JP6084403B2 - 多孔質ポリイミド被膜の製造方法 - Google Patents
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Description
1)ポリイミドのTg(ガラス転移温度)が200℃以上である。
2)ポリイミド被膜の気孔率が30〜80%である。
3)明細書記載の方法で測定された液体含浸速度が25分以下である。
<2>表面を多孔質化する方法が湿式または乾式のエッチングであることを特徴とする<1>に記載の多孔質ポリイミド被膜の製造方法。
<3>表面を多孔質化するポリイミド被膜の緻密層の厚みが0.5〜10μmであることを特徴とする<1>または<2>に記載の多孔質ポリイミド被膜の製造方法。
気孔率=(B−A)/B×100(%)
含浸用の液体として信越シリコーン株式会社製アミノ変性シリコーンオイルKF−860(粘度:250mm2/s(25℃))を用い、マイクロピペットとしてFinnpipette(フィンピペット) F2(Thermo Fisher Scientific社製)を使用し0.2μLを被膜表面に滴下して、内部に完全に浸透するまでの時間を測定することにより、この時間を液体含浸速度とする。
なお、液体が被膜内部に完全に浸透したかどうかは、被膜表面に滴下した液滴が、被膜内部に浸透することにより、被膜表面に残る液滴の光沢感が消失したことによって判定する。
と貧溶媒との混合物からなる溶媒が好ましく使用される。このようにすることにより一回の塗布で多孔質ポリイミド層及びポリイミド緻密層を基体側よりこの順に同時に形成せしめることが可能となる。また、所定の気孔率範囲の多孔質構造を有するポリイミド被膜を形成することができる。このようなポリイミド被膜は、例えば、特許第3414479号明細書、特開2007−211136号公報などに記載の方法によって形成することもできる。
(1)ガラス転移温度
パーキンエルマー製Pyris1 DSC(示差走査熱量計)により、窒素中、昇温速度20℃/minで測定して求めた。
(2)見かけ密度
面積25cm2の多孔体を切り出し、マイクロメータにて厚みの平均値を求め、これにより体積を算出した。また多孔体の重量を測定し、重量を体積で割ることにより見かけ密度(g/cm3)を算出した。測定温度を23℃とした。
(3)真密度
多孔体を形成しない通常のポリイミドフィルムを得るため、乾燥した空気雰囲気下で、ジ
アミンとテトラカルボン酸二無水物を、良溶媒中にて反応させ、ポリイミド前駆体溶液を作製し、このポリイミド前駆体溶液より所望の厚みのポリイミドフィルムを得た。そのポリイミドフィルムを面積25cm2で切り出し、マイクロメータにて厚みの平均値を求め、これにより体積を算出した。また、このポリイミドフィルムの重量を測定し、重量を体積で割ることにより真密度(g/cm3)を算出した。測定温度を23℃とした。
乾燥した空気雰囲気下で、4,4' −ジフェニルジアミノエーテル(ODA)8.65gを、DMAc(沸点166℃)100gに溶解し、10℃に保った。これに3,3’−4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)12.84gを徐々に加え、50℃で1時間攪拌を続けたところ、均一な褐色溶液が得られた。これにトリエチレングリコールジメチルエーテル(Trig、沸点216℃)100gを加え、50℃で16時間攪拌を続け、ポリイミド前駆体溶液を得た。このときポリイミド前駆体溶液の粘度は1.2Pa・s/25℃であった。
3,3’−4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)12.84gをピロメリット酸二無水物(PMDA)9.52gに、塗工厚み700μmを1000μmに変更する以外は実施例1と同様に行い、多孔質ポリイミド被膜を得た。(これを被膜Bとする。)
DMAc100gをDMAc50gに、Trig100gをテトラエチレングリコールジメチルエーテル(Tetrag、沸点275℃)150gに、600メッシュの研磨シートを80メッシュの研磨シート(岡田磨布工業社製品番G−P80)に変更する以外は実施例2同様に行い、多孔質ポリイミド被膜を得た。(これを被膜Cとする。)
実施例1で作製した未研磨処理被膜に、UVレーザ(波長355nm)処理により、孔径80μm、ピッチ10μmで等間隔の微孔を形成する処理を行い、多孔質ポリイミド被膜を得た。(これを被膜Dとする。)
実施例1で作製した未研磨処理被膜の代わりに、実施例3で作製した未研磨処理被膜を用いる以外は、実施例4と同様の方法により、多孔質ポリイミド被膜を得た。(これを被膜Eとする。)
研磨処理を行わないこと以外は実施例3と同様にして行い、多孔質ポリイミド被膜を得た。(これを被膜Fとする。)
一方、比較例1の被膜Fは、表面の多孔質化処理を施しておらず被膜表面全体を厚み2〜3μm程度の緻密層が覆っている。このため、液体の浸透が起こりにくい被膜となった。
Claims (3)
- 基体表面にポリイミド前駆体溶液を塗布、乾燥、熱硬化し、表面に緻密層を有し内部が多孔質であるポリイミド被膜を形成した後、表面を多孔質化することを特徴とする、以下の1)〜3)の特性をすべて有する多孔質ポリイミド被膜の製造方法。
1)ポリイミドのTg(ガラス転移温度)が200℃以上である。
2)ポリイミド被膜の気孔率が30〜80%である。
3)明細書記載の方法で測定された液体含浸速度が25分以下である。 - 表面を多孔質化する方法が湿式または乾式のエッチングであることを特徴とする請求項1に記載の多孔質ポリイミド被膜の製造方法。
- 表面を多孔質化するポリイミド被膜の緻密層の厚みが0.5〜10μmであることを特徴とする請求項1または2に記載の多孔質ポリイミド被膜の製造方法。
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