JP7171223B2 - 撮像ユニットおよびその製造方法 - Google Patents
撮像ユニットおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7171223B2 JP7171223B2 JP2018087519A JP2018087519A JP7171223B2 JP 7171223 B2 JP7171223 B2 JP 7171223B2 JP 2018087519 A JP2018087519 A JP 2018087519A JP 2018087519 A JP2018087519 A JP 2018087519A JP 7171223 B2 JP7171223 B2 JP 7171223B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- imaging unit
- substrate
- unit according
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/80—Constructional details of image sensors
- H10F39/811—Interconnections
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/011—Manufacture or treatment of image sensors covered by group H10F39/12
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/80—Constructional details of image sensors
- H10F39/802—Geometry or disposition of elements in pixels, e.g. address-lines or gate electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/80—Constructional details of image sensors
- H10F39/804—Containers or encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
- H05K1/181—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10007—Types of components
- H05K2201/10151—Sensor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/073—Connecting or disconnecting of die-attach connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/551—Materials of bond wires
- H10W72/552—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver
- H10W72/5522—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver comprising gold [Au]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
- H10W72/874—On different surfaces
- H10W72/884—Die-attach connectors and bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/754—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Camera Bodies And Camera Details Or Accessories (AREA)
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
図1は、本発明の実施形態の撮像ユニットの構成を概略的に示す図である。
各実施形態で説明した撮像ユニットおよび撮像装置は様々なアプリケーションに適用可能である。例えば、撮像ユニットは可視光以外にも赤外光、紫外光、X線等の光のセンシングに用いることが可能である。また、撮像装置はデジタルカメラに代表されるが他にも、スマートフォン等のカメラ付携帯電話、監視カメラ、ゲーム機器等にも適用可能である。さらに、内視鏡や血管撮像を行う医療機器や、肌や頭皮を観察する美容機器、スポーツやアクション動画を撮像するためのビデオカメラに適用できる。そして、交通や船舶監視やドライブレコーダー等の交通目的カメラ、天体観測や検体観察等の学術用途カメラ、カメラ付き家電製品、マシンビジョン等にも適用可能である。特にマシンビジョンとして、工場等におけるロボットには限られず、農業や漁業での活用も可能である。
102 撮像基板
103 部品
104 コネクタ
105 部品領域
106 禁止領域
107 ワイヤボンディングパッド
108 チェックパッド
109 カバーガラス
110 枠
Claims (18)
- イメージセンサを構成する半導体チップと、前記半導体チップを実装する基板から成る撮像ユニットであって、
前記半導体チップを制御するための複数の入力配線と、
前記入力配線に接続する複数の第1の電極と、
前記入力配線に接続する入力コネクタとを備え、
前記基板は前記半導体チップを実装する反対の面において、電子部品を実装するための第1の領域と前記半導体チップの実装に用いる第2の領域とを含み、
前記入力コネクタは前記第1の領域に設けられ、前記第1の電極のうち少なくとも1以上は第2の領域に設けられ、
前記第1の電極を介して前記半導体チップを駆動可能であることを特徴とする撮像ユニット。 - 前記半導体チップからの画像信号を出力するための出力配線に接続する出力コネクタをさらに備える請求項1に記載の撮像ユニット。
- 前記出力コネクタに接続する出力配線は高速信号を伝送するための差動対配線であることを特徴とする請求項2に記載の撮像ユニット。
- 前記入力コネクタまたは前記出力コネクタはボードトゥボード型のコネクタであることを特徴とする請求項2または3に記載の撮像ユニット。
- 前記基板は半導体チップを実装する面において前記半導体チップとワイヤボンディング接続を行うための第2の電極を備え、
前記第2の電極は、前記第2の領域に対応する反対の面に設けられることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の撮像ユニット。 - 前記第1の領域は、前記半導体チップが実装されている領域を反対の面に対応させた領域と略一致することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の撮像ユニット。
- 前記入力コネクタと前記半導体チップを接続する配線中に一つ以上の電源回路を備え、
前記第1の電極は前記電源回路と前記半導体チップの間および前記電源回路と前記入力コネクタの間の配線に接続されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の撮像ユニット。 - 前記第1の電極が接続する前記電源回路と前記半導体チップの間の配線はスイッチ回路を備えることを特徴とする請求項7に記載の撮像ユニット。
- 前記第2の領域は前記基板の外周部に設けられていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の撮像ユニット。
- 前記第2の領域は前記半導体チップのワイヤボンディング接続を行うための加熱領域であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の撮像ユニット。
- 前記第1の領域および前記第2の領域の夫々に第1の電極を備え、
前記第1の領域に備えられた前記第1の電極の数は前記第2の領域に備えられた前記第1の電極の数よりも少ないことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の撮像ユニット。 - 前記第1の電極は、前記基板の周辺部の4辺のうちの2辺に配置されることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の撮像ユニット。
- 前記第1の電極は、前記基板の周辺部の4辺のうちの長い辺に配置されることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の撮像ユニット。
- 前記入力コネクタは、前記半導体チップに対して画像を取得するように制御する制御部と接続するためのコネクタであって、前記半導体チップを駆動するための信号が接続されることを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の撮像ユニット。
- 前記制御部との間で接続される信号は、クロック信号、同期信号、シリアル通信信号、電源の少なくとも1つが含まれることを特徴とする請求項14に記載の撮像ユニット。
- イメージセンサを構成する半導体チップと、前記半導体チップを実装する基板から成る撮像ユニットの製造方法であって、
前記半導体チップを制御するための複数の入力配線に対して接続する、複数の第1の電極を基板外周部に設けるステップと、
前記半導体チップを制御するための複数の入力配線に対して接続する、入力コネクタを設けるステップと、
電子部品を前記基板における第1の領域に実装するためステップと、
前記第1の領域と異なり前記第1の電極が設けられた第2の領域を用いて前記半導体チップを実装するステップとを含み、
前記第1の電極を介して前記半導体チップを駆動可能にすることを特徴とする撮像ユニットの製造方法。 - 前記半導体チップが実装された基板をカバーガラスで封止するステップと、
前記カバーガラスで封止された状態で前記半導体チップを検査する検査ステップとを更に含み、
前記検査ステップは前記第1の電極を用いて前記半導体チップを制御することを特徴とする請求項16に記載の撮像ユニットの製造方法。 - イメージセンサを構成する半導体チップと、前記半導体チップを実装する基板と、
前記半導体チップを制御するための複数の入力配線と、
前記入力配線に接続する複数の第1の電極と、
前記入力配線に接続する入力コネクタとを備え、
前記基板は前記半導体チップを実装する反対の面において、電子部品を実装するための第1の領域と前記半導体チップの実装に用いる第2の領域とを含み、
前記入力コネクタは前記第1の領域に設けられ、前記第1の電極のうち少なくとも1以上は第2の領域に設けられ、
前記第1の電極を介して前記半導体チップを駆動可能である撮像ユニットを備えることを特徴とする撮像装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018087519A JP7171223B2 (ja) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 撮像ユニットおよびその製造方法 |
| EP19793883.0A EP3787023B1 (en) | 2018-04-27 | 2019-04-19 | Imaging unit and method for manufacturing same |
| CN201980039653.1A CN112368833B (zh) | 2018-04-27 | 2019-04-19 | 图像拍摄单元及其制造方法和图像拍摄装置 |
| PCT/JP2019/016760 WO2019208415A1 (ja) | 2018-04-27 | 2019-04-19 | 撮像ユニットおよびその製造方法 |
| BR112020021559-7A BR112020021559B1 (pt) | 2018-04-27 | 2019-04-19 | Unidade de captura de imagem e método para a fabricação da mesma |
| US17/075,536 US11990495B2 (en) | 2018-04-27 | 2020-10-20 | Image capturing unit and method for manufacturing the same |
| JP2022175968A JP7418095B2 (ja) | 2018-04-27 | 2022-11-02 | 撮像ユニットおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018087519A JP7171223B2 (ja) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 撮像ユニットおよびその製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022175968A Division JP7418095B2 (ja) | 2018-04-27 | 2022-11-02 | 撮像ユニットおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019192884A JP2019192884A (ja) | 2019-10-31 |
| JP7171223B2 true JP7171223B2 (ja) | 2022-11-15 |
Family
ID=68294859
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018087519A Active JP7171223B2 (ja) | 2018-04-27 | 2018-04-27 | 撮像ユニットおよびその製造方法 |
| JP2022175968A Active JP7418095B2 (ja) | 2018-04-27 | 2022-11-02 | 撮像ユニットおよびその製造方法 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022175968A Active JP7418095B2 (ja) | 2018-04-27 | 2022-11-02 | 撮像ユニットおよびその製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11990495B2 (ja) |
| EP (1) | EP3787023B1 (ja) |
| JP (2) | JP7171223B2 (ja) |
| CN (1) | CN112368833B (ja) |
| WO (1) | WO2019208415A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11817397B2 (en) * | 2020-12-21 | 2023-11-14 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Semiconductor device package |
| CN114497018A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-05-13 | 西安微电子技术研究所 | 一种多腔体图像采集处理微系统模块及制作方法 |
| KR20240158688A (ko) * | 2023-04-27 | 2024-11-05 | 엘지이노텍 주식회사 | 이미지 센서 모듈, 카메라 모듈 및 그 제조방법 |
| WO2025253958A1 (ja) * | 2024-06-04 | 2025-12-11 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005268602A (ja) | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Mitsubishi Electric Corp | 位相配線構造 |
| WO2015099140A1 (ja) | 2013-12-27 | 2015-07-02 | 株式会社ニコン | 撮像ユニット及び撮像装置 |
| JP2017037204A (ja) | 2015-08-11 | 2017-02-16 | キヤノン株式会社 | 電子部品実装部への異物混入を防止する構成を有する電子機器 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03241842A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-29 | Fujitsu Ltd | 回路基板の加熱方法 |
| JP3507251B2 (ja) * | 1995-09-01 | 2004-03-15 | キヤノン株式会社 | 光センサicパッケージおよびその組立方法 |
| JP4139051B2 (ja) * | 2000-06-28 | 2008-08-27 | 富士フイルム株式会社 | リニアイメージセンサチップおよびリニアイメージセンサ |
| KR101070921B1 (ko) * | 2006-10-19 | 2011-10-06 | 삼성테크윈 주식회사 | 이미지 센서용 칩 패키지 및 그 제조방법 |
| JP4384198B2 (ja) * | 2007-04-03 | 2009-12-16 | シャープ株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法、電子情報機器 |
| JP5269157B2 (ja) | 2011-07-22 | 2013-08-21 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
| JP5844580B2 (ja) * | 2011-09-05 | 2016-01-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 固体撮像素子及び固体撮像素子の実装構造 |
| JP2015012211A (ja) | 2013-07-01 | 2015-01-19 | 株式会社ニコン | 撮像ユニット及び撮像装置 |
| CN105657296B (zh) * | 2014-10-11 | 2019-12-24 | 意法半导体有限公司 | 具有互连层间隙的图像感测设备及相关方法 |
| JP6165395B1 (ja) | 2016-01-28 | 2017-07-19 | オリンパス株式会社 | 撮像ユニット、撮像モジュールおよび内視鏡 |
| JP6780277B2 (ja) | 2016-03-29 | 2020-11-04 | 株式会社ニコン | 基板 |
| JP2018087519A (ja) | 2016-11-29 | 2018-06-07 | 株式会社ヴァレオジャパン | スクロール型圧縮機 |
-
2018
- 2018-04-27 JP JP2018087519A patent/JP7171223B2/ja active Active
-
2019
- 2019-04-19 CN CN201980039653.1A patent/CN112368833B/zh active Active
- 2019-04-19 EP EP19793883.0A patent/EP3787023B1/en active Active
- 2019-04-19 WO PCT/JP2019/016760 patent/WO2019208415A1/ja not_active Ceased
-
2020
- 2020-10-20 US US17/075,536 patent/US11990495B2/en active Active
-
2022
- 2022-11-02 JP JP2022175968A patent/JP7418095B2/ja active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005268602A (ja) | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Mitsubishi Electric Corp | 位相配線構造 |
| WO2015099140A1 (ja) | 2013-12-27 | 2015-07-02 | 株式会社ニコン | 撮像ユニット及び撮像装置 |
| JP2017037204A (ja) | 2015-08-11 | 2017-02-16 | キヤノン株式会社 | 電子部品実装部への異物混入を防止する構成を有する電子機器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP3787023A1 (en) | 2021-03-03 |
| CN112368833A (zh) | 2021-02-12 |
| EP3787023B1 (en) | 2025-08-27 |
| WO2019208415A1 (ja) | 2019-10-31 |
| US20210036044A1 (en) | 2021-02-04 |
| BR112020021559A2 (pt) | 2021-01-19 |
| CN112368833B (zh) | 2024-05-17 |
| JP2019192884A (ja) | 2019-10-31 |
| JP7418095B2 (ja) | 2024-01-19 |
| EP3787023A4 (en) | 2022-03-09 |
| US11990495B2 (en) | 2024-05-21 |
| JP2022190051A (ja) | 2022-12-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7418095B2 (ja) | 撮像ユニットおよびその製造方法 | |
| JP4405062B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
| CN100541790C (zh) | 固体摄像装置及其制造方法 | |
| US7259438B2 (en) | Solid state imaging device and producing method thereof | |
| JP5730678B2 (ja) | 撮像装置及びこれを用いた電子機器 | |
| EP2790218A1 (en) | Imaging module and imaging unit | |
| JP6357784B2 (ja) | 撮像ユニット及び撮像装置 | |
| CN108464000A (zh) | 立体成像传感器装置以及用于制造在立体成像中使用的图像传感器对的方法 | |
| JPWO2008132980A1 (ja) | 撮像装置の製造方法、撮像装置及び携帯端末 | |
| TWI746620B (zh) | 相機模組、製造方法及電子機器 | |
| TWI861096B (zh) | 影像感測器設備及其製造方法 | |
| JP4583581B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
| CN104902802B (zh) | 内窥镜用摄像单元 | |
| JP6990317B2 (ja) | 撮像ユニット及び撮像装置 | |
| JP2002329849A (ja) | 撮像装置 | |
| TWI543613B (zh) | 影像感測模組 | |
| JP5158895B2 (ja) | 撮像装置 | |
| WO2024009694A1 (ja) | 半導体装置、電子機器および半導体装置の製造方法 | |
| JP7251537B2 (ja) | 撮像ユニット、および撮像装置 | |
| BR112020021559B1 (pt) | Unidade de captura de imagem e método para a fabricação da mesma | |
| US20130106458A1 (en) | Holder for measurement and measurement apparatus | |
| JP6777118B2 (ja) | 撮像ユニット及び撮像装置 | |
| JP2006245359A (ja) | 光電変換装置及びその製造方法 | |
| JP2024074533A (ja) | 電子部品および機器 | |
| JPH1033475A (ja) | 内視鏡用撮像ユニット |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210419 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220329 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220520 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221004 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221102 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7171223 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |