JP6713112B2 - Compound and method for producing the same - Google Patents

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Description

本発明は、感度に優れる感光性組成物を与える、光重合開始剤として使用し得る化合物と、当該化合物の製造方法とに関する。 The present invention relates to a compound which can be used as a photopolymerization initiator and gives a photosensitive composition having excellent sensitivity, and a method for producing the compound.

液晶表示ディスプレイ等の表示装置は、互いに対向して対となる電極が形成された2枚の基板の間に、液晶層を挟みこむ構造となっている。そして、一方の基板の内側には、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)等の各色の画素領域からなるカラーフィルタが形成されている。このカラーフィルタにおいては、通常、赤色、緑色、青色等の各画素領域を区画するように、ブラックマトリクスが形成されている。 2. Description of the Related Art A display device such as a liquid crystal display has a structure in which a liquid crystal layer is sandwiched between two substrates on which electrodes which are opposed to each other and which form a pair are formed. Then, inside one of the substrates, a color filter including pixel regions of respective colors of red (R), green (G), blue (B) and the like is formed. In this color filter, a black matrix is usually formed so as to partition each pixel region of red, green, blue and the like.

一般に、カラーフィルタはリソグラフィ法により製造される。すなわち、まず、基板上に黒色の感光性組成物を塗布、乾燥させた後、露光、現像し、ブラックマトリクスを形成する。次いで、赤色、緑色、青色等の各色の感光性組成物ごとに、塗布、乾燥、露光、及び現像を繰り返し、各色の画素領域を特定の位置に形成してカラーフィルタを製造する。 Generally, color filters are manufactured by a lithographic method. That is, first, a black photosensitive composition is applied onto a substrate, dried, and then exposed and developed to form a black matrix. Next, coating, drying, exposure, and development are repeated for each photosensitive composition of each color such as red, green, and blue to form pixel regions of each color at specific positions to manufacture a color filter.

近年、液晶表示ディスプレイ等の表示装置の製造にあたっては、ブラックマトリクスによる遮光性を向上させて、表示装置に表示させる画像のコントラストをより一層向上させる試みがなされている。このためには、ブラックマトリクスを形成させるための感光性組成物に遮光剤を多量に含ませることが必要である。しかし、このように感光性組成物に遮光剤を多量に含ませると、基板上に塗布されてなる感光性組成物の膜を露光した際に、感光性組成物を硬化させるための光が膜の底部まで到達し難くなり、硬化性組成物の著しい感度の低下にともなう硬化不良を招来することにつながる。 In recent years, in the manufacture of a display device such as a liquid crystal display, an attempt has been made to improve the light-shielding property of a black matrix to further improve the contrast of an image displayed on the display device. For this purpose, it is necessary to add a large amount of light-shielding agent to the photosensitive composition for forming the black matrix. However, when the photosensitive composition contains a large amount of the light-shielding agent as described above, when the film of the photosensitive composition coated on the substrate is exposed to light, light for curing the photosensitive composition forms a film. It becomes difficult to reach the bottom of the composition, which leads to a curing failure due to a marked decrease in sensitivity of the curable composition.

感光性組成物では、その成分の一部として含まれる光重合開始剤が露光によってラジカルを発生させる。このラジカルが感光性組成物に含まれる重合性の化合物を重合させることによって、感光性組成物が硬化する。そのため、感光性組成物の感度は、それに含まれる光重合開始剤の種類によって影響を受けることが知られている。
また、近年、液晶表示ディスプレイ等の表示装置の生産台数の増大に合わせてカラーフィルタの生産量も増大している。このため、より一層の生産性向上の観点から、低露光量でパターンを形成することのできる高感度の感光性組成物が要望されている。
このような状況において、感光性組成物の感度を良好にすることのできる光重合開始剤として、特許文献1には、シクロアルキル基を有するオキシムエステル化合物が提案されている。特許文献1に記載された実施例では、下記化学式(a)及び(b)で表される化合物が具体的に開示されている。
In the photosensitive composition, the photopolymerization initiator contained as a part of the component generates a radical upon exposure. This radical cures the photosensitive composition by polymerizing the polymerizable compound contained in the photosensitive composition. Therefore, it is known that the sensitivity of the photosensitive composition is influenced by the type of photopolymerization initiator contained therein.
Further, in recent years, the production amount of color filters has increased along with the increase in the production number of display devices such as liquid crystal display displays. Therefore, from the viewpoint of further improving productivity, there is a demand for a highly sensitive photosensitive composition capable of forming a pattern with a low exposure amount.
Under such circumstances, Patent Document 1 proposes an oxime ester compound having a cycloalkyl group as a photopolymerization initiator capable of improving the sensitivity of the photosensitive composition. In the examples described in Patent Document 1, compounds represented by the following chemical formulas (a) and (b) are specifically disclosed.

Figure 0006713112
Figure 0006713112

中華人民共和国公開特許公報 第101508744号People's Republic of China Published Patent Publication No. 101508744

しかし、感光性組成物を用いて各種の表示装置用のパネルを製造する際の、感光性組成物からなる塗布膜を露光する際の露光量は、パネルの生産性の向上の観点からますます低下が望まれている。特許文献1に記載される化合物を含む感光性組成物でも、このような要求に十分に応えられない場合がある。このため、特許文献1に記載される化合物を含む感光性組成物よりも、さらに感度に優れる感光性組成物が要求されている。 However, when manufacturing panels for various display devices using the photosensitive composition, the exposure amount when exposing the coating film made of the photosensitive composition is from the viewpoint of improving the productivity of the panel. A decline is desired. Even the photosensitive composition containing the compound described in Patent Document 1 may not be able to sufficiently meet such requirements. For this reason, there is a demand for a photosensitive composition which is more excellent in sensitivity than the photosensitive composition containing the compound described in Patent Document 1.

本発明は、以上の問題に鑑みてなされたものであり、光重合開始剤として使用可能であり、感度に優れる感光性組成物与える化合物と、当該化合物の製造方法とを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and a compound that can be used as a photopolymerization initiator and that provides a photosensitive composition having excellent sensitivity, and a method for producing the compound, are provided. To do.

本発明者らは、カルバゾール環又はフルオレン環を主骨格として含むオキシムエステル化合物において、カルバゾール環又はフルオレン環上に、それぞれ電子吸引基を有する、アリール基、ヘテロアリール基、炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合から選択される1以上の結合を1以上含む鎖状脂肪族炭化水素基、又はこれらを組み合わせた基を導入することにより上記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。 In the oxime ester compound containing a carbazole ring or a fluorene ring as a main skeleton, the present inventors have an aryl group, a heteroaryl group, a carbon-carbon double bond and an electron-withdrawing group on the carbazole ring or the fluorene ring, respectively. It was found that the above problems can be solved by introducing a chain aliphatic hydrocarbon group containing at least one bond selected from carbon-carbon triple bonds, or a group combining these, and the present invention is completed. Came to.

本発明の第1の態様は、下記式(1)で表される化合物である。

Figure 0006713112
(式(1)中、Rは電子吸引基を表し、Rは、アリーレン基、ヘテロアリーレン基、炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合から選択される1以上の結合を1以上含む鎖状脂肪族炭化水素基、又はこれらを組み合わせた基であり、前記Rは、電子吸引基、チオール基及び1価の有機基から選択される1以上の置換基を有していてもよく、Rは一価の有機基、又は水素原子を表し、Rは1価の有機基又は水素原子を表し、nは、0又は1を表し、Tは下記式(T)又は式(T):
Figure 0006713112
で表される基を表し、
式(T)及び式(T)中、R及びRはそれぞれ独立して、置換されていてもよいアルキル基、又は水素原子を表し、*は結合手を表し、
式(T)中、R及びRは組み合わさって環を形成していてもよい。) The first aspect of the present invention is a compound represented by the following formula (1).
Figure 0006713112
(In the formula (1), R 1 represents an electron-withdrawing group, and R 6 represents one or more bonds selected from an arylene group, a heteroarylene group, a carbon-carbon double bond and a carbon-carbon triple bond. It is a chain aliphatic hydrocarbon group containing, or a group combining these, and R 6 may have one or more substituents selected from an electron-withdrawing group, a thiol group and a monovalent organic group. well, R 4 represents an organic group, or a hydrogen atom, monovalent, R 5 represents a monovalent organic group or a hydrogen atom, n is 0 or 1, T is of the formula (T C), or formula ( TN ):
Figure 0006713112
Represents a group represented by
Wherein (T C) and formula (T N), R 2 and R 3 are each independently optionally substituted alkyl group, or a hydrogen atom, * represents a bond,
In formula (T C ), R 2 and R 3 may combine to form a ring. )

本発明の第2の態様は、式(1)で表され、nが0である第1の態様にかかる化合物を製造する方法であって、
(I)下記式(1a):

Figure 0006713112
(式(1a)中、Tは前記の通り。)
で表される環骨格に、クロスカップリング反応により−R−Rで表される基を導入することと、
(II)前記式(1a)で表される環骨格に、−CO−Rで表されるアシル基を導入した後、−CO−Rで表される基を、−C(=N−OH)−Rで表される基に変換し、さらに、−C(=N−OH)−Rで表される基をエステル化して−C(=N−O−CO−R)−Rで表される基に変換することと、を含む、方法である。 A second aspect of the present invention is a method for producing the compound according to the first aspect, which is represented by formula (1) and n is 0,
(I) The following formula (1a):
Figure 0006713112
(In the formula (1a), T is as described above.)
Introducing a group represented by -R 6 -R 1 into the ring skeleton represented by
The ring structure represented by (II) Formula (1a), after introducing an acyl group represented by -CO-R 4, a group represented by -CO-R 4, -C (= N- converted into a group represented by OH) -R 4, further, -C (= N-OH) -C esterifying a group represented by -R 4 (= N-O- CO-R 5) - It includes converting the group represented by R 4, a, is a method.

本発明の第3の態様は、式(1)で表され、nが1である第1の態様にかかる化合物を製造する方法であって、
(I)下記式(1a):

Figure 0006713112
(式(1a)中、Tは前記の通り。)
で表される環骨格に、クロスカップリング反応により−R−Rで表される基を導入することと、
(II)前記式(1a)で表される環骨格に、−CO−CH−Rで表されるアシル基を導入した後、−CO−CH−Rで表される基を、−CO−C(=N−OH)−Rで表される基に変換し、さらに、−CO−C(=N−OH)−Rで表される基をエステル化して−CO−C(=N−O−CO−R)−Rで表される基に変換することと、を含む、方法である。 A third aspect of the present invention is a method for producing the compound according to the first aspect, which is represented by formula (1) and n is 1,
(I) The following formula (1a):
Figure 0006713112
(In the formula (1a), T is as described above.)
Introducing a group represented by -R 6 -R 1 into the ring skeleton represented by
The ring structure represented by (II) Formula (1a), after introducing an acyl group represented by -CO-CH 2 -R 4, a group represented by -CO-CH 2 -R 4, -CO-C (= N-OH ) is converted into a group represented by -R 4, further, -CO-C (= N- OH) a group represented by -R 4 was esterified -CO-C (= N-O-CO- R 5) -R includes converting the group represented by 4, and a method.

本発明によれば、光重合開始剤として使用可能であり、感度に優れる感光性組成物与える化合物と、当該化合物の製造方法とを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a compound which can be used as a photopolymerization initiator and gives a photosensitive composition having excellent sensitivity, and a method for producing the compound.

感光性組成物を用いて形成されたパターンの幅方向の断面形状を示す模式図であり、(a)は通常のパターンの断面形状を示す図であり、(b)はアンダーカット21を生じたパターンの断面形状を示す図である。It is a schematic diagram which shows the cross-sectional shape of the width direction of the pattern formed using the photosensitive composition, (a) is a figure which shows the cross-sectional shape of a normal pattern, (b) produced the undercut 21. It is a figure which shows the cross-sectional shape of a pattern.

≪化合物≫
以下、下記式(1)で表される化合物について説明する。
<<Compound>>
Hereinafter, the compound represented by the following formula (1) will be described.

Figure 0006713112
(式(1)中、Rは電子吸引基を表し、Rは、アリーレン基、ヘテロアリーレン基、炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合から選択される1以上の結合を1以上含む鎖状脂肪族炭化水素基、又はこれらを組み合わせた基であり、前記Rは、電子吸引基、チオール基及び1価の有機基から選択される1以上の置換基を有していてもよく、Rは1価の有機基、又は水素原子を表し、Rは1価の有機基又は水素原子を表し、nは、0又は1を表し、Tは下記式(T)又は式(T):
Figure 0006713112
で表される基を表し、
式(T)及び式(T)中、R及びRはそれぞれ独立して、置換されていてもよいアルキル基又は水素原子を表し、*は結合手を表し、
式(T)中、R及びRは組み合わさって環を形成していてもよい。)
Figure 0006713112
(In the formula (1), R 1 represents an electron-withdrawing group, and R 6 represents one or more bonds selected from an arylene group, a heteroarylene group, a carbon-carbon double bond and a carbon-carbon triple bond. It is a chain aliphatic hydrocarbon group containing or a group combining these, and R 6 may have one or more substituents selected from an electron-withdrawing group, a thiol group and a monovalent organic group. Often, R 4 represents a monovalent organic group or a hydrogen atom, R 5 represents a monovalent organic group or a hydrogen atom, n represents 0 or 1, and T represents the following formula (T C ) or a formula: ( TN ):
Figure 0006713112
Represents a group represented by
Wherein (T C) and formula (T N), R 2 and R 3 each independently represent an optionally substituted alkyl group or a hydrogen atom, * represents a bond,
In formula (T C ), R 2 and R 3 may combine to form a ring. )

(R及びRについて)
式(1)で表する化合物は、フルオレン環状又はカルバゾール環上に、R−R−で表される電子吸引基を含む基と、その他の所定の構造の基とを組わせて有することにより、感度に優れる。
(Regarding R 1 and R 6 )
The compound represented by the formula (1) has a group containing an electron-withdrawing group represented by R 1 -R 6- and a group having another predetermined structure on a fluorene ring or a carbazole ring. Therefore, the sensitivity is excellent.

が有してもよい置換基や、Rとしての電子吸引基としては、化学分野において一般的に電子吸引基として認識されている官能基であれば特に限定されない。
電子吸引基の好適な例としては、ベンゼンスルホニル基、トルエンスルホニル基、炭素原子数1〜6のアルカンスルホニル基、シアノ基、ニトロ基、ハロゲン原子、及びハロゲン化アルキル基等が挙げられる。これらの電子吸引基の中では、化学的な安定性、式(1)で表される化合物の光に対する感度、式(1)で表される化合物の合成が容易である点等から、ニトロ基、シアノ基、及び炭素原子数1〜6のフルオロアルキル基が好ましい。
The substituent that R 6 may have and the electron withdrawing group as R 1 are not particularly limited as long as they are functional groups generally recognized as electron withdrawing groups in the chemical field.
Preferable examples of the electron-withdrawing group include a benzenesulfonyl group, a toluenesulfonyl group, an alkanesulfonyl group having 1 to 6 carbon atoms, a cyano group, a nitro group, a halogen atom, and a halogenated alkyl group. Among these electron withdrawing groups, a nitro group is preferable because of its chemical stability, the sensitivity of the compound represented by formula (1) to light, and the ease with which the compound represented by formula (1) can be synthesized. , A cyano group, and a fluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms are preferable.

は、アリーレン基、ヘテロアリーレン基、炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合から選択される1以上の結合を1以上含む鎖状脂肪族炭化水素基、又はこれらを組み合わせた基である。また、Rは、電子吸引基、チオール基及び1価の有機基から選択される1以上の置換基を有していてもよい。 R 6 is an arylene group, a heteroarylene group, a chain aliphatic hydrocarbon group containing at least one bond selected from a carbon-carbon double bond and a carbon-carbon triple bond, or a group combining these. is there. Further, R 6 may have one or more substituents selected from an electron-withdrawing group, a thiol group and a monovalent organic group.

がアリーレン基である場合、当該アリーレン基は、芳香族炭化水素から2つの水素原子を除いた基であれば特に限定されない。アリーレン基は、1以上のベンゼン環からなる基が好ましい。アリーレン基が2以上のベンゼン環を含む場合、複数のベンゼン環は、単結合により互いに結合していてもよく、互いに縮合してナフタレン環等の縮合環を形成していてもよい。
アリーレン基は、1〜3のベンゼン環を含むのが好ましく、1又は2のベンゼン環を含むのがより好ましい。
When R 6 is an arylene group, the arylene group is not particularly limited as long as it is a group obtained by removing two hydrogen atoms from an aromatic hydrocarbon. The arylene group is preferably a group composed of one or more benzene rings. When the arylene group contains two or more benzene rings, the plurality of benzene rings may be bonded to each other by a single bond or may be condensed with each other to form a condensed ring such as a naphthalene ring.
The arylene group preferably contains 1 to 3 benzene rings, and more preferably 1 or 2 benzene rings.

アリーレン基の好適な例としては、p−フェニレン基、m−フェニレン基、o−フェニレン基、ナフタレン−1,2−ジイル基、ナフタレン−1,3−ジイル基、ナフタレン1,4−ジイル基、ナフタレン−1,5−ジイル基、ナフタレン−1,7−ジイル基、ナフタレン−1,8−ジイル基、ナフタレン−2,3−ジイル基、ナフタレン−2,6−ジイル基、ナフタレン−2,7−ジイル基、ビフェニル−4,4’−ジイル基、ビフェニル−3,3’−ジイル基、ビフェニル−2,2’−ジイル基、ビフェニル−3,4’−ジイル基、ビフェニル−3,2’−ジイル基、及びビフェニル−2,4’−ジイル基が挙げられる。 Preferable examples of the arylene group include p-phenylene group, m-phenylene group, o-phenylene group, naphthalene-1,2-diyl group, naphthalene-1,3-diyl group, naphthalene-1,4-diyl group, Naphthalene-1,5-diyl group, naphthalene-1,7-diyl group, naphthalene-1,8-diyl group, naphthalene-2,3-diyl group, naphthalene-2,6-diyl group, naphthalene-2,7 -Diyl group, biphenyl-4,4'-diyl group, biphenyl-3,3'-diyl group, biphenyl-2,2'-diyl group, biphenyl-3,4'-diyl group, biphenyl-3,2' -Diyl group, and biphenyl-2,4'-diyl group.

がヘテロアリーレン基である場合、当該ヘテロアリーレン基は、芳香族複素環から2つの水素原子を除いた基であれば特に限定されない。ヘテロアリーレン基は、5員又は6員の芳香環からなる基であって、5員又は6員の芳香族複素環を少なくとも1つ含む基が好ましい。
ヘテロアリーレン基が5員又は6員の芳香環からなる基であって、5員又は6員の芳香族複素環を少なくとも1つ含む基である場合、複数の5員又は6員の芳香環は、単結合により互いに結合していてもよく、互いに縮合して縮合環を形成していてもよい。
ヘテロアリーレン基、1〜3の5員又は6員の芳香環を含むのが好ましく、1又は2の5員又は6員の芳香環を含むのがより好ましい。
When R 6 is a heteroarylene group, the heteroarylene group is not particularly limited as long as it is a group obtained by removing two hydrogen atoms from an aromatic heterocycle. The heteroarylene group is a group consisting of a 5-membered or 6-membered aromatic ring, and preferably a group containing at least one 5-membered or 6-membered aromatic heterocycle.
When the heteroarylene group is a group composed of a 5-membered or 6-membered aromatic ring and is a group containing at least one 5-membered or 6-membered aromatic heterocycle, a plurality of 5-membered or 6-membered aromatic rings are , May be bonded to each other by a single bond, or may be condensed with each other to form a condensed ring.
It preferably contains a heteroarylene group, a 1-3 membered 5- or 6-membered aromatic ring, and more preferably a 1- or 2-membered 5- or 6-membered aromatic ring.

ヘテロアリーレン基の好適な例としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、及びキノキサリン等の芳香族複素環化合物から、炭素原子に結合する2つの水素原子を除いた基が挙げられる。 Suitable examples of the heteroarylene group include furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isoxazole, thiazole, thiadiazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, benzofuran, benzothiophene, indole and iso Two hydrogens attached to a carbon atom from an aromatic heterocyclic compound such as indole, indolizine, benzimidazole, benzotriazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, phthalazine, cinnoline, and quinoxaline. Examples include groups excluding atoms.

炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合から選択される1以上の結合を1以上含む鎖状脂肪族炭化水素基について、その炭素原子数や、炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。
また、炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合から選択される1以上の結合を1以上含む鎖状脂肪族炭化水素基は、直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよく、直鎖状が好ましい。
Regarding the chain aliphatic hydrocarbon group containing one or more bonds selected from carbon-carbon double bond and carbon-carbon triple bond, the number of carbon atoms, carbon-carbon double bond and carbon-carbon triple bond The number of bonds is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired.
Further, the chain aliphatic hydrocarbon group containing at least one bond selected from carbon-carbon double bond and carbon-carbon triple bond may be linear or branched. Well, straight chain is preferable.

炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合から選択される1以上の結合を1以上含む鎖状脂肪族炭化水素基の炭素原子数は、2〜10が好ましく、2〜6がより好ましく、2〜4が特に好ましい。
鎖状脂肪族炭化水素基は、1つの炭素−炭素二重結合を含むアルケニレン基であるか、1つの炭素−炭素三重結合を含むアルキニレン基であるのが好ましい。
The number of carbon atoms of the chain aliphatic hydrocarbon group containing one or more bonds selected from carbon-carbon double bonds and carbon-carbon triple bonds is preferably 2 to 10, more preferably 2 to 6, 2-4 are especially preferable.
The chain aliphatic hydrocarbon group is preferably an alkenylene group containing one carbon-carbon double bond or an alkynylene group containing one carbon-carbon triple bond.

炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合から選択される1以上の結合を1以上含む鎖状脂肪族炭化水素基の好適な例としては、エチレン−1,2−ジイル基、エチン−1,2−ジイル基、プロパ−1−エン−1,2−ジイル基、プロパルギレン基、ペンチニレン基が挙げられる。 Preferable examples of the chain aliphatic hydrocarbon group containing at least one bond selected from carbon-carbon double bond and carbon-carbon triple bond include ethylene-1,2-diyl group and ethyne-1. , 2-diyl group, prop-1-ene-1,2-diyl group, propargylene group and pentynylene group.

例えば、アリーレン基と、炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合から選択される1以上の結合を1以上含む鎖状脂肪族炭化水素基とを組み合わせた基の好ましい例としては、下記の2価の基が挙げられる。
ヘテロアリーレン基と、炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合から選択される1以上の結合を1以上含む鎖状脂肪族炭化水素基とを組み合わせた基の好ましい例としては、下記の2価の基に含まれるアリーレン基を、種々のヘテロアリーレン基に置き換えた基が挙げられる。

Figure 0006713112
For example, preferred examples of groups in which an arylene group and a chain aliphatic hydrocarbon group containing at least one bond selected from carbon-carbon double bond and carbon-carbon triple bond are combined are as follows. A divalent group is mentioned.
Preferred examples of the group in which a heteroarylene group and a chain aliphatic hydrocarbon group containing one or more bonds selected from carbon-carbon double bond and carbon-carbon triple bond are combined are as follows. Examples thereof include groups in which the arylene group contained in the valent group is replaced with various heteroarylene groups.
Figure 0006713112

について、アリーレン基、ヘテロアリーレン基、又は炭素−炭素二重結合及び炭素−炭素三重結合から選択される1以上の結合を1以上含む鎖状脂肪族炭化水素基は、電子吸引基、チオール基及び1価の有機基から選択される1以上の置換基を有していてもよい。
電子吸引基については、前述の通りである。Rが有してもよい置換基としての1価の有機基としては、アルキル基(例えば、メチル基、エチル基)、及びアルコキシ基(例えば、メトキシ基、エトキシ基)が挙げられる。
Regarding R 6 , an arylene group, a heteroarylene group, or a chain aliphatic hydrocarbon group containing at least one bond selected from a carbon-carbon double bond and a carbon-carbon triple bond is an electron-withdrawing group or a thiol group. It may have one or more substituents selected from a group and a monovalent organic group.
The electron withdrawing group is as described above. Examples of the monovalent organic group as a substituent that R 6 may have include an alkyl group (eg, methyl group, ethyl group) and an alkoxy group (eg, methoxy group, ethoxy group).

以上説明した、R−R−で表される電子吸引基を含む基としては、ニトロ基で置換されたアリール基が好ましく、ニトロ基で置換されたフェニル基がより好ましい。
アリール基におけるニトロ基の置換数は特に限定されないが、1〜3が好ましく、1又は2がより好ましく、1が特に好ましい。
ニトロ基で置換されたアリール基の具体例としては、o−ニトロフェニル、m−ニトロフェニル基、p−ニトロフェニル基、2,3−ジニトロフェニル基、2,4−ジニトロフェニル基、2,5−ジニトロフェニル基、2,6−ジニトロフェニル基、3,4−ジニトロフェニル基、3,5−ジニトロフェニル基、2−ニトロナフタレン−1−イル基、3−ニトロナフタレン−1−イル基、4−ニトロナフタレン−1−イル基、5−ニトロナフタレン−1−イル基、6−ニトロナフタレン−1−イル基、7−ニトロナフタレン−1−イル基、8−ニトロナフタレン−1−イル基、3−ニトロナフタレン−2−イル基、6−ニトロナフタレン−2−イル基、及び7−ニトロナフタレン−2−イル基が挙げられる。
これらの基の中では、m−ニトロフェニル基、及びp−ニトロフェニル基がより好ましい。
As the group including the electron-withdrawing group represented by R 1 -R 6 — described above, an aryl group substituted with a nitro group is preferable, and a phenyl group substituted with a nitro group is more preferable.
The substitution number of the nitro group in the aryl group is not particularly limited, but is preferably 1 to 3, more preferably 1 or 2, and particularly preferably 1.
Specific examples of the aryl group substituted with a nitro group include o-nitrophenyl, m-nitrophenyl group, p-nitrophenyl group, 2,3-dinitrophenyl group, 2,4-dinitrophenyl group and 2,5. -Dinitrophenyl group, 2,6-dinitrophenyl group, 3,4-dinitrophenyl group, 3,5-dinitrophenyl group, 2-nitronaphthalen-1-yl group, 3-nitronaphthalen-1-yl group, 4 -Nitronaphthalen-1-yl group, 5-nitronaphthalen-1-yl group, 6-nitronaphthalen-1-yl group, 7-nitronaphthalen-1-yl group, 8-nitronaphthalen-1-yl group, 3 Examples include a -nitronaphthalen-2-yl group, a 6-nitronaphthalen-2-yl group, and a 7-nitronaphthalen-2-yl group.
Among these groups, the m-nitrophenyl group and the p-nitrophenyl group are more preferable.

(式(T)及び式(T)に含まれるR及びRについて)
式(1)中のTは、前述の式(T)で表される基、又は式(T)で表される基である。式(T)及び式(T)に含まれるR及びRは、それぞれ、置換されていてもよいアルキル基又は水素原子である。式(T)においては、RとRとは相互に結合して環を形成してもよい。これらの基の中では、R及びRとして、置換されていてもよいアルキル基が好ましい。R及びRが置換されていてもよいアルキル基である場合、アルキル基は直鎖アルキル基でも分岐鎖アルキル基でもよい。
(For R 2 and R 3 are included in formula (T C) and formula (T N))
T in the formula (1) is a group represented by the group represented by the aforementioned formula (T C), or Formula (T N). R 2 and R 3 included in the formula (T C ) and the formula ( TN ) are an optionally substituted alkyl group or a hydrogen atom. In formula (T C ), R 2 and R 3 may combine with each other to form a ring. Of these groups, R 2 and R 3 are preferably an optionally substituted alkyl group. When R 2 and R 3 are an optionally substituted alkyl group, the alkyl group may be a straight chain alkyl group or a branched chain alkyl group.

及びRが置換基を持たないアルキル基である場合、当該アルキル基の炭素原子数は、1〜20が好ましく、1〜10がより好ましく、1〜6が特に好ましい。R及びRがアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル基、sec−ペンチル基、tert−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソオクチル基、sec−オクチル基、tert−オクチル基、n−ノニル基、イソノニル基、n−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。 When R 2 and R 3 are alkyl groups having no substituent, the number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 10, and particularly preferably 1 to 6. When R 2 and R 3 are alkyl groups, specific examples thereof include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n. -Pentyl group, isopentyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isooctyl group, sec-octyl group, tert-octyl group, n-nonyl group, Examples thereof include isononyl group, n-decyl group, and isodecyl group.

及びRが置換基を有するアルキル基である場合、アルキル基の炭素原子数は、1〜20が好ましく、1〜10がより好ましく、1〜6が特に好ましい。この場合、置換基の炭素原子数は、鎖状アルキル基の炭素原子数に含まれない。置換基を有するアルキル基は、直鎖状であっても分岐鎖状であってもよく、直鎖状であるのが好ましい。 When R 2 and R 3 are alkyl groups having a substituent, the alkyl group preferably has 1 to 20 carbon atoms, more preferably 1 to 10 carbon atoms, and particularly preferably 1 to 6 carbon atoms. In this case, the number of carbon atoms of the substituent is not included in the number of carbon atoms of the chain alkyl group. The alkyl group having a substituent may be linear or branched, and is preferably linear.

アルキル基が有してもよい置換基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。置換基の好適な例としては、シアノ基、ハロゲン原子、環状有機基、アルコキシ基、及びアルコキシカルボニル基が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。これらの中では、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が好ましい。
環状有機基としては、シクロアルキル基、芳香族炭化水素基、ヘテロシクリル基が挙げられる。
シクロアルキル基の炭素原子数は、3〜10が好ましく、3〜6がより好ましい。シクロアルキル基の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニリル基、アントリル基、及びフェナントリル基等が挙げられる。
ヘテロシクリル基は、1以上のN、S、Oを含む5員又は6員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、縮合する環の数は3以下である。ヘテロシクリル基は、芳香族基(ヘテロアリール基)であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。R及びRがヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。
アルコキシ基としては、炭素原子数1〜10のアルコキシ基が好ましく、炭素原子数1〜6のアルコキシ基がより好ましく、炭素原子数1〜4のアルコキシ基が特に好ましい。具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、n−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、sec−ブチルオキシ基、tert−ブチルオキシ基、n−ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、sec−ペンチルオキシ基、tert−ペンチルオキシ基、及びn−ヘキシルオキシ基が挙げられる。
アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシカルボニル基に含まれるアルコキシ基の炭素原子数は、1〜10が好ましく、1〜6がより好ましい。具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、n−プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、n−ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、sec−ブチルオキシカルボニル基、tert−ブチルオキシカルボニル基、n−ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、sec−ペンチルオキシカルボニル基、tert−ペンチルオキシカルボニル基、及びn−ヘキシルオキシカルボニル基が挙げられる。
The substituent that the alkyl group may have is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired. Preferable examples of the substituent include a cyano group, a halogen atom, a cyclic organic group, an alkoxy group, and an alkoxycarbonyl group.
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom. Among these, a fluorine atom, a chlorine atom and a bromine atom are preferable.
Examples of the cyclic organic group include a cycloalkyl group, an aromatic hydrocarbon group and a heterocyclyl group.
3-10 are preferable and, as for the carbon atom number of a cycloalkyl group, 3-6 are more preferable. Specific examples of the cycloalkyl group include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group and the like.
Examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a naphthyl group, a biphenylyl group, an anthryl group, and a phenanthryl group.
The heterocyclyl group is a 5- or 6-membered monocycle containing one or more N, S, and O, or is a heterocyclyl group in which such monocycles are condensed with each other or the monocycle is condensed with a benzene ring. When the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of condensed rings is 3 or less. The heterocyclyl group may be an aromatic group (heteroaryl group) or a non-aromatic group. The heterocyclic ring constituting the heterocyclyl group, furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isoxazole, thiazole, thiadiazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, benzofuran, benzothiophene, indole, Examples include isoindole, indolizine, benzimidazole, benzotriazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, phthalazine, cinnoline, quinoxaline, piperidine, piperazine, morpholine, piperidine, tetrahydropyran, and tetrahydrofuran. To be When R 2 and R 3 are heterocyclyl groups, the heterocyclyl group may further have a substituent.
As the alkoxy group, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms is preferable, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable, and an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is particularly preferable. Specific examples thereof include methoxy group, ethoxy group, n-propyloxy group, isopropyloxy group, n-butyloxy group, isobutyloxy group, sec-butyloxy group, tert-butyloxy group, n-pentyloxy group, isopentyloxy group. , Sec-pentyloxy group, tert-pentyloxy group, and n-hexyloxy group.
The alkoxy group contained in the alkoxycarbonyl group may be linear or branched, and is preferably linear. 1-10 are preferable and, as for the carbon atom number of the alkoxy group contained in an alkoxycarbonyl group, 1-6 are more preferable. Specific examples include methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, n-propyloxycarbonyl group, isopropyloxycarbonyl group, n-butyloxycarbonyl group, isobutyloxycarbonyl group, sec-butyloxycarbonyl group, tert-butyloxycarbonyl group. , N-pentyloxycarbonyl group, isopentyloxycarbonyl group, sec-pentyloxycarbonyl group, tert-pentyloxycarbonyl group, and n-hexyloxycarbonyl group.

アルキル基が置換基を有する場合、置換基の数は特に限定されない。好ましい置換基の数は鎖状アルキル基の炭素原子数に応じて変わる。置換基の数は、典型的には、1〜20であり、1〜10が好ましく、1〜6がより好ましい。 When the alkyl group has a substituent, the number of substituents is not particularly limited. The preferred number of substituents depends on the number of carbon atoms in the chain alkyl group. The number of substituents is typically 1 to 20, preferably 1 to 10, and more preferably 1 to 6.

とRとは相互に結合して環を形成してもよい。RとRとが形成する環からなる基は、シクロアルキリデン基であるのが好ましい。RとRとが結合してシクロアルキリデン基を形成する場合、シクロアルキリデン基を構成する環は、5員環〜6員環であるのが好ましく、5員環であるのがより好ましい。 R 2 and R 3 may combine with each other to form a ring. The group consisting of the ring formed by R 2 and R 3 is preferably a cycloalkylidene group. When R 2 and R 3 combine to form a cycloalkylidene group, the ring forming the cycloalkylidene group is preferably a 5-membered ring to a 6-membered ring, and more preferably a 5-membered ring.

とRとが結合して形成する基がシクロアルキリデン基である場合、シクロアルキリデン基は、1以上の他の環と縮合していてもよい。シクロアルキリデン基と縮合していてもよい環の例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、シクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロオクタン環、フラン環、チオフェン環、ピロール環、ピリジン環、ピラジン環、及びピリミジン環等が挙げられる。 When the group formed by combining R 2 and R 3 is a cycloalkylidene group, the cycloalkylidene group may be condensed with one or more other rings. Examples of the ring which may be condensed with the cycloalkylidene group include a benzene ring, a naphthalene ring, a cyclobutane ring, a cyclopentane ring, a cyclohexane ring, a cycloheptane ring, a cyclooctane ring, a furan ring, a thiophene ring, a pyrrole ring and a pyridine ring. Ring, pyrazine ring, pyrimidine ring and the like.

以上説明したR及びRの中でも好適な基の例としては、式−A−Aで表される基が挙げられる。式中、Aは直鎖アルキレン基であり、Aは、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、環状有機基、又はアルコキシカルボニル基である。 Examples of preferable groups among R 2 and R 3 described above include groups represented by the formula —A 1 —A 2 . In the formula, A 1 is a linear alkylene group, and A 2 is an alkoxy group, a cyano group, a halogen atom, a halogenated alkyl group, a cyclic organic group, or an alkoxycarbonyl group.

の直鎖アルキレン基の炭素原子数は、1〜10が好ましく、1〜6がより好ましい。Aがアルコキシ基である場合、アルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。アルコキシ基の炭素原子数は、1〜10が好ましく、1〜6がより好ましく、1〜4が特に好ましい。
がハロゲン原子である場合、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。
がハロゲン化アルキル基である場合、ハロゲン化アルキル基に含まれるハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が好ましく、フッ素原子、塩素原子、臭素原子がより好ましい。ハロゲン化アルキル基は、直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。
が環状有機基である場合、環状有機基の例は、R及びRが置換基として有する環状有機基と同様である。Aがアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の例は、R及びRが置換基として有するアルコキシカルボニル基と同様である。
The number of carbon atoms in a straight chain alkylene group A 1 is 1 to 10 preferably 1 to 6 is more preferable. When A 2 is an alkoxy group, the alkoxy group may be linear or branched, and is preferably linear. 1-10 are preferable, as for the carbon atom number of an alkoxy group, 1-6 are more preferable, and 1-4 are especially preferable.
When A 2 is a halogen atom, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom are preferable, and a fluorine atom, a chlorine atom and a bromine atom are more preferable.
When A 2 is a halogenated alkyl group, the halogen atom contained in the halogenated alkyl group is preferably a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom or an iodine atom, more preferably a fluorine atom, a chlorine atom or a bromine atom. The halogenated alkyl group may be linear or branched, and is preferably linear.
When A 2 is a cyclic organic group, examples of the cyclic organic group are the same as the cyclic organic groups that R 2 and R 3 have as a substituent. When A 2 is an alkoxycarbonyl group, examples of the alkoxycarbonyl group are the same as the alkoxycarbonyl group which R 2 and R 3 have as a substituent.

及びRの好適な具体例としては、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、及びn−オクチル基等のアルキル基;2−メトキシエチル基、3−メトキシ−n−プロピル基、4−メトキシ−n−ブチル基、5−メトキシ−n−ペンチル基、6−メトキシ−n−ヘキシル基、7−メトキシ−n−ヘプチル基、8−メトキシ−n−オクチル基、2−エトキシエチル基、3−エトキシ−n−プロピル基、4−エトキシ−n−ブチル基、5−エトキシ−n−ペンチル基、6−エトキシ−n−ヘキシル基、7−エトキシ−n−ヘプチル基、及び8−エトキシ−n−オクチル基等のアルコキシアルキル基;2−シアノエチル基、3−シアノ−n−プロピル基、4−シアノ−n−ブチル基、5−シアノ−n−ペンチル基、6−シアノ−n−ヘキシル基、7−シアノ−n−ヘプチル基、及び8−シアノ−n−オクチル基等のシアノアルキル基;2−フェニルエチル基、3−フェニル−n−プロピル基、4−フェニル−n−ブチル基、5−フェニル−n−ペンチル基、6−フェニル−n−ヘキシル基、7−フェニル−n−ヘプチル基、及び8−フェニル−n−オクチル基等のフェニルアルキル基;2−シクロヘキシルエチル基、3−シクロヘキシル−n−プロピル基、4−シクロヘキシル−n−ブチル基、5−シクロヘキシル−n−ペンチル基、6−シクロヘキシル−n−ヘキシル基、7−シクロヘキシル−n−ヘプチル基、8−シクロヘキシル−n−オクチル基、2−シクロペンチルエチル基、3−シクロペンチル−n−プロピル基、4−シクロペンチル−n−ブチル基、5−シクロペンチル−n−ペンチル基、6−シクロペンチル−n−ヘキシル基、7−シクロペンチル−n−ヘプチル基、及び8−シクロペンチル−n−オクチル基等のシクロアルキルアルキル基;2−メトキシカルボニルエチル基、3−メトキシカルボニル−n−プロピル基、4−メトキシカルボニル−n−ブチル基、5−メトキシカルボニル−n−ペンチル基、6−メトキシカルボニル−n−ヘキシル基、7−メトキシカルボニル−n−ヘプチル基、8−メトキシカルボニル−n−オクチル基、2−エトキシカルボニルエチル基、3−エトキシカルボニル−n−プロピル基、4−エトキシカルボニル−n−ブチル基、5−エトキシカルボニル−n−ペンチル基、6−エトキシカルボニル−n−ヘキシル基、7−エトキシカルボニル−n−ヘプチル基、及び8−エトキシカルボニル−n−オクチル基等のアルコキシカルボニルアルキル基;2−クロロエチル基、3−クロロ−n−プロピル基、4−クロロ−n−ブチル基、5−クロロ−n−ペンチル基、6−クロロ−n−ヘキシル基、7−クロロ−n−ヘプチル基、8−クロロ−n−オクチル基、2−ブロモエチル基、3−ブロモ−n−プロピル基、4−ブロモ−n−ブチル基、5−ブロモ−n−ペンチル基、6−ブロモ−n−ヘキシル基、7−ブロモ−n−ヘプチル基、8−ブロモ−n−オクチル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基、及び3,3,4,4,5,5,5−ヘプタフルオロ−n−ペンチル基等のハロゲン化アルキル基が挙げられる。 Preferable specific examples of R 2 and R 3 include alkyl groups such as ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, and n-octyl group. 2-methoxyethyl group, 3-methoxy-n-propyl group, 4-methoxy-n-butyl group, 5-methoxy-n-pentyl group, 6-methoxy-n-hexyl group, 7-methoxy-n-heptyl Group, 8-methoxy-n-octyl group, 2-ethoxyethyl group, 3-ethoxy-n-propyl group, 4-ethoxy-n-butyl group, 5-ethoxy-n-pentyl group, 6-ethoxy-n- Alkoxyalkyl groups such as hexyl group, 7-ethoxy-n-heptyl group and 8-ethoxy-n-octyl group; 2-cyanoethyl group, 3-cyano-n-propyl group, 4-cyano-n-butyl group, Cyanoalkyl groups such as 5-cyano-n-pentyl group, 6-cyano-n-hexyl group, 7-cyano-n-heptyl group and 8-cyano-n-octyl group; 2-phenylethyl group, 3- Phenyl-n-propyl group, 4-phenyl-n-butyl group, 5-phenyl-n-pentyl group, 6-phenyl-n-hexyl group, 7-phenyl-n-heptyl group, and 8-phenyl-n- Phenylalkyl group such as octyl group; 2-cyclohexylethyl group, 3-cyclohexyl-n-propyl group, 4-cyclohexyl-n-butyl group, 5-cyclohexyl-n-pentyl group, 6-cyclohexyl-n-hexyl group, 7-cyclohexyl-n-heptyl group, 8-cyclohexyl-n-octyl group, 2-cyclopentylethyl group, 3-cyclopentyl-n-propyl group, 4-cyclopentyl-n-butyl group, 5-cyclopentyl-n-pentyl group , A cycloalkylalkyl group such as a 6-cyclopentyl-n-hexyl group, a 7-cyclopentyl-n-heptyl group, and an 8-cyclopentyl-n-octyl group; 2-methoxycarbonylethyl group, 3-methoxycarbonyl-n-propyl group Group, 4-methoxycarbonyl-n-butyl group, 5-methoxycarbonyl-n-pentyl group, 6-methoxycarbonyl-n-hexyl group, 7-methoxycarbonyl-n-heptyl group, 8-methoxycarbonyl-n-octyl group Group, 2-ethoxycarbonylethyl group, 3-ethoxycarbonyl-n-propyl group, 4-ethoxycarbonyl-n-butyl group, 5-ethoxycarbonyl-n-pentyl group, 6-ethoxycarbonyl-n-hexyl group An alkoxycarbonylalkyl group such as a 7-ethoxycarbonyl-n-heptyl group and an 8-ethoxycarbonyl-n-octyl group; 2-chloroethyl group, 3-chloro-n-propyl group, 4-chloro-n-butyl group , 5-chloro-n-pentyl group, 6-chloro-n-hexyl group, 7-chloro-n-heptyl group, 8-chloro-n-octyl group, 2-bromoethyl group, 3-bromo-n-propyl group , 4-bromo-n-butyl group, 5-bromo-n-pentyl group, 6-bromo-n-hexyl group, 7-bromo-n-heptyl group, 8-bromo-n-octyl group, 3,3. Examples thereof include 3-trifluoropropyl group and halogenated alkyl groups such as 3,3,4,4,5,5,5-heptafluoro-n-pentyl group.

及びRとして、上記の中でも好適な基は、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、2−メトキシエチル基、2−シアノエチル基、2−フェニルエチル基、2−シクロヘキシルエチル基、2−メトキシカルボニルエチル基、2−クロロエチル基、2−ブロモエチル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基、及び3,3,4,4,5,5,5−ヘプタフルオロ−n−ペンチル基である。 As R 2 and R 3 , groups suitable among the above are ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, 2-methoxyethyl group, 2-cyanoethyl group, 2 -Phenylethyl group, 2-cyclohexylethyl group, 2-methoxycarbonylethyl group, 2-chloroethyl group, 2-bromoethyl group, 3,3,3-trifluoropropyl group, and 3,3,4,4,5. It is a 5,5-heptafluoro-n-pentyl group.

(Rについて)
は、1価の有機基又は水素原子である。1価の有機基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。
の好適な有機基の例としては、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基、シクロアルコキシ基、飽和脂肪族アシル基、アルコキシカルボニル基、飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいフェノキシ基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよいフェノキシカルボニル基、置換基を有してもよいベンゾイルオキシ基、置換基を有してもよいフェニルアルキル基、置換基を有してもよいフェノキシアルキル基、置換基を有してもよいフェニルチオアルキル基、N−置換アミノアルキル基、N,N−ジ置換アミノアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトキシ基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよいナフトキシカルボニル基、置換基を有してもよいナフトイルオキシ基、置換基を有してもよいナフチルアルキル基、置換基を有してもよいナフトキシアルキル基、置換基を有してもよいナフチルチオアルキル基、置換基を有してもよいヘテロシクリル基、置換基を有してもよいヘテロシクリルカルボニル基、1、又は2の有機基で置換されたアミノ基、モルホリン−1−イル基、及びピペラジン−1−イル基等が挙げられる。
また、Rとしてはシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェノキシアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基、も好ましい。
(About R 4 )
R 4 is a monovalent organic group or a hydrogen atom. The monovalent organic group is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired.
Examples of suitable organic groups for R 4 include an alkyl group, an alkoxy group, a cycloalkyl group, a cycloalkoxy group, a saturated aliphatic acyl group, an alkoxycarbonyl group, a saturated aliphatic acyloxy group, and a substituent. Phenyl group, phenoxy group which may have a substituent, benzoyl group which may have a substituent, phenoxycarbonyl group which may have a substituent, benzoyloxy group which may have a substituent, substituted Phenylalkyl group which may have a group, phenoxyalkyl group which may have a substituent, phenylthioalkyl group which may have a substituent, N-substituted aminoalkyl group, N,N-disubstituted amino Alkyl group, naphthyl group which may have a substituent, naphthoxy group which may have a substituent, naphthoyl group which may have a substituent, naphthoxycarbonyl group which may have a substituent, substituted A naphthoyloxy group which may have a group, a naphthylalkyl group which may have a substituent, a naphthoxyalkyl group which may have a substituent, a naphthylthioalkyl group which may have a substituent, A heterocyclyl group which may have a substituent, a heterocyclylcarbonyl group which may have a substituent, an amino group substituted by 1 or 2 organic groups, a morpholin-1-yl group, and a piperazin-1-yl group Groups and the like.
R 4 is also preferably a cycloalkylalkyl group, a phenoxyalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring, or a phenylthioalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring.

がアルキル基である場合、アルキル基の炭素原子数は、1〜20が好ましく、1〜6がより好ましい。また、Rがアルキル基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Rがアルキル基である場合の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、イソペンチル基、sec−ペンチル基、tert−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソオクチル基、sec−オクチル基、tert−オクチル基、n−ノニル基、イソノニル基、n−デシル基、及びイソデシル基等が挙げられる。また、Rがアルキル基である場合、アルキル基は炭素鎖中にエーテル結合(−O−)を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルキル基の例としては、メトキシエチル基、エトキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピルオキシエトキシエチル基、及びメトキシプロピル基等が挙げられる。 When R 4 is an alkyl group, the alkyl group preferably has 1 to 20 carbon atoms, and more preferably has 1 to 6 carbon atoms. When R 4 is an alkyl group, it may be linear or branched. When R 4 is an alkyl group, specific examples thereof include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group. , Isopentyl group, sec-pentyl group, tert-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, isooctyl group, sec-octyl group, tert-octyl group, n-nonyl group, isononyl group, Examples thereof include n-decyl group and isodecyl group. Further, when R 4 is an alkyl group, the alkyl group may include an ether bond (—O—) in the carbon chain. Examples of the alkyl group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, and a methoxypropyl group.

がアルコキシ基である場合、アルコキシ基の炭素原子数は、1〜20が好ましく、1〜6がより好ましい。また、Rがアルコキシ基である場合、直鎖であっても、分岐鎖であってもよい。Rがアルコキシ基である場合の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、n−プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、n−ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、sec−ブチルオキシ基、tert−ブチルオキシ基、n−ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、sec−ペンチルオキシ基、tert−ペンチルオキシ基、n−ヘキシルオキシ基、n−ヘプチルオキシ基、n−オクチルオキシ基、イソオクチルオキシ基、sec−オクチオキシル基、tert−オクチルオキシ基、n−ノニルオキシ基、イソノニルオキシ基、n−デシルオキシ基、及びイソデシルオキシ基等が挙げられる。また、Rがアルコキシ基である場合、アルコキシ基は炭素鎖中にエーテル結合(−O−)を含んでいてもよい。炭素鎖中にエーテル結合を有するアルコキシ基の例としては、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基、メトキシエトキシエトキシ基、エトキシエトキシエトキシ基、プロピルオキシエトキシエトキシ基、及びメトキシプロピルオキシ基等が挙げられる。 When R 4 is an alkoxy group, the number of carbon atoms in the alkoxy group is preferably 1-20, more preferably 1-6. When R 4 is an alkoxy group, it may be linear or branched. When R 4 is an alkoxy group, specific examples thereof include methoxy group, ethoxy group, n-propyloxy group, isopropyloxy group, n-butyloxy group, isobutyloxy group, sec-butyloxy group, tert-butyloxy group, n. -Pentyloxy group, isopentyloxy group, sec-pentyloxy group, tert-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, isooctyloxy group, sec-octyoxyl group, Examples thereof include a tert-octyloxy group, an n-nonyloxy group, an isononyloxy group, an n-decyloxy group, and an isodecyloxy group. Further, when R 4 is an alkoxy group, the alkoxy group may include an ether bond (—O—) in the carbon chain. Examples of the alkoxy group having an ether bond in the carbon chain include a methoxyethoxy group, an ethoxyethoxy group, a methoxyethoxyethoxy group, an ethoxyethoxyethoxy group, a propyloxyethoxyethoxy group, and a methoxypropyloxy group.

がシクロアルキル基又はシクロアルコキシ基である場合、シクロアルキル基又はシクロアルコキシ基の炭素原子数は、3〜10が好ましく、3〜6がより好ましい。Rがシクロアルキル基である場合の具体例としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、及びシクロオクチル基等が挙げられる。Rがシクロアルコキシ基である場合の具体例としては、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、シクロヘプチルオキシ基、及びシクロオクチルオキシ基等が挙げられる。 When R 4 is a cycloalkyl group or a cycloalkoxy group, the cycloalkyl group or the cycloalkoxy group preferably has 3 to 10 carbon atoms, and more preferably has 3 to 6 carbon atoms. When R 4 is a cycloalkyl group, specific examples thereof include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group and the like. Specific examples of the case where R 4 is a cycloalkoxy group include a cyclopropyloxy group, a cyclobutyloxy group, a cyclopentyloxy group, a cyclohexyloxy group, a cycloheptyloxy group, and a cyclooctyloxy group.

が飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基である場合、飽和脂肪族アシル基又は飽和脂肪族アシルオキシ基の炭素原子数は、2〜21が好ましく、2〜7がより好ましい。Rが飽和脂肪族アシル基である場合の具体例としては、アセチル基、プロパノイル基、n−ブタノイル基、2−メチルプロパノイル基、n−ペンタノイル基、2,2−ジメチルプロパノイル基、n−ヘキサノイル基、n−ヘプタノイル基、n−オクタノイル基、n−ノナノイル基、n−デカノイル基、n−ウンデカノイル基、n−ドデカノイル基、n−トリデカノイル基、n−テトラデカノイル基、n−ペンタデカノイル基、及びn−ヘキサデカノイル基等が挙げられる。Rが飽和脂肪族アシルオキシ基である場合の具体例としては、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、n−ブタノイルオキシ基、2−メチルプロパノイルオキシ基、n−ペンタノイルオキシ基、2,2−ジメチルプロパノイルオキシ基、n−ヘキサノイルオキシ基、n−ヘプタノイルオキシ基、n−オクタノイルオキシ基、n−ノナノイルオキシ基、n−デカノイルオキシ基、n−ウンデカノイルオキシ基、n−ドデカノイルオキシ基、n−トリデカノイルオキシ基、n−テトラデカノイルオキシ基、n−ペンタデカノイルオキシ基、及びn−ヘキサデカノイルオキシ基等が挙げられる。 When R 4 is a saturated aliphatic acyl group or a saturated aliphatic acyloxy group, the saturated aliphatic acyl group or the saturated aliphatic acyloxy group preferably has 2 to 21 carbon atoms, and more preferably has 2 to 7 carbon atoms. When R 4 is a saturated aliphatic acyl group, specific examples thereof include acetyl group, propanoyl group, n-butanoyl group, 2-methylpropanoyl group, n-pentanoyl group, 2,2-dimethylpropanoyl group, n. -Hexanoyl group, n-heptanoyl group, n-octanoyl group, n-nonanoyl group, n-decanoyl group, n-undecanoyl group, n-dodecanoyl group, n-tridecanoyl group, n-tetradecanoyl group, n-pentadeca Examples thereof include a noyl group and an n-hexadecanoyl group. When R 4 is a saturated aliphatic acyloxy group, specific examples thereof include acetyloxy group, propanoyloxy group, n-butanoyloxy group, 2-methylpropanoyloxy group, n-pentanoyloxy group, 2, 2-dimethylpropanoyloxy group, n-hexanoyloxy group, n-heptanoyloxy group, n-octanoyloxy group, n-nonanoyloxy group, n-decanoyloxy group, n-undecanoyloxy group, n -Dodecanoyloxy group, n-tridecanoyloxy group, n-tetradecanoyloxy group, n-pentadecanoyloxy group, n-hexadecanoyloxy group, etc. are mentioned.

がアルコキシカルボニル基である場合、アルコキシカルボニル基の炭素原子数は、2〜20が好ましく、2〜7がより好ましい。Rがアルコキシカルボニル基である場合の具体例としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、n−プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、n−ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、sec−ブチルオキシカルボニル基、tert−ブチルオキシカルボニル基、n−ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、sec−ペンチルオキシカルボニル基、tert−ペンチルオキシカルボニル基、n−ヘキシルオキシカルボニル基、n−ヘプチルオキシカルボニル基、n−オクチルオキシカルボニル基、イソオクチルオキシカルボニル基、sec−オクチオキシルカルボニル基、tert−オクチルオキシカルボニル基、n−ノニルオキシカルボニル基、イソノニルオキシカルボニル基、n−デシルオキシカルボニル基、及びイソデシルオキシカルボニル基等が挙げられる。 When R 4 is an alkoxycarbonyl group, the number of carbon atoms of the alkoxycarbonyl group is preferably 2-20, more preferably 2-7. Specific examples of the case where R 4 is an alkoxycarbonyl group include methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, n-propyloxycarbonyl group, isopropyloxycarbonyl group, n-butyloxycarbonyl group, isobutyloxycarbonyl group, sec-butyl. Oxycarbonyl group, tert-butyloxycarbonyl group, n-pentyloxycarbonyl group, isopentyloxycarbonyl group, sec-pentyloxycarbonyl group, tert-pentyloxycarbonyl group, n-hexyloxycarbonyl group, n-heptyloxycarbonyl group Group, n-octyloxycarbonyl group, isooctyloxycarbonyl group, sec-octyloxycarbonyl group, tert-octyloxycarbonyl group, n-nonyloxycarbonyl group, isononyloxycarbonyl group, n-decyloxycarbonyl group, and Examples thereof include an isodecyloxycarbonyl group.

がフェニルアルキル基である場合、フェニルアルキル基の炭素原子数は、7〜20が好ましく、7〜10がより好ましい。また、Rがナフチルアルキル基である場合、ナフチルアルキル基の炭素原子数は、11〜20が好ましく、11〜14がより好ましい。
がフェニルアルキル基である場合の具体例としては、ベンジル基、2−フェニルエチル基、3−フェニルプロピル基、及び4−フェニルブチル基が挙げられる。
がナフチルアルキル基である場合の具体例としては、α−ナフチルメチル基、β−ナフチルメチル基、2−(α−ナフチル)エチル基、及び2−(β−ナフチル)エチル基が挙げられる。
が、フェニルアルキル基、又はナフチルアルキル基である場合、Rは、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。
When R 4 is a phenylalkyl group, the phenylalkyl group preferably has 7 to 20 carbon atoms, and more preferably 7 to 10 carbon atoms. Moreover, when R 4 is a naphthylalkyl group, the number of carbon atoms of the naphthylalkyl group is preferably 11 to 20, and more preferably 11 to 14.
When R 4 is a phenylalkyl group, specific examples include a benzyl group, a 2-phenylethyl group, a 3-phenylpropyl group, and a 4-phenylbutyl group.
When R 4 is a naphthylalkyl group, specific examples thereof include an α-naphthylmethyl group, a β-naphthylmethyl group, a 2-(α-naphthyl)ethyl group, and a 2-(β-naphthyl)ethyl group. ..
When R 4 is a phenylalkyl group or a naphthylalkyl group, R 4 may further have a substituent on the phenyl group or the naphthyl group.

がフェノキシアルキル基、フェニルチオアルキル基、ナフトキシアルキル基、及びナフチルチオアルキル基である場合に、これらの基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、1〜20が好ましく、1〜6がより好ましい。また、当該アルキレン基は、直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよく、直鎖状が好ましい。
フェノキシアルキル基の具体例としては、2−フェノキシエチル基、3−フェノキシ−n−プロピル基、4−フェノキシ−n−ブチル基、5−フェノキシ−n−ペンチル基、及び6−フェノキシ−n−ヘキシル基が挙げられる。
フェニルチオアルキル基の具体例としては、2−フェニルチオエチル基、3−フェニルチオ−n−プロピル基、4−フェニルチオ−n−ブチル基、5−フェニルチオ−n−ペンチル基、及び6−フェニルチオ−n−ヘキシル基が挙げられる。
ナフトキシアルキル基の具体例としては、2−(α−ナフトキシ)エチル基、3−(α−ナフトキシ)−n−プロピル基、4−(α−ナフトキシ)−n−ブチル基、5−(α−ナフトキシ)−n−ペンチル基、6−(α−ナフトキシ)−n−ヘキシル基、2−(β−ナフトキシ)エチル基、3−(β−ナフトキシ)−n−プロピル基、4−(β−ナフトキシ)−n−ブチル基、5−(β−ナフトキシ)−n−ペンチル基、及び6−(β−ナフトキシ)−n−ヘキシル基が挙げられる。
ナフチルチオアルキル基の具体例としては、2−(α−ナフチルチオ)エチル基、3−(α−ナフチルチオ)−n−プロピル基、4−(α−ナフチルチオ)−n−ブチル基、5−(α−ナフチルチオ)−n−ペンチル基、6−(α−ナフチルチオ)−n−ヘキシル基、2−(β−ナフチルチオ)エチル基、3−(β−ナフチルチオ)−n−プロピル基、4−(β−ナフチルチオ)−n−ブチル基、5−(β−ナフチルチオ)−n−ペンチル基、及び6−(β−ナフチルチオ)−n−ヘキシル基が挙げられる。
が、フェノキシアルキル基、フェニルチオアルキル基、ナフトキシアルキル基、又はナフチルチオアルキル基である場合、Rは、フェニル基、又はナフチル基上にさらに置換基を有していてもよい。
When R 4 is a phenoxyalkyl group, a phenylthioalkyl group, a naphthoxyalkyl group, and a naphthylthioalkyl group, the alkylene group contained in these groups preferably has 1 to 20 carbon atoms, and 1 to 6 carbon atoms. Is more preferable. Further, the alkylene group may be linear or branched, and is preferably linear.
Specific examples of the phenoxyalkyl group include 2-phenoxyethyl group, 3-phenoxy-n-propyl group, 4-phenoxy-n-butyl group, 5-phenoxy-n-pentyl group, and 6-phenoxy-n-hexyl group. Groups.
Specific examples of the phenylthioalkyl group include a 2-phenylthioethyl group, a 3-phenylthio-n-propyl group, a 4-phenylthio-n-butyl group, a 5-phenylthio-n-pentyl group, and a 6-phenylthio-n group. A hexyl group.
Specific examples of the naphthoxyalkyl group include a 2-(α-naphthoxy)ethyl group, a 3-(α-naphthoxy)-n-propyl group, a 4-(α-naphthoxy)-n-butyl group, and a 5-(α -Naphthoxy)-n-pentyl group, 6-(α-naphthoxy)-n-hexyl group, 2-(β-naphthoxy)ethyl group, 3-(β-naphthoxy)-n-propyl group, 4-(β- Examples include naphthoxy)-n-butyl group, 5-(β-naphthoxy)-n-pentyl group, and 6-(β-naphthoxy)-n-hexyl group.
Specific examples of the naphthylthioalkyl group include 2-(α-naphthylthio)ethyl group, 3-(α-naphthylthio)-n-propyl group, 4-(α-naphthylthio)-n-butyl group and 5-(α -Naphthylthio)-n-pentyl group, 6-(α-naphthylthio)-n-hexyl group, 2-(β-naphthylthio)ethyl group, 3-(β-naphthylthio)-n-propyl group, 4-(β- Examples thereof include a naphthylthio)-n-butyl group, a 5-(β-naphthylthio)-n-pentyl group, and a 6-(β-naphthylthio)-n-hexyl group.
When R 4 is a phenoxyalkyl group, a phenylthioalkyl group, a naphthoxyalkyl group, or a naphthylthioalkyl group, R 4 may further have a substituent on the phenyl group or the naphthyl group.

がヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基は、1以上のN、S、Oを含む5員又は6員の単環であるか、かかる単環同士、又はかかる単環とベンゼン環とが縮合したヘテロシクリル基である。ヘテロシクリル基が縮合環である場合は、縮合する環の数は3以下である。ヘテロシクリル基は、芳香族基(ヘテロアリール基)であっても、非芳香族基であってもよい。かかるヘテロシクリル基を構成する複素環としては、フラン、チオフェン、ピロール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、チアジアゾール、イソチアゾール、イミダゾール、ピラゾール、トリアゾール、ピリジン、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、インドール、イソインドール、インドリジン、ベンゾイミダゾール、ベンゾトリアゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、カルバゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、シンノリン、キノキサリン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、ピペリジン、テトラヒドロピラン、及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。Rがヘテロシクリル基である場合、ヘテロシクリル基はさらに置換基を有していてもよい。 When R 4 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group is a 5- or 6-membered monocycle containing one or more N, S, and O, or such monocycles are condensed with each other or such monocycles and benzene rings are condensed. It is a heterocyclyl group. When the heterocyclyl group is a condensed ring, the number of condensed rings is 3 or less. The heterocyclyl group may be an aromatic group (heteroaryl group) or a non-aromatic group. The heterocyclic ring constituting the heterocyclyl group, furan, thiophene, pyrrole, oxazole, isoxazole, thiazole, thiadiazole, isothiazole, imidazole, pyrazole, triazole, pyridine, pyrazine, pyrimidine, pyridazine, benzofuran, benzothiophene, indole, Examples include isoindole, indolizine, benzimidazole, benzotriazole, benzoxazole, benzothiazole, carbazole, purine, quinoline, isoquinoline, quinazoline, phthalazine, cinnoline, quinoxaline, piperidine, piperazine, morpholine, piperidine, tetrahydropyran, and tetrahydrofuran. To be When R 4 is a heterocyclyl group, the heterocyclyl group may further have a substituent.

がヘテロシクリルカルボニル基である場合、ヘテロシクリルカルボニル基に含まれるヘテロシクリル基は、Rがヘテロシクリル基である場合と同様である。 When R 4 is a heterocyclylcarbonyl group, the heterocyclyl group contained in the heterocyclylcarbonyl group is the same as when R 4 is a heterocyclyl group.

がN−置換アミノアルキル基、又はN,N−ジ置換アミノアルキル基、である場合、窒素原子に結合する置換基としては有機基が好ましい。
有機基の好適な例は、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数3〜10のシクロアルキル基、炭素原子数2〜21の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数2〜21の飽和脂肪族アシルオキシ基、置換基を有してもよいフェニル基、置換基を有してもよいベンゾイル基、置換基を有してもよい炭素原子数7〜20のフェニルアルキル基、置換基を有してもよいナフチル基、置換基を有してもよいナフトイル基、置換基を有してもよい炭素原子数11〜20のナフチルアルキル基、及びヘテロシクリル基等が挙げられる。
N−置換アミノアルキル基、又はN,N−ジ置換アミノアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、1〜20が好ましく、1〜6がより好ましい。また、当該アルキレン基は、直鎖状であっても、分岐鎖状であってもよい。
N−置換アミノアルキル基の具体例としては、2−(メチルアミノ)エチル基、2−(エチルアミノ)エチル基、2−(n−プロピルアミノ)エチル基、2−(n−ブチルアミノ)エチル基、3−(メチルアミノ)n−プロピル基、3−(エチルアミノ)n−プロピル基、3−(n−プロピルアミノ)n−プロピル基、3−(n−ブチルアミノ)n−プロピル基、2−(メチルアミノ)n−プロピル基、2−(エチルアミノ)n−プロピル基、2−(n−プロピルアミノ)n−プロピル基、2−(n−ブチルアミノ)n−プロピル基、2−(アセチルアミノ)エチル基、2−(プロピオニルアミノ)エチル基、2−(アセトキシアミノ)エチル基、2−(プロピオニルオキシアミノ)エチル基、3−(アセチルアミノ)n−プロピル基、3−(プロピオニルアミノ)n−プロピル基、3−(アセトキシアミノ)n−プロピル基、3−(プロピオニルオキシアミノ)n−プロピル基、2−(アセチルアミノ)n−プロピル基、2−(プロピオニルアミノ)n−プロピル基、2−(アセトキシアミノ)n−プロピル基、及び2−(プロピオニルオキシアミノ)n−プロピル基が挙げられる。
N,N−ジ置換アミノアルキル基の具体例としては、2−(N,N−ジメチルアミノ)エチル基、2−(N,N−ジエチルアミノ)エチル基、2−(N,N−ジ−n−プロピルアミノ)エチル基、2−(N,N−ジ−n−ブチルアミノ)エチル基、3−(N,N−ジメチルアミノ)n−プロピル基、3−(N,N−ジエチルアミノ)n−プロピル基、3−(N,N−ジ−n−プロピルアミノ)n−プロピル基、3−(N,N−ジ−n−ブチルアミノ)n−プロピル基、2−(N,N−ジメチルアミノ)n−プロピル基、2−(N,N−ジエチルアミノ)n−プロピル基、2−(N,N−ジ−n−プロピルアミノ)n−プロピル基、2−(N,N−ジ−n−ブチルアミノ)n−プロピル基、2−(N,N−ジアセチルアミノ)エチル基、2−(N,N−ジプロピオニルアミノ)エチル基、2−(N,N−ジアセトキシアミノ)エチル基、2−(N,N−ジプロピオニルオキシアミノ)エチル基、3−(N,N−ジアセチルアミノ)n−プロピル基、3−(N,N−ジプロピオニルアミノ)n−プロピル基、3−(N,N−ジアセトキシアミノ)n−プロピル基、3−(N,N−ジプロピオニルオキシアミノ)n−プロピル基、2−(N,N−ジアセチルアミノ)n−プロピル基、2−(N,N−ジプロピオニルアミノ)n−プロピル基、2−(N,N−ジアセトキシアミノ)n−プロピル基、2−(N,N−ジプロピオニルオキシアミノ)n−プロピル基、2−(N−アセチル−N−アセトキシアミノ)エチル基、2−(N−プロピオニル−N−プロピオニルオキシアミノ)エチル基、3−(N−アセチル−N−アセトキシアミノ)n−プロピル基、3−(N−プロピオニル−N−プロピオニルオキシアミノ)n−プロピル基、2−(N−アセチル−N−アセトキシアミノ)n−プロピル基、及び2−(N−プロピオニル−N−プロピオニルオキシアミノ)n−プロピル基が挙げられる。
When R 4 is an N-substituted aminoalkyl group or an N,N-disubstituted aminoalkyl group, the substituent bonded to the nitrogen atom is preferably an organic group.
Suitable examples of the organic group include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a saturated aliphatic acyl group having 2 to 21 carbon atoms, and a saturated alkyl group having 2 to 21 carbon atoms. An aliphatic acyloxy group, a phenyl group which may have a substituent, a benzoyl group which may have a substituent, a phenylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms which may have a substituent, and a substituent. A naphthyl group which may be substituted, a naphthoyl group which may be substituted, a naphthylalkyl group having 11 to 20 carbon atoms which may be substituted, and a heterocyclyl group.
The number of carbon atoms of the alkylene group contained in the N-substituted aminoalkyl group or the N,N-disubstituted aminoalkyl group is preferably 1 to 20, and more preferably 1 to 6. Further, the alkylene group may be linear or branched.
Specific examples of the N-substituted aminoalkyl group include a 2-(methylamino)ethyl group, a 2-(ethylamino)ethyl group, a 2-(n-propylamino)ethyl group, and a 2-(n-butylamino)ethyl group. Group, 3-(methylamino)n-propyl group, 3-(ethylamino)n-propyl group, 3-(n-propylamino)n-propyl group, 3-(n-butylamino)n-propyl group, 2-(methylamino)n-propyl group, 2-(ethylamino)n-propyl group, 2-(n-propylamino)n-propyl group, 2-(n-butylamino)n-propyl group, 2- (Acetylamino)ethyl group, 2-(propionylamino)ethyl group, 2-(acetoxyamino)ethyl group, 2-(propionyloxyamino)ethyl group, 3-(acetylamino)n-propyl group, 3-(propionyl) Amino)n-propyl group, 3-(acetoxyamino)n-propyl group, 3-(propionyloxyamino)n-propyl group, 2-(acetylamino)n-propyl group, 2-(propionylamino)n-propyl group And a 2-(acetoxyamino)n-propyl group and a 2-(propionyloxyamino)n-propyl group.
Specific examples of the N,N-disubstituted aminoalkyl group include a 2-(N,N-dimethylamino)ethyl group, a 2-(N,N-diethylamino)ethyl group, and a 2-(N,N-di-n group. -Propylamino)ethyl group, 2-(N,N-di-n-butylamino)ethyl group, 3-(N,N-dimethylamino)n-propyl group, 3-(N,N-diethylamino)n- Propyl group, 3-(N,N-di-n-propylamino)n-propyl group, 3-(N,N-di-n-butylamino)n-propyl group, 2-(N,N-dimethylamino) ) N-Propyl group, 2-(N,N-diethylamino)n-propyl group, 2-(N,N-di-n-propylamino)n-propyl group, 2-(N,N-di-n-) Butylamino)n-propyl group, 2-(N,N-diacetylamino)ethyl group, 2-(N,N-dipropionylamino)ethyl group, 2-(N,N-diacetoxyamino)ethyl group, 2 -(N,N-dipropionyloxyamino)ethyl group, 3-(N,N-diacetylamino)n-propyl group, 3-(N,N-dipropionylamino)n-propyl group, 3-(N, N-diacetoxyamino)n-propyl group, 3-(N,N-dipropionyloxyamino)n-propyl group, 2-(N,N-diacetylamino)n-propyl group, 2-(N,N- Dipropionylamino)n-propyl group, 2-(N,N-diacetoxyamino)n-propyl group, 2-(N,N-dipropionyloxyamino)n-propyl group, 2-(N-acetyl-N -Acetoxyamino)ethyl group, 2-(N-propionyl-N-propionyloxyamino)ethyl group, 3-(N-acetyl-N-acetoxyamino)n-propyl group, 3-(N-propionyl-N-propionyl And oxyamino)n-propyl group, 2-(N-acetyl-N-acetoxyamino)n-propyl group, and 2-(N-propionyl-N-propionyloxyamino)n-propyl group.

に含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合の置換基としては、炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数1〜6のアルコキシ基、炭素原子数2〜7の飽和脂肪族アシル基、炭素原子数2〜7のアルコキシカルボニル基、炭素原子数2〜7の飽和脂肪族アシルオキシ基、炭素原子数1〜6のアルキル基を有するモノアルキルアミノ基、炭素原子数1〜6のアルキル基を有するジアルキルアミノ基、モルホリン−1−イル基、ピペラジン−1−イル基、ハロゲン、ニトロ基、及びシアノ基等が挙げられる。Rに含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基がさらに置換基を有する場合、その置換基の数は、本発明の目的を阻害しない範囲で限定されないが、1〜4が好ましい。Rに含まれる、フェニル基、ナフチル基、及びヘテロシクリル基が、複数の置換基を有する場合、複数の置換基は、同一であっても異なっていてもよい。 When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R 4 further have a substituent, the substituent is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, or a carbon atom. A saturated aliphatic acyl group having 2 to 7 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 7 carbon atoms, a saturated aliphatic acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, and a monoalkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms , A dialkylamino group having an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a morpholin-1-yl group, a piperazin-1-yl group, a halogen, a nitro group, a cyano group and the like. When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R 4 further have substituents, the number of the substituents is not limited as long as the object of the present invention is not impaired, but is preferably 1 to 4. When the phenyl group, naphthyl group, and heterocyclyl group contained in R 4 have a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

有機基の中でも、Rとしては、アルキル基、シクロアルキル基、置換基を有していてもよいフェニル基、又はシクロアルキルアルキル基、芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基が好ましい。アルキル基としては、炭素原子数1〜20のアルキル基が好ましく、炭素原子数1〜8のアルキル基がより好ましく、炭素原子数1〜4のアルキル基が特に好ましく、メチル基が最も好ましい。置換基を有していてもよいフェニル基の中では、メチルフェニル基が好ましく、2−メチルフェニル基がより好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるシクロアルキル基の炭素原子数は、5〜10が好ましく、5〜8がより好ましく、5又は6が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、1〜8が好ましく、1〜4がより好ましく、2が特に好ましい。シクロアルキルアルキル基の中では、シクロペンチルエチル基が好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基に含まれるアルキレン基の炭素原子数は、1〜8が好ましく、1〜4がより好ましく、2が特に好ましい。芳香環上に置換基を有していてもよいフェニルチオアルキル基の中では、2−(4−クロロフェニルチオ)エチル基が好ましい。 Among the organic groups, R 4 is an alkyl group, a cycloalkyl group, a phenyl group which may have a substituent, a cycloalkylalkyl group or a phenylthio which may have a substituent on the aromatic ring. Alkyl groups are preferred. As the alkyl group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is preferable, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms is more preferable, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms is particularly preferable, and a methyl group is most preferable. Among the phenyl groups which may have a substituent, a methylphenyl group is preferable, and a 2-methylphenyl group is more preferable. 5-10 are preferable, as for the carbon atom number of the cycloalkyl group contained in a cycloalkylalkyl group, 5-8 are more preferable, and 5 or 6 is especially preferable. 1-8 are preferable, as for the carbon atom number of the alkylene group contained in a cycloalkylalkyl group, 1-4 are more preferable, and 2 is especially preferable. Of the cycloalkylalkyl groups, the cyclopentylethyl group is preferred. 1-8 are preferable, as for the carbon atom number of the alkylene group contained in the phenylthioalkyl group which may have a substituent on the aromatic ring, 1-4 are more preferable, and 2 is especially preferable. Among the phenylthioalkyl groups which may have a substituent on the aromatic ring, a 2-(4-chlorophenylthio)ethyl group is preferred.

また、Rとしては、−A−CO−O−Aで表される基も好ましい。Aは、2価の有機基であり、2価の炭化水素基であるのが好ましく、アルキレン基であるのがより好ましい。Aは、1価の有機基であり、1価の炭化水素基であるのが好ましい。 Further, as R 4 , a group represented by —A 3 —CO—O—A 4 is also preferable. A 3 is a divalent organic group, preferably a divalent hydrocarbon group, and more preferably an alkylene group. A 4 is a monovalent organic group, and preferably a monovalent hydrocarbon group.

がアルキレン基である場合、アルキレン基は直鎖状でも分岐鎖状でもよく、直鎖状が好ましい。Aがアルキレン基である場合、アルキレン基の炭素原子数は1〜10が好ましく、1〜6がより好ましく、1〜4が特に好ましい。 When A 3 is an alkylene group, the alkylene group may be linear or branched, and is preferably linear. When A 3 is an alkylene group, the alkylene group preferably has 1 to 10 carbon atoms, more preferably has 1 to 6 carbon atoms, and particularly preferably has 1 to 4 carbon atoms.

の好適な例としては、炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数7〜20のアラルキル基、及び炭素原子数6〜20の芳香族炭化水素基が挙げられる。Aの好適な具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、ベンジル基、フェネチル基、α−ナフチルメチル基、及びβ−ナフチルメチル基等が挙げられる。 Preferable examples of A 4 include an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms, and an aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms. Preferable specific examples of A 4 include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group. Group, phenyl group, naphthyl group, benzyl group, phenethyl group, α-naphthylmethyl group, β-naphthylmethyl group and the like.

−A−CO−O−Aで表される基の好適な具体例としては、2−メトキシカルボニルエチル基、2−エトキシカルボニルエチル基、2−n−プロピルオキシカルボニルエチル基、2−n−ブチルオキシカルボニルエチル基、2−n−ペンチルオキシカルボニルエチル基、2−n−ヘキシルオキシカルボニルエチル基、2−ベンジルオキシカルボニルエチル基、2−フェノキシカルボニルエチル基、3−メトキシカルボニル−n−プロピル基、3−エトキシカルボニル−n−プロピル基、3−n−プロピルオキシカルボニル−n−プロピル基、3−n−ブチルオキシカルボニル−n−プロピル基、3−n−ペンチルオキシカルボニル−n−プロピル基、3−n−ヘキシルオキシカルボニル−n−プロピル基、3−ベンジルオキシカルボニル−n−プロピル基、及び3−フェノキシカルボニル−n−プロピル基等が挙げられる。 Specific preferred examples of the group represented by —A 3 —CO—O—A 4 include a 2-methoxycarbonylethyl group, a 2-ethoxycarbonylethyl group, a 2-n-propyloxycarbonylethyl group, and a 2-n. -Butyloxycarbonylethyl group, 2-n-pentyloxycarbonylethyl group, 2-n-hexyloxycarbonylethyl group, 2-benzyloxycarbonylethyl group, 2-phenoxycarbonylethyl group, 3-methoxycarbonyl-n-propyl Group, 3-ethoxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-propyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-butyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-n-pentyloxycarbonyl-n-propyl group , 3-n-hexyloxycarbonyl-n-propyl group, 3-benzyloxycarbonyl-n-propyl group, and 3-phenoxycarbonyl-n-propyl group.

以上、Rについて説明したが、Rとしては、下記式(R4−1)又は(R4−2)で表される基が好ましい。

Figure 0006713112
(式(R4−1)及び(R4−2)中、R及びRはそれぞれ有機基であり、pは0〜4の整数であり、R及びRがベンゼン環上の隣接する位置に存在する場合、RとRとが互いに結合して環を形成してもよく、qは1〜8の整数であり、rは1〜5の整数であり、sは0〜(r+3)の整数であり、Rは有機基である。) Having described R 4, as is R 4, preferably a group represented by the following formula (R4-1) or (R4-2).
Figure 0006713112
(In formulas (R4-1) and (R4-2), R 7 and R 8 are each an organic group, p is an integer of 0 to 4, and R 7 and R 8 are adjacent positions on the benzene ring. R 7 and R 8 may combine with each other to form a ring, q is an integer of 1 to 8, r is an integer of 1 to 5 and s is 0 to (r+3. ) And R 9 is an organic group.)

式(R4−1)中のR及びRについての有機基の例は、Rと同様である。Rとしては、アルキル基又はフェニル基が好ましい。Rがアルキル基である場合、その炭素原子数は、1〜10が好ましく、1〜5がより好ましく、1〜3が特に好ましく、1が最も好ましい。つまり、Rはメチル基であるのが最も好ましい。RとRとが結合して環を形成する場合、当該環は、芳香族環でもよく、脂肪族環でもよい。式(R4−1)で表される基であって、RとRとが環を形成している基の好適な例としては、ナフタレン−1−イル基や、1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−5−イル基等が挙げられる。上記式(R4−1)中、pは0〜4の整数であり、0又は1であるのが好ましく、0であるのがより好ましい。 Examples of the organic group for R 7 and R 8 in formula (R4-1) are the same as for R 1 . R 7 is preferably an alkyl group or a phenyl group. When R 7 is an alkyl group, its carbon atom number is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 5, particularly preferably 1 to 3, and most preferably 1. That is, it is most preferable that R 7 is a methyl group. When R 7 and R 8 combine to form a ring, the ring may be an aromatic ring or an aliphatic ring. Suitable examples of the group represented by the formula (R4-1) in which R 7 and R 8 form a ring include naphthalen-1-yl group, 1, 2, 3, and 4-tetrahydronaphthalen-5-yl group and the like can be mentioned. In the above formula (R4-1), p is an integer of 0 to 4, preferably 0 or 1, and more preferably 0.

上記式(R4−2)中、Rは有機基である。有機基としては、Rについて説明した有機基と同様の基が挙げられる。有機基の中では、アルキル基が好ましい。アルキル基は直鎖状でも分岐鎖状でもよい。アルキル基の炭素原子数は1〜10が好ましく、1〜5がより好ましく、1〜3が特に好ましい。Rとしては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基であることがより好ましい。 In the formula (R4-2), R 9 is an organic group. Examples of the organic group include the same groups as the organic groups described for R 1 . Of the organic groups, the alkyl group is preferred. The alkyl group may be linear or branched. 1-10 are preferable, as for carbon number of an alkyl group, 1-5 are more preferable, and 1-3 are especially preferable. Preferred examples of R 9 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, and the like, and among these, a methyl group is more preferred.

上記式(R4−2)中、rは1〜5の整数であり、1〜3の整数が好ましく、1又は2がより好ましい。上記式(R4−2)中、sは0〜(r+3)であり、0〜3の整数が好ましく、0〜2の整数がより好ましく、0が特に好ましい。上記式(R4−2)中、qは1〜8の整数であり、1〜5の整数が好ましく、1〜3の整数がより好ましく、1又は2が特に好ましい。 In the above formula (R4-2), r is an integer of 1 to 5, preferably an integer of 1 to 3, and more preferably 1 or 2. In said formula (R4-2), s is 0-(r+3), the integer of 0-3 is preferable, the integer of 0-2 is more preferable, and 0 is especially preferable. In the above formula (R4-2), q is an integer of 1 to 8, preferably an integer of 1 to 5, more preferably an integer of 1 to 3, and particularly preferably 1 or 2.

(Rについて)
式(1)中、Rは、1価の有機基、又は水素原子である。1価の有機基としては、例えば、置換基を有してもよい炭素原子数1〜11のアルキル基、又は置換基を有してもよいアリール基である。Rがアルキル基である場合に有してもよい置換基としては、フェニル基、ナフチル基等が好ましく例示される。また、Rがアリール基である場合に有してもよい置換基としては、炭素原子数1〜5のアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子等が好ましく例示される。
(About R 5 )
In formula (1), R 5 is a monovalent organic group or a hydrogen atom. The monovalent organic group is, for example, an alkyl group having 1 to 11 carbon atoms which may have a substituent, or an aryl group which may have a substituent. Preferable examples of the substituent that R 5 may have when R 5 is an alkyl group include a phenyl group and a naphthyl group. When R 1 is an aryl group, examples of the substituent that the aryl group may have include an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group, and a halogen atom.

式(1)中、Rとしては、水素原子、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、フェニル基、ベンジル基、メチルフェニル基、ナフチル基等が好ましく例示され、これらの中でも、メチル基又はフェニル基がより好ましい。 In formula (1), R 5 is preferably exemplified by hydrogen atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, phenyl group, benzyl group, methylphenyl group, naphthyl group and the like. Of these, a methyl group or a phenyl group is more preferable.

式(1)においてTが式(T)で表される基である場合、式(1)で表される化合物としては、下記式(1C)で表される化合物が好ましい。

Figure 0006713112
(式(1C)中、R、R、R、R、R、R、及びnは前記の通り。) When T in the formula (1) is a group represented by the formula (T C), as the compound represented by formula (1), a compound represented by the following formula (1C) are preferred.
Figure 0006713112
(In the formula (1C), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , and n are as described above.)

また、式(1C)で表される化合物の中では、下記式(1C−1)又は(1C−2)で表される化合物が好ましい。

Figure 0006713112
Further, among the compounds represented by the formula (1C), the compounds represented by the following formula (1C-1) or (1C-2) are preferable.
Figure 0006713112

式(1)においてTが式(T)で表される基である場合、式(1)で表される化合物としては、下記式(1N)で表される化合物が好ましい。

Figure 0006713112
(式(1N)中、R、R、R、R、R、及びnは前記の通り。) When T in the formula (1) is a group represented by the formula ( TN ), the compound represented by the formula (1) is preferably a compound represented by the following formula (1N).
Figure 0006713112
(In the formula (1N), R 1 , R 2 , R 4 , R 5 , R 6 , and n are as described above.)

また、式(1N)で表される化合物の中では、下記式(1N−1)又は(1N−2)で表される化合物が好ましい。

Figure 0006713112
Further, among the compounds represented by the formula (1N), the compounds represented by the following formula (1N-1) or (1N-2) are preferable.
Figure 0006713112

式(1)で表される化合物の好適な具体例としては、以下の化合物1〜化合物144が挙げられる。

Figure 0006713112
Suitable specific examples of the compound represented by the formula (1) include the following compounds 1 to 144.
Figure 0006713112

Figure 0006713112
Figure 0006713112

Figure 0006713112
Figure 0006713112

Figure 0006713112
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Figure 0006713112
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Figure 0006713112
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Figure 0006713112
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Figure 0006713112
Figure 0006713112

Figure 0006713112
Figure 0006713112

以上説明した、式(1)で表される化合物は高感度であり、感度に優れる感光性組成物を与える。 The compound represented by the formula (1) described above has high sensitivity and gives a photosensitive composition excellent in sensitivity.

≪化合物の製造方法≫
前述の式(1)で表される化合物の製造方法は特に限定されない。
式(1)で表される化合物は、nが0である場合には、例えば、
(I)下記式(1a):

Figure 0006713112
(式(1a)中、Tは前記の通り。)
で表される環骨格に、クロスカップリング反応により−R−Rで表される基を導入することと、
(II)式(1a)で表される環骨格に、−CO−Rで表されるアシル基を導入した後、−CO−Rで表される基を、−C(=N−OH)−Rで表される基に変換し、さらに、−C(=N−OH)−Rで表される基をエステル化して−C(=N−O−CO−R)−Rで表される基に変換することと、を含む、方法により製造される。 ≪Compound production method≫
The method for producing the compound represented by the above formula (1) is not particularly limited.
When n is 0, the compound represented by the formula (1) is, for example,
(I) The following formula (1a):
Figure 0006713112
(In the formula (1a), T is as described above.)
Introducing a group represented by -R 6 -R 1 into the ring skeleton represented by
The ring structure represented by formula (II) (1a), after introducing an acyl group represented by -CO-R 4, a group represented by -CO-R 4, -C (= N-OH ) -R into a group represented by 4, further, -C (= N-OH) -C esterifying a group represented by -R 4 (= N-O- CO-R 5) -R And converting to a group represented by 4 .

また、式(1)で表される化合物は、nが1である場合には、例えば、
(I)下記式(1a):

Figure 0006713112
(式(1a)中、Tは前記の通り。)
で表される環骨格に、クロスカップリング反応により−R−Rで表される基を導入することと、
(II)式(1a)で表される環骨格に、−CO−CH−Rで表されるアシル基を導入した後、−CO−CH−Rで表される基を、−CO−C(=N−OH)−Rで表される基に変換し、さらに、−CO−C(=N−OH)−Rで表される基をエステル化して−CO−C(=N−O−CO−R)−Rで表される基に変換することと、を含む、方法により製造される。 Further, in the case where n is 1, the compound represented by the formula (1) is, for example,
(I) The following formula (1a):
Figure 0006713112
(In the formula (1a), T is as described above.)
Introducing a group represented by -R 6 -R 1 into the ring skeleton represented by
The ring structure represented by formula (II) (1a), after introducing an acyl group represented by -CO-CH 2 -R 4, a group represented by -CO-CH 2 -R 4, - CO-C (= N-OH ) is converted into a group represented by -R 4, further, -CO-C (= N- OH) is esterified to a group represented by -R 4 -CO-C ( = includes converting the group represented by N-O-CO-R 5 ) -R 4, and is manufactured by the method.

上記の方法において、工程(I)と、工程(II)とのいずれが先に行われてもよい。また、工程(II)は多段階の操作を含むが、工程(I)は、工程(II)のいずれのタイミングで実施されてもよい。 In the above method, either step (I) or step (II) may be performed first. Further, although the step (II) includes a multi-step operation, the step (I) may be performed at any timing of the step (II).

上記の方法において工程(II)で、オキシム基(=N−OH)を、=N−O−CORで表されるオキシムエステル基に変換する方法は特に限定されない。典型的には、オキシム基中の水酸基に、−CORで表されるアシル基を与えるアシル化剤を反応させる方法が挙げられる。アシル化剤としては、(RCO)Oで表される酸無水物や、RCOHal(Halはハロゲン原子)で表される酸ハライドが挙げられる。 The method of converting the oxime group (=N-OH) to the oxime ester group represented by =N-O-COR 5 in step (II) in the above method is not particularly limited. Typically, a method of reacting a hydroxyl group in the oxime group with an acylating agent which gives an acyl group represented by —COR 5 can be mentioned. Examples of the acylating agent include an acid anhydride represented by (R 5 CO) 2 O and an acid halide represented by R 5 COHal (Hal is a halogen atom).

nが0である場合、式(1)で表される化合物は、一例として、下記スキーム1に従って合成することができる。
なお、下記スキーム1では、式(1a)で表される環骨格を有するハロゲン化化合物と、−R−Rで表される基を含むホウ素化合物とを用いてクロスカップリング反応を行っているが、式(1a)で表される環骨格を有するホウ素化合物と、−R−Rで表される基を含むハロゲン化化合物とを用いてクロスカップリング反応を行ってもよい。
また、クロスカップリング反応は、
・式(1a)で表される環骨格に、−CO−Rで表されるアシル基を導入した後、
・−CO−Rで表される基を、−C(=N−OH)−Rで表される基に変換した後、及び
・−C(=N−OH)−Rで表される基をエステル化して−C(=N−O−CO−R)−Rで表される基に変換した後のいずれのタイミングで実施されてもよい。
When n is 0, the compound represented by the formula (1) can be synthesized according to the following scheme 1 as an example.
Note that in Scheme 1 below, a cross-coupling reaction is performed using a halogenated compound having a ring skeleton represented by the formula (1a) and a boron compound containing a group represented by —R 6 —R 1. However, the cross-coupling reaction may be performed using a boron compound having a ring skeleton represented by the formula (1a) and a halogenated compound containing a group represented by —R 6 —R 1 .
In addition, the cross coupling reaction
After introducing an acyl group represented by —CO—R 4 into the ring skeleton represented by the formula (1a),
The · -CO-R group represented by 4 is represented by -C (= N-OH) was converted to a group represented by -R 4, and · -C (= N-OH) -R 4 based on may be implemented in any timing after conversion into the group represented by esterified -C (= N-O-CO -R 5) -R 4 that.

まず、化合物1Aに、フリーデルクラフツアシル化反応により、−CO−Rで表されるアシル基を導入し、化合物1Bが得られる。−CO−Rで表されるアシル基を導入するためのアシル化剤は、Hal−CO−Rで表されるハロカルボニル化合物であってもよく、(RCO)O酸無水物であってもよい。アシル化剤としては、Hal−CO−Rで表されるハロカルボニル化合物が好ましい。Halはハロゲン原子である。アシル基が導入される位置は、フリーデルクラフツ反応の条件を適宜変更したり、アシル化される位置の他の位置に保護及び脱保護を施したりする方法で、選択することができる。 First, a compound 1B is obtained by introducing an acyl group represented by —CO—R 4 into compound 1A by a Friedel-Crafts acylation reaction. The acylating agent for introducing the acyl group represented by —CO—R 4 may be a halocarbonyl compound represented by Hal—CO—R 4 , and may be (R 4 CO) 2 O acid anhydride. May be As the acylating agent, a halocarbonyl compound represented by Hal-CO-R 4 is preferable. Hal is a halogen atom. The position at which the acyl group is introduced can be selected by appropriately changing the conditions of the Friedel-Crafts reaction, or by performing protection and deprotection on the other position of the acylated position.

化合物1A中のTが式(T)で表される基である場合、例えば、ブロモフルオレン(好ましくは2−ブロモフルオレン)等のハロゲン化フルオレンを、カリウムtert−ブトキシド等の塩基と、R−Hal、及びR−Halと反応させて、化合物1Aが得られる。R−Hal、及びR−Halにおいて、Halはハロゲン原子であり、臭素原子が好ましい。
なお、Tが式(T)で表される基である場合、化合物1Aを合成する際に、フルオレン環上の9位に、2つのR、又は2つのRが結合した化合物が副生する場合がある。この場合、カラムクロマトグラフィー等の公知の方法に従って、目的の生成物のみを分取すればよい。
When T in compound 1A is a group represented by the formula (T C), for example, halogenated fluorene, such as bromo fluorene (preferably 2-bromo fluorene), a base such as potassium tert- butoxide, R 2 Compound 1A is obtained by reacting with —Hal and R 3 —Hal. R 2 -Hal, and the R 3 -Hal, Hal is a halogen atom, a bromine atom.
In addition, when T is a group represented by the formula (T C ), a compound in which two R 2 or two R 3 are bonded to the 9-position on the fluorene ring is a secondary compound when synthesizing the compound 1A. It may live. In this case, only the desired product may be collected according to a known method such as column chromatography.

次いで、化合物1Bと、R−R−B(OH)等のR−R−で表される基を含むホウ素化合物とを、所謂、鈴木・宮浦カップリング反応により縮合させて、化合物1Cを得る。
なお、クロスカップリング反応としては、鈴木・宮浦カップリング反応には限定されず、周知のクロスカップリング反応から適宜選択して採用できる。
ホウ素化合物の種類は、化合物1Bに、R−R−で表される基を導入可能なものであれば特に限定されない。
鈴木・宮浦カップリング反応において用いられる触媒は、従来から当該反応に用いられているものであれば特に限定されない。例えば、好適な触媒としては、[1,1’−ビス(ジフェニルホスフィノ)フェロセン]パラジウム(II)ジクロリド・ジクロロメタン付加物(Pd(dppf)Cl・CHCl)、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(0)(Pd(PPh)、[1,2−ビス(ジフェニルホスフィノエタン)]パラジウム(II)ジクロリド(PdCl(dppe))、[1,3−ビス(ジフェニルホスフィノプロパン)]パラジウム(II)ジクロリド(PdCl(dppp))、[1,1’−ビス(ジフェニルホスフィノ)フェロセン]ニッケル(II)ジクロリド・ジクロロメタン付加物(Ni(dppf)Cl・CHCl)、ビス(トリフェニルホスフィン)ニッケル(II)ジクロリド(NiCl(PPh)等が挙げられる。また、酢酸パラジウムや塩化パラジウムと適当な配位子を系内で混合して使用することも出来る。
この反応において用いる溶媒は、反応の進行を阻害しない限り特に限定されないが、例えば、テトラヒドロフラン(THF)、メタノール、エタノール、プロパノール、n−ブタノール、2−ブタノール、トルエン、酢酸エチル、N−メチルピロリドン、シクロペンチルメチルエーテル、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、及び水等を用いることができる。
Then, the compound 1B and a boron compound containing a group represented by R 1 -R 6 -, such as R 1 -R 6 -B(OH) 2 are condensed by so-called Suzuki-Miyaura coupling reaction, Compound 1C is obtained.
The cross-coupling reaction is not limited to the Suzuki-Miyaura coupling reaction, and can be appropriately selected and used from known cross-coupling reactions.
The type of boron compound is not particularly limited as long as it can introduce the group represented by R 1 -R 6- into compound 1B.
The catalyst used in the Suzuki-Miyaura coupling reaction is not particularly limited as long as it has been conventionally used in the reaction. For example, as a suitable catalyst, [1,1′-bis(diphenylphosphino)ferrocene]palladium(II) dichloride/dichloromethane adduct (Pd(dppf)Cl 2 ·CH 2 Cl 2 ), tetrakis(triphenylphosphine) ) palladium (0) (Pd (PPh 3 ) 4), [1,2- bis (diphenylphosphino ethane) palladium (II) dichloride (PdCl 2 (dppe)), [1,3- bis (diphenylphosphino Propane)]palladium(II) dichloride (PdCl 2 (dppp)), [1,1′-bis(diphenylphosphino)ferrocene]nickel(II) dichloride/dichloromethane adduct (Ni(dppf)Cl 2 ·CH 2 Cl 2 ), bis(triphenylphosphine)nickel(II) dichloride (NiCl 2 (PPh 3 ) 2 ) and the like. Further, palladium acetate or palladium chloride and an appropriate ligand may be mixed and used in the system.
The solvent used in this reaction is not particularly limited as long as it does not inhibit the progress of the reaction, and examples thereof include tetrahydrofuran (THF), methanol, ethanol, propanol, n-butanol, 2-butanol, toluene, ethyl acetate, N-methylpyrrolidone, Cyclopentyl methyl ether, dimethylformamide, dimethylacetamide, water and the like can be used.

次いで、化合物1C中の−CO−Rで表される基を、−C(=N−OH)−Rで表される基に変換し、化合物1Dを得る。−CO−Rで表される基を、−C(=N−OH)−Rで表される基に変換する方法は特に限定されないが、ヒドロキシルアミンによるオキシム化が好ましい。化合物1Dと、酸無水物((RCO)O)、又は酸ハライド(RCOHal、Halはハロゲン原子。)とを反応させることにより、nが0である、式(1)で表される化合物を得ることができる。 Then, a group represented by -CO-R 4 in the compound 1C, converted into a group represented by -C (= N-OH) -R 4, to obtain a compound 1D. The method for converting the group represented by —CO—R 4 into the group represented by —C(═N—OH)—R 4 is not particularly limited, but oximation with hydroxylamine is preferable. A compound represented by the formula (1) in which n is 0 by reacting the compound 1D with an acid anhydride ((R 5 CO) 2 O) or an acid halide (R 5 COHal, where Hal is a halogen atom). The compound can be obtained.

<スキーム1>

Figure 0006713112
<Scheme 1>
Figure 0006713112

また、nが1である場合、式(1)で表される化合物は、一例として、下記スキーム2に従って合成することができる。
なお、下記スキーム2では、式(1a)で表される環骨格を有するハロゲン化化合物と、−R−Rで表される基を含むホウ素化合物とを用いてクロスカップリング反応を行っているが、式(1a)で表される環骨格を有するホウ素化合物と、−R−Rで表される基を含むハロゲン化化合物とを用いてクロスカップリング反応を行ってもよい。
また、クロスカップリング反応は、
・式(1a)で表される環骨格に、−CO−CH−Rで表されるアシル基を導入した後、
・−CO−CH−Rで表される基を、−CO−C(=N−OH)−Rで表される基に変換した後、及び
・−CO−C(=N−OH)−Rで表される基をエステル化して−CO−C(=N−O−CO−R)−Rで表される基に変換した後のいずれのタイミングで実施されてもよい。
When n is 1, the compound represented by the formula (1) can be synthesized according to the following scheme 2 as an example.
In Scheme 2 below, a cross-coupling reaction is performed using a halogenated compound having a ring skeleton represented by the formula (1a) and a boron compound containing a group represented by —R 6 —R 1. However, the cross-coupling reaction may be performed using a boron compound having a ring skeleton represented by the formula (1a) and a halogenated compound containing a group represented by —R 6 —R 1 .
In addition, the cross coupling reaction
The ring structure represented by the formula (1a), after introducing an acyl group represented by -CO-CH 2 -R 4,
· A -CO-CH 2 -R 4, a group represented by the after conversion to a group represented by -CO-C (= N-OH ) -R 4, and · -CO-C (= N- OH ) -R 4 in the group represented by esterifying -CO-C (= N-O -CO-R 5) at any time after conversion to a group represented by -R 4 may be performed ..

スキーム2では、前述の化合物1Aを原料として用いる。化合物1Aに対して、スキーム1と同様にフリーデルクラフツ反応によって−CO−CH−Rで表されるアシル基を導入して、化合物1Eが得られる。アシル化剤としては、Hal−CO−CH−Rで表されるカルボン酸ハライドが好ましい。
次いで、化合物1Eと、R−R−B(OH)で表されるホウ素化合物とを、所謂、鈴木・宮浦カップリング反応により縮合させて、化合物1Fを得る。鈴木・宮浦カップリング反応による縮合方法は、スキーム1と同様である。
得られた化合物1F中の、Rとカルボニル基との間に存在するメチレン基をオキシム化して、化合物1Gを得る。メチレン基をオキシム化する方法は特に限定されないが、塩酸の存在下に亜硝酸エステル(RONO、Rは炭素数1〜6のアルキル基。)を反応させる方法が好ましい。次いで、化合物1Gと、酸無水物((RCO)O)、又は酸ハライド(RCOHal、Halはハロゲン原子。)とを反応させて、nが1である、式(1)で表される化合物を得ることができる。
In Scheme 2, the above compound 1A is used as a raw material. Compound 1E is obtained by introducing an acyl group represented by —CO—CH 2 —R 4 into Compound 1A by Friedel-Crafts reaction in the same manner as in Scheme 1. The acylating agents, carboxylic acid halide represented by Hal-CO-CH 2 -R 4 are preferred.
Then, the compound 1E and the boron compound represented by R 1 -R 6 -B(OH) 2 are condensed by a so-called Suzuki-Miyaura coupling reaction to obtain a compound 1F. The condensation method by Suzuki-Miyaura coupling reaction is the same as in Scheme 1.
The methylene group existing between R 4 and the carbonyl group in the obtained compound 1F is oxime-ized to obtain compound 1G. The method of converting the methylene group into an oxime is not particularly limited, but a method of reacting a nitrite ester (RONO, R is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms) in the presence of hydrochloric acid is preferable. Then, the compound 1G is reacted with an acid anhydride ((R 5 CO) 2 O) or an acid halide (R 5 COHal, where Hal is a halogen atom), and n is 1 in the formula (1). The compounds represented can be obtained.

<スキーム2>

Figure 0006713112
<Scheme 2>
Figure 0006713112

なお、スキーム1において、化合物1B、化合物1C、化合物1D、及び最終生成物に含まれるRは、同一であっても異なってもいてもよい。つまり、化合物1B、化合物1C、化合物1D、及び最終生成物に含まれるRは、スキーム1として示される合成過程において、化学修飾を受けてもよい。化学修飾の例としては、エステル化、エーテル化、アシル化、アミド化、ハロゲン化、アミノ基中の水素原子の有機基による置換等が挙げられる。Rが受けてもよい化学修飾はこれらに限定されない。
スキーム2における、化合物1E、化合物1F、化合物1G、及び最終生成物に含まれる、Rも、同一であっても異なってもいてもよい。化合物1E、化合物1F、化合物1G、及び最終生成物に含まれるRは、スキーム12として示される合成過程において、スキーム1と同様に化学修飾を受けてもよい。
In Scheme 1, compound 1B, compound 1C, compound 1D, and R 4 contained in the final product may be the same or different. That is, compound 1B, compound 1C, compound 1D, and R 4 contained in the final product may be chemically modified in the synthetic process shown as scheme 1. Examples of the chemical modification include esterification, etherification, acylation, amidation, halogenation, and substitution of a hydrogen atom in an amino group with an organic group. The chemical modification that R 4 may undergo is not limited to these.
R 4 included in the compound 1E, the compound 1F, the compound 1G, and the final product in the scheme 2 may be the same or different. R 4 contained in the compound 1E, the compound 1F, the compound 1G, and the final product may be chemically modified in the same manner as in the scheme 1 in the synthetic process shown as the scheme 12.

以上説明した方法により合成しうる式(1)で表される化合物は、溶剤による洗浄、再結晶、カラム精製等の常法に従って適宜生成された後、光重合開始剤等の感光剤用途に好適に用いられる。
なお、式(1)で表される化合物の用途は、光重合開始剤には限定されない。式(1)で表される化合物は、従来からオキシムエステル化合物が使用されている種々の感光剤用途に用いることができる。
The compound represented by the formula (1), which can be synthesized by the method described above, is suitable for use as a photosensitizer such as a photopolymerization initiator after being appropriately produced according to a conventional method such as washing with a solvent, recrystallization and column purification. Used for.
The use of the compound represented by the formula (1) is not limited to the photopolymerization initiator. The compound represented by the formula (1) can be used for various photosensitizer applications in which an oxime ester compound has been conventionally used.

≪式(1)で表される化合物の用途の一例≫
式(1)で表される化合物は、光重合性化合物を含む感光性組成物において、光重合開始剤として好適に使用される。かかる感光性組成物は、着色剤や溶剤等を含んでいてもよい。以下、感光性組成物に含まれる成分について、説明する。
<<Example of application of compound represented by formula (1)>>
The compound represented by the formula (1) is preferably used as a photopolymerization initiator in a photosensitive composition containing a photopolymerizable compound. Such a photosensitive composition may contain a colorant, a solvent and the like. The components contained in the photosensitive composition will be described below.

<光重合性化合物>
感光性組成物に含有される光重合性化合物としては、特に限定されず、従来公知の光重合性化合物を用いることができる。その中でも、エチレン性不飽和基を有する樹脂又はモノマーが好ましく、これらを組み合わせることがより好ましい。エチレン性不飽和基を有する樹脂とエチレン性不飽和基を有するモノマーとを組み合わせることにより、感光性組成物の硬化性を向上させ、パターン形成を容易にすることができる。
<Photopolymerizable compound>
The photopolymerizable compound contained in the photosensitive composition is not particularly limited, and conventionally known photopolymerizable compounds can be used. Among them, resins or monomers having an ethylenically unsaturated group are preferable, and it is more preferable to combine these. By combining the resin having an ethylenically unsaturated group and the monomer having an ethylenically unsaturated group, the curability of the photosensitive composition can be improved and pattern formation can be facilitated.

[エチレン性不飽和基を有する樹脂]
エチレン性不飽和基を有する樹脂としては、(メタ)アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテル(メタ)アクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、カルドエポキシジアクリレート等が重合したオリゴマー類;多価アルコール類と一塩基酸又は多塩基酸とを縮合して得られるポリエステルプレポリマーに(メタ)アクリル酸を反応させて得られるポリエステル(メタ)アクリレート;ポリオールと2個のイソシアネート基を持つ化合物とを反応させた後、(メタ)アクリル酸を反応させて得られるポリウレタン(メタ)アクリレート;ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノール又はクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、レゾール型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ポリカルボン酸ポリグリシジルエステル、ポリオールポリグリシジルエステル、脂肪族又は脂環式エポキシ樹脂、アミンエポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂と、(メタ)アクリル酸とを反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂等が挙げられる。さらに、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂に多塩基酸無水物を反応させた樹脂を好適に用いることができる。なお、本明細書において、「(メタ)アクリル」は、「アクリル又はメタクリル」を意味する。
[Resin having ethylenically unsaturated group]
As the resin having an ethylenically unsaturated group, (meth)acrylic acid, fumaric acid, maleic acid, monomethyl fumarate, monoethyl fumarate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, ethylene glycol monomethyl ether (meth)acrylate, ethylene Glycol monoethyl ether (meth)acrylate, glycerol (meth)acrylate, (meth)acrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile, methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, isobutyl (meth)acrylate, 2-ethylhexyl (meth) Acrylate, benzyl (meth)acrylate, ethylene glycol di(meth)acrylate, diethylene glycol di(meth)acrylate, triethylene glycol di(meth)acrylate, tetraethylene glycol di(meth)acrylate, butylene glycol di(meth)acrylate, propylene Glycol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, tetramethylolpropane tetra(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, Oligomers obtained by polymerizing dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, cardoepoxy diacrylate and the like; obtained by condensing polyhydric alcohols with a monobasic acid or a polybasic acid Polyester (meth)acrylate obtained by reacting (meth)acrylic acid with the obtained polyester prepolymer; obtained by reacting a polyol with a compound having two isocyanate groups and then reacting with (meth)acrylic acid Polyurethane (meth)acrylate; bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol or cresol novolac type epoxy resin, resol type epoxy resin, triphenolmethane type epoxy resin, polycarboxylic acid polyglycidyl ester Epoxy (meth)acrylate resin obtained by reacting (meth)acrylic acid with an epoxy resin such as a polyol polyglycidyl ester, an aliphatic or alicyclic epoxy resin, an amine epoxy resin, and a dihydroxybenzene type epoxy resin. Can be mentioned. Further, a resin obtained by reacting an epoxy (meth)acrylate resin with a polybasic acid anhydride can be preferably used. In addition, in this specification, "(meth)acryl" means "acryl or methacryl."

また、エチレン性不飽和基を有する樹脂としては、エポキシ化合物と不飽和基含有カルボン酸化合物との反応物を、さらに多塩基酸無水物と反応させることにより得られる樹脂を好適に用いることができる。 As the resin having an ethylenically unsaturated group, a resin obtained by reacting a reaction product of an epoxy compound and an unsaturated group-containing carboxylic acid compound with a polybasic acid anhydride can be preferably used. ..

その中でも、下記式(a1)で表される化合物が好ましい。この式(a1)で表される化合物は、それ自体が、光硬化性が高い点で好ましい。

Figure 0006713112
Among them, the compound represented by the following formula (a1) is preferable. The compound represented by the formula (a1) is preferable because it has high photocurability.
Figure 0006713112

上記式(a1)中、Xは、下記式(a2)で表される基を表す。

Figure 0006713112
In the above formula (a1), X represents a group represented by the following formula (a2).
Figure 0006713112

上記式(a2)中、R1aは、それぞれ独立に水素原子、炭素原子数1〜6の炭化水素基、又はハロゲン原子を表し、R2aは、それぞれ独立に水素原子、又はメチル基を表し、Wは、単結合、又は下記構造式(a3)で表される基を表す。なお、式(a2)、及び構造式(a3)において「*」は、2価の基の結合手の末端を意味する。

Figure 0006713112
In the above formula (a2), R 1a's each independently represent a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or a halogen atom, and R 2a's each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, W represents a single bond or a group represented by the following structural formula (a3). In addition, in formula (a2) and structural formula (a3), "*" means the terminal of the bond of a divalent group.
Figure 0006713112

上記式(a1)中、Yはジカルボン酸無水物から酸無水物基(−CO−O−CO−)を除いた残基を表す。ジカルボン酸無水物の例としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸等が挙げられる。 In the above formula (a1), Y represents a residue obtained by removing the acid anhydride group (-CO-O-CO-) from the dicarboxylic acid anhydride. Examples of dicarboxylic acid anhydrides include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride, methyltetrahydro. Examples thereof include phthalic anhydride and glutaric anhydride.

また、上記式(a1)中、Zは、テトラカルボン酸二無水物から2個の酸無水物基を除いた残基を表す。テトラカルボン酸二無水物の例としては、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。さらに、上記式(a1)中、aは、0〜20の整数を表す。 Further, in the above formula (a1), Z represents a residue obtained by removing two acid anhydride groups from tetracarboxylic dianhydride. Examples of the tetracarboxylic acid dianhydride include pyromellitic dianhydride, benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride, biphenyl tetracarboxylic acid dianhydride, biphenyl ether tetracarboxylic acid dianhydride and the like. Further, in the formula (a1), a represents an integer of 0-20.

エチレン性不飽和基を有する樹脂の酸価は、樹脂固形分で、10〜150mgKOH/gであることが好ましく、70〜110mgKOH/gであることがより好ましい。酸価を10mgKOH/g以上とすることにより、現像液に対する十分な溶解性が得られるので好ましい。また、酸価を150mgKOH/g以下とすることにより、十分な硬化性を得ることができ、表面性を良好にすることができるので好ましい。 The acid value of the resin having an ethylenically unsaturated group is a resin solid content of preferably 10 to 150 mgKOH/g, and more preferably 70 to 110 mgKOH/g. The acid value of 10 mgKOH/g or more is preferable because sufficient solubility in a developing solution can be obtained. Further, when the acid value is 150 mgKOH/g or less, sufficient curability can be obtained and surface properties can be improved, which is preferable.

また、エチレン性不飽和基を有する樹脂の質量平均分子量は、1000〜40000であることが好ましく、2000〜30000であることがより好ましい。質量平均分子量を1000以上とすることにより、良好な耐熱性、膜強度を得ることができるので好ましい。また、質量平均分子量を40000以下とすることにより、良好な現像性を得ることができるので好ましい。 The mass average molecular weight of the resin having an ethylenically unsaturated group is preferably 1,000 to 40,000, more preferably 2,000 to 30,000. When the mass average molecular weight is 1000 or more, good heat resistance and film strength can be obtained, which is preferable. Further, when the mass average molecular weight is 40,000 or less, good developability can be obtained, which is preferable.

[エチレン性不飽和基を有するモノマー]
エチレン性不飽和基を有するモノマーには、単官能モノマーと多官能モノマーとがある。以下、単官能モノマー、及び多官能モノマーについて順に説明する。
[Monomer having ethylenically unsaturated group]
Monomers having an ethylenically unsaturated group include monofunctional monomers and polyfunctional monomers. Hereinafter, the monofunctional monomer and the polyfunctional monomer will be described in order.

単官能モノマーとしては、(メタ)アクリルアミド、メチロール(メタ)アクリルアミド、メトキシメチル(メタ)アクリルアミド、エトキシメチル(メタ)アクリルアミド、プロポキシメチル(メタ)アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、tert−ブチルアクリルアミドスルホン酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシ−2−ヒドロキシプロピルフタレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの単官能モノマーは、単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of monofunctional monomers include (meth)acrylamide, methylol (meth)acrylamide, methoxymethyl (meth)acrylamide, ethoxymethyl (meth)acrylamide, propoxymethyl (meth)acrylamide, butoxymethoxymethyl (meth)acrylamide, N-methylol ( (Meth)acrylamide, N-hydroxymethyl (meth)acrylamide, (meth)acrylic acid, fumaric acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, crotonic acid, 2-acrylamide- 2-methyl propane sulfonic acid, tert-butyl acrylamide sulfonic acid, methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, 2-ethylhexyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (Meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, 2-hydroxybutyl (meth)acrylate, 2-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth)acrylate, 2-(meth)acryloyloxy-2-hydroxypropyl phthalate, Glycerin mono(meth)acrylate, tetrahydrofurfuryl(meth)acrylate, dimethylaminoethyl(meth)acrylate, glycidyl(meth)acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl(meth)acrylate, 2,2,3,3 -Tetrafluoropropyl (meth)acrylate, half (meth)acrylate of a phthalic acid derivative and the like can be mentioned. These monofunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

多官能モノマーとしては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパン、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロイルオキシプロピル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ(メタ)アクリレート、グリセリントリアクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート(すなわち、トリレンジイソシアネート)、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートとヘキサメチレンジイソシアネートと2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートとの反応物、メチレンビス(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリルアミドメチレンエーテル、多価アルコールとN−メチロール(メタ)アクリルアミドとの縮合物等の多官能モノマーや、トリアクリルホルマール等が挙げられる。これらの多官能モノマーは、単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 As the polyfunctional monomer, ethylene glycol di(meth)acrylate, diethylene glycol di(meth)acrylate, tetraethylene glycol di(meth)acrylate, propylene glycol di(meth)acrylate, polypropylene glycol di(meth)acrylate, butylene glycol di( (Meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, 1,6-hexane glycol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, glycerin di(meth)acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate , Dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa (Meth)acrylate, 2,2-bis(4-(meth)acryloxydiethoxyphenyl)propane, 2,2-bis(4-(meth)acryloxypolyethoxyphenyl)propane, 2-hydroxy-3-( (Meth)acryloyloxypropyl (meth)acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di(meth)acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di(meth)acrylate, phthalic acid diglycidyl ester di(meth)acrylate, glycerin triacrylate, glycerin polyglycidyl ether Poly(meth)acrylate, urethane (meth)acrylate (that is, tolylene diisocyanate), reaction product of trimethylhexamethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate and 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, methylenebis(meth)acrylamide, (meth) Examples thereof include polyfunctional monomers such as acrylamide methylene ether, a condensation product of polyhydric alcohol and N-methylol (meth)acrylamide, and triacrylformal. These polyfunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

光重合性化合物の含有量は、感光性組成物の固形分の合計100質量部に対して10〜99.9質量部であることが好ましい。光重合性化合物の含有量を固形分の合計100質量部に対して10質量部以上とすることにより、感光性組成物を用いて、耐熱性、耐薬品性、及び機械的強度に優れる膜を形成しやすい。 The content of the photopolymerizable compound is preferably 10 to 99.9 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total solid content of the photosensitive composition. By setting the content of the photopolymerizable compound to 10 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the total solid content, a film excellent in heat resistance, chemical resistance, and mechanical strength can be obtained using the photosensitive composition. Easy to form.

<光重合開始剤>
光重合開始剤としては、前述の式(1)で表される化合物が用いられる。式(1)で表される化合物は、式(1)で表される化合物以外の従来知られる光重合開始剤と組み合わせて用いてもよい。
感光性組成物は、式(1)で表される化合物を光重合開始剤として含むため、非常に感度に優れる。このため、式(1)で表される化合物を光重合開始剤として含む感光性組成物を用いることで、低露光量で所望する形状のパターンを形成することが可能である。また、感度に優れる感光性組成物を用いることで、パターン形成時のパターンはがれを抑制し、ラインパターンを形成する際のパターンのエッジに生じるがたつきの発生を抑制することができる。
<Photopolymerization initiator>
As the photopolymerization initiator, the compound represented by the above formula (1) is used. The compound represented by the formula (1) may be used in combination with a conventionally known photopolymerization initiator other than the compound represented by the formula (1).
Since the photosensitive composition contains the compound represented by the formula (1) as a photopolymerization initiator, it has excellent sensitivity. Therefore, by using the photosensitive composition containing the compound represented by the formula (1) as a photopolymerization initiator, it is possible to form a pattern having a desired shape with a low exposure amount. Further, by using a photosensitive composition having excellent sensitivity, it is possible to suppress pattern peeling during pattern formation and to prevent rattling that occurs at the edge of the pattern when forming a line pattern.

特に感光性組成物が着色剤として遮光剤を含む場合、遮光剤の影響によって感光性組成物の塗布膜の底部が硬化しにくいため、形成されるパターンにアンダーカットが生じやすいことが問題である。 In particular, when the photosensitive composition contains a light-shielding agent as a colorant, the bottom portion of the coating film of the photosensitive composition is difficult to cure due to the influence of the light-shielding agent, so that an undercut is likely to occur in the formed pattern. ..

例えば、感光性組成物を使用してライン状のブラックマトリクスのパターンを形成させる場合、図1(a)に示すように、当該パターンの幅方向の断面である断面1が、底辺1aの幅よりも頂辺1bの幅がわずかに狭い台形形状となることが一般的に望まれる。このとき、パターンの断面1がカラーフィルタ基板(図示せず)との間でなす角θは、90°に近い鋭角となる For example, in the case of forming a line-shaped black matrix pattern using a photosensitive composition, as shown in FIG. 1A, a cross-section 1 which is a cross section in the width direction of the pattern is smaller than a width of a bottom side 1a. It is generally desired that the top side 1b has a trapezoidal shape with a slightly narrow width. At this time, the angle θ formed by the cross section 1 of the pattern and the color filter substrate (not shown) is an acute angle close to 90°.

しかし、従来の遮光剤を含む感光性組成物を用いてブラックマトリクスを形成させる場合、図1(b)に示すように、現像時にパターンの底部の一部が溶解することに伴って、当該パターンの幅方向の断面となる断面2における底辺2aの両端にアンダーカット21を生じる場合がある。このとき、パターンの断面2が基板(図示せず)との間でなす角θは、鈍角となる。 However, when a black matrix is formed using a conventional photosensitive composition containing a light-shielding agent, as shown in FIG. 1(b), a part of the bottom of the pattern is dissolved during development, so that the pattern is removed. Undercuts 21 may occur at both ends of the bottom side 2a in the cross section 2 which is the cross section in the width direction of the. At this time, the angle θ formed by the cross section 2 of the pattern and the substrate (not shown) is an obtuse angle.

遮光剤を含む感光性組成物を用いて形成されるパターンにアンダーカットが生じると、例えば、このようなパターンをブラックマトリクスとして用いて表示装置を作成する際に、アンダーカット部分に残留する気泡によって表示装置の画質が低下する問題がある。しかし、感光性組成物が、遮光剤とともに、式(1)で表される化合物を含む光重合開始剤を含有する場合、このような感光性組成物を用いて形成されるパターンにおけるアンダーカットの発生を抑制することができる。 When an undercut occurs in a pattern formed by using a photosensitive composition containing a light-shielding agent, for example, when a display device is formed using such a pattern as a black matrix, bubbles are left in the undercut portion. There is a problem that the image quality of the display device is degraded. However, when the photosensitive composition contains a photopolymerization initiator containing a compound represented by the formula (1) together with a light-shielding agent, an undercut of a pattern formed using such a photosensitive composition may occur. Occurrence can be suppressed.

光重合開始剤の含有量は、感光性組成物の固形分の合計100質量部に対して0.001〜30質量部であることが好ましく、0.1〜20質量部がより好ましく、0.5〜10質量部がさらに好ましい。
また、光重合開始剤の含有量は、光重合性化合物の質量と光重合開始剤の質量との総和に対し、0.1〜50質量%であることが好ましく、0.5〜30質量%であることがより好ましく、1〜20質量%であることがさらに好ましい。
光重合開始剤における式(1)で表される化合物の含有量は、例えば光重合開始剤全体に対して1〜100質量%の範囲であればよく、好ましくは50質量%以上であり、70〜100質量%であることがより好ましい。
The content of the photopolymerization initiator is preferably 0.001 to 30 parts by mass, more preferably 0.1 to 20 parts by mass, and 0.1 to 30 parts by mass based on 100 parts by mass of the total solid content of the photosensitive composition. It is more preferably 5 to 10 parts by mass.
Further, the content of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 50% by mass, and 0.5 to 30% by mass with respect to the total mass of the photopolymerizable compound and the mass of the photopolymerization initiator. Is more preferable, and 1 to 20 mass% is further preferable.
The content of the compound represented by the formula (1) in the photopolymerization initiator may be, for example, in the range of 1 to 100 mass% with respect to the entire photopolymerization initiator, and preferably 50 mass% or more, 70 It is more preferable that the content is ˜100% by mass.

<着色剤>
感光性組成物は、さらに着色剤を含んでもよい。感光性組成物は、着色剤を含むことにより、例えば、液晶表示ディスプレイ等の表示装置におけるカラーフィルタ形成用途として好ましく使用される。また、感光性組成物は、着色剤として遮光剤を含むことにより、例えば、表示装置のカラーフィルタにおけるブラックマトリクス形成用途として好ましく使用される。
<Colorant>
The photosensitive composition may further contain a colorant. Since the photosensitive composition contains a colorant, it is preferably used as a color filter forming application in a display device such as a liquid crystal display. In addition, the photosensitive composition contains a light-shielding agent as a colorant, and thus is preferably used for forming a black matrix in a color filter of a display device.

本感光性組成物に配合される着色剤としては、特に限定されないが、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists社発行)において、ピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されている化合物を用いるのが好ましい。 The colorant to be blended in the photosensitive composition is not particularly limited, but is, for example, a compound classified as Pigment in the color index (CI; issued by The Society of Dyers and Colorists). Specifically, it is preferable to use the compounds having the following color index (CI) numbers.

好適に使用できる黄色顔料の例としては、C.I.ピグメントイエロー1(以下、「C.I.ピグメントイエロー」は同様であり、番号のみを記載する。)、3、11、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、61、65、71、73,74、81、83、86、93、95、97、98、99、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、166、167、168、175、180、及び185が挙げられる。 Examples of suitable yellow pigments include C.I. I. Pigment Yellow 1 (hereinafter, "CI Pigment Yellow" is the same, and only the numbers are described.) 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53. , 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116. , 117, 119, 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175, 180. , And 185.

好適に使用できる橙色顔料の例としては、C.I.ピグメントオレンジ1(以下、「C.I.ピグメントオレンジ」は同様であり、番号のみを記載する。)、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、及び73が挙げられる。 Examples of suitable orange pigments include C.I. I. Pigment Orange 1 (hereinafter, “C.I. Pigment Orange” is the same, and only the numbers are described.) 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46 , 49, 51, 55, 59, 61, 63, 64, 71, and 73.

好適に使用できる紫色顔料の例としては、C.I.ピグメントバイオレット1(以下、「C.I.ピグメントバイオレット」は同様であり、番号のみを記載する。)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、及び50が挙げられる。 Examples of suitable purple pigments include C.I. I. Pigment Violet 1 (hereinafter, “C.I. Pigment Violet” is the same, and only the numbers are described), 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40, and 50. Can be mentioned.

好適に使用できる赤色顔料の例としては、C.I.ピグメントレッド1(以下、「C.I.ピグメントレッド」は同様であり、番号のみを記載する。)2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264、及び265が挙げられる。 Examples of suitable red pigments include C.I. I. Pigment Red 1 (hereinafter, “C.I. Pigment Red” is the same, and only the numbers will be described) 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49: 1, 49:2, 50:1, 52:1, 53:1, 57, 57:1, 57:2, 58:2, 58:4, 60:1, 63:1, 63:2, 64: 1, 81:1, 83, 88, 90:1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155, 166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264, and 265.

好適に使用できる青色顔料の例としては、C.I.ピグメントブルー1(以下、「C.I.ピグメントブルー」は同様であり、番号のみを記載する。)、2、15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、及び66が挙げられる。 Examples of suitable blue pigments include C.I. I. Pigment Blue 1 (hereinafter, "CI Pigment Blue" is the same, and only the numbers are described). 2, 15, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 22, 60, 64 , And 66.

好適に使用できる、上記の他の色相の顔料の例としては、C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン37等の緑色顔料、C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラウン26、C.I.ピグメントブラウン28等の茶色顔料、C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7等の黒色顔料が挙げられる。 Examples of pigments having other hues that can be suitably used include C.I. I. Pigment Green 7, C.I. I. Pigment Green 36, C.I. I. Pigment Green 37, a green pigment such as C.I. I. Pigment Brown 23, C.I. I. Pigment Brown 25, C.I. I. Pigment Brown 26, C.I. I. Pigment Brown 28, a brown pigment such as C.I. I. Pigment Black 1, C.I. I. Pigment Black 7 and other black pigments.

また、着色剤を遮光剤とする場合、遮光剤としては黒色顔料を用いることが好ましい。黒色顔料としては、カーボンブラック、ペリレン系顔料、ラクタム系顔料、チタンブラック、銅、鉄、マンガン、コバルト、クロム、ニッケル、亜鉛、カルシウム、銀等の金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸塩又は金属炭酸塩等、有機物、無機物を問わず各種の顔料を挙げることができる。これらの中でも、高い遮光性を有するカーボンブラックを用いることが好ましい。 When the colorant is used as a light shielding agent, it is preferable to use a black pigment as the light shielding agent. Examples of the black pigment include carbon black, perylene pigments, lactam pigments, titanium black, copper, iron, manganese, cobalt, chromium, nickel, zinc, calcium, silver and other metal oxides, complex oxides, metal sulfides, Various pigments can be used regardless of organic substances or inorganic substances such as metal sulfates or metal carbonates. Among these, it is preferable to use carbon black having a high light-shielding property.

カーボンブラックとしては、チャンネルブラック、ファーネスブラック、サーマルブラック、ランプブラック等の公知のカーボンブラックを用いることができるが、遮光性に優れるチャンネルブラックを用いることが好ましい。また、樹脂被覆カーボンブラックを使用してもよい。 As the carbon black, known carbon black such as channel black, furnace black, thermal black, lamp black and the like can be used, but it is preferable to use channel black having excellent light-shielding properties. Alternatively, resin-coated carbon black may be used.

樹脂被覆カーボンブラックは、樹脂被覆のないカーボンブラックに比べて導電性が低い。このため、樹脂被覆カーボンブラックを含む感光性組成物を用いてブラックマトリクスを形成する場合、液晶表示ディスプレイのような表示素子における電流のリークが少なく、信頼性の高い低消費電力のディスプレイを製造できる。 Resin-coated carbon black has lower conductivity than carbon black without resin coating. Therefore, when a black matrix is formed using a photosensitive composition containing resin-coated carbon black, a leak of current in a display element such as a liquid crystal display is small, and a highly reliable display with low power consumption can be manufactured. ..

また、カーボンブラックの色調を調整するために、補助顔料として上記の有機顔料を適宜添加してもよい。 Further, in order to adjust the color tone of carbon black, the above organic pigment may be appropriately added as an auxiliary pigment.

上記の着色剤を感光性組成物において均一に分散させるために、さらに分散剤を使用してもよい。このような分散剤としては、ポリエチレンイミン系、ウレタン樹脂系、アクリル樹脂系の高分子分散剤を用いることが好ましい。特に、着色剤として、カーボンブラックを用いる場合には、分散剤としてアクリル樹脂系の分散剤を用いることが好ましい。 In order to uniformly disperse the above colorant in the photosensitive composition, a dispersant may be further used. As such a dispersant, it is preferable to use a polyethyleneimine-based, urethane resin-based, or acrylic resin-based polymer dispersant. In particular, when carbon black is used as the colorant, it is preferable to use an acrylic resin-based dispersant as the dispersant.

また、無機顔料と有機顔料はそれぞれ単独又は2種以上併用してもよい。併用する場合には、無機顔料と有機顔料との総量100質量部に対して、有機顔料を10〜80質量部の範囲で用いることが好ましく、20〜40質量部の範囲で用いることがより好ましい。 The inorganic pigment and the organic pigment may be used alone or in combination of two or more kinds. When used in combination, the organic pigment is preferably used in the range of 10 to 80 parts by mass, more preferably 20 to 40 parts by mass, based on 100 parts by mass of the total amount of the inorganic pigment and the organic pigment. ..

感光性組成物における着色剤の使用量は、感光性組成物の用途に応じて適宜決定すればよい。一例として、感光性組成物の固形分の合計100質量部に対して、5〜70質量部が好ましく、25〜60質量部がより好ましい。上記の範囲とすることにより、目的とするパターンでブラックマトリクスや各着色層を形成することができ、好ましい。 The amount of the colorant used in the photosensitive composition may be appropriately determined depending on the application of the photosensitive composition. As an example, 5 to 70 parts by mass is preferable and 25 to 60 parts by mass is more preferable for 100 parts by mass of the total solid content of the photosensitive composition. The above range is preferable because the black matrix and each colored layer can be formed in a desired pattern.

特に、感光性組成物を使用してブラックマトリクスを形成する場合には、ブラックマトリクスの被膜1μm当たりのOD値が4以上となるように感光性組成物における遮光剤の量を調整することが好ましい。ブラックマトリクスにおける被膜1μm当たりのOD値が4以上あれば、液晶表示ディスプレイ等の表示装置におけるブラックマトリクスに用いた場合に、十分な表示コントラストを得ることができる。 In particular, when the black matrix is formed using the photosensitive composition, it is preferable to adjust the amount of the light-shielding agent in the photosensitive composition so that the OD value per 1 μm of the black matrix film is 4 or more. .. When the OD value per 1 μm of the coating in the black matrix is 4 or more, a sufficient display contrast can be obtained when used in a black matrix in a display device such as a liquid crystal display.

着色剤は、分散剤を用いて適当な濃度で分散させた分散液とした後、感光性組成物に添加することが好ましい。 The colorant is preferably added to the photosensitive composition after forming a dispersion liquid in which the colorant is dispersed at an appropriate concentration using a dispersant.

<アルカリ可溶性樹脂>
感光性組成物は、光重合性化合物として使用される樹脂以外の他の樹脂として、アルカリ可溶性樹脂を含んでいてもよい。感光性組成物にアルカリ可溶性樹脂を配合することで、感光性組成物にアルカリ現像性を付与することができる。
<Alkali-soluble resin>
The photosensitive composition may contain an alkali-soluble resin as a resin other than the resin used as the photopolymerizable compound. By adding an alkali-soluble resin to the photosensitive composition, it is possible to impart alkali developability to the photosensitive composition.

本明細書においてアルカリ可溶性樹脂とは、樹脂濃度20質量%の樹脂溶液(溶媒:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)により、膜厚1μmの樹脂膜を基板上に形成し、濃度0.05質量%のKOH水溶液に1分間浸漬した際に、膜厚0.01μm以上溶解するものをいう。 In the present specification, the alkali-soluble resin means that a resin solution having a resin concentration of 20% by mass (solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate) is used to form a resin film having a film thickness of 1 μm on a substrate, and KOH having a concentration of 0.05% by mass. It is one that dissolves in a film thickness of 0.01 μm or more when immersed in an aqueous solution for 1 minute.

アルカリ可溶性樹脂の中では、製膜性に優れる点や、単量体の選択によって樹脂の特性を調整しやすいこと等から、エチレン性不飽和二重結合を有する単量体の重合体が好ましい。エチレン性不飽和二重結合を有する単量体としては、(メタ)アクリル酸;(メタ)アクリル酸エステル;(メタ)アクリル酸アミド;クロトン酸;マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、これらジカルボン酸の無水物;酢酸アリル、カプロン酸アリル、カプリル酸アリル、ラウリン酸アリル、パルミチン酸アリル、ステアリン酸アリル、安息香酸アリル、アセト酢酸アリル、乳酸アリル、及びアリルオキシエタノールのようなアリル化合物;ヘキシルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、デシルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエーテル、メトキシエチルビニルエーテル、エトキシエチルビニルエーテル、クロロエチルビニルエーテル、1−メチル−2,2−ジメチルプロピルビニルエーテル、2−エチルブチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、ジエチレングリコールビニルエーテル、ジメチルアミノエチルビニルエーテル、ジエチルアミノエチルビニルエーテル、ブチルアミノエチルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテル、テトラヒドロフルフリルビニルエーテル、ビニルフェニルエーテル、ビニルトリルエーテル、ビニルクロロフェニルエーテル、ビニル−2,4−ジクロロフェニルエーテル、ビニルナフチルエーテル、及びビニルアントラニルエーテルのようなビニルエーテル;ビニルブチレート、ビニルイソブチレート、ビニルトリメチルアセテート、ビニルジエチルアセテート、ビニルバレレート、ビニルカプロエート、ビニルクロロアセテート、ビニルジクロロアセテート、ビニルメトキシアセテート、ビニルブトキシアセテート、ビニルフエニルアセテート、ビニルアセトアセテート、ビニルラクテート、ビニル−β−フェニルブチレート、安息香酸ビニル、サリチル酸ビニル、クロロ安息香酸ビニル、テトラクロロ安息香酸ビニル、及びナフトエ酸ビニルのようなビニルエステル;スチレン、メチルスチレン、ジメチルスチレン、トリメチルスチレン、エチルスチレン、ジエチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、ヘキシルスチレン、シクロヘキシルスチレン、デシルスチレン、ベンジルスチレン、クロロメチルスチレン、トリフルオロメチルスチレン、エトキシメチルスチレン、アセトキシメチルスチレン、メトキシスチレン、4−メトキシ−3−メチルスチレン、ジメトキシスチレン、クロロスチレン、ジクロロスチレン、トリクロロスチレン、テトラクロロスチレン、ペンタクロロスチレン、ブロモスチレン、ジブロモスチレン、ヨードスチレン、フルオロスチレン、トリフルオロスチレン、2−ブロモ−4−トリフルオロメチルスチレン、及び4−フルオロ−3−トリフルオロメチルスチレンのようなスチレン又はスチレン誘導体;エチレン、プロピレン、1−ブテン、1−ペンテン、1−ヘキセン、3−メチル−1−ブテン、3−メチル−1−ペンテン、3−エチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ペンテン、4−エチル−1−ヘキセン、3−エチル−1−ヘキセン、1−オクテン、1−デセン、1−ドデセン、1−テトラデセン、1−ヘキサデセン、1−オクタデセン、及び1−エイコセンのようなオレフィンが挙げられる。 Among the alkali-soluble resins, a polymer of a monomer having an ethylenically unsaturated double bond is preferable because it has excellent film-forming properties and the characteristics of the resin can be easily adjusted by selecting the monomer. Examples of the monomer having an ethylenically unsaturated double bond include (meth)acrylic acid; (meth)acrylic acid ester; (meth)acrylic acid amide; crotonic acid; maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, Itaconic acid, anhydrides of these dicarboxylic acids; such as allyl acetate, allyl caproate, allyl caprylate, allyl laurate, allyl palmitate, allyl stearate, allyl benzoate, allyl acetoacetate, allyl lactate, and allyloxyethanol. Allyl compounds; hexyl vinyl ether, octyl vinyl ether, decyl vinyl ether, ethylhexyl vinyl ether, methoxyethyl vinyl ether, ethoxyethyl vinyl ether, chloroethyl vinyl ether, 1-methyl-2,2-dimethylpropyl vinyl ether, 2-ethylbutyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether, Diethylene glycol vinyl ether, dimethylaminoethyl vinyl ether, diethylaminoethyl vinyl ether, butylaminoethyl vinyl ether, benzyl vinyl ether, tetrahydrofurfuryl vinyl ether, vinyl phenyl ether, vinyl tolyl ether, vinyl chlorophenyl ether, vinyl-2,4-dichlorophenyl ether, vinyl naphthyl ether, And vinyl ethers such as vinyl anthranyl ether; vinyl butyrate, vinyl isobutyrate, vinyl trimethyl acetate, vinyl diethyl acetate, vinyl valerate, vinyl caproate, vinyl chloroacetate, vinyl dichloroacetate, vinyl methoxyacetate, vinyl butoxyacetate. Vinyl esters such as vinyl phenyl acetate, vinyl acetoacetate, vinyl lactate, vinyl-β-phenylbutyrate, vinyl benzoate, vinyl salicylate, vinyl chlorobenzoate, vinyl tetrachlorobenzoate, and vinyl naphthoate; styrene. , Methylstyrene, dimethylstyrene, trimethylstyrene, ethylstyrene, diethylstyrene, isopropylstyrene, butylstyrene, hexylstyrene, cyclohexylstyrene, decylstyrene, benzylstyrene, chloromethylstyrene, trifluoromethylstyrene, ethoxymethylstyrene, acetoxymethylstyrene , Methoxystyrene, 4-methoxy-3-methylstyrene, dimethoxystyrene, chlorostyrene, dichlorostyrene Len, trichlorostyrene, tetrachlorostyrene, pentachlorostyrene, bromostyrene, dibromostyrene, iodostyrene, fluorostyrene, trifluorostyrene, 2-bromo-4-trifluoromethylstyrene, and 4-fluoro-3-trifluoromethyl. Styrenes such as styrene or styrene derivatives; ethylene, propylene, 1-butene, 1-pentene, 1-hexene, 3-methyl-1-butene, 3-methyl-1-pentene, 3-ethyl-1-pentene, 4 -Methyl-1-pentene, 4-methyl-1-hexene, 4,4-dimethyl-1-hexene, 4,4-dimethyl-1-pentene, 4-ethyl-1-hexene, 3-ethyl-1-hexene , 1-octene, 1-decene, 1-dodecene, 1-tetradecene, 1-hexadecene, 1-octadecene, and 1-eicosene.

エチレン性不飽和二重結合を有する単量体の重合体であるアルカリ可溶性樹脂は、通常、不飽和カルボン酸に由来する単位を含む。不飽和カルボン酸の例としては、(メタ)アクリル酸;(メタ)アクリル酸アミド;クロトン酸;マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、これらジカルボン酸の無水物が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂として使用されるエチレン性不飽和二重結合を有する単量体の重合体に含まれる、不飽和カルボン酸に由来する単位の量は、樹脂が所望するアルカリ可溶性を有する限り特に限定されない。アルカリ可溶性樹脂として使用される樹脂中の、不飽和カルボン酸に由来する単位の量は、樹脂の質量に対して、5〜25質量%が好ましく、8〜16質量%がより好ましい。 The alkali-soluble resin, which is a polymer of a monomer having an ethylenically unsaturated double bond, usually contains a unit derived from an unsaturated carboxylic acid. Examples of unsaturated carboxylic acids include (meth)acrylic acid; (meth)acrylic acid amide; crotonic acid; maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid, and anhydrides of these dicarboxylic acids. The amount of the unit derived from the unsaturated carboxylic acid contained in the polymer of the monomer having an ethylenically unsaturated double bond used as the alkali-soluble resin is not particularly limited as long as the resin has the desired alkali-solubility. .. The amount of the unit derived from the unsaturated carboxylic acid in the resin used as the alkali-soluble resin is preferably 5 to 25% by mass, more preferably 8 to 16% by mass based on the mass of the resin.

以上例示した単量体から選択される1種以上の単量体の重合体である、エチレン性不飽和二重結合を有する単量体の重合体の中では、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルから選択される1種以上の単量体の重合体が好ましい。以下、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルから選択される1種以上の単量体の重合体について説明する。 Among the polymers of monomers having an ethylenically unsaturated double bond, which are polymers of one or more monomers selected from the above-exemplified monomers, (meth)acrylic acid and (meth) ) Polymers of one or more monomers selected from acrylic esters are preferred. Hereinafter, a polymer of one or more kinds of monomers selected from (meth)acrylic acid and (meth)acrylic acid ester will be described.

(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルから選択される1種以上の単量体の重合体の調製に用いられる、(メタ)アクリル酸エステルは、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、公知の(メタ)アクリル酸エステルから適宜選択される。 The (meth)acrylic acid ester used in the preparation of a polymer of one or more monomers selected from (meth)acrylic acid and (meth)acrylic acid ester is particularly preferably within the range not impairing the object of the present invention. It is not limited and is appropriately selected from known (meth)acrylic acid esters.

(メタ)アクリル酸エステルの好適な例としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、アミル(メタ)アクリレート、t−オクチル(メタ)アクリレート等の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル(メタ)アクリレート;クロロエチル(メタ)アクリレート、2,2−ジメチルヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンモノ(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フルフリル(メタ)アクリレート;エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステル;脂環式骨格を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステル、及び脂環式骨格を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルの詳細については後述する。 Preferable examples of the (meth)acrylic acid ester include linear (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, propyl (meth)acrylate, amyl (meth)acrylate, t-octyl (meth)acrylate or the like. Branched-chain alkyl (meth)acrylate; chloroethyl (meth)acrylate, 2,2-dimethylhydroxypropyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, trimethylolpropane mono (meth)acrylate, benzyl (meth) Acrylate, furfuryl (meth)acrylate; (meth)acrylic acid ester having a group having an epoxy group; and (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic skeleton. Details of the (meth)acrylic acid ester having a group having an epoxy group and the (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic skeleton will be described later.

(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルから選択される1種以上の単量体の重合体の中では、感光性組成物を用いて形成される透明絶縁膜の基材への密着性や機械的強度が優れる点から、エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位を含む樹脂が好ましい。 Among polymers of one or more kinds of monomers selected from (meth)acrylic acid and (meth)acrylic acid ester, adhesion of a transparent insulating film formed using a photosensitive composition to a substrate In terms of excellent mechanical strength and mechanical strength, a resin containing a unit derived from a (meth)acrylic acid ester having a group having an epoxy group is preferable.

エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルは、鎖状脂肪族エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルであっても、後述するような、脂環式エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルであってもよい。 The (meth)acrylic acid ester having a group having an epoxy group is a group having an alicyclic epoxy group as described below even if it is a (meth)acrylic acid ester having a group having a chain aliphatic epoxy group. (Meth)acrylic acid ester having

エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルは、芳香族基を含んでいてもよい。芳香族基を構成する芳香環の例としては、ベンゼン環、ナフタレン環が挙げられる。芳香族基を有し、且つエポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルの例としては、4−グリシジルオキシフェニル(メタ)アクリレート、3−グリシジルオキシフェニル(メタ)アクリレート、2−グリシジルオキシフェニル(メタ)アクリレート、4−グリシジルオキシフェニルメチル(メタ)アクリレート、3−グリシジルオキシフェニルメチル(メタ)アクリレート、及び2−グリシジルオキシフェニルメチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。 The (meth)acrylic acid ester having a group having an epoxy group may contain an aromatic group. A benzene ring and a naphthalene ring are mentioned as an example of the aromatic ring which comprises an aromatic group. Examples of the (meth)acrylic acid ester having an aromatic group and an epoxy group-containing group include 4-glycidyloxyphenyl (meth)acrylate, 3-glycidyloxyphenyl (meth)acrylate, and 2-glycidyloxy. Examples thereof include phenyl (meth)acrylate, 4-glycidyloxyphenylmethyl (meth)acrylate, 3-glycidyloxyphenylmethyl (meth)acrylate, and 2-glycidyloxyphenylmethyl (meth)acrylate.

感光性組成物を用いて形成される膜が透明性を要求される場合、エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸は、芳香族基を含まないのが好ましい。 When the film formed using the photosensitive composition is required to be transparent, the (meth)acrylic acid having a group having an epoxy group preferably does not contain an aromatic group.

鎖状脂肪族エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルの例としては、エポキシアルキル(メタ)アクリレート、及びエポキシアルキルオキシアルキル(メタ)アクリレート等のような、エステル基(−O−CO−)中のオキシ基(−O−)に鎖状脂肪族エポキシ基が結合する(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。このような(メタ)アクリル酸エステルが有する鎖状脂肪族エポキシ基は、鎖中に1又は複数のオキシ基(−O−)を含んでいてもよい。鎖状脂肪族エポキシ基の炭素原子数は、特に限定されないが、3〜20が好ましく、3〜15がより好ましく、3〜10が特に好ましい。 Examples of the (meth)acrylic acid ester having a group having a chain aliphatic epoxy group include ester groups (—O—CO) such as epoxyalkyl(meth)acrylate and epoxyalkyloxyalkyl(meth)acrylate. (Meth)acrylic acid ester in which a chain aliphatic epoxy group is bonded to the oxy group (-O-) in -). The chain aliphatic epoxy group which such a (meth)acrylic acid ester has may contain one or more oxy groups (-O-) in the chain. The number of carbon atoms of the chain aliphatic epoxy group is not particularly limited, but is preferably 3 to 20, more preferably 3 to 15, and particularly preferably 3 to 10.

鎖状脂肪族エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルの具体例としては、グリシジル(メタ)アクリレート、2−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、6,7−エポキシヘプチル(メタ)アクリレート等のエポキシアルキル(メタ)アクリレート;2−グリシジルオキシエチル(メタ)アクリレート、3−グリシジルオキシ−n−プロピル(メタ)アクリレート、4−グリシジルオキシ−n−ブチル(メタ)アクリレート、5−グリシジルオキシ−n−ヘキシル(メタ)アクリレート、6−グリシジルオキシ−n−ヘキシル(メタ)アクリレート等のエポキシアルキルオキシアルキル(メタ)アクリレートが挙げられる。 Specific examples of the (meth)acrylic acid ester having a group having a chain aliphatic epoxy group include glycidyl (meth)acrylate, 2-methylglycidyl (meth)acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth)acrylate, 6 , 7-epoxyheptyl(meth)acrylate and other epoxyalkyl(meth)acrylates; 2-glycidyloxyethyl(meth)acrylate, 3-glycidyloxy-n-propyl(meth)acrylate, 4-glycidyloxy-n-butyl( Examples thereof include epoxyalkyloxyalkyl (meth)acrylates such as (meth)acrylate, 5-glycidyloxy-n-hexyl(meth)acrylate, and 6-glycidyloxy-n-hexyl(meth)acrylate.

エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位を含む、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルから選択される1種以上の単量体の重合体における、エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位の含有量は、樹脂の重量に対して、1〜95質量%が好ましく、40〜80質量%がより好ましい。 Epoxy group in a polymer of one or more monomers selected from (meth)acrylic acid and (meth)acrylic acid ester containing a unit derived from (meth)acrylic acid ester having a group having an epoxy group The content of the unit derived from the (meth)acrylic acid ester having a group having is preferably 1 to 95% by mass, and more preferably 40 to 80% by mass, based on the weight of the resin.

また、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルから選択される1種以上の単量体の重合体の中では、感光性組成物を用いて透明性に優れる透明絶縁膜を形成しやすいことから、脂環式骨格を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位を含む樹脂も好ましい。 Further, among polymers of one or more kinds of monomers selected from (meth)acrylic acid and (meth)acrylic acid ester, it is easy to form a transparent insulating film having excellent transparency by using a photosensitive composition. Therefore, a resin containing a unit derived from a (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic skeleton is also preferable.

脂環式骨格を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルにおいて、脂環式骨格を有する基は、脂環式炭化水素基を有する基であっても、脂環式エポキシ基を有する基であってもよい。脂環式骨格を構成する脂環式基は、単環であっても多環であってもよい。単環の脂環式基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。また、多環の脂環式基としては、ノルボルニル基、イソボルニル基、トリシクロノニル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基等が挙げられる。 In the (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic skeleton, the group having an alicyclic skeleton is a group having an alicyclic epoxy group even if it is a group having an alicyclic hydrocarbon group. May be. The alicyclic group constituting the alicyclic skeleton may be monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic group include a cyclopentyl group and a cyclohexyl group. Further, examples of the polycyclic alicyclic group include a norbornyl group, an isobornyl group, a tricyclononyl group, a tricyclodecyl group, and a tetracyclododecyl group.

脂環式骨格を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルのうち、脂環式炭化水素基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば下記式(d1−1)〜(d1−8)で表される化合物が挙げられる。これらの中では、下記式(d1−3)〜(d1−8)で表される化合物が好ましく、下記式(d1−3)又は(d1−4)で表される化合物がより好ましい。 Among the (meth)acrylic acid esters having a group having an alicyclic skeleton, examples of the (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic hydrocarbon group include the following formulas (d1-1) to (d1- The compound represented by 8) is mentioned. Among these, the compounds represented by the following formulas (d1-3) to (d1-8) are preferable, and the compounds represented by the following formula (d1-3) or (d1-4) are more preferable.

Figure 0006713112
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上記式中、Rd1は水素原子又はメチル基を示し、Rd2は単結合又は炭素原子数1〜6の2価の脂肪族飽和炭化水素基を示し、Rd3は水素原子又は炭素原子数1〜5のアルキル基を示す。Rd2としては、単結合、直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基が好ましい。Rd3としては、メチル基、エチル基が好ましい。 In the above formula, R d1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R d2 represents a single bond or a divalent saturated aliphatic hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and R d3 represents a hydrogen atom or 1 carbon atom. The alkyl groups of 5 are shown. R d2 is preferably a single bond, a linear or branched alkylene group, for example, a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a tetramethylene group, an ethylethylene group, a pentamethylene group or a hexamethylene group. R d3 is preferably a methyl group or an ethyl group.

脂環式骨格を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルのうち、脂環式エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルの具体例としては、例えば下記式(d2−1)〜(d2−16)で表される化合物が挙げられる。これらの中でも、感光性組成物の現像性を適度なレベルとするためには、下記式(d2−1)〜(d2−6)で表される化合物が好ましく、下記式(d2−1)〜(d2−4)で表される化合物がより好ましい。 Among the (meth)acrylic acid esters having a group having an alicyclic skeleton, specific examples of the (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic epoxy group include, for example, the following formulas (d2-1) to (d2-1). The compound represented by d2-16) is mentioned. Among these, the compounds represented by the following formulas (d2-1) to (d2-6) are preferable and the following formulas (d2-1) to (d2-1) in order to bring the developability of the photosensitive composition to an appropriate level. The compound represented by (d2-4) is more preferable.

Figure 0006713112
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上記式中、Rd4は水素原子又はメチル基を示し、Rd5は炭素数1〜6の2価の脂肪族飽和炭化水素基を示し、Rd6は炭素数1〜10の2価の炭化水素基を示し、nは0〜10の整数を示す。Rd5としては、直鎖状又は分枝鎖状のアルキレン基、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基が好ましい。Rd6としては、例えばメチレン基、エチレン基、プロピレン基、テトラメチレン基、エチルエチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、フェニレン基、シクロヘキシレン基、−CH−Ph−CH−(Phはフェニレン基を示す)が好ましい。 In the above formula, R d4 represents a hydrogen atom or a methyl group, R d5 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and R d6 represents a divalent hydrocarbon having 1 to 10 carbon atoms. Shows a group and n shows the integer of 0-10. R d5 is preferably a linear or branched alkylene group such as a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a tetramethylene group, an ethylethylene group, a pentamethylene group, or a hexamethylene group. Examples of R d6 include methylene group, ethylene group, propylene group, tetramethylene group, ethylethylene group, pentamethylene group, hexamethylene group, phenylene group, cyclohexylene group, —CH 2 —Ph—CH 2 — (Ph is A phenylene group) is preferred.

(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルから選択される1種以上の単量体の重合体が、脂環式骨格を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位を含む樹脂である場合、樹脂中の脂環式骨格を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位の量は、5〜95質量%が好ましく、10〜90質量%がより好ましく、30〜70質量%がさらに好ましい。 A resin in which a polymer of one or more kinds of monomers selected from (meth)acrylic acid and (meth)acrylic acid ester has a unit derived from (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic skeleton. When it is, the amount of the unit derived from the (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic skeleton in the resin is preferably 5 to 95% by mass, more preferably 10 to 90% by mass, and 30 to 70% by mass. Mass% is more preferable.

また、脂環式骨格を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位を含む、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルから選択される1種以上の単量体の重合体の中では、(メタ)アクリル酸に由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂が好ましい。このようなアルカリ可溶性樹脂を含む感光性組成物を用いて形成される膜は、基材に対する密着性に優れる。また、このような樹脂を用いる場合、樹脂に含まれるカルボキシル基と、脂環式エポキシ基との自己反応を生じさせることが可能である。このため、このような樹脂を含む感光性組成物を用いると、膜を加熱する方法等を用いて、カルボキシル基と、脂環式エポキシ基との自己反応を生じさせることによって、形成される膜の硬度のような機械的物性を向上させることができる。 Further, a polymer of one or more monomers selected from (meth)acrylic acid and (meth)acrylic acid ester, which includes a unit derived from (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic skeleton. Among these, a resin containing a unit derived from (meth)acrylic acid and a unit derived from a (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic epoxy group is preferable. A film formed using a photosensitive composition containing such an alkali-soluble resin has excellent adhesion to a substrate. When such a resin is used, it is possible to cause a self-reaction between the carboxyl group contained in the resin and the alicyclic epoxy group. Therefore, when a photosensitive composition containing such a resin is used, a film formed by causing a self-reaction between a carboxyl group and an alicyclic epoxy group by using a method of heating the film or the like. It is possible to improve mechanical properties such as hardness.

(メタ)アクリル酸に由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂において、樹脂中の、(メタ)アクリル酸に由来する単位の量は、1〜95質量%が好ましく、10〜50質量%がより好ましい。(メタ)アクリル酸に由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂において、樹脂中の、脂環式エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位の量は、1〜95質量%が好ましく、30〜70質量%がより好ましい。 In a resin containing a unit derived from (meth)acrylic acid and a unit derived from a (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic epoxy group, a unit derived from (meth)acrylic acid in the resin 1 to 95 mass% is preferable, and 10 to 50 mass% is more preferable. In a resin containing a unit derived from (meth)acrylic acid and a unit derived from (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic epoxy group, a group having an alicyclic epoxy group in the resin 1-95 mass% is preferable and, as for the quantity of the unit derived from the (meth)acrylic acid ester which it has, 30-70 mass% is more preferable.

(メタ)アクリル酸に由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位とを含む、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルから選択される1種以上の単量体の重合体の中では、(メタ)アクリル酸に由来する単位と、脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂が好ましい。 A unit derived from (meth)acrylic acid and a unit derived from (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic epoxy group are selected from (meth)acrylic acid and (meth)acrylic acid ester. Among polymers of one or more kinds of monomers, a unit derived from (meth)acrylic acid, a unit derived from (meth)acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group, and an alicyclic epoxy A resin containing a unit derived from a (meth)acrylic acid ester having a group having a group is preferable.

(メタ)アクリル酸に由来する単位と、脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂において、樹脂中の、(メタ)アクリル酸に由来する単位の量は、1〜95質量%が好ましく、10〜50質量%がより好ましい。(メタ)アクリル酸に由来する単位と、脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂において、樹脂中の、脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位の量は、1〜95質量%が好ましく、10〜70質量%がより好ましい。(メタ)アクリル酸に由来する単位と、脂環式炭化水素基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位と、脂環式エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位とを含む樹脂において、樹脂中の、脂環式エポキシ基を有する基を有する(メタ)アクリル酸エステルに由来する単位の量は、1〜95質量%が好ましく、30〜80質量%がより好ましい。 Units derived from (meth)acrylic acid, units derived from (meth)acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group, and units derived from (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic epoxy group In the resin containing the unit, the amount of the unit derived from (meth)acrylic acid in the resin is preferably 1 to 95% by mass, and more preferably 10 to 50% by mass. Units derived from (meth)acrylic acid, units derived from (meth)acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group, and units derived from (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic epoxy group In the resin containing a unit, the amount of the unit derived from the (meth)acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group in the resin is preferably 1 to 95% by mass, more preferably 10 to 70% by mass. Units derived from (meth)acrylic acid, units derived from (meth)acrylic acid ester having an alicyclic hydrocarbon group, and units derived from (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic epoxy group In the resin containing the unit, the amount of the unit derived from the (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic epoxy group in the resin is preferably 1 to 95% by mass, more preferably 30 to 80% by mass. preferable.

アルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量(Mw:ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)のポリスチレン換算による測定値。本明細書において同じ。)は、2000〜200000であることが好ましく、2000〜18000であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、感光性組成物の膜形成能、露光後の現像性のバランスがとりやすい傾向がある。 The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin (Mw: measured value by gel permeation chromatography (GPC) in terms of polystyrene, the same in the present specification) is preferably 2000 to 200000, and more preferably 2000 to 18000. preferable. Within the above range, the film forming ability of the photosensitive composition and the developability after exposure tend to be easily balanced.

感光性組成物がアルカリ可溶性樹脂を含む場合、感光性組成物中のアルカリ可溶性樹脂の含有量は、感光性組成物の固形分中、15〜95質量%が好ましく、35〜85質量%がより好ましく、50〜70質量%が特に好ましい。 When the photosensitive composition contains an alkali-soluble resin, the content of the alkali-soluble resin in the photosensitive composition is preferably 15 to 95% by mass, more preferably 35 to 85% by mass in the solid content of the photosensitive composition. 50-70 mass% is especially preferable.

<その他の成分>
感光性組成物には、必要に応じて、各種の添加剤を含んでいてもよい。具体的には、溶剤、増感剤、硬化促進剤、光架橋剤、光増感剤、分散助剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等が例示される。
<Other ingredients>
The photosensitive composition may contain various additives, if necessary. Specifically, a solvent, a sensitizer, a curing accelerator, a photocrosslinking agent, a photosensitizer, a dispersion aid, a filler, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an agglomeration inhibitor, a thermal polymerization inhibitor. Examples include agents, defoaming agents, surfactants and the like.

感光性組成物に使用される溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコール−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、蟻酸n−ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。これらの溶剤は、単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the solvent used in the photosensitive composition include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, Diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol Mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl ether (Poly)alkylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, etc. (Poly)alkylene glycol monoalkyl ether acetates; other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran; ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone; 2-hydroxy Lactic acid alkyl esters such as methyl propionate and ethyl 2-hydroxypropionate; ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, and 3 -Ethyl ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, 3-methyl-3-methoxybutylacetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate , Ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, n-pentyl formate, isopentyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, isopropyl butyrate, n-butyl butyrate, Other esters such as methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate and ethyl 2-oxobutanoate; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; N-methylpyrrolidone, Examples include amides such as N,N-dimethylformamide and N,N-dimethylacetamide. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

上記溶剤の中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、3−メトキシブチルアセテートは、上述の(A)成分及び(B)成分に対して優れた溶解性を示すとともに、上述の(C)成分の分散性を良好にすることができるため好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテートを用いることが特に好ましい。溶剤は、感光性組成物の用途に応じて適宜決定すればよいが、一例として、感光性組成物の固形分の合計100質量部に対して、50〜900質量部程度が挙げられる。 Among the above solvents, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, 3-methoxybutyl acetate, the above (A ) And the component (B) are excellent in solubility and the dispersibility of the component (C) can be improved, which is preferable, and propylene glycol monomethyl ether acetate and 3-methoxybutyl acetate are used. Is particularly preferable. The solvent may be appropriately determined depending on the application of the photosensitive composition, but as an example, about 50 to 900 parts by mass can be mentioned with respect to 100 parts by mass of the total solid content of the photosensitive composition.

本発明に係る感光性組成物に使用される熱重合禁止剤としては、例えば、ヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等を挙げることができる。また、消泡剤としては、シリコーン系、フッ素系等の化合物を、界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、ノニオン等の化合物を、それぞれ例示できる。 Examples of the thermal polymerization inhibitor used in the photosensitive composition according to the present invention include hydroquinone and hydroquinone monoethyl ether. Examples of the defoaming agent include silicone-based and fluorine-based compounds, and examples of the surfactant include anionic-based, cation-based and nonionic compounds.

[感光性組成物の調製方法]
感光性組成物は、上記の各成分を全て撹拌機で混合することにより調製される。なお、調製された感光性組成物が顔料等の不溶性の成分を含まない場合、感光性組成物が均一となるようフィルタを用いて濾過してもよい。
[Method for preparing photosensitive composition]
The photosensitive composition is prepared by mixing all of the above components with a stirrer. When the prepared photosensitive composition does not contain an insoluble component such as a pigment, it may be filtered using a filter so that the photosensitive composition becomes uniform.

≪膜形成方法≫
以上説明した感光性組成物を用いて、絶縁膜やカラーフィルタとして使用される膜を形成する方法を以下に説明する。感光性組成物を用いて形成される膜は、必要に応じてパターン化されていてもよい。
<Film forming method>
A method for forming an insulating film or a film used as a color filter using the above-described photosensitive composition will be described below. The film formed using the photosensitive composition may be patterned if necessary.

感光性組成物を用いて膜を形成するには、まず、ロールコータ、リバースコータ、バーコータ等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて、基板上に感光性組成物を塗布する。 In order to form a film using the photosensitive composition, first, a contact transfer type coating device such as a roll coater, a reverse coater or a bar coater, or a non-contact type coating device such as a spinner (rotary coating device) or a curtain flow coater. The photosensitive composition is applied onto the substrate using.

次いで、塗布された感光性組成物を乾燥させて塗布膜を形成させる。乾燥方法は、特に限定されず、例えば、(1)ホットプレートにて80〜120℃、好ましくは90〜100℃の温度にて60〜120秒間乾燥させる方法、(2)室温にて数時間〜数日間放置する方法、(3)温風ヒータや赤外線ヒータ中に数十分間〜数時間入れて溶剤を除去する方法等が挙げられる。 Next, the applied photosensitive composition is dried to form a coating film. The drying method is not particularly limited, and for example, (1) a method of drying at a temperature of 80 to 120°C, preferably 90 to 100°C for 60 to 120 seconds on a hot plate, (2) at room temperature for several hours to Examples include a method of leaving for several days and (3) a method of removing the solvent by placing it in a warm air heater or an infrared heater for several tens of minutes to several hours.

次いで、この塗布膜に、紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射して露光する。露光は、例えば、ネガ型のマスクを介して露光を行う方法等により、位置選択的に行われてもよい。照射するエネルギー線量は、感光性組成物の組成によっても異なるが、例えば40〜200mJ/cm程度が好ましい。 Then, this coating film is exposed by irradiating active energy rays such as ultraviolet rays and excimer laser light. The exposure may be performed position-selectively by, for example, a method of performing exposure through a negative mask. The energy dose for irradiation varies depending on the composition of the photosensitive composition, but is preferably about 40 to 200 mJ/cm 2 , for example.

塗布膜が位置選択的に露光された場合、露光後の膜を、現像液により現像することによって所望の形状にパターニングする。現像方法は、特に限定されず、例えば、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液は、感光性組成物の組成に応じて適宜選択される。感光性組成物が、アルカリ可溶性樹脂のようなアルカリ可溶性の成分を含む部場合、現像液としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系の現像液や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液を用いることができる。 When the coating film is position-selectively exposed, the exposed film is developed with a developing solution to be patterned into a desired shape. The developing method is not particularly limited, and for example, a dipping method, a spray method or the like can be used. The developing solution is appropriately selected according to the composition of the photosensitive composition. When the photosensitive composition is a part containing an alkali-soluble component such as an alkali-soluble resin, the developer may be an organic developer such as monoethanolamine, diethanolamine or triethanolamine, sodium hydroxide or hydroxide. An aqueous solution of potassium, sodium carbonate, ammonia, a quaternary ammonium salt or the like can be used.

次いで、現像後のパターンに対して200〜250℃程度でポストベークを行うことが好ましい。 Then, post-baking is preferably performed on the developed pattern at about 200 to 250°C.

このようにして形成されるパターンは、例えば、液晶表示ディスプレイ等のような表示装置において使用される、絶縁膜や、カラーフィルタを構成する画素及びブラックマトリクス等の用途に好適に用いることができる。 The pattern thus formed can be preferably used for applications such as an insulating film, pixels constituting a color filter, and a black matrix used in a display device such as a liquid crystal display.

以下、実施例を示して本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲は、これらの実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the scope of the present invention is not limited to these Examples.

[実施例1]
化合物2の合成
以下の合成方法に従って、前述の化合物2を合成した。なお、下記合成スキームにおける略号の意味は以下の通りである
Bu:tert−ブチル基
Pr:n−プロピル基
Ac:アセチル基

Figure 0006713112
[Example 1]
Synthesis of Compound 2 The above-mentioned compound 2 was synthesized according to the following synthetic method. The abbreviations in the following synthetic schemes have the following meanings.
t Bu: tert-butyl group Pr: n-propyl group Ac: acetyl group
Figure 0006713112

反応容器にテトラヒドロフラン(THF)500質量部、及びカリウムtert−ブトキシド68.7質量部を仕込んだ後、2−ブロモフルオレン50.0質量部を添加した。
次いで、反応容器に、1−ブロモプロパン56.1質量部を滴下し、40℃で3時間撹拌した。この反応液を室温まで冷却した後に酢酸エチル、水を注入して分液、水洗した。油層を濃縮し、2−ブロモ−9,9−ジプロピルフルオレン67.2質量部(収率100%、HPLC純度92%)を得た。
得られた2−ブロモ−9,9−ジプロピルフルオレン50.0質量部、塩化メチレン500質量部、及び無水塩化アルミニウム30.4質量部を反応容器に仕込み、0℃に冷却した。
プロピオニルクロライド16.9質量部を滴下後、10℃で3時間撹拌した。氷水に反応液を注入して、分液し、5%重曹水、及び水にて油層を洗浄した。油層を濃縮し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーにより単離精製して、化合物2a46.8質量部(収率80%、HPLC純度95%)を得た。
化合物2a30.0質量部にTHF150質量部を加え、次いで4−ニトロフェニルボロン酸15.6質量部、及び炭酸カリウム21.5質量部を加えた。次いで、[1,1’−ビス(ジフェニルホスフィノ)フェロセン]パラジウム(II)ジクロリド ジクロロメタン付加物0.6質量部、及び水3質量部を添加した後、還流温度で5時間撹拌した。
この反応液を室温まで冷却後、不溶解分をろ過し、ろ液を濃縮乾固した後にシリカゲルクロマトグラフィーにより単離生成して、化合物2b24.7質量部(収率75%、HPLC純度95%)を得た。
化合物2b15.0質量部に、メタノール75.0質量部、ヒドロキシルアミン塩酸塩7.4質量部、及び酢酸ナトリウム6.9質量部を添加し、60℃で5時間撹拌した。この反応液を室温まで冷却し、水25質量部を加えてろ過し、メタノール、次いで水で洗浄した。送風乾燥で乾燥して、化合物2c15.5質量部(収率100%、HPLC純度90%)を得た。
化合物2c10.0質量部に、酢酸エチル50.0質量部と無水酢酸9.3質量部を加えて、40℃で5時間撹拌した。反応液を室温まで冷却後、メタノール10.0質量部を加えて30分撹拌後、析出した固体をろ過した。得られた固体をシリカゲルカラムクロマトグラフィーにより単離精製し、化合物2を5.5質量部(収率50%、HPLC純度98%)得た。得られた化合物2の構造は、H−NMRスペクトル(CDCl)により確認した。H−NMRスペクトルを以下に示す。
δ[ppm]:8.30−8.35(m:2H)、7.71−7.85(m:6H)、7.58−7.65(m:2H)、2.93(q:2H)、2.30(s:3H)、1.98−2.10(m:4H)、1.24(t:3H)、0.64−0.76(m:10H)
After charging 500 parts by mass of tetrahydrofuran (THF) and 68.7 parts by mass of potassium tert-butoxide to the reaction vessel, 50.0 parts by mass of 2-bromofluorene was added.
Then, 56.1 parts by mass of 1-bromopropane was added dropwise to the reaction vessel, and the mixture was stirred at 40° C. for 3 hours. After the reaction solution was cooled to room temperature, ethyl acetate and water were added thereto for liquid separation and water washing. The oil layer was concentrated to obtain 67.2 parts by mass of 2-bromo-9,9-dipropylfluorene (yield 100%, HPLC purity 92%).
The reaction vessel was charged with 50.0 parts by mass of the obtained 2-bromo-9,9-dipropylfluorene, 500 parts by mass of methylene chloride, and 30.4 parts by mass of anhydrous aluminum chloride, and cooled to 0°C.
After dropping 16.9 parts by mass of propionyl chloride, the mixture was stirred at 10° C. for 3 hours. The reaction solution was poured into ice water, the layers were separated, and the oil layer was washed with 5% aqueous sodium hydrogen carbonate and water. The oil layer was concentrated and isolated and purified by silica gel column chromatography to obtain 46.8 parts by mass of compound 2a (yield 80%, HPLC purity 95%).
To 150 parts by mass of THF was added 30.0 parts by mass of the compound 2a, and then 15.6 parts by mass of 4-nitrophenylboronic acid and 21.5 parts by mass of potassium carbonate were added. Then, [1,1′-bis(diphenylphosphino)ferrocene]palladium(II) dichloride dichloromethane adduct (0.6 parts by mass) and water (3 parts by mass) were added, and the mixture was stirred at reflux temperature for 5 hours.
The reaction solution was cooled to room temperature, insoluble matter was filtered off, the filtrate was concentrated to dryness, and then isolated and produced by silica gel chromatography to give 24.7 parts by mass of compound 2b (yield 75%, HPLC purity 95%. ) Got.
75.0 parts by mass of methanol, 7.4 parts by mass of hydroxylamine hydrochloride, and 6.9 parts by mass of sodium acetate were added to 15.0 parts by mass of the compound 2b, and the mixture was stirred at 60° C. for 5 hours. The reaction solution was cooled to room temperature, 25 parts by mass of water was added, and the mixture was filtered and washed with methanol and then with water. After drying by blast drying, 15.5 parts by mass of compound 2c (yield 100%, HPLC purity 90%) was obtained.
50.0 parts by mass of ethyl acetate and 9.3 parts by mass of acetic anhydride were added to 10.0 parts by mass of the compound 2c, and the mixture was stirred at 40° C. for 5 hours. After cooling the reaction solution to room temperature, 10.0 parts by mass of methanol was added and the mixture was stirred for 30 minutes, and the precipitated solid was filtered. The obtained solid was isolated and purified by silica gel column chromatography to obtain 5.5 parts by mass of compound 2 (yield 50%, HPLC purity 98%). The structure of the obtained compound 2 was confirmed by 1 H-NMR spectrum (CDCl 3 ). The 1 H-NMR spectrum is shown below.
δ [ppm]: 8.30-8.35 (m:2H), 7.71-7.85 (m:6H), 7.58-7.65 (m:2H), 2.93 (q: 2H), 2.30 (s:3H), 1.98-2.10 (m:4H), 1.24 (t:3H), 0.64-0.76 (m:10H).

[実施例2]
化合物37の合成
プロピオニルクロライドをブチリルクロライドに変更することと、4−ニトロフェニルボロン酸を4−シアノフェニルボロン酸に変更することとを除いて、実施例1と同様にして、下記化合物37を得た。
以下の合成方法に従って、前述の化合物37を合成した。なお、下記合成スキームにおける略号の意味は実施例1と同様である

Figure 0006713112
[Example 2]
Synthesis of Compound 37 The following compound 37 was prepared in the same manner as in Example 1 except that propionyl chloride was changed to butyryl chloride and 4-nitrophenylboronic acid was changed to 4-cyanophenylboronic acid. Obtained.
The aforementioned compound 37 was synthesized according to the following synthetic method. The abbreviations in the following synthetic schemes have the same meanings as in Example 1.
Figure 0006713112

プロピオニルクロライドをブチリルクロライドに変更することを除いて、実施例1と同様にして化合物37aを得た。
化合物37a20質量部に、THF80質量部、メタノール80質量部、酢酸ナトリウム6.2質量部、ヒドロキシルアミン塩酸塩5.2質量部を加えて60℃で5時間撹拌した。この反応液を室温まで冷却し、水60質量部を加えてろ過し、メタノールで洗浄した。送風乾燥で乾燥して、化合物37b19.8質量部(収率95%、HPLC純度90%)を得た。
化合物37b15.0質量部にTHF75質量部を加え、次いで4−シアノフェニルボロン酸6.4質量部、及び炭酸カリウム7.6質量部を加えた。次いで、[1,1’−ビス(ジフェニルホスフィノ)フェロセン]パラジウム(II)ジクロリド ジクロロメタン付加物0.3質量部、及び水3質量部を添加した後、還流温度で5時間撹拌した。
この反応液を室温まで冷却後、不溶解分をろ過し、ろ液を濃縮乾固した後にシリカゲルクロマトグラフィーにより単離生成して、化合物37c8.1質量部(収率52%、HPLC純度95%)を得た。
化合物37c5.0質量部に、酢酸エチル25.0質量部と無水酢酸2.4質量部を加えて、40℃で5時間撹拌した。反応液を室温まで冷却後、メタノール10.0質量部を加えて30分撹拌後、析出した固体をろ過した。得られた固体をシリカゲルカラムクロマトグラフィーにより単離精製し、化合物37を2.7質量部(収率50%、HPLC純度98%)得た。
得られた化合物37の構造は、H−NMRスペクトル(CDCl)により確認した。H−NMRスペクトルを以下に示す。
δ[ppm]:7.67−7.82(m:8H)、7.55−7.60(m:2H)、2.90(t:2H)、2.30(s:3H)、1.93−2.07(m:4H)、1.65(sep:2H)、1.12(t:3H)、0.65−0.70(m:10H)
Compound 37a was obtained in the same manner as in Example 1 except that propionyl chloride was changed to butyryl chloride.
80 parts by mass of THF, 80 parts by mass of methanol, 6.2 parts by mass of sodium acetate and 5.2 parts by mass of hydroxylamine hydrochloride were added to 20 parts by mass of the compound 37a, and the mixture was stirred at 60° C. for 5 hours. The reaction solution was cooled to room temperature, added with 60 parts by mass of water, filtered, and washed with methanol. It was dried by blast drying to obtain 19.8 parts by mass of compound 37b (yield 95%, HPLC purity 90%).
75 parts by mass of THF was added to 15.0 parts by mass of the compound 37b, and then 6.4 parts by mass of 4-cyanophenylboronic acid and 7.6 parts by mass of potassium carbonate were added. Subsequently, 0.3 part by mass of [1,1′-bis(diphenylphosphino)ferrocene]palladium(II) dichloride dichloromethane adduct and 3 parts by mass of water were added, followed by stirring at a reflux temperature for 5 hours.
The reaction solution was cooled to room temperature, insoluble matter was filtered off, the filtrate was concentrated to dryness, and then isolated and produced by silica gel chromatography to obtain 8.1 parts by mass of compound 37c (yield 52%, HPLC purity 95%). ) Got.
25.0 parts by mass of ethyl acetate and 2.4 parts by mass of acetic anhydride were added to 5.0 parts by mass of compound 37c, and the mixture was stirred at 40° C. for 5 hours. After cooling the reaction solution to room temperature, 10.0 parts by mass of methanol was added and the mixture was stirred for 30 minutes, and the precipitated solid was filtered. The obtained solid was isolated and purified by silica gel column chromatography to obtain 2.7 parts by mass of compound 37 (yield 50%, HPLC purity 98%).
The structure of the obtained compound 37 was confirmed by 1 H-NMR spectrum (CDCl 3 ). The 1 H-NMR spectrum is shown below.
δ [ppm]: 7.67-7.82 (m:8H), 7.55-7.60 (m:2H), 2.90 (t:2H), 2.30 (s:3H), 1 .93-2.07 (m:4H), 1.65 (sep:2H), 1.12 (t:3H), 0.65-0.70 (m:10H).

[実施例3]
化合物20の合成
プロピオニルクロライドをブチリルクロライドに変更することと、4−ニトロフェニルボロン酸を3−ニトロフェニルボロン酸に変更することとを除いて、実施例1と同様にして、下記化合物20を得た。

Figure 0006713112
[Example 3]
Synthesis of Compound 20 Compound 20 shown below was prepared in the same manner as in Example 1 except that propionyl chloride was changed to butyryl chloride and 4-nitrophenylboronic acid was changed to 3-nitrophenylboronic acid. Obtained.
Figure 0006713112

得られた化合物20の構造は、H−NMRスペクトル(CDCl)により確認した。H−NMRスペクトルを以下に示す。
δ[ppm]:8.52(t:1H)、8.19−8.25(m:1H)、7.96−8.02(m:1H)、7.58−7.86(m:7H)、2.91(q:2H)、2.29(s:3H)、1.96−2.12(m:4H)、1.58−1.70(m:2H)、1.02(t:3H)、0.58−0.75(m:10H)
The structure of the obtained compound 20 was confirmed by 1 H-NMR spectrum (CDCl 3 ). The 1 H-NMR spectrum is shown below.
δ [ppm]: 8.52 (t: 1H), 8.19-8.25 (m: 1H), 7.96-8.02 (m: 1H), 7.58-7.86 (m: 7H), 2.91 (q:2H), 2.29 (s:3H), 1.96-2.12 (m:4H), 1.58-1.70 (m:2H), 1.02. (T:3H), 0.58-0.75 (m:10H)

[実施例4]
化合物28の合成
以下の合成方法に従って、前述の化合物28を合成した。なお、下記合成スキームにおける略号の意味は実施例1と同様である

Figure 0006713112
プロピオニルクロライドをブチリルクロライドに変更することと、4−ニトロフェニルボロン酸を3−ニトロフェニルボロン酸に変更することとを除いて、実施例1と同様にして化合物28bを得た。
化合物28b20質量部に、THF150質量部、35%塩酸12.0質量部を加えた。亜硝酸イソペンチル8.1質量部を室温でゆっくり加え、7時間撹拌を継続した。得られた反応液を濃縮乾固し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーにより単離精製して、化合物28c11.9質量部(収率55%、HPLC純度95%)を得た。
得られた化合物28c10.0質量部に酢酸エチル100質量部、無水酢酸2.6質量部を加え、40℃で5時間撹拌した。反応液を室温まで冷却後、濃縮乾固し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーにより単離精製して、化合物28を8.2質量部(収率75%、HPLC純度97%)得た。
得られた化合物28の構造は、H−NMRスペクトル(CDCl)により確認した。H−NMRスペクトルを以下に示す。
δ[ppm]:8.53(t:1H)、8.20−8.26(m:1H)、8.07−8.16(m:2H)、7.96−8.02(m:1H)、7.83(q:2H),7.58−7.68(m:3H)、2.85(q:2H)、2.30(s:3H)、1.96−2.15(m:4H)、1.22(t:3H)、0.58−0.80(m:10H) [Example 4]
Synthesis of Compound 28 The above-mentioned Compound 28 was synthesized according to the following synthetic method. The abbreviations in the following synthetic schemes have the same meanings as in Example 1.
Figure 0006713112
Compound 28b was obtained in the same manner as in Example 1 except that propionyl chloride was changed to butyryl chloride and 4-nitrophenylboronic acid was changed to 3-nitrophenylboronic acid.
To 20 parts by mass of compound 28b, 150 parts by mass of THF and 12.0 parts by mass of 35% hydrochloric acid were added. 8.1 parts by mass of isopentyl nitrite was slowly added at room temperature, and stirring was continued for 7 hours. The obtained reaction solution was concentrated to dryness, and isolated and purified by silica gel column chromatography to obtain 11.9 parts by mass of compound 28c (yield 55%, HPLC purity 95%).
100 parts by mass of ethyl acetate and 2.6 parts by mass of acetic anhydride were added to 10.0 parts by mass of the obtained compound 28c, and the mixture was stirred at 40° C. for 5 hours. The reaction solution was cooled to room temperature, concentrated to dryness, and isolated and purified by silica gel column chromatography to obtain 8.2 parts by mass of compound 28 (yield 75%, HPLC purity 97%).
The structure of the obtained compound 28 was confirmed by 1 H-NMR spectrum (CDCl 3 ). The 1 H-NMR spectrum is shown below.
δ [ppm]: 8.53 (t: 1H), 8.20-8.26 (m: 1H), 8.07-8.16 (m: 2H), 7.96-8.02 (m: 1H), 7.83 (q:2H), 7.58-7.68 (m:3H), 2.85 (q:2H), 2.30 (s:3H), 1.96-2.15. (M:4H), 1.22 (t:3H), 0.58-0.80 (m:10H)

[実施例5]
化合物138の合成
2−ブロモ−9,9−ジプロピルフルオレンをN−エチル−3−ブロモカルバゾールに変更することと、4−ニトロフェニルボロン酸を3−ニトロフェニルボロン酸に変更することと、プロピオニルクロライドを4−((1−メトキシプロパン−2−イル)オキシ)−2−メチル安息香酸クロライドに変更することとを除いて、実施例1と同様にして下記化合物138を得た。

Figure 0006713112
[Example 5]
Synthesis of Compound 138 Changing 2-bromo-9,9-dipropylfluorene to N-ethyl-3-bromocarbazole, changing 4-nitrophenylboronic acid to 3-nitrophenylboronic acid, and propionyl The following compound 138 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the chloride was changed to 4-((1-methoxypropan-2-yl)oxy)-2-methylbenzoic acid chloride.
Figure 0006713112

得られた化合物138の構造は、H−NMRスペクトル(CDCl)により確認した。H−NMRスペクトルを以下に示す。
δ[ppm]:8.54(brs:1H)、8.30(brs:2H)、8.00−8.20(m:2H)、7.86(dd:1H)、7.75(dd:1H)、7.63(t:1H)、7.42(d:1H)、7.40(d:1H)、7.08(d:1H)、6.85−6.95(m:2H)、4.60−4.70(m:1H)、4.42(q:2H)、3.50−3.70(m:2H)、3.46(s:3H)、2.18(s:3H)、2.12(s:3H)、1.50(t:3H)、1.60(d:3H)
The structure of the obtained compound 138 was confirmed by 1 H-NMR spectrum (CDCl 3 ). The 1 H-NMR spectrum is shown below.
δ [ppm]: 8.54 (brs: 1H), 8.30 (brs: 2H), 8.00-8.20 (m: 2H), 7.86 (dd: 1H), 7.75 (dd) :1H), 7.63 (t: 1H), 7.42 (d: 1H), 7.40 (d: 1H), 7.08 (d: 1H), 6.85-6.95 (m: 2H), 4.60-4.70 (m:1H), 4.42 (q:2H), 3.50-3.70 (m:2H), 3.46 (s:3H), 2.18. (S:3H), 2.12 (s:3H), 1.50 (t:3H), 1.60 (d:3H)

[実施例6〜18、比較例1、及び比較例2]
実施例及び比較例において、光重合性化合物として、樹脂Aと、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬株式会社製)とを用いた。樹脂Aは、以下の処方に従って合成したものを用いた。
[Examples 6 to 18, Comparative Example 1, and Comparative Example 2]
In Examples and Comparative Examples, resin A and dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) were used as photopolymerizable compounds. The resin A used was one synthesized according to the following formulation.

まず、500ml四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂(エポキシ当量235)235g、テトラメチルアンモニウムクロライド110mg、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノール100mg、及びアクリル酸72.0gを仕込み、これに25ml/分の速度で空気を吹き込みながら90〜100℃で加熱溶解した。次に、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、120℃に加熱して完全溶解させた。この際、溶液は次第に透明粘稠になったが、そのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、1.0mgKOH/g未満になるまで加熱撹拌を続けた。酸価が目標値に達するまで12時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の下記構造式(a4)で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。 First, in a 500 ml four-necked flask, 235 g of bisphenolfluorene type epoxy resin (epoxy equivalent 235), tetramethylammonium chloride 110 mg, 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol 100 mg, and acrylic acid 72.0 g. Was charged and heated and dissolved at 90 to 100° C. while blowing air at a rate of 25 ml/min. Next, the temperature of the solution was gradually increased in a cloudy state and heated to 120° C. to completely dissolve the solution. At this time, the solution gradually became transparent and viscous, but the stirring was continued as it was. During this period, the acid value was measured and heating and stirring were continued until the acid value was less than 1.0 mgKOH/g. It took 12 hours for the acid value to reach the target value. Then, it was cooled to room temperature to obtain a colorless and transparent solid bisphenolfluorene type epoxy acrylate represented by the following structural formula (a4).

Figure 0006713112
Figure 0006713112

次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート307.0gに3−メトキシブチルアセテート600gを加えて溶解した後、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物80.5g及び臭化テトラエチルアンモニウム1gを混合し、徐々に昇温して110〜115℃で4時間反応させた。酸無水物基の消失を確認した後、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸38.0gを混合し、90℃で6時間反応させ、樹脂Aを得た。酸無水物基の消失はIRスペクトルにより確認した。この樹脂Aは、前述の式(a1)で表される化合物に相当する。 Then, after adding and dissolving 600 g of 3-methoxybutyl acetate to 307.0 g of the above-obtained bisphenolfluorene type epoxy acrylate, 80.5 g of benzophenone tetracarboxylic dianhydride and 1 g of tetraethylammonium bromide were added. The mixture was mixed, and the temperature was gradually raised to react at 110 to 115° C. for 4 hours. After confirming the disappearance of the acid anhydride group, 38.0 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was mixed and reacted at 90° C. for 6 hours to obtain a resin A. The disappearance of the acid anhydride group was confirmed by IR spectrum. The resin A corresponds to the compound represented by the above formula (a1).

実施例では、光重合開始剤として、下記の化合物1、化合物4〜10、及び化合物13〜17を用いた。下記の化合物1、化合物4〜10、及び化合物13〜17は、実施例1〜5と同様の方法により合成した。

Figure 0006713112
In the examples, the following compounds 1, compounds 4 to 10 and compounds 13 to 17 were used as photopolymerization initiators. The following Compound 1, Compounds 4 to 10, and Compounds 13 to 17 were synthesized by the same method as in Examples 1 to 5.
Figure 0006713112

比較例では、光重合開始剤として、下記の比較化合物1、及び比較化合物2を用いた。

Figure 0006713112
In Comparative Examples, the following Comparative Compound 1 and Comparative Compound 2 were used as photopolymerization initiators.
Figure 0006713112

樹脂A25質量部と、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬株式会社製)10質量部と、表1に記載の種類の光重合開始剤5質量部と、カーボン分散液(CFブラック、御国色素株式会社製)60質量部とを、3−メトキシブチルアセテート、シクロヘキサノン、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートからなる混合溶媒で、固形分濃度が15質量%となるように希釈した後、これらの成分を均一に混合して、実施例6〜18、比較例1、及び比較例2の感光性組成物を得た。混合溶媒中の各溶媒の質量比は、3−メトキシブチルアセテート/シクロヘキサノン/プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとして60/20/20であった。 Resin A 25 parts by mass, dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 10 parts by mass, photopolymerization initiator 5 parts by mass of the kind shown in Table 1, carbon dispersion (CF black, Mikuni dye stock) 60 parts by mass) was diluted with a mixed solvent consisting of 3-methoxybutyl acetate, cyclohexanone, and propylene glycol monomethyl ether acetate so that the solid content concentration became 15% by mass, and then these components were homogenized. By mixing, the photosensitive compositions of Examples 6 to 18, Comparative Example 1 and Comparative Example 2 were obtained. The mass ratio of each solvent in the mixed solvent was 60/20/20 as 3-methoxybutyl acetate/cyclohexanone/propylene glycol monomethyl ether acetate.

[感度評価]
感度の評価は、以下の手順で実施した。まず、各実施例及び比較例の感光性組成物をガラス基板(10cm×10cm)上にスピンコーターを用いて塗布し、90℃で120秒間プリベークを行い、ガラス基板の表面に膜厚1.0μmの塗布膜を形成した。その後、ミラープロジェクションアライナー(製品名:TME−150RTO、株式会社トプコン製)を使用し、露光ギャップを50μmとして、幅10μmのパターンの形成されたネガ型マスクを介して、塗布膜に紫外線を照射した。露光量は、30、60、1200mJ/cmの3段階とした。露光後の塗布膜を、26℃の0.04質量%KOH水溶液で30秒間現像後、230℃にて30分間ポストベークを行うことにより、各露光量のパターンを得た。各露光量でのパターンの線幅を光学顕微鏡で測定し、各露光量での線幅と露光量とから最小二乗法による近似計算により10μmの線幅が得られる露光量を算出した。算出された、現像時間30秒における感度(mJ/cm)のデータを表1に示す。表1に示した感度のデータは、所定の線幅のパターン(10μm)を形成させるのに必要な露光量を示すものであり、この数値が小さいほど感光性組成物の感度が高いことを意味する。
[Sensitivity evaluation]
The sensitivity was evaluated according to the following procedure. First, the photosensitive compositions of Examples and Comparative Examples were applied on a glass substrate (10 cm×10 cm) using a spin coater and prebaked at 90° C. for 120 seconds to give a film thickness of 1.0 μm on the surface of the glass substrate. To form a coating film. After that, a mirror projection aligner (product name: TME-150RTO, manufactured by Topcon Co., Ltd.) was used, and the coating film was irradiated with ultraviolet rays through a negative mask having a pattern with a width of 10 μm and an exposure gap of 50 μm. .. The exposure amount was set to three levels of 30, 60, 1200 mJ/cm 2 . The exposed coating film was developed with a 0.04 mass% KOH aqueous solution at 26° C. for 30 seconds, and post-baked at 230° C. for 30 minutes to obtain a pattern of each exposure amount. The line width of the pattern at each exposure amount was measured with an optical microscope, and the exposure amount at which a line width of 10 μm was obtained was calculated from the line width at each exposure amount and the exposure amount by approximation calculation by the least square method. Table 1 shows the calculated sensitivity (mJ/cm 2 ) data at a developing time of 30 seconds. The sensitivity data shown in Table 1 shows the amount of exposure required to form a pattern (10 μm) having a predetermined line width, and the smaller the value, the higher the sensitivity of the photosensitive composition. To do.

[OD値の評価]
6インチのガラス基板(ダウ・コーニング製、1737ガラス)上に、各実施例及び比較例の感光性組成物を塗布した後、90℃で60秒間乾燥して塗布膜を形成した。次いで、この塗布膜に60mJ/cmの露光量でghi線を照射した。そして、230℃で20分間、ホットプレート上でポストベークを行って遮光幕を形成した。形成された遮光膜の膜厚は0.8μm、1.0μm、1.2μmの3水準であった。この遮光膜について、D200−II(Macbeth製)を用いて各膜厚におけるOD値を測定し、近似曲線にて1μmあたりのOD値を算出した。各実施例及び比較例の感光性組成物を用いて形成された遮光膜の算出されたOD値は、いずれも4.8/μmであった。
[Evaluation of OD value]
The photosensitive composition of each Example and Comparative Example was coated on a 6-inch glass substrate (1737 glass manufactured by Dow Corning), and then dried at 90° C. for 60 seconds to form a coating film. Next, this coating film was irradiated with ghi rays at an exposure dose of 60 mJ/cm 2 . Then, post-baking was performed on the hot plate at 230° C. for 20 minutes to form a light shielding curtain. The formed light-shielding films had three levels of 0.8 μm, 1.0 μm, and 1.2 μm. With respect to this light-shielding film, the OD value at each film thickness was measured using D200-II (manufactured by Macbeth), and the OD value per 1 μm was calculated using an approximate curve. The calculated OD value of the light-shielding film formed using the photosensitive composition of each of Examples and Comparative Examples was 4.8/μm.

[ラインパターン評価]
各実施例、及び比較例の感光性組成物を、ガラス基板(100mm×100mm)上にスピンコーターを用いて塗布し、70℃で120秒間プリベークを行い、塗布膜を形成した。次いで、ミラープロジェクションアライナー(製品名:TME−150RTO、株式会社トプコン製)を使用し、露光ギャップを50μmとして、幅10μmのラインパターンの形成されたネガ型マスクを介して、塗布膜に紫外線を照射した。露光量は、20、40、60、120mJ/cmの4段階とした。露光後の塗布膜を、26℃の0.04質量%KOH水溶液で50秒間現像後、230℃にて30分間ポストベークを行うことにより、膜厚3.5μmのラインパターンを形成した。
[Line pattern evaluation]
The photosensitive compositions of Examples and Comparative Examples were applied on a glass substrate (100 mm×100 mm) using a spin coater and prebaked at 70° C. for 120 seconds to form a coating film. Then, using a mirror projection aligner (product name: TME-150RTO, manufactured by Topcon Co., Ltd.), the coating film is irradiated with ultraviolet rays through a negative mask having an exposure gap of 50 μm and a line pattern with a width of 10 μm. did. The exposure amount was set to four levels of 20 , 40, 60 and 120 mJ/cm 2 . The exposed coating film was developed with a 0.04 mass% KOH aqueous solution at 26° C. for 50 seconds, and post-baked at 230° C. for 30 minutes to form a line pattern having a film thickness of 3.5 μm.

(パターンはがれ評価)
形成されたラインパターンを光学顕微鏡により観察し、パターンはがれの有無を確認した。パターンはがれの有無の確認結果を、表1に記す。
(Pattern peeling evaluation)
The formed line pattern was observed with an optical microscope to confirm the presence or absence of pattern peeling. Table 1 shows the results of confirmation of the presence or absence of pattern peeling.

(テーパー角)
露光量40mJ/cmで形成されたラインパターンについて、テーパー角を評価した。測定されたテーパー角に基づいて、ラインパターンの断面形状を以下の基準に従って判定した。
◎:テーパー角が70°以上85°以下である。
○:テーパー角が85°超90°以下である。
△:テーパー角が90°超100°以下である。
×:テーパー角が100°超である。
(Taper angle)
The taper angle was evaluated for the line pattern formed with the exposure amount of 40 mJ/cm 2 . Based on the measured taper angle, the cross-sectional shape of the line pattern was judged according to the following criteria.
A: The taper angle is 70° or more and 85° or less.
◯: The taper angle is more than 85° and 90° or less.
Δ: The taper angle is more than 90° and 100° or less.
X: The taper angle is more than 100°.

テーパー角については、走査電子顕微鏡にてパターンと基板との間の接合角度として測定した。このテーパー角は、図1(a)及び(b)における角θに対応する。測定されたテーパー角を表1に示す。テーパー角が90℃に近いほど、パターン断面の形状が所望する矩形形状に近いことを意味する。テーパー角が鋭角であって、90℃よりも相当量小さな角である場合、パターンにアンダーカットは生じていないが、パターン断面の形状が所望する矩形形状でない。テーパー角が鈍角である場合、パターンにアンダーカットが生じている。 The taper angle was measured as a bonding angle between the pattern and the substrate with a scanning electron microscope. This taper angle corresponds to the angle θ in FIGS. 1(a) and 1(b). Table 1 shows the measured taper angles. The closer the taper angle is to 90° C., the closer the shape of the pattern cross section is to the desired rectangular shape. When the taper angle is an acute angle and is considerably smaller than 90° C., an undercut does not occur in the pattern, but the shape of the pattern cross section is not the desired rectangular shape. When the taper angle is obtuse, the pattern has undercuts.

Figure 0006713112
Figure 0006713112

表1によれば、光重合性化合物と、光重合開始剤として式(1)で表される構造の化合物とを含む実施例の感光性組成物は、感度に優れることが分かる。
実施例13〜18によれば、式(1)におけるnが1である化合物を用いる場合、特に感度に優れる感光性組成物を得やすいことが分かる。
また、表1から、実施例の感光性組成物を用いることで、基板からはがれにくく、断面形状が所望する矩形形状であるラインパターンを形成できることが分かる。
According to Table 1, it can be seen that the photosensitive compositions of Examples containing a photopolymerizable compound and a compound having a structure represented by the formula (1) as a photopolymerization initiator have excellent sensitivity.
According to Examples 13 to 18, when the compound in which n in the formula (1) is 1 is used, it is easy to obtain a photosensitive composition having particularly excellent sensitivity.
Further, it can be seen from Table 1 that by using the photosensitive composition of the example, it is possible to form a line pattern which is difficult to peel off from the substrate and has a desired rectangular cross section.

他方、式(1)に含まれない構造の光重合開始剤を含む比較例の感光性組成物は、感度に劣ることが分かる。また、比較例の感光性組成物を用いてラインパターンを形成する場合、露光量によっては、パターンはがれが生じ、また、テーパー角が鈍角であって、ラインパターンにアンダーカットが生じている。 On the other hand, it can be seen that the photosensitive composition of Comparative Example containing a photopolymerization initiator having a structure not included in the formula (1) is inferior in sensitivity. When a line pattern is formed using the photosensitive composition of Comparative Example, pattern peeling occurs depending on the exposure dose, and the taper angle is obtuse, resulting in undercut in the line pattern.

1 アンダーカットが存在しないパターンにおける幅方向の断面
2 アンダーカットが存在するパターンにおける幅方向の断面
1 Cross section in the width direction in a pattern without undercut 2 Cross section in the width direction in a pattern with undercut

Claims (5)

下記式(1)で表される化合物。
Figure 0006713112
(式(1)中、Rニトロ基を表し、Rフェニレン基でありは一価の有機基、又は水素原子を表し、Rは1価の有機基、又は水素原子を表し、nは、0又は1を表し、Tは下記式(T)又は式(T):
Figure 0006713112
で表される基を表し、
式(T)及び式(T)中、R及びRはそれぞれ独立して、置換されていてもよいアルキル基、又は水素原子を表し、*は結合手を表し、
式(T)中、R及びRは組み合わさって環を形成していてもよい。)
A compound represented by the following formula (1).
Figure 0006713112
(In the formula (1), R 1 represents a nitro group , R 6 represents a phenylene group , R 4 represents a monovalent organic group or a hydrogen atom, and R 5 represents a monovalent organic group or a hydrogen atom. the stands, n is 0 or 1, T is of the formula (T C) or formula (T n):
Figure 0006713112
Represents a group represented by
Wherein (T C) and formula (T N), R 2 and R 3 are each independently optionally substituted alkyl group, or a hydrogen atom, * represents a bond,
In formula (T C ), R 2 and R 3 may combine to form a ring. )
下記式(1C)で表される、請求項1に記載の化合物。
Figure 0006713112
(式(1C)中、R、R、R、R、R、R、及びnは前記の通り。)
The compound according to claim 1, which is represented by the following formula (1C).
Figure 0006713112
(In the formula (1C), R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , and n are as described above.)
下記式(1N)で表される、請求項1に記載の化合物。
Figure 0006713112
(式(1N)中、R、R、R、R、R、及びnは前記の通り。)
The compound according to claim 1, which is represented by the following formula (1N).
Figure 0006713112
(In the formula (1N), R 1 , R 2 , R 4 , R 5 , R 6 , and n are as described above.)
前記式(1)で表され、前記nが0である請求項1に記載の化合物を製造する方法であって、
(I)下記式(1a):
Figure 0006713112
(式(1a)中、Tは前記の通り。)
で表される環骨格に、クロスカップリング反応により−R−Rで表される基を導入することと、
(II)前記式(1a)で表される環骨格に、−CO−Rで表されるアシル基を導入した後、−CO−Rで表される基を、−C(=N−OH)−Rで表される基に変換し、さらに、−C(=N−OH)−Rで表される基をエステル化して−C(=N−O−CO−R)−Rで表される基に変換することと、を含む、方法。
The method for producing the compound according to claim 1, which is represented by the formula (1), and n is 0.
(I) The following formula (1a):
Figure 0006713112
(In the formula (1a), T is as described above.)
Introducing a group represented by -R 6 -R 1 into the ring skeleton represented by
The ring structure represented by (II) Formula (1a), after introducing an acyl group represented by -CO-R 4, a group represented by -CO-R 4, -C (= N- converted into a group represented by OH) -R 4, further, -C (= N-OH) -C esterifying a group represented by -R 4 (= N-O- CO-R 5) - Converting to a group represented by R 4 .
前記式(1)で表され、前記nが1である請求項1に記載の化合物を製造する方法であって、
(I)下記式(1a):
Figure 0006713112
(式(1a)中、Tは前記の通り。)
で表される環骨格に、クロスカップリング反応により−R−Rで表される基を導入することと、
(II)前記式(1a)で表される環骨格に、−CO−CH−Rで表されるアシル基を導入した後、−CO−CH−Rで表される基を、−CO−C(=N−OH)−Rで表される基に変換し、さらに、−CO−C(=N−OH)−Rで表される基をエステル化して−CO−C(=N−O−CO−R)−Rで表される基に変換することと、を含む、方法。
The method for producing the compound according to claim 1, which is represented by the formula (1), and n is 1.
(I) The following formula (1a):
Figure 0006713112
(In the formula (1a), T is as described above.)
Introducing a group represented by -R 6 -R 1 into the ring skeleton represented by
The ring structure represented by (II) Formula (1a), after introducing an acyl group represented by -CO-CH 2 -R 4, a group represented by -CO-CH 2 -R 4, -CO-C (= N-OH ) is converted into a group represented by -R 4, further, -CO-C (= N- OH) a group represented by -R 4 was esterified -CO-C (= N-O-CO- R 5) -R includes converting the group represented by 4, the method.
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