JP6155687B2 - 基板搬送装置及び基板搬送処理システム - Google Patents

Description

本発明は、シート状のガラス基板、プラスチック基板等の基板を搬送方向へ搬送する基板搬送装置、及びシート状の基板を搬送方向へ搬送しかつ基板に対してエッチング処理、ＰＶＤ処理、ＣＶＤ処理等の処理を行う基板搬送処理システムに関する。

クリーン搬送の分野に用いられる基板搬送装置は、基板を搬送方向に間隔を置いて支持する複数の搬送ローラを回転させるローラ駆動タイプと、基板を搬送方向に連続的に支持する無端状の搬送ベルトを循環走行させるベルト駆動タイプとに大別することができる。また、近年、ローラ駆動タイプの基板搬送装置に比べて、搬送中の基板の振動を低減できるベルト駆動タイプの基板搬送装置についての開発が盛んに行われている。そして、ベルト駆動タイプの基板搬送装置の一般的な構成について説明すると、次のようになる。

ベルト駆動タイプの基板搬送装置は、装置ベースを具備しており、この装置ベースには、搬送方向へ延びた一対のサポート部材が搬送方向に直交する搬送幅方向に離隔して立設されている。また、各サポート部材には、複数のローラ（ベルト車）が搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられている。そして、各複数のローラには、基板の幅方向の端部（一端部又は他端部）を支持する循環走行可能な無端状の搬送ベルトが巻回されており、各搬送ベルトの上側部分（上側に位置する部分）は、搬送方向へ延びている。更に、装置ベースの適宜位置には、一対の搬送ベルトを同期して循環走行させる走行モータが設けられている。

なお、本発明に関連する先行技術として特許文献１及び特許文献２に示すものがある。

特開２０１１−１５７１９９号公報 特開２００６−３０６５９３号公報

ところで、搬送中の基板の振動を十分に低減して、基板の損傷を防止するには、各搬送ベルトに対応した位置に設けられたベルトガイドを用い、各ベルトガイドの支持面によって搬送ベルトの上側部分を搬送方向へ案内支持して、各搬送ベルトの上側部分の弛みを抑える必要がある。一方、各ベルトガイドの支持面によって搬送ベルトの上側部分を案内支持しようとすると、搬送ベルト又はベルトガイドの摩耗によって粉塵（塵埃）が発生し、クリーン環境の清浄度の低下を招くことになる。

つまり、クリーン環境の清浄度の低下を抑えつつ、搬送中の基板の損傷を防止することは容易でないという問題がある。

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の基板搬送装置等を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様は、シート状の基板を搬送方向へ搬送する基板搬送装置（ベルト駆動タイプの基板搬送装置）において、装置ベースに前記搬送方向に直交する搬送幅方向に離隔して立設された一対のサポート部材と、各サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数のローラ（ベルト車）と、各複数のローラに巻回され、少なくとも上側部分（上側に位置する部分）が前記搬送方向へ延びており、基板の幅方向の端部（一端部又は他端部）を支持する循環走行可能な無端状の搬送ベルトと、各搬送ベルトの上側部分に対応した位置に設けられ、前記搬送方向へ延びており、前記搬送ベルトの上側部分を上方向へ突出させた状態で前記搬送方向へ支持する凹状の支持面を有し、内部に清浄ガスを収容するチャンバーが形成され、前記チャンバーが清浄ガスを供給するガス供給源に接続可能になっており、前記支持面に前記搬送ベルトの上側部分へ向かって清浄ガスを噴射するノズル孔が形成され、前記ノズル孔が前記チャンバーに連通しているベルトガイドと、 一対の前記搬送ベルトを同期して循環走行させる走行モータと、を具備したことである。

ここで、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「シート状の基板」とは、板状の基板、帯状の基板を含む意である。また、「立設され」とは、直接的に立設されたことの他に、別部材を介して間接的に立設されたことを含む意であって、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意である。更に、「清浄ガス」とは、清浄空気、清浄な窒素ガス、清浄なアルゴンガス等を含む意である。

第１の態様によると、シート状の基板を一対の前記搬送ベルトの上側部分に支持させた後に、前記ガス供給源の作動により各ベルトガイドの前記ノズル孔から前記搬送ベルトの上側部分に向かって清浄ガスを噴出させる。これにより、各ベルトガイドの前記支持面と前記搬送ベルトの上側部分との間に清浄ガス層を生成して、各ベルトガイドの前記支持面によって前記搬送ベルトの上側部分を非接触（非接触に近い状態を含む）で搬送方向へ案内支持することができる。なお、基板を一対の前記搬送ベルトの上側部分に支持させる前に、各ベルトガイドの前記ノズル孔から清浄ガスを噴出させるようにしても構わない。

そして、各ベルトガイドの前記支持面によって前記搬送ベルトの上側部分を非接触で前記搬送方向へ案内支持した状態で、前記走行モータの駆動により一対の前記搬送ベルトを同期して循環走行させる。これにより、基板を前記搬送方向へ搬送することができる。

本発明の第２の態様は、シート状の基板を搬送方向へ搬送しかつ基板に対して処理を行う基板搬送処理システムにおいて、基板に対して処理を行う基板処理装置と、前記基板処理装置の前記搬送方向の上流側及び下流側にそれぞれ配設された第１の特徴からなる基板搬送装置と、を具備したことである。

ここで、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「処理」とは、エッチング処理、ＣＶＤ処理、ＰＶＤ処理等を含む意である。また、「配設され」とは、直接的に配設されたことの他に、別部材を介して間接的に配設されたことを含む意である。

なお、第２の態様によると、第１の態様による作用と同様の作用を奏する。

本発明によれば、基板の搬送中に、各ベルトガイドの前記支持面によって前記搬送ベルトの上側部分を非接触で前記搬送方向へ案内支持しているため、前記搬送ベルト又は前記ベルトガイドの摩耗による粉塵（塵埃）が発生し難くなると共に、各搬送ベルトの弛みを抑えて、搬送中の基板の振動を十分に低減することができる。よって、クリーン環境の清浄度の低下を抑えつつ、搬送中の基板の損傷を十分に防止することができる。

図１（ａ）は、図５におけるIA-IAに沿った図、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す状態から上部サポート部材を下降させた状態を示す図であって、図１（ａ）（ｂ）においては基板を省略してある。 図２は、本発明の第１実施形態に係る下部ベルトガイド及び上部ベルトガイドの周辺の断面図である。 図３は、図２におけるIII-III線に沿った拡大断面図である。 図４（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置の正面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）に示す状態から上部サポート部材を下降させた状態を示す図であって、図４（ａ）（ｂ）においては基板を省略してある。 図５は、図４（ａ）におけるV-V線に沿った断面図である。 図６は、図５における矢視部VIの拡大図である。 図７は、図５におけるVII-VII線に沿った断面図である。 図８は、本発明の第１実施形態に係る基板搬送処理システムの模式的な正面図である。 図９は、本発明の実施形態の変形例に係る下部搬送ベルト、上部搬送ベルト、下部ベルトガイド、及び上部ベルトガイド等を示す図であって、図３に相当する図である。 図１０は、本発明の第２実施形態に係る基板搬送装置の正面図であって、図１０においては基板を省略してある。 図１１は、図１０におけるXI-XI線に沿った拡大断面図である。

（本発明の第１実施形態）
本発明の第１実施形態について図１から図８を参照して説明する。なお、図面に示すとおり、「ＦＦ」は、前方向、「ＦＲ」は、後方向、「Ｒ」は、右方向、「Ｌ」は、左方向である。

図８に示すように、本発明の第１実施形態に係る基板搬送処理システム１は、送出ロール３から送出された帯状のガラス基板等の基板Ｗを搬送方向（本発明の第１実施形態にあっては右方向）へ搬送しかつ基板Ｗに対してエッチング処理等の処理を行い、処理済みの基板Ｗを巻取ロール５に巻取るものである。そして、基板搬送処理システム１の全体構成の概要は、次のようになる。

基板搬送処理システム１は、送出ロール３をその軸心（送出ロール３の軸心）周りに回転可能かつ着脱可能に支持する送出ロール支持部材７を具備しており、この送出ロール支持部材７の適宜位置には、送出ロール３を回転させる送出モータ９が設けられている。また、送出ロール支持部材７に対して搬送方向に離隔した位置には、巻取ロール５をその軸心（巻取ロール５の軸心）周りに回転可能かつ着脱可能に支持する巻取ロール支持部材１１が配設されており、この巻取ロール支持部材１１の適宜位置には、巻取ロール５を回転させる巻取モータ１３が設けられている。なお、基板Ｗの表面を保護する観点から帯状の緩衝材（図示省略）を用い、送出ロール３から基板Ｗを送出すときに基板Ｗから緩衝材が分離されると共に、巻取ロール５に処理済みの基板Ｗを巻取るときに処理済みの基板Ｗに緩衝材が重ね合わされるようになることが望ましい。

送出ロール支持部材７と巻取ロール支持部材１１との間には、基板Ｗに対してエッチング処理等の処理を行う基板処理装置１５が配設されている。なお、１つの基板処理装置１５が配設される代わりに、複数の処理を行う複数の基板処理装置（図示省略）が搬送方向に沿って配設されても構わない。

基板処理装置１５と送出ロール支持部材７との間、換言すれば、基板処理装置１５の搬送方向の上流側（左側）には、基板Ｗを搬送方向へ搬送する上流側の基板搬送装置（ベルト駆動タイプの基板搬送装置）１７が配設されている。また、基板処理装置１５と巻取ロール支持部材１１との間、換言すれば、基板処理装置１５の搬送方向の下流側（右側）には、基板Ｗを搬送方向へ搬送する下流側の基板搬送装置（ベルト駆動タイプの基板搬送装置）１９が配設されている。

下流側の基板搬送装置１９と巻取ロール支持部材１１との間には、基板Ｗの弛みを吸収する弛み吸収機構（図示省略）が配設されている。また、送出ロール支持部材７と上流側の基板搬送装置１７との間には、基板Ｗを案内支持する上流ガイドローラ等の上流ガイド機構（図示省略）が配設されており、巻取ロール支持部材１１と下流側の基板搬送装置１９との間には、処理済みの基板Ｗを案内支持する下流ガイドローラ等の下流ガイド機構（図示省略）が配設されている。

続いて、本発明の実施形態の基板搬送装置１７（１９）の構成の詳細について説明する。

図１（ａ）（ｂ）、図４（ａ）（ｂ）から図７に示すように、基板搬送装置１７（１９）は、盤状の装置ベース２１を具備しており、この装置ベース２１は、搬送方向及び搬送方向に直交する搬送幅方向（本発明の第１実施形態にあっては前後方向）へ延びている。また、装置ベース２１には、搬送方向へ延びた一対の下部サポート部材２３が搬送幅方向に離隔して立設されている。更に、各下部サポート部材２３の上方側には、搬送方向へ延びた上部サポート部材２５が昇降可能（上下方向へ移動可能）に設けられている。

各下部サポート部材２３と対応する上部サポート部材２５との間（各下部サポート部材２３と対応する上部サポート部材２５との間）には、第１連結リンク２７が連結するように設けられており、各第１連結リンク２７は、上下方向へ揺動可能である。また、各第１連結リンク２７の下端部（基端部）は、下部サポート部材２３に搬送幅方向に平行な軸心（第１連結リンク２７の下端部の回転軸心）周りに軸受２９を介して回転可能に連結されている。更に、各第１連結リンク２７の上端部（先端部）は、上部サポート部材２５に搬送幅方向に平行な軸心（第１連結リンク２７の上端部の回転軸心）周りに軸受３１を介して回転可能に連結されている。

各下部サポート部材２３と対応する上部サポート部材２５との間には、第２連結リンク３３が連結するように設けられており、各第２連結リンク３３は、上下方向へ揺動可能であって、第１連結リンク２７に対して平行運動（平行揺動）するものである。また、各第２連結リンク３３の下端部は、下部サポート部材２３に搬送幅方向に平行な軸心（第２連結リンク３３の下端部の回転軸心）周りに軸受（図示省略）を介して回転可能に連結されている。更に、各第２連結リンク３３の上端部は、上部サポート部材２５に搬送幅方向に平行な軸心（第２連結リンク３３の上端部の回転軸心）周りに軸受（図示省略）を介して回転可能に連結されている。

つまり、各下部サポート部材２３の上方側には、上部サポート部材２５が第１連結リンク２７及び第２連結リンク３３を介して設けられており、各上部サポート部材２５は、対応する下部サポート部材２３に対して平行な状態を保ちつつ昇降できるようになっている。

図１（ａ）（ｂ）、図４（ａ）（ｂ）、及び図７に示すように、各下部サポート部材２３の右側部には、第１昇降エアシリンダ３５がブラケット３７を介して揺動可能に設けられており、各第１昇降エアシリンダ３５のピストンロッド３９の先端部（上端部）は、対応する上部サポート部材２５の適宜位置に回転可能に連結されている。また、各上部サポート部材２５の左側部には、第１昇降エアシリンダと協働して上部サポート部材２５を昇降させる第２昇降エアシリンダ４１がブラケット４３を介して揺動可能に設けられており、各第２昇降エアシリンダ４１のピストンロッド４５の先端部（下端部）は、各下部サポート部材２３の適宜位置に回転可能に連結されている。

図１（ａ）（ｂ）、図３、図５、及び図６に示すように、各下部サポート部材２３には、複数（本発明の第１実施形態にあっては４つ）の下部ローラ（下部ベルト車）４７が搬送幅方向に平行な軸心（下部ローラ４７の回転軸４７ｓの軸心）周りに軸受４９を介して回転可能に設けられている。また、各複数の下部ローラ４７には、基板Ｗの幅方向の端部（一端部又は他端部）を下方向から支持する循環走行可能な無端状の下部搬送ベルト５１が巻回されており、各下部搬送ベルト５１の上側部分（上側に位置する部分）は、搬送方向へ延びている。ここで、本発明の第１実施形態にあっては、各下部搬送ベルト５１として、樹脂により構成された丸ベルトを用いている。

同様に、各上部サポート部材２５には、複数（本発明の第１実施形態にあっては２つ）の上部ローラ５３が搬送幅方向に平行な軸心（上部ローラ５３の回転軸５３ｓの軸心）周りに軸受５５を介して回転可能に設けられている。また、各複数の上部ローラ（上部ベルト車）５３には、下部搬送ベルト５１と協働して基板Ｗの幅方向の端部を上下方向から挟持する循環走行可能な無端状の上部搬送ベルト５７が巻回されており、各上部搬送ベルト５７の上側部分（上側に位置する部分）及び下側部分は、搬送方向へ延びている。ここで、本発明の第１実施形態にあっては、各上部搬送ベルト５７として、下部搬送ベルト５１と同様に、樹脂により構成された丸ベルトを用いている。

図４から図７に示すように、各複数の下部ローラ４７（搬送幅方向の両側にそれぞれ位置する複数の下部ローラ４７）のうち駆動用下部ローラ４７Ｄの回転軸４７Ｄｓ同士は、搬送幅方向へ延びた下部連結軸５９及び一対のカップリング６１を介して連動連結されている。また、各複数の下部ローラ４７のうち駆動用下部ローラ４７Ｄの回転軸４７Ｄｓと対応する複数の上部ローラ５３のうち駆動用上部ローラ５３Ｄの回転軸５３Ｄｓは、２つのタイミングプーリ６３及び無端状のタイミングベルト６５を介して連動連結されている。換言すれば、各複数の下部ローラ４７のうち駆動用下部ローラ４７Ｄの回転軸４７Ｄｓ同士、及び各複数の上部ローラ５３（搬送幅方向の両側にそれぞれ位置する複数の上部ローラ５３）のうち駆動用上部ローラ５３Ｄの回転軸５３Ｄｓ同士は、下部連結軸５９、一対のカップリング６１、４つのタイミングプーリ６３、及び２つのタイミングベルト６５を介して連動連結されている。

ここで、各複数の下部ローラ４７のうち駆動用下部ローラ４７Ｄの回転軸４７Ｄｓの軸心（回転軸心）は、第１連結リンク２７の下端部の回転軸心に同心上に位置してある。また、各複数の上部ローラ５３のうち駆動用上部ローラ５３Ｄの回転軸５３Ｄｓの軸心は、第１連結リンク２７の上端部の回転軸心に同心上に位置している。

装置ベース２１における一方の下部サポート部材２３の近傍には、一対の下部搬送ベルト５１及び一対の上部搬送ベルト５７を循環走行させる共通の走行モータ６７が設けられている。また、共通の走行モータ６７の出力軸６７ｓは、減速機６９及びカップリング７１を介して、一方の複数の下部ローラ４７のうち駆動用下部ローラ４７Ｄの回転軸４７Ｄｓに連動連結されている。なお、共通の走行モータ６７の代わりに、一対の下部搬送ベルト５１を循環走行させる下部搬送ベルト用走行モータ（図示省略）及び一対の上部搬送ベルト５７を循環走行させる上部搬送ベルト用走行モータ（図示省略）を用いても構わない。この場合には、下部搬送ベルト用走行モータの出力軸が一方の複数の下部ローラ４７のうち駆動用下部ローラ４７Ｄの回転軸４７Ｄｓに連動連結され、上部搬送ベルト用走行モータの出力軸が一方の複数の上部ローラ５３のうち駆動用上部ローラ５３Ｄの回転軸５３Ｄｓに連動連結されることになる。

図１（ｂ）、図２、及び図３に示すように、各下部サポート部材２３おける下部搬送ベルト５１の上側部分に対応する位置には、搬送方向へ延びた下部ベルトガイド７３が断面Ｌ型の支持バー７５を介して設けられており、各下部ベルトガイド７３は、下部搬送ベルト５１の上側部分（上側に位置する部分）を搬送方向へ案内支持する半円状の下部支持面７３ｆを有している。また、各下部ベルトガイド７３の内部には、清浄空気（清浄ガスの一例）を収容する複数（本発明の第１実施形態にあっては２つ）の下部チャンバー７７が形成されており、各下部チャンバー７７は、清浄空気を供給するフィルタ付きブロア等の共通の空気供給源（ガス供給源の一例）７９に接続可能である。更に、各下部ベルトガイド７３の下部支持面７３ｆには、下部搬送ベルト５１の上側部分に向かって空気を噴射する複数の下部ノズル孔８１が搬送方向に間隔を置いて開口形成されている。そして、各下部ベルトガイド７３の各下部ノズル孔８１は、対応する下部チャンバー７７に連通してあって、対応する下部チャンバー７７を介して共通の空気供給源７９に接続可能である。

同様に、各上部サポート部材２５における上部搬送ベルト５７の下側部分に対応する位置には、搬送方向へ延びた上部ベルトガイド８３が断面Ｌ型の支持バー８５を介して設けられており、各上部ベルトガイド８３は、上部搬送ベルト５７の下側部分（下側に位置する部分）を搬送方向へ案内支持する半円状の上部支持面８３ｆを有している。また、各上部ベルトガイド８３の内部には、清浄空気を収容する複数（本発明の第１実施形態にあっては２つ）の上部チャンバー８７が形成されており、各上部チャンバー８７は、空気供給源７９に接続可能である。更に、各上部ベルトガイド８３の上部支持面８３ｆには、上部搬送ベルト５７の下側部分に向かって空気を噴射する複数の上部ノズル孔８９が搬送方向に間隔を置いて開口形成されている。そして、各上部ベルトガイド８３の各上部ノズル孔８９は、対応する上部チャンバー８７に連通してあって、対応する上部チャンバー８７を介して共通の空気供給源７９に接続可能である。

前述の基板搬送処理システム１の構成に基づいて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。

送出ロール３から送出した帯状の基板Ｗの幅方向の端部を各基板搬送装置１７（１９）における一対の下部搬送ベルト５１の上側部分に支持させると共に、基板Ｗの先端部を巻取ロール５に取付ける。これにより、基板搬送処理システム１に対して基板Ｗをセットして、基板搬送処理システム１の稼働を開始することができる。

基板搬送処理システム１の稼働を開始した後に、まず、各基板搬送装置１７（１９）における各第１昇降エアシリンダ３５及び各第２昇降エアシリンダ４１の駆動により各上部サポート部材２５を下降させる。これにより、各基板搬送装置１７（１９）における一対の上部搬送ベルト５７及び一対の下部搬送ベルト５１により基板Ｗの幅方向の端部を上下方向から挟持する。

次に、共通の空気供給源７９の作動により各基板搬送装置１７（１９）における各下部ベルトガイド７３の複数の下部チャンバー７７に清浄空気を供給して、各下部ベルトガイド７３の複数の下部ノズル孔８１から下部搬送ベルト５１の上側部分に向かって清浄空気を噴出させる。これにより、各下部ベルトガイド７３の下部支持面７３ｆと下部搬送ベルト５１の上側部分との間に清浄空気層（清浄ガス層の一例、図示省略）を生成して、各下部ベルトガイド７３の下部支持面７３ｆによって下部搬送ベルト５１の上側部分を非接触（非接触に近い状態を含む）で搬送方向へ案内支持することができる。同様に、共通の空気供給源７９の作動により各基板搬送装置１７（１９）における各上部ベルトガイド８３の複数の上部チャンバー８７に清浄空気を供給して、各上部ベルトガイド８３の複数の上部ノズル孔８９から上部搬送ベルト５７の下側部分に向かって清浄空気を噴出させる。これにより、各上部ベルトガイド８３の上部支持面８３ｆと上部搬送ベルト５７の下側部分との間に清浄空気層（図示省略）を生成して、各上部ベルトガイド８３の上部支持面８３ｆによって上部搬送ベルト５７の下側部分を非接触（非接触に近い状態を含む）で搬送方向へ案内支持することができる。なお、一対の上部搬送ベルト５７及び一対の下部搬送ベルト５１により基板Ｗの幅方向の端部を上下方向から挟持する前に、各下部ベルトガイド７３の複数の下部ノズル孔８１及び各上部ベルトガイド８３の複数の上部ノズル孔８９から清浄空気を噴出させるようにしても構わない。

そして、各下部ベルトガイド７３の下部支持面７３ｆによって下部搬送ベルト５１の上側部分、及び各上部ベルトガイド８３の上部支持面８３ｆによって上部搬送ベルト５７の下側部分を非接触で搬送方向へそれぞれ案内支持した状態で、各基板搬送装置１７（１９）における共通の走行モータ６７の駆動により各下部搬送ベルト５１及び各上部搬送ベルト５７を駆動ベルトとして同期して循環走行させる。また、共通の走行モータ６７の駆動に同期して、送出モータ９の駆動により送出ロール３を回転させかつ巻取モータ１３の駆動により巻取ロール５を回転させる。これにより、送出ロール３から送出した基板Ｗを搬送方向へ搬送して、基板Ｗの所定の部位を基板処理装置１５に対して位置決めすることができる。ここで、各基板搬送装置１７（１９）における下部搬送ベルト５１の走行速度と上部搬送ベルト５７の走行速度は同じであって、各基板搬送装置１７（１９）における下部搬送ベルト５１（上部搬送ベルト５７）の走行速度が各基板搬送装置１７（１９）の搬送速度になっている。また、上流側の基板搬送装置１７と下流側の基板搬送装置１９の間で基板Ｗに対して搬送方向の所定の張力を付与できるように、下流側の基板搬送装置１９の搬送速度は、上流側の基板搬送装置１７の搬送速度よりも高く設定されている。

基板Ｗの所定の部位を基板処理装置１５に対して位置決めした後に、基板処理装置１５によって基板Ｗの所定の部位に対して適宜の処理を行う。

更に、前述の各基板搬送装置１７（１９）による基板Ｗの搬送と、基板処理装置１５による基板Ｗの処理を交互に繰り返して実行することにより、処理済みの基板Ｗを巻取ロール５に巻取ることができる。

従って、本発明の第１実施形態によれば、基板Ｗの搬送中に、各下部ベルトガイド７３の下部支持面７３ｆによって下部搬送ベルト５１の上側部分、及び各上部ベルトガイド８３の上部支持面８３ｆによって上部搬送ベルト５７の下側部分を非接触で搬送方向へそれぞれ案内支持しているため、下部搬送ベルト５１、上部搬送ベルト５７、下部ベルトガイド７３、又は上部ベルトガイド８３の摩耗による粉塵（塵埃）が発生し難くなると共に、各下部搬送ベルト５１の弛みを抑えて、搬送中の基板Ｗの振動を十分に低減することができる。よって、クリーン環境の清浄度の低下を抑えつつ、搬送中の基板Ｗの損傷を十分に防止することができる。

（第１実施形態の変形例）
本発明の第１実施形態の変形例について図９を参照して説明する。なお、図面に示すとおり、「ＦＦ」は、前方向、「ＦＲ」は、後方向、「Ｒ」は、右方向、「Ｌ」は、左方向である。

図９に示すように、本発明の第１実施形態の変形例にあっては、各下部搬送ベルト５１として、樹脂により構成された丸ベルトの代わりに、大部分が樹脂により構成されかつ外周側に無端状のリブ９１を有しかつアラミド繊維等の強化繊維９３を内包したリブ付き平ベルトを用いている。同様に、各上部搬送ベルト５７として、樹脂により構成された丸ベルトの代わりに、大部分が樹脂により構成されかつ外周側に無端状のリブ９５を有しかつアラミド繊維等の強化繊維９７を内包したリブ付き平ベルトを用いている。また、各下部ベルトガイド７３の下部支持面７３ｆ及び各上部ベルトガイド８３の上部支持面８３ｆの断面形状は、Ｕ字状を呈している。

そして、本発明の第１実施形態の変形例においても、本発明の第１実施形態の作用及び効果と同様の効果を奏するものである。

（本発明の第２実施形態）
本発明の第２実施形態について図１０及び図１１を参照して説明する。なお、図面に示すとおり、「ＦＦ」は、前方向、「ＦＲ」は、後方向、「Ｒ」は、右方向、「Ｌ」は、左方向である。

図１０及び図１１に示すように、本発明の第２実施形態に係る基板搬送装置９９は、本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置１７（１９）と同様に、基板Ｗを搬送方向（本発明の第２実施形態にあっては右方向）へ搬送する装置であって、基板搬送処理システム１（図８参照）に用いられるものである。また、本発明の第２実施形態に係る基板搬送装置９９は、本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置１７（１９）と同様の構成を有している。以下、基板搬送装置９９の構成のうち、基板搬送装置１７（１９）の構成と異なる部分についてのみ簡単に説明する。なお、基板搬送装置９９における複数の構成要素のうち、基板搬送装置１７（１９）における構成要素と対応するものについては、図面中に同一番号を付する。

各下部搬送ベルト５１及び各上部搬送ベルト５７として、樹脂により構成されたＶベルトを用いている。また、各下部ベルトガイド７３の下部支持面７３ｆ及び各上部ベルトガイド８３の上部支持面８３ｆの断面形状は、Ｕ字状を呈している。

各下部サポート部材２３における下部搬送ベルト５１の内側には、複数の下部補助ローラ（下部補助ベルト車）１０１が搬送幅方向（本発明の第２実施形態にあっては前後方向）に平行な軸心周りに軸受（図示省略）を介して回転可能に設けられている。また、複数の下部補助ローラ１０１には、下部搬送ベルト５１の循環走行に伴って循環走行する無端状の下部金属ベルト１０３が巻回されており、各下部金属ベルト１０３は、ステンレス板、スチール板等の金属板により構成されている。更に、下部金属ベルト１０３の上側部分（上側に位置する部分）は、下部搬送ベルト５１の上側部分と下部ベルトガイド７３の下部支持面７３ｆの間に位置するように搬送方向へ延びている。そして、各下部ベルトガイド７３の複数の下部ノズル孔８１は、下部金属ベルト１０３の上側部分（下部搬送ベルト５１の上側部分）に向かって清浄空気を噴射するようになっている。ここで、各下部ベルトガイド７３の複数の下部ノズル孔８１から清浄空気を噴出させると、各下部ベルトガイド７３の下部支持面７３ｆと下部金属ベルト１０３の上側部分との間に清浄空気層（図示省略）を生成することになる。

同様に、各上部サポート部材２５における上部搬送ベルト５７の内側には、複数の上部補助ローラ（上部補助ベルト車）１０５が搬送幅方向に平行な軸心周りに軸受（図示省略）を介して回転可能に設けられている。また、複数の上部補助ローラ１０５には、上部搬送ベルト５７の循環走行に伴って循環走行する無端状の上部金属ベルト１０７が巻回されており、各上部金属ベルト１０７は、ステンレス板、スチール板等の金属板により構成されている。更に、上部金属ベルト１０７の下側部分（下側に位置する部分）は、上部搬送ベルト５７の下側部分と上部ベルトガイド８３の上部支持面８３ｆの間に位置するように搬送方向へ延びている。そして、各上部ベルトガイド８３の複数の上部ノズル孔８９は、上部金属ベルト１０７の下側部分に向かって清浄空気を噴射するようになっている。ここで、各上部ベルトガイド８３の複数の上部ノズル孔８９から清浄空気を噴出させると、各上部ベルトガイド８３の上部支持面８３ｆと上部金属ベルト１０７の下側部分との間に清浄空気層（図示省略）を生成することになる。

そして、本発明の第２実施形態においては、前述の本発明の実施形態と同様の作用及び効果を奏する他に、次のような作用及び効果を奏する。

各下部金属ベルト１０３がステンレス板等の金属板により構成されているため、樹脂により構成された樹脂ベルトの表面粗さに比べて、各下部金属ベルト１０３の内表面（内周側の表面）の表面粗さを小さくすることができる。これにより、各下部ベルトガイド７３の下部支持面７３ｆと下部金属ベルト１０３の上側部分との間に生成される清浄空気層の厚さを薄くしても、各下部ベルトガイド７３の下部支持面７３ｆによって下部搬送ベルト５１の上側部分を下部金属ベルト１０３の上側部分を介して非接触で搬送方向へ案内支持することができる。

同様に、各上部金属ベルト１０７がステンレス板等の金属板により構成されているため、樹脂ベルトの表面粗さに比べて、各上部金属ベルト１０７の内表面の表面粗さを小さくすることができる。これにより、各上部ベルトガイド８３の上部支持面８３ｆと上部金属ベルト１０７の下側部分との間に生成される清浄空気層の厚さが薄くしても、各上部ベルトガイド８３の上部支持面８３ｆによって上部搬送ベルト５７の下側部分を上部金属ベルト１０７を介して非接触で搬送方向へ案内支持することができる。

従って、本発明の第２実施形態によれば、下部搬送ベルト５１の上側部分を非接触で搬送方向へ案内支持するための清浄空気の消費流量、及び上部搬送ベルト５７の下側部分を非接触で搬送方向へ案内支持するための清浄空気の消費流量を減らすことができ、基板搬送装置９９のランニングコスト、換言すれば、基板搬送装置９９を用いた基板搬送処理システム１のランニングコストの低減を図ることができる。

なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。

１ 基板搬送処理システム
１５ 基板処理装置
１７ 上流側の基板搬送装置
１９ 下流側の基板搬送装置
２１ 装置ベース
２３ 下部サポート部材
２５ 上部サポート部材
２７ 第１連結リンク
３３ 第２連結リンク
４７ 下部ローラ
５１ 下部搬送ベルト
５３ 上部ローラ
５７ 上部搬送ベルト
６７ 共通の走行モータ
７３ 下部ベルトガイド
７３ｆ 下部ベルトガイドの下部支持面
７７ 下部チャンバー
７９ 空気供給源
８１ 下部ノズル孔
８３ 上部ベルトガイド
８３ｆ 上部ベルトガイドの上部支持面
８７ 上部チャンバー
８９ 上部ノズル孔
９１ リブ
９３ 強化繊維
９５ リブ
９７ 強化繊維
９９ 基板搬送装置
１０１ 下部補助ローラ
１０３ 下部金属ベルト
１０５ 上部補助ローラ
１０７ 上部金属ベルト

Claims (7)

1. シート状の基板を搬送方向へ搬送する基板搬送装置において、
   装置ベースに前記搬送方向に直交する搬送幅方向に離隔して立設された一対のサポート部材と、
   各サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数のローラと、
   各複数のローラに巻回され、少なくとも上側部分が前記搬送方向へ延びており、基板の幅方向の端部を支持する循環走行可能な無端状の搬送ベルトと、
   各搬送ベルトの上側部分に対応した位置に設けられ、前記搬送方向へ延びており、前記搬送ベルトの上側部分を上方向へ突出させた状態で前記搬送方向へ支持する凹状の支持面を有し、内部に清浄ガスを収容するチャンバーが形成され、前記チャンバーが清浄ガスを供給するガス供給源に接続可能になっており、前記支持面に前記搬送ベルトの上側部分へ向かって清浄ガスを噴射するノズル孔が形成され、前記ノズル孔が前記チャンバーに連通しているベルトガイドと、
   一対の前記搬送ベルトを同期して循環走行させる走行モータと、を具備した、基板搬送装置。
2. 各サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数の補助ローラと、
   各複数の補助ローラに巻回され、金属板により構成され、上側部分が前記搬送ベルトの上側部分と前記ベルトガイドの前記支持面の間に位置するように前記搬送方向へ延びており、前記搬送ベルトの循環走行に伴って循環走行する無端状の金属ベルトと、を具備した、請求項１に記載の基板搬送装置。
3. 各搬送ベルトとして、丸ベルト、或いは外周側に無端状のリブを有しかつ強化繊維を内包したリブ付き平ベルトを用いた、請求項１に記載の基板搬送装置。
4. 前記サポート部材、前記ローラ、前記搬送ベルト、前記支持面、前記チャンバー、前記ノズル孔、前記ベルトガイド、及び前記走行モータがそれぞれ下部サポート部材、下部ローラ、下部搬送ベルト、下部支持面、下部チャンバー、下部ノズル孔、下部ベルトガイド、及び下部搬送ベルト用走行モータであり、
   各下部サポート部材の上方側に昇降可能に設けられた上部サポート部材と、
   各上部サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数の上部ローラと、
   各複数の上部ローラに巻回され、少なくとも下側部分が前記搬送方向へ延びおり、前記下部搬送ベルトと協働して基板の幅方向の端部を上下方向から挟持する循環走行可能な無端状の上部搬送ベルトと、
   各上部搬送ベルトの下側部分に対応した位置に設けられ、前記搬送方向へ延びており、前記上部搬送ベルトの下側部分を下方向へ突出させた状態で前記搬送方向へ支持する凹状の上部支持面を有し、内部に清浄ガスを収容する上部チャンバーが形成され、前記上部チャンバーが前記ガス供給源に接続可能になっており、前記上部支持面に前記上部搬送ベルトの下側部分へ向かって清浄ガスを噴射する上部ノズル孔が形成され、前記上部ノズル孔が前記上部チャンバーに連通している上部ベルトガイドと、
   一対の前記上部搬送ベルトを循環走行させる上部搬送ベルト用走行モータと、を具備した、請求項１に記載の基板搬送装置。
5. 各下部サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数の下部補助ローラと、
   各複数の下部補助ローラに巻回され、金属板により構成され、上側部分が前記下部搬送ベルトの上側部分と前記下部ベルトガイドの前記下部支持面の間に位置するように前記搬送方向へ延びており、前記下部搬送ベルトの循環走行に伴って循環走行する無端状の下部金属ベルトと、
   各上部サポート部材に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた複数の上部補助ローラと、
   各複数の上部補助ローラに巻回され、金属板により構成され、下側部分が前記上部搬送ベルトの下側部分と前記上部ベルトガイドの前記上部支持面の間に位置するように前記搬送方向へ延びており、前記上部搬送ベルトの循環走行に伴って循環走行する無端状の上部金属ベルトと、を具備した、請求項４に記載の基板搬送装置。
6. 各下部搬送ベルト及び各上部搬送ベルトは、丸ベルト、或いは外周側に無端状のリブを有しかつ強化繊維を内包したリブ付き平ベルトである、請求項４又は請求項５に記載の基板搬送装置。
7. シート状の基板を搬送方向へ搬送しかつ基板に対して処理を行う基板搬送処理システムにおいて、
   基板に対して処理を行う基板処理装置と、
   前記基板処理装置の前記搬送方向の上流側及び下流側にそれぞれ配設された請求項１から請求項６のうちのいずれか１項の請求項に記載の基板搬送装置と、を具備した、基板搬送処理システム。

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