JP5467472B2 - シャフト型リニアモータの位置検出装置 - Google Patents

Description

本発明は、可動子をシャフトに沿って直線的に駆動させるシャフト型リニアモータの位置検出装置に関する。

近年、直線駆動する電気アクチュエータとしてシャフト型リニアモータが注目されている。シャフト型リニアモータは、複数の棒状磁石が直列状に配列されたシャフトと、該シャフトにスライド自在に外嵌する可動子とを備え、該可動子の内周部に設けられるコイルの励磁によって、可動子を直線的に駆動させる。このような構成によれば、コギングや速度ムラが少ないので、様々な分野での応用が検討されている。

シャフト型リニアモータを位置決め制御する場合は、通常、可動子の位置を検出するための位置検出装置が別途付加されている。この種の位置検出装置としては、リニアスケール（リニアエンコーダ）が一般的であるが、リニアスケールは高価であるため、システム全体のコストアップを招き、シャフト型リニアモータの用途が制限されるという問題があった。また、リニアスケールを付加すると、シャフト型リニアモータの周辺が大型化するので、コンパクト化が求められる分野での利用が制限されていた。

そこで、本出願人は、リニアスケールが不要なシャフト型リニアモータの位置検出装置を提案した（特許文献１参照）。このシャフト型リニアモータの位置検出装置は、可動子に設けられる磁気センサと、磁気センサが検出したシャフトの磁束に基づいて可動子の位置を検出する位置検出手段と、予め作成された補正データテーブルを用いて、可動子の検出位置を補正する検出位置補正手段とを備えるものであって、シャフトの磁束に基づいて可動子の位置検出を行うものでありながら、シャフトの磁石長や磁束密度のバラツキに起因する誤差も解消し、良好な位置検出精度が得られるようになっている。

しかしながら、予め作成された補正データテーブルを用いて、可動子の検出位置を補正するには、可動子の原点位置を認識し、補正データテーブルとの同期化を行う必要があるが、従来では、可動子を機械原点であるシャフト端に手動で移動し、ここで電源投入を行うことで、補正データテーブルとの同期化を行っていたため、使い勝手が問題となっていた。また、手動で行われる機械原点への可動子移動は、必ずしも正確に行われるという保証はなく、仮に機械原点以外で同期化が行われた場合には、位置検出精度が著しく低下してしまうという問題があった。
特開２００７−１４３２２６号公報

本発明は、上記の如き問題点を一掃すべく創案されたものであって、予め作成された補正データテーブルを用いて、可動子の検出位置を補正するにあたり、補正データテーブルとの同期化を容易にして、使い勝手の向上が図れるだけでなく、原点位置以外で同期化が行われることを防止し、誤った同期化による位置検出精度の低下を回避できるシャフト型リニアモータの位置検出装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために本発明のシャフト型リニアモータの位置検出装置は、複数の棒状磁石が直列状に配列されたシャフトと、該シャフトにスライド自在に設けられる可動子とを備え、該可動子の内周部に設けられるコイルの励磁によって、可動子を直線的に駆動させるシャフト型リニアモータの位置検出装置であって、前記可動子に設けられる磁気センサと、磁気センサが検出したシャフトの磁束に基づいて可動子の位置を検出する位置検出手段と、予め作成された補正データテーブルを用いて、可動子の検出位置を補正する検出位置補正手段と、可動子の原点位置を認識し、補正データテーブルとの同期化を行う補正同期手段とを備え、前記原点位置は、予め作成された原点データに基づいて特定される電気原点であり、前記補正データテーブルは、リニアスケールを用いて、シャフトの一端から他端まで可動子を移動させながら実際位置を測定しつつ、磁気センサのアナログデータから演算されるカウンタの値をテーブルＮｏ．とし、これにアナログデータを補正データとして保存することにより作成し、前記補正同期手段は、磁気センサの検出信号から得られる検出データが原点データに一致したとき、現在の可動子位置を原点位置として認識し、前記検出位置補正手段は、磁気センサのアナログデータから演算される補正前検出位置となるカウンタの値を前記テーブルＮｏ．として補正データを読み出すことで、前記補正データテーブルによって可動子の検出位置を補正することを特徴とする。

本発明は、上記のように構成したことにより、予め作成された補正データテーブルを用いて、可動子の検出位置を補正するにあたり、補正データテーブルは、リニアスケールを用いて測定した可動子の実際位置データによって、磁気センサのアナログデータから演算される補正前検出位置となるカウンタの値をもつテーブルＮｏ．の補正データを読み出して使用することがてきるように作成されているので、シャフト型リニアモータを実際に使用する際には、高価なリニアスケールを必要とすることがなく、しかも、補正データテーブルとの同期化を容易かつ自動的に行うことを可能にして、使い勝手の向上が図れるだけでなく、原点位置以外で同期化が行われることを防止し、単純にシャフトの磁束を磁気センサで検出し、二相のアナログ信号として取り出して可動子の位置を演算した場合の、アナログ信号の波形の歪みや、シャフトの磁石長や磁束密度のバラツキに起因して、良好な位置検出精度が得られずに、誤った同期化による位置検出精度の低下を回避できる。

以下、本発明の実施の形態を好適な実施の形態として例示するシャフト型リニアモータの位置検出装置を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態に係るシャフト型リニアモータの斜視図である。この図に示すように、シャフト型リニアモータ１は、複数の棒状磁石２ａが直列状に配列されたシャフト２と、該シャフト２にスライド自在に外嵌する可動子３とを備え、該可動子３の内周部に設けられるコイル（図示せず）の励磁により、可動子３を直線的に駆動させる。このようなシャフト型リニアモータ１を位置決め制御する場合は、可動子３の位置を検出するための位置検出装置４が付加される。本発明に係る位置検出装置４は、可動子３に設けられる磁気センサＳを備えて構成され、該磁気センサＳが検出するシャフト２の磁束変化に基づいて可動子３の位置検出を行う。なお、シャフト２と可動子３との配設構成は、本実施例に限定されず、凹凸嵌合状態で外嵌される構成は勿論、単に対面配設した構成であっても良い。

図２は、本発明の実施形態に係るシャフト型リニアモータの位置検出装置に適用される位置検出方式の概念を示すブロック図である。この図に示すように、本発明の実施形態に係る位置検出装置４の位置検出方式は、シャフト２の軸心方向に所定の間隔を存して配列される複数（例えば４つ）の磁気センサＳ０〜Ｓ３を用い、各磁気センサＳ０〜Ｓ３の出力にそれぞれ所定の重み係数を乗じて加算することにより二相のアナログ信号（正弦波）を得る。重み係数演算及び加算演算をオペアンプ回路で行った場合、きわめて簡単な回路構成で二相のアナログ信号（Ａ相、Ｂ相の直交信号）が得られる。

単純にシャフト２の磁束を磁気センサＳで検出し、二相のアナログ信号として取り出して可動子３の位置を演算した場合、アナログ信号の波形の歪み、シャフト２の磁石長や磁束密度のバラツキに起因し、良好な位置検出精度が得られない可能性がある。そのため、位置検出装置４は、予め作成された補正データテーブルを用いて、可動子３の検出位置を補正するようになっている。

予め作成された補正データテーブルを用いて、可動子３の検出位置を補正するには、可動子３の原点位置を認識し、補正データテーブルとの同期化を行う必要がある。従来では、可動子３を機械原点であるシャフト端に手動で移動し、ここで電源投入を行うことで、補正データテーブルとの同期化を行っており、使い勝手に問題があった。また、手動で行われる機械原点への可動子移動は、必ずしも正確に行われるという保証はなく、仮に機械原点以外で同期化が行われた場合には、位置検出精度が著しく低下してしまう可能性があった。

そこで、位置検出装置４は、可動子３の原点位置を、予め作成された原点データ（原点データテーブル）に基づいて特定される電気原点とし、磁気センサＳの検出信号から得られる検出データが原点データに一致したとき、現在の可動子位置を原点位置として認識するようにしてある。したがって、電源投入後、電気原点位置を通過するように可動子３を駆動させるだけで、可動子３の原点位置が認識され、補正データテーブルとの同期化を自動的に行うことが可能になる。

原点データには、原点位置において磁気センサＳから得られる複数のアナログ信号の極性と、複数のアナログ信号から演算される演算結果データとが含まれることが好ましい。このようにすると、電源投入後又は所定信号の入力後、磁気センサＳから得られる複数のアナログ信号の極性と、複数のアナログ信号から演算される演算結果データとが原点データに一致したとき、現在の可動子位置を原点位置として認識することができる。

さらに好ましくは、可動子３に、３相モータを構成する複数のコイル（図示せず）と、そのコイルピッチで配置され、シャフト２の磁極位置を検出する複数のホールセンサＨとを備えており、原点データには、原点位置において磁気センサＳから得られる複数のアナログ信号の極性と、複数のアナログ信号から演算される演算結果データと原点位置において複数のホールセンサＨから得られる磁極位置検出信号の組み合わせパターンとが含まれるようにする。このようにすると、電源投入後又は所定信号の入力後、磁気センサＳから得られる複数のアナログ信号の極性と、複数のアナログ信号から演算される演算結果データと、複数のホールセンサＨから得られる磁極位置検出信号の組み合わせパターンとが原点データに一致したとき、現在の可動子位置を原点位置として認識することができる。

つぎに、本発明の実施形態に係る位置検出装置４の具体的な構成について、図３を参照して説明する。図３は、本発明の実施形態に係るシャフト型リニアモータの位置検出装置の構成を示すブロック図である。この図に示すように、シャフト型リニアモータ１の位置検出装置４は、センサボード５とインタポレータボード６を備えて構成されている。センサボード５には、複数の磁気センサＳと、磁気センサＳの検出信号を増幅するアンプ回路７と、複数のホールセンサＨが設けられている。

インタポレータボード６には、アンプ回路８、ＡＤコンバータ９、ＡＤデータ読み出し部１０、位置演算カウンタＣＮＴ１、分解能設定部１１、補正データ設定部１２、補正データテーブル１３、位置演算カウンタＣＮＴ２、ＡＢ相出力回路１４、ＡＢＺ出力Ｉ／Ｆ１５、原点検出演算回路１６、原点データテーブル１７、原点入出力Ｉ／Ｆ１８及びＵＶＷ出力Ｉ／Ｆ１９が設けられている。なお、本実施形態では、特許請求の範囲に記載した位置検出手段が位置演算カウンタＣＮＴ１、検出位置補正手段が補正データ設定部１２及び位置演算カウンタＣＮＴ２、補正同期手段が原点検出演算回路１６に相当する。

アンプ回路８は、磁気センサＳの検出信号から得られる二相のアナログ信号１、２を増幅し、ＡＤコンバータ９は、増幅された二相のアナログ信号１、２をデジタル信号（アナログ信号データ１、２）に変換し、ＡＤデータ読み出し部１０は、変換されたアナログ信号データ１、２を位置演算カウンタＣＮＴ１、補正データ設定部１２及び原点位置演算回路１６に入力する。位置演算カウンタＣＮＴ１（カウンタ１）は、デジタル変換されたアナログ信号データ１、２から可動子３の検出位置（補正前検出位置）を演算する。分解能設定部１１は、デジスイッチ設定に応じて位置検出の分解能を切換える。補正データ設定部１２は、補正データテーブル１３を用いて、位置演算カウンタＣＮＴ１（カウンタ１）の値をアナログ信号データ１Ａ、２Ｂに補正変換する。位置演算カウンタＣＮＴ２（カウンタ２）は、補正変換されたアナログ信号データ１Ａ、２Ｂから可動子３の検出位置（補正後検出位置）を演算する。ＡＢ相出力回路１４は、位置演算カウンタＣＮＴ２（カウンタ２）から９０°位相差のＡＢ相矩形波信号（位置検出信号）を生成し、ＡＢＺ出力Ｉ／Ｆ１５を介して外部に出力する。原点検出演算回路１６は、アナログ信号データ１、２やホールセンサＨの信号を入力すると共に、原点データテーブル１７を参照して電気原点を認識して、原点入出力Ｉ／Ｆ１８を介して原点検出信号を外部に出力する。ＵＶＷ出力Ｉ／Ｆ１９は、ホールセンサＨの検出信号を外部に出力するインタフェースである。

つぎに、前述した検出位置補正手段の具体的な補正方法について、図４を参照して説明する。

最初に、可動子３の実際位置データを測定する。この測定は、シャフト型リニアモータ１にリニアスケール（リニアエンコーダ）を連結してサーボ制御を行い、シャフト２の一端（機械原点）から他端まで可動子３を一定速度で移動させながら、アナログ信号１、２のデータと、そのデータを演算して作成したカウンタ１の値をラッチして、不揮発性メモリに保存する（図４の表１参照）。

つぎに、測定値から補正データテーブル（図４の表２参照）を作成する。この補正データテーブルは、カウンタ１の値を補正データテーブルのＮｏ．とし、補正データ（アナログ信号データ１Ａ、２Ａ）を読み出すためのものである。例えば、テーブルＮｏ．８に入れる値の決め方について説明すると、表１から、カウンタ１＝８のときには、現在位置が１０（同じ値がある場合には小さい方の値を取る）になる必要があるので、カウンタ１＝１０となるアナログ信号データ１、２（−６４、１４６９）をテーブルＮｏ．８に入れる。また、テーブルＮｏ．９に入れる値の決め方について説明すると、表１から、カウンタ１＝９のときには、現在位置が１２になる必要があるので、カウンタ１＝１２となるアナログ信号データ１、２（−８０、１４６０）をテーブルＮｏ．９に入れる。同様にして全補正データテーブルを作成する。

シャフト型リニアモータ１を実際に使用する際には、リニアスケールが外されており、補正データテーブルは以下の手順で使用される。まず、磁気センサＳで測定したアナログ信号データ１、２の値を演算処理してカウンタ１を作成する。つぎに、カウンタ１の値をテーブルＮｏ．として、補正データテーブルからアナログ信号データ１Ａ、２Ａを読み出し、再度演算処理してカウンタ２を作成する。カウンタ２の下位２ビットを利用して、９０度位相差のＡＢ相信号を作成する。このＡＢ相信号を利用することにより、精度良い位置制御が可能となる。
なお、カウンタ値を直接転送（高速シリアル通信等）できるドライバを作成すれば、補正データテーブルには、カウンタ２の値を書き込んで、再度の演算処理を省略することができる。

つぎに、前述した補正同期手段の具体的な補正同期方法について、図５を参照して説明する。

最初に、原点位置データを測定する。この測定は、シャフト型リニアモータ１にリニアスケール（リニアエンコーダ）を連結してサーボ制御を行い、シャフト２の一端（機械原点）から原点位置（電気原点：原点位置は任意に設定可能）まで可動子３を一定速度で移動させ、原点位置１と原点位置２（原点位置１＋分解能単位）において、アナログ信号データ１、２と、そのデータを演算して作成したカウンタ１の値と、磁極位置検出信号（Ｐｕｖｗ）をラッチする。そして、アナログ信号データ１、２を演算（Cａｌｚ=Ａｎ１*1000/Ａｎ２）し、これらの値を原点データテーブルとして、不揮発性メモリに保存する（図５の表１参照）。

シャフト型リニアモータ１を実際に使用する際には、リニアスケールが外されており、補正データテーブルとの同期化は以下の手順で行われる。まず、電源投入後、原点位置１、２の方向に可動子３を移動させる。このとき、アナログ信号データ１、２（An1，Ａｎ2）と磁極位置検出信号(Ｐuvw）の読み出し、アナログ信号の演算（Ｃalz値）を定期的に行う。そして、測定した値が、下記の３つ条件に一致したとき、原点位置であると認識し、カウンタ１に原点データテーブルのカウンタ１(ｐAB_tb)の値を代入する。これで同期化が完了し、以降は、その位置を電気原点（Ｚ相位置）として利用することができる。
条件１．測定したアナログ信号データ１、２（An1，Ａｎ2）の値の極性が、原点データテーブル（Ａｎ1_tb，Ａｎ2_tb）の極性と一致する。
条件２．磁極位置検出信号(Ｐuvw)の値が、原点データテーブルの値（Ｐｕｖｗ_tb）と一致する。
条件３．原点データテーブル最小値（Ｃａｌz_mｉｎ）＜アナログ信号の演算値（Ｃalz）＜原点データテーブル最大値（Ｃａｌz_max）を満たす。

つぎに、上記の条件２について、詳細に説明する。例えば、二相のアナログ信号１、２がシャフト２の磁束を直接検出した信号の空間高調波を利用して５逓倍にした信号であり、モータ磁石のＮ−Ｎ間が６０ｍｍピッチの場合、アナログ信号の周期は１２ｍｍピッチになる。つまり、原点位置を認識するのに、二相のアナログ信号１、２だけを演算して実測値と比較した場合、１２ｍｍピッチで一致してしまう場所が発生する可能性がある。一方、磁極位置検出信号（Ｐｕｖｗ）は、モータを駆動するために、３相モータのコイルピッチ（20ｍｍ）にホールセンサＨを配置して磁束を直接検出したデジタル信号であり、例えば、モータ磁石のＮ−Ｎ間で図６に示すような６つの磁極検出パターンが生成される。この磁極位置検出信号（Ｐｕ,Ｐｖ,Ｐｗ）を利用（ＡＮＤをとる）することにより、原点位置の認識箇所１２ｍｍピッチを６０ｍｍピッチに広げることができる。

なお、磁極位置検出信号（Ｐｕ,Ｐｖ,Ｐｗ）を利用することにより、原点位置の認識箇所１２ｍｍピッチを６０ｍｍピッチにすることが可能であるが、例えば、可動範囲が３００ｍｍのものであれば、６０ｍｍピッチごと（全部で５箇所）に一致箇所が発生してしまう（補正データを正しく使えるのは１箇所のみ）。そこで、回路的には、機械原点信号(ＯＲＧ)入力ＯＮ後の最初の一致箇所を原点位置と認識するようにしてある。例えば、軸端のエンドリミット信号をＯＲＧ信号とし、正しい一致位置を軸端からの最初の位置におけば、軸端のエンドリミット信号ＯＮ後、可動子３を逆方向に戻すことにより、最初の一致位置を原点位置として認識することができる。

叙述の如く構成された本発明の実施の形態において、複数の棒状磁石２ａが直列状に配列されたシャフト２と、該シャフト２にスライド自在に外嵌する可動子３とを備え、該可動子３の内周部に設けられるコイルの励磁によって、可動子３を直線的に駆動させるシャフト型リニアモータ１の位置検出装置４であって、可動子３に設けられる磁気センサＳと、磁気センサＳが検出したシャフト２の磁束に基づいて可動子３の位置を検出すると共に、予め作成された補正データテーブル１３を用いて、可動子３の検出位置を補正するにあたり、可動子３の原点位置を認識し、補正データテーブル１３との同期化を行う必要があるが、原点位置は、予め作成された原点データに基づいて特定される電気原点とし、補正データテーブル１３は、リニアスケールを用いて、シャフト２の一端から他端まで可動子３を一定速度で移動させながら、可動子３の実際位置データを測定し、磁気センサＳのアナログデータから演算されるカウンタ１の値をテーブルＮｏ．とし、これにアナログデータを補正データ（アナログ信号データ１Ａ、２Ａ）として保存することにより作成し、補正同期手段（原点検出演算回路１６）は、磁気センサＳの検出信号から得られる検出データが原点データに一致したとき、現在の可動子位置を原点位置として認識し、検出位置補正手段（補正データ設定部１２及び位置演算カウンタ２）は、磁気センサＳのアナログデータから演算されるカウンタ１の値をテーブルＮｏ．として補正データ（アナログ信号データ１Ａ、２Ａ）を読み出すことで、補正データテーブル１３によって可動子３の検出位置を補正するように構成されている。
そのため、予め作成された補正データテーブル１３を用いて、可動子３の検出位置を補正するものでありながら、補正データテーブル１３は、リニアスケールを用いて測定した可動子３の実際位置データによって、磁気センサＳのアナログデータから演算される補正前検出位置となるカウンタ１の値をもつテーブルＮｏ．の補正データ（アナログ信号データ１Ａ、２Ａ）を読み出して使用することがてきるように作成されているので、シャフト型リニアモータ１を実際に使用する際には、高価なリニアスケールを必要とすることがなく、可動子３を機械原点であるシャフト端に手動で移動し、ここで電源投入を行うことで、補正データテーブルとの同期化を行っていた従来に比べ、補正データテーブル１３との同期化を容易かつ自動的に行うことを可能にして、使い勝手の向上が図れる。しかも、原点位置以外で同期化が行われることを防止できるので、単純にシャフト２の磁束を磁気センサＳで検出し、二相のアナログ信号として取り出して可動子３の位置を演算した場合の、アナログ信号の波形の歪みや、シャフト２の磁石長や磁束密度のバラツキに起因して、良好な位置検出精度が得られずに、誤った同期化による位置検出精度の低下も回避することができる。

また、原点データには、原点位置において磁気センサＳから得られる複数のアナログ信号の極性と、複数のアナログ信号から演算される演算結果データとが含まれているので、電源投入後又は所定信号の入力後、磁気センサＳから得られる複数のアナログ信号の極性と、複数のアナログ信号から演算される演算結果データとが原点データに一致したとき、現在の可動子位置を原点位置として認識することができる。

またさらに、可動子３に、３相モータを構成する複数のコイル（図示せず）と、そのコイルピッチで配置され、シャフトＳの磁極位置を検出する複数のホールセンサＨとを備えており、原点データには、原点位置において磁気センサＳから得られる複数のアナログ信号の極性と、複数のアナログ信号から演算される演算結果データと原点位置において複数のホールセンサＨから得られる磁極位置検出信号の組み合わせパターンとが含まれるので、電源投入後又は所定信号の入力後、磁気センサＳから得られる複数のアナログ信号の極性と、複数のアナログ信号から演算される演算結果データと、複数のホールセンサＨから得られる磁極位置検出信号の組み合わせパターンとが原点データに一致したとき、現在の可動子位置を原点位置として認識することができる。

本発明の実施形態に係るシャフト型リニアモータの斜視図である。 本発明の実施形態に係るシャフト型リニアモータの位置検出装置に適用される位置検出方式の概念を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係るシャフト型リニアモータの位置検出装置の構成を示すブロック図である。 補正データテーブルの説明図である。 原点データテーブルの説明図である。 磁極位置検出信号の説明図である。

符号の説明

１ シャフト型リニアモータ
２ シャフト
２ａ 棒状磁石
３ 可動子
４ 位置検出装置
５ センサボード
６ インタポレータボード
７ アンプ回路
８ アンプ回路
９ ＡＤコンバータ
１０ ＡＤデータ読み出し部
１１ 分解能設定部
１２ 補正データ設定部
１３ 補正データテーブル
１４ ＡＢ相出力回路
１５ ＡＢＺ出力Ｉ／Ｆ
１６ 原点検出演算回路
１７ 原点データテーブル
１８ 原点入出力Ｉ／Ｆ
１９ ＵＶＷ出力Ｉ／Ｆ
ＣＮＴ１ 位置演算カウンタ
ＣＮＴ２ 位置演算カウンタ
Ｈ ホールセンサ
Ｓ 磁気センサ

Claims (3)

1. 複数の棒状磁石が直列状に配列されたシャフトと、該シャフトにスライド自在に設けられる可動子とを備え、該可動子の内周部に設けられるコイルの励磁によって、可動子を直線的に駆動させるシャフト型リニアモータの位置検出装置であって、
   前記可動子に設けられる磁気センサと、
   該磁気センサが検出したシャフトの磁束に基づいて可動子の位置を検出する位置検出手段と、
   予め作成された補正データテーブルを用いて、可動子の検出位置を補正する検出位置補正手段と、
   可動子の原点位置を認識し、補正データテーブルとの同期化を行う補正同期手段とを備え、
   前記原点位置は、予め作成された原点データに基づいて特定される電気原点であり、
   前記補正データテーブルは、リニアスケールを用いて、シャフトの一端から他端まで可動子を移動させながら実際位置を測定しつつ、磁気センサのアナログデータから演算されるカウンタの値をテーブルＮｏ．とし、これにアナログデータを補正データとして保存することにより作成し、
   前記補正同期手段は、磁気センサの検出信号から得られる検出データが原点データに一致したとき、現在の可動子位置を原点位置として認識し、
   前記検出位置補正手段は、磁気センサのアナログデータから演算される補正前検出位置となるカウンタの値を前記テーブルＮｏ．として補正データを読み出すことで、前記補正データテーブルによって可動子の検出位置を補正することを特徴とするシャフト型リニアモータの位置検出装置。
2. 前記原点データは、原点位置において磁気センサから得られる複数のアナログ信号の極性と、複数のアナログ信号から演算される演算結果データとを含み、
   前記補正同期手段は、電源投入後又は所定信号の入力後、磁気センサから得られる複数のアナログ信号の極性と、複数のアナログ信号から演算される演算結果データとが原点データに一致したとき、現在の可動子位置を原点位置として認識することを特徴とする請求項１記載のシャフト型リニアモータの位置検出装置。
3. 前記可動子は、３相モータを構成する複数のコイルと、コイルピッチで配置され、シャフトの磁極位置を検出する複数のホールセンサとをさらに備え、
   前記原点データは、原点位置において磁気センサから得られる複数のアナログ信号の極性と、複数のアナログ信号から演算される演算結果データと、
   原点位置において複数のホールセンサから得られる磁極位置検出信号の組み合わせパターンとを含み、
   前記補正同期手段は、電源投入後又は所定信号の入力後、磁気センサから得られる複数のアナログ信号の極性と、複数のアナログ信号から演算される演算結果データと、複数のホールセンサから得られる磁極位置検出信号の組み合わせパターンとが原点データに一致したとき、現在の可動子位置を原点位置として認識することを特徴とする請求項１又は２記載のシャフト型リニアモータの位置検出装置。