JP6604532B2 - 非水二次電池、その製造方法、及び電解質 - Google Patents

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Description

本発明は、非水二次電池、その製造方法、及び電解質に関する。
近年、携帯電話等の小型機器よりも一層小型化されたマイクロデバイスが発展しつつあり、こうしたマイクロデバイスの電源として、マイクロオーダーの非水二次電池が求められるようになっている。このような非水二次電池では、マイクロデバイスの内部という限られた空間の中で効率良く電池を駆動する必要があり、電池の設計が重要となる。
従来、薄型の非水二次電池としては、平板構造を有する、正極集電体、正極、セパレータ、負極、及び負極集電体がその厚さ方向に積層された積層体と、電解液と、上記積層体及び上記電解液を収容する電池ケースとを備えるリチウムイオン二次電池が公知である(例えば、特許文献1)。
特開2012−64569号公報
このような構造の電池を薄形化するためには、平板構造を有する正極、負極等を薄くすることが考えられる。しかし、その結果として電池性能が低下するのを避けることは困難である。
本発明は、以上のような状況に鑑みてなされたものであり、電池性能を低下させることなく薄形化し得る非水二次電池、その製造方法、及び電解質を提供することを目的とする。
本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意研究を重ねた。その結果、非水二次電池において、イオン伝導性無機固体電解質粒子と液体電解質成分とを含有する電解質を使用することにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、本発明は以下のものを提供する。
本発明の第一の態様は、それぞれの端面が離間対向するように、実質的に同一平面内に配置された正極及び負極と、上記正極及び上記負極を固定支持する基板と、上記正極及び上記負極の対向端面間に存在する、上記正極と上記負極との電池反応に関与する電解質とを備え、上記電解質は、イオン伝導性無機固体電解質粒子と液体電解質成分とを含有する非水二次電池である。
本発明の第二の態様は、それぞれの端面が離間対向するように、基板上に正極及び負極を形成する電極形成工程と、上記正極及び上記負極の対向端面間に存在するように、上記正極と上記負極との電池反応に関与する電解質を充填する充填工程とを含み、上記電解質は、イオン伝導性無機固体電解質粒子と液体電解質成分とを含有する非水二次電池の製造方法である。
本発明の第三の態様は、それぞれの端面が離間対向するように、実質的に同一平面内に配置された正極及び負極と、上記正極及び上記負極を固定支持する基板と、上記正極及び上記負極の対向端面間に存在する、上記正極と上記負極との電池反応に関与する電解質とを備える非水二次電池用の電解質であって、上記電解質は、イオン伝導性無機固体電解質粒子と液体電解質成分とを含有する電解質である。
本発明によれば、電池性能を低下させることなく薄形化し得る非水二次電池、その製造方法、及び電解質を提供することができる。
本発明の一実施形態に係る非水二次電池を模式的に示す図である。(a)は、斜視図であり、(b)は、(a)に示す非水二次電池をA−A線に沿って切断したときの切断面を示す横断面図であり、(c)は、(a)に示す非水二次電池をB−B線に沿って切断したときの切断面を示す縦断面図である。 本発明の一実施形態に係る金属イオン二次電池で用いられる櫛型電極を模式的に示す平面図である。 (a)から(d)は、本発明の一実施形態に係る非水二次電池の製造方法における工程を順次示す斜視図である。 (a)から(i)は、本発明の一実施形態に係るリチウムイオン二次電池に用いられる櫛型電極の製造方法における工程を順次示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係るリチウムイオン二次電池に用いられる櫛型電極の製造方法において用いられる第1のパターン形成方法を示す縦断面図である。 本発明の一実施形態に係るリチウムイオン二次電池に用いられる櫛型電極の製造方法において用いられる第2のパターン形成方法を示す縦断面図である。 (a)から(d)は、本発明の別の実施形態に係る非水二次電池の製造方法における工程を順次示す斜視図である。 実施例2のリチウムイオン二次電池のレート特性及びサイクル特性を示すグラフである。 実施例3のリチウムイオン二次電池のレート特性及びサイクル特性を示すグラフである。 実施例4のリチウムイオン二次電池のレート特性及びサイクル特性を示すグラフである。 比較例1のリチウムイオン二次電池のレート特性及びサイクル特性を示すグラフである。 比較例2のリチウムイオン二次電池のレート特性及びサイクル特性を示すグラフである。 実施例5のリチウムイオン二次電池のレート特性を示すグラフである。
まず、本発明に係る電解質について説明する。上記電解質は、イオン伝導性無機固体電解質粒子と液体電解質成分とを含有する。
[イオン伝導性無機固体電解質粒子]
イオン伝導性無機固体電解質粒子としては、いかなるイオンの電導性を有するものでもよいが、例えば、リチウムイオン伝導性無機固体電解質粒子、ナトリウムイオン伝導性無機固体電解質粒子等のアルカリ金属イオンが挙げられ、電池性能等の点から、リチウムイオン伝導性無機固体電解質粒子が好ましい。以下、特に、リチウムイオン伝導性無機固体電解質粒子について、説明する。
リチウムイオン伝導性無機固体電解質粒子としては、例えば、Li−La−Ti−O系材料、Li−La−Zr−O系材料等が挙げられる。
Li−La−Ti−O系材料としては、例えば、Li3pLa2/3−pTiO(0<p<2/3)で表される複合金属酸化物であってもよく、Li3pLa2/3−pTiOのLaサイト又はTiサイトの一部又は全てが他の金属で置換されている複合金属酸化物であってもよい。化学式Li3pLa2/3−pTiOで表される複合金属酸化物のLaサイトを置換することができる金属は、Sr、Na、Nd、Pr、Sm、Gd、Dy、Y、Eu、Tb、及びBaからなる群から選択される少なくとも一種の金属であり、Tiサイトを置換することができる金属は、Mg、W、Mn、Al、Ge、Ru、Nb、Ta、Co、Zr、Hf、Fe、Cr、及びGaからなる群から選択される1種の金属である。Li−La−Ti−O系材料は、非晶質であってもよく、ペロブスカイト型等の結晶構造を有していてもよい。
Li−La−Zr−O系材料としては、化学式LiLaZr12で表される複合金属酸化物であってもよく、LiLaZr12のLaサイト又はZrサイトの一部又は全てが他の金属で置換されている複合金属酸化物であってもよい。化学式LiLaZr12で表される複合金属酸化物のLaサイトを置換することができる金属Aは、Y、Nd、Sm、及びGdからなる群から選択される1種の金属であり、Zrサイトを置換することができる金属Mは、Nb又はTaから選択される1種の金属である。即ち、リチウムイオン伝導性無機固体電解質粒子としては、化学式Li7−yLa3−xZr2−y12(式中、0≦x≦3、0≦y≦2、AはY、Nd、Sm、Gdからなる群から選択される1種の金属であり、MはNb及びTaからなる群から選択される1種の金属である)で表わされガーネット構造を備える複合金属酸化物からなるリチウムイオン伝導性無機固体電解質粒子が挙げられ、より具体的には、LiLaZr12、Li7−yLaZr2−yNb12、Li7−yLa3−xZr2−yNb12、Li7−yLa3−xNdZr2−yNb12、Li7−yLa3−xSmZr2−yNb12、Li7−yLa3−xGdZr2−yNb12、Li7−yLaZr2−yTa12、Li7−yLa3−xZr2−yTa12、Li7−yLa3−xNdZr2−yTa12、Li7−yLa3−xSmZr2−yTa12、Li7−yLa3−xGdZr2−yTa12が挙げられる。
上記化学式Li7−yLa3−xZr2−y12で表わされガーネット構造を備える複合金属酸化物は、酸化電位と還元電位との差で示される電位窓が大きく、電気化学的安定性に優れている。特に、上記複合金属酸化物は、Li/Li電極反応の電位を基準とするときの還元電位が0V未満となりやすく、負極にLi、Si、Sn等の高容量材料を用いるリチウムイオン二次電池において充放電を繰り返しても、還元されにくい。また、上記複合金属酸化物は、Li/Li電極反応の電位を基準とするときの酸化電位が4.0V以上となりやすいので、4.0V以下の範囲では酸化されにくく、リチウムイオン二次電池において少なくとも4.0Vの起電力を得やすい。
イオン伝導性無機固体電解質粒子の含有量は、特に限定されず、電解質中、好ましくは5〜90体積%であり、より好ましくは10〜70体積%であり、更により好ましくは15〜50体積%であり、特に好ましくは22.5〜37.5体積%である。上記含有量がこのような範囲内であると、得られる非水二次電池の電池性能が向上しやすく、前記正極及び前記負極の対向端面間を微細な間隙としても電解質を充填又は配置させるのが容易となる。なお、本明細書において、体積に関する数値は、室温(10〜35℃)におけるものである。
[液体電解質成分]
液体電解質成分としては、特に限定されず、例えば、有機媒体と支持電解質塩とを含むものが挙げられる。有機媒体及び支持電解質塩の各々は、1種単独でも2種以上を組み合わせても使用できる。
(有機媒体)
有機媒体としては、特に限定されず、例えば、マトリックスポリマー、イオン液体、有機溶剤等が挙げられる。
本明細書において、マトリックスポリマーとは、液体電解質成分における高分子化合物を示し、その例としては、エチレングリコールエーテル類等が挙げられる。
・エチレングリコールエーテル類
エチレングリコールエーテル類としては、特に限定されず、例えば、メチルモノグライム、メチルジグライム、メチルトリグライム、メチルテトラグライム、メチルペンタグライム、エチルモノグライム、エチルジグライム、エチルトリグライム、エチルテトラグライム、エトキシメトキシエタンが挙げられる。エチレングリコールエーテル類を使用すると、液体電解質成分のイオン伝導性が向上しやすい。エチレングリコールエーテル類は、1種単独でも2種以上を組み合わせても使用できる。
これらの中でも、エチレンオキシド鎖(CHCHO)の繰返し数(鎖長)を示すnの値が1〜4であるエチレングリコールエーテル類が好ましい。具体的には、上記に例示したエチレングリコールエーテル類からメチルペンタグライムを除いたものである。これらのエチレングリコールエーテル類は、繰返し数nが1〜4であり、エチレンオキシド鎖が短く、立体障害が小さいという構造的特徴を有していることから、リチウムイオン等の金属イオンが配位しやすい。このため、リチウムイオン等の金属イオンとマトリックスポリマーとの相互作用を弱める効果が高くなるので、リチウムイオン等の金属イオンの伝導性向上の効果がより大きい。
また、上記のエチレングリコールエーテル類に少なくとも1個のフッ素原子が置換した含フッ素エチレングリコールエーテル類を用いてもよい。含フッ素エチレングリコールエーテル類を用いても、リチウムイオン等の金属イオンの伝導性の向上効果が得られる。含フッ素エチレングリコールエーテル類としては、エチレンオキシド鎖の繰返し数nが1〜4であるものが好ましい。含フッ素エチレングリコールエーテル類では、フッ素原子の電気陰性度が大きいため、エーテル酸素の電子供与性が低下する。しかしながら、エチレンオキシド鎖の繰返し数nが1〜4であれば、立体障害が小さく、リチウムイオン等の金属イオンの配位が容易であるという構造的特徴を保持している。したがって、リチウムイオン等の金属イオンとマトリックスポリマーのポリマー鎖との相互作用を弱めることができる。
・イオン液体
イオン液体は、室温溶融塩である。イオン液体は、1種単独でも2種以上を組み合わせても使用できる。イオン液体としては、例えば下記一般式(1)、一般式(A)で表される化合物を好ましく用いることができる。
Figure 0006604532
一般式(1)中、ZはN、S、Pを表し、ZがN、Pの場合、n=4、ZがSの時n=3を表す。Raは置換基を有してもよい同一、又は異なるアルキル基を表し、Zとともに環を形成してもよく、XはN(CFSO、N(CFCFSO、N(SOF)、BFY、BFY、N(CN)を表し、Yはアルキル基又はパーフルオロアルキル基を表す。
上記一般式(1)において、Raで表される基としては、メチル、エチル、i−プロピル、ヒドロキシエチル、ステアリル、ドデシル、エイコシル、ドコシル、オレイル等が挙げられ、Zとともに形成される環としては、ピロリジン環、ピペリジン環、モルホリン環、テトラヒドロチオフェン環、1−メチルホスホラン環等が挙げられ、それらは置換基を有してもよく、置換基としては、特に限定はなく、例えば、アルキル基(メチル、エチル、i−プロピル、ヒドロキシエチル、ステアリル、ドデシル、エイコシル、ドコシル、オレイル等)、シクロアルキル基(シクロプロピル、シクロヘキシル等)、アリール基(フェニル、p−テトラデカニルオキシフェニル、o−オクタデカニルアミノフェニル、ナフチル、ヒドロキシフェニル等)、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ニトロ基、トリフルオロメチル基、アミド基(アセトアミド、ベンズアミド等)、カルバモイル基(メチルカルバモイル、ブチルカルバモイル、フェニルカルバモイル等)、エステル基(エチルオキシカルボニル、i−プロピルオキシカルボニル、フェニルオキシカルボニル等)、カルボニルオキシ基(メチルカルボニルオキシ、プロピルカルボニルオキシ、フェニルカルボニルオキシ等)、シアノ基、ハロゲン原子(塩素、臭素、沃素、フッ素)、アルコキシ基(メトキシ、エトキシ、ブトキシ等)、アリールオキシ基(フェノキシ、ナフチルオキシ等)、スルホニル基(メタンスルホニル、p−トルエンスルホニル等)、アルキルチオ基(メチルチオ、エチルチオ、ブチルチオ等)、アリールチオ(フェニルチオ等)、スルホンアミド基(メタンスルホンアミド、ドデシルスルホンアミド、p−トルエンスルホンアミド等)、スルファモイル基(メチルスルファモイル、フェニルスルファモイル等)、アミノ基、アルキルアミノ基(エチルアミノ、ジメチルアミノ、ヒドロキシアミノ等)、アリールアミノ基(フェニルアミノ、ナフチルアミノ等)が挙げられる。Xとしては、N(SOF)、BFZ、N(CN)を表し、Zはアルキル基又はパーフルオロアルキル基を表し、アルキル基としてはメチル、エチル、i−プロピル、ヒドロキシエチル、ステアリル、ドデシル、エイコシル、ドコシル、オレイル等が挙げられ、パーフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル、ペンタフルオロエチル、ヘプタフルオロプロピル、ノナフルオロブチル等を表す。好ましくは、N(SOF)である。
また、上記一般式(1)の中でも、下記一般式(2)で表される化合物が更に好ましく用いられる。
Figure 0006604532
一般式(2)中、R〜Rは置換基を有してもよいアルキル基を表し、R〜Rのうちいずれか2個の基が窒素原子とともに環を形成していてもよく、XはN(CFSO、N(CFCFSO、N(SOF)、BFY、BFY、N(CN)を表し、Yはアルキル基又はパーフルオロアルキル基を表す。
上記一般式(2)において、R〜Rで表されるアルキル基としては、メチル、エチル、i−プロピル、ヒドロキシエチル、ステアリル、ドデシル、エイコシル、ドコシル、オレイル等が挙げられ、R〜Rのうちいずれか2個の基が窒素原子とともに形成される環としては、ピロリジン環、ピペリジン環、モルホリン環等が挙げられ、それらは置換基を有してもよい。置換基としては、特に限定はなく、例えば、アルキル基(メチル、エチル、i−プロピル、ヒドロキシエチル、ステアリル、ドデシル、エイコシル、ドコシル、オレイル等)、シクロアルキル基(シクロプロピル、シクロヘキシル等)、アリール基(フェニル、p−テトラデカニルオキシフェニル、o−オクタデカニルアミノフェニル、ナフチル、ヒドロキシフェニル等)、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ニトロ基、トリフルオロメチル基、アミド基(アセトアミド、ベンズアミド等)、カルバモイル基(メチルカルバモイル、ブチルカルバモイル、フェニルカルバモイル等)、エステル基(エチルオキシカルボニル、i−プロピルオキシカルボニル、フェニルオキシカルボニル等)、カルボニルオキシ基(メチルカルボニルオキシ、プロピルカルボニルオキシ、フェニルカルボニルオキシ等)、シアノ基、ハロゲン原子(塩素、臭素、沃素、フッ素)、アルコキシ基(メトキシ、エトキシ、ブトキシ等)、アリールオキシ基(フェノキシ、ナフチルオキシ等)、スルホニル基(メタンスルホニル、p−トルエンスルホニル等)、アルキルチオ基(メチルチオ、エチルチオ、ブチルチオ等)、アリールチオ(フェニルチオ等)、スルホンアミド基(メタンスルホンアミド、ドデシルスルホンアミド、p−トルエンスルホンアミド等)、スルファモイル基(メチルスルファモイル、フェニルスルファモイル等)、アミノ基、アルキルアミノ基(エチルアミノ、ジメチルアミノ、ヒドロキシアミノ等)、アリールアミノ基(フェニルアミノ、ナフチルアミノ等)が挙げられる。
Xとしては、N(SOF)、BFZ、N(CN)を表し、Zはアルキル基又はパーフルオロアルキル基を表し、アルキル基としてはメチル、エチル、i−プロピル、ヒドロキシエチル、ステアリル、ドデシル、エイコシル、ドコシル、オレイル等が挙げられ、パーフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル、ペンタフルオロエチル、ヘプタフルオロプロピル、ノナフルオロブチル等を表す。好ましくは、N(SOF)である。
一般式(1)により表される化合物の具体例を示す。
Figure 0006604532
Figure 0006604532
Figure 0006604532
イオン液体は、常温(25℃)付近で液体であることが好ましい。これらの化合物の融点は80℃以下であることが好ましく、より好ましくは60℃以下、更に好ましくは30℃以下である。
更にイオン液体としては、下記一般式(A)で表される化合物も好ましく用いることができる。
Figure 0006604532
一般式(A)中、R及びRは、置換基を有していても良い炭素数1〜20の炭化水素基を示し、R、R及びRは、それぞれ水酸基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、カルボキシル基、エーテル基、若しくはアルデヒド基を有していてもよい炭素数1〜10の炭化水素基又は水素原子を示し、Xは塩素、臭素、ヨウ素、BF、BF、PF、NO、CFCO、CFSO、(FSON、(CFSON、(CFSOC、(CSON、AlCl、AlClのいずれかを示す。
一般式(A)で示される化合物の具体例としては、例えば、1−イソプロピル−2,3−ジメチルイミダゾリウムビストリフルオロメタンスルホニル塩、1−エチル−2,3−ジメチルイミダゾリウムビストリフルオロメタンスルホニル塩、1−ブチル−2,3−ジメチルイミダゾリウムビストリフルオロメタンスルホニル塩、1−ヘキシル−2,3−ジメチルイミダゾリウムビストリフルオロメタンスルホニル塩、1−オクチル−2,3−ジメチルイミダゾリウムビストリフルオロメタンスルホニル塩等が挙げられ、中でも導電率、耐還元性の点で1−イソプロピル−2,3−ジメチルイミダゾリウムビストリフルオロメタンスルホニル塩が好ましく用いることができる。
・有機溶剤
有機溶剤としては、特に限定されず、例えば、炭酸エチレン、炭酸ジメチル、炭酸ジエチル等の炭酸エステル化合物;オクタノール等のアルコール;アセトニトリル等が挙げられる。有機溶剤は、1種単独でも2種以上を組み合わせても使用できる。
(支持電解質塩)
支持電解質塩は、二次電池用電解質組成物中でイオンを与える塩であり、電池に用いられる公知の支持電解質塩を用いることができる。支持電解質塩は、1種単独でも2種以上を組み合わせても使用できる。
支持電解質塩としては、任意のものを用いることができるが、好ましくは周期律表1族又は2族に属する金属イオンの塩が用いられる。周期律表1族又は2族に属する金属イオンとしては、リチウム、ナトリウム、カリウムのイオンが好ましい。
金属イオンの塩のアニオンとしては、ハロゲン化物イオン(I、Cl、Br等)、SCN、(CN)、BF 、BFCF 、BF 、PF 、ClO 、SbF 、(FSO、(CFSO、(CFCFSO、Ph、(C、(CFSO、CFCOO、CFSO 、CSO 等が挙げられる。
上記アニオンの中でも、SCN、(CN)、BF 、BFCF 、BF
、PF 、ClO 、SbF 、(FSO、(CFSO、(CFCFSO、(CFSO、CFSO がより好ましい。
代表的な電解質塩としては、LiCFSO、LiPF、LiClO、LiI、LiBF、LiBFCF、LiBF、LiCFCO、LiSCN、LiN(SOF)、LiN(SOCF、NaI、NaCFSO、NaClO、NaBF、NaAsF、KCFSO、KSCN、LiN(CN)、KPF、KClO、KAsF等が挙げられる。更に好ましくは、上記Li塩である。これらは一種又は二種以上を混合してもよい。
支持電解質塩の含有量は、特に限定されず、この塩を構成する金属原子(例えば、リチウム原子やナトリウム原子)の濃度が0.2〜2.0Mとなるように、調整することが好ましい。上記含有量がこのような範囲内であると、得られる非水二次電池の電池性能が向上しやすい。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る非水二次電池を模式的に示す図である。(a)は、斜視図であり、(b)は、(a)に示す非水二次電池をA−A線に沿って切断したときの切断面を示す横断面図であり、(c)は、(a)に示す非水二次電池をB−B線に沿って切断したときの切断面を示す縦断面図である。
まず、本発明の一実施形態に係る非水二次電池100について、図1を参照しながら簡単に説明する。非水二次電池100においては、櫛型電極1a及び1bがそれぞれ櫛型形状として形成され、櫛型形状の歯の部分で互い違いに組み合うように対向配置されて形成される。よって、櫛型電極1a及び1bは、それぞれの端面が離間対向するように配置されることとなる。ここで、櫛型電極1aは正極であり、櫛型電極1bは負極である。櫛型電極1a及び1bがこのような構成を採ることにより、電極間距離が短く、電解液抵抗が一定になり、リチウムイオンやナトリウムイオン等の金属イオンの交換が効率良く行われることで、電池容量を大きくすることができる。
櫛型電極1aと櫛型電極1bとの間には、空間又は両者を隔離するセパレータ(図示せず)が設けられ、両者が電気的に分離される。また、櫛型電極1aと櫛型電極1bとの間には、電池反応に関与する電解質8が充填されている。櫛型電極1a及び1bは、表面が不導体である基板4の表面上、即ち、同一平面内に配置される。正極集電体、正極、セパレータ、負極、及び負極集電体等の電極部材がその厚さ方向に積層された従来の非水二次電池と比べると、従来の電池と同一厚さの電極部材を用いた場合でも、本発明の実施形態に係る非水二次電池にあっては、その厚さをはるかに薄く(例えば、1/3程度に)することができる。
なお、櫛型電極1a及び1bは、実質的に同一平面内に配置されていてもよい。ここで、「実質的に同一平面内に配置されている」とは、櫛型電極1aが配置されている平面と櫛型電極1bが配置されている平面との距離が、0μm超10μm以下、好ましくは0μm超5μm以下であることをいう。
基板4としては、表面に酸化膜を有するシリコン基板が例示される。上記シリコン基板は、更に上記酸化膜の上層に後述の密着付与層が形成されたものであることが好ましい。
また、基板4としては、その他に絶縁基板又は絶縁層を有する基板が挙げられ、透明性や可撓性を有する基板であってもよく、ガラス基板、PETフィルム、ガラスフィルム等も例示される。
櫛型電極1a及び1bを覆って、カバー部材9が基板4に結合されていてもよい。カバー部材9は基板4とともに、櫛型電極1a及び1bを含む密閉室を規定する。この場合には、それぞれの端面が離間対向するように、実質的に同一平面内に配置された正極及び負極と、上記正極及び上記負極を固定支持する基板と、上記正極及び上記負極を含む密閉室を上記基板とともに規定するガスバリア性を有するカバー部材と、少なくとも上記正極及び上記負極の対向端面間に存在するように上記密閉室内に収容された、上記正極と上記負極との電池反応に関与する電解質とを備える非水二次電池を構成することができる。カバー部材9は、少なくとも、水蒸気バリア性等のガスバリア性を有するものであってもよく、気体、特に水蒸気の透過性が極めて低い材質からなり、例えば、ガラス、PET、ガラスフィルム、SUS(JIS規格におけるステンレス鋼材の材料記号、Steel Special Use Stainless)、シリコン、又はAl、ZrO、ZnO、Nb、Ta、TiO等の少なくとも1種の耐フッ酸性無機酸化物からなる耐フッ酸性酸化膜で形成することができる。カバー部材9の具体例としては、エチレン・プロピレン・ジエンゴム(EPDMゴム)等のガスバリア性を有するものも挙げられる。カバー部材9として、少なくともガスバリア性を有するものを用いることで、電解質8の吸湿を抑制しやすくなり、非水二次電池100の劣化を防止しやすくなる。非水二次電池100がリチウム−空気二次電池等の金属−空気二次電池である場合、例えば、カバー部材9の内側には酸素を吸放出可能な酸素吸蔵材を設けることが好ましい。酸素吸蔵材を設けることで、外気から酸素を取り込まなくても充放電が可能となり、非水二次電池100内へのHOやCOの混入を防ぐことができる。
カバー部材9は、更に耐フッ酸性を有することが好ましい。LiPF等の、フッ酸を遊離しうる電解質8を用い、現にフッ酸が遊離した場合であっても、カバー部材9は、耐フッ酸性を有することで、フッ酸による腐食、溶解を効果的に回避することができる。耐フッ酸性を有する材質として、PETや前記耐フッ酸性酸化膜が挙げられるが、その他の材質を用いる場合でも、耐フッ酸性は、例えば、カバー部材9の少なくとも電解質8と接する部分に、金、白金等の貴金属や前記耐フッ酸性無機酸化物を公知の方法により蒸着させることで、カバー部材9に付与することができる。
なお、カバー部材9には、後述の通り、注液孔10が形成されており、非水二次電池100においては、接着剤50により封止されている。また、非水二次電池100は、基板4上に端子51a及び51bを備える。端子51a及び51bは、それぞれ櫛型電極1a及び1bに接続している。
非水二次電池100としては、特に限定されず、例えば、リチウムイオン二次電池、ナトリウムイオン二次電池等の金属イオン二次電池;リチウム金属二次電池等の金属二次電池;リチウム−空気二次電池等の金属−空気二次電池等が挙げられる。
なお、非水二次電池100において、カバー部材9として、ガスバリア性を有するカバー部材の代わりに、例えば、酸素透過性を有するカバー部材を用いた場合には、リチウム−空気二次電池等の金属−空気二次電池として、それぞれの端面が離間対向するように、実質的に同一平面内に配置された正極及び負極と、上記正極及び上記負極を固定支持する基板と、上記正極及び上記負極を含む収容室を上記基板とともに規定する酸素透過性を有するカバー部材と、少なくとも上記正極及び上記負極の対向端面間に存在するように上記収容室内に収容された、上記正極と上記負極との電池反応に関与する電解質とを備え、上記電解質は、イオン伝導性無機固体電解質粒子と液体電解質成分とを含有するものを構成することができる。
以下、特に、非水二次電池100が金属イオン二次電池である場合について、図1及び2を参照しながら、より詳細に説明する。
図2に示す通り、正極である櫛型電極1aは、電流を取り出すための集電体2aと、集電体2aの表面に形成された正極活物質層3aと、を有する。集電体2aは、平面視で櫛型形状として形成される。そして、正極活物質層3aは、櫛型形状である集電体2aの表面に形成され、集電体2aと同様に、平面視で櫛型形状として形成される。
集電体2aは、導電性を付与するために金属で構成され、使用する正極と負極との電位差を考慮して適宜選択すればよい。好ましくは金又はアルミニウム等で構成される。そして、集電体2aと基板4との間の密着性を確保するために、必要に応じて、集電体2aと基板4との間に密着付与層(図示せず)が形成される。密着付与層は、集電体2aの材質と基板4の材質とを考慮して適宜決定される。一例として、集電体2aが金又はアルミニウム等で構成され、かつ基板4がシリコンで構成される場合、密着付与層としてチタンの薄膜が好ましく使用される。集電体2aの厚さ及び密着付与層の厚さは、特に限定されず、任意に決定することができる。一例として、集電体2aの厚さとして100〜500nm、密着付与層の厚さとして50nm〜100nmが挙げられるが、限定されない。
負極である櫛型電極1bは、電流を取り出すための集電体2bと、集電体2bの表面に形成された負極活物質層3bと、を有する。櫛型電極1bのそれ以外の事項については、正極である上記櫛型電極1aと同様であるので、説明を省略する。
上述の通り、正極である櫛型電極1aと負極である櫛型電極1bとの間には、電解質8が充填される。これにより、櫛型電極1a及び櫛型電極1bではそれぞれ電極反応が起こり、集電体2a及び集電体2bから電流を取り出すことができる。
櫛型電極全体のサイズ;櫛型電極1a又は櫛型電極1bにおける歯の太さ、長さ、及び本数;隣接する2本の歯同士の間隔;活物質層の厚さ等は、所望の充電容量及び放電容量に応じて、適宜、調整される。例えば、歯の太さは10〜50μm、隣接する2本の歯同士の間隔は30〜70μm、活物質層の厚さは10〜50μmとすることができる。なお、基板4として透明基板を使用し、カバー部材9として透明部材を使用したとき、歯の太さ、歯の長さ、歯の本数、及び歯同士の間隔の少なくとも1種を変更することにより、非水二次電池100の光透過性を適宜変更することができる。櫛型電極1a及び櫛型電極1bにおける歯の長さ方向に対して垂直かつ基板4に平行な方向視で櫛型電極1a及び櫛型電極1bにおける歯が互い違いに組み合っている領域において、基板4に垂直な方向から見たときに、櫛型電極1aの歯、櫛型電極1bの歯、及び櫛型電極1aの歯と櫛型電極1bの歯との間隙(透過部)の合計に対する、上記透過部の面積比は、例えば、40〜95%の範囲であることが好ましい。
正極活物質層3a及び負極活物質層3bを構成する材質、並びに電解質8の種類は、リチウムイオン二次電池、ナトリウムイオン二次電池等の金属イオン二次電池に用いることができるものの中から、適宜決定される。例えば、金属イオン二次電池がリチウムイオン二次電池である場合、正極活物質層3aを構成する材質としては、コバルト酸リチウム等の遷移金属酸化物等が挙げられ、負極活物質層3bを構成する材質としては、炭素、グラファイト、チタン酸リチウム等が挙げられ、電解質8としては、上述の通りであり、より具体的には、イオン伝導性無機固体電解質粒子と液体電解質成分(例えば、エチレングリコールエーテル類、イオン液体、有機溶剤等の有機媒体と、過塩素酸リチウム、ヘキサフルオロリン酸リチウム、リチウムビス(トリフルオロメチルスルホニル)イミド等のリチウム塩との組み合わせ)とを含む電解質が挙げられる。また、例えば、金属イオン二次電池がナトリウムイオン二次電池である場合、正極活物質層3aを構成する材質としては、コバルト酸ナトリウム等の遷移金属酸化物等が挙げられ、負極活物質層3bを構成する材質としては、炭素、グラファイト、チタン酸ナトリウム等が挙げられ、電解質8としては、上述の通りであり、より具体的には、イオン伝導性無機固体電解質粒子と液体電解質成分(例えば、エチレングリコールエーテル類、イオン液体、有機溶剤等の有機媒体と、過塩素酸ナトリウム、ヘキサフルオロリン酸ナトリウム、ナトリウムビス(トリフルオロメチルスルホニル)イミド等のナトリウム塩との組み合わせ)とを含む電解質が挙げられる。
より具体的には、金属イオン二次電池がリチウムイオン二次電池である場合、活物質としては、LiCoO、LiFePO、LiMn等の正極活物質粒子や、黒鉛、LiTi12、Sn合金、Si系化合物等の負極活物質粒子が例示される。また、金属イオン二次電池がナトリウムイオン二次電池である場合、活物質としては、NaCoO、NaFePO、NaMn等の正極活物質粒子や、黒鉛、NaTi12、Sn合金、Si系化合物等の負極活物質粒子が例示される。活物質層を形成する際、上記の活物質は、分散媒に分散させた分散液の状態で用いることが好ましい。使用される分散媒としては、水、アセトニトリル、N−メチルピロリドン、アセトン、エタノール等が例示される。分散媒の使用量は、上記分散液の固形分濃度が35〜60質量%となるような量であることが好ましい。
上記分散液は、通常、スチレンブタジエンゴム(SBR)、ポリフッ化ビニリデン等の結着剤を含む。上記分散液は、更に、カーボンブラック(例えば、アセチレンブラック)等の導電助剤、カルボキシメチルセルロース等の分散剤を含んでもよい。上記分散液の固形分における活物質、結着剤、導電助剤、及び分散剤の含有量は、特に限定されない。上記分散液の固形分において、活物質の含有量は、好ましくは75〜99質量%、より好ましくは80〜98質量%であり、結着剤の含有量は、好ましくは1〜15質量%であり、導電助剤の含有量は、好ましくは0〜9質量%であり、分散剤の含有量は、好ましくは0〜7質量%である。特に、導電助剤の含有量が上記の範囲内であると、後述の図5(d)若しくは(g)又は図6(d)又は(h)で示される工程において、スクリーン印刷法によりガイド孔13a又は13bを上記分散液で充填する際、レジスト層12又は15の表面に、スキージの移動方向に帯状に延びる活物質の残渣が発生しにくく、また、得られる櫛型電極では、活物質のひげ状の残渣が発生しにくく、電極間での短絡を効果的に防ぐことができる。
電解質8において、塩の含有量は、この塩を構成する金属原子(例えば、リチウム原子やナトリウム原子)の濃度が0.2〜2.0Mとなるように、調整することが好ましい。電解質8は、更に、炭酸ビニレン等の不飽和環状炭酸エステル化合物;フルオロエチレンカーボネート等のハロゲン置換炭酸エステル化合物;1,3−プロパンスルトン等の環状スルホン酸系化合物;エチレンサルファイト等の環状亜硫酸エステル化合物;12−クラウン−4等のクラウンエーテル類;ベンゼン、トルエン等の芳香族化合物等の添加剤を含んでもよい。電解質8が上記添加剤を含むと、得られる二次電池の寿命が向上しやすい。電解質8において、上記添加剤の濃度は、0.1〜20質量%であることが好ましい。
次に、本発明の一実施形態に係る非水二次電池100の製造方法について説明する。本実施形態に係る非水二次電池100の製造方法は、電極形成工程と、カバー部材結合工程と、電解質充填工程とを少なくとも含む。本発明に係る非水二次電池の製造方法は、電極形成工程と、充填工程とを含むところ、上記非水二次電池100の製造方法は、カバー部材結合工程を更に含み、充填工程として電解質充填工程を含むものである。以下、各工程について、図3を参照しながら説明する。
[電極形成工程]
電極形成工程は、図3(a)及び(b)で順次示される工程である。
この工程では、基板4の表面に櫛型電極1a及び1bが形成される。櫛型電極1a及び1bの形成は、公知の方法、例えば、スクリーン印刷法、金属溶射法、メッキ法、蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法、プラズマCVD法、これらの2つ以上の組み合わせで行うことができる。
また、非水二次電池100がリチウムイオン二次電池、ナトリウムイオン二次電池等の金属イオン二次電池である場合、電極形成工程は、集電体形成工程と、レジスト塗布工程と、ガイド孔形成工程と、活物質層形成工程とを含むものであることが好ましい。以下、特に、非水二次電池100がリチウムイオン二次電池である場合に焦点を当て、電極形成工程における各工程について、図4を参照しながら説明する。なお、非水二次電池100がナトリウムイオン二次電池等の、リチウムイオン二次電池以外の金属イオン二次電池である場合も、非水二次電池100がリチウムイオン二次電池である場合と同様にして、以下に説明する集電体形成工程、レジスト塗布工程、ガイド孔形成工程、及び活物質層形成工程を含む電極形成工程により、電極を形成することができる。
(集電体形成工程)
集電体形成工程は、図4(a)から(f)で順次示される工程である。
この工程では、まず、基板4の表面に薄膜の導電層2が形成される(図4(a)〜(b))。基板4は、不導体又は少なくとも表面に不導体の層が形成された導体若しくは半導体であり、例えば、表面に酸化膜を有するシリコン基板が挙げられ、ガラス基板、PETフィルム等も例示される。導電層2は、導体であり、好ましくは金属の薄膜である。基板4の表面に導電層2を形成させるには、PVD法又はCVD法のような蒸着法、スパッタ法、めっき法、金属箔接着法等、各種公知の方法を使用することができる。導電層2の厚さは、電極1a及び1bに要求される性能を考慮して適宜決定すればよい。
例えば、基板4が表面に酸化膜を有するシリコン基板であり、導電層2が金又はアルミニウムの薄膜で形成される場合、まず、シリコン基板4の表面にスパッタ法によりチタンの薄膜(図示せず)を形成させ、次いでこのチタンの薄膜の表面にスパッタ法により導電層2である金又はアルミニウムの薄膜を形成させる方法が挙げられる。この場合、チタンの薄膜は、導電層2のシリコン基板4への密着性を向上させるために設けられる。チタンの薄膜及び導電層2の厚さとして、例えば、100〜500nmが挙げられ、密着付与層の厚さとして、例えば、50nm〜100nmが挙げられるが、必要とされる性能を考慮して適宜決定すればよい。
導電層2を形成した後、図4(c)に示すように、導電層2の表面に集電体形成用レジストを塗布し、集電体形成用レジスト層5を形成させる。集電体形成用レジスト層5は、導電層2をパターニングして、櫛型の集電体2a及び2bを形成するために設けられる。
集電体形成用レジストは、公知の各種レジスト組成物を使用することができる。なお、「集電体形成用レジスト」という用語は、後述するガイド孔7a及び7bを形成するために使用されるレジストと区別するためのものである。集電体形成用レジストは、後述するガイド孔形成工程で使用されるレジストと同じでもよいし、異なってもよい。
集電体形成用レジストを塗布する方法は、公知の方法を特に制限なく挙げることができる。このような方法としては、スピンコート法、ディップ法、はけ塗り法等が挙げられる。
形成された集電体形成用レジスト層5は、櫛型形状のマスクパターンを介して選択的に露光及び現像されて、集電体形成用の樹脂パターン5a及び5bとなる。これにより、図4(d)に示すように、導電層2の表面に、集電体形成用の樹脂パターン5a及び5bが形成される。櫛型形状の樹脂パターン5a及び5bにおける歯の本数、歯の太さ、パターンとパターンとの間のギャップ(スペースギャップ)等は、必要とされる性能を考慮して適宜設定すればよい。歯の本数としては、例えば5〜500対が、歯の太さとしては、例えば1〜50μmが、スペースギャップとしては、例えば1〜50μmがそれぞれ挙げられる。一例として、歯の本数として100対(片方の樹脂パターンにおける歯の本数が100本である)、歯の太さとして20μm、スペースギャップとして10〜20μmが挙げられるが限定されない。
次いで、導電層2のうち、パターン5a及び5bに覆われていない箇所を除去する。導電層2を除去するには、公知の方法を特に制限なく使用することができる。このような方法として、エッチング法、イオンミリング法等が例示される。導電層2のうち、パターン5a及び5bに覆われていない箇所が除去されることにより、櫛型形状の集電体2a及び2bが形成される(図4(e))。その後、パターン5a及び5bが除去され、図4(f)に示すように、櫛型形状の集電体2a及び2bが基板4の表面に露出する。
(レジスト塗布工程)
次に、レジスト塗布工程について説明する。レジスト塗布工程は、上記集電体形成工程の後に行われる工程であり、図4(g)で示される工程である。
この工程では、上記集電体形成工程で形成された集電体2a及び2bの部分を含む基板4の表面に、レジスト組成物を塗布してレジスト層6を形成させる。
基板4の表面にレジスト組成物を塗布してレジスト層6を形成させる方法は、公知の方法を特に制限なく使用することができる。レジスト層6には、後に説明するように、正極活物質層3a及び負極活物質層3bを形成させるためのガイド孔7a及び7bが形成される。このガイド孔7a及び7bは、正極活物質層3a及び負極活物質層3bを形成させる際の鋳型となるので、正極活物質層3a及び負極活物質層3bを形成させるのに十分な深さを有するように形成させる必要がある。レジスト層6の厚さは、将来、ガイド孔7a及び7bの深さとなるので、必要とされるガイド孔7a及び7bの深さを考慮して、適宜決定される。レジスト層6の厚さとして、10〜100μmが例示されるが、特に限定されない。
レジスト層6を形成させるためのレジスト組成物として、(1)エポキシ基を有する化合物及びカチオン重合開始剤を含むカチオン重合系レジスト組成物、(2)ノボラック樹脂及び感光剤を含むノボラック系レジスト組成物、(3)酸解離性の脱離基を有し、当該脱離基が露光により光酸発生剤から発生する酸の作用で脱離することによりアルカリ可溶性が増大する樹脂、及び光酸発生剤を含む化学増幅系レジスト組成物、又は(4)エチレン性の不飽和結合を有するモノマー及び/又は樹脂、並びにラジカル重合開始剤を含み、エチレン性の不飽和結合を有するモノマーを含む場合には、当該モノマーの1分子中に含まれるエチレン性の不飽和結合が3個以下であるラジカル重合系レジスト組成物のいずれかを使用する。以下、各レジスト組成物としては、公知のものを使用することができる。
(ガイド孔形成工程)
次に、ガイド孔形成工程について説明する。ガイド孔形成工程は、上記レジスト塗布工程の後に行われる工程であり、図4(h)で示される工程である。なお、図4(h)では、図面の見易さを考慮して、ガイド孔7aの底部に存在する集電体2aを省略した。
本実施形態では、この工程において、上記レジスト塗布工程で形成されたレジスト層6に、櫛型形状である集電体2a及び2bと平面視で同一形状となる形状のガイド孔7a及び7bを形成させる。ガイド孔7a及び7bは、集電体2a及び2bの表面までレジスト層6を貫通する貫通孔として形成される。ガイド孔7a及び7bは、後に説明する活物質層形成工程において、正極又は負極活物質を堆積させるための鋳型として使用される。
本実施形態では、この工程において、まず、集電体2a及び2bと平面視で同一形状となるマスクを介して、上記レジスト塗布工程で形成されたレジスト層6を選択露光させる。これにより、レジスト層6がネガ型のレジストで形成されている場合には、将来ガイド孔7a及び7bとならない箇所が硬化して現像液に不溶となり、将来ガイド孔7a及び7bとなる部分は現像液に対して可溶のままとなる。また、レジスト層6がポジ型のレジストで形成されている場合には、将来ガイド孔7a及び7bとなる部分が現像液に対して可溶となり、将来ガイド孔7a及び7bとならない箇所が現像液に対して不溶のままとなる。
選択露光を受けたレジスト層6は、現像される。現像は、公知の現像液を使用し、公知の方法により行うことができる。このような現像液としては、例えば、アルカリ性の水溶液が例示される。また、現像方法としては、浸漬法、スプレー法等が例示される。
現像されたレジスト層6には、櫛型形状である集電体2a及び2bと平面視で同形状、かつ集電体2a及び2bの表面まで貫通するガイド孔7a及び7bが形成される。ガイド孔7a及び7bが形成されたレジスト層6は、必要に応じて、紫外線等の活性エネルギー線を照射するアフターキュアや、追加の熱処理であるポストベークが施される。レジスト層6は、アフターキュアやポストベークが施されることにより、後述の活物質層形成工程で必要とされる溶剤耐性やめっき液耐性が更に向上する。
(活物質層形成工程)
次に、活物質層形成工程について説明する。活物質層形成工程は、上記ガイド孔形成工程の後に行われる工程であり、図4(i)で示される工程である。
この工程では、上記ガイド孔形成工程で形成されたガイド孔7a及び7bを鋳型として、集電体2aの表面に正極活物質層3aを、集電体2bの表面に負極活物質層3bをそれぞれ形成させる。これにより、電極1a及び1bが完成する。
ガイド孔7a及び7bを鋳型として、集電体2a及び2bの表面に活物質層3a及び3bを形成させる方法としては、電気泳動法やめっき法が挙げられる。以下、これらの方法を説明する。
電気泳動法は、正極又は負極活物質の粒子を分散させた極性溶剤に、ガイド孔7a及び7bが形成された基板4を浸し、集電体2a又は2bのいずれか一方に電圧を印加することによって、溶剤に分散させた正極又は負極活物質の粒子を、電圧が印加された集電体の表面に対して選択的に堆積させる方法である。これにより、ガイド孔7a又は7bを鋳型として、集電体2a又は2bの任意の一方に活物質層3a又は3bを堆積させることができる。
溶剤に分散させる活物質としては、粒径100〜10000nm、好ましくは100〜1000nmの、LiCoO、LiFePO、LiMn等の正極活物質粒子や、黒鉛、LiTi12、Sn合金、Si系化合物等の負極活物質粒子が例示される。また、溶剤に分散させる活物質の量としては、1〜50g/Lが例示され、使用される溶剤としては、アセトニトリル、N−メチルピロリドン、アセトン、エタノール、水が例示される。更に、溶剤には、カーボンブラック、ポリフッ化ビニリデン、ヨウ素等の導電助剤や結着剤を添加してもよい。溶剤中の導電助剤や結着剤の量としては、それぞれ0.1〜1g/Lが例示される。
そして、電気泳動を行う際には、集電体2a又は2bの1cm程度上方に、ニッケルや金等の基板を対向電極として用いて電気泳動を行うことができる。その際の電圧は1〜1000Vが例示される。電場密度としては、集電体2aと2bとの間、あるいは集電体2a又は2bと、集電体2a又は2bに対向する電極との間に、1〜1000V/cmの印加が例示される。
めっき法は、水溶性のめっき液を使用して、集電体2a又は2bの表面に活物質層3a又は3bを形成させる方法である。このようなめっき液としては、SnCl・2HOの0.01〜0.3M水溶液、SnCl・2HOとNiCl・6HOの混合0.01〜0.3M水溶液、SnCl・2HOとSbClの混合0.01〜0.3M水溶液、SnCl・2HOとCoClの混合0.01〜0.3M水溶液、SnCl・2HOとCuSOの混合0.01〜0.3M水溶液が例示される。また、めっき液には、添加剤として、グリシン、K、NHOH水溶液等を例えば0.01〜0.5Mの濃度で添加してもよい。
特に限定されないが、上記電気泳動法により一方の集電体2a又は2bに対して選択的に活物質層3a又は3bを形成させた後に、上記めっき法を行うことにより、活物質層3a又は3bの形成されていない他方の集電体2b又は2aに対して選択的に活物質層3b又は3aを形成させることができる。このようにして、集電体2aの表面に正極活物質層3aを、集電体2bの表面に負極活物質層3bをそれぞれ選択的に形成させることができる。
また、集電体2a又は2bの表面に活物質層3a又は3bを形成させるにあたり、上記電気泳動法やめっき法の他にも、上記正極活物質粒子又は負極活物質粒子を上記溶剤に分散させた溶液を、キャピラリーを用いてガイド孔7a又は7bに注入させるインジェクション法も適用可能である。
以上のように、レジスト層6に形成されたガイド孔7a及び7bを鋳型として、活物質層3a及び3bが電気泳動法やめっき法によって形成される。このため、活物質層形成工程におけるレジスト層6には、電気泳動法で使用される溶剤やめっき法で使用されるめっき液に対して耐性を備えることが好ましい。この点、上記(1)〜(4)で挙げた各レジスト組成物の中でも、めっき液に対する耐性を付与するとの観点からは、(1)のカチオン重合系レジスト組成物、(2)ノボラック系レジスト組成物又は(3)化学増幅系レジスト組成物が好ましい。そして、これら(1)〜(3)のレジスト組成物の中でも、上記電気泳動法で使用される溶剤に対する耐性を付与するとの観点からは、(1)のカチオン重合系レジスト組成物がより好ましい。
集電体2a及び2bの表面にそれぞれ活物質層3a及び3bを形成させた後、ガイド孔7a及び7bの形成されたレジスト層6は除去される。これにより、図2に示す電極1a及び1bが形成される。レジスト層6を除去する方法としては、高温で加熱することによりレジスト層6を分解させるアッシング法、エッチング法が挙げられる。
なお、上記のレジスト塗布工程、ガイド孔形成工程、及び活物質層形成工程における手順は、以下で説明する第1又は第2のパターン形成方法によっても実行することができる。即ち、櫛型電極1a及び1bは、例えば、集電体形成工程によって集電体2a及び2bを形成させ、下記第1又は第2のパターン形成方法を用いて、集電体2a及び2b上に正極及び負極を形成させることにより製造することができる。
・第1のパターン形成方法
第1のパターン形成方法は、同一又は異なるパターン材料からなるn個(nは、2以上の整数であり、好ましくは2である。)のパターンを支持体上に形成するパターン形成方法であって、上記支持体の表面にポジ型レジスト組成物を塗布して1番目のレジスト層を形成させ、k番目(kは1〜(n−1)の整数)のパターン材料及びk番目のレジスト層について、kが1の場合からkが(n−1)の場合まで順番に、下記(1)〜(3):(1)露光及び現像により、1番目からk番目までのレジスト層を貫通するガイド孔を形成させること、(2)スクリーン印刷法により上記ガイド孔にk番目のパターン材料を充填すること、及び(3)k番目のレジスト層と上記ガイド孔に充填された上記k番目のパターン材料との上に、ポジ型レジスト組成物を塗布して(k+1)番目のレジスト層を形成させることを繰り返し、露光及び現像により、1番目からn番目までのレジスト層を貫通するガイド孔を形成させ、スクリーン印刷法により上記ガイド孔にn番目のパターン材料を充填し、1番目からn番目までのレジスト層を除去することを含むパターン形成方法である。第1のパターン形成方法によれば、短時間で、同一又は異なるパターン材料からなる複数個のパターンを支持体上に形成することができる。
以下、図面を参照しながら、第1のパターン形成方法について詳細に説明する。
図5は、第1のパターン形成方法を示す縦断面図である。図5を参照して、本発明の一実施形態に係るパターン形成方法について説明する。なお、図5では、n=2の場合について説明する。
まず、図5(a)で示される支持体11の表面に、図5(b)で示される工程において、ポジ型レジスト組成物を塗布して1番目のレジスト層12を形成させる。
支持体11の表面にポジ型レジスト組成物を塗布して1番目のレジスト層12を形成させる方法は、公知の方法を特に制限なく使用することができる。1番目のレジスト層12には、後に説明するように、パターン材料層14a及び14bを形成させるためのガイド孔13a及び13bが形成される。このガイド孔13a及び13bは、パターン材料層14a及び14bを形成させる際の鋳型となるので、パターン材料層14a及び14bを形成させるのに十分な深さを有するように形成させる必要がある。1番目のレジスト層12の厚さは、将来、ガイド孔13a及び13bの深さとなるので、必要とされるガイド孔13a及び13bの深さを考慮して、適宜決定される。1番目のレジスト層12の厚さとして、10〜100μmが例示されるが、特に限定されない。
1番目のレジスト層12を形成させるためのポジ型レジスト組成物としては、公知のものを特に制限なく用いることができ、非化学増幅系、化学増幅系のいずれであってもよい。非化学増幅系ポジ型レジスト組成物としては、例えば、キノンジアジド基含有化合物(A)及びアルカリ可溶性樹脂(B)を少なくとも含有するものが挙げられる。一方、化学増幅系ポジ型レジスト組成物としては、例えば、酸解離性の脱離基を有し、当該脱離基が露光により光酸発生剤から発生する酸の作用で脱離することによりアルカリ可溶性が増大する樹脂、及び光酸発生剤を少なくとも含むものが挙げられる。
次に、図5(c)で示される工程について説明する。
この工程において、まず、所望のマスクを介して、1番目のレジスト層12を選択露光させる。これにより、将来、ガイド孔13aとなる部分が現像液に対して可溶となり、将来ガイド孔13aとならない箇所が現像液に対して不溶のままとなる。
選択露光を受けた1番目のレジスト層12は、現像される。現像は、公知の現像液を使用し、公知の方法により行うことができる。このような現像液としては、例えば、アルカリ性の水溶液が例示される。また、現像方法としては、浸漬法、スプレー法等が例示される。
現像された1番目のレジスト層12には、支持体11の表面まで貫通するガイド孔13aが形成される。ガイド孔13aは、図5(d)で示される工程(後述)において、パターン材料を堆積させるための鋳型として使用される。ガイド孔13aが形成された1番目のレジスト層12は、必要に応じて、紫外線等の活性エネルギー線を照射するアフターキュアや、追加の熱処理であるポストベークが施される。1番目のレジスト層12は、アフターキュアやポストベークが施されることにより、後述の通り、パターン材料を充填する工程で必要とされる溶剤耐性やめっき液耐性が更に向上する。
次に、図5(d)で示される工程について説明する。
この工程では、図5(c)で示される工程で形成されたガイド孔13aに、スクリーン印刷法により、1番目のパターン材料を充填する。即ち、ガイド孔13aを鋳型として、支持体11の表面に1番目のパターン材料層14aを形成させる。
スクリーン印刷法は、例えば、市販のスクリーン印刷機を用い、適宜、スキージ圧、スキージ速度、用いるスキージの材質、硬さ、研磨角度等を調整して実行することができる。
次に、図5(e)で示される工程について説明する。
この工程では、1番目のレジスト層12と、ガイド孔13aに充填された1番目のパターン材料(即ち、1番目のパターン材料層14a)との上に、ポジ型レジスト組成物を塗布して2番目のレジスト層15を形成させる。2番目のレジスト層15は、1番目のパターン材料層14aの保護層として機能する。即ち、2番目のレジスト層15を形成させないで、後述の通り、ガイド孔13bを形成させると、その過程で1番目のパターン材料層14aが現像液に触れて、流出してしまう。上述の通りに2番目のレジスト層15を形成させることで、1番目のパターン材料層14aが現像液に触れて流出してしまうのを防ぐことができる。
ポジ型レジスト組成物の種類及び塗布方法は、図5(b)で示される工程について上述したのと同様である。図5(e)で示される工程に用いられるポジ型レジスト組成物は、図5(b)で示される工程に用いられるポジ型レジスト組成物と同一であってもよいが、組成成分又は種類の異なるものを用いることが好ましい。
2番目のレジスト層15の厚さは、1番目のパターン材料層14aの保護層としての機能が確保される限り特に限定されないが、後述の図5(f)で示される工程で形成されるガイド孔13bに必要とされる深さを考慮して適宜決定され、1〜20μmが例示される。
次に、図5(f)で示される工程について説明する。
この工程において、まず、所望のマスクを介して、1番目のレジスト層12及び2番目のレジスト層15を選択露光させる。これにより、将来ガイド孔13bとなる部分が現像液に対して可溶となり、将来ガイド孔13bとならない箇所が現像液に対して不溶のままとなる。
選択露光を受けた1番目のレジスト層12及び2番目のレジスト層15は、現像される。現像液及び現像方法については、図5(c)で示される工程について説明したのと同様である。
現像された1番目のレジスト層12及び2番目のレジスト層15には、支持体11の表面まで貫通するガイド孔13bが形成される。ガイド孔13bは、図5(g)で示される工程(後述)において、パターン材料を堆積させるための鋳型として使用される。ガイド孔13bが形成された1番目のレジスト層12及び2番目のレジスト層15は、必要に応じて、紫外線等の活性エネルギー線を照射するアフターキュアや、追加の熱処理であるポストベークが施される。1番目のレジスト層12及び2番目のレジスト層15は、アフターキュアやポストベークが施されることにより、後述の通り、パターン材料を充填する工程で必要とされる溶剤耐性やめっき液耐性が更に向上する。
次に、図5(g)で示される工程について説明する。
この工程では、図5(f)で示される工程で形成されたガイド孔13bに、スクリーン印刷法により、2番目のパターン材料を充填する。即ち、ガイド孔13bを鋳型として、支持体11の表面に2番目のパターン材料層14bを形成させる。
スクリーン印刷法の条件は、図5(d)で示される工程について説明したのと同様である。
次に、図5(h)で示される工程について説明する。
この工程では、1番目のレジスト層12及び2番目のレジスト層15を除去する。具体的には、例えば、剥離液を用いて、これらのレジスト層を剥離する方法が挙げられる。この場合、剥離方法は、特に限定されず、浸漬法、スプレー法、シャワー法、パドル法等を用いることができる。また、剥離液としては、例えば、3〜15質量%の水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、有機アミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、トリエタノールアミン、N―メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、アセトン等が挙げられる。剥離処理時間は、特に限定されないが、例えば1〜120分間程度である。なお、剥離液は、25〜60℃程度に加温してもよい。
以上の通りにして、1番目及び2番目のパターン材料からなる2個のパターンを支持体上に形成することができる。
なお、図5では、n=2の場合について説明したが、nが3以上の場合については、図5(c)〜(e)で示される工程を必要回数繰り返すことにより、同一又は異なるパターン材料からなるn個のパターンを支持体上に形成することができる。
正極及び負極は、例えば、図5における支持体11として、図2の集電体12a及び12bを用い、図5における1番目のパターン材料層14aとして、図2の正極活物質層13aを用い、図5における2番目のパターン材料層14bとして、図2の負極活物質層13bを用い、図5に従ってパターン形成を行うことにより、集電体12a及び12b上に形成させることができる。
・第2のパターン形成方法
第2のパターン形成方法は、同一又は異なるパターン材料からなるn個(nは、2以上の整数であり、好ましくは2である。)のパターンを支持体上に形成するパターン形成方法であって、上記支持体の表面にレジスト組成物を塗布して1番目のレジスト層を形成させ、k番目(kは1〜(n−1)の整数)のパターン材料及びk番目のレジスト層について、kが1の場合からkが(n−1)の場合まで順番に、下記(1)〜(4):(1)露光及び現像により、k番目のレジスト層を貫通するガイド孔を形成させること、(2)スクリーン印刷法により上記ガイド孔にk番目のパターン材料を充填すること、(3)上記k番目のレジスト層を除去すること、及び(4)上記支持体と1番目からk番目までのパターン材料との上に、レジスト組成物を塗布して(k+1)番目のレジスト層を形成させることを繰り返し、露光及び現像により、n番目のレジスト層を貫通するガイド孔を形成させ、スクリーン印刷法により上記ガイド孔にn番目のパターン材料を充填し、n番目のレジスト層を除去することを含むパターン形成方法である。第2のパターン形成方法によれば、第1のパターン形成方法と同様、短時間で、同一又は異なるパターン材料からなる複数個のパターンを支持体上に形成することができる。
以下、図面を参照しながら、第2のパターン形成方法について詳細に説明する。
図6は、第2のパターン形成方法を示す縦断面図である。図6を参照して、本発明の一実施形態に係るパターン形成方法について説明する。なお、図6では、n=2の場合について説明する。
まず、図6(a)で示される支持体11の表面に、図6(b)で示される工程において、レジスト組成物を塗布して1番目のレジスト層12を形成させる。
支持体11の表面にレジスト組成物を塗布して1番目のレジスト層12を形成させる方法は、公知の方法を特に制限なく使用することができる。1番目のレジスト層12には、後に説明するように、パターン材料層14aを形成させるためのガイド孔13aが形成される。このガイド孔13aは、パターン材料層14aを形成させる際の鋳型となるので、パターン材料層14aを形成させるのに十分な深さを有するように形成させる必要がある。1番目のレジスト層12の厚さは、将来、ガイド孔13aの深さとなるので、必要とされるガイド孔13aの深さを考慮して、適宜決定される。1番目のレジスト層12の厚さとして、10〜100μmが例示されるが、特に限定されない。
1番目のレジスト層12を形成させるためのレジスト組成物としては、公知のものを特に制限なく用いることができ、ポジ型、ネガ型のいずれであってもよい。また、ポジ型レジスト組成物は、非化学増幅系、化学増幅系のいずれであってもよい。非化学増幅系ポジ型レジスト組成物としては、例えば、キノンジアジド基含有化合物及びアルカリ可溶性樹脂を少なくとも含有するものが挙げられる。一方、化学増幅系ポジ型レジスト組成物としては、例えば、酸解離性の脱離基を有し、当該脱離基が露光により光酸発生剤から発生する酸の作用で脱離することによりアルカリ可溶性が増大する樹脂、及び光酸発生剤を少なくとも含むものが挙げられる。また、ネガ型レジスト組成物としては、例えば、アルカリ可溶性樹脂、光重合性モノマー、及び光重合開始剤を少なくとも含有する重合型のネガ型レジスト組成物;アルカリ可溶性樹脂、架橋剤、及び酸発生剤を少なくとも含有する化学増幅型のネガ型レジスト組成物;酸解離性の脱離基を有し、当該脱離基が露光により光酸発生剤から発生する酸の作用で脱離することにより極性が増大する樹脂、及び光酸発生剤を少なくとも含む溶剤現像プロセス用の化学増幅型ネガ型レジスト組成物が挙げられる。中でも、図6(e)で示される工程(後述)において、1番目のレジスト層12の除去がより容易となる傾向にあることから、化学増幅型レジスト組成物が好ましく、ポジ型レジスト組成物がより好ましい。
次に、図6(c)で示される工程について説明する。
この工程において、まず、所望のマスクを介して、1番目のレジスト層12を選択露光させる。これにより、1番目のレジスト層12の形成にポジ型レジスト組成物を用いた場合には、将来、ガイド孔13aとなる部分が現像液に対して可溶となり、将来、ガイド孔13aとならない箇所が現像液に対して不溶のままとなる。一方、1番目のレジスト層12の形成にネガ型レジスト組成物を用いた場合には、将来、ガイド孔13aとならない箇所が現像液に対して不溶となり、将来、ガイド孔13aとなる部分が現像液に対して可溶のままとなる。必要に応じて、選択露光後に加熱(PEB)が施される。
選択露光を受けた1番目のレジスト層12は、現像される。現像は、公知の現像液を使用し、公知の方法により行うことができる。このような現像液としては、例えば、アルカリ性の水溶液や、溶剤現像プロセスの場合は酢酸ブチル等のエステル系溶剤やメチルアミルケトン等のケトン系溶剤が例示される。また、現像方法としては、浸漬法、スプレー法、パドル法、ダイナミックディスペンス法等が例示される。
現像された1番目のレジスト層12には、支持体11の表面まで貫通するガイド孔13aが形成される。ガイド孔13aは、図6(d)で示される工程(後述)において、パターン材料を堆積させるための鋳型として使用される。ガイド孔13aが形成された1番目のレジスト層12は、必要に応じて、紫外線等の活性エネルギー線を照射するアフターキュアや、追加の熱処理であるポストベークが施される。1番目のレジスト層12は、アフターキュアやポストベークが施されることにより、後述の通り、パターン材料を充填する工程で必要とされる溶剤耐性やめっき液耐性が更に向上する。
次に、図6(d)で示される工程について説明する。
この工程では、図6(c)で示される工程で形成されたガイド孔13aに、スクリーン印刷法により、1番目のパターン材料を充填する。即ち、ガイド孔13aを鋳型として、支持体11の表面に1番目のパターン材料層14aを形成させる。
スクリーン印刷法は、例えば、市販のスクリーン印刷機を用い、適宜、スキージ圧、スキージ速度、用いるスキージの材質、硬さ、研磨角度等を調整して実行することができる。
次に、図6(e)で示される工程について説明する。
この工程では、1番目のレジスト層12を除去する。具体的には、例えば、剥離液を用いて、1番目のレジスト層12を剥離する方法が挙げられる。この場合、剥離方法は、特に限定されず、浸漬法、スプレー法、シャワー法、パドル法等を用いることができる。また、剥離液としては、レジスト層に用いられるレジスト組成物の成分に合わせて適宜選択すればよく、例えば、3〜15質量%の水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、有機アミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液、トリエタノールアミン、N―メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、アセトン、その他プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のレジスト溶媒等が挙げられる。剥離処理時間は、特に限定されないが、例えば1〜120分間程度である。なお、剥離液は、25〜60℃程度に加温してもよい。
この工程により、1番目のパターン材料からなる1個のパターンが支持体上に形成される。
次に、図6(f)で示される工程について説明する。
この工程では、支持体11と1番目のパターン材料層14aとの上に、レジスト組成物を塗布して2番目のレジスト層15を形成させる。2番目のレジスト層15には、後に説明するように、パターン材料層14bを形成させるためのガイド孔13bが形成される。このガイド孔13bは、パターン材料層14bを形成させる際の鋳型となるので、パターン材料層14bを形成させるのに十分な深さを有するように形成させる必要がある。また、2番目のレジスト層15は、1番目のパターン材料層14aの上に形成されるので、1番目のパターン材料層14aの保護層としても機能する。即ち、1番目のパターン材料層14aの上に2番目のレジスト層15を形成させないで、後述の通り、ガイド孔13bを形成させると、その過程で1番目のパターン材料層14aが現像液に触れて、流出してしまう。上述の通り、1番目のパターン材料層14aの上に2番目のレジスト層15を形成させることで、1番目のパターン材料層14aが現像液に触れて流出してしまうのを防ぐことができる。
レジスト組成物の種類及び塗布方法は、図6(b)で示される工程について上述したのと同様である。図6(f)で示される工程に用いられるレジスト組成物は、図6(b)で示される工程に用いられるレジスト組成物と同一であってもよいし、組成成分又は種類の異なるものであってもよい。
2番目のレジスト層15の厚さは、1番目のパターン材料層14aの保護層としての機能が確保される限り特に限定されないが、後述の図6(g)で示される工程で形成されるガイド孔13bに必要とされる深さを考慮して適宜決定され、1〜20μmが例示される。
次に、図6(g)で示される工程について説明する。
この工程において、まず、所望のマスクを介して、2番目のレジスト層15を選択露光させる。これにより、2番目のレジスト層15の形成にポジ型レジスト組成物を用いた場合には、将来、ガイド孔13bとなる部分が現像液に対して可溶となり、将来、ガイド孔13bとならない箇所が現像液に対して不溶のままとなる。一方、2番目のレジスト層15の形成にネガ型レジスト組成物を用いた場合には、将来、ガイド孔13bとならない箇所が現像液に対して不溶となり、将来、ガイド孔13bとなる部分が現像液に対して可溶のままとなる。必要に応じて、選択露光後に加熱(PEB)が施される。
選択露光を受けた2番目のレジスト層15は、現像される。現像液及び現像方法については、図6(c)で示される工程について説明したのと同様である。
現像された2番目のレジスト層15には、支持体11の表面まで貫通するガイド孔13bが形成される。ガイド孔13bは、図6(h)で示される工程(後述)において、パターン材料を堆積させるための鋳型として使用される。ガイド孔13bが形成された2番目のレジスト層15は、必要に応じて、紫外線等の活性エネルギー線を照射するアフターキュアや、追加の熱処理であるポストベークが施される。2番目のレジスト層15は、アフターキュアやポストベークが施されることにより、後述の通り、パターン材料を充填する工程で必要とされる溶剤耐性やめっき液耐性が更に向上する。
次に、図6(h)で示される工程について説明する。
この工程では、図6(g)で示される工程で形成されたガイド孔13bに、スクリーン印刷法により、2番目のパターン材料を充填する。即ち、ガイド孔13bを鋳型として、支持体11の表面に2番目のパターン材料層14bを形成させる。
スクリーン印刷法の条件は、図6(d)で示される工程について説明したのと同様である。
次に、図6(i)で示される工程について説明する。
この工程では、2番目のレジスト層15を除去する。具体的には、例えば、剥離液を用いて、2番目のレジスト層15を剥離する方法が挙げられる。剥離方法、剥離液、剥離処理時間は、図6(e)で示される工程について説明したのと同様である。
以上の通りにして、1番目及び2番目のパターン材料からなる2個のパターンを支持体上に形成することができる。
なお、図6では、n=2の場合について説明したが、nが3以上の場合については、図6(c)〜(f)で示される工程を必要回数繰り返すことにより、同一又は異なるパターン材料からなるn個のパターンを支持体上に形成することができる。
正極及び負極は、例えば、図6における支持体11として、図2の集電体12a及び12bを用い、図6における1番目のパターン材料層14aとして、図2の正極活物質層13aを用い、図6における2番目のパターン材料層14bとして、図2の負極活物質層13bを用い、図6に従ってパターン形成を行うことにより、集電体12a及び12b上に形成させることができる。
[カバー部材結合工程]
カバー部材結合工程は、図3(b)及び(c)で順次示される工程である。
この工程では、カバー部材9を基板4の表面に結合する。その結果、櫛型電極1a及び1bを含む密閉室は、基板4及びカバー部材9により規定される。基板4の表面へのカバー部材9の結合方法としては、エポキシ接着剤等の接着剤による方法、半田付け、陽極接合等の、半導体分野で使用される方法等が挙げられる。
[電解質充填工程]
電解質充填工程は、図3(c)で示される工程である。
この工程では、カバー部材結合工程において規定された密閉室内に、櫛型電極1aと櫛型電極1bとの電池反応に関与する電解質8を充填する。電解質8の充填は、カバー部材9の側面に形成された2個の注液孔10を介して行う。充填方法は特に限定されず、減圧注入やシリンジ等による注入が挙げられるが、充填効率の高さや充填むらの起こりにくさ等の観点から、減圧注入が好ましい。減圧注入は、基板4及びカバー部材9からなる構造体を電解質8中に浸漬し、減圧することで行うことができる。
なお、電解質8の漏れや電解質8の吸湿等を防ぐため、電解質8の充填後、注液孔10は、エポキシ接着剤等の接着剤50により封止される。
本発明の別の実施形態に係る非水二次電池100Aについて、説明する。非水二次電池100Aは、カバー部材9の代わりに、注液孔10を有しないカバー部材9Aを備えてよい点を除き、非水二次電池100と同様である。
以下、本発明の別の実施形態に係る非水二次電池100Aの製造方法について説明する。本実施形態に係る非水二次電池100の製造方法は、電極形成工程と、電解質配置工程と、カバー部材固定工程とを少なくとも含む。本発明に係る非水二次電池の製造方法は、電極形成工程と、充填工程とを含むところ、上記非水二次電池100の製造方法は、充填工程として電解質配置工程を含み、カバー部材結合工程を更に含むものである。以下、各工程について、図7を参照しながら説明する。
[電極形成工程]
電極形成工程は、図7(a)及び(b)で順次示される工程であり、図3(a)及び(b)で順次示される工程について上述したのと同様であるので、説明を省略する。
[電解質配置工程]
電解質配置工程は、図7(c)で示される工程である。
この工程では、少なくとも櫛型電極1a及び櫛型電極1bの対向端面間に、櫛型電極1aと櫛型電極1bとの電池反応に関与する電解質8Aを配置する。電解質8Aは、電解質8と同様である。また、電解質8Aは、上記有機溶剤を過剰に含んだ電解質前駆体であってもよい。電解質8Aの配置方法としては、特に限定されず、電解質を少なくとも櫛型電極1a、櫛型電極1b、及び基板4上に塗布する方法や、櫛型電極1a及び櫛型電極1bを取り囲むように、基板4上に配置された、例えば、EPDMゴム製の枠体と基板4とで形成される凹部に電解質を流し込む方法等が挙げられる。電解質8Aを塗布した後又は凹部への流し込んだ後、必要に応じて加熱処理、乾燥処理、真空乾燥処理等を行ってもよい。例えば、得られる電解質8Aが自立できるものである場合、上記枠体は、電解質8Aの配置後に除去してもよい。
[カバー部材固定工程]
カバー部材固定工程は、図7(d)で示される工程である。
この工程では、基板4上にカバー部材9Aを固定する。その結果、櫛型電極1a及び1bを含む密閉室は、基板4及びカバー部材9Aにより規定されるとともに、電解質8Aが該密閉室内に充填される。基板4上にカバー部材9Aを固定する方法としては、特に限定されず、電解質配置工程で配置された電解質8A上に、直接又はエポキシ接着剤等の接着剤を介して、カバー部材9について例示した材質からなる被覆フィルム(例えば、PETフィルムやガラスフィルム)を貼り付ける方法や、電解質配置工程で配置された電解質8Aや電解質8A上に貼り付けられた上記被覆フィルムをガスバリア性材料で被覆する方法等が挙げられる。ガスバリア性材料による被覆方法としては、例えば、電解質配置工程で配置された電解質8Aや電解質8A上に貼り付けられた上記被覆フィルムに有機系又は無機系ガスバリア性材料を塗布法又は真空成膜法等により成膜してガスバリア性材料からなる被覆膜を形成する方法、ガスバリア性材料からなる被覆フィルムにより、電解質配置工程で配置された電解質8A及び基板4を封入する方法等が挙げられる。電解質8A又は電解質8A上に貼り付けられた上記被覆フィルム上に形成されるガスバリア性材料からなる被覆膜は、異なるガスバリア性材料を複数種類重ねて形成したものであってもよく、例えば、有機系ガスバリア性材料からなる被覆膜の上に無機系ガスバリア性材料を成膜して無機系ガスバリア性材料からなる被覆膜を形成する方法や、電解質8A上に貼り付けられた上記被覆フィルムの上に有機系又は無機系ガスバリア性材料を成膜して有機系又は無機系ガスバリア性材料からなる被覆膜を形成する方法や、無機系ガスバリア性材料からなる被覆膜の上に有機系ガスバリア性材料を成膜して有機系ガスバリア性材料からなる被覆膜を形成する方法等が挙げられる。無機系ガスバリア性材料からなる被覆膜を形成する場合には、例えば、電解質8Aや電解質8A上に貼り付けられた上記被覆フィルムや有機系ガスバリア性材料からなる被覆膜に、アルミニウム等の金属を塗布法又は真空成膜法等により成膜してもよく、又は、塗布法又は真空成膜法等により、後述の無機化合物系被覆材料からなる被覆膜を形成してもよく、又はラミセルを被覆膜として用いて、電解質8Aや電解質8A上に貼り付けられた上記被覆フィルムや有機系ガスバリア性材料からなる被覆膜と、基板4とを合わせて封入してもよい。
有機系ガスバリア性材料としては、シクロオレフィン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリテトラフルオロエチレン系樹脂、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等が挙げられる。有機系ガスバリア性材料としては、スチレン系樹脂やブタジエン系樹脂等のゴム系の材料を使用してもよいが、この場合、後述の無機系ガスバリア性材料及び/又は封止剤を併用することが好ましい。無機系ガスバリア性材料としては、アモルファスシリコン、窒化シリコン、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、ITO、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム等の無機化合物系被覆材料;アルミニウム等の金属が挙げられる。また、ガスバリア性材料の塗布方法としては、スピンコート、スプレーコート等が挙げられる。ガスバリア性材料が無機系ガスバリア性材料を含む場合は、スパッタリング法、蒸着法、又はCVD法等の真空成膜法を用いてもよい。更に、ガスバリア性材料からなる被覆膜を封止剤で封止してもよい。封止剤としては、例えば、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、ビフェニルジエポキシ樹脂、ナフトールノボラックエポキシ樹脂等のエポキシ樹脂等が挙げられる。前記封止剤はフィラー等の添加剤を含んでいてもよい。
本発明の別の実施形態に係る非水二次電池100Aの製造方法では、電解質液の注入作業が不要となるため、基板上に複数の非水二次電池(ユニットセル)を同時に形成することができる。電極形成工程の際、所望のユニットセルに合わせて、基板上に、様々な回路(直列回路又は並列回路)のパターンの組み合わせ又は様々なサイズの組み合わせを有する、正極及び負極からなる複数の組を形成し、当該基板に対し、電解質配置工程と、カバー部材固定工程とを行うことにより、複数の非水二次電池(ユニットセル)を有する基板を得ることができ、その後、所望のユニットセルに合わせて個片化処理を行うことで、種々の電極パターン又はサイズを有する複数のユニットセルを効率よく同時に製造することができる。
なお、個片化処理は、電解質配置工程又はカバー部材固定工程を行う前のいずれの段階で適宜行ってもよい。
また、電解質液の注入作業を行う実施形態であっても、電極形成工程の際、所望のユニットセルに合わせて、基板上に、様々な回路(直列回路又は並列回路)のパターンの組み合わせ又は様々なサイズの組み合わせを有する、正極及び負極からなる複数の組を形成してもよい。この場合、個片化処理は、電極形成工程より後であって電解質充填工程より前の任意の段階で行うことができる。
以下、実施例を示して本発明を更に具体的に説明するが、本発明は、以下の実施例に何ら限定されるものではない。
[合成例1]
m−クレゾール及びp−クレゾールの混合物(m−クレゾール/p−クレゾール=6/4(質量比))とホルムアルデヒドとを酸触媒の存在下で常法により付加縮合して得たクレゾール型ノボラック樹脂(質量平均分子量30000)70質量部と、感光剤として1,4−ビス(4−ヒドロキシフェニルイソプロピリデニル)ベンゼンのナフトキノン−1,2−ジアジド−5−スルホン酸ジエステル15質量部と、可塑剤としてポリメチルビニルエーテル(質量平均分子量100000)15質量部とに対して、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)を固形分濃度が40質量%になるように添加してから、混合して溶解させ、レジスト組成物1を得た。このレジスト組成物1は、ノボラック系であり、非化学増幅系であり、ポジ型である。
[合成例2]
m−クレゾール及びp−クレゾールの混合物(m−クレゾール/p−クレゾール=6/4(質量比))とホルムアルデヒドとを酸触媒の存在下で常法により付加縮合して得たクレゾール型ノボラック樹脂(質量平均分子量10000)52.5質量部と、ポリヒドロキシスチレン樹脂VPS−2515(日本曹達社製) 10質量部と、下記式(1)で表される樹脂27.5質量部と、下記式(2)で表される樹脂10質量部と、酸発生剤として下記式(3)で表される化合物2質量部と、増感剤として1,5−ジヒドロキシナフタレン2質量部と、添加剤としてトリエチルアミン0.01質量部及びサリチル酸0.02質量部と、溶剤としてPGMEA 107質量部及びガンマブチロラクトン6質量部とを混合して溶解させることによりレジスト組成物2を得た。このレジスト組成物2は、化学増幅系であり、ポジ型である。
Figure 0006604532
Figure 0006604532
Figure 0006604532
[実施例1]
スクリーン印刷法(上記で説明した第2のパターン形成方法)を用いて、図2に示す櫛型電極1a及び1bを作製した。ただし、櫛型電極全体のサイズ、歯の太さ、隣接する2本の歯同士の間隔、歯の長さ、歯の本数、及び活物質層の厚さは表1に示す通りに設定した。
Figure 0006604532
(集電体の形成)
まず、上層に密着付与層としてチタンの薄膜が形成された酸化膜を有するシリコン基板の表面(つまり、チタン薄膜表面)に、スパッタ法により、導電層としてアルミニウム膜(厚さ:400nm)を形成した。この基板上に、合成例1のポジ型レジスト組成物1をスピンコート法により塗布し、1.5μmのレジスト層を形成させ、120℃にて1分間乾燥させた。そして、図2に示す櫛型電極1a及び1bに対応するパターンを有するマスクを用いて、レジスト層に選択露光(ghi混合線、露光量100mJ/cm)を行った。次いで、TMAH2.38質量%のアルカリ現像液で1分間現像した。現像後に、アルミニウムエッチング液(HPO:HNO:HO=4:1:1.6(質量比))でディップ法によりアルミニウム膜とチタン薄膜をエッチングし、アルミニウムパターン(チタン薄膜のパターンを下層に有するパターン)を形成して、櫛型集電体12a及び12bを形成した。
(ガイド孔の作製−1)
集電体の形成されたシリコンウェーハの表面に、合成例1のレジスト組成物をスピンコート法により塗布し、50μmのレジスト層を形成させ、140℃にて5分間乾燥させた。そして、形成された櫛型の集電体12aと平面視で同一形状となるポジマスクを使用して、櫛型の集電体の上部に位置するレジスト層に露光(ghi混合線、露光量60mJ/cm)した。次いで、活性化工程として85℃にて3分間ベークを行い、アルカリ現像液で現像した。これにより、シリコンウェーハの表面に、集電体12aと平面視で同一形状となる櫛型形状のガイド孔を形成させた。なお、ガイド孔の底部には、集電体12aが露出していた。
(活物質層の形成−1)
LiFePO粒子34.02g、導電助剤としてアセチレンブラック5.04g、分散剤としてカルボキシメチルセルロース2.10g、及び結着剤としてスチレンブタジエンゴム(SBR)0.84gを混合し(質量比は81:12:5:2)、更に58gの水を加えて混合し、固形分42質量%の分散液を得た。この分散液を自転・公転ミキサー(商品名:あわとり練太郎、(株)シンキー製)にて2000rpmで10分間回転させて、更に混合・分散を行い、得られた混合物を正極活物質として用いた。
ガイド孔が形成されたシリコンウェーハに対して、スクリーン印刷を行い、ガイド孔に上記正極活物質を充填し、100℃にて5分間乾燥させ、正極活物質層を形成させた。スクリーン印刷は、角度45°に研磨された硬さ60°のシリコンスキージを備えたスクリーン印刷機(MT−320T型、マイクロ・テック(株)製)を使用して、スキージ圧180MPa、スキージ速度15.0mm/sにて行った。
(レジスト層の剥離−1)
レジスト層をアセトンにて剥離した。
(ガイド孔の作製−2)
正極活物質が堆積されたシリコンウェーハの表面に、合成例2のレジスト組成物2をスピンコート法により塗布し、60μmのレジスト層を形成させ、140℃にて1分間乾燥させた。
形成された櫛型の集電体12bと平面視で同一形状となるポジマスクを使用して、櫛型の集電体の上部に位置するレジスト層に露光(ghi混合線、露光量60mJ/cm)した。次いで、活性化工程として85℃にて3分間ベークを行い、アルカリ現像液で現像した。これにより、保護層としても機能する上記レジスト層により正極活物質を保護しつつ、シリコンウェーハの表面に、集電体12bと平面視で同一形状となる櫛型形状のガイド孔を形成させた。なお、ガイド孔の底部には、集電体12bが露出していた。
(活物質層の形成−2)
LiTi12粒子34.02g、導電助剤としてアセチレンブラック5.04g、分散剤としてカルボキシメチルセルロース2.10g、及び結着剤としてSBR0.84gを混合し(質量比は87:6:5:2)、更に58gの水を加えて混合し、固形分42質量%の分散液を得た。この分散液を自転・公転ミキサー(商品名:あわとり練太郎、(株)シンキー製)にて2000rpmで10分間回転させて、更に混合・分散を行い、得られた混合物を負極活物質として用いた。
ガイド孔が形成されたシリコンウェーハに対して、スクリーン印刷を行い、ガイド孔に上記負極活物質を充填し、100℃にて5分間乾燥させ、負極活物質層を形成させた。スクリーン印刷は、角度45°に研磨された硬さ60°のシリコンスキージを備えたスクリーン印刷機(MT−320T型、マイクロ・テック(株)製)を使用して、スキージ圧180MPa、スキージ速度15.0mm/sにて行った。
(レジスト層の剥離−2)
最後にレジスト層をアセトンにて剥離して、櫛型電極1a及び1bを得た。スクリーン印刷法により電極活物質を充填するのに要した時間は、15分という非常に短い時間であった。
<レート特性及びサイクル特性>
[実施例2]
イオン伝導性無機固体電解質粒子であるリチウムランタンジルコニア(以下、「LLZ」ともいう。)粒子をヘキサン中に分散させて得た分散液を直径5mmのジルコニアボールとともに、ボールミルに投入し、400rpmで3時間、粉砕処理を行った。これにより、平均粒子径0.73μmのLLZ微粉体が得られた。
一方、メチルテトラグライム(キシダ化学製、G4)1.0モルをマグネチックスターラーで撹拌しつつ、そこにリチウムビス(フルオロスルホニル)イミド(以下、「LiFSI」ともいう。)1.0モルを投入し、均一に混合して、液体電解質成分を得た。
上記で得られたLLZ微粉体と液体電解質成分とを乳鉢で均等に混合し、25体積%のLLZ微粉体を含む電解質を得た。
実施例1で得た櫛型電極1a及び1bを取り囲むように、シリコン基板上に配置されたEPDMゴム製の枠体とこのシリコン基板とで形成される凹部に電解質を流し込み、上記枠体上にガラス板を載せて、枠体、シリコン基板、及びガラス板で囲まれる領域を密閉した。枠体とガラス板との間には真空グリースを塗布し、密閉を確実とした。シリコン基板とガラス板とをクリップで固定して、リチウムイオン二次電池を得た。
このようにして得られたリチウムイオン二次電池の厚さは約2.7mmであり、従来のリチウムイオン二次電池と比較して、はるかに薄いものであった。
この二次電池について、Cレートを1C、5C、10C、20C、又は50Cに設定して、充電及び放電を行った。充放電曲線を図8(a)に示す。
これらの結果から、本発明に係る非水二次電池である上記リチウムイオン二次電池は、良好なレート特性を有することが分かった。
上記と同様にして作製したリチウムイオン二次電池について、上記と同様にして、充電及び放電を行った(Cレート:50C)。充電及び放電を10000サイクル繰り返して行い、各サイクルにおいて放電容量を測定した。各サイクルにおける放電容量を図8(b)に示す。なお、SOCとは充電率を意味し、SOC30%はフル充電容量を100%としたときに、30%分を充電した状態を示す。
これらの結果から、本発明に係る非水二次電池である上記リチウムイオン二次電池は、10000サイクル後も、容量維持率が安定していることが分かった。
[実施例3]
LLZ微粉体の含有量を25体積%から30体積%に変更した以外は、実施例2と同様にして作製したリチウムイオン二次電池について、実施例2と同様にして、レート特性及びサイクル特性を調べた。充放電曲線を図9(a)に、各サイクルにおける放電容量を図9(b)に示す。
これらの結果からも、本発明に係る非水二次電池である上記リチウムイオン二次電池は、良好なレート特性を有し、10000サイクル後も、容量維持率が安定していることが分かった。
[実施例4]
LLZ微粉体の含有量を25体積%から35体積%に変更した以外は、実施例2と同様にして作製したリチウムイオン二次電池について、実施例2と同様にして、レート特性及びサイクル特性を調べた。充放電曲線を図10(a)に、各サイクルにおける放電容量を図10(b)に示す。
これらの結果からも、本発明に係る非水二次電池である上記リチウムイオン二次電池は、良好なレート特性を有し、10000サイクル後も、容量維持率が安定していることが分かった。
[比較例1]
LLZ微粉体と液体電解質成分とを含む電解質の代わりに、有機電解質液(1MのLiClO溶液(溶媒は体積比3:7の炭酸エチレン・炭酸エチルメチル混合液))を用いた以外は、実施例2と同様にして作製したリチウムイオン二次電池について、実施例2と同様にして、レート特性及びサイクル特性を調べた。充放電曲線を図11(a)に、各サイクルにおける放電容量を図11(b)に示す。
これらの結果から、従来の有機電解質液を用いたリチウムイオン二次電池は、良好なレート特性を有するものの、実施例より低いSOCの条件であるにも関わらず10000サイクル後の容量維持率は不十分であることが分かった。
[比較例2]
実施例2において、LLZ微粉体と液体電解質成分とを含む電解質の代わりに、有機電解質液(1MのLiClO溶液(溶媒は体積比1:1の炭酸エチレン・炭酸プロピレン混合液))70質量%、モノマーとしてメチルメタクリレート28質量%、架橋剤としてエチレングリコールジメタクリレート1.5質量%、及び重合開始剤としてAIBN(アゾビスイソブチロニトリル)0.5質量%を含むゲル電解質前駆体を上記凹部に流し込み、80℃で60分間、熱処理を行って重合反応を促進させ、ポリ(メチルメタクリレート)ゲル電解質を調製した。LLZ微粉体と液体電解質成分とを含む電解質の代わりに、このゲル電解質を用いた以外は、実施例2と同様にして作製したリチウムイオン二次電池について、実施例2と同様にして、レート特性及びサイクル特性を調べた。ただし、サイクル特性を調べる際のCレートを20Cに設定した。充放電曲線を図12(a)に、各サイクルにおける放電容量を図12(b)に示す。
これらの結果から、従来のゲル電解質を用いたリチウムイオン二次電池は、レート特性及びサイクル特性に劣ることが分かった。
[実施例5]
実施例2で得られたLLZ微粉体と実施例2で得られた液体電解質成分とオクタノールとを乳鉢で均等に混合し、25体積%のLLZ微粉体を含む電解質前駆体を得た。なお、液体電解質成分とオクタノールとの重量比は、72.5:27.5であった。
実施例2において、LLZ微粉体と液体電解質成分とを含む電解質の代わりに、この電解質前駆体を上記凹部に流し込み、60℃、24時間の加熱乾燥処理、及び60℃、10分間の真空乾燥処理に供した。その結果、35体積%のLLZ微粉体を含み、自立する電解質を得た。LLZ微粉体含有量の上昇は、オクタノールの蒸発に起因すると考えられる。上記枠体を除去し、櫛型電極及び電解質全体をラミセルに封入して、リチウムイオン二次電池を得た。
このリチウムイオン二次電池について、実施例2と同様にして、レート特性を調べた。充放電曲線を図13に示す。
これらの結果から、上記の通りに作製したリチウムイオン二次電池も、良好なレート特性を有することが分かった。
1a、1b 櫛型電極
2 導電層
2a、2b 集電体
3a、3b 活物質層
4 基板
5 集電体形成用レジスト層
5a、5b 樹脂パターン
6 レジスト層
7a、7b ガイド孔
8、8A 電解質
9、9A カバー部材
10 注液孔
11 支持体
12 1番目のレジスト層
13a、13b ガイド孔
14a、14b パターン材料層
15 2番目のレジスト層
50 接着剤
51a、51b 端子
100、100A 非水二次電池

Claims (4)

  1. それぞれの端面が離間対向するように、実質的に同一平面内に配置された正極及び負極と、
    前記正極及び前記負極を固定支持する基板と、
    前記正極及び前記負極の対向端面間に存在する、前記正極と前記負極との電池反応に関与する電解質と
    を備える非水二次電池であって
    前記電解質は、イオン伝導性無機固体電解質粒子と液体電解質成分とを含有し、
    前記イオン伝導性無機固体電解質粒子は、Li 3p La 2/3−p TiO (0<p<2/3)で表される複合金属酸化物、Li 3p La 2/3−p TiO (0<p<2/3)のLaサイト又はTiサイトの一部又は全てが他の金属で置換されている複合金属酸化物(但し、前記Laサイトを置換することができる金属は、Sr、Na、Nd、Pr、Sm、Gd、Dy、Y、Eu、Tb、及びBaからなる群より選択される少なくとも一種の金属であり、前記Tiサイトを置換することができる金属は、Mg、W、Mn、Al、Ge、Ru、Nb、Ta、Co、Zr、Hf、Fe、Cr、及びGaからなる群より選択される1種の金属である。)、化学式Li La Zr 12 で表される複合金属酸化物、並びにLi La Zr 12 のLaサイト又はZrサイトの一部又は全てが他の金属で置換されている複合金属酸化物(但し、前記Laサイトを置換することができる金属Aは、Y、Nd、Sm、及びGdからなる群より選択される1種の金属であり、前記Zrサイトを置換することができる金属Mは、Nb及びTaからなる群より選択される1種の金属である。)からなる群より選択される少なくとも1種の複合金属酸化物からなる非水二次電池。
  2. それぞれの端面が離間対向するように、基板上に正極及び負極を形成する電極形成工程と、
    前記正極及び前記負極の対向端面間に存在するように、前記正極と前記負極との電池反応に関与する電解質を充填する充填工程と
    を含む非水二次電池の製造方法であって
    前記電解質は、イオン伝導性無機固体電解質粒子と液体電解質成分とを含有し、
    前記イオン伝導性無機固体電解質粒子は、Li 3p La 2/3−p TiO (0<p<2/3)で表される複合金属酸化物、Li 3p La 2/3−p TiO (0<p<2/3)のLaサイト又はTiサイトの一部又は全てが他の金属で置換されている複合金属酸化物(但し、前記Laサイトを置換することができる金属は、Sr、Na、Nd、Pr、Sm、Gd、Dy、Y、Eu、Tb、及びBaからなる群より選択される少なくとも一種の金属であり、前記Tiサイトを置換することができる金属は、Mg、W、Mn、Al、Ge、Ru、Nb、Ta、Co、Zr、Hf、Fe、Cr、及びGaからなる群より選択される1種の金属である。)、化学式Li La Zr 12 で表される複合金属酸化物、並びにLi La Zr 12 のLaサイト又はZrサイトの一部又は全てが他の金属で置換されている複合金属酸化物(但し、前記Laサイトを置換することができる金属Aは、Y、Nd、Sm、及びGdからなる群より選択される1種の金属であり、前記Zrサイトを置換することができる金属Mは、Nb及びTaからなる群より選択される1種の金属である。)からなる群より選択される少なくとも1種の複合金属酸化物からなる非水二次電池の製造方法。
  3. 前記電極形成工程は、
    前記基板の表面に導電層を形成させ、前記導電層をパターニングして集電体を形成させる集電体形成工程と、
    前記集電体形成工程で形成された集電体部分を含む前記基板の表面に、レジスト組成物を塗布してレジスト層を形成させるレジスト塗布工程と、
    前記レジスト層の表面にマスクを通して光を照射し現像することにより、前記集電体の上方に、正極又は負極を形成させるためのガイド孔を形成させるガイド孔形成工程と、
    前記ガイド孔形成工程で形成されたガイド孔を鋳型として、前記集電体の表面に活物質層を形成させる活物質層形成工程と
    を含む請求項2に記載の非水二次電池の製造方法。
  4. それぞれの端面が離間対向するように、実質的に同一平面内に配置された正極及び負極と、
    前記正極及び前記負極を固定支持する基板と、
    前記正極及び前記負極の対向端面間に存在する、前記正極と前記負極との電池反応に関与する電解質と
    を備える非水二次電池用の電解質であって、
    前記電解質は、イオン伝導性無機固体電解質粒子と液体電解質成分とを含有し、
    前記イオン伝導性無機固体電解質粒子は、Li 3p La 2/3−p TiO (0<p<2/3)で表される複合金属酸化物、Li 3p La 2/3−p TiO (0<p<2/3)のLaサイト又はTiサイトの一部又は全てが他の金属で置換されている複合金属酸化物(但し、前記Laサイトを置換することができる金属は、Sr、Na、Nd、Pr、Sm、Gd、Dy、Y、Eu、Tb、及びBaからなる群より選択される少なくとも一種の金属であり、前記Tiサイトを置換することができる金属は、Mg、W、Mn、Al、Ge、Ru、Nb、Ta、Co、Zr、Hf、Fe、Cr、及びGaからなる群より選択される1種の金属である。)、化学式Li La Zr 12 で表される複合金属酸化物、並びにLi La Zr 12 のLaサイト又はZrサイトの一部又は全てが他の金属で置換されている複合金属酸化物(但し、前記Laサイトを置換することができる金属Aは、Y、Nd、Sm、及びGdからなる群より選択される1種の金属であり、前記Zrサイトを置換することができる金属Mは、Nb及びTaからなる群より選択される1種の金属である。)からなる群より選択される少なくとも1種の複合金属酸化物からなる電解質。
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