JP7369760B2 - 光半導体素子封止用シート - Google Patents
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Description
上記シートは、上記光半導体素子に接触する第一封止層と、上記第一封止層に積層された第二封止層と、上記第二封止層に積層された粘着性および/または接着性を有する第三封止層とを備え、
上記第二封止層および/または上記第三封止層は着色剤を含み、
上記第一封止層、上記第二封止層、および上記第三封止層からなる群より選択される1以上は拡散機能層である、光半導体素子封止用シートを提供する。
L*(SCI)(1):光半導体素子封止用シートの第一封止層をアルミニウム箔に貼り合わせた状態で第三封止層側から測定されるL*(SCI)
L*(SCI)(2):表面にアルミニウム箔を備える縦20mm×横20mm×厚さ62μmの凸サンプルが当該凸サンプルよりも大サイズの基板上に載置され、光半導体素子封止用シートが当該凸サンプルを覆うように光半導体素子封止用シートの第一封止層を上記基板および上記凸サンプルに貼り合わせた状態で第三封止層側から測定されるL*(SCI)
L*(SCE)(1):光半導体素子封止用シートの第一封止層をアルミニウム箔に貼り合わせた状態で第三封止層側から測定されるL*(SCE)
L*(SCE)(2):表面にアルミニウム箔を備える縦20mm×横20mm×厚さ62μmの凸サンプルが当該凸サンプルよりも大サイズの基板上に載置され、光半導体素子封止用シートが当該凸サンプルを覆うように光半導体素子封止用シートの第一封止層を上記基板および上記凸サンプルに貼り合わせた状態で第三封止層側から測定されるL*(SCE)
本発明の光半導体素子封止用シートは、光半導体素子に接触する第一封止層と、上記第一封止層に積層された第二封止層と、上記第二封止層に積層された第三封止層とを少なくとも備える。上記第一封止層は、光半導体素子を封止する際に光半導体素子に接触する側となる層である。上記光半導体素子封止用シートにおいて、第一封止層および第二封止層、第二封止層および第三封止層は、それぞれ、直接積層していることが好ましい。
第二封止層および/または第三封止層が該当し得る上記着色層は着色剤を少なくとも含む。上記着色層は、樹脂で構成される樹脂層であることが好ましい。上記着色剤は、上記着色層に溶解または分散可能なものであれば、染料でも顔料でもよい。少量の添加でも低いヘイズが達成でき、顔料のように沈降性がなく均一に分布させやすいことから、染料が好ましい。また、少量の添加でも色発現性が高いことから、顔料も好ましい。着色剤として顔料を使用する場合は、導電性が低いか、ないものが好ましい。上記着色剤は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。
第一封止層、第二封止層、および第三封止層が該当し得る上記拡散機能層は、光を拡散する機能を有する層であり、樹脂で構成される樹脂層であることが好ましい。上記拡散機能層は、限定されないが、光拡散性微粒子を含むことが好ましい。すなわち、上記拡散機能層は、樹脂層中に分散した光拡散性微粒子を含むことが好ましい。上記光拡散性微粒子は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。
第一封止層、第二封止層、および第三封止層が該当し得る上記非拡散機能層は、光を拡散する機能を発揮することを目的しない無色透明の層であり、樹脂で構成される樹脂層であることが好ましい。
上記着色層、上記拡散機能層、および上記非拡散機能層が上記樹脂層である場合、上記樹脂層を構成する樹脂としては、公知乃至慣用の樹脂が挙げられ、例えば、アクリル系樹脂、ウレタンアクリレート系樹脂、ウレタン系樹脂、ゴム系樹脂、エポキシ系樹脂、エポキシアクリレート系樹脂、オキセタン系樹脂、シリコーン樹脂、シリコーンアクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエーテル系樹脂(ポリビニルエーテル等)、ポリアミド系樹脂、フッ素系樹脂、酢酸ビニル/塩化ビニルコポリマー、変性ポリオレフィンなどが挙げられる。上記樹脂は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。上記着色層、上記拡散機能層、および上記非拡散機能層を構成する樹脂は、互いに同一であってもよいし異なっていてもよい。
上記基材部は、上記光半導体素子封止用シートにおいて上記封止部の支持体となり、上記基材部を備えることにより上記光半導体素子封止用シートの取り扱い性に優れる。上記基材部は、単層であってもよいし、同一または組成や厚さ等が異なる複層であってもよい。上記基材部が複層である場合、各層は粘着剤層などの他の層により貼り合わせられていてもよい。なお、基材部に使用される基材層は、光半導体素子封止用シートを用いて光半導体素子を封止する際には、封止部とともに光半導体素子を備える基板に貼付される部分であり、光半導体素子封止用シートの使用時(貼付時)に剥離されるはく離ライナーや、基材部表面を保護するに過ぎない表面保護フィルムは「基材部」には含まない。基材部は、例えば第三封止層に積層される。
上記光半導体素子封止用シートは、アンチグレア性および/または反射防止性を有する層を備えていてもよい。このような構成を有することにより、上記光半導体装置をディスプレイに適用した際において、ディスプレイの光沢や光の反射を抑制し、ディスプレイの見栄えをより良くすることができる。上記アンチグレア性を有する層としてはアンチグレア処理層が挙げられる。上記反射防止性を有する層としては反射防止処理層が挙げられる。アンチグレア処理および反射防止処理は、それぞれ、公知乃至慣用の方法で実施することができる。上記アンチグレア性を有する層および上記反射防止性を有する層は、同一層であってもよいし、互いに異なる層であってもよい。上記アンチグレア性および/または反射防止性を有する層は、一層のみ有していてもよいし、二層以上を有していてもよい。
<光拡散効果確認試験>
スクリーン上にLEDランプを設置し、ガラス板をLEDランプに密着させてLEDランプからガラス板を介してスクリーン上に光照射した際、上記スクリーン上に直径が4.0cmとなる円状の光が現れる位置をLEDランプの位置とする。そして、上記光半導体素子封止用シートの第一封止層をガラス板に貼り合わせた測定サンプルのガラス板側をLEDランプに密着させた状態で、LEDランプからガラス板および光半導体素子封止用シートを介してスクリーン上に光照射した際に現れる円状の光の直径を測定する。
上記はく離ライナーは、上記光半導体素子封止用シート表面を被覆して保護するための要素であり、光半導体素子が配置された基板に光半導体素子封止用シートを貼り合わせる際には当該シートから剥がされる。
本発明の光半導体素子封止用シートの製造方法の一実施形態について説明する。例えば、図1に示す光半導体素子封止用シート1は、例えば、上述のようにして、それぞれ2枚のはく離ライナーの剥離処理面に挟持された、第一封止層21、第二封止層22、および第三封止層23を個別に作製する。第一封止層21に貼り合わせられた一方のはく離ライナーははく離ライナー3である。
本発明の光半導体素子封止用シートを用いて光半導体装置を作製することができる。本発明の光半導体素子封止用シートを用いて製造される光半導体装置は、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する本発明の光半導体素子封止用シートまたは当該シートが硬化した硬化物と、を備える。上記硬化物は、本発明の光半導体素子封止用シートが放射線硬化性樹脂層を備える場合において上記放射線硬化性樹脂層が放射線照射により硬化した硬化物である。
上記光半導体装置は、例えば、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する、本発明の光半導体素子封止用シートまたは放射線硬化性樹脂層が硬化した硬化物と、を備える積層体をダイシングして光半導体装置を得るダイシング工程とを少なくとも備える製造方法により製造することができる。上記硬化物は、本発明の光半導体素子封止用シートが放射線照射により硬化した硬化物であり、具体的には、本発明の光半導体素子封止用シートが備え得る放射線硬化性樹脂層が放射線照射により硬化した硬化物を備える。
上記封止工程では、本発明の光半導体素子封止用シートを、光半導体素子が配置された基板に貼り合わせ、封止部により光半導体素子を封止する。上記封止工程では、具体的には、図4に示すように、はく離ライナー3を剥離した光半導体素子封止用シート1の第一封止層21を、基板5の光半導体素子6が配置された面に対向するように配置し、光半導体素子封止用シート1を基板5の光半導体素子6が配置された面に貼り合わせ、図5に示すように光半導体素子6を封止部2に埋め込む。
上記放射線照射工程では、上記光半導体素子が配置された上記基板に上記光半導体素子封止用シートが貼り合わせられた積層体(例えば、上記封止工程で得られた積層体)に対し、放射線を照射して、上記放射線硬化性樹脂層を硬化させる。上記放射線としては上述のように、電子線、紫外線、α線、β線、γ線、X線などが挙げられる。中でも、紫外線が好ましい。放射線照射時の温度は、例えば室温から100℃の範囲内であり、照射時間は例えば1分~1時間である。
上記ダイシング工程では、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する、本発明の光半導体素子封止用シートまたは放射線硬化性樹脂層が硬化した硬化物と、を備える積層体をダイシングする。ここで、上記積層体が上記硬化物を備える場合、ダイシング工程に付す積層体において、光半導体素子封止用シートの硬化物および基板5は、上述のように、最終的に得られる光半導体装置10よりも平面方向に広く延びている。そして、上記ダイシング工程では、光半導体素子封止用シートの硬化物および基板の側端部をダイシングして除去する。具体的には、図6に示す鎖線の位置でダイシングを行い、側端部を除去する。上記ダイシングは、公知乃至慣用の方法により行うことができ、例えば、ダイシングブレードを用いた方法や、レーザー照射により行うことができる。このようにして、例えば図2に示す光半導体装置10を製造することができる。
上記タイリング工程では、上記ダイシング工程で得られた複数の光半導体装置を平面方向に接触するように並べてタイリングする。このようにして、例えば図3に示す光半導体装置20を製造することができる。
(非拡散機能層1の作製)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)67質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)14質量部、アクリル酸4-ヒドロキシブチル(4HBA)27質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)9質量部、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニル-1-オン(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部、および1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン(商品名「omnirad 184」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で紫外線に曝露して部分的に光重合することによって、重合率10%の部分重合物(モノマーシロップ)を得た。この部分重合物100質量部に、イソシアネート化合物(商品名「タケネートD-101A」、三井化学株式会社製、固形分75質量%)を固形分換算で1.5質量部添加した後、これらを均一に混合して光重合性組成物を調製した。
(着色層1の作製)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)67質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)14質量部、アクリル酸4-ヒドロキシブチル(4HBA)27質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)9質量部、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニル-1-オン(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部、および1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン(商品名「omnirad 184」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で紫外線に曝露して部分的に光重合することによって、重合率10%の部分重合物(モノマーシロップ)を得た。この部分重合物100質量部に、イソシアネート化合物(商品名「タケネートD-101A」、三井化学株式会社製、固形分75質量%)を固形分換算で0.1質量部および黒色顔料分散液(商品名「9050Black」、株式会社トクシキ製)9.2質量部添加した後、これらを均一に混合して光重合性組成物を調製した。
(拡散機能層1の作製)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)67質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)14質量部、アクリル酸4-ヒドロキシブチル(4HBA)27質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)9質量部、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニル-1-オン(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部、および1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン(商品名「omnirad 184」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で紫外線に曝露して部分的に光重合することによって、重合率10%の部分重合物(モノマーシロップ)を得た。この部分重合物100質量部に、イソシアネート化合物(商品名「タケネートD-101A」、三井化学株式会社製、固形分75質量%)を固形分換算で0.1質量部および酸化チタン(商品名「Tipure R706」、デュポン社製、屈折率:約2.5、平均粒径:0.36μm)3質量部添加した後、これらを均一に混合して光重合性組成物を調製した。
(拡散機能層2の作製)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)67質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)14質量部、アクリル酸4-ヒドロキシブチル(4HBA)27質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)9質量部、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニル-1-オン(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部、および1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン(商品名「omnirad 184」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で紫外線に曝露して部分的に光重合することによって、重合率10%の部分重合物(モノマーシロップ)を得た。この部分重合物100質量部に、イソシアネート化合物(商品名「タケネートD-101A」、三井化学株式会社製、固形分75質量%)を固形分換算で1.5質量部および酸化チタン(商品名「Tipure R706」、デュポン社製、屈折率:約2.5、平均粒径:0.36μm)3質量部添加した後、これらを均一に混合して光重合性組成物を調製した。
(非拡散機能層2の作製)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)67質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)14質量部、アクリル酸4-ヒドロキシブチル(4HBA)27質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)9質量部、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニル-1-オン(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部、および1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン(商品名「omnirad 184」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で紫外線に曝露して部分的に光重合することによって、重合率10%の部分重合物(モノマーシロップ)を得た。この部分重合物100質量部に、イソシアネート化合物(商品名「タケネートD-101A」、三井化学株式会社製、固形分75質量%)を固形分換算で0.1質量部添加した後、これらを均一に混合して光重合性組成物を調製した。
(拡散機能層3の作製)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)67質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)14質量部、アクリル酸4-ヒドロキシブチル(4HBA)27質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)9質量部、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニル-1-オン(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部、および1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン(商品名「omnirad 184」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で紫外線に曝露して部分的に光重合することによって、重合率10%の部分重合物(モノマーシロップ)を得た。この部分重合物83質量部に、イソシアネート化合物(商品名「タケネートD-101A」、三井化学株式会社製、固形分75質量%)を固形分換算で1.2質量部、シリコーン樹脂(商品名「トスパール145」、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製、屈折率:1.42、平均粒径:4.5μm)を30質量部、3-フェノキシベンジルアクリレート(商品名「ライトアクリレートPOB-A」、共栄社化学株式会社製)を16質量部、および商品名「Omnirad651」を1質量部添加した後、これらを均一に混合して光重合性組成物を調製した。
(着色層2の作製)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)67質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)14質量部、アクリル酸4-ヒドロキシブチル(4HBA)27質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)9質量部、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニル-1-オン(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部、および1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン(商品名「omnirad 184」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で紫外線に曝露して部分的に光重合することによって、重合率10%の部分重合物実(モノマーシロップ)を得た。この部分重合物100質量部に、イソシアネート化合物(商品名「タケネートD-101A」、三井化学株式会社製、固形分75質量%)を固形分換算で1.2質量部および黒色顔料分散液(商品名「9050Black」、株式会社トクシキ製)9.2質量部添加した後、これらを均一に混合して光重合性組成物を調製した。
(拡散機能層4の作製)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)67質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)14質量部、アクリル酸4-ヒドロキシブチル(4HBA)27質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)9質量部、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニル-1-オン(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部、および1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン(商品名「omnirad 184」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で紫外線に曝露して部分的に光重合することによって、重合率10%の部分重合物(モノマーシロップ)を得た。この部分重合物83質量部に、イソシアネート化合物(商品名「タケネートD-101A」、三井化学株式会社製、固形分75質量%)を固形分換算で0.08質量部、シリコーン樹脂(商品名「トスパール145」、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製、屈折率:1.42、平均粒径:4.5μm)を30質量部、3-フェノキシベンジルアクリレート(商品名「ライトアクリレートPOB-A」、共栄社化学株式会社製)を16質量部、および商品名「Omnirad651」を1質量部添加した後、これらを均一に混合して光重合性組成物を調製した。
(紫外線硬化性を有する非拡散機能層3の作製)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)189.77質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)38.04質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)85.93質量部、重合開始剤として2,2’-アゾビスイソブチロニトリル0.94質量部、および重合溶媒としてメチルエチルケトン379.31質量部を、1L丸底セパラブルフラスコに、セパラブルカバー、分液ロート、温度計、窒素導入管、リービッヒ冷却器、バキュームシール、撹拌棒、および撹拌羽が装備された重合用実験装置に投入し、撹拌しながら、常温で6時間、窒素置換した。その後、窒素を流入下、撹拌しながら、65℃下で4時間そして75℃下で2時間保持して重合し、樹脂溶液を得た。
次いで、得られた樹脂溶液を室温まで冷却した。その後、上記樹脂溶液に、重合性炭素-炭素二重結合を有する化合物として、2-イソシアナトエチルメタクリレート(MOI)(商品名「カレンズMOI」、昭和電工株式会社製)5.74質量部を加えた。さらにジラウリン酸ジブチルスズ(IV)(富士フイルム和光純薬株式会社製)0.03質量部を添加し、空気雰囲気下、50℃で24時間撹拌して、ベースポリマーを得た。
得られたベースポリマーの固形分100質量部に対して、イソシアネート化合物(商品名「タケネートD-101A」、三井化学株式会社製、固形分75質量%)1.5質量部、および、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニル-1-オン(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)1質量部を混合した。トルエンを希釈溶剤として用いて、固形分率20~40質量%となるように調整し、粘着剤溶液を得た。
(光半導体素子封止用シートの作製)
製造例1で得られた非拡散機能層1からはく離ライナー(商品名「MRF38」)を剥離し、粘着面を露出させた。上記非拡散機能層1の露出面を基材フィルム(商品名「ダイアホイル T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面に易接着処理が施されたもの、厚さ75μm)の易接着処理面に貼り合わせ、基材フィルム上に非拡散機能層1からなる第三封止層を形成した。
次に、第三封止層(非拡散機能層1)表面からはく離ライナー(商品名「MRA50」)を剥離し、粘着面を露出させた。製造例2で得られた着色層1からはく離ライナー(商品名「MRF38」)を剥離して露出させた粘着面を、第三封止層の露出面に貼り合わせ、第三封止層上に着色層1からなる第二封止層を形成した。
次に、第二封止層(着色層1)表面からはく離ライナー(商品名「MRA50」)を剥離し、粘着面を露出させた。製造例3で得られた拡散機能層1からはく離ライナー(商品名「MRF38」)を剥離して露出させた粘着面を、第二封止層の露出面に貼り合わせ、第二封止層上に拡散機能層1からなる第一封止層を形成した。
そして、室温(23℃)においてハンドローラーで気泡が入らないように貼り合わせ、遮光下で二日間放置した。このようにして、[はく離ライナー/拡散機能層1/着色層1/非拡散機能層1/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
(光半導体素子封止用シートの作製)
第一封止層、第二封止層、および第三封止層として、表1または表2に示す層を形成したこと以外は実施例1と同様にして光半導体素子封止用シートを得た。
(着色層3の作製)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)67質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)14質量部、アクリル酸4-ヒドロキシブチル(4HBA)27質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)9質量部、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニル-1-オン(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部、および1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン(商品名「omnirad 184」、IGM Resins Italia Srl社製)0.05質量部を、4つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で紫外線に曝露して部分的に光重合することによって、重合率10%の部分重合物(モノマーシロップ)を得た。この部分重合物100質量部に、イソシアネート化合物(商品名「タケネートD-101A」、三井化学株式会社製、固形分75質量%)を固形分換算で0.1質量部および黒色顔料分散液(商品名「9050Black」、株式会社トクシキ製)2質量部添加した後、これらを均一に混合して光重合性組成物を調製した。
上記着色層3からはく離ライナー(商品名「MRF38」)を剥離し、粘着面を露出させた。上記着色層3の露出面を基材フィルム(商品名「ダイアホイル T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面に易接着処理が施されたもの、厚さ75μm)の易接着処理面に貼り合わせ、基材フィルム上に着色層3からなる封止層を形成した。
そして、室温(23℃)においてハンドローラーで気泡が入らないように貼り合わせ、遮光下で二日間放置した。このようにして、[はく離ライナー/着色層3/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
(非拡散機能層4の作製)
製造例5で作製した上記光重合性組成物を、はく離ライナー(商品名「MRA50」、三菱ケミカル株式会社製、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面に剥離処理が施されたもの、厚さ50μm)の剥離処理面上に塗布して樹脂組成物層を形成してから、当該樹脂組成物層上にもはく離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面を貼り合わせた。次に、ブラックライトにより、強度が5mW/cm2の紫外線を、積算光量が3600mJ/cm2となるまで照射して重合を行い、粘着層である非拡散機能層4(厚さ:150μm)を作製した。
上記非拡散機能層4からはく離ライナー(商品名「MRF38」)を剥離し、粘着面を露出させた。上記非拡散機能層4の露出面を基材フィルム(商品名「ダイアホイル T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面に易接着処理が施されたもの、厚さ75μm)の易接着処理面に貼り合わせ、基材フィルム上に非拡散機能層4からなる封止層を形成した。
そして、室温(23℃)においてハンドローラーで気泡が入らないように貼り合わせ、遮光下で二日間放置した。このようにして、[はく離ライナー/非拡散機能層4/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
(拡散機能層5の作製)
製造例3で作製した上記光重合性組成物を、はく離ライナー(商品名「MRA50」、三菱ケミカル株式会社製、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面に剥離処理が施されたもの、厚さ50μm)の剥離処理面上に塗布して樹脂組成物層を形成してから、当該樹脂組成物層上にもはく離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面を貼り合わせた。次に、ブラックライトにより、強度が5mW/cm2の紫外線を、積算光量が3600mJ/cm2となるまで照射して重合を行い、粘着層である拡散機能層5(厚さ:150μm)を作製した。
上記拡散機能層5からはく離ライナー(商品名「MRF38」)を剥離し、粘着面を露出させた。上記拡散機能層5の露出面を基材フィルム(商品名「ダイアホイル T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面に易接着処理が施されたもの、厚さ75μm)の易接着処理面に貼り合わせ、基材フィルム上に拡散機能層5からなる封止層を形成した。
そして、室温(23℃)においてハンドローラーで気泡が入らないように貼り合わせ、遮光下で二日間放置した。このようにして、[はく離ライナー/拡散機能層5/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
(光半導体素子封止用シートの作製)
第一封止層、第二封止層、および第三封止層として、表2に示す層を形成したこと以外は実施例1と同様にして光半導体素子封止用シートを得た。
実施例および比較例で得られた光半導体素子封止用シートについて、以下の評価を行った。結果を表に示す。
実施例および比較例で使用した各粘着層(2枚のはく離ライナーの挟持された形態)から片側のはく離ライナーを剥離し、露出した各粘着層表面をガラス板(スライドグラス、品番「S-9112」、松浪硝子工業株式会社製)に貼り合わせた。そして、他方のはく離ライナーを剥がし[ガラス板/粘着層]の層構成を有する測定サンプルを作製した。上記測定サンプルについて、ヘーズメータ(装置名「HM-150」、株式会社村上色彩技術研究所製)により、全光線透過率を測定した。粘着層側から測定光を入射し、測定を行った。
上記(1)全光線透過率を測定するために作製した測定サンプルについて、ヘーズメータ(装置名「HM-150」、株式会社村上色彩技術研究所製)により、全光線透過率および拡散透過率を測定した。そして、測定サンプルのヘイズ値を、「拡散透過率/全光線透過率×100」の式により求め、初期ヘイズ値とした。
実施例および比較例の光半導体素子封止用シートからはく離ライナーを剥離し、露出した粘着層面をガラス板(スライドグラス、品番「S-9112」、松浪硝子工業株式会社製)に貼り合わせて測定サンプルを作製した。上記測定サンプルについて、ヘーズメータ(装置名「HM-150」、株式会社村上色彩技術研究所製)により、全光線透過率を測定した。基材フィルム側から測定光を入射し、測定を行った。実施例8については、測定前に基材フィルム側から下記条件で紫外線照射し粘着層を硬化させたものを測定サンプルとした。
<紫外線照射条件>
紫外線照射装置:商品名「UM810」、日東精機株式会社製
光源:高圧水銀灯
照射強度:50mW/cm2(測定機器:商品名「紫外線照度計UT-101」、ウシオ電機株式会社製)
照射時間:6秒
積算光量:300mJ/cm2
上記全光線透過率を測定するために作製した測定サンプルについて、ヘーズメータ(装置名「HM-150」、株式会社村上色彩技術研究所製)により、全光線透過率および拡散透過率を測定した。そして、測定サンプルのヘイズ値を、「拡散透過率/全光線透過率×100」の式により求め、ヘイズ値とした。基材フィルム側(第一面側)から測定光を入射し、測定を行った。
三菱アルミニウム株式会社製のアルミニウム箔(幅30cm×長さ50m×厚さ12μm)の内巻の面に、実施例および比較例で得られた半導体素子封止用シートのはく離ライナーを剥がした面をハンドローラーで気泡を噛ませることなく貼り合わせて測定サンプルを作製した。貼り合わせた後、25℃で30分間遮光下で放置した。その後、5.0cm×5.0cmよりも大きなサイズで貼り合わせしたものを切り出した。その後、光半導体素子封止用シートの基材フィルム面が表を向くように測定サンプルを平らな面に静置させた。そして、基材フィルム面側から分光測色計(商品名「CM-26dG」、コニカミノルタ株式会社製)でL*(SCI)(1)およびL*(SCE)(1)の測定を行った。なお、測色計の測定域が測定サンプルの中央に来るように設置し、下記条件で測定した。また、上記分光測色計で測定を行う前には、ゼロ点校正、白色校正、GROSS校正をメーカーマニュアルに従い実施した。なお、アルミニウム箔(内巻面)のみで測定した場合、L*(SCI)は95.88、L*(SCE)は88.32であった。実施例8については、測定前に基材フィルム側から上記(3)全光線透過率に記載の条件で紫外線照射し粘着層を硬化させたものを測定サンプルとした。
<L*測定条件>
測定方法:色&光沢
ジオメトリー: di:8°、de:8°
正反射光処理:SCI+SCE
観察光源:D65
観察条件:10°視野
測定径:MAV(8mm)
UV条件:100%Full
自動平均測定:3回
ゼロ校正スキップ:有効
<凹凸あり被着体の準備>
(シリコンウエハの準備)
バックグラインドテープ(商品名「ELP UB-3083D」、日東電工株式会社製)を8インチサイズのシリコンミラーウエハの片面に貼り合わせ、ウエハ裏面側をバックグラインドした。バックグラインドは、研削装置(商品名「DFG-8560」、株式会社ディスコ製)を用い、バックグラインド後のウエハの厚さが40μmとなるように実施した。
アクリル樹脂(商品名「SG-70L」、ナガセケムテックス株式会社製)100質量部に対して、エポキシ樹脂(商品名「HP-400」、DIC株式会社製)79質量部、フェノール樹脂(商品名「H-4」、明和化学工業株式会社製)93質量部、球状シリカ(商品名「SO-25R」、株式会社アドマテックス製)189質量部、および硬化触媒(商品名「2PHZ」、四国化成工業株式会社製)0.6質量部をメチルエチルケトンに溶解して、固形分濃度が20質量%となる接着剤組成物溶液を調製した。そして、上記接着剤組成物溶液をはく離ライナー(商品名「MRF30」、三菱ケミカル株式会社製)にコーティングし、150℃で2分間の加熱により溶媒を揮発させて固化し、厚さ10μmのダイアタッチフィルムを作製した。
40μm厚ウエハの片側全面に40℃加温下でハンドローラーを用いてダイアタッチフィルムを貼り合わせた。
ダイアタッチフィルムからはく離ライナーを剥離し、その面に40℃加温下でハンドローラーを用いてアルミニウム箔の外巻面を全面貼り付けした。その後、オーブンで150℃1時間加熱し、ダイアタッチフィルムを硬化させた。室温に戻し、アルミニウム箔およびダイアタッチフィルムをウエハ形状に沿って、カッターナイフを用いてカットした。
[ウエハ/ダイアタッチフィルム/アルミニウム箔]のアルミニウム箔面をダイシングシート(商品名「ELP DU-2187G」、日東電工株式会社製)に貼り合わせた。次に、ダイシングシートのウエハが搭載されていない領域に8インチウエハ用のダイシングリングをハンドローラーで貼付した。そして、ダイシング装置(商品名「DFD-6450」、株式会社ディスコ製)を用いて、ウエハを20mm×20mmのサイズにダイシングして、[アルミニウム箔/ダイアタッチフィルム]付きシリコンチップ(20mm×20mm)を得た。ダイシングシートの基材面から下記条件で紫外線照射を行い、シリコンチップを取り出した。
<紫外線照射条件>
紫外線照射装置:商品名「UM810」、日東精機株式会社製
光源:高圧水銀灯
照射強度:50mW/cm2(測定機器:商品名「紫外線照度計UT-101」、ウシオ電機株式会社製)
照射時間:6秒
積算光量:300mJ/cm2
8インチの未研削のSiミラーウエハを準備した。その上にシリコンチップをアルミニウム箔面が上に来るように設置し、実施例および比較例で得られた光半導体素子封止用シートのはく離ライナーを剥離した面に対して貼付装置を用いて下記条件で貼付を行った。光半導体素子封止用シートでシリコンチップを被覆するように貼付した。
装置:商品名「DR-3000III」、日東精機株式会社製
テーブル加温温度:80℃
テーブルタイプ:8インチテーブル(FOR700)
貼付圧力:0.5MPa(圧力100%)
貼付速度:2mm/sec
光半導体素子封止用シートの基材フィルム面が表を向くように、[アルミニウム箔/ダイアタッチフィルム]付きシリコンチップの積層体を載せた8インチミラーウエハを平らな面に静置させた。上記ミラーウエハ上には、[アルミニウム箔/ダイアタッチフィルム]付きシリコンチップ(縦20mm×横20mm×厚さ62μm)が積載されている。
分光測色計(商品名「CM-26dG」、コニカミノルタ株式会社製)の測定部全面がアルミニウム箔が存在する部分に貼付られた光半導体素子封止用シートの基材フィルム面に設置されるようにし、L*(SCI)(2)およびL*(SCE)(2)の測定を行った。L*(SCI)(2)およびL*(SCE)(2)の測定条件はL*(SCI)(1)およびL*(SCE)(1)と同様とした。なお、上記分光測色計で測定を行う前には、ゼロ点校正、白色校正、GROSS校正をメーカーマニュアルに従い実施した。実施例8については、測定前に基材フィルム側から上記(3)全光線透過率に記載の条件で紫外線照射し粘着層を硬化させたものを測定サンプルとした。
実施例および比較例で得られた光半導体素子封止用シートのはく離ライナーを剥離し、ハンドローラーを用いて気泡が入らないようにガラス板(スライドガラス、品番「S-9112」、松浪硝子工業株式会社製、76mm×52mm×1.0~1.2mm)に貼り合わせた。貼り合わせた後、25℃で30分間遮光下で放置した。貼り付けた光半導体素子封止用シートのサイズはガラス板と同様のサイズとなるように適当にカットし、測定サンプルを作製した。スクリーンの上部に高さが2.4cmになるようにLEDランプ(商品名「LK-3PG」、株式会社イーケイジャパン製)を設置した。LEDランプに得られた測定サンプルのガラス板側を密着させた。LEDランプに電池ボックス(商品名「AP-180」、株式会社イーケイジャパン製)を繋いでLEDランプを点灯させ、スクリーンに映し出された円状の映像の直径を測定した。光半導体素子封止用シートなしでガラス板のみで測定した場合、スクリーンに映った光の直径は、4.0cmであった。光半導体素子封止用シートを介して測定した際、光径が5.0cm以上となった場合に、光拡散効果があると判断した。
上記評価(5)~(7)の結果に基づき、L*(SCI)、L*(SCE)、および光拡散効果として、以下の基準に基づき判定した。そして、総合判定として、L*(SCI)、L*(SCE)、および光拡散効果のうち全て○の場合を○、1つでも×である場合を×とした。
L*(SCI):L*(SCI)(1)およびL*(SCI)(2)のいずれにおいても、60以下である場合を○、60超である場合を×とする。
L*(SCE):L*(SCE)(1)およびL*(SCE)(2)のいずれにおいても、60以下である場合を○、60超である場合を×とする。
光拡散効果:5.0cm以上の場合を○、5.0cm未満の場合を×とする。
2 封止部
21 第一封止層
22 第二封止層
23 第三封止層
3 はく離ライナー
4 基材部
5 基板
6 光半導体素子
10,20 光半導体装置
Claims (10)
- 基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するためのシートであって、
前記シートは、前記光半導体素子に接触する粘着性および/または接着性を有する第一封止層と、前記第一封止層に積層された第二封止層と、前記第二封止層に積層された粘着性および/または接着性を有する第三封止層とを備え、
前記第二封止層または前記第三封止層は着色剤を含み、
前記第一封止層は樹脂で構成される樹脂層である拡散機能層であり、
前記第一封止層、前記第二封止層、および前記第三封止層の積層構造は[第一封止層/第二封止層/第三封止層]として、[拡散機能層/着色層/非拡散機能層]、[拡散機能層/着色層/拡散機能層]、または[拡散機能層/非拡散機能層/着色層]であり、
前記光半導体素子が配置された前記基板上に前記第一封止層を貼り合わせて光半導体素子を封止する、光半導体素子封止用シート。 - 前記第三封止層は拡散機能層である、請求項1に記載の光半導体素子封止用シート。
- 前記拡散機能層は光拡散性微粒子を含む、請求項1または2に記載の光半導体素子封止用シート。
- 前記光拡散性微粒子はシリコーン樹脂および/または金属酸化物で構成される、請求項3に記載の光半導体素子封止用シート。
- それぞれ下記で定義される、L*(SCI)(2)のL*(SCI)(1)に対する比[L*(SCI)(2)/L*(SCI)(1)]、および/または、L*(SCE)(2)のL*(SCE)(1)に対する比[L*(SCE)(2)/L*(SCE)(1)]は1.2以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シート。
L*(SCI)(1):光半導体素子封止用シートの第一封止層をアルミニウム箔に貼り合わせた状態で第三封止層側から測定されるL*(SCI)
L*(SCI)(2):表面にアルミニウム箔を備える縦20mm×横20mm×厚さ62μmの凸サンプルが当該凸サンプルよりも大サイズの基板上に載置され、光半導体素子封止用シートが当該凸サンプルを覆うように光半導体素子封止用シートの第一封止層を前記基板および前記凸サンプルに貼り合わせた状態で第三封止層側から測定されるL*(SCI)
L*(SCE)(1):光半導体素子封止用シートの第一封止層をアルミニウム箔に貼り合わせた状態で第三封止層側から測定されるL*(SCE)
L*(SCE)(2):表面にアルミニウム箔を備える縦20mm×横20mm×厚さ62μmの凸サンプルが当該凸サンプルよりも大サイズの基板上に載置され、光半導体素子封止用シートが当該凸サンプルを覆うように光半導体素子封止用シートの第一封止層を前記基板および前記凸サンプルに貼り合わせた状態で第三封止層側から測定されるL*(SCE) - 前記第一封止層は放射線非硬化性樹脂層である、請求項1~5のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シート。
- 前記第二封止層および/または前記第三封止層は放射線硬化性樹脂層である、請求項1~6のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シート。
- 基板と、前記基板上に配置された光半導体素子と、前記光半導体素子を封止する、請求項1~7のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シートと、を備える光半導体装置。
- 自発光型表示装置である請求項8に記載の光半導体装置。
- 請求項9に記載の自発光型表示装置を備える画像表示装置。
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