JP7327183B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Description

本発明は、ターボ分子ポンプに関する。

半導体装置や液晶表示パネルの製造工程では、ＣＶＤ装置などのプロセスチャンバ内において、絶縁膜、金属膜、半導体膜等の成膜や、エッチング等の処理を行う。プロセスチャンバの真空排気には、例えば、ターボ分子ポンプが用いられる。ターボ分子ポンプは、プロセスチャンバの真空排気だけでなく、プロセスチャンバ内のプロセスガスの排気にも使用される。プロセスガスを排気すると、プロセスガスに起因する生成物がターボ分子ポンプの排気経路に堆積しやすい。そのような生成物の堆積を防止するために、ターボ分子ポンプのベース部等の外周にヒータを設けてベース温度を昇温することが知られている（例えば、特許文献１参照）。

生成物の昇華温度は、真空度が低くなるほど、すなわち、圧力が高くなるほど高くなり、ターボ分子ポンプの吸気側よりも排気側に生成物が堆積しやすい。プロセスチャンバの排気に用いられるターボ分子ポンプは、一般に、タービン翼を備えたターボポンプ部と、ネジ溝ポンプのような中間流領域における排気に効果的なポンプ部とを備えている。特許文献１のターボ分子ポンプでは、ベース部外周にヒータを設けてベース温度を昇温することにより、排気側に設けられたネジ溝ポンプへの生成物堆積を低減するようにしている。

特開２０１９－２１８８７６号公報

しかしながら、生成物の堆積はネジ溝ポンプ部だけでなく、ターボポンプ部のネジ溝ポンプ部に近いステータ翼にも生じやすく、生成物堆積によるステータ翼とロータ翼との接触という問題が生じるおそれがあった。

本発明の第１の態様によるターボ分子ポンプは、ロータ軸方向に配置された複数段のロータ翼および前記複数段のロータ翼の排気下流側に配置される円筒ロータが形成されたポンプロータと、排気口が設けられるベース部と、前記複数段のロータ翼に対してロータ軸方向に交互に配置され、前記複数段のロータ翼と共にターボポンプ部を構成する複数段のステータ翼と、前記複数段のステータ翼をそれぞれ挟持し、挟持した前記複数段のステータ翼を前記ベース部において前記ターボポンプ部と対向する部分に位置決め配置する複数のスペーサリングと、前記円筒ロータの外周側に所定隙間を介して配置され、前記ベース部において前記ターボポンプ部と対向する部分に固定される円筒ステータと、前記ベース部において前記ターボポンプ部と対向する部分に配置され、前記円筒ステータおよび前記ステータ翼を加熱するヒータと、を備える。
本発明の第２の態様によるターボ分子ポンプは、ロータ軸方向に配置された複数段のロータ翼および前記複数段のロータ翼の排気下流側に配置される円筒ロータが形成されたポンプロータと、排気口が設けられるベース部と、前記複数段のロータ翼に対してロータ軸方向に交互に配置される複数段のステータ翼と、前記複数段のステータ翼をそれぞれ挟持し、挟持した前記複数段のステータ翼を前記ベース部に位置決め配置する複数のスペーサリングと、前記円筒ロータの外周側に所定隙間を介して配置され、前記ベース部に固定される円筒ステータと、前記円筒ステータおよび前記複数段のステータ翼の内の前記ベース部に最も近い最下段のステータ翼を加熱するヒータと、を備え、前記複数段のロータ翼は、表面が第１放射率であるロータ翼と、表面が前記第１放射率よりも小さな第２放射率であるロータ翼とを含み、前記複数段のロータ翼の内、前記ベース部に最も近い最下段のロータ翼を含む１段以上のロータ翼は、前記第２放射率に設定されている。

本発明によれば、ロータ翼への生成物堆積の低減を図ることができる。

図１は、ターボ分子ポンプの概略構成を示す断面図である。 図２は、ロータ翼の一例を示す平面図である。 図３は、ステータ翼の一例を示す平面図である。 図４は、図１のターボポンプ部とネジ溝ポンプ部の一部分を拡大して示した図である。 図５は、ポンプロータの各表面の放射率を説明する図である。 図６は、黒色ニッケルメッキ層の構造を示す模式図である。 図７は、放射率構成の第１の変形例を示す図である。 図８は、放射率構成の第２の変形例を示す図である。

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図１は、実施の形態におけるターボ分子ポンプ１の概略構成を示す断面図である。図１に示すターボ分子ポンプ１は磁気軸受式のターボ分子ポンプであり、回転体Ｒは磁気軸受により磁気浮上支持される。なお、本発明は、磁気軸受式以外のターボ分子ポンプにも同様に適用することができる。

回転体Ｒは、ポンプロータ２と、ポンプロータ２に締結されたロータシャフト３とを備えている。ポンプロータ２には、ターボポンプ部２Ａを構成する複数段のロータ翼２０ａ～２０ｄと、ターボポンプ部２Ａの排気下流側のネジ溝ポンプ部２Ｂを構成する円筒ロータ２１とが形成されている。一方、ポンプロータ２の周囲には、ターボポンプ部２Ａを構成する複数段のステータ翼２２ａ，２２ｂと、ネジ溝ポンプ部２Ｂを構成する円筒ステータ２３とが設けられている。ネジ溝ポンプ部２Ｂにおいては、円筒ステータ２３の内周面または円筒ロータ２１の外周面にネジ溝が形成されている。

複数段のステータ翼２２ａ，２２ｂは複数のスペーサリング２４ａ～２４ｄによりポンプベース４上に位置決めされ、複数段のロータ翼２０ａ～２０ｄに対してロータ軸方向に交互に配置される。円筒ステータ２３は、円筒ロータ２１の外周側に所定隙間を介して配置され、ポンプベース４に固定される。図２，３は、ロータ翼２０ａおよびステータ翼２２ａの平面図を示したものである。ロータ翼２０ａには、複数のブレード２００が放射状に形成されている。図３に示すように、ステータ翼２２ａはロータ翼間に配置可能なように２つに分割されている。ステータ翼２２ａには、半リング状の内側リブ部２０１の外径側に複数のブレード２０２が放射状に形成されている。

図１に示すように、ロータシャフト３は、ポンプベース４に設けられたラジアル磁気軸受６Ａ，６Ｂとアキシャル磁気軸受６Ｃとによって磁気浮上支持され、モータ７により回転駆動される。各磁気軸受６Ａ～６Ｃは電磁石と変位センサとを備えおり、変位センサによりロータシャフト３の浮上位置が検出される。ロータシャフト３の回転数は回転数センサ８により検出される。磁気軸受６Ａ～６Ｃが作動していない場合には、ロータシャフト３は非常用のメカニカルベアリング９Ａ，９Ｂｂによって支持される。

ポンプベース４は、排気口４１が形成されたベース部４ａと、モータ７等が設けられるモータハウジング部４ｂとを備えている。上述した円筒ステータ２３は、ベース部４ａに固定されている。吸気口１０ａが形成されたポンプケーシング１０は、ポンプベース４のベース部４ａにボルト固定される。排気口４１には排気ポート４２が設けられ、この排気ポート４２に補助ポンプ（不図示）が接続される。ポンプロータ２が締結されたロータシャフト３をモータ７により高速回転すると、吸気口１０ａ側の気体分子が排気ポート４２側へと排気される。なお、ポンプベース４において、ベース部４ａとモータハウジング部４ｂとは図１に示すように一体構成とされても良いし、別体構成とされても良い。ベース部４ａには、円筒ステータ２３とステータ翼２２ｂを加熱するためのヒータ５が設けられている。

図４は、図１のターボポンプ部２Ａとネジ溝ポンプ部２Ｂの一部分を拡大して示した図である。図４に示すように、ターボポンプ部２Ａは、８段のロータ翼２０ａ～２０ｄと７段のステータ翼２２ａ，２２ｂとで構成されている。ロータ翼およびステータ翼の各段数については一例を示したものであり、図４に示す段数に限定されない。

８段のロータ翼は、翼構成の異なる４種類のロータ翼２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄで構成されている。ロータ翼２０ａ，２０ｂ，２０ｃは１段ずつ設けられ、ロータ翼２０ａは５段設けられている。７段のステータ翼は、翼構成の異なる２種類のステータ翼２２ａ，２２ｂで構成されている。ステータ翼２２ａは２段設けられ、ステータ翼２２ｂは５段設けられている。一般に、ポンプロータ２やステータ翼２２ａ，２２ｂはアルミ合金で形成され、スペーサリング２４ａ～２４ｄはアルミ合金やステンレス等で形成される。アルミ合金を用いる場合には、耐食性の観点からメッキ等の耐食処理が施される場合が多い。

７段のステータ翼２２ａ，２２ｂは、８段のスペーサリング２４ａ～２４ｄにより挟持されている。８段のスペーサリング２４ａ～２４ｄで挟持された複数段のステータ翼２２ａ，２２ｂは、ベース部４ａ上に載置される。ベース部４ａにおいてターボポンプ部２Ａと対向する部分、すなわち、ベース部４ａにおいてターボポンプ部２Ａ側に面する表面が形成された部分には、リング状の係合部４３が形成されている。最も排気下流側に配置される最下段のスペーサリング２４ｄは、係合部４３の外周と係合することで、ベース部４ａ上に位置決め配置される。その結果、複数段のロータ翼２０ａ～２０ｄに対して、複数段のステータ翼２２ａ～２２ｂが適切な位置に配置される。

円筒ステータ２３にはフランジ状の固定部２３ａが形成されており、その固定部２３ａを、ベース部４ａにおいてターボポンプ部２Ａと対向する部分にボルト４５により固定する。ベース部４ａにおいて、ターボポンプ部２Ａ（最下段ロータ翼２０ｄ）と対向する部分（ベース部４ａの上面）には、加熱用のヒータ５が設けられている。ヒータ５は、ベース部４ａにおいてターボポンプ部２Ａと対向する部分の、円筒ステータ２３の固定部と最下段のスペーサリング２４ｄの係合部との間、すなわち、円筒ステータ２３が固定される部分の外周側の部分に配置される。ヒータ５は、例えば円環形状に形成されているが、これに限定されない。

上述したように、円筒ステータ２３および下流側のステータ翼２２ｂ（特に、最も排気下流側に配置される最下段のステータ翼２２ｂ）には生成物が堆積しやすい。なお、ポンプロータ２は、ガス排気に伴って生じる熱等により温度が上昇し、さらに磁気浮上支持されているのでポンプロータ２の熱が周囲に逃げにくい。そのため、ロータ側（ロータ翼２０ａ～２０ｄおよび円筒ロータ２１）の温度は、ヒータ５を使用しない場合のステータ側（ステータ翼２２ａ～２２ｂおよび円筒ステータ２３）に比べて高温となり、ステータ側に比べて生成物堆積が抑えられる。

本実施の形態では、ベース部４ａにおいてターボポンプ部２Ａと対向する部分に、円筒ステータ２３が固定されるとともに、複数のスペーサリング２４ａ～２４ｄにより挟持された複数のステータ翼２２ａ～２２ｂが積層して載置されている。そして、ベース部４ａにおいてターボポンプ部２Ａと対向する部分に配置したヒータ５によって、ベース部４ａを加熱するようにした。ヒータ５によりベース部４ａのターボポンプ部２Ａと対向する部分を加熱すると、ヒータ５が配置されたベース部分が加熱昇温されて、その加熱された部分から固定部２３ａを通って円筒ステータ２３へと熱が移動する。同様に、加熱された部分から最下段のスペーサリング２４ｄを介して最下段のステータ翼２２ｂへと熱が移動する。

ヒータ５をベース部４ａにおいてターボポンプ部２Ａと対向する部分に配置することで、ヒータ５から円筒ステータ２３および最下段のステータ翼２２ｂまでの熱伝達経路が非常に短くなり、円筒ステータ２３および最下段のステータ翼２２ｂを効果的に加熱することができる。例えば、図４の破線で示すようにヒータ５０をベース部４ａの外周面に配置する構成の場合に比べて、ヒータ５から円筒ステータ２３および最下段のステータ翼２２ｂまでの熱伝達経路がより短くなる。その結果、円筒ステータ２３およびステータ翼２２ｂの温度をより高温まで昇温させることができ、円筒ステータ２３および最下段のステータ翼２２ｂへの生成物堆積をより効果的に低減することができる。

ところで、ヒータ５でベース部４ａを加熱すると、最下段のステータ翼２２ｂの温度が隣接するロータ翼２０ｄの温度よりも高温になる場合がある。もちろん、ヒータ５０でまたはヒータ５およびヒータ５０の両方でベース部４ａを加熱した場合も、最下段のステータ翼２２ｂの温度が隣接するロータ翼２０ｄの温度よりも高温になる場合がある。そのような場合、高温側のステータ翼２２ｂから低温側のロータ翼２０ｄへの輻射伝熱により、最下段（８段目）のロータ翼２０ｄの温度が上昇することになる。高速回転するポンプロータ２におけるロータ翼２０ｄの温度上昇は、ロータ翼２０ｄの寿命に影響する。そのため、ロータ翼２０ｄの温度は生成物堆積が防止できる範囲内においてより低温に保つのが好ましい。

本実施の形態では、輻射伝熱によりポンプロータ２から周囲の固定側部材であるステータ翼２２ａ～２２ｂ、円筒ステータ２３およびモータハウジング部４ｂ等へ熱を逃がして温度上昇を抑えるために、ポンプロータ２の表面の放射率を、ポンプロータ２の表面に対向する固定側部材の表面の放射率よりも高く設定している。ただし、ヒータ５により円筒ステータ２３や最下段のステータ翼２２ｂを加熱しているので、ステータ側からの輻射伝熱の影響を低減するために、例えば、円筒ロータ２１の外周側の面の放射率、および、最下段（８段目）のロータ翼２０ｄの吸気側および排気側の両面の放射率を、１～７段目のロータ翼の表面の放射率よりも低く設定している。そのように設定することで、ヒータ５による加熱により円筒ステータ２３および最下段のステータ翼２２ｂが高温状態になった場合でも、円筒ステータ２３および最下段のステータ翼２２ｂからポンプロータ２側への輻射伝熱を低減することができる。

図５は、複数段のロータ翼２０ａ～２０ｄおよび円筒ロータ２１が形成されたポンプロータ２、複数段のステータ翼２２ａ，２２ｂおよび円筒ステータ２３の、各表面の放射率を説明する図である。各表面の内、太い実線で示した面は第１の放射率（以下では、高放射率と呼ぶ）とされ、細い実線で示した面は第１の放射率よりも小さな第２の放射率（以下では、低放射率と呼ぶ）とされる。ポンプロータ２に関しては、円筒ロータ２１の外周面、および最下段（８段目）のロータ翼２０ｄの表面を低放射率とし、ポンプロータ２のその他の面は高放射率とした。なお、図５に示す例ではポンプロータ２の内周面を高放射率としたが、低放射率としても良い。また、ステータ翼２２ａ，２２ｂおよび円筒ステータ２３の表面は、全て低放射率としている。ポンプロータ２の太い実線で示した面を高放射率とすることでポンプロータ２からの放熱を向上させて、ポンプロータ２が許容温度を越える温度となるのを防止している。

本実施形態において、特に限定されないが、例えば、高放射率とは放射率が０．７以上を示し、低放射率とは放射率が０．４未満を示す。高放射率とするための方法としては、例えば、黒色ニッケルメッキ（放射率０．７程度）を表面に形成する方法や、アルミニウム合金の母材の表面をアルマイト処理（放射率０．９程度）する方法などがあるが、これらに限定されない。低放射率とするための方法としては、例えば、ニッケルメッキ（放射率０．２程度）を施したり、アルミニウム合金の母材を表面処理なし（酸化面で放射率０．１～０．２程度）で使用することが考えられるが、これらに限定されない。

本実施の形態では、高放射率の表面処理として黒色ニッケルメッキ層を形成し、低放射率の表面処理としてニッケルメッキ（無電解ニッケルメッキ）層を形成した。図６は黒色ニッケルメッキ層の構造を示す模式図である。ポンプロータ２、ステータ翼２２ａ，２２ｂおよび円筒ステータ２３にはアルミニウム合金が用いられており、アルミニウム合金の母材Ｍの表面に無電解メッキ法でＮｉ－Ｐ（ニッケル－リン）３０１層を形成する。次に、Ｎｉ－Ｐ３０１層を下地として、Ｎｉ－Ｐ３０２層を無電解メッキ法により形成する。最後に、Ｎｉ－Ｐ３０２層の表面をエッチング処理して黒色酸化被膜３０３の層を形成する。なお、図６のＮｉ－Ｐ３０２層を省略して、Ｎｉ－Ｐ３０１層に黒色酸化被膜３０３を形成しても良い。

図７，８は、図５に示した放射率構成の変形例を示す図である。図７に示す第１の変形例では、円筒ロータ２１の外周面および最下段のロータ翼２０ｄの表面と、最下段のロータ翼２０ｄに隣接する７段目（下から２段目）のロータ翼２０ｄの表面を低放射率とした。７段目のロータ翼２０ｄの下面は、ヒータ５により加熱される最下段のステータ翼２２ｂの上面と対向している。第１の変形例では、７段目のロータ翼２０ｄの表面を低放射率に設定して、最下段のステータ翼２２ｂから７段目のロータ翼２０ｄへの輻射伝熱を低減することで、７段目のロータ翼２０ｄの温度上昇も低減するようにしている。

図８に示す第２の変形例では、４段目から最下段（８段目）までのロータ翼２０ｄの全てについて、表面を低放射率とした。ヒータ５の加熱によるステータ翼の温度上昇は、ヒータ５に最も近い最下段（８段目）のステータ翼２２ｂが最も大きく、７段目、６段目のようにヒータ５からからの熱伝達経路が長くなるに従って温度上昇は小さくなる。第２の変形例では、８段目のステータ翼２２ｂの温度上昇だけでなく、それよりも上段のステータ翼の温度上昇も考慮して、４段目から８段目までのロータ翼２０ｄの表面を低放射率とした。

上述した例示的な実施の形態および変形例は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

［１］一態様に係るターボ分子ポンプは、ロータ軸方向に配置された複数段のロータ翼および前記複数段のロータ翼の排気下流側に配置される円筒ロータが形成されたポンプロータと、排気口が設けられるベース部と、前記複数段のロータ翼に対してロータ軸方向に交互に配置され、前記複数段のロータ翼と共にターボポンプ部を構成する複数段のステータ翼と、前記複数段のステータ翼をそれぞれ挟持し、挟持した前記複数段のステータ翼を前記ベース部において前記ターボポンプ部と対向する部分に位置決め配置する複数のスペーサリングと、前記円筒ロータの外周側に所定隙間を介して配置され、前記ベース部において前記ターボポンプ部と対向する部分に固定される円筒ステータと、前記ベース部において前記ターボポンプ部と対向する部分に配置され、前記円筒ステータおよび前記ステータ翼を加熱するヒータと、を備える。

図４に示すように、円筒ステータ２３がベース部４ａにおいてターボポンプ部２Ａと対向する部分に固定され、複数のスペーサリング２４ｄにより挟持された複数のステータ翼２２ｂがベース部４ａにおいてターボポンプ部２Ａと対向する部分に積層載置され、ベース部４ａにおいてターボポンプ部２Ａと対向する部分に配置したヒータ５によってベース部４ａを加熱することで、円筒ステータ２３およびステータ翼２２ｂを加熱昇温させるようにした。そのような構成とすることで、ヒータ５から円筒ステータ２３および最下段のステータ翼２２ｂまでの熱伝達経路が非常に短くなり、図４の破線で示すヒータ５０のようにベース部４ａの外周面に配置する構成の場合に比べて、円筒ステータ２３および最下段のステータ翼２２ｂをより高温まで加熱昇温することができる。その結果、円筒ステータ２３および最下段のステータ翼２２ｂへの生成物堆積をより効果的に低減することができる。

［２］上記［１］に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記ヒータは、前記ベース部において前記ターボポンプ部と対向する部分の、前記円筒ステータの固定部が固定される部分と、最下段の前記スペーサリングが係合する部分との間に配置されている。

［３］上記［１］または［２］に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記複数段のロータ翼は、表面が第１放射率であるロータ翼と、表面が前記第１放射率よりも小さな第２放射率であるロータ翼とを含み、前記複数段のロータ翼の内、前記ベース部に最も近い最下段のロータ翼を含む１段以上のロータ翼は、前記第２放射率に設定されている。

図４に示すように、ベース部４ａにおいてターボポンプ部２Ａと対向する部分に配置したヒータ５によって円筒ステータ２３およびステータ翼２２ｂを加熱した場合に、最下段のステータ翼２２ｂの温度が、それに隣接するロータ翼２０ｄの温度よりも高くなることがある。そのような場合であっても、最下段のロータ翼２０ｄを含む１段以上のロータ翼を第２放射率（低放射率）に設定することで、ステータ翼から低放射率に設定されたロータ翼への輻射伝熱が低減され、輻射伝熱によるロータ翼の温度上昇を低減することができる。

なお、図４に示したターボポンプ部２Ａでは、最も下流側はロータ翼２０ｄで構成されているが、さらにもう一段ステータ翼２２ｂを下流側に設けた構成のターボポンプ部２Ａとすることも可能である。そのような場合であっても、最下段のロータ翼を低放射率とすることで、最下段のロータ翼はその下側に配置される最下段のステータ翼からの輻射伝熱による熱流入が低減され、最下段のロータ翼の温度上昇を低減することができる。

［４］一態様に係るターボ分子ポンプは、ロータ軸方向に配置された複数段のロータ翼および前記複数段のロータ翼の排気下流側に配置される円筒ロータが形成されたポンプロータと、排気口が設けられるベース部と、前記複数段のロータ翼に対してロータ軸方向に交互に配置される複数段のステータ翼と、前記複数段のステータ翼をそれぞれ挟持し、挟持した前記複数段のステータ翼を前記ベース部に位置決め配置する複数のスペーサリングと、 前記円筒ロータの外周側に所定隙間を介して配置され、前記ベース部に固定される円筒ステータと、前記円筒ステータおよび前記複数段のステータ翼の内の前記ベース部に最も近い最下段のステータ翼を加熱するヒータと、を備え、前記複数段のロータ翼は、表面が第１放射率であるロータ翼と、表面が前記第１放射率よりも小さな第２放射率であるロータ翼とを含み、前記複数段のロータ翼の内、前記ベース部に最も近い最下段のロータ翼を含む１段以上のロータ翼は、前記第２放射率に設定されている。

ヒータ５により円筒ステータ２３および最下段のステータ翼２２ｂが加熱される構成においては、最下段のステータ翼２２ｂを含む排気下流側のステータ翼への生成物堆積を低減することができる。さらに、加熱により温度上昇したステータ翼からロータ翼への輻射伝熱が大きくなるが、最下段のロータ翼２０ｄを含む１段以上のロータ翼を第２放射率（低放射率）に設定することで、ステータ翼から低放射率に設定されたロータ翼への輻射伝熱が低減され、低放射率に設定されたロータ翼の温度上昇を低減することができる。なお、円筒ステータ２３および最下段のステータ翼２２ｂを加熱するヒータの配置としては、図４のヒータ５のような配置だけでなく、ヒータ５０のようにベース部４ａの外周面に設ける構成や、ヒータ５およびヒータ５０の両方を設ける構成でも良い。

［５］上記［３］または［４］に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記複数段のロータ翼の内、前記ベース部に最も近い最下段のロータ翼および前記最下段のロータ翼に隣接する段のロータ翼は、前記第２放射率に設定されている。図７に示すように、７段目のロータ翼２０ｄの下面は、ヒータ５により加熱される最下段のステータ翼２２ｂの上面と対向している。そのため、７段目のロータ翼２０ｄの表面を低放射率に設定して、最下段のステータ翼２２ｂから７段目のロータ翼２０ｄへの輻射伝熱を低減することにより、７段目のロータ翼２０ｄの温度上昇を低減することができる。

［６］上記［３］から［５］までのいずれかに記載のターボ分子ポンプにおいて、前記第１放射率のロータ翼の表面には黒色ニッケルメッキ層が形成され、前記第２放射率のロータ翼の表面にはニッケルメッキ層が形成されている。このようなメッキ層をロータ翼に形成することにより、各ロータ翼は所望の放射率とされるだけではなく、耐食性にも優れている。

［７］上記［３］から［６］までのいずれかに記載のターボ分子ポンプにおいて、前記第１放射率は、放射率が０．７以上であり、前記第２放射率は、放射率が０．４未満である。

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。

１…ターボ分子ポンプ、２…ポンプロータ、２Ａ…ターボポンプ部、２Ｂ…ネジ溝ポンプ部、４…ポンプベース、４ａ…ベース部、４ｂ…モータハウジング部、５…ヒータ、２０ａ～２０ｄ…ロータ翼、２１…円筒ロータ、２２ａ，２２ｂ…ステータ翼、２３…円筒ステータ、２４ａ～２４ｄ…スペーサリング、４１…排気口、４３…係合部

Claims (7)

1. ロータ軸方向に配置された複数段のロータ翼および前記複数段のロータ翼の排気下流側に配置される円筒ロータが形成されたポンプロータと、
   排気口が設けられるベース部と、
   前記複数段のロータ翼に対してロータ軸方向に交互に配置され、前記複数段のロータ翼と共にターボポンプ部を構成する複数段のステータ翼と、
   前記複数段のステータ翼をそれぞれ挟持し、挟持した前記複数段のステータ翼を前記ベース部において前記ターボポンプ部と対向する部分に位置決め配置する複数のスペーサリングと、
   前記円筒ロータの外周側に所定隙間を介して配置され、前記ベース部において前記ターボポンプ部と対向する部分に固定される円筒ステータと、
   前記ベース部において前記ターボポンプ部と対向する部分に配置され、前記ベース部を加熱することで、前記円筒ステータおよび前記ステータ翼を加熱するヒータと、を備えるターボ分子ポンプ。
2. 請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記ヒータは、前記ベース部において前記ターボポンプ部と対向する部分の、前記円筒ステータの固定部が固定される部分と、最下段の前記スペーサリングが係合する部分との間に配置されている、ターボ分子ポンプ。
3. 請求項１または２に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記複数段のロータ翼は、表面が第１放射率であるロータ翼と、表面が前記第１放射率よりも小さな第２放射率であるロータ翼とを含み、
   前記複数段のロータ翼の内、前記ベース部に最も近い最下段のロータ翼を含む１段以上のロータ翼は、前記第２放射率に設定されている、ターボ分子ポンプ。
4. ロータ軸方向に配置された複数段のロータ翼および前記複数段のロータ翼の排気下流側に配置される円筒ロータが形成されたポンプロータと、
   排気口が設けられるベース部と、
   前記複数段のロータ翼に対してロータ軸方向に交互に配置される複数段のステータ翼と、
   前記複数段のステータ翼をそれぞれ挟持し、挟持した前記複数段のステータ翼を前記ベース部に位置決め配置する複数のスペーサリングと、
   前記円筒ロータの外周側に所定隙間を介して配置され、前記ベース部に固定される円筒ステータと、
   前記ベース部を加熱することで、前記円筒ステータおよび前記複数段のステータ翼の内の前記ベース部に最も近い最下段のステータ翼を加熱するヒータと、を備え、
   前記複数段のロータ翼は、表面が第１放射率であるロータ翼と、表面が前記第１放射率よりも小さな第２放射率であるロータ翼とを含み、
   前記複数段のロータ翼の内、前記ベース部に最も近い最下段のロータ翼を含む１段以上のロータ翼は、前記第２放射率に設定されている、ターボ分子ポンプ。
5. 請求項３または４に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記複数段のロータ翼の内、前記ベース部に最も近い最下段のロータ翼および前記最下段のロータ翼に隣接する段のロータ翼は、前記第２放射率に設定されている、ターボ分子ポンプ。
6. 請求項３から請求項５までのいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記第１放射率のロータ翼の表面には黒色ニッケルメッキ層が形成され、前記第２放射率のロータ翼の表面にはニッケルメッキ層が形成されている、ターボ分子ポンプ。
7. 請求項３から請求項６までのいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
   前記第１放射率は、放射率が０．７以上であり、前記第２放射率は、放射率が０．４未満である、ターボ分子ポンプ。

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