JP5565330B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5565330B2 JP5565330B2 JP2011014492A JP2011014492A JP5565330B2 JP 5565330 B2 JP5565330 B2 JP 5565330B2 JP 2011014492 A JP2011014492 A JP 2011014492A JP 2011014492 A JP2011014492 A JP 2011014492A JP 5565330 B2 JP5565330 B2 JP 5565330B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carriage
- wall
- path
- air
- side opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
Description
第4の発明では、搬送路(14)の上部に形成された給気口(11a)を通じて搬送路(14)へ流入した空気は、該搬送路(14)の下部に形成された排気口(11b)を通じて循環流路(26)へ流出する。これにより、空気は、搬送路(14)内を上から下へ向かって流れる。
また、上記第9の発明によれば、駆動機構(31)から発生した塵埃が搬送路(14)内で舞い上がるのを抑制できるため、搬送路(14)の清浄度を維持できる。
本実施形態に係るクリーンリフター(1)は、階の異なるクリーンルーム(C2,C3)間で被搬送物としての製品(A)を移動させるためのものである。本実施形態に係るクリーンリフター(1)では、製品(A)を、2階のクリーンルーム(C2)と3階のクリーンルーム(C3)との間で搬送できる。クリーンルーム(C2,C3)内は、HEPAフィルタ(High Efficiency Particulate Air フィルタ、図示省略)を通じて空気が循環されることにより、ISOクラス5程度の清浄度に保たれている。更に、クリーンルーム(C2,C3)内は、無菌状態での取扱が必要な薬品等を取り扱えるように、必要に応じて除菌が行われる。なお、ISOクラスとは、ISO(International Organization for Standardization、国際標準化機構)によって規定された、空気清浄度に関する規格である。
クリーンリフター(1)は、過酸化水素供給部(20)を更に備えている。過酸化水素供給部(20)は、除菌成分を含む除菌ガスを搬送路(14)及びキャリッジ(50)内へ供給する除菌機構を構成している。過酸化水素供給部(20)は、図3に示すように、過酸化水素発生器(21)と、過酸化水素供給路(22)とを備えている。過酸化水素供給部(20)は、循環流路(26)と繋がっている。
《清浄動作》
循環流路(26)に接続されるファン(27)が駆動されると、循環流路(26)内の空気が、該循環流路(26)の始端側から終端側へ向かって(図2及び図3の白抜き矢印方向へ向かって)搬送される。この空気は、給気側HEPAフィルタ(41)を通じてリフター本体(10)の搬送路(14)へ流入する。この際、空気に含まれる塵埃は、給気側HEPAフィルタ(41)によって除去されるため、搬送路(14)へは清浄化された空気が流入する。このように清浄化された空気は、搬送路(14)内を下方へ流れた後、排気側HEPAフィルタ(42)を通じて循環流路(26)へ戻される。その結果、搬送路(14)には、該搬送路(14)の上部から下部へ向かう空気の流れが形成されるため、搬送路(14)内の塵埃が舞い上がって搬送路(14)内で浮遊するのを抑制できる。搬送路(14)内の空気の清浄度は、ISOクラス7程度に保たれる。
過酸化水素発生器(21)が起動されると、過酸化水素水が、過酸化水素発生器(21)の供給部(21b)から生成部(21a)へ滴下される。滴下された過酸化水素水は、生成部(21a)で発生する熱風により微細化されて気化される。このように生成された過酸化水素ガスは、過酸化水素供給路(22)を通じて循環流路(26)へ流入する。このように循環流路(26)に供給された過酸化水素ガスは、循環流路(26)、搬送路(14)及びキャリッジ(50)内を流れる空気とともに、これら(13,26,50)の内部を流れる。そして、過酸化水素ガスは、空気中に含まれる菌と反応して菌を分解する。これにより、循環流路(26)、搬送路(14)及びキャリッジ(50)内が除菌される。
クリーンリフター(1)における搬送動作について、2階のクリーンルーム(C2)の製品(A)を3階のクリーンルーム(C3)へ搬送する場合を例として、図2及び図4から図6を用いて説明する。
以上のように、本実施形態に係るクリーンリフター(1)では、過酸化水素ガスでキャリッジ(50)内及び該キャリッジ(50)の搬送路(14)を除菌している。これにより、製品(A)の除菌状態を保ちつつ、該製品(A)を階の異なるクリーンルーム(C2,C3)間で搬送できる。また、本実施形態では、除菌ガスとして過酸化水素ガスを用いている。これにより、比較的毒性の強いホルマリンガス等を使用する必要がなくなり、比較的取扱の容易な過酸化水素を用いてキャリッジ(50)内及び搬送路(14)を除菌できる。
上記実施形態では、除菌ガスとして過酸化水素ガスを用いているが、この限りでなく、例えばホルマリンガス等、その他の除菌ガスを用いることもできる。
11a 給気口
11b 排気口
14 搬送路
15a 壁部側開口部
16 壁部側扉
19 押圧機構
20 過酸化水素供給部(除菌機構)
25 空気循環機構
26 循環流路
30 昇降機構
31 モータ(駆動機構)
41 給気側HEPAフィルタ(給気側フィルタ)
42 排気側HEPAフィルタ(排気側フィルタ)
45 筒状部材
50 キャリッジ
51a 出入用開口部
51b 給気側開口部
51c 排気側開口部
51 本体部
52 キャリッジ側扉
54 ファンフィルタユニット
54a ファン
54b HEPAフィルタ(キャリッジ側フィルタ)
57 プレート部
58a 空気の流路
A 製品(被搬送物)
C2,C3 クリーンルーム
Claims (9)
- 階の異なるクリーンルーム(C2,C3)間で被搬送物(A)を搬送するための搬送装置であって、
上方へ延びる搬送路(14)を内部に有する筒状に形成され、各階に対応する位置に壁部側開口部(15a,15a)が形成される筒状壁部(11)と、
前記壁部側開口部(15a)を開閉可能な壁部側扉(16)と、
内部に被搬送物(A)が収容される箱状に形成され前記搬送路(14)に配置される本体部(51)と、該本体部(51)に形成される出入用開口部(51a)を開閉可能なキャリッジ側扉(52)とを有するキャリッジ(50)と、
前記キャリッジ(50)を前記搬送路(14)内で昇降させる昇降機構(30)と、
前記キャリッジ(50)内及び前記搬送路(14)へ除菌成分を含む除菌ガスを供給するための除菌機構(20)と、
前記壁部側扉(16)及び前記キャリッジ側扉(52)が開放されると、外周が前記壁部側開口部(15a)及び前記出入用開口部(51a)の内周面全体に亘って当接しながら挿通される筒壁(45a)と、該筒壁(45a)の内周面によって形成され、前記キャリッジ(50)内とクリーンルーム(C2,C3)とを連通させる連通路(45b)とを有する筒状部材(45)と
を備えることを特徴とする搬送装置。 - 請求項1において、
前記除菌機構は、前記除菌ガスとしての過酸化水素ガスを前記キャリッジ(50)内及び前記搬送路(14)へ供給するための過酸化水素供給部(20)であることを特徴とする搬送装置。 - 請求項1又は2において、
流入端が前記搬送路(14)の排気口(11b)に接続され且つ流出端が前記搬送路(14)の給気口(11a)に接続される循環流路(26)を有し、前記搬送路(14)内の空気を循環させる空気循環機構(25)を備え、
前記キャリッジ(50)の本体部(51)には、前記搬送路(14)のうち前記給気口(11a)と連通する空間に向かって開口する給気側開口部(51b)と、前記搬送路(14)のうち前記排気口(11b)と連通する空間に向かって開口する排気側開口部(51c)とが形成され、
前記除菌機構(20)は、前記循環流路(26)へ前記除菌ガスを供給することを特徴とする搬送装置。 - 請求項3において、
前記給気口(11a)は前記搬送路(14)の上部に形成され、前記排気口(11b)は前記搬送路(14)の下部に形成されていることを特徴とする搬送装置。 - 請求項1から4のうちいずれか1つにおいて、
閉状態の前記壁部側扉(16)を前記壁部側開口部(15a)の周縁部に対して押圧する押圧機構(17)を備えることを特徴とする搬送装置。 - 請求項3又は4において、
前記搬送路(14)の給気口(11a)を覆う給気側フィルタ(41)と、前記搬送路(14)の排気口(11b)を覆う排気側フィルタ(42)とを備えることを特徴とする搬送装置。 - 請求項4又は6において、
前記キャリッジ(50)は、前記本体部(51)の給気側開口部(51b)を覆うキャリッジ側フィルタ(54b)と、該キャリッジ側フィルタ(54b)を通じて搬送路(14)の空気を前記本体部(51)の内部へ取り入れるためのファン(54a)とを有するファンフィルタユニット(54)を備えることを特徴とする搬送装置。 - 請求項7において、
前記給気側開口部(51b)は、前記本体部(51)の上壁部に形成され、前記排気側開口部(51c)は、前記本体部(51)の底壁部に形成され、
前記キャリッジ(50)は、前記本体部(51)の排気側開口部(51c)から所定の隙間をおいて該排気側開口部(51c)に対向するように配置され該排気側開口部(51c)との間に空気の流路(58a)を形成するプレート部(57)を備えることを特徴とする搬送装置。 - 請求項4において、
前記昇降機構(30)は、前記搬送路(14)の底部に配置され、前記キャリッジ(50)を駆動させる駆動機構(31)を備えることを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011014492A JP5565330B2 (ja) | 2011-01-26 | 2011-01-26 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011014492A JP5565330B2 (ja) | 2011-01-26 | 2011-01-26 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012153492A JP2012153492A (ja) | 2012-08-16 |
| JP5565330B2 true JP5565330B2 (ja) | 2014-08-06 |
Family
ID=46835654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011014492A Active JP5565330B2 (ja) | 2011-01-26 | 2011-01-26 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5565330B2 (ja) |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61130568U (ja) * | 1985-02-04 | 1986-08-15 | ||
| JPH0231496Y2 (ja) * | 1985-12-26 | 1990-08-24 | ||
| FR2607406B1 (fr) * | 1986-11-28 | 1989-01-27 | Commissariat Energie Atomique | Procede de traitement d'un objet dans une atmosphere de haute proprete et conteneur pour la mise en oeuvre de ce procede |
| JP2585091B2 (ja) * | 1989-02-09 | 1997-02-26 | 株式会社ダイフク | クリーンルーム間の搬送装置 |
| JPH0626258U (ja) * | 1992-07-06 | 1994-04-08 | 三機工業株式会社 | クリーンストッカエレベータ |
| JPH06183663A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-05 | Sony Corp | クリーンルーム用昇降機 |
| JPH07312335A (ja) * | 1994-05-18 | 1995-11-28 | Sony Corp | 基板搬送システムおよびこれを用いたレジスト塗布/現像装置ならびにその使用方法 |
| JPH0943852A (ja) * | 1995-07-31 | 1997-02-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JPH10308427A (ja) * | 1997-05-06 | 1998-11-17 | Kokusai Electric Co Ltd | ドア開閉機構 |
| JP2001328780A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-27 | Daiichi Shisetsu Kogyo Kk | 垂直型クリーン搬送装置 |
| JP3852570B2 (ja) * | 2001-10-26 | 2006-11-29 | 石川島播磨重工業株式会社 | クリーンルーム装置 |
| JP4388831B2 (ja) * | 2004-02-20 | 2009-12-24 | 株式会社エアレックス | 除染装置ユニット |
| JP2008172089A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Hitachi Plant Technologies Ltd | リフタ装置 |
-
2011
- 2011-01-26 JP JP2011014492A patent/JP5565330B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2012153492A (ja) | 2012-08-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102191163B (zh) | 培育箱 | |
| JP4924570B2 (ja) | アイソレータシステム | |
| JP6228040B2 (ja) | 排気の循環利用型安全キャビネット及び排気の循環利用型安全キャビネットを備えるクリーンルームの空気循環システム | |
| CN107921156A (zh) | 具有选择性地在设备的内部和外部进行不同消毒模式的配置的杀菌设备 | |
| JP2017108048A (ja) | Efem | |
| CN102171129A (zh) | 自动扶梯扶手带杀菌装置 | |
| KR102730239B1 (ko) | 반려동물용 음식물 공급장치 | |
| JP5617440B2 (ja) | 無菌作業装置 | |
| JP6463272B2 (ja) | 清浄作業装置 | |
| US20240410603A1 (en) | Clean Room Facility | |
| JP5565330B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JP6721613B2 (ja) | クリーンエア装置 | |
| JPH01288342A (ja) | 清浄キャビネット | |
| JPH10114403A (ja) | 殺菌自動収納庫 | |
| CN113772245B (zh) | 传递箱 | |
| JP6259838B2 (ja) | インキュベータおよびこれを備えた細胞培養システム、加湿水の供給方法 | |
| JP4388831B2 (ja) | 除染装置ユニット | |
| US5913722A (en) | Clean robot | |
| EP4029930A1 (en) | Incubator shaker with ozone decontamination and method for decontaminating an incubator shaker | |
| JP4961404B2 (ja) | 実験動物飼育用ラック装置 | |
| CN114408842B (zh) | 灌装设备 | |
| KR101388488B1 (ko) | 다중작업이 가능한 무균작업대 | |
| JP2006162090A (ja) | 局所清浄化装置及びクリーンルーム | |
| JP2006333954A (ja) | 保管庫 | |
| CN221490840U (zh) | 一种黄泥螺养殖用器具杀菌装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130123 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20130131 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140219 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140304 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140417 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140520 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140602 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5565330 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |