JP7363111B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、ノズルからインク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。

複数の駆動接点を有する圧電アクチュエータと、複数の駆動接点とそれぞれ接続される複数の個別接点を有し、圧電アクチュエータに接合されるＣＯＦとを備えるアクチュエータ装置が知られている（特許文献１参照）。このアクチュエータ装置では、接点間の接合力を高め、ＣＯＦの剥離や位置ずれを防止するため、圧電アクチュエータの駆動接点に凹凸部が設けられている。

特開２０１８－５６３０２号公報

しかしながら、上記のアクチュエータ装置において、複数の駆動接点が圧電アクチュエータの端部に設けられており、圧電アクチュエータに接合されたＣＯＦは、圧電アクチュエータとの接合部分から僅かに離れた位置で垂直な方向に折り曲げられている。このため、圧電アクチュエータに接合されたＣＯＦを折り曲げる際に、ＣＯＦが圧電アクチュエータから剥離する虞や、圧電アクチュエータがＣＯＦとの接合部分を基点として破損する虞があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、流路基板に接合された配線部材の流路基板からの剥離や、流路基板に接合された配線部材に起因する流路基板の破損が生じにくい、液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

本発明の態様に従えば、複数のノズルが開口する第１面、及び前記第１面とは反対側の第２面を有し、前記複数のノズルとそれぞれ連通する複数の圧力室が形成された流路基板であって、前記複数のノズル及び前記複数の圧力室は、前記第１面に沿う第１方向に並べられている流路基板と、前記流路基板の前記第２面において、前記複数の圧力室とそれぞれ対向するように配置された複数の圧電素子と、前記流路基板の前記第２面に接合され、前記複数の圧電素子を封止する保護基板であって、前記第１方向と交差する第２方向の幅が、前記流路基板の前記第２方向の幅よりも小さい保護基板と、前記保護基板の、前記流路基板との接合面とは反対側の面に接合される第３面を有し、前記複数の絞り流路に共通に連通するマニホールド流路が形成されたマニホールド基板と、前記第１面と直交する第３方向において、前記マニホールド基板の前記第３面と、前記流路基板の前記第２面との間に設けられたスペーサとを備える液体吐出ヘッドが提供される。

本発明の態様に係る液体吐出ヘッドでは、流路基板の第１面と直交する第３方向において、マニホールド基板の第３面と流路基板の第２面との間に、スペーサが設けられている。ここで、流路基板の第２面に接合された配線部材を第２面よりも第３面側に引き出す場合、配線部材はスペーサを迂回するように引き出される。このため、スペーサが設けられていない場合と比べて、流路基板の第２面と配線部材とがなす角度が小さくなる。この結果、流路基板の第２面に接合された配線部材の流路基板からの剥離や、流路基板の第２面に接合された配線部材に起因する流路基板の破損を生じにくくすることができる。

本実施形態に係るヘッドを備えたプリンタの概略的な平面図である。 本実施形態に係るヘッドの下面図である。 図２のIII-III線断面図である。 （ａ）は本実施形態に係るヘッドに配線部材が接合された状態を示し、（ｂ）スペーサが設けられていないヘッドに配線部材が接合された状態を示している。 （ａ）は本実施形態に係るヘッドの一変形例を示し、（ｂ）は本実施形態に係るヘッドの他の変形例を示している。

図１を参照し、本発明の実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の概略構成について説明する。

プリンタ１００（液体吐出システムの一例）は、４つのヘッド１（液体吐出ヘッドの一例）を含むヘッドユニット２、プラテン３、搬送機構４及びコントローラ５を備えている。

プラテン３の上面に、用紙Ｐが載置される。

搬送機構４は、２つのローラ対４ａ，４ｂを備える。２つのローラ対４ａ，４ｂは、プラテン３を搬送方向に挟むように配置されている。コントローラ５は搬送機構４を制御して、ローラ対４ａ，４ｂが用紙Ｐを挟持した状態でローラ対４ａ，４ｂを回転させる。これにより、用紙Ｐが搬送方向（本発明の第２方向の一例）に搬送される。

ヘッドユニット２は、ライン式（位置が固定された状態でノズル１１（図２及び図３参照）から用紙Ｐに対してインクを吐出する方式）であって、紙幅方向（本発明の第１方向の一例）に長尺である。４つのヘッド１は、紙幅方向に千鳥状に配置されている。

ここで、紙幅方向は、搬送方向と直交する。紙幅方向及び搬送方向は、共に、鉛直方向（本発明の第３方向の一例）と直交する。

コントローラ５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、コントローラ５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１及び搬送機構４を制御し、用紙Ｐ上に画像を記録する。

次に、図２及び図３を参照し、ヘッド１の構成について説明する。

図２及び図３に示すように、ヘッド１は、ノズルプレート１０、圧力室プレート２０、複数の圧電素子３０、保護プレート４０（本発明の保護基板の一例）、マニホールドプレート５０（本発明のマニホールド基板の一例）、及びスペーサ６０を備える。

図２に示すように、ノズルプレート１０は、平面視で、紙幅方向に長いほぼ矩形状の外形を有する。ノズルプレート１０はシリコン基板である。ノズルプレート１０の下面には、複数のノズル１１が開口している。以下の説明では、ノズルプレート１０の下面、即ち、複数のノズル１１が開口している面を、インク吐出面１０ａ（本発明の第１面の一例）と称する。

複数のノズル１１は、搬送方向に並べられた複数のノズル列を形成している。そして、各ノズル列は、紙幅方向に沿って並べられた複数のノズル１１から形成されている。本実施形態では、８列のノズル列が形成されており、搬送方向に隣接する２列のノズル列によって、１組のノズルグループが形成されている。つまり、本実施形態では、４組のノズルグループが形成されている。各ノズルグループにおいて、一方のノズル列を構成する複数のノズル１１と、他方のノズル列を構成する複数のノズル１１とは、紙幅方向に半ピッチずれて配置されている。４組のノズルグループからはそれぞれ、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの４色のインクが吐出される。

圧力室プレート２０は、平面視で、紙幅方向に長いほぼ矩形状の外形を有する。図３に示すように、圧力室プレート２０は、圧力室形成基板２１と振動板２２とからなる。振動板２２は、例えば圧力室形成基板２１を構成するシリコン基板の表面を酸化又は窒化することにより形成された、絶縁層であり、圧力室基板２１の略全面に配置されている。圧力室プレート２０は、例えばエポキシ系接着剤、又は直接接合により、ノズルプレート１０に接合されている。

図３に示すように、圧力室プレート２０には、複数のノズル１１とそれぞれ連通する複数の圧力室２３が形成されている。複数の圧力室２３は、複数のノズル１１と鉛直方向にそれぞれ重なるように形成されている。複数の圧力室２３は、搬送方向に沿って並べられた複数の圧力室列を形成している。そして、各圧力室列は、紙幅方向に沿って並べられた複数の圧力室２３から形成されている。本実施形態では、８列のノズル列にそれぞれ対応して、８列の圧力室列が形成されている。なお、ノズルプレート１０と圧力室プレート２０とが接合された基板は、本発明の流路基板の一例である。

圧力室基板２１には、各圧力室２３の側壁を画定する貫通孔が形成されている。また、振動板２２の、複数の圧力室２３とそれぞれ重なる部分には、複数の貫通孔が形成されている。

振動板２２の、複数の圧力室２３とは反対側の面２０ａ（本発明の第２面の一例）には、複数の圧力室２３にそれぞれ対向する複数の圧電素子３０が形成されている。複数の圧電素子３０は、搬送方向に沿って並べられた複数の圧電素子列を形成している。そして、各圧電素子列は、紙幅方向に沿って並べられた複数の圧電素子３０から形成されている。各圧電素子３０は、共通電極３１と、圧電層３２と、個別電極３３とから構成される。圧電層３２は、共通電極３１と個別電極３３との間に挟まれている。

共通電極３１は、複数の圧電素子３０に共通に設けられており、複数の圧力室２３と重なるように紙幅方向に延びている。共通電極３１は、例えば白金（Ｐｔ）からなる。

圧電層３２も、複数の圧電素子３０に共通に設けられており、共通電極３１と重なるように紙幅方向に延びている。圧電層３２は、例えばチタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなる。

個別電極３３は、各圧電素子３０に対して１つ設けられている。つまり、複数の圧電素子３０に対してそれぞれ、複数の個別電極３３が設けられている。複数の個別電極３３は、複数の圧力室２３とそれぞれ重なるように、紙幅方向に並べられている。各個別電極３３は、例えばイリジウム（Ｉｒ）からなる。

圧電層３２の個別電極３３と共通電極３１とで挟まれた部分は、個別電極３３への電圧の印加に応じて変形可能な、活性部として機能する。即ち、各圧電素子３０は、対応する圧力室２３と対向する活性部を有する。個別電極３３への電圧の印加に応じて、活性部が駆動すること（例えば、圧力室２３に向かって凸となるように変形すること）により、圧力室２３の容積が変化し、圧力室２３内のインクに圧力が付与され、ノズル１１からインクが吐出される。

図３に示すように、各個別電極３３の搬送方向の一端には、個別配線３４が接続されている。本実施形態において、搬送方向上流側の４列の圧電素子列を構成する複数の圧電素子３０に接続された複数の個別配線３４は、圧力室プレート２０の面２０ａの、搬送方向上流側の端部まで引き出されている。一方、搬送方向下流側の４列の圧電素子列を構成する複数の圧電素子３０に接続された複数の個別配線３４は、圧力室プレート２０の面２０ａの、搬送方向下流側に引き出されている。なお、各個別配線３４と共通電極３１とは、図示しない絶縁膜によって絶縁されている。各個別配線３４の、個別電極３３とは反対側の端部には、駆動接点３５が設けられている。個別配線３４及び駆動接点３５は、例えばアルミニウム（Ａｌ）からなる。圧力室プレート２０の面２０ａの、搬送方向の両端部に設けられた複数の駆動接点３５には、後述する配線部材７０の一端７１が接合される。つまり、圧力室プレート２０の面２０ａの搬送方向の両端部は、配線部材７０の一端７１が接合される接合領域となっている。

保護プレート４０は、平面視で、紙幅方向に長いほぼ矩形状の外形を有する。図３に示すように、保護プレート４０の搬送方向の幅は、ノズルプレート１０及び圧力室プレート２０の搬送方向の幅よりも小さい。保護プレート４０は、シリコン基板である。図３に示すように、保護プレート４０には、複数の絞り流路４１が形成されている。各絞り流路４１は、対応する圧力室２３と重なる位置において、保護プレート４０を貫通している。さらに、保護プレート４０の圧力室プレート２０と対向する面には、４つの凹部４２が形成されている。４つの凹部４２は搬送方向に並べられており、各凹部４２は紙幅方向に延在する。保護プレート４０は、例えばエポキシ系接着剤により、圧力室プレート２０の面２０ａに接合されている。これにより、複数の絞り流路４１はそれぞれ、振動板２２の複数の貫通孔を介して複数の圧力室２３と連通する。また、複数の圧電素子３０は、４つの凹部４２と圧力室プレート２０とによって封止される。

マニホールドプレート５０は、平面視で、紙幅方向に長いほぼ矩形状の外形を有する。図３に示すように、マニホールドプレート５０の搬送方向の幅は、ノズルプレート１０、圧力室プレート２０、及び保護プレート４０の搬送方向の幅よりも大きい。マニホールドプレート５０は、シリコン基板である。図３に示すように、マニホールドプレート５０の保護プレート４０と対向する面５０ａ（本発明の第３面の一例）には、４つのマニホールド５１が形成されている。４つのマニホールド５１は、搬送方向に並べられており、各マニホールド５１は紙幅方向に延在する。マニホールドプレート５０は、例えばエポキシ系接着剤、又は直接接合により、保護プレート４０に接合されている。これにより、４つのマニホールド５１が、保護プレート４０の複数の絞り流路４１と連通する。図示しないインクタンクから４つのマニホールド５１に供給されたインクは、複数の絞り流路４１を介して複数の圧力室２３に供給される。

スペーサ６０は、平面視で搬送方向に長いほぼ矩形の板状部材である。図２及び図３に示すように、スペーサ６０の搬送方向の幅は、ノズルプレート１０、圧力室プレート２０、及び保護プレート４０の搬送方向の幅よりも大きく、マニホールドプレート５０の搬送方向の幅と同じである。図２及び図３に示すように、スペーサ６０には、搬送方向の長さ及び紙幅方向の幅を有する略矩形状の貫通孔６１が形成されている。貫通孔６１の搬送方向の幅は、保護プレート４０の搬送方向の幅よりも大きく、ノズルプレート１０及び圧力室プレート２０の搬送方向の幅よりも小さい。そして、図３に示すように、保護プレート４０は、スペーサ６０の貫通孔６１の内側に配置されている。本実施形態において、スペーサ６０は、マニホールドプレート５０の保護プレート４０と対向する面５０ａに、例えばエポキシ系接着剤により接着されている。また、図３に示すように、スペーサ６０の厚みＴ２（例えば、２００μｍ～３００μｍ程度）は、保護プレートの厚みＴ１（例えば、３００μｍ～５００μｍ程度）よりも小さい。つまり、スペーサ６０は、鉛直方向において、圧力室プレート２０の面２０ａと、マニホールドプレート５０の面５０ａとの間に設けられている。なお、図３に示すように、スペーサ６０の、マニホールドプレート５０との接着面とは反対側の面６０ａ（本発明の第４面の一例）と搬送方向の両側面６０ｂ（本発明の第５面の一例）とによって形成される角部６２は、面取り加工が施されている。スペーサ６０は、例えば金属、又は樹脂であってもよいが、マニホールドプレート５０と線膨張係数が近い材料であるのがより望ましい。

図３に示すように、本実施形態において、スペーサ６０の搬送方向上流側の側面６０ｂは、ノズルプレート１０及び圧力室プレート２０の搬送方向上流側の側面よりも、搬送方向の上流側に位置する。同様に、スペーサ６０の搬送方向下流側の側面は、ノズルプレート１０及び圧力室プレート２０の搬送方向下流側の側面よりも、搬送方向の下流側に位置する。また、スペーサ６０の搬送方向上流側の側面６０ｂは、マニホールドプレート５０の搬送方向上流側の側面と、搬送方向の位置が同じであり、スペーサ６０の搬送方向下流側の側面６０ｂは、マニホールドプレート５０の搬送方向下流側の側面と、搬送方向の位置が同じである。また、保護プレート４０の搬送方向上流側の側面から、スペーサ６０の搬送方向上流側の側面６０ｂまでの、搬送方向の距離Ｄ１は、保護プレート４０の搬送方向上流側の側面から、圧力室プレート２０の搬送方向上流側の側面までの、搬送方向の距離Ｄ２の２倍よりも大きい。同様に、保護プレート４０の搬送方向下流側の側面から、スペーサ６０の搬送方向下流側の側面６０ｂまでの、搬送方向の距離Ｄ３は、保護プレート４０の搬送方向下流側の側面から、圧力室プレート２０の搬送方向下流側の側面までの、搬送方向の距離Ｄ４の２倍よりも大きい。

なお、図２に示すように、マニホールドプレート５０の面５０ａにおいて、紙幅方向の両端部には、保護プレート４０と位置合わせを行うためのマーク５２が形成されている。このため、スペーサ６０の、紙幅方向の両端部は、マーク５２を覆わないように、搬送方向の中央付近において紙幅方向の両側に突出している。これにより、マーク５２は、スペーサ６０の貫通孔６１から露出している。

次に、本発明の実施形態に係るヘッド１に、ＣＯＦ（Chip On Film）等の配線部材７０を接合する場合の効果について、図４（ａ）、４（ｂ）を参照しつつ説明する。なお、以下では、搬送方向の上流側を例にとり説明するが、搬送方向の下流側についても上流側と同様である。

図４（ｂ）に示すように、本発明の実施形態に係るヘッド１とは異なり、マニホールドプレート５０の面５０ａと圧力室プレート２０の面２０ａとの間に、スペーサ６０が設けられていない場合、配線部材７０は、その一端７１における複数の駆動接点３５との接合部分から、マニホールドプレート５０の面５０ａと搬送方向上流側の側面とによって形成される角部まで、直線的に引き出される。この結果、配線部材７０のうち、複数の駆動接点３５との接合部分からマニホールドプレート５０の角部まで直線的に延びた部分が、配線部材７０の駆動接点３５との接合面に対してなす角度、即ち、圧力室プレート２０の面２０ａに対してなす角度βは、例えば２０°程度となる。一方、本発明の実施形態に係るヘッド１には、鉛直方向において、マニホールドプレート５０の面５０ａと圧力室プレート２０の面２０ａとの間に、スペーサ６０が設けられている。このため、図４（ａ）に示すように、配線部材７０は、その一端７１における複数の駆動接点３５との接合部分から、スペーサ６０の角部６２まで直線的に引き出され、角部６２からはスペーサの側面６０ｂ及びマニホールドプレート５０の側面に沿って上方に引き出される。つまり、配線部材７０は、スペーサ６０の厚み分だけ面５０ａよりも下方を迂回して、上方に引き出される。この結果、配線部材７０のうち、複数の駆動接点３５との接合部分からスペーサ６０の角部６２まで直線的に延びた部分が、配線部材７０の駆動接点３５との接合面に対してなす角度、即ち、圧力室プレート２０の面２０ａに対してなす角度αは、例えば５°程度となり、図４（ｂ）に示される角度βよりも小さくなる。これにより、配線部材７０の接合部分に対して作用する引張力の上向きの成分を、スペーサ６０が設けられていない場合と比べて小さくすることができる。この結果、スペーサ６０が設けられていない場合と比べて、配線部材７０の接合部分の剥離や、圧力室プレート２０の面２０ａに接合された配線部材７０に起因する、圧力室プレート２０及びノズルプレート１０の破損等を生じにくくすることができる。

また、本実施形態に係るスペーサ６０の角部６２には、面取り加工が施されている。このため、配線部材７０をスペーサ６０の角部６２に接触させつつ上方に折り曲げる際に、角部６２との接触による配線部材７０の損傷を生じにくくすることができる。

本実施形態において、スペーサ６０の厚みＴ２は、保護プレート４０の厚みＴ１よりも小さかったが、上述のように、配線部材７０を下方に十分に迂回させるためには、スペーサの厚みＴ２は、保護プレート４０の厚みＴ１の半分よりも大きいことが望ましい。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能である。例えば、上記実施形態において、各ノズルグループは搬送方向に隣接する２列のノズル列を含んでいたが、各ノズルグループは１列のノズル列のみを含んでもよく、搬送方向に並べられた３列以上のノズル列を含んでもよい。

上記実施形態において、スペーサ６０の搬送方向の幅は、ノズルプレート１０、圧力室プレート２０、及び保護プレート４０の搬送方向の幅よりも大きく、マニホールドプレート５０の搬送方向の幅と同じであったが、これには限られない。スペーサ６０の搬送方向の幅は、ノズルプレート１０、圧力室プレート２０、及び保護プレート４０の搬送方向の幅よりも大きければ、マニホールドプレート５０の搬送方向の幅よりも小さくてもよい。つまり、スペーサ６０の搬送方向上流側の側面６０ｂは、マニホールドプレート５０の搬送方向上流側の側面よりも、搬送方向の下流側に位置してもよい。同様に、スペーサ６０の搬送方向下流側の側面６０ｂは、マニホールドプレート５０の搬送方向下流側の側面よりも、搬送方向の上流側に位置してもよい。

上記実施形態において、スペーサ６０はマニホールドプレート５０の面５０ａに接着されていたが、これには限られない。スペーサ６０は、鉛直方向において、圧力室プレート２０の面２０ａと、マニホールドプレート５０の面５０ａとの間に設けられていれば、マニホールドプレート５０の面５０ａに接着されていなくてもよい。この場合、スペーサ６０の脱落を防ぐため、スペーサ６０の貫通孔６１の搬送方向の幅は、圧力室プレート２０の搬送方向の幅よりも小さい必要がある。

上記実施形態において、スペーサ６０は貫通孔６１が形成された板状部材であったが、これには限られない。例えば、図５（ａ）に示されるように、スペーサ１６０は、マニホールドプレート５０の面５０ａの搬送方向の両端部において、紙幅方向に沿った複数の箇所に、下方に突出する複数の凸部として形成されていてもよい。この場合、各スペーサ１６０の厚みは、保護プレート４０の厚みよりも小さければよい。複数の凸部がマニホールドプレート５０の面５０ａから下方に突出していることにより、本実施形態と同様の効果を得ることができる。或いは、図５（ｂ）に示されるように、スペーサ２６０は、マニホールドプレート５０の面５０ａの搬送方向の両端部において、紙幅方向に沿って延在する、下方に突出した凸部として形成されていてもよい。この場合も、各スペーサ２６０の厚みは、保護プレート４０の厚みよりも小さければよい。この場合にも、本実施形態と同様の効果を得ることができる。

上記実施形態のプリンタ１００は、所謂ライン式のインクジェットプリンタ１００であったが、本発明は、搬送方向と交差する方向にヘッドを走査させながらインクを吐出する、所謂シリアル式インクジェットプリンタにも適用することができる。

上記実施形態のヘッド１からは、４色のインクが吐出されたが、これには限られず、１色のみのインクが吐出されてもよく、２色以上のインクが吐出されてもよい。上記実施形態のヘッド１は、ノズル１１からインクを吐出するインクジェットヘッドであったが、本発明は、ノズルからインク以外の液体を吐出する、インクジェットヘッド以外の液体吐出ヘッドにも適用することも可能である。

１ ヘッド
１０ ノズルプレート
１１ ノズル
２０ 圧力室プレート
３０ 圧電素子
４０ 保護プレート
５０ マニホールドプレート
６０、１６０、２６０ スペーサ
７０ 配線部材
１００ プリンタ

Claims (13)

1. 複数のノズルが開口する第１面、及び前記第１面とは反対側の第２面を有し、前記複数のノズルとそれぞれ連通する複数の圧力室が形成された流路基板であって、前記複数のノズル及び前記複数の圧力室は、前記第１面に沿う第１方向に並べられている流路基板と、
   前記流路基板の前記第２面において、前記複数の圧力室とそれぞれ対向するように配置された複数の圧電素子と、
   前記流路基板の前記第２面に接合され、前記複数の圧電素子を封止する保護基板であって、前記第１方向と交差する第２方向の幅が、前記流路基板の前記第２方向の幅よりも小さい保護基板と、
   前記保護基板の、前記流路基板との接合面とは反対側の面に接合される第３面を有し、前記複数の圧力室に共通に連通するマニホールド流路が形成されたマニホールド基板と、
   前記第１面と直交する第３方向において、前記マニホールド基板の前記第３面と、前記流路基板の前記第２面との間に設けられたスペーサとを備え、
   前記スペーサの前記第２方向の一方側の端部は、前記流路基板の前記第２方向の前記一方側の端部よりも、前記第２方向の前記一方側に位置し、
   前記マニホールド基板の前記第２方向の前記一方側の端部は、前記スペーサの前記第２方向の前記一方側の端部と前記第２方向の位置が同じか、前記スペーサの前記第２方向の前記一方側の端部よりも、前記第２方向の前記一方側に位置する液体吐出ヘッド。
2. 前記スペーサの前記第３方向の厚みは、前記保護基板の前記第３方向の厚みよりも小さい請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記スペーサの前記第３方向の厚みは、前記保護基板の前記第３方向の厚みの半分よりも大きい請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 複数のノズルが開口する第１面、及び前記第１面とは反対側の第２面を有し、前記複数のノズルとそれぞれ連通する複数の圧力室が形成された流路基板であって、前記複数のノズル及び前記複数の圧力室は、前記第１面に沿う第１方向に並べられている流路基板と、
   前記流路基板の前記第２面において、前記複数の圧力室とそれぞれ対向するように配置された複数の圧電素子と、
   前記流路基板の前記第２面に接合され、前記複数の圧電素子を封止する保護基板であって、前記第１方向と交差する第２方向の幅が、前記流路基板の前記第２方向の幅よりも小さい保護基板と、
   前記保護基板の、前記流路基板との接合面とは反対側の面に接合される第３面を有し、前記複数の圧力室に共通に連通するマニホールド流路が形成されたマニホールド基板と、
   前記第１面と直交する第３方向において、前記マニホールド基板の前記第３面と、前記流路基板の前記第２面との間に設けられたスペーサとを備え、
   前記スペーサは前記第３面に形成された凸部である液体吐出ヘッド。
5. 前記凸部は、前記第３面の、前記第１方向に沿った複数の位置に形成されている請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記凸部は、前記第１方向に沿って延びている請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記スペーサは前記第３面に接着されている請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記スペーサは、前記第３面との接着面とは反対側の第４面と、前記第３面との接着面と交差し且つ前記第２方向の前記一方側の端部を形成する第５面とを有し、前記第４面と前記第５面とによって形成される角部が面取りされている請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記スペーサは、貫通孔が形成された板状部材であり、前記貫通孔の内側に前記保護基板が配置されている請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第３面の前記第１方向の両端部には前記流路基板との位置合わせのためのマークが形成されており、
    前記マークは前記スペーサの前記貫通孔から露出している請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第２面において、前記保護基板の前記第２方向の前記一方側の端部よりも前記第２方向の前記一方側の部分には、配線部材の一端が接合される接合領域が形成されている請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記接合領域には、前記複数の圧電素子とそれぞれ電気的に接続された複数の駆動接点が形成されており、
    前記複数の駆動接点にはそれぞれ、前記配線部材の前記一端に形成された複数の端子が接合されている請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記配線部材は、前記接合領域から、前記スペーサの前記第２方向の前記一方側の端部を迂回して、前記第２面よりも前記第３面側に引き出されている請求項１２に記載の液体吐出ヘッド

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