JP7260663B2 - 対基板作業機と清掃方法 - Google Patents

Description

本開示は、電子基板に対して流体を塗布するための供給部材を清掃する対基板作業機と清掃方法に関するものである。

従来、上記の対基板作業機と清掃方法に関し、種々の技術が提案されている。例えば、下記特許文献１に記載の技術は、塗布対象物に対して液体を吐出する液吐出部を有するノズルと、液吐出部に存在する液体の乾燥を防止するための薬液が貯留されると共に上方に開口を有し開口からノズルが挿入可能とされた液溜ケースと、液溜ケースの内部に配置されると共にノズルが液溜ケースに挿入されたときに液吐出部が擦り付けられ液吐出部を清掃するブラシとを備える。

２０１７－７４３５号公報

電子基板に対して流体を塗布するための供給部材を備える対基板作業機において、更に好適に供給部材を清掃することを課題とする。

本明細書は、電子基板の生産に用いられる流体を電子基板へ供給する供給部材と、第１払拭体が設けられる第１支持部と、第２払拭体が設けられる第２支持部と、第１支持部及び第２支持部のうち少なくとも一方を動かすアクチュエータとして使用され、電子基板の生産に用いられるノズルが収納されるノズルストッカを、ノズル取出許容状態又はノズル取出阻止状態に移行する駆動機器と、第１支持部及び第２支持部を駆動機器で近接する状態にすることによって、供給部材を清掃する清掃処理と、を実行する制御部と、を備える対基板作業機を開示する。

本開示によれば、電子基板に対して流体を塗布するための供給部材を備える対基板作業機において、更に好適に供給部材を清掃する。

本実施形態の対基板作業機が表された斜視図である。 吸着ノズルが表された斜視図である。 吸着ノズルが表された斜視図である。 ノズルストッカが表された平面図である。 ノズルストッカが表された側面図である。 シャッタ移動装置が表された側面図である。 同対基板作業機の制御構成を説明するための図である。 清掃ユニットが模式的に表された側面図である。 ニードル、第１払拭体及び第２払拭体が模式的に表された平面図である。 清掃方法を実現するためのフローチャート図である。 清掃ユニットが模式的に表された側面図である。 清掃ユニットが模式的に表された側面図である。 清掃ユニットが模式的に表された側面図である。 ニードル、第１払拭体及び第２払拭体が模式的に表された平面図である。 ニードル、第１払拭体及び第２払拭体が模式的に表された平面図である。 ニードル、第１払拭体及び第２払拭体が模式的に表された平面図である。 ニードル、第１払拭体及び第２払拭体の変更例が模式的に表された平面図である。 清掃方法の実行タイミングが表されたフローチャート図である。 ピン転写ノズルが表された斜視図である。

以下、本開示の好適な実施形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。但し、図面では、構成の一部が省略されて描かれており、描かれた各部の寸法比等は必ずしも正確ではない。更に、図面において、符号Ｄ１は、左右方向であるＸ軸方向を示している。符号Ｄ２は、前後方向であるＹ軸方向を示している。符号Ｄ３は、上下方向であるＺ軸方向を示している。

図１に表されるように、本実施形態では、２個の対基板作業機１６ａ，１６ｂが、共通ベース１４上に隣接して並んだ状態で設置されている。Ｘ軸方向Ｄ１は、各対基板作業機１６ａ，１６ｂが隣接して並んだ方向である。Ｙ軸方向Ｄ２は、Ｘ軸方向Ｄ１と直交する水平方向である。Ｚ軸方向Ｄ３は、Ｘ軸方向Ｄ１、及びＹ軸方向Ｄ２の両方、つまり水平面に対して直交する方向である。従って、Ｘ軸方向Ｄ１、Ｙ軸方向Ｄ２、及びＺ軸方向Ｄ３は、互いに直交している。

各対基板作業機１６ａ，１６ｂは、同じ構成である。以下、各対基板作業機１６ａ，１６ｂを、区別せず総称する場合には、対基板作業機１６と表記する。対基板作業機１６は、対基板作業機本体２０、搬送装置２２、移動装置２４、供給装置２６、ヘッドユニット２８、及びノズルステーション３４等を備えている。

対基板作業機本体２０は、フレーム部３０及びビーム部３２を有している。ビーム部３２は、フレーム部３０の上方に架け渡されている。尚、フレーム部３０の前方側の端部には、テープフィーダ支持台７７が設けられている。

搬送装置２２は、２個のコンベア装置４０，４２、及び基板保持装置４８（図７）を備えている。各コンベア装置４０，４２は、Ｘ軸方向Ｄ１に延び、互いに平行にフレーム部３０に設けられている。各コンベア装置４０，４２は、コンベア用モータ４６（図７）を駆動部等として、各コンベア装置４０，４２に支持される例えばプリント基板等の電子基板４４（図８）をＸ軸方向Ｄ１に搬送する。基板保持装置４８（図７）は、搬送された電子基板４４（図８）を所定の位置において、押し上げて固定する。

移動装置２４は、不図示の、Ｙ軸方向スライド機構、及びＸ軸方向スライド機構等を備えている。Ｙ軸方向スライド機構は、不図示の、Ｙ軸方向Ｄ２に延びる１対のガイドレール、スライダ、及びＹ軸モータ６２（図７）等を有している。ガイドレールは、ビーム部３２に固定されている。スライダは、Ｙ軸モータ６２（図７）の駆動に応じて、ガイドレールに案内されて、Ｙ軸方向Ｄ２の任意の位置に移動する。同様にして、Ｘ軸方向スライド機構は、不図示の、Ｘ軸方向Ｄ１に延びる１対のガイドレール、スライダ５０、及びＸ軸モータ６４（図７）等を有している。Ｘ軸方向スライド機構のガイドレールは、Ｙ軸方向スライド機構のスライダに固定されている。Ｘ軸方向スライド機構のスライダ５０は、Ｘ軸モータ６４（図７）の駆動に応じて、ガイドレールに案内されて、Ｘ軸方向Ｄ１の任意の位置に移動する。Ｘ軸方向スライド機構のスライダ５０には、ヘッドユニット２８が固定されている。

供給装置２６は、フィーダ型の供給装置であり、フレーム部３０の前方側の端部に設けられている。供給装置２６は、複数のテープフィーダ７０を有している。テープフィーダ７０は、テープフィーダ支持台７７に支持されている。テープフィーダ７０は、送出装置７８（図７）等の駆動に応じ、リール７２に巻き付けられたテープ化部品を引き出しつつ開封することによって、電子部品をテープフィーダ７０の下流側に送り出して供給する。

ヘッドユニット２８には、複数種類のヘッドから選択された一のヘッドが交換可能に取り付けられる。複数種類のヘッドには、例えば、実装ヘッド２９や、グルーヘッド（以下、ＧＬヘッドと表記する。）５００（図８）等がある。図１では、実装ヘッド２９が、ヘッドユニット２８に取り付けられている。ヘッドユニット２８は、正負圧供給装置５２（図７）、ノズル昇降装置５４（図７）、及びノズル回転装置５６（図７）等を備えている。これに対して、実装ヘッド２９は、４個の吸着ノズル軸（不図示）等を備えている。尚、ＧＬヘッド５００（図８）については、後述する。

各吸着ノズル軸は、ＸＹ平面（水平面）における形状が略円形形状である実装ヘッド２９の軸に対して、ＸＹ平面（水平面）において均等に配置されている。吸着ノズル軸の下方には、吸着ノズルホルダ（不図示）が固定されている。吸着ノズルホルダは、吸着ノズル２６０（図２，図３）を着脱可能に保持する。また、実装ヘッド２９には、ヘッドユニット２８の正負圧供給装置５２から負圧エアと正圧エアとが供給される供給路が形成されている。これにより、実装ヘッド２９は、負圧エアが供給されることによって、吸着ノズル２６０（図２，図３）にて電子部品５８（図８）を吸着で保持し、僅かな正圧エアが供給されることによって、保持している電子部品５８（図８）を離脱することができる。つまり、実装ヘッド２９は、電子部品５８（図８）を吸着して電子基板４４（図８）に実装することを行うものである。

ノズル昇降装置５４は、上下方向つまりＺ軸方向Ｄ３で、吸着ノズル軸を昇降させる。ノズル回転装置５６は、吸着ノズル軸を、実装ヘッド２９の軸心回りに公転させる。詳しくは、ノズル回転装置５６は、予め決められた停止位置毎に、吸着ノズル軸を間欠回転させる。また、ノズル昇降装置５４は、４個の停止位置の１つである、予め決められた昇降位置にて、吸着ノズル軸を昇降させる。ノズル回転装置５６は、吸着ノズル軸を、その軸心回りに自転させる。これにより、吸着ノズル２６０（図８）は、保持する電子部品５８（図８）の上下方向の位置、及び電子部品５８（図８）の保持姿勢を変更することができる。

ノズルステーション３４は、フレーム部３０上に設けられ、ノズルストッカ６００を有している。ノズルストッカ６００には、複数の吸着ノズル２６０（図２，図３）が収容されている。このノズルステーション３４では、実装ヘッド２９に取り付けられている吸着ノズル２６０（図２，図３）と、ノズルストッカ６００に収容されている吸着ノズル２６０（図２，図３）との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルストッカ６００は、ノズルステーション３４に着脱可能であり、ノズルストッカ６００に収容された吸着ノズル２６０（図２，図３）の回収や、ノズルストッカ６００への吸着ノズル２６０（図２，図３）の補給等を対基板作業機１６の外部において行うことが可能である。

図２及び図３を用いて、吸着ノズル２６０を説明する。吸着ノズル２６０は、胴体筒２６４とフランジ部２６６と吸着管２６８と掛止ピン２７０とによって構成されている。胴体筒２６４は、円筒状をなし、フランジ部２６６は、胴体筒２６４の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管２６８は、細いパイプ状をなし、胴体筒２６４の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒２６４に軸線方向に移動可能に保持されている。掛止ピン２７０は、胴体筒２６４の径方向に延びるように、胴体筒２６４の上端部に設けられている。吸着ノズル２６０は、掛止ピン２７０を利用して、実装ヘッド２９にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。また、実装ヘッド２９には、バネ（図示省略）が内蔵されており、そのバネは、実装ヘッド２９に取り付けられる吸着ノズル２６０の吸着管２６８に、弾性力を付与する。これにより、その吸着管２６８は、実装ヘッド２９に内蔵されたバネの弾性力によって、胴体筒２６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。また、フランジ部２６６の上面には、２Ｄコード２７４が付されている。２Ｄコード２７４には、個別情報として、吸着ノズル２６０のＩＤ（identification ）等が示されている。

対基板作業機１６の実装作業について説明する。電子基板４４（図８）は、コンベア装置４０，４２により所定の位置まで搬送され、基板保持装置４８により固定される。これに対して、移動装置２４は、実装ヘッド２９を供給装置２６まで移動させる。次に、吸着ノズル２６０は、供給装置２６の供給位置まで下降し、電子部品５８（図８）を吸着して保持する。その後、吸着ノズル２６０は、上昇する。尚、実装ヘッド２９は、４個の吸着ノズル軸を有するため、最大４個の電子部品５８（図８）を保持することができる。実装ヘッド２９が複数の電子部品５８（図８）を吸着で保持する際には、吸着ノズル軸の昇降位置への回転と、昇降位置における昇降が繰り返される。次に、移動装置２４は、実装ヘッド２９を電子基板４４（図８）の実装位置の上方まで移動させる。次に、吸着ノズル２６０が、電子基板４４（図８）の近傍位置まで下降し、電子部品５８（図８）を離脱する。電子部品５８（図８）の吸着の場合と同様にして、実装ヘッド２９が複数の電子部品５８（図８）を実装する際には、吸着ノズル軸の昇降位置への回転と、昇降位置における昇降が繰り返される。更に、実装ヘッド２９による、電子部品５８（図８）の吸着から離脱までの１連の作業が繰り返されることによって、電子基板４４（図８）に複数の電子部品５８（図８）が実装される。

次に、図４及び図５を用いて、ノズルストッカ６００を説明する。ノズルストッカ６００は、上記した吸着ノズル２６０のように、電子部品５８（図８）を実装する吸着ノズルを多数、収容可能に構成されている。ノズルストッカ６００は、ノズルストッカ本体ないしノズル収納部材としてのノズル収納台６２０およびノズル取出阻止部材ないしノズル離脱防止部材としてのシャッタ６２２を備えている。

ノズル収納台６２０には、図４に表されるように、複数のノズル収納穴６２４が設けられ、それぞれ吸着ノズル２６０が１個ずつ、取り出し可能に収納される。これらノズル収納穴６２４がそれぞれノズル収納部を構成している。ノズル収納穴６２４は、シャッタ６２２の移動方向（前後方向Ｄ２）と、ノズル収納台６２０の板面に平行な一平面内においてシャッタ移動方向と直交する方向（左右方向Ｄ１）においてそれぞれ、一定ピッチで並ぶ状態で設けられている。これらノズル収納穴６２４はそれぞれ、吸着ノズル２６０のフランジ部２６６を収容し得る大径穴部６２６と吸着管２６８を収容し得る小径穴部６２８とを有する段付穴である。

さらに、ノズルストッカ６００の複数のノズル収納穴６２４のそれぞれについて、ノズル収納穴６２４をノズルストッカ６００において個別に識別する収納部個別識別情報としての収納部個別識別コードが設定され、本実施形態においては、ノズル収納台６２０の上面に、収納穴個別識別コードとしての番号が、全部のノズル収納穴６２４の各々について描かれている。ノズル収納穴６２４に作業者によって吸着ノズル２６０が収納されるとき、ノズル収納位置は、この番号により指示され、作業者は番号を見て吸着ノズル２６０を指定されたノズル収納穴６２４に収納することができる。

続いて、シャッタ６２２を説明する。シャッタ６２２は板状を成し、ノズル収納穴６２４に対応する複数の開口６６０が設けられており、ノズル収納台６２０に、その板面に平行な方向に移動可能に取り付けられている。開口６６０は、ノズル収納穴６２４の大径穴部６２６に対応する大きさの大開口部６６２と、小径穴部６２８に対応する大きさの小開口部６６４とが、その一部が重なった状態で設けられただるま形をなす。

ノズル収納台６２０とシャッタ６２２との間には、付勢装置の一種である弾性部材としての引張コイルスプリング（以後、スプリングと略称する。）６６８が配設され、シャッタ６２２を、図４に表されるようにノズル取出阻止位置に移動する向きに付勢している。シャッタ６２２は、ノズル収納台６２０の上面上から側方へ下ろされた後、ノズル収納台６２０の下方へ曲げ入れられており、その曲げ入れ部６７０にスプリング６６８が設けられている。ノズル取出阻止位置は、小開口部６６４がノズル収納穴６２４上に位置する状態である。この状態では、シャッタ６２２の小開口部６６４を画定する部分が、ノズル収納穴６２４に収容された吸着ノズル２６０のフランジ部２６６に係合し、吸着ノズル２６０がノズルストッカ６００から取り出されることを阻止する。また、大開口部６６２がノズル収納穴６２４上に位置し、シャッタ６２２がノズル取出許容位置に位置する状態では、吸着ノズル２６０をノズルストッカ６００から取り出すことができる。

シャッタ６２２は、ノズルストッカ６００がフレーム部３０のストッカ保持台７６４（図６）上に取り付けられた状態において、フレーム部３０に設けられたシャッタ移動装置７７０（図６）が係合させられて移動させられる。そのため、シャッタ６２２の前記曲げ入れ部６７０には、開口６７４および係合部６７６が設けられ、シャッタ移動装置７７０（図６）が係合させられるようにされている。これら開口６７４および係合部６７６は、スプリング６６８の軸線上に位置する状態で設けられている。

尚、ノズルストッカ６００は、その下方側が、ストッカ保持台７６４（図６）から上方向へ突き出した置決めピン７７４（図８）及び支持部材８２０（図８）等で支持されることによって、フレーム部３０のストッカ保持台７６４（図６）に取り付けられる。

シャッタ６２２のノズル取出阻止位置とノズル取出許容位置との間における移動は、案内装置６８０により案内される。案内装置６８０は、ノズル収納台６２０に立設された案内部材としての複数の案内ピン６８２と、シャッタ６２２に、その移動方向に平行に設けられ、案内ピン６８２に嵌合された被案内部としての複数の長穴６８４とを含んで構成される。案内装置６８０はまた、前記スプリング６６８の付勢によるシャッタ６２２の移動限度を規定する移動限度規定装置としても機能する。案内ピン６８２が長穴６８４の端面に係合することにより、シャッタ６２２の移動限度が規定され、ノズル取出阻止位置に位置する状態に保たれる。ノズルストッカ６００がフレーム部３０のストッカ保持台７６４（図６）から取り外された状態では、スプリング６６８の付勢によりシャッタ６２２がノズル取出阻止位置に位置させられ、ノズル収納台６２０の搬送時に吸着ノズル２６０のノズル収納台６２０からの脱落を防止する役割も果たす。シャッタ６２２は、離脱防止部材でもあるのである。案内装置６８０はさらに、シャッタ６２２のノズル収納台６２０の板面に平行な方向の回転を阻止する回転阻止装置としても機能する。

シャッタ６２２は、その移動方向（前後方向Ｄ２）に平行に設けられた多数の長穴６８８およびノズル収納台６２０に立設された浮き上がり防止部材６９０によってノズル収納台６２０からの浮上がりが防止されている。浮き上がり防止部材６９０は、長穴６８８に相対移動可能に挿通されるとともに、不図示の大径の頭部においてシャッタ６２２の浮き上がりを防止する。これら長穴６８８および浮き上がり防止部材６９０が浮上がり防止装置６９４を構成している。図４では、浮き上がり防止部材が二点鎖線で図示されている。

図６を用いて、シャッタ移動装置７７０を説明する。シャッタ移動装置７７０は、ストッカ保持台７６４に前後方向Ｄ２に設けられた一対のエアシリンダ８００を含む。エアシリンダ８００は、流体圧アクチュエータとしての流体圧シリンダの一種であり、駆動源を構成する。これらエアシリンダ８００は上下方向Ｄ３に並んで設けられ、シリンダハウジング８０２を共用し、各ピストンロッド８０４の先端部にわたって係合部材８０６が上下方向Ｄ３に設けられるとともに、その係合部材８０６の上端部に係合部８０８が設けられている。係合部８０８は、ストッカ保持台７６４の幅方向に長くされ、ノズルストッカの形状，寸法が異なっても、シャッタに係合し得るようにされている。また、係合部８０８のストッカ保持台７６４の前後方向Ｄ２に平行な方向の長さは、前記シャッタ６２２に設けられた開口６７４の前後方向Ｄ２（シャッタ移動方向に平行な方向）の長さよりやや短くされ、係合部８０８が前後方向Ｄ２に隙間を残して開口６７４に嵌合された状態となるようにされている。また、係合部８０８の前部には、前方ほど下方へ傾斜させられた傾斜面８１０が設けられている。

係合部材８０６は、ノズルストッカ６００がフレーム部３０のストッカ保持台７６４に取り付けられるとき、係合部８０８においてシャッタ６２２の開口６７４に嵌合され、ピストンロッド８０４の伸縮により、シャッタ６２２が移動させられる。シャッタ６２２は、ピストンロッド８０４の収縮によりノズル取出許容位置へ移動させられて開かれ、伸長によりノズル取出阻止位置へ移動させられて閉じられるのであり、ピストンロッド８０４の収縮端は、係合部材８０６が、シリンダハウジング８０２に突設されたストッパ８１２に当接することにより規定され、伸長端はピストンのストロークエンドにより規定される。ストッパ８１２は、本実施形態においてはアジャストボルトにより構成され、ピストンロッド８０４の収縮端であって、係合部材８０６の後退端位置が調節可能とされている。

ノズルストッカ６００がフレーム部３０のストッカ保持台７６４に取り付けられるとき、ピストンロッド８０４は伸長端位置であって、係合待機位置に位置し、ノズルストッカ６００のストッカ保持台７６４への取付けによって係合部８０８が開口６７４に嵌合される。その状態でピストンロッド８０４が収縮させられれば、シャッタ６２２がスプリング６６８の付勢力に抗して移動させられ、ノズル取出許容位置へ移動させられる。シャッタ６２２の移動は案内装置６８０により案内されるが、案内ピン６８２が長穴６８４の端面に係合する前に係合部材８０６がストッパ８１２に当接してシャッタ６２２の移動が止められるとともに、ノズル取出許容位置に位置させられる。

ピストンロッド８０４が伸長させられれば、シャッタ６２２はスプリング６６８の付勢により係合部材８０６に追従させられ、ノズル取出阻止位置へ移動させられる。そして、ピストンロッド８０４がストロークエンドに到達する前に、案内ピン６８２が長穴６８４の端面に係合してシャッタ６２２がノズル取出阻止位置において停止させられ、その状態からピストンロッド８０４が更に僅かに伸長させられてストロークエンドに至り、係合部８０８は開口６７４内の、シャッタ移動方向の両側において隙間を残して嵌合された位置に位置する状態に保たれる。この位置が前記係合待機位置である。エアシリンダ８００には圧縮エアが供給され続け、ノズルストッカ６００がストッカ保持台７６４から取り外されても、係合部材８０６は係合待機位置に位置する状態に保たれ、次にノズルストッカ６００がストッカ保持台７６４に取り付けられるとき、係合部８０８が開口６７４に嵌合される。

図７を用いて、対基板作業機１６の制御システム構成について説明する。対基板作業機１６は、上記した構成の他に、制御装置１４０等を備えている。制御装置１４０は、ＣＰＵ１４１、ＲＡＭ１４２、及びＲＯＭ１４３等を有している。ＣＰＵ１４１は、ＲＯＭ１４３に記憶されている各種のプログラムを実行することによって、電気的に接続されている各部を制御する。ここで、各部とは、搬送装置２２、移動装置２４、ヘッドユニット２８、供給装置２６、及びシャッタ移動装置７７０等である。ＲＡＭ１４２は、ＣＰＵ１４１が各種の処理を実行するための主記憶装置として用いられる。ＲＯＭ１４３には、制御プログラム、及び各種のデータ等が記憶されている。

搬送装置２２は、上記した構成の他に、コンベア用モータ４６を駆動する駆動回路１３２、及び基板保持装置４８を駆動する駆動回路１３３等を有している。移動装置２４は、上記した構成の他に、Ｘ軸モータ６４を駆動する駆動回路１３４、及びＹ軸モータ６２を駆動する駆動回路１３５等を有している。

ヘッドユニット２８は、上記した構成の他に、正負圧供給装置５２を駆動する駆動回路１３６、ノズル昇降装置５４を駆動する駆動回路１３７、及びノズル回転装置５６を駆動する駆動回路１３８等を有している。供給装置２６は、上記した構成の他に、送出装置７８を駆動する駆動回路１３１等を有している。シャッタ移動装置７７０は、上記した構成の他に、エアシリンダ８００を駆動する駆動回路１３９等を有している。

このような制御システム構成によって、対基板作業機１６では、サーボ制御が行われている。サーボ制御では、制御装置１４０がコントローラとして機能し、各駆動回路１３１，１３２，１３３，１３４，１３５，１３６，１３７，１３８がサーボアンプとして機能する。よって、コンベア用モータ４６、Ｙ軸モータ６２、及びＸ軸モータ６４には、サーボモータが使用されている。更に、基板保持装置４８、正負圧供給装置５２、ノズル昇降装置５４、ノズル回転装置５６、及び送出装置７８では、サーボモータが、サーボ制御の駆動部及び検出部として使用されている。

図８に表されるように、対基板作業機１６では、実装ヘッド２９がヘッドユニット２８に取り付けられた場合、上述したようにして、吸着ノズル２６０に保持された電子部品５８が電子基板４４に実装される。尚、図８では、模式的に表すため、実装ヘッド２９に保持された４個の吸着ノズル２６０のうち、１個の吸着ノズル２６０が示されている。

これに対して、実装ヘッド２９にＧＬヘッド５００が取り付けられた場合、ＧＬヘッド５００に設けられたニードル９００の先端から接着剤９０２が押し出される。そのために、ＧＬヘッド５００には、ニードル９００に連通すると共に接着剤９０２が収容されたバレル（不図示）が内蔵されており、そのバレル（不図示）に対して、正圧エアがヘッドユニット２８の正負圧供給装置５２から供給される。これにより、対基板作業機１６は、電子基板４４に対し、接着剤９０２を塗布する作業（以下、塗布作業と略称する。）を実施することが可能である。

但し、ニードル９００の先端外周等に接着剤９０２が付着していると、電子基板４４に塗布された接着剤９０２の形が崩れたり、電子基板４４上の塗布点以外に接着剤９０２が付着する虞がある。そこで、対基板作業機１６は、ニードル９００の先端外周等に付着した接着剤９０２を除去するための、清掃ユニット９１０を有している。

清掃ユニット９１０は、上記したノズルストッカ６００に代えて、フレーム部３０のストッカ保持台７６４に取り付けられるものである。従って、上記したノズルストッカ６００と同様にして、清掃ユニット９１０は、その下方側が、ストッカ保持台７６４から上方向へ突き出した置決めピン７７４及び支持部材８２０等で支持されることによって、フレーム部３０のストッカ保持台７６４に取り付けられる。

清掃ユニット９１０は、本体９１２、ガイドレール９１４、スライダ９１６、及びガイド板９１８等を備えている。ガイドレール９１４は、平面視で略直方体状の本体９１２の上面において、前後方向Ｄ２に沿って設けられている。スライダ９１６は、ガイドレール９１４上をスライド可能に装着されている。ガイド板９１８は、スライダ９１６の左面に固定され、本体９１２の左側を経て、本体９１２よりも下側まで延びている。

ガイド板９１８の下端には、開口部９２０が形成されている。開口部９２０は、その前後方向Ｄ２における長さが、シャッタ移動装置７７０の係合部８０８の前後方向Ｄ２における長さよりも、やや短くされる。清掃ユニット９１０がフレーム部３０のストッカ保持台７６４に取り付けられると、開口部９２０には、上記したノズル取出阻止位置にある係合部８０８が、前後方向Ｄ２に隙間を残して嵌合される。

更に、清掃ユニット９１０は、前後方向Ｄ２で対向する、第１支持部９２２及び第２支持部９２４を備えている。第１支持部９２２は、本体９１２の上面において、ガイドレール９１４の後端に接した状態で、上方向へ突き出すように設けられている。第２支持部９２４は、スライダ９１６の上面において、上方向へ突き出すように設けられている。従って、シャッタ移動装置７７０の係合部８０８が、上記したノズル取出阻止位置からノズル取出許容位置に移動すると、スライダ９１６に設けられた第２支持部９２４は、後方向へ移動して、第１支持部９２２に近接する。

第１支持部９２２には、第２支持部９２４と対向する前面において、第１払拭体９２６が設けられている。第２支持部９２４には、第１支持部９２２と対向する後面において、第２払拭体９２８が設けられている。第１払拭体９２６及び第２払拭体９２８は、接着剤９０２を吸収し易い、例えばスポンジ等の柔らかい素材からなる。

図９に表されるように、第２払拭体９２８には、第１払拭体９２６に対向する側面において、後述する下限位置にあるニードル９００よりも右方及び左方に、平面視で三角形状の一対の突出部９３０ａ，９３０ｂが形成されている。一対の突出部９３０ａ，９３０ｂは、第１払拭体９２６に向かって突出している。一対の突出部９３０ａ，９３０ｂの間には、第１払拭体９２６に対向する第２払拭体９２８の平面９２９が形成されている。第２払拭体９２８の平面９２９は、その右方側と左方側において、一方の突出部９３０ａの左方側の傾斜面９３２ａと他方の突出部９３０ｂの右方側の傾斜面９３２ｂとに連なっている。一方の突出部９３０ａの左方側の傾斜面９３２ａは、右方へ向かうに連れて、後方（ニードル９００）へ向かうものである。他方の突出部９３０ｂの右方側の傾斜面９３２ｂは、左方へ向かうに連れて、後方（ニードル９００）へ向かうものである。

尚、一対の突出部９３０ａ，９３０ｂは、第１払拭体９２６に設けられてもよい。この場合、一対の突出部９３０ａ，９３０ｂは、第１払拭体９２６において、第２払拭体９２８に対向する側面に設けられる。あるいは、一対の突出部９３０ａ，９３０ｂのうち、一方を第２払拭体９２８に設け、他方を第１払拭体９２６に設けてもよい。以下、一対の突出部９３０ａ，９３０ｂを、区別せず総称する場合には、突出部９３０と表記する。

図１０のフローチャートで表される清掃方法１０の制御プログラムは、制御装置１４０のＲＯＭ１４３に記憶されており、対基板作業機１６において、ニードル９００の先端外周等に付着した接着剤９０２を除去する際、制御装置１４０のＣＰＵ１４１により実行される。以下、図１０のフローチャートで表される制御プログラムを、図１１乃至図１６に表される具体例を参照しながら説明する。清掃方法１０が実行されると、先ず、清掃処理Ｓ１０が行われる。

清掃処理Ｓ１０は、押付処理Ｓ１２、近接処理Ｓ１４、挟込処理Ｓ１６、及び回転処理Ｓ１８で構成される。押付処理Ｓ１２では、図１１に表されるように、ニードル９００の先端外周を、第１払拭体９２６に押し付ける。そのために、ホームポジションにあるニードル９００は、その先端が前後方向Ｄ２における第１払拭体９２６と第２払拭体９２８との中間にある下限位置にまで下降して移動させられた後、第１払拭体９２６に押し付けられるまで、後方向へ移動させられる。これにより、図１１及び図１４に表されるように、ニードル９００の先端外周の後方部分が、第１払拭体９２６と接触する。

近接処理Ｓ１４では、図１２に表されるように、第２支持部９２４を、後方向へ移動させることによって、第１支持部９２２に近接させる。そのために、シャッタ移動装置７７０の係合部８０８を、エアシリンダ８００によって、上記したノズル取出阻止位置からノズル取出許容位置に移動させる。これにより、挟込処理Ｓ１６では、図１２及び図１５に表されるように、ニードル９００の先端外周の全域が、第１払拭体９２６と第２払拭体９２８とに挟み込まれる。

その際、第２払拭体９２８の平面９２９と、一方の突出部９３０ａの左方側の傾斜面９３２ａと、他方の突出部９３０ｂの右方側の傾斜面９３２ｂとが、ニードル９００の先端外周の前方部分を取り囲むようにして接触する。これにより、突出部９３０は、第１払拭体９２６及び第２払拭体９２８に対向しないニードル９００の領域に接する。

回転処理Ｓ１８では、図１６に表されるように、例えば、平面視の時計回りで、ニードル９００を、その軸９３４回りに回転させる。そのようなニードル９００の回転は、ＧＬヘッド５００が取り付けられたヘッドユニット２８のノズル回転装置５６によって行われる。

復帰処理Ｓ２０では、ニードル９００がホームポジションに戻される。そのためには、先ず、ニードル９００の回転を停止させる。次に、図１３に表されるように、ニードル９００を、上昇させながら、ホームポジションに戻す。これにより、ニードル９００が第１払拭体９２６と第２払拭体９２８と間から引き抜かれ、ニードル９００の先端外周等に付着した接着剤９０２が除去される。尚、ニードル９００は、回転させながら、上昇させてもよい。その後は、シャッタ移動装置７７０の係合部８０８を、エアシリンダ８００によって、上記したノズル取出許容位置からノズル取出阻止位置に移動させる。これにより、第１払拭体９２６と第２払拭体９２８とを離隔させる。

尚、本実施形態では、例えば、図１７に表されるように、ストッパー９３６が連結部９３８を介してニードル９００の右方側に連結されている場合、ニードル９００の先端外周に付着した接着剤９０２に加えて、ストッパー９３６及び連結部９３８等に付着した接着剤を除去することが可能である。以下の説明では、本実施形態と実質的に共通する部分には同一の符号を付し、詳しい説明を省略する。

このような場合、第２払拭体９２８の突出部９３０ａの先端が、上記した下限位置にあるニードル９００とストッパー９３６との間にある連結部９３８に対向する。更に、第１払拭体９２６には、第２払拭体９２８に対向する平面９４２において、下限位置にあるストッパー９３６よりも右方に、平面視で三角形状の突出部９４０が形成される。

このようにすれば、上記した挟込処理Ｓ１６では、ニードル９００の先端外周の全域が、第１払拭体９２６と第２払拭体９２８とに挟み込まれる際において、第２払拭体９２８の突出部９３０ａの先端が、ストッパー９３６とニードル９００との間に入り込む。これにより、第２払拭体９２８の突出部９３０ａは、ストッパー９３６、ニードル９００、及び連結部９３８に接触する。更に、ストッパー９３６は、第１払拭体９２６の平面９４２と、第１払拭体９２６の突出部９４０の左方側の傾斜面９４４と、第２払拭体９２８の突出部９３０ａの右方側の傾斜面９３２ｃとに取り囲まれるようにして接触する。第１払拭体９２６の突出部９４０の左方側の傾斜面９４４は、右方へ向かうに連れて、前方（ストッパー９３６）へ向かうものである。第２払拭体９２８の突出部９３０ａの右方側の傾斜面９３２ｃは、左方へ向かうに連れて、後方（ストッパー９３６）へ向かうものである。

尚、ストッパー９３６は、塗布作業において、ストッパー９３６の下端が電子基板４４に突き当たることによって、ニードル９００の先端と電子基板４４との間を一定間隔に保つものである。

次に、上記した清掃方法１０の実行タイミングについて説明する。上記した清掃方法１０は、塗布作業が行われる際に実行される。そこで、先ず、図１８を用いて、塗布作業の概略を説明する。尚、図１８のフローチャートで表される制御プログラムは、制御装置１４０のＲＯＭ１４３に記憶されており、対基板作業機１６において、塗布作業を行う際、制御装置１４０のＣＰＵ１４１により実行される。

開始処理Ｓ３０では、不図示の開始ボタンがオペレータによって押下される。これにより、塗布作業が開始される。較正処理Ｓ３２では、ニードル９００が取り付けられたＧＬヘッド５００に対するキャリブレーションが行われる。ここで、較正処理Ｓ３２のキャリブレーションがＮＧの場合（Ｓ３４：ＮＯ）、条件見直し処理Ｓ３６が行われる。条件見直し処理Ｓ３６では、塗布作業の条件見直しや、ＧＬヘッド５００の清掃等がオペレータによって行われる。その後は、開始処理Ｓ３０が、繰り返し行われる。これに対して、較正処理Ｓ３２のキャリブレーションがＯＫの場合（Ｓ３４：ＹＥＳ）、生産処理Ｓ３８が行われる。生産処理Ｓ３８では、ＧＬヘッド５００に取り付けられたニードル９００を用いて、電子基板４４に対して接着剤９０２が塗布される。接着剤９０２が塗布された電子基板４４の枚数が、予定枚数に到達すると、図１８のフローチャートで表される制御プログラムは、終了する。

このようにして行われる塗布作業において、上記した清掃方法１０は、例えば、条件見直し処理Ｓ３６と開始処理Ｓ３０との間のタイミングＴ１で行われてもよいし、判定処理Ｓ３４と生産処理Ｓ３８との間のタイミングＴ２で行われてもよいし、生産処理Ｓ３８中において、一定枚数の電子基板４４に対して接着剤９０２が塗布される毎に行われてもよい（タイミングＴ３）。

尚、上記した清掃方法１０は、ＧＬヘッド５００内のエア抜きが実行された直後のタイミングで行われてもよいし、オペレータの指示による任意のタイミングで行われてもよい。

以上詳細に説明したように、本実施形態は、電子基板４４に対して接着剤９０２を塗布するためのニードル９００を備える対基板作業機１６において、第１払拭体９２６及び第２払拭体９２８が設けられた第１支持部９２２及び第２支持部９２４を近接させることによって、ニードル９００の先端外周等から接着剤９０２を除去するので、更に好適にニードル９００を清掃する。

ちなみに、本実施形態において、吸着ノズル２６０は、ノズルの一例である。係合部８０８がノズル取出阻止位置にあるときのノズルストッカ６００の状態は、ノズル取出阻止状態の一例である。係合部８０８がノズル取出許容位置にあるときのノズルストッカ６００の状態は、ノズル取出許容状態の一例である。エアシリンダ８００は、アクチュエータ及び駆動機器の一例である。ニードル９００は、供給部材の一例である。ニードル９００の軸９３４は、供給部材の軸の一例である。清掃処理Ｓ１０内の近接処理Ｓ１４は、清掃処理及び清掃工程の一例である。

また、本開示の対基板作業機は、
前記第１払拭体又は前記第２払拭体に設けられ、前記ニードルと接触する少なくとも３つの面を備えるものである。

この場合、第２払拭体９２８の平面９２９と、一方の突出部９３０ａの左方側の傾斜面９３２ａと、他方の突出部９３０ｂの右方側の傾斜面９３２ｂは、３つ面の一例である。また、第１払拭体９２６の平面９４２と、第１払拭体９２６の突出部９４０の左方側の傾斜面９４４と、第２払拭体９２８の突出部９３０ａの右方側の傾斜面９３２ｃは、３つ面の一例である。

尚、本開示は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、実装ヘッド２９に対し、上記した吸着ノズル２６０に代えて、電子基板４４に半田を転写する転写ピンが保持されてもよい。このような場合、例えば、図１９に表されるピン転写ノズル９５０が、実装ヘッド２９に保持される。

ピン転写ノズル９５０は、ホルダ吸着部９５２、フランジ部９５４、連結部９５６、及び多数の転写ピン９５８等を備えている。ホルダ吸着部９５２は、円板状を呈している。ホルダ吸着部９５２は、実装ヘッド２９に吸着される。フランジ部９５４は、ホルダ吸着部９５２より小径の円板状を呈している。フランジ部９５４は、ホルダ吸着部９５２の下方に配置されている。連結部９５６は、上下方向Ｄ３に長い円柱状を呈している。連結部９５６は、ホルダ吸着部９５２とフランジ部９５４とを連結している。多数の転写ピン９５８は、フランジ部９５４の下面に配置されている。多数の転写ピン９５８は、電子基板４４のランドパターンと鏡対称に配置されている。不図示のディップ装置により、多数の転写ピン９５８の先端には、転写用の半田９６０が付着される。

このような場合でも、清掃ユニット９１０は、第１払拭体９２６及び第２払拭体９２８が設けられた第１支持部９２２及び第２支持部９２４を近接させることによって、多数の転写ピン９５８の先端外周等に付着された半田９６０を除去し、更に好適に多数の転写ピン９５８を清掃することが可能である。

ちなみに、多数の転写ピン９５８は、供給部材の一例である。半田９６０は、流体の一例である。

また、清掃という概念には、液体を利用して清掃する洗浄が含まれる。

１０：清掃方法、１６：対基板作業機、４４：電子基板、１４０：制御装置、２６０：吸着ノズル、６００：ノズルストッカ、８００：エアシリンダ、９００：ニードル、９０２：接着剤、９２２：第１支持部、９２４：第２支持部、９２６：第１払拭体、９２８：第２払拭体、９２９：第２払拭体の平面、９３０：第２払拭体の突出部、９３２ａ：一方の突出部の左方側の傾斜面、９３２ｂ：他方の突出部の右方側の傾斜面、９３２ｃ：一方の突出部の右方側の傾斜面、９３４：ニードルの軸、９４２：第１払拭体の平面、９４４：第１払拭体の突出部の左方側の傾斜面、９５８：転写ピン、９６０：半田、Ｓ１０：清掃処理、Ｓ１２：押付処理、Ｓ１４：近接処理、Ｓ１６：挟込処理、Ｓ１８：回転処理

Claims (6)

1. 電子基板の生産に用いられる流体を前記電子基板へ供給する供給部材と、
   第１払拭体が設けられる第１支持部と、
   第２払拭体が設けられる第２支持部と、
   前記第１支持部及び第２支持部のうち少なくとも一方を動かすアクチュエータとして使用され、前記電子基板の生産に用いられるノズルが収納されるノズルストッカを、ノズル取出許容状態又はノズル取出阻止状態に移行する駆動機器と、
   前記第１支持部及び第２支持部を前記駆動機器で近接する状態にすることによって、前記供給部材を清掃する清掃処理と、を実行する制御部と、
   を備える対基板作業機。
2. 前記清掃処理は、前記供給部材を前記第１払拭体に押し付ける押付処理を含む請求項１に記載の対基板作業機。
3. 前記清掃処理は、前記供給部材を前記第１払拭体と前記第２払拭体とで挟み込む挟込処理を含む請求項１又は請求項２に記載の対基板作業機。
4. 前記清掃処理は、前記供給部材の軸回りに回転させる回転処理を含む請求項３に記載の対基板作業機。
5. 前記第１払拭体及び前記第２払拭体の少なくともいずれか一方には、前記第１払拭体及び前記第２払拭体の少なくともいずれか一方に対向する前記第１払拭体及び前記第２払拭体の少なくともいずれか他方に向かって突出する突出部を備え、
   前記突出部は、前記供給部材の前記第１払拭体及び前記第２払拭体に対向しない領域に接する請求項３又は請求項４に記載の対基板作業機。
6. 電子基板の生産に用いられる流体を前記電子基板へ供給する供給部材と、第１払拭体が設けられる第１支持部と、第２払拭体が設けられる第２支持部と、前記第１支持部及び第２支持部のうち少なくとも一方を動かすアクチュエータとして使用され、前記電子基板の生産に用いられるノズルが収納されるノズルストッカを、ノズル取出許容状態又はノズル取出阻止状態に移行する駆動機器と、を備える対基板作業機において、前記供給部材から前記流体を拭き取る清掃方法であって、
   前記第１支持部及び第２支持部を前記駆動機器で近接する状態にすることによって、前記供給部材を清掃する清掃工程を備える清掃方法。

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