JP7073016B2

JP7073016B2 - クリーン熱処理装置

Info

Publication number: JP7073016B2
Application number: JP2020003052A
Authority: JP
Inventors: 成昭新庄; 勤西尾
Original assignee: Chugai Ro Co Ltd
Current assignee: Chugai Ro Co Ltd
Priority date: 2020-01-10
Filing date: 2020-01-10
Publication date: 2022-05-23
Anticipated expiration: 2040-01-10
Also published as: TW202126974A; JP2021110506A; CN113108599A; TWI763012B

Description

本発明は、クリーンな雰囲気中において被処理物を加熱させたり、冷却させたりするクリーン熱処理装置に関するものである。特に、被処理物を回転テーブルによって回転させるようにして、被処理物を効率よく均一に加熱させ、また加熱された被処理物を効率よく均一に冷却させることができると共に、熱処理装置の設置面積を小さくできるようにした点に特徴を有するものである。

従来から、半導体デバイスや液晶ディスプレイデバイスなどの製造プロセス等において、クリーンな雰囲気中において被処理物を加熱させたり、冷却させたりするのにクリーン熱処理装置が使用されている。

ここで、このようなクリーン熱処理装置として、従来においては、特許文献１～３に示されるようなものが知られている。

そして、これらの特許文献１～３に示されるものにおいては、ヒーター等によって加熱された気体を送風装置によりフィルターに導いて浄化させ、このように加熱されて浄化された気体を、被処理物をセットした処理室内を通して循環させて、前記の被処理物を加熱処理させるようにし、さらに、特許文献３に示されるものにおいては、前記のようにして被処理物を加熱処理させる他に、クーラー等によって冷却された気体を送風装置によりフィルターに導いて浄化させ、このように冷却されて浄化された気体を、被処理物をセットした処理室内を通して循環させて、前記の被処理物を冷却処理させるようにしたものが提案されている。

ここで、前記の特許文献１～３に示される何れのクリーン熱処理装置においても、被処理物を単に処理室内にセットしているだけであるため、前記のように加熱されて浄化された気体或いは冷却されて浄化された気体が、処理室内にセットされた被処理物に対して一定の方向から吹き付けられるだけであり、このため、気体が被処理物に吹き付けられる上流側と下流側とにおいて被処理物の温度が異なり、被処理物を効率よく均一に加熱又は冷却させるように熱処理することができないという問題があった。

さらに、前記の特許文献１～３に示される何れのクリーン熱処理装置においても、被処理物を処理する処理室とフィルターとを横に並べて配置させているため、これらをセットする面積が大きくなって、クリーン熱処理装置を設置する設置面積が大きくなるという問題もあった。

特開２００４－１６３０１４号公報特開２００５－１５６０８９号公報特許第６１４０２６４号公報

本発明は、クリーンな雰囲気中において被処理物を加熱させたり、冷却させたりするクリーン熱処理装置における前記のような問題を解決することを課題とするものである。

特に、本発明におけるクリーン熱処理装置においては、被処理物を回転テーブルによって回転させるようにして、被処理物を効率よく均一に加熱させ、また加熱された被処理物を効率よく均一に冷却させることができると共に、熱処理装置の設置面積を小さくできるようにすることを課題とするものである。

本発明に係るクリーン熱処理装置においては、前記のような課題を解決するため、上段部と中段部と下段部とを有するクリーン熱処理装置において、前記の中段部に処理部を設け、回転テーブルに載置させて回転される被処理物に処理用の気体を導入部から導いて処理させ、被処理物に導かれた後の気体を導出部から前記の上段部又は下段部に導く一方、前記の上段部と下段部との何れか一方に、加熱装置によって加熱させた気体を熱風用ファンによって送風させる加熱部を設け、他方に冷却装置によって冷却させた気体を冷風用ファンによって送風させる冷却部を設け、前記の加熱部と冷却部との何れか一方を運転時には他方を停止させるようにし、前記の加熱部と冷却部との何れか一方にフィルターを設け、前記の加熱装置によって加熱された気体と、前記の冷却装置によって冷却させた気体との何れか一方を選択的にフィルターに導くようにして浄化させ、フィルターによって浄化された気体を、前記の中段部の処理部における導入部に導くようにした。

そして、本発明のクリーン熱処理装置のように、中段部における処理部に、被処理物を載置させて回転させる回転テーブルを設け、この回転テーブルに載置させた被処理物を回転させながら、加熱部における加熱装置によって加熱させた気体を熱風用ファンによりフィルターに導いて浄化させて、このように加熱されて浄化された気体を前記のように導入部を通して回転する被処理物に吹き付けて加熱させると、回転される被処理物に対して加熱されて浄化された気体が均一に吹き付けられて、被処理物が均一に加熱されるようになり、また冷却部における冷却装置によって冷却させた気体を冷風用ファンによってフィルターに導いて浄化させて、このように冷却されて浄化された気体を前記のように導入部を通して回転する被処理物に吹き付けて冷却させると、回転される被処理物に対して冷却されて浄化された気体が均一に吹き付けられて、被処理物が均一に冷却されるようになる。

また、本発明のクリーン熱処理装置のように、処理部が設けられた前記の中段部の上下に位置する上段部と下段部との何れか一方に、加熱装置によって加熱させた気体や冷却装置によって冷却させた気体を浄化させるフィルターを設け、このフィルターによって浄化された気体を前記の処理部における導入部に導くようにすると、被処理物を処理する処理部とフィルターとを横に並べて配置させる場合に比べて、これらをセットする面積を小さくして、クリーン熱処理装置の設置面積を小さくすることができる。

ここで、本発明のクリーン熱処理装置においては、前記の上段部に、加熱装置によって加熱させた気体を熱風用ファンによって送風させる前記の加熱部を設けると共に前記のフィルターを設ける一方、前記の下段部に、冷却装置によって冷却させた気体を冷風用ファンによって送風させる前記の冷却部を設け、この冷却部から冷風用ファンによって冷却された気体を前記の上段部に案内する冷風案内管を設け、前記の加熱部の運転時には、前記の加熱装置によって加熱させた気体を前記の熱風用ファンにより前記のフィルターを導き、このフィルターにより加熱させた気体を浄化させて前記の処理部における導入部に導く一方、前記の冷却部の運転時には、前記の冷却装置によって冷却させた気体を、前記の冷風用ファンにより前記の冷風案内管から前記の上段部に設けられた前記のフィルターに導き、このフィルターにより冷却させた気体を浄化させて前記の処理部における導入部に導くようにすることができる。

ここで、本発明のクリーン熱処理装置においては、前記の処理部における前記の導入部に、処理用の気体を回転テーブルに載置させて回転される被処理物に分散させて導く複数の穴を有する分散導入部材を設けると共に、被処理物に導かれた後の気体が導かれる導出部に、被処理物に導かれた後の気体を分散させて導出部内に導く分散導出部材を設けることができる。

そして、処理部に設けた前記の分散導入部材と分散導出部材との少なくとも一方における回転テーブルと対向する部分に、円弧状になった凹部を設けるようにすると、被処理物を回転テーブルに載置させて回転させる処理部における面積をさらに小さくさせて、クリーン熱処理装置を設置する設置面積を小さくできる。

また、本発明のクリーン熱処理装置においては、前記の処理部における回転テーブルを回転させる回転装置を、処理部の下の下段部内に設けることができる。このようにすると、回転装置を処理部内に設ける場合のように、処理部内において回転装置により回転させる回転テーブルを配置させる位置が問題になったり、被処理物を加熱処理や冷却処理する場合に、回転装置が加熱されたり、冷却されたりして、故障するのを防止できるようになる。

本発明におけるクリーン熱処理装置においては、前記のように中段部における処理部に被処理物を載置させて回転させる回転テーブルを設け、この回転テーブルに載置させた被処理物を回転させながら、加熱部における加熱装置によって加熱させた気体を熱風用ファンによりフィルターに導いて浄化させ、このように加熱されて浄化された気体を、前記のように導入部を通して回転する被処理物に吹き付けて加熱させるようにしたため、回転する被処理物に対して加熱されて浄化された気体が均一に吹き付けられて、被処理物が均一に加熱されるようになり、また冷却部における冷却装置によって冷却させた気体を冷風用ファンによってフィルターに導いて浄化させ、このように冷却されて浄化された気体を、前記のように導入部を通して回転する被処理物に吹き付けて冷却させるようにしたため、回転する被処理物に対して冷却されて浄化された気体が均一に吹き付けられて、被処理物が均一に冷却されるようになった。

また、本発明のクリーン熱処理装置においては、前記のように処理部が設けられた中段部の上下に位置する上段部と下段部との何れか一方に、加熱装置によって加熱させた気体や冷却装置によって冷却させた気体を浄化させるフィルターを設け、このフィルターによって浄化された気体を、中段部の処理部における導入部に導くようにするため、被処理物を処理する処理部とフィルターとを横に並べて配置させる従来の場合に比べて、これらを配置させる面積を小さくして、クリーン熱処理装置の設置面積を小さくすることができるようになった。

本発明の一実施形態に係るクリーン熱処理装置において、上段部に加熱部を、中段部に処理部を、下段部に冷却部を設けた場合において、前記の上段部と中段部と下段部とを分離させて、これらの内部構造が分かるように示した概略説明図である。前記の実施形態におけるクリーン熱処理装置において、中段部の処理部に設けた回転テーブルの上に載置させた被処理物を、回転装置により回転させ、上段部における加熱部において加熱されてフィルターにより浄化された加熱用の処理用気体を、前記の処理部に導いて被処理物を加熱処理する状態を示した概略断面説明図である。前記の実施形態におけるクリーン熱処理装置において、中段部の処理部に設けた回転テーブルの上に載置させた被処理物を回転装置により回転させ、下段部における冷却部において冷却された気体を上段部におけるフィルターによって浄化させ、浄化された冷却用の処理用気体を前記の処理部に導いて被処理物を冷却処理する状態を示した概略断面説明図である。前記の実施形態におけるクリーン熱処理装置において、処理部に設けた回転テーブルの上に載置させた被処理物に、処理用の気体を導入部から分散導入部材を通して導くにあたり、前記の分散導入部材の回転テーブルと対向する部分に円弧状になった凹部を設けた変更例を示した概略斜視図である。

以下、本発明の実施形態に係るクリーン熱処理装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明に係るクリーン熱処理装置は、下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。

この実施形態におけるクリーン熱処理装置においては、図１等に示すように、装置本体１０の内部に、装置本体１０内を上下に仕切るように上棚板１１と下棚板１２とを設け、装置本体１０内を、上棚板１１の上に位置する上段部１３と、上棚板１１と下棚板との間に位置する中段部１４と、下棚板１２の下に位置する下段部１５とに分割させている。

そして、この実施形態におけるクリーン熱処理装置においては、前記の上段部１３に加熱部２０を設け、加熱装置２１によって加熱させた気体を、加熱装置２１の下流側における取付板２２に設けた熱風用ファン２３によって送風させ、この熱風用ファン２３により加熱させた気体を送風方向下流側の位置における前記の上棚板１１の上に設けたフィルターＦに導いて、このフィルターＦにより加熱させた気体を浄化させ、この加熱部２０からは、このように加熱されて浄化された処理用の気体を、前記のフィルターＦの下にある上棚板１１の部分に設けた送風口１１ａを通して前記の中段部１４に導くようにしている。

また、前記の上棚板１１と下棚板１２との間に位置する中段部１４には処理部３０を設け、前記のフィルターＦから送風口１１ａを通して処理用の気体が導かれる導入部３１よりも下流側の位置に、被処理物ｘを載置させて回転される回転テーブル３２を設け、この回転テーブル３２を前記の下棚板１２の下に設けた回転装置３３によって回転させるようにしている。

そして、前記の導入部３１と回転テーブル３２との間に複数の穴３４ａを有する分散導入部材３４を設け、導入部３１に導かれた処理用の気体を、分散導入部材３４における各穴３４ａを通して回転テーブル３２に載置されて回転される被処理物ｘに吹き付けるようにしている。

さらに、回転テーブル３２に載置されて回転される被処理物ｘに吹き付けた後の気体を、回転テーブル３２より下流側に位置する導出部３５に導く途中の位置に、前記の気体を通過させる複数の穴３６ａを有する分散導出部材３６を設け、導入部３１から導かれた処理用の気体が直ぐに導出部３５に導かれるのを抑制して、回転テーブル３２に載置されて回転される被処理物ｘが処理用の気体によって均一に加熱させるようにしている。

そして、前記の導出部３５における上棚板１１の部分には、導出部３５に導かれた加熱処理させた後の気体を上段部１３における加熱部２０に導く戻し開口部１１ｂを設ける一方、導出部３５における下棚板１２の部分には、後述する下段部１５に設けた冷却部４０に戻す一対の戻し穴１２ａを設けている。

また、前記の下棚板１２の下の下段部１５には冷却部４０を設け、この冷却部４０においては、前記の導出部３５における下棚板１２に設けられた一対の各戻し穴１２ａに、戻し管４１から分岐された各戻し分岐管４１ａを挿通させると共に、戻し分岐管４１ａが合流された戻し管４１に戻し側開閉弁４２を設け、この戻し側開閉弁４２を開けて戻し管４１を通して戻される気体を冷却装置４３によって冷却させるようにしている。

そして、このように冷却装置４３によって冷却された気体を冷風用ファン４４によって送る冷風案内管４５に送り側開閉弁４６を設け、この送り側開閉弁４６を開けて冷風案内管４５を通して送られる冷却された気体を分岐させて送る一対の分岐冷風案内管４５ａに導くようにしている。

さらに、この一対の分岐冷風案内管４５ａを、前記の下棚板１２に設けられた各貫通穴１２ｂから前記の中段部１４における処理部３０を通して前記の上棚板１１におけるフィルターＦの近傍に設けられた各案内穴１１ｃに挿通させ、各分岐冷風案内管４５ａを通して冷却された気体を前記の上段部１３に送り、この冷却された気体を上段部１３に設けた前記のフィルターＦに導き、このフィルターＦにより冷却された気体を浄化させ、このように冷却されて浄化された処理用の気体を、前記のフィルターＦの下における上棚板１１の部分に設けた送風口１１ａを通して前記の中段部１４に導くようにしている。

ここで、この実施形態におけるクリーン熱処理装置において、回転装置３３により回転テーブル３２に載置させた被処理物ｘを回転させて、前記の加熱部２０において加熱された処理用の気体により被処理物ｘを加熱処理する場合を、図２に基づいて具体的について説明する。

この場合、前記の下段部１５における冷却部４０においては、前記の戻し管４１に設けた戻し側開閉弁４２及び冷風案内管４５に設けた送り側開閉弁４６を閉じると共に、前記の冷却装置４３及び冷風用ファン４４を停止させる。

一方、前記の上段部１３における加熱部２０においては、前記の加熱装置２１及び熱風用ファン２３を作動させ、加熱装置２１によって加熱させた気体を取付板２２に設けた熱風用ファン２３により送風させて、送風方向下流側の位置における上棚板１１の上に設けた前記のフィルターＦに導き、このフィルターＦによって加熱させた気体を浄化させ、このように加熱されて浄化された処理用の気体を、前記のフィルターＦの下における上棚板１１の部分に設けた送風口１１ａを通して中段部１４の処理部３０における前記の導入部３１に導くようにする。

そして、このように処理部３０の導入部３１に導かれた加熱されて浄化された処理用の気体を、導入部３１より下流側の位置に設けた前記の分散導入部材３４における複数の各穴３４ａを通して、前記の回転テーブル３２の上に載置されて回転される被処理物ｘに吹き付けて加熱させるようにしている。また、このように被処理物ｘを加熱させた後の加熱処理後の気体を、その下流側に設けた前記の分散導出部材３６における複数の各穴３６ａを通して前記の導出部３５に導き、このように導出部３５に導かれた加熱処理後の気体を、導出部３５における上棚板１１に設けた前記の戻し開口部１１ｂを通して加熱部２０に戻し、前記のような操作を繰り返して行って、回転テーブル３２の上に載置されて回転される被処理物ｘを十分に加熱処理させる。

また、この実施形態におけるクリーン熱処理装置においては、前記のように加熱されて浄化された処理用の気体を、分散導入部材３４における複数の各穴３４ａから回転テーブル３２の上に載置されて回転される被処理物ｘに吹き付けて、被処理物ｘを加熱させるようにしたため、回転される被処理物ｘに対して加熱されて浄化された気体が均一に吹き付けられて、被処理物ｘを均一に加熱処理できるようになる。

次に、この実施形態におけるクリーン熱処理装置において、回転装置３３により回転テーブル３２に載置させた被処理物ｘを回転させて、前記の冷却部４０において冷却された処理用の気体により、被処理物ｘを冷却処理する場合を、図３に基づいて具体的について説明する。

この場合、前記の上段部１３における加熱部２０に設けた前記の加熱装置２１及び熱風用ファン２３を停止させ、加熱された処理用の気体が前記のフィルターＦに導かれないようにする。

一方、前記の下段部１５における冷却部４０においては、前記の戻し管４１に設けた戻し側開閉弁４２と冷風案内管４５に設けた送り側開閉弁４６とを開ける共に、前記の冷却装置４３及び冷風用ファン４４を作動させる。

そして、前記の中段部１４の処理部３０の下流側における導出部３５における気体を、前記の冷風用ファン４４により、導出部３５における下棚板１２に設けた一対の各戻し穴１２ａに挿通された各戻し分岐管４１ａから戻し管４１を通して吸引し、この戻し管４１に設けた前記の冷却装置４３に導いて、前記の気体を冷却装置４３により冷却させた後、このように冷却された気体を戻し管４１から前記の冷風用ファン４４により冷風案内管４５に送り、この冷風案内管４５から冷却された気体を一対の分岐冷風案内管４５ａに導くようにしている。

ここで、この一対の分岐冷風案内管４５ａは、前記のように下棚板１２に設けられた各貫通穴１２ｂから前記の中段部１４における処理部３０を通して前記の上棚板１１におけるフィルターＦの近傍に設けられた各案内穴１１ｃに挿通されており、前記のように冷風案内管４５から各分岐冷風案内管４５ａに導かれた冷却された気体を前記の上段部１３に導いて、上段部１３に設けた前記のフィルターＦに送り、このフィルターＦにより冷却された気体を浄化させ、このように冷却されて浄化された処理用の気体を、前記のフィルターＦの下における上棚板１１の部分に設けた送風口１１ａを通して前記の中段部１４の処理部３０における導入部３１に導くようにしている。

そして、このように処理部３０の導入部３１に導かれた冷却されて浄化された処理用の気体を、導入部３１より下流側の位置に設けた前記の分散導入部材３４における複数の各穴３４ａを通して、前記の回転テーブル３２の上に載置されて回転される被処理物ｘに吹き付けて冷却させる。

また、このように被処理物ｘを冷却させた後の冷却処理後の気体を、その下流側に設けた前記の分散導出部材３６における複数の各穴３６ａを通して前記の導出部３５に導き、このように導出部３５に導かれた冷却処理後の気体を、前記のように冷風用ファン４４により、導出部３５における下棚板１２に設けた一対の各戻し穴１２ａに挿通された各戻し分岐管４１ａから戻し管４１を通して吸引させて冷却装置４３により冷却させるようにし、前記のような操作を繰り返して行って、回転テーブル３２の上に載置されて回転される被処理物ｘを十分に冷却処理させる。

そして、このように回転テーブル３２の上に載置されて回転される被処理物ｘを冷却させる場合にも、この実施形態におけるクリーン熱処理装置においては、前記のように冷却されて浄化された処理用の気体を、分散導入部材３４における複数の各穴３４ａから回転テーブル３２の上に載置されて回転される被処理物ｘに吹き付けて、被処理物ｘを冷却させるようにしたため、回転する被処理物ｘに対して冷却されて浄化された気体が均一に吹き付けられて、被処理物を均一に冷却処理できるようになる。

ここで、この実施形態におけるクリーン熱処理装置においては、前記のように処理用の気体を導入部３１からの回転テーブル３２の上に載置されて回転される被処理物ｘに導く部分に、複数の穴３４ａを有する分散導入部材３４として、平板状になったものを設けるようにしたが、図４に示すように、分散導入部材３４における回転テーブル３２と対向する部分に、円弧状になった凹部３４ｂを設けるようにすると、被処理物ｘを回転テーブル３２に載置させて回転させる処理部３０の面積を小さくさせて、クリーン熱処理装置を設置する設置面積を小さくすることができる。なお、図示していないが、被処理物ｘに導かれた後の気体が導かれる導出部３５に被処理物ｘに導かれた後の気体を分散させて導く前記の複数の穴３６ａを有する分散導出部材３６についても、前記の分散導入部材３４と同様に、回転テーブル３２と対向する部分に円弧状になった凹部を設けて、処理部３０における面積を小さくさせて、クリーン熱処理装置を設置する設置面積を小さくすることができる。

また、この実施形態におけるクリーン熱処理装置においては、前記のように装置本体１０内を、上棚板１１の上に位置する上段部１３と、上棚板１１と下棚板との間に位置する中段部１４と、下棚板１２の下に位置する下段部１５とに分割させ、中段部１４に処理部３０を設けると共に、上段部１３に加熱部２０を、下段部１５に冷却部４０を設けるようにしたが、図示していないが、上段部１３に冷却部４０を、下段部１５に加熱部２０を設けるようにすることも可能である。

１０：装置本体
１１：上棚板
１１ａ：送風口
１１ｂ：戻し開口部
１１ｃ：案内穴
１２：下棚板
１２ａ：戻し穴
１２ｂ：貫通穴
１３：上段部
１４：中段部
１５：下段部
２０：加熱部
２１：加熱装置
２２：取付板
２３：熱風用ファン
３０：処理部
３１：導入部
３２：回転テーブル
３３：回転装置
３４：分散導入部材
３４ａ：穴
３４ｂ：凹部
３５：導出部
３６：分散導出部材
３６ａ：穴
４０：冷却部
４１：戻し管
４１ａ：戻し分岐管
４２：戻し側開閉弁
４３：冷却装置
４４：冷風用ファン
４５：冷風案内管
４５ａ：分岐冷風案内管
４６：送り側開閉弁
Ｆ：フィルター
ｘ：被処理物

Claims

上段部と中段部と下段部とを有するクリーン熱処理装置において、前記の中段部に処理部を設け、回転テーブルに載置させて回転される被処理物に処理用の気体を導入部から導いて処理させ、被処理物に導かれた後の気体を導出部から前記の上段部又は下段部に導く一方、前記の上段部と下段部との何れか一方に、加熱装置によって加熱させた気体を熱風用ファンによって送風させる加熱部を設け、他方に冷却装置によって冷却させた気体を冷風用ファンによって送風させる冷却部を設け、前記の加熱部と冷却部との何れか一方を運転時には他方を停止させるようにし、前記の加熱部と冷却部との何れか一方にフィルターを設け、前記の加熱装置によって加熱された気体と、前記の冷却装置によって冷却させた気体との何れか一方を選択的にフィルターに導くようにして浄化させ、フィルターによって浄化された気体を、前記の中段部の処理部における導入部に導くことを特徴とするクリーン熱処理装置。
請求項１に記載のクリーン熱処理装置において、前記の上段部に、加熱装置によって加熱させた気体を熱風用ファンによって送風させる前記の加熱部を設けると共に前記のフィルターを設ける一方、前記の下段部に、冷却装置によって冷却させた気体を冷風用ファンによって送風させる前記の冷却部を設け、この冷却部から冷風用ファンによって冷却された気体を前記の上段部に案内する冷風案内管を設け、前記の加熱部の運転時には、前記の加熱装置によって加熱させた気体を前記の熱風用ファンにより前記のフィルターを導き、このフィルターにより加熱させた気体を浄化させて前記の処理部における導入部に導く一方、前記の冷却部の運転時には、前記の冷却装置によって冷却させた気体を、前記の冷風用ファンにより前記の冷風案内管から前記の上段部に設けられた前記のフィルターに導き、このフィルターにより冷却させた気体を浄化させて前記の処理部における導入部に導くことを特徴とするクリーン熱処理装置。
請求項１又は請求項２に記載のクリーン熱処理装置における前記の処理部において、前記の導入部に、処理用の気体を回転テーブルに載置させて回転される被処理物に分散させて導く複数の穴を有する分散導入部材を設けると共に、被処理物に導かれた後の気体が導かれる導出部に、被処理物に導かれた後の気体を分散させて導出部内に導く分散導出部材を設けたことを特徴とするクリーン熱処理装置。
請求項３に記載のクリーン熱処理装置において、処理部に設けた前記の分散導入部材と分散導出部材との少なくとも一方における前記の回転テーブルと対向する部分に、円弧状になった凹部を設けたことを特徴とするクリーン熱処理装置。
請求項１～請求項４の何れか１項に記載のクリーン熱処理装置において、前記の処理部における回転テーブルを回転させる回転装置を、処理部の下における前記の下段部内に設けたことを特徴とするクリーン熱処理装置。