JP5118515B2 - 先端工具案内装置 - Google Patents

Description

本発明は、蒸気発生器の水室内に設けられる先端工具案内装置に関し、さらに詳しくは、先端工具案内装置を補強する補強部材に関する。

特許文献１には、蒸気発生器の水室内に設けられる旋回支持部と、旋回支持部に設けられるスライドテーブルと、スライドテーブルに装着されたマニピュレータと、マニピュレータの先端に装着された先端工具とを備えた先端工具案内装置が開示されている。

この先端工具案内装置では、マニピュレータを制御して、水室に設けた管台の内周面のショットピーニング領域に沿って先端工具を移動（案内）する。このとき、先端工具はマニピュレータによって内周面に押し付けられる。これにより、先端工具の姿勢は、管台の内周面に沿った姿勢となる。よって、先端工具は、マニピュレータにより内周面に押し付けられて密着させられることで、所定の姿勢となるように制御される。

特開２００７−１８１９０９号公報

しかしながら、特許文献１に開示された技術では、マニピュレータにより先端工具を処理面である内周面に押し付けると、押付方向によっては、先端工具案内装置の剛性が内周面からの反力に耐えられない。これにより、先端工具案内装置が、たわんだりねじれたり、土台部が底面部からずれたりすることによって、マニピュレータにより前記内周面に押し付けて前記内周面に密着されるはずの先端工具が、浮き上がるおそれがある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、先端工具の処理面からの浮き上がりを抑制することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る先端工具案内装置は、蒸気発生器の水室内に設けられている静止構造部材を押し付けて突っ張ることで前記水室内に支持されると共に、旋回軸を軸として旋回する旋回支持部と、前記旋回支持部に可動部材を介して連結され、対象とする処理面に処理を施す先端工具と、前記旋回支持部に働く力であって、前記旋回支持部の旋回方向に働く前記力に対抗するように前記旋回支持部を補強すると共に前記水室内に設けられる補強部材と、を備えることを特徴とする。

上記構成により、本発明に係る先端工具案内装置は、前記旋回支持部の旋回方向に働く前記力に対抗するように前記旋回支持部を補強できる。これにより、旋回支持部に外部からモーメントが働いたときの前記旋回支持部のたわみやずれ量を低減できる。よって、本発明に係る先端工具案内装置は、前記たわみやずれに起因する先端工具の処理面からの浮き上がりを抑制できる。

本発明の好ましい態様としては、前記水室を構成する静止構造部材は、互いに対向し合う天井部と底面部であり、前記旋回支持部は前記天井部と前記底面部とを前記旋回軸上に存在する土台部材を介して押し付けて突っ張ることで前記旋回支持部は前記水室内に支持され、前記土台部材は、前記水室内の静止構造部材と前記補強部材とで挟んで固定されることが望ましい。

上記構成により、本発明に係る先端工具案内装置は、旋回支持部の土台となる土台部材を固定できる。これにより、旋回支持部に外部からモーメントが働いたときの前記土台部材のたわみ量や前記土台部材のずれ量を低減できる。よって、本発明に係る先端工具案内装置は、前記たわみやずれに起因する先端工具の処理面からの浮き上がりを抑制できる。

本発明の好ましい態様としては、前記補強部材は、前記補強部材の長手方向に伸縮する押付手段を有し、前記補強部材の一方の端部と前記天井部との間に働く摩擦力が前記補強部材の一方の端部に働く前記天井部に沿う方向の力よりも大きい状態で前記補強部材の一方の端部が前記天井部に対し接触すると共に、他方の端部が前記土台部材の一方の側面に対して垂直に接触し、前記土台部材の前記一方の側面と対向する前記土台部材の側面は、前記水室を区分けする静止構造部材の水室仕切板に接触することが望ましい。

上記構成により、本発明に係る先端工具案内装置は、旋回支持部の土台となる土台部材を補強部材と水室の水室仕切板とで挟んで固定できる。これにより、旋回支持部に外部からモーメントが働いたときの前記土台部材のたわみ量や前記土台部材のずれ量を低減できる。よって、本発明に係る先端工具案内装置は、前記たわみやずれに起因する先端工具の処理面からの浮き上がりを抑制できる。

本発明の好ましい態様としては、前記水室内に設けられているホールドダウンリングに蓋部材を固定する固定爪は前記静止構造部材であり、前記土台部材の一方の側面は、前記水室を区分けする水室仕切板に接触し、前記補強部材は、一方の端部が前記固定爪に嵌め合わされると共に他方の端部が前記土台部材の一方の側面とは反対側の側面に対して前記水室仕切板側に向かって接触することが望ましい。

上記構成により、本発明に係る先端工具案内装置は、旋回支持部の土台となる土台部材を補強部材と水室の水室仕切板とで挟んで固定できる。これにより、旋回支持部に外部からモーメントが働いたときの前記土台部材のたわみ量や前記土台部材のずれ量を低減できる。よって、本発明に係る先端工具案内装置は、前記たわみやずれに起因する先端工具の処理面からの浮き上がりを抑制できる。さらに、ホールドダウンリングは、水室の天井部よりも旋回支持部近傍に位置するため、補強部材を小型化できる。これにより、前記補強部材の設置作業をより迅速化できる。

本発明の好ましい態様としては、前記補強部材は、前記補強部材の長手方向に伸縮する押付手段を有することが望ましい。

上記構成により、本発明に係る先端工具案内装置は、旋回支持部の土台となる土台部材を補強部材と水室の水室仕切板とで挟む方向に力を加えた状態で固定できる。これにより、旋回支持部に外部からモーメントが働いたときの前記土台部材のずれ量をより好適に低減できる。また、本発明に係る先端工具案内装置は、土台部材を挟む方向に力を加えた状態で固定するので、前記土台部材の剛性が増加する。これにより、旋回支持部に外部からモーメントが働いたときの前記土台部材のたわみ量をより好適に低減できる。よって、本発明に係る先端工具案内装置は、前記たわみやずれに起因する先端工具の処理面からの浮き上がりを抑制できる。

本発明の好ましい態様としては、前記補強部材は、前記旋回支持部の前記旋回軸から所定の距離を有すると共に前記旋回支持部に連結される部位に設けられ、前記旋回支持部の前記旋回軸を含む仮想の面に対して所定の角度を有して端部が前記静止構造部材に接触することが望ましい。

上記構成により、本発明に係る先端工具案内装置は、旋回支持部の旋回の旋回軸に働く外部からのモーメントを補強部材が受けることで前記モーメントを緩和できる。これにより、旋回支持部に外部からモーメントが働いたときの前記土台部材のたわみ量やずれ量を低減できる。よって、本発明に係る先端工具案内装置は、前記たわみやずれに起因する先端工具の処理面からの浮き上がりを抑制できる。

本発明の好ましい態様としては、前記補強部材は複数設けられ、前記複数の補強部材は前記旋回支持部の前記旋回軸を含む仮想の面に対して面対称な状態で前記端部が前記静止構造部材に接触することが望ましい。

上記構成により、本発明に係る先端工具案内装置は、旋回支持部の旋回の旋回軸に働く外部からのモーメントを複数の補強部材が受けることで前記モーメントをより確実に緩和できる。これにより、旋回支持部に外部からモーメントが働いたときの前記土台部材のたわみ量やずれ量をより好適に低減できる。よって、本発明に係る先端工具案内装置は、前記たわみやずれに起因する先端工具の処理面からの浮き上がりを抑制できる。

本発明の好ましい態様としては、前記補強部材は２つ設けられ、前記２つの補強部材の端部のうち、前記静止構造部材側のそれぞれの端部間の距離は、前記旋回支持部の前記旋回軸側のそれぞれの端部間の距離よりも大きいことが望ましい。

上記構成により、本発明に係る先端工具案内装置は、旋回支持部の旋回の旋回軸に働く外部からのモーメントのうち、一方の補強部材が一方方向の前記モーメントを緩和し、他方の補強部材が前記一方方向とは反対の前記モーメントを緩和する。これにより、前記補強部材は、前記モーメントをより確実に緩和できる。よって、旋回支持部に外部からモーメントが働いたときの前記土台部材のたわみ量やずれ量をより好適に低減できる。結果として、本発明に係る先端工具案内装置は、前記たわみやずれに起因する先端工具の処理面からの浮き上がりを抑制できる。

本発明の好ましい態様としては、前記補強部材は、前記旋回支持部の前記旋回軸から所定の距離を有すると共に前記旋回支持部に連結される前記部位に対して回動できるように支持されることが望ましい。

上記構成により、本発明に係る先端工具案内装置の補強部材が回動することで、先端工具案内装置は先端工具案内装置の補強が必要なときに、例えば、ホールドダウンリングに前記補強部材を接触させ、旋回支持部が旋回するときや、先端工具案内装置の設置作業時は前記補強部材を収納できる。これにより、先端工具案内装置は、補強部材を回動させることにより迅速に収納できる。なお、先端工具案内装置は先端工具案内装置の補強が必要なときに、ホールドダウンリング以外の部材に前記補強部材を接触させてもよい。

本発明の好ましい態様としては、前記旋回支持部に連結されるテーブル部と、前記テーブル部上をスライド移動すると共に前記先端工具を前記処理面に誘導するマニピュレータが装着されるスライド部と、から構成されるスライドテーブルを備え、前記補強部材は、前記旋回支持部の旋回軸から所定の距離を有する部位である前記スライドテーブルに設けられることが望ましい。

上記構成により、本発明に係る先端工具案内装置は、旋回支持部の旋回軸から比較的離れた部位であるスライドテーブルに補強部材を有する。これにより、前記補強部材が負担できる旋回支持部の旋回軸に働く外部からのモーメントの大きさが向上する。よって、旋回支持部に外部からモーメントが働いたときの前記土台部材のたわみ量やずれ量をより確実に低減できる。結果として、本発明に係る先端工具案内装置は、前記たわみやずれに起因する先端工具の処理面からの浮き上がりを抑制できる。

本発明に係る先端工具案内装置は、先端工具の処理面からの浮き上がりを抑制できる。

以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この発明を実施するための最良の形態（以下実施形態という）によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。

（実施形態１）
図１は、実施形態１に係る先端工具案内装置を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、本実施形態に係る先端工具案内装置１は、加圧水型軽水炉原子力発電設備に設けられる蒸気発生器の水室１００の内部に設けられる。先端工具案内装置１は、水室１００に設けられる管台１０１及び管台１０１に接続した円筒管１０２の間の溶接部分の内周面である処理面１０３に各種処理を施す。

先端工具案内装置１は、旋回支持部２０と、スライドテーブル３０と、可動部材としてのマニピュレータ４０と、先端工具５０と、制御装置６０とを備える。なお、水が溜められる水室１００において鉛直方向下側を底面部１０４、鉛直方向上側を天井部１０５とする。旋回支持部２０は、水室１００の底面部１０４から天井部１０５にかけて直立した状態で設けられる。また、旋回支持部２０は、旋回軸ＴＬを軸に旋回する。

スライドテーブル３０は、可動部材としてのスライド部３２がテーブル部３１に対してスライドできるスライド機構を有する。また、スライドテーブル３０は、旋回支持部２０に着脱できるように連結される。マニピュレータ４０は、先端工具５０を処理面１０３に案内し、先端工具５０を処理面１０３に押し付ける。また、マニピュレータ４０は、スライドテーブル３０に着脱できるように連結される。

先端工具５０は、処理面１０３に対してショットピーニング処理、検査処理、切削処理などの処理を行う。また、先端工具５０は、マニピュレータ４０の先端に着脱できるように連結される。このように、先端工具案内装置１は、旋回支持部２０、スライドテーブル３０、マニピュレータ４０、先端工具５０に、それぞれ解体、組み立てできるように構成される。制御装置６０は、先端工具案内装置１の各部に電気的、流体駆動的に接続され、前記各部の諸動作を制御する。

旋回支持部２０は、土台部材としての下部ベース２１と、旋回部２２と、上部支持部２３とを有する。下部ベース２１は、水室１００の底面部１０４に接触して設置される。これにより、下部ベース２１は、旋回部２２の土台の機能を果たす。また、下部ベース２１は、例えば表面の摩擦抵抗が比較的大きい部材によって形成されると好ましい。これにより、下部ベース２１は、旋回部２２が底面部１０４から滑るおそれを抑制できる。

旋回部２２は、下部ベース２１を介して底面部１０４に設けられる。また、旋回部２２は、柱状に形成されると共に、下部ベース２１上で旋回移動できる。上部支持部２３は、旋回部２２と天井部１０５との間に設けられる。また、上部支持部２３は、旋回部２２に設けた伸縮機構により旋回支持部２０の旋回軸ＴＬ方向に伸縮できる。

ここで、旋回支持部２０の設置方法を説明する。まず、先端工具案内装置１の設置作業員は、下部ベース２１を水室１００の底面部１０４に設置する。次に、先端工具案内装置１の設置作業員は、前記伸縮機構により、上部支持部２３を天井部１０５に向かって伸ばす。これにより、上部支持部２３は、水室１００の天井部１０５に押し付けられる。よって、旋回支持部２０は、天井部１０５から旋回軸ＴＬ方向の反力を受ける。結果として、旋回支持部２０は、水室１００の底面部１０４及び天井部１０５に対し、鉛直方向に突っ張った状態で固定される。

スライドテーブル３０は、テーブル部３１と、スライド部３２と、第１ツールチェンジャ３３と、スライドテーブル支持部３４とを有する。テーブル部３１は、一方の端部である旋回支持部側端部３１ａが旋回支持部２０に旋回支持部２０に対して回動できるように連結され、他方の端部であるスライドテーブル支持部側端部３１ｂがスライドテーブル支持部３４と連結される。スライド部３２は、テーブル部３１上を駆動源の駆動力によって、テーブル部３１の長手方向にスライド移動する。

第１ツールチェンジャ３３は、スライド部３２に着脱できるように設けられる。第１ツールチェンジャ３３により、マニピュレータ４０は、スライド部３２に装着される。スライドテーブル支持部３４は、一方の端部であるスライドテーブル側端部３４ａがテーブル部３１のスライドテーブル支持部側端部３１ｂにテーブル部３１に対して回動できるように連結される。また、スライドテーブル支持部３４の他方の端部である旋回支持部側端部３４ｂは、旋回支持部２０の下部ベース２１側の部材に連結される。

ここで、スライドテーブル３０の旋回支持部２０への設置方法を説明する。まず、先端工具案内装置１の設置作業員は、テーブル部３１の旋回支持部側端部３１ａを旋回支持部２０の上部支持部２３側の部位に連結する。次に、先端工具案内装置１の設置作業員は、スライドテーブル支持部３４のスライドテーブル側端部３４ａを、収容位置から支持位置に回動させて、スライドテーブル支持部３４の旋回支持部側端部３４ｂを旋回部２２の下部ベース２１側の部位に連結する。これにより、スライドテーブル３０は、旋回支持部２０に対して角度を有して設置される。

マニピュレータ４０は、例えば７つの軸によって回動する、いわゆる７軸マニピュレータである。マニピュレータ４０は、第２ツールチェンジャ４１を有する。第２ツールチェンジャ４１は、先端工具５０を装着できるように形成される。マニピュレータ４０の一方の端部であるスライドテーブル側端部４０ａは、スライドテーブル３０の第１ツールチェンジャ３３に着脱できるように連結される。また、マニピュレータ４０の他方の端部である先端工具側端部４０ｂには、第２ツールチェンジャ４１が設けられている。マニピュレータ４０は、制御装置６０により、その動作が制御される。

なお、本実施形態では、マニピュレータ４０は、いわゆる７軸マニピュレータであると説明したが、本実施形態に係るマニピュレータ４０の可動軸の数はこれに限定されない。

先端工具５０は、例えば、上記の処理面１０３にショットピーニング処理を行う工具や、上記の処理面１０３を検査する工具や、切削補修をする工具等である。以下の説明では、ショットピーニング処理を行う工具を先端工具５０として用いた場合について説明する。なお、ショットピーニング処理とは、複数の球体であるショットを高速度で金属表面に衝突させる処理である。ショットが処理対象の表面に衝突すると、処理対象の表面に球状の凹みが形成される。これにより、処理対象の表面の疲労強度が増す。この他、ショットピーニング処理は、耐摩耗性の向上、耐応力腐食割れ特性の向上、放熱性の向上、流体抵抗の減少等の効果を有する。

図２は、実施形態１に係る先端工具を示す模式図である。図２に示すように、先端工具５０は、工具本体５１と、マニピュレータ取付部５２と、ショット射出口５３と、全方向転動ローラ５４と、エアシリンダ５５と、第１保持部材５６と、第２保持部材５７と、第３保持部材５８とを有する。本実施形態に係る先端工具５０は、第１保持部材５６と、第２保持部材５７と、第３保持部材５８との３つの部材で、工具本体５１がマニピュレータ４０に対して３軸を回転軸として回動する機構を構成する点に特徴がある。

工具本体５１は、ショットピ−ニング処理を行う工具である。本実施形態では、例えば、工具本体５１は、略直方体に形成される。マニピュレータ取付部５２は、図１に示す第２ツールチェンジャ４１に先端工具５０を取り付ける部材である。ショット射出口５３は、処理面１０３に向けてショットが射出される開口である。つまり、先端工具５０を使用する際、ショット射出口５３は処理面１０３と対向する。

全方向転動ローラ５４は、工具本体５１のショット射出口５３を有する面に複数個、例えば６個設けられる。全方向転動ローラ５４は、処理面１０３に押し当てられることにより、処理面１０３と接触する。全方向転動ローラ５４は、全方向に転動することにより、ショット射出口５３が処理面１０３に対して一定距離を保ちつつ処理面１０３に沿って移動できるように機能する。

エアシリンダ５５は、一方の端部がマニピュレータ取付部５２に取り付けられ、他方の端部が第１保持部材５６に取り付けられる。また、エアシリンダ５５はそのシリンダの軸線方向に伸縮できる。このとき、エアシリンダ５５の軸線方向は、先端工具５０を処理面１０３に押し付ける方向と一致する。これにより、エアシリンダ５５は、先端工具５０が処理面１０３に押し付けられる際に、マニピュレータ取付部５２と第１保持部材５６との間のダンパ装置として機能する。

第１保持部材５６は、第２保持部材５７及び第３保持部材５８を介して工具本体５１と連結される。よって、エアシリンダ５５は、結果としてマニピュレータ取付部５２と工具本体５１との間のダンパ装置として機能する。具体的には、エアシリンダ５５は、マニピュレータ４０により先端工具５０が処理面１０３に押し付けられると処理面１０３からの反力によって収縮する。

また、エアシリンダ５５は、マニピュレータ４０により先端工具５０が処理面１０３から離れると伸長する。これにより、エアシリンダ５５は、処理面１０３に対するショット射出口５３の距離をエアシリンダ５５の可動範囲内で一定に保つ。つまり、エアシリンダ５５は、工具本体５１と処理面１０３との隙間の微妙なずれを吸収する。

第１保持部材５６は、第１回動連結部材５６ａにより第２保持部材５７に対して回動できるように第２保持部材５７と連結される。このとき、第２保持部材５７は、第１回動軸ＲＬ０１を回動の軸として第１保持部材５６に対して回動できる。第２保持部材５７は、第２回動連結部材５７ａにより第３保持部材５８に対して回動できるように第３保持部材５８と連結される。このとき、第３保持部材５８は、第１回動軸ＲＬ０１と直交する第２回動軸ＲＬ０２を回動の軸として第２保持部材５７に対して回動できる。

第３保持部材５８は、第３回動連結部材５８ａにより工具本体５１に対して回動できるように工具本体５１と連結される。このとき、工具本体５１は、第１回動軸ＲＬ０１及び第２回動軸ＲＬ０２と互いに直交する第３回動軸ＲＬ０３を回動の軸として第３保持部材５８に対して回動できる。

第１回動連結部材５６ａ、第２回動連結部材５７ａ、第３回動連結部材５８ａは、部材同士を回動できるように連結する部材であるが、所定のモーメント以上のモーメントを加えることにより、部材同士が回動するように構成されると好ましい。つまり、第１回動連結部材５６ａ、第２回動連結部材５７ａ、第３回動連結部材５８ａは、所定の回動抵抗を有すると好ましい。これにより、マニピュレータ４０によって処理面１０３に押し付けられる際、処理面１０３から受ける反力以外の力による工具本体５１の回動を抑制できる。

例えば、第１回動軸ＲＬ０１を重力方向と仮定し、第２回動連結部材５７ａに回動抵抗がないものと仮定する。このとき工具本体５１には重力が第１回動軸ＲＬ０１方向に働く。よって、工具本体５１が、第２回動軸ＲＬ０２を軸に回動するおそれがある。第１回動連結部材５６ａ、第２回動連結部材５７ａ、第３回動連結部材５８ａが所定の回動抵抗を有することで、先端工具案内装置１を操作する操作作業員が望まない工具本体５１の回動を抑制できる。なお、前記操作作業員が望まない工具本体５１の回動とは、先端工具５０が他部材と干渉を引き起こす回動であったり、先端工具５０による処理の不良を引き起こす回動である。

また、第１回動軸ＲＬ０１、第２回動軸ＲＬ０２、第３回動軸ＲＬ０３は、一点で直交するように構成し、かつ、工具本体５１の重心を前記一点と一致するように先端工具５０を構成するとより好ましい。これにより、先端工具５０は、第１回動連結部材５６ａ、第２回動連結部材５７ａ、第３回動連結部材５８ａの回動抵抗を比較的小さくしても工具本体５１の姿勢を維持できる。これにより、先端工具５０は、先端工具案内装置１の操作作業員が望まない工具本体５１の重力による回動をさらに抑制できる。

また、先端工具３０は、第１回動連結部材５６ａ、第２回動連結部材５７ａ、第３回動連結部材５８ａの回動を機械的に所定の範囲に規制するストッパーが設けられてもよい。このように構成されても、先端工具５０は、先端工具案内装置１の操作作業員が望まない工具本体５１の重力による回動をさらに抑制できる。

また、工具本体５１がマニピュレータ４０に対して３軸を回転軸として回動する機構は、工具本体５１と処理面１０３との隙間のずれを補正できる範囲で可動できればよい。一般に、前記ずれの量はわずかであるため、第１回動軸ＲＬ０１、第２回動軸ＲＬ０２、第３回動軸ＲＬ０３の回動範囲は、前記ずれを補正できる範囲に設定されると好ましい。これにより、例えば、作業者が望まない工具本体５１の重力による回動があった場合でも、前記作業者が望まない前記回動の量を最小限に抑制できる。

上記構成をまとめると、工具本体５１は、マニピュレータ４０から順に、マニピュレータ取付部５２と、エアシリンダ５５と、第１保持部材５６と、第２保持部材５７と、第３保持部材５８とを介して連結される。さらに、工具本体５１は、互いに直交し合う３つの回動軸を軸にマニピュレータ４０に対して回動できるように図１に示すマニピュレータ４０の第２ツールチェンジャ４１に装着される。

上記構成により、先端工具５０は、マニピュレータ４０により、所定の力で処理面１０３に押し付けられると、エアシリンダ５５がダンパ装置として機能する。また、全方向転動ローラ５４が処理面１０３に接触する。先端工具５０は、３軸を回転軸として工具本体５１がマニピュレータ４０に対して回動する機構を介してマニピュレータ４０と連結されている。これにより、先端工具５０は、前記所定の力で処理面１０３に押し付けられることにより、３つの回動軸を軸に工具本体５１がマニピュレータ４０に対して回動する。

よって、先端工具案内装置１は、工具本体５１と処理面１０３との隙間のずれを抑制する。つまり、先端工具案内装置１は、先端工具５０の処理面１０３からの浮き上がりを抑制できる。なお、前記所定の力とは、エアシリンダ５５の可動範囲内でエアシリンダ５５が力を吸収でき、かつ、第１回動連結部材５６ａ、第２回動連結部材５７ａ、第３回動連結部材５８ａが回動できる範囲の力をいう。

なお、本実施形態では、先端工具５０は、３軸を回動軸として工具本体５１がマニピュレータ４０に対して回動する機構を有するものとして説明したが、本実施形態はこれに限定されない。先端工具５０は、前記回動する機構を備えなくても、以下に説明する構成により、工具本体５１と処理面１０３との隙間のずれを処理不良をきたさない範囲で抑制できる。

また、回動軸の数は３軸に限定されず、処理面１０３の形状を考慮し、前記回動する機構を１軸または２軸で構成してもよい。これにより、先端工具５０の構成を簡素化できる。但し、先端工具５０が、３軸を回転軸として工具本体５１が回動するように構成することにより、より好適に工具本体５１と処理面１０３との隙間のずれを抑制できる。

なお、本実施形態では、第１保持部材５６と、第２保持部材５７と、第３保持部材５８とで、３軸を回転軸として工具本体５１がマニピュレータ４０に対して回動する機構を構成したが、本実施形態はこれに限定されない。例えば、全方向に回動するボールと、前記ボールを保持する保持部材とで、工具本体５１がマニピュレータ４０に対して回動する機構を構成してもよい。これにより、先端工具５０に対して、先端工具５０の構成数の低減、簡素化、軽量化などの効果が期待できる。

ここで、図１に示す先端工具案内装置１は、マニピュレータ４０によって先端工具５０を静止構造部材である処理面１０３に押し付ける。なお、静止構造部材とは、外部から力をかけても移動しない部材である。例えば、静止構造部材は、管台１０１、円筒管１０２、底面部１０４、天井部１０５、後述する図３に示す水室仕切板１０６、後述する図５に示すホールドダウンリング１０７などである。

マニピュレータ４０によって先端工具５０が処理面１０３に押し付けられると、先端工具案内装置１は、処理面１０３から反力を受ける。このとき、前記反力の向きによっては、先端工具案内装置１がたわんだりねじれるおそれがある。具体的に、旋回支持部２０と、スライドテーブル３０と、スライドテーブル支持部３４とが存在する面に沿う方向の前記反力に対する先端工具案内装置１の剛性は、比較的高い。しかしながら、前記面に直交する方向の力、つまり旋回支持部２０が旋回する方向の前記反力に対する先端工具案内装置１の剛性は、比較的低い。

これにより、先端工具案内装置、特に下部ベース２１がたわんだりねじれたり、ずれたりする。これによって、先端工具５０と処理面１０３との隙間にずれが生じるおそれがある。つまり、先端工具５０が処理面１０３から浮き上がるおそれがある。よって、先端工具案内装置１を補強する必要がある。

しかしながら、水室１００の内部は、放射能レベルが通常の環境と比較して高い。よって、先端工具案内装置１の設置作業員は、安全を確保するために水室１００内に滞在する時間に制限が設けられる。なお、前記制限は、例えば２分程度である。よって、先端工具案内装置１の設置及び先端工具案内装置１の補強を迅速に行えるように、先端工具案内装置１は構成される。

図３は、実施形態１に係る先端工具案内装置の全体を示す斜視図である。本実施形態に係る先端工具案内装置１の下部ベース２１は、水室１００の内部に存在する水室仕切板１０６に対して押付けられて拘束されている点に特徴がある。なお、下部ベース２１の拘束とは、下部ベース２１が底面部１０４に対して動かないように固定される状態、下部ベース２１の剛性が高められ、下部ベース２１のたわみが抑制されている状態をいう。

図３に示すように、先端工具案内装置１は、補強部材としての押付部材１０Ａを備える。押付部材１０Ａは、水室１００の内壁面に沿う形状に湾曲して設けられる。また、押付部材１０Ａは、一方の端部である下部ベース側端部１０Ａａが、下部ベース２１と接触して設けられる。さらに、押付部材１０Ａは、他方の端部である天井面側端部１０Ａｂが、水室１００の天井部１０５に接触して設けられる。

このとき、押付部材１０Ａの天井面側端部１０Ａｂと天井部１０５との間に働く摩擦力が天井面側端部１０Ａｂに働く天井部１０５に沿う方向の力よりも大きくなるように天井面側端部１０Ａｂは、天井部１０５に対して接触すると好ましい。具体的には、押付部材１０Ａの天井面側端部１０Ａｂは、天井部１０５に対して略垂直接触すると好ましい。つまり、押付部材１０Ａの天井面側端部１０Ａｂ近傍の長手方向に伸びる仮想の線である仮想線ＶＬ０１と、天井部１０５とが直交するように、天井面側端部１０Ａｂは天井部１０５と接触すると好ましい。これにより、天井面側端部１０Ａｂが、天井部１０５の表面で滑るおそれを抑制できる。

なお、押付部材１０Ａは、水室１００の内壁面に沿う形状に湾曲して設けられると説明したが本実施形態はこれに限定されない。押付部材１０Ａは、直線を含む形状に形成されてもよいし、水室１００の内壁面から離れて設けられてもよい。押付部材１０Ａが水室１００の内壁面に沿う形状に湾曲して設けられると、水室１００の内壁面が押付部材１０Ａの補強部材の機能を果たし、より確実に押付部材１０Ａは、下部ベース２１を拘束できる。

図４は、実施形態１に係る下部ベースと押付部材の下部ベース側端部を拡大して模式的に示す断面図である。図４に示すように、下部ベース２１は、水室仕切板１０６に接触して設けられる。ここで、水室仕切板１０６と接触する下部ベース２１の面を水室仕切板側接触面２１ａとする。押付部材１０Ａの下部ベース側端部１０Ａａは、水室仕切板側接触面２１ａと対向する下部ベース２１の面である押付部材側接触面２１ｂと接触して配設される。

このとき、押付部材１０Ａの下部ベース側端部１０Ａａは、下部ベース２１の押付部材側接触面２１ｂに対して垂直に接触すると好ましい。つまり、押付部材１０Ａの下部ベース側端部１０Ａａ近傍の長手方向に伸びる仮想の線である仮想線ＶＬ０２と、下部ベース２１の押付部材側接触面２１ｂとが直交するように、天井面側端部１０Ａｂは天井部１０５と接触すると好ましい。

押付部材１０Ａの下部ベース側端部１０Ａａは、下部ベース２１の押付部材側接触面２１ｂの形状に合わせて形成されると好ましい。つまり、下部ベース側端部１０Ａａの先端部の肉厚を下部ベース２１の押付部材側接触面２１ｂ近傍の肉厚と、略同一に形成すると好ましい。

これにより、下部ベース側端部１０Ａａの先端部の肉厚が下部ベース２１の押付部材側接触面２１ｂ近傍の肉厚よりも小さいことによる、下部ベース２１と水室１００を構成する部材との隙間に押付部材１０Ａの下部ベース側端部１０Ａａが滑り込むおそれを抑制できる。また、下部ベース側端部１０Ａａの先端部の肉厚が下部ベース２１の押付部材側接触面２１ｂ近傍の肉厚よりも大きいことによる、押付部材１０Ａの下部ベース側端部１０Ａａが旋回部２２と干渉するおそれを抑制できる。

図３に示すように、押付部材１０Ａは、下部ベース側端部１０Ａａと天井面側端部１０Ａｂとの間に押付手段としての押付シリンダ１１Ａを有する。押付シリンダ１１Ａは、押付部材１０Ａの長手方向に沿って伸縮できる。

ここで、押付シリンダ１１Ａが伸びた状態の押付シリンダ１１Ａを含む押付部材１０Ａの長手方向の長さは、下部ベース２１から天井部１０５までの水室１００の内壁面に沿う長さよりも大きく設定される。これにより、下部ベース２１は、押付部材１０Ａから水室仕切板１０６側に力を受ける。つまり、下部ベース２１は、水室仕切板１０６と押付部材１０Ａとによって挟まれる力を受ける。これにより、下部ベース２１は、水室仕切板１０６と押付部材１０Ａとによって拘束される。

下部ベース２１が、水室仕切板１０６と押付部材１０Ａとによって拘束されると、下部ベース２１は、外部から力が働いたときの底面部１０４からの相対的な移動量が低減されると共に、下部ベース２１の剛性も向上する。これにより、先端工具案内装置１は、下部ベース２１のたわみ及びねじれ及びずれを抑制できる。よって、先端工具案内装置１は、先端工具５０と処理面１０３との隙間にずれが生じるおそれ、つまり先端工具５０が処理面１０３から浮き上がるおそれを抑制できる。

また、本実施形態では、先端工具５０は、ショットピーニング処理を行うものとして説明したが、本実施形態はこれに限定されない。例えば、先端工具５０は、切削、研削処理を行う工具でもよい。切削、研削処理は、ショットピーニング処理よりもさらに先端工具案内装置１に剛性を要求する。本実施形態１に係る先端工具案内装置１は、押付部材１０Ａによって、下部ベース２１の剛性が高められる。よって、本実施形態１に係る先端工具案内装置１は、切削、研削の処理不良も抑制できる。

また、押付シリンダ１１Ａは、先端工具案内装置１の設置作業員が作業しやすい位置に設けられると好ましい。上述したように、作業員による水室１００内の作業時間は、作業員の安全面から制限されている。よって、押付シリンダ１１Ａが、作業員が作業しやすい位置に設けられることにより、先端工具案内装置１の設置作業を迅速化できる。

なお、押付部材１０Ａの天井面側端部１０Ａｂは、例えば表面の摩擦抵抗が比較的大きい部材によって形成されると好ましい。これにより、押付部材１０Ａが突っ張った状態のときに、天井面側端部１０Ａｂが天井部１０５から滑るおそれを抑制できる。結果として、先端工具案内装置１の設置作業を迅速化できる。上述したように、先端工具案内装置１を設置する作業時間には制限がある。よって、わずかな時間であっても、先端工具案内装置１の設置作業を迅速化できる効果は大きい。

（実施形態２）
図５は、実施形態２に係る先端工具案内装置の全体を示す斜視図である。実施形態１に係る先端工具案内装置１の押付部材１０Ａは、下部ベース２１と天井部１０５との間で突っ張ることにより、下部ベース２１を水室仕切板１０６に押付けたが、本実施形態に係る先端工具案内装置２の押付部材１０Ｂは、下部ベース２１とホールドダウンリング１０７の固定爪１０７ａとの間で突っ張ることにより、下部ベース２１を水室仕切板１０６に押付ける点に特徴がある。なお、上述の実施形態と同一の効果を奏する構成には、同一の符号を付す。また、上述の実施形態と同一の構成及び効果は説明を省略する。

ここで、一般的に、水室１００の管台１０１には、図５に示すように、ホールドダウンリング１０７が設けられている。ホールドダウンリング１０７は、先端工具案内装置２の設置作業員やメンテナンス作業員などが、作業中に円筒管１０２へ落下しないように蓋を装着するための部材である。よって、ホールドダウンリング１０７には、前記蓋を固定するための凹部である固定爪１０７ａが形成されている。

図５に示すように、先端工具案内装置２は、押付部材１０Ｂを備える。押付部材１０Ｂは、例えば水室１００の内壁面に沿う形状に湾曲して設けられる。また、押付部材１０Ｂは、一方の端部である下部ベース側端部１０Ｂａが、下部ベース２１と接触して設けられる。さらに、押付部材１０Ｂは、他方の端部であるホールドダウンリング側端部１０Ｂｂが、ホールドダウンリング１０７の固定爪１０７ａに嵌め合わされて固定される。

上記のように、ホールドダウンリング側端部１０Ｂｂは、ホールドダウンリング１０７の固定爪１０７ａに嵌め合わされる。よって、ホールドダウンリング側端部１０Ｂｂのホールドダウンリング１０７への嵌め合い部分である嵌合部１０Ｂｃは、固定爪１０７ａの形状に合わせて形成されると好ましい。これにより、ホールドダウンリング側端部１０Ｂｂが、固定爪１０７ａから外れるおそれを抑制できる。

また、一般的に固定爪１０７ａは、ホールドダウンリング１０７に複数設けられる。ホールドダウンリング側端部１０Ｂｂの嵌合部１０Ｂｃが嵌め込まれる固定爪１０７ａは、前記複数の中から適宜選択できるが、押付部材１０Ｂの長手方向に力が負荷されたときに、嵌合部１０Ｂｃが固定爪１０７ａから外れにくい固定爪１０７ａを選択すると好ましい。

本実施形態に係る押付部材１０Ｂは、実施形態１に係る押付部材１０Ａの押付シリンダ１１Ａに変えて、例えば、押付手段としてのジャッキボルト１１Ｂを備える。ジャッキボルト１１Ｂは、ボルトとナットとから構成され、ナットを回転させることにより、ジャッキボルト１１Ｂの長手方向の長さが変化する。

押付部材１０Ｂは、下部ベース側端部１０Ｂａとホールドダウンリング側端部１０Ｂｂとの間にジャッキボルト１１Ｂを有する。さらに、ジャッキボルト１１Ｂは、ジャッキボルト１１Ｂの長手方向と、押付部材１０Ｂの長手方向とが一致するように設けられる。これにより、ジャッキボルト１１Ｂのナットを回転させることで、押付部材１０Ａの長手方向の長さが変化する。なお、本実施形態はこれに限定されず、押付部材１０Ｂは押付シリンダ１１Ａを備えてもよい。

これにより、押付部材１０Ｂは、下部ベース２１の押付部材側接触面２１ｂと、ホールドダウンリング１０７の固定爪１０７ａとの間で突っ張った状態となる。よって、下部ベース２１は、押付部材１０Ｂによって水室仕切板１０６に押付けられる。結果として、下部ベース２１は、水室仕切板１０６と押付部材１０Ｂとによって拘束される。

なお、押付部材１０Ｂは、下部ベース２１の押付部材側接触面２１ｂと、ホールドダウンリング１０７の固定爪１０７ａとの間で突っ張った状態となると説明したが、本実施形態はこれに限定されない。例えば、押付部材１０Ｂは、下部ベース側端部１０Ｂａが下部ベース２１の押付部材側接触面２１ｂと接触すれば、下部ベース２１のたわみ量を低減できる。つまり、押付部材１０Ｂは、押付手段を備えなくてもよい。但し、押付部材１０Ｂが、押付手段を備える方が、下部ベース２１の剛性は向上する。よって、先端工具案内装置２は、前記たわみやずれに起因する先端工具５０の処理面１０３からの浮き上がりをより好適に抑制できる。

下部ベース２１が、水室仕切板１０６と押付部材１０Ｂとによって拘束されると、下部ベース２１は、外部から力が働いたときの底面部１０４からの相対的な移動量が低減されると共に、下部ベース２１の剛性も向上する。これにより、先端工具案内装置２は、下部ベース２１のたわみ及びねじれ及びずれを抑制できる。よって、先端工具案内装置２は、先端工具５０と処理面１０３との隙間にずれが生じるおそれ、つまり先端工具５０が処理面１０３から浮き上がるおそれを抑制できる。

さらに、ホールドダウンリング１０７は、一般的に水室１００の天井部１０５よりも旋回支持部２０近傍に位置するため、本実施形態に係る押付部材１０Ｂは、実施形態１に係る押付部材１０Ａよりも小型化できる。これにより、先端工具案内装置２の設置作業をより迅速化できる。

なお、実施形態１に係る押付部材１０Ａ及び本実施形態に係る押付部材１０Ｂは、静止構造部材間で突っ張る点で共通する。上述の実施形態で、前記静止構造部材を天井部１０５及び水室仕切板１０６と、ホールドダウンリング１０７及び水室仕切板１０６とを例にあげて説明したが、本実施形態はこれに限定されない。水室１００内に存在する静止構造部材であれば、押付部材１０Ａ及び押付部材１０Ｂは、いかなる部材間に設けられてもよい。

（実施形態３）
図６は、実施形態３に係る先端工具案内装置の全体を示す斜視図である。上述の実施形態に係る先端工具案内装置は、押付部材によって下部ベース２１を拘束したが、本実施形態に係る先端工具案内装置３の補強部材１０Ｃは、補強部材によってスライドテーブル３０を拘束する点に特徴がある。なお、上述の実施形態と同一の効果を奏する構成には、同一の符号を付す。また、上述の実施形態と同一の構成及び効果は説明を省略する。

ここで、上述したように、旋回支持部２０と、スライドテーブル３０と、スライドテーブル支持部３４とが存在する面と直交する方向の反力、つまり旋回支持部２０が旋回する方向の反力に対する先端工具案内装置３の剛性は、比較的低い。よって、本実施形態に係る先端工具案内装置３は、図６に示すように、旋回支持部２０が旋回する方向の力に対する補強機能を有する補強部材１０Ｃを有する。

補強部材１０Ｃは、例えばスライドテーブル３０のテーブル部３１に設けられる。なお、本実施形態はこれに限定されず、例えば、補強部材１０Ｃは、スライドテーブル３０のスライドテーブル支持部３４に設けられてもよい。補強部材１０Ｃは、旋回支持部２０の旋回軸ＴＬから所定の距離を有する部位に設けられればよい。このとき、前記所定の距離は大きければ大きいほど、補強部材１０Ｃが負担できる旋回支持部２０の旋回軸ＴＬに働く外部からのモーメントの大きさが向上する。

また、本実施形態では、補強部材１０Ｃは、例えば略正ハの字形状になるように旋回軸ＴＬを含む仮想面に対して面対称に２つ設けられる。なお、正ハの字とは、２つの補強部材１０Ｃの端部のうち、ホールドダウンリング１０７側のそれぞれの端部であるホールドダウンリング側端部１０Ｃｂ間の距離が、スライドテーブル３０側のそれぞれの端部であるスライドテーブル側端部１０Ｃａ間の距離よりも大きい状態をいう。つまり、正ハの字とは、スライドテーブル側端部１０Ｃａからホールドダウンリング側端部１０Ｃｂに向かう程、互いの補強部材１０Ｃ間の距離が広がる状態をいう。

なお、本実施形態はこれに限定されず、例えば、補強部材１０Ｃは、互いに対向するように直線状に設けられてもよい。また、補強部材１０Ｃの設置個数は、２つに限定されない。

例えば、補強部材１０Ｃの設置個数は、２つ以上でもよいし、１つでもよい。但し、補強部材１０Ｃを１つ設けた場合、補強部材１０Ｃが負担する力は、旋回支持部２０が旋回する方向の反力のうち一方の反力のみとなる。また、補強部材１０Ｃを３つ以上設けた場合、先端工具案内装置３の大型化のおそれがある。よって、補強部材１０Ｃは、２つ設けられると、先端工具案内装置３の補強効果と先端工具案内装置３の大型化のおそれの抑制とを両立できる。

補強部材１０Ｃの一方の端部をスライドテーブル側端部１０Ｃａとし、他方の端部をホールドダウンリング側端部１０Ｃｂとする。スライドテーブル側端部１０Ｃａは、回動軸ＲＬ０４を軸としてスライドテーブル３０に対して回動できるようにスライドテーブル３０のテーブル部３１に連結される。このとき、回動軸ＲＬ０４は、スライドテーブル３０の長手方向と直交する線に対して所定の角度を有する。これにより、２つの補強部材１０Ｃは略正ハの字形状になるように回動する。

なお、略正ハの字形状とは、補強部材１０Ｃのホールドダウンリング側端部１０Ｃｂがホールドダウンリング１０７と接触する状態のときに、スライドテーブル側端部１０Ｃａからホールドダウンリング側端部１０Ｃｂに向かう程、補強部材１０Ｃが互いに開く形状をいう。

ホールドダウンリング側端部１０Ｃｂは、スライドテーブル側端部１０Ｃａがスライドテーブル３０に対して回動することで、ホールドダウンリング１０７と接触する。ホールドダウンリング側端部１０Ｃｂのホールドダウンリング１０７と接触する部位は、摩擦抵抗が比較的大きい部材によって形成されると好ましい。また、ホールドダウンリング側端部１０Ｃｂのホールドダウンリング１０７と接触する部位は、吸盤や磁石等の吸着手段を有して構成されてもよい。これにより、ホールドダウンリング側端部１０Ｃｂが、ホールドダウンリング１０７の表面で滑るおそれを抑制できる。

補強部材１０Ｃのホールドダウンリング側端部１０Ｃｂがホールドダウンリング１０７と接触している際に、補強部材１０Ｃに旋回方向の力や旋回軸ＴＬと直交する方向の力が働くと、前記補強部材１０Ｃは、ホールドダウンリング側端部１０Ｃｂがホールドダウンリング１０７側に押し付けられる方向に回動しようとする。

しかしながら、ホールドダウンリング側端部１０Ｃｂは、ホールドダウンリング１０７に接触している。よって、補強部材１０Ｃの回動を規制するストッパを備えなくても補強部材１０Ｃの回動を規制できる。なお、補強部材１０Ｃは、補強部材１０Ｃの回動を規制するストッパを備えてもよい。

上記構成により、先端工具５０を処理面１０３に押し付けるときに生じる、旋回支持部２０が旋回する方向の反力を補強部材１０Ｃが受ける。これにより、補強部材１０Ｃが設けられるスライドテーブル３０のねじれが拘束される。結果として、先端工具案内装置３の旋回支持部２０が旋回する方向の反力に対する剛性が向上する。よって、先端工具案内装置３は、先端工具５０と処理面１０３との隙間にずれが生じるおそれ、つまり先端工具５０が処理面１０３から浮き上がるおそれを抑制できる。

図７は、実施形態３に係る補強部材の収納の様子を示す斜視図である。上述のように、補強部材１０Ｃのスライドテーブル側端部１０Ｃａは、回動軸ＲＬ０４を軸としてスライドテーブル３０に対して回動できる。よって、旋回支持部２０が旋回する際や、先端工具案内装置３の設置作業員による設置作業などの際に、補強部材１０Ｃを図７に示すようにスライドテーブル３０と隣接するように収納できる。これにより、先端工具案内装置３は、先端工具案内装置３の設置作業員による設置及び撤去作業を簡素化、つまり迅速化できる。

なお、本実施形態に係る補強部材１０Ｃは、スライドテーブル側端部１０Ｃａに電動モータを備えてもよい。図１に示す制御装置６０が、前記電動モータを制御することで、自動で必要なときに補強部材１０Ｃによって先端工具案内装置３を補強できる。

また、本実施形態に係る補強部材１０Ｃは、回動軸ＲＬ０４を軸としてスライドテーブル３０に対して回動するものとして説明したが、本実施形態はこれに限定されない。本実施形態に係る補強部材１０Ｃは、補強部材１０Ｃのスライドテーブル側端部１０Ｃａがスライドテーブル３０に対して着脱できるように構成されてもよい。

以上のように、本実施形態に係る先端工具案内装置は、蒸気発生器の水室内に設けられるのに有用であり、特に、先端工具の処理面からの浮き上がりを抑制するのに適する。

実施形態１に係る先端工具案内装置を模式的に示す斜視図である。 実施形態１に係る先端工具を示す模式図である。 実施形態１に係る先端工具案内装置の全体を示す斜視図である。 実施形態１に係る下部ベースと押付部材の下部ベース側端部を拡大して模式的に示す断面図である。 実施形態２に係る先端工具案内装置の全体を示す斜視図である。 実施形態３に係る先端工具案内装置の全体を示す斜視図である。 実施形態３に係る補強部材の収納の様子を示す斜視図である。

符号の説明

１、２、３ 先端工具案内装置
１０Ａ 押付部材
１０Ａａ 下部ベース側端部
１０Ａｂ 天井面側端部
１０Ｂ 押付部材
１０Ｂａ 下部ベース側端部
１０Ｂｂ ホールドダウンリング側端部
１０Ｂｃ 嵌合部
１０Ｃ 補強部材
１１Ｃａ スライドテーブル側端部
１１Ｃｂ ホールドダウンリング側端部
１１Ａ 押付シリンダ
１１Ｂ ジャッキボルト
２０ 旋回支持部
２１ 下部ベース
２１ａ 水室仕切板側接触面
２１ｂ 押付部材側接触面
２２ 旋回部
２３ 上部支持部
３０ スライドテーブル
３１ テーブル部
３１ａ 旋回支持部側端部
３１ｂ スライドテーブル支持部側端部
３２ スライド部
３３ 第１ツールチェンジャ
３４ スライドテーブル支持部
３４ａ スライドテーブル側端部
３４ｂ 旋回支持部側端部
４０ マニピュレータ
４０ａ スライドテーブル側端部
４０ｂ 先端工具側端部
４１ 第２ツールチェンジャ
５０ 先端工具
５１ 工具本体
５２ マニピュレータ取付部
５３ ショット射出口
５４ 全方向転動ローラ
５５ エアシリンダ
５６ 第１保持部材
５６ａ 第１回動連結部材
５７ 第２保持部材
５７ａ 第２回動連結部材
５８ 第３保持部材
５８ａ 第３回動連結部材
６０ 制御装置
１００ 水室
１０１ 管台
１０２ 円筒管
１０３ 処理面
１０４ 底面部
１０５ 天井部
１０６ 水室仕切板
１０７ ホールドダウンリング
１０７ａ 固定爪
ＲＬ０１ 第１回動軸
ＲＬ０２ 第２回動軸
ＲＬ０３ 第３回動軸
ＲＬ０４ 回動軸
ＴＬ 旋回軸
ＶＬ０１ 仮想線
ＶＬ０２ 仮想線

Claims (10)

1. 蒸気発生器の水室内に設けられている静止構造部材を押し付けて突っ張ることで前記水室内に支持されると共に、旋回軸を軸として旋回する旋回支持部と、
   前記旋回支持部に可動部材を介して連結され、対象とする処理面に処理を施す先端工具と、
   前記旋回支持部に働く力であって、前記旋回支持部の旋回方向に働く前記力に対抗するように前記旋回支持部を補強すると共に前記水室内に設けられる補強部材と、
   を備えることを特徴とする先端工具案内装置。
2. 前記水室を構成する静止構造部材は、互いに対向し合う天井部と底面部であり、前記旋回支持部は前記天井部と前記底面部とを前記旋回軸上に存在する土台部材を介して押し付けて突っ張ることで前記旋回支持部は前記水室内に支持され、前記土台部材は、前記水室内の静止構造部材と前記補強部材とで挟んで固定されることを特徴とする請求項１に記載の先端工具案内装置。
3. 前記補強部材は、前記補強部材の長手方向に伸縮する押付手段を有し、前記補強部材の一方の端部と前記天井部との間に働く摩擦力が前記補強部材の一方の端部に働く前記天井部に沿う方向の力よりも大きい状態で前記補強部材の一方の端部が前記天井部に対し接触すると共に、他方の端部が前記土台部材の一方の側面に対して垂直に接触し、前記土台部材の前記一方の側面と対向する前記土台部材の側面は、前記水室を区分けする静止構造部材の水室仕切板に接触することを特徴とする請求項２に記載の先端工具案内装置。
4. 前記水室内に設けられているホールドダウンリングに蓋部材を固定する固定爪は前記静止構造部材であり、前記土台部材の一方の側面は、前記水室を区分けする水室仕切板に接触し、前記補強部材は、一方の端部が前記固定爪に嵌め合わされると共に他方の端部が前記土台部材の一方の側面とは反対側の側面に対して前記水室仕切板側に向かって接触することを特徴とする請求項２に記載の先端工具案内装置。
5. 前記補強部材は、前記補強部材の長手方向に伸縮する押付手段を有することを特徴とする請求項４に記載の先端工具案内装置。
6. 前記補強部材は、前記旋回支持部の前記旋回軸から所定の距離を有すると共に前記旋回支持部に連結される部位に設けられ、前記旋回支持部の前記旋回軸を含む仮想の面に対して所定の角度を有して端部が前記静止構造部材に接触することを特徴とする請求項１に記載の先端工具案内装置。
7. 前記補強部材は複数設けられ、前記複数の補強部材は前記旋回支持部の前記旋回軸を含む仮想の面に対して面対称な状態で前記端部が前記静止構造部材に接触することを特徴とする請求項６に記載の先端工具案内装置。
8. 前記補強部材は２つ設けられ、前記２つの補強部材の端部のうち、前記静止構造部材側のそれぞれの端部間の距離は、前記旋回支持部の前記旋回軸側のそれぞれの端部間の距離よりも大きいことを特徴とする請求項６または請求項７に記載の先端工具案内装置。
9. 前記補強部材は、前記旋回支持部の前記旋回軸から所定の距離を有すると共に前記旋回支持部に連結される前記部位に対して回動できるように支持されることを特徴とする請求項６から請求項８のいずれか一項に記載の先端工具案内装置。
10. 前記旋回支持部に連結されるテーブル部と、
    前記テーブル部上をスライド移動すると共に前記先端工具を前記処理面に誘導するマニピュレータが装着されるスライド部と、
    から構成されるスライドテーブルを備え、前記補強部材は、前記旋回支持部の旋回軸から所定の距離を有する部位である前記スライドテーブルに設けられることを特徴とする請求項６から請求項９のいずれか一項に記載の先端工具案内装置。

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