JP6888751B2 - ベーパーチャンバ、電子機器、及び、ベーパーチャンバ用シート - Google Patents

ベーパーチャンバ、電子機器、及び、ベーパーチャンバ用シート Download PDF

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Description

本開示は、密閉空間に封入された作動流体を、相変化を伴いつつ還流することにより熱輸送を行うベーパーチャンバに関する。
パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末のような携帯型端末に備えられているＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあり冷却技術が重要である。このような冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。
一方、近年においては特に携帯型端末等で薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対して例えば特許文献１に記載のようなベーパーチャンバが提案されている。
ベーパーチャンバはヒートパイプによる熱輸送の考え方を板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバには、対向する平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体が相変化を伴いつつ還流することで熱輸送を行い、熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。
より具体的には、ベーパーチャンバ内部には蒸気用流路と凝縮液用流路とが設けられ、ここに作動流体が封入されている。ベーパーチャンバを熱源に配置すると、熱源の近くにおいて作動流体は熱源からの熱を受けて蒸発し、気体（蒸気）となって蒸気用流路を移動する。これにより熱源からの熱が熱源から離れた位置に円滑に輸送され、その結果熱源が冷却される。
熱源からの熱を輸送した気体状態の作動流体は熱源から離れた位置にまで移動し、周囲に熱を吸収されることで冷却されて凝縮し、液体状態に相変化する。相変化した液体状態の作動流体は凝縮液用流路を通り、熱源の位置にまで戻ってまた熱源からの熱を受けて蒸発して気体状態に変化する。
以上のような循環により熱源から発生した熱が熱源から離れた位置に輸送、拡散され熱源が冷却される。
特開２００７−２１２０２８号公報
本開示は、熱輸送能力を高めることができるベーパーチャンバを提供することを課題とする。また、このベーパーチャンバを備える電子機器、及び、ベーパーチャンバのためのシートを提供する。
本開示の１つの態様は、密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には第一流路、及び、第一流路に隣接する液流路部が備えられ、液流路部にはベーパーチャンバの厚さ方向の両方に第二流路を具備し、重ねられた３つのシートからなり、３つのシートのうち、中央に配置されたシートは、該シートの厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びて第一流路とされており、中央に配置されたシートの液流路部の厚さ方向の両面のそれぞれに第二流路が設けられたベーパーチャンバである。
また、筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に配置された当該ベーパーチャンバと、を備える、電子機器を提供できる。
本開示の他の態様は、作動流体が注入されるべき中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には第一流路、及び、第一流路に隣接する液流路部が備えられ、液流路部には前記ベーパーチャンバの厚さ方向の両方に第二流路が具備され、重ねられた３つのシートからなり、３つのシートのうち、中央に配置されたシートは、該シートの厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びて第一流路とされており、中央に配置されたシートの液流路部の厚さ方向の両面のそれぞれに第二流路が設けられたベーパーチャンバ用シートである。
本開示の他の態様は、密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には第一流路、及び、第一流路に隣接する液流路部が備えられ、液流路部に第二流路及び断熱部を備え、断熱部が第一流路及び第二流路には連通しておらず、重ねられた３つのシートからなり、３つのシートのうち、中央に配置されたシートは、該シートの厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びて第一流路とされ、中央に配置されたシートの液流路部の厚さ方向の一方側の面に第二流路が設けられ、他方側の面に断熱部が設けられた、ベーパーチャンバである。
また、筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に配置された当該ベーパーチャンバと、を備える、電子機器を提供できる。
本開示の他の態様は、作動流体が注入されるべき中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には第一流路、及び、第一流路に隣接する液流路部が備えられ、液流路部には第二流路及び断熱部を備え、断熱部が第一流路及び第二流路には連通しておらず、重ねられた３つのシートからなり、３つのシートのうち、中央に配置されたシートは、該シートの厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びて第一流路とされ、中央に配置されたシートの液流路部の厚さ方向の一方側の面に第二流路が設けられ、他方側の面に断熱部が設けられたベーパーチャンバ用シートである。
本開示の他の態様は、密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には第一流路、及び、第一流路に隣接する液流路部が備えられ、液流路部には、第二流路、及び、第一流路との境界面に第一流路側に突出する導入部が具備されており、導入部は、第一流路側に最も突出した頂部から第二流路に向けて延びる導入面を有しており、重ねられた３つのシートからなり、３つのシートのうち、中央に配置されたシートは、該シートの厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びて第一流路とされ、中央に配置されたシートの液流路部の厚さ方向の少なくとも一方側の面に前記第二流路が設けられている、ベーパーチャンバである。
また、筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に配置された当該ベーパーチャンバと、を備える、電子機器を提供できる。
本開示の他の態様は、作動流体が注入されるべき中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には第一流路、及び、第一流路に隣接する液流路部が備えられ、液流路部には、第二流路、及び、第一流路との境界面に第一流路側に突出する導入部が具備されており、導入部は、第一流路側に最も突出した頂部から第二流路に向けて延びる導入面を有しており、重ねられた３つのシートからなり、３つのシートのうち、中央に配置されたシートは、該シートの厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びて第一流路とされ、中央に配置されたシートの液流路部の厚さ方向の少なくとも一方側の面に第二流路が設けられている、ベーパーチャンバ用シートである。
本開示の他の態様は、密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には第一流路、及び、第一流路に隣接する液流路部が備えられ、液流路部にはベーパーチャンバの厚さ方向の少なくとも一方に第二流路を具備し、第一シート、第二シート、及び第一シートと第二シートとの間に配置される第三シートが積層してなり、第三シートは、該シートの厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びて第一流路とされており、第一シート及び第二シートの少なくとも一方は、第三シート側の内側シートと、第三シート側とは反対側の補強シートが積層されてなり、補強シートの耐力は、内側シートの耐力より高い、ベーパーチャンバである。
本開示の他の態様は、密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には第一流路、及び、第一流路に隣接する液流路部が備えられ、液流路部にはベーパーチャンバの厚さ方向の少なくとも一方に第二流路を具備し、第一シート、第二シート、及び第一シートと第二シートとの間に配置される第三シートが積層してなり、第三シートは、該シートの厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びて第一流路とされており、第一シート及び第二シートの少なくとも一方は、第三シート側の内側シート、第三シート側とは反対側の補強シート、及び、内側シートと補強シートとの間に配置されたバリアシートが積層されてなり、補強シートの耐力は、内側シートの耐力より高く、バリアシートは、タングステン、チタン、タンタルおよびモリブデンのうちの少なくとも一つを含む、ベーパーチャンバである。
本開示によれば、ベーパーチャンバの熱輸送能力を高めることができる。
図１はベーパーチャンバ１の斜視図である。 図２はベーパーチャンバ１の分解斜視図である。 図３は第三シート３０をｚ方向から見た図である。 図４は図３とは反対側から見た図である。 図５は第三シート３０の断面図である。 図６は第三シート３０の他の断面図である。 図７（ａ）、図７（ｂ）は外周液流路部３４に注目した断面図である。 図８は外周液流路部３４をｚ方向から見て一部を拡大した図である。 図９は他の例の外周液流路部をｚ方向から見て一部を拡大した図である。 図１０は他の例の外周液流路部を説明する図である。 図１１は他の例の外周液流路部を説明する図である。 図１２は他の例の外周液流路部を説明する図である。 図１３（ａ）、図１３（ｂ）は内側液流路部３８に注目した断面図である。 図１４は内側液流路部３８をｚ方向から見て一部を拡大した図である。 図１５はベーパーチャンバ１の断面図である。 図１６はベーパーチャンバ１の他の断面図である。 図１７（ａ）、図１７（ｂ）は図１５の一部を拡大した断面図である。 図１８（ａ）、図１８（ｂ）は図１５の一部を拡大した断面図である。 図１９は電子機器５０を説明する図である。 図２０は作動流体の流れを説明する図である。 ４つのシートによる例を説明する図である。 図２２は第二の形態にかかるベーパーチャンバ５１の分解斜視図である。 図２３はベーパーチャンバ５１の密閉空間を説明する図である。 図２４はベーパーチャンバ５１の断面図である。 図２５は図２４の一部を拡大した図である。 図２６はベーパーチャンバ１０１の斜視図である。 図２７はベーパーチャンバ１０１の分解斜視図である。 図２８は第三シート１３０をｚ方向から見た図である。 図２９は図２８とは反対側から見た図である。 図３０は第三シート１３０の断面図である。 図３１は第三シート１３０の他の断面図である。 図３２は外周液流路部１３４に注目した断面図である。 図３３は外周液流路部１３４を説明する図である。 図３４は柱１３６ａが配置された部位の断面図である。 図３５は内側液流路部１３８に注目した断面図である。 図３６は内側液流路部１３８を説明する図である。 図３７は柱１４０ａが配置された部位の断面図である。 図３８はベーパーチャンバ１０１の断面図である。 図３９はベーパーチャンバ１０１の他の断面図である。 図４０は図３８の一部を拡大した図である。 図４１は柱１３６ａが配置された部位を拡大した断面図である。 図４２は図３８の一部を拡大した図である。 図４３は柱１４０ａが配置された部位を拡大した断面図である。 図４４は他の形態を説明する図である。 図４５は他の形態を説明する図である。 図４６は他の形態を説明する図である。 図４７は他の形態を説明する図である。 図４８（ａ）、図４８（ｂ）は内側液流路部２３８に注目した断面図である。 図４９（ａ）、図４９（ｂ）はベーパーチャンバ２０１の断面のうち内側液流路部２３８の周辺の図である。 図５０は断面における好ましい形態を説明する図である。 図５１（ａ）、図５１（ｂ）は他の形態の導入部を説明する図である。 図５２（ａ）、図５２（ｂ）は他の形態の導入部を説明する図である。 図５３（ａ）、図５３（ｂ）は他の形態の導入部を説明する図である。 図５４（ａ）、図５４（ｂ）は他の形態の導入部を説明する図である。 図５５（ａ）、図５５（ｂ）は他の形態の導入部を説明する図である。 図５６（ａ）、図５６（ｂ）は他の形態の導入部を説明する図である。 図５７（ａ）、図５７（ｂ）は他の形態の導入部を説明する図である。 図５８はベーパーチャンバ３０１の断面図である。 図５９はベーパーチャンバ３０１の製造過程を説明する図である。 図６０はベーパーチャンバ３０１の製造過程を説明する図である。 図６１はベーパーチャンバ３０１の製造過程を説明する図である。 図６２はベーパーチャンバ３０１の製造過程を説明する図である。 図６３はベーパーチャンバ３０１の製造過程を説明する図である。 図６４はベーパーチャンバ３０１の製造過程を説明する図である。 図６５はベーパーチャンバ３０１’の断面図である。 図６６はベーパーチャンバ３０１”の断面図である。 図６７はベーパーチャンバ４０１の断面図である。 図６８はベーパーチャンバ５０１における内側液流路部５３８を説明する図である。 図６９は図６８に示す一対の液流路凸部の形態を説明する図である。 図７０は図６９に示す一対の液流路凸部の作用を説明する図である。 図７１は図６８に示す液流路凸部の実際の形態を説明する図である。 図７２はベーパーチャンバ５０１’における内側液流路部５３８’を説明する図である。 図７３はベーパーチャンバ５０１”における内側液流路部５３８”を説明する図である。
以下、本開示を図面に示す形態に基づき説明する。以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示、繰り返しとなる符号は省略することがある。
また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件および物理的特性並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度並びに物理的特性の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。さらに、図面においては、明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載しているが、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待することができる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待することができる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。
１．形態１
１．１．形態１ａ
［構成要素］
図１には形態１ａにかかるベーパーチャンバ１の外観斜視図、図２にはベーパーチャンバ１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、３次元の直交座標系に対応した方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も合わせて表示した。ここでｘｙ面内方向は板状であるベーパーチャンバ１の板面方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。
本形態のベーパーチャンバ１は、図１、図２からわかるように第一シート１０、第二シート２０、及び、第三シート３０（「中間シート３０」と記載することもある。）を有している。そして、後で説明するように、これらシートが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に第三シート３０の形状に基づいた中空部が形成されたベーパーチャンバ用シートとなる。そして、この中空部に作動流体が封入されることで密閉空間２（例えば図１５参照）とされ、ベーパーチャンバ１となる。
＜第一シート＞
本形態で第一シート１０は、その表裏面（厚さ方向の一方と他方の面、内面１０ａと外面１０ｂ）が平坦である全体としてシート状の部材である。第一シート１０は表裏とも平坦な面により構成されており、平坦な内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる平坦な外面１０ｂ、及び、内面１０ａと外面１０ｂとを渡して厚さを形成する端面１０ｃを備える。
また、第一シート１０は本体１１及び注入部１２を備えている。
本体１１は中空部及び密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧にされた（いわゆるＲを有する）長方形である。
ただし、第一シート１０の本体１１は本形態のように四角形である他、ベーパーチャンバとして都度必要とされる形状とすることができる。例えば円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型、Ｕ字型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
注入部１２は形成された中空部に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では平面視長方形である本体１１の一辺から突出する平面視四角形のシート状である。
このような第一シート１０の厚さは特に限定されることはないが、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さは０．０１ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることが可能である。
また、第一シート１０を構成する材料も特に限定されることはないが、熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金を挙げることができる。ただし、必ずしも金属材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４、又はＡｌ２Ｏ３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、１つシート内で２種類以上の材料を積層したものを用いてもよいし、部位によって材料が異なってもよい。
第一シート１０は、単層であってもよいし、複数のシートが積層されてなってもよい。例えば強度が異なる複数の層が積層されたシート（クラッド材）が用いられてもよい。
＜第二シート＞
本形態で第二シート２０も、その表裏が平坦である全体としてシート状の部材である。第二シート２０は表裏とも平坦な面により構成されており、平坦な内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる平坦な外面２０ｂ、及び、内面２０ａと外面２０ｂとを渡して厚さを形成する端面２０ｃを備える。
また、第二シート２０も第一シート１０と同様に本体２１及び注入部２２を具備している。
その他、第二シート２０は第一シート１０と同様に考えることができる。ただし、第二シート２０の厚さや材質は第一シート１０と同じである必要はなく、異なるように構成してもよい。
第二シート２０も、単層であってもよいし、複数のシートが積層されてなってもよい。例えば強度が異なる複数の層が積層されたシート（クラッド材）が用いられてもよい。
＜第三シート＞
本形態で第三シート３０は、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとの間に挟まれて重ねられるシートであり、作動流体が移動する密閉空間２のための構造が具備されている。
図３、図４には第三シート３０を平面視した図（ｚ方向から見た図）を表した。図３は第一シート１０に重ねられる面の図、図４は第二シート２０に重ねられる面の図である。
また図５には図３にＣ１−Ｃ１で示した線に沿った断面図、図６には図３にＣ２−Ｃ２で示した線に沿った断面図をそれぞれ示した。なお、断面図のうち、切断面に係る部位にはハッチング（斜線）を付すとともに、切断面に係らない部分で当該断面図に表れる部分のうち表示が必要である部分については、ハッチングを付さずに表示している。以下の図面においても同様である。
なお、第三シート３０も単層であってもよいし、複数のシートが積層されてなってもよい。複数のシートが積層されてなる場合には、複数のシートを積層してから以下の形態と形成してもよいし、複数のシートを個別に加工してから重ね合わせることで以下の形態を形成してもよい。
本形態で第三シート３０は、第一シート１０の内面１０ａに重なる第一面３０ａ、第二シート２０の内面２０ａに重なる第二面３０ｂ、及び、第一面３０ａと第二面３０ｂとを渡して厚さを形成する端面３０ｃを備える。従って図３には第一面３０ａ、図４には第二面３０ｂがそれぞれ現れている。
また、第三シート３０は本体３１及び注入部３２を備えている。
本体３１は、ベーパーチャンバ用シートにおける中空部及びベーパーチャンバ１における密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧にされた（いわゆるＲを有する。）長方形である。
ただし、本体３１は本形態のように四角形である他、ベーパーチャンバとして必要とされる形状とすることができる。例えば円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型、Ｕ字型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
注入部３２は形成された中空部に対して作動流体を注入する部位であり、本形態では平面視長方形である本体３１の一辺から突出する平面視四角形のシート状である。そして注入部３２には第二面３０ｂ側に端面３０ｃから本体３１に通じる溝３２ａが設けられている。
第三シート３０の厚さは０．０３ｍｍ以上０．８ｍｍ以下とすることができる。ただし、第三シート３０の厚さは第一シート１０及び第二シート２０よりも厚いことが好ましい。これにより後述する蒸気流路４の断面を大きく取ることができ、より円滑な作動流体の移動が可能となる。
第三シート３０の材質は第一シート１０及び第二シート２０と同様に考えることができる。
本体３１には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体３１には、外周接合部３３、外周液流路部３４、内側液流路部３８、蒸気流路溝４２、及び、蒸気流路連通溝４４が具備されて構成されている。
本形態のベーパーチャンバ１は、第一流路であり作動流体の蒸気が通る蒸気流路４（図１５等参照）、及び、第二流路であり作動流体が凝縮して液化した凝縮液が通る凝縮液流路３（図１８等参照）を備える。そして、第三シート３０の蒸気流路溝４２が蒸気流路４を形成し、外周液流路部３４に具備される液流路溝３５、液流路溝３６（図７等参照）及び、内側液流路部３８に具備される液流路溝３９、液流路溝４０（図１３（ａ）、図１３（ｂ）等参照）が凝縮液流路３を形成する。
＜＜外周接合部＞＞
外周接合部３３は、本体３１の外周に沿って設けられた部位であり、本体３１の第一面３０ａに設けられた外周接合面３３ａ及び第二面３０ｂに設けられた外周接合面３３ｂを備えている。外周接合面３３ａが第一シート１０の内面１０ａの外周部に重なり、外周接合面３３ｂが第二シート２０の内面２０ａの外周部に重なってそれぞれが接合（拡散接合、ろう付け等）されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に第三シート３０の形状に基づく中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることにより密閉空間とされる。
図３乃至図７にＷ１で示した外周接合部３３（外周接合面３３ａ及び外周接合面３３ｂ）の幅（外周接合部３３が延びる方向に直交する方向の大きさ）は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ｗ１は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ１が３．０ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ｗ１は０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．４ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ１が０．１ｍｍより小さくなると接合時におけるシート間の位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ｗ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
なお、ここでは外周接合面３３ａの幅と外周接合面３３ｂの幅をいずれもＷ１で示したが、外周接合面３３ａの幅と外周接合面３３ｂの幅は必ずしも同じである必要はなく、異なる幅としてもよい。
＜＜外周液流路部＞＞
外周液流路部３４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第二流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図７（ａ）、図７（ｂ）には図５のうち矢印Ｃ３で示した部分を拡大して表した。また、図８には図７に矢印Ｃ４で示した方向から見た外周液流路部３４を平面視した（ｚ方向から見た）拡大図を表した。すなわち、図８は、第一面３０ａの方から見た外周液流路部３４の一部を表している。
ここで、図７（ａ）は図８のＣ１５−Ｃ１５矢視断面図であり、図７（ｂ）は図８のＣ１６−Ｃ１６の矢視断面図である。図７（ａ）は導入部３７側に凸部３５ａが配置される断面であり、図７（ｂ）は導入部３７側に連通開口部３５ｂが配置される断面である。
これら図からわかるように、外周液流路部３４は、本体３１のうち、外周接合部３３の内側に沿って形成され、密閉空間２となる部位の外周に沿って設けられる部位である。また、外周液流路部３４の第一面３０ａ及び第二面３０ｂのそれぞれに、本体３１の外周方向に沿って延びる複数の溝である液流路溝３５（第一面３０ａ側）及び液流路溝３６（第二面３０ｂ側）が形成され、複数の液流路溝３５、液流路溝３６が、液流路溝３５、液流路溝３６が延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図５乃至図７からわかるように外周液流路部３４ではその断面において、第一面３０ａ側では凹部である液流路溝３５と液流路溝３５の間である凸部３５ａとが凹凸を繰り返して形成されている。
さらに、第二面３０ｂ側では凹部である液流路溝３６と液流路溝３６の間である凸部３６ａとが凹凸を繰り返して形成されている。すなわち、本形態では凝縮液流路３となる液流路溝が、厚さ方向（ｚ方向）の一方と他方（表裏）のそれぞれに設けられている。
このように、第一面３０ａ及び第二面３０ｂのそれぞれに、複数の液流路溝３５、液流路溝３６が具備されることで、合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができるとともに、１つ当たりの液流路溝３５、液流路溝３６の深さ及び幅を小さくし、これにより第二流路である凝縮液流路３（図１７（ａ）、図１７（ｂ）等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。
なお、一方と他方（表裏）、すなわち液流路溝３５と液流路溝３６とで深さ及び幅をそれぞれ変えてもよい。これによれば最終製品に合わせて、流量と毛細管力を独立的に調整することができる。
ここで液流路溝３５、液流路溝３６は溝であることから、その断面形状において、底部を有し、この底部と向かい合わせとなる反対側は開口している。後述するように、第一シート１０や第二シート２０が第三シート３０に重ねられることでこの開口が塞がれて凝縮液流路３となる。
本形態で液流路溝３５、液流路溝３６はその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、及び、これらのいずれか複数を組み合せた形状であってもよい。
さらに、本形態では、外周液流路部３４では、図８からわかるように隣り合う液流路溝３５は、所定の間隔で連通開口部３５ｂにより連通している。これにより複数の液流路溝３５の間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができ、円滑な作動流体の還流が可能となる。なお、図８では第一面３０ａ側を示しているため液流路溝３５、凸部３５ａ、及び連通開口部３５ｂについて説明するが、第二面３０ｂ側に設けた液流路溝３６、凸部３６ａについても同様に考えることができ、不図示の連通開口部３６ｂが設けられ、液流路溝３５、凸部３５ａ、及び連通開口部３５ｂと同じように考えることができる。
本形態では図８で示したように１つの液流路溝３５の該溝を挟んで液流路溝３５が延びる方向で異なる位置に連通開口部３５ｂが配置されてもよい。すなわち、液流路溝が延びる方向と直交する方向に沿って凸部３５ａと連通開口部３５ｂとが交互に配置されいる。ただしこれに限定されることはなく、例えば図９に示したように１つの液流路溝３５の該溝を挟んで液流路溝３５が延びる方向の同じ位置に対向するように連通開口部３５ｂが配置されてもよい。
その他、例えば図１０乃至図１２に記載のような形態とすることもできる。図１０乃至図１２には、図８と同じ視点で、１つの液流路溝３５とこれを挟む２つの凸部３５ａ、及び各凸部３５ａに設けられた１つの連通開口部３５ｂを示した図を表した。これらはいずれも、当該視点（平面視）で凸部３５ａの形状が図８の例とは異なる。
すなわち、図８に示した凸部３５ａでは、連通開口部３５ｂが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図１０乃至図１２に示した形状の凸部３５ａでは、連通開口部３５ｂが形成される端部においてその幅が、凸部３５ａの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図１０は当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１１は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１２は端部が尖るように先細りとなる例である。
図１０乃至図１２に示したように、凸部３５ａにおいて連通開口部３５ｂが形成される端部でその幅が、凸部３５ａの最大幅よりも小さくなるように形成されていることで、連通開口部３５ｂを作動流体が移動しやすくなり、隣り合う凝縮液流路への作動流体の移動が容易となる。
また本形態では図５に示したように外周液流路部３４に導入部３７が設けられている。導入部３７は蒸気流路溝４２との境界面に形成された部位であり、蒸気流路溝４２側に突出する部位である。本形態では厚さ方向（ｚ方向）の中央で最も突出した頂部３７ａを具備し、頂部３７ａから第一面３０ａ、及び第二面３０ｂ側（ｚ方向）に向けて、断面視で外周液流路部３４側に凹の円弧状である導入面３７ｂが具備されている。
導入部３７の形態はこれに限らず、頂部３７ａの位置はｚ方向のいずれかであればよく、導入面３７ｂは断面で直線でもよく、円弧状でない曲線であってもよい。また頂部３７ａは断面視で点でもよく、長さを有していてもよい。
このような導入部３７によれば、上記のような形状によって導入面３７ｂに凝縮液が集まり易く、導入部３７を通じて凝縮液流路３と蒸気流路４との間の作動流体の移動が円滑となり、熱輸送能力をさらに高めることができる。
以上のような構成を備える外周液流路部３４は、さらに次のような構成を備えてもよい。なお、ここでは図面を参照するため、第一面３０ａ側についてのみについて説明するが、第二面３０ｂ側（液流路溝３６、凸部３６ａ、及び連通開口部３６ｂ）も同じように考えることができる。ただし、このことは第一面３０ａ側の形状と、第二面３０ｂ側の形状と、を同じにする必要があることを意味するわけではなく、第一面３０ａ側と第二面３０ｂ側との形状を同じとしてもよいし、異なるものとしてもよい。
図３乃至図５、図７（ａ）にＷ２で示した外周液流路部３４の幅（液流路溝３５、液流路溝３６が配列される方向の大きさ）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｗ２は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ２が３．０ｍｍを超えると内側の液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｗ２は０．０５ｍｍ以上であることが好ましく、０．１ｍｍ以上であってもよく、０．２ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ２が０．０５ｍｍより小さいと外側を還流する液の量が十分得られない虞がある。幅Ｗ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
なお、ここでは外周液流路部３４の第一面３０ａ側の幅と第二面３０ｂ側の幅をいずれもＷ２で示したが、外周接合面３３ａの幅と外周接合面３３ｂの幅は必ずしも同じである必要はなく、異なる幅としてもよい。
液流路溝３５について、図７（ａ）、図８にＷ３で示した溝幅（液流路溝３５が配列される方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｗ３は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。幅Ｗ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図７（ａ）にＤ１で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤ１は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮することができる。
凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、溝幅Ｗ３を深さＤ１で割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点からＷ３はＤ１より大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
また、図７（ａ）にＰ１で示した複数の液流路溝３５における隣り合う液流路溝３５のピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、ピッチＰ１は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチＰ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＰ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して凝縮液流路が潰れることを抑制することができる。
連通開口部３５ｂについて、図８にＬ１で示した液流路溝３５が延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、大きさＬ１は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。大きさＬ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＬ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図８にＬ２で示した液流路溝３５が延びる方向における隣り合う連通開口部３５ｂのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬ２は６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＬ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
導入部３７について、図７（ａ）にＷ４で示した突出量（凸部３５ａの端部から頂部３７ａの距離）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、３００μｍ以下であってもよい。一方、突出量Ｗ４は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。突出量Ｗ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、突出量Ｗ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
＜＜内側液流路部＞＞
図１乃至図５に戻って内側液流路部３８について説明する。内側液流路部３８も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第二流路である凝縮液流路３の一部、及び導入部４１を構成する部位である。図１３（ａ）、図１３（ｂ）には図５のうち矢印Ｃ５で示した部分を拡大して示した。図１３（ａ）、図１３（ｂ）にも内側液流路部３８の断面形状が表れている。また、図１４には図１３に矢印Ｃ６で示した方向から見た内側液流路部３８を平面視した拡大図を示した。
ここで、図１３（ａ）は図１４のＣ１７−Ｃ１７矢視断面図であり、図１３（ｂ）は図１４のＣ１８−Ｃ１８の矢視断面図である。図１３（ａ）は導入部４１側に凸部３９ａが配置される断面であり、図１３（ｂ）は導入部４１側に連通開口部３９ｂが配置される断面である。
これら図からわかるように、内側液流路部３８は本体３１のうち、外周液流路部３４の環状である環の内側に形成された部位である。本形態の内側液流路部３８は、本体３１の平面視（ｚ方向から見たとき）長方形の長辺に平行な方向（ｘ方向）に延び、複数（本形態では３つ）の内側液流路部３８が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
内側液流路部３８の第一面３０ａ及び第二面３０ｂのそれぞれに、内側液流路部３８が延びる方向に沿って延びる複数の溝である液流路溝３９（第一面３０ａ側）及び液流路溝４０（第二面３０ｂ側）が形成され、複数の液流路溝３９、液流路溝４０が、液流路溝３９、液流路溝４０が延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。
従って、図１３等からわかるように内側液流路部３８ではその断面において、第一面３０ａ側では凹部である液流路溝３９と、液流路溝３９の間である凸部３９ａと、が凹凸を繰り返して形成されている。さらに、第二面３０ｂ側では凹部である液流路溝４０と、液流路溝４０の間である凸部４０ａと、が凹凸を繰り返して形成されている。すなわち、本形態では凝縮液流路３となる液流路溝が、厚さ方向（ｚ方向）の一方側と他方側（表裏）の両方に設けられている。
このように、第一面３０ａ及び第二面３０ｂのそれぞれに、複数の液流路溝３９、液流路溝４０が具備されることで、合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができるとともに、１つ当たりの液流路溝３９、液流路溝４０の深さ及び幅を小さくし、第二流路である凝縮液流路３（図１８等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。
ここで液流路溝３９、液流路溝４０は溝であることから、その断面形状において、底部を有し、この底部と向かい合わせとなる反対側は開口している。後述するように、第一シート１０や第二シート２０が第三シート３０に重ねられることでこの開口が塞がれて凝縮液流路３となる。
本形態で液流路溝３９、液流路溝４０はその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、及び、これらのいずれか複数を組み合せた形状であってもよい。
さらに、本形態では、内側液流路部３８では、図１４からわかるように隣り合う液流路溝３９は、所定の間隔で連通開口部３９ｂにより連通している。これにより複数の液流路溝３９の間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができ、円滑な作動流体の還流が可能となる。なお、図１４では第一面３０ａ側を示しているため液流路溝３９、凸部３９ａ、及び連通開口部３９ｂについて説明するが、第二面３０ｂ側に設けた液流路溝４０、凸部４０ａについても同様に考えることができ、不図示の連通開口部４０ｂが設けられ、液流路溝３９、凸部３９ａ、及び連通開口部３９ｂと同じように考えることができる。
また、この連通開口部３９ｂについても、上記した連通開口部３５ｂと同様に、図９に示した例に倣って、液流路溝３９、液流路溝４０が延びる方向と直交する方向に沿って連通開口部３９ｂが同じ位置となるように配置されてもよい。また、図１０乃至図１２の例に倣った連通開口部３９ｂ及び凸部３９ａの形状としてもよい。
また本形態では内側液流路部３８に導入部４１が設けられている。導入部４１は蒸気流路溝４２との境界面に形成された部位であり、蒸気流路溝４２側に突出する部位である。本形態では厚さ方向（ｚ方向）の中央で最も突出した頂部４１ａを具備し、頂部４１ａから第一面３０ａ、及び第二面３０ｂ側（ｚ方向）に向けて、断面視で内側液流路部３８側に凹の円弧状である導入面４１ｂが具備されている。
導入部４１の形態はこれに限らず、頂部４１ａの位置はｚ方向のいずれかであればよく、導入面４１ｂは断面で直線でもよく、円弧状でない曲線であってもよい。また頂部４１ａは断面で点でもよく、長さを有していてもよい。
このような導入部４１によれば、上記のような形状によって導入面４１ｂに凝縮液が集まり易く、導入部４１を通じて凝縮液流路３と蒸気流路４との作動流体の移動が円滑となり、熱輸送能力をさらに高めることができる。
以上のような構成を備える内側液流路部３８は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図３、図４、図５、図１３（ａ）にＷ５で示した内側液流路部３８の幅（内側液流路部３８と蒸気流路溝４２が配列される方向の大きさで、最も大きな値）は、３０００μｍ以下であることが好ましく２０００μｍ以下であってもよく、１５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ５は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ５の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ５の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図３、図５にＰ２で示した複数の内側液流路部３８のピッチは５０００μｍ以下であることが好ましく３５００μｍ以下であってもよく、３０００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＰ２は２００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ以上であってもよく、８００μｍ以上であってもよい。このピッチＰ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＰ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。
以上のような構成を備える内側液流路部３８は、さらに次のような構成を備えてもよい。なお、ここでは図面を参照するため、第一面３０ａ側についてのみについて説明するが、第二面３０ｂ側（液流路溝４０、凸部４０ａ、及び連通開口部４０ｂ）も同じように考えることができる。ただし、このことは第一面３０ａ側の形状と、第二面３０ｂ側の形状と、を同じにする必要があることを意味するわけではなく、第一面３０ａ側と第二面３０ｂ側との形状を同じとしてもよいし、異なるものとしてもよい。
液流路溝３９について、図１３（ａ）、図１４にＷ６で示した溝幅（液流路溝３９が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ６は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ６の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ６の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１３（ａ）にＤ２で示した液流路溝３９の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＤ２は５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＤ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛細管力を強く発揮することができる。
流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、溝幅Ｗ６を深さＤ２で割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。１．５以上であってもよいし、２．０以上であってもよい。又は１．０よりも小さくてもよく、０．７５以下でもよく０．５以下でもよい。
その中でも製造の観点から溝幅Ｗ６は深さＤ２よりも大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
また、図１３（ａ）にＰ３で示した複数の液流路溝３９における隣り合う液流路溝３９のピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＰ３は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチＰ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＰ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。
さらに、連通開口部３９ｂについて、図１４にＬ３で示した液流路溝３９が延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、この大きさＬ３は３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。この大きさＬ３の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＬ３の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１４にＬ４で示した、液流路溝３９が延びる方向における隣り合う連通開口部３９ｂのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬ４は６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチＬ４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチＬ４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
上記した本形態の液流路溝３５及び液流路溝３６、並びに液流路溝３９及び液流路溝４０は等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば溝同士のピッチがばらついても良く、また溝同士が平行でなくてもよい。
導入部４１について、図１３（ａ）にＷ７で示した突出量（凸部３９ａの端部から頂部４１ａの距離）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、３００μｍ以下であってもよい。一方、突出量Ｗ７は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。突出量Ｗ７の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、突出量Ｗ７の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
＜＜蒸気流路溝＞＞
次に蒸気流路溝４２について説明する。蒸気流路溝４２は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第一流路である蒸気流路４（図１５等参照）の一部を構成する。図３、図４には平面視した蒸気流路溝４２の形状、図５には蒸気流路溝４２の断面形状がそれぞれ表れている。
これら図からもわかるように、本形態で蒸気流路溝４２は本体３１のうち、外周液流路部３４の環状である環の内側に形成された溝（スリット）により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝４２は、隣り合う内側液流路部３８の間、及び、外周液流路部３４と内側液流路部３８との間に形成され、本体３１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝４２が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。本形態の蒸気流路溝４２は第三シート３０の第一面３０ａと第二面３０ｂ側とを連通するように構成されており、すなわちスリット状の溝であり、第三シート３０を厚さ方向に貫通し、第一面３０ａ及び第二面３０ｂ側に開口するとともに、第三シート３０のシート面（第一面３０ａ、第二面３０ｂ）に沿って延びている。
従って、図５からわかるように第三シート３０は、ｙ方向において、外周液流路部３４及び内側液流路部３８と蒸気流路溝４２とが交互に繰り返された形状を備えている。
このような構成を備える蒸気流路溝４２は、さらに次のような構成を備えることができる。
図３、図４、図５にＷ８で示した蒸気流路溝４２の幅（内側液流路部３８と蒸気流路溝４０が配列される方向の大きさで、蒸気流路溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝３５及び液流路溝３７の幅Ｗ３、並びに、液流路溝３９及び液流路溝４０の幅Ｗ６より大きく形成され、２５００μｍ以下であることが好ましく、２０００μｍ以下であってもよく、１５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ８は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ８の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ８の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝４２のピッチは、内側液流路部３８のピッチにより決まるのが通常である。
蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝の流路断面積よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。
本形態では蒸気流路溝４２の断面形状は導入部３７、導入部４１に基づく形状となっているが、導入部４１が設けられない場合には、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、又はこれらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより、作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
本形態では隣り合う内側液流路部３８の間に１つの蒸気流路溝４２が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
＜＜蒸気流路連通溝＞＞
蒸気流路連通溝４４は、複数の蒸気流路溝４２を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路溝４２の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
本形態の蒸気流路連通溝４４は、図３、図４、及び、図６からわかるように、内側液流路部３８、蒸気流路溝４２が延びる方向の両端部と、外周液流路部３４との間に形成されている。
蒸気流路連通溝４４は、隣り合う蒸気流路溝４２を連通させるように形成されている。本形態で蒸気流路連通溝４４は図６からわかるように、第一面３０ａ側の溝４４ａ、第二面３０ｂ側の溝４４ｂを有しており、溝４４ａと溝４４ｂとの間に連結部４４ｃを具備している。この連結部４４ｃは内側液流路部３８と外周液流路部３３とを連結し内側液流路部３８を保持している。
また、図３、図４に表れているように、本形態では蒸気流路連通溝４４のうち、第三シート３０の注入部３２に設けられた溝３２ａの端部が配置される部位では、連結部４４ｃに穴４４ｄが設けられ、溝４４ａと溝４４ｂとが連通している。これにより溝３２ａからの作動液注入を阻害することなく、より円滑な作動液注入ができるようにしている。
蒸気流路連通溝４４は複数の蒸気流路溝４２を連通していればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図３、図４、図６にＷ９で示した蒸気流路連通溝４４の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、２５００μｍ以下であることが好ましく、２０００μｍ以下であってもよく、１５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ９は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ９の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ９の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
本形態で蒸気流路連通溝４４の溝４４ａ、溝４４ｂの断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形又は、これらのいずれか複数の組み合わせであってもよい。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
＜ベーパーチャンバの構造＞
次に、第一シート１０、第二シート、及び第三シート３０が組み合わされてベーパーチャンバ１とされたときの構造について説明する。この説明により、ベーパーチャンバ１が具備する形状、並びに、第一シート１０、第二シート、及び第三シート３０が有するべき各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図１５には、図１にＣ７−Ｃ７で示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１を厚さ方向に切断した断面図を表した。図１６には図１にＣ８−Ｃ８で示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１を厚さ方向に切断した断面図を示した。
図１７（ａ）には図１５にＣ９で示した部分で図７（ａ）に対応する断面、図１７（ｂ）には図７（ｂ）に対応する断面、図１８（ａ）には図１５にＣ１０で示した部分で図１３（ａ）に対応する断面、図１８（ｂ）には図１３（ｂ）に対応する断面をそれぞれ表した。
なお、図１５、図１６、図１７（ａ）、図１８（ａ）に表れる断面では蒸気流路４と蒸気流路３とは凸部３５ａ及び凸部３９ａにより隔てられているが、図８及び図１４に示して説明したように、凸部３５ａ及び凸部３９ａはそれぞれ連通開口部３５ｂ及び連通開口部３９ｂを備えている。従って、図１７（ｂ）、図１８（ｂ）で示したように蒸気流路４に連通開口部３５ｂ、連通開口部３９ｂが接する断面によれば、蒸気流路４と蒸気流路３とは連通開口部３５ｂ及び連通開口部３９ｂにより連通している。
図１、図２、及び図１５乃至図１８よりわかるように、第三シート３０の第一面３０ａ側に第一シート１０の内面１０ａが重ねられ、第三シート３０の第二面３０ｂ側に第二シート２０の内面２０ａが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ１とされている。このとき、第三シート３０の本体３１と第一シート１０の本体１１、第三シート３０の本体３１と第二シート２０の本体２１とが重なり、第三シート３０の注入部３２の第一シート１０の注入部１２、第三シート３０の注入部３２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。
このような第一シート１０、第二シート２０及び第三シート３０の積層体により、本体１１、本体２１及び本体３１に具備される各構成が図１５、図１６、図１７（ａ）、図１７（ｂ）、図１８（ａ）、及び図１８（ｂ）に表れるように配置される。具体的には次の通りである。
第三シート３０の第一面３０ａ側に設けられた外周接合面３３ａと第一シート１０の内面の１０ａの外周部の面とが重なるように配置されているとともに、第三シート３０の第二面３０ｂ側に設けられた外周接合面３３ｂと第二シート２０の内面２０ａの外周部の面とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に、第三シート３０の形状に基づく中空部が形成されて、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２とされている。
第三シート３０の外周液流路部３４の第一面３０ａ側に第一シート１０の内面１０ａが重なるように配置されている。これにより液流路溝３５の開口が第一シート１０により塞がれて中空部の一部となる。これは、中空部に封入された作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第二流路である凝縮液流路３となる。
同様にして第三シート３０の外周液流路部３４の第二面３０ｂ側に第二シート２０の内面２０ａが重なるように配置されている。これにより液流路溝３６の開口が第二シート２０により塞がれて中空部の一部となる。これは、中空部に封入された作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第二流路である凝縮液流路３となる。
また、第三シート３０の内側液流路部３８の第一面３０ａ側に第一シート１０の内面１０ａが重なるように配置されている。これにより液流路溝３９の開口が第一シート１０により塞がれて中空部の一部となる。これは、中空部に封入された作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第二流路である凝縮液流路３となる。
同様にして第三シート３０の外周液流路部３８の第二面３０ｂ側に第二シート２０の内面２０ａが重なるように配置されている。これにより液流路溝４０の開口が第二シート２０により塞がれて中空部の一部となる。これは、中空部に封入された作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第二流路である凝縮液流路３となる。
このように、断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。すなわち、凝縮液が流れることを想定した流路を考えたとき、該流路の１つの面が連続的に開放されているようないわゆる溝による流路に比べて、上記凝縮液流路３によれば高い毛細管力を得ることができる。
また、凝縮液流路３は第１流路である蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
さらに本形態では液流路溝３５及び液流路溝３９による凝縮液流路３並びに液流路溝３６及び液流路溝４０による凝縮液流路３が具備され、ベーパーチャンバ１の厚さ方向（ｚ方向）の一方側と他方側のそれぞれに凝縮液流路３が備えられている。
これにより、１つの凝縮液流路３の流路断面積を小さく（細く）しつつも、凝縮液流路３の合計の流路断面積を大きく取ることができるので毛細管力を高く維持しつつ凝縮液の流れを円滑にすることができる。
また、ベーパーチャンバ１における作動流体の面内方向（ｘｙ方向）への移動だけでなく、厚さ方向（ｚ方向）への移動の機会を与えることができ、より均一な熱移動及び熱輸送が期待できる。
凝縮液流路３が具備する形状は、上記した第三シート３０で説明した形状及び寸法に基づいて考えることができる。
他の部位について説明する。図１５からわかるように、蒸気流路溝４２の開口が第一シート１０及び第二シート２０により塞がれることで中空部の一部を形成し、ここが封入された作動流体の流路となって、蒸気が流れる第一流路である蒸気流路４となる。
ここで蒸気流路４の一部を構成する第一シート１０及び第二シート２０の蒸気流路４側の面は平坦であることが好ましい。本形態では第一シート１０及び第二シート２０の表面が加工されず、平坦な板面を有しているため、蒸気流路４の内壁が平滑になり、蒸気が移動する際の抵抗を抑えることができる。
上記した第二流路である凝縮液流路３の流路断面積は、当該第一流路である蒸気流路４の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路４（本形態では１つの蒸気流路溝４２、第一シート１０、及び第二シート２０で囲まれる流路）の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う２つの蒸気流路４の間に配置される複数の凝縮液流路３（本形態では１つの内側液流路部３８、第一シート１０及び第二シート２０で囲まれる複数の凝縮液流路３）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路３と蒸気流路４とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第一流路と第二流路とを選択的に通り易くなる。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
蒸気流路４が具備する形状は、上記した第三シート３０で説明した形状及び寸法に基づいて考えることができる。
なお、本形態では導入部３７、及び、導入部４１が設けられているので、１つの蒸気流路４は２つの導入部に接するように構成されている。
図１６からわかるように、第三シート３０の蒸気流路連通溝４４の溝４４ａの開口が第一シート１０で、溝４４ｂの開口が第二シート２０でそれぞれ塞がれることにより複数の蒸気流路４が連通する中空部が形成され、作動流体のための流路となる。
注入部１２、注入部２２、及び注入部３２についても図１、図２に表れているように、注入部３２の第一面３０ａ側に注入部１２、注入部３２の第二面３０側に注入部２２が重なり、第三シート３０の第二面３０ｂ側の注入溝３２ａの開口が第二シート２０の注入部２２に塞がれ、外部と中空部（凝縮液流路３及び蒸気流路４）とを連通する注入流路５が形成されている。
ただし、注入流路５から中空部に対して作動流体を注入した後は、注入流路５は閉鎖されて密閉空間２となるので、最終的な形態のベーパーチャンバ１では外部と中空部とは連通していない。
本形態で注入部１２、注入部２２、及び注入部３２は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。
ベーパーチャンバ１の密閉空間２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
［ベーパーチャンバの製造］
以上のようなベーパーチャンバは例えば次のように作製することができる。
第三シート３０の外周形状を有するシートに対して、液流路溝３５、液流路溝３６、液流路溝３９、液流路溝４０、蒸気流路溝４２、及び溝４４ａ及び溝４４ｂをハーフエッチングにより形成する。ハーフエッチングとは厚さ方向に貫通することなくその途中までエッチングを行うことである。
ただし、蒸気流路溝４２については、第一面３０ａ側と第二面３０ｂ側の両方からのハーフエッチングにより厚さ方向に貫通するように行う。このようにエッチングをすることにより、導入部３７及び導入部４１の形状を形成することができる。
次いで、第三シート３０の第一面３０ａ側に第一シート１０、第三シート３０の第二面３０ｂ側に第二シート２０を重ねて仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０、第二シート２０、第三シート３０を接合してベーパーチャンバ用シートとする。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密閉空間２の密閉性を維持可能な程度に接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。
接合の後、形成された注入流路５から真空引きを行い、中空部を減圧する。その後、減圧された中空部に対して注入流路５から作動流体を注入して中空部に作動流体が入れられる。そして重なった注入部１２、注入部２２、及び注入部３２に対して溶融を利用した溶接や、かしめによって注入流路５を閉鎖して密閉空間とする。これにより密閉空間２の内側に作動流体が安定的に保持される。
本形態のベーパーチャンバでは、内部液流路部３８が支柱として機能するため、接合時及び減圧時に密閉空間がつぶれることを抑制することができる。
以上では、エッチングによるベーパーチャンバの製造について説明したが、製造方法はこれに限らず、プレス加工、切削加工、レーザ加工、及び３Ｄプリンタによる加工によりベーパーチャンバを製造することもできる。
例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。
［電子機器の構造及びベーパーチャンバの作用］
次にベーパーチャンバ１の作用について説明する。図１９には電子機器の一形態である携帯型端末８０の内側にベーパーチャンバ１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバ１は携帯型端末８０の筐体８１の内側に配置されているため点線で表している。このような携帯型端末８０は、各種電子部品を内包する筐体８１及び筐体８１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット８２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバ１により冷却すべき電子部品５３が筐体５１内に配置されている。
ベーパーチャンバ１は携帯型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品８３に取り付けられる。電子部品はベーパーチャンバ１の外面又は外面に直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等を介して取り付けられる。電子部品８３がベーパーチャンバのうちどの位置に取り付けられるかは特に限定されることはなく、携帯型端末等において他の部材の配置との関係により適宜設定される。本形態では図１に点線で示したように、第二シート２０のうち第三シート３０が配置される側とは反対側の面で、本体２１のｘｙ方向中央に電子部品５３を配置した。従って図１において電子部品８３は死角となって見えない位置なので点線で表している。
図２０には作動流体の流れを説明する図を表した。説明のし易さのため、この図ではベーパーチャンバ１の内部で第三シート３０の第一面３０ａ側が見えるように表示している。
電子部品８３が発熱すると、その熱が第二シート２０内を熱伝導により伝わり、密閉空間２内のうち、電子部品８３に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品８３が冷却される。
気化した作動流体は蒸気となって図２０に実線の直線矢印で示したように蒸気流路４内を流れて移動する。この流れは電子部品８３から離隔する方向に生じるため、蒸気は電子部品８３から離れる方向に移動する。
蒸気流路４内の蒸気は熱源である電子部品８３から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１の外周部に移動し、当該移動の際に順次第一シート１０、第二シート２０、及び第三シート３０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０、第二シート２０、及び第三シート３０は、ベーパーチャンバに接触した電子機器８０の筐体８１等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。
蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。この凝縮液は蒸気流路４の壁面に付着する。一方で蒸気流路４には連続して蒸気が流れているので、凝縮液は図１８に矢印Ｃ１１で示したように蒸気で押し込まれるように、凝縮液流路３に移動する。本形態の凝縮液流路３は、図８、図１４に現れているように連通開口部３５ｂ、連通開口部３６ｂ、連通開口部３９ｂ、及び、連通開口部４０ｂを備えているので、凝縮液はこれら連通開口部を通って複数の凝縮液流路３に分配される。
本形態では、凝縮液流路３がベーパーチャンバ１の厚さ方向の両方に具備されているため、蒸気流路４から凝縮液流路３への移動機会を多くすることができ、より円滑な凝縮液の移動が可能となる。
このとき、導入部３７、導入部４１が具備されている形態であれば、導入面３７ｂ、導入面４１ｂと第一シート１０、第二シート２０とに囲まれた部位が生じ、毛細管力の作用でここに凝縮液が溜まりやすくなる。これにより、凝縮液の凝縮液流路３へ導入がさらに円滑に行われる。
凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛細管力、及び、蒸気からの押圧により、図２０に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品８３に近づくように移動する。
そして再度熱源である電子部品８３からの熱により気化して上記を繰り返す。
以上のように、ベーパーチャンバ１によれば、凝縮液流路において高い毛管力で凝縮液の還流が良好となり、熱輸送量を高めることができる。
さらに本形態では凝縮液流路３が、ベーパーチャンバ１の厚さ方向（ｚ方向）の一方側と他方側の両方に備えられている。
これにより、１つの凝縮液流路３の流路断面積を小さく（細く）しつつも、凝縮液流路３の合計の流路断面積を大きく取ることができるので毛細管力を高く維持しつつ凝縮液の流れを円滑にすることができる。
また、ベーパーチャンバ１における作動流体の面内方向（ｘｙ方向）への移動だけでなく、厚さ方向（ｚ方向）への移動の機会を与えることができ、より均一な熱移動及び熱輸送が期待できる。
［シートの数について］
ここまでのベーパーチャンバ１は、第一シート１０、第二シート２０、及び第三シート３０の３つのシートからなる例を説明した。このように３つのシートからなることにより、これより多くのシートを用いる場合に比べてシートの重ね合わせの複雑さが無いため製造が容易であるとともに、各シートの接合をより強固なものとすることができる。その中で、本形態のように、第一シート１０及び第二シート２０は、その表面が加工されず平坦な形態とすれば、シートの重ね合わせの際に凝縮液流路や蒸気流路を形成するための位置合わせ（アライメント）を気にする必要がないことからより簡易な製造が可能となる。
ただし、シートの数には関係なく凝縮液流路がベーパーチャンバの厚さ方向の一方と他方に具備されていればよく、シートは４つであっても良いし、５つとすることもできる。
このように、ベーパーチャンバを３つ以上のシートで構成することにより、２つのシートで構成する場合に比べ、図１８に示したような導入面４１ｂを形成しやすくなり、ここに作動流体が凝縮しやすくなり、より円滑な作動流体の移動が行われる。
また、例えば図２１に示したように、第三シートを厚さ方向に分割して全部で４つのシートによりベーパーチャンバを構成する場合、内側液流路部３８の厚さ方向中央にも溝を形成して凝縮液流路を設けることもできる。
１．２．形態１ｂ
図２２乃至図２５には、形態１ｂにかかるベーパーチャンバ５１を説明する図を示した。
図２２は、ベーパーチャンバ５１の分解斜視図であり、図２に相当する図である。図２３はベーパーチャンバ５１の密閉空間２が見えるように表した図であり、第三シート５２の第一面３０ａ側が表れるように表示した図である。図２４は、図２３にＣ１２−Ｃ１２で示した位置でベーパーチャンバ１０１を切断した断面図を表している。図２５は、図２４のうちＣ１３で示した部位（内側液流路部１３８）の周辺を拡大して表した図で図１８に相当する図である。
ベーパーチャンバ５１では、上記したベーパーチャンバ１に対して、第三シート３０の代わりに第三シート５２が適用され、第三シート５２にはその本体５３の内側液流路部５４に厚さ方向連通穴５４ａが設けられている点が異なる。他の部材及び部位については、ベーパーチャンバ１の説明が妥当するので、図面には同じ符号を付して説明は省略する。従ってここでは、内側液流路部５４に設けられた厚さ方向連通穴５４ａに注目して説明をする。
厚さ方向連通穴５４ａは、第三シート５２の内側液流路部５４に設けられ、第一面３０ａから第二面３０ｂに連通する穴である。この厚さ方向連通穴５４ａにより液流路溝３９と液流路溝４０とが連通されて第一面３０ａ側の凝縮液流路３と第二面３０ｂ側の凝縮液流路３とが連通する。
これによって、図２５に矢印Ｃ１４で示したように、厚さ方向に分かれて配置された凝縮液流路３が蒸気流路４を介することなく連通し、凝縮液の分配をさらに均等化させることができるため、より円滑に作動流体が流れることが可能となる。
厚さ方向連通穴５４ａは、１つの内側液流路部５４の厚さ方向の一方と他方に配置された凝縮液流路３を連通することができればよく、そのための具体的な形態は特に限定されることはない。例えば次のように説明することができる。
図２２、図２３に表れる、厚さ方向連通穴５４ａの横断面形状は特に限定されることはなく、円形、楕円形、三角形、四角形、その他の多角形、及びこれらが組みあわされてなる幾何学的形状とすることができる。
また、図２４、図２５に表れる、厚さ方向連通穴５４ａが延びる方向（ｚ方向）の形状も特に限定されることはなく、ｚ方向の各位置で横断面形状が一定であってもよく、変化してもよい。例えば凝縮液流路３に接する部分では、他の部分に対して横断面積が大きく広がっている形態等を挙げることができる。
１つの厚さ方向連通穴５４ａで連結する凝縮液流路３の数も特に限定されることはない。本形態のように第一面３０ａ側の２つの凝縮液流路３と第二面３０ｂ側の２つの凝縮液流路３とが連通するように構成してもよいし、厚さ方向一方の面側において１つ、又は３つ以上の凝縮液流路３が連通するように構成してもよい。
厚さ方向連通穴５４ａは、ベーパーチャンバ１に１つでも備えられていればその効果を奏するものであるが、より顕著な効果のために複数の厚さ方向連通穴５４ａを備えることが好ましい。
複数の厚さ方向連通穴５４ａを具備する態様は特に限定されることはないが、１つの内側液流路部５４に１つでもよく、１つの内側液流路部５４に複数の厚さ方向連通穴５４ａを設けてもよい。１つの内側液流路部５４に複数の厚さ方向連通穴５４ａを配置する際には一直線状に並べるようにしてもよく、図２３に表れているように、隣り合う厚さ方向連通穴５４ａで、並ぶ方向に直交する方向（ｙ方向）の位置をずらしてもよい。
なお、本形態では内側液流路部５４にのみ厚さ方向連通穴５４ａを設けたが、その代わりに外周液流路部３４にのみ厚さ方向連通穴を設けてもよく、又は、内側液流路部５４及び外周液流路部３４の両方に厚さ方向連通穴を設けてもよい。
２．形態２
２．１．形態２ａ
［構成要素］
図２６には形態２ａにかかるベーパーチャンバ１０１の外観斜視図、図２７にはベーパーチャンバ１０１の分解斜視図を表した。本形態のベーパーチャンバ１０１は、図２６、図２７からわかるように第一シート１０、第二シート２０、及び、第三シート１３０（「中間シート１３０」と記載することもある。）を有している。そして、後で説明するように、これらシートが重ねられて接合（拡散接合、ろう付け等）されていることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に第三シート１３０の形状に基づいた中空部が形成されたベーパーチャンバ用シートとなる。そして、中空部に作動流体が封入されることで密閉空間１０２（例えば図１９参照）とされ、ベーパーチャンバ１０１となる。
本形態に備えらえる第一シート１０及び第二シート２０については、形態１で説明した第一シート１０及び第二シート２０と同じように考えることができるので、ここでは符号を同じとし、説明は省略する。
＜第三シート＞
本形態で第三シート１３０は、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとの間に挟まれて重ねられるシートであり、作動流体が移動する密閉空間２のための構造が具備されている。
図２８、図２９には第三シート１３０を平面視した図（ｚ方向から見た図）を表した。図２８は第一シート１０に重ねられる面の図、図２９は第二シート２０に重ねられる面の図である。
また図３０には図２８にＣ１０１−Ｃ１０１で示した線に沿った断面図、図３１には図２８にＣ１０２−Ｃ１０２で示した線に沿った断面図をそれぞれ示した。
なお、第三シート１３０も単層であってもよいし、複数のシートが積層されてなってもよい。複数のシートが積層されてなる場合には、複数のシートを積層してから以下の形態と形成してもよいし、複数のシートを個別に加工してから重ね合わせることで以下の形態を形成してもよい。
本形態で第三シート１３０は、第一シート１０の内面１０ａに重なる第一面１３０ａ、第二シート２０の内面２０ａに重なる第二面１３０ｂ、及び、第一面１３０ａと第二面１３０ｂとを渡して厚さを形成する端面１３０ｃを備える。従って図２８には第一面１３０ａ、図２９には第二面１３０ｂがそれぞれ現れている。
また、第三シート１３０は本体１３１及び注入部３２を備えている。なお、本形態の注入部３２も形態１で示した注入部３２と同様に考えることができるので、ここでは同じ符号を付して説明を省略する。
本体３１は、ベーパーチャンバ用シートにおける中空部及びベーパーチャンバ１における密閉空間を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角が円弧（いわゆるＲ）にされた長方形である。
ただし、本体３１は本形態のように四角形である他、ベーパーチャンバとして必要とされる形状とすることができる。例えば円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型Ｕ字型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
第三シート１３０の厚さや材質は第一シート１０と同様に考えることができる。ただし、第三シート１３０の厚さや材質は第一シート１０と同じである必要はなく、異なるように構成してもよい。
本体１３１には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体１３１には、外周接合部３３、外周液流路部１３４、内側液流路部１３８、蒸気流路溝１４２、及び、蒸気流路連通溝１４４が具備されて構成されている。
本形態のベーパーチャンバ１０１は、第一流路であり作動流体の蒸気が通る蒸気流路４（図３８等参照）、及び、第二流路であり作動流体が凝縮して液化した凝縮液が通る凝縮液流路３（図４２等参照）を備える。そして、第三シート１３０の蒸気流路溝１４２が蒸気流路４を形成し、外周液流路部１３４に具備される液流路溝３５及び、内側液流路部１３８に具備される液流路溝３９が凝縮液流路３を形成する。
＜＜外周接合部＞＞
外周接合部３３は上記した形態１で説明した外周接合部３３と同様に考えることができるので、ここでは同じ符号を付して説明を省略する。
＜＜外周液流路部＞＞
外周液流路部１３４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第二流路である凝縮液流路３の一部を構成するとともに、断熱部６を構成する部位を具備する。図３２には図３０のうち矢印Ｃ１０３で示した部分を拡大して表した。また、図３３には図３２に矢印Ｃ１０５で示した方向から見た外周液流路部１３４をｚ方向から見た拡大図を表した。すなわち、図３３は第２面１３０ｂの方から見た外周液流路部１３４の一部を表している。
これら図からわかるように、外周液流路部１３４は、本体１３１のうち、外周接合部３３の内側に沿って形成され、密閉空間２となる部位の外周に沿って設けられる部位である。
外周液流路部１３４の第一面１３０ａに、本体１３１の外周方向に平行に延びる複数の溝である液流路溝３５が形成され、複数の液流路溝３５が、その延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。
当該液流路溝３５は、上記した形態１で説明した液流路溝３５と同様に考えることができるので、ここでは同じ符号を付して説明を省略する。
図２９乃至図３３からわかるように、本形態では外周液流路部１３４は第二面３０ｂ側に断熱部用溝１３６を備えている。
断熱部用溝１３６は外周液流路部１３４が延びる方向に沿って延びる溝であり、蒸気流路溝４２や液流路溝３５には連通しておらず、断熱部用溝１３６には作動流体が流入しないように構成されている。
ここで断熱部用溝１３６は溝であることから、その断面形状において、底部を有し、この底部と向かい合わせとなる反対側（第二面１３０ｂ）側は開口している。後述するように、第二シート２０が第三シート３０に重ねられることでこの開口が塞がれて断熱部６となる。
本形態で断熱部用溝１３６はその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、及び、これらのいずれか複数を組み合せた形状であってもよい。
また、図３４には図３３に示したＣ１０６−Ｃ１０６の断面図を表した。すなわち図３４は、柱１３６ａが具備された部位における外周液流路部１３４の断面図である。一方、図３２に示した断面は断熱部用溝１３６のうち柱１３６ａが配置されていない部位における外周液流路部１３４の断面図である。
これら図からわかるように、断熱用溝１３６の溝内には、底部から立設する複数の柱１３６ａが間隔を有して配列されている。この柱１３６ａにより第三シート１３０が第二シート２０と接合された際に断熱部用溝１３６の潰れを抑制するとともに、ベーパーチャンバ１０１自体の強度も高めることができる。
柱の平面視形状（図３３の視点からの形状）は特に限定されることなく、本形態のように四角形である他、三角形や五角形等の多角形、円形、楕円形、又は、任意の形状を適用することができる。
また、配置される柱のピッチや数は特に限定されることはなく適宜設定することが可能である。従って、柱の数を１又は少なくし、１つの柱が断熱部用溝に沿って延びるように長く構成してもよい。
また本形態では、図３０に表れているように外周液流路部１３４に導入部３７が設けられている。導入部３７については形態１で説明した導入部３７と同様に考えることができるのでここでは同じ符号を付して説明を省略する。
以上のような構成を備える外周液流路部１３４は、さらに次のような構成を備えてもよい。
図２８乃至図３０、図３２にＷ１０２で示した外周液流路部１３４の幅（液流路溝３５が配列される方向の大きさ）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｗ１０２は、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｗ１０２が３．０ｍｍを超えると内側の液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｗ１０２は０．０５ｍｍ以上であることが好ましく、０．１ｍｍ以上であってもよく、０．２ｍｍ以上であってもよい。幅Ｗ１０２が０．０５ｍｍより小さいと外側を還流する液の量が十分得られない虞がある。幅Ｗ１０２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ１０２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
なお、ここでは外周液流路部１３４の第一面１３０ａ側の幅と第二面１３０ｂ側の幅をいずれもＷ１０２で示したが、外周接合面３３ａの幅と外周接合面３３ｂの幅は必ずしも同じである必要はなく、異なる幅としてもよい。
断熱部用溝１３６について、図３２にＷ１０４で示した溝幅は、１５００μｍ以下であることが好ましく、１０００μｍ以下であってもよく、７００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｗ１０４は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。幅Ｗ１０４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ１０４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図３２にＤ１０２で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤ１０２は５μｍ以上であること好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤ１０２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ１０２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
＜＜内側液流路部＞＞
図２６乃至図３０に戻って内側液流路部１３８について説明する。内側液流路部１３８も作動流体が凝縮して液化した際に通る第二流路である凝縮液流路３の一部、断熱部６を構成する一部、及び導入部４１を構成する部位である。図３５には図３０のうち矢印Ｃ１０７で示した部分を拡大して示した。図３５にも内側液流路部３８、断熱用溝１４０、及び導入部４１の断面形状が表れている。また、図３６には図３５に矢印Ｃ１０９で示した方向から見た内側液流路部１３８を平面視した拡大図を示した。
これら図からわかるように、内側液流路部１３８は本体１３１のうち、外周液流路部１３４の環状である環の内側に形成された部位である。本形態の内側液流路部１３８は、本体１３１の平面視（ｚ方向から見たとき）長方形の長辺に平行な方向（ｘ方向）に延び、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１３８が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
内側液流路部１３８の第一面１３０ａに、内側液流路部１３８が延びる方向に沿って延びる複数の溝である液流路溝３９が形成され、複数の液流路溝３９が、その延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。
ここで、液流路溝３９は形態１で説明した液流路溝３９と同様に考えることができるので、同じ符号を付して説明を省略する。
図２９、図３０、図３５、図３６からわかるように、内側液流路部１３８は、第二面１３０ｂに断熱部用溝１４０を備えている。
断熱部用溝１４０は内側液流路部１３８が延びる方向に沿って延びる溝であり、蒸気流路溝４２や液流路溝３９には連通しておらず、断熱部用溝１４０には作動流体が流入しないように構成されている。
ここで断熱部用溝１４０は溝であることから、その断面形状において、底部を有し、この底部と向かい合わせとなる反対側（第二面１３０ｂ）側は開口している。後述するように、第二シート２０が第三シート３０重ねられることでこの開口が塞がれて断熱部６となる。
本形態で断熱部用溝１４０はその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、及び、これらのいずれか複数を組み合せた形状であってもよい。
また、図３７には図３６に示したＣ１１０−Ｃ１１０に沿った断面図を表した。すなわち図３７は柱１４０ａが具備された部位における内側液流路部１３８の断面図である。一方、図３５に示した断面図は断熱部用溝１４０のうち柱１４０ａが配置されていない部位における内側液流路部１３８の断面図である。
これらの図からわかるように、断熱部用溝１４０の溝内には、底部から立設する複数の柱１４０ａが間隔を有して配列されている。この柱１４０ａにより第三シート１３０が第二シート２０と接合された際に断熱部用溝１４０の潰れを抑制するとともに、ベーパーチャンバ１０１自体の強度も高めることができる。
柱の平面視形状（図３６の視点からの形状）は特に限定されることなく、本形態のように四角形である他、三角形や五角形等の多角形、円形、楕円形、又は、任意の形状を適用することができる。
また、配置される柱のピッチや数は特に限定されることはなく適宜設定することが可能である。従って、柱の数を１又は少なく抑え、１つの柱が断熱用溝に沿って延びるように長く構成してもよい。
また本形態では内側液流路部１３８に導入部４１が設けられている。この導入部４１は形態１で説明した導入部４１と同様に考えることができるので、同じ符号を付して説明を省略する。
以上のような構成を備える内側液流路部１３８は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図２８乃至図３０、図３５にＷ１０６で示した内側液流路部１３８の幅（内側液流路部１３８と蒸気流路溝４２が配列される方向の大きさで、最も大きな値）は、３０００μｍ以下であることが好ましく２０００μｍ以下であってもよく、１５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ１０６は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ１０６の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ１０６の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図３０にＰ１０２で示した複数の内側液流路部１３８のピッチは５０００μｍ以下であることが好ましく３５００μｍ以下であってもよく、３０００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＰ１０２は２００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ以上であってもよく、８００μｍ以上であってもよい。このピッチＰ１０２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチＰ１０２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。
以上のような構成を備える内側液流路部３８は、さらに次のような構成を備えてもよい。
断熱部用溝１４０について、図３５にＷ１０８で示した溝幅は、１５００μｍ以下であることが好ましく、１０００μｍ以下であってもよく、７００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｗ１０８は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。幅Ｗ１０８の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ１０８の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図３５にＤ１０４で示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤ１０４は５μｍ以上であること好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤ１０４の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤ１０４の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
＜＜蒸気流路溝＞＞
次に蒸気流路溝１４２について説明する。蒸気流路溝１４２は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第一流路である蒸気流路４（図１９等参照）の一部を構成する。図２８、図２９には平面視した蒸気流路溝１４２の形状、図３０には蒸気流路溝１４２の断面形状がそれぞれ表れている。
これら図からもわかるように、本形態で蒸気流路溝１４２は本体１３１のうち、外周液流路部１３４の環状である環の内側に形成された溝（スリット）により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１４２は、隣り合う内側液流路部１３８の間、及び、外周液流路部１３４と内側液流路部１３８との間に形成され、本体１３１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１４２が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。本形態の蒸気流路溝１４２は第三シート１３０の第一面１３０ａと第二面１３０ｂ側とを連通するように構成されており、すなわちスリット状の溝であり、第一面１３０ａ及び第二面１３０ｂ側に開口している。
従って、図３０からわかるように第三シート１３０は、ｙ方向において、外周液流路部１３４及び内側液流路部１３８と蒸気流路溝１４２とが交互に繰り返された形状を備えている。
このような構成を備える蒸気流路溝１４２の構成は形態１で説明した蒸気流路溝４２と同様に考えることができる。
＜＜蒸気流路連通溝＞＞
蒸気流路連通溝４４は、複数の蒸気流路溝１４２を連通させる溝であり、上記した形態１で説明した蒸気流路連通溝４４と同様に考えることができるので同じ符号を付して説明を省略する。
［ベーパーチャンバの構造］
次に、第一シート１０、第二シート、及び第三シート１３０が組み合わされてベーパーチャンバ１０１とされたときの構造について説明する。この説明により、ベーパーチャンバ１０１が具備する形状、並びに、第一シート１０、第二シート、及び第三シート１３０が有するべき各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図３８には、図２６にＣ１１１−Ｃ１１１で示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１０１を厚さ方向に切断した断面図を表した。図３９には図２６にＣ１１２−Ｃ１１２で示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１０１を厚さ方向に切断した断面図を示した。
図４０には図３８にＣ１１３で示した部分、図４１には外周液流路部１３４のうち柱１３６ａが備えられる部分、図４２には図３８にＣ１１４で示した部分、図４３には内側液流路部１３８のうち柱１４０ａが備えられる部分をそれぞれ拡大して表した。
なお、図３８乃至図４３に表れる断面では蒸気流路４と凝縮液流路３とは凸部３５ａ及び凸部３９ａにより隔てられているが、凸部３５ａ及び凸部３９ａはそれぞれ連通開口部３５ｂ及び連通開口部３９ｂを備えている。従って、蒸気流路４と凝縮液流路３とは連通開口部３５ｂ及び連通開口部３９ｂにより連通している。
図２６、図２７、及び図３８乃至図４２よりわかるように、第三シート１３０の第一面１３０ａ側に第一シート１０の内面１０ａが重ねられ、第三シート１３０の第二面１３０ｂ側に第二シート２０の内面２０ａが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ１０１とされている。このとき、第三シート１３０の本体１３１と第一シート１０の本体１１、第三シート１３０の本体１３１と第二シート２０の本体２１とが重なり、第三シート１３０の注入部３２の第一シート１０の注入部１２、第三シート１３０の注入部３２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。
このような第一シート１０、第二シート２０及び第三シート１３０の積層体により、本体１１、本体２１及び本体１３１に具備される各構成が図３８乃至図４２に表れるように配置される。具体的には次の通りである。
第三シート１３０の第一面１３０ａ側に設けられた外周接合面３３ａと第一シート１０の内面１０ａの外周部の面とが重なるように配置されているとともに、第三シート３０の第二面３０ｂ側に設けられた外周接合面３３ｂと第二シート２０の内面２０ａの外周部の面とが重なるように配置されており、拡散接合やろう付け等の接合手段により接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に、第三シート１３０の形状に基づく中空部が形成されて、ここに作動流体が封入されることで密閉空間１０２とされている。
第三シート１３０の外周液流路部１３４の第一面１３０ａ側に第一シート１０の内面１０ａが重なるように配置されている。これにより液流路溝３５の開口が第一シート１０により塞がれて中空部の一部となる。これは、中空部に封入された作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第二流路である凝縮液流路３となる。
第三シート１３０の外周液流路部１３４の第二面３０ｂ側に第二シート２０の内面２０ａが重なるように配置されている。これにより断熱部用溝１３６の開口が第二シート２０により塞がれて断熱部６となる。断熱部６は、凝縮液流路３及び蒸気流路４には連通することなく構成され、ここは当該断熱部６に隣接する材料よりも熱伝導率が低くなるようにされている。具体的には特に限定されることはないが、断熱部６を真空としたり、空気やその他の気体で満たしたり、熱伝導率が低い材料を充填したりすればよい。
また、第三シート１３０の内側液流路部１３８の第一面１３０ａ側に第一シート１０の内面１０ａが重なるように配置されている。これにより液流路溝３９の開口が第一シート１０により塞がれて中空部の一部となる。これは、中空部に封入された作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第二流路である凝縮液流路３となる。
第三シート１３０の内側液流路部１３８の第二面１３０ｂ側に第二シート２０の内面２０ａが重なるように配置されている。これにより断熱部用溝１４０の開口が第二シート２０により塞がれて断熱部６となる。断熱部６は、凝縮液流路３及び蒸気流路４には連通することなく構成され、ここは、当該断熱部６に隣接する材料よりも熱伝導率が低くなるようにされている。具体的には特に限定されることはないが、断熱部６を真空としたり、空気やその他の気体で満たしたり、熱伝導率が低い材料を充填したりすればよい。
このように、凝縮液流路３においては断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。すなわち、凝縮液が流れることを想定した流路を考えたとき、該流路の１つの面が連続的に開放されているようないわゆる溝による流路に比べて、上記凝縮液流路３によれば高い毛細管力を得ることができる。
また、凝縮液流路３は第１流路である蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。
一方、ベーパーチャンバ１０１の厚さ方向（ｚ方向）で凝縮液流路３の反対側には熱伝導率が下げられた断熱部が設けられている。これにより、作動流体への熱の伝わりが緩やかになり、局部的な温度上昇、局部的な温度下降が軽減されるため均一性を高めることができる。より具体的には急激な加熱によるドライアウトや必要以上に早い凝縮による凝縮液詰まりで作動流体の流れが阻害されること等を抑制することが可能となり熱輸送能力を高めることができる。
凝縮液流路３、断熱部６が具備する形状は、上記した第三シート１３０で説明した形状及び寸法に基づいて考えることができる。
他の部位について説明する。図３８からわかるように、蒸気流路溝１４２の開口が第一シート１０及び第二シート２０により塞がれることで中空部の一部を形成し、ここが作動流体の流路を形成し、蒸気が流れる第一流路である蒸気流路４となる。凝縮液流路３の流路断面積と蒸気流路４の流路断面積との関係は形態１で説明した凝縮液流路３の流路断面積と蒸気流路４の流路断面積との関係と同様に考えることができる。
蒸気流路４が具備する形状は、上記した第三シート１３０で説明した形状及び寸法に基づいて考えることができる。
なお、本形態では導入部３７、及び、導入部４１が設けられているので、蒸気流路４は２つの導入部に接するように構成されている。
図３９からわかるように、第三シート１３０の蒸気流路連通溝４４の溝４４ａの開口が第一シート１０で、溝４４ｂの開口が第二シート２０でそれぞれ塞がれることにより複数の蒸気流路４が連通する中空部が形成され、作動流体のための流路となる。
ベーパーチャンバ１０１の密閉空間１０２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
［ベーパーチャンバの製造］
以上のようなベーパーチャンバは例えば次のように作製することができる。
第三シート１３０の外周形状を有するシートに対して、液流路溝３５、断熱部用溝１３６、液流路溝３９、断熱部用溝１４０、蒸気流路溝１４２、及び溝４４ａ及び溝４４ｂをハーフエッチングにより形成する。ただし、蒸気流路溝１４２については、第一面１３０ａ側と第二面１３０ｂ側の両方からのハーフエッチングにより厚さ方向に貫通するように行う。このようにエッチングをすることにより、導入部３７及び導入部４１の形状を形成することもできる。
次いで、第三シート１３０の第一面１３０ａ側に第一シート１０、第三シート１３０の第二面１３０ｂ側に第二シート２０を重ねて仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０、第二シート２０、第三シート１３０を接合してベーパーチャンバ用シートとする。なお、拡散接合の代わりにろう付けにより接合してもよい。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１０１の動作時に、密閉空間１０２の密閉性を維持可能な程度に接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。
この接合を真空中で行うことで断熱部６を真空にすることができ、空気中やその他のガスの中で行うとこれに断熱部６をこれに応じた気体で満たすことができる。なお、断熱部用溝１３６に柱１３６ａ、断熱部用溝１４０に柱１４０ａが具備されていれば、接合の際、並びに、次に説明する中空部の減圧の際、及び作動流体の注入の際に断熱部６の潰れ及び膨らみを抑制できる。また、断熱部６に固体の材料を入れる場合には接合前に断熱部用溝に当該材料を入れておけばよい。
接合の後、形成された注入流路５から真空引きを行い、中空部を減圧する。その後、減圧された中空部に対して注入流路５から作動流体を注入して中空部に作動流体が入れられる。そして重なった注入部１２、注入部２２、及び注入部３２に対して溶融を利用した溶接や、かしめによって注入流路５を閉鎖して密閉空間とする。これにより密閉空間１０２の内側に作動流体が安定的に保持される。
本形態のベーパーチャンバでは、内部液流路部１３８が支柱として機能するため、接合時及び減圧時に密閉空間がつぶれることを抑制することができる。
［ベーパーチャンバの作用］
次にベーパーチャンバ１０１の作用について説明する。ベーパーチャンバ１０１の電子機器への配置は形態１で説明した通りである（図１、図１９）。また、凝縮液流路３、蒸気流路４における作動流体の移動及び熱の拡散の考え方についても形態１で説明したものと同様に考えることができる。
本形態では、ベーパーチャンバ１０１の厚さ方向（ｚ方向）で凝縮液流路３の反対側に断熱部６が設けられているため、作動流体への熱の伝わりが緩やかになり、局部的な温度上昇、局部的な温度下降が軽減されるため均一性を高めることができる。すなわち急激な加熱によるドライアウトや必要以上に早い凝縮による凝縮液詰まりで作動流体の流れが阻害されること等を抑制することが可能となり熱輸送能力を高めることができる。
従って断熱部は必ずしもベーパーチャンバの全体に配置されることはなく、局所的な熱の移動が想定される部位にのみ配置してもよい。これには例えば熱源（電子部品）が配置される部位や、逆に熱源から離隔したベーパーチャンバの端部等を挙げることができる。
また、導入部３７、導入部４１が具備されている形態であれば、導入面３７ｂ、導入面４１ｂと第一シート１０、第二シート２０とに囲まれた部位が生じ、毛管力の作用でここに凝縮液が溜まりやすくなる。これにより、凝縮液の凝縮液流路３へ導入がさらに円滑に行われる。
２．２．他の形態
図４４には断熱部用溝１４０が第三シート１３０の第二面１３０ｂの一部に設けられた例である。この図は図２９に相当する図である。これにより断熱部６も当該断熱部用溝１４０が設けられた部位に限定される。これは例えば冷却対象に近い部分、及び、凝縮が生じることを抑えたい部分に断熱部６を設け、凝縮が速やかに行われることが望まれる部分に断熱部６を設けないなど、熱的設計に合わせて断熱部を設けることができる。
図４５乃至図４７は、蒸気流路４にも断熱部６を設けた例である。いずれも図３８に相当する図である。
図４５は凝縮液流路３、蒸気流路４のそれぞれに断熱部６が設けられた例である。図４６は、凝縮液流路３及び蒸気流路４を通して連通した断熱部６とした例である。そして図４７は蒸気流路４にのみ断熱部６が設けられた例である。
３．形態３
形態１及び形態２で導入部３７及び導入部３９について説明したが、形態３では導入部について詳しく説明する。従って導入部以外の構成については上記した形態１及び形態２と同様に考えることができるため説明を省略する。また形態１では第三シート３０の第二面３０ｂには液流路溝４０が具備され、形態２では第三シート１３０の第二面１３０ｂには断熱部用溝１４０が具備されているが、必ずしも第三シートの第二面にはこれらの要素が備えられている必要はないため、ここでは第三シートの第二面にはこれら要素が具備されていない例で説明する。ただし、第三シートの第二面に液流路溝４０や断熱用溝１４０を備えることを妨げるものではない。
なお、以下の説明で導入部以外の要素については形態１で用いた符号を用いる。
３．１．形態３ａ
図４８（ａ）、図４８（ｂ）は、内側液流路部２３８について説明する図であり、図１３（ａ）、図１３（ｂ）に相当する図である。なお、ここでは内側液流路部２３８により導入部２４１を説明するが外側液流路部に備えられる導入部についても同様に考えることができる。
また本形態では内側液流路部２３８に導入部２４１が設けられている。導入部２４１は蒸気流路溝４２との境界面に形成された部位であり、蒸気流路溝４２側に突出する部位である。従って本形態では内側液流路部２３８の幅方向（ｙ方向）の両方のそれぞれに導入部２４１が配置されている。
本形態で導入部２４１は、厚さ方向（ｚ方向）で第１面３０ａ（液流路溝の凸部３９ａの頂部）からＴ２０３の位置で最も突出した頂部２４１ａを具備し、頂部２４１ａから液流路溝３９に向けて、断面視で内側液流路部２３８側に凹の円弧状の導入面２４１ｂが具備されている。ただし円弧状である必要はなく、断面視で内側液流路部２３８側に凹の円弧以外の曲線状であってもよい。
導入部の他の形態例については後で示すが、いずれの導入部も、蒸気流路溝４２（蒸気流路）側に突出した部位で、その最も突出した頂部から液流路溝（凝縮液流路）に向けて近づく面を備える面（導入面）を具備する。
このような導入部２４１によれば、導入面２４１ｂに凝縮液が集まり易く、導入部２４１を通じて凝縮液流路３と蒸気流路４との作動流体の移動が円滑となり、熱輸送能力を高めることができる。
また、導入面２４１ｂの表面は特に限定されることはないが、粗面や微小な階段状の面としてもよい。これにより凝縮液の保持力を高めることができる。
導入面の面粗さ（ＩＳＯ ２５１７８）は、例えば株式会社キーエンス製のレーザ顕微鏡(型番：ＶＫ−Ｘ２５０)にて測定できる。そしてこの面粗さの算術平均高さＳａは０．００５μｍ以上であることが好ましく、０．０３μｍ以上であることがより好ましい。また最大高さＳｚは０．０５μｍ以上であることが好ましく、０．３μｍ以上であることがより好ましい。
以上のような構成を備える導入部２４１は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４８（ａ）にＷ２０５で示した内側液流路部２３８の幅（内側液流路部２３８と蒸気流路溝４２が配列される方向の大きさで、最も大きな値）は、３０００μｍ以下であることが好ましく２０００μｍ以下であってもよく、１５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｗ２０５は１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｗ２０５の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｗ２０５の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
図４８（ａ）にＷ２０７で示した突出量（凸部３９ａの端部から頂部２４１ａの距離）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、３００μｍ以下であってもよい。一方、突出量Ｗ２０７は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。突出量Ｗ２０７の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、突出量Ｗ２０７の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図４８（ａ）にＴ２０３で示した凸部３９ａの頂部２４１ａから導入部２４１の頂部２４１ａまでの厚さ方向距離は、内側液流路部２３８の厚さをＴ２０４としたとき、Ｔ２０３をＴ２０４で割った値で０．０５以上であることが好ましく、０．１５以上であってもよく、０．３以上であってもよい。一方、Ｔ２０３をＴ２０４で割った値は１．０以下であればよく、０．８以下であってもよく、０．６以下でもよい。当該Ｔ２０３をＴ２０４で割った値の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、Ｔ２０３をＴ２０４で割った値の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
なお、本形態では当該値が０．５であり頂部２４１ａが内側液流路部２３８の厚さ方向中央となる位置に配置されている。
また、さらに、図４８（ａ）に示したように、導入部２４１に最も近い液流路溝３９の幅をＷ２０９、導入部２４１に最も近い液流路溝３９の深さをＤ２０１、導入部２４１の突出量のうち、面３０ｂ（液流路溝３９が備えられていない側の面）側の突出量をＷ２１０としたとき、次の関係であることが好ましい。
Ｄ２０１×（Ｗ２０９／２）＜Ｔ２０３×Ｗ２０７＜（Ｔ２０４−Ｔ２０３）×Ｗ２１０
これにより、凝縮した液状の作動流体が凝縮液流路３で回収されやすく、蒸気流路４と凝縮液流路３との間の液状の作動流体の移動が行われやすくなる。また、これにより蒸気流路４で液状の作動流体が蒸発しやすくなる。
次に、第一シート１０、第二シート、及び第三シート３０が組み合わされてベーパーチャンバ１とされたときについて説明する。図４９（ａ）、図４９（ｂ）には図１８（ａ）、図１８（ｂ）に相当する図を示した。
なお、図４９（ａ）に表れる断面では蒸気流路４と蒸気流路３とは凸部３９ａにより隔てられているが、凸部３９ａは連通開口部３９ｂを備えている。従って、図４９（ｂ）に示したように連通開口部３９ｂが蒸気流路４に隣接する断面によれば蒸気流路４と蒸気流路３とは連通開口部３９ｂにより連通している。
図４９（ａ）、図４９（ｂ）よりわかるように、第三シート３０の第一面３０ａ側に第一シート１０の内面１０ａが重ねられ、第三シート３０の第二面３０ｂ側に第二シート２０の内面２０ａが重ねられるように配置され接合されることでベーパーチャンバ１とされている。
導入部２４１が設けられたことにより、凝縮液流路３と蒸気流路４との間に配置され、蒸気流路４側に突出した導入部２４１が具備されている。
本形態で導入部２４１は、厚さ方向（ｚ方向）で蒸気流路４側に最も突出した頂部２４１ａを有し、頂部２４１ａから凝縮液流路３が具備された側に向けて断面で円弧状の導入面２４１ｂが備えられている。
すなわち導入部は、凝縮液流路３と蒸気流路４との間に配置され、蒸気流路４側に突出しており、その最も突出した部位（頂部）から凝縮液流路３に向けて近づく面を含む面（導入面）を具備する。
蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われて凝縮した作動流体は蒸気流路４の壁面に付着する。一方で蒸気流路４には連続して蒸気が流れているので、凝縮液は図４９（ａ）、図４９（ｂ）に矢印Ｃ２１１で示したように蒸気で押し込まれるように、凝縮液流路３に移動する。凝縮液流路３は、連通開口部３９ｂを備えているので、凝縮液はこれら連通開口部を通って複数の凝縮液流路３に分配される。
このとき、蒸気流路４の内面には、導入部２４１が具備されているので、導入面２４１ｂと第一シート１０とに挟まれた部位が生じ、毛細管力の作用でここに凝縮液が溜まりやすくなる。これにより、凝縮液の凝縮液流路３へ導入がさらに円滑に行われ、熱輸送量を高めることができる。
ここで、蒸気流路４、導入部２４１、及び、凝縮液流路３は次のような関係にあることが好ましい。図５０に説明のための図を示した。なお、図５０では見易さのため符号の一部を省略するが、図４９（ａ）を参照することができる。
図４９（ａ）と同じ断面において、蒸気流路４のうち、対向する頂部２４１ａ間の距離を横、蒸気流路４の厚さ方向の大きさを縦とした長方形を領域Ａとし、その面積をＡＡとする。
図４９（ａ）と同じ断面において、蒸気流路４のうち、導入面２４１ｂ、領域Ａ、凸部３９ａ及び第一シート１０により囲まれた領域を領域Ｂとし、その面積をＡＢとする。
図４９（ａ）と同じ断面において、領域Ｂに最も近い凝縮液流路３の領域を領域Ｃとし、その面積をＡＣとする。
これらＡＡ、ＡＢ、ＡＣが次の関係を有していることが好ましい。
ＡＡ＞ＡＢ＞ＡＣ
このような関係を有することにより、蒸気流路４から凝縮液流路３に凝縮した作動流体を引き込み易くなり、また、凝縮液流路３から蒸気流路４に急激な気化した液体が流出することを抑制することができる。
３．２．形態３ｂ乃至形態３ｈ
以下に示す図には、導入部の形状に注目して他の形態例である形態３ｂ乃至形態３ｈを説明する図を表した。いずれも図４９（ａ）、図４９（ｂ）に相当する図である。なお、これら導入部の形態を外周液流路部に適用することもできる。なお便宜のため、いずれの形態例でも符号２３８を内側液流路部、符号２４１を導入部、符号２４１ａを頂部、符号２４１ｂが導入面を表している。
図５１（ａ）、図５１（ｂ）の形態３ｂでは、頂部２４１ａが、図４９（ａ）、図４９（ｂ）の形態３ａの頂部４１ａに比べて厚さ方向で凝縮液流路３に近い位置に配置されている。具体的には図４８で示したＴ２０３をＴ２０４で割った値が０．２以上０．４以下の範囲とされている。
この形態によれれば、導入面１４１ｂと第一シート１０とに挟まれる空間が小さいため、毛細管力が強く働きやすく、上記効果がより顕著になる。
図５２（ａ）、図５２（ｂ）の形態３ｃでは、頂部２４１ａから延びる導入面２４１ｂが断面視で直線状である。上記した形態３ａ、形態３ｂの導入面２４１ｂはいずれも内側液流路部２３８側に凹の円弧状であったが、形態３ｃでは導入面２４１ｂが断面で直線状である。
このような形態であっても上記効果を奏するものとなる。
図５３（ａ）、図５３（ｂ）の形態３ｄでは、頂部２４１ａが面状であるとともに、導入面２４１ｂは、複数の凝縮液流路３及び蒸気流路４が配列される方向に平行（ｙ方向）に延びる面を備えている。
このような形態であっても上記効果を奏するものとなる。
図５４（ａ）、図５４（ｂ）の形態３ｅでは、頂部２４１ａから延びる導入面２４１ｂが断面視で蒸気流路４側に凸の円弧状である。ただし円弧状である必要はなく、断面視で蒸気流路４側に凸の円弧以外の曲線状であってもよい。
このような形態であっても上記効果を奏するものとなる。この形態では、導入面２４１ｂが凝縮液流路３に近づくにつれて第一シート１０との間隔が狭い部位を比較的多く形成することができ、毛細管力の効率よい利用が期待できる。
図５５（ａ）、図５５（ｂ）の形態３ｆでは、頂部２４１ａが、蒸気流路４のうち凝縮液流路３側とは反対側となる面にまで離隔して設けられている例である。このような形態でも導入面２４１ｂを形成することができ上記効果を奏するものとなる。
ただし、導入面と第一面１０ａとの間を狭くすることによって、より強い毛細管力を利用する観点からは、上記した各形態例のように、頂部は厚さ方向において、蒸気流路のうち厚さ方向に対向する内面に一致しない側面のいずれかに配置されることが好ましい。
図５６（ａ）、図５６（ｂ）の形態３ｇでは、凝縮液流路３が、内側液流路部２３８の厚さ方向の両方に形成されている（すなわちこの点において形態１と同様である。）。この例では導入部２４１は、その頂部２４１ａから、当該両方の凝縮液流路３に向けてそれぞれ導入面２４１ｂを形成することができ、厚さ方向両方に存在する凝縮液流路３のそれぞれに対して上記の効果を奏するものとなる。
図５７（ａ）、図５７（ｂ）の形態３ｈでは、凝縮液流路３が、内側液流路部２３８の厚さ方向の中央に形成されている。この例ではベーパーチャンバは２つのシートからなる。この場合、第一シート２１０が上記した第一シート１０及び第三シート３０の一部の構成を備え、第二シート２２０が上記した第二シート２０及び第三シート３０の一部の構成を備えることにより、両者を組み合わせることで、ベーパーチャンバの密閉空間を形成する。
そしてこの形態３ｈでは、導入部２４１の頂部２４１ａから導入面２４１ｂが、複数の凝縮液流路３及び蒸気流路４が配列される方向に平行（ｙ方向）に延びる面を備えている。
このような形態であっても上記効果を奏するものとなる。
なお、本形態は、頂部２４１ａと凝縮液流路３との厚さ方向位置（ｚ方向位置）が同じとなる例であり、上記した各形態は頂部と凝縮液流路との厚さ方向位置（ｚ方向位置）が異なる。必要に応じていずれを適用することも可能であるが、頂部と凝縮液流路との厚さ方向位置（ｚ方向位置）が異なる方が多くの凝縮液を保持して導入させることができる傾向にある。
４．形態４
ベーパーチャンバにおいて、封入された作動流体の凝固点より低い温度環境下では、作動流体が凍結する恐れがある。純水等のように凍結により膨張する場合には、蒸気流路部内での作動流体の体積膨張により、ベーパーチャンバが変形することが考えられる。このような課題がある場合に、作動流体が凍結して膨張した場合であっても変形を抑制し、より安定して性能を発揮することができる形態を有することが好ましい。
そこで形態４では、このための構造を備えるベーパーチャンバについて説明する。
形態４では、形態１乃至形態３における第一シート１０、第二シート２０において異なる。従って、第三シートについては上記した形態１乃至形態３で説明した態様を適用することができるためここでは説明を省略する。ここでは便宜のため、形態１の第三シート３０が適用された例で説明するがこれに限定されることはない。従って、電子機器への配置や作動流体の作動及びこれによる熱拡散の考え方は上記した通りであり、説明を省略する。
４．１．形態４ａ
［形態］
図５８にはベーパーチャンバ３０１の断面を示した図５８は図１５に相当する図である。図５８からわかるように、第一シート３１０は内側シート３１１及び補強シート３１２、第二シート３２０は内側シート３２１及び補強シートを備えている。
内側シート３１１は第三シート３０の第一面３０ａに接して配置されるシートであり、内面１０ａを構成する。同様に内側シート３２１は第三シート３０の第二面３０ｂに接して配置されるシートであり、内面２０ａを構成する。
補強シート３１２は内側シート３１１のうち第三シート３０側とは反対側に配置されるシートであり外面１０ｂを構成する。同様に補強シート３２２は内側シート３２１のうち第三シート３０側とは反対側に配置されるシートであり外面１０ｂを構成する。
内側シート３１１と補強シート３１２とは、クラッド材として構成されていてもよい。クラッド材は、複数種類のシートを互いに接合させた積層材料を意味する。例えば、内側シート３１１と補強シート３１２とは、一方のシートに、他方のシートをめっき処理することでクラッド材として作製されていてもよい。この場合、両シートの間には、これらの密着性を向上させるための図示しない密着層（ストライクめっき層、シード層など）を介在させてもよい。更には、両シートは、拡散接合されることでクラッド材として作製されていてもよい。
同様に、内側シート３２１と補強シート３２２とは、クラッド材として構成されていてもよい。クラッド材は、複数種類のシートを互いに接合させた積層材料を意味する。例えば、内側シート３２１と補強シート３２２とは、一方のシートに、他方のシートをめっき処理することでクラッド材として作製されていてもよい。この場合、両シートの間には、これらの密着性を向上させるための図示しない密着層（ストライクめっき層、シード層など）を介在させてもよい。更には、両シートは、拡散接合されることでクラッド材として作製されていてもよい。
内側シート３１１、内側シート３２１を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、例えば、銅または銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シートの熱伝導率を高めることができる。このため、ベーパーチャンバ３０１の放熱効率を高めることができる。また、作動流体として純水を使用する場合には、腐食することを防止できる。なお、所望の放熱効率を得るとともに腐食を防止することができれば、アルミニウムやチタン等の他の金属材料や、ステンレスなどの他の金属合金材料を用いることもできる。
補強シート３１２は内側シート３１１よりも耐力が高い材料、補強シート３２２は内側シート３２１よりも耐力が高い材料により構成されている。ここで耐力とは、除荷時の永久歪みが０．２％となる応力とする。
補強シート３１２、補強シート３２２の具体的な材料は特に限定されることはいが、熱伝導率が良好な金属材料であるとともに所望の機械的強度を有していることが好ましく、例えば、銅合金、鉄合金、ニッケル、ニッケル合金、チタン、チタン合金またはアルミニウム合金を含んだ材料を挙げることができる。このうち鉄合金の例としては、ステンレス、インバー材（ニッケルを含む鉄合金）、コバール（コバルトを含む鉄合金）が挙げられる。
内側シート３１１、内側シート３１２の厚さは、例えば、０．２μｍ以上１００μｍ以下とすることができる。この厚さを０．２μｍ以上にすることにより、内側シート３１１、内側シート３１２にピンホールが形成されることを防止できるとともに、補強シート３１２、補強シート３２２を構成する材料に含まれる不純物が当該ピンホールを介して第三シート３０側に析出することを防止することができる。一方、１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ３０１の厚さが厚くなることを抑制できる。内側シートの厚さはより好ましくは０．２５μｍ以上１０μｍ以下、さらに好ましくは０．４５μｍ以上５μｍ以下である。
また、補強シート３１２、補強シート３２２の厚さは、補強機能を高めるために、内側シート３１１、内側シート３２１の厚さよりも厚くなっていてもよい。ただし、補強機能を高める観点から、補強シート３２１は内側シート３１１よりも厚いことが好ましく、より具体的には、補強シートの厚さは、内側シートの厚さの５倍以上３０倍以下が好ましく、より好ましくは５倍以上２０倍以下である。
補強シート３１２、補強シート３２２の具体的な厚さは特に限定されることはないが、例えば、３μｍ以上１００μｍ以下である。この厚さを３μｍ以上にすることにより、効果的に補強することができる。一方、１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ３０１の厚さが厚くなることを抑制できる。より好ましくは５μｍ以上５０μｍ以下、さらに好ましくは９μｍ以上２５μｍ以下である。
また、第一シート３１０、第二シート３２０の厚さは、０．１ｍｍ以下、好ましくは０．０５ｍｍ以下、更に好ましくは０．０２ｍｍ以下である。このことにより、凍結膨張が生じにくい薄型（例えば、０．４ｍｍ以下）のベーパーチャンバの製造が可能になる。一方、第一シート３１０、第二シート３２０の厚さは、例えば、０．０１ｍｍ以上である。このことにより、蒸気流路４の作動流体の凍結膨張による内側シート３１１、内側シート３２１の変形を抑制できる。
また、本形態においては、第一シート３１０、及び、第二シート３２０のいずれも内側シート及び補強シートの両方を備えられているが、しかしながら、このことに限られることはなく、必要が無い場合には、第一シート及び第二シートのいずれかのみに補強シートが設けられる形態であってもよい。
また、第一シート３１０の補強シート３１２、及び、第二シート３２０の補強シート３２２の少なくとも一方に、さらに、内側シートと同じ材料及び厚さの層を積層してもよい。これによれば、当該層を積層したシートでは反りの発生を抑制することができる。
［製造方法］
次に、このような構成からなるベーパーチャンバ３０１の製造方法について、図５９乃至図６４を用いて説明する。
まず、図５９に示すように、準備工程として、第一面Ｍａと第二面Ｍｂとを含む、平板状の金属材料シートＭを準備する。
続いて、図６０に示すように、レジスト形成工程として、金属材料シートＭの第一面Ｍａにレジスト膜３４０が形成されるとともに、第二面Ｍｂに、レジスト膜３４１が形成される。レジスト膜３４０、レジスト膜３４１を形成する前に、金属材料シートＭの第一面Ｍａ及び第二面Ｍｂが、前処理として、酸性脱脂処理されてもよい。
次に、図６１に示すように、パターニング工程として、レジスト膜３４０及びレジスト膜３４１が、フォトリソグラフィー技術によって、パターニングされる。
レジスト膜３４０へのパターニングは、内側液流路３８の液流路溝３９、連通開口部３９ｂ、及び、蒸気流路溝４２に対応する開口が形成される。このとき液流路溝３９及び連通開口部３９ｂに対応する開口はこれら液流路溝３９、連通開口部３９ｂの幅よりも小さくなるように形成することができる。一方、蒸気流路溝４２に対応する開口は、第一面３０ａにおける蒸気流路溝４２の幅と同じ幅に形成することができる。
一方、レジスト膜３４１へのパターニングは、内側液流路３８の液流路溝４０、連通開口部４０ｂ、及び、蒸気流路溝４２に対応する開口が形成される。このとき液流路溝４０及び連通開口部４０ｂに対応する開口はこれら液流路溝４０、連通開口部４０ｂの幅よりも小さくなるように形成することができる。一方、蒸気流路溝４２に対応する開口は、第二面３０ｂにおける蒸気流路溝４２の幅と同じ幅に形成することができる。
続いて、図６２に示すように、エッチング工程として、金属材料シートＭの第一面３０ａ及び第二面３０ｂがエッチングされる。このことにより、金属材料シートＭのうち、レジスト膜３４０、及びレジスト膜３４１が形成された開口部分に対応する部分がエッチングされ液流路溝３９、連通開口部３９ｂ、液流路部４０、連通開口部４０ｂ、及び蒸気流路溝４２が形成される。なお、エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。
ここで、上述したように、レジスト膜３４０、レジスト膜３４１のうち、液流路溝３９、連通開口部３９ｂ、液流路溝４０及び連通開口部４０ｂに対応する開口は、当該溝幅より小さい幅で形成されると、これにより、当該開口に入り込むエッチング液の量が低減され、この部分におけるエッチング速度が低下する。このため、これら液流路溝３９、連通開口部３９ｂ、液流路溝４０及び連通開口部４０ｂの深さを浅くすることができる。これに対して蒸気流路溝４２に対応するレジスト膜３４０、レジスト膜３４１の開口は、第一面３０ａ、第二面３０ｂにおける蒸気流路溝４２の幅と同じに形成することで、当該開口に入り込むエッチング液の量が確保され、蒸気流路溝４２を形成するためのエッチング深さを確保することができる（その結果、蒸気流路溝４２は厚さ方向に貫通する。）。
また、例えば図６に示した連結部４４ｃやその他の内側液流路部３８を保持するための手段のように、厚さ方向に溝を貫通させない部分を形成するには、その部分についてはレジスト膜の幅を調整することで深さを抑制したり、金属材料シートＭの両面に配置されたレジスト膜の一方のみに開口を設けたりすることで行うことができる。
エッチング工程の後、図６３に示すように、レジスト除去工程として、レジスト膜３４０及びレジスト膜３４１が除去される。
このようにして、第三シート３０を得ることができる。
第一シート３１０の準備工程として内側シート３１１に補強シート３１２が積層されたシート、及び、第二シート３２０の準備工程として内側シート３２１に補強シート３２２が積層されたシートを準備する。各準備工程の方法は特に限定されることはないが、クラッド材として製造されていてるものを用いることができる。
他の方法としては、圧延材から形成された補強シート３１１、３２２に、めっき処理を行うことにより内側シート３１１、３１２を形成するようにしてもよい。この場合、補強シート３１２、３２２と内側シート３１１、３２１との間に、両者の接合性を向上させるための密着層が介在されていてもよい。密着層の例としては、ストライクめっき層、シード層などが挙げられる。例えば補強シート３１２、３２２をステンレスで形成し、内側シート３１１、３２１を銅で形成する場合には、ニッケル、または銅等の材料を含むストライクめっき層を介在させるようにしてもよく、または、スパッタリングを行うことによって、チタン、モリブデン等の材料を含むシード層を介在させるようにしてもよい。ストライクめっき層およびシード層の厚さは、例えば、１０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下の範囲である。あるいは、内側シート３１１、３２１を圧延材から形成し、補強シート３１２、３２２をめっき処理で形成するようにしてもよい。更には、内側シート３１１、３２１及び補強シート３１２、３２２のいずれか一方を、めっき処理で形成し、更にめっき処理をすることで他方を積層形成するようにしてもよい。
第三シート３０、第一シート３１０、及び、第二シート３２０を準備した後、仮止め工程として、これらが積層された状態で仮止めされる。
仮止めのための固定の方法としては、特に限られることはないが、例えば、抵抗溶接を行うことによることができる。この場合、図示しない電極棒を用いてスポット的に抵抗溶接を行うようにしてもよい。抵抗溶接の代わりにレーザ溶接を行ってもよい。
仮止め工程の後、図６４に示すように、接合工程として、第一シート３１０、第二シート３２０、及び、第三シート３０が、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、接合する第一シート３１０と第三シート３０とを密着させるとともに第三シート３０と第二シート３２０とを密着させて、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、積層方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、各シートを構成する材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各シートが溶融して変形することを回避できる。
接合工程の後、封入工程として、注入部から中空部に作動流体が封入される。作動流体の注入の後、注入流路が封止される。例えば、注入部にレーザを照射し、注入部を部分的に溶融させて注入流路を封止するようにしてもよい。このことにより、作動流体が封入された空間が外部から遮断される。なお、封止のためには、注入部をかしめてもよく（押圧して塑性変形させてもよく）、またはろう付けしてもよい。
以上のようにして、ベーパーチャンバ３０１が得られる。なお、本例では第一シート、第二シートにおけるめっきした後に各シートを積層したが、これに限らず、各シートを積層してからめっきをしてもよい。これによれば側面にもめっきによる層が形成される。
［ベーパーチャンバの作用］
ベーパーチャンバ３０１における熱源の冷却に関する作動過程についてはこれまで説明した形態と同様なのでここでは説明を省略する。
一方、ベーパーチャンバ３０１を搭載した電子機器が、作動流体の凝固点より低い温度環境下に置かれる場合がある。この場合、作動流体が凍結し、作動流体の種類によっては凍結によって膨張する。例えば、作動流体が純水である場合には、氷点下の環境下では凍結して膨張し得る。この膨張によって、作動流体がたまっている部分において、ベーパーチャンバ３０１を厚さ方向に拡大させる方向の力がかかることがある。
これに対してベーパーチャンバ３０１では、第一シート３１０には補強シート３１２、第二シート３２０には補強シート３２２が設けられており、第一シート３１０、第二シート３２０がそれぞれ補強されているため、作動流体の凍結膨張による力を受けても変形することを抑制することができる。このため、熱源から熱を受ける部位における熱源との接触面、及び、外部に熱を放出する部位における部材（例えばハウジング）との接触面の平坦度が低下することを抑制でき、隙間が形成されることを抑制できる。この場合、熱源からベーパーチャンバ３０１への熱伝導、ベーパーチャンバ３０１から外部への熱伝導が阻害されることを抑制できる。
また、補強シート３１２の厚さを内側シート３１１の厚さよりも厚くし、補強シート３２２の厚さを内側シート３２１の厚さよりも厚くすれば、補強シート３１２、３２２によって内側シート３１１、３２１をより一層補強することができ、ベーパーチャンバ３０１の変形をより一層抑制することができる。
４．２．形態４ｂ
次に、形態４ｂについて説明する。図６５にはベーパーチャンバ３０１’、図６６にはベーパーチャンバ３０１”を説明するための図を示した。いずれも図６４に相当する断面図である。
図６５に示したベーパーチャンバ３０１’では、第三シート３０が配置されておらず、第一シート３１０’と第二シート３２０’とが直接積層されている。すなわち、第一シート３１０’の内側シート３１１’と第二シート３２０’の内側シート３２１’とが重ねられて接合されていることで構成されている。
ただし、本形態では内側シート３１１’、及び内側シート３２１’には、重ねられる面に溝が形成されており、これにより凝縮液流路３及び蒸気流路４が形成されている。凝縮液流路３及び蒸気流路４の形態の考え方はは上記と同様である。
かかる形態においても、補強シート３１２、３２２が備えられているため、上記と同様の効果を奏するものとなる。
図６６に示したベーパーチャンバ３０１”も、第三シート３０が配置されておらず、第一シート３１０”と第二シート３２０”とが直接積層されている。すなわち、第一シート３１０”の内側シート３１１”と第二シート３２０”の内側シート３２１”とが重ねられて接合されていることで構成されている。
本形態では、隣り合う蒸気流路４の間に凝縮液流路３が設けられる形態ではなく、同じ流路の中に凝縮液流路３と蒸気流路４が具備される例である。そのため本形態では、蒸気流路４となる流路と同じ流路の中に毛細管構造部材３３９が配置されている。この毛細管構造部材３３９は、液化した作動流体が流れる毛細管構造（ウィック）として構成されている。毛細管構造部材３３９は、例えば、金属メッシュ、金属粉、金属撚線等で構成することができる。
かかる形態においても、補強シート３１２、３２２が備えられているため、上記と同様の効果を奏するものとなる。
５．形態５
形態５のベーパーチャンバ４０１は、形態４で説明したベーパーチャンバ３０１に備えられた第一シート３１０及び第二シート３２０の代わりに第一シート４１０及び第二シート４２０が適用された例である。さらに、この第一シート４１０は、第一シート３１０で説明した内側シート３１１と補強シート３１２との間にバリアシート４１３が配置されている点で第一シート３１０と異なる。また、第二シート４２０は、第一シート３２０で説明した内側シート３２１と補強シート３２２との間にバリアシート４２３が配置されている点で第二シート３２０と異なる。
従って、バリアシート４１３、４２３以外については形態４のベーパーチャンバ３０１と同様に考えることができるので、ここではバリアシート４１３、４２３について説明する。
バリアシート４１３、４２３を構成するバリア材料は、補強シート３１２、３２２を構成する金属元素が、内側シート３１１、３２１に向かって透過することを防止可能な材料であれば特に限られることはない。このようなバリア材料は、例えば、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）およびモリブデン（Ｍｏ）のうちの少なくとも一つを含んでいてもよい。バリア材料は、タングステン、チタン、タンタルおよびモリブデンのうちのいずれか１つのみで構成されていてもよい。この場合には、バリアシート４１３、４２３は、単相膜として形成される。あるいは、バリア材料は、タングステン、チタン、タンタルおよびモリブデンのうちの任意の２つ以上の材料を組み合わせて構成されていてもよい。この場合には、バリアシート４１３、４２３は、合金膜として形成される。このような合金膜の例としては、タングステンとチタンの合金膜を挙げることができる。また、バリア材料は、上述した４つの金属元素と、これ以外の金属元素との組み合わせでもよい。この場合の合金膜の例としては、ニッケルとタングステンの合金膜などを挙げることができる。
バリアシート４１３、４２３の厚さは、バリア機能を発揮させることができれば、任意である。バリアシート４１３、４２３の厚さは、例えば、１０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下の範囲である。バリアシート４１３、４２３の厚さを、１０ｎｍ以上にすることにより、補強シート３１２、３２２を構成する金属元素が透過することを効果的に防止することができる。一方、１０００ｎｍ以下にすることにより、スパッタリング処理で容易に作製することができるとともに、ベーパーチャンバ４０１の厚さが厚くなることを抑制できる。更には、１０００ｎｍ以下にすることにより、熱伝導が阻害されることを抑制できる。バリア機能をより効果的に発揮させる観点からバリアシートの厚さは１００ｎｍ以上であることが好ましい。
ここで、バリアシート４１３、４２３の成分を確認する方法について説明する。まず、バリアシート４１３、４２３の有無は、例えば、ベーパーチャンバ４０１を任意の位置で切断して得られた断面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）で撮像して得られた画像で確認することができる。バリアシート４１３、４２３の成分は、例えば、ベーパーチャンバ４０１の下面を少し削り取り、削り取られた成分をエネルギー分散型Ｘ線分析（ＥＤＸ）で分析し、そして更に削り取って成分を分析してもよい。このようにして成分分析を繰り返していくことで、バリアシート４１３、４２３の成分を確認することができる。
またバリアシート４１３、４２３と内側シート３１１、３２１との間に、両者の接合性を向上させるための密着層がさらに形成されていてもよい。密着層が形成される場合には、まず、バリアシート４１３．４２３の面に密着層が形成され、その後、密着層の面に、内側シート３１１、３２１が形成される。密着層の例としては、ストライクめっき層、シード層などが挙げられる。例えば、バリアシート４１３、４２３をモリブデンを含む材料で形成し、内側シート３１１、３２１を銅で形成する場合には、銅を含むスパッタリングターゲット材を用いてスパッタリング処理を行うことによって、銅の材料を含むシード層を介在させるようにしてもよい。ストライクめっき層およびシード層の厚さは、例えば、５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の範囲とすることができる。あるいは、カバーシート４１３、４２３を圧延材から形成し、補強シート３１２、３２２をめっき処理で形成するようにしてもよい。更には、カバーシート４１３、４２３、補強シート３１２、３２２のいずれか一方をめっき処理で形成し、更にめっき処理をすることで他方を積層形成するようにしてもよい。
このようなベーパーチャンバ４０１によれば、形態４で説明したベーパーチャンバ３０１と同様の効果に加えて、補強シートを形成する金属材料が、内側シート内に拡散することを抑制することができる。
６．形態６
形態６では、ここまで説明した形態１乃至形成５のベーパーチャンバとは、第三シートの液流路溝の形状が異なる。他の部位についてはこれら形態１乃至形態５と同様に考えることができるため、ここでは内側液流路部に注目して説明し、他の部分については説明を省略する。ただし、外周液流路部についても同様の形状を適用することができる。
なお、便宜のため形態１乃至形態５と共通する部分については形態１の符号を付しているが、共通する部分について形態２乃至形態５の形態も適用することも可能である。
６．１．形態６ａ
図６８は、本形態のベーパーチャンバ５０１の内側液流路部５３８をｚ方向から見た図であり、図１４と同様の視点による図である。図６８からわかるように、内側液流路部５３８は、ｘ方向）に延びる液流路溝５５１と、液流路溝５５１を介して互いに隣り合う一対の凸部である液流路凸部５５２と、を有している。液流路溝５５１は、主として、液状の作動流体を輸送するように構成されている。
一対の液流路凸部５５２は、液流路溝５５１に対する一方側（図中のｙ方向側）に配置された第１液流路凸部５５２Ａと、液流路溝５５１に対する前記一方側とは反対側（図中のｙ方向と反対側）に配置された第２液流路凸部５５２Ｂとから構成されている。そして、第１液流路凸部５５２Ａが第１方向（図中のｘ方向）に複数配列されて第１液流路凸部列５５３Ａが構成されており、同様に、第２液流路凸部５５２Ｂが第１方向（図中のｘ方向）に複数配列されて第２液流路凸部列５５３Ｂが構成されている。
また、第１方向（図中のｘ方向）に複数配列されている第１液流路凸部５５２Ａの間には、それぞれ第１連絡溝５５４Ａが形成されており、同様に、第１方向（図中のｘ方向）に複数配列されている第２液流路凸部５５２Ｂの間には、それぞれ第２連絡溝５５４Ｂが形成されている。各第１連絡溝５５４Ａおよび各第２連絡溝５５４Ｂは、液流路溝５５１とつながっている。
蒸気の状態から熱を失って、蒸気流路溝４２（蒸気流路４）の表面において凝縮して液状となった作動流体は、毛細管作用によって蒸気流路溝４２（蒸気流路４）の表面から第１連絡溝５５４Ａや第２連絡溝５５４Ｂに入り込み、さらに毛細管作用によって液流路溝５５１（凝縮液流路３）に入り込む。
なお、図６８に示す例において、第１液流路凸部列５５３Ａを構成する複数の第１液流路凸部５５２Ａは、一定のピッチＰ５０１で第１方向（ｘ方向）に配列されており、同様に、第２液流路凸部列５５３Ｂを構成する複数の第２液流路凸部５５２Ｂも、一定のピッチＰ５０１で第１方向（ｘ方向）に配列されている。
このように一定のピッチとすることで、第１液流路凸部列５５３Ａや第２液流路凸部列５５３Ｂの設計が複雑なものにならずに済む。また、それぞれの一対の液流路凸部５５２の作用を均等化させることも期待できる。例えば、複数の第１連絡溝５５４Ａおよび複数の第２連絡溝５５４Ｂの各々から液流路溝５５１への液状の作動流体の入り込みやすさを、均等化させることが期待できる。
ただし、複数の第１液流路凸部５５２Ａ、及び複数の第２液流路凸部５５２Ｂは、一定のピッチで配列されていなくてもよい。
また、図６８に示す例において、一対の液流路凸部５５２を構成する第１液流路凸部５５２Ａと、液流路溝５５１を介して隣り合う第２液流路凸部５５２Ｂは、液流路溝５５１に対して線対称に形成されている。
このように線対称とすることで、第１液流路凸部列５５３Ａや第２液流路凸部列５５３Ｂの設計が複雑なものにならずに済む。また、それぞれの一対の液流路凸部５５２の作用を均等化させることも、期待できる。例えば、複数の第１連絡溝５５４Ａ及び複数の第２連絡溝５５４Ｂの各々から液流路溝５５１への液状の作動流体の入り込みやすさを、均等化させることが期待できる。
但し、本形態においては、第１液流路凸部５５２Ａと、液流路溝５５１を介して隣り合う第２液流路凸部５５２Ｂは、液流路溝５５１に対して線対称に形成されていなくてもよい。
そして、第１液流路凸部５５２Ａは、液流路溝５５１に対する一方側（図中のｙ方向側）から液流路溝５５１に向かって進みながら第１方向（図中のｘ方向）に進むように第１方向に対して傾斜した方向に延び、第２液流路凸部５５２Ｂは、液流路溝５５１に対する前記一方側とは反対側（図中のｙ方向と反対側）から液流路溝５５１に向かって進みながら第１方向に進むように第１方向に対して傾斜した方向に延びている。さらに、一対の液流路凸部５５２を構成する第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離は、第１方向側における距離が第１方向側とは反対側における距離よりも小さい。
上記の第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂの形態及びその作用について、図６９及び図７０を用いて、より詳細に説明する。
まず、上記の第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂの形態について説明する。図６９は、図６８に示す一対の液流路凸部５２の形態を説明する図である。図６９に示す例において、第１液流路凸部５５２Ａは、Ｐ１、Ｑ１、Ｒ１、Ｓ１の４点から構成される平行四辺形の平面形状を有しており、Ｐ１とＱ１を結ぶ辺は、第１方向（ｘ方向）に対して角度θ１をなしている。角度θ１は、０°より大きく９０°未満の範囲とすることができるが、好ましくは、３０°以上６０°以下である。
上記のように、第１液流路凸部５５２Ａは、液流路溝５５１に対する一方側（図中のｙ方向側）から液流路溝５５１に向かって進みながら第１方向（ｘ方向）に進むように第１方向に対して傾斜した方向に延びている形態を有する。それゆえ、第１方向（ｘ方向）に配列されている第１液流路凸部５５２Ａの間に形成されている第１連絡溝５５４Ａ（図中、破線で囲む部分）も、液流路溝５５１に対する一方側（ｙ方向側）から液流路溝５５１に向かって進みながら第１方向（ｘ方向）に進むように第１方向に対して傾斜した方向に延びている形態となる。
同様に、第２液流路凸部５５２Ｂは、Ｐ２、Ｑ２、Ｒ２、Ｓ２の４点から構成される平行四辺形の平面形状を有しており、Ｐ２とＱ２を結ぶ辺は、第１方向（ｘ方向）に対して角度θ２をなしている。角度θ２も、０°より大きく９０°未満の範囲とすることができるが、好ましくは、３０°以上６０°以下である。
上記のように、第２液流路凸部５５２Ｂは、液流路溝５５１に対する前記一方側とは反対側（ｙ方向と反対側）から液流路溝５５１に向かって進みながら第１方向に進むように第１方向に対して傾斜した方向に延びている形態を有する。それゆえ、第１方向（ｘ方向）に配列されている第２液流路凸部５５２Ｂの間に形成されている第２連絡溝５５４Ｂ（図中、破線で囲む部分）も、液流路溝５５１に対する前記一方側とは反対側（ｙ方向と反対側）から液流路５５１に向かって進みながら第１方向（ｘ方向）に進むように第１方向に対して傾斜した方向に延びている形態となる。
ここで、図６８と同様に、図６９に示す例においては、一対の液流路凸部５５２を構成する第１液流路凸部５５２Ａと、主流溝５５１を介して隣り合う第２液流路凸部５５２Ｂは、液流路溝５５１に対して線対称に形成されている。この場合、上述した角度θ１と角度θ２は等しくなる。また、この場合、第１連絡溝５５４Ａと第２連絡溝５５４Ｂも液流路５５１に対して線対称になる。
このように線対称とすることで、第１液流路凸部列５５３Ａや第２液流路凸部列５５３Ｂの設計が複雑なものにならずに済む。また、それぞれの一対の液流路凸部５５２の作用を均等化させることも、期待できる。例えば、複数の第１連絡溝５５４Ａおよび複数の第２連絡溝５５４Ｂの各々から液流路溝５５１への液状の作動流体の入り込みやすさを、均等化させることが期待できる。
ただし、本形態においては、一対の液流路凸部５５２を構成する第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂは、液流路溝５５１に対して線対称に形成されていなくてもよい。線対称に形成されていない場合、例えば、以下のような効果を奏することができる。
例えば、一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域内に作動流体の蒸気が流入若しくは発生した場合、この蒸気が蒸発部（熱源に近い部分）に侵入することを防ぐ必要がある。ここで、本形態においては、一対の液流路凸部５５２を構成する第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂが、液流路溝５５１に対して線対称に形成されていない場合であっても、作動流体の蒸気が第１方向（ｘ方向）に進もうとしても、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂに遮られて第１方向（ｘ方向）に進む勢いが低減するため、蒸発部への蒸気の進行を防ぐことが可能となる。なお、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂの作用については、後述する図７０を用いた説明で、より詳しく説明する。
さらに、本形態によるベーパーチャンバ５０１においては、一対の液流路凸部５５２を構成する第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離は、第１方向側における距離が第１方向側とは反対側における距離よりも小さい。例えば、図６９に示すように、第１液流路凸部５５２Ａ（Ｐ１、Ｑ１、Ｒ１、Ｓ１の４点から構成される平行四辺形）と、第２液流路凸部５５２Ｂ（Ｐ２、Ｑ２、Ｒ２、Ｓ２の４点から構成される平行四辺形）において、第１方向（ｘ方向）側における端部の距離（Ｓ１とＳ２の距離）Ｄ１は、第１方向（ｘ方向）側と反対側における端部の距離（Ｒ１とＲ２の距離）Ｄ２よりも小さい。
次に、上記のような形態を有する第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂの作用について説明する。図７０は、図６９に示す一対の液流路凸部５５２の作用を説明する図であり、主に、本形態における、液状の作動流体の流れと、蒸気の作動流体の流れについて説明する図である。ここで、図７０においては、液状の作動流体の流れを実線の太い矢印で示し、蒸気の作動流体の流れを破線の太い矢印で示す。
まず、図７０に示す液状の作動流体の流れについて説明する。
一対の液流路凸部５５２を構成する第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂは、図６９を用いて説明したように、第１方向に対して傾斜した方向に延びている形態を有し、かつ、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離は、第１方向側における距離が第１方向側とは反対側における距離よりも小さい形態を有している。
それゆえ、図７０において、実線の太い矢印で示すように、一対の液流路凸部５５２を構成する第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間に挟まれた領域に存在する液状の作動流体は、毛細管作用によって、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が大きい側から、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側へと、進むことになる。
すなわち、本形態であれば、一対の液流路凸部５５２を構成する第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間に挟まれた領域に存在する液状の作動流体に対し、より強い推進力を与えて、第１方向（ｘ方向）に向かって輸送させることができる。
また、本形態においては、一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域の深さを、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が大きい側が、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側よりも深い形態とすることができる。
このような形態とすることで、より多くの液状の作動流体をこの領域に貯めておくことができる。そして、上記のように、この領域に存在する液状の作動流体に対しては、より強い推進力で、第１方向（ｘ方向）向かって（すなわち、蒸発部Ｖに向かって）輸送させることができる。それゆえ、蒸発部（冷却対象に近い部位４）において液状の作動流体が不足することを防ぐことができる。
また、上記のような形態とすることで、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側の深さが、より浅くなるため、すなわち、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側の流路断面積が、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が大きい側に比べてより小さくなるため、より強く毛細管作用が働くことになる。それゆえ、液流路溝５５１にある液状の作動流体に対して、より強い推進力を付与して、内側液流路部５３８の液流路溝５５１（凝縮液流路３）を第１方向（ｘ方向）に向かって輸送させることができる。
また、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側の端部を通過した液状の作動流体は、次の一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域で拡散することになるが、この拡散の圧力と、一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域に存在する液状の作動流体の容量のため、作動流体の蒸気が第１連絡溝５５４Ａと第２連絡溝５５４Ｂから液流路溝５５１（凝縮液流路３）に侵入してくることを、より効果的に防止できる。
上記のような形態は、例えば、液流路部５０の形成を、エッチング液を用いたハーフエッチングで行うことにより、得ることができる。エッチング液を用いたハーフエッチングにおいては、エッチングされる面積が大きい方がエッチングされる面積が小さい方よりも、エッチングされる深さが深くなり易いという性質がある。
それゆえ、例えば、内側液流路部５３８の形成に用いるエッチングパターンを、一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域に関して、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が大きい側（上記のＤ２側）の面積が、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側（上記のＤ１側）の面積よりも大きいエッチングパターンとする。これにより、エッチング液を用いたハーフエッチングで形成される一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域の深さに関して、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が大きい側（上記のＤ２側）の深さが、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側（上記のＤ１側）の深さよりも深くすることができる。
次に、蒸気である作動流体の流れについて説明する。
第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂ、および、第１連絡溝５５４Ａと第２連絡溝５５４Ｂは、図６９を用いて説明したように、第１方向に対して傾斜した方向に延びている形態を有している。それゆえ、蒸気流路溝４２（蒸気流路４）を通って、第１方向（ｘ方向）とは反対の方向に拡散してくる作動流体の蒸気（図中、破線矢印で示す）は、この拡散方向とは概ね逆方向となる第１連絡溝５５４Ａや第２連絡溝５５４Ｂを通って、液流路溝５５１（凝縮液流路３）には侵入しにくい。
すなわち、図６８に示すように、蒸発部（冷却対象に近い部位）４は図７０において上側（ｘ方向側）に位置するため、図７０において、上側（ｘ方向側）は蒸気の圧力が高く、下側（ｘ方向と反対側）は蒸気の圧力が低いことになる。それゆえ、作動流体の蒸気は、圧力が低い側である下側（ｘ方向と反対側）から、圧力が高い側である上側（ｘ方向）には拡散しにくい。すなわち、作動流体の蒸気は、第１連絡溝５５４Ａや第２連絡溝５５４Ｂを下側（ｘ向と反対側）から上側（ｘ方向）に流れるようなことは生じにくい。
さらに、上記のように、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側の端部を通過した液状の作動流体は、次の一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域で拡散することになる。それゆえ、この拡散の圧力と、一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域に存在する液状の作動流体の容量によって、作動流体の蒸気が第１連絡溝５５４Ａと第２連絡溝５５４Ｂから液流路溝５５１（凝縮液流路３）に侵入してくることを、より効果的に防止できる。
したがって、本形態のベーパーチャンバ５０１によれば、作動流体が蒸気の状態で第１連絡溝５５４Ａや第２連絡溝５５４Ｂから液流路溝５５１（凝縮液流路３）に侵入してくることを効果的に阻止して、液状の作動流体の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができる。
また、液流路溝５５１（凝縮液流路３）内に作動流体の蒸気の流入、若しくは液状の作動流体の突沸（すなわち蒸気の発生）が起きた直後(瞬間)の蒸気の圧力は、一対の液流路凸部５５２の第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側が高く、他の側（第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離がより大きい側や、第１連絡溝５５４Ａ側および第２連絡溝５５４Ｂ側）の方が低くなる。
それゆえ、一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域内に流入若しくは発生した蒸気は、この一対の液流路凸部５５２の第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側へ進むよりも、他の側（第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離がより大きい側や、第１連絡溝５５４Ａ側および第２連絡溝５５４Ｂ側）に進み易くなる。すなわち、一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域内に流入若しくは発生した蒸気は、液流路溝５５１（凝縮液流路３）内を第１方向（ｘ方向）には進み難いことになる。
したがって、本形態のベーパーチャンバ５０１によれば、蒸発部Ｖの温度が高く、蒸発が活発な場合において、例え、液流路溝５５１（凝縮液流路３）内に蒸気の流入若しくは発生が生じたとしても、この流入若しくは発生した蒸気が、液流路溝５５１（凝縮液流路３）内を第１方向（ｘ方向）に進むことを阻止することができ、液状の作動流体の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができる。
なお、上記のように、一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域内に流入若しくは発生した蒸気は、この一対の液流路凸部５５２の第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側へ進むよりも、他の側（第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離がより大きい側や、第１連絡溝５５４Ａ側および第２連絡溝５５４Ｂ側）に進み易くなる。
ここで、蒸気が流入若しくは発生した一対の液流路凸部５５２の第１方向（ｘ方向）とは反対側に位置する一対の液流路凸部５５２の第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側の圧力は高いことから、蒸気がこの圧力が高い所を通って、第１方向（ｘ方向）とは反対側に位置する一対の液流路凸部５５２に流入することは起こりにくい。
それゆえ、蒸気は、第１連絡溝５５４Ａおよび第２連絡溝５５４Ｂを通って蒸気流路部溝４２（蒸気流路４）へと排出されることになる。ここで、第１連絡溝５５４Ａおよび第２連絡溝５５４Ｂの幅を、一対の液流路凸部５５２の第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離よりも大きく設計することで上記の蒸気排出の効果をより促進させることができる。
次に、第１液流路凸部５５２Ａ、第２液流路凸部５５２Ｂの平面形状（特に角部）の詳細について、図７１を用いて説明する。後述するように、内側液流路部５３８は、金属材料シートに対してエッチング液を用いたハーフエッチングを行うことにより形成される。それゆえ、一対の液流路凸部５５２を構成する第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂの平面形状も、厳密には平行四辺形とならずに、角部が丸まった形態となる。
例えば、第１液流路凸部５５２Ａは、図７１に示すように、Ｐ１、Ｑ１、Ｒ１、Ｓ１の４点から構成される平行四辺形（図７１において実線で示す平行四辺形）から、急峻な角部は丸められて、破線で示すような湾曲部５５５、５５６を有する形態となる。しかしながら、Ｐ１とＱ１を結ぶ線の方向の辺５５７、およびＳ１とＲ１を結ぶ線の方向の辺５５８が残っていれば、本実施の形態のベーパーチャンバ５０１における、上記の各種の効果を奏することができる。第２液流路凸部５５２Ｂについても同様である。
６．２．形態６ｂ
次に、図７２を用いて、形態６ｂによるベーパーチャンバについて説明する。なお、形態６ｂによるベーパーチャンバは、その内側液流路部の形態が、形態６ａによるベーパーチャンバと相違するものであり、他の構成については、形態６ａによるベーパーチャンバと同様とすることができる。
図７２は、形態６ｂよるベーパーチャンバ５０１’の内側液流路部５３８’の例を示す図である。より詳しくは、この図７２は、ベーパーチャンバ５０１’における図６９に相当する図である。
本形態によるベーパーチャンバの液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の作動流体が通る複数の液流路溝と、液流路溝を間に介して第１方向に延びる複数の凸部列と、を有し、複数の液流路溝は、一の基準とする液流路溝を含み、凸部列の各々は、複数の連絡溝を介して第１方向に配列された複数の液流路凸部を含み、複数の連絡溝は、基準主流溝に対する一側に配置された第１連絡溝と、基準主流溝に対する他側に配置された第２連絡溝と、を含み、第１連絡溝は、基準主流溝に向かって進みながら第１方向に進むように第１方向に対して傾斜した方向に延び、第２連絡溝は、基準とする液流路溝に向かって進みながら第１方向に進むように第１方向に対して傾斜した方向に延びている。
また、第１連絡溝は、第１連絡溝の延びる方向において整列し、第２連絡溝は、第２連絡溝の延びる方向において整列している。
例えば、図７２に示すように、ベーパーチャンバ５０１’の内側液流路部５３８’は、一の基準となる液流路溝５５１’を含む３個の液流路溝（５５１’、５５１’Ａ、５５１’Ｂ）を有している。各液流路溝は第１方向（ｘ方向）に延びている。
また、ベーパーチャンバ５０１’の内側液流路部５３８’は、第１方向に延びる４個の凸部列（５５３’Ａ、５５３’Ｂ、５５３’Ｃ、５５３’Ｄ）を有している。なお、４個の凸部列（５５３’Ａ、５５３’Ｂ、５５３’Ｃ、５５３’Ｄ）のうち、基準とする液流路溝５５１の一側（図中のＹ方向側）にある凸部列が、第１凸部列（５５３’Ａ、５５３’Ｂ）であり、基準とする液流路溝５５１’の他側（図中のｙ方向とは反対側）にある凸部列が、第２凸部列（５５３’Ｄ、５５３’Ｃ）である。
より解りやすく言えば、図７２に示す例においては、図中のｙ方向側から順に、第１凸部列５５３’Ａ、液流路溝５５１’Ａ、第１凸部列５５３’Ｂ、基準主流溝５５１’、第２凸部列５５３’Ｄ、液流路溝５５１’Ｂ、第２凸部列５５３’Ｃが配置されている。
第１凸部列５５３’Ａは、複数の第１連絡溝５５４’Ａを介して第１方向（ｘ方向）に配列された複数の液流路凸部５５２’Ａを含んでいる。同様に、第１凸部列５５３’Ｂは、複数の第１連絡溝５５４’Ｂを介して第１方向に配列された複数の液流路凸部５５２’Ｂを含んでいる。また、第２凸部列５５３’Ｄは、複数の第２連絡溝５５４’Ｄを介して第１方向に配列された複数の液流路凸部５５２’Ｄを含んでいる。また、第２凸部列５５３’Ｃは、複数の第２連絡溝５５４’Ｃを介して第１方向に配列された複数の液流路凸部５５２’Ｃを含んでいる。
そして、第１連絡溝５５４’Ａ、５５４’Ｂの各々は、基準とする液流路溝５５１の一方側（ｙ方向側）から基準とする液流路溝５５１’に向かって進みながら、第１方向（ｘ方向）に進むように第１方向に対して傾斜した方向に延びている。
図７２に示す例において、第１連絡溝５５４’Ａ、５５４’Ｂの伸びる方向（図中、太い破線の矢印で示す方向）と、第１方向（ｘ方向）のなす角度（鋭角側の角度）を角度θ３とする。角度θ３は、０°より大きく９０°未満の範囲とすることができるが、好ましくは、３０°以上６０°以下である。
また、第２連絡５３４’Ｄ、５５４’Ｃの各々は、基準とする液流路溝５５１’の他側（ｙ方向の反対側）から基準とする液流路溝５５１’に向かって進みながら、第１方向（ｘ方向）に進むように第１方向に対して傾斜した方向に延びている。
図７２に示す例において、第２連絡溝５５４’Ｄ、５５４’Ｃの延びる方向（図中、太い破線の矢印で示す方向）と、第１方向（ｘ方向）のなす角度（鋭角側の角度）を角度θ４とする。角度θ４は、０°より大きく９０°未満の範囲とすることができるが、好ましくは、３０°以上６０°以下である。
また、第１連絡溝５５４’Ａ、５５４’Ｂの各々は、第１連絡溝の延びる方向において整列し、第２連絡溝５５４’Ｄ、５５４’Ｃの各々は、第２連絡溝の延びる方向において整列している。
例えば、図７２に示すように、第１連絡溝の延びる方向、すなわち、第１方向（ｘ方向）となす角度が角度θ３の方向（図中、太い破線の矢印で示す方向）に、第１連絡溝５５４’Ａ、５５４’Ｂが配置されており、第２連絡溝の延びる方向、すなわち、第１方向（ｘ方向）となす角度が角度θ４の方向（図中、太い破線の矢印で示す方向）に、第２連絡溝５５４’Ｃ、５５４’Ｄが配置されている。
このような配置とすることで、複数ある第１連絡溝や第２連絡溝の設計が複雑なものにならずに済む。また、それぞれの連絡溝の作用を均等化させることも、期待できる。例えば、複数の第１連絡溝および複数の第２連絡溝の各々から各液流路溝（凝縮液流路）への液状の作動流体の入り込みやすさを、均等化させることが期待できる。
また、上記のように、ベーパーチャンバ５０１’は、複数の液流路溝（５５１’、５５１’Ａ、５５１Ｂ）と、これらの液流路溝を間に介して第１方向に延びる複数の凸部列（５５３’Ａ、５５３’Ｂ、５５５’Ｃ、５５３’Ｄ）とを有しているため、ベーパーチャンバ５０１’の内側液流路部５３８’の凹凸構造をより複雑にして、内側液流路部５３８’の表面積をより大きくすることが可能である。それゆえ、毛細管作用による作動流体の輸送量を、より増やすことができ、輸送効率をより向上させることができる。
また、ベーパーチャンバ５０１’が有する第１連絡溝５５４’Ａ及び第２連絡溝５５４’Ｃは、第１方向に対して傾斜した方向に延びている形態を有している。それゆえ、上記の形態６ａのベーパーチャンバ５０１と同様に、蒸気流路４を通って、第１方向（ｘ方向）とは反対の方向に拡散してくる蒸気の作動流体は、この拡散方向とは概ね逆方向となる第１連絡溝５５４’Ａや第２連絡溝５５４’Ｃを通って液流路溝（凝縮液流路）には侵入しにくいという効果が期待される。
６．３．形態６ｃ
次に、図７３を用いて、形態６ｃによるベーパーチャンバについて説明する。
上記のように、形態６ｂによるベーパーチャンバ５０１’が有する第１連絡溝５５４’Ａ及び第２連絡溝５５４’Ｃは、第１方向に対して傾斜した方向に延びている形態を有している。それゆえ、形態６ａによるベーパーチャンバ５０１と同様に、蒸気流路部を通って、第１方向（ｘ方向）とは反対の方向に拡散してくる蒸気の作動流体は、この拡散方向とは概ね逆方向となる第１連絡溝５５４’Ａや第２連絡溝５５４’Ｃを通って液流路溝に侵入しにくいという効果が期待される。
ただし、上記のベーパーチャンバ５０１’においては、形態６ａによるベーパーチャンバ５０１と異なり、互いに隣り合う液流路凸部の間の距離（Ｄ３）は一定である（図７２参照）。すなわち、図７２に示すベーパーチャンバ５０１’においては、形態６ａによるベーパーチャンバ５０１のような、一対の液流路凸部を構成する第１液流路凸部と第２液流路凸部との間の距離は、第１方向側における距離が第１方向側とは反対側における距離よりも小さいという形態にはなっていない。
より詳しくは、形態６ａによるベーパーチャンバ５０１においては、図６９に示すように、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離は、第１方向側（ｘ方向側）における距離（Ｄ１）が第１方向側とは反対側における距離（Ｄ２）よりも小さい形態を有していた。
そして、このような形態を有するため、第１液流路凸部５５２Ａと第２液流路凸部５５２Ｂとの間の距離が小さい側の端部を通過した液状の作動流体は、次の一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域で拡散することになる。そして、この拡散の圧力と、一対の液流路凸部５５２に挟まれた領域に存在する液状の作動流体の容量のため、蒸気の作動流体が第１連絡溝５５４Ａと第２連絡溝５５４Ｂから液流路部５５１（凝縮液流路３）に侵入してくることを、より効果的に防止できるという効果が見込まれる。
一方、形態６ｂによるベーパーチャンバ５０１’においては、図７２に示すように、互いに隣り合う液流路凸部５５２’Ｂと液流路凸部５５２’Ｄとの間の距離（Ｄ３）は一定であり、第１方向側（ｘ方向側）における距離と第１方向側とは反対側における距離も同じである。
それゆえ、形態６ａによるベーパーチャンバ５０１のような効果、すなわち、蒸気の作動流体が第１連絡溝５５４’Ｂと第２連絡溝５５４’Ｄから基準とする液流路溝５５１’（凝縮液流路３）に侵入してくることを、より効果的に防止できるという効果に関しては、ベーパーチャンバ５０１の方が好ましい。
さらに、図７２に示すベーパーチャンバ５０１’においては、第１連絡溝５５４’Ａ、５５４’Ｂの各々は、第１連絡溝の延びる方向において整列し、第２連絡溝５５４’Ｄ、５５４’Ｃの各々は、第２連絡溝の延びる方向において整列している。
例えば、図７２に示すように、第１連絡溝の延びる方向、すなわち、第１方向（ｘ方向）となす角度が角度θ３の方向（図中、太い破線の矢印で示す方向）に、第１連絡溝５５４’Ａ、５５４’Ｂが配置されており、第２連絡溝の延びる方向、すなわち、第１方向（ｘ方向）となす角度が角度θ４の方向（図中、太い破線の矢印で示す方向）に、第２連絡溝５５４’Ｃ、５５４’Ｄが配置されている。
それゆえ、基準とする液流路溝５５１’に対してより外側にある第１連絡溝５５４’Ａから侵入した蒸気の作動流体は、この第１連絡溝の延びる方向に液流路凸部が存在しないことから、より内側にある第１連絡溝５５４’Ｂも通過して、容易に基準とする液流路溝５５１’（凝縮液流路３）に侵入してしまうおそれがある。同様に、基準とする液流路溝５５１’に対してより外側にある第２連絡溝５５４’Ｃから侵入した蒸気の作動流体は、この第２連絡溝の延びる方向に液流路凸部が存在しないことから、より内側にある第２連絡溝５５４’Ｄも通過して、容易に基準とする液流路溝５５１’（凝縮液流路３）に侵入してしまうおそれがある。
そこで、形態６ｃによるベーパーチャンバにおいては、連絡溝の延びる方向に液流路凸部が存在する形態とした。なお、形態６ｃにおけるベーパーチャンバは、その内側液流路部の形態が、形態６ａ、形態６ｂによるベーパーチャンバと相違するものであり、他の構成については、上記の形態６ａによるベーパーチャンバと同様とすることができる。
図７３は、形態６ｃによるベーパーチャンバ５０１”の内側液流路部５３８”の例を示す図である。図７３に示すように、ベーパーチャンバ５０１”の内側液流路部５３８”は、一の基準とする液流路溝５５１”を含む３個の液流路溝（５５１”、５５１”Ａ、５５１”Ｂ）を有している。各液流路溝は第１方向（ｘ方向）に延びている。
また、ベーパーチャンバ５０１”の内側液流路部５３８”は、第１方向に延びる４個の凸部列（５５３”Ａ、５５３”Ｂ、５５３”Ｃ、５５３”Ｄ）を有している。なお、４個の凸部列（５５３”Ａ、５５３”Ｂ、５５３”Ｃ、５５３”Ｄ）のうち、基準とする液流路溝５５１”の一方側（ｙ方向側）にある凸部列が、第１凸部列（５５３”Ａ、５５３”Ｂ）であり、基準とする液流路溝５５１”の他側（ｙ方向とは反対側）にある凸部列が、第２凸部列（５５３”Ｄ、５５３”Ｃ）である。
より解りやすく言えば、図７３に示す例においては、ｙ方向側から順に、第１凸部列５５３”Ａ、液流路溝５５１”Ａ、第１凸部列５５３”Ｂ、基準とする液流路溝５５１”、第２凸部列５５３”Ｄ、液流路溝５５１”Ｂ、第２凸部列５５３”Ｃが配置されている。
第１凸部列５５３”Ａは、複数の第１連絡溝５５４”Ａを介して第１方向（ｘ方向）に配列された複数の液流路凸部５５２”Ａを含んでいる。同様に、第１凸部列５５３”Ｂは、複数の第１連絡溝５５４”Ｂを介して第１方向に配列された複数の液流路凸部５５２”Ｂを含んでいる。また、第２凸部列５５３”Ｄは、複数の第２連絡溝５５４”Ｄを介して第１方向に配列された複数の液流路凸部５５２”Ｄを含んでいる。また、第２凸部列５５３”Ｃは、複数の第２連絡溝５５４”Ｃを介して第１方向に配列された複数の液流路凸部５５２”Ｃを含んでいる。
そして、第１連絡溝５５４”Ａ、５５４”Ｂの各々は、基準とする液流路溝５５１”の一側（ｙ方向側）から基準とする液流路溝５５１”に向かって進みながら、第１方向（ｘ方向）に進むように第１方向に対して傾斜した方向に延びている。図７３に示す例において、第１連絡溝５５４”Ａの伸びる方向（図中、太い破線の矢印で示す方向）と、第１方向（ｘ方向）のなす角度（鋭角側の角度）を角度θ５とする。角度θ５は、０°より大きく９０°未満の範囲とすることができるが、好ましくは、３０°以上６０°以下である。
また、第２連絡溝５５４”Ｄ、５５４”Ｃの各々は、基準とする液流路溝５５１”の他側（ｙ方向の反対側）から基準とする液流路溝５５１”に向かって進みながら、第１方向（ｘ方向）に進むように第１方向に対して傾斜した方向に延びている。図７３に示す例において、第２連絡溝５５４”Ｃの伸びる方向（図中、太い破線の矢印で示す方向）と、第１方向（ｘ方向）のなす角度（鋭角側の角度）を角度θ６とする。角度θ６は、０°より大きく９０°未満の範囲とすることができるが、好ましくは、３０°以上６０°以下である。
ここで、本形態のベーパーチャンバにおいては、互いに隣り合う一対の第１凸部列において、基準とする液流路溝に対し外側に配置された第１凸部列を外側第１凸部列とし、基準とする液流路溝に対し内側に配置された第１凸部列を内側第１凸部列とし、互いに隣り合う一対の第２凸部列において、基準とする液流路溝に対し外側に配置された第２凸部列を外側第２凸部列とし、基準とする液流路溝に対し内側に配置された第２凸部列を内側第２凸部列とした場合に、外側第１凸部列を構成する液流路凸部の間を通る第１連絡溝が延びる方向に、内側第１凸部列を構成する液流路凸部が配置されており、外側第２凸部列を構成する液流路凸部の間を通る第２連絡溝が延びる方向に、内側第２凸部列を構成する液流路凸部が配置されている。
例えば、図７３に示すベーパーチャンバ５０１”においては、第１凸部列５５３”Ａが外側第１凸部列であり、第１凸部列５５３”Ｂが内側第１凸部列である。同様に、第２凸部列５５３”Ｃが外側第２凸部列であり、第２凸部列５５３”Ｄが内側第２凸部列である。
そして、外側第１凸部列である第１凸部列５５３”Ａを構成する液流路凸部５５２”Ａの間を通る第１連絡溝５５４”Ａが延びる方向（図中、太い破線の矢印で示す方向）には、内側第１凸部列である第１凸部列５５３”Ｂを構成する液流路凸部５５２”Ｂが配置されている。
それゆえ、基準とする液流路溝５５１”に対してより外側にある第１連絡溝５５４”Ａから侵入した蒸気の作動流体は、この第１連絡溝の延びる方向に存在する液流路凸部５５２”Ｂによって流れが遮られ、より内側にある基準とする液流路溝５５１”に侵入しにくくなる。また、液流路凸部５５２”Ｂによって蒸気の流れが分散するため、蒸気の圧力も低下する。それゆえ、さらに、基準とする液流路溝５５１”に侵入しにくくなる。
同様に、外側第２凸部列である第２凸部列５５３”Ｃを構成する液流路凸部５５２”Ｃの間を通る第２連絡溝５５４”Ｃが延びる方向（図中、太い破線の矢印で示す方向）には、内側第２凸部列である第２凸部列５５３”Ｄを構成する液流路凸部５５２”Ｄが配置されている。
それゆえ、基準とする液流路溝５５１”に対してより外側にある第２連絡溝５５４”Ｃから侵入した蒸気の作動流体は、この第１連絡溝の延びる方向に存在する液流路凸部５５２”Ｄによって流れが遮られ、より内側にある基準とする液流路溝５５１”に侵入しにくくなる。また、液流路凸部５５２”Ｄによって蒸気の流れが分散するため、蒸気の圧力も低下する。それゆえ、さらに、基準とする液流路溝５５１”に侵入しにくくなる。
それゆえ、ベーパーチャンバ５０１”によれば、蒸気の作動流体が基準とする液流路溝５５１”に侵入してくることを効果的に阻止して、液状の作動流体の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができる。
また、図７２に示すベーパーチャンバ５０１’と同様に、ベーパーチャンバ５０１”は、複数の液流路溝（５５１”、５５１”Ａ、５５１”Ｂ）と、これらの液流路溝を間に介して第１方向に延びる複数の凸部列（５５３”Ａ、５５３”Ｂ、５５３”Ｃ、５５３”Ｄ）とを有しているため、ベーパーチャンバ５０１”の内側液流路部５３８”の凹凸構造をより複雑にして、内側液流路部５３８”の表面積をより大きくすることが可能である。それゆえ、毛細管作用による作動流体の輸送量を、より増やすことができ、輸送効率をより向上させることができる。
本開示の上記各形態はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態に開示されている構成要素を複数組み合わせて効果を奏する種々の形態とすることができる。
各形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよく、必要な効果を得る観点から当該構成要素の１つ又は幾つかのみを用いるものであってもよい。
１、５１ ベーパーチャンバ
２ 密閉空間
３ 凝縮液流路
４ 蒸気流路
１０ 第一シート
１１ 本体
１２ 注入部
２０ 第二シート
２１ 本体
２２ 注入部
３０、５２ 第三シート
３１、５３ 本体
３２ 注入部
３３ 外周接合部
３４ 外周液流路部（液流路部）
３７ 導入部
３８、５４ 内側液流路部（液流路部）
４１ 導入部
４２ 蒸気流路溝
４４ 蒸気流路連通溝
５４ａ 厚さ方向連通穴
８０ 電子機器
８１ 筐体
８３ 電子部品
１０１ ベーパーチャンバ
１３０ 第三シート
１３１ 本体
１３４ 外周液流路部（液流路部）
１３６ 断熱部用溝
１３８ 内側液流路部（液流路部）
１４０ 断熱部用溝
２０１ ベーパーチャンバ
２３０ 第三シート
２３８ 内側液流路部（液流路部）
２４１ 導入部
３０１ ベーパーチャンバ
３１０ 第一シート
３１１ 内側シート
３１２ 補強シート
３２０ 第二シート
３２１ 内側シート
３２２ 補強シート
４０１ ベーパーチャンバ
４１０ 第一シート
４１１ 内側シート
４１３ バリアシート
４２０ 第二シート
４２３ バリアシート
５０１ ベーパーチャンバ
５３８ 内側液流路部
５５１ 蒸気流路溝
５５２ 一対の液流路凸部
５５２Ａ 第１液流路凸部
５５２Ｂ 第２液流路凸部
５５３Ａ 第１液流路凸部列
５５３Ｂ 第２液流路凸部列
５５４Ａ 第１連絡溝
５５４Ｂ 第２連絡溝

Claims (32)

  1. 密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
    重ねられた３つのシートからなり、
    前記３つのシートのうち、中央に配置されたシートは、該シートを厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びる第一流路と、前記第一流路に隣接し、第二流路を有する液流路部と、を備え、
    前記第二流路は、前記液流路部の厚さ方向の一方の面と他方の面のそれぞれに溝として設けられており、
    前記第一流路と前記第二流路とが、前記液流路部の厚さ方向の一方の面と他方の面のそれぞれに設けられた連通開口部により連通している、ベーパーチャンバ。
  2. 前記第二流路は、前記第一流路よりも流路断面積が小さくされており、
    隣り合う２つの前記第一流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第一流路の間に配置された複数の前記第二流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、前記第二流路は少なくとも一部でＡｌがＡｇの０．５倍以下となる流路である請求項１に記載のベーパーチャンバ。
  3. 前記第一流路は前記作動流体の蒸気が流れる蒸気流路であり、
    前記第二流路は前記第一流路より流路断面積が小さくされ、前記作動流体の凝縮液が流れる凝縮液流路である、請求項１又は２に記載のベーパーチャンバ。
  4. 前記液流路部の厚さ方向の一方の面に設けられた前記第二流路と前記液流路部の厚さ方向の他方の面に設けられた前記第二流路とは、前記第一流路を介することなく連通している、請求項１乃至３のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
  5. 筐体と、
    前記筐体の内側に配置された電子部品と、
    前記電子部品に配置された請求項１乃至４のいずれかに記載されたベーパーチャンバと、を備える、電子機器。
  6. ベーパーチャンバ用シートであって、
    前記ベーパーチャンバ用シートを厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びる第一流路と、前記第一流路に隣接し、第二流路を有する液流路部と、を備え、
    前記第二流路は、前記液流路部の厚さ方向の一方の面と他方の面のそれぞれに溝として設けられており、
    前記第一流路と前記第二流路とが、前記液流路部の厚さ方向の一方の面と他方の面のそれぞれに設けられた連通開口部により連通している、ベーパーチャンバ用シート。
  7. 前記第二流路は、前記第一流路よりも流路断面積が小さくされており、
    隣り合う２つの前記第一流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第一流路の間に配置された複数の前記第二流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、第二流路は少なくとも一部でＡｌがＡｇの０．５倍以下となる流路である請求項６に記載のベーパーチャンバ用シート。
  8. 前記第一流路は前記作動流体の蒸気が流れるべき蒸気流路であり、
    前記第二流路は前記第一流路より流路断面積が小さくされ、前記作動流体の凝縮液が流れるべき凝縮液流路である、請求項６又は７に記載のベーパーチャンバ用シート。
  9. 前記液流路部の厚さ方向の一方の面に設けられた前記第二流路と前記液流路部の厚さ方向の他方の面に設けられた前記第二流路とは、前記第一流路を介することなく連通している、請求項６乃至８のいずれかに記載のベーパーチャンバ用シート。
  10. 密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
    重ねられた３つのシートからなり、
    前記３つのシートのうち、中央に配置されたシートは、該シートを厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びる第一流路と、前記第一流路に隣接し、第二流路及び断熱部を有する液流路部と、を備え、
    前記第二流路は前記液流路部の厚さ方向の一方の面に設けられ、前記断熱部は前記液流路部の厚さ方向の他方の面に設けられ、
    前記断熱部が前記第一流路及び前記第二流路と連通していない、ベーパーチャンバ。
  11. 前記第二流路は、前記第一流路よりも流路断面積が小さくされており、
    隣り合う２つの前記第一流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第一流路の間に配置された複数の前記第二流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、前記第二流路は少なくとも一部でＡｌがＡｇの０．５倍以下となる流路である請求項１０に記載のベーパーチャンバ。
  12. 前記第一流路は前記作動流体の蒸気が流れる蒸気流路であり、
    前記作動流体の凝縮液が流れる凝縮液流路である、請求項１０又は１１に記載のベーパーチャンバ。
  13. 筐体と、
    前記筐体の内側に配置された電子部品と、
    前記電子部品に配置された請求項１０乃至１２のいずれかに記載されたベーパーチャンバと、を備える、電子機器。
  14. ベーパーチャンバ用シートであって、
    前記ベーパーチャンバ用シートを厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びる前記第一流路と、前記第一流路に隣接し、第二流路及び断熱部を有する液流路部と、を備え、
    前記第二流路は前記液流路部の厚さ方向の一方の面に設けられ、前記断熱部は前記液流路部の厚さ方向の他方の面に設けられ、
    前記断熱部が前記第一流路及び前記第二流路と連通していない、ベーパーチャンバ用シート。
  15. 前記第二流路は、前記第一流路よりも流路断面積が小さくされており、
    隣り合う２つの前記第一流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第一流路の間に配置された複数の前記第二流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、前記第二流路は少なくとも一部でＡｌがＡｇの０．５倍以下となる流路である請求項１４に記載のベーパーチャンバ用シート。
  16. 前記第一流路は前記作動流体の蒸気が流れるべき蒸気流路であり、
    前記作動流体の凝縮液が流れるべき凝縮液流路である、請求項１４又は１５に記載のベーパーチャンバ用シート。
  17. 密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
    重ねられた３つのシートからなり、
    前記３つのシートのうち、中央に配置されたシートは、該シートを厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びる第一流路と、前記第一流路に隣接し、第二流路を有する液流路部と、を備え、
    前記第二流路は前記液流路部の厚さ方向の少なくとも一方の面に溝として設けられており、
    前記第一流路と前記第二流路とが、前記液流路部の前記厚さ方向の少なくとも一方の面に設けられた連通開口部により連通し、
    前記液流路部の前記第一流路との境界面に前記第一流路側に突出する導入部があり、
    前記導入部は、前記第一流路側に最も突出した頂部から前記第二流路に向けて延びる導入面を有する、ベーパーチャンバ。
  18. 前記導入面は前記液流路部側に凹である請求項１７記載のベーパーチャンバ。
  19. 前記導入部の頂部は前記液流路部の厚さ方向中央よりも前記第二流路に近い位置に具備されている請求項１７又は１８に記載のベーパーチャンバ。
  20. 前記第二流路は前記第一流路よりも流路断面積が小さく、隣り合う２つの前記第一流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第一流路の間に配置された複数の前記第二流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、前記第二流路は少なくとも一部でＡｌがＡｇの０．５倍以下となる流路である、請求項１７乃至１９のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
  21. 前記第一流路は前記作動流体の蒸気が流れる蒸気流路であり、前記第二流路は前記蒸気流路より流路断面積が小さくされ、前記作動流体の凝縮液が流れる凝縮液流路である、請求項１７乃至２０のいずれかに記載のベーパーチャンバ。
  22. 筐体と、
    前記筐体の内側に配置された電子部品と、
    前記電子部品に配置された請求項１７乃至２１のいずれかに記載されたベーパーチャンバと、を備える、電子機器。
  23. 密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
    重ねられた３つのシートからなり、
    前記３つのシートのうち、中央に配置されたシートは、該シートを厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びる第一流路と、前記第一流路に隣接し、第二流路を有する液流路部と、を備え、
    前記第二流路は前記液流路部の厚さ方向の少なくとも一方の面に設けられた溝であり、
    前記液流路部の前記第一流路との境界面に前記第一流路側に突出する導入部があり、
    前記導入部は、前記第一流路側に最も突出した頂部から前記第二流路に向けて延びる導入面を有し、
    前記導入部の頂部は前記液流路部の厚さ方向中央よりも前記第二流路に近い位置に具備されている、ベーパーチャンバ。
  24. ベーパーチャンバ用シートであって、
    前記ベーパーチャンバ用シートを厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びる第一流路と、前記第一流路に隣接し、第二流路を有する液流路部と、を備え、
    前記第二流路は前記液流路部の厚さ方向の少なくとも一方の面に溝として設けられており、
    前記第一流路と前記第二流路とが、前記液流路部の前記厚さ方向の少なくとも一方の面に設けられた連通開口部により連通し、
    前記液流路部の前記第一流路との境界面に前記第一流路側に突出する導入部があり、
    前記導入部は、前記第一流路側に最も突出した頂部から前記第二流路に向けて延びる導入面を有する、ベーパーチャンバ用シート。
  25. 前記導入面は前記液流路部側に凹である請求項２４記載のベーパーチャンバ用シート。
  26. 前記導入部の頂部は前記液流路部の厚さ方向中央となる位置よりも前記第二流路に近い位置に具備されている請求項２４又は２５に記載のベーパーチャンバ用シート。
  27. 前記第二流路は前記第一流路よりも流路断面積が小さく、隣り合う２つの前記第一流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第一流路の間に配置された複数の前記第二流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、前記第二流路は少なくとも一部でＡｌがＡｇの０．５倍以下となる流路である、請求項２４乃至２６のいずれかに記載のベーパーチャンバ用シート。
  28. 前記第一流路は前記作動流体の蒸気が流れるべき蒸気流路であり、前記第二流路は前記蒸気流路より流路断面積が小さくされ、前記作動流体の凝縮液が流れるべき凝縮液流路である、請求項２４乃至２７のいずれかに記載のベーパーチャンバ用シート。
  29. ベーパーチャンバ用シートであって、
    前記ベーパーチャンバ用シートの厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びる前記第一流路と、前記第一流路に隣接し、第二流路を有する液流路部と、を備え、
    前記第二流路は前記液流路部の厚さ方向の少なくとも一方の面に設けられた溝であり、
    前記液流路部の前記第一流路との境界面に前記第一流路側に突出する導入部があり、
    前記導入部は、前記第一流路側に最も突出した頂部から前記第二流路に向けて延びる導入面を有し、
    前記導入部の頂部は前記液流路部の厚さ方向中央よりも前記第二流路に近い位置に具備されている、ベーパーチャンバ用シート。
  30. 密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
    第一シート、第二シート、及び前記第一シートと前記第二シートとの間に配置される第三シートが積層してなり、
    前記第三シートは、前記第三シートを厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びる第一流路と、第一流路に隣接し、第二流路を有する液流路部と、を備え、
    前記第二流路は前記液流路部の厚さ方向の少なくとも一方の面に溝として設けられており、
    前記第一流路と前記第二流路とが、前記液流路部の前記厚さ方向の少なくとも一方に設けられた連通開口部により連通し、
    前記第一シート及び前記第二シートの少なくとも一方は、前記第三シート側の内側シートと、前記第三シート側とは反対側の補強シートが積層されてなり、前記補強シートの耐力は、前記内側シートの耐力より高い、ベーパーチャンバ。
  31. 密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
    第一シート、第二シート、及び前記第一シートと前記第二シートとの間に配置される第三シートが積層してなり、
    前記第三シートは、前記第三シートを厚さ方向に貫通するとともにシート面に沿って延びる第一流路と、第一流路に隣接し、第二流路を有する液流路部と、を備え、
    前記第二流路は前記液流路部の厚さ方向の少なくとも一方の面に溝として設けられており、
    前記第一流路と前記第二流路とが、前記液流路部の前記厚さ方向の少なくとも一方の面に設けられた連通開口部により連通し、
    前記第一シート及び前記第二シートの少なくとも一方は、前記第三シート側の内側シート、前記第三シート側とは反対側の補強シート、及び、前記内側シートと前記補強シートとの間に配置されたバリアシートが積層されてなり、前記補強シートの耐力は、前記内側シートの耐力より高く、
    前記バリアシートは、タングステン、チタン、タンタルおよびモリブデンのうちの少なくとも一つを含む、ベーパーチャンバ。
  32. 前記補強シートの厚さは前記内側シートの厚さの５倍以上２０倍以下である請求項３０又は請求項３１に記載のベーパーチャンバ。
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