JP6853396B2

JP6853396B2 - ロードポート

Info

Publication number: JP6853396B2
Application number: JP2020039149A
Authority: JP
Inventors: 欣也加々見; 清二松田
Original assignee: Hirata Corp
Current assignee: Hirata Corp
Priority date: 2019-03-29
Filing date: 2020-03-06
Publication date: 2021-03-31
Anticipated expiration: 2040-03-06
Also published as: TWI807177B; TW202039345A; JP2020167397A

Description

本発明はロードポートに関する。

半導体ウエハ等の基板を収容するＦＯＵＰ等の容器が知られている。こうした容器は、処理設備に備えられたロードポートにおいて開閉され、内部の基板の出し入れがなされる。ロードポートには容器が載置されるドックプレートとドックプレートを移動する機構が設けられ、容器が載置されたドックプレートが所定の位置に移動することで、容器が開閉される。

ロードポートは、基板の搬送を行う基板搬送ロボットを内部に有する基板搬送装置に接続して取り付けられる。ロードポートは、基板搬送装置内の作業空間と外部とを仕切るポートプレートを備えており、ポートプレートに形成される開口部はポートドアにより開閉自在とされる。ポートプレートの開口部にＦＯＵＰがドッキングしていない状態で意図せず開口部が開放されると、作業空間が外部に曝された状態となる。このような場合、ポートドアの移動中にポートプレートとポートドアとの間に異物の挟み込みを招く可能性があるため、好ましくない。また、基板搬送ロボットの動作によって、その一部が開口部から突出することも避けなければならない。

特許文献１には、ポートプレートの開口部を開閉するドアと、別のドアの二重構造とし、これらが同時に開状態とならないようにしたロードポートが開示されている。また、特許文献２にはロードポートにカセットが載置されていることが検知されたことを条件として、ポートプレートの開口部を開放するようにしたロードポートが開示されている。

特開２００２−１１０７５６号公報特許第３９５４７１４号公報

したがって、ロードポートおよび基板搬送ロボット（基板搬送装置）の意図しない駆動を確実に防止し、周囲の安全性を確保する必要がある。周囲の安全性を確保するためには、ロードポートの各部の状態を複数のセンサで検知し、その検知結果が所定の条件を満たす場合にのみ、ポートドアおよび基板搬送ロボットの駆動を許可する方式が考えられる。しかし、センサ数が増大するとコストアップの要因にもなる。

本発明の目的は、ドックプレート上の容器の在席およびドックプレートがドック位置にあることを検知する機構を備えたロードポートを提供することにある。

本発明によれば、
基板の出し入れが可能な開口部を有するポートプレートと、
前記基板が収容される容器が載置される載置台と、
前記開口部を開閉すると共に前記容器のドア部を保持可能なポートドアと、
前記ポートドアの開閉動作を行う駆動機構と、
を備えたロードポートであって、
前記載置台は、
ベース部と、
前記容器が載置されるドックプレートと、
前記ベース部に設けられるとともに前記ドックプレートを支持し、該ドックプレートを、前記ポートドアが前記ドア部を保持可能な前記ポートプレート側に近接した第一の位置と、前記ポートプレートから離間した第二の位置との間で移動させる移動機構と、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第一のピンと、
前記ベース部に設けられ、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置していることを検知する第一の検知手段と、を備え、
前記第一の検知手段は、
前記ベース部に対して、前記移動機構による前記ドックプレートの移動方向に変位可能な可動部材と、該可動部材の変位を検知する第一のセンサと、を備え、
前記可動部材は、
前記ドックプレートが前記第二の位置から前記第一の位置へ移動する過程で、押し下げられた状態の前記第一のピンと当接する位置に配置されている、
ことを特徴とするロードポートが提供される。

また、本発明の別側面によれば、
基板の出し入れが可能な開口部を有するポートプレートと、
前記基板が収容される容器が載置される載置台と、
前記開口部を開閉すると共に前記容器のドア部を保持可能なポートドアと、
前記ポートドアの開閉動作を行う駆動機構と、
を備えたロードポートであって、
前記載置台は、
ベース部と、
前記容器が載置されるドックプレートと、
前記ベース部に設けられるとともに前記ドックプレートを支持し、該ドックプレートを、前記ポートドアが前記ドア部を保持可能な前記ポートプレート側に近接した第一の位置と、前記ポートプレートから離間した第二の位置との間で移動させる移動機構と、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第一のピンと、
前記ベース部に設けられ、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置していることを検知する第一の検知手段と、を備え、
前記第一の検知手段は、前記ドックプレートが前記第二の位置から前記第一の位置へ移動する過程で、押し下げられた状態の前記第一のピンを検知する非接触センサである、
ことを特徴とするロードポートが提供される。

本発明によれば、ドックプレート上の容器の在席およびドックプレートがドック位置にあることを検知する機構を備えたロードポートを提供することができる。

本発明の一実施形態に係るロードポートの外観図。図１のロードポートの内部機構及び使用例を示す図。（Ａ）及び（Ｂ）はドックプレートの変位態様を示す図。ドックプレート上のピン配置の説明図。ドックプレートの移動機構等の説明図。ドックプレートの移動機構等の説明図。（Ａ）は検知ユニットの説明図、（Ｂ）は図７（Ａ）のＡ−Ａ線断面図、（Ｃ）は検知ユニットの動作説明図。（Ａ）は検知ユニットの斜視図、（Ｂ）はピン支持部の断面図。（Ａ）乃至（Ｄ）は図８（Ａ）の検知ユニットの動作説明図。制御部の処理例を示すフローチャート。（Ａ）乃至（Ｄ）は図８（Ａ）の検知ユニットの別の使用例による動作説明図。（Ａ）乃至（Ｄ）は別例の検知ユニットの動作説明図。容器が傾いて載置された例を示す図。容器が傾いて載置された場合の検知ユニットの検知例を示す図。位置調整用ブラケットの斜視図。検知ユニットの別の例を示す説明図。検知ユニットの別の例を示す説明図。

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明に必須のものとは限らない。実施形態で説明されている複数の特徴のうち二つ以上の特徴が任意に組み合わされてもよい。また、同一若しくは同様の構成には同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

＜第一実施形態＞
＜装置の概要＞
図１は本発明の一実施形態に係るロードポート１の外観図である。図２はロードポート１の内部機構及び使用例を示す図である。各図において矢印Ｘ及びＹは互いに直交する水平方向を示し、矢印Ｚは上下方向を示す。また、Ｘ方向のうち、ＰＰはポートプレート２の側を示している。これらの矢印の意味は他の図においても同様である。

ロードポート１は、ＦＯＵＰ等の容器５を開閉する装置である。容器５は、半導体ウエハ等の基板Ｗを出し入れする開口部５０ａを側部に有する箱状の容器本体５０と、開口部５０ａに着脱自在に装着され、開口部５０ａを塞ぐ蓋（ドア）５１と、を有する。なお、図２は、ロードポート１により蓋５１を取り外し、容器５内の基板Ｗに基板搬送ロボット６がアクセス可能な状態（開放状態）を示している。

ロードポート１は、ポートプレート２と、容器５が載置される載置台３と、載置台３を支持する支持部４とを含む。ポートプレート２はＺ方向に延びる板状体である。ポートプレート２は、取り外された蓋５１がＸ方向に通過可能な開口部２ａを含む。ロードポート１は、基板Ｗの搬送を行う基板搬送ロボット６を内部に有する基板搬送装置ＰＡに少なくとも１台取り付けられる。基板搬送ロボット６はロードポート１上の容器５に対して、基板Ｗの搬出および搬入を行う。基板搬送ロボット６は、基板Ｗを保持するエンドエフェクタ６０と、エンドエフェクタ６０を少なくとも進退移動自在に保持する多関節アーム６１と、多関節アーム６１の進退移動、旋回および昇降を行う駆動ユニット６２とを含む。前述した開放状態にあるとき、基板搬送ロボット６を基板搬送装置（基板搬送モジュール）ＰＡと連通する容器本体５０の内部に進入させることで、基板Ｗの搬出および搬入が行われる。

載置台３は、容器５が載置されるドックプレート３０を備える。ドックプレート３０には、容器５を位置決めしつつ支持する複数の位置決めピン３１や、容器５の在席を検知するための複数の検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ、３２Ｒが設けられている。載置台３には、ドックプレート３０をＸ方向に変位させる駆動機構３４が内蔵されている。また、載置台３の前面には操作パネル３３が設けられている。作業者は操作パネル３３を介して、ロードポート１の設定や動作指示を行うことができる。

支持部４は直方体形状の中空体である。支持部４には駆動機構４０が設けられている。駆動機構４０はポートドア４１の開閉動作を行う。ポートドア４１は開口部２ａを開閉すると共に容器５の蓋５１を保持して容器５の開閉動作を行う。駆動機構４０は、蓋５１を保持するポートドア４１を蓋５１が開口部５０ａを塞ぐ閉位置、蓋５１が開口部２ａを通り抜けて後退した後退位置、および蓋５１が開口部２ａの下縁よりも下方に退避した開位置（図２の開放状態の位置）との間で移動させる機構を備える。ポートドア４１は例えば吸着機構を備え、これによりポートドア４１は蓋５１を吸着保持することができる。また、ポートドア４１には蓋５１が備えるロック機構の開閉を操作する操作機構（ラッチキー）が設けられ、これにより容器本体５０と蓋５１との取り外し、取り付けが可能である。

駆動機構４０は以下の構成を備えている。すなわち、ポートドア４１はＺ方向に延びる連結部材４２に支持されている。連結部材４２は、ステージ部材４３にＸ方向にスライド自在に支持されており、ボールねじや電動シリンダ等のアクチュエータ４４によってＸ方向に移動される。また、ステージ部材４３には、上下方向に延びるボールねじ軸４５と係合するボールナット４８が固定されている。ボールねじ軸４５をモータ４７で回転させることで、ポートドア４１、連結部材４２及びステージ部材４３が一体的に昇降する。

以上の構成により、駆動機構４０は、ポートドア４１をＸ方向とＺ方向に移動させることができ、これにより蓋５１は、閉位置、後退位置および開位置との間で移動される。なお、ポートドア４１を移動させる機構はこれに限られず、種々の機構を採用可能である。

ロードポート１には、制御部１ａが設けられている。制御部１ａは、例えば、ＣＰＵに代表される処理部、ＲＡＭ、ＲＯＭ等の記憶部、外部デバイスと処理部との間の入出力インターフェース、通信回線１ｂを介してホストコンピュータ等のコンピュータや周辺装置（基板搬送装置ＰＡ、基板搬送ロボット６等）との通信を行う通信インターフェースを含む。駆動機構３４、アクチュエータ４４、モータ４７は制御部１ａにより制御され、また、センサ群１ｃに含まれる各センサの検知結果や、作業者の操作パネル３３を介した操作が制御部１ａにおいて認識される。センサ群１ｃには、後述するセンサ１０ａ、１１ａ、９０等が含まれる。

＜ドックプレートの変位態様＞
図３（Ａ）及び図３（Ｂ）はドックプレート３０の変位態様を示す図であり、ロードポート１の平面図である。本実施形態では、駆動機構３４により、ドックプレート３０のＸ方向の移動が可能である。

図３（Ａ）はドックプレート３０がポートプレート２に対してＸ方向ＰＰ側に最も近接した位置（以下、ドック位置ともいう。）にある状態を示している。容器５の開閉はこのドック位置において行う。図３（Ｂ）はドックプレート３０がポートプレート２から離間した位置（以下、受渡位置ともいう。）にある状態を示している。ドックプレート３０への容器５の搬入、ドックプレート３０からの容器５の搬出は、この受渡位置で行う。

＜移動機構の構造＞
駆動機構３４の構造について説明する。図４は、ドックプレート３０及び駆動機構３４の平面図である。図５はドックプレート３０を透過して図示した駆動機構３４の平面図である。図６は駆動機構３４の右側面図である。いずれも、ドックプレート３０がドック位置に位置している状態を示している。

駆動機構３４は、ベース部７及び移動機構８を備える。ベース部７は駆動機構３４の全体の支持体であり、本実施形態の場合、板状の部材である。

移動機構８は、ベース部７とドックプレート３０との間に配置されている。移動機構８は、レール部材８０と、レール部材８０上を移動するスライダ８１とを含む。レール部材８０は、ベース部７のＹ方向の中央部においてＸ方向に延設され、ベース部７に固定されている。スライダ８１は、複数の支柱８１ｂを介してドックプレート３０を支持し、ドックプレート３０と共に移動する。スライダ８１の移動範囲は、ドックプレート３０のＸ方向の移動範囲であるドック位置と受渡位置との範囲に対応している。スライダ８１は、レール部材８０と係合し、レール部材８０に沿ってスライドする複数の係合部材８１ａ上に固定されている。

移動機構８は駆動機構８２を含む。駆動機構８２はスライダ８１をＸ方向に移動させる機構である。駆動機構８２は、駆動ユニット８２０を含む。駆動ユニット８２０は、その駆動源としてモータ８２０ａを含み、モータ８２０ａの駆動力は駆動ユニット８２０内の伝達機構（歯車機構、ベルト伝動機構等）を介して出力軸８２０ｂに伝達される。出力軸８２０ｂはＺ方向の軸回りに回転する。出力軸８２０ｂにはアーム部材８２１の一方端部が固定されている。アーム部材８２１の他方端部にはカムフォロワ８２２が設けられている。出力軸８２０ｂの回転によりアーム部材８２１はＸ−Ｙ平面上で回動する。

移動機構８はカムプレート８２３を含む。カムプレート８２３は、レール部材８０と係合し、レール部材８０に沿ってスライドする係合部材８２３ａ上に固定されている。カムプレート８２３はカム溝８２３ｂを有する。カム溝８２３ｂは、Ｙ方向に延設された貫通穴である。カム溝８２３ｂにはカムフォロワ８２２が係合する。アーム部材８２１の回動により、カムフォロワ８２２が出力軸８２０ｂを中心とした円弧軌道上を移動すると、カムプレート８２３がＸ方向に移動する。

カムプレート８２３は連結部８２３ｃを有し、スライダ８１は連結部８１ｃを有する。連結部８２３ｃ及び８１ｃは、カムプレート８２３とスライダ８１とを連結する部分である。カムプレート８２３とスライダ８１とは剛結合されていてもよいが、本実施形態の場合、カムプレート８２３とスライダ８１との間に弾性部材８２６が介在しており、弾性部材８２６が両者の駆動力伝達を緩衝する。すなわち、カムプレート８２３とスライダ８１とはＸ方向に相対変位が可能となっている。これにより、例えばカムプレート８２３が、ドック位置に向かって移動される際、ポートプレート２と容器５との間に異物が挟み込まれたとしても、弾性部材が弾性変形することにより、作業者が負傷をしない程度の所定の値以下の荷重しか掛からない。また、このとき、容器５、カムプレート８２３及びスライダ８１は、これ以上、ポートプレート２に近づく方向に変位することができない。その結果、作業の安全を確保することができる。
弾性部材８２６はゴム等でもよいが、本実施形態ではコイルスプリングである。連結部８２３ｃ及び８１ｃ並びに弾性部材８２６には、ロッド８２４が挿通している。連結部８２３ｃ及び８１ｃはＺ方向に起立した垂直壁であり、ロッド８２４が挿通する穴を有している。ロッド８２４の各端部にはストッパ８２５が設けられている。弾性部材８２６は連結部８２３ｃ及び８１ｃが離れる方向に付勢力を発揮し、また、連結部８２３ｃ及び８１ｃは２つのストッパ８２５の範囲内で近接、離間が可能である。つまり、カムプレート８２３とスライダ８１は２つのストッパ８２５の範囲内で近接、離間が可能であるもの、弾性部材８２６の付勢で、通常時は２つのストッパ８２５の距離だけ離間し、何らかの外的負荷が作用したときに近接可能となっている。

ドックプレート３０には、３つの検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ及び３２Ｒが設けられている。これらの検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ及び３２Ｒは、容器５がドックプレート３０上に在席しているか否か（載置されているか否か）を検知するための在席センサである。容器５がドックプレート３０に適切に載置されると、全ての検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ及び３２Ｒが押し下げられる。検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ及び３２Ｒは、ドックプレート３０の平面視で（図４）、鋭角三角形の頂点に位置するように配置されており、容器５が不適切な状態で傾いて載置された場合や、位置がずれて載置された場合には、検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ及び３２Ｒの内の少なくとも一つの検知ピンは、後述するセンサによって検知される位置まで押し下げられることはない。

ドックプレート３０の下面には、検知ピン３２Ｆの押し下げを検知するセンサ１０ａが設けられている。検知ピン３２Ｆ及びセンサ１０ａは容器５が載置されているか否かを検知する検知ユニット１０を構成する。検知ユニット１０の詳細は図７（Ａ）〜図７（Ｃ）を参照して後述する。ドックプレート３０の下面には、検知ピン３２Ｌの押し下げを検知するセンサ１１ａが設けられている。検知ピン３２Ｌ及びセンサ１１ａは容器５が載置されているか否かを検知する検知ユニット１１を構成する。検知ユニット１１の構成は検知ユニット１０と同様である。検知ピン３２Ｒの押し下げは、検知ユニット９により検知される。検知ユニット９はブラケット９ａによりベース部７に固定されている。検知ユニット９の詳細は図９（Ａ）〜図１０（Ｄ）を参照して説明する。

図７（Ａ）〜図７（Ｃ）を参照して検知ユニット１０の構成について説明する。図７（Ａ）は検知ピン３２Ｆの近傍におけるドックプレート３０の下面図であり、図７（Ｂ）は図７（Ａ）のＡ−Ａ線断面図である。ドックプレート３０の下面にはＬ字型の凹部３６が形成されており、検知ピン３２Ｆは凹部３６においてドックプレート３０を貫通している。凹部３６には、Ｌ字型の板バネ３７が配置されており、板バネ３７はその一端部のみがボルト３８でドックプレート３０に固定されている。つまり、板バネ３７は片持ち支持されている。検知ピン３２Ｆの下端は板バネ３７の途中部位（本実施形態では板バネ３７の屈曲部）に当接している。板バネ３７は、検知ピン３２Ｆを上方へ付勢するリターンスプリングとして機能する。

板バネ３７の他端部は、曲折されてセンサドグ３７ａが形成されている。センサ１０ａはフォトインタラプタであり、センサドグ３７ａが受光素子と発光素子との間に介在することを検知する。なお、センサ１０ａはフォトインタラプタ以外のセンサ（例えば、レバー型のアクチュエータを備えたマイクロスイッチセンサ）も採用可能であり、また、板バネ３７を用いない構造も採用可能であり、フォトインタラプタとマイクロスイッチセンサとを併用してもよい。

図７（Ｃ）は検知ピン３２Ｆが押し下げられた状態を示している。容器５がドックプレート３０上に適切に載置されると、図７（Ｃ）に示すように検知ピン３２Ｆは容器５の重量によって押し下げられる。これにより、板バネ３７も下方に押し下げられ、センサドグ３７ａがセンサ１０ａの受光素子と発光素子との間に進入し、センサ１０ａがこれを検知する。容器５がドックプレート３０から搬出されると、板バネ３７の弾性付勢力により検知ピン３２Ｆが図７（Ｂ）の位置に戻る。

図８（Ａ）を参照して検知ユニット９について説明する。検知ユニット９は、センサ９０と、可動部材９１と、を含み、ロードポート１や基板搬送ロボット６の意図しない動作を未然に防ぐ安全機構或いはセーフティコンポーネントとして機能する。

センサ９０は本実施形態の場合、回動式のリミットスイッチである。センサ９０の内部には、マイクロスイッチが内蔵されており、マイクロスイッチのスイッチ機構により、電気回路の開閉（電気的接点のＯＮとＯＦＦ）が行われる。可動部材９１に外力が加わり入力軸９０ａが所定のＹ方向と平行な回転中心線Ｙ１回りに所定角度だけ回転すると、入力軸９０ａに形成されたカム機構とカム機構に当接しＸ方向に可動可能なプランジャによってマイクロスイッチが付勢されＯＮとなる。センサ９０の内部には、プランジャを介して入力軸９０ａをＯＦＦの位置へ付勢する弾性部材が内蔵されているので、可動部材９１に加わる外力が取り除かれると、初期位置であるＯＦＦの位置に復帰する。

可動部材９１は、その一端部が入力軸９０ａに固定され、回転中心線Ｙ１回りに回動可能なレバー部材であり、その他端部に回転自在に設けられたローラ部９１ａを有している。可動部材９１に外力が加わり、可動部材９１がＸ方向におけるＰＰ側に所定量以上変位（傾倒）すると、センサ９０がＯＮとなる。ローラ部９１ａのＹ方向における位置が検知ピン３２ＲのＹ方向における位置と同じとなるように、検知ユニット９がベース部７等に取り付けられる。なお、回動部材９１としては、ローラ部９１ａが無い構成も採用可能である。

図８（Ｂ）は検知ピン３２Ｒの支持構造を示す断面図である。検知ピン３２Ｒは、他の検知ピン３２Ｆ、３２Ｌとは異なり、軸方向の長さが長尺のピンである。ドックプレート３０には、検知ピン３２Ｒを支持する筒状の支持部３５が固定されている。支持部３５の内部空間３５ａには弾性部材３５ｂが配置されている。本実施形態の場合、弾性部材３５ｂは検知ピン３２Ｒに挿通されるコイルばねである。検知ピン３２Ｒはドックプレート３０及び支持部３５を貫通しており、また、検知ピン３２Ｒには、ストッパ３２ａが固定されている。ストッパ３２ａは、弾性部材３５ｂによって常時上方向に付勢される。

図９（Ａ）〜図９（Ｄ）は、検知ピン３２Ｒ及び検知ユニット９の動作説明図である。図９（Ｄ）にあるように、ローラ部９１ａは、押し下げられた状態の検知ピン３２Ｒと当接するように配置されている。本実施形態の場合、図９（Ｂ）にあるようにローラ部９１ａは、押し下げられていない状態の検知ピン３２Ｒとも当接するように配置されているが、当接部位が異なるため、可動部材９１の変位量（傾倒角度）が異なっている。

図９（Ａ）はドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。ドックプレート３０上に容器５は在席しておらず（載置されておらず）、検知ピン３２Ｒは上記の弾性部材３５ｂの付勢により初期位置に位置している。可動部材９１は初期位置にある。図９（Ｂ）は図９（Ａ）の状態からドックプレート３０がドック位置に移動した状態を示している。ドックプレート３０上に容器５は載置されておらず、検知ピン３２Ｒは上記の弾性部材３５ｂの付勢により初期位置に位置したままである。検知ピン３２Ｒとローラ部９１ａとの当接によって可動部材９１は初期位置からＸ方向でポートプレート２の側に僅かに傾倒するが、検知ピン３２Ｒの下端はローラ部９１ａの中心よりも上側に、浅く当接するだけであることから、可動部材９１は大きく傾くことは無く、傾倒角度θ１は小さい。このとき、可動部材９１のセンサ９０はＯＮとならず、ＯＦＦのままである。

図９（Ｃ）はドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。図９（Ｃ）はドックプレート３０上に容器５が適切に在席された状態が想定されており、容器５の重量によって検知ピン３２Ｒが押し下げられ、支持部３５から下方への突出量が長くなっている。図９（Ｄ）は図９（Ｃ）の状態からドックプレート３０がドック位置に移動した状態を示している。検知ピン３２Ｒとローラ部９１ａとの当接によって可動部材９１は初期位置からＸ方向でポートプレート２の側に傾倒している。検知ピン３２Ｒはローラ部９１ａの中心と同じ高さでローラ部９１ａに深く当接するため、可動部材９１の傾倒角度θ２（＞θ１）は大きくなる。このとき、可動部材９１のセンサ９０がＯＮとなる。

以上の通り、本実施形態の検知ユニット９によれば、容器５がドックプレート３０に在席されているか（適切に載置されているか）否かだけではなく、容器５がドックプレート３０に在席され、かつ、ドックプレート３０がドック位置に位置しているか否かを検知することができる。２つの状態を一つの検知ユニット９で検知することができるので、ドックプレート３０への容器５の載置とドックプレート３０の位置とを比較的低コストで検知することができる。

検知ユニット９は検知ピン３２Ｒに対応して配置されている。検知ピン３２Ｒは、３つの検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ、３２Ｒの中で、ポートプレート２の側に配置され、かつ、ドックプレート３０の移動方向と交差するＹ方向に離間した２つの検知ピン３２Ｌ、３２Ｒのうちの一つである。検知ピン３２Ｒは容器が傾いてドックプレート３０に搭載されている場合に、これを検知し易い位置に配置されているため、検知ピン３２Ｒを検知ユニット９で検知することで、容器５の載置検知の信頼性を高めることが可能である。

また、ドックプレート３０のＹ方向の一端側に偏った位置に配置されている検知ピン３２Ｒを、検知ユニット９で検知することで、検知ユニット９がベース部７上のＹ方向の一端側に偏った位置に配置することができる。ベース部７のＹ方向の一端側は比較的他の機構が存在しない空きのスペースであり、検知ユニット９を空きのスペースに配置することができる。無論、検知ユニット９は検知ピン３２Ｌに対応して配置してもよく、検知ピン３２Ｆに対応して配置してもよい。

なお、本実施形態では、図９（Ｂ）の状態ではセンサ９０がＯＮとならない構成としたが、センサ９０として、ＯＮ接点を複数備えたセンサであって、図９（Ｂ）の状態と図９（Ｄ）の状態とで、それぞれ区別してＯＮとなるセンサを使用してもよい。図９（Ｂ）の状態において、容器５がドックプレート３０に載置されていない状態で、ドックプレート３０がドック位置に移動されたことを制御部１ａが認識することが可能となる。

＜制御部の処理例＞
制御部１ａの処理例について説明する。ポートプレート２の開口部２ａが不必要に開状態となると、作業空間Ｓが外部に曝された状態となり、基板搬送ロボット６のエンドエフェクタ６０が外部に突出する等、好ましくない。また、ポートドア４１についても、ポートドア４１の移動中にポートドア４１が外部に曝される状態とすることは、ポートプレート２とポートドア４１の間に異物が挟み込まれる原因となるため、好ましくない。

本実施形態では、ドックプレート３０に容器５が適切に在席され、かつ、ドックプレート３０がドック位置に位置していることを少なくとも条件として、ポートドア４１を移動させる。これにより、開口部２ａが開放されても、その正面に容器５が存在して塞がれている状態となり、ポートドア４１と作業空間Ｓが外部に曝されることを防止できる。図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）は制御部１ａの処理例を示すフローチャートである。

図１０（Ａ）の処理例は、例えば、ドックプレート３０に容器５が載置された状態で、ポートドア４１の開動作を行う場合に実行される。開動作の指示は、例えば、ホストコンピュータから通信回線１ｂを介して制御部１ａに送信される。

Ｓ１ではセンサ群１ｃのうち、所定のセンサの検知結果を取得する。所定のセンサには、少なくとも、センサ１０ａ、１１ａ及び９０が含まれる。Ｓ２ではＳ１で取得した検知結果が所定の検知結果であるか否かを判定する。ここで所定の検知結果であるとは、少なくともセンサ１０ａ、１１ａ及び９０がいずれもＯＮの場合、すなわち、容器５がドックプレート３０に適切に在席され、かつ、ドックプレート３０が受渡位置からドック位置に達していることが条件となる。Ｓ２で所定の検知結果であった場合はＳ３へ進み、所定の検知結果でなかった場合はＳ４へ進む。

Ｓ４ではエラー処理を行う。ここでは、例えば、通信回線１ｂを介してホストコンピュータに、動作条件が整っていないことを示す通知を送信する。或いは、作業者に対して音声或いは表示により警告を報知する。

Ｓ３では、ポートドア４１の動作許可信号が制御部１ａに送信される。これにより、ポートドア４１に蓋５１を保持させ、ポートドア４１を開位置へ移動する。Ｓ２において、容器５は、ドックプレート３０に適切に在席され、かつ、ドック位置において開口部２ａが塞さがっていることが確認されているので、動作中のポートドア４１と作業空間Ｓが外部に曝される状態となることがない。すなわち、容器５によって開口部２ａが塞がっているので、開口部２ａにより作業空間Ｓが外部に曝されることはない。

Ｓ５ではセンサ群１ｃのうち、所定のセンサの検知結果を取得する。これは主に動作確認を目的とする。所定のセンサには、少なくとも、ポートドア４１が開位置に移動しているか否かを検知するセンサが含まれる。また、Ｓ１での検知結果の取得対象に含まれているが、センサ１０ａ、１１ａ及び９０の検知結果を再び含んでもよい。

図１０（Ａ）の処理例は、ドックプレート３０に容器５が載置された状態で、ポートドア４１の閉動作を行う場合にも適用される。閉動作の指示は、例えば、ホストコンピュータから通信回線１ｂを介して制御部１ａに送信される。

Ｓ３では、ポートドア４１の動作許可信号が制御部１ａに送信される。これにより、ポートドア４１を閉位置へ移動する。Ｓ２において、容器５は、ドックプレート３０に適切に在席され、かつ、ドック位置において開口部２ａが塞さがっていることが確認されているので、動作中のポートドア４１と作業空間Ｓが外部に曝される状態となることがない。すなわち、容器５によって開口部２ａが塞がっているので、ポートドア４１が異物を挟むことが防止される。

Ｓ５ではセンサ群１ｃのうち、所定のセンサの検知結果を取得する。所定のセンサには、少なくとも、ポートドア４１が閉位置に移動しているか否かを検知するセンサが含まれる。また、Ｓ１での検知結果の取得対象に含まれているが、センサ１０ａ、１１ａ及び９０を再び含んでもよい。

図１０（Ｂ）の処理例は、例えば、ドックプレート３０に容器５が載置された状態で、基板搬送ロボット６の動作を行う場合に実行される。動作の指示は、例えば、ホストコンピュータから基板搬送ロボット６の制御部に送信される。

Ｓ６ではセンサ群１ｃのうち、所定のセンサの検知結果を取得する。所定のセンサには、少なくとも、センサ１０ａ、１１ａ及び９０が含まれる。Ｓ７ではＳ６で取得した検知結果が所定の検知結果であるか否かを判定する。所定の検知結果であった場合はＳ８へ進み、所定の検知結果でなかった場合はＳ９へ進む。Ｓ９ではエラー処理を行う。Ｓ４と同様の処理である。

Ｓ８では基板搬送ロボット６の制御部又はホストコンピュータへ、通信回線１ｃを介して基板搬送ロボット６の動作許可信号を送信する。これにより、基板搬送ロボット６の動作が開始される。基板搬送ロボット６は、少なくとも、容器５によって開口部２ａが塞がれている状態でしか動作許可がなされないので、周囲の安全性を確保することができる。

なお、容器５が載置されていなくても、ポートドア４１が閉位置にあれば、基板搬送ロボット６の動作許可信号を送信してもよい。また、本実施形態の場合、何らかの事情でポートドア４１が開位置に位置している状態で、容器５が載置されていないことが検知された場合、エラー処理を行って基板搬送ロボット６の動作を禁止してもよい。

＜第二実施形態＞
第一実施形態では、図９（Ｂ）の状態において、押し下げられていない検知ピン３２Ｒがローラ部９１ａと当接するように検知ユニット９を配置しているが、当接しないように検知ユニット９を配置してもよい。図１１（Ａ）〜図１１（Ｄ）はその一例を示す、検知ピン３２Ｒ及び検知ユニット９の動作説明図である。

図１１（Ａ）はドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。ドックプレート３０上に容器５は載置されておらず、検知ピン３２Ｒは上記の弾性部材３５ｂの付勢により初期位置に位置している。可動部材９１は初期位置にある。図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）の状態からドックプレート３０がドック位置に移動した状態を示している。ドックプレート３０上に容器５は載置されておらず、検知ピン３２Ｒは上記の弾性部材３５ｂの付勢により初期位置に位置したままである。検知ピン３２Ｒとローラ部９１ａとは当接せず、可動部材９１は初期位置のままである。このとき、センサ９０はＯＮにならず、ＯＦＦのままである。

図１１（Ｃ）はドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。図１１（Ｃ）はドックプレート３０上に容器５が載置された状態が想定されており、容器５の重量によって検知ピン３２Ｒが押し下げられ、支持部３５から下方への突出量が長くなっている。図１１（Ｄ）は図１１（Ｃ）の状態からドックプレート３０がドック位置に移動した状態を示している。検知ピン３２Ｒがローラ部９１ａに深く当接することによって可動部材９１は初期位置からＸ方向のＰＰ側に、傾倒角度θ３（≒θ２）で傾く。このとき、可動部材９１のセンサ９０がＯＮとなる。

＜第三実施形態＞
第一実施形態では、センサ９０として回動式のリミットスイッチを用いたが、直動式のリミットスイッチを用いてもよい。図１２（Ａ）〜図１２（Ｄ）はその一例を示す動作説明図である。図示の例では、センサ９０に代わり、センサ１２が用いられている。センサ１２は、可動部材であるプランジャ１２ａのＸ方向の変位を検知する直動式のリミットスイッチである。

図１２（Ａ）はドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。ドックプレート３０上に容器５は載置されておらず、検知ピン３２Ｒは上記の弾性部材３５ｂの付勢により初期位置に位置している。プランジャ１２ａは初期位置にある。図１２（Ｂ）は図１２（Ａ）の状態からドックプレート３０がドック位置に移動した状態を示している。ドックプレート３０上に容器５は載置されておらず、検知ピン３２Ｒは上記の弾性部材３５ｂの付勢により初期位置に位置したままである。検知ピン３２Ｒとプランジャ１２ａとはＺ方向のずれにより当接せず、プランジャ１２ａは初期位置のままである。センサ１２はＯＮにならない。

図１２（Ｃ）はドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。図１２（Ｃ）はドックプレート３０上に容器５が載置された状態が想定されており、容器５の重量によって検知ピン３２Ｒが押し下げられ、支持部３５から下方への突出量が長くなっている。図１２（Ｄ）は図１２（Ｃ）の状態からドックプレート３０がドック位置に移動した状態を示している。検知ピン３２Ｒとプランジャ１２ａとの当接によってプランジャ１２ａは初期位置からＸ方向でポートプレート２の側に変位している。センサ１２がＯＮとなり、容器５がドックプレート３０に載置され、かつ、ドックプレート３０がドック位置にあることが検知される。

＜第四実施形態＞
第一実施形態で述べた通り、容器５がドックプレート３０に傾いて載置された場合、検知ピン３２Ｆ、３２Ｌ及び３２Ｒの内の少なくとも一つの検知ピンが押し下げられないので、このような不適切な載置状態が検知される。しかし、容器５の傾きが僅かである場合、例えば、検知ピン３２Ｒがある程度、押し下げられる場合がある。図１３はその一例を示している。同図において、二点鎖線で示す容器５は適切にドックプレート３０に載置された例を示しており、実線で示す容器５は、Ｙ方向に傾いて載置された例（同図で左側が下がり、右側が上がっている）を示している。

図１４は、図１３に示すように容器５がＹ方向に傾いて載置され、かつ、検知ピン３２Ｒが押し下げられた場合の検知ユニット９の挙動を例示している。二点鎖線Ｌ１は、容器５が適切にドックプレート３０に載置された場合における検知ピン３２Ｒの下端位置の軌跡を示している。

状態ＳＴ１は、ドックプレート３０が受渡位置に位置している状態を示している。不図示の容器５が傾いてドックプレート３０に載置され、検知ピン３２Ｒの下端が下端位置Ｌ１に到達していない。

状態ＳＴ２は、ドックプレート３０が状態ＳＴ１からドック位置に移動した状態を示している。検知ピン３２Ｒとローラ部９１ａとの当接によって可動部材９１は初期位置からＸ方向でポートプレート２の側に傾倒角度θ４だけ傾倒している。

容器５の傾きが許容範囲内である場合は、基板Ｗの移載に支障は生じないが、容器５の傾きが許容範囲を超えると基板搬送ロボット６のエンドエフェクタ６０により基板Ｗを適切に移載することができないといった支障が生じる場合がある。そこで、基板Ｗの移載が可能な容器５の傾きを区別できることが望ましい。例えば、可動部材９１の傾倒角度がθ４（＜θ２）の場合は、センサ９０がＯＮ信号を発生しないようにすればよい。しかし、検知ユニット９の個体差や、取付誤差によって、ロードポート１毎に、検知ピン３２Ｒの押し下げ量と、センサ９０がＯＮとなる可動部材９１の傾倒角度と、が一定の関係にならない場合がある。

そこで、検知ユニット９の位置調整機構を備えてもよい。ロードポート１毎に検知ユニット９の位置調整を可能とすることで、検知ピン３２Ｒの押し下げ量と、センサ９０がＯＮとなる可動部材９１の傾倒角度と、を一定に調整することができ、容器５が許容範囲を超えて傾いた姿勢でドックプレート３０上に載置されたことを確実に検知できる。

位置調整機構はどのような機構であってもよいが、一例として、ブラケット９ａが取付位置の調整機能を有する構成が簡便である。図１５は、位置調整機能を有するブラケット９ａの斜視図である。

ブラケット９ａはＬ字型の金具であり、ブラケット９ａに検知ユニット９を取り付けるための取付穴Ｈ１と、ベース部７にブラケット９ａを取り付けるための取付穴Ｈ２と、を有する。検知ユニット９は、そのセンサ９０の筐体にねじ穴（不図示）が形成され、ねじを取付穴Ｈ１に通してねじ穴と締結することで検知ユニット９がブラケット９ａに固定される。ベース部７にもねじ穴（不図示）が形成され、ねじを取付穴Ｈ２を通してねじ穴と締結することでブラケット９ａがベース部７に固定される。

取付穴Ｈ１は、Ｚ方向に延びる長穴である。したがって、ブラケット９ａに対する検知ユニット９のＺ方向の取付位置を調整できる。取付穴Ｈ２はＸ方向に延びる長穴である。したがって、ベース部７に対するブラケット９ａのＸ方向の取付位置を調整できる。したがって、検知ユニット９の検知ピン３２Ｒに対するＺ方向及びＸ方向の位置を調整することができる。

検知ユニット９の位置調整の際には、検知ユニット９がブラケット９ａを介してベース部３０に仮固定される。そして、テストとして意図的に、容器５を許容範囲を超えて傾いた姿勢でドックプレート３０に載置し、ドックプレート３０を受渡位置からドック位置へ移動させたときのセンサ９０の出力を監視する。センサ９０がＯＮ信号を出力した場合、検知ユニット９の位置が適切ではない。そこで、例えば、検知ユニット９のＸ方向の位置をＰＰ側に調整する、或いは、検知ユニット９のＺ方向の位置を下げる。

また、テストとして、容器５を正常な姿勢（許容範囲内の傾き）でドックプレート３０に載置し、ドックプレート３０を受渡位置からドック位置へ移動させたときのセンサ９０の出力を監視する。センサ９０がＯＮ信号を出力しない場合、検知ユニット９の位置が適切ではない。そこで、例えば、検知ユニット９のＸ方向の位置をＰＰ側と逆側に調整する、或いは、検知ユニット９のＺ方向の位置を上げる。こうして、検知ユニット９の位置を適切に調整でき、容器５が不適切な姿勢で載置されている状態をより確実に検知できる。

＜第五実施形態＞
上記の各実施形態では、検知ユニット９として、検知ピン３２Ｒと接触する接触式の検知ユニットを採用した。しかし、非接触式の検知ユニットも採用可能である。図１６は、検知ユニット９に代わる非接触式の検知ユニット１３を例示している。

検知ユニット１３は、被検知体１３ａが接近したことを非接触で検出可能な近接センサであり、例えば、磁気式近接センサ、静電容量式近接センサ、或いは、電磁誘導式近接センサである。被検知体１３ａは検知ピン３２Ｒの下端部に一体的に設けられるが、好適には後述するように、近接センサの種類に応じて適宜選択されるものであって、検知ピン３２Ｒと同じ材質の金属（鉄、アルミなど）で一体形成されるか、被検知体１３ａの部分のみを磁石で形成する。

磁気式近接センサは、リードスイッチ、ホール素子、磁気抵抗素子のいずれかを使用したもので、リードスイッチを用いたものであれば、被検知体１３aを磁石で形成し、磁力によってリードスイッチを物理的に作動させることにより被検知体１３aが接近したことを検出することができる。また、ホール素子、磁気抵抗素子を用いたものであれば、磁石からなる被検知体１３aが接近したときの磁界や磁束の変化を利用して検出することができる。

静電容量式センサは、検出電極と、該検出電極の静電容量の変化を検出する回路として発振回路とを備えている。発振回路は、金属からなる被検知体１３aが接近すると、検出電極の静電容量が変化するため、その変化を検出することにより被検知体１３aが接近したことを検出することができる。

電磁誘導式近接センサは、交流磁界を発生させる検出コイルを備えている。この交流磁界に被検知体１３aである金属の導体が接近すると、その導体中に渦電流が流れ、その影響で近接センサの発振回路の発振が減衰又は停止する。

これらにより電磁誘導式近接センサに接近した被検知体１３aを検出することができる。

状態ＳＴ１１は、容器５がドックプレート３０に載置されていない状態（検知ピン３２Ｒが押し下げられていない状態）で、ドックプレート３０がドック位置に移動した場合を示している。被検知体１３ａと検知ユニット１３とがＺ方向に離間しているため、検知ユニット１３によって被検知体１３ａが検知されない。よって、容器５が適切に載置されていないと判定される。

状態ＳＴ１２は、容器５がドックプレート３０に適切に載置された状態（検知ピン３２Ｒが押し下げられた状態）で、ドックプレート３０がドック位置に移動した場合を示している。被検知体１３ａと検知ユニット１３とが隣接しているため、検知ユニット１３によって被検知体１３ａが検知される。よって、容器５が適切に載置されていると判定される。

検知ユニット１３が、被検知体１３ａの近接度合いに応じた検知信号を出力するセンサであれば、第四実施形態で述べた、容器５がＹ方向に傾いて載置され、かつ、検知ピン３２Ｒが不十分に押し下げられた状態も検知可能である。

図１７は、検知ユニット９に代わる別の非接触式の検知ユニット１４を例示している。図１７は、図１６と視線方向が異なる図であり、図１７はＸ方向の視線で検知ピン３２Ｒの周辺を表している。検知ユニット１４は、発光素子１４ａと受光素子１４ｂとを有する光学センサであり、例えば、フォトインタラプタである。二点鎖線Ｌ２は発光素子１４ａから出射される光の軌道を示している。

状態ＳＴ２１は、容器５がドックプレート３０に載置されていない状態（検知ピン３２Ｒが押し下げられていない状態）で、ドックプレート３０がドック位置に移動した場合を示している。検知ピン３２Ｒが光の軌道Ｌ２を遮らないため、検知ユニット１４によって検知ピン３２Ｒが検知されない。よって、容器５が適切に載置されていないと判定される。

状態ＳＴ２２は、容器５がドックプレート３０に適切に載置された状態（検知ピン３２Ｒが押し下げられた状態）で、ドックプレート３０がドック位置に移動した場合を示している。検知ピン３２Ｒが光の軌道Ｌ２を遮るため、検知ユニット１４によって検知ピン３２Ｒが検知される。よって、容器５が適切に載置されていると判定される。

検知ユニット１４が、検知ピン３２Ｒによる光の軌道Ｌ２を遮る度合い（受光素子１４ｂの受光量の度合い）に応じた検知信号を出力するセンサであれば、第四実施形態で述べた、容器５がＹ方向に傾いて載置され、かつ、検知ピン３２Ｒが不十分に押し下げられた状態も検知可能である。

以上、発明の実施形態について説明したが、発明は上記の実施形態に制限されるものではなく、発明の要旨の範囲内で、種々の変形・変更が可能である。

１ロードポート、２ポートプレート、３載置台、４１ポートドア、４０駆動機構、３０ドックプレート、３２Ｒ検知ピン、９検知ユニット、９０センサ、９１可動部材

Claims

基板の出し入れが可能な開口部を有するポートプレートと、
前記基板が収容される容器が載置される載置台と、
前記開口部を開閉すると共に前記容器のドア部を保持可能なポートドアと、
前記ポートドアの開閉動作を行う駆動機構と、
を備えたロードポートであって、
前記載置台は、
ベース部と、
前記容器が載置されるドックプレートと、
前記ベース部に設けられるとともに前記ドックプレートを支持し、該ドックプレートを、前記ポートドアが前記ドア部を保持可能な前記ポートプレート側に近接した第一の位置と、前記ポートプレートから離間した第二の位置との間で移動させる移動機構と、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第一のピンと、
前記ベース部に設けられ、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置していることを検知する第一の検知手段と、を備え、
前記第一の検知手段は、
前記ベース部に対して、前記移動機構による前記ドックプレートの移動方向に変位可能な可動部材と、該可動部材の変位を検知する第一のセンサと、を備え、
前記可動部材は、
前記ドックプレートが前記第二の位置から前記第一の位置へ移動する過程で、押し下げられた状態の前記第一のピンと当接する位置に配置されている、
ことを特徴とするロードポート。
前記第一のセンサの検知結果に基づいて、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したか否かを判断し、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したという判断を条件の一つとして、前記駆動機構を駆動する制御手段を、更に備える、
ことを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
前記容器が前記ドックプレートに載置されているか否かを検知する第二の検知手段と、
前記容器が前記ドックプレートに載置されているか否かを検知する第三の検知手段と、を備え、
前記第二の検知手段は、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第二のピンと、
前記ドックプレートに支持され、前記第二のピンが押し下げられたことを検知する第二のセンサと、を備え、
前記第三の検知手段は、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第三のピンと、
前記ドックプレートに支持され、前記第三のピンが押し下げられたことを検知する第三のセンサと、を備える、
ことを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
前記第一乃至第三のピンのうちの二つのピンは、前記移動方向で前記ポートプレートの側に、前記移動方向と交差する方向に離間して配置され、
前記二つのピンを除く残りのピンは、前記移動方向で前記二つのピンよりも前記ポートプレートから離れた位置に配置され、
前記ドックプレートの平面視において、前記第一乃至第三のピンが鋭角三角形の頂点に位置するように配置されている、
ことを特徴とする請求項３に記載のロードポート。
前記第一のピンは、前記二つのピンのうちの一つである、
ことを特徴とする請求項４に記載のロードポート。
前記第一のセンサの検知結果に基づいて、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したか否かを判断し、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したと判断したことを少なくとも条件として、前記駆動機構を駆動する制御手段を、更に備え、
前記制御手段は、
前記第二のセンサによる前記第二のピンの押し下げの検知、
前記第三のセンサによる前記第三のピンの押し下げの検知、および
前記第一のセンサによる、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置することの検知があったとき、前記駆動機構による前記ポートドアの開閉動作を開始する、
ことを特徴とする請求項３に記載のロードポート。
前記第一のセンサの検知結果に基づいて、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したか否かを判断し、達したと判断したことを少なくとも条件として、前記駆動機構を駆動する制御手段を、更に備え、
前記ポートプレート側には、基板搬送モジュールが設けられ、該基板搬送モジュールの内部には、前記開口部を介して前記基板搬送モジュールと前記容器との間で基板の出し入れを行う基板搬送ロボットが設けられており、
前記制御手段は、
前記第二のセンサによる前記第二のピンの押し下げの検知、
前記第三のセンサによる前記第三のピンの押し下げの検知、および、
前記第一のセンサによる、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置することの検知があったとき、前記基板搬送ロボットの動作を許可する信号を送信する、
ことを特徴とする請求項３に記載のロードポート。
基板の出し入れが可能な開口部を有するポートプレートと、
前記基板が収容される容器が載置される載置台と、
前記開口部を開閉すると共に前記容器のドア部を保持可能なポートドアと、
前記ポートドアの開閉動作を行う駆動機構と、
を備えたロードポートであって、
前記載置台は、
ベース部と、
前記容器が載置されるドックプレートと、
前記ベース部に設けられるとともに前記ドックプレートを支持し、該ドックプレートを、前記ポートドアが前記ドア部を保持可能な前記ポートプレート側に近接した第一の位置と、前記ポートプレートから離間した第二の位置との間で移動させる移動機構と、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第一のピンと、
前記ベース部に設けられ、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置していることを検知する第一の検知手段と、を備え、
前記第一の検知手段は、前記ドックプレートが前記第二の位置から前記第一の位置へ移動する過程で、押し下げられた状態の前記第一のピンを検知する非接触センサである、
ことを特徴とするロードポート。
前記非接触センサの検知結果に基づいて、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したか否かを判断し、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したという判断を条件の一つとして、前記駆動機構を駆動する制御手段を、更に備える、
ことを特徴とする請求項８に記載のロードポート。
前記容器が前記ドックプレートに載置されているか否かを検知する第二の検知手段と、
前記容器が前記ドックプレートに載置されているか否かを検知する第三の検知手段と、を備え、
前記第二の検知手段は、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第二のピンと、
前記ドックプレートに支持され、前記第二のピンが押し下げられたことを検知する第二のセンサと、を備え、
前記第三の検知手段は、
前記ドックプレートに押し下げ可能に設けられ、前記ドックプレート上に突出した第三のピンと、
前記ドックプレートに支持され、前記第三のピンが押し下げられたことを検知する第三のセンサと、を備える、
ことを特徴とする請求項８に記載のロードポート。
前記第一乃至第三のピンのうちの二つのピンは、前記ドックプレートの移動方向で前記ポートプレートの側に、前記移動方向と交差する方向に離間して配置され、
前記二つのピンを除く残りのピンは、前記移動方向で前記二つのピンよりも前記ポートプレートから離れた位置に配置され、
前記ドックプレートの平面視において、前記第一乃至第三のピンが鋭角三角形の頂点に位置するように配置されている、
ことを特徴とする請求項１０に記載のロードポート。
前記第一のピンは、前記二つのピンのうちの一つである、
ことを特徴とする請求項１１に記載のロードポート。
前記非接触センサの検知結果に基づいて、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したか否かを判断し、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したと判断したことを少なくとも条件として、前記駆動機構を駆動する制御手段を、更に備え、
前記制御手段は、
前記第二のセンサによる前記第二のピンの押し下げの検知、
前記第三のセンサによる前記第三のピンの押し下げの検知、および
前記非接触センサによる、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置することの検知があったとき、前記駆動機構による前記ポートドアの開閉動作を開始する、
ことを特徴とする請求項１０に記載のロードポート。
前記非接触センサの検知結果に基づいて、前記ドックプレートが前記第一の位置に達したか否かを判断し、達したと判断したことを少なくとも条件として、前記駆動機構を駆動する制御手段を、更に備え、
前記ポートプレート側には、基板搬送モジュールが設けられ、該基板搬送モジュールの内部には、前記開口部を介して前記基板搬送モジュールと前記容器との間で基板の出し入れを行う基板搬送ロボットが設けられており、
前記制御手段は、
前記第二のセンサによる前記第二のピンの押し下げの検知、
前記第三のセンサによる前記第三のピンの押し下げの検知、および、
前記非接触センサによる、前記ドックプレートが前記第一の位置に位置することの検知があったとき、前記基板搬送ロボットの動作を許可する信号を送信する、
ことを特徴とする請求項１０に記載のロードポート。