JP6877301B2 - セラミックスヒータ - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハなどの被加熱物を加熱するセラミックスヒータに関する。

半導体ウエハなどの被加熱物を加熱するセラミックスヒータにおいて、基体の内部に複数の発熱抵抗体が独立して埋設され、各発熱抵抗体に供給する電流を独立して制御可能なものが存在し、少なくとも１つの端子に複数の発熱抵抗体を接続することにより端子数を削減することが開示されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２−１６０３６８号公報

しかしながら、上記従来のセラミックスヒータにおいては、各発熱抵抗体の両端部にそれぞれ電流を供給するための給電端子が接続されており、これら給電端子は、基体の下面に接続された中空の支持部材内に位置させる必要がある。発熱抵抗体の数が増加すると、このような給電端子を支持部材内に位置させるため、支持部材が大径化する。しかし、支持部材が大径化して、支持部材と基体との接合面積が大きくなると、支持部材を介して基体から逃げる熱が増加するので好ましくない。

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、供給する電流を変化可能な発熱抵抗体の区域の増加に比して、給電端子数の増加の抑制を図ることが可能なセラミックスヒータを提供することを目的とする。

本発明は、セラミックスからなり、上面に被加熱物が載置されるセラミックス基体と、前記セラミックス基体に内蔵された発熱抵抗体と、セラミックスからなり、前記セラミックス基体の下面の中心部に接続された筒状の支持部材とを備えたセラミックスヒータであって、前記発熱抵抗体は、それぞれが１の又は１以上に接続された発熱抵抗要素からなる、３つ以上の発熱抵抗要素群からなり、前記３つ以上の発熱抵抗要素群のうち少なくとも３つの発熱抵抗要素群は、それぞれ、両端部に、前記少なくとも３つの発熱抵抗要素群のうち他の１つの前記発熱抵抗要素群の端部が直接的に接続され、前記両端部からなる合計３つの端部にそれぞれ電力を供給する給電端子が少なくとも接続されていることを特徴とする。

本発明によれば、前記給電端子に電力、例えば交流電力を供給する際に、三相電力調整器（三相サイリスタ）などの電力調整手段を用いることによって、各発熱抵抗要素群に流れる電流を別個にするように制御することが可能となる。これにより、各発熱抵抗要素群での発熱をそれぞれ別個に制御することが可能であると共に、上記従来のセラミックスヒータと比較して給電端子の個数を削減することが可能となり、ひいては支持部材の内径の小径化を図ることができる。

また、三相電力調整器を用いる以外に、直流電力や単相交流電力をスイッチングによって各給電端子に供給する電力を調整する電力調整器を用いてもよい。

なお、発熱抵抗体は、それぞれが１の又は１以上の発熱抵抗要素が直列又は並列に接続されていればよい。

本発明において、前記少なくとも３つの発熱抵抗要素群は３つの発熱抵抗要素群であり、前記３つの発熱抵抗要素群は、それぞれ、前記両端部に、前記３つの発熱抵抗要素群のうち他の１つの前記発熱抵抗要素群の端部が直接的に接続され、前記両端部からなる合計３つの端部は、それぞれ、前記３つの発熱抵抗要素群とは異なる前記発熱抵抗要素群を介して接地されていることが好ましい。

また、本発明において、前記少なくとも３つの発熱抵抗要素群は４つの発熱抵抗要素群であり、前記４つの発熱抵抗要素群は、それぞれ、前記両端部に、前記４つの発熱抵抗要素群のうち他の１つの前記発熱抵抗要素群の端部が直接的に接続され、前記両端部は、それぞれ、当該両端部と接続されている前記４つの発熱抵抗要素群とは異なる他の１つの発熱抵抗要素群の端部と接続されていてもよい。

本発明の第１実施形態に係るセラミックスヒータの模式断面図。 図１のＩＩＡ−ＩＩＡ線模式断面図。 図１のＩＩＢ−ＩＩＢ線模式断面図。 発熱抵抗体の模式的等価回路図。 本発明の第２実施形態に係る発熱抵抗体の模式断面図。 発熱抵抗体の模式的等価回路図。 本発明の第３実施形態に係る下側発熱抵抗体の模式断面図。 中側発熱抵抗体の模式断面図。 上側発熱抵抗体の模式断面図。 発熱抵抗体の模式的等価回路図。 実施例に係るセラミックスヒータの模式下面図。 比較例に係るセラミックスヒータの模式下面図。 実施例においてＯＸ間の端子間に供給した電圧の波形を示すグラフ。 実施例においてＯＹ間の端子間に供給した電圧の波形を示すグラフ。 実施例においてＯＺ間の端子間に供給した電圧の波形を示すグラフ。 発熱抵抗体の別例の模式的等価回路図。

［第１実施形態］
本発明の第１実施形態に係るセラミックスヒータ１００について図１から図３を参照して、説明する。

図１に示すように、セラミックスヒータ１００は、図示しないウエハ（基板）を保持するための略円板状の絶縁体からなる基体１０と、相互に短絡しないように基体１０に埋設されている発熱抵抗体２０と、基体１０の下面の中心部に接続された中空のシャフト（支持部材）３０とを備えている。

シャフト３０は、大略円筒形状であり、基体１０との接合部分の外径が他の円筒部３１より拡径した拡径部３２を有し、拡径部３２の上面が基体１０との接合面となっている。シャフト３０の材質は、基体１０の材質と同等でよいが、断熱性を高めるために、基体１０の素材より熱伝導率の低い素材から形成されていてもよい。

基体１０の下面とシャフト３０の上端面とが、拡散接合又はセラミックス若しくはガラス等の接合材による固相接合によって接合されている。なお、基体１０とシャフト３０とは、ねじ止めやろう付けなどによって接続されてもよい。

なお、基体１０には、発熱抵抗体２０のほか、ウエハをクーロン力により載置面に引き付けるための静電チャック電極及び基体１０の上方にプラズマを発生させるためのプラズマ電極のうち少なくとも一方が埋設されていてもよい。

また、適切なローパス又はハイパスフィルタを介することによって、セラミックスヒータ１００は、電極に給電ロッドから電圧が印加されることによって発生するクーロン力により、基体１０の表面に基板を吸引する静電チャックを兼用してもよい。

さらに、セラミックスヒータ１００は、発熱抵抗体２０に対して電力を供給するための３つの給電端子４０を備えている。

給電端子４０には、それぞれ基体１０に埋設されている図示しない給電部材に接続されており、給電部材は、シャフト３０の内部を挿通する導線に接続されている。なお、給電端子４０自身がシャフト３０の内部を挿通してシャフト３０の外部で導線に接続されていてもよい。

給電端子４０と給電部材とはろう付け又は溶接されている。給電端子４０は、箔、板、塊状のニッケル（Ｎｉ）、コバール（登録商標）（Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、又はモリブデン（Ｍｏ）及びタングステン（Ｗ）を主成分とする耐熱合金などの耐熱金属から構成される。給電部材はモリブデン（Ｍｏ）又はタングステン（Ｗ）などからなる。

基体１０は、例えば、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素等からなるセラミックス焼結体である。基体１０は、上記の材料を所定形状の型に入れて成形し、緻密化させるため、例えばホットプレス焼成等によって円板状に作製すればよい。

発熱抵抗体２０は、本実施形態では、モリブデン（Ｍｏ）又はタングステン（Ｗ）等の耐熱金属の箔からなり、平面状の形態をしている。ただし、発熱抵抗体２０は、耐熱金属からなる膜、板、線、メッシュ、繊維、コイル、リボン状など構成であってもよい。

基体１０の間に発熱抵抗体２０を挟み込んだ状態で、基体１０は焼成される。

発熱抵抗体２０のパターンの一例を主に図２Ａ及び図２Ｂを参照して説明する。

図１を参照して、発熱抵抗体２０は、下側発熱抵抗体２１と、下側発熱抵抗体２１の上方に配置された上側発熱抵抗体２２とからなっている。

ここでは、下側発熱抵抗体２１は、一方の端部が中央部Ｏで共に直接的に接続され、他方の端部Ａ１，Ｂ１，Ｃ１が中央部Ｏ付近でそれぞれ別個の給電端子４０に直接的に接続される３つの発熱抵抗要素群２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃから構成されている。

発熱抵抗要素群２１Ａは、図２Ａに示すように中央部Ｏから直線状発熱抵抗要素２１Ａ１ａが直線状に周縁側に向って延びる方向を０時の方向として、０時から４時の扇状領域内に存在している。発熱抵抗要素群２１Ａは、２つの直線状発熱抵抗要素２１Ａ１ａ，２１Ａ１ｂ、３つの円弧状発熱抵抗要素２１Ａ２ａ〜２１Ａ２ｃ、及び２つの直線状発熱抵抗要素２１Ａ３ａ，２１Ａ３ｂが直列に接続されることにより構成されている。

具体的には、中央部Ｏから周縁部まで０時の方向に長い直線状に直線状発熱抵抗要素２１Ａ１ａが延在している。この直線状発熱抵抗要素２１Ａ１ａの中央部Ｏとは反対側の周縁側の端部は、時計回りに０時から４時の方向まで円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素２１Ａ２ａの０時側の端部に接続されている。この円弧状発熱抵抗要素２１Ａ２ａの４時側の端部は、この端部から周縁方向に向って短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素２１Ａ３ａの中央部Ｏ側の端部が接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素２１Ａ３ａの周縁側の端部は、反時計回りに４時から０時の方向まで円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素２１Ａ２ｂの４時側の端部に接続されている。

この円弧状発熱抵抗要素２１Ａ２ｂの０時側の端部は、この端部から周縁方向に向って短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素２１Ａ３ｂの中央部Ｏ側の端部が接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素２１Ａ３ｂの周縁側の端部は、時計回りに０時から４時の方向まで円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素２１Ａ２ｃの０時側の端部に接続されている。この円弧状発熱抵抗要素２１Ａ２ｃの４時側の端部は、この端部から中央部Ｏに大略向って長い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素２１Ａ１ｂの周縁側の端部が接続されている。直線状発熱抵抗要素２１Ａ１ｂは、この端部から中央部Ｏの２時方向近傍に位置する端部Ａ１まで直線状に延びている。

発熱抵抗要素群２１Ｂは、８時から１２時の扇状領域内に存在している。発熱抵抗要素群２１Ｂは、２つの直線状発熱抵抗要素２１Ｂ１ａ，２１Ｂ１ｂ、３つの円弧状発熱抵抗要素２１Ｂ２ａ〜２１Ｂ２ｃ、及び２つの直線状発熱抵抗要素２１Ｂ３ａ，２１Ｂ３ｂが直列に接続されることにより構成されている。

発熱抵抗要素群２１Ｃは、４時から８時の扇状領域内に存在している。発熱抵抗要素群２１Ｃは、２つの直線状発熱抵抗要素２１Ｃ１ａ，２１Ｃ１ｂ、３つの円弧状発熱抵抗要素２１Ｃ２ａ〜２１Ｃ２ｃ、及び２つの直線状発熱抵抗要素２１Ｃ３ａ，２１Ｃ３ｂが直列に接続されることにより構成されている。

発熱抵抗要素群２１Ｂ，２１Ｃの具体的な構成は、発熱抵抗要素群２１Ａと同様であるので、その説明は省略する。

一方、上側発熱抵抗体２２は、端部が他の端部とそれぞれ直接的に接続され、これら端部Ａ２，Ｂ２，Ｃ２がそれぞれ別個の給電端子４０に直接的に接続される３つの発熱抵抗要素群２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃが接続されて構成されている。

発熱抵抗要素群２２Ａは、０時から４時の扇状領域内に存在している。発熱抵抗要素群２２Ａは、１つの直線状発熱抵抗要素２２Ａ１、４つの円弧状発熱抵抗要素２２Ａ２ａ〜２１Ａ２ｄ、４つの直線状発熱抵抗要素２２Ａ３ａ〜２２Ａ３ｄ、及び１つの直線状連絡発熱抵抗要素２２Ａ４が直列に接続されることにより構成されている。

具体的には、上記端部Ａ１の直上に位置し端部Ａ１と直接的に接続された端部Ａ２から０時方向に周縁側に向って短い直線状に直線状発熱抵抗要素２２Ａ３ａが延在している。この直線状発熱抵抗要素２２Ａ３ａの周縁側の端部は、この端部から時計回りに０時から４時の方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素２２Ａ２ａの０時側の端部に接続されている。この円弧状発熱抵抗要素２２Ａ２ａの４時側の端部は、この端部から周縁部に向って４時の方向に短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素２２Ａ３ｂの中央部側の端部が接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素２２Ａ３ｂの周縁側の端部は、反時計回りに４時から０時の方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素２２Ａ２ｂの４時側の端部に接続されている。

この円弧状発熱抵抗要素２２Ａ２ｂの０時側の端部は、この端部から周縁方向に向って０時方向に短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素２２Ａ３ｃの中央部側の端部に接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素２２Ａ３ｃの周縁側の端部は、時計回りに０時から４時の方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素２２Ａ２ｃの０時側の端部に接続されている。この円弧状発熱抵抗要素２２Ａ２ｃの４時側の端部は、この端部から周縁方向に向って４時方向に短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素２２Ａ３ｄの中央側の端部に接続されている。この直線状発熱抵抗要素２２Ａ３ｄの周縁側の端部は、反時計回りに４時から０時の方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素２２Ａ２ｄの４時側の端部に接続されている。

この円弧状発熱抵抗要素２２Ａ２ｄの０時側の端部は、この端部から中央部方向に向って０時方向に長い直線状に延在するに直線状発熱抵抗要素２２Ａ１の周縁側の端部に接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素２２Ａ１の中央部側の端部は、この端部から８時の方向に短い直線状に延在する直線状連絡発熱抵抗要素２２Ａ４の２時側の端部に接続されている。この直線状連絡発熱抵抗要素２２Ａ４は、この端部から発熱抵抗要素群２２Ｂの端部Ｂ２まで直線状に延びている。

発熱抵抗要素群２２Ｂは、８時から１２時の扇状領域内に存在している。発熱抵抗要素群２２Ｂは、１つの直線状発熱抵抗要素２２Ｂ１、４つの円弧状発熱抵抗要素２２Ｂ２ａ〜２１Ｂ２ｄ、４つの直線状発熱抵抗要素２２Ｂ３ａ〜２２Ｂ３ｄ、及び１つの直線状連絡発熱抵抗要素２２Ｂ４が直列に接続されることにより構成されている。

発熱抵抗要素群２２Ｃは、４時から８時の扇状領域内に存在している。発熱抵抗要素群２２Ｃは、１つの直線状発熱抵抗要素２２Ｃ１、４つの円弧状発熱抵抗要素２２Ｃ２ａ〜２１Ｃ２ｄ、４つの直線状発熱抵抗要素２２Ｃ３ａ〜２２Ｃ３ｄ、及び１つの直線状連絡発熱抵抗要素２２Ｃ４が直列に接続されることにより構成されている。

発熱抵抗要素群２２Ｂ，２２Ｃの具体的な構成は、発熱抵抗要素群２２Ａと同様であるので、その説明は省略する。

なお、上側発熱抵抗体２２は、その領域の外縁を図２Ａに２点鎖線で示すように、下側発熱抵抗体２１を構成する円弧状発熱抵抗要素の内側に位置することが好ましい。

このように構成された発熱抵抗体２０の等価回路図は、図３にように模式的に示される。図３から分かるように、発熱抵抗体２０は、中央部Ｏが接地（アース）されており、６ゾーンの発熱抵抗要素群２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２２Ａ，２２Ｂ，２２ＣからなるＹ（スター）結線構造体となっている。

そして、端部Ａ１，Ａ２に直接的に接続された給電端子４０、端部Ｂ１，Ｂ２に直接的に接続された給電端子４０及び端部Ｃ１，Ｃ２に直接的に接続された給電端子４０の合計３つの給電端子４０に対して、交流３相電源の給電端子を前記導線及び前記給電部材を介して接続する。これにより、三相電力調整器（三相サイリスタ）などの電力調整手段を用いることにより、各発熱抵抗要素群２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃに流れる電流を、別個となるように制御することが可能となる。３つの発熱抵抗要素群２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃのうち、例えば、発熱抵抗要素群２２Ａが「第１発熱抵抗要素群」に該当し、発熱抵抗要素群２２Ｂが「第２発熱抵抗要素群」に該当し、発熱抵抗要素群２２Ｃが「第３発熱抵抗要素群」に該当する。

これにより、６つのゾーンからなる発熱抵抗要素群２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃに対して給電端子４０の数が３つと少なく、シャフト３０の内径の小径化を図ることが可能となる。なお、２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃは共通のアース端子を設けてもよい。この場合、給電端子の数は４つであり依然としてゾーン数以下である。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係るセラミックスヒータ２００について主に図４及び図５を参照して、説明する。セラミックスヒータ２００は前述したセラミックスヒータ１００と類似するので、相違点についてのみ説明する。

図１を参照して、セラミックスヒータ２００は、図示しないウエハ（基板）を吸着保持するための略円板状の絶縁体からなる基体１０と、相互に短絡しないように基体１０に埋設されている発熱抵抗体１２０と、基体１０の下面の中心部に接続された中空のシャフト１３０とを備えている。

さらに、セラミックスヒータ２００は、発熱抵抗体１２０に対して電力を供給するための３つの給電端子４０を備えている。

発熱抵抗体１２０のパターンの一例を図４を参照して説明する。

ここでは、発熱抵抗体１２０は、一方の端部Ｘ，Ｙ，Ｚがそれぞれ中央部Ｏ付近に位置する３つの発熱抵抗要素群１２１Ａ，１２１Ｂ，１２１Ｃと、一方の端部が中央部Ｏにそれぞれ位置し、他方の端部が発熱抵抗要素群１２１Ａ，１２１Ｂ，１２１Ｃの端部Ｘ，Ｙ，Ｚとは異なる他方の端部とそれぞれ直接的に接続される３つの発熱抵抗要素群１２２Ａ，１２２Ｂ，１２２Ｃとから構成されている。

発熱抵抗要素群１２１Ａは、図４に示すように一方の端部Ｙから直線状に延在する直線状発熱抵抗要素１２１Ａ１が周縁側に向って延びる方向を０時の方向として、０時から４時の扇状領域の周縁側部に存在している。発熱抵抗要素群１２１Ａは、１つの直線状発熱抵抗要素１２１Ａ１、３つの円弧状発熱抵抗要素１２１Ａ２ａ〜１２１Ａ２ｃ、及び２つの直線状発熱抵抗要素１２１Ａ３ａ，１２１Ａ３ｂが直列に接続されることにより構成されている。

具体的には、中央部Ｏの０時の方向に少し離れて位置する端部Ｙから周縁部まで０時方向に長い直線状に直線状発熱抵抗要素１２１Ａ１が延在している。この直線状発熱抵抗要
素１２１Ａ１の端部Ｙとは反対側の周縁側の端部は、この端部から時計回りに０時から４時の方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素１２１Ａ２ａの０時側の端部に接続されている。この円弧状発熱抵抗要素１２１Ａ２ａの４時側の端部は、この端部から中央部Ｏ方向に１０時の方向に短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素１２１Ａ３ａの周縁側の端部が接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素１２１Ａ３ａの中央部Ｏ側の端部は、この端部から反時計回りに４時から０時の方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素１２１Ａ２ｂの４時側の端部に接続されている。

この円弧状発熱抵抗要素１２１Ａ２ｂの０時側の端部は、この端部から中央部Ｏ方向に６時の方向に短い直線状に延在するに直線状発熱抵抗要素１２１Ａ３ｂの周縁側の端部が接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素１２１Ａ３ｂの中央部Ｏ側の端部は、この端部から時計回りに０時から４時の方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素１２１Ａ２ｃの０時側の端部に接続されている。この円弧状発熱抵抗要素１２１Ａ２ｃの４時側の端部は、発熱抵抗要素群１２１Ｃの直線状発熱抵抗要素１２１Ｃ１の途中部に接続されている。

発熱抵抗要素群１２１Ｂは、８時から１２時の扇状領域の周縁側部に存在している。発熱抵抗要素群１２１Ｂは、１つの直線状発熱抵抗要素１２１Ｂ１、３つの円弧状発熱抵抗要素１２１Ｂ２ａ〜１２１Ｂ２ｃ、及び２つの直線状発熱抵抗要素１２１Ｂ３ａ，１２１Ｂ３ｂが直列に接続されることにより構成されている。

発熱抵抗要素群１２１Ｃは、４時から８時の扇状領域の周縁側部に存在している。発熱抵抗要素群１２１Ｃは、１つの直線状発熱抵抗要素１２１Ｃ１、３つの円弧状発熱抵抗要素１２１Ｃ２ａ〜１２１Ｃ２ｃ、及び２つの直線状発熱抵抗要素１２１Ｃ３ａ，１２１Ｃ３ｂが直列に接続されることにより構成されている。

発熱抵抗要素群１２１Ｂ，１２１Ｃの具体的な構成は、発熱抵抗要素群１２１Ａと同様であるので、その説明は省略する。

発熱抵抗要素群１２２Ａは、０時から４時の扇状領域の内周側部に存在している。発熱抵抗要素群１２２Ａは、４つの円弧状発熱抵抗要素１２２Ａ１ａ〜１２２Ａ１ｄ、３つの直線状発熱抵抗要素１２２Ａ２ａ〜１２２Ａ２ｃ、及び１つの直線状中央発熱抵抗要素１２２Ａ３が直列に接続されることにより構成されている。

具体的には、直線状発熱抵抗要素１２１Ｃ１の中間部Ｌから反時計回りに４時から０時方向に円弧状に円弧状発熱抵抗要素１２２Ａ１ａが延在している。そして、この円弧状発熱抵抗要素１２２Ａ１ａの０時側の端部は、この端部から中央部Ｏ側に向って０時方向に短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素１２２Ａ２ａの周縁側の端部に接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素１２２Ａ２ａの中央部Ｏ側の端部は、この端部から時計回りに０時から４時方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素１２２Ａ１ｂの６時側の端部に接続されている。

この円弧状発熱抵抗要素１２２Ａ１ｂの４時側の端部は、この端部から中央部Ｏ側に向って４時方向に短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素１２２Ａ２ｂの周縁側の端部に接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素１２２Ａ２ｂの中央部Ｏ側の端部は、この端部から反時計回りに４時から０時方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素１２２Ａ１ｃの１０時側の端部に接続されている。

この円弧状発熱抵抗要素１２２Ａ１ｃの０時側の端部は、この端部から中央部Ｏ側に向って０時方向に短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素１２２Ａ２ｃの周縁側の端部に接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素１２２Ａ２ｃの中央部Ｏ側の端部は、この端部から時計回りに０時から２時方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素１
２２Ａ１ｄの０時側の端部に接続されている。この円弧状発熱抵抗要素１２２Ａ２ｄの２時側の端部は、この端部から中央部Ｏまで８時方向に短い直線状に延在する直線状中央発熱抵抗要素１２２Ａ３の周縁側の端部に接続されている。

発熱抵抗要素群１２２Ｂは、８時から１２時の扇状領域の内周側部に存在している。発熱抵抗要素群１２２Ｂは、４つの円弧状発熱抵抗要素１２２Ｂ１ａ〜１２２Ｂ１ｄ、３つの３つの直線状発熱抵抗要素１２２Ｂ２ａ〜１２２Ｂ２ｃ、及び１つの直線状中央発熱抵抗要素１２２Ｂ３が直列に接続されることにより構成されている。

発熱抵抗要素群１２２Ｃは、４時から８時の扇状領域の内周側部に存在している。発熱抵抗要素群１２２Ｃは、４つの円弧状発熱抵抗要素１２２Ｃ１ａ〜１２２Ｃ１ｄ、３つの直線状発熱抵抗要素１２２Ｃ２ａ〜１２２Ｃ２ｃ、及び１つの直線状中央発熱抵抗要素１２２Ｃ３が直列に接続されることにより構成されている。

発熱抵抗要素群１２２Ｂ，１２２Ｃの具体的な構成は、発熱抵抗要素群１２２Ａと同様であるので、その説明は省略する。

このように構成された発熱抵抗体１２０の等価回路図は、図５のように模式的に示される。図５から分かるように、発熱抵抗体１２０は、中央部Ｏが接地（アース）されており、６ゾーンの発熱抵抗要素群１２１Ａ，１２１Ｂ，１２１Ｃ，１２２Ａ，１２２Ｂ，１２２ＣからなるＹ（スター）結線構造体となっている。

そして、端部Ｘ，Ｙ，Ｚにそれぞれ直接的に接続される合計３つの給電端子４０に対して、交流３相電源の給電端子を前記導線及び前記給電部材を介して接続する。これにより、三相電力調整器（三相サイリスタ）などの電力調整手段を用いることにより、各発熱抵抗要素群１２１Ａ，１２１Ｂ，１２１Ｃ，１２２Ａ，１２２Ｂ，１２２Ｃに流れる電流を、別個となるように制御することが可能となる。３つの発熱抵抗要素群１２１Ａ，１２１Ｂ，１２１Ｃのうち、例えば、発熱抵抗要素群１２１Ａが「第１発熱抵抗要素群」に該当し、発熱抵抗要素群１２１Ｂが「第２発熱抵抗要素群」に該当し、発熱抵抗要素群１２１Ｃが「第３発熱抵抗要素群」に該当する。

これにより、６ゾーンの発熱抵抗要素群１２１Ａ，１２１Ｂ，１２１Ｃ，１２２Ａ，１２２Ｂ，１２２Ｃに対して給電端子４０の数が３つと少なく、シャフト３０の内径の小径化を図ることが可能となる。

なお、発熱抵抗要素群１２２Ａ，１２２Ｂ，１２２Ｃに共通したアース端子を設けてもよい。この場合は、給電端子の数は４つであり、依然としてゾーン数以下である。

なお、図５から理解されように、例えば、発熱抵抗要素群１２１Ａ，１２１Ｃ，１２２Ａは端部Ｘの１点で結合されていることが好ましい。しかし、図４から理解されるように、発熱抵抗要素群１２１Ａ，１２１Ｃは直線状発熱抵抗要素１２１Ｃ１の途中部で、発熱抵抗要素群１２１Ａ，１２２Ａとは直線状発熱抵抗要素１２１Ｃ１の途中部Ｌでそれぞれ接続されており、直線状発熱抵抗要素１２１Ｃ１の一部を共有している。そのため、端部 Ｘから途中部Ｌまでの部分および発熱抵抗要素群１２１Ａとの交点までの部分の抵抗値は できる限り小さいほうが好ましい。端部Ｙから途中部Ｍまでの部分及び発熱抵抗要素群１ ２１Ｂとの交点までの部分，端部Ｚから途中部Ｎまでの部分及び発熱抵抗要素群１２１Ｃ との交点までの部分も同様である。

このように本実施例では、すべての発熱抵抗体１２０が基体１０内の同一面内に配置できる点に特徴がある。

［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態に係るセラミックスヒータ３００について図６から図８を参照して、説明する。

図１を参照して、セラミックスヒータ３００は、図示しないウエハ（基板）を吸着保持
するための略円板状の絶縁体からなる基体１０と、基体１０に埋設されている発熱抵抗体２２０と、基体１０の下面の中心部に接続された中空のシャフト３０とを備えている。

さらに、セラミックスヒータ３００は、発熱抵抗体２２０に対して電力を供給するための複数の給電端子４０を備えている。

発熱抵抗体２２０のパターンの一例を図６、図７Ａ及び図７Ｂを参照して説明する。

発熱抵抗体２２０は、下側発熱抵抗体２２１と、下側発熱抵抗体２２１の上方に配置された中側発熱抵抗体２２２と、中側発熱抵抗体２２２の上方に配置された上側発熱抵抗体２２３とからなっている。

ここでは、下側発熱抵抗体２２１は、端部Ａ１，Ｂ１，Ｃ１，Ｄ１にそれぞれ直接的に接続される４つの発熱抵抗要素群２２１Ａ，２２１Ｂ，２２１Ｃ，２２１Ｄから構成されている。

発熱抵抗要素群２２１Ａは、図６Ａに示すように中心近傍に位置する一方の端部Ａ１から直線状に直線状発熱抵抗要素２２１Ａ１が周縁側に向って延びる方向を０時の方向として、０時から３時の扇状領域の周縁側部に存在している。発熱抵抗要素群２２１Ａは、１つの直線状発熱抵抗要素２２１Ａ１、３つの円弧状発熱抵抗要素２２１Ａ２ａ〜２２１Ａ２ｃ、及び２つの直線状発熱抵抗要素２２１Ａ３ａ，２２１Ａ３ｂが直列に接続されることにより構成されている。

具体的には、直線状発熱抵抗要素２２１Ａ１は、端部Ａ１から周縁側に向って０時の方向に長い直線状に延在している。直線状発熱抵抗要素２２１Ａ１の途中部Ｐに、この途中部Ｐから時計回りに０時から３時方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素２２１Ａ２ａの０時側の端部が接続されている。この円弧状発熱抵抗要素２２１Ａ２ｃの３時側の端部は、この端部から周縁側に向って３時の方向に短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素２２１Ａ３ｂの中央部側の端部が接続されている。そして、短い直線状発熱抵抗要素２２１Ａ３ｂの周縁側の端部は、この端部から反時計回りに３時から０時方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素２２１Ａ２ｂの３時側の端部に接続されている。

この円弧状発熱抵抗要素２２１Ａ２ｂの０時側の端部は、この端部から周縁側に向って０時の方向に短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素２２１Ａ３ａの中央部側の端部が接続されている。そして、直線状発熱抵抗要素２２１Ａ３ａの周縁側の端部は、この端部から時計回りに０時から３時方向に円弧状に延在する円弧状発熱抵抗要素２２１Ａ２ａの０時側の端部に接続されている。この円弧状発熱抵抗要素２２１Ａ２ａの３時側の端部は、発熱抵抗要素群２２１Ｄの直線状発熱抵抗要素２２１Ｄ１の周縁側の端部に接続されている。

発熱抵抗要素群２２１Ｂは、９時から１２時の扇状領域の周縁側部に存在している。発熱抵抗要素群２２１Ｂは、１つの直線状発熱抵抗要素２２１Ｂ１、３つの円弧状発熱抵抗要素２２１Ｂ２ａ〜２２１Ｂ２ｃ、及び２つの直線状発熱抵抗要素２２１Ｂ３ａ，２２１Ｂ３ｂが直列に接続されることにより構成されている。

発熱抵抗要素群２２１Ｃは、６時から９時の扇状領域の周縁側部に存在している。発熱抵抗要素群２２１Ｃは、１つの直線状発熱抵抗要素２２１Ｃ１、３つの円弧状発熱抵抗要素２２１Ｃ２ａ〜２２１Ｃ２ｃ、及び２つの直線状発熱抵抗要素２２１Ｃ３ａ，２２１Ｃ３ｂが直列に接続されることにより構成されている。

発熱抵抗要素群２２１Ｄは、３時から６時の扇状領域の周縁側部に存在している。発熱抵抗要素群２２１Ｄは、１つの直線状発熱抵抗要素２２１Ｄ１、３つの円弧状発熱抵抗要素２２１Ｄ２ａ〜２２１Ｄ２ｃ、及び２つの直線状発熱抵抗要素２２１Ｄ３ａ，２２１Ｄ３ｂが直列に接続されることにより構成されている。

発熱抵抗要素群２２１Ｂ〜２２１Ｄの具体的な構成は、発熱抵抗要素群２２１Ａと同様であるので、その説明は省略する。

中側発熱抵抗体２２２は、端部Ａ１，Ｃ１の直上に位置し、端部Ａ１，Ｃ１とそれぞれ直接的に接続されている端部Ａ２，Ｃ２を両端部として有する１つの発熱抵抗要素群２２２から構成されている。

発熱抵抗要素群２２２は、図７Ａに示すように、円環状領域内に存在している。発熱抵抗要素群２２２は、３つの直線状発熱抵抗要素２２２Ａ１ａ〜２２２Ａ１ｃ、２つの半円弧状発熱抵抗要素２２２Ａ２ｂ、２２２Ａ２ｃからなる第１発熱抵抗要素群２２２Ａと、３つの直線状発熱抵抗要素２２２Ｂ１ａ〜２２２Ｂ１ｃ、２つの半円弧状発熱抵抗要素２２２Ｂ２ｂ、２２２Ｂ２ｃからなる第２発熱抵抗要素群２２２Ｂと、１つの円環状発熱抵抗要素２２２Ｃとが接続されることにより構成されている。

第１発熱抵抗要素群２２２Ａは、中央部近傍に位置する一方の端部Ａ２から直線状に直線状発熱抵抗要素２２２Ａ１ｃが周縁側に向って伸びる方向を０時の方向として、左半分の半円扇状領域の周縁側部に存在している。

具体的には、直線状発熱抵抗要素２２２Ａ１ｃは、端部Ａ２から周縁側に向って０時の方向に長い直線状に延在している。直線状発熱抵抗要素２２２Ａ１ｃの周縁側の端部は、この端部から反時計回りに０時から６時方向に半円弧状に延在する半円弧状発熱抵抗要素２２２Ａ２ｃの０時側の端部が接続されている。この半円弧状発熱抵抗要素２２２Ａ２ｃの６時側の端部は、この端部から周縁側に向って６時の方向に短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素２２２Ａ１ｂの中央部側の端部が接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素２２２Ａ１ｂの周縁側の端部は、この端部から時計回りに６時から１２時方向に半円弧状に延在する半円弧状発熱抵抗要素２２２Ａ２ｂの６時側の端部に接続されている。この半円弧状発熱抵抗要素２２２Ａ２ｂの１２時側の端部は、この端部から周縁側に向って１２時の方向に短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素２２２Ａ１ａの中央部側の端部が接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素２２２Ａ１ａは、この端部から周縁側に向って０時方向に短い直線状に延在し、周縁側の端部が、円環状発熱抵抗要素２２２Ｃの０時方向の途中部に接続されている。

第２発熱抵抗要素群２２２Ｂの具体的な構成は、第１発熱抵抗要素群２２２Ａと同様であるので、その説明は省略する。

なお、中側発熱抵抗体２２２は、その領域の外縁を図６に２点鎖線で示すように、下側発熱抵抗体２２１を構成する円弧状発熱抵抗要素の内側に位置することが好ましい。

下側発熱抵抗体２２３は、端部Ｂ１，Ｄ１の直上に位置し、端部Ｂ１，Ｄ１と直接的にそれぞれ接続されている端部Ｂ２，Ｄ２を両端部として有する１つの発熱抵抗要素群２２３から構成されている。

発熱抵抗要素群２２３は、図７Ｂに示すように、円環状領域内に存在している。発熱抵抗要素群２２３は、２つの直線状発熱抵抗要素２２３Ａ１ａ，２２３Ａ１ｂと、１つの円環状発熱抵抗要素２２３Ａ２とが接続されることにより構成されている。

具体的には、発熱抵抗要素群２２３は、中心近傍に位置する一方の端部Ｂ２から直線状に直線状発熱抵抗要素２２３Ａ１ａが周縁側に向って延びる方向を９時の方向として、直線状発熱抵抗要素２２３Ａ１ａの周縁側の端部に円環状発熱抵抗要素２２２Ａ２の９時側の途中部が接続されている。この円環状発熱抵抗要素２２３Ａ２の３時側の途中部は、この部分から９時方向に短い直線状に延在する直線状発熱抵抗要素２２３Ａ１ｂの周縁側の端部が接続されている。そして、この直線状発熱抵抗要素２２３Ａ１ｂは中央部側に向って、端部Ｄ２まで延在している。

なお、上側発熱抵抗体２２３は、その領域の外縁を図７Ａに２点鎖線で示すように、中側発熱抵抗体２２２を構成する円弧状発熱抵抗要素の内側に位置することが好ましい。

このように構成された発熱抵抗体２２０の等価回路図は、図８のように模式的に示される。図８から分かるように、発熱抵抗体２２０は６ゾーンの発熱抵抗要素群２２１Ａ，２２１Ｂ，２２１Ｃ，２２１Ｄ，２２２，２２３からなる結線構造体となっている。４つの発熱抵抗要素群２２１Ａ，２２１Ｂ，２２１Ｃおよび２２１Ｄのうち、例えば、発熱抵抗要素群２２１Ａが「第１発熱抵抗要素群」に該当し、発熱抵抗要素群２２１Ｂが「第２発熱抵抗要素群」に該当し、発熱抵抗要素群２２１Ｃが「第３発熱抵抗要素群」に該当し、発熱抵抗要素群２２１Ｄが「第４発熱抵抗要素群」に該当する。また、発熱抵抗要素群２２２が「第５発熱抵抗要素群」に該当し、発熱抵抗要素群２２３が「第６発熱抵抗要素群」に該当する。

そして、例えば、端部Ａ１，Ａ２に直接的に接続された給電端子４０、端部Ｂ１，Ｂ２に直接的に接続された給電端子４０及び端部Ｄ１，Ｄ２に直接的に接続された給電端子４０の合計３つの給電端子４０に対して、交流３相電源の給電端子を前記導線及び前記給電部材を介して接続する。これにより、三相電力調整器（三相サイリスタ）などの電力調整手段を用いることによって、各発熱抵抗要素２２１Ａ，２２１Ｂ，２２１Ｃ，２２１Ｄ，２２２，２２３に流れる電流を、別個となるように制御することが可能となる。

これにより、６ゾーンの発熱抵抗要素群２２１Ａ，２２１Ｂ，２２１Ｃ，２２１Ｄ，２２２，２２３に対して給電端子４０の数が３つと少なく、シャフト３０の内径の小径化を図ることが可能となる。

なお、図８から理解されように、例えば、発熱抵抗要素群２２１Ａ，２２１Ｂ，２２２は端部Ａ１（＝Ａ２）の１点で結合されていることが好ましい。しかし、図６から理解されるように、発熱抵抗要素群２２１Ａ，２２１Ｂは直線状発熱抵抗要素２２１Ａ１の途中部Ｐで接続されており、直線状発熱抵抗要素２２１Ａ１の一部を共有している。そのため、端部Ａ１から途中部Ｐまでの部分の抵抗値はできる限り小さいほうが好ましい。端部Ｂ１から途中部Ｑまで、端部Ｃ１から途中部Ｒまで、端部Ｄ１から途中部Ｓまでの各部分も同様である。

以上、本発明の実施形態に関して説明したが、これに限定されない。例えば、各発熱抵抗体を構成する発熱抵抗要素群の構成、形状、個数などは上述したものに限定されず、さらに、各発熱抵抗要素群を構成する発熱抵抗要素の構成、形状、個数、接続位置などは上述したものに限定されない。

例えば、図３に示した発熱抵抗体２０の模式的等価回路図を３個接続したような、図１１に示した模式等価回路図となるように発熱抵抗体の発熱抵抗要素群を構成してもよい。

以下、本発明の実施例を具体的に挙げ、本発明を説明する。

（実施例）
実施例では、金属からなる発熱抵抗体２０を埋設した酸化イットリウムを添加した窒化アルミニウムからなる基体１０を用いてセラミックスヒータ１００を得た。

［セラミックスヒータの作製］
窒化アルミニウム粉末９７質量％、酸化イットリウム粉末３質量％からなる粉末混合物を得て、これを型に充填して一軸加圧処理を施した。これによって、直径３４０ｍｍ、厚さ１０ｍｍの第一層を形成した。

次に、この第一層の上に、図４に示す形状の電極２０となる直径２９０ｍｍのモリブデン製のメッシュ（線径０．１ｍｍ、目開き５０メッシュ）を載置した。続いて、先に形成した粉末混合物を発熱抵抗体２０の上に所定の厚さに充填し、第二層を形成した。そして、１０ＭＰａの圧力で、焼成温度１８００℃、焼成時間２時間でホットプレス焼成を行い、直径３４０ｍｍ、厚さ２０ｍｍのセラミックス焼結体を得た。

その後全面に研削、研磨加工を行い、表面粗さをＲａ０．４μｍ、平面度０．９μｍとした。

そして、この基体１０の下面に、常温の熱伝導率が８０ｋＷ／（ｍ・ｋ）の窒化アルミニウムからなり、長さ２００ｍｍの円筒形状のシャフト３０の上端面を拡散接合法によって接合した。シャフト３０の円筒部３１の寸法は、内径３４．１４ｍｍ、外径４０．１４ｍｍであった。なお、シャフト３０の拡径部３２の外径は、円筒部３１の外径よりも２０ｍｍ大きくした。

端子４０の数は４つとし、図９Ａのように配置した。端子４０は基体１０の裏面より発熱抵抗体２０まで直径８ｍｍの穴加工を行い、露出した発熱抵抗体２０に直径８ｍｍの円柱状ニッケル製給電端子を銀ロウ付けして形成した。

このようにしてセラミックスヒータ１００を得た。

［評価結果］
セラミックスヒータ１００のウエハ載置面に黒色化したダミーウエハを載せ、端子４０に電力を供給してセラミックスヒータ１００を昇温し、ダミーウエハ表面の温度をＩＲカメラで測定した。ダミーウエハの表面温度が概ね５００℃に到達した時点から１５分後のダミーウエハの温度分布を測定した。

なお、このとき、ＯＸ間の端子間には図１０Ａに示した、ＯＹ間の端子間には図１０Ｂに示した、ＯＺ間の端子間には図１０Ｃに示した波形の電圧を供給した。電圧は２０ｍ秒毎に変化し周期８０ｍ秒の波形とした。波高は温度分布が均一になるように適宜調節した。なお、電源はこれに限らず公知の位相制御方式やサイクル制御（ゼロクロス制御）方式 などが適用できる。また交流でも直流でも適用可能である。

中心温度として中心領域（直径２０ｍｍ内の領域）の平均温度と、周辺温度として３時の方向で半径１２０ｍｍの位置を中心とした直径２０ｍｍ内の領域の平均温度とを比較した。

結果は、中心温度５０２℃、周辺温度５０５℃であった。これより、セラミックスヒータ１００の均熱性は良好であることが分かった。

（比較例）
端子４０を、図９Ｂに示すように７個配置した。これは、６ゾーンの電極に対応した６個の端子４０と、コモン（共通）電極に対応した１個の端子４０の計７個の端子４０が必要なためである。

端子４０の数が多いため、シャフト３０の形状は、円筒部３１の内径が４８．１４ｍｍ、外径が５４．１４ｍｍとなった。

［評価結果］
温度評価方法は実施例と同一とした。結果は、中心温度４９８℃、周辺温度５０５℃であり、実施例と比較して差が大きかった。

実施例と比較例を比較すると、端子数が多い場合はシャフトの断面積が増加することによる熱逃げが大きくヒーター表面の温度分布が悪化すると考えられる。

そして、本発明のようにして端子数を削減すれば多ゾーンであっても、シャフト３０を備えていても、熱逃げの少ないセラミックスヒータ１００を得られることが確かめられた。

本発明によれば、発熱抵抗体２０のゾーン数の増加に比して、給電端子４０の個数の増加の抑制を図ることができ、あわせてシャフト３０を小径化することが可能になるためシャフト３０からの熱逃げを抑制し、より均温化を図る効果も奏し得る。

１０…基体（セラミックス基体）、２０、１２０，２２０…発熱抵抗体、２１…下側発熱抵抗体、２２…上側発熱抵抗体、２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ…発熱抵抗要素群、３０…シャフト（支持部材）、３１…円筒部、３２…拡径部、４０…給電端子、１００，２００，３００…セラミックスヒータ、１２０Ａ，１２０Ｂ，１２０Ｃ，１２０Ｄ，１２０Ｅ，１２０Ｆ…発熱抵抗要素群、２２１…下側発熱抵抗体、２２１Ａ，２２１Ｂ，２２１Ｃ，２２１Ｄ…発熱抵抗要素群、２２２…中側発熱抵抗体、２２２Ａ，２２２Ｂ…発熱抵抗要素群、２２３…上側発熱抵抗体、発熱抵抗要素群、Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２，Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２…端部、Ｏ…中央部（端部）、Ｘ，Ｙ，Ｚ…端部。

Claims (7)

1. セラミックスからなり、上面に被加熱物が載置されるセラミックス基体と、前記セラミックス基体に内蔵された発熱抵抗体と、セラミックスからなり、前記セラミックス基体の下面の中心部に接続された筒状の支持部材とを備えたセラミックスヒータであって、
   前記発熱抵抗体は、それぞれが１又は１以上の発熱抵抗要素からなる、３つ以上の発熱抵抗要素群からなり、
   前記３つ以上の発熱抵抗要素群のうち少なくとも３つの発熱抵抗要素群は、それぞれ、両端部に、前記少なくとも３つの発熱抵抗要素群のうち他の１つの前記発熱抵抗要素群の端部が直接的に接続され、前記両端部からなる合計３つの端部にそれぞれ電力を供給する給電端子が少なくとも接続されていることを特徴とするセラミックスヒータ。
2. 前記少なくとも３つの発熱抵抗要素群は３つの発熱抵抗要素群であり、前記３つの発熱抵抗要素群は、それぞれ、前記両端部に、前記３つの発熱抵抗要素群のうち他の１つの前記発熱抵抗要素群の端部が直接的に接続され、前記両端部からなる合計３つの端部は、それぞれ、前記３つの発熱抵抗要素群とは異なる前記発熱抵抗要素群を介して接地されていることを特徴とする請求項１に記載のセラミックスヒータ。
3. 前記少なくとも３つの発熱抵抗要素群は４つの発熱抵抗要素群であり、前記４つの発熱抵抗要素群は、それぞれ、前記両端部に、前記４つの発熱抵抗要素群のうち他の１つの前記発熱抵抗要素群の端部が直接的に接続され、前記両端部は、それぞれ、当該両端部と接続されている前記４つの発熱抵抗要素群とは異なる他の１つの発熱抵抗要素群の端部と接続されていることを特徴とする請求項１に記載のセラミックスヒータ。
4. セラミックスからなり、上面に被加熱物が載置されるセラミックス基体と、
   前記セラミックス基体に内蔵された発熱抵抗体と、
   セラミックスからなり、前記セラミックス基体の下面の中心部に接続された筒状の支持部材と、を備えたセラミックスヒータであって、
   前記発熱抵抗体は、
   第１発熱抵抗要素群と、第２発熱抵抗要素群と、第３発熱抵抗要素群と、を含む３つ以上の発熱抵抗要素群からなり、
   前記３つ以上の発熱抵抗要素群のそれぞれは１以上の発熱抵抗要素からなり、
   前記３つ以上の発熱抵抗要素群のそれぞれが一端部および他端部を有し、
   前記第１発熱抵抗要素群の一端部が前記第２発熱抵抗要素群の一端部と接続される第１端部と、
   前記第２発熱抵抗要素群の他端部が前記第３発熱抵抗要素群の一端部と接続される第２端部と、
   前記第３発熱抵抗要素群の他端部が前記第１発熱抵抗要素群の他端部と接続される第３端部と、
   前記第１端部に接続され当該第１端部に電力を供給する第１給電端子と、
   前記第２端部に接続され当該第２端部に電力を供給する第２給電端子と、
   前記第３端部に接続され当該第３端部に電力を供給する第３給電端子と、
   を有することを特徴とするセラミックスヒータ。
5. 前記第１端部、前記第２端部、および前記第３端部からなる３つの端部は、それぞれ、前記第１発熱抵抗要素群、前記第２発熱抵抗要素群、および前記第３発熱抵抗要素群とは異なる前記発熱抵抗要素群を介して接地されていることを特徴とする請求項４に記載のセラミックスヒータ。
6. セラミックスからなり、上面に被加熱物が載置されるセラミックス基体と、
   前記セラミックス基体に内蔵された発熱抵抗体と、
   セラミックスからなり、前記セラミックス基体の下面の中心部に接続された筒状の支持部材とを備えたセラミックスヒータであって、
   前記発熱抵抗体は、
   第１発熱抵抗要素群と第２発熱抵抗要素群と第３発熱抵抗要素群と第４発熱抵抗要素群を含む４つ以上の発熱抵抗要素群からなり、
   前記４つ以上の発熱抵抗要素群のそれぞれは１以上の発熱抵抗要素からなり、
   前記４つ以上の発熱抵抗要素群のそれぞれが一端部および他端部を有し、
   前記第１発熱抵抗要素群の一端部が前記第２抵抗要素群の一端部と接続される第１端部と、
   前記第２発熱抵抗要素群の他端部が前記第３発熱抵抗要素群の一端部と接続される第２端部と、
   前記第３発熱抵抗要素群の他端部が前記第４発熱抵抗要素群の一端部と接続される第３端部と、
   前記第４発熱抵抗要素群の他端部が前記第１抵抗要素群の他端部に接続される第４端部と、
   前記第１端部に接続され当該第１端部に電力を供給する第１給電端子と、
   前記第２端部に接続され当該第２端部に電力を供給する第２給電端子と、
   前記第３端部に接続され当該第３端部に電力を供給する第３給電端子と、
   前記第４端部に接続され当該第４端部に電力を供給する第４給電端子と、
   を有することを特徴とするセラミックスヒータ。
7. 前記第１端部と前記第３端部との間は、前記第１発熱抵抗要素群、前記第２発熱抵抗要素群、前記第３発熱抵抗要素群および前記第４発熱抵抗要素群とは異なる前記発熱抵抗要素群である第５発熱抵抗要素群を介して接続され、
   前記第２端部と前記第４端部との間は、前記第１発熱抵抗要素群、前記第２発熱抵抗要素群、前記第３発熱抵抗要素群、前記第４発熱抵抗要素群および前記第５発熱抵抗要素群とは異なる前記発熱抵抗要素群である第６の発熱抵抗要素群を介して接続されていることを特徴とする請求項６に記載のセラミックスヒータ。
   

Images