JP6085134B2

JP6085134B2 - 検査装置

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Publication number: JP6085134B2
Application number: JP2012208693A
Authority: JP
Inventors: 井上　靖之; 靖之井上
Original assignee: Ricoh Elemex Corp
Current assignee: Ricoh Elemex Corp
Priority date: 2012-09-21
Filing date: 2012-09-21
Publication date: 2017-02-22
Anticipated expiration: 2032-09-21
Also published as: JP2014062835A

Description

本発明は、検査装置に関する。

従来、長尺状の検査対象物を撮像した画像から当該検査対象物の異常を検出する検査装置が知られている。

特許第４５４４２７２号公報

この種の検査装置では、比較的簡素な構成で異常が検出されやすくすることが望まれていた。

そこで、本発明は、一例としては、比較的簡素な構成で異常が検出されやすい検査装置を得ることを目的の一つとする。

本発明の実施形態にかかる検査装置は、長尺状の検査対象物にその長手方向の一方側から光を照らす第一の光源と、前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映すミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記ミラー部を介して取得する一つの撮像部と、を、それぞれが有した複数の画像取得部と、前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、を備えた。

本発明の実施形態にかかる検査装置は、長尺状の検査対象物にその長手方向の一方側から光を照らす第一の光源と、前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され、前記検査対象物に前記長手方向の一方側から光を照らす第三の光源と、前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映す第一のミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記第一のミラー部を介して取得する第一の撮像部と、を有した第一の画像取得部と、前記長手方向で前記第二の光源と前記第三の光源との間に位置され前記検査対象物を映す第二のミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第三の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記第二のミラー部を介して取得する第二の撮像部と、を有した第二の画像取得部と、前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、を備えた。

本発明によれば、一例としては、比較的簡素な構成で異常が検出されやすい検査装置を得ることができる。

図１は、第１実施形態にかかる検査装置の一例が示された斜視図である。図２は、第１実施形態にかかる検査装置の一例を検査対象物の径方向から見た模式図である。図３は、第１実施形態にかかる検査装置の第一の画像取得部の一例を検査対象物の長手方向から見た模式図である。図４は、第１実施形態にかかる検査装置の第二の画像取得部の一例を検査対象物の長手方向から見た模式図である。図５は、第１実施形態にかかる検査装置で撮像された第一の画像、第二の画像、および合成画像の一例が示された模式図である。図６は、第１実施形態にかかる検査装置で撮像された第一の画像（一次元の画像を並べた二次元の画像）の一例が示された模式図である。図７は、第１実施形態にかかる検査装置で撮像された第二の画像（一次元の画像を並べた二次元の画像）の一例が示された模式図である。図８は、第１実施形態にかかる検査装置の一例が示された模式的なブロック図である。図９は、第１実施形態にかかる制御部が実行する撮像制御処理の一例のタイミングチャートである。図１０は、第１実施形態の第１変形例にかかる制御部が実行する撮像制御処理の一例のタイミングチャートである。図１１は、第１実施形態の第２変形例にかかる制御部が実行する撮像制御処理の一例のタイミングチャートである。図１２は、第２実施形態にかかる検査装置の一例が示された斜視図である。図１３は、第２実施形態にかかる検査装置の一例を検査対象物の径方向から見た模式図である。図１４は、第２実施形態にかかる検査装置の一例が示された模式的なブロック図である。図１５は、第２実施形態にかかる制御部が実行する撮像制御処理の一例のタイミングチャートである。図１６は、第２実施形態の変形例にかかる制御部が実行する撮像制御処理の一例のタイミングチャートである。

以下、図面を参照して、実施形態および変形例について詳細に説明する。なお、以下の複数の実施形態および変形例には、同様の構成要素が含まれている。よって、以下では、それら同様の構成要素には共通の符号を付与するとともに、重複する説明を省略する。

（第１実施形態）
本実施形態では、一例として、図１および図２に示される検査装置１は、第一の光源２Ｕと、第二の光源２Ｄと、複数の画像取得部１０と、を備えており、検査対象物１００を撮像した画像に基づいて検査対象物１００の検査を行う。本実施形態では、画像取得部１０として、第一の画像取得部１０Ｕと第二の画像取得部１０Ｄとの二つが設けられている。

検査対象物１００は、一例としては、長尺状かつ円管状（または円柱状）の部品（例えば、ホース、チューブ、棒等）である。また、検査装置１は、一例として、その外周に螺旋状の凹部または凸部を有した検査対象物１００の検査を行うことができる。螺旋状の凹部または凸部（溝、突起、段差等）は、螺旋状の巻回物（例えば、テープ、リボン、ワイヤ等、図示されず）を有した場合等に形成されやすい。巻回物は、外周に露出するものと、露出しないものとがある。巻回物が外周に露出せず、外壁（壁部）の内部に巻回物（例えば、ワイヤ等）が設けられた場合、巻回物を覆う部分が螺旋状に突出する。

また、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄは、検査対象物１００の長手方向（軸方向）に離間して配置されている。第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄは、検査対象物１００が挿入される環状（例えば円環状）に構成されている。第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄは、環状に配置された複数のＬＥＤ（light emitting diode）を有している。長尺状の検査対象物１００は、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの環状部分の内側（例えば、中央部、中央）を貫通し、環状部分の軸方向に沿って延びている。また、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄは、検査対象物１００の長手方向（軸方向）と直交する面について面対称に配置されている。

また、本実施形態では、一例として、第一の光源２Ｕは、検査対象物１００に当該検査対象物１００の長手方向の一方側から光を照らし、第二の光源２Ｄは、検査対象物１００に当該検査対象物の長手方向の他方側から光を照らす。詳細には、検査対象物１００の撮像領域Ａは、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの間に設定されている。第一の光源２Ｕからの光は、検査対象物１００の長手方向の一方側（図１では左側）から撮像領域Ａに照射され、第二の光源２Ｄからの光は、長手方向の他方側（図１では右側）から撮像領域Ａに照射される。

また、本実施形態では、一例として、検査対象物１００は、検査中、搬送装置３０（図８参照）によって、その長手方向（軸方向）に搬送されている。すなわち、撮像領域Ａは、検査対象物１００の移動に伴って、検査対象物１００の長手方向に沿って移動する。なお、本実施形態では、一例として、検査対象物１００は、第一の光源２Ｕ側から第二の光源２Ｄ側へ移動する。すなわち、第一の光源２Ｕは、撮像領域Ａに対して搬送方向の上流側に位置され、第二の光源２Ｄは、撮像領域Ａに対して搬送方向の下流側に位置されている。したがって、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄは、それぞれ上流側光源および下流側光源ということができる。検査装置１は、搬送装置３０によって搬送されて移動している検査対象物１００を、検査する。この際、画像取得部１０の撮像部３は、検査対象物１００が当該検査対象物１００の長手方向に搬送されている状態で、第一の光源２Ｕからの光で照らされている際の検査対象物１００の画像（第一の画像）と第二の光源２Ｄからの光で照らされている際の検査対象物１００の画像（第二の画像）とを取得する。なお、検査対象物１００を第二の光源２Ｄ側から第一の光源２Ｕ側へ移動させてもよい。

また、本実施形態では、一例として、第一の画像取得部１０Ｕおよび第二の画像取得部１０Ｄは、検査対象物１００の長手方向（軸方向、搬送方向）に間隔をあけて設けられている。つまり、複数の画像取得部１０が、検査対象物１００の長手方向で相互にずれて位置されている。第一の画像取得部１０Ｕは、搬送方向の上流側（図１の左側）に位置され、第二の画像取得部１０Ｄは、搬送方向の下流側（図１の右側）に位置されている。したがって、第一の画像取得部１０Ｕおよび第二の画像取得部１０Ｄは、それぞれ上流側画像取得部および下流側画像取得部ということができる。

また、本実施形態では、一例として、各画像取得部１０は、撮像部３と、ミラー部４と、を有している。詳細には、本実施形態では、第一の画像取得部１０Ｕは、第一の撮像部３Ｕおよび第一のミラー部４Ｕを有し、第二の画像取得部１０Ｄは、第二の撮像部３Ｄおよび第二のミラー部４Ｄを有している。第一のミラー部４Ｕと第二のミラー部４Ｄとは、検査対象物１００の長手方向で異なる位置に位置されている。一例として、第一のミラー部４Ｕと第二のミラー部４Ｄとのうち第一のミラー部４Ｕの方が、第一の光源２Ｕに近い位置且つ第二の光源２Ｄに遠い位置に位置されている。第１の光源２Ｕの外周部の下端部（照明面の一部）と第一の撮像部３Ｕによる検査対象物１００の撮像ポイントＰ１（撮像箇所、図２）との間の距離ａは、第２の光源２Ｄの外周部の下端部（照明面の一部）と撮像ポイントＰ１との間の距離ｂよりも短い。なお、撮像ポイントＰ１は、一例として、撮像領域Ａに含まれ、検査対象物１００の第一の撮像部３Ｕとは反対側（第一のミラー部４Ｕ側）に位置した部位である。

各撮像部３（例えば、カメラ等）は、検査対象物１００の径方向外側に位置され、検査対象物１００の表面１００ａ（外面、周面、側面）の画像を取得する。すなわち、撮像領域Ａは、検査対象物１００の表面１００ａの一部である。

また、本実施形態では、一例として、各撮像部３は、ミラー部４（光学部品、光学系）を介して、撮像領域Ａの画像を取得する。本実施形態では、一例として、各ミラー部４は、複数（本実施形態では、一例として二つ）のミラー４Ｒ，４Ｌ（光学部品）を有する。ミラー部４は、検査対象物１００の長手方向で第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの間に位置され検査対象物１００を映す。ミラー部４は、図３，４に示されるように、検査対象物１００の撮像部３とは反対側に位置されている。ミラー４Ｒ，４Ｌは、検査対象物１００の軸方向からの視線でＶ字状に配置されている。ミラー４Ｒ，４Ｌは互いに１２０°の角度（撮像部３と検査対象物１００とを結ぶ線Ｌに対して互いに反対側に６０°となる角度）となる姿勢で配置されている。ミラー４Ｒ，４Ｌは、いずれも、検査対象物１００の表面１００ａに面した（対向した）平面状の鏡面４ａ（反射面）を有している。鏡面４ａは、検査対象物１００の径方向と略直交する面に沿って拡がっている。二つの鏡面４ａは、相互に異なる方向を向いている。二つの鏡面４ａは、撮像部３の光軸（線Ｌ）に沿って撮像部３から離れる方向に向かうにつれ相互に近づいている。また、ミラー４Ｒ，４Ｌは、検査対象物１００の長手方向（軸方向）と直交する面に沿って帯状に延びている。このような構成では、撮像領域Ａは、検査対象物１００の表面１００ａの全周のうち、ミラー４Ｒ，４Ｌに面した約７割の領域である。なお、本実施形態では、一例として、隣接するミラー４Ｒ，４Ｌは一体化されているが、分離されていてもよい。

各画像取得部１０では、撮像部３およびミラー部４の配置が相互に異なっている。本実施形態では、一例として、搬送方向の上流側に位置された第一の画像取得部１０Ｕでは、図１の上側に第一の撮像部３Ｕが位置し、下側に第一のミラー部４Ｕが位置する。よって、第一の画像取得部１０Ｕでは、第一の撮像部３Ｕが、検査対象物１００の図１の下側の領域（撮像領域Ａ）の画像を取得する。一方、下流側に位置された第二の画像取得部１０Ｄでは、図１の下側に第二の撮像部３Ｄが位置し、上側の第二のミラー部４Ｄが位置する。よって、第二の画像取得部１０Ｄでは、第二の撮像部３Ｄが、検査対象物１００の図１の上側の領域（撮像領域Ａ）の画像を取得する。すなわち、複数（本実施形態では二つ）の撮像部３（第一の撮像部３Ｕ、第二の撮像部３Ｄ）は、それぞれ、検査対象物１００の表面１００ａの相異なる領域（部位、位置）を撮像する。これにより、複数の撮像部３によって検査対象物１００の全周が撮像される。

また、本実施形態では、一例として、撮像部３は、ラインカメラ（ラインセンサ）として構成されている。撮像部３は、検査対象物１００の幅方向に沿って一列に配置された複数の光電変換素子（撮像素子、図示されず）を有する。すなわち、撮像部３は、検査対象物１００の幅方向に沿った線状の画像（画像データ、各光電変換素子に対応した画素毎の輝度値のデータ、輝度値のデータ列）を取得する。各撮像素子では、例えば２５６階調で輝度値のデータが取得される。撮像部３は、撮像される各時刻（タイミング）で、一次元の画像を取得する。モノクロ（白黒）の撮像部３の場合、各撮像素子について一つの画像データが取得され、カラーの撮像部３の場合、各撮像素子について複数（例えば、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）の三つ）の画像データが取得される。

また、本実施形態では、一例として、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄによる検査対象物１００への光の照射は交互に実行される。そして、撮像部３による撮像（画像の取得）と、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄによる検査対象物１００への光の照射（一例としては第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの発光、切り替え）とが、同期されている。すなわち、本実施形態では、一例として、図５に示されるように、各撮像部３は、第一の光源２Ｕからの光で照らされている際の検査対象物１００の一次元の画像ＩＬ１（第一の画像、線状画像、画像データ、図５中では「１」と表記）と、第二の光源２Ｄからの光で照らされている際の検査対象物１００の一次元の画像ＩＬ２（第二の画像、線状画像、画像データ、図５中では「２」と表記）とを、交互に取得する。制御部２０（図８参照）は、第一の光源２Ｕからの光で照らされている際の検査対象物１００の画像ＩＬ１を取得順に並べて二次元の画像ＩＡ１（第一の画像、画像データ、二次元に配列された輝度値のデータ群）を得ることができるとともに、第二の光源２Ｄからの光で照らされている際の検査対象物１００の画像ＩＬ２を取得順に並べて二次元の画像ＩＡ２（第二の画像、画像データ、二次元に配列された輝度値のデータ群）を得ることができる。

第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄからの光の照射（切り替え）および撮像部３による撮像の周波数や、搬送装置３０による検査対象物１００の搬送速度等を適宜に設定することにより、図６，７に例示されるような画像ＩＡ１，ＩＡ２が得られる。なお、図６，７は、画像ＩＡ１，ＩＡ２の一例を示しており、実際には各撮像部３は検査対象物１００の周方向で相互に異なる部位を撮像するので、各撮像部３に対応する画像ＩＡ１，ＩＡ２は相互に異なる部位の画像となる。第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄからの光の切り替えの周波数、すなわち撮像部３によるライン毎の撮像の周波数は、比較的高い値（例えば６ｋＨｚ等）に設定される。よって、画像ＩＡ１，ＩＡ２を、検査対象物１００の表面１００ａ（の半周分）を静止状態でエリアセンサ（二次元の領域を撮像する撮像部）によって撮像した画像に類似させることができる。ラインセンサは、エリアセンサより分解能が比較的高く、また応答性も比較的高いため、ラインセンサを用いることで、より精度の高い異常検出（検査）が可能となる場合がある。画像ＩＡ１，ＩＡ２では、含まれる画像ＩＬ１，ＩＬ２中でのデータの配列方向（図５〜７で左右方向）が、検査対象物１００の幅方向（短手方向）に対応し、画像ＩＡ１，ＩＡ２中で画像ＩＬ１，ＩＬ２が並べられた方向（図５〜７で上下方向）が、検査対象物１００の長手方向（軸方向）に対応する。

上述したように、各撮像部３は、複数（本実施形態では、一例として二つ）のミラー４Ｒ，４Ｌを介して検査対象物１００の画像を取得するため、図６，７に示されるように、上記構成の検査装置１で得られた画像ＩＡ１，ＩＡ２には、それぞれ、検査対象物１００の複数（二つ）の画像Ｉａ，Ｉｂが含まれる。これら画像Ｉａ，Ｉｂは、検査対象物１００の撮像部３とは反対側（ミラー４Ｒ，４Ｌが位置された側）を、撮像部３と検査対象物１００とを結ぶ線Ｌ（図３，４参照）から外れた位置より見た画像である。また、二次元の画像ＩＡ１，ＩＡ２には、画像Ｉａと画像Ｉｂとの間に、検査対象物１００のミラー４Ｒ，４Ｌを介さない画像Ｉｎが含まれている。しかしながら、本実施形態では、一例として、撮像部３の焦点は、画像Ｉａ，Ｉｂに対応して設定されているため、画像Ｉｎはぼやけている。すなわち、本実施形態では、一例として、画像Ｉｎは、異常検出には用いられない。また、これら画像Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｎの背景は、暗く設定されている。本実施形態にかかる検査装置１の制御部２０は、このようにして得られた二次元の画像ＩＡ１，ＩＡ２に基づいて画像処理を実行し、検査対象物１００の表面１００ａの異常（画像Ｉａ，Ｉｂに関連して写っている異常に対応した形状）を検出する。この検査装置１で検出対象となる異常には、例えば、図６，７に示されるように、検査対象物１００の表面１００ａに生じた皺や傷等の異常Ａ１や、突出物（糸状物）等の異常Ａ２等がある。なお、検査装置１は、これら以外の異常（例えば検査対象物１００の幅の異常等）も検出することができる。一例として、検査対象物１００の幅が規定範囲外である場合に、その幅が異常であると検出される。また、画像ＩＬ１，ＩＬ２にも、画像Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｎ（ただし、１ライン分）は含まれている。

本実施形態では、一例として、図８に示されるように、検査装置１は、制御部２０（例えばＣＰＵ（central processing unit）等）や、ＲＯＭ２１（read only memory）、ＲＡＭ２２（random access memory）、ＳＳＤ２３（solid state drive）、光照射コントローラ２４、撮像コントローラ２５、搬送コントローラ２６、表示コントローラ２７等を備えることができる。光照射コントローラ２４は、制御部２０からの制御信号に基づいて、第一および第二の光源２Ｕ，２Ｄの発光（オン、オフ）等を制御する。なお、開閉を切り替えて光の出射と出射停止とを切り替えるシャッター等の可変装置が設けられた場合には、当該可変装置の動作が制御される。撮像コントローラ２５は、制御部２０からの制御信号に基づいて、撮像部３による撮像を制御する。搬送コントローラ２６は、制御部２０から受けた制御信号に基づいて、搬送装置３０を制御し、検査対象物１００の搬送（開始、停止、速度等）を制御する。表示コントローラ２７は、制御部２０からの制御信号に基づいて、表示装置４０（例えば、ＬＣＤ（liquid crystal display）、ＯＥＬＤ（organic electroluminescent display）等）を制御する。また、制御部２０は、不揮発性の記憶部としてのＲＯＭ２１やＳＳＤ２３等にインストールされたプログラム（アプリケーション）を読み出して実行する。ＲＡＭ２２は、制御部２０がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図８に示されるハードウエアの構成はあくまで一例であって、例えばチップやパッケージにする等、種々に変形して実施することが可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部２０等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることが可能である。

また、本実施形態では、一例として、制御部２０は、ハードウエアとソフトウエア（プログラム）との協働によって、検査装置１の少なくとも一部として機能（動作）する。一例として、制御部２０は、画像取得制御部２０ａおよび検出部２０ｂ等として機能する。

画像取得制御部２０ａは、光照射コントローラ２４、撮像コントローラ２５、搬送コントローラ２６を介して、第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第一の撮像部３Ｕ、第二の撮像部３Ｄを制御する。画像取得制御部２０ａによって各部が制御されることで、第一の画像取得部１０Ｕと第二の画像取得部１０Ｄが、それぞれ第一の画像と第二の画像とを取得する。

検出部２０ｂは、画像取得制御部２０ａによって取得された第一の画像と第二の画像とを用いて検査対象物１００の異常を検出する。ここで、検査対象物１００の表面１００ａにおける平坦（平滑）部分では、第一の画像の輝度と第二の画像の輝度とにほとんど差が無い。一方、検査対象物１００の表面１００ａの凹凸部分では、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとからの光の照射方向の違いから、第一の画像の輝度と第二の画像の輝度とに差が生じる。そこで、検出部２０ｂは、一例として、撮像部３によって撮像された第一の画像と第二の画像との輝度の差をとり、検査対象物１００の傷等の異常（不良）を顕在化させることで、検査対象物１００の異常を検出する（差分方式）。

ここで、上記の差分方式では、基本的には、検査対象物１００の平坦部分に対する第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの影響は略等しく、検査対象物１００の凹凸部分に対する第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの影響が異なるということを利用するものである。しかしながら、図２に示された距離ａと距離ｂとが等しく無く、撮像領域Ａと第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの距離が異なる場合には、検査対象物１００の平坦部分に対する第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの影響が異なるものとなる。一例として、距離ａが距離ｂよりも短い場合には、第一の光源２Ｕの方が、第二の光源２Ｄに比べて、第一の撮像部３Ｕに近い位置となる。このため、第一の撮像部３Ｕが取得する第一の画像は、第一の撮像部３Ｕが取得する第二の画像よりも明るくなり易い。このように、距離ａと距離ｂとが等しくなく、撮像領域Ａ（ミラー部４）と第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの距離が異なる場合には、検査対象物１００の平坦部分であるか凹凸部分であるかを問わず、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの影響が異なるものとなってしまう。即ち、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとで撮像領域Ａ（ミラー部４）に対する光量のばらつきが発生してしまう。

そこで、本実施形態では、画像取得制御部２０ａが、撮像ポイントＰ１と第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄとの距離に応じて、それらの第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの光の強度を変更するようにしている。距離ａが距離ｂよりも短い場合、第一の光源２Ｕの方が第二の光源２Ｄに比べて第一の撮像部３Ｕに近い分、第一の撮像部３Ｕの撮像画像においては、第一の画像の方が第二の画像よりも明るくなり易い。この傾向は、第一の光源２Ｕの強度（明るさ）を第二の光源２Ｄの強度に対して相対的に小さく調整することで抑えることができる。但し、距離ａが距離ｂよりも短い場合、第二の撮像部３Ｄによる検査対象物１００の撮像ポイントに対しても、第一の撮像部３Ｕの場合のように、第一の光源２Ｕの方が第二の光源２Ｄに比べて近くなるとは限らない。本実施形態では、一例として、第二の撮像部３Ｄによる検査対象物１００の撮像ポイントに対しては、第二の光源２Ｄの方が第一の光源２Ｕよりも近くなっている。この場合、第二の撮像部３Ｄの撮像に対しては、第二の光源２Ｄの光の強度を第一の光源２Ｕの光の強度に対して相対的に小さくしなければならない。このように、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの光の強度を変更するには、第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとの撮像タイミングをずらすことで対応可能である。以下に、画像取得制御部２０ａが行う処理を詳しく説明する。

画像取得制御部２０ａは、一例として、図９に示されるようなタイミングチャートで撮像制御処理を実行する。図９において、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの縦軸は、光の強度を示している。また、図９の第一の撮像部シャッター信号は、第一の撮像部３Ｕに対してのパルス信号であり、当該信号の間、第一の撮像部３Ｕが撮像を行う。また、第二の撮像部シャッター信号は、第二の撮像部３Ｄに対してのパルス信号であり、当該信号の間、第二の撮像部３Ｄが撮像を行う。

図９に示されるように、画像取得制御部２０ａは、第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとの撮像タイミングをずらす。一例として、画像取得制御部２０ａは、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとに光を交互に照射させるとともに、第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとに、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得および第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得と、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得および第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得と、を交互に行わせる。一例として、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得が、順に繰り返し行われる。

画像取得制御部２０ａは、一例として、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得および第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得の際、第一の光源２Ｕに連続して光を出射させ、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得および第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得の際、第二の光源２Ｄに連続して光を出射させる。また、画像取得制御部２０ａは、第一の撮像部３Ｕが撮像する際には、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとで第一のミラー部４Ｕに対して遠い方（本実施形態では第二の光源２Ｄ）の光の強度を近い方（本実施形態では第一の光源２Ｕ）の光の強度よりも強くする。また、画像取得制御部２０ａは、第二の撮像部３Ｄが撮像する際には、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄとで第二のミラー部４Ｄに遠い方（本実施形態では第一の光源２Ｕ）の光の強度を近い方（本実施形態では第二の光源２Ｄ）の光の強度よりも強くする。なお、各光源２Ｕ，２Ｄの強度（出力レベル）の変更は、光源２Ｕ，２Ｄに印加する電圧を変更したり、点灯させるＬＥＤを増減させたりすることで実現可能である。以上の処理によって、本実施形態では、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得および第二の画像の取得の際の、第一の撮像部３Ｕのそれぞれの露光量を略同じにするとともに、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得および第二の画像の取得の際の、第二の撮像部３Ｄのそれぞれの露光量を略同じにしている。なお、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとで撮像領域Ａに対する光量のばらつきの発生を抑制するために、光源２Ｕ，２Ｄの強度を変更する代わりに、撮像部３のシャッター開放時間（露光時間）を変更して、撮像部３の露光量を第一の画像の取得の際と第二の画像の取得の際とで略同じにしてもよいし、撮像画像をシェーディング補正してもよい。

本実施形態では、以上の処理によって、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとで撮像領域Ａ（ミラー部４）に対する光量のばらつきの発生を抑制することができる。そして、本実施形態では、以上の処理によって取得された第一の画像と第二の画像とを用いて、検出部２０ｂが検査対象物１００の異常を検出するので、検査対象物１００の異常が良好に検出されやすい。また、本実施形態では、複数（具体的には二つ）の画像取得部１０に対して光源が二つ（第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄ）である。したがって、本実施形態によれば、複数の撮像部３の撮像にそれぞれ個別の光源が用いられる構成、つまり、各画像取得部に対して二つの光源がそれぞれ設けられる場合（合計、四つの光源が設けられる場合）に比べて、比較的簡素な構成で検査対象物１００の異常を良好に検出することができる。

（第１変形例）
本変形例では、一例として、図１０に示されるように、画像制御取得部２０ａは、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとのうちの一方（本変形例では第二の光源２Ｄ）の光の強度を、第一の撮像部３Ｕによる撮像の際と第二の撮像部３Ｄによる撮像の際とで同じにするとともに、上記一方（本変形例では第二の光源２Ｄ）が光を連続して照射している間に、当該光での撮像を第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとに行わせる。この際、第二の光源２Ｄの光の強度は、一例として、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得の際の第一の光源２Ｕの光の強度よりも大きく、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得の際の第一の光源２Ｕの光の強度よりも小さい。本変形例では、一例として、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得が、順に繰り返し行われる。なお、上記の第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとのうちの一方は、第一の光源２Ｕであってもよい。

以上説明したとおり、本変形例では、一例として、画像制御取得部２０ａが、第二の光源２Ｄの光の強度を、第一の撮像部３Ｕによる撮像の際と第二の撮像部３Ｄによる撮像の際とで同じにするとともに、第二の光源２Ｄが光を連続して照射している間に、当該光での撮像を第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとに行わせる。したがって、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の撮像と第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の撮像の際に、第二の光源２Ｄの強度のレベルを変更しなくてよい。よって、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の撮像と第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の撮像とを第二の光源２Ｄからの光の強度が十分になった状態で行うことができる。なお、一例として、図９の例の場合、露光時間を少なくしてより早く撮像しようとした場合、光量がピークになる前に撮像が開始されてしまう可能性があるが、本変形例では、そのようなことが発生するのを抑制することができる。

（第２変形例）
本変形例では、図１１に示されるように、画像取得制御部２０ａは、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとに光を交互に照射させるとともに、第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとに、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像および第二の画像の取得と、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像および第二の画像の取得と、を交互に行わせる。また、この際、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得の際と第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得の際とで、第二の光源２Ｄの強度を略同じにする。また、第二の光源２Ｄの光の強度は、一例として、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得の際の第一の光源２Ｕの光の強度よりも大きく、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得の際の第一の光源２Ｕの光の強度よりも小さい。一例として、本変形例では、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得が、順に繰り返し行われる。したがって、本変形例では、各光源（第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ）における一度（一回）の光の照射で撮像は１回となっている。

以上説明した本変形例によれば、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとに光を交互に照射させるので、第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとがそれぞれ間隔をあけて光を出射することができる。よって、第一の光源２Ｕや第二の光源２Ｄが、連続して光を出射しながら光の強度を変更する場合に比べて、第一の光源２Ｕや第二の光源２Ｄの光の強度が比較的に安定した状態で、第一の撮像部３Ｕおよび第二の撮像部３Ｄが撮像することができる。

（第３変形例）
本変形例では、検出部２０ｂが、第一の画像と第二の画像との明るさ（輝度）を画像処理によって補正する。また、本変形例では、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像および第二の画像の取得と、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像および第二の画像の取得との際の、第１の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの光の強度が、相互に略同一である。

一例として、検出部２０ｂは、第一のミラー部４Ｕに対する第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの距離の違いによる第一の画像取得部１０Ｕが取得した第一の画像および第二の画像の明るさの違いを補正する。また、検出部２０ｂは、第二のミラー部４Ｄに対する第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄの距離の違いによる第二の画像取得部１０Ｄが取得した第一の画像および第二の画像の明るさの違いを補正する。これらの明るさの補正は、第一の画像と第二の画像とのうち一方にだけ行ってもよいし、両方に行ってもよい。一例として、図２に示された距離ａよりも距離ｂが長く、第一の光源２Ｕよりも第二の光源２Ｄの方が第一のミラー部４Ｕに対して遠い場合、第一の撮像部３Ｕの撮像画像においては、第一の画像の方が第二の画像に比べて明るくなり易い（輝度値が大きくなり易い）。したがって、この場合には、一例として、検出部２０ｂは、第一の画像の各画素の輝度値を所定の基準を用いて下げる補正を行い、当該補正後の第一の画像と、第二の画像とを比較する。所定の基準は、一例として、検査対象物１００の平坦部分において第一の画像の輝度値と第二の画像の輝度値が等しくなるような基準（値）である。

以上説明した本変形例によれば、複数の画像取得部１０（第一の画像取得部１０Ｕ，第二の画像取得部１０Ｄ）における検査対象物１００の撮像ポイントに対して、複数の光源（第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ）の距離がそれぞれ異なっていても、その距離の違いによる影響を打ち消すことができる。よって、複数の光源（第一の光源２Ｕ，第二の光源２Ｄ）による撮像結果（第一の画像、第二の画像）を適切に比較することができるので、検査対象物１００の異常を良好に検出することができる。

（第２実施形態）
本実施形態では、図１２および図１３に示されるように、検査装置１は、第一の光源２Ｕおよび第二の光源Ｄの他に、第三の光源２Ｖを有している。

第三の光源２Ｖは、検査対象物１００の長手方向で第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの間に位置され、検査対象物１００に当該検査対象物１００の長手方向の一方側から光を照らす。第三の光源２Ｖは、第一の光源２Ｕや第二の光源２Ｄと同様に、検査対象物１００が挿入される環状（例えば円環状）に構成されている。第三の光源２Ｖは、環状に配置された複数のＬＥＤを有している。また、一例として、第三の光源２Ｖの径は、第一の光源２Ｕおよび第二の光源Ｄの径よりも小さい。長尺状の検査対象物１００は、第一の光源２Ｕ、第三の光源２Ｖ、および第二の光源２Ｄの環状部分の内側（例えば、中央部、中央）を貫通し、環状部分の軸方向に沿って延びている。

また、本実施形態では、一例として、第一のミラー部４Ｕおよび第一の撮像部３Ｕは、検査対象物１００の長手方向で第一の光源２Ｕと第二の光源２Ｄとの中間に位置され且つ第二の光源２Ｄと第三の光源２Ｖとの間に位置されている。また、距離ａと距離ｂとは、略同じとなっている。また、第二のミラー部４Ｄおよび第二の撮像部３Ｄは、検査対象物１００の長手方向で第二の光源２Ｄと第三の光源２Ｖとの間に配置されている。また、一例として、第二の光源２Ｄの外周部の下端部（照射面の一部）と第三の光源２Ｖの外周部の上端部（照射面の一部）とを結ぶ直線上に、第二の撮像部３Ｄによる検査対象物１００の撮像ポイントＰ２が位置する。第一の光源２Ｕの光は、第三の光源２Ｖの円筒の内側を通ってもよいし外側を通ってもよい。なお、撮像ポイントＰ２は、一例として、撮像領域Ａに含まれ、検査対象物１００の第二の撮像部３Ｄとは反対側（第二のミラー部４Ｄ側）に位置した部位である。

また、本実施形態では、図１４に示されるように、第一の光源２Ｕおよび第二の光源２Ｄと同様に、第三の光源２Ｖは、光照射コントローラ２４に接続されている。そして、画像取得制御部２０ａは、第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第三の光源２Ｖを光照射コントローラ２４を介して制御する。

また、本実施形態では、画像取得制御部２０ａは、一例として、図１５に示されるタイミングチャートで、第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第三の光源２Ｖ、第一の撮像部３Ｕ、第二の撮像部３Ｄを制御する。本実施形態では、画像取得制御部２０ａによる各部の制御によって、一例として、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得、第一の撮像部３Ｕによる第二の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得、第二の撮像部３Ｄによる第二の画像の取得が、順に繰り返し行われる。即ち、画像取得制御部２０ａは、一例として、第一の撮像部３Ｕと第二の撮像部３Ｄとの撮像タイミングをずらすとともに、第一の撮像部３Ｕの第二の画像の取得の際の第二の光源２Ｄの光の照射と、第二の撮像部３Ｄの第二の画像の撮像の際の第二の光源２Ｄの光の照射との間に間隔をあける。したがって、本実施形態では、各光源（第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第三の光源２Ｖ）における一度（一回）の光の照射では、撮像は１回となっている。また、本実施形態では、画像制御取得部２０ａは、第一の撮像部３Ｕが第一の画像を取得する際の第一の光源２Ｕの光の強度と、第一の撮像部３Ｕが第二の画像を取得する際の第二の光源２Ｄの光の強度とを略同じにする。また、画像制御取得部２０ａは、第二の撮像部３Ｄが第一の画像を取得する際の第三の光源２Ｖの光の強度を第二の撮像部３Ｄが第二の画像を取得する際の第二の光源２Ｄの光の強度よりも強くする。以上の処理によって、本実施形態では、第一の撮像部３Ｕによる第一の画像の取得および第二の画像の取得の際の第一の撮像部３Ｕのそれぞれの露光量を略同じにするとともに、第二の撮像部３Ｄによる第一の画像の取得および第二の画像の取得の際の第二の撮像部３Ｄのそれぞれの露光量を略同じにしている。

本実施形態では、以上の処理によって取得された第一の画像と第二の画像とを用いて、検出部２０ｂが検査対象物１００の異常を検出するので、検査対象物１００の異常が良好に検出されやすい。また、本実施形態では、複数（具体的には二つ）の画像取得部１０に対して光源が三つ（第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第三の光源２Ｖ）である。したがって、本実施形態によれば、複数の撮像部３の撮像にそれぞれ個別の光源が用いられる構成、つまり、各画像取得部に対して二つの光源がそれぞれ設けられている場合（合計、四つの光源が設けられている場合）に比べて、比較的簡素な構成で検査対象物１００の異常を良好に検出することができる。

また、本実施形態では、各光源（第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第三の光源２Ｖ）における一度（一回）の光の照射では、撮像は１回だけなので、各光源（第一の光源２Ｕ、第二の光源２Ｄ、第三の光源２Ｖ）における一度（一回）の光の照射において、光の強度を一定にすることができる。よって、当該一度の光の照射中に光の強度を高速で切り替える（変更する）必要がないという利点がある。

（変形例）
本変形例では、図１６に示されるように、画像取得制御部２０ａは、第一の撮像部３Ｕおよび第二の撮像部３Ｄに、第二の画像の取得を同時に行わせる点が上記第２実施形態に対して異なる。したがって、本変形例によれば、一例として、画像取得部１０の分解能を第１実施形態およびその変形例に比べて、向上させることができる（一例として、１．３３倍にすることができる）。

以上、本発明の実施形態および変形例を例示したが、上記実施形態および変形例はあくまで一例である。実施形態および変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態および変形例の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック（構造や、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。例えば、検査対象物は、長尺状部品以外であってもよい。また、検査装置は、上述した異常以外の異常を画像処理で検出することができる。また、検査装置は、静止状態で取得された画像で検査してもよい。また、光学部品はミラー以外（例えば、レンズ、プリズム等）であってもよい。また、画像中に検査対象物の三つ以上の部位が含まれてもよい。また、撮像部は、幅方向と交叉する方向（斜め方向）に延びた線状の画像を取得してもよい。

１…検査装置、２Ｄ…第二の光源、２Ｕ…第一の光源、２Ｖ…第三の光源、３…撮像部、３Ｄ…第二の撮像部、３Ｕ…第一の撮像部、４…ミラー部、４ａ…鏡面、４Ｄ…第二のミラー部、４Ｕ…第一のミラー部、１０…画像取得部、１０Ｄ…第二の画像取得部、１０Ｕ…第一の画像取得部、２０ａ…画像取得制御部、２０ｂ…検出部、１００…検査対象物。

Claims

長尺状の検査対象物にその長手方向の一方側から光を照らす第一の光源と、
前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、
前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映すミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記ミラー部を介して取得する一つの撮像部と、を、それぞれが有した複数の画像取得部と、
前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、
を備えた検査装置。
長尺状の検査対象物にその長手方向の一方側から光を照らす第一の光源と、
前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、
前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映すミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記ミラー部を介して取得する撮像部と、を有した複数の画像取得部と、
前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、
第一の前記ミラー部と第一の前記撮像部とを有した第一の前記画像取得部と、
第二の前記ミラー部と第二の前記撮像部とを有した第二の前記画像取得部と、
前記第一の光源、前記第二の光源、前記第一の撮像部、および前記第二の撮像部を制御する画像取得制御部と、
を備え、
前記第一のミラー部と前記第二のミラー部とは、前記長手方向で異なる位置に位置され、
前記画像取得制御部は、前記第一の撮像部と前記第二の撮像部との撮像タイミングをずらし、前記第一の撮像部が撮像する際には、前記第一の光源と前記第二の光源とで前記第一のミラー部に対して遠い方の光の強度を近い方の光の強度よりも強くし、前記第二の撮像部が撮像する際には、前記第一の光源および前記第二の光源とで前記第二のミラー部に遠い方の光の強度を近い方の光の強度よりも強くする検査装置。
長尺状の検査対象物にその長手方向の一方側から光を照らす第一の光源と、
前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、
前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映すミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記ミラー部を介して取得する撮像部と、を有した複数の画像取得部と、
前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、
第一の前記ミラー部と第一の前記撮像部とを有した第一の前記画像取得部と、
第二の前記ミラー部と第二の前記撮像部とを有した第二の前記画像取得部と、
前記第一の光源、前記第二の光源、前記第一の撮像部、および前記第二の撮像部を制御する画像取得制御部と、
を備え、
前記第一のミラー部と前記第二のミラー部とは、前記長手方向で異なる位置に位置され、
前記画像取得制御部は、前記第一の撮像部と前記第二の撮像部との撮像タイミングをずらし、前記第一の光源と前記第二の光源とのうちの一方の光の強度を、前記第一の撮像部による撮像の際と前記第二の撮像部による撮像の際とで同じにするとともに、前記一方が光を連続して照射している間に、当該光での撮像を前記第一の撮像部と前記第二の撮像部とに行わせる検査装置。
長尺状の検査対象物にその長手方向の一方側から光を照らす第一の光源と、
前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、
前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映すミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記ミラー部を介して取得する撮像部と、を有した複数の画像取得部と、
前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、
第一の前記ミラー部と第一の前記撮像部とを有した第一の前記画像取得部と、
第二の前記ミラー部と第二の前記撮像部とを有した第二の前記画像取得部と、
前記第一の光源、前記第二の光源、前記第一の撮像部、および前記第二の撮像部を制御する画像取得制御部と、
を備え、
前記第一のミラー部と前記第二のミラー部とは、前記長手方向で異なる位置に位置され、
前記画像取得制御部は、前記第一の撮像部と前記第二の撮像部との撮像タイミングをずらし、前記第一の光源と前記第二の光源とに光を交互に照射させるとともに、前記第一の撮像部と前記第二の撮像部とに、前記第一の撮像部による前記第一の画像の取得および前記第二の撮像部による前記第一の画像の取得と、前記第一の撮像部による前記第二の画像の取得および前記第二の撮像部による前記第二の画像の取得と、を交互に行わせる検査装置。
長尺状の検査対象物にその長手方向の一方側から光を照らす第一の光源と、
前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、
前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映すミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記ミラー部を介して取得する撮像部と、を有した複数の画像取得部と、
前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、
第一の前記ミラー部と第一の前記撮像部とを有した第一の前記画像取得部と、
第二の前記ミラー部と第二の前記撮像部とを有した第二の前記画像取得部と、
前記第一の光源、前記第二の光源、前記第一の撮像部、および前記第二の撮像部を制御する画像取得制御部と、
を備え、
前記第一のミラー部と前記第二のミラー部とは、前記長手方向で異なる位置に位置され、
前記画像取得制御部は、前記第一の撮像部と前記第二の撮像部との撮像タイミングをずらし、前記第一の光源と前記第二の光源とに光を交互に照射させるとともに、前記第一の撮像部と前記第二の撮像部とに、前記第一の撮像部による前記第一の画像および前記第二の画像の取得と、前記第二の撮像部による前記第一の画像および前記第二の画像の取得と、を交互に行わせる検査装置。
長尺状の検査対象物にその長手方向の一方側から光を照らす第一の光源と、
前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、
前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映すミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記ミラー部を介して取得する撮像部と、を有した複数の画像取得部と、
前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、
第一の前記ミラー部と第一の前記撮像部とを有した第一の前記画像取得部と、
第二の前記ミラー部と第二の前記撮像部とを有した第二の前記画像取得部と、
を備え、
前記第一のミラー部と前記第二のミラー部とは、前記長手方向で異なる位置に位置され、
前記検出部は、前記第一のミラー部に対する前記第一の光源および前記第二の光源の距離の違いによる前記第一の画像取得部が取得した前記第一の画像および前記第二の画像の明るさの違いを補正するとともに、前記第二のミラー部に対する前記第一の光源および前記第二の光源の距離の違いによる前記第二の画像取得部が取得した前記第一の画像および前記第二の画像の明るさの違いを補正する検査装置。
第一の前記ミラー部と第一の前記撮像部とを有した第一の前記画像取得部と、
第二の前記ミラー部と第二の前記撮像部とを有した第二の前記画像取得部と、
を備え、
前記第一のミラー部と前記第二のミラー部とは、前記長手方向で異なる位置に位置された請求項１に記載の検査装置。
前記第一の光源、前記第二の光源、前記第一の撮像部、および前記第二の撮像部を制御する画像取得制御部を備え、
前記画像取得制御部は、前記第一の撮像部と前記第二の撮像部との撮像タイミングをずらす請求項７に記載の検査装置。
前記画像取得制御部は、前記第一の撮像部が撮像する際には、前記第一の光源と前記第二の光源とで前記第一のミラー部に対して遠い方の光の強度を近い方の光の強度よりも強くし、前記第二の撮像部が撮像する際には、前記第一の光源および前記第二の光源とで前記第二のミラー部に遠い方の光の強度を近い方の光の強度よりも強くする請求項８に記載の検査装置。
前記画像取得制御部は、前記第一の光源と前記第二の光源とのうちの一方の光の強度を、前記第一の撮像部による撮像の際と前記第二の撮像部による撮像の際とで同じにするとともに、前記一方が光を連続して照射している間に、当該光での撮像を前記第一の撮像部と前記第二の撮像部とに行わせる請求項８に記載の検査装置。
前記画像取得制御部は、前記第一の光源と前記第二の光源とに光を交互に照射させるとともに、前記第一の撮像部と前記第二の撮像部とに、前記第一の撮像部による前記第一の画像の取得および前記第二の撮像部による前記第一の画像の取得と、前記第一の撮像部による前記第二の画像の取得および前記第二の撮像部による前記第二の画像の取得と、を交互に行わせる請求項２，３，８，９または１０に記載の検査装置。
前記画像取得制御部は、前記第一の光源と前記第二の光源とに光を交互に照射させるとともに、前記第一の撮像部と前記第二の撮像部とに、前記第一の撮像部による前記第一の画像および前記第二の画像の取得と、前記第二の撮像部による前記第一の画像および前記第二の画像の取得と、を交互に行わせる請求項２，８または９に記載の検査装置。
前記検出部は、前記第一のミラー部に対する前記第一の光源および前記第二の光源の距離の違いによる前記第一の画像取得部が取得した前記第一の画像および前記第二の画像の明るさの違いを補正するとともに、前記第二のミラー部に対する前記第一の光源および前記第二の光源の距離の違いによる前記第二の画像取得部が取得した前記第一の画像および前記第二の画像の明るさの違いを補正する請求項７または８に記載の検査装置。
長尺状の検査対象物にその長手方向の一方側から光を照らす第一の光源と、
前記検査対象物に前記長手方向の他方側から光を照らす第二の光源と、
前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され、前記検査対象物に前記長手方向の一方側から光を照らす第三の光源と、
前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との間に位置され前記検査対象物を映す第一のミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第一の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記第一のミラー部を介して取得する第一の撮像部と、を有した第一の画像取得部と、
前記長手方向で前記第二の光源と前記第三の光源との間に位置され前記検査対象物を映す第二のミラー部と、前記検査対象物が前記長手方向に搬送されている状態で、前記第三の光源の光によって前記一方側から照らされている際の前記検査対象物の第一の画像と前記第二の光源の光によって前記他方側から照らされている際の前記検査対象物の第二の画像とを前記第二のミラー部を介して取得する第二の撮像部と、を有した第二の画像取得部と、
前記第一の画像と前記第二の画像とを用いて前記検査対象物の異常を検出する検出部と、
を備えた検査装置。
前記第一のミラー部は、前記長手方向で前記第一の光源と前記第二の光源との中間に位置された請求項１４に記載の検査装置。
前記第一の撮像部が前記第一の画像を取得する際の前記第一の光源の光の強度と、前記第一の撮像部が前記第二の画像を取得する際の前記第二の光源の光の強度とが同じである請求項１５に記載の検査装置。
前記第一の光源、前記第二の光源、前記第三の光源、前記第一の撮像部、および前記第二の撮像部を制御する画像取得制御部を備え、
前記画像取得制御部は、前記第一の撮像部と前記第二の撮像部との撮像タイミングをずらすとともに、前記第一の撮像部の前記第二の画像の取得の際の前記第二の光源の光の照射と、前記第二の撮像部の前記第二の画像の撮像の際の前記第二の光源の光の照射との間に間隔をあける請求項１４ないし１６のいずれか一項に記載の検査装置。
前記第一の光源、前記第二の光源、前記第三の光源、前記第一の撮像部、および前記第二の撮像部を制御する画像取得制御部を備え、
前記画像取得制御部は、前記第一の撮像部および前記第二の撮像部に、前記第二の画像の取得を同時に行わせる請求項１４ないし１６のいずれか一項に記載の検査装置。
前記第一のミラー部は、前記検査対象物の前記第一の撮像部とは反対側に位置され、
前記第二のミラー部は、前記検査対象物の前記第二の撮像部とは反対側に位置された請求項２ないし１８のいずれか一項に記載の検査装置。
前記第一のミラー部および前記第二のミラー部のそれぞれは、相互に異なる方向を向いた二つの鏡面を有した請求項２ないし１９のいずれか一項に記載の検査装置。
前記第一のミラー部の前記二つの鏡面は、前記第一の撮像部の光軸に沿って前記第一の撮像部から離れる方向に向かうにつれ相互に近づき、
前記第二のミラー部の前記二つの鏡面は、前記第二の撮像部の光軸に沿って前記第二の撮像部から離れる方向に向かうにつれ相互に近づく請求項２０に記載の検査装置。
前記第一の光源および前記第二の光源は、前記検査対象物が挿入される環状である請求項１ないし２１のいずれか一項に記載の検査装置。
前記第一の光源、前記第二の光源および前記第三の光源は、前記検査対象物が挿入される環状である請求項１４ないし１８のいずれか一項に記載の検査装置。
前記検査対象物は、円管状または円柱状である請求項１ないし２３のいずれか一項に記載の検査装置。