JP6328792B2 - 有機半導体素子及び化合物 - Google Patents
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Description
従来の有機半導体としては、特許文献1又は2に記載されたものが知られている。
また、本発明が解決しようとする他の課題は、有機半導体として好適な新規な化合物を提供することである。
更に、本発明が解決しようとする他の課題は、高移動度であり、高湿度下での経時安定性に優れた有機半導体膜、及び、上記有機半導体膜を好適に形成することができる有機半導体膜形成用組成物を提供することである。
<1> 式1で表される繰り返し単位を有する有機半導体を含有する有機半導体層を有することを特徴とする、有機半導体素子、
<2> X11及びX12がいずれもOであるか、いずれもSである、<1>に記載の有機半導体素子、
<3> Y11及びY12がいずれもOであるか、いずれもSである、<1>又は<2>に記載の有機半導体素子、
<4> 式1で表される繰り返し単位が、式2で表される繰り返し単位である、<1>〜<3>のいずれか1つに記載の有機半導体素子、
<5> 式1で表される繰り返し単位を有する化合物、
<6> X11及びX12がいずれもOであるか、いずれもSである、<5>に記載の化合物、
<7> Y11及びY12がいずれもOであるか、いずれもSである、<5>又は<6>に記載の化合物、
<8> 式1で表される繰り返し単位が、式2で表される繰り返し単位である、<5>〜<7>のいずれか1つに記載の化合物、
<9> 有機半導体である、<5>〜<8>のいずれか1つに記載の化合物、
<10> 式1で表される繰り返し単位を有する化合物と、溶媒とを含む、有機半導体膜形成用組成物、
<11> X11及びX12がいずれもOであるか、いずれもSである、<10>に記載の有機半導体膜形成用組成物、
<12> Y11及びY12がいずれもOであるか、いずれもSである、<10>又は<11>に記載の有機半導体膜形成用組成物、
<13> 式1で表される繰り返し単位が、式2で表される繰り返し単位である、<10>〜<12>のいずれか1つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<14> バインダーポリマーを更に含有する、<10>〜<13>のいずれか1つに記載の有機半導体膜形成用組成物、
<15> <10>〜<14>のいずれか1つに記載の有機半導体膜形成用組成物を基板上に塗布する塗布工程を含む、有機半導体素子の製造方法、
<16> 式1で表される繰り返し単位を有する化合物を含む有機半導体膜、
<17> X11及びX12がいずれもOであるか、いずれもSである、<16>に記載の有機半導体膜、
<18> Y11及びY12がいずれもOであるか、いずれもSである、<16>又は<17>に記載の有機半導体膜、
<19> 式1で表される繰り返し単位が、式2で表される繰り返し単位である、<16>〜<18>のいずれか1つに記載の有機半導体膜、
<20> 溶液塗布法により製膜された、<16>〜<19>のいずれか1つに記載の有機半導体膜。
また、本発明によれば、有機半導体として好適な新規な化合物を提供することができる。
更に、本発明によれば、高移動度であり、高湿度下での経時安定性に優れた有機半導体膜、及び、上記有機半導体膜を好適に形成することができる有機半導体膜形成用組成物を提供することができる。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものとともに置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
また、本明細書における化学構造式は、水素原子を省略した簡略構造式で記載する場合もある。
また、本発明において、「質量%」と「重量%」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
また、本発明において、好ましい態様の組み合わせは、より好ましい。
本発明の有機半導体素子は、式1で表される繰り返し単位を有する有機半導体(以下、「特定有機半導体化合物」ともいう。)を含有する有機半導体層を有することを特徴とする。
詳細な効果の発現機構については不明であるが、上記特定有機半導体化合物は、膜質が均一となるため、高湿度下での経時安定性に優れると考えられる。
本発明において、特定有機半導体化合物は、下記式1で表される繰り返し単位を有する。
また、本発明の特定有機半導体化合物は、有機半導体素子、有機半導体膜、及び、有機半導体膜形成用組成物に好適に用いることができる。
X11及びX12は異なっていてもよいが、製造適正の観点からは、同じであることが好ましい。
R11はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、アルキル基又はアリール基であることが好ましく、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数6〜20のアリール基がより好ましく、炭素数6〜20のアルキル基又はフェニル基が更に好ましい。上記アルキル基は、直鎖状、分岐鎖状又は環状のいずれであってもよい。
Y11及びY12はそれぞれ独立に、O、S、N−CN、又は、CQ2を表し、QはCN、CF3、C(=O)R12、C(=O)OR12、又は、SO2R12を表し、Y11及びY12はそれぞれ独立に、O又はSであることが好ましく、Y11及びY12がいずれもOであるか、いずれもSであることがより好ましく、Y11及びY12がいずれもSであることが更に好ましい。
R12はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、アルキル基又はアリール基が好ましく、炭素数1〜20のアルキル基、又は、炭素数6〜20のアリール基がより好ましく、炭素数1〜20のアルキル基が更に好ましく、炭素数6〜20のアルキル基が特に好ましい。上記アルキル基は、直鎖状、分岐鎖状又は環状のいずれであってもよい。
複数のR12は互いに結合して環を形成してもよい。複数のR12により形成された環は、更にベンゼン環等の芳香環と縮環していてもよい。
Ar11及びAr13は、芳香族炭化水素基、又は、芳香族複素環基であることが好ましく、多環構造を有していてもよいが、単環構造であることが好ましい。
芳香族炭化水素基としては、炭素数6〜20のアリーレン基が好ましく、フェニレン基又はナフチレン基がより好ましい。
芳香族複素環の複素原子としては特に限定されないが、S、O、N、Seが例示され、芳香族複素環基としては、チオフェン環、フラン環、ピラン環、ピロール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、セレノフェン環、イミダゾール環、及び、チエノチオフェン環よりなる群から選ばれた環から2つの水素原子を除いた基が挙げられ、チオフェン環、フラン環、ピロール環、ピリジン環、セレノフェン環、及び、チエノチオフェン環よりなる群から選ばれた環から2つの水素原子を除いた基が好ましく、チオフェン環から2つの水素原子を除いた基がより好ましい。
また、芳香族炭化水素基又は芳香族複素環基は置換基を有していてもよい。好ましい置換基としては、アルキル基が挙げられ、炭素数1〜20のアルキル基が好ましく、炭素数8〜20のアルキル基がより好ましい。
製造適性の観点から、Ar11とAr13は同一であることが好ましい。
芳香族炭化水素基としては、炭素数6〜20のアリーレン基が好ましく、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、ピレン環よりなる群から選ばれた環から1つの水素原子を除いた基が好ましい。
芳香族複素環の複素原子としては特に限定されないが、S、O、N、Seが例示され、芳香族複素環基としては、チオフェン環、フラン環、ピラン環、ピロール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、セレノフェン環、イミダゾール環、及び、チエノチオフェン環よりなる群から選ばれた環から2つの水素原子を除いた基が挙げられ、チオフェン環、フラン環、ピロール環、ピリジン環、セレノフェン環、及び、チエノチオフェン環よりなる群から選ばれた環から2つの水素原子を除いた基が好ましく、チオフェン環、及び、チエノチオフェン環よりなる群から選ばれた環から2つの水素原子を除いた基がより好ましく、チオフェン環から2つの水素原子を除いた基が更に好ましい。
上記芳香族炭化水素基又は芳香族複素環基は置換基を有していてもよい。好ましい置換基としては、アルキル基が挙げられ、炭素数1〜20のアルキル基が好ましく、炭素数8〜20のアルキル基がより好ましい。
また、Ar12は、複数の芳香族炭化水素基や芳香族複素環基が縮環した縮合多環芳香族基を表すことが好ましい。Ar12が縮合多環芳香族基を表す場合、3〜7環の縮環であることが好ましく、3〜5環の縮環であることが好ましい。上記縮環中には、シクロテトラメチレンシラン等の非芳香族複素環基を含んでもよい。
また、Ar12が縮合多環芳香族基を表す場合、下記式AR−1〜AR−10のいずれかで表される構造であることが好ましい。
これらの中で、AR−1〜AR−6、AR−9、又は、AR−10であることが好ましく、AR−1〜AR−5のいずれかであることがより好ましく、AR−1又はAR−5であることが更に好ましい。
また、上記多環の芳香族炭化水素基又は多環の芳香族複素環基は置換基を有していてもよい。好ましい置換基としては、アルキル基が挙げられ、炭素数1〜30のアルキル基が好ましく、炭素数8〜20のアルキル基がより好ましい。
Ar12がビニレン基又はエチニレン基である場合、m12は1であることが好ましく、m11及びm13はそれぞれ独立に、1又は2であることが好ましい。
Ar12が芳香族炭化水素基、又は、芳香族複素環基である場合、m12は1又は2であることが好ましく、m11及びm13はそれぞれ独立に、0又は1であることが好ましい。
Ar12が縮合多環芳香族基である場合、m12は1であることが好ましく、m11及びm13はそれぞれ独立に、0又は1であることが好ましい。
R12はそれぞれ独立に、水素原子又は一価の有機基を表し、アルキル基が好ましく、炭素数1〜30のアルキル基がより好ましく、炭素数1〜15のアルキル基が更に好ましい。上記アルキル基は、直鎖状、分岐鎖状又は環状のいずれであってもよい。
R21〜R24はそれぞれ独立に、水素原子又は一価の有機基を表し、炭素数1〜20のアルキル基が好ましく、炭素数8〜20のアルキル基がより好ましい。
m11’は0〜2の整数を表し、m13’は0〜2の整数を表し、m11’とm12とm13’の合計が1以上であることが好ましい。
Ar12がビニレン基又はエチニレン基である場合、m12は1を表し、m11’及びm13’はそれぞれ独立に、1又は2であることが好ましい。
Ar12が芳香族炭化水素基、又は、芳香族複素環基である場合、m12は1又は2であることが好ましく、m11’及びm13’はそれぞれ独立に、0又は1であることが好ましい。
Ar12が縮合多環芳香族基である場合、m12は1であることが好ましく、m11’及びm13’はそれぞれ独立に、0又は1であることが好ましい。
分子量を上記範囲内とすることにより、溶媒への溶解性と薄膜の膜質安定性とを両立することができる。
本発明において、重量平均分子量及び数平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィ法(GPC)法にて測定され、標準ポリスチレンで換算して求められる。具体的には、例えば、GPCは、HLC−8220GPC(東ソー(株)製)を用い、カラムとして、TSKgeL SuperHZM−H、TSKgeL SuperHZ4000、TSKgeL SuperHZ2000(東ソー(株)製、4.6mmID×15cm)を3本用い、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)を用いる。また、条件としては、試料濃度を0.35質量%、流速を0.35ml/min、サンプル注入量を10μl、測定温度を40℃とし、IR検出器を用いて行う。また、検量線は、東ソー(株)製「標準試料TSK
standard,polystyrene」:「F−40」、「F−20」、「F−4」、「F−1」、「A−5000」、「A−2500」、「A−1000」、「n−プロピルベンゼン」の8サンプルから作製する。
後述する有機半導体層、後述する有機半導体膜又は有機半導体膜形成用組成物中には、1種のみの特定有機半導体化合物が含まれていても、2種以上の特定有機半導体化合物が含まれていてもよいが、配向性の観点から、1種のみであることが好ましい。
本発明の化合物は、式1で表される繰り返し単位を有する。
式1中、X11、X12、Y11、Y12、Ar11、Ar12、Ar13、m11、m12、及び、m13はそれぞれ、特定有機半導体化合物におけるX11、X12、Y11、Y12、Ar11、Ar12、Ar13、m11、m12、及び、m13と同義であり、好ましい態様も同様である。
また、本発明の化合物中の式1で表される繰り返し単位の含有量、重量平均分子量、具体例及び合成方法は、特定有機半導体化合物におけるそれらと同義であり、好ましい態様も同様である。
本発明の有機半導体素子の有機半導体層は、バインダーポリマーを含有することが好ましい。
また、本発明の有機半導体素子は、上記有機半導体層とバインダーポリマーを含む層を有する有機半導体素子であってもよい。
バインダーポリマーの種類は特に制限されず、公知のバインダーポリマーを用いることができる。
バインダーポリマーとしては、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリウレタン、ポリシロキサン、ポリスルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート、セルロース、ポリエチレン、ポリプロピレンなどの絶縁性ポリマー、及びこれらの共重合体、ポリシラン、ポリカルバゾール、ポリアリールアミン、ポリフルオレン、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリアセン、ポリヘテロアセンなどの半導体ポリマー、及びこれらの共重合体、ゴム、熱可塑性エラストマーを挙げることができる。
中でも、バインダーポリマーとしては、ベンゼン環を有する高分子化合物(ベンゼン環基を有する単量体単位を有する高分子)が好ましい。ベンゼン環基を有する単量体単位の含有量は特に制限されないが、全単量体単位中、50モル%以上が好ましく、70モル%以上がより好ましく、90モル%以上が更に好ましい。上限は特に制限されないが、100モル%が挙げられる。
上記バインダーポリマーとしては、例えば、ポリスチレン、ポリ(α−メチルスチレン)、ポリビニルシンナメート、ポリ(4−ビニルフェニル)、ポリ(4−メチルスチレン)、ポリ[ビス(4−フェニル)(2,4,6−トリメチルフェニル)アミン]、ポリ[2,6−(4,4−ビス(2−エチルヘキシル)−4Hシクロペンタ[2,1−b;3,4−b’]ジチオフェン)−アルト−4,7−(2,1,3−ベンゾチアジアゾール)]などが挙げられ、ポリ(α−メチルスチレン)が特に好ましい。
また、後述する溶媒を用いる場合、バインダーポリマーは、使用する溶媒への溶解度が、特定有機半導体化合物よりも高いことが好ましい。上記態様であると、得られる有機半導体の移動度及び熱安定性により優れる。
本発明の有機半導体素子の有機半導体層におけるバインダーポリマーの含有量は、特定有機半導体化合物の含有量100質量部に対し、1〜200質量部であることが好ましく、10〜150質量部であることがより好ましく、20〜120質量部であることが更に好ましい。上記範囲であると、得られる有機半導体の移動度及び熱安定性により優れる。
本発明の有機半導体素子における有機半導体層には、特定有機半導体化合物及びバインダーポリマー以外に他の成分が含まれていてもよい。
その他の成分としては、公知の添加剤等を用いることができる。
上記有機半導体層における特定有機半導体化合物及びバインダーポリマー以外の成分の含有量は、有機半導体層の全質量に対し、10質量%以下であることが好ましく、5質量%以下であることがより好ましく、1質量%以下であることが更に好ましく、0.1質量%以下であることが特に好ましい。上記範囲であると、膜形成性に優れ、得られる有機半導体の移動度及び熱安定性により優れる。
本発明の有機半導体膜形成用組成物を用いて有機半導体膜や有機半導体素子を製造する方法は、特に制限されず、公知の方法を採用できる。例えば、組成物を所定の基材上に付与して、必要に応じて乾燥処理を施して、有機半導体膜を製造する方法(「溶液塗布法」ともいう。)が挙げられる。
基材上に組成物を付与する方法は特に制限されず、公知の方法を採用でき、例えば、インクジェット印刷法、フレキソ印刷法、バーコート法、スピンコート法、ナイフコート法、ドクターブレード法などが挙げられ、インクジェット印刷法、フレキソ印刷法が好ましい。
なお、フレキソ印刷法としては、フレキソ印刷版として感光性樹脂版を用いる態様が好適に挙げられる。態様によって、組成物を基板上に印刷して、パターンを容易に形成することができる。
中でも、本発明の有機半導体素子の製造方法は、本発明の有機半導体膜形成用組成物を基板上に塗布する塗布工程、を含むことが好ましく、本発明の有機半導体膜形成用組成物が溶媒を含み、本発明の有機半導体膜形成用組成物を基板上に塗布する塗布工程、及び、塗布された組成物から溶媒を除去する除去工程を含むことがより好ましい。
溶媒としては、公知の溶媒を用いることができる。
具体的には、例えば、ヘキサン、オクタン、デカン、トルエン、キシレン、メシチレン、エチルベンゼン、デカリン、1−メチルナフタレンなどの炭化水素系溶媒、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶媒、ジクロロメタン、クロロホルム、テトラクロロメタン、ジクロロエタン、トリクロロエタン、テトラクロロエタン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、クロロトルエンなどのハロゲン化炭化水素系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミルなどのエステル系溶媒、メタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチレングリコールなどのアルコール系溶媒、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、アニソールなどのエーテル系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド系溶媒、1−メチル−2−ピロリドン、1−メチル−2−イミダゾリジノン等のイミド系溶媒、ジメチルスルフォキサイドなどのスルホキシド系溶媒、アセトニトリルなどのニトリル系溶媒が挙げられる。
これらの中でも、炭化水素系溶媒、ハロゲン化炭化水素系溶媒、芳香族系溶媒、芳香族複素環系溶媒、及び/又はエーテル系溶媒が好ましく、トルエン、キシレン、メシチレン、テトラリン、ジクロロベンゼン又はアニソールがより好ましい。
なお、最も含有量の多い溶媒の沸点が100℃以上であることが好ましく、全ての溶媒の沸点が100℃以上であることがより好ましい。
また、有機半導体素子としては、光電変換素子でないことが好ましい。
更に、本発明の有機半導体素子は、非発光性有機半導体素子であることが好ましい。
2端子素子としては、整流用ダイオード、定電圧ダイオード、PINダイオード、ショットキーバリアダイオード、サージ保護用ダイオード、ダイアック、バリスタ、トンネルダイオード等が挙げられる。
3端子素子としては、バイポーラトランジスタ、ダーリントントランジスタ、電界効果トランジスタ、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ、ユニジャンクショントランジスタ、静電誘導トランジスタ、ゲートターンサイリスタ、トライアック、静電誘導サイリスタ等が挙げられる。
これらの中でも、整流用ダイオード、及び、トランジスタ類が好ましく挙げられ、電界効果トランジスタがより好ましく挙げられる。
図1は、本発明の有機半導体素子(有機薄膜トランジスタ(有機TFT))の一態様の断面模式図である。
図1において、有機薄膜トランジスタ100は、基板10と、基板10上に配置されたゲート電極20と、ゲート電極20を覆うゲート絶縁膜30と、ゲート絶縁膜30のゲート電極20側とは反対側の表面に接するソース電極40及びドレイン電極42と、ソース電極40とドレイン電極42との間のゲート絶縁膜30の表面を覆う有機半導体膜50と、各部材を覆う封止層60とを備える。有機薄膜トランジスタ100は、ボトムゲート−ボトムコンタクト型の有機薄膜トランジスタである。
なお、図1においては、有機半導体膜50が、上述した組成物より形成される膜に該当する。
以下、基板、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体膜及び封止層並びにそれぞれの形成方法について詳述する。
基板は、後述するゲート電極、ソース電極、ドレイン電極などを支持する役割を果たす。
基板の種類は特に制限されず、例えば、プラスチック基板、ガラス基板、セラミック基板などが挙げられる。中でも、各デバイスへの適用性及びコストの観点から、ガラス基板又はプラスチック基板であることが好ましい。
プラスチック基板の材料としては、熱硬化性樹脂(例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂(例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)など)又は熱可塑性樹脂(例えば、フェノキシ樹脂、ポリエーテルスルフォン、ポリスルフォン、ポリフェニレンスルフォンなど)が挙げられる。
セラミック基板の材料としては、例えば、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイドなどが挙げられる。
ガラス基板の材料としては、例えば、ソーダガラス、カリガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス、アルミケイ酸ガラス、鉛ガラスなどが挙げられる。
ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極の材料としては、例えば、金(Au)、銀、アルミニウム(Al)、銅、クロム、ニッケル、コバルト、チタン、白金、タンタル、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ナトリウム等の金属;InO2、SnO2、酸化インジウムスズ(ITO)等の導電性の酸化物;ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアセチレン、ポリジアセチレン等の導電性高分子;シリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素等の半導体;フラーレン、カーボンナノチューブ、グラファイト等の炭素材料などが挙げられる。中でも、金属であることが好ましく、銀又はアルミニウムであることがより好ましい。
ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極の厚みは特に制限されないが、20〜200nmであることが好ましい。
ゲート絶縁膜の材料としては、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリビニルフェノール、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン、ポリスルホン、ポリベンゾキサゾール、ポリシルセスキオキサン、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等のポリマー;二酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化チタン等の酸化物;窒化珪素等の窒化物などが挙げられる。これらの材料のうち、有機半導体膜との相性から、ポリマーであることが好ましい。
ゲート絶縁膜の材料としてポリマーを用いる場合、架橋剤(例えば、メラミン)を併用することが好ましい。架橋剤を併用することで、ポリマーが架橋されて、形成されるゲート絶縁膜の耐久性が向上する。
ゲート絶縁膜の膜厚は特に制限されないが、100〜1,000nmであることが好ましい。
ゲート絶縁膜形成用組成物を塗布してゲート絶縁膜を形成する場合、溶媒除去、架橋などを目的として、塗布後に加熱(ベーク)してもよい。
本発明の有機半導体膜は、本発明の有機半導体膜形成用組成物より形成される膜である。
有機半導体膜の形成方法は特に制限されず、上述した組成物を、ソース電極、ドレイン電極、及び、ゲート絶縁膜上に付与して、必要に応じて乾燥処理を施すことにより、所望の有機半導体膜を形成することができる。
本発明の有機半導体素子は、有機半導体層と絶縁膜との間に上記バインダーポリマー層を有することが好ましく、有機半導体層とゲート絶縁膜との間に上記バインダーポリマー層を有することがより好ましい。上記バインダーポリマー層の膜厚は特に制限されないが、20〜500nmであることが好ましい。上記バインダーポリマー層は、上記ポリマーを含む層であればよいが、上記バインダーポリマーからなる層であることが好ましい。
バインダーポリマー層形成用組成物を塗布してバインダーポリマー層を形成する場合、溶媒除去、架橋などを目的として、塗布後に加熱(ベーク)してもよい。
本発明の有機半導体素子は、耐久性の観点から、最外層に封止層を備えることが好ましい。封止層には公知の封止剤を用いることができる。
封止層の厚さは特に制限されないが、0.2〜10μmであることが好ましい。
図2において、有機薄膜トランジスタ200は、基板10と、基板10上に配置されたゲート電極20と、ゲート電極20を覆うゲート絶縁膜30と、ゲート絶縁膜30上に配置された有機半導体膜50と、有機半導体膜50上に配置されたソース電極40及びドレイン電極42と、各部材を覆う封止層60を備える。ここで、ソース電極40及びドレイン電極42は、上述した本発明の組成物を用いて形成されたものである。有機薄膜トランジスタ200は、ボトムゲート−トップコンタクト型の有機薄膜トランジスタである。
基板、ゲート電極、ゲート絶縁膜、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体膜及び封止層については、上述のとおりである。
なお、上述した有機薄膜トランジスタは、電子ペーパー、ディスプレイデバイスなどに好適に使用できる。
本発明の有機半導体膜形成用組成物は、特定有機半導体化合物、及び、溶媒を含有することを特徴とする。
また、本発明の有機半導体膜形成用組成物は、バインダーポリマーを含有することが好ましい。
本発明の有機半導体膜形成用組成物における特定有機半導体化合物、バインダーポリマー及び溶媒は、上述した特定有機半導体化合物、バインダーポリマー及び溶媒と同義であり、好ましい態様も同様である。
その他の成分としては、公知の添加剤等を用いることができる。
本発明の有機半導体膜形成用組成物における特定有機半導体化合物及びバインダーポリマー以外の成分の含有量は、有機半導体膜形成用組成物の全固形分に対し、10質量%以下であることが好ましく、5質量%以下であることがより好ましく、1質量%以下であることが更に好ましく、0.1質量%以下であることが特に好ましい。上記範囲であると、膜形成性に優れ、得られる有機半導体の移動度及び熱安定性により優れる。なお、固形分とは、溶媒等の揮発性成分を除いた成分の量である。
粘度の測定方法としては、JIS Z8803に準拠した測定方法であることが好ましい。
本発明の有機半導体膜は、特定有機半導体を含有することを特徴とする。
また、本発明の有機半導体膜は、バインダーポリマーを含有することが好ましい。
本発明の有機半導体膜における特定有機半導体化合物、並びに、バインダーポリマーは、本発明の有機半導体素子において上述した特定有機半導体化合物、特定有機半導体化合物を重合することにより得られたポリマー及びオリゴマー、並びに、バインダーポリマーと同義であり、好ましい態様も同様である。
その他の成分としては、公知の添加剤等を用いることができる。
本発明の有機半導体膜における特定有機半導体化合物、特定有機半導体化合物を重合することにより得られたポリマー及びオリゴマー、並びに、バインダーポリマー以外の成分の含有量は、有機半導体膜の全質量に対し、10質量%以下であることが好ましく、5質量%以下であることが好ましく、1質量%以下であることが更に好ましく、0.1質量%以下であることが特に好ましい。上記範囲であると、膜形成性に優れ、得られる有機半導体の移動度及び熱安定性により優れる。なお、固形分とは、溶媒等の揮発性成分を除いた成分の量である。
本発明の有機半導体膜は、有機半導体素子に好適に使用することができ、有機トランジスタ(有機薄膜トランジスタ)に特に好適に使用することができる。
本発明の有機半導体膜は、本発明の有機半導体膜形成用組成物を用いて好適に作製することができる。
有機半導体層に用いた有機半導体化合物である、E−1〜E−8は、上記有機半導体化合物の具体例として記載したE−1〜E−8と同様である。
また、比較化合物C−1〜C−3の構造を以下に示す。
化合物E−1は以下に示す合成スキームで合成した。
具体的には、Macromol.,2008,41,7287.を参考に、合成中間体IMを合成した。
合成中間体IM(92mg,0.2mmol)、2,5−ビス(トリメチルスタニル)−3,6−ジドデシルチエノ[3,2−b]チオフェン(160mg,0.2mmol)、トリ(o−トリル)ホスフィン(4.9mg,0.016mmol)、トリス(ジベンジリデンアセトン)ジパラジウム(3.7mg,0.004mmol)、脱水クロロベンゼン(20mL)を混合し、窒素雰囲気下、130℃で72時間撹拌した。反応液を室温に冷却した後、メタノール100mL、濃塩酸8mLを添加し、16時間撹拌した。析出した固形分をろ過、メタノール洗浄した後、エタノール、酢酸エチル、クロロホルムで順次ソックスレー抽出し、可溶性の不純物を取り除いた。更にクロロベンゼンでソックスレー抽出し、溶液を減圧濃縮した後、メタノールを添加し、析出した固形分をろ過、メタノール洗浄することで化合物E−1を70mg得た(収率45%)。
化合物E−2〜E−8も化合物E−1に準じた方法で合成した。
比較化合物C−3は特表2014−507488号公報の実施例に記載の化合物である。
化合物E−1〜E−8及び、比較化合物C−1〜C−3はいずれも、高速液体クロマトグラフィー(東ソー(株)製、TSKgel ODS−100Z)により純度(254nmの吸収強度面積比)が99.8%以上であることを確認した。
化合物E−1の合成に使用した2−アセチル−5−ブロモチオフェンは、東京化成工業(株)より購入した。
2,5−ビス(トリメチルスタニル)−3,6−ジドデシルチエノ[3,2−b]チオフェンは、3,6−ジブロモチエノ[3,2−b]チオフェン(東京化成工業(株)製)及びN−ドデシル亜鉛ブロミド(アルファ・エイサー社製)を出発原料として、WO2005/111045及びJ.Polym.Sci.PartA Polym.Chem.,2013,51,424.を参考に、以下の合成スキームにより合成した。
バインダーポリマーとして用いたポリマーを以下に示す。
PαMS:ポリ−α−メチルスチレン、重量平均分子量437,000、シグマアルドリッチ社製
PTAA:ポリ[ビス(4−フェニル)(2,4,6−トリメチルフェニル)アミン]、数平均分子量7,000〜10,000、シグマアルドリッチ社製
PCPDTBT:ポリ[2,6−(4,4−ビス(2−エチルヘキシル)−4Hシクロペンタ[2,1−b;3,4−b’]ジチオフェン)−アルト−4,7−(2,1,3−ベンゾチアジアゾール)]、重量平均分子量7,000〜20,000、シグマアルドリッチ社製
表1に記載の有機半導体化合物(0.5質量%)/バインダーポリマー(表1に記載の濃度)/アニソール(沸点154℃)を硝子バイヤルに秤量し、ミックスローター(アズワン(株)製)で10分間撹拌混合した後、0.5μmメンブレンフィルターでろ過することで、有機半導体膜形成用塗布液(有機半導体膜形成用組成物)を得た。表1中、バインダーポリマーが「−」と記載されているものはバインダーポリマーを添加していないことを示す。
なお、表1中、括弧内に記載したバインダーポリマーの濃度は、塗布液中の質量%である。
ガラス基板(イーグルXG:コーニング社製)上に、ゲート電極となるAlを蒸着した(厚み:50nm)。その上にゲート絶縁膜形成用組成物(ポリビニルフェノール/メラミン=1質量部/1質量部(w/w)のPGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)溶液(固形分濃度:2質量%))をスピンコートし、150℃で60分間ベークを行うことで膜厚400nmのゲート絶縁膜を形成した。その上に銀インク(H−1、三菱マテリアル(株)製)をインクジェット装置DMP−2831(富士フイルムダイマティクス社製)を用いてソース電極及びドレイン電極状(チャネル長40μm、チャネル幅200μm)に描画した。その後オーブンにて180℃、30分間ベークを行い、焼結して、ソース電極及びドレイン電極を形成することでTFT特性評価用素子基板を得た。
窒素グローブボックス中で、TFT特性評価用素子基板の上に各有機半導体膜形成用塗布液をスピンコート(500rpm、10秒間の後1,000rpm、30秒間)した後、ホットプレート上で200℃、10分間乾燥することにより有機半導体層を形成し、ボトムゲートボトムコンタクト型の有機TFT素子を得た。
半導体特性評価装置B2900A(アジレント・テクノロジー(株)製)を用い、大気下で以下の性能評価を行った。
(a)キャリア移動度
各有機TFT素子のソース電極−ドレイン電極間に、−60Vの電圧を印加し、ゲート電圧を+10V〜−60Vの範囲で変化させ、ドレイン電流Idを表す下記式を用いてキャリア移動度μを算出した。
Id=(w/2L)μCi(Vg−Vth)2
式中、Lはゲート長、wはゲート幅、Ciは絶縁層の単位面積当たりの容量、Vgはゲート電圧、Vthは閾値電圧を表す。
キャリア移動度μは高いほど好ましく、実用上は8.0×10-3cm2/Vs以上であることが好ましく、1.0×10-2cm2/Vs以上であることがより好ましく、1.0×10-1cm2/Vs以上であることが更に好ましい。なお、移動度が1.0×10-5cm2/Vsを下回るものに関しては特性が低すぎるため、表中には「<1.0×10-5」と記載し、以下の評価は行わなかった。
作製した各有機薄膜トランジスタ素子を、25℃、湿度80%下で24時間保管した後、キャリア移動度を測定した場合のキャリア移動度維持率を以下の4段階で評価し、高湿度下での経時安定性の指標とした。この値が大きいほど高湿度下での安定性が高く、実用上、A又はBであることが好ましく、Aであることがより好ましい。
高湿度下保管後のキャリア移動度維持率(%)=移動度(高湿度下保管後)/移動度(高湿度下保管前)
A:80%以上
B:60%以上80%未満
C:40%以上60%未満
D:40%未満
Claims (19)
- 式1で表される繰り返し単位を有する有機半導体を含有する有機半導体層を有することを特徴とする、
有機半導体素子。
式1中、X11及びX12はそれぞれ独立に、CH、CR11、O、S、Se、SiR11のいずれかを表し、R11はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、Y11及びY12はそれぞれ独立に、O、S、N−CN、又は、CQを表し、QはCN、CF、C(=O)R12、C(=O)OR12、又は、SOR12を表し、R12はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、複数のR12は互いに結合して環を形成してもよく、Ar11、Ar12、Ar13はそれぞれ独立に、芳香族炭化水素基、芳香族複素環基、ビニレン基、又は、エチニレン基を表し、m11は0〜2の整数を表し、m12は0〜4の整数を表し、m13は0〜2の整数を表し、m11とm12とm13の合計が1以上である。 - X11及びX12がいずれもOであるか、いずれもSである、請求項1に記載の有機半導体素子。
- Y11及びY12がいずれもOであるか、いずれもSである、請求項1又は2に記載の有機半導体素子。
- 式1で表される繰り返し単位が、式2で表される繰り返し単位である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の有機半導体素子。
式2中、X11及びX12はそれぞれ独立に、CH、CR11、O、S、Se、SiR11のいずれかを表し、R11はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、Y11及びY12はそれぞれ独立に、O、S、N−CN、又は、CQを表し、QはCN、CF、C(=O)R12、C(=O)OR12、又は、SOR12を表し、R12はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、複数のR12は互いに結合して環を形成してもよく、Ar12は芳香族炭化水素基、芳香族複素環基、ビニレン基、又は、エチニレン基を表し、m12は0〜4の整数を表し、X21及びX22はそれぞれ独立に、CH、CR11’、O、S、Se、SiR11’のいずれかを表し、R11’はそれぞれ独立に、水素原子又は一価の有機基を表し、R21〜R24はそれぞれ独立に、水素原子又は一価の有機基を表し、m11’は0〜2の整数を表し、m13’は0〜2の整数を表し、m11’とm12とm13’の合計が1以上である。 - 式1で表される繰り返し単位を有する化合物。
式1中、X11及びX12はそれぞれ独立に、CH、CR11、O、S、Se、SiR11のいずれかを表し、R11はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、Y11及びY12はそれぞれ独立に、O、S、N−CN、又は、CQを表し、QはCN、CF、C(=O)R12、C(=O)OR12、又は、SOR12を表し、R12はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、複数のR12は互いに結合して環を形成してもよく、Ar11、Ar12、Ar13はそれぞれ独立に、芳香族炭化水素基、芳香族複素環基、ビニレン基、又は、エチニレン基を表し、m11は0〜2の整数を表し、m12は0〜4の整数を表し、m13は0〜2の整数を表し、m11とm12とm13の合計が1以上である。 - X11及びX12がいずれもOであるか、いずれもSである、請求項5に記載の化合物。
- Y11及びY12がいずれもOであるか、いずれもSである、請求項5又は6に記載の化合物。
- 式1で表される繰り返し単位が、式2で表される繰り返し単位である、請求項5〜7のいずれか1項に記載の化合物。
式2中、X11及びX12はそれぞれ独立に、CH、CR11、O、S、Se、SiR11のいずれかを表し、R11はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、Y11及びY12はそれぞれ独立に、O、S、N−CN、又は、CQを表し、QはCN、CF、C(=O)R12、C(=O)OR12、又は、SOR12を表し、R12はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、複数のR12は互いに結合して環を形成してもよく、Ar12は芳香族炭化水素基、芳香族複素環基、ビニレン基、又は、エチニレン基を表し、m12は0〜4の整数を表し、X21及びX22はそれぞれ独立に、CH、CR11’、O、S、Se、SiR11’のいずれかを表し、R11’はそれぞれ独立に、水素原子又は一価の有機基を表し、R21〜R24はそれぞれ独立に、水素原子又は一価の有機基を表し、m11’は0〜2の整数を表し、m13’は0〜2の整数を表し、m11’とm12とm13’の合計が1以上である。 - 有機半導体である、請求項5〜8のいずれか1項に記載の化合物。
- 式1で表される繰り返し単位を有する化合物と、溶媒とを含む、有機半導体膜形成用組成物。
式1中、X11及びX12はそれぞれ独立に、CH、CR11、O、S、Se、SiR11のいずれかを表し、R11はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、Y11及びY12はそれぞれ独立に、O、S、N−CN、又は、CQを表し、QはCN、CF、C(=O)R12、C(=O)OR12、又は、SOR12を表し、R12はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、複数のR12は互いに結合して環を形成してもよく、Ar11、Ar12、Ar13はそれぞれ独立に、芳香族炭化水素基、芳香族複素環基、ビニレン基、又は、エチニレン基を表し、m11は0〜2の整数を表し、m12は0〜4の整数を表し、m13は0〜2の整数を表し、m11とm12とm13の合計が1以上である。 - X11及びX12がいずれもOであるか、いずれもSである、請求項10に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- Y11及びY12がいずれもOであるか、いずれもSである、請求項10又は11に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 式1で表される繰り返し単位が、式2で表される繰り返し単位である、請求項10〜12のいずれか1項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
式2中、X11及びX12はそれぞれ独立に、CH、CR11、O、S、Se、SiR11のいずれかを表し、R11はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、Y11及びY12はそれぞれ独立に、O、S、N−CN、又は、CQを表し、QはCN、CF、C(=O)R12、C(=O)OR12、又は、SOR12を表し、R12はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、複数のR12は互いに結合して環を形成してもよく、Ar12は芳香族炭化水素基、芳香族複素環基、ビニレン基、又は、エチニレン基を表し、m12は0〜4の整数を表し、X21及びX22はそれぞれ独立に、CH、CR11’、O、S、Se、SiR11’のいずれかを表し、R11’はそれぞれ独立に、水素原子又は一価の有機基を表し、R21〜R24はそれぞれ独立に、水素原子又は一価の有機基を表し、m11’は0〜2の整数を表し、m13’は0〜2の整数を表し、m11’とm12とm13’の合計が1以上である。 - バインダーポリマーを更に含有する、請求項10〜13のいずれか1項に記載の有機半導体膜形成用組成物。
- 請求項9〜14のいずれか1項に記載の有機半導体膜形成用組成物を基板上に塗布する塗布工程を含む、有機半導体素子の製造方法。
- 式1で表される繰り返し単位を有する化合物を含む有機半導体膜。
式1中、X11及びX12はそれぞれ独立に、CH、CR11、O、S、Se、SiR11のいずれかを表し、R11はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、Y11及びY12はそれぞれ独立に、O、S、N−CN、又は、CQを表し、QはCN、CF、C(=O)R12、C(=O)OR12、又は、SOR12を表し、R12はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、複数のR12は互いに結合して環を形成してもよく、Ar11、Ar12、Ar13はそれぞれ独立に、芳香族炭化水素基、芳香族複素環基、ビニレン基、又は、エチニレン基を表し、m11は0〜2の整数を表し、m12は0〜4の整数を表し、m13は0〜2の整数を表し、m11とm12とm13の合計が1以上である。 - X11及びX12がいずれもOであるか、いずれもSである、請求項16に記載の有機半導体膜。
- Y11及びY12がいずれもOであるか、いずれもSである、請求項16又は17に記載の有機半導体膜。
- 式1で表される繰り返し単位が、式2で表される繰り返し単位である、請求項16〜18のいずれか1項に記載の有機半導体膜。
式2中、X11及びX12はそれぞれ独立に、CH、CR11、O、S、Se、SiR11のいずれかを表し、R11はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、Y11及びY12はそれぞれ独立に、O、S、N−CN、又は、CQを表し、QはCN、CF、C(=O)R12、C(=O)OR12、又は、SOR12を表し、R12はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、複数のR12は互いに結合して環を形成してもよく、Ar12は芳香族炭化水素基、芳香族複素環基、ビニレン基、又は、エチニレン基を表し、m12は0〜4の整数を表し、X21及びX22はそれぞれ独立に、CH、CR11’、O、S、Se、SiR11’のいずれかを表し、R11’はそれぞれ独立に、水素原子又は一価の有機基を表し、R21〜R24はそれぞれ独立に、水素原子又は一価の有機基を表し、m11’は0〜2の整数を表し、m13’は0〜2の整数を表し、m11’とm12とm13’の合計が1以上である。
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