JP4782404B2 - 蒸着マスク、有機ｌｅｄ、及び有機ｌｅｄの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板上に有機発光素子を形成する技術、特に、蒸着を精度よく行うための技術に関する。

有機ＬＥＤ（発光ダイオード）は、ＬＥＤと同じ発光原理をもつ有機発光素子、あるいは、この有機発光素子を備えたデバイスである。基板上に複数の有機発光素子を設けて制御することで、有機ＬＥＤによるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）を製造することができる。

有機発光素子の形成においては、一般に、基板に対する蒸着処理が行われる。処理においては、まず、有機発光素子に対応した貫通孔を有する蒸着マスクが、ガラス基板に対し所定のアライメント精度（位置精度）でセットされた後、ガラス基板に密着して保持される。そして、蒸着装置内においてマスクされたガラス基板上に有機層などの蒸着形成を行うことで、基板の所定の位置に有機発光素子が形成されるのである。

下記特許文献１には、蒸着マスクの外周を適当な温度膨張係数を持つ素材で強化する技術が開示されている。

特開２００２−２２０６５６号公報

蒸着装置内は蒸着時に温度が上昇するため、蒸着マスクとガラス基板には、温度上昇にともなう微量の熱膨張が発生する。一般に、膨張の大きさは両者において異なり、また、膨張による面内方向のずれの力は、密着保持力を上回る。したがって、両者は面内方向に位置ずれを起こすことになり、そのずれの大きさはガラス基板（蒸着マスク）の大きさに比例する。

本発明の目的は、有機ＬＥＤの蒸着の精度を向上させることにある。

本発明の別の目的は、蒸着前になされた基板と蒸着マスクとのアラインメント精度が蒸着時に低下する事態を回避することにある。

本発明の蒸着マスクは、基板上に形成される複数の有機発光素子に対応した貫通孔を備え、この基板に重ねられてこれらの有機発光素子の蒸着形成に用いられる板状の蒸着マスクにおいて、基板と対向する面内に貫通孔の分布範囲に応じて広範囲に設けられ、基板上の対応する構造と嵌合し、基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する嵌合部を備える。

基板とは、ガラスや樹脂などで形成された板状部材であり、その上に電極や有機素材などが積層形成されていてもよい。基板上には、複数の有機発光素子が形成される。蒸着マスクは、これら複数の有機発光素子、あるいは、そのうちの一部である複数の有機発光素子を蒸着形成するために用いられる。すなわち、蒸着マスクには、有機発光素子に対応した貫通孔が設けられており、この部分においてのみ気化した蒸着物質を貫通させて基板上に蒸着させる。

蒸着マスクには、基板と対向する面内に嵌合部が設けられている。また、基板には、嵌合部と対応する箇所に嵌合部と嵌合するための構造が設けられている。嵌合部はポイント状のものが複数配置されて構成されていても、連続する長形状（ビーム状、曲線状など）のものにより構成されていても、これらが組み合わされて構成されていてもよい。こうした嵌合部は、蒸着マスク上に２次元的な広がりをもった範囲に配置される。熱膨張による位置ずれは、面内の各方向に起こりうるため、それを抑制する嵌合部も２次元的に広がって配置される必要があるからである。配置の具体的な距離は位置ずれの大きさに基づいて定めればよいが、一般には、嵌合部を内包する最小の図形が、蒸着マスクの広い範囲を覆う程度であることが望ましい。位置ずれの防止効果は、この図形の内部及び外部の近傍において高いからである。

蒸着マスクは、嵌合部を基板の対応構造に嵌合させることで、基板の所定位置に取り付けられる。この位置関係は、嵌合位置が相対的に固定されているため、蒸着装置内で高温化され熱膨張が発生した場合にも保たれる。特に嵌合部付近や、複数の嵌合部の間においては、蒸着マスクと基板は面内方向にほとんど位置ずれを起こすことはなく、高い蒸着精度が確保される。

望ましくは、本発明の蒸着マスクにおいて、嵌合部の少なくとも一部は、全ての貫通孔を含む領域を取り囲んで配置され、その内側における基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する。領域の周囲の取り囲みは、連続的に行われてもよいし、例えば領域の頂点のみに嵌合部が配置されるなど、距離をあけて飛び飛びに行われてもよい。いずれにせよ、周囲を囲うことで、その内側において基板と蒸着マスクとの位置ずれ防止効果が高まる。また、貫通孔の周囲は、貫通孔や対応する有機発光素子が設けられておらず、嵌合部や対応する基板上の構造を配置しやすい利点もある。

望ましくは、本発明の蒸着マスクにおいて、基板には、複数の有機発光素子を備えたパネルが距離をおいて複数個形成され、嵌合部の少なくとも一部は、パネル間に対応する位置に設けられて少なくとも一つのパネルに対応する領域を取り囲み、その内側における基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する。

つまり、この基板には、最終的に切り離され、別々のデバイスとして使用される複数のパネルが形成されている。そして、各パネルには複数の有機発光素子が設けられている。この場合、パネル間には、貫通孔や有機発光素子が存在しない。そこで、パネル間に嵌合部を設けた場合、取り付け位置の制限を受けにくく、また、嵌合部及び対応する基板状の構造を頑強にすることも可能となる。そして、嵌合部で取り囲んだ領域について、基板と蒸着マスクの位置ずれを有効に防止できる。

望ましくは、本発明の蒸着マスクにおいて、嵌合部の少なくとも一部は、各パネル間に対応する位置に設けられて各パネルに対応する領域を取り囲み、各パネルにおける基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する。

望ましくは、本発明の蒸着マスクにおいて、基板には、複数の有機発光素子を備えたパネルが距離をおいて複数個形成され、当該蒸着マスクは、周囲に比べて柔軟に形成された可撓部であって当該蒸着マスクを複数に分割するようにパネル間に対応する位置に沿って配置された可撓部を備え、嵌合部は、分割される各領域内にその貫通孔の分布に応じて広範囲に設けられ、各領域における基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する。

可撓部は、周囲に比べて曲げ、圧縮、伸張等による変形が容易となるように構成された部位であり、例えば、材質を変化させたり蒸着マスクの板厚を変化させたりして作ることができる。可撓部は、柔軟に変形することで、嵌合部の嵌合を容易にする効果がある。また、熱膨張による面内方向のずれを吸収する効果もある。可撓部は、各パネルに対応する領域を分割するように設けられてもよいし、複数のパネルををひとまとまりとして他の領域から分割するように設けられてもよい。

望ましくは、本発明の蒸着マスクにおいて、基板には、発光色の異なる複数の有機発光素子を組み合わせてなるピクセルが複数個形成され、当該蒸着マスクは、ある発光色をもつ複数の有機発光素子に対応した貫通孔を備え、嵌合部の少なくとも一部は、ピクセル間に対応する位置に設けられて少なくとも一つのピクセルに対応する領域を取り囲み、その内側における基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する。嵌合部はピクセル単位でアライメント精度の向上を図るために設けられている。

望ましくは、本発明の蒸着マスクにおいて、嵌合部の少なくとも一部は、各ピクセル間に対応した位置に設けられて各ピクセルに対応する領域を取り囲み、各ピクセルにおける基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する。

望ましくは、本発明の蒸着マスクにおいて、嵌合部は、基板上の対応する構造に対し、近傍の基板と当該蒸着マスクとが非接触に保たれる距離で嵌合される。望ましくは、本発明の蒸着マスクにおいて、嵌合部と基板上の対応する構造は、一方が先細の凸形状であり、他方が対応する先太の凹形状であり、斜めに形成された側面同士のみを当接させて嵌合される。側面は直線的であってもよいし、丸みを帯びるなどの曲線的構造であってもよい。摩擦抵抗を高めるために、側面の表面に細かな凹凸をつけるなどして滑らかさを低減させておくことも有効である。

本発明の有機ＬＥＤは、蒸着マスクを重ねられて蒸着処理を受け、基板上に複数の有機発光素子が形成された有機ＬＥＤであって、蒸着マスクと対向する面内に有機発光素子の分布範囲に応じて広範囲に設けられ、蒸着マスクの対応する構造と嵌合し、蒸着マスクと当該基板との面内方向の位置ずれを防止する嵌合部を備える。

本発明の有機ＬＥＤ製造方法は、前記蒸着マスクを用いて有機ＬＥＤを製造する方法であって、蒸着マスクの嵌合部を有機ＬＥＤの基板上の対応する構造に嵌合させ、蒸着マスクと基板とを重ね合わせる工程と、重ね合わせた蒸着マスクと基板に対し蒸着処理を行って、基板上に有機発光素子を蒸着形成する工程と、を含む。

本発明の技術により、有機ＬＥＤの蒸着処理が、嵌合部の分布パターンに応じた高い精度で実現される。これにより、例えば、従来よりも素子間隔を狭めた高分解能デバイスの製造も可能になると期待される。

以下に、代表的な三つの実施の形態を説明する。しかし、本発明の形態はこれらの態様に限定されるものでないことは言うまでもない。
［実施形態１］

図１は、本実施の形態に係る蒸着マスク１０の平面図である。蒸着マスク１０は、金属製の薄い平板を加工して作られている。金属としては、例えば、低膨張の合金として知られるＩＮＶＡＲやＮｉ−Ｃｏなどが用いられる。

蒸着マスク１０は、基板上に１２個のカラーのパネルを作成するためのマスクとして用いられるものであり、蒸着過程において図示した面を基板に対向させて重ねられる。領域１２，１４，１６，１８，．．．は、この各パネルに対応しており、縦方向に３個、横方向に４個の合計１２個の領域が、若干の距離をあけて配置されている。

各パネルは、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）の３色の有機発光素子からなるピクセルを、複数個備える。そして、各有機発光素子は、その発光色に対応した有機層を蒸着することで形成される。蒸着マスク１０は、このうちのＲの有機発光素子を形成するためのものである。すなわち、ＲＧＢの３色のうち、Ｒの有機発光素子に対応した部分には貫通孔が設けられ、残るＧＢの二色の有機発光素子に対応した部分には孔があけられていない。

図１においては、各有機発光素子と貫通孔のパターンを示すため、Ｒの有機発光素子に対応した貫通孔だけでなく、孔が開けられていないＧ，Ｂの有機発光素子の配置も描いている。例えば、右上の領域１８においては、その最上列には、左から順にＢ，Ｇ，Ｒの各色に対応する小領域５０，５２，５４，５６，５８，６０，．．．が示されている。小領域５０，５２，５４と小領域５６，５８，６０はそれぞれ一つのピクセルを構成している。また、Ｒに対応する小領域５４，６０は、それぞれ貫通孔５４，６０を表している。

各パネルに対応した領域には、その外縁部近くに嵌合部として凸状の出張り構造が設けられている。この構造は、領域１８に符号７０で示したように、有機発光素子に対応するパターン全体を取り囲む長方形状に作られている。

図２は、図１のＸＸ’について、蒸着過程における断面を示した図である。ここでは、蒸着マスク１０は、基板１００に対して重ね合わされいる。この吸引には、基板１００の上側にある図示していない電磁石が用いられている。

基板１００は、ガラス基板１０２と、その下側に設けられた複数の層１０４，１０６，１０８，１１０を含んでいる。層１０４，１０６，１０８は、例えば、ＩＴＯ電極層、ホール注入層、ホール輸送層に相当する。ただし、周知の通り、有機ＬＥＤを何層で構成するかには任意性があり、図示した積層パターンはその一例に過ぎない。

層１１０は、形成される有機発光素子を分離するために設けられている。つまり、有機発光素子が形成されない部分には層１１０が設けられ、有機発光素子が形成される部分には層１１０が設けられていない。具体的には、図１に示した小領域５０，５２，５４，５６，５８，６０，．．．のパターンに対応して、Ｂ色素子１２０，Ｇ色素子１２２，Ｒ色素子１２４，Ｂ色素子１２６，Ｇ色素子１２８，Ｒ色素子１３０，．．．の形成が行われている。

蒸着マスク１０は、Ｒの有機発光素子を形成するためのものである。このため、図１で説明したように、Ｒに対応した小領域５４，６０，．．．のみが貫通孔５４，６０，．．．となっており、Ｂ，Ｇに対応した小領域５０，５２，５６，５８，．．．には孔が形成されていない。

蒸着マスク１０の上面には、図１に符号７０で示した凸状の出張り構造の断面である凸部１５０，１５２が設けられている。その大きさは、例えば高さ２μｍ、幅１０μｍ程度である。もちろん、この大きさに限定されるものではなく、必要な強度等を参酌して適宜定めることができる。一方、基板１００の下面を構成する層１１０には、対応する凹部１６０，１６２が設けられている。凸部１５０，１５２は先端（図の上側）の方が細くなった台形状であり、凹部１６０，１６２が先端（図の下側）の方が太くなった台形状である。そして、この台形の側面の斜め部分のみを接触させて互いに嵌合されている。つまり、この台形の側面以外では、蒸着マスク１０と基板１００は互いに非接触に保たれている。これは、蒸着マスク１０によって、基板１００に形成された有機発光素子の構造が破壊されるのを防ぐためである。ただし、蒸着マスク１０と基板１００との距離が大きい場合には、マスク効果が低減してしまう。そこでこの間隔は例えば１０μｍ程度以下に設定される。

基板１００と蒸着マスク１０は、ＣＣＤカメラを用いた制御等により嵌合位置に位置あわせされる。そして、基板１００の背後に設けた電磁石によって蒸着マスク１０が基板１００の下面に吸い寄せられ、両者は嵌合する。

この蒸着過程においては、蒸着マスク１０は、その有機材料の加熱にともなう熱により熱膨張する。また、基板１００は、蒸着マスク１０の背後に位置するため比較的低温に保たれるが、素材の特性のために蒸着マスク１０よりも大きな熱膨張を示す。しかし、Ｒ色素子１２４，１３０，．．．と対応する貫通孔５４，６０，．．．が位置ずれを起こすことはない。これらの両外側において凸部１５０と凹部１６０及び凸部１５２と凹部１６２がそれぞれ嵌合し、水平方向のずれを防いでいるためである。

この構成によれば、位置ずれの精度は、各パネルの領域内の微少誤差に抑えられている。また、各パネルにおける熱膨張の影響は、他のパネルには及ばない。そして、もしなんらかの原因で一部の嵌合が外れた場合にも、その影響は他の領域には影響することはない。このようにして、高い精度での蒸着処理が実現される。

真空蒸着装置においては、Ｂ，Ｇの各色の有機発光素子の形成も同様にして行われる。すなわち、Ｂ色素子１２０，１２６，．．．の発光層の形成を行う場合には、蒸着マスク１０の代わりに、Ｂに対応した小領域５０，５６，．．．のみに貫通孔が設けられた蒸着マスクが使用される。また、Ｇ色素子１２２，１２８，．．．の発光層の形成を行う場合には、Ｇに対応した小領域５２，５８，．．．のみに貫通孔が設けられた蒸着マスクが使用される。これらの蒸着マスクにおいては、望ましくは蒸着マスク１０と同位置に嵌合部が設けられ、これにより、基板１００上に複数の対応する嵌合構造を形成する無駄が省かれる。

なお、ここでは、蒸着マスク１０の側に嵌合部としての凸状の出っ張り構造を設け、基板１００の側に対応構造としての凹状の構造を設けた。しかし、形状は嵌合可能であれば特に限定されるものではなく、例えば、蒸着マスク１０の側を凹状とし、基板１００の側を凸状としてもよい。熱膨張率が相対的に大きな部材を凸状とし、熱膨張率が相対的に小さな部材を凹状として、熱膨張時の嵌合を強固にすることも有効である。また、断面形状も様々に設定可能であり、図示した台形状のみならず、長方形形状でも、丸みを帯びた形状であってもよい。望ましくは、初期に嵌合が容易であり、蒸着過程で水平ずれを起こす力が加わったときに外れにくいように、その迎え角や曲率が理論的にあるいは実験的に定められる。
［実施形態２］

次に、図３、図４、図５を用いて、第２の実施の形態について説明する。この実施の形態は、蒸着により有機ＬＥＤのパネルを形成することに関しては実施形態１と同様である。そこで、同様の構成については説明を省略または簡略化し、本実施の形態に特徴的な点について詳しく説明する。

図３は、蒸着マスク２００の平面図であり、図１に対応した図である。図４は、図３の拡大図であり、図３のパネル対応領域２１０についてその上部付近を詳細に示している。また、図５は、蒸着マスク２００が基板３００の蒸着に用いられる様子を図３あるいは図４のＹＹ’について示した断面図であり、図２に対応した図である。

蒸着マスク２００には、基板３００に形成される各有機発光素子に対応した小領域が示されている。例えば、図４には、Ｒの有機発光素子に対応した小領域２２０，２２６，２３４、Ｇの有機発光素子に対応した小領域２２２，２２８，２３２，２３８、Ｂの有機発光素子に対応した小領域２２４，２３０，２３６が示されている。蒸着マスク２００は、Ｒの有機発光素子の有機層を蒸着形成するために用いられる。このため、Ｒの有機発光素子に対応した小領域２２０，２２６，２３４は貫通孔２２０，２２６，２３４となっている。

この有機ＬＥＤでは、ＲＧＢの有機発光素子が組み合わさって多色の画素を表現する。つまり、小領域２２０，２２２，２２４は一組のピクセルに対応したピクセル領域２５０に含まれ、小領域２３０，２３２，２３４は別の一組のピクセルに対応したピクセル領域２５２に含まれている。

本実施の形態においては、各ピクセルにおける蒸着マスク２００と基板３００との水平ずれを防ぐため、各ピクセルの近辺に嵌合構造を設けている点に特徴がある。具体的には、図４の符号２６０で示したように、縦横に直線状にのびるこの構造が格子を形成し、各ピクセルを取り囲んでいる。

個々の嵌合構造の態様は、実施形態１と同様である。すなわち、図５に示すように、蒸着マスク２００の上面には、凸状の出張り構造である凸部２７０，２７２が形成され、基板３００の下面には対応した凹部３１５，３２０が形成されている。

図４や図５からわかるように、ここでは、異なるピクセルに対応する例えば小領域２２４と小領域２２６との間隔を同じピクセルに対応する例えば小領域２２２と小領域２２４との間隔に比べて若干大きく設定している。つまり、有機発光素子の形成間隔をピクセル内とピクセル外で変化させている。しかし、嵌合構造を小さく形成することが可能であれば、全ての有機発光素子の形成間隔を等しくすることも可能である。

なお、ピクセルを構成するＢＧＲの有機発光素子の組み合わせには任意性がある。例えば、図４において、小領域２２２，２２４，２２６に対応した三つの有機発光素子が一つの画素単位を構成しているとみることができる。つまり、ピクセルとは、回路や電気信号によって定められる特定の三つの有機発光素子の組み合わせではなく、近傍の三つの有機発光素子の組み合わせを指すとみなすこともできる。
［実施形態３］

次に、図６、図７を用いて、第３の実施の形態について説明する。この実施の形態は、蒸着により有機ＬＥＤのパネルを形成することに関しては実施形態１と同様である。そこで、同様の構成については説明を省略または簡略化し、本実施の形態に特徴的な点について詳しく説明する。

図６は、蒸着マスク４００の平面図であり、図１に対応した図である。また、図７は、蒸着マスク４００が基板５００の蒸着に用いられる様子を図６のＺＺ’について示した断面図であり、図２に対応した図である。

基板５００には１２個のパネルが形成され、蒸着マスク４００には対応する１２個の領域４１０，４１２，４１４，４１６，．．．が存在する。そして、この領域の外縁部付近に嵌合部としての凸状の出張り構造が設けられている。例えば、領域４１６内には、その外辺近くに符号４３０で示された凸状の出張り構造が設けられている。この態様は、実施形態１で説明したものと同様である。

本実施形態において特徴的な点は、パネルに対応した各領域４１０，４１２，４１４，４１６，．．．が、格子状に設けられ可撓部４４０によって囲まれている点である。あるいは、各領域４１０，４１２，４１４，４１６，．．．は、可撓部４４０によって仕切られて分断されているとみなすこともできる。

可撓部４４０は、素材や構造等を変化させることで周囲よりも弾性をもたせ、曲げ変形が容易となるように形成された構造である。図７には、可撓部４４０の断面である皺部４５０，４５２が示されている。皺部４５０，４５２は、周囲よりも薄く、かつ、短い間隔で折り曲げられた構造を有している。この構造のために、皺部４５０，４５２は、この鉛直断面内で力を作用させた場合に、伸縮や曲げにより容易に変形し、また、力を解放した場合に元の形状に容易に回復する。この可撓部４４０を導入することにより、蒸着マスク４００を基板５００に嵌合させる工程が容易化される。嵌合構造の微少な製造誤差等を吸収するからである。

この構成においては、蒸着処理の過程で蒸着マスク４００と基板５００とが異なる大きさで熱膨張した場合、各パネルにおいては、嵌合構造によって両者の水平の位置ずれは防止される。例えば図７に示すように、蒸着マスク４００には皺部４５０，４５２の内側に凸部４６０，４６２が設けられており、基板５００の対応する凹部５０２，５０４と嵌合している。このため、パネル内で両者が位置ずれは抑制される。

各パネルにおける位置ずれは、嵌合構造の間において蒸着マスク４００や基板５００がソリ変形などを行うことで吸収される。各パネルのこの変形の影響は、一般には、近傍のパネルにも及ぶことになる。しかし、本実施の形態においては、可撓部４４０が撓ることでこの影響を効率よく吸収するため、近傍のパネルの影響が排除される。つまり、可撓部４４０には、蒸着マスク４００の可撓部４４０以外の部位や基板５００に作用するずれの力を減少させ、蒸着マスク４００と基板５００との嵌合が外れにくくなる効果がある他、蒸着マスク４００や基板５００の設計強度を小さくできるなどの利点もある。

蒸着マスクの構成例を示す平面図である。 図１の蒸着マスクで蒸着を行った場合の断面図である。 別の蒸着マスクの構成例を示す平面図である。 図３の蒸着マスクの拡大図である。 図３の蒸着マスクで蒸着を行った場合の断面図である。 さらに別の蒸着マスクの構成例を示す平面図である。 図６の蒸着マスクで蒸着を行った場合の断面図である。

符号の説明

１０，２００，４００ 蒸着マスク、１２，１４，１６，１８ 領域、５０，５２，５６，５８ 小領域、５４，５６ 小領域・貫通孔、１００，３００ 基板、１０２ ガラス基板、１０４，１０６，１０８，１１０ 層、１２０，１２６ Ｂ色素子、１２２，１２８ Ｇ色素子、１２４，１３０ Ｒ色素子、１５０，１５２ 凸部、１６０，１６２ 凹部、２５０，２５２ ピクセル領域、４４０ 可撓部、４５０，４５２ 皺部。

Claims (8)

1. 基板上に形成される複数の有機発光素子に対応した貫通孔を備え、この基板に重ねられてこれらの有機発光素子の蒸着形成に用いられる板状の蒸着マスクにおいて、
   基板と対向する面内に貫通孔の分布範囲に応じて広範囲に設けられ、基板上の対応する構造と嵌合し、基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する嵌合部を備え、
   前記嵌合部は、基板上の対応する構造に対し、近傍の基板と当該蒸着マスクとが非接触に保たれる距離で嵌合され、
   前記嵌合部と前記基板上の対応する構造は、一方が先細の凸形状であり、他方が対応する先太の凹形状であり、斜めに形成された側面同士のみを当接させて嵌合され、
   前記基板には、複数の有機発光素子を備えたパネルが距離をおいて複数個形成され、
   前記蒸着マスクは、周囲に比べて柔軟に形成された可撓部であって当該蒸着マスクを複数に分割するようにパネル間に対応する位置に沿って配置され、周囲よりも弾性をもたせ、曲げ変形が容易となるように形成された構造を有する可撓部を備え、
   前記嵌合部は、分割される各領域内にその貫通孔の分布に応じて広範囲に設けられ、各領域における基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する、ことを特徴とする蒸着マスク。
2. 請求項１に記載の蒸着マスクにおいて、
   嵌合部の少なくとも一部は、全ての貫通孔を含む領域を取り囲んで配置され、その内側における基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する、ことを特徴とする蒸着マスク。
3. 請求項１に記載の蒸着マスクにおいて、
   基板には、複数の有機発光素子を備えたパネルが距離をおいて複数個形成され、
   嵌合部の少なくとも一部は、パネル間に対応する位置に設けられて少なくとも一つのパネルに対応する領域を取り囲み、その内側における基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する、ことを特徴とする蒸着マスク。
4. 請求項３に記載の蒸着マスクにおいて、
   嵌合部の少なくとも一部は、各パネル間に対応する位置に設けられて各パネルに対応する領域を取り囲み、各パネルにおける基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する、ことを特徴とする蒸着マスク。
5. 請求項１に記載の蒸着マスクにおいて、
   基板には、発光色の異なる複数の有機発光素子を組み合わせてなるピクセルが複数個形成され、
   当該蒸着マスクは、ある発光色をもつ複数の有機発光素子に対応した貫通孔を備え、
   嵌合部の少なくとも一部は、ピクセル間に対応する位置に設けられて少なくとも一つのピクセルに対応する領域を取り囲み、その内側における基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する、ことを特徴とする蒸着マスク。
6. 請求項５に記載の蒸着マスクにおいて、
   嵌合部の少なくとも一部は、各ピクセル間に対応した位置に設けられて各ピクセルに対応する領域を取り囲み、各ピクセルにおける基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する、ことを特徴とする蒸着マスク。
7. 蒸着マスクを重ねられて蒸着処理を受け、基板上に複数の有機発光素子が形成された有機ＬＥＤであって、
   蒸着マスクと対向する面内に有機発光素子の分布範囲に応じて広範囲に設けられ、蒸着マスクの対応する構造と嵌合し、蒸着マスクと当該基板との面内方向の位置ずれを防止する嵌合部を備え、
   前記嵌合部は、基板上の対応する構造に対し、近傍の基板と当該蒸着マスクとが非接触に保たれる距離で嵌合され、
   前記嵌合部と前記基板上の対応する構造は、一方が先細の凸形状であり、他方が対応する先太の凹形状であり、斜めに形成された側面同士のみを当接させて嵌合され、
   前記基板には、複数の有機発光素子を備えたパネルが距離をおいて複数個形成され、
   前記蒸着マスクは、周囲に比べて柔軟に形成された可撓部であって当該蒸着マスクを複数に分割するようにパネル間に対応する位置に沿って配置され、周囲よりも弾性をもたせ、曲げ変形が容易となるように形成された構造を有する可撓部を備え、
   前記嵌合部は、分割される各領域内にその貫通孔の分布に応じて広範囲に設けられ、各領域における基板と当該蒸着マスクとの面内方向の位置ずれを防止する、ことを特徴とする蒸ことを特徴とする有機ＬＥＤ。
8. 請求項１に記載の蒸着マスクを用いて有機ＬＥＤを製造する方法であって、
   蒸着マスクの嵌合部を有機ＬＥＤの基板上の対応する構造に嵌合させ、蒸着マスクと基板とを重ね合わせる工程と、
   重ね合わせた蒸着マスクと基板に対し蒸着処理を行って、基板上に有機発光素子を蒸着形成する工程と、
   を含む、ことを特徴とする有機ＬＥＤの製造方法。

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