JP6231791B2 - 実装装置 - Google Patents

Description

本発明は、実装装置に関する。

従来、実装装置としては、吸着ノズルにより吸着された部品と同時に撮像される位置に被検出部を備え、吸着ノズルの回転中心と被検出部との相対位置関係を予め検出し、吸着された部品と被検出部とを同時に撮像し、先の相対位置関係に基づいて部品の中心の位置ずれを取得するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この装置では、吸着ノズルの回転中心に対する部品の位置ずれの検出精度を高めることができる。

特開２００２−１８５１９８号公報

ところで、実装する部品は、多種多様のものがあることから、より適した部品の撮像画像を得ようとすると、部品の種類によっては被検出部の撮像結果が暗くなりすぎたり、明るくなりすぎるなどして、被検出部の位置が正確に検出しにくいことがあった。例えば、特許文献１に記載された実装装置では、被検出部を用いて部品の位置ずれの検出精度を高めてはいるものの、まだ十分ではなく、部品の位置ずれの検出精度をより高めることが求められていた。

本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、保持された部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる実装装置を提供することを主目的とする。

本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

即ち、本発明の実装装置は、
１以上の部品を基板上に実装する実装装置であって、
前記部品を保持し前記基板上へ移動させる実装ヘッドと、前記実装ヘッドに保持された部品と前記実装ヘッドが有する所定の基準マークとを撮像する撮像部と、を備える実装処理部を備え、
前記実装処理部は、前記所定の基準マークとして、第１基準マークと、少なくとも前記第１基準マークとは光学的特性の異なる第２基準マークとを備えているものである。

この実装装置では、実装ヘッドに保持された部品と実装ヘッドが有する所定の基準マークとを撮像するに際して、所定の基準マークとして、第１基準マークと、少なくとも第１基準マークとは光学的特性の異なる第２基準マークとを備えており、実装ヘッドに保持された部品と共に、この第１基準マーク又は第２基準マークを撮像する。例えば、部品によっては、その照明条件などを変更して撮像する場合があるが、ここでは、光学的特性の異なる複数の基準マークを備えるから、部品により適した基準マークを用いて部品を撮像可能である。また、この撮像画像を用いて、実装ヘッドに保持された部品と基準マークとの相対位置をより正確に検出することができる。したがって、保持された部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。ここで、「光学的特性」とは、例えば、撮像時の光に応じた特性であり、撮像画像にその影響が現れる特性をいうものとしてもよい。また、第１基準マークと第２基準マークとを備えるものとしたが、基準マークが複数あるものとすれば、例えば、更に光学的特性の異なる第３基準マークや第４基準マークなどを備えるものとしてもよい。

本発明の実装装置において、前記実装処理部は、前記光学的特性として、反射率、輝度、色及び撮像される撮像面の角度のうち１以上が異なる前記第２基準マークを備えているものとしてもよい。即ち、前記実装処理部は、前記第１基準マークと、前記第１基準マークに比して反射率の高い前記第２基準マークとを備えているものとしてもよい。また、前記実装処理部は、前記第１基準マークと、前記第１基準マークに比して輝度の高い第２基準マークとを備えているものとしてもよい。また、前記実装処理部は、前記第１基準マークと、前記第１基準マークとは異なる角度の撮像面が形成された第２基準マークとを備えているものとしてもよい。なおこれらの光学的特性は、例えば輝度と撮像面の角度など、２以上を組み合わせたものとしてもよい。

本発明の実装装置において、前記実装ヘッドは、前記第１基準マーク及び前記第２基準マークを装着及び取外し可能である装着部を備えているものとしてもよい。こうすれば、第１及び第２基準マークを取り替えることにより、保持された部品の位置ずれの検出精度を比較的容易により高めることができる。

本発明の実装装置において、前記実装ヘッドは、部品を吸着する２以上の吸着ノズルを装着及び取外し可能であり、前記第１基準マーク及び前記第２基準マークを装着及び取外し可能である装着部を備えているものとしてもよい。こうすれば、吸着ノズルに代えて基準マークを装着可能であるため、比較的汎用的に部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。

装着部を備えた本発明の実装装置は、前記第１基準マーク及び前記第２基準マークのうち１以上を前記実装ヘッドの前記装着部に装着させる装着制御部、を備えたものとしてもよい。こうすれば、装着制御部により第１及び第２基準マークを取り替え可能であり、自動的な処理により、部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。このとき、前記装着制御部は、前記実装ヘッドに保持される部品に応じて前記第１基準マーク及び前記第２基準マークのうちいずれか１つを前記実装ヘッドに装着するものとしてもよい。こうすれば、部品を実装する処理の効率低下をより防止しつつ、部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。

あるいは、本発明の実装装置において、前記第１基準マーク及び前記第２基準マークは、前記実装ヘッドに固定されているものとしてもよい。こうすれば、固定位置からの基準マークのずれがないため、保持された部品の位置ずれの検出精度を更に高めることができる。

本発明の実装装置において、前記実装ヘッドは、前記撮像部の撮像範囲の一端側に前記第１基準マークが配設され、前記撮像部の撮像範囲の他端側に前記第２基準マークが配設されているものとしてもよい。こうすれば、複数の基準マークが撮像範囲の端部に配設されるから、実装処理の妨げを防止しつつ部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。なお、「配設され」とは、取り外し可能に装着されている場合を含むほか、固定されている場合を含むものとしてもよい。

本発明の実装装置において、前記撮像部は、前記実装ヘッドに保持された部品に対して複数の照明状態で光を照射可能な照明部と、前記実装ヘッドに保持された部品に応じた照明状態に前記照明部を制御する照明制御部とを有しているものとしてもよい。こうすれば、照明状態に応じた基準マークを用いることにより、部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。ここで、「照明状態」には、例えば、明るさ、光の波長、光の照射位置などが含まれるものとしてもよい。

本発明の実装装置は、前記撮像部の撮像画像に含まれる部品の画像と、前記第１及び第２基準マークのうち少なくとも一方の画像の位置に基づいて、前記実装ヘッドに保持された部品の保持状態を検出する検出手段、を備えたものとしてもよい。ここで、「部品の保持状態」としては、部品の位置ずれ（平面上及び高さ方向）、部品の回転角度などを含むものとしてもよい。また、「部品の保持状態の検出」には、保持状態の良否を検出するほか、部品の位置ずれ量を検出することを含む。

あるいは、本発明の実装装置は、１以上の部品を基板上に実装する実装装置であって、部品を吸着する２以上の吸着ノズルを装着及び取外し可能である装着部を備え前記部品を吸着し前記基板上へ移動させる実装ヘッドと、前記実装ヘッドに吸着された部品と前記実装ヘッドが有する所定の基準マークとを撮像する撮像部と、を備える実装処理部を備え、前記実装処理部は、前記装着部に装着及び取外し可能である前記所定の基準マークを備えているものである。

この実装装置では、２以上の吸着ノズルを装着部に装着可能な実装ヘッドにおいて、装着部に基準マークを装着することができる。このため、特別に基準マークを備えない実装装置においても、この基準マークを用いて実装ヘッドに吸着された部品のずれを検出することができる。この実装装置において、前記実装処理部は、前記装着部に装着及び取外し可能である前記所定の基準マークを１つだけ備えているものとしてもよい。

この態様の実装装置において、前記基準マークを前記実装ヘッドの前記装着部に装着させる装着制御部、を備えたものとしてもよい。こうすれば、装着制御部により基準マークを取り替え可能であり、自動的な処理により、部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。このとき、前記装着制御部は、前記実装ヘッドに保持される部品に応じて前記基準マークを前記実装ヘッドに装着するものとしてもよい。また、本発明の実装装置において、前記撮像部は、前記実装ヘッドに保持された部品に対して複数の照明状態で光を照射可能な照明部と、前記実装ヘッドに保持された部品に応じた照明状態に前記照明部を制御する照明制御部とを有しているものとしてもよい。こうすれば、照明状態に応じて部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。また、本発明の実装装置は、前記撮像部の撮像画像に含まれる部品の画像と、前記基準マークのうち少なくとも一方の画像の位置に基づいて、前記実装ヘッドに保持された部品の保持状態を検出する検出手段、を備えたものとしてもよい。

部品実装システム１０の概略説明図。 部品実装機１１の電気的な接続関係を表すブロック図。 実装ヘッド２４及びカメラユニット６０の説明図。 実装処理ルーチンの一例を表すフローチャート。 実装ヘッド２４、第１基準マーク５１及び第２基準マーク５２の説明図。 反射率の高い部品Ｐ１のずれ検出の説明図。 反射率の低い部品Ｐ３のずれ検出の説明図。 別の部品実装機１１Ｂの概略説明図。 別の実装処理ルーチンの一例を表すフローチャート。 第１基準マーク５１Ｂ及び第２基準マーク５２Ｂの切替の説明図。 反射率の高い部品Ｐ１及び反射率の低い部品Ｐ３のずれ量検出の説明図。 別の基準マーク５１Ｃ、基準マーク５１Ｄの説明図。

（第１実施形態）
本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１は部品実装システム１０の概略説明図、図２は、部品実装機１１の電気的な接続関係を表すブロック図、図３は、実装ヘッド２４及びカメラユニット６０の説明図である。なお、本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１に示した通りとする。この第１実施形態では、実装ヘッド２４自体に複数の基準マーク（第１基準マーク５１及び第２基準マーク５２）を配設した態様を説明する。

部品実装システム１０は、部品実装機１１と、管理コンピュータ８０とを備えている。部品実装システム１０は、電子部品（以下「部品Ｐ」という）を基板１６に実装する実装処理をそれぞれ実施する複数の部品実装機１１が上流から下流に配置されている。図１では、説明の便宜のため部品実装機１１を１台のみ示している。なお、実装処理とは、部品を基板上に配置、装着、挿入、接合、接着する処理などを含む。部品実装機１１は、図１に示すように、基台１３と、基台１３の上に設置された実装機本体１４と、実装機本体１４に装着されたリールユニット３８とを備えている。基台１３は、直方体に形成された重量物であり、裏面の四隅には図示しないキャスタが取り付けられている。

実装機本体１４は、基台１３に対して交換可能に設置されている。この実装機本体１４は、基板１６を搬送する基板搬送装置１８と、ＸＹ平面を移動可能な実装ヘッド２４と、実装ヘッド２４に取り付けられＺ軸へ移動可能な吸着ノズル４０と、吸着ノズル４０に吸着された部品を撮像するカメラユニット６０と、実装ヘッド２４に取り付け可能な複数種類の吸着ノズルをストックするノズルストッカ４４と、各種制御を実行する制御装置７０（図２参照）とを備えている。この実装機本体１４に配設されている基板搬送装置１８、Ｘ軸スライダ２６、Ｙ軸スライダ３０、実装ヘッド２４及びカメラユニット６０などにより、実装処理部１２が構成されている。

基板搬送装置１８は、図１の前後に間隔を開けて設けられ左右方向に延びる支持板２０，２０と、両支持板２０，２０の互いに対向する面に設けられたコンベアベルト２２，２２（図１では片方のみ図示）とを備えている。コンベアベルト２２，２２は、支持板２０，２０の左右に設けられた駆動輪及び従動輪に無端状となるように架け渡されている。基板１６は、一対のコンベアベルト２２，２２の上面に乗せられて左から右へと搬送される。この基板１６は、裏面側に多数立設された支持ピン２３によって支持されている。

実装ヘッド２４は、部品Ｐを保持（吸着）し基板１６上へ移動させるものであり、Ｘ軸スライダ２６の前面に取り付けられている。Ｘ軸スライダ２６は、前後方向にスライド可能なＹ軸スライダ３０の前面に、左右方向にスライド可能となるように取り付けられている。Ｙ軸スライダ３０は、前後方向に延びる左右一対のガイドレール３２，３２にスライド可能に取り付けられている。なお、ガイドレール３２，３２は、部品実装機１１の内部に固定されている。Ｙ軸スライダ３０の前面には、左右方向に延びる上下一対のガイドレール２８，２８が設けられ、このガイドレール２８，２８にＸ軸スライダ２６が左右方向にスライド可能に取り付けられている。実装ヘッド２４は、Ｘ軸スライダ２６が左右方向に移動するのに伴って左右方向に移動し、Ｙ軸スライダ３０が前後方向に移動するのに伴って前後方向に移動する。なお、各スライダ２６，３０は、それぞれ駆動モータにより駆動される。また、実装ヘッド２４は、Ｚ軸モーター３４を内蔵し、Ｚ軸に沿って延びるボールネジ３６に取り付けられたノズル保持体４２と一体化された吸着ノズル４０の高さをＺ軸モーター３４によって調整する。

実装ヘッド２４は、図３に示すように、吸着ノズル４０を複数装着するノズル保持体４２と、吸着された部品Ｐの位置の基準とする第１基準マーク５１と、吸着された部品Ｐの位置の基準とする第２基準マーク５２とを備えている。また、実装ヘッド２４は、第１基準マーク５１を装着及び取り外し可能である第１装着部５４と、第２基準マーク５２を装着及び取り外し可能である第２装着部５６と、を備えている。第１装着部５４は、ノズル保持体４２の交換に支障のない実装ヘッド２４の角部、即ち、カメラユニット６０の撮像範囲の一端側に配設されている（後述図５参照）。また、第２装着部５６は、ノズル保持体４２の交換に支障のない、第１装着部５４に対して対角の実装ヘッド２４の角部、即ち、カメラユニット６０の撮像範囲の他端側に配設されている。第１基準マーク５１には、円盤状のマーク部材５１ａが円周上に並んで４つ配設されている。また、第２基準マーク５２には、円盤状のマーク部材５２ａが円周上に並んで４つ配設されている。このマーク部材５２ａは、マーク部材５１ａとは光学的特性が異なっている。即ち、実装処理部１２は、第１基準マーク５１と、少なくとも第１基準マーク５１とは光学的特性の異なる第２基準マークとを備えている。ここでは、マーク部材５２ａは、光学的特性として、反射率及び色がマーク部材５１ａと異なるものとする。例えば、マーク部材５１ａは、カメラユニット６０に撮像される撮像面５１ｂを含め反射率が比較的高く白色である。一方、マーク部材５２ａは、カメラユニット６０に撮像される撮像面５２ｂを含め反射率が比較的低く無彩色（灰色）である。この撮像面５１ｂ，５２ｂは、吸着ノズル４０よりも高い位置に配設されており、吸着ノズル４０に吸着された部品Ｐ及び基板１６に既に実装されている部品との干渉が防止されている。第１基準マーク５１や第２基準マーク５２は、作業者の手作業により、第１装着部５４や第２装着部５６に装着され、又は第１装着部５４や第２装着部５６から取り外される。このように、実装処理部１２では、第１基準マーク５１及び第２基準マーク５２を備えることにより、吸着ノズル４０に吸着された部品Ｐを撮像する際に照明の明るさが変わった場合に、これらを使い分けて使用することができるように構成されている。

吸着ノズル４０は、圧力を利用して、ノズル先端に部品を吸着したり、ノズル先端に吸着している部品を離したりするものである。この吸着ノズル４０は、図２に示すように、電磁弁４６を介して真空ポンプ４７及びエア配管４８のいずれか一方に接続される。吸着ノズル４０に部品を吸着するには、真空ポンプ４７と吸着ノズル４０とが連通するように電磁弁４６を位置決めする。これにより、吸着ノズル４０の内部は負圧になり、部品が吸着ノズル４０の先端に吸着される。一方、部品を吸着ノズル４０から外すには、エア配管４８と吸着ノズル４０とが連通するように電磁弁４６を位置決めする。これにより、吸着ノズル４０の内部は正圧になり、吸着ノズル４０の先端に吸着された部品が外れる。吸着ノズル４０は、図示しないモータを駆動源とする回転装置によって回転（自転）し、吸着ノズル４０によって吸着した部品の角度を調整可能となっている。

リールユニット３８は、複数のリールを備え、実装機本体１４の前側に着脱可能に取り付けられている。各リールには、テープが巻き付けられ、テープの表面には、部品が長手方向に沿って保持されている。これらの部品は、テープの表面を覆うフィルムによって保護されている。こうしたテープは、リールから後方に向かって巻きほどかれ、フィーダ部においてフィルムが剥がされて部品が露出した状態で、実装ヘッド２４により吸着される取出位置に送り出される。

ノズルストッカ４４は、複数種類の吸着ノズル４０をストックするボックスである。吸着ノズル４０は、実装ヘッド２４のノズル保持体４２に取り外し可能に装着されており、部品を実装する基板１６の種類や部品の種類に適したものに交換される。

カメラユニット６０は、実装ヘッド２４に吸着された部品Ｐと実装ヘッド２４が有する第１基準マーク５１及び第２基準マーク５２とを撮像するユニットであり、基板搬送装置１８の前側の支持板２０の前方に配置されている。このカメラユニット６０の撮像範囲は、カメラユニット６０の上方である。カメラユニット６０は、上方に光を照射し実装ヘッド２４に保持された部品Ｐに対して複数の照明状態で光を照射可能な照明部６１と、照明部６１を制御する照明制御部６２とを備えている。カメラユニット６０は、受光により電荷を発生させ発生した電荷を出力する撮像素子６３と、入力された電荷に基づいて画像データを生成する画像処理部６４とを備えている。また、カメラユニット６０は、照明部６１と撮像素子６３との間に配設されたメインレンズ６５と、第１基準マーク５１及び第２基準マーク５２の撮像に用いられるサブレンズ６６とを備えている。照明部６１は、例えば、上、中、下段に配設されたランプ、及び図示しない落射ランプを有し、吸着ノズル４０に吸着された部品Ｐへ照射される光の明るさ（光量）、光の波長及び光の照射位置などを調整可能な光源である。照明部６１は、上段のランプを点灯すると側方から光を照射し、下段のランプを点灯すると側方且つ下方から光を照射し、落射ランプを点灯すると下方から光を照射する。照明制御部６２は、実装ヘッド２４の吸着ノズル４０に吸着された部品Ｐに応じた照明状態になるように照明部６１を制御するコントローラである。撮像素子６３は、ＣＣＤとしてもよいし、ＣＭＯＳとしてもよい。メインレンズ６５は、吸着された部品Ｐに焦点位置が合うように焦点距離が設定されており、凸レンズ及び凹レンズの組み合わせとしてもよい。サブレンズ６６は、撮像面５１ｂ，５２ｂに焦点位置が合うように焦点距離が設定されており、撮像面５１ｂ，５２ｂと吸着部品との焦点距離の差を吸収するレンズである。カメラユニット６０は、部品Ｐを吸着した吸着ノズル４０がカメラユニット６０の上方を通過する際、吸着ノズル４０に吸着された部品Ｐ、第１基準マーク５１及び第２基準マーク５２を撮像し、撮像結果を制御装置７０へ出力する。

制御装置７０は、図２に示すように、ＣＰＵ７１を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、処理プログラムを記憶するＲＯＭ７２、各種データを記憶するＨＤＤ７３、作業領域として用いられるＲＡＭ７４、外部装置と電気信号のやり取りを行うための入出力インタフェース７５などを備えており、これらはバス７６を介して接続されている。この制御装置７０は、基板搬送装置１８、Ｘ軸スライダ２６やＹ軸スライダ３０の駆動モータ、実装ヘッド２４のＺ軸モータ３４及び電磁弁４６へ駆動信号を出力し、カメラユニット６０からの画像信号を入力する。また、制御装置７０は、リールユニット３８や管理コンピュータ８０と双方向通信可能に接続されている。なお、各スライダ２６，３０には図示しない位置センサが装備されており、制御装置７０はそれらの位置センサからの位置情報を入力しつつ、各スライダ２６，３０の駆動モータを制御する。

この制御装置７０は、機能ブロックとしての実装制御部７７、検出部７８及び判定部７９を備えている。実装制御部７７は、各部品のサイズや配置位置などの条件を含む実装条件情報に基づいて部品を実装する処理を実行する。実装条件情報は、例えば、部品の形状、サイズ、基板１６における配置位置のほか、部品Ｐの光の反射率や色などの情報が含まれており、管理コンピュータ８０で管理されている。また、実装制御部７７は、吸着ノズル４０やノズル保持体４２などの装着及び取り外しを実行する。検出部７８は、部品を装着していないときの実装ヘッド２４の画像をリファレンスとし、部品Ｐの中心位置と吸着ノズル４０の中心位置との差により吸着ノズル４０に吸着された部品Ｐのずれ量や吸着角度を検出する処理を実行する。また、検出部７８は、撮像画像に基づいて部品Ｐの実装ヘッド２４での吸着状態の良否を検出する。判定部７９は、検出したずれ量が予め経験的に定められた閾値よりも大きいか否か、あるいは、部品の形状が基準値よりも異なるか否かに基づいて、その吸着した部品を実装処理に用いるか否かを判定する処理を実行する。

管理コンピュータ８０は、複数の部品実装機１１の情報を管理するコンピュータであり、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭなどにより構成され装置全体の制御を司るコントローラーと、部品実装機１１など外部機器と通信を行う通信部と、各種アプリケーションプログラムや各種データファイルを記憶する記憶部とを備える。また、管理コンピュータ８０は、作業者が各種指令を入力するキーボード及びマウス等の入力デバイス８２と、各種情報を表示するディスプレイ７７と、を備えている。管理コンピュータ８０は、記憶部に実装条件情報が記憶されており、部品実装機１１からの依頼などに応じて部品実装機１１へ実装条件情報を送信する。

次に、こうして構成された本実施形態の部品実装機１１の動作、例えば、吸着ノズル４０に吸着した部品Ｐを撮像しつつ基板１６に配置する実装処理について説明する。図７は、制御装置７０のＣＰＵ７１により実行される実装処理ルーチンの一例を表すフローチャートである。このルーチンは、制御装置７０のＨＤＤ７３に記憶され、作業者による開始指示により実行される。このルーチンは、例えば、制御装置７０の各機能ブロックである実装制御部７７、検出部７８及び判定部７９の機能や、各ユニットを利用してＣＰＵ７１が実行するものとする。なお、このルーチンでは、説明の便宜のため、吸着ノズル４０に吸着した部品Ｐのずれ量の検出について主として説明する。このルーチンが開始されると、制御装置７０のＣＰＵ７１は、まず、実装条件情報を管理コンピュータ８０から取得し、ＨＤＤ７３に記憶させる（ステップＳ１００）。

次に、ＣＰＵ７１は、実装ヘッド２４にノズル保持体４２を装着すると共に、吸着ノズル４０をノズル保持体４２に装着し、部品Ｐを吸着していない実装ヘッド２４をカメラユニット６０により撮像し、これをリファレンス画像として取得する（ステップＳ１１０）。図５は、実装ヘッド２４、第１基準マーク５１及び第２基準マーク５２の説明図である。なお、図５〜７は、カメラユニット６０側から実装ヘッド２４を見た説明図である。図５に示すように、ノズル保持体４２は、吸着ノズル４０ａ〜４０ｄの４つのノズルを装着するものとして説明する。なお、ノズル保持体４２は、１以上の吸着ノズル４０を装着可能であればよい。ステップＳ１１０では、ＣＰＵ７１は、リファレンス画像を撮像するのに適した照明部６１の照明状態で撮像を行う。撮像されたリファレンス画像は、図５に示すものと同様になるが、この画像から第１基準マーク５１、第２基準マーク５２、吸着ノズル４０ａ〜４０ｄの中心位置及びその距離（位置関係）を把握することができる。

次に、ＣＰＵ７１は、基板１６の搬送及び固定処理を実行し（ステップＳ１２０）、実装条件情報の内容に基づいて基板１６上に実装する部品Ｐを設定し、部品Ｐの情報を取得する（ステップＳ１３０）。部品Ｐの実装順番は、予め定められたものが実装条件情報に格納されているものとする。また、ここでは、部品Ｐの反射率などの色の情報を取得するものとする０。続いて、ＣＰＵ７１は、設定された部品Ｐの吸着及び移動処理を行う（ステップＳ１４０）。吸着処理では、ＣＰＵ７１は、該当する部品が収納されているリールユニット３８の取出位置まで実装ヘッド２４を移動し、吸着ノズル４０を下降して吸着ノズル４０に部品Ｐを吸着させる処理を行う。この吸着処理では、１以上の部品を吸着ノズル４０ａ〜４０ｄに吸着するものとしてもよい。また、移動処理では、ＣＰＵ７１は、部品Ｐを吸着した実装ヘッド２４をカメラユニット６０の上方を通過させて、基板１６の実装位置まで移動する処理を行う。なお、この移動処理では、ＣＰＵ７１は、部品Ｐの反射率など撮像のしにくさに応じて、カメラユニット６０の上方で実装ヘッド２４を一旦停止させてもよい。

続いて、ＣＰＵ７１は、部品Ｐの反射率が第１基準範囲であるか第１基準範囲を下回る第２基準範囲であるかを判定する（ステップＳ１５０）。この部品実装機１１は、部品Ｐの撮像面の反射率に応じて、明るい部品（第１基準範囲内）では第１基準マーク５１を用い、暗い部品（第２基準範囲内）では第２基準マーク５２を用いて部品Ｐのずれ量などを検出するように経験的に設定されているものとする。なお、それぞれの部品に適する基準マークを対応づけておき、それを読み出すことによりこのステップＳ１５０の処理に代えてもよい。部品Ｐの反射率が第１基準範囲であると判定されたときには、ＣＰＵ７１は、それに応じた照明状態で部品及び第１基準マーク５１を撮像し（ステップＳ１６０）、第１基準マーク５１を利用して吸着部品のずれ量を検出する（ステップＳ１７０）。図６は、反射率の高い部品Ｐ１のずれ検出の説明図である。なお、図６、７では、反射率の高い（明るい）吸着部品Ｐ１，Ｐ２が吸着ノズル４０ａ，４０ｂに吸着され、反射率の低い（暗い）吸着部品Ｐ３，Ｐ４が吸着ノズル４０ｃ，４０ｄに吸着されているものとする。例えば、反射率の高い部品Ｐ１では、ＣＰＵ７１は、比較的暗い照明状態で撮像するものとし、このとき、第１基準マーク５１と吸着ノズル４０との関係を利用して吸着部品Ｐ１のずれ量を検出する。ずれ量の検出は以下のように行うことができる。例えば、ＣＰＵ７１は、撮像画像から第１基準マーク５１及び吸着部品Ｐ１の中心位置を検出する。次に、リファレンス画像の第１基準マーク５１の中心位置と撮像画像の第１基準マーク５１の中心位置とを合わせ、このときの吸着ノズル４０ａの中心位置と撮像画像の吸着部品Ｐ１の中心位置とのずれをＸ軸、Ｙ軸の座標値の差として求め、この差をずれ量とする。このようにして、吸着部品Ｐ１のノズル中心からのずれ量を求めることができる。

一方、ステップＳ１５０で部品Ｐの反射率が第２基準範囲であると判定されたときには、ＣＰＵ７１は、それに応じた照明状態で部品及び第２基準マーク５２を撮像し（ステップＳ１８０）、第２基準マーク５２を利用して吸着部品のずれ量を検出する（ステップＳ１９０）。図７は、反射率の低い部品Ｐ３のずれ量検出の説明図である。例えば、反射率の低い部品Ｐ３では、ＣＰＵ７１は、比較的明るい照明状態で撮像するものとし、このとき、第２基準マーク５２と吸着ノズル４０との関係を利用して吸着部品Ｐ３のずれ量を検出する。第２基準マーク５２と吸着ノズル４０との関係を利用して吸着部品のずれ量を検出する処理は、上述したステップＳ１７０と同様の処理により行うことができる。ここで、ステップＳ１６０〜Ｓ１９０の処理について説明する。例えば、カメラユニット６０が、明るい照明状態で吸着部品を撮像すると、反射率の高い第１基準マーク５１では、明るくなりすぎることにより、マーク部材の認識ができなかったり、認識はできてもマーク位置が不正確となることがある（図７参照）。また、カメラユニット６０が、暗い照明状態で吸着部品を撮像すると、反射率の低い第２基準マーク５２では、暗くなりすぎることにより、マーク部材の認識ができなかったり、認識はできてもマーク位置が不正確となることがある。この部品実装機１１では、吸着された部品を撮像する照明状態に合わせて、反射率の異なる基準マークを使い分けることにより、高精度な基準位置を得ることができるのである。

ステップＳ１９０のあと、又は、ステップＳ１７０のあと、ＣＰＵ７１は、吸着された部品をすべて撮像したか否か、即ちすべての吸着部品のずれ量を検出したか否かを判定する（ステップＳ２００）。吸着部品をすべて撮像していないときには、ＣＰＵ７１は、ステップＳ１５０以降の処理を繰り返し実行し、吸着部品をすべて撮像したときには、検出したずれ量を補正した位置に部品Ｐを実装（配置）する処理を実行する（ステップＳ２１０）。続いて、ＣＰＵ７１は、現基板の部品実装機１１による実装処理が完了したか否かを判定し（ステップＳ２２０）、現基板の実装処理が完了していないときには、ステップＳ１３０以降の処理を実行する。即ち、ＣＰＵ７１は、次に実装する部品を設定して吸着ノズル４０に吸着させ、部品の反射率に応じた照明状態で吸着部品を撮像し、第１基準マーク５１又は第２基準マーク５２を利用して吸着部品のずれ量を検出し、このずれ量を補正して基板１６に部品を実装する処理を行う。一方、現基板の実装処理が完了したときには、ＣＰＵ７１は、実装完了した基板１６の排出処理を行い（ステップＳ２３０）、生産完了したか否かをすべての基板１６に対して実装処理を行ったか否かに基づいて判定する（ステップＳ２４０）。すべての基板１６に対して実装処理を行っていないときには、ＣＰＵ７１は、ステップＳ１２０以降の処理を繰り返し実行し、すべての基板１６に対して実装処理を行ったときには、そのままこのルーチンを終了する。

以上説明した第１実施形態の部品実装機１１によれば、実装ヘッド２４に吸着された部品と、第１基準マーク５１と、少なくとも第１基準マーク５１とは光学的特性の異なる第２基準マーク５２とを撮像する。例えば、部品によっては、その照明条件などを変更して撮像する場合があるが、ここでは、光学的特性の異なる複数の基準マークを備えるから、部品により適した基準マークを用いて部品を撮像可能である。また、この撮像画像を用いて、実装ヘッド２４に吸着された部品と基準マークとの相対位置をより正確に検出することができる。したがって、吸着された部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。

また、第２基準マーク５２は、第１基準マーク５１に対して、光学的特性として、反射率及び色が異なるため、部品の反射率などに応じて、より適した基準マークを選択することができる。更に、実装ヘッド２４は、第１基準マーク５１及び第２基準マーク５２を装着及び取外し可能である第１装着部５４及び第２装着部５６を備えているため、基準マークを取り替えることにより、保持された部品の位置ずれの検出精度を比較的容易により高めることができる。更にまた、実装ヘッド２４は、カメラユニット６０の撮像範囲の一端側に第１基準マーク５１が配設され、撮像範囲の他端側（実装ヘッド２４の対角側）に第２基準マーク５２が配設されているため、実装処理の妨げを防止しつつ部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。そしてまた、吸着部品に対して複数の照明状態で光を照射可能な照明部６１と、照明部６１を制御する照明制御部６２とを有しているため、照明状態に応じた基準マークを用いることにより、部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。そして更に、撮像画像に含まれる部品の画像と、第１及び第２基準マークのうち少なくとも一方の画像の位置に基づいて、実装ヘッド２４に吸着された部品の位置ずれ量を検出するため、より確実な実装処理を実行することができる。

（第２実施形態）
次に、吸着ノズルの代わりに基準マークをノズル保持体４２に装着する態様について説明する。図８は、実装処理部１２Ｂ及びカメラユニット６０Ｂを備えた別の部品実装機１１Ｂの概略説明図である。図９は、部品実装機１１Ｂが実行する別の実装処理ルーチンの一例を表すフローチャートである。図１０は、第１基準マーク５１Ｂ及び第２基準マーク５２Ｂの切替の説明図であり、図１０（ａ）は第１基準マーク５１Ｂを装着した図、図１０（ｂ）は、第２基準マーク５２Ｂを装着した図である。図１１は、反射率の高い部品Ｐ１及び反射率の低い部品Ｐ３のずれ量検出の説明図であり、図１１（ａ）は反射率の高い部品Ｐ１のずれ量検出の図、図１１（ｂ）は、反射率の低い部品Ｐ３のずれ量検出の図である。なお、上述した第１実施形態と同様の構成及び処理ステップについては、同じ符号及び同じステップ番号を付し、その説明を省略する。

部品実装機１１Ｂの実装処理部１２Ｂは、図８に示すように、部品を吸着する２以上の吸着ノズル４０を装着及び取外し可能であり、第１基準マーク５１Ｂ及び第２基準マーク５２Ｂ（図１０参照）を装着及び取外し可能である装着部５４Ｂを備えたノズル保持体４２を実装ヘッド２４に装着している。第１基準マーク５１Ｂ及び第２基準マーク５２Ｂは、装着先がノズル保持体４２である以外は上述した第１基準マーク５１及び第２基準マーク５２と同様であるため、その説明を省略する。なお、第１基準マーク５１Ｂ及び第２基準マーク５２Ｂの撮像面は、吸着ノズル４０に吸着される部品の撮像面とほぼ同じ高さになっている。また、第１基準マーク５１Ｂ及び第２基準マーク５２Ｂは、不使用時にはノズルストッカ４４（図１参照）にストックされる。カメラユニット６０Ｂは、サブレンズ６６を備えていない以外は、カメラユニット６０と同様である。

次に、このように構成された部品実装機１１Ｂの動作、例えば、吸着ノズル４０に吸着した部品Ｐを撮像しつつ基板１６に配置する実装処理について説明する。図９の実装処理ルーチンは、制御装置７０のＨＤＤ７３に記憶され、作業者による開始指示により実行される。このルーチンは、例えば、制御装置７０の各機能ブロックや各ユニットを利用してＣＰＵ７１が実行する。このルーチンが開始されると、ＣＰＵ７１は、ステップＳ１００で実装条件情報を管理コンピュータ８０から取得し、リファレンス画像を取得する（ステップＳ３００）。リファレンス画像の取得は、例えば、図１０に示すように、同じ装着部５４Ｂに第１基準マーク５１Ｂ及び第２基準マーク５２Ｂを切り替えて装着し、それぞれ画像を撮像することにより行うものとしてもよい。こうすれば、部品Ｐを吸着する吸着ノズル４０の装着数が減るのを防止することができる。なお、各基準マークは、ノズル保持体４２に装着された際に、軸回転してその角度がずれることがあるが、例えば、回転規制面を各基準マーク及び装着部に形成することにより、この角度ずれを防止してもよい。あるいは、装着部５４の回転機構により、基準マークを軸回転させることにより、この角度ずれを補正するものとしてもよい。

次に、ＣＰＵ７１は、ステップＳ１２０で基板１６の搬送及び固定処理を行い、ステップＳ１３０で吸着部品を設定すると共にその情報を取得する。続いて、ＣＰＵ７１は、ステップＳ１５０の判定を行い、部品Ｐの反射率が第１基準範囲であると判定されたときには、第１基準マーク５１Ｂを実装ヘッド２４の装着部５４Ｂに装着する処理を実行する（ステップＳ３１０）。この処理は実装制御部７７が実行するものとする。次に、ステップＳ１４０で部品Ｐの吸着及び移動処理を行い、ステップＳ１６０で、部品Ｐに応じた照明状態で部品及び第１基準マーク５１Ｂを撮像し、第１基準マーク５１Ｂを利用して吸着部品のずれ量を検出する（ステップＳ３２０）。図１１（ａ）は、反射率の高い部品Ｐ１のずれ検出の説明図である。なお、図１１では、反射率の高い（明るい）吸着部品Ｐ１，Ｐ２が吸着ノズル４０ａ，４０ｂに吸着され、反射率の低い（暗い）吸着部品Ｐ３が吸着ノズル４０ｃに吸着され、装着部５４Ｂに基準マークが装着されるものとする。例えば、反射率の高い部品Ｐ１では、ＣＰＵ７１は、比較的暗い照明状態で撮像するものとし、このとき、第１基準マーク５１Ｂと吸着ノズル４０との関係を利用して吸着部品Ｐ１のずれ量を検出する。ずれ量の検出は、上述した第１実施形態と同様の方法で行うことができる。

一方、ステップＳ１５０で部品Ｐの反射率が第２基準範囲であると判定されたときには、ＣＰＵ７１は、第２基準マーク５２Ｂを実装ヘッド２４の装着部５４Ｂに装着する処理を実行する（ステップＳ３３０）。次に、ステップＳ３４０でステップＳ１４０と同様の部品Ｐの吸着及び移動処理を行い、ステップＳ１８０で、部品Ｐに応じた照明状態で部品及び第２基準マーク５２Ｂを撮像し、第２基準マーク５２Ｂを利用して吸着部品のずれ量を検出する（ステップＳ３５０）。図１１（ｂ）は、反射率の低い部品Ｐ３のずれ量検出の説明図である。例えば、反射率の低い部品Ｐ３では、比較的明るい照明状態で撮像するものとし、このとき、第２基準マーク５２Ｂと吸着ノズル４０との関係を利用して吸着部品Ｐ３のずれ量を検出する。そして、ステップＳ３５０のあと、又は、ステップＳ３２０のあと、ＣＰＵ７１は、ステップＳ２００〜Ｓ２４０の処理を実行し、このルーチンを終了する。

以上説明した第２実施形態の部品実装機１１Ｂによれば、実装ヘッド２４に吸着された部品と、第１基準マーク５１Ｂ、又は少なくとも第１基準マーク５１Ｂとは光学的特性の異なる第２基準マーク５２Ｂを撮像する。このため、上述した第１実施形態と同様に、光学的特性の異なる複数の基準マークを用いることにより、実装ヘッド２４に吸着された部品と基準マークとの相対位置をより正確に検出することができる。したがって、吸着された部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。また、吸着ノズル４０に代えて第１基準マーク５１Ｂ及び第２基準マーク５２Ｂのうちいずれか１以上の基準マークを装着可能であるため、比較的汎用的な構成で、部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。更に、制御装置７０が第１基準マーク５１Ｂ及び第２基準マーク５２Ｂのうち１以上を実装ヘッド２４の装着部５４Ｂに装着させるため、自動的な処理により、部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。更にまた、実装ヘッド２４に吸着される部品に応じて第１基準マーク５１Ｂ及び第２基準マーク５２Ｂのうちいずれか１つを実装ヘッド２４に装着するため、部品を実装する処理の効率低下をより防止しつつ、部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。そしてまた、各基準マークは、吸着ノズル４０が装着される装着部に装着されるため、吸着された部品の撮像面と基準マークの撮像面とをほぼ同じ高さにすることができる。このため、サブレンズ６６などの構成を省略することができる。

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の実装ヘッド２４が本発明の実装ヘッドに相当し、実装処理部１２，１２Ｂが実装処理部に相当し、カメラユニット６０が撮像部に相当し、第１装着部５４、第２装着部５６及び装着部５４Ｂが装着部に相当し、実装制御部７７が装着制御部に相当する。また、第１基準マーク５１，５１Ｂが第１基準マークに相当し、第２基準マーク５２，５２Ｂが第２基準マークに相当する。また、照明部６１が照明部に相当し、照明制御部６２が照明制御部に相当し、検出部７８が検出手段に相当する。

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態では、光学的特性の異なる２つの基準マークを用いるものとしたが、特にこれに限定されず、例えば、部品Ｐの撮像条件に応じて３以上の基準マークを用いるものとしてもよい。例えば、部品実装機は、光学的特性の異なる第３基準マークや第４基準マークなどを備えるものとしてもよい。こうしても、実装ヘッド２４に吸着された部品と基準マークとの相対位置をより正確に検出することができ、吸着された部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。

上述した実施形態では、第１基準マーク５１及び第２基準マーク５２は、反射率及び色が異なるものとしたが、光学的特性が異なるものとすれば、特にこれに限定されず、例えば、光学的特性として、反射率、輝度、色及び撮像される撮像面の角度のうち１以上が異なるものとしてもよい。更に、部品実装機は、これらのうち２以上を組み合わせた光学的特性の異なる基準マークを用いるものとしてもよい。図１２は、別の基準マーク（マーク部材）の説明図であり、図１２（ａ）が基準マーク５１Ｃの説明図、図１２（ｂ）が基準マーク５１Ｄの説明図である。例えば、図１２に示すように、基準マーク５１Ｃでは、外周に形成されたテーパ面５１ｃを撮像面として有している。この基準マーク５１Ｃでは、側方からの照明に対して、下方に配置された撮像素子６３が撮像すると、リング状に明るい画像を得ることができる。あるいは、基準マーク５１Ｄでは、内周側にくぼんで形成されたテーパ面５１ｄを撮像面として有している。この基準マーク５１Ｄでは、側方且つ下方からの照明に対して、下方に配置された撮像素子６３が撮像すると、リング状の画像を得ることができる。このように、基準マーク５１Ｃ，Ｄなど、撮像面の角度を変更した基準マークは、部品に応じて照明の角度を変える場合などに、部品の撮像条件に適したものとすることができる。

上述した実施形態では、実装ヘッド２４に部品Ｐを吸着させるものとしたが、実装ヘッド２４に部品Ｐを保持するものとすれば、吸着するものに限定されない。例えば、実装ヘッド２４は、把持部に部品Ｐを引っかけて保持させるものとしてもよい。

上述した第１実施形態では、第１装着部５４及び第２装着部５６により、装着、取り外し可能に第１基準マーク５１及び第２基準マーク５２を配設するものとしたが、特にこれに限定されず、第１基準マーク及び第２基準マークは、実装ヘッド２４に固定されているものとしてもよい。こうすれば、固定位置から基準マークのずれがないため、吸着された部品の位置ずれの検出精度を更に高めることができる。

上述した第１実施形態では、第１基準マーク５１及び第２基準マーク５２を作業者の手作業により交換するものとしたが、特にこれに限定されない。例えば、１以上の基準マークをストッカにストックしておき、吸着ノズル４０をノズル保持体４２へ装着するのと同様に、実装ヘッド２４を移動して基準マークを装着部へ自動で装着、取り外しを行うものとしてもよい。また、上述した第１実施形態では、装着部を２つ備え、基準マークを２つ配設するものとしたが、例えば、装着部を１つのみ備えるものとし、１以上の基準マークを装着、取り外しを行うものとしてもよい。このとき、上記のように基準マークを自動で交換するものとしてもよい。

上述した第１実施形態では、第１装着部５４及び第２装着部５６が対角上に配置され、撮像範囲の一端側と他端側とに基準マークを配設するものとしたが、特にこれに限定されず、対角上ではなく、撮像範囲の一辺の一端側と他端側とに配設されるものとしてもよい。あるいは、基準マークは、その配設される位置は任意であり、例えば、ノズル保持体４２の中央に配設されていてもよい。なお、基準マークは、実装処理の妨げにならない領域に配設することが望ましい。

上述した第２実施形態では、１カ所の装着部５４Ｂに複数の基準マークを切り替えて装着するものとしたが、特にこれに限定されず、複数の装着部にそれぞれ第１基準マーク５１Ｂ、第２基準マーク５２Ｂをそれぞれ装着するものとしてもよい。こうしても、部品の吸着数は減少するが、基準マークの取替処理の頻度が低下するため、処理効率の低下を抑制しつつ、部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。

上述した第２実施形態では、基準マークを複数備えるものとしたが、特にこれに限定されず、例えば、基準マークを１つだけ備えるものとしてもよい。即ち、部品を吸着する２以上の吸着ノズルを装着及び取外し可能である装着部をノズル保持体に備え、部品を吸着し基板上へ移動させる実装ヘッドと、実装ヘッドに吸着された部品と実装ヘッドが有する基準マークとを撮像するカメラユニットと、を備える実装処理部を備え、実装処理部は、装着部に装着及び取外し可能である基準マークを備えているものとしてもよい。こうすれば、実装ヘッドの装着部（ノズル保持体）に基準マークを装着することができるため、特別に基準マークを備えない実装装置においても、この基準マークを用いて実装ヘッドに吸着された部品のずれを検出することができる。この実装装置において、基準マークを実装ヘッドの装着部に装着させる装着制御部を備えたものとしてもよい。こうすれば、装着制御部により基準マークを取り替え可能であり、自動的な処理により、部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。このとき、装着制御部は、実装ヘッドに保持される部品に応じて基準マークを実装ヘッドに装着するものとしてもよい。あるいは、作業者が基準マークを実装ヘッドのノズル保持体４２に配設された装着部に装着させるものとしてもよい。また、このような実装装置において、カメラユニットは、実装ヘッドに保持された部品に対して複数の照明状態で光を照射可能な照明部と、実装ヘッドに保持された部品に応じた照明状態に照明部を制御する照明制御部とを有しているものとしてもよい。こうすれば、照明状態に応じて部品の位置ずれの検出精度をより高めることができる。また、このような実装装置において、カメラユニットの撮像画像に含まれる部品及び基準マークのうち少なくとも一方の画像に基づいて、実装ヘッドに保持された部品の保持状態を検出する検出手段、を備えたものとしてもよい。

１０ 部品実装システム、１１，１１Ｂ 部品実装機、１２，１２Ｂ 実装処理部、１３ 基台、１４ 実装機本体、１６ 基板、１８ 基板搬送装置、２０ 支持板、２２ コンベアベルト、２３ 支持ピン、２４ 実装ヘッド、２６ Ｘ軸スライダ、２８ ガイドレール、３０ Ｙ軸スライダ、３２ ガイドレール、３４ Ｚ軸モータ、３６ ボールネジ、３８ リールユニット、４０、４０ａ〜４０ｄ 吸着ノズル、４２ ノズル保持体、４４ ノズルストッカ、４６ 電磁弁、４７ 真空ポンプ、４８ エア配管、５１，５１Ｂ 第１基準マーク、５１ａ マーク部材、５１ｂ 撮像面、５１Ｃ，５１Ｄ 基準マーク、５１ｃ，５１ｄ テーパ面、５２，５２Ｂ 第２基準マーク、５２ａ マーク部材、５２ｂ 撮像面、５４ 第１装着部、５４Ｂ 装着部、５６ 第２装着部、６０，６０Ｂ カメラユニット、６１ 照明部、６２ 照明制御部、６３ 撮像素子、６４ 画像処理部、６５ メインレンズ、６６ サブレンズ、７０ 制御装置、７１ ＣＰＵ、７２ ＲＯＭ、７３ ＨＤＤ、７４ ＲＡＭ、７５ 入出力インタフェース、７６ バス、７７ 実装制御部、７８ 検出部、７９ 判定部、８０ 管理コンピュータ、８２ 入力デバイス、８４ ディスプレイ、Ｐ，Ｐ１〜４ 部品。

Claims (2)

1. １以上の部品を基板上に実装する実装装置であって、
   前記部品を保持し前記基板上へ移動させる実装ヘッドと、前記実装ヘッドに保持された部品と前記実装ヘッドが有する所定の基準マークとを撮像する撮像部と、を備える実装処理部を備え、
   前記実装処理部は、前記所定の基準マークとして、第１基準マークと、少なくとも前記第１基準マークとは光学的特性の異なる第２基準マークとを備え、
   前記実装ヘッドは、前記第１基準マーク及び前記第２基準マークを装着及び取外し可能である装着部と、部品を吸着する２以上の吸着ノズルを装着及び取外し可能であり前記第１基準マーク及び前記第２基準マークを装着及び取外し可能である装着部とのうちいずれかを備え、
   前記実装装置は、前記第１基準マーク及び前記第２基準マークのうち１以上を前記実装ヘッドの前記装着部に装着させる装着制御部、を更に備え、
   前記装着制御部は、前記実装ヘッドに保持される部品に応じて前記第１基準マーク及び前記第２基準マークのうちいずれか１つを前記実装ヘッドに装着する、
   実装装置。
2. １以上の部品を基板上に実装する実装装置であって、
   前記部品を保持し前記基板上へ移動させる実装ヘッドと、前記実装ヘッドに保持された部品と前記実装ヘッドが有する所定の基準マークとを撮像する撮像部と、を備える実装処理部を備え、
   前記実装処理部は、前記所定の基準マークとして、第１基準マークと、少なくとも前記第１基準マークとは光学的特性の異なる第２基準マークとを備え、
   前記実装ヘッドは、前記撮像部の撮像範囲の一端側に前記第１基準マークが配設され、前記撮像部の撮像範囲の他端側に前記第２基準マークが配設されている、
   実装装置。

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