JP6584366B2 - ガス分析装置およびガス分析方法 - Google Patents
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Description
<ガス分析装置>
本実施形態のガス分析装置は、試料ガス中のガス成分を分析するためのガス分析装置である。
本実施形態のガス分析装置を用いたガス分析方法は、試料ガス中の基準ガス成分の濃度が特定の閾値未満である場合は、試料ガスが濃度不足であると判定する、判定工程を含む。
図2に示されるように切替弁V1,V2を切り替え、ポンプP1を作動させることで、試料ガスはガスセル10に導入される。なお、切替弁V3,V4は、図2に示される状態にしておく。
ステップ1により試料ガスがガスセル10に導入された後に、図3に示されるように切替弁V1,V2を切り替えて、試料ガスをガスセル10中に留まらせる。光源21からガスセル10(およびガスセル10内の試料ガス)に赤外光を照射し、ガスセル10を透過した光のうち光学フィルタ22を通過した特定の波長範囲の光の強度等を光学検出器23で検出する。そして、検出された光の強度等を基に、ガス成分の有無による光透過率の変化量等を求めることで、ガス成分の濃度を測定することができる。なお、測定対象となるガス成分の吸収波長に応じて、光学フィルタ22を切り替えて、各ガス成分の濃度を同様に測定する。
ステップ2の判定工程で、試料ガスが濃度不足と判定された場合、図4に示されるように切替弁V1,V3の切り替えを行い、ポンプP1またはポンプP2を作動させることにより、試料ガスは分離カラム3へ導入される。これにより、試料ガス中の各成分が単一のガスに分離される。
ステップ3で分離されたガス成分は、図5に示されるように切替弁V1〜V4を切り替え、ポンプP2を作動させることにより、再度、ガスセル10中に導入される。ガス成分がガスセル10中に導入された後、ステップ2(図3)と同様に切替弁V1,V2を切り替えてガス成分をガスセル10内に留まらせ、ステップ2と同様にしてガス成分を測定する。
<ガス分析装置>
図6は、本実施形態のガス分析装置の概略構成図である。図6に示されるように、本実施形態のガス分析装置は、光学測定機1の上流側(ガスセル10の上流側)に接続された第1のガス管51の途中に、光イオン化検出器(Photo-Ionization Detector:以下「PID」と略す場合がある。)4をさらに備えている。本実施形態のガス分析装置は、この点で実施形態1のガス分析装置とは異なるが、それ以外の構成は、基本的に実施形態1のガス分析装置と同じである。
本実施形態のガス分析装置を用いるガス分析方法においては、上記ステップ1において、試料ガスは、まず、PID(Photo-Ionization Detector)方式の測定機4へ導入される。このPIDにより、試料ガス中のC2H4の濃度が測定される。その後、試料ガスはガスセル10に導入される。
Claims (5)
- 試料ガス中のガス成分を分析するためのガス分析装置であって、
光学測定機と分離カラムとを備え、
前記光学測定機は、前記ガス成分を収容するガスセル、前記ガスセルに光を照射する光源、および、前記ガスセルを透過した光を検出する光学検出器を含み、
前記ガスセルの上流側に第1のガス管が接続され、前記ガスセルの下流側に第2のガス管が接続されており、
前記分離カラムの上流側が前記第2のガス管の途中に切替弁を介して接続され、前記分離カラムの下流側が前記第1のガス管の途中に切替弁を介して接続されていることを特徴とする、ガス分析装置。 - さらに、前記第1のガス管の途中に光イオン化検出器を備える、請求項1に記載のガス分析装置。
- 請求項1に記載のガス分析装置を用いて試料ガス中のガス成分を分析するガス分析方法であって、
前記試料ガス中の基準ガス成分の濃度が特定の閾値未満である場合は、前記試料ガスが濃度不足であると判定する、判定工程を含み、
前記判定工程において、前記試料ガスが濃度不足であると判定されなかった場合は、試料ガスを前記分離カラムに通過させずに、前記光学測定機による前記ガス成分の測定を行い、
前記判定工程において、前記試料ガスが濃度不足であると判定された場合は、前記試料ガスを前記分離カラムに通過させた後に、前記光学測定機による前記ガス成分の測定を行う、ガス分析方法。 - 前記判定工程の前に、前記光学測定機によって前記ガス成分の濃度を測定する工程を含む、請求項3に記載のガス分析方法。
- 前記ガス分析装置は、さらに、前記第1のガス管の途中に光イオン化検出器を備え、
前記判定工程において、前記基準ガス成分はC2H4であり、
前記判定工程の前に、前記光イオン化検出器によって前記試料ガス中のC2H4の濃度を測定する工程を含む、請求項3または4に記載のガス分析方法。
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