JP4801617B2 - 導電性酸化亜鉛粒子及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、透明性に優れ且つ低抵抗の導電膜を得ることができる導電性酸化亜鉛粒子及びそれを製造するための方法に関する。

導電性酸化亜鉛は、樹脂、塗料、フィルム、繊維等に配合されて帯電防止のために用いられている。また導電性酸化亜鉛から形成される薄膜はその透明性の故に、透明電極として用いられる。導電性酸化亜鉛から形成される薄膜の導電性を高めることを目的として、酸化亜鉛に各種ドーパントを添加することが提案されている。例えば特許文献１には正三価以上の原子価を有する元素を含有する酸化亜鉛系透明導電性膜において、該元素としてアルミニウム、チタン又はクロムを用いることが提案されている。また特許文献２には、IIIB族元素、IVB族元素及びＦｅよりなる群から選択される少なくとも一種の元素が固溶した導電性酸化亜鉛粉末が提案されている。

前記の特許文献２においては、導電性酸化亜鉛粉末の製造方法として、（１）酸化亜鉛の水性スラリーに炭酸アルカリ塩を反応させて塩基性炭酸亜鉛を得る工程、（２）該塩基性炭酸亜鉛を加熱熟成する工程、（３）得られる熟成液に、IIIB族元素、IVB族元素及びＦｅよりなる群から選択される少なくとも一種の元素の水溶性塩を混合して再熟成する工程、（４）該熟成物を脱水し乾燥させる工程、（５）得られた乾燥物を焼成する工程、（６）該焼成物を解砕する工程からなる方法が提案されている。しかし、この方法で得られた酸化亜鉛粉末を始めとして、従来提案されている導電性酸化亜鉛粉末から形成される薄膜は、高い透明性と低い電気抵抗を十分に両立するものではなかった。

これらの先行技術とは別に、一次粒子が面状に集合した酸化亜鉛を含有するメーキャップ化粧料用の紫外線遮蔽用組成物が知られている（特許文献３参照）。この酸化亜鉛は、炭酸ナトリウム及び水酸化ナトリウムを含むアルカリ調整液と塩化亜鉛水溶液とを混合し、得られた沈殿物を水洗濾過した後に４００℃で焼成することで製造される。この製造においては、沈殿物の水洗濾過が３回行われるので、水洗後の沈殿物には炭酸イオンやナトリウムイオン等はほとんど残留していないと考えられる。このようして得られた酸化亜鉛は面状のものなので、透明性を高めることが容易でない。したがってこの酸化亜鉛は、透明導電性膜の原料としてふさわしいものとは言えない。

特開平９−４５１４０号公報 国際公開第２００４／０５８６４５号パンフレット 国際公開第９９／２５６５４号パンフレット

したがって本発明の目的は、前述した従来技術が有する欠点を解消し得る導電性酸化亜鉛粒子及びその製造方法を提供することにある。

本発明は、無機化合物の状態の炭素を含み、炭素の含有量が０．０５〜０．５重量％であることを特徴とする導電性酸化亜鉛粒子を提供するものである。

また本発明は、水溶性亜鉛塩を含む第１の水溶液と、水溶性炭酸塩を含む第２の水溶液とを混合して難溶性の亜鉛化合物を生成させ、次いで反応液の導電率が３００〜７００μＳに低下するまで該反応液を水洗した後に、該亜鉛化合物を乾燥させ焼成を行うことを特徴とする導電性酸化亜鉛粒子の製造方法を提供するものである。

本発明の導電性酸化亜鉛粒子によれば、高い透明性と低い電気抵抗を有する導電性透明膜を形成することができる。また本発明の製造方法によれば、該導電性酸化亜鉛粒子を容易に得ることができる。

以下本発明を、その好ましい実施形態に基づき説明する。本発明の導電性酸化亜鉛粒子（以下、単に酸化亜鉛粒子ともいう）は、炭素を含んでいることによって特徴付けられる。「炭素を含む」とは酸化亜鉛粒子中に、炭素が何らかの形態（例えば炭素を含む化合物や原子団の形態）で含有されていることを言う。後述する製造方法に鑑みると、炭素は無機化合物の状態で酸化亜鉛粒子中に存在していると考えられる。換言すれば、炭素原子は、少なくとも炭素原子どうし及び／又は炭素原子と水素原子が結合してなる有機化合物の状態では存在していないと考えられる。本発明の導電性酸化亜鉛粒子が炭素を含み、その量が酸化亜鉛粒子全体に対して０．０５〜０．５重量％、好ましくは０．０８〜０．３重量％、更に好ましくは０．０８〜０．２重量％であることによって、本発明の酸化亜鉛粒子を用いて形成された導電性透明膜は、高い透明性と低い電気抵抗を有するものとなる。

前記のとおり、本発明の酸化亜鉛粒子に含まれる炭素は極めて微量であるため、炭素がどのような形態で酸化亜鉛粒子中に含有されているのか同定することは困難である。したがって、炭素のどのような作用によって前記の効果が奏されるのかは明確ではない。しかし酸化亜鉛粒子中に含有される炭素の量が０．０５重量％未満の場合には、透明性向上に寄与する炭素の量が不足してしまい、低電気抵抗を維持しつつ高い透明性を達成することができない。同様に、炭素の量が０．５重量％を超えると過剰の炭素が透明性を妨害し、やはり低電気抵抗を維持しつつ高い透明性を達成することができない。

本発明において、酸化亜鉛粒子に含まれる炭素の量は、堀場製作所製の炭素・硫黄分析装置ＥＭＩＡ−３２０Ｖ（商品名）によって測定される。

上述のとおり本発明の酸化亜鉛粒子は、所定量の炭素を含むことで上述の効果を奏するものである。これに対して従来の酸化亜鉛粒子は、種々の金属元素をドープさせることで、高い透明性と低い電気抵抗を有する導電性透明膜の形成を図っている。しかし、従来用いられている金属元素のなかには環境負荷の高い重金属元素も含まれることから、その使用は避けられがちである。これに対して本発明の酸化亜鉛粒子は金属元素がドープされていなくても、金属元素がドープされた酸化亜鉛粒子よりも優れたものとなる。このことは、環境負荷の軽減の点から極めて有利である。また、金属元素がドープされていないことで、酸化亜鉛粒子の色相のバランスが良好になるという利点もある。

炭素を含む本発明の酸化亜鉛粒子は、従来の酸化亜鉛粒子と比較して、その外観が大きく異なる点にも特徴の一つ有している。具体的には、従来の酸化亜鉛粒子は白色のものであるのに対し、本発明の酸化亜鉛粒子は黄色味を帯びたものである。このような外観の違いは、本発明の酸化亜鉛粒子が炭素を含んでいることに起因していると考えられる。本発明の酸化亜鉛粒子が呈する色を、Ｌ＊ａ＊ｂ＊系表色系色座標（光源：Ｄ６５、視野角：１０°）で表すと、Ｌ値が９５〜９９、特に９６〜９８であり、ａ値が−６．０〜０、特に−５〜−４であり、ｂ値が１０〜１５、特に１２〜１５であることが好ましい。

本発明の酸化亜鉛粒子は、従来の酸化亜鉛粒子と比較して比表面積が大きい点にも特徴の一つを有している。具体的には、比表面積が好ましくは２０〜４０ｍ²／ｇ、更に好ましくは２５〜３５ｍ²／ｇという大きな値になっている。本発明の酸化亜鉛粒子がこのような大きな比表面積を有する理由については明確ではないが、本発明者らはその理由を次のように推測している。後述する製造方法によって生ずる中間生成物である亜鉛化合物の沈殿物中には炭素が含まれている。該沈殿物はこれを焼成することで酸化亜鉛粒子が得られる。この焼成中に、該沈殿物中に含まれる炭素が焼結防止剤として作用することで、粒子同士の融着の進行が妨げられ、酸化亜鉛粒子の粒径が過度に大きくなることが防止され、それによって比表面積も大きくなると推測される。

前記の焼結中に粒子どうしの融着の進行が妨げられることに起因して、本発明の酸化亜鉛粒子は、その一次粒子の粒径が小さなものとなる。具体的には、顕微鏡観察によって測定される一次粒子の平均粒径が好ましくは５〜１００ｎｍ、更に好ましくは１０〜５０ｎｍという小粒径のものとなる。酸化亜鉛粒子の粒径が小さいことに起因して、該粒子を原料としてインクを調製すると、該粒子の分散性が良好になる。その結果、このインクを用いて導電膜を形成すると該導電膜の透明性が極めて高くなるという有利な効果が奏される。一次粒子の平均粒径は、透過型電子顕微鏡によって倍率３万倍で撮影された粒子の写真を用い、個々の粒子のうち最も長い部分の長さを測定し、その平均値を算出することで求められる。測定に用いられるサンプル数はＮ＝５０以上とする。

本発明の酸化亜鉛粒子は、その一次粒子の形状に特に制限はなく、球状や針状、板状等、或いは不定形であり得る。一次粒子の形状は、後述する製造条件によって適宜調整可能である。

上述の一次粒子の粒径と関係するが、本発明の酸化亜鉛粒子はレーザー回折法により測定された粒度分布がシャープなものである。具体的には、レーザー回折法により測定された粒度分布におけるＤ₅₀値が好ましくは０．５〜３．０μｍ、更に好ましくは１．０〜２．０μｍであり、Ｄ₉₀値が好ましくは２．０〜４．０μｍ、更に好ましくは２．０〜３．０μｍである。

本発明の酸化亜鉛粒子は導電性を有するものである。導電性の程度は、圧粉抵抗値で表して好ましくは１．０×１０⁵〜１．０×１０⁹Ω・ｃｍ、更に好ましくは１．０×１０⁵〜１．０×１０⁷Ω・ｃｍである。この範囲の圧粉抵抗値は、酸化亜鉛粒子から導電膜を形成するのに十分に低い値である。圧粉抵抗値の測定方法は、後述する実施例において説明する。

次に、本発明の酸化亜鉛粒子の好ましい製造方法について説明する。本製造方法は、以下の（イ）ないし（ハ）の工程に大別される。
（イ）水溶性亜鉛塩を含む第１の水溶液と、水溶性炭酸塩を含む第２の水溶液とを混合して難溶性の亜鉛化合物を生成させる。
（ロ）反応液の導電率が３００〜７００μＳ（マイクロジーメンス）になるまで該反応液を水洗する。
（ハ）反応液中の亜鉛化合物を乾燥させ焼成を行い酸化亜鉛粒子を得る。
以下、これらの工程についてそれぞれ詳述する。

先ず（イ）の工程について説明する。第１の水溶液に用いられる水溶性亜鉛塩としては、例えば塩化亜鉛、硫酸亜鉛、硝酸亜鉛などが用いられる。尤も、水溶性である限りこれらに制限されるものではない。水溶性亜鉛塩は、単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。第１の水溶液における水溶性亜鉛塩の濃度は、亜鉛イオンに基づき、０．０５〜１ｍｏｌ／ｌ、特に０．１〜０．６ｍｏｌ／ｌであることが、凝集が起こりにくい反応となる点から好ましい。

一方、第２の水溶液に用いられる水溶性炭酸塩としては、例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウムなどのアルカリ金属の炭酸塩を用いることが好ましい。尤も、水溶性である限りこれらに制限されるものではない。特に好ましい塩は、炭酸ナトリウムや炭酸カリウムである。水溶性炭酸塩は、単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。

第２の水溶液には、アルカリ金属の炭酸塩を始めとする水溶性炭酸塩に加えてアルカリ金属の水酸化物を含有させることが好ましい。これによって、凝集が防止され、透明性が確保されるという有利な効果が奏される。アルカリ金属の水酸化物としては、例えば水酸化ナトリウムや水酸化カリウムが用いられる。アルカリ金属の水酸化物は、単独で又は二種以上を組み合わせて用いることができる。

第１の水溶液と第２の水溶液を混合する場合には、第１の水溶液に含まれる亜鉛１モルに対して、第２の水溶液に含まれるアルカリ金属の炭酸塩の量が、炭酸イオンを基準として好ましくは０．２〜２．０モル、更に好ましくは０．３〜０．７モルになるように、第２の水溶液に含まれるアルカリ金属の炭酸塩の濃度を調整するか、又は第１の水溶液と第２の水溶液との混合比率を調整することが好ましい。また、炭酸イオンと水酸化物イオンとのモル比（前者：後者）が、１：０．５〜１：９となるように、することも好ましい。

また、第２の水溶液にアルカリ金属の水酸化物も含有されているときには、第１の水溶液に含まれる亜鉛１モルに対して、第２の水溶液に含まれるアルカリ金属の水酸化物の量が、水酸化物イオンを基準として好ましくは０．１〜１．７モル、更に好ましくは０．７〜１．２モルになるように、第２の水溶液に含まれるアルカリ金属の水酸化物の濃度を調整するか、又は第１の水溶液と第２の水溶液との混合比率を調整することが好ましい。

更に、第２の水溶液にアルカリ金属の水酸化物も含有されているときには、第１の水溶液に含まれる亜鉛１モルに対して、第２の水溶液に含まれるアルカリ金属の炭酸塩及びアルカリ金属の水酸化物の合計量が、炭酸イオン及び水酸化物イオンを基準として好ましくは１．３〜２モル、更に好ましくは１．３〜１．７モルになるように、第２の水溶液に含まれるアルカリ金属の炭酸塩及びアルカリ金属の水酸化物の濃度を調整するか、又は第１の水溶液と第２の水溶液との混合比率を調整することが好ましい。このように調整することで、後述する所望の酸化亜鉛を容易に得ることができる。

（イ）の工程においては、第１の水溶液に第２の水溶液を添加し、反応液を撹拌することで反応系のｐＨを上昇させ反応を起こさせる。第２の水溶液の添加は、一括でもよく徐々にでもよいが、第２の水溶液を徐々に添加して、反応系のｐＨを徐々に上昇させると、低電気抵抗で且つ透明性の高い酸化亜鉛粉末を首尾良く得ることができるので好ましい。これに対して、第２の水溶液に第１の水溶液を添加した場合には、所望の酸化亜鉛粉末を得ることができない。反応温度は４０〜７０℃、特に５５〜６０℃であることが好ましい。反応時間は１５〜９０分、特に３０〜６０分であることが好ましい。反応によって、反応液中には難溶性の亜鉛化合物の沈殿が生じる。この沈殿物の詳細は未だ明確ではないが、本発明者らは亜鉛の水酸化物と炭酸塩の複合体、例えばＺｎ（ＯＨ）ｘ（ＣＯ₃）ｙ（式中、ｘ及びｙはｘ＋２ｙ＝２を満たす数を示す）ではないかと推測している。

次に（ロ）の工程について説明する。本工程においては、亜鉛化合物の沈殿が生じた反応液を水洗することで、該沈殿物を含む液の導電率を３００〜７００μＳとし、好ましくは５００〜７００μＳ、更に好ましくは５００〜６００μＳにする。この洗浄の度合いは、得られる酸化亜鉛粒子の透明性に影響を及ぼす。水洗は、例えば反応液をリパルプ洗浄し、次いで固液分離する操作を必要な回数繰り返すことで行われる。前記の沈殿物中には、上述した亜鉛塩、炭酸塩、水酸化物に由来するカチオンやアニオン等の不純物、特に炭酸イオンが含有されているところ、前記の水洗を導電率が前記の範囲になるまで行うことで、該沈殿物に含まれる炭酸イオンの含有量を適切な値にすることができる。導電率が前記の下限値未満の場合には、前記の沈殿物に含まれる炭酸イオンの量が少なくなりすぎ、得られる酸化亜鉛粒子から形成される導電膜の透明性を十分に高めることが容易でなくなる。一方、導電率が前記の上限値を超える場合には、不純物が多くなりすぎ、得られる酸化亜鉛粒子の抵抗を十分に低減させることが容易でなくなる。なお従来の製造方法においては、水洗を十分に行い導電率を３００μＳ未満にすることが通常である。

次に（ハ）の工程について説明する。上述の（ロ）の工程で得られた沈殿物を固液分離し、得られた固形分を乾燥する。固液分離には、例えば沈殿物を含む液を濾過したり、沈殿物を含む液から水を蒸発させたりする方法が用いられる。分離された沈殿物を乾燥して得られた乾燥体は、適当な大きさに粉砕されて粉体となされる。この粉体に含まれる炭素の量は、０．０５〜０．５重量％、特に０．０５〜０．１５重量％であることが好ましい。この粉体を酸化性雰囲気中、例えば大気雰囲気中で焼成する。焼成によって目的とする酸化亜鉛（ＺｎＯ）粒子が得られる。焼成温度は４００〜７００℃、特に５００〜６００℃であることが好ましい。また焼成時間は３０〜１２０分、特に６０〜９０分であることが好ましい。

先に述べたとおり、（ロ）の工程で得られた沈殿物には炭酸イオンが含まれているので、該沈殿物を（ハ）の工程にしたがい焼成すると、焼成中に、該沈殿物中に含まれる炭酸イオンに由来する炭素が焼結防止剤として作用する。これによって粒子同士の融着の進行が妨げられ、酸化亜鉛粒子の粒径が過度に大きくなることが防止される。このようにして得られた酸化亜鉛粒子は、炭酸イオンに由来する炭素を含有したものとなる。また、以上の製造方法においては、製造工程中に金属元素を添加しないので、得られる酸化亜鉛粒子は、金属元素がドープされていないものとなる。

以上の方法によって得られた酸化亜鉛粒子は、例えばこれを溶媒やバインダ等と混合することで、透明導電膜の形成用のインクとして用いられる。また、帯電防止用の導電性付与剤として各種樹脂や塗料、フィルム、繊維等に配合することもできる。

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。しかしながら本発明の範囲はかかる実施例に制限されるものではない。

〔実施例１〕
純水４００リットルに、塩化亜鉛２２．５ｋｇ、濃塩酸１．５リットルを投入し、完全溶解させた。更に純水を加え６００リットルにメスアップし、第１の水溶液を得た。この水溶液を加熱して６０℃で一定とした。これとは別に、炭酸ナトリウム７．５ｋｇを純水１００リットルに溶解させた。次いで２５重量％水酸化ナトリウム水溶液２７．５リットルを投入した。更に純水を加え１５０リットルにメスアップし、第２の水溶液を得た。

次に、撹拌した状態の第１の水溶液に、第２の水溶液を６０分間にわたって徐々に滴下した。反応液の温度は６０℃に保った。滴下完了後、更に６０分間撹拌を行い反応を進行させた。これにより、反応液中には沈殿が生じた。

生成した沈殿物をリパルプ洗浄し、次いでヌッチェにて固液分離を行う操作を繰り返し行い、該沈殿物を含む液の導電率を４００μＳにした。次いで、固液分離を行って得られた固形分を、１２０℃で１５時間乾燥させた。得られた乾燥体をフォースミルで粉砕した。粉砕物を、大気中で５５０℃、１時間焼成した。これにより目的とする酸化亜鉛粉末を得た。得られた酸化亜鉛粉末は、不定形の一次粒子の凝集体であった。この酸化亜鉛粉末をボールミルで粉砕した。

〔実施例２〕
実施例１において、沈殿物を含む液の導電率が６００μＳになるまで洗浄を行う以外は実施例１と同様にして酸化亜鉛粉末を得た。

〔比較例１〕
第２の水溶液として、純水１００リットルに２５重量％水酸化ナトリウム水溶液２７．５リットルを投入し、更に純水を加え１５０リットルにメスアップしたものを用いた。また、沈殿物を含む液の導電率が５００μＳになるまで洗浄した。これら以外は実施例１と同様にして酸化亜鉛粒子を得た。

〔比較例２〕
第２の水溶液として、純水１００リットルに炭酸ナトリウム２１．８ｋｇを溶解させ、更に純水を加えて１５０リットルにメスアップしたものを用いた。また、沈殿物を含む液の導電率が５００μＳになるまで洗浄した。これら以外は実施例１と同様にして酸化亜鉛粒子を得た。

〔比較例３〕
実施例１において、沈殿物を含む液の導電率が１５００μＳになるまで洗浄を行う以外は実施例１と同様にして酸化亜鉛粉末を得た。

〔比較例４〕
実施例１において、沈殿物を含む液の導電率が５０μＳになるまで洗浄を行う以外は実施例１と同様にして酸化亜鉛粉末を得た。

〔評価〕
実施例及び比較例で得られた酸化亜鉛粒子について、炭素含有量、粒度分布、比表面積、圧粉抵抗値、色相を以下の方法で測定した。また、一次粒子の平均粒径を先に述べた方法で測定した。更に得られた酸化亜鉛粒子を原料とするインクを調製し、そのインクから形成された塗膜の抵抗値及びヘイズを測定した。これらの結果を表１に示す。

（１）炭素含有量
堀場製作所製の炭素・硫黄分析装置ＥＭＩＡ−３２０Ｖ（商品名）を用いて測定した。
（２）粒度分布
日機装製のレーザー回折粒度分布測定装置であるマイクロトラック（商品名）を用いて測定した。測定に際しては、前分散として１重量％ヘキサメタリン酸ナトリウム水溶液中で超音波分散を５分間行った。
（３）比表面積
ユアサアイオニクス（株）製のモノソーブ（商品名）を用いＢＥＴ法（Ｈｅ／Ｎ₂混合ガス）にしたがい測定した。
（４）圧粉抵抗値
粒子を５０ｋｇｆの圧力で０．５分間プレスし、直径２５ｍｍ、厚み５ｍｍペレットを作製した。得られたペレットの抵抗値を、ダイヤインスツルメンツ製のＰＤ−４１（商品名）を用い、四探針法により測定した。
（５）色相
スガ試験機製のＳＭカラーコンピューター（商品名）を用いて測定した。

（６）インクの調製
酸化亜鉛９ｇとメチルエチルケトン１５．６ｇを、５０ｍＬのポリ瓶中で混合し、スラリーＡを得た。次に、スラリーＡに対してアクリル樹脂（三菱レーヨン製のダイヤナールＬＲ１６７）５．４ｇを添加した。これをスラリーＢとする。スラリーＢ中へジルコニアビーズを入れ、ビーズミル（ペイントシェーカー）で２時間分散を行った。この分散液からジルコニアビーズを取り除き、透明導電性酸化亜鉛インクを得た。
（７）塗膜の抵抗値
得られたインクを用い、バーコータで塗膜を形成した。塗膜を８０℃で乾燥させた後、その抵抗値をダイヤインスツルメンツ製のＭＣＰ−ＨＴ２５０ ハイレスタＩＰ（商品名）を用い、二探針法により測定した。
（８）ヘイズ
得られたインクを用い、バーコータで塗膜を形成した。塗膜を８０℃で乾燥させた後、日本電色工業（株）製のヘイズメータであるＭＯＤＥＬ １００１ＤＰ（商品名）によってヘイズを測定した。測定はＪＩＳ ７１０５に準拠し、積分球式測定法により行った。ヘイズは（散乱光／全光線透過光）×１００から算出される。

表１に示す結果から明らかなように、実施例の酸化亜鉛粒子（本発明品）は、比較例の酸化亜鉛粒子に比べ、これを用いたインクの塗膜の抵抗値が低く且つ透明性が高いものであることが判る。
注目すべきは、比較例１及び２の酸化亜鉛粒子は、実施例１及び２の酸化亜鉛粒子に比較して圧粉抵抗値が低いにもかかわらず、塗膜に形成したときの抵抗値が極めて高くなってしまう点である。この理由は、比較例１及び２の酸化亜鉛粒子は凝集しているためである。凝集した酸化亜鉛粒子は圧粉抵抗値が低くなるが、逆に凝集していることに起因して分散性が悪くなり、塗膜に形成したときの抵抗値が高くなってしまう。なお比較例１及び２の酸化亜鉛粒子が凝集していることは、粒度分布におけるＤ₉₀値が大きいことで裏付けられる。

Claims (10)

1. 無機化合物の状態の炭素を含み、炭素の含有量が０．０５〜０．５重量％であることを特徴とする導電性酸化亜鉛粒子。
2. Ｌ＊ａ＊ｂ＊系表色系色座標においてＬ値が９５〜９９、ａ値が−６．０〜０、ｂ値が１０〜１５である請求項１記載の導電性酸化亜鉛粒子。
3. ＢＥＴ比表面積が２０〜４０ｍ²／ｇである請求項１又は２記載の導電性酸化亜鉛粒子。
4. 金属元素がドープされていない請求項１ないし３の何れかに記載の導電性酸化亜鉛粒子。
5. 水溶性亜鉛塩を含む第１の水溶液と、水溶性炭酸塩を含む第２の水溶液とを混合して難溶性の亜鉛化合物を生成させ、次いで反応液の導電率が３００〜７００μＳになるまで該反応液を水洗した後に、該亜鉛化合物を乾燥させ焼成を行うことを特徴とする導電性酸化亜鉛粒子の製造方法。
6. 水溶性亜鉛塩として塩化亜鉛、硫酸亜鉛又は硝酸亜鉛を用い、第１の水溶液におけるこれら水溶性亜鉛塩の濃度を０．０５〜１ｍｏｌ／ｌとする請求項５記載の製造方法。
7. 水溶性炭酸塩としてアルカリ金属の炭酸塩を用い、第２の水溶液が、該アルカリ金属の炭酸塩に加えてアルカリ金属の水酸化物を含むものである請求項５又は６記載の製造方法。
8. 第１の水溶液に含まれる亜鉛１モルに対して、第２の水溶液に含まれるアルカリ金属の炭酸塩の量が０．２〜２．０モルになるように、且つ第２の水溶液に含まれるアルカリ金属の水酸化物の量を０．１〜１．７モルに調整する請求項７記載の製造方法。
9. 第１の水溶液に含まれる亜鉛１モルに対して、第２の水溶液に含まれるアルカリ金属の炭酸塩及びアルカリ金属の水酸化物の合計量を１．３〜２モルに調整する請求項７又は８記載の製造方法。
10. 前記の焼成を酸化性雰囲気中において４００〜７００℃で行う請求項５ないし９の何れかに記載の製造方法。