JP4985564B2

JP4985564B2 - 分岐浮上コンベア及び基板浮上搬送システム

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Publication number: JP4985564B2
Application number: JP2008167793A
Authority: JP
Inventors: 賢輔平田
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2008-06-26
Filing date: 2008-06-26
Publication date: 2012-07-25
Anticipated expiration: 2028-06-26
Also published as: JP2010006545A

Description

本発明は、基板の搬送ラインを分岐可能であって、基板を鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する分岐浮上コンベア等に関する。

近年、クリーン搬送の分野では、ガラス基板等の基板（薄板基板）を搬送方向へ浮上搬送する基板浮上搬送システムについて種々の研究開発がなされており、従来の基板浮上搬送システムの中には、基板の搬送ラインを第１搬送ラインから第２搬送ラインに分岐させる分岐機能を有したものもある。そして、分岐機能を有した基板浮上搬送システムの構成等は、次のようになる。

即ち、第１搬送ライン上には、基板を搬送方向へ浮上搬送する上流浮上コンベアが配設されており、第１搬送ライン上における上流浮上コンベアの下流側には、基板を搬送方向へ浮上搬送する第１下流浮上コンベアが配設されている。また、第２搬送ライン上には、基板を搬送方向へ浮上搬送する第２下流浮上コンベアが第１下流浮上コンベアと搬送幅方向に隣接するように配設されている。更に、上流浮上コンベアと下流浮上コンベアとの間には、基板を搬送方向へ浮上搬送する分岐浮上コンベアが配設されており、この分岐浮上コンベアは、基板の搬送ラインを第１搬送ラインから第２搬送ラインに分岐可能である。そして、基板浮上搬送システムにおける分岐浮上コンベアの具体的な構成は、次のようになる。

上流浮上コンベアと下流浮上コンベアの間には、分岐コンベア本体（分岐コンベアフレーム）が配設されており、この分岐コンベア本体は、第１下流浮上コンベアと搬送方向に隣接する第１本体位置と、第２下流浮上コンベアと搬送方向に隣接する第２本体位置との間で搬送幅方向へ移動可能である。また、分岐コンベア本体の近傍には、分岐コンベア本体を搬送幅方向へ移動させるコンベア本体移動用モータが設けられている。

分岐コンベア本体の適宜位置には、基板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットが設けられている。また、分岐コンベア本体の上部には、圧縮空気（エア）の圧力によって基板を浮上させる複数の浮上ユニットが設けられており、各浮上ユニットの頂面には、圧縮空気を噴出するノズルがそれぞれ形成されている。更に、分岐コンベア本体の適宜位置又は分岐コンベア本体の近傍には、複数の浮上ユニットの内部へ圧縮空気を供給するブロワが設けられている。

従って、基板の搬送ラインを分岐させないで、基板を第１搬送ラインに沿って搬送方向へ浮上搬送する場合には、次のように基板浮上搬送システム（主に、分岐浮上コンベア）を稼動させる。

即ち、上流浮上コンベアによる基板の浮上搬送中に、ブロワによって複数の浮上ユニットの内部へ圧縮空気を供給して、複数の浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させておく。これにより、基板を上流浮上コンベア側から分岐浮上コンベア側（分岐コンベア本体側）へ送り出すことができる。なお、このとき、分岐コンベア本体は、第１本体位置に位置している。

基板を分岐浮上コンベア側へ送り出した後に、複数の浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させつつ、搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、基板を第１搬送ラインに沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。

基板の搬送ラインを第１搬送ラインから第２搬送ラインに分岐させて、基板を搬送方向へ浮上搬送する場合には、次のように基板浮上搬送システムを稼動させる。

基板を分岐浮上コンベア側へ送り出した後に、複数の浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させつつ、本体移動用アクチュエータの駆動によって分岐コンベア本体を第１本体位置から第２本体位置まで移動させる。これにより、基板の浮上搬送の途中に、基板の搬送ラインを第１搬送ラインから第２搬送ラインに分岐させることができる。

基板の搬送ラインを分岐させた後に、複数の第２浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させつつ、搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、基板を第２搬送ラインに沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。

なお、本発明に関連する先行技術として特許文献１に示すものがある。
特開２００５−７５４９６号公報

ところで、基板の搬送ラインを分岐させるには、前述のように、分岐コンベア本体を第１本体位置から第２本体位置へ移動させる必要がある。そのため、基板の搬送ラインの分岐に要する時間が長くなって、多数の基板を浮上搬送する際における基板の搬送効率を十分に高めることが困難であるという問題がある。

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の分岐浮上コンベア及び基板浮上搬送システムを提供すること目的とする。

第１発明の第１の特徴は、基板の搬送ラインを分岐可能であって、基板を鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する分岐浮上コンベアにおいて、鉛直方向に対して一方側に傾斜した第１傾斜部を有し、搬送方向へ延びた第１分岐コンベア本体と、前記第１分岐コンベア本体と搬送幅方向に隣接するように配設され、鉛直方向に対して他方側に傾斜しかつ前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部に対向する第２傾斜部を有し、搬送方向へ延びた第２分岐コンベア本体と、前記第１分岐コンベア本体と前記第２分岐コンベア本体の少なくともいずれかに設けられ、鉛直方向に対して傾斜させた状態で基板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部に設けられ、頂面（上面）に浮上ガスを噴出する第１ノズルがそれぞれ形成され、浮上ガスの圧力によって基板を浮上させる複数の第１浮上ユニットと、複数の第１浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給する第１ガス供給源と、前記第２分岐コンベア本体の前記第２傾斜部に設けられ、頂面に浮上ガスを噴出する第２ノズルがそれぞれ形成され、浮上ガスの圧力によって基板を浮上させる複数の第２浮上ユニットと、複数の第２浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給する第２ガス供給源と、前記第１ガス供給源から複数の前記第１浮上ユニットの内部へ供給される浮上ガスの圧力（換言すれば、複数の前記第１浮上ユニットの内部における浮上ガスの圧力）を、基板を浮上搬送する際の基準圧力と、この基準圧力よりも大きくかつ基板を前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側（換言すれば、複数の前記第１浮上ユニット側）から前記第２分岐コンベア本体の前記第２傾斜部側（換言すれば、複数の前記第２浮上ユニット側）へ受け渡し可能な受渡圧力に切替える圧力切替手段と、を具備したことを要旨とする。

ここで、本発明の特徴は、複数の前記第１浮上ユニットの内部における浮上ガスの圧力を前記基準圧力から徐々に高くして、浮上ガスの圧力が所定の圧力に達したときに、複数の前記第１浮上ユニット側から複数の前記第２浮上ユニット側へ基板を受け渡すことができるという、新規な知見に基づくものであり、この新規な知見は、本願の発明者が種々の試験等を行って得られたものである。

なお、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の別部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等を含む意であって、搬送幅方向とは、搬送方向に直交する水平方向のことである。

本発明の特徴により、基板の搬送ラインを分岐させないで、基板を鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する場合には、次のように前記分岐浮上コンベアを稼動させる。

即ち、前記第１分岐コンベア本体の上流側に隣接するように配設した上流浮上コンベアによる基板の浮上搬送中に、前記第１ガス供給源によって複数の前記第１浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給して、複数の前記第１浮上ユニットの前記第１ノズルから浮上ガスを噴出させておく。これにより、基板を前記上流浮上コンベア側から前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側へ送り出すことができる。

基板を前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側へ送り出した後に、複数の前記第１浮上ユニットの前記第１ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、基板を鉛直方向に対して一方側に傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送して、前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側から前記第１分岐コンベア本体の下流側に隣接するように配設した第１下流浮上コンベア側へ送り出すことができる。

基板の搬送ラインを分岐させて、基板を搬送方向へ浮上搬送する場合には、次のように前記分岐浮上コンベアを稼動させる。

即ち、基板を前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側へ基板を送り出した後に、前記圧力切替手段によって複数の前記第１浮上ユニットの内部における浮上ガスの圧力を前記基準圧力から前記受渡圧力に切替えて、基板を前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側から前記第２分岐コンベア本体の前記第２傾斜部側へ受け渡す。これにより、基板の浮上搬送の途中に、基板の搬送ラインを分岐させることができる。なお、基板の搬送ラインを分岐させる前に、前記第２ガス供給源によって複数の前記第２浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給して、複数の前記第２ユニットの前記第２ノズルから浮上ガスを噴出させておくと共に、基板の搬送ラインの分岐させた後に、前記圧力切替手段によって複数の前記第１浮上ユニットの内部における浮上ガスの圧力を前記受渡圧力から前記基準圧力に切替える。

基板の搬送ラインの分岐させた後に、複数の前記第２浮上ユニットの前記第２ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、基板を鉛直方向に対して他方側に傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送して、前記第２分岐コンベア本体の前記第２傾斜部側から前記第２分岐コンベア本体の下流側に隣接するように配設した第２下流浮上コンベア側へ送り出すことができる。

本発明の第２の特徴は、基板の搬送ラインを第１搬送ラインから第２搬送ラインに分岐させる分岐機能を有し、基板を鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する基板浮上搬送システムにおいて、前記第１搬送ライン上に配設され、基板を鉛直方向に対して一方側へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する上流浮上コンベアと、前記第１搬送ライン上における上流浮上コンベアの下流側に配設され、基板を鉛直方向に対して一方側へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する第１下流浮上コンベアと、前記第２搬送ライン上に前記第１下流浮上コンベアと搬送幅方向に隣接するように配設され、基板を鉛直方向に対して他方側へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する第２下流浮上コンベアと、前記第１分岐コンベア本体が前記第１搬送ライン上における前記上流浮上コンベアと前記第１下流浮上コンベアの間に配設され、前記第２分岐コンベア本体が前記第２搬送ライン上における前記第２下流浮上コンベアの上流側に配設され、第１の特徴からなる分岐浮上コンベアと、を具備したことを要旨とする。

なお、第２の特徴によると、第１の特徴による作用と同様の作用を奏する。

本発明によれば、前記圧力切替手段によって複数の前記第１浮上ユニットの内部における浮上ガスの圧力を前記基準圧力から前記受渡圧力に切替えることにより、基板の搬送ラインを分岐させることができるため、基板の搬送ラインの分岐に要する時間を短縮化して、多数の基板の浮上搬送する際における基板の搬送効率を十分に向上させることができる。

本発明の実施形態について図１から図５を参照して説明する。

ここで、図１は、図２におけるI-I線に沿った拡大図、図２は、本発明の実施形態に係る基板浮上搬送システムの模式的な平面図、図３は、図２におけるIII-III線に沿った拡大図、図４は、図３における矢視部IVを示す拡大図、図５は、図２におけるV-V線に沿った拡大図である。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向、「ＦＲ」は、後方向、「Ｌ」は、左方向、「Ｒ」は、右方向を指してある。

図２に示すように、本発明の実施形態に係る基板浮上搬送システム１は、ガラス基板等の基板（薄板基板）Ｗを鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向（本発明の実施形態にあっては、後方向）へ浮上搬送するシステムであって、基板Ｗの搬送ラインを第１搬送ラインＬ１から第２搬送ラインＬ２に分岐させる分岐機能を有している。そして、基板浮上搬送システム１の概略的な構成は、次のようになる。

第１搬送ラインＬ１上には、基板Ｗを鉛直方向に対して一方側（右方側）へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する上流浮上コンベア３が配設されており、第１搬送ラインＬ１上における上流浮上コンベア３の下流側には、基板Ｗを鉛直方向に対して一方側へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する第１下流浮上コンベア５が配設されている。また、第２搬送ラインＬ２上には、基板Ｗを鉛直方向に対して他方側（左方側）へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する第２下流浮上コンベア７が第１下流浮上コンベア５と搬送幅方向（本発明の実施形態にあっては、左右方向）に隣接するように配設されている。そして、上流浮上コンベア３と下流浮上コンベア５，７との間には、基板Ｗを搬送方向へ浮上搬送する分岐浮上コンベア（中流浮上コンベア）９が配設されており、この分岐浮上コンベア９は、基板Ｗの搬送ラインを第１搬送ラインＬ１から第２搬送ラインＬ２に分岐可能である。なお、搬送中における鉛直方向に対する基板の傾斜角は、１０度である。

基板浮上搬送システム１における上流浮上コンベア３の構成は、次のようになる。

図３、図４、及び図２に示すように、第１搬送ラインＬ１上には、上流コンベア本体（上流コンベアフレーム）１１が配設されており、この上流コンベア本体１１は、前後方向へ延びてあって、鉛直方向に対して一方側に傾斜（本発明の実施形態にあっては、傾斜角１０度）した傾斜部１１ｓを有している。

上流コンベア本体１１には、基板Ｗを鉛直方向に対して一方側に傾斜させた状態で搬送方向へ搬送する上流搬送ユニット１３が設けられている。具体的には、上流コンベア本体１１における傾斜部１１ｓの他方側には、基板Ｗの下縁部を支持する複数の上流搬送ローラ１５がブラケット１７を介して搬送方向に沿って間隔を置いて設けられており、各上流搬送ローラ１５は、搬送幅方向に平行な軸心周りにそれぞれ回転可能である。また、上流コンベア本体１１の適宜位置には、複数の上流搬送ローラ１５を同期して回転させる上流ローラ回転用モータ（上流ローラ回転用アクチュエータの一例）１９が設けられており、この上流ローラ回転用モータ１９の出力軸（図示省略）は、複数の上流搬送ローラ１５の回転軸（図示省略）にウォームホイール及びウォーム等からなる動力伝達機構（図示省略）介して連動連結してある。

上流コンベア本体１１の傾斜部１１ｓには、圧縮空気（エア）を収容する１つ又は複数の上流チャンバー２１が設けられており、上流チャンバー２１は、前後方向へ延びている。そして、上流チャンバー２１には、圧縮空気の圧力によって基板Ｗを浮上させる複数の上流浮上ユニット２３が設けられており、換言すれば、上流コンベア本体１１の傾斜部１１ｓには、複数の上流浮上ユニット２３が上流チャンバー２１を介して設けられている。また、各上流浮上ユニット２３の内部は、上流チャンバー２１の内部にそれぞれ連通してあって、各上流浮上ユニット２３の頂面（上面）には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル２３ｎがそれぞれ形成されている。そして、各ノズル２３ｎは、上流浮上ユニット２３の内部にそれぞれ連通してあって、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、上流浮上ユニット２３の頂面に垂直な方向に対してユニット中心側（上流浮上ユニット２３の中心側）へ傾斜するようにそれぞれ構成されている。なお、各上流浮上ユニット２３の頂面に枠状のノズル２３ｎがそれぞれ形成されるの代わりに、穴状の複数のノズルがそれぞれ形成されるようにしても構わない。

上流コンベア本体１１の適宜位置には、上流チャンバー２１の内部を経由して複数の上流浮上ユニット２３の内部へ圧縮空気を供給する上流ブロワ（圧縮空気供給源の一例）２５が設けられており、この上流ブロワ２５は、適宜のエア配管２７を介して上流チャンバー２１に接続されている。

基板浮上搬送システム１における第１下流浮上コンベア５の構成は、次のようになる。

図５及び図２に示すように、第１搬送ラインＬ１上における上流浮上コンベア３の下流側は、第１下流コンベア本体（第１下流コンベアフレーム）２９が配設されており、この第１下流コンベア本体２９は、前後方向へ延びてあって、鉛直方向に対して一方側に傾斜（本発明の実施形態にあっては、傾斜角１０度）した傾斜部２９ｓを有している。

第１下流コンベア本体２９には、基板Ｗを鉛直方向に対して一方側に傾斜させた状態で搬送方向へ搬送する第１下流搬送ユニット３１が設けられている。具体的には、第１下流コンベア本体２９における傾斜部２９ｓの他方側には、基板Ｗの下縁部を支持する複数の第１下流搬送ローラ３３がブラケット３５を介して搬送方向に沿って間隔を置いて設けられており、各第１下流搬送ローラ３３は、搬送幅方向に平行な軸心周りにそれぞれ回転可能である。また、第１下流コンベア本体２９の適宜位置には、複数の第１下流搬送ローラ３３を同期して回転させる第１下流ローラ回転用モータ（第１下流ローラ回転用アクチュエータの一例）３７が設けられており、この第１下流ローラ回転用モータ３７の出力軸（図示省略）は、複数の第１下流搬送ローラ３３の回転軸（図示省略）にウォームホイール及びウォーム等からなる動力伝達機構（図示省略）介して連動連結してある。

第１下流コンベア本体２９の傾斜部２９ｓには、圧縮空気を収容する１つ又は複数の第１下流チャンバー３９が設けられており、第１下流チャンバー３９は、前後方向へ延びている。そして、第１下流チャンバー３９には、圧縮空気の圧力によって基板Ｗを浮上させる複数の第１下流浮上ユニット４１が設けられており、換言すれば、第１下流コンベア本体２９の傾斜部２９ｓには、複数の第１下流浮上ユニット４１が第１下流チャンバー３９を介して設けられている。また、各第１下流浮上ユニット４１の内部は、第１下流チャンバー３９の内部にそれぞれ連通してあって、各第１下流浮上ユニット４１の頂面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル４１ｎがそれぞれ形成されており、各ノズル４１ｎは、上流浮上ユニット２３のノズル２３ｎと同様の構成をそれぞれ有している。更に、第１下流コンベア本体２９の適宜位置には、第１下流チャンバー３９の内部を経由して複数の第１下流浮上ユニット４１の内部へ圧縮空気を供給する第１下流ブロワ４３が設けられており、この第１下流ブロワ４３は、適宜のエア配管４５を介して第１下流チャンバー３９に接続されている。

基板浮上搬送システム１における第２下流浮上コンベア７の構成は、次のようになる。

図５及び図２に示すように、第２搬送ラインＬ２上には、第２下流コンベア本体（第２下流コンベアフレーム）４７が第１下流コンベア本体２９と搬送幅方向に隣接するように配設されており、この第２下流コンベア本体４７は、前後方向へ延びてあって、鉛直方向に対して他方側に傾斜（本発明の実施形態にあっては、傾斜角１０度）した傾斜部４７ｓを有している。

第２下流コンベア本体４７には、基板Ｗを鉛直方向に対して他方側に傾斜させた状態で搬送方向へ搬送する第２下流搬送ユニット４９が設けられている。具体的には、第２下流コンベア本体４７における傾斜部４７ｓの一方側には、基板Ｗの下縁部を支持する複数の第２下流搬送ローラ５１がブラケット５３を介して搬送方向に沿って間隔を置いて設けられており、各第２下流搬送ローラ５１は、搬送幅方向に平行な軸心周りにそれぞれ回転可能である。また、第２下流コンベア本体４７の適宜位置には、複数の第２下流搬送ローラ５１を同期して回転させる第２下流ローラ回転用モータ（第２下流ローラ回転用アクチュエータの一例）５５が設けられており、この第２下流ローラ回転用モータ５５の出力軸（図示省略）は、複数の第２下流搬送ローラ５１の回転軸（図示省略）にウォームホイール及びウォーム等からなる動力伝達機構（図示省略）介して連動連結してある。

第２下流コンベア本体４７の傾斜部４７ｓには、圧縮空気を収容する１つ又は複数の第２下流チャンバー５７が設けられており、第２下流チャンバー５７は、前後方向へ延びている。そして、第２下流チャンバー５７には、圧縮空気の圧力によって基板Ｗを浮上させる複数の第２下流浮上ユニット５９が設けられており、換言すれば、第２下流コンベア本体４７の傾斜部４７ｓには、複数の第２下流浮上ユニット５９が第２下流チャンバー５７を介して設けられている。また、各第２下流浮上ユニット５９の内部は、第２下流チャンバー５７の内部にそれぞれ連通してあって、各第２下流浮上ユニット５９の頂面には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル５９ｎがそれぞれ形成されており、各ノズル５９ｎは、上流浮上ユニット２３のノズル２３ｎと同様の構成をそれぞれ有している。更に、第２下流コンベア本体４７の適宜位置には、第２下流チャンバー５７の内部を経由して複数の第２下流浮上ユニット５９の内部へ圧縮空気を供給する第２下流ブロワ６１が設けられており、この第２下流ブロワ６１は、適宜のエア配管６３を介して第２下流チャンバー５７に接続されている。

基板浮上搬送システム１における分岐浮上コンベア９の構成は、次のようになる。

図１及び図２に示すように、第１搬送ラインＬ１上における上流浮上コンベア３と第１下流浮上コンベア５の間には、第１分岐コンベア本体（第１分岐コンベアフレーム）６５が配設されており、この第１分岐コンベア本体６５は、前後方向へ延びてあって、鉛直方向に対して一方側に傾斜（本発明の実施形態にあっては、傾斜角１０度）した第１傾斜部６５ｓを有している。

第２搬送ラインＬ２上における第２下流浮上コンベア７の上流側には、第２分岐コンベア本体（第２分岐コンベアフレーム）６７が配設されており、この第２分岐コンベア本体６７は、一対のガイドレール６９を介して左右方向へ移動可能である。また、第２分岐コンベア本体６７は、前後方向へ延びてあって、鉛直方向に対して他方側に傾斜（本発明の実施形態にあっては、傾斜角１０度）しかつ第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓに対向する第２傾斜部６７ｓを有している。そして、第２分岐コンベア本体６７の近傍には、第２分岐コンベア本体６７を左右方向へ移動させるコンベア本体移動用モータ（コンベア本体移動用アクチュエータの一例）６９が設けられている。

第２分岐コンベア本体６７には、基板Ｗを鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ搬送する中流搬送ユニット７３が設けられている。具体的には、第２分岐コンベア本体６７における第２傾斜部６７ｓの一方側（換言すれば、第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓと第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓの間）には、基板Ｗの下縁部を支持する複数の中流搬送ローラ７５がブラケット７７を介して搬送方向に沿って間隔を置いて設けられており、各中流搬送ローラ７５は、搬送幅方向に平行な軸心周りにそれぞれ回転可能である。また、第２分岐コンベア本体６７の適宜位置には、複数の中流搬送ローラ７５を同期して回転させる中流ローラ回転用モータ（中流ローラ回転用アクチュエータの一例）７９が設けられており、この中流ローラ回転用モータ７９の出力軸（図示省略）は、複数の中流搬送ローラ７５の回転軸（図示省略）にウォームホイール及びウォーム等からなる動力伝達機構（図示省略）介して連動連結してある。

第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓには、圧縮空気を収容する１つ又は複数の第１中流チャンバー８１が設けられており、第１中流チャンバー８１は、前後方向へ延びている。そして、第１中流チャンバー８１には、圧縮空気の圧力によって基板Ｗを浮上させる複数の第１中流浮上ユニット８３が設けられており、換言すれば、第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓには、複数の第１中流浮上ユニット８３が第１中流チャンバー８１を介して設けられている。また、各第１中流浮上ユニット８３の内部は、第１中流チャンバー８１の内部にそれぞれ連通してあって、各第１中流浮上ユニット８３の頂面には、圧縮空気を噴出する枠状の第１ノズル８３ｎがそれぞれ形成されており、各第１ノズル８３ｎは、前記ノズル２３ｎと同様の構成をそれぞれ有している。

第１分岐コンベア本体６５の適宜位置には、第１中流チャンバー８１の内部を経由して複数の第１中流浮上ユニット８３の内部へ圧縮空気を供給する第１中流ブロワ８５が設けられており、この第１中流ブロワ８５は、適宜のエア配管８７を介して第１中流チャンバー８１に接続されている。また、第１中流ブロワ８５は、送風動作させる（具体的には、第１中流ブロワ８５の羽根を回転させる）第１ブロワモータ８９を備えてあって、この第１ブロワモータ８９は、第１インバータ電源９１に電気的に接続されている。

第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓには、圧縮空気を収容する１つ又は複数の第２中流チャンバー９３が設けられており、第２中流チャンバー９３は、前後方向へ延びている。そして、第２中流チャンバー９３には、圧縮空気の圧力によって基板Ｗを浮上させる複数の第２中流浮上ユニット９５が設けられており、換言すれば、第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓには、複数の第２中流浮上ユニット９５が第２中流チャンバー９３を介して設けられている。また、各第２中流浮上ユニット９５の内部は、第２中流チャンバー９３の内部にそれぞれ連通してあって、各第２中流浮上ユニット９５の頂面には、圧縮空気を噴出する枠状の第２ノズル９５ｎがそれぞれ形成されており、各第２ノズル９５ｎは、前記ノズル２３ｎと同様の構成をそれぞれ有している。

第２分岐コンベア本体６７の適宜位置には、第２中流チャンバー９３の内部を経由して複数の第２中流浮上ユニット９５の内部へ圧縮空気を供給する第２中流ブロワ９７が設けられており、この第２中流ブロワ９７は、適宜のエア配管９９を介してチャンバー９３に接続されている。また、第２中流ブロワ９７は、送風動作させる（具体的には、第２中流ブロワ９７の羽根を回転させる）第２ブロワモータ１０１を備えてあって、この第２ブロワモータ１０１は、第２インバータ電源１０３に電気的に接続されている。

第１中流ブロワ８５の近傍には、第１中流ブロワ８５及び第２中流ブロワ９７の駆動を制御するコントローラ１０５が設けられおり、このコントローラ１０５は、第１中流ブロワ８５及び第２中流ブロワ９７の制御プログラム等を記憶するメモリと、第１中流ブロワ８５及び第２中流ブロワ９７の制御プログラムを実行するＣＰＵとを備えてあって、第１インバータ電源９１及び第２インバータ電源１０３に電気的に接続されている。

そして、コントローラ１０５のＣＰＵは、第１中流ブロワ８５の駆動（具体的には、第１インバータ電源９１の電源周波数）を制御して、第１中流ブロワ８５から複数の第１中流浮上ユニット８３の内部へ供給される圧縮空気の圧力（複数の第１中流浮上ユニット８３の内部における圧縮空気の圧力）を基準圧力と受渡圧力に切替える機能（圧力切替手段としての機能）を有している。なお、基準圧力とは、基板Ｗを浮上搬送する際のゲージ圧力（本発明の実施形態にあっては、数１００Ｐａ）のことであって、受渡圧力とは、基準圧力よりも大きくかつ基板Ｗを第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓ側（換言すれば、複数の第１中流浮上ユニット８３側）から第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側（換言すれば、複数の第２中流浮上ユニット９５側）へ受け渡し可能なゲージ圧力（本発明の実施形態にあっては、数ｋＰａ）のことである。

また、コントローラ１０５のＣＰＵは、第２中流ブロワ９７の駆動（具体的には、第２インバータ電源１０３の電源周波数）を制御して、第２中流ブロワ９７から複数の第２中流浮上ユニット９５の内部へ供給される圧縮空気の圧力（複数の第２中流浮上ユニット９５の内部における圧縮空気の圧力）を基準圧力と高圧力に切替える機能を有している。つまり、コントローラ１０５のＣＰＵは、複数の第２中流浮上ユニット９５の内部における圧縮空気の圧力を、複数の第１中流浮上ユニット８３の内部における圧縮空気の圧力を基準圧力から受渡圧力に切替えると同時又は切替えた直後に、基準圧力から高圧力に一旦切替え、かつ基板Ｗを第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側へ受け渡す直前に、高圧力から基準圧力に戻す機能（圧力切替手段としての機能）を有している。なお、高圧力とは、基準圧力よりも大きくかつ受渡圧力以下のゲージ圧力（本発明の実施形態にあっては、受渡圧力と同じ圧力であって、数ｋＰａ）のことである。

続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。

基板Ｗの搬送ラインを分岐させないで、基板Ｗを鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する場合には、次のように基板浮上搬送システム１を稼動させる。

上流ブロワ２５によって複数の上流浮上ユニット２３の内部へ圧縮空気を供給して、複数の上流浮上ユニット２３のノズル２３ｎから圧縮空気を噴出させつつ、上流ローラ回転用モータ１９も駆動によって複数の上流搬送ローラ１５を同期して回転させる。これにより、上流浮上コンベア３によって基板Ｗを鉛直方向に対して一方側に傾斜した状態で第１搬送ラインＬ１に沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。

上流浮上コンベア３による第１搬送ラインＬ１に沿った基板Ｗの浮上搬送中に、第１中流ブロワ８５によって複数の第１中流浮上ユニット８３の内部へ圧縮空気を供給して、複数の第１中流浮上ユニット８３の第１ノズル８３ｎから圧縮空気を噴出させつつ、中流ローラ回転用モータ７９も駆動によって複数の中流搬送ローラ７５を同期して回転させておく。これにより、基板Ｗを上流浮上コンベア３側（上流コンベア本体１１側）から第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓ側へ送り出して、分岐浮上コンベア９によって基板Ｗを鉛直方向に対して一方側に傾斜した状態で第１搬送ラインＬ１に沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。

分岐浮上コンベア９による第１搬送ラインＬ１に沿った基板Ｗの浮上搬送中に、第１下流ブロワ４３によって複数の第１下流浮上ユニット４１の内部へ圧縮空気を供給して、複数の第１下流浮上ユニット４１のノズル４１ｎから圧縮空気を噴出させつつ、第１下流ローラ回転用モータ３７も駆動によって複数の第１下流搬送ローラ３３を同期して回転させておく。これにより、基板Ｗを第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓ側から第１下流浮上コンベア５側（第１下流コンベア本体２９側）へ送り出して、第１下流浮上コンベア５によって基板Ｗを鉛直方向に対して一方側に傾斜した状態で第１搬送ラインＬ１に沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。

基板Ｗの搬送ラインを第１搬送ラインＬ１から第２搬送ラインＬ２分岐させて、基板Ｗを搬送方向へ浮上搬送する場合には、次のように基板浮上搬送システム１を稼動させる。

即ち、基板Ｗを第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓ側へ基板Ｗを送り出した後に、中流ローラ回転用モータ７９の駆動を停止する。そして、コントローラ１０５のＣＰＵによって第１中流ブロワ８５の駆動を制御して複数の第１中流浮上ユニット８３の内部における圧縮空気の圧力を基準圧力から受渡圧力に切替えて、基板Ｗを第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓ側から第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側へ受け渡す。これにより、基板Ｗの浮上搬送の途中に、基板Ｗの搬送ラインを第１搬送ラインＬ１から第２搬送ラインＬ２分岐させることができる。

ここで、コントローラ１０５のＣＰＵによって第２中流ブロワ９７の駆動を制御して複数の第２中流浮上ユニット９５の内部における圧縮空気の圧力を、複数の第１中流浮上ユニット８３の内部における圧縮空気の圧力を受渡圧力に切替えると同時又は切替えた直後に、基準圧力から高圧力に一旦切替え、かつ基板Ｗを第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側へ受け渡たす直前に、高圧力から基準圧力に戻す。これにより、基板Ｗを第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側へスムーズに受け渡すことができる。

基板Ｗの搬送ラインの分岐させた後に、コントローラのＣＰＵによって第１中流ブロワ８５の駆動を制御して複数の第１中流浮上ユニット８３の内部における圧縮空気の圧力を受渡圧力から基準圧力に切替える。また、コンベア本体移動用モータ７１の駆動によって第２分岐コンベア本体６７を左方向へ移動させて、中流搬送ユニット７３の搬送位置を第２下流搬送ユニット４９の搬送位置に合わせる。そして、第２中流ブロワ９７によって複数の第２中流浮上ユニット９５の内部へ圧縮空気を供給して、複数の第２中流浮上ユニット９５の第２ノズル９５ｎから圧縮空気を噴出させつつ、中流ローラ回転用モータ７９も駆動によって複数の中流搬送ローラ７５を同期して回転させる。これにより、基板Ｗを鉛直方向に対して他方側に傾斜させた状態で第２搬送ラインＬ２に沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。

分岐浮上コンベア９による第２搬送ラインＬ２に沿った基板Ｗの浮上搬送中に、第２下流ブロワ６１によって複数の第２下流浮上ユニット５９の内部へ圧縮空気を供給して、複数の第２下流浮上ユニット５９のノズル５９ｎから圧縮空気を噴出させつつ、第２下流ローラ回転用モータ５５も駆動によって複数の第２下流搬送ローラ５１を同期して回転させておく。これにより、基板Ｗを第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側から第２下流浮上コンベア７側（第２下流コンベア本体４７側）へ送り出して、第２下流浮上コンベア７によって基板Ｗを鉛直方向に対して他方側に傾斜した状態で第２搬送ラインＬ２に沿って搬送方向へ浮上搬送することができる。なお、基板Ｗを第２下流浮上コンベア７側へ送り出した後に、コンベア本体移動用モータ７１の駆動によって第２分岐コンベア本体６７を右方向へ復帰移動させて、中流搬送ユニット７３の搬送位置を第１下流搬送ユニット３１の搬送位置（換言すれば、上流搬送ユニット１３の搬送位置）に合わせておく。

従って、本発明の実施形態によれば、コントローラ１０５のＣＰＵによって複数の第１中流浮上ユニット８３の内部における圧縮空気の圧力を基準圧力から受渡圧力に切替えることにより、基板Ｗの搬送ラインを第１搬送ラインＬ１から第２搬送ラインＬ２に分岐させることができるため、基板Ｗの搬送ラインの分岐に要する時間を短縮化して、多数の基板Ｗの浮上搬送する際における基板Ｗの搬送効率を十分に向上させることができる。

なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。

図２におけるI-I線に沿った拡大図である。本発明の実施形態に係る基板浮上搬送システムの模式的な平面図である。図２におけるIII-III線に沿った拡大図である。図３における矢視部IVを示す拡大図である。図２におけるV-V線に沿った拡大図である。

符号の説明

Ｗ基板
Ｌ１第１搬送ライン
Ｌ２第２搬送ライン
１基板浮上搬送システム
３上流浮上コンベア
５第１下流浮上コンベア
７第２下流浮上コンベア
９分岐浮上コンベア
６５第１分岐コンベア本体
６５ｓ第１傾斜部
６７第２分岐コンベア本体
６７ｓ第２傾斜部
７１コンベア本体移動用モータ
７３中流搬送ユニット
７５中流搬送ローラ
７９中流ローラ回転用モータ
８１第１中流チャンバー
８３第１中流浮上ユニット
８３ｎ第１ノズル
８５第１中流ブロワ
８９第１ブロワモータ
９１第１インバータ電源
９３第２中流チャンバー
９５第２中流浮上ユニット
９５ｎ第２ノズル
９７第２中流ブロワ
１０１第２ブロワモータ
１０３第２インバータ電源
１０５コントローラ

Claims

基板の搬送ラインを分岐可能であって、基板を鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する分岐浮上コンベアにおいて、
鉛直方向に対して一方側に傾斜した第１傾斜部を有し、搬送方向へ延びた第１分岐コンベア本体と、
前記第１分岐コンベア本体と搬送幅方向に隣接するように配設され、鉛直方向に対して他方側に傾斜しかつ前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部に対向する第２傾斜部を有し、搬送方向へ延びた第２分岐コンベア本体と、
前記第１分岐コンベア本体と前記第２分岐コンベア本体の少なくともいずれかに設けられ、鉛直方向に対して傾斜させた状態で基板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、
前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部に設けられ、頂面に浮上ガスを噴出する第１ノズルがそれぞれ形成され、浮上ガスの圧力によって基板を浮上させる複数の第１浮上ユニットと、
複数の第１浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給する第１ガス供給源と、
前記第２分岐コンベア本体の前記第２傾斜部に設けられ、頂面に浮上ガスを噴出する第２ノズルがそれぞれ形成され、浮上ガスの圧力によって基板を浮上させる複数の第２浮上ユニットと、
複数の第２浮上ユニットの内部へ浮上ガスを供給する第２ガス供給源と、
前記第１ガス供給源から複数の前記第１浮上ユニットの内部へ供給される浮上ガスの圧力を、基板を浮上搬送する際の基準圧力と、この基準圧力よりも大きくかつ基板を前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部側から前記第２分岐コンベア本体の前記第２傾斜部側へ受け渡し可能な受渡圧力に切替える圧力切替手段と、を具備したことを特徴とする分岐浮上コンベア。
前記圧力制御手段は、前記第１ガス供給源から複数の前記第１浮上ユニットの内部へ供給される浮上ガスの圧力を前記基準圧力と前記受渡圧力に切替える他に、前記第２ガス供給源から複数の前記第２浮上ユニットの内部へ供給される浮上ガスの圧力を、前記基準圧力と、前記基準圧力よりも大きくかつ前記受渡圧力以下の高圧力に切替えるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の分岐浮上コンベア。
搬送ユニットは、
前記第１分岐コンベア本体の前記第１傾斜部と前記第２分岐コンベア本体の前記第２傾斜部の間に搬送方向に沿って間隔を置いて設けられ、搬送幅方向に平行な軸心周りにそれぞれ回転可能であって、基板の下縁部を支持する複数の搬送ローラと、
複数の前記搬送ローラを回転させるローラ回転用アクチュエータとを備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の分岐浮上コンベア。
前記第２分岐コンベア本体は、搬送幅方向へ移動可能であって、
前記第２分岐コンベア本体を搬送幅方向へ移動させるコンベア本体移動用アクチュエータを具備し、
複数の前記搬送ローラは、前記第２分岐コンベア本体の前記第２傾斜部の一方側に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の分岐浮上コンベア。
各第１ノズルが前記第１浮上ユニットの頂面に垂直な方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成され、各第２ノズルが前記第２浮上ユニットの頂面に垂直な方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれかの請求項に記載の分岐浮上コンベア。
基板の搬送ラインを第１搬送ラインから第２搬送ラインに分岐させる分岐機能を有し、基板を鉛直方向に対して傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する基板浮上搬送システムにおいて、
前記第１搬送ライン上に配設され、基板を鉛直方向に対して一方側へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する上流浮上コンベアと、
前記第１搬送ライン上における上流浮上コンベアの下流側に配設され、基板を鉛直方向に対して一方側へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する第１下流浮上コンベアと、
前記第２搬送ライン上に前記第１下流浮上コンベアと搬送幅方向に隣接するように配設され、基板を鉛直方向に対して他方側へ傾斜させた状態で搬送方向へ浮上搬送する第２下流浮上コンベアと、
前記第１分岐コンベア本体が前記第１搬送ライン上における前記上流浮上コンベアと前記第１下流浮上コンベアの間に配設され、前記第２分岐コンベア本体が前記第２搬送ライン上における前記第２下流浮上コンベアの上流側に配設され、請求項１から請求項５のいずれかの請求項に記載の分岐浮上コンベアと、を具備したことを特徴とする基板浮上搬送システム。