JP7007936B2 - プラズマリアクター用電源システム - Google Patents
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Description
図1に示すプラズマリアクター用電源システム1は、プラズマリアクター101(図2参照)を検査するときに用いられる。具体的には、プラズマリアクター用電源システム1は、プラズマリアクター101の製造において、製造されたプラズマリアクター101を検査するときに用いられる。プラズマリアクター用電源システム1は、電源100からプラズマリアクター101に電力を供給し、プラズマリアクター101に供給される電力の値(電流値および電圧値)の変化に基づいて、プラズマリアクター101の品質を検査する。プラズマリアクター用電源システム1は、電源装置2と、制御装置3とを備える。
電源装置2は、プラズマリアクター101に電力を供給する。電源装置2は、フライバックコンバータ5と、MOSFETなどのスイッチング素子6とを備える。制御装置3がスイッチング素子6を制御することにより、電源装置2は、プラズマリアクター101に電力を供給する。詳しくは、制御装置3がスイッチング素子6をオンしているときに、一次コイル7に電流が流れてコアが磁化される。その後、制御装置3がスイッチング素子6をオフすると、二次コイル8に誘導起電力が生じる。二次コイル8は、プラス配線102を介して、プラズマリアクター101の正極パネルに電気的に接続され、マイナス配線103を介して、プラズマリアクター101の負極パネルに電気的に接続される。そのため、二次コイル8に生じた誘導起電力により、プラズマリアクター101に電力が供給される。
制御装置3は、上記したように、電源装置2のスイッチング素子6を制御する。制御装置3は、例えば、ECU(Electronic Control Unit)である。
プラズマリアクター101は、図2に示すように、複数の電極パネル104と、複数の電極パネル104を収容するケーシング105と備える。
次いで、図3~図5を参照して、プラズマリアクター用電源システム1の制御について説明する。
切替ステップ(S1、S2)では、制御装置3は、スイッチング素子6をオンからオフに切り替える。
次いで、図3に示すように、第1取得ステップ(S3)では、制御装置3は、プラズマリアクター101に供給される電力の電流積算値および電圧値を取得する。詳しくは、制御装置3は、時点t1(すなわち、スイッチング素子6がオンからオフに切り替えられたとき、図4参照)の電流積算値および電圧値を取得する。なお、電流積算値は、公知の積算電流計によって測定される。また、電圧値は、公知の電圧計によって測定される。
次いで、第2取得ステップ(S4、S5)では、制御装置3は、プラズマリアクター101に供給される電力の電流値がピークとなったときの電流積算値および電圧値を取得する。
次いで、計算ステップ(S6)では、制御装置3は、第1取得ステップ(S3)で取得した電流積算値と、第2取得ステップ(S5)で取得した電流積算値との差を、第1取得ステップ(S3)で取得した電圧値と、第2取得ステップ(S5)で取得した電圧値との差で除することにより、変化量ΔC(電圧値に対する電流積算値の変化量)を計算する。
このプラズマリアクター用電源システム1によれば、図3に示すように、スイッチング素子6がオンからオフに切り替えられてプラズマリアクター101に電力が供給されてから、プラズマリアクター101に供給される電力の電流値がピークとなるときまでの、電圧値に対する電流積算値の変化量ΔCを計算する(S6)。
次いで、図4~図6を参照して、第2実施形態におけるプラズマリアクター用電源システム1の制御について説明する。なお、第2実施形態において、第1実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
第2取得ステップ(S11、S12)では、制御装置3は、プラズマリアクター101に供給される電力の電圧値がピークとなるタイミングにおいて、電流積算値および電圧値を取得する。
計算ステップ(S13)では、制御装置3は、第1取得ステップ(S5)で取得した電流積算値と、第2取得ステップ(S12)で取得した電流積算値との差を、第1取得ステップ(S5)で取得した電圧値と、第2取得ステップ(S12)で取得した電圧値との差で除することにより、変化量ΔC(電圧値に対する電流積算値の変化量)を計算する。
第2実施形態のプラズマリアクター用電源システム1によれば、図6に示すように、プラズマリアクター101に供給される電力の電流値がピークになってから、プラズマリアクター101に供給される電力の電圧値がピークになるときまでの、電圧値に対する電流積算値の変化量ΔCを計算する(S13)。
次いで、第3実施形態について説明する。なお、第3実施形態において、第1実施形態および第2実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
上記したプラズマリアクター用電源システム1では、変化量ΔCが所定の変化量Nを超えた場合にプラズマリアクター101が異常であると判定するが、変化量ΔCが所定の変化量N未満となった場合に、プラズマリアクター101が異常であると判定することもできる。
2 電源装置
3 制御装置
101 プラズマリアクター
Claims (2)
- フライバックコンバータとスイッチング素子とを備え、プラズマリアクターに電力を供給する電源装置と、
前記スイッチング素子を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、
前記スイッチング素子をオンからオフに切り替える切替ステップと、
前記プラズマリアクターに供給される電力の電流積算値および電圧値を取得する第1取得ステップであって、前記スイッチング素子がオンからオフに切り替えられたときの前記電流積算値および前記電圧値を取得する第1取得ステップと、
前記プラズマリアクターに供給される電力の電流値がピークとなったときの前記電流積算値および前記電圧値を取得する第2取得ステップと、
前記第1取得ステップで取得した前記電流積算値と、前記第2取得ステップで取得した前記電流積算値との差を、前記第1取得ステップで取得した前記電圧値と、前記第2取得ステップで取得した前記電圧値との差で除することにより、変化量を計算する計算ステップと
を実行することを特徴とする、プラズマリアクター用電源システム。 - フライバックコンバータとスイッチング素子とを備え、プラズマリアクターに電力を供給する電源装置と、
前記スイッチング素子を制御する制御装置と
を備え、
前記制御装置は、
前記スイッチング素子をオンからオフに切り替える切替ステップと、
前記プラズマリアクターに供給される電力の電流積算値および電圧値を取得する第1取得ステップであって、前記プラズマリアクターに供給される電力の電流値がピークとなったときの前記電流積算値および前記電圧値を取得する第1取得ステップと、
前記プラズマリアクターに供給される電力の電圧値がピークとなったときの前記電流積算値および前記電圧値を取得する第2取得ステップと、
前記第1取得ステップで取得した前記電流積算値と、前記第2取得ステップで取得した前記電流積算値との差を、前記第1取得ステップで取得した前記電圧値と、前記第2取得ステップで取得した前記電圧値との差で除することにより、変化量を計算する計算ステップと
を実行することを特徴とする、プラズマリアクター用電源システム。
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