JP4621204B2 - 電気化学的処理のための装置内の給電ユニットおよびそれを備えた装置 - Google Patents
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Description
少なくとも処理材料に隣接する端部上においては、通常、給電装置は、端子クリップ、トング、またはクランプの形をしている接触手段として設計され、よって、給電装置は処理材料を保持することができる。そのため、この接触手段を含む少なくとも全給電装置の内部は、導電性材料からなり、実際に使用する大きな電流を、僅かな電力損失および発熱だけで、処理材料に供給することができるような大きさのものでなければならない。給電装置の正確な大きさは、使用する導電性材料に依存し、例えば、より導電性の低い材料の場合には、より大きな導電性断面を必要とされる。
特許文献2は、浸漬亜鉛メッキにより亜鉛メッキされるプリント基板のような対象物を解放できるように保持するためのクランプ状の保持装置を開示している。この保持装置は、第1のバー、第2のバー、第1および第2のバーの下端領域で、プリント基板と接触し、これを固定するために相互に対向する接触ピンを備える。例えば、蛇腹の形をしている接触ピンの軸方向に弾性により変形することができるスリーブが、各接触ピンに固定されていて、弛緩した状態で接触ピンの接触エリアを超えて延びる。クランプがプリント基板を保持している場合には、スリーブの自由端部はプリント基板の表面上に確実に存在していて、そのため、接触エリア上に金属が堆積するのを防止するために接触エリアが亜鉛メッキ槽と接触することが防止される。
特許文献6は、接触片を望ましくない金属化から保護する絶縁シャフトを含む電気的接触片が、電気絶縁シャフト内に組み込まれている他の亜鉛メッキ装置を開示している。
本発明によれば、給電ユニットは、少なくとも一部がブランク導電性材料からなる少なくとも1つの給電装置と、少なくとも1つの給電装置の一方の端部に設けられるとともに処理材料と電気的に接触するための接触手段とを含む。給電ユニットは、電気化学的処理中に給電装置を液体に浸漬した場合、0.04mm以上の金属堆積がブランク導電性材料上に形成されないように、接触手段からスタートして、特定の長さにわたって少なくとも1つの給電装置を囲んでいる少なくとも1つの着脱可能な電気絶縁シェルを有する。
図1は、冒頭で説明した図8と同じ方向から見た本発明による給電ユニットの例示としての実施形態である。相互に対応する素子には同じ参照番号を使用している。処理材料1が保持され、上部給電装置すなわちクランプ上部2、および下部給電装置すなわちクランプ下部3により形成されているクランプにより、それぞれ高い導電性を有するブランク材からなるクランプ上部2およびクランプ下部3と電気的接触が行われる。孔部内を垂直方向に移動することができるように、バネガイド11が装着されているガイドブロック4が、クランプ上部2に強固に固定される。クランプ下部3は、バネガイド11が確実に係合する強固に固定されたバネブロック5を有する。2つのブロック4および5の間のバネガイド11上にバネが配置されていて、クランプ上部2をクランプ下部3に対して押圧している。クランプ上部2およびクランプ下部3の前端部で、接触手段すなわち接触素子12は、それぞれ電気を通すことができるようにクランプ上部および下部に導電的に接続されている。処理材料1は、これらの接触素子12間で係合し、電流をクランプ上部2およびクランプ下部3から処理材料1に流すことができる。処理材料1の係合も、電流を流すために使用することができる。
クランプ上部2およびクランプ下部3からなるクランプが開閉すると、シェル部分7および8の接触点に形成されている滑り面22が、相互に強く滑りあい、その結果、この場合も、良い電気絶縁、金属イオンの逆流を防止する液体シール、および電界線の優れた遮蔽が確保される。下部7および8が合流する水平部分が、閉鎖面23として形成される。必要な限りは、これらの閉鎖面23は、処理材料1を確実に固定し、それと接触することができるように処理材料1が保持され、それと接触する領域の前部内に凹状に形成される。クランプが閉鎖している場合には、シェル部分7、8の凹状面は処理材料1の近くに位置するが、処理材料とは接触しない。そのため、この場合も比較的優れた密封状態が得られる。必要な場合には、残りの狭い隙間も、以下に説明するように軟らかいプラスチックシールで塞ぐことができる。そこにある中間の空間を塞ぐために、処理材料に対向するシェル部分7および8の他の面に対しても同じことを行う。
多くの場合、クランプを閉鎖する工程は、クランプが電解質内に浸漬されるまで行われない。それ故、シェルの内部は電解質で満たされる。電界線の比較的優れた遮蔽、および密封により、またそれによる金属イオンの移動の低減により、金属の堆積は少なくなり、電気化学的に容易に除去することができる。
図6は、いわゆる垂直浸漬浴亜鉛メッキシステムで処理される平らな材料1を亜鉛メッキするために使用する製品支持レール17および細長いフレームロッド15を含む製品サポートを詳細に示す。フレームロッド15は、導電性材料からなり、すべての側面上に、少なくとも電解槽の液面21の上に延びる絶縁層を備えている。
Claims (22)
- 電気化学的処理のための装置における処理材料(1)のための給電ユニットであって、少なくとも一部がブランク導電性材料からなる少なくとも1つの給電装置(2,3;14)と、前記少なくとも1つの給電装置(2,3;14)の1つの端部から供給される処理材料(1)に電気的接触を行うための接触手段(12;14)とを有する給電ユニットにおいて、
前記給電ユニットは、前記給電装置(2,3;14)が前記処理材料(1)の電気化学的処理中に液体内に特定の長さまで浸漬された時、前記導電性材料のブランク部分上に0.04mm以上の金属が堆積しないように、前記接触手段(12;14)からスタートして前記特定の長さにわたり、前記少なくとも1つの給電装置(2,3;14)を取り囲む少なくとも1つの着脱可能な電気絶縁シェル(7,8)を備え、前記電気絶縁シェル(7,8)は完全な密閉エンクロージャを提供しないことを特徴とする給電ユニット。 - 前記給電装置を電解質液に浸漬し、電圧を前記給電装置(2,3;14)に供給した時、前記電気絶縁シェル(7,8)の外側から前記導電性材料の前記ブランク部分にイオンの実質的な移動が起こらないように、前記少なくとも1つの電気絶縁シェル(7,8)が、前記少なくとも1つの給電装置(2,3;14)を取り囲んでいることを特徴とする請求項1に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも1つの電気絶縁シェル(7,8)を、前記少なくとも1つの給電装置(2,3;14)に固定するために固定手段(9,10)を使用することを特徴とする請求項1または2に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも1つの電気絶縁シェル(7,8)は、前記少なくとも1つの給電装置(2,3;14)に実質的に適合する形状を有することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも1つの電気絶縁シェル(7,8)の壁部の厚さは、0.2mm〜5mmであることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の給電ユニット。
- 前記給電装置(2,3)から前記電気絶縁シェル(7,8)までの距離は、0.1〜4mmの範囲内であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも1つの電気絶縁シェル(7,8)は、射出成型、予め作ったモールド内での深絞り、自動モールド切断、または選択的レーザ焼結により作られることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも1つの電気絶縁シェル(7,8)は、プラスチック材料からなることを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも1つの電気絶縁シェル(7,8)は、少なくとも2つの部分(7,8)から形成されることを特徴とする請求項1乃至8の何れか一項に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも2つの部分(7,8)間の接続は、シールにより行われることを特徴とする請求項9に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも2つの部分(7,8)間での接続は、前記少なくとも2つの部分の相互固定部分により行われることを特徴とする請求項9または10に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも1つの電気絶縁シェル(7,8)は、実質的な柔軟性を有さないことを特徴とする請求項1乃至11の何れか一項に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも1つの電気絶縁シェル(7,8)は、前記少なくとも1つの給電装置(2,3;14)の機械的応力を受ける部分を取り囲み、一方、前記少なくとも1つの給電装置(2,3;15)の機械的応力を受けない部分は、絶縁コーティングを備えていることを特徴とする請求項1乃至12の何れか一項に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも1つの給電装置(2,3)は、L字形設計であることを特徴とする請求項1乃至13の何れか一項に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも1つの給電装置(2,3)は、第1の接触手段(12)を含む第1の給電装置(2)と、第2の接触手段(12)を有する第2の給電装置(3)とを備え、
前記第1の給電装置(2)および前記第2の給電装置(3)は、相互に移動可能であり、前記処理材料(1)を前記第1および第2の接触手段(12)の間に保持することが可能であることを特徴とする請求項1乃至14の何れか一項に記載の給電ユニット。 - 前記第1の給電装置(2)および前記第2の給電装置(3)を、バネ機構(4,5,6,11)により相互に移動できるようにしたことを特徴とする請求項15に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも1つの給電装置(2,3;14)が、チタン、ステンレス鋼または銅からなることを特徴とする請求項1乃至16の何れか一項に記載の給電ユニット。
- 前記少なくとも1つの給電装置(2,3)は、実質的な柔軟性を有さないことを特徴とする請求項1乃至17の何れか一項に記載の給電ユニット。
- 前記電気絶縁シェル(7,8)の内部は電解質で満たされることを特徴とする請求項1に記載の給電ユニット。
- 処理材料を電気化学的に処理するための装置であって、
前記装置は、前記処理材料(1)に対する請求項1乃至19の何れか一項に記載の給電ユニットを備えることを特徴とする装置。 - 前記装置は、前記処理材料(1)を亜鉛メッキするように設計されていることを特徴とする請求項20に記載の装置。
- 前記装置は、前記処理材料を連続的に処理するように設計されていることを特徴とする請求項20または21に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10340888A DE10340888B3 (de) | 2003-09-04 | 2003-09-04 | Stromversorgungseinrichtung in einer Vorrichtung zur elektrochemischen Behandlung |
| PCT/EP2004/009272 WO2005028718A2 (de) | 2003-09-04 | 2004-08-18 | Stromversorgungseinrichtung in einer vorrichtung zur elektrochemischen behandlung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007504359A JP2007504359A (ja) | 2007-03-01 |
| JP4621204B2 true JP4621204B2 (ja) | 2011-01-26 |
Family
ID=34352764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006525062A Expired - Lifetime JP4621204B2 (ja) | 2003-09-04 | 2004-08-18 | 電気化学的処理のための装置内の給電ユニットおよびそれを備えた装置 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7815777B2 (ja) |
| EP (1) | EP1660701B1 (ja) |
| JP (1) | JP4621204B2 (ja) |
| KR (1) | KR101120048B1 (ja) |
| CN (1) | CN1839221B (ja) |
| BR (1) | BRPI0414090B1 (ja) |
| DE (1) | DE10340888B3 (ja) |
| NO (1) | NO20060793L (ja) |
| TW (1) | TWI349046B (ja) |
| WO (1) | WO2005028718A2 (ja) |
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- 2004-08-18 KR KR1020067004262A patent/KR101120048B1/ko not_active Expired - Lifetime
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- 2004-08-18 JP JP2006525062A patent/JP4621204B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| DE10340888B3 (de) | 2005-04-21 |
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| TWI349046B (en) | 2011-09-21 |
| BRPI0414090A (pt) | 2006-10-31 |
| CN1839221A (zh) | 2006-09-27 |
| KR101120048B1 (ko) | 2012-03-23 |
| CN1839221B (zh) | 2011-12-21 |
| KR20060118424A (ko) | 2006-11-23 |
| BRPI0414090B1 (pt) | 2015-08-11 |
| EP1660701A2 (de) | 2006-05-31 |
| JP2007504359A (ja) | 2007-03-01 |
| WO2005028718A3 (de) | 2005-06-09 |
| EP1660701B1 (de) | 2015-02-25 |
| WO2005028718A2 (de) | 2005-03-31 |
| NO20060793L (no) | 2006-04-04 |
| HK1090959A1 (en) | 2007-01-05 |
| US7815777B2 (en) | 2010-10-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A621 | Written request for application examination |
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|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090826 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A601 | Written request for extension of time |
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|
| A602 | Written permission of extension of time |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101029 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
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