JP6894217B2 - 液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、液体噴射装置、および液体噴射装置を搭載した液体噴射記録装置に関する。

微量な液滴を、必要な量、必要な所に供給する装置が知られている。例えば、インクジェットプリンタは、紙などの媒体の所望な位置にインク滴を付着させて画像や文字を形成する。インクジェットプリンタは画像信号に従ってインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを備えている。分注装置は、創薬やバイオ分野で試薬品を、所定量、所定の容器へ供給する装置である。また、３Ｄプリンタは、液体樹脂を、所定量、所定の時刻、所定の場所に供給することで、立体印刷をしている。インクジェットプリンタ、分注装置、３Ｄプリンタは、いずれも制御データに従い、微量な液滴を噴射する液体噴射装置を備えている。インクジェットヘッドも液体噴射装置の一つとなっている。

圧電体の剪断変形を利用したインクジェットヘッドが知られている。このインクジェットヘッドは、インク流路になる溝が形成された圧電体と、溝内面に形成された電極と、インクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、を備えている。溝は複数形成され、各溝内に電極が形成されている。二つの隣接する溝の内面に形成された二つの電極で挟まれた圧電体は、インク流路内のインクに圧力を発生させる圧電素子として動作する。隣接する圧電素子を同時に動作させ、インク流路内の容積を拡張または収縮させる。容積を拡張・収縮することで、ノズルからインクを吐出させる。複数の圧電素子は集積回路によって、駆動している。インク吐出を繰り返すと、集積回路は発熱する。

集積回路が発熱によって、高温になりすぎると、集積回路が破損する可能性がある。

特開２０１６−６０１５３号公報

インクジェットヘッドは、記録媒体へ向けてインク滴を吐出している。インク滴の大部分は記録媒体に付着する。しかし、インク滴吐出に伴って、より微小なインク滴（インクミスト）が発生することがある。インクミストは記録媒体へ付着せず、インクジェットヘッド周辺を浮遊して、インクジェットヘッドまたはインクジェット記録装置内に付着する。インクジェットヘッドには、圧電素子を駆動する集積回路や、集積回路に信号を送る回路基板が搭載されている。インクが水性である場合、インクミストが集積回路や回路基板に付着し、回路を短絡させる可能性がある。また、吐出させる液滴として試薬品を用いる場合、酸性成分やアルカリ成分が試薬品に含まれる。これらの成分がミストとして、集積回路や回路基板に付着すると回路が故障する原因となる。

インクミストが集積回路や回路基板に付着しないようにするために、集積回路や回路基板を筐体で密封している。密封しているため、集積回路で発生する熱は筐体に籠る。筐体内に熱が籠ることによって、集積回路の温度が上昇して故障する可能性がある。集積回路の故障を防ぐために、集積回路で発生する熱を逃がす必要がある。

本発明の実施形態の液体噴射装置は、内面に突起部を備える筐体と、液体を吐出する複数のノズルと、前記ノズルに連通し、前記ノズルに対応して設けられた圧力室と、前記各圧力室に対応して設けられ、各圧力室内の液体に圧力変化を発生させる圧力発生素子と、前記筐体内に保持され、前記複数の圧力発生素子を駆動する集積回路と、前記集積回路に接続され、前記集積回路を動作させる電気信号を発生する回路基板と、前記回路基板を支持し、前記集積回路と前記筐体の内面に接触して、前記筐体に保持される熱伝導部材と、を有し、前記筐体の前記突起部が前記回路基板に設けられる開口を通して前記熱伝導部材に接触している構成になっている。

第１実施形態に係るインクジェットプリンタを概略的に示す側面図である。 第１実施形態のインクジェットヘッドの構成を示す分解斜視図である。 第１実施形態のインクジェットヘッドのインク吐出部の断面図である。 第１実施形態のインクジェットヘッドの電極部分の拡大図である。 第１実施形態のインクジェットヘッドに搭載される集積回路を示す図である。 第１実施形態のインクジェットヘッドに搭載されているインク吐出部、集積回路、回路基板の展開図である。 第１実施形態のインクジェットヘッドに搭載されている第１の熱伝導部材を示す図である。 第１実施形態のインクジェットヘッドに搭載されている第１の熱伝導部材と、インク吐出部、集積回路、回路基板を組立てた構成を示す図である。 図８で示す第１実施形態のインクジェットヘッドに搭載される第２の熱伝導部材（筐体）を示す図である。 図９で示す第１実施形態のインクジェットヘッドの上部蓋を示す図である。 第１実施形態のインクジェットヘッドの平面図と断面図を示す図である。 第２実施形態のインクジェットヘッドに搭載されているインク吐出部、集積回路、回路基板の展開図である。 第３実施形態のインクジェットヘッドに搭載される第２の熱伝導部材を示す図である。

以下、実施形態について、図面を参照しながら説明する。図面で同じ番号は同じ構成を示している。

記録媒体Ｓは、無地の用紙、アート紙、コート紙、などである。紙以外の記録媒体Ｓは、布、塩化ビニル樹脂膜、プラスチック膜、セラミクスなどである。

インクは、着色剤として染料または顔料を、溶媒に溶解または分散させた液体である。インク溶媒として、水性、油性、溶剤などがある。さらに、インクは、液体噴射装置で吐出させる透明な液体も含んでいる。透明な液体は、画像形成のための下地層や保護層形成に利用される。下地層は、着色剤を含むインクを付着させる前に、記録媒体上に形成し、付着したインクの発色性を改善する。保護層は、着色剤を含むインクを記録媒体に付着後、形成されたインク層上に形成される。液体噴射装置で飛翔させる液体は、インク以外に、創薬やバイオ分野で使われる試薬品や医薬品、３Ｄプリンタで使用される液体樹脂なども含んでいる。

液体噴射装置として、インクジェットヘッドを例示して説明する。また、液体噴射装置を搭載した液体噴射記録装置として、インクジェットプリンタを例示する。

（第１の実施形態）
図１は、実施形態のインクジェットヘッド（１Ａ、１Ｂ、１Ｃ）を搭載したインクジェットプリンタ１００の断面を示している。印字部１０９はインクジェットヘッド（１Ａ、１Ｂ、１Ｃ）を備えている。インクジェットヘッド１Ａは、シアンインクとマゼンタインクを吐出させる。インクジェットヘッド１Ｂは、イエローインクと透明インクを吐出させる。インクジェットヘッド１Ｃは、ブラックのインクを吐出させる。各インクジェットヘッド１Ａ乃至１Ｃは、インクジェットプリンタ１００の外部から入力された画像信号に応じて記録媒体Ｓ（用紙）上に画像を記録する。各インクジェットヘッドの詳細構造は後述する。

インクジェットプリンタ１００は、箱型の筐体１０１を有している。筐体１０１の内部にＹ軸方向下部から上部に向かって、給紙カセット１０２、上流搬送路１０４ａ、保持ドラム１０５、印字部１０９、下流搬送路１０４ｂ、排紙トレイ１０３を備えている。給紙カセット１０２はインクジェットプリンタ１００で印字するための用紙Ｓを収容する。印字部１０９のインクジェットヘッド１Ａ−１Ｃは、保持ドラム１０５上に保持された用紙Ｓにインク滴を吐出して画像を記録する部分である。

給紙カセット１０２は、用紙Ｓを収容し筐体１０１の下部に設けられている。給紙ローラ１０６は、給紙カセット１０２から用紙Ｓを一枚ずつ上流搬送路１０４ａへ送る。上流搬送路１０４ａは、送りローラ対１１５ａ、１１５ｂと用紙Ｓの搬送方向を規制する用紙案内板１１６で構成されている。用紙Ｓは、送りローラ対１１５ａ、１１５ｂの回転によって搬送され、送りローラ対１１５ｂを通過後、用紙案内板１１６によって保持ドラム１０５の外周面へ送られる。図１中の破線矢印は用紙Ｓの案内経路を示す。

保持ドラム１０５は、表面に薄い樹脂製の絶縁層１０５ａを有しているアルミニウム製の円筒になっている。円筒の周長は、画像を記録する用紙Ｓの縦方向長さより長く、円筒の軸方向の長さは、用紙Ｓの横方向の長さより長くなっている。モータ１１８によって、一定の周速で矢印Ｒ方向に回転させている。保持ドラム１０５の絶縁層１０５ａは、静電気によって用紙Ｓを保持しながら、回転して用紙Ｓを印字部１０９へ搬送する。絶縁層１０５ａに静電気を帯電させる帯電ローラ１０８を絶縁層１０５ａに沿って配置している。

帯電ローラ１０８は、金属製の回転軸を有し、回転軸周囲に導電ゴム層を有している。帯電ローラ１０８は、高電圧発生回路１１４に接続されている。導電ゴム層表面が、保持ドラム１０５の絶縁層１０５ａに接し、帯電ローラ１０８の周速が保持ドラム１０５と同じ周速で回転するように、帯電ローラ１０８をモータで駆動している。保持ドラム１０５の絶縁層１０５ａと帯電ローラ１０８の導電ゴム層が接して、ニップを形成する。用紙Ｓは、送りローラ対１１５ｂ及び用紙案内板１１６によって、ニップへ送られる。用紙Ｓがニップへ搬送される直前に帯電ローラ１０８の金属軸に高電圧発生回路１１４が発生する高電圧を印加する。高電圧によって絶縁層１０５ａは帯電し、ニップに搬送された用紙Ｓも帯電して保持ドラム１０５の外周面上に静電吸着される。静電吸着された用紙Ｓは、保持ドラム１０５の回転によって、印字部１０９へ送られる。

印字部１０９は、インクジェットヘッド１Ａ−１Ｃのインク吐出面が保持ドラム１０５の外周面から１ｍｍ離れて、インクジェットプリンタ１００に固定されている。各インクジェットヘッド１Ａ−１Ｃは、保持ドラム１０５の軸方向（主走査方向）に長く、回転方向（副走査方向）に短い構成で、保持ドラム１０５の周方向に間隔を開けて配置されている。インクジェットヘッド１Ａ−１Ｃは、供給されたインクの一部を画像形成のためにノズルから吐出し、残ったインクをインクジェットヘッド外へ排出する。排出されたインクを回収し、インクは、再びインクジェットヘッドへ供給される。所謂、循環型インクジェットヘッドになっている。インクジェットヘッド１Ａ−１Ｃの詳細な構造は後述する。インクタンク１１３はシアンインク（インク）を貯留するインク容器である。インクタンク１１３とインクジェットヘッド１Ａ間にインク循環装置１２０が配置されている。

インク循環装置１２０は、インク供給ポンプ１２１、供給用インクタンク１２２、第１圧力調整部１２３、回収用インクタンク１２４、第２圧力調整部１２５、インク回収ポンプ１２６で構成されている。インクは、画像信号に従って、インクジェットヘッド１Ａから吐出される。インク供給ポンプ１２１は、吐出したインク量に相当するインクをインクタンク１１３から供給用インクタンク１２２へ供給する。供給用インクタンク１２２は、インクを貯留し、流路１２７を通してインクジェットヘッド１Ａへ供給する。さらに、インクタンク１２２は、第１圧力調整部１２３を備えている。回収用インクタンク１２４は、インクジェットヘッド１Ａから流路１２８を通して排出されたインクを貯留する。さらに、回収用インクタンク１２４は、第２圧力調整部１２５を備えている。インク回収ポンプ１２６は、回収用インクタンク１２４に貯留したインクを供給用インクタンク１２２へ送液する。インクジェットヘッド１Ａはインク滴を重力方向（−Ｙ方向）に吐出する。そのため待機時にインクがインクジェットヘッド１Ａから漏れ出ないように、インクジェットヘッド１Ａのノズル内を大気圧に対して負圧に維持する必要がある。第１圧力調整部１２３と第２圧力調整部１２５は、インクジェットヘッド１Ａへ供給したインクがインクジェットヘッド１Ａのノズルからインクが漏れ出ない様に、インク圧力を大気圧に対して負圧に調整する。インクのノズル内圧力は、大気圧に対して−１ＫＰａに設定している。インクジェットヘッド１Ａのマゼンタインク、インクジェットヘッド１Ｂのイエローインクと透明インク、インクジェットヘッド１Ｃのブラックインクについても、夫々同様なインクタンク１１３とインク循環装置１２０を備えている。図中では、シアンインクインク以外のインクタンク１１３やインク循環装置１２０は、省略している。

印字部１０９では、各インクジェットヘッド１Ａ−１Ｃが用紙Ｓ上にインクを吐出しながら画像を記録する。記録する画像は、インクジェットプリンタ１００の外部から入力された画像信号に従って描画される。インクジェットヘッド１Ａはシアンインクを吐出しシアン画像とマゼンタインクを吐出しマゼンタ画像を形成する。同様に、インクジェットヘッド１Ｂはイエローインクと透明インクを吐出する。インクジェットヘッド１Ｃはブラックインクを吐出する。インクジェットヘッド１Ａ−１Ｃは、各色の画像を記録するようになっている。インクジェットヘッド１Ａ−１Ｃは吐出するインク色を除き同じ構造になっている。

印字部１０９で記録が完了した用紙Ｓは、除電装置１１０、剥離爪１１１へ搬送される。除電装置１１０は、断面がコの字型に作られ、保持ドラム１０５の軸方向の長さと同じ長さのステンレス筐体内にタングステンワイヤーを張った構成になっている。除電装置１１０は、コの字型の筐体の開口が保持ドラム１０５の外周面に向かうよう、配置されている。高電圧発生回路１１７は、帯電ローラ１０８に印加した電圧とは逆極性の高電圧を発生する。記録が完了した用紙Ｓの先端が、除電装置１１０の下部へ搬送されると、高電圧発生回路１１７で発生した高電圧を筐体とタングステンワイヤー間に印加する。高電圧によって除電装置１１０の開口側からコロナ放電が発生し、帯電した用紙Ｓを除電する。剥離爪１１１は、爪先端が保持ドラム１０５の外周面に接する位置と、外周面から離間するする位置を移動できるように設けられている。通常、剥離爪１１１は離間する位置に保持されている。用紙Ｓを保持ドラム１０５から剥離する場合、剥離爪１１１の先端が保持ドラム１０５の外周面に接し、除電した用紙Ｓの先端を絶縁層１０５ａから剥離する。用紙Ｓの先端を外周面から離した後、剥離爪１１１は外周面から離間する位置へ戻される。

保持ドラム１０５から離れた用紙Ｓは、送りローラ対１１５ｃへ送られる。下流搬送路１０４ｂは、送りローラ対１１５ｃ、１１５ｄ、１１５ｅと用紙Ｓの搬送方向を規制する用紙案内板１１６で構成される。図中の破線矢印に沿って用紙Ｓは、送りローラ対１１５ｃ、１１５ｄ、１１５ｅによって、排紙トレイ１０３へ排出される。

インクジェットヘッド１Ａの構成を詳細に説明する。前述したようにインクジェットヘッド１Ｂ−１Ｃは、１Ａと同じ構造になっている。

図２は、インクジェットヘッド１Ａのインク吐出部２００の分解斜視図である。図３は、インク吐出部２００の断面図である。図４は、インク吐出部２００のＸ部拡大図で、配線パターンを示している。図４（４−Ａ）は、圧力室の斜視図を示している。

図２に示すインク吐出部２００は、ノズルプレート２０４、枠部材２０３、基板２０２、駆動ＩＣ（集積回路）を搭載したフィルム３１０、回路基板３００、マニホールド２０１と、を備えている。

ノズルプレート２０４は、インク滴２４１（図３）を吐出させるノズル２４０を複数有している。ノズルプレート２０４は、ポリイミド樹脂製になっている。外形は、幅１６ｍｍ（Ｘ軸方向）、長さ６０ｍｍ（Ｚ軸方向）、厚さ５０μｍ（Ｙ軸方向）になっている。直径２０μｍのノズル２４０が、ピッチ８５μｍで２本の直線状に配置されている。

枠部材２０３は、ステンレスで作成している。外形は、長さ６０ｍｍ、幅１６ｍｍ、厚さ１ｍｍになっている。内側に、長さ５７ｍｍ、幅６．２５ｍｍの２つの開口が形成されている。外周部は、幅１．５ｍｍの枠になっている。幅０．５ｍｍの仕切り壁２３３が、枠部材２０３の中央に設けられている。仕切り壁２３３により、二つの長方形の開口２３１、２３２が形成されている。枠部材２０３は、基板２０２とノズルプレート２０４間に挟まれ、インクが外部に漏れるのを防止する。開口２３１は、第１インク用のインク室となり、開口２３２は、第２インク用のインク室になる。例えば、第１インクはシアンインクであり、第２インクはマゼンタインクである。ブラックインクの場合には、開口２３１、２３２は同じブラックインク用のインク室になっている。

基板２０２は、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）で作られている。外形は、幅２０ｍｍ、長さ６０ｍｍ、厚さ１ｍｍになっている。基板２０２は、第１インク供給口２２３、第１圧電アクチュエータ列２２０、第１インク排出口２２２、第２インク供給口２２７、第２圧電アクチュエータ列２２４、第２インク排出口２２６を有している。第１圧電アクチュエータ列２２０と第２圧電アクチュエータ列２２４が並置されている。枠部材２０３の開口２３２が、第１インク供給口２２３、第１圧電アクチュエータ列２２０、第１インク排出口２２２、を囲むように基板２０２上に固定されている。枠部材２０３の開口２３１が、第２インク供給口２２７、第２圧電アクチュエータ列２２４、第２インク排出口２２６を囲むように基板２０２上に固定されている。枠部材２０３と、第１第２圧電アクチュエータ列２２０、２２４の頂部にノズルプレート２０４がエポキシ接着剤で固定されている。

複数の第１インク供給口２２３と複数の第１インク排出口２２２が、Ｚ軸方向に直線状に配置されている。第１圧電アクチュエータ列２２０は、直線状に配置された複数の第１インク供給口２２３と複数の第１インク排出口２２２の間に、配置されている。図３に示すように、基板２０２、仕切り壁２３３、ノズルプレート２０４、第１圧電アクチュエータ列２２０で囲まれた領域が、第１共通インク供給室２０８になる。基板２０２、開口２３２の枠部材２０３、ノズルプレート２０４、第１圧電アクチュエータ列２２０で囲まれた領域が、第１共通インク排出室２０９になる。各第１インク供給口２２３は、マニホールド２０１から第１共通インク供給室２０８へインクを供給する。第１共通インク室２０８は、第１圧電アクチュエータ列２２０に形成された複数の圧力室２５０へインクを供給する。各圧力室２５０の中心部にノズル２４０が配置されている。インクは、破線矢印で示すように、マニホールド２０１から、第１インク供給口２２３、第１共通インク供給室２０８、複数の圧力室２５０、第１共通インク排出室２０９、第１インク排出口２２２を通して、マニホールド２０１へ送液される。

図２にもどり、複数の第２インク供給口２２７と複数の第２インク排出口２２６が、Ｚ軸方向に直線状に配置されている。第２圧電アクチュエータ列２２４は、直線状に配置された複数の第２インク供給口２２７と複数の第２インク排出口２２６の間に、配置されている。図３に示すように、基板２０２、仕切り壁２３３、ノズルプレート２０４、第２圧電アクチュエータ列２２４で囲まれた領域が、第２共通インク供給室２１０になる。基板２０２、開口２３１の枠部材２０３、ノズルプレート２０４、第２圧電アクチュエータ列２２４で囲まれた領域が、第２共通インク排出室２１１になる。各第２インク供給口２２７は、マニホールド２０１から第２共通インク供給室２１０へインクを供給する。第２共通インク室２１０は、第２圧電アクチュエータ列２２４に形成された複数の圧力室２５１へインクを供給する。各圧力室２５１の中心部にノズル２４０が配置されている。圧力室２５１の容積変化によって、ノズル２４１からインク滴２４１が吐出される。インクは、破線矢印で示すように、マニホールド２０１から、第２インク供給口２２７、第２共通インク供給室２１０、複数の圧力室２５１、第２共通インク排出室２１１、第２インク排出口２２６を通して、マニホールド２０１へ送液される。

図２に示すように、マニホールド２０１は、基板２０２を固定する上面２１２、上面に対向する下面２１３を有している。基板２０２を固定する上面は幅２０ｍｍ（Ｘ軸方向）、長さ６０ｍｍ（Ｚ軸方向）になっている。マニホールド２０１はアルミニウム製である。上面には４本の長溝（２１４、２１５、２１６、２１７）がＺ軸方向に形成されている。マニホールド２０１の下面側に２つの第１接続部材２７０、第２接続部材２７１が設けられている。

長溝２１４は、複数の第１インク供給口２２３に連通している。第１接続部材２７０は、長溝２１４と第１インク供給管１２９を連通させている。第１インク供給管１２９は、インク循環装置１２０に連通する流路１２７に接続されている。長溝２１５は、複数の第１インク排出口２２２に連通している。第１接続部材２７０は、長溝２１５と第１インク排出管１３０を連通させている。第１インク排出管１３０は、インク循環装置１２０に連通する流路１２８に接続されている。

長溝２１６は、複数の第２インク供給口２２７に連通している。第２接続部材２７１は、長溝２１６と第２インク供給管１３１を連通させている。第２インク供給管１３１は、インク循環装置１２０に連通する流路１２７に接続されている。長溝２１７は、複数の第２インク排出口２２６に連通している。第２接続部材２７１は、長溝２１７と第２インク排出管１３２を連通させている。第２インク排出管１３２は、インク循環装置１２０に連通する流路１２８に接続されている。第１インク供給管１２９と第１インク排出管１３０は、第１のインク用のインク循環装置１２０に接続されている。第２インク供給管１３１および第２インク排出管１３２は、第２のインク用のインク循環装置１２０に接続されている。インクジェットヘッド１Ａでは、第１インク供給管１２９と第１インク排出管１３０がシアンインクに接続され、第２インク供給管１３１および第２インク排出管１３２はマゼンタインクに接続されている。インクジェットヘッド１Ｂでは、第１インク供給管１２９と第１インク排出管１３０がイエローインクに接続され、第２インク供給管１３１および第２インク排出管１３２は透明インクに接続されている。インクジェットヘッド１Ｃでは、第１インク供給管１２９と第１インク排出管１３０と、第２インク供給管１３１および第２インク排出管１３２はブラックインクに接続されている。

図３に示すように、マニホールド２０１上に、基板２０２、枠部材２０３、ノズルプレート２０４が、エポキシ接着剤で重ねて接着されている。枠部材２０３の開口２３２が、第１圧電アクチュエータ列２２０を、開口２３１が、第２圧電アクチュエータ列２２４を囲むように、基板２０２に固定されている。

第１圧電アクチュエータ列２２０と、第２圧電アクチュエータ列２２４の構成を説明する。第１第２圧電アクチュエータ列２２０、２２４は同じ構成になっている。図４は、図２のＸ部の拡大図である。図４（４−Ａ）は、圧電アクチュエータ（２６０、２６１）および圧力室２５０の斜視図である。第１、第２圧電アクチュエータ列２２０、２２４は、図４（４−Ａ）に示す圧電アクチュエータ（２６０、２６１）および圧力室２５０、２５１が複数並んだ構成になっている。

第１、第２圧電アクチュエータ列２２０、２２４は、第１圧電体２６０、第２圧電体２６１の積層圧電体（２６０、２６１）で構成されている。第１圧電体２６０、第２圧電体２６１は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で作られている。第１圧電体２６０は、幅３．５ｍｍ、長さ５２ｍｍ、厚さ０．９ｍｍの大きさで、−Ｙ方向に分極されている。第２圧電体２６１は、幅３．５ｍｍ、長さ５２ｍｍ、厚さ０．１ｍｍの大きさで、＋Ｙ方向に分極されている。第１圧電体２６０と第２圧電体２６１の分極方向は、逆になっている。第１圧電体２６０と第２圧電体２６１は、エポキシ接着剤で固定され、合計厚さは１ｍｍになっている。積層圧電体（２６０、２６１）は、Ｘ軸方向の両端に、角度（θ）４５度の傾斜面が形成されている。傾斜面は、Ｚ軸方向において、一端から他端まで形成されている。結果、積層圧電体（２６０、２６１）の基板２０２側の幅Ｗ１は、３．５ｍｍ、ノズルプレート２０４側の幅Ｗ２は、１．５ｍｍになっている。

積層圧電体（２６０、２６１）には、傾斜面を横切るように（Ｘ軸方向）複数の溝２５４が形成されている。溝２５４の幅Ｗ３は、０．０４ｍｍになっている。溝２５４は、Ｗ４（０．０８５ｍｍ）ピッチで、等間隔にＺ軸方向に配置されている。幅Ｗ５の積層圧電体（２６０、２６１）が、圧電アクチュエータとして機能する。溝２５４の部分が、圧力室２５０、２５１として、機能する。溝２５４内面に形成された電極膜２２１は、積層圧電体（２６０、２６１）の傾斜面および基板２０２表面に引出されている。第１、第２圧電アクチュエータ列２２０、２２４に形成される溝２５４は、図４に示すように、第１、第２圧電アクチュエータ列２２０、２２４に跨り、わずかに傾斜して設けられている。そのため、圧力室２５０、２５１の中心に設けられたノズル２４０、２４１は、Ｚ軸方向にＷ６（０．０８５ｍｍ）ずれている。

第１圧電アクチュエータ列２２０には、圧力室２５０を形成する溝２５４が６００個形成されている。各溝２５４の内面に電極２２１が形成されている。溝内の電極２２１は、傾斜面、および基板面上に形成された引出し電極２２１に繋がっている。第１圧電アクチュエータ列２２０に６００個の圧力室２５０が形成されているため、６００本の引出し電極２２１が基板２０２上に形成されている。同様に、第２圧電アクチュエータ列２２６にも、６００本の引出し電極２２５が基板２０２上に形成されている。

図２に示すように、第１圧電アクチュエータ列２２０に繋がる６００本の引出電極２２１は、駆動ＩＣ３０２、３１３に電気的に接続されている。駆動ＩＣ３０２（集積回路）は直接ポリイミドフィルムの基板上に設けられている。所謂ＣＯＦ３０１（ＣＨＩＰ−ＯＮ−ＦＩＬＭ）になっている。ＣＯＦ３０１のフィルムは、Ｚ軸方向の幅２５ｍｍ、Ｘ軸方向の長さ２０ｍｍ、厚さ２５μｍのポリイミド樹脂で形成されている。ＣＯＦ３０１のフィルム上には、引出し電極２２１のピッチと等しいピッチで配置された電極３０３が形成されている。基板２０２上の引出し電極２２１とＣＯＦ３０１上の電極３０３は、異方性導電フィルム３６０（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｔａｃｔ Ｆｉｌｍ）で電気的に接続されている（図５参照）。ＣＯＦ３０１上に設けられた電極３０３は３００本である。３００本の電極３０３が駆動ＩＣ３０２に接続されている。駆動ＩＣ３０２を動作させる信号線３０４が、ＣＯＦ３０１の電極３０３および駆動ＩＣ３０２が設けられた面上に形成されている。３００本の電極３０３に接続する駆動ＩＣ３０２は、Ｚ軸方向の長さ２３ｍｍ、Ｘ軸方向の長さ２ｍｍの長方形になっている。Ｙ軸方向の厚さは０．５ｍｍになっている。ＣＯＦ３１０に設けられた駆動ＩＣ３１３も、同様に３００本の引出し電極２２１に接続されている。駆動ＩＣ３１３も、Ｚ軸方向の長さ（長辺）２３ｍｍ、Ｘ軸方向の長さ（短辺）２ｍｍの長方形になっている。駆動ＩＣ３０２、３１３はＺ軸方向に並べて配置されている。そのため、駆動ＩＣ３０２、３１３はＺ軸方向に長く、Ｘ軸方向に短い形状になっている。

第２圧電アクチュエータ列２２４も、第１圧電アクチュエータ列２２０と同じように形成されている。第２圧電アクチュエータ列２２４から６００本の引出し電極２２５が、基板２０２上に形成されている。６００本の引出し電極２２５は、二つのＣＯＦ３１１、３１２の電極に接続されている。ＣＯＦ３１１、３１２の電極は、駆動ＩＣ３１４、３１５に接続されている。駆動ＩＣ３１４、３１５は、駆動ＩＣ３０２、３１３と同じ構成になっている。

図５（５−Ａ）は、引出電極２２１が形成された基板２０２と駆動ＩＣ３０２を搭載したＣＯＦ３０１を示している。引出電極２２１は溝２５４の内面に形成された電極へ電気的に繋がっている。引出電極２２１は、ＡＣＦ３６０を通して、ＣＯＦ３０１の電極３０３に電気的に接続されている。電極３０３は、それぞれ駆動ＩＣ３０２のＦＥＴ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｆｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）に接続されている。二つのＦＥＴのドレインとソースが接続され、直列に配置されている。ドレインとソースの接続部に、各電極パターンが接続されている。図５（５−Ｂ）は、電極３０３、駆動ＩＣ３０２の等価回路を示している。駆動用ＦＥＴは電源電圧（＋Ｖｃｃ、−Ｖｃｃ）に接続されている。圧電アクチュエータ（２６０、２６１）は、誘電体であるＰＺＴを二つの電極で挟む構成になっている。そのため、圧電アクチュエータ（２６０、２６１）は静電容量（Ｃ０、Ｃ１、Ｃ２、・・・Ｃｎ）として表される。圧電アクチュエータ（２６０、２６１）のＣ１を駆動する場合を例示する。一つの溝に形成された一つの引出電極２２１は、隣接する二つの圧電アクチュエータ（２６０、２６１）のＣ０とＣ１の共通電極になっている。その一つの引出電極２２１は、駆動ＩＣ３０２のＦＥＴ０とＦＥＴ１に接続されている。圧電アクチュエータ（２６０、２６１）のＣ１とＣ２に接続された隣接する引出電極２２１は、ＦＥＴ２とＦＥＴ３に接続されている。ＦＥＴ０とＦＥＴ３をＯＮにして、ＦＥＴ２とＦＥＴ１をＯＦＦにすると、圧電アクチュエータ（２６０、２６１）のＣ１は剪断変形して圧力室２５０のインクに圧力を発生させる。ＦＥＴ２とＦＥＴ１をＯＮにして、ＦＥＴ０とＦＥＴ１をＯＦＦにすると、圧電アクチュエータ（２６０、２６１）のＣ１は逆向きに剪断変形して隣接する圧力室２５０のインクに圧力を発生させる。選択回路３６１は、ＦＥＴ０、ＦＥＴ１、・・・、ＦＥＴ２ｎ、ＦＥＴ２ｎ＋１を所定のタイミングで動作させる。選択回路３６１と複数のＦＥＴを含む駆動ＩＣ３０２は、集積回路（ＩＣ）になっている。隣接する二つの圧電アクチェータ（２６０、２６１）を同時に動作させることで、圧力室２５５内の容積を拡張または収縮させている。圧力室２５０の容積変化によって、ノズル２４０からインク滴２４１を吐出させる。一つの圧力室２５０からインク滴を吐出させるために、６個のＦＥＴが動作する。

直線状に配置された６００本の引出電極２２１に、ＣＯＦ３０１の３００本の電極３０３がそれぞれ接続され、電極３０３が駆動ＩＣ３０２のＦＥＴに接続される。そのため、駆動ＩＣ３０２はＺ軸方向に長い長方形の集積回路になっている。

図２に戻り、回路基板３００を説明する。回路基板３００は、インクジェットヘッド１Ａ−１Ｃの外部から入力される印字用のデータに従い選択回路３６１を動作させる信号発生回路、ＦＥＴの電源電圧（＋Ｖｃｃ、−Ｖｃｃ）、温度検出回路などを含んでいる。また、回路基板３００は、インクジェットプリンタ１００からインクジェットヘッド１Ａ−１Ｃへ入力される信号を受けるためのコネクタ３４５を搭載している。

回路基板３００は、プリント配線板３４０、回路部品３４６（図８）、コネクタ３４５、ＣＯＦ３０１の信号線３０４に接続する配線３４２、ＣＯＦ３１０の信号線３０４に接続する配線３４１を備えている。回路部品３４６は、選択回路３６１を動作させる信号発生回路、ＦＥＴの電源電圧（＋Ｖｃｃ、−Ｖｃｃ）、温度検出回路などを構成する。

プリント配線板３４０は、多層のガラスエポキシ基板である。プリント配線板３４０の外形は、Ｚ軸方向の長さＬ１：５５ｍｍ、Ｘ軸方向長さＬ２：５０ｍｍ、厚さ０．８ｍｍになっている（図６参照）。プリント配線板３４０の表面および内部に、銅箔で形成された回路配線が形成されている。銅箔で形成された回路配線が、回路部品３４６を結線している。プリント配線板３４０のＸ軸方向の一方の端部には、ＣＯＦ３０１の信号線３０４にＡＣＦで接続するための、接続用配線３４２が形成されている。同様に、ＣＯＦ３１０の信号線３０４に接続するための接続用配線３４１が、Ｚ軸方向において接続用配線３４２の隣に配置されている。回路部品３４６によって発生した信号は、配線３４２、３４１とＡＣＦを通して、ＣＯＦ３０１、３１０へ送信される。プリント配線板３４０には、二つの直径１０ｍｍの円形の開口３４３、３４４が形成されている。開口３４３、３４４は、後述するように駆動ＩＣ３０２、３１３で発生する熱を逃がすために、設けられている。

プリント配線板３１６は、プリント配線板３４０と同じ構成になっている。プリント配線板３１６にも、二つの開口３１７、３１８が形成されている。開口３１７、３１８は、直径１０ｍｍの円形の貫通穴になっている。ＣＯＦ３１１、３１２がプリント配線板３１６の接続用配線に接続されている。プリント配線板３１６には、インクジェットプリンタ１００と接続するコネクタ３１９が設けられている。

図６乃至１１を参照し、インクジェットヘッド１Ａの構成を説明する。図６乃至１０は、インクジェットヘッド１Ａを組立てる過程の展開図を示している。図１１（１１−Ａ）は、インクジェットヘッド１Ａの外形図を示している。図１１（１１−Ｂ）は、インクジェットヘッド１Ａの断面図を示している。

図６を参照する。固定部材４００は、インク吐出部２００に、第１インク供給管１２９、第１インク排出管１３０、第２インク供給管１３１、および第２インク排出管を、固定している。さらに、インクジェットヘッド１Ａをインクジェットプリンタ１００へ固定するための支持部材４０１が、固定部材４００に固定されている。四角形の開口４１０、４１１が、支持部材４０１に設けられている。四角形の開口４１０、４１１を通して、インクジェットヘッド１Ａは、インクジェットプリンタ１００の所定の位置にねじ止めされる。固定部材４００、支持部材４０１は、ステンレスで作成している。

プリント配線板３４０の開口３４３、３４４は、直径１０ｍｍの円形の貫通穴になっている。Ｌ３は、駆動ＩＣ３０２、３１３近傍のプリント配線板３４０の端部から、開口３４３、３４４の中心までの距離を示している。Ｌ３は１２ｍｍになっている。Ｌ４は、プリント配線板３４０のＺ軸方向の両端部から、開口３４３、３４４の中心までの距離を示している。Ｌ４は１３ｍｍになっている。プリント配線板３１６にも、プリント配線板３４０と同じように、開口３１７、３１８が形成されている。開口３４３、３４４の中心は、ほぼ駆動ＩＣ３０２、３１０のＺ軸方向の中心線上で、駆動ＩＣ３０２、３１０に近い位置になっている。

図７は、プリント配線板３４０、駆動ＩＣ３０２、３１３を支持する第１の熱伝導部材４０２を示している。第１の熱伝導部材４０２の外形は、概ねＺ軸方向の長さＬ５：５５ｍｍ、Ｙ軸方向の長さＬ６：７０ｍｍ、厚さ１．５ｍｍになっている。第１の熱伝導部材４０２の材質は、純アルミニウム製である。第１の熱伝導部材４０２は、Ｚ軸方向の端部に固定用のネジ穴４２５、４２６を備えている。ネジ４２４、４２７が、ネジ穴４２５、４２６を通して第１の熱伝導部材４０２を固定部材４００に固定している。第１の熱伝導部材４０２には、Ｚ軸方向の長さ５５ｍｍ、Ｙ軸方向の長さ４ｍｍの凸平面４２８が形成されている。凸平面４２８は、第１の熱伝導部材３４０をエンボス加工によって形成されている。凸部の高さは０．３ｍｍになっている。第１熱伝導部材４０２は、プリント配線板３４０を支持し、さらに、駆動ＩＣ３０２、３１２が発生する熱を伝導させる。熱伝導部材４０２の表面に厚さ０．０５ｍｍのＰＥＴ膜（ポリエチレンテレフタレート膜）４２１が、固定されている。ＰＥＴ膜４２１は、プリント配線板３４０と純アルミニウム製の第１の熱伝導部材４０２を絶縁するために設けている。ＰＥＴ膜４２１は、直径１０ｍｍの開口４２２、４２３を後述するようにプリント配線板３４０の開口３４３、３４４に対応する位置に有している。

第１熱伝導部材４０２と第１熱伝導部材４０３は同じ構成になっている。第１熱伝導部材４０３は、凸平面４２８と同じ形状の凸平面４３２を備えている。また、第１熱伝導部材４０３は、直径１０ｍｍの開口４４９を有するＰＥＴ膜を備えている。開口４４９は、プリント配線板３１６の開口３１７に対応する位置に設けられている。図７では省略されているが、ＰＥＴ膜は、プリント配線板３１６の開口３１８に対応する位置に開口４５０（直径１０ｍｍの開口）を有している。

図８は、マニホールド２０１に沿ってＣＯＦ３０１、３１０を＋Ｙ方向に向けてほぼ直角に曲げ、プリント配線板３４０を第１の熱伝導部材４０２に沿うように固定した構成を示している。プリント配線板３１６も第１の熱伝導部材４０３に沿うように固定されている。ＣＯＦ３０１、３１０をほぼ直角に曲げることで、ＣＯＦ３０１，３１０上に設けられた駆動ＩＣ３０２、３１３の上面は、第１の熱伝導部材４０２の凸平面部４２８に接触する。駆動ＩＣ３０２，３１３を、電気的に絶縁するために、凸平面部４２８と駆動ＩＣ３０２、３１３の上面の間に、厚さ０．０３ｍｍのＰＥＴ膜４６１（図１２参照）を介して接触させている。ＰＥＴ膜４６１は、駆動ＩＣ３０２、３１３から凸平面４２８への熱移動を妨げない程度の厚さになっている。基板２０２に繋がるＣＯＦ３０１、３１０、３１１、３１２は、ステンレスカバー２０５によって覆われている。ステンレスカバー２０５は、厚さ０．１ｍｍのステンレスで作成している。ステンレスカバー２０５は、ノズル２４０が形成された領域は露出するようになっている。露出部分のノズル２４０を通して、インク滴２４１が吐出される。インクジェットプリンタ１００からの信号ケーブル３５０が、コネクタ３４５に挿入されている。インクジェットプリンタ１００からの入力信号が信号ケーブル３５０を通してプリント配線板３４０に入力される。

図９は、第２の熱伝導部材４０４、４０５を示している。図９では、図８で示す構成のインクジェットヘッド１Ａへ第２の熱伝導部材４０４、４０５を組合わせる工程も示している。

第２の熱伝導部材４０４を説明する。第２の熱伝導部材４０４と４０５は同じ構成になっている。第２の熱伝導部材４０４、４０５は、インクジェットへド１Ａの筐体にもなっている。第２の熱伝導部材は、アルミダイキャストで作成している。第２の熱伝導部材４０４の内面（プリント配線板３１６に対向する面）には、二つの円形の突起４４０、４４１が設けられている。円形突起４４０、４４１は、直径９．５ｍｍで、第２の熱伝導部材４０４を第１熱伝導部材４０３に組み付けたときに、第１熱伝導部材４０３の表面に接触する高さになっている。円形突起４４０は、ＰＥＴ膜の開口４５０、プリント配線板３１６の開口３１８を通して、第１の熱伝導部材４０３に接触する。円形突起４４１は、ＰＥＴ膜の開口４４９、プリント配線板３１６の開口３１７を通して、第１の熱伝導部材に接触する。円形突起４４０、４４１の中心には、ネジを通す開口を備え、第１の熱伝導部材４０３に固定される。第２熱伝導部材４０４は、板バネ４４２を内面に備えている。第２熱伝導部材４０４を第１の熱伝導部材４０３に固定すると、板バネ４４２は、ＣＯＦ３１１の駆動ＩＣ３１４と、ＣＯＦ３１２の駆動ＩＣ３１５を第１の熱伝導部材４０３の凸平面４３２へ押し付ける。第２の熱伝導部材４０３の外面には、放熱用の突起が多数設けられている。この突起によって第２の熱伝導部材４０３の放熱を促している。

第２の熱伝導部材４０５も、第２の熱伝導部材４０４と同じ構成になっている。第２の熱伝導部材４０４、４０５は、図９に示すように、ネジ４４３、４４４、４５１、４５２、４５３、４５４、４５５、４５６で第１の熱伝導部材４０２、４０３に固定している。

図１０は、上面カバー４０６を組み付ける工程を示している。上面カバー４０６は、第２の熱伝導部材４０４、４０５にネジ４６５、４６６、４６７、４６８で固定されている。固定する時に、コネクタ３４５に繋がる信号ケーブル３５０、コネクタ３１９に繋がる信号ケーブル（図１０では省略）、第１インク供給管１２９、第１インク排出管１３０、第２インク供給管１３１、第２インク排出管１３２が、上面カバー４０６を通っている。組み立て後、第２の熱伝導部材４０４、４０５の境界部４７０、および上面カバー４０６と第２の熱伝導部材４０４、４０５との境界部４７１は、エポキシ樹脂で封止されている。

図１１は、インクジェットヘッド１Ａの平面図および、Ａ−Ａ断面図を示している。図１１（１１−Ｂ）は、図１１のＢ部を拡大した図である。

図１１（１１−Ｂ）に示すように、第１圧電アクチュエータ列２２０にＣＯＦ３０１がＡＣＦ３６０を介して接続されている。板バネ４６０によって、ＣＯＦ３０１の駆動ＩＣ３０２は、ＰＥＴ膜４６１を介して第１熱伝導部材４０２の凸平面４２８に圧接される。第１圧電アクチュエータ列２２０の動作によって発生する駆動ＩＣ３０２の熱は、凸平面４２８へ伝熱される。破線の矢印４８０に沿って、熱は、第１熱伝導部材４０２と第２熱伝導部材４０５の接触面４８１およびネジ４５２を通して第２熱伝導部材４０５に伝熱される。第２圧電アクチュエータ列２２４についても、同様に、破線４８２に沿って第１熱伝導部材４０３を伝熱し、接触面４８３を通して第２熱伝導部材４０４へ伝熱される。

金属板４６２は、第２熱伝導部材４０５とステンレスカバー２０５を同電位にしている。金属板４４７は、第２熱伝導部材４０４とステンレスカバー２０５を同電位にしている。

インクジェットプリンタ１００に搭載するインクジェットヘッド１Ａは、上述のインクジェットヘッド１Ａを複数個千鳥に配列した構成になっている。千鳥配列することで、所謂ラインヘッドを形成している。ラインヘッドの印字幅は、保持ドラム１０５の軸方向における記録媒体Ｓの幅になっている。

この実施形態では、第１熱伝導部材４０２、４０３の材質は、純アルミニウムである。純アルミニウムの熱伝導率は、２３７Ｗ／（ｍ・℃）になっている。第１熱伝導部材４０２，４０３はインクジェットヘッド１Ａ内に収納するため、板材で高熱伝導率の純アルミニウムを使っている。第１熱伝導部材４０２、４０３に用いる他の材料として、銅（３９８Ｗ／（ｍ・℃））、銀（銀４２０Ｗ／（ｍ・℃））を利用可能である。第２熱伝導部材４０４、４０５は、内面に円形突起４４０、４４１を有し、かつ外面に放熱用の突起を形成するためにアルミダイキャストによって作成している。アルミダイキャスト用合金の熱伝導率は、９５から１３８Ｗ／（ｍ・℃）である。他のダイキャスト材料として、亜鉛合金（１１０Ｗ／（ｍ・℃））やマグネシウム合金（５０Ｗ／（ｍ・℃））を利用可能である。第１熱伝導部材４０２、４０３の熱伝導率が、第２熱伝導部材４０４、４０５の熱伝導率より高くなっている。この構成により、インクジェットヘッド１Ａ内の狭い空間内で、駆動ＩＣ３０２、３１３で発生した熱を、高効率よく第２熱伝導部材４０４、４０５に伝えることができる。

駆動ＩＣの耐熱温度は、８０℃になっている。上述のように、インク滴を吐出する１つのノズルに連通する１つの圧力室からインク滴を吐出させるために、６個のＦＥＴが動作する。６００個のノズル２４０からインク滴を連続的に吐出させ続けると、３６００個のＦＥＴが連続的に動作する。また、インクジェットヘッド１Ａは、密閉した構成になっている。密閉しているため、インクジェットプリンタ１００で浮遊するインクミストが、インクジェットヘッド１Ａ内に入り込むことを防止することができる。しかし、密閉しているため、インクジェットヘッド１Ａ内で発生した熱によって、駆動ＩＣ３０２、３１３が耐熱温度を超える可能性がある。耐熱温度を超えると、駆動ＩＣが破損する可能性がある。この実施形態の構成により、駆動ＩＣで発生する熱をインクジェットヘッド１Ａ内に留まらせず、効率よく放熱できるため、駆動ＩＣの破損を防ぐことができる。なお、密閉とは、インクジェットヘッド内にミストが入り込まない程度に、第２熱伝導部材である筐体が、インク吐出部、集積回路、回路基板、第１熱伝導部材を囲んでいることを、意味している。

駆動ＩＣ３０２、３１２で発生した熱は、高熱伝導率の第１熱伝導部材４０２、４０３を＋Ｙ方向に伝わり、第２熱伝導部材４０４、４０５（筐体）へ伝えられる。そのため、駆動ＩＣ３０２、３１２で発生した熱が、マニホールド２０１、第１インク供給管１２９、第１インク排出管１３０、第２インク供給管１３１、第２インク排出管１３２を通して、インクを加熱することを、防ぐことができる。インク温度が上がると、インクの粘度が低下する。インク粘度の低下によって、同じ圧力室の容積変化でも、吐出するインク量が増える。インク量が変化すると、印刷した画像濃度が変化する。本実施形態の構成により、画像濃度の変化を抑制可能である。

円形開口３４３、３４４の中心を、駆動ＩＣ３０２、３１３のＺ軸方向の中心線上に配置している。前述したように駆動ＩＣ３０２、３１３は、Ｚ軸方向に長く、Ｘ軸方向に短い短冊型の構成になっている。短冊形の駆動ＩＣ３０２、３１３の中心線上に、円形開口３４３、３４４の中心を配置することで、駆動ＩＣ３０２、３１３全体で発生する熱を効率よく第１熱伝導部材へ伝導させることができる。熱が第１熱伝導部材へ効率よく伝導するため、第２熱伝導部材から効率よく放熱できる。

（第２の実施形態）
図１２は、第２の実施形態のインクジェットヘッド１Ａを示している。プリント配線板３１６、３４０に形成された開口３１７、３１８、３４３、３４４の形状が、第１の実施形態と異なっている。開口形状の差異以外は、第１の実施形態と同じである。

第２の実施形態の開口３４３、３４４は、直径１０ｍｍの半円と、その半円に連続する１０ｍｍの幅でプリント配線板３４０をＺ軸方向の端部まで切除した形状になっている。第２熱伝導部材４０３の突起形状を、この開口形状に合わせることで、第１熱伝導部材４０２と第２熱伝導部材４０３の接触面積を増やすことができる。接触面積を増やすことで、より放熱し易くなる。第２の実施形態の開口３１７、３１８は、開口３４３、３４４と同じ開口形状になっている。

（第３の実施形態）
図１３は、第３の実施形態のインクジェットヘッド１Ａを示している。第２熱伝導部材５０１、５０２の構成が、第１実施形態の第２熱伝導部材４０４、４０５の構成と異なっている。第２の熱伝導部材５０１、５０２以外の構成は、第１の実施形態のインクジェットヘッド１Ａと同じである。

第２熱伝導部材５０１、５０２は厚さ０．５ｍｍの純アルミニウムの板材で構成している。第２熱伝導部材５０１は、円形の熱伝導体５０３、５０４を介して、第１熱伝導部材４０２に接している。円形の熱伝導体５０３、５０４は、熱伝導率の高い銅でできている。第１熱伝導部材４０２と第２熱伝導部材５０１をともに純アルミニウム板で作ることで、軽量化される。第２熱伝導部材５０２は、円形の熱伝導体５０５、５０６を介して、第１熱伝導部材４０３に接している。円形の熱伝導体５０５、５０６も、銅でできている。

上記のように、インクジェットプリンタ１００は、次の構成を備えている。
筐体と、
液体を吐出する複数のノズルと、
前記ノズルに連通し、前記ノズルごとに設けられた圧力室と、
前記各圧力室に対応して設けられ、各圧力室内の液体に圧力変化を発生させる圧力発生素子と、
前記圧力室へ液体を供給する液体供給口と、
前記ノズルから吐出しなかった液体を前記圧力室から排出する液体排出口と、
前記筐体内に保持され、前記複数の圧力発生素子を駆動する集積回路と、
前記集積回路に接続され、前記集積回路を動作させる電気信号を発生する回路基板と、
前記回路基板を支持し、前記集積回路と前記筐体の内面に接触して、前記筐体に保持される熱伝導部材と、を備える液体噴射装置と、
前記液体供給口へ液体を供給し、前記排出口から吐出しなかった液体を回収し、再び液体を液体噴射装置へ供給する液体循環装置と、
前記液体噴射装置によって画像を形成する記録媒体を搬送する搬送装置と、を備える液体噴射記録装置。

上記実施形態では、インクジェットヘッドを例として説明した。本願のインクジェットヘッドを含む液体噴射装置は、液体分注装置や、３Ｄ印刷機の液体樹脂噴射装置としても利用可能である。

本発明の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ インクジェットヘッド
１００ インクジェットプリンタ
１２０ インク循環装置
２００ インク吐出部
３０２、３１３、３１４、３１５ 駆動ＩＣ
３０１、３１０、３１１、３１２ ＣＯＦ
３１６、３４０ プリント配線板
４０２、４０３ 第１熱伝導部材
４０４、４０５ 第２熱伝導部材
４４０、４４１ 円形突起
４８１、４８３ 接触面

Claims (5)

1. 内面に突起部を備える筐体と、
   液体を吐出する複数のノズルと、
   前記ノズルに連通し、前記ノズルに対応して設けられた圧力室と、
   前記各圧力室に対応して設けられ、各圧力室内の液体に圧力変化を発生させる圧力発生素子と、
   前記筐体内に保持され、前記複数の圧力発生素子を駆動する集積回路と、
   前記集積回路に接続され、前記集積回路を動作させる電気信号を発生する回路基板と、
   前記回路基板を支持し、前記集積回路と前記筐体の内面に接触して、前記筐体に保持される熱伝導部材と、
   を有し、
   前記筐体の前記突起部が前記回路基板に設けられる開口を通して前記熱伝導部材に接触している液体噴射装置。
2. 前記集積回路は、前記複数の圧力発生素子の配列方向において長辺を有し、前記配列方向と直交する方向に短辺を有し、
   前記回路基板の開口は、前記長辺の中心を通り、前記直交する方向の線上に配置されている請求項１に記載の液体噴射装置。
3. 前記集積回路は、絶縁膜を介して前記熱伝導部材に接触している請求項１又は２に記載の液体噴射装置。
4. 前記筐体の前記突起部は、前記絶縁膜の開口、前記回路基板の前記開口を通して前記熱伝導部材に接触し、
   前記集積回路で発生した熱は、前記熱伝導部材から前記突起部を通じて前記筐体に伝熱される請求項３に記載の液体噴射装置。
5. 前記筐体の内面に板バネが更に設けられ、
   前記熱伝導部材が前記筐体に保持されると、前記板バネによって前記集積回路が前記熱伝導部材に押し付けられる請求項４に記載の液体噴射装置。

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