JP6565146B2 - 液体吐出装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出装置の製造方法に関する。

特許文献１には、液体吐出装置として、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドが開示されている。このインクジェットヘッドは、複数のノズルが形成された合成樹脂製のノズルプレートと、複数のノズルに連通するインク流路が形成された金属製の流路形成板と、流路形成板に設けられた圧電素子を有する。インクジェットヘッドは、圧電素子により、インク流路内のインクに圧力を付与することで、ノズルからインクを吐出させる。

上記の特許文献１のインクジェットヘッドにおいて、ノズルプレートの、複数のノズルの吐出口が配置されているインク吐出面には、吐出口の周囲にインク滴が付着することを防止するための撥インク膜が形成されている。また、ノズルプレートのインク吐出面には、ノズルの列を挟むように配置され、ノズル列方向に延びる２本の長い凸部（凸条部）が形成されている。この凸部により、紙ジャム等によって記録用紙が浮き上がった場合でも、記録用紙がノズルの吐出口に衝突することが抑制され、吐出口の縁や吐出口の周囲の撥インク膜に傷がつくことが防止される。

上記のノズルプレートは以下の工程で製造される。まず、ノズルプレートとなる合成樹脂の基板として、ポリイミド等の合成樹脂フィルムを準備する。この合成樹脂フィルムの一面に撥インク材を塗布して加熱乾燥させることで、撥インク膜を形成する。次に、撥インク膜が形成された合成樹脂フィルムに、レーザー加工で複数のノズルを形成する。次に、複数のノズルが形成された合成樹脂フィルム（ノズルプレート）を、流路孔が形成されている流路形成板に接合する。接合後、ノズルプレートの、撥インク膜が形成されたインク吐出面に金型を当て、熱プレスを行うことによって、インク吐出面に凸部を形成する。

特開２００６−２５６１６５号公報

特許文献１では、合成樹脂製のノズルプレートに凸部が形成されており、凸部の材質も合成樹脂である。しかし、合成樹脂の凸部は強度が低いため、耐久性に劣る。即ち、凸部に繰り返し記録用紙が当たることで、凸部が徐々に削られてなくなってしまう。また、記録用紙が大きな力で凸部に衝突したときには、凸部が欠けてしまうこともある。

そこで、本願出願人は、ノズルプレートとなる合成樹脂製のプレートに、インク流路の一部が形成される金属製のプレートを積層してから、この積層体にプレス加工を施すことで、積層体に、インク吐出面から突出する凸部を形成することを検討している。この場合は、積層体に形成された凸部の内部に、金属プレートが塑性変形してなる金属部分が含まれているため、合成樹脂材料のみで形成された凸部と比べて強度が高くなり、耐久性に優れる。

ところで、上記の場合に、（１）積層体に凸部を形成してから、積層体の合成樹脂プレートにノズルを形成する方法と、これとは逆に、（２）合成樹脂プレートにノズルを形成してから、積層体に凸部を形成する方法の、２通りの方法が考えられる。しかし、上記（１）のように、積層体に凸部を形成してから合成樹脂プレートにノズルを形成すると、次のような点で問題となることがある。

積層体にプレス加工により凸部を形成したときに、積層体に反りが生じることがある。積層体の合成樹脂プレートに反りがある状態でノズルを形成すると、ノズルの軸線方向が、本来そうあるべき所定の方向（例えば、プレートに直交する方向）に対して傾いてしまう。これにより、このノズルから吐出される液体が、本来の吐出方向に対して少し傾いた方向に吐出されてしまうことになり、吐出曲がりの原因となる。尚、「ノズルの軸線方向」とは、合成樹脂プレートに形成される、ノズルの出射側開口（吐出口）の中心とその反対側の開口の中心を結ぶ直線の方向のことである。

本発明の目的は、凸部を形成する際のプレス加工によって生じる、合成樹脂プレートの反りに起因して、ノズルの軸線方向が傾いてしまうのを防止することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

第１の発明の液体吐出装置の製造方法は、液体を吐出する複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通する液体流路を有する液体吐出装置の製造方法であって、合成樹脂製の第１プレートと、金属製の第２プレートとを積層して、前記第１プレートと前記第２プレートの積層体を形成する、積層工程と、前記積層体の前記第１プレートに、前記複数のノズルを形成するノズル形成工程と、前記ノズル形成工程の後に、前記積層体に対して、前記第２プレート側からプレス加工を行って、前記積層体に、前記複数のノズルの吐出口が配置される液体吐出面から突出する凸部を形成する、凸部形成工程と、前記凸部形成工程の後に、前記積層体を、前記液体流路が形成される別の部材と接着剤で接合する接合工程と、を備えていることを特徴とするものである。

本発明では、ノズルプレートとなる合成樹脂製の第１プレートと、金属製の第２プレートとを積層してから、この積層体にプレス加工を行う。これにより、第２プレートを塑性変形させて、積層体に液体吐出面よりも突出する凸部を形成する。積層体に形成された凸部には金属部分が含まれていることから、凸部の強度が高くなり、耐久性に優れる。

また、本発明では、第１プレートと第２プレートとを積層させた後、先に、第１プレートに複数のノズルを形成してから、積層体にプレス加工を行って凸部を形成する。つまり、プレス加工を行う前の、平坦な状態の第１プレートに複数のノズルを形成するため、ノズルの軸線方向が第１プレートの面方向に対して所望の角度となるように、各ノズルを形成することができる。尚、このノズル形成工程の後に、凸部形成工程で、積層体にプレス加工を行ったときに、積層体が反ることはあり得る。しかし、その後の接合工程で、積層体が、液体流路が形成される他の部材と接合されたときに、上記の積層体の反りは矯正されるため、最終的に、積層体の反りに起因するノズルの軸線方向の傾きは生じない。

第２の発明の液体吐出装置の製造方法は、前記第１の発明において、前記ノズル形成工程において、前記複数のノズルを、所定のノズル配列方向に配列して形成し、前記凸部形成工程において、前記複数のノズルと並ぶように、複数の前記凸部を、前記ノズル配列方向に沿って形成することを特徴とするものである。

本発明では、凸部形成工程において、複数の凸部を、ノズル配列方向に沿って複数のノズルと並ぶように形成する。そのため、各ノズルの吐出口の周囲が、その近くに位置する凸部によって確実に保護される。

第３の発明の液体吐出装置の製造方法は、前記第１又は第２の発明において、前記積層工程の前に、前記第２プレートに、前記複数のノズルとそれぞれ連通する複数の個別流路孔を形成する流路孔形成工程と、前記積層工程の後に、前記第１プレートの前記第２プレートとは反対側の面に、保護膜を貼り付ける保護膜貼付工程を、さらに備え、前記ノズル形成工程では、前記第１プレートの前記第２プレートとは反対側の面に前記保護膜が貼り付けられた状態で、前記個別流路孔が形成された前記第２プレート側からのレーザー加工により、前記第１プレートに前記複数のノズルを形成し、前記凸部形成工程では、前記第１プレートの前記第２プレートとは反対側の面に前記保護膜が貼り付けられた状態で、前記積層体に対して前記第２プレート側からプレス加工を行うことを特徴とするものである。

本発明では、ノズル形成工程の前に、第１プレートの、液体吐出面となる面に保護膜を形成するため、第１プレートにレーザー加工でノズルを形成したときに発生するススが、液体吐出面に付着することを防止できる。また、ノズル形成工程後に、その保護膜を取り外すことなく、続けて、凸部形成工程を行う。凸部形成工程では、第２プレート側からプレス加工を行うが、その際に、第１プレートが保護膜で覆われているため、第１プレートの液体吐出面が保護膜で保護されて、液体吐出面が傷つくことが防止される。

第４の発明の液体吐出装置の製造方法は、前記第１〜第３の何れかの発明において、前記積層工程前に、前記第２プレートに、部分的に厚みが薄くなった薄肉部を形成する薄肉部形成工程をさらに備え、前記凸部形成工程において、前記薄肉部形成工程で形成された前記第２プレートの前記薄肉部にプレス加工を行って、前記積層体に前記凸部を形成することを特徴とするものである。

本発明では、凸部形成工程において、第２プレートの薄肉部にプレス加工を行うため、その薄肉部の変形が、この薄肉部とその周囲の厚い部分との境界を越えて周囲へ広がりにくくなる。従って、プレス加工による変形の広がる範囲が限定される。

第５の発明の液体吐出装置の製造方法は、前記第４の発明において、前記薄肉部形成工程において、前記第２プレートの前記第１プレートに積層される面とは反対側の面に凹部を形成することで、前記第２プレートに前記薄肉部を形成することを特徴とするものである。

第２プレートに薄肉部を形成するために、この第２プレートの第１プレート側に凹部を形成すると、第２プレートの薄肉部と第１プレートとの間に空間が存在することになる。この状態で、第２プレート側から薄肉部にパンチでプレス加工をすると、前記の空間の影響で、意図した形状の凸部を形成することが難しくなる。本発明では、第２プレートの、第１プレートと反対側、即ち、プレスを行う側に凹部を形成するため、第１プレートと第２プレートの間には空間が存在せず、上記の問題は生じない。

第６の発明の液体吐出装置の製造方法は、前記第４又は第５の発明において、前記積層工程において、前記第１プレートと前記第２プレートとを、真空状態で加熱してから接着剤で接合することを特徴とするものである。

積層工程において、第１プレートと第２プレートとを接着剤で接合する際に、第２プレートの薄肉部と第１プレートとの間の接着剤が十分に押圧されず、空気が残りやすい。ここに空気が残っていると、後の凸部形成工程でのプレス加工の際に、２枚のプレートが剥離しやすくなる。そこで、本発明では、積層工程において、２枚のプレートを真空状態で加熱して接着することで、上記の空気をできるだけ除去した状態で接合でき、接着後の剥離を防止できる。

第７の発明の液体吐出装置の製造方法は、前記第１〜第６の何れかの発明において、前記接合工程では、前記積層体を加熱しながら前記別の部材と接着し、前記凸部形成工程の後、且つ、前記接合工程の前に、前記接合工程よりも低温で前記積層体を加熱するベーキング処理工程をさらに備えていることを特徴とするものである。

プレス加工によって積層体に凸部を形成したときに、第１プレートと第２プレートとの間に隙間が発生しやすい。また、この隙間には、合成樹脂の第１プレートを透過して水分が入り込むことがある。その状態で、接合工程で、積層体を別の部材と接着剤で接合したときに、接着の際の加熱によって、上記隙間の水分が膨張して２枚のプレート間の剥離などの不具合が発生する虞がある。この点、本発明では、接合工程の前に、低温で積層体を加熱するベーキング処理工程を行うことで、隙間に存在する水分を蒸発させて、その量を極力減らしておく。これにより、接合工程で積層体が加熱されたときの、前記隙間内の水分の膨張による不具合を抑制することができる。

本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。 インクジェットヘッドの上面図である。 図２のＡ部拡大図である。 図３のIV-IV線断面図である。 インクジェットヘッドの下面図である。 インクジェットヘッドの製造工程を説明する図である。 インクジェットヘッドの製造途中における、積層体のノズルが形成される部分の拡大図である。 変更形態に係る凸部形成工程を説明する図である。 別の変更形態に係るインクジェットヘッドの下面図である。 別の変更形態に係るインクジェットヘッドの下面図である。 別の変更形態に係るインクジェットヘッドの製造工程を説明する図である。

次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、液体吐出装置としてのインクジェットヘッドに本発明を適用した一例である。まず、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタの概略構成について説明する。図１は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。尚、以下では、図１の紙面手前側を上方、紙面向こう側を下方と定義して、適宜、「上」「下」の方向語を使用して説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、搬送機構５と、メンテナンス機構６等を備えている。

プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において、２本のガイドレール１０，１１に沿って走査方向に往復移動可能である。キャリッジ３には無端ベルト１４が連結され、キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が駆動されることで、キャリッジ３は走査方向に移動する。

インクジェットヘッド４はキャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４の、図１の紙面向こう側の面である下面には、複数のノズル４４が形成されている。また、図１に示すように、プリンタ１のプリンタ本体１ａにはホルダ９が設けられている。ホルダ９には、４色のインク（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）がそれぞれ貯留された、４つのインクカートリッジ１７が装着される。キャリッジ３に搭載されたインクジェットヘッド４とホルダ９は、図示しないチューブによって接続されている。そして、４つのインクカートリッジ１７にそれぞれ貯留された４色のインクが、チューブを介してインクジェットヘッド４に供給される。インクジェットヘッド４は、キャリッジ３とともに走査方向に移動しつつ、その下面の複数のノズル４４から、プラテン２に載置された記録用紙１００に対して４色のインクを吐出する。

搬送機構５は、搬送方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を搬送方向に搬送する。

そして、インクジェットヘッド４が走査方向に移動しながら、複数のノズル４４からインクを吐出する動作と、２つの搬送ローラ１８，１９が記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する動作が、交互に繰り返されることで、記録用紙１００に、画像や文字等が記録される。

メンテナンス機構６は、走査方向に関するキャリッジ３の移動範囲のうちの、プラテン２よりも右側の位置に配置されている。メンテナンス機構６は、キャップ２０と、キャップ２０に接続された吸引ポンプ２１と、ワイパー２２等を備える。

キャップ２０は上下方向（図１の紙面垂直方向）に移動可能である。キャップ２０は、キャリッジ３がこのキャップ２０と対向する位置にあるときに上方に移動することで、インクジェットヘッド４の下面に密着して複数のノズル４４を覆う。この状態で、吸引ポンプ２１によりキャップ２０内を減圧することで、複数のノズル４４からそれぞれインクを強制的に排出する、吸引パージが実行される。このとき、インクジェットヘッド４内の塵や気泡、あるいは、乾燥により増粘したインクが、複数のノズル４４から排出されるため、上記塵や気泡等に起因するノズル４４の吐出不良が解消される。

ワイパー２２は、ゴム材料などの弾性材料で形成された薄板状の部材であり、走査方向においてキャップ２０に隣接した位置に立設されている。上記の吸引パージが行われた後の状態では、インクジェットヘッド４の下面にはインクが付着している。そこで、吸引パージ後に、キャップ２０がインクジェットヘッド４の下面から離れた状態で、キャリッジ３を走査方向に移動させる。このとき、ワイパー２２は、インクジェットヘッド４の下面に接触した状態でインクジェットヘッド４に対して相対移動し、インクジェットヘッド４の下面に付着したインクを拭き取る。

次に、インクジェットヘッド４について説明する。図２は、インクジェットヘッド４の上面図である。図３は、図２のＡ部拡大図である。図４は、図３のIV-IV線断面図である。図５は、インクジェットヘッド４の下面図である。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド４は、流路ユニット２３と、圧電アクチュエータ２４とを備えている。尚、図４では、流路ユニット２３に形成されたインク流路内に、インク（符号Ｉで示す）が充填されている状態が示されている。

（流路ユニット）
図４に示すように、流路ユニット２３は、複数枚のプレート３１〜３９が積層された構造を有する。複数枚のプレート３１〜３９は、互いに積層された状態でそれぞれ接着剤によって接合されている。複数枚のプレート３１〜３９のうちの、最下層のプレート３９は、複数のノズル４４が形成されたノズルプレートである。ノズルプレート３９は、ポリイミド等の合成樹脂からなるプレートである。ノズルプレート３９には、このプレート３９を厚み方向に貫通する、先細りのテーパ形状の複数のノズル４４が形成されている。尚、以下の説明では、複数のノズル４４の吐出口４４ａが形成されたノズルプレート３９の下面を、特に、インク吐出面３９ａとも呼ぶこともある。

複数のノズル４４は、搬送方向に配列されており、走査方向に並ぶ４列のノズル列４８を構成している。４列のノズル列４８は、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクをそれぞれ吐出するものである。尚、以下の説明において、インクジェットヘッドの構成要素のうち、ブラック（Ｋ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）のインクにそれぞれ対応するものについては、その構成要素を示す符号の後に、どのインクに対応するかが分かるように、適宜、ブラックを示す“ｋ”、イエローを示す“ｙ”、シアンを示す“ｃ”、マゼンタを示す“ｍ”の何れかの記号を付す。例えば、ノズル列４８ｋとは、ブラックインクを吐出するノズル列４８のことを指す。

ノズルプレート３９のインク吐出面３９ａは、ＰＴＦＥなどのフッ素系樹脂で形成された撥液膜４０によって覆われている。この撥液膜４０が、インク吐出面３９ａの、ノズル４４の吐出口４４ａの周囲領域を覆うことで、ノズル４４から吐出されたインクが吐出口４４ａの周囲に残留することが防止される。尚、図４では、撥液膜４０は、ノズルプレート３９の下面全域に形成されているが、撥液膜４０が、インク吐出面３９ａの、吐出口４４ａの周囲領域のみを覆うように形成されてもよい。

流路ユニット２３を構成する、ノズルプレート３９以外の他のプレート３１〜３８は、ステンレス鋼などの金属材料からなるプレートである。より詳細には、各プレート３１〜３８は、金属を圧延して得られた所定厚みのシート状の圧延材を、所定のサイズに切り分けることによって形成されている。これらの金属プレート３１〜３８には、複数のノズル４４に連通する、次述のマニホールド４６や圧力室４７等を含む、インク流路が形成されている。以下、複数の金属プレート３１〜３８、及び、これらの金属プレート３１〜３８に形成されたインク流路の詳細について、以下説明する。

図２に示すように、流路ユニット２３の上面を構成する最上層のプレート３１には、４つのインク供給孔４５が走査方向に並んで形成されている。４つのインク供給孔４５（４５ｋ，４５ｙ，４５ｃ，４５ｍ）には、ホルダ９の４つのインクカートリッジ１７（図１参照）から４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクがそれぞれ供給される。また、上から４番目から７番目のプレート３４〜３７には、搬送方向に延在する４本のマニホールド４６（４６ｋ，４６ｙ，４６ｃ，４６ｍ）が形成されている。１つのマニホールド４６は、上下に積層された４枚のプレート３４〜３７にわたって形成されている。４つのインク供給孔４５と４本のマニホールド４６は、プレート３２，３３に形成された連通孔（図示省略）によって、それぞれ接続されている。

図４に示すように、マニホールド４６を形成している４枚のプレート３４〜３７のうち、最も下側に位置するプレート３７の、マニホールド４６を区画する底壁部３７ａとなる部分には、ハーフエッチングによって、４本のマニホールド４６に沿って延びる４つの凹部３７ｂが形成されている。これにより、プレート３７の底壁部３７ａの厚みは、それ以外の部分と比べて薄くなっている。また、このプレート３７のすぐ下に位置するプレート３８の、上記底壁部３７ａと対向する部分の上側には、ハーフエッチングによって凹部３８ｂが形成され、上記の対向部分は部分的に厚みが薄くなった薄肉部３８ａとなっている。これにより、プレート３７に形成されたマニホールド４６の底壁部３７ａと、その下のプレート３８の薄肉部３８ａとの間には空間４１が存在する。従って、マニホールド４６内の圧力変動に応じて底壁部３７ａが容易に変形できるようになっており、マニホールド４６内の圧力が変動したときに、底壁部３７ａの変形によってマニホールド４６内の圧力変動が減衰される。

最上層のプレート３１には、複数のノズル４４にそれぞれ対応する複数の圧力室４７が形成されている。複数の圧力室４７は、複数のノズル４４と同様に、４本のマニホールド４６に対応して４列に配列されている。複数の圧力室４７は、圧電アクチュエータ２４の振動板６０によって覆われている。図３、図４に示すように、各圧力室４７は、走査方向に長い形状を有し、上方から見て、その一端部が対応するノズル４４と重なり、その他端部はマニホールド４６と重なるように配置されている。尚、図２に示すように、４つの圧力室４７の列のうち、ブラックインクに対応する圧力室４７の列は、対応するマニホールド４６ｋに対して右側に配置されているのに対して、他の３色のインクに対応する圧力室４７の列は、マニホールド４６に対して左側に配置されている。

図３、図４に示すように、上から２番目に位置するプレート３２には、マニホールド４６と複数の圧力室４７を接続する、複数の絞り流路４９が形成されている。また、最上層のプレート３１とノズルプレート３９との間に位置する合計７枚のプレート３２〜３８には、圧力室４７とノズル４４とを接続する連通流路４３を構成する、個別流路孔３２ｃ〜３８ｃがそれぞれ形成されている。尚、ノズルプレート３９のすぐ上に位置するプレート３８の個別流路孔３８ｃは、マニホールド４６と重なる位置にある薄肉部３８ａよりも厚い、厚肉部３８ｄに形成されている。

以上説明したプレート３１〜３９が積層された状態で接合されることで、流路ユニット２３が構成されている。そして、流路ユニット２３内には、１つのマニホールド４６から分岐して、絞り流路４９、圧力室４７、及び、連通流路４３を経てノズル４４に至る個別流路が、複数形成されている。

ところで、記録用紙１００のジャム（紙詰まり）、あるいは、記録用紙１００が撓んだ状態で搬送された場合などに、インクジェットヘッド４のインク吐出面３９ａに、搬送方向に搬送される記録用紙１００が接触することがある。このとき、インク吐出面３９ａの、吐出口４４ａの縁部や吐出口４４ａの周囲領域に傷がついて、吐出曲がりなどの不具合が生じることがある。特に、本実施形態のように、インク吐出面３９ａが撥液膜４０に覆われている構成においては、吐出口４４ａの周囲の撥液膜４０に傷がついて撥水性が低下することにより、吐出口４４ａの周囲にインクが残留しやすくなり、吐出不良が発生する虞がある。そこで、図３〜図５に示すように、流路ユニット２３のインク吐出面３９ａには、記録用紙１００が、吐出口４４ａの周囲に接触することを防止するための、複数の凸部５０が形成されている。

図３〜図５に示すように、インク吐出面３９ａの、４本のマニホールド４６とそれぞれ重なる領域において、複数の凸部５０が搬送方向に沿って配列されており、４列の凸部列５１を構成している。また、先にも説明したが、ノズルプレート３９には、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクをそれぞれ吐出する４列のノズル列４８（４８ｋ，４８ｙ，４８ｃ，４８ｍ）が、走査方向に並んで配置されている。その上で、図５に示すように、４つの凸部列５１（５１ａ〜５１ｄ）は、４列のノズル列４８と走査方向に並んで配置されている。

４列のノズル列４８の走査方向における両外側に、これら４列のノズル列４８を走査方向に挟むように、２列の凸部列５１ａ，５１ｄがそれぞれ配置されている。また、イエローのノズル列４８ｙとシアンのノズル列４８ｃの間に凸部列５１ｂが配置されている。さらに、シアンのノズル列４８ｃとマゼンタのノズル列４８ｍの間にも凸部列５１ｃがそれぞれ配置されている。これにより、ブラックのノズル列４８ｋとイエローのノズル列４８ｙは、２列の凸部列５１ａ，５１ｂによって走査方向に挟まれている。また、シアンのノズル列４８ｃは、２列の凸部列５１ｂ，５１ｃに挟まれている。さらに、マゼンタのノズル列４８ｍも、２列の凸部列５１ｃ，５１ｄに挟まれている。

このように、複数の凸部５０が、ノズル４４の配列方向（搬送方向）に沿って、走査方向において複数のノズル４４と並んで配列されている。さらに、各ノズル列４８は、走査方向における近い位置にそれぞれ配置された２列の凸部列５１によって挟まれている。そのため、キャリッジ３が左方に移動する場合でも右方に移動する場合でも、記録用紙１００が各ノズル４４の周囲領域に接触しにくくなる。従って、インク吐出面３９ａの、各ノズル４４の吐出口４４ａの周囲部分が、その近くに位置する凸部５０によって確実に保護されることになり、撥液膜４０が傷つくことが防止される。

凸部５０の構成の詳細について説明する。図３、図５に示すように、各凸部５０は、平面視で搬送方向（ノズル配列方向）に長い、略楕円形の平面形状を有する。また、凸部５０の頂部は、丸みを帯びた形状に形成されている。そのため、記録用紙１００が凸部５０に衝突しても記録用紙１００が傷みにくくなっている。また、インク吐出面３９ａに付着したインクをワイパー２２で拭き取る場合に、凸部５０にワイパー２２がひっかかりにくく、ワイパー２２は凸部５０を簡単に乗り越えることができる。

図４から分かるように、各凸部５０は、ノズルプレート３９とその上のプレート３８が積層された状態で、この積層体５２が一体となって下方へ突き出すように変形することによって形成されている。また、後でも詳細に説明するが、各凸部５０は、積層体５２に対する、プレート３８側からのプレス加工によって行われている。また、この凸部５０は、マニホールド４６と重なって位置しているプレート３８の薄肉部３８ａに、プレス加工が施されることによって形成されている。尚、各凸部５０が、搬送方向（ノズル配列方向）に長い、楕円形状になっているのは、金属の圧延材であるプレート３８の圧延方向が搬送方向であることに起因している。後述するように、凸部５０の形成時のプレス加工では、パンチ７３が押し当てられることによってプレート３８が塑性変形するが（図６（ｅ）参照）、このとき、プレート３８の圧延方向に金属材料が広がりやすいために、各凸部５０は圧延方向に長い楕円形となっている。

尚、記録用紙１００が、インク吐出面３９ａのノズル４４の周囲領域へ接触するのを確実に防止するには、凸部５０の高さ（インク吐出面３９ａからの突出量）は、ある程度大きいことが好ましい。例えば、凸部５０の高さｈは、１００μｍ程度であることが好ましい。

上述のように、合成樹脂製のノズルプレート３９と金属製のプレート３８が一体に変形することにより凸部５０が形成されていることから、凸部５０は、金属部分５０ａと、この金属部分５０ａを覆う樹脂部分５０ｂとを有する構造となっている。凸部５０の内部に金属部分５０ａが存在していることから、凸部５０の強度が高くなり、耐久性に優れる。即ち、記録用紙１００が凸部５０に衝突しても、凸部５０が削られてなくなったり、欠けたりしにくい。

（圧電アクチュエータ）
図２〜図４に示すように、圧電アクチュエータ２４は、振動板６０と、圧電層６４，６５と、複数の個別電極６２と、共通電極６６を備えている。振動板６０は、複数の圧力室４７を覆った状態で流路ユニット２３の上面に接合されている。２枚の圧電層６４，６５は、振動板６０の上面に積層されている。複数の個別電極６２は、上層の圧電層６５の上面において、複数の圧力室４７とそれぞれ対向するように配置されている。共通電極６６は、２枚の圧電層６４，６５の間において、複数の圧力室４７に跨って配置されている。

複数の個別電極６２は、圧電アクチュエータ２４を駆動するドライバＩＣ６７とそれぞれ接続されている。一方、共通電極６６は常にグランド電位に保持されている。また、上層の圧電層６５の、個別電極６２と共通電極６６とに挟まれた部分は、それぞれ、厚み方向に分極されている。

ノズル４４からインクを吐出させる際の圧電アクチュエータ２４の動作は以下の通りである。ある個別電極６２に対してドライバＩＣ６７から駆動信号が印加されると、この個別電極６２とグランド電位に保持されている共通電極６６の間に電位差が生じる。これによって、圧電層６５の、個別電極６２と共通電極６６の間に挟まれた部分に厚み方向の電界が生じる。また、圧電層６５の分極方向と電界の方向とが一致するために、圧電層６５はその分極方向である厚み方向に伸びて面方向に収縮する。この圧電層６５の収縮変形に伴って、振動板６０の圧力室４７と対向する部分が圧力室４７側に凸となるように撓む。このとき、圧力室４７の容積が減少してその内部のインクに圧力が付与され、圧力室４７に連通するノズル４４からインクの液滴が吐出される。

次に、上述したインクジェットヘッド４の製造方法について、流路ユニット２３の製造工程を中心に説明する。図６は、インクジェットヘッド４の製造工程を説明する図である。図７は、インクジェットヘッド４の製造途中における、積層体５２のノズル４４が形成される部分の拡大図である。

（流路孔形成工程、薄肉部形成工程）
まず、図４に示される、流路ユニット２３を構成する複数の金属プレート３１〜３８に対して、それぞれ、圧力室４７やマニホールド４６となる孔や、個別流路孔３２ｃ〜３８ｃなどの、それぞれインク流路の一部を構成する各種流路孔を、エッチングで形成する。また、このとき同時に、プレート３７にハーフエッチングで凹部３７ｂを形成する。また、プレート３８にも、ハーフエッチングで凹部３８ｂを形成することによって、薄肉部３８ａを形成する。

（撥液膜形成工程）
次に、図６（ａ）に示すように、ノズルプレート３９となる合成樹脂プレート７０の一方の面（インク吐出面３９ａとなる面）に、撥液膜４０を形成する。撥液膜４０は、フッ素系樹脂のフィルムを合成樹脂プレート７０に貼り付けることによって形成してもよいし、液状のフッ素系樹脂を合成樹脂プレート７０に塗布することによって形成してもよい。

（積層工程）
次に、図６（ｂ）に示すように、合成樹脂プレート７０と、先の工程で複数の個別流路孔３８ｃが形成された１枚の金属プレート３８とを積層し、両者を接着剤で接合する。尚、この積層工程においては、合成樹脂プレート７０と金属プレート３８との間に接着剤が介在した状態で、２枚のプレート７０，３８を押圧して接合する。その際に、金属プレート３８の薄肉部３８ａと合成樹脂プレート７０との間において、接着剤が十分に押圧されず、この部分に空気が残りやすい。

そこで、この積層工程では、合成樹脂プレート７０と金属プレート３８とを、真空状態で加熱してから接着剤で接合することが好ましい。具体的には以下の工程を行う。まず、真空チャンバー内にホットプレートを設置し、このホットプレートに、合成樹脂プレート７０と金属プレート３８を接着剤が介在した状態で配置する。そして、真空チャンバー内で、接着剤硬化温度より低く、かつ、接着剤の粘度が十分に低下する温度で（例えば１００℃）で、ワーク（２枚のプレート７０，３８）を加熱する。また、上記のワークを加熱しながら、真空チャンバーの蓋を閉じて、真空ポンプにより大気圧以下に真空引きする。この処理により、合成樹脂プレート７０と金属プレート３８の間の接着剤中に介在する気泡が、接着剤の粘度が低下している効果、および、真空中に存在するために気泡が膨張する効果により除去される。上記環境に、数十秒ワークを留置して気泡の除去が完了した後、真空チャンバーからワークを取り出し、常圧下で２枚のプレート７０，３８を押圧して接合する。これにより、上記の２枚のプレート３８，７０の間の空気をできるだけ除去した状態で接合でき、接着後の剥離を防止できる。

（保護膜貼付工程）
次に、図６（ｃ）に示すように、合成樹脂プレート７０の、金属プレート３８とは反対側の、撥液膜４０が形成されている下面に、合成樹脂フィルムからなる保護膜７１を貼り付ける。この保護膜７１は、例えば、ＵＶ剥離性の接着剤を用いて合成樹脂プレート７０に接着する。

（ノズル形成工程）
次に、図６（ｄ）に示すように、積層体５２の合成樹脂プレート７０に対してレーザー加工を行って、このプレート７０に、複数のノズル４４を所定方向に配列して形成する。詳細には、図示しないレーザー照射装置から積層体５２に対して、プレート３８の複数の個別流路孔３８ｃが形成されている部分にそれぞれレーザー光を照射する。照射されたレーザー光は個別流路孔３８ｃを通過して、合成樹脂プレート７０を貫通する。これにより、合成樹脂プレート７０の、複数の個別流路孔３８ｃと重なる部分に、複数のノズル４４がそれぞれ形成される。尚、合成樹脂プレート７０の、インク吐出面３９ａとなる下面は、保護膜７１に覆われているため、ノズル４４の形成時に発生するススがインク吐出面３９ａの撥液膜４０に付着することが防止される。

尚、この段階では、積層体５２には、まだ、凸部５０を形成するためのプレス加工が行われていない状態である。そのため、図７（ａ）に示すように、プレス加工が施される前の、平坦な状態の合成樹脂プレート７０にレーザー光を照射して、複数のノズル４４を形成することになる。従って、各ノズル４４の軸線方向Ｃが、合成樹脂プレート７０の面方向に対して所望の角度θ（ここでは、θ＝９０度）となるように、複数のノズル４４をそれぞれ形成することができる。より具体的には、レーザー照射装置から合成樹脂プレート７０に対して、レーザー光を、その光軸方向が合成樹脂プレート７０の垂直方向となるように照射して、ノズル４４を形成することができる。尚、「ノズルの軸線方向Ｃ」とは、プレート７０に形成されるノズル４４の、出射側の開口（吐出口４４ａ）とその反対側の開口の中心を結ぶ直線の方向のことである。

（凸部形成工程）
次に、図６（ｅ）に示すように、積層体５２にプレス加工を行って、ノズルプレート３９の複数のノズル４４と並ぶように、複数の凸部５０をノズル配列方向に沿って形成する。まず、積層体５２を、その下面に保護膜７１が貼り付けられた状態で、複数の孔７２ａを有するダイ７２の上に設置する。また、このとき、金属プレート３８の薄肉部３８ａがダイ７２の複数の孔７２ａを覆うように積層体５２を設置する。次に、金属プレート３８の薄肉部３８ａにパンチ７３を当て、積層体５２に対して、プレート３８側から、パンチ７３のテーパ状の先端部を押し込んでプレス加工を行う。即ち、金属のプレート３８に塑性変形を生じさせて、積層体５２を部分的に下方に突出変形させる。これにより、積層体５２に、合成樹脂プレート７０の下面よりも突出する複数の凸部５０を形成する。尚、このプレス加工の際に、合成樹脂プレート７０の下面は保護膜７１に覆われてダイ７２に接触していないため、合成樹脂プレート７０の下面、特に、その下面に形成されている撥液膜４０が傷むことが防止される。

また、本実施形態では、凹部３８ｂによって形成された、金属プレート３８の薄肉部３８ａにプレス加工を施すことによって、複数の凸部５０を形成している。薄肉部３８ａにプレス加工を行うことで、そのプレス加工による変形が、薄肉部３８ａと厚肉部３８ｄとの境界を越えて、個別流路孔３８ｃが形成されている厚肉部３８ｄ側に広がりにくいため、変形が広がる範囲が限定される。従って、プレス加工時の薄肉部３８ａの変形が、個別流路孔３８ｃへ及ぼす影響を小さくすることができる。尚、プレートの凹部３８ｂには、マニホールド４６の底壁部３７ａを形成するプレート３７との間に隙間を形成して、底壁部３７ａを変形可能とするという目的もある。即ち、本実施形態では、プレス加工で凸部５０を形成するための薄肉部３８ａの形成と、マニホールド４６の底壁部３７ａを変形可能とするための空間確保という、２つの目的のために、プレート３８に凹部３８ｂが形成されている。

尚、図７（ｂ）に示すように、ダイ７２の上に設置されている積層体５２にパンチ７３を押し込んだときには、積層体５２に反りが生じる。但し、この積層体５２の反りは一時的なものであり、後述する接合工程（図７（ｃ））で矯正される。

（保護膜除去工程）
合成樹脂プレート７０に複数の凸部５０を形成したら、図６（ｆ）に示すように、合成樹脂プレート７０（ノズルプレート３９）から保護膜７１を剥離する。尚、保護膜７１が、ＵＶ剥離性の接着剤でノズルプレート３９に接合されている場合には、ＵＶを照射することによって保護膜７１を簡単に剥離することができる。その他、保護膜７１の種類によっては、適当な溶剤によって保護膜７１を溶かして除去することも可能である。

（ベーキング処理工程）
保護膜７１を除去したら、すぐに、積層体５２を、流路ユニット２３を構成する他のプレート３１〜３７と接合してもよいのだが、その接合工程前に、以下に説明するベーキング処理工程を行っておくことが好ましい。

先に説明した凸部形成工程で、プレス加工によって積層体５２に凸部５０を形成したときに、ノズルプレート３９と金属プレート３８との間に隙間が発生しやすい。また、隙間には、合成樹脂のノズルプレート３９を透過して外部から水分（湿気）が入り込む。その状態で、積層体５２を、流路ユニット２３を構成する他のプレート３１〜３７と接着剤で接合したときに、接着の際の加熱によって、上記隙間の水分が膨張して２枚のプレート３８，３９の間の剥離などの不具合が発生する虞がある。

そこで、接合工程の前に、低温で積層体５２を加熱するベーキング処理工程を行うことで、隙間に存在する水分を蒸発させて、その量を極力減らしておく。ベーキング処理では、接着剤の接合時の加熱温度よりも低い温度で、比較的長い時間をかけて、積層体５２を加熱する。例えば、１３０℃で２０分以上加熱することが好ましい。これにより、接合工程で積層体５２が加熱されたときの、前記隙間内の水分の膨張による不具合を抑制することができる。尚、このベーキング処理工程を行って、前記隙間内の水分を蒸発させても、その状態のまま長時間放置していると、再び隙間に水分が浸入してくる。そのため、ベーキング処理工程後、速やかに次の接合工程を行うことが好ましい。例えば、ベーキング処理後、９０分以内に接合工程を行う。

（接合工程）
次に、複数の凸部５０及び複数のノズル４４が形成された積層体５２と、流路ユニット２３を構成する他のプレート３１〜３７、及び、圧電アクチュエータ２４の振動板６０を接合する。詳細には、図６（ｇ）に示すように、積層体５２、金属プレート３１〜３７、及び、振動板６０のそれぞれの接合面に熱硬化性接着剤を塗布してから積層し、ヒータプレート７４，７５によって上下両側から加熱しながら押圧することで接着を行う。このときのヒータプレート７４，７５による加熱温度は、例えば、１５０℃である。

図６（ｇ）に示すように、下側のヒータプレート７５には、押圧接着の際に、積層体５２の凸部５０が押し潰されてしまうのを防止するために、凸部５０と接触しない凹状、あるいは、孔状の逃がし部７５ａが形成されていることが好ましい。

尚、図７（ｂ）に示すように、先の凸部形成工程でのプレス加工の際に、積層体５２には反りが生じうる。しかし、この接合工程において、積層体５２が、流路ユニット２３のプレート３１〜３７や振動板６０と接合される際に、上記の積層体５２の反りは矯正される。そのため、最終的には、積層体５２の反りに起因してノズル４４の軸線方向が傾くことはない。

上記の接合工程後、振動板６０の上に、別工程で製造した圧電層６４，６５を貼り付けて、圧電アクチュエータ２４を形成する。

以上説明したように、本実施形態では、ノズルプレート３９となる合成樹脂製のプレート７０と、金属製のプレート３８とを積層してから、プレス加工によって金属プレート３８を塑性変形させて、積層体５２に凸部５０を形成する。積層体５２に形成された凸部５０には金属部分５０ａが含まれていることから、凸部５０の強度が高くなり、耐久性に優れる。また、複数の凸部５０は、ノズル配列方向に沿って複数のノズル４４と並ぶように形成する。そのため、各ノズル４４の吐出口４４ａの周囲が、その近くに位置する凸部５０によって確実に保護される。

また、合成樹脂プレート７０と金属プレート３８とを積層させた後、先に合成樹脂プレート７０に複数のノズル４４を形成してから、積層体５２にプレス加工を行って凸部５０を形成する。つまり、プレス加工を行う前の、平坦な状態の合成樹脂プレート７０に複数のノズル４４を形成するため、軸線方向が、プレート７０の面方向に対して所定の角度θとなるように、各ノズル４４を形成することができる。

以上説明した本実施形態において、インクジェットヘッド４が、本発明の「液体吐出装置」に相当する。複数のノズル４４が形成される合成樹脂プレート７０が、本発明の「第１プレート」に相当する。個別流路孔３８ｃが形成される金属プレート３８が、本発明の「第２プレート」に相当する。ノズルプレート３９（合成樹脂プレート７０）の下面のインク吐出面３９ａが、本発明の「液体吐出面」に相当する。流路ユニット２３を構成する、金属プレート３８以外のプレート３１〜３７が、本発明の「液体流路が形成された別の部材」に相当する。

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

１］プレス加工がなされるプレート３８の薄肉部３８ａの形状は、前記実施形態のものには限られない。例えば、図８（ａ）に示すように、プレート３８の下側の面、即ち、ノズルプレート３９側の面に凹部３８ｂが形成されることによって、薄肉部３８ａが形成されてもよい。但し、この場合は、プレート３９の薄肉部３８ａと合成樹脂プレート７０との間に隙間が存在することになるため、図８（ｂ）に示すように、プレート３８側から薄肉部３８ａにプレス加工をしたときに、意図した形状の凸部５０を形成することが難しくなる。従って、この観点では、前記実施形態の図６（ｅ）のように、プレート３８の、ノズルプレート３９とは反対側の面に凹部３８ｂを形成することが好ましい。

また、プレス加工による凸部５０の形成前に、プレート３８に薄肉部３８ａが形成されていることは必ずしも必要ない。即ち、凹部３８ｂが形成されていない平坦なプレート３８に、プレス加工を行って複数の凸部５０を形成することも可能である。

２］凸部５０の形状は前記実施形態の構成には限られず、パンチ７３の先端部やダイ７２の形状を変更することにより、様々な形の凸部５０を形成することが可能である。また、プレート３８の材質特性（延性など）によっては、プレス加工時に、凸部５０の変形が、プレート３８の特定の方向に偏らない場合もある。この場合には、円柱形状のパンチ７３を使用することにより、平面視でほぼ真円の凸部５０を形成することもできる。

３］積層体５２の凸部５０の形成位置についても、前記実施形態の構成には限られない。前記実施形態の図５では、１つのノズル列４８の、その走査方向両側に２列の凸部列５１が配置されているが、図９に示すように、少なくとも一部のノズル列４８（ここでは、ノズル列４８ｋ）について、走査方向の一方側にのみ凸部列５１が配置されていてもよい。

また、前記実施形態では、プレート３８の凹部３８ｂは、薄肉部３８ａを形成するためだけでなく、その上に位置するマニホールド４６の底壁部３７ａを変形させるための空間を確保させるという目的にも使用されている。そのため、図５に示すように、凸部５０は、マニホールド４６と重なる位置に形成されている。しかし、凸部５０をプレス加工によって形成するという観点だけであれば、複数の凸部５０とマニホールド４６とが重なっている必要は特にない。即ち、図１０に示すように、複数の凸部５０は、マニホールド４６の位置とは関係なく、自由な位置に配置されてよい。例えば、積層体５２の、４列のノズル列４８よりも搬送方向上流側、あるいは、搬送方向下流側にも、凸部５０が配置されていてもよい。これにより、ノズル４４の周囲の保護効果が高まる。

４］前記実施形態では、合成樹脂プレート７０に、レーザー加工で複数のノズル４４を形成しているが、ノズル形成方法はレーザー加工には限られない。例えば、合成樹脂プレート７０に、プレスによる孔あけ加工で複数のノズル４４を形成してもよい。

５］前記実施形態では、ノズルプレート３９となる合成樹脂プレート７０と、１枚の金属製のプレート３８とを積層して、この積層体５２にプレス加工を行って凸部５０を形成しているが、合成樹脂プレート７０と、２枚以上の金属プレートを積層してから、プレス加工による凸部５０の形成を行ってもよい。

６］前記実施形態では、合成樹脂プレート７０と金属プレート３８の積層体５２にプレス加工を行って、凸部５０を形成しているが、ノズルプレートとなるプレートが金属製で、この１枚の金属プレートにプレス加工を施して凸部を形成してもよい。

この変更形態の工程について、図１１を参照して説明する。まず、図１１（ａ）に示すように、ノズルプレート１３９となる金属プレート１７０に、複数のノズル１４４を形成する。図１１（ａ）では、パンチ１２０による孔あけ加工でノズル１４４を形成しているが、レーザー加工でノズル４４を形成することも可能である。次に、図１１（ａ）に示すように、ノズルプレート１３９の、ノズル１４４の吐出口１４４ａが配置されているインク吐出面１３９ａに撥水膜１４０を形成する。また、図１１（ｃ）に示すように、ノズルプレート１３９に、撥水膜１４０を覆うように保護膜１７１を貼り付ける。

次に、図１１（ｄ）に示すように、金属のノズルプレート１３９にプレス加工を行うことにより、ノズルプレート１３９に複数の凸部１５０を形成する。具体的には、ノズルプレート１３９をダイ１７２の上に設置した後、このノズルプレート１３９にパンチ１７３を押し込み、塑性変形させることによって凸部１５０を形成する。その後、図１１（ｅ）に示すように、ノズルプレート１３９から保護膜１７１を除去した後、図１１（ｆ）のように、他のプレート１３１〜１３７等とノズルプレート１３９とを接着剤で接合する。

この図１１では、複数のノズル１４４が形成される金属プレート１７０にプレス加工を行って、金属プレート１７０を塑性変形させて凸部１５０を形成する。この凸部１５０は金属で形成されていることから、凸部１５０の強度が高くなり、耐久性に優れる。また、金属プレート１７０に複数のノズル１４４を形成してから、この金属プレート１７０（１３９）にプレス加工を行って凸部１５０を形成する。前記実施形態と同様に、プレス加工を行う前の、平坦な状態の金属プレート１７０に複数のノズル１４４を形成するため、各ノズル１４４を、その軸線方向が、金属プレート１７０の面方向に対して所望の角度となるように形成することができる。尚、その後に、プレス加工で凸部１５０を形成したときに、金属プレート１７０が反ることもあり得るが、その後の図１１（ｆ）の接合工程で、金属プレート１７０の反りは矯正されるため、最終的に、ノズル１４４の軸線方向が傾くことはない。

７］前記実施形態のインクジェットヘッド４は、キャリッジ３とともに記録用紙１００に対して移動しながらインクを吐出する、いわゆる、シリアルタイプのヘッドであるが、本発明の適用対象は、上記のようなシリアルヘッドには限られない。例えば、プリンタ本体内に固定的に設置され、記録用紙１００の幅方向に配列された複数のノズルを有する、いわゆる、ラインタイプのヘッドにも、本発明を適用することは可能である。

以上説明した実施形態及びその変更形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットヘッドに適用したものであるが、画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置においても本発明は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を吐出して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本発明を適用することは可能である。

４ インクジェットヘッド
３１〜３７ プレート
３８ プレート
３８ａ 薄肉部
３８ｂ 凹部
３８ｃ 個別流路孔
３９ ノズルプレート
３９ａ インク吐出面
４４ ノズル
４４ａ 吐出口
５０ 凸部
５２ 積層体
７０ 合成樹脂プレート
７１ 保護膜
１３９ ノズルプレート
１３９ａ インク吐出面
１４４ ノズル
１７０ 金属プレート
１５０ 凸部

Claims (7)

1. 液体を吐出する複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通する液体流路を有する液体吐出装置の製造方法であって、
   合成樹脂製の第１プレートと、金属製の第２プレートとを積層して、前記第１プレートと前記第２プレートの積層体を形成する、積層工程と、
   前記積層体の前記第１プレートに、前記複数のノズルを形成するノズル形成工程と、
   前記ノズル形成工程の後に、前記積層体に対して、前記第２プレート側からプレス加工を行って、前記積層体に、前記複数のノズルの吐出口が配置される液体吐出面から突出する凸部を形成する、凸部形成工程と、
   前記凸部形成工程の後に、前記積層体を、前記液体流路が形成される別の部材と接着剤で接合する接合工程と、
   を備えていることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
2. 前記ノズル形成工程において、前記複数のノズルを、所定のノズル配列方向に配列して形成し、
   前記凸部形成工程において、前記複数のノズルと並ぶように、複数の前記凸部を、前記ノズル配列方向に沿って形成することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置の製造方法。
3. 前記積層工程の前に、前記第２プレートに、前記複数のノズルとそれぞれ連通する複数の個別流路孔を形成する流路孔形成工程と、
   前記積層工程の後に、前記第１プレートの前記第２プレートとは反対側の面に、保護膜を貼り付ける保護膜貼付工程を、さらに備え、
   前記ノズル形成工程では、前記第１プレートの前記第２プレートとは反対側の面に前記保護膜が貼り付けられた状態で、前記個別流路孔が形成された前記第２プレート側からのレーザー加工により、前記第１プレートに前記複数のノズルを形成し、
   前記凸部形成工程では、前記第１プレートの前記第２プレートとは反対側の面に前記保護膜が貼り付けられた状態で、前記積層体に対して前記第２プレート側からプレス加工を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出装置の製造方法。
4. 前記積層工程前に、前記第２プレートに、部分的に厚みが薄くなった薄肉部を形成する薄肉部形成工程をさらに備え、
   前記凸部形成工程において、前記薄肉部形成工程で形成された前記第２プレートの前記薄肉部にプレス加工を行って、前記積層体に前記凸部を形成することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液体吐出装置の製造方法。
5. 前記薄肉部形成工程において、前記第２プレートの前記第１プレートに積層される面とは反対側の面に凹部を形成することで、前記第２プレートに前記薄肉部を形成することを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置の製造方法。
6. 前記積層工程において、前記第１プレートと前記第２プレートとを、真空状態で加熱してから接着剤で接合することを特徴とする請求項４又は５に記載の液体吐出装置の製造方法。
7. 前記接合工程では、前記積層体を加熱しながら前記別の部材と接着し、
   前記凸部形成工程の後、且つ、前記接合工程の前に、前記接合工程よりも低温で前記積層体を加熱するベーキング処理工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の液体吐出装置の製造方法。

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