固定部品１０５及び摺動部品１０４の両側面のネジ孔の配置の自由度が大幅に増大する。

その結果、摺動部品１０４又は固定部品１０５の両側面に取り付けられる目盛表示板部品３、摺動固定ネジ部品４、ハンドル部品５などが相互に干渉することなく取り付けられる。従って、摺動部品１０４及び固定部品１０５から構成される手動ステージ本体２の両側面に、目盛表示板取付け用ネジ孔１８、摺動固定用ネジ孔１６、及びハンドル連結手段２３の配置を機能的に設定し、複数の目盛表示板部品群３、複数の摺動固定ネジ部品群４、及び複数のハンドル部品群５などをそれぞれ交換自在にすることができ、手動ステージの使い勝手を改善し、要求される機能に合わせて部品を選択するユニット化が可能となる。

（手動ステージユニットの手動ステージ本体）
図６に、手動ステージ本体２の斜視図、及び手動ステージ本体２の側面図を示す。図６（ａ）は、手動ステージ本体２の斜視図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）のＦ側面（与圧調整ネジ１２側）であり、図６（ｃ）は、図６（ａ）のＧ側面（ハンドル部品５側）であり、図６（ｃ）は、図６（ａ）のＨ底面である。この手動ステージ本体２は、上述した部品群２０の中から選択された部品が取り付いていない状態であり、摺動部品１０４及び固定部品１０５には、各部品の取付け用の孔、例えば、摺動調整用ネジ孔１５、摺動固定用ネジ孔１６、目盛表示板取付け用孔１８、後述するベース板取付け用孔、与圧調整用ネジ孔３４などが設けられている。また、ハンドル部品群５については、ハンドル連結手段２３が設けられている。部品群２０のそれぞれの部品には複数の部品のタイプが含まれ、操作者は、選択された部品ごとに複数の部品のタイプの中から所望のタイプの部品を選択できる。

（手動ステージユニットの部品群）
図７に、目盛表示板部品群３を構成する部品の例を示す。図７（ａ）には、一般的なバーニア式の目盛表示板部品３ａを示す。バーニア式の目盛表示板部品３ａは、固定部品１０５側の目盛２１ａ及び摺動部品１０４側の目盛２１ｂから構成される。バーニア式の目盛２１による移動量の読み取りは、まず、目盛２１ｂの「０」の位置を目盛２１ａの値を１ｍｍ単位で読み、それを１ｍｍ位の数値Ａとする。次に、目盛２１ｂをみて、バーニア目盛２１ａと同一位置にある目盛２１ｂの値を読み、それを０．１ｍｍ位の数値Ｂとする。ＡにＢを加えた数値が読み取り数値となる。

図７（ｂ）には、目盛２１を中心から振り分ける表示にした目盛表示板部品３ｂを示す。この場合には、固定部品１０５側の目盛２１ａは、バーニア目盛表示板部品３ａの目盛２１ａよりも長くなる。また、図７（ｃ）には、摺動部品１０４側の目盛２１ｂ及び固定部品１０５側の目盛２１ａを左右の端部を基点とした目盛表示板部品３ｃを示す。図７（ｄ）には、摺動部品１０４側の目盛２１ｂ及び固定部品１０５側の目盛２１ａを上下逆転した目盛表示板部品３ｄを示す。図７（ｅ）には、目盛２１を特殊蛍光色で印字して暗部でも光る目盛２１とした目盛表示板部品３ｅを示す。図７（ｅ）では、目盛表示板３ｅは目盛表示板３ｃの形式について表示するが、他の目盛表示板部品３ａ，目盛表示板部品３ｂ，及び目盛表示板部品３ｄの形式について目盛２１を特殊蛍光色で印字したものも含まれる。さらに、図７に示した目盛２１の形式に限らず、その他の形式の目盛表示板部品３も含まれる。

図７に表示された全ての目盛表示板部品３を交換自在とするためには、図６に示すように、上下２段にそれぞれ６個ずつの目盛表示板取付け用孔１８を設ければ良い。この目盛表示板取付け用孔１８は、図６（ａ）の与圧調整ネジ１２側、及び図６（ｂ）のハンドル部品５側の何れにも設けられる。これにより、手動ステージ本体２に対して目盛表示板部品３を左右の側面の何れにでも取り付けることができ、手動ステージ本体２の両側面に取付けることができる。また、手動ステージ本体２の左右の側面に異なる目盛２１の形式の目盛表示板部品３を取り付けても良い。さらには、目盛表示板部品３によっては使用しない目盛表示板取付け用孔１８が生じるが、これを利用して他の表示板などに活用しても良い。

図８に、摺動固定ネジ部品群４を構成する部品の例を示す。図８（ａ）には、一般的なつまみネジ型の摺動固定ネジ部品４ａを示す。このつまみネジ型の摺動固定ネジ部品４ａは、指先でつまんで締め付けるが、ドライバ（図示せず）などの工具を使用することで強固に締め付けられる。図８（ｂ）には、レバー式の摺動固定ネジ部品４ｂを示す。このレバー式の摺動固定ネジ部品４ｂは、ドライバなどの工具を使用することなく強固に締め付けることができる。図８（ｃ）には、六角孔付き摺動固定ネジ部品４ｃを示す。この六角孔付き摺動固定ネジ部品４ｃは、手動ステージ本体２に設けられた摺動固定用ネジ孔１６内部にねじ込まれるため、他の部品との干渉がない。図８（ｄ）には、ハンドル部品５側において、ハンドル部品５を割り板４３により挟み込んでハンドル部品５を割り締めする摺動固定ネジ部品４ｄを示す。この方式によると、ハンドル部品５自体の回転を固定できる。

図８は、与圧調整ネジ１２側に設けられた摺動固定用ネジ孔１６を示すが、この摺動固定用ネジ孔１６は、ハンドル部品５側にも同様に設けられる。そして、摺動固定用ネジ孔１６は、本実施形態では、片側に２箇所設けられる。このように、摺動固定用ネジ孔１６は、手動ステージ本体２の両側に複数箇所設けられる。従って、それらの摺動固定用ネジ孔１６から選択して摺動固定ネジ部品４を取付けられる。また、異なる摺動固定ネジ部品４を選択してそれぞれ異なる位置の摺動固定用ネジ孔１６に取り付けても良い。

図９に、ハンドル部品群５を構成する部品の例を示す。図９（ａ）には、一般的なハンドル部品５ａを示す。図９（ｂ）には、ハンドル径が大きなハンドル部品５ｂを示す。図９（ｃ）には、ハンドル自体が細長いハンドル部品５ｃを示す。図９（ｄ）には、一端がハンドル連結手段に連結し、他端が延長用の棒の先端部の雄ネジに係合する雌ネジ部３５を有し、ストッパ４０により雄ネジの回転を止める継手ハンドル部品５ｄを示す。図９（ｅ）には、ハンドル連結手段に連結するハンドル部品５を更に包み込むカプラ３６により電動機３８、及び制御装置３９に接続し、電動機３８によりハンドルの回転制御を行うための電動ハンドル部品５ｅを示す。本発明は手動ステージを対象としているが、ハンドル部品群５のうち電動ハンドル部品５ｅを選択することで、電動ステージに拡張することができる。これらのハンドル部品５は、全て手動ステージ本体２のハンドル連結手段２３の先端ネジ部に係合するように構成される。

図１０に、与圧調整ネジ部品群６を構成する部品の例を示す。図１０（ａ）には、一般的なドライバ締め付け型の与圧調整ネジ部品６ａを示す。この与圧調整ネジ部品６ａは、ドライバなどの工具により押しメタルをねじ込む形式である。図１０（ｂ）には、つまみネジ型の与圧調整ネジ部品６ｂを示す。与圧調整ネジ部品６ｂは、ドライバなどの工具を使用せずに指先でつまみを回転させることで簡易に押しメタルをねじ込む形式である。

図１０に、摺動調整ネジ部品群７を示す。一般的には摺動調整ネジ部品７として、六角孔付き止めネジが用いられる。摺動調整ネジ部品７は、図４（ｂ）に示すように、固定部品１０５に設けられ、突出部３１に突き当てて突出部３１を内側に傾斜させて摺動部品１０４を押し、固定部品１０５と摺動部品１０４との摺動の程度を微調整する。固定部品１０５には、この摺動調整ネジ部品７が取り付く摺動調整用ネジ孔１５を有する。本実施形態では、摺動調整用ネジ孔１５は、固定部品１０５の両側面にそれぞれ３箇所ずつ箇所設けられる。操作者は、摺動調整ネジ部品７により摺動部品１０４の摺動を調整する作業を手動ステージの左右のいずれでもでき、或いは左右の摺動調整ネジ部品７を同時に用いて摺動部品１０４の調整できる。

図１１に、ベース板部品群８を構成する部品の例を示す。図１１（ａ）には、一般的なベース板部品８ａを示す。このベース板部品８ａは、従来のアルミニウム製ではなく、例えば、アクリル樹脂、テフロン（登録商標）樹脂などの樹脂製であっても良い。図１１（ｂ）には、ベース板部品８の裏面に凹部３７が設けられたベース板部品８ｂを示す。この凹部３７に磁石（図示せず）を嵌め込むことで、磁石の磁気により土台と強固に連結され、機械振動などの発生に起因する土台に対するベース板部品８ｂの微細なずれが回避できる。また、この凹部３７に板状の弾性体（図示せず）を保持させ、ベース板部品８ｂを土台に固定させる締結具を締付けることで弾性体を圧縮させる。これにより、ベース板部品８ｂの裏面に収納された弾性体の圧縮に対する復元力により締結具に張力が導入され、機械振動などの発生に起因する締結具の緩みが回避できる。さらに、この凹部３７に板状の粘弾性体（図示せず）を保持させ、ベース板部品８ｂを土台に固定させる締結具を締付けると、粘弾性体を介してベース板部品８ｂと土台とが接続するように構成できる。ベース板部品８ｂの裏面に収納された粘弾性体がそのせん断に対する復元力によりエネルギ吸収を行い、機械振動などの発生に起因する微小振動が回避できる。さらに、図１１（ｃ）には、ベース板がハンドル部品５側及び与圧調整ネジ部品６側の双方に窪みを有するＨ型ベース板部品８ｃを示す。また、図１１（ｄ）には、ハンドル部品５側のみに窪みを有するＣ型ベース板部品８ｃを示す。

これらのベース板部品８ａ〜８ｄは、土台固定用締結孔１０６を有して土台（図示せず）に締結される。また、ベース板用取付け孔２６にネジをねじ込むことで固定部品１０５に取付けられる。

図１２に、移動制限プレート部品群９を構成する部品の例を示す。移動制限プレート部品９は、固定部材１０５に止められた押さえ板１１１と、摺動部品１０４に明けられたネジ孔（図示せず）にねじ込まれる摺動固定ネジ部品４から構成される。この摺動固定ネジ部品４は、押さえ板１１１に明けられた開口１１６に挿入される。そして、摺動固定ネジ部品４を締め込むと押さえ板１１１が摺動部品１０４に押し付けられ、摩擦力により固定部品１０５に対して摺動部品１０４をその位置に固定する。図１２（ａ）には、一般的な移動制限プレート部品９ａを示す。これは、摺動固定ネジ部品４がフルストロークする場合である。図１２（ｂ）には、摺動固定ネジ部品４のストロークを一定の範囲に制限する移動制限プレート部品９ｂを示す。図１２（ｃ）には、摺動固定ネジ部品４の一方のストロークを一定の範囲に制限する移動制限プレート部品９ｃを示す。図１２（ｂ）及び図１２（ｃ）は、所定のストロークを繰り返し摺動させる用途、或いは所定の位置でプレートに当てることで停止させる用途の場合に選択される。

（手動ステージ構成システム）
図１３に、本発明に係る手動ステージ構成システムを示す。手動ステージ構成システム５０は、複数のユーザ５５ａ，５５ｂ，５５ｃなどの各ユーザ端末機５６ａ，５６ｂ，５６ｃ、及び手動ステージステーションのサーバ５７が、例えば、インターネットなどの通信ネットワーク５８を介して接続される。そして、手動ステージステーションのサーバ５７は、部品情報受信部５１、部品適合性検証部５２、画像生成部５３、部品情報発信部５４、部品情報記憶部５９、及び手動ステージ本体情報記憶部６０から構成される。

ユーザ５５は、端末機５６により通信ネットワーク５８を介して手動ステージステーションのサーバ５７のウェブサイトにアクセスする。そして、ウェブサイトに表示された手動ステージ本体２に組み込む所望の部品群２０を選択する。また、その部品群２０の中から所望の部品を選択する。そして、部品群に関する情報６１及び部品に関する情報６２を手動ステージステーションのサーバ５７に送信する。

部品群に関する情報６１及び部品に関する情報６２を受信した手動ステージステーションのサーバ５７では、部品情報受信部５１が、部品群に関する情報６１及び部品に関する情報６２を受信する。そして、部品適合性検証部５２が、選択された部品群に関する情報６１、及び選択された部品に関する情報６２から、部品を手動ステージ本体２に組み込んで完成された手動ステージとした際の適合性を検証する。この際に、部品適合性検証部５２は、手動ステージ本体２に関する情報を記憶する手動ステージ本体情報記憶部６０、及び各部品群２０に関する情報を記憶する部品群情報記憶部５９の情報から、選択された各部品が完成された手動ステージにおいて干渉するか否か、及び各部品が機能するか否かを検証する。

部品適合性検証部５２は、適合性に問題がないと判断すると画像生成部５３に選択された部品を手動ステージ本体２に組み込んだ画像を生成させ、ユーザ５５の端末機５６に発信させる。この画像はＣＡＤにより自動的に作成される。一方、部品適合性検証部５２は、適合性に問題があると判断すると、部品情報発信部５４に警告のメッセージを作成させてユーザ５５の端末機５６に発信する。本手動ステージ構成システムによれば、部品同士、或いは手動ステージと部品とに干渉が生じるか、或いは手動ステージに組み込まれた部品が機能するかについて的確に判断することができる。

更に、手動ステージステーションは、選択された各部品が合体されて完成された手動ステージについて見積を行い、その金額をユーザ５５に報告する機能を備える。

図１４〜図２８には、本発明の対象となるアリ溝式の手動ステージの一部を例示する。これらの図は、平面図、底面図、側面図などにより記載されるが、各図面の表示は省略する。これらの従来のアリ溝式の手動ステージは、本発明の請求項１〜１９の特徴事項を備えることで、本発明に係るアリ溝式の手動ステージユニット１とすることができるが、これらの例に限らず、従来の全てのアリ溝式の手動ステージである、例えば、Ｘ軸アリ溝式ステージ、ＸＹ軸アリ溝式ステージ、Ｚ軸アリ溝式ステージ、回転ステージなどに適用される。また、これらのアリ溝式の手動ステージは、図１４〜図２８に示す形式やサイズに限定されず、形式やサイズの異なるものも本発明の対象となる。

また、本発明に係る手動ステージユニット１は、上述したアリ溝式の手動ステージに限らず、図３１に示す送りネジ式ステージ３００についても同様に適用可能である。例えば、送りネジ式ステージ３００の摺動機構は、雌ネジ筒３０７及び雄ネジ棒３０６により構成されるが、その他の摺動部品３０４、固定部品３０５、ハンドル３０９、目盛３１０ａ，３１０ｂなどについては、上述したアリ溝式の手動ステージユニット１と同様である。

図３２に示すアリ溝スライドレール式ステージ４００についても同様に適用可能である。例えば、アリ溝スライドレール式ステージ４００の摺動機構は、脚部４０８から構成されるが、その他の摺動部品４０４、固定部品４０５、ハンドル４０９、目盛４１０ａ，４１０ｂなどについては、上述したアリ溝式の手動ステージユニット１と同様である。

さらに、上述した手動ステージに限らず、他の摺動機構を備えた、例えば、リニアボール式ステージ、クロスローラ式ステージ、簡易ボール式ステージなどでも、本発明の請求項１〜６の特徴事項を備えることで、本発明に係る手動ステージユニット１とすることができる。

１ 手動ステージユニット、２ 手動ステージ本体、３ａ〜３ｅ 目盛表示板部品（群）、４ａ〜４ｄ 摺動固定ネジ部品（群）、５ａ〜５ｅ ハンドル部品（群）、６ａ，６ｂ 与圧調整ネジ部品（群）、７ 摺動調整ネジ部品（群）、８ａ〜８ｄ ベース板部品（群）、９ 移動制限プレート部品（群）、１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１１０、２１０ 摺動固定ネジ、１１ 摺動調整ネジ、１２,１１２，２１２ 与圧調整ネジ、１３，２１３ ラック、１４，２１４ ピニオンギア、１５ 摺動調整用ネジ孔、１６ 摺動固定用ネジ孔、１８ 目盛表示板取付け用孔、２０ 部品群、２１ａ，２１ｂ （バーニア）目盛、２２ 締付具用溝部、２３ ハンドル連結手段、２６ ベース板用取付け孔、３１ 突出部、３２ 溝部、３３ 摺動固定ネジ先端部、３４ 与圧調整用ネジ孔、３５ 雌ネジ部、３６ カプラ、３７ 凹部、３８ 電動機、３９ 制御装置、４０ ストッパ、４３ 割り板、５０ 手動ステージ構成システム、５１ 部品情報受信部、５２ 部品適合性検証部、５３ 画像生成部、５４ 部品情報発信部、５５ａ，５５ｂ，５５ｃ ユーザ、５６ａ，５６ｂ，５６ｃ ユーザ端末、５７ 手動ステージステーションのサーバ、５８ 通信ネットワーク、５９ 部品情報記憶部、６０ 手動ステージ本体情報記憶部、６１ 部品群情報、６２ 部品情報６３ 画像情報、６４ 警告情報、１００ アリ溝式ステージ、１０２，２０２，３０２，４０２ アリ、１０３，２０３，３０３，４０３ アリ溝、１０４，２０４，３０４，４０４ 摺動部品、１０５，２０５，３０５，４０５ 固定部品、１０６，２０６，４０６ 土台固定用締結孔、１０７，２０７，４０７ 精密機器用取付け孔、１０８，２０８ ベース板、１０９，２０９，３０９，４０９ ハンドル、１１１，２１１ 押さえ板、１１６，２１６ 開口、２００ Ｘ軸アリ溝式ステージ、２１５ ラック取付けピン、２１７ 止めネジ、２１８ ワッシャ、３００ 送りネジ式ステージ、３０６ 雄ネジ棒、３０７ 雌ネジ筒、３１０ａ，３１０ｂ，４１０ａ，４１０ｂ 目盛表示板、３１６ ストッパ、４００ アリ溝スライドレール式ステージ、４０８ 脚部。

Claims (12)

1. アリを有して精密機器が取付けられる摺動部品、及びアリ溝を有して土台に固定されるベース板に接続される固定部品からなり、
   複数の目盛表示板部品の全てのネジの取付け位置に合わせて摺動部品及び固定部品の両側面にそれぞれ設けられ、全ての目盛表示板部品が交換自在な目盛取付け用ネジ孔と、
   固定部品の両側にそれぞれ複数箇所設けられ、突出部に突き当てて突出部を内側に傾斜させて摺動部品を押さえ込ませて固定部品に対する摺動部品の位置を固定する複数の摺動固定ネジ部品が交換自在な摺動固定用ネジ孔と、
   固定部品の両側にそれぞれ複数箇所設けられ、突出部に突き当てて突出部を内側に傾斜させて摺動部品を押し、固定部品と摺動部品との摺動の程度を微調整する摺動調整ネジ部品が交換自在な摺動調整用ネジ孔と、
   複数のハンドル部品が交換自在なハンドル連結手段と、
   ハンドルと反対側の固定部品の側面に設けられ、複数の与圧調整ネジ部品が交換自在な与圧調整用ネジ孔と、
   複数のベース板部品が交換自在なベース板取付け孔と、を有し、
   手動ステージ本体の両側には、固定部品の両側の壁部に逆三角形の突出部を形成するようにそれぞれ縦方向に溝が設けられる手動ステージ本体、及び
   摺動部品又は固定部品に取り付けられる、複数の目盛表示板部品群と、手動ステージ本体の何れかの側から、又は両側から摺動部品を固定するために使用可能な複数の摺動固定ネジ部品群と、手動ステージ本体の何れかの側から又は両側から摺動部品の摺動の程度を調整するために使用可能な複数の摺動調整ネジ部品群と、複数のハンドル部品群と、複数の与圧調整ネジ部品群と、複数のベース板部品群と、からなる部品群により構成され、
   ユーザにより手動ステージ本体に組み込む部品群が選択され、さらに選択された部品群から部品が選択され、それらの部品が手動ステージ本体に組み込まれて完成された１組の手動ステージとなる手動ステージ構成システムであって、
   複数のユーザの各端末機と、手動ステージステーションのサーバと、が通信ネットワークを介して接続され、
   手動ステージステーションのサーバは、
   手動ステージ本体に関する情報を記憶する手動ステージ本体情報記憶部と、
   各部品に関する情報を記憶する部品情報記憶部と、
   ユーザにより選択された部品群、及びその部品群の中から選択された部品に関する情報を部品情報記憶部から受信する部品情報受信部と、
   部品を手動ステージ本体に組み込んで完成された手動ステージとした際の適合性を検証する部品適合性検証部と、
   適合性検証部が適合性に問題がないと判断すると、選択された部品を手動ステージ本体に組み込んだ画像を生成する画像生成部と、
   適合性検証部が適合性に問題があると判断すると警告のメッセージをユーザの端末機に発信し、適合性検証部が適合性に問題がないと判断すると、画像生成部が生成した画像をユーザの端末機に発信する部品情報発信部と、
   を備え、
   適合性検証部は、手動ステージ本体情報記憶部に記憶された情報と、ユーザにより選択された部品について部品情報記憶部に記憶された情報とから、選択された各部品が手動ステージ本体に合体させた際のシステム上の問題を検証することを特徴とする手動ステージ構成システム。
2. 請求項１に記載の手動ステージ構成システムであって、目盛表示板部品には、目盛を中心振り分けとする形式、目盛の両端部を基点とする形式、目盛の主尺と副尺とを逆にする形式が含まれることを特徴とする手動ステージ構成システム。
3. 請求項１又は２に記載の手動ステージ構成システムであって、摺動固定用ネジ部品には、ネジにレバーが取り付き、レバーを回転させることでネジを締め込むレバー式の摺動固定用ネジ部品が含まれることを特徴とする手動ステージ構成システム。
4. 請求項１又は２に記載の手動ステージ構成システムであって、摺動固定用ネジ部品には、ハンドル部品側において、ハンドル部品を割り板により挟み込んでハンドル部品を割り締めする割り締め式の摺動固定ネジ部品が含まれることを特徴とする手動ステージ構成システム。
5. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載の手動ステージ構成システムであって、与圧調整ネジ部品には、つまみを回転させることでネジを締め込むつまみネジ式の与圧調整ネジ部品が含まれることを特徴とする手動ステージ構成システム。
6. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の手動ステージ構成システムであって、部品群は、更に、固定部品に取り付けられる複数の移動制限プレート部品を備え、移動制限プレート部品は、摺動部品に取付けられた摺動固定ネジ部品の移動範囲を、移動制限プレート部品内に設けられた開口部の幅により制限し、手動ステージ本体は、移動制限プレート部品が取り付くネジ孔を固定部品に設けられた目盛取付け用ネジ孔に兼用させることを特徴とする手動ステージ構成システム。
7. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の手動ステージ構成システムであって、ハンドル部品には、一端がハンドル連結手段に連結し、他端が延長用の棒の先端部の雄ネジに係合する雌ネジ部を有し、ストッパにより雄ネジの回転を止める継手ハンドル部品が含まれることを特徴とする手動ステージ構成システム。
8. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の手動ステージ構成システムであって、ハンドル部品には、ハンドル連結手段に連結するハンドル部品を更に包み込むカプラにより電動機に接続するハンドル部品が含まれることを特徴とする手動ステージ構成システム。
9. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の手動ステージ構成システムであって、ベース板部品には、ベース板の裏面に磁石が嵌め込まれる凹部が設けられたベース板部品が含まれることを特徴とする手動ステージ構成システム。
10. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の手動ステージ構成システムであって、ベース板部品には、板状の弾性体を保持し、ベース板部品を土台に固定させる締結具を締付けることで弾性体を圧縮させて収納する凹状の収納部を裏面に備えるベース板部品が含まれることを特徴とする手動ステージ構成システム。
11. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の手動ステージ構成システムであって、ベース板部品には、板状の粘弾性体を保持し、ベース板部品を土台に固定させる締結具を締付けると粘弾性体を介してベース板部品と土台とが接続するように構成された凹状の収納部を裏面に備えるベース板部品が含まれることを特徴とする手動ステージ構成システム。
12. 請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の手動ステージ構成システムであって、摺動部品が上下方向に摺動し、ベース部がＬ字型となって土台に固定されることを特徴とする手動ステージ構成システム。

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