JP7407537B2 - インダクタの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、インダクタの製造方法に関する。

従来、複数の導体が配置されたフェライト生シートの上に、別のフェライト生シートを積層し、これらを焼成して、複数の導体と、それらを被覆する磁性体層とを備えるインダクタを製造する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

特開平１０－１４４５２６号公報

しかし、特許文献１に記載の方法では、一方の導体の周面において、他の導体に向かう対向面（側面）の近傍の磁性体層が、上記した対向面に接触せず、かかる対向面によって仕切られる隙間が形成される場合がある。また、他の導体の対向面の近傍の磁性体層にも、上記と同様の隙間が形成される場合がある。これらの場合には、インダクタのインダクタンスが低下するという不具合がある。

そこで、上記した隙間のない磁性体層を形成するために、フェライト生シートを平板プレスでプレスする方法が試案される。

しかし、平板プレスを用いるプレスでは、隣り合う導体間に位置するフェライト生シートが導体をその外側（厚み方向に直交する方向外側）に加圧し、これを外側に移動させて（外側に押し広げられて）しまう。そのため、インダクタにおける導体間の距離が、予め設計していた導体間の距離よりも長くなる。そのため、このようなインダクタは、所望のインダクタンスを得ることができない。さらに、外部機器と導体との電気的な接続を試みるために、インダクタにおける磁性体層の上面から導体の上面に向けて貫通孔を形成し、導電部材を貫通孔に充填しても、上記した貫通孔には、導体が露出しておらず、そのため、上記した接続を実施できないという不具合がある。

本発明は、隣り合う配線間における磁性層に隙間が形成されることを抑制でき、隣り合う導体間の距離の変動を抑制できるインダクタの製造方法を提供する。

本発明（１）は、熱プレス装置を準備する第１工程であって、前記熱プレス装置は、第１型と、前記第１型とプレス方向に間隔が隔てられ、前記第１型より小さい第２型と、前記第２型の周りを囲い、前記第１型と前記プレス方向に間隔が隔てられ、前記第２型に対してプレス方向に移動可能な枠部材と、前記第２型における前記第１型に面するプレス面に配置される流動性柔軟シートとを備える前記第１工程と、前記熱プレス装置によって、磁性粒子および熱硬化性樹脂を含有し、前記流動性柔軟シートより小さい磁性シート、および、互いに間隔が隔てられる複数の配線を熱プレスすることにより、前記複数の配線と、隣り合う前記配線間に跨がるように、前記複数の配線を被覆し、前記磁性粒子および前記熱硬化性樹脂の硬化体を含有する磁性層とを備えるインダクタを製造する第２工程とを備え、前記第２工程は、前記磁性シートおよび前記複数の配線を、前記プレス方向に投影したときに前記流動性柔軟シートと重なるように、セットする第３工程と、前記枠部材を、前記第１型にプレスする第５工程と、前記第２型を前記第１型に近づけて、前記流動性柔軟シートおよび前記離型シートを介して前記磁性シートおよび前記複数の配線を熱プレスする第６工程とを備える、インダクタの製造方法を含む。

この製造方法では、磁性シートより大きい流動性柔軟シートを介して、磁性シートおよび複数の配線を熱プレスする。すると、磁性シートの周側面が外側に流れることが流動性柔軟シートによって抑制される。

また、磁性シートが、隣り合う配線の隙間に充填されながら、磁性層に隙間が形成されることを抑制できる。そのため、隣り合う配線間の距離の変動を抑制できる。

その結果、所望の高いインダクタンスを有し、かつ、外部機器との接続信頼性に優れるインダクタを製造できる。

本発明（２）は、前記熱プレス装置は、前記枠部材の周りを囲い、前記第１型と間隔が隔てられ、前記第１型に対して接触可能な前記減圧空間形成部材をさらに備え、前記第３工程の後、前記第５工程の前に、前記減圧空間形成部材を前記第１型に接触させて、減圧空間を形成する第４工程をさらに備える、（１）に記載のインダクタの製造方法を含む。

この製造方法によれば、第４工程で、減圧空間を形成し、第５工程では、減圧空間の内部の枠部材が第１型にプレスして、減圧雰囲気の密閉空間を形成できる。その後、第６工程では、減圧雰囲気下で、磁性シートを熱プレスできる。そのため、磁性層に隙間が形成されることをより一層有効に抑制することができる。

本発明（３）は、前記離型シートが、クッションフィルムを含む、（１）または（２）に記載のインダクタの製造方法を含む。

この製造方法によれば、第６工程において、クッションフィルムによって、磁性シートの厚み方向一方面が複数の配線の周面に沿って湾曲することができる。そうすると、インダクタにおいて、複数の配線に電流が流れ、それに基づいて、複数の配線の周方向に沿う磁界が発生するときに、上記した形状を有する磁性シートによって、インダクタのインダクタンスを向上させることができる。

本発明（４）は、前記磁性シートは、第１磁性シートおよび第２磁性シートを備え、前記第２工程は、前記第１磁性シートを、前記熱プレス装置を用いて熱プレスして、隣り合う前記配線間に跨がるが、前記配線の厚み方向一端面を露出する第１磁性層を備えるインダクタ前駆体を作製する工程と、前記インダクタ前駆体、および、前記第２磁性シートを、前記熱プレス装置を用いて熱プレスして、前記配線の周面の全部を被覆する磁性層を形成する工程とを備える、（１）～（３）のいずれか一項に記載のインダクタの製造方法を含む。

この製造方法では、インダクタ前駆体を作製し、その後、インダクタ前駆体に対して、第２磁性シートを配置する。すると、まず、隙間の形成が十分に抑制されたインダクタ前駆体を確実に作製した後、第２磁性シートをインダクタ前駆体にさらに配置して、これらを熱プレスできるので、隙間の形成がより一層十分に抑制されたインダクタを製造することができる。

本発明のインダクタの製造方法によれば、所望の高いインダクタンスを有し、かつ、外部機器との接続信頼性に優れるインダクタを製造できる。

図１は、本発明のインダクタの製造方法の一実施形態において、熱プレス装置を準備する第１工程を示す。 図２は、図１に引き続き、本発明のインダクタの製造方法の一実施形態において、磁性シートおよび複数の配線を熱プレス装置にセットする第３工程を示す。 図３は、図２に引き続き、本発明のインダクタの製造方法の一実施形態において、外枠部材を第１型に密着させて第１密閉空間を形成し、続いて、第１密閉空間を減圧して減圧空間を形成する第４工程を示す。 図４は、図３に引き続き、本発明のインダクタの製造方法の一実施形態において、内枠部材を第１型にプレスして、減圧雰囲気の第２密閉空間を形成する第５工程を示す。 図５は、図４に引き続き、本発明のインダクタの製造方法の一実施形態において、磁性シートおよび複数の配線を熱プレスする第６工程を示す。 図６は、図５における熱プレス装置から取り出したインダクタに貫通孔を形成する工程を示す。 図７は、インダクタ前駆体を製造してからインダクタを製造する第１態様において、第１磁性シートおよび複数の配線を熱プレス装置に配置する第３工程である。 図８は、図７に引き続き、第１磁性シートおよび複数の配線を熱プレスして、インダクタ前駆体を製造する第６工程である。 図９は、図８に引き続き、インダクタ前駆体および第２磁性シートを熱プレス装置に配置する第３工程である。 図１０は、第２磁性シートおよびインダクタ前駆体を熱プレスして、インダクタを製造する第６工程である。 図１１は、インダクタ前駆体を製造せずに、インダクタを製造する第２態様において、第１磁性シートおよび複数の配線を熱プレス装置に配置する第３工程である。 図１２は、図１１に引き続き、第１磁性シートを熱プレス装置で熱プレスする第６工程である。 図１３は、図１２に引き続き、第２磁性シートをさらに熱プレス装置に配置する第３工程である。 図１４は、図１３に引き続き、第２磁性シートを熱プレス装置で熱プレスする第６工程である。 図１５Ａ～図１５Ｉは、第２態様に対応する実施例２を説明する図であり、図１５Ａが、第１シートを熱プレス装置に配置する工程、図１５Ｂが、第２シートを熱プレス装置に配置する工程、図１５Ｃが、第３シートを熱プレス装置に配置する工程、図１５Ｄが、第４シートを熱プレス装置に配置する工程、図１５Ｅが、第５シートを熱プレス装置に配置する工程、図１５Ｆが、第６シートを熱プレス装置に配置する工程、図１５Ｇが、第７シートを熱プレス装置に配置する工程、図１５Ｈが、第８シートを熱プレス装置に配置する工程、図１５Ｉが、第９シートを熱プレス装置に配置する工程である。 図１６は、第２態様における、第１シート～第９シートから形成される磁性層を備えるインダクタであって、実施例２に対応するインダクタの断面図である。 図１７は、インダクタ前駆体を製造せずに、インダクタを製造する第３態様において、第１磁性シートおよび第２磁性シートを熱プレス装置にまとめて配置する第３工程である。 図１８は、図１７に引き続き、第１磁性シートおよび第２磁性シートを熱プレスする第６工程である。 図１９は、第３態様において、第１シート～第９シートを含む第１磁性シートおよび第２磁性シートで複数の配線を挟む第３工程であって、実施例３に対応する断面図である。

＜一実施形態＞
本発明のインダクタの製造方法の一実施形態を、図１～図６を参照して、説明する。

このインダクタ１の製造方法は、熱プレス装置２を準備する第１工程（図１参照）と、熱プレス装置２によって、磁性シート８および複数の配線９を熱プレスする第２工程（図５参照）とを備える。

［第１工程］
図１に示すように、第１工程では、熱プレス装置２を準備する。

熱プレス装置２は、磁性シート８および複数の配線９（図２参照）を等方的に熱プレス（等方圧プレス）可能な等方圧プレス装置である。この熱プレス装置２は、第１型３と、第２型４と、枠部材の一例としての内枠部材５と、減圧空間形成部材の一例としての外枠部材８１と、流動性柔軟シート６とを備える。

なお、この一実施形態では、熱プレス装置２は、第２型４および内枠部材５が第１型３に対して近づき、プレス可能に構成されている。また、熱プレス装置２は、外枠部材８１が、第１型３に近づき、第１型３に接触（密着）可能に構成されている。なお、第１型３は、熱プレス装置２のプレス方向において不動である。

第１型３は、略板（プレート）形状を有する。第１型３は、次に説明する第２型４に面する第１プレス面６１を有する。第１プレス面６１は、プレス方向に直交する方向（面方向）に延びる。第１プレス面６１は、平坦である。さらに、第１型３は、図示しないヒータを含む。

第２型４は、第１工程においては、プレス方向において、第１型３と間隔が隔てられる。第２型４は、第１型３に対してプレス方向に移動可能である。第２型４は、第１型３より小さい略板（プレート）形状を有する。具体的には、第２型４は、プレス方向に投影したときに、第１型３に包含される。詳しくは、第２型４は、プレス方向に投影したときに、第１型３の面方向中央部と重なる。第２型４は、第１型３の第１プレス面６１の面方向中央部に面するプレス面の一例としての第２プレス面６２を有する。第２プレス面６２は、面方向に延びる。第２プレス面６２は、第１プレス面６１に平行する。また、第２型４は、図示しないヒータを含む。

内枠部材５は、第２型４の周りを囲む。詳しくは、図示しないが、内枠部材５は、第２型４の周り全部を囲む。また、内枠部材５は、第１工程において、第１型３の周端部とプレス方向に間隔が隔てられる。つまり、内枠部材５は、第１工程において、第１型３の周端部とプレス方向において間隔を隔てて対向配置されている。内枠部材５は、第１プレス面６１の周端部に面する第３プレス面２８と、内側に向く内側面２９とを一体的に有する。内枠部材５は、第１型３および第２型４の両方に対してプレス方向に移動可能である。

なお、内枠部材５と第２型４との間には、図示しないシール部材が設けられる。図示しないシール部材は、内枠部材５および第２型４の相対移動中、次に説明する流動性柔軟シート６が、内枠部材５および第２型４の間に浸入することを防止する。

外枠部材８１は、内枠部材５の周りを囲む。詳しくは、図示しないが、外枠部材８１は、内枠部材５の周り全部を囲む。また、外枠部材８１は、第１工程において、第１型３の周端部とプレス方向に間隔が隔てられる。つまり、外枠部材８１．は、第１工程において、第１型３の周端部とプレス方向において間隔を隔てて対向配置されている。外枠部材８１は、第１プレス面６１の周端部に面する接触面８２と、内側に向くチャンバ内側面８３とを一体的に有する。外枠部材８１は、第１型３および内枠部材５の両方に対してプレス方向に移動可能である。

また、外枠部材８１は、排気口１５を有する。排気口１５は、その排気方向上流側端部が、チャンバ内側面８３の内端部に臨んでいる。排気口１５は、排気ライン４６を介して真空ポンプ１６に接続されている。なお、第１工程では、排気ライン４６は、閉鎖されている。

また、外枠部材８１と内枠部材５との間には、図示しないシール部材が設けられる。図示しないシール部材は、外枠部材８１および内枠部材５の相対移動中、第２密閉空間（後述）４５が外部に通じることを防止する。

流動性柔軟シート６は、プレス方向に直交する面方向に延びる略板形状を有する。流動性柔軟シート６は、第２型４における第２プレス面６２に配置されている。また、流動性柔軟シート６は、内枠部材５の内側面２９にも配置されている。より具体的には、流動性柔軟シート６は、第２プレス面６２の全面と、内側面２９のプレス方向下流側部分とに接触している。なお、流動性柔軟シート６と、内枠部材５の内側面２９との間には、図示しないシール部材が設けられる。流動性柔軟シート６に対して、内枠部材５は、プレス方向に移動可能である。

流動性柔軟シート６の材料としては、熱プレス時に流動性および柔軟性を発現できる材料であれば特に限定されず、例えば、ゲルまたは軟質エラストマーが挙げられる。流動性柔軟シート６の材料は、市販品であってもよく、例えば、αＧＥＬシリーズ（タイカ社製）、リケンエラストマーシリーズ（リケンテクノス社製）などが挙げられる。流動性柔軟シート６の厚みは、特に限定されず、具体的には、厚みの下限が、例えば、１ｍｍ、好ましくは、２ｍｍであり、また、厚みの上限が、例えば、１，０００ｍｍ、好ましくは、１００ｍｍである。

熱プレス装置２は、例えば、特開２００４－２９６７４６号公報などに詳述される。また、熱プレス装置２は、市販品を用いることができ、例えば、日機装社製のドライラミネータシリーズなどが用いられる。

［第２工程］
第２工程では、熱プレス装置２によって、図５に示すように、磁性シート８および複数の配線９を熱プレスする。具体的には、第２工程は、第３工程、第４工程、第５工程、および、第６工程を備える。第２工程では、第３工程、第４工程、第５工程、および、第６工程が順に実施される。

［第３工程］
図２に示すように、第３工程では、まず、第１離型シート１４を第１型３の第１プレス面６１に配置する。

第１離型シート１４は、厚み方向に投影したときに、内枠部材５より小さい。

第１離型シート１４は、例えば、第１剥離フィルム１１、クッションフィルム１２および第２剥離フィルム１３をプレス方向下流側に向かって順に備える。第１剥離フィルム１１および第２剥離フィルム１３の材料は、用途および目的に応じて適宜選択され、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などのポリエステル、例えば、ポリメチルペンテン（ＴＰＸ）、ポリプロピレンなどのポリオレフィンなどが挙げられる。第１剥離フィルム１１の厚み、および、第２剥離フィルム１３の厚みは、例えば、１μｍ以上、また、例えば、１，０００μｍ以下である。クッションフィルム１２は、柔軟層を含む。柔軟層は、第２工程における熱プレス時に、面方向および厚み方向に流動する。柔軟層の材料としては、後述する第２工程における熱プレスによって面方向およびプレス方向に流動する熱流動材料が挙げられる。熱流動材料は、例えば、オレフィン－（メタ）アクリレートコポリマー（エチレン－メチル（メタ）アクリレートコポリマーなど）、オレフィン－酢酸ビニルコポリマーなどを主成分として含む。クッションフィルム１２の厚みは、例えば、５０μｍ以上であり、また、例えば、５００μｍ以下である。クッションフィルム１２は、市販品を用いることができ、例えば、離型フィルムＯＴシリーズ（積水化学工業社製）などが用いられる。

なお、第１離型シート１４は、クッションフィルム１２と、第１剥離フィルム１１および第２剥離フィルム１３のいずれか一方とを含むことができ、または、クッションフィルム１２のみであってもよい。

第１離型シート１４を第１型３に配置した後、磁性シート８および複数の配線９を、第１離型シート１４および第２離型シート７の間に、プレス方向に投影したときに流動性柔軟シート６と重なるように、セットする。

磁性シート８は、インダクタ１における磁性層３０（後述する図５参照）を形成するための準備シートである。つまり、磁性シート８は、まだ、磁性層３０ではなく、後述する熱硬化性樹脂（後述）の完全硬化体を含有せず、具体的には、Ｂステージの熱硬化性樹脂を含有する。

磁性シート８は、厚み方向に直交する面方向に延びる。磁性シート８の材料は、磁性粒子および熱硬化性組成物を含有する磁性組成物である。

磁性粒子を構成する磁性材料としては、例えば、軟磁性体、硬磁性体が挙げられる。好ましくは、インダクタンスの観点から、軟磁性体が挙げられる。

軟磁性体としては、例えば、１種類の金属元素を純物質の状態で含む単一金属体、例えば、１種類以上の金属元素（第１金属元素）と、１種類以上の金属元素（第２金属元素）および／または非金属元素（炭素、窒素、ケイ素、リンなど）との共融体（混合物）である合金体が挙げられる。これらは、単独または併用することができる。

単一金属体としては、例えば、１種類の金属元素（第１金属元素）のみからなる金属単体が挙げられる。第１金属元素としては、例えば、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、その他、軟磁性体の第１金属元素として含有することが可能な金属元素の中から適宜選択される。

また、単一金属体としては、例えば、１種類の金属元素のみを含むコアと、そのコアの表面の一部または全部を修飾する無機物および／または有機物を含む表面層とを含む形態、例えば、第１金属元素を含む有機金属化合物や無機金属化合物が分解（熱分解など）された形態などが挙げられる。後者の形態として、より具体的には、第１金属元素として鉄を含む有機鉄化合物（具体的には、カルボニル鉄）が熱分解された鉄粉（カルボニル鉄粉と称される場合がある）などが挙げられる。なお、１種類の金属元素のみを含む部分を修飾する無機物および／または有機物を含む層の位置は、上記のような表面に限定されない。なお、単一金属体を得ることができる有機金属化合物や無機金属化合物としては、特に制限されず、軟磁性体の単一金属体を得ることができる公知乃至慣用の有機金属化合物や無機金属化合物から適宜選択することができる。

合金体は、１種類以上の金属元素（第１金属元素）と、１種類以上の金属元素（第２金属元素）および／または非金属元素（炭素、窒素、ケイ素、リンなど）との共融体であり、軟磁性体の合金体として利用することができるものであれば特に制限されない。

第１金属元素は、合金体における必須元素であり、例えば、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）などが挙げられる。なお、第１金属元素がＦｅであれば、合金体は、Ｆｅ系合金とされ、第１金属元素がＣｏであれば、合金体は、Ｃｏ系合金とされ、第１金属元素がＮｉであれば、合金体は、Ｎｉ系合金とされる。

第２金属元素は、合金体に副次的に含有される元素（副成分）であり、第１金属元素に相溶（共融）する金属元素であって、例えば、鉄（Ｆｅ）（第１金属元素がＦｅ以外である場合）、コバルト（Ｃｏ）（第１金属元素がＣｏ以外である場合）、ニッケル（Ｎｉ）（第１金属元素Ｎｉ以外である場合）、クロム（Ｃｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、ケイ素（Ｓｉ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、マンガン（Ｍｎ）、カルシウム（Ｃａ）、バリウム（Ｂａ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、バナジウム（Ｖ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、亜鉛（Ｚｎ）、ガリウム（Ｇａ）、インジウム（Ｉｎ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、スズ（Ｓｎ）、鉛（Ｐｂ）、スカンジウム（Ｓｃ）、イットリウム（Ｙ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、各種希土類元素などが挙げられる。これらは、単独使用または２種以上併用することができる。

非金属元素は、合金体に副次的に含有される元素（副成分）であり、第１金属元素に相溶（共融）する非金属元素であって、例えば、ホウ素（Ｂ）、炭素（Ｃ）、窒素（Ｎ）、ケイ素（Ｓｉ）、リン（Ｐ）、硫黄（Ｓ）などが挙げられる。これらは、単独使用または２種以上併用することができる。

合金体の一例であるＦｅ系合金として、例えば、磁性ステンレス（Ｆｅ－Ｃｒ－Ａｌ－Ｓｉ合金）（電磁ステンレスを含む）、センダスト（Ｆｅ－Ｓｉ－Ａｌ合金）（スーパーセンダストを含む）、パーマロイ（Ｆｅ－Ｎｉ合金）、Ｆｅ－Ｎｉ－Ｍｏ合金、Ｆｅ－Ｎｉ－Ｍｏ－Ｃｕ合金、Ｆｅ－Ｎｉ－Ｃｏ合金、Ｆｅ－Ｃｒ合金、Ｆｅ－Ｃｒ－Ａｌ合金、Ｆｅ－Ｎｉ－Ｃｒ合金、Ｆｅ－Ｎｉ－Ｃｒ－Ｓｉ合金、ケイ素銅（Ｆｅ－Ｃｕ－Ｓｉ合金）、Ｆｅ－Ｓｉ合金、Ｆｅ－Ｓｉ―Ｂ（－Ｃｕ－Ｎｂ）合金、Ｆｅ－Ｂ－Ｓｉ－Ｃｒ合金、Ｆｅ－Ｓｉ－Ｃｒ－Ｎｉ合金、Ｆｅ－Ｓｉ－Ｃｒ合金、Ｆｅ－Ｓｉ－Ａｌ－Ｎｉ－Ｃｒ合金、Ｆｅ－Ｎｉ－Ｓｉ－Ｃｏ合金、Ｆｅ－Ｎ合金、Ｆｅ－Ｃ合金、Ｆｅ－Ｂ合金、Ｆｅ－Ｐ合金、フェライト（ステンレス系フェライト、さらには、Ｍｎ－Ｍｇ系フェライト、Ｍｎ－Ｚｎ系フェライト、Ｎｉ－Ｚｎ系フェライト、Ｎｉ－Ｚｎ－Ｃｕ系フェライト、Ｃｕ－Ｚｎ系フェライト、Ｃｕ－Ｍｇ－Ｚｎ系フェライトなどのソフトフェライトを含む）、パーメンジュール（Ｆｅ－Ｃｏ合金）、Ｆｅ－Ｃｏ－Ｖ合金、Ｆｅ基アモルファス合金などが挙げられる。

合金体の一例であるＣｏ系合金としては、例えば、Ｃｏ－Ｔａ－Ｚｒ、コバルト（Ｃｏ）基アモルファス合金などが挙げられる。

合金体の一例であるＮｉ系合金としては、例えば、Ｎｉ－Ｃｒ合金などが挙げられる。

磁性粒子の形状は、特に限定されず、略扁平形状（板形状）、略針形状（略紡錘（フットボール）形状を含む）などの異方性を示す形状、例えば、略球形状、略顆粒形状、略塊形状などの等方性を示す形状などが挙げられる。

磁性粒子の最大長さの平均値の下限は、例えば、０．１μｍ、好ましくは、０．５μｍであり、また、上限は、例えば、２００μｍ、好ましくは、１５０μｍである。磁性粒子の最大長さの平均値は、磁性粒子の中位粒子径として算出される。

磁性組成物における磁性粒子の容積割合（充填率）は、例えば、１０容積％以上であり、また、例えば、９０容積％以下である。

熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、熱硬化性ポリイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂などが挙げられる。接着性、耐熱性などの観点から、好ましくは、エポキシ樹脂が挙げられる。

熱硬化性樹脂は、エポキシ樹脂を含有する場合には、エポキシ樹脂（クレゾールノボラック型エポキシ樹脂など）、硬化剤（フェノール樹脂など）および硬化促進剤（イミダゾール化合物など）を適宜の割合で含有するエポキシ樹脂組成物として調製されてもよい。磁性粒子１００容積部に対する熱硬化性樹脂の容積部数は、例えば、１０容積部以上であり、また、例えば、９０容積部以下である。

また、磁性組成物は、上記した磁性粒子および熱硬化性樹脂の他に、アクリル樹脂などの熱可塑性樹脂を適宜の割合で含有してもよい。なお、熱可塑性樹脂は、熱硬化性樹脂とともに、バインダーを構成する。磁性組成物におけるバインダーの容積割合は、例えば、１０容積％以上であり、また、例えば、９０容積％である。

上記した磁性組成物の詳細な処方は、特開２０１４－１６５３６３号公報などに記載される。

なお、上記した熱硬化性樹脂は、Ｂステージ（半硬化）である。そのため、磁性シート８は、例えば、Ｂステージシートとして調製される。

複数の配線９は、配線９の長手方向、および、磁性シート８の厚み方向に直交する方向（隣接方向）に互いに間隔が隔てられる。複数の配線９のそれぞれは、例えば、断面視略円形状を有する。複数の配線９のそれぞれは、導線９１と、それを被覆する絶縁層９２とを備える。

導線９１は、配線９と中心軸線を共有する断面視略円形状を有する。導線９１の材料は、銅などの金属導体である。導線９１の半径の下限は、例えば、２５μｍであり、上限が、例えば、２，０００μｍである。

絶縁層９２は、導線９１の周面全面を被覆する。絶縁層９２は、配線９と中心軸線を共有する断面視略円環形状を有する。絶縁層９２の材料としては、例えば、ポリエステル、ポリウレタン、ポリエステルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミドなどの絶縁樹脂が挙げられる。絶縁層９２は、単層または複層である。絶縁層９２の厚みの下限は、例えば、１μｍであり、また、上限が、例えば、１００μｍである。

複数の配線９のそれぞれの半径は、導線９１の半径、および、絶縁層９２の厚みの合計であって、具体的には、その下限が、例えば、２５μｍ、好ましくは、５０μｍであり、また、上限が、例えば、２，０００μｍ、好ましくは、２００μｍである。

隣り合う配線９間の距離（間隔）Ｌ０の下限は、インダクタ１の用途および目的に応じて適宜設定され、例えば、１０μｍ、好ましくは、５０μｍであり、また、上限が、例えば、１０，０００μｍ、好ましくは、５，０００μｍである。

その後、第２離型シート７を、複数の複数の配線９に配置する。

第２離型シート７は、第１離型シート１４と同様の層構成を有する。例えば、第１離型シート１４は、厚み方向に投影したときに、内枠部材５より小さい。

この第３工程では、第１離型シート１４、磁性シート８、複数の配線９、および、第２離型シート７を、第１型３の第１プレス面６１に順に配置する。または、第１離型シート１４および第２離型シート７で磁性シート８および複数の配線９を挟んだサンドイッチ構造体を、第１型３に配置する。

［第４工程］
第４工程では、図２の矢印および図３に示すように、外枠部材８１を第１型３に接触させて、減圧空間８５を形成する。

具体的には、外枠部材８１を、第１型３の第１プレス面６１の周端部に対して押し付ける。これにより、外枠部材８１の接触面８２と、第１型３の第１プレス面６１の周端部とが、互いに密着状に接触（密着）（好ましくは、プレス）する。

減圧空間８５は、外枠部材８１のチャンバ内側面８３と、内枠部材５の第３プレス面２８および内側面２９と、流動性柔軟シート６の第２プレス面６２と、第１型３の第１プレス面６１と、によって仕切られる。なお、減圧空間８５を仕切るチャンバ内側面８３は、第１型３とともに、チャンバ装置を構成する。

外枠部材８１の第１型３に対する圧力は、上記した接触面８２および第１プレス面６１の密着によって、後述する減圧空間８５の気密性（外部に通じないこと）が確保できる程度に設定され、具体的には、０．１ＭＰａ以上、２０ＭＰａ以下である。

これによって、第１型３と、外枠部材８１と、流動性柔軟シート６との間に、第１密閉空間８４が形成される。第１密閉空間８４は、外部から遮蔽されている。但し、排気ライン４６は、第１密閉空間８４に通じている。

一方、第２離型シート７と、流動性柔軟シート６とは、まだ、プレス方向に間隔が隔てられている。

続いて、第４工程では、第１密閉空間８４を減圧して、減圧空間８５を形成する。

具体的には、真空ポンプ１６を駆動し、続いて、排気ライン４６を開放する。これによって、排気口１５に連通する第１密閉空間８４が減圧される。これによって、第１密閉空間８４が、減圧空間８５となる。

減圧空間８５（または排気ライン４６）の圧力の上限は、例えば、１００，０００Ｐａ、好ましくは、１０，０００Ｐａであり、下限は、１Ｐａである。

［第５工程］
第５工程では、図３の矢印および図４に示すように、内枠部材５を、第１型３にプレスして、密閉空間の一例としての第２密閉空間４５を形成する。

具体的には、内枠部材５を、第１型３の第１プレス面６１の周端部に対して押し付ける。これにより、内枠部材５の第３プレス面２８と、第１型３の第１プレス面６１の周端部とが、互いに密着する。

内枠部材５の第１型３に対する圧力は、上記した第３プレス面２８および第１プレス面６１の密着によって、後述する第６工程における流動性柔軟シート６の外部への漏出を防止できる程度に設定され、具体的には、０．１ＭＰａ以上、５０ＭＰａ以下である。

これによって、内枠部材５の内側に、第１型３および流動性柔軟シート６によってプレス方向に囲まれる第２密閉空間４５が形成される。第２密閉空間４５および排気ライン４６が通じていることが、内枠部材５によって遮断される。

第２密閉空間４５は、上記した減圧空間８５と同じ減圧度（気圧）を有する。

なお、第２離型シート７と、流動性柔軟シート６とは、まだ、プレス方向に間隔が隔てられている。

［第６工程］
図４の矢印および図５に示すように、第６工程では、第２型４を第１型３に近づけて、流動性柔軟シート６、第２離型シート７および第１離型シート１４を介して、磁性シート８および複数の配線９を熱プレスする。

まず、第１型３および第２型４のそれぞれが含むヒータを加熱する。続いて、第２型４をプレス方向に移動する。すると、流動性柔軟シート６が、第２型４の移動に従って、第２離型シート７に近づく。

すると、流動性柔軟シート６は、第２離型シート７のプレス方向上流側面において、周端部以外の全てに柔軟に接触する。このとき、流動性柔軟シート６は、流動性および柔軟性を有することから、第２離型シート７とともに、複数の配線９の形状に沿う。流動性柔軟シート６は、第２離型シート７に密着する。

さらに、第２型４を第１型３に向けて熱プレスする。

熱プレスの圧力の下限は、例えば、０．１ＭＰａ、好ましくは、１ＭＰａ、より好ましくは、２ＭＰａであり、また、上限が、例えば、３０ＭＰａ、好ましくは、２０ＭＰａ、より好ましくは、１０ＭＰａである。加熱条件は、熱硬化性樹脂が完全硬化する条件である。具体的には、加熱温度の下限が、例えば、１００℃、好ましくは、１１０℃、より好ましくは、１３０℃であり、また、上限が、例えば、２００℃、好ましくは、１８５℃、より好ましくは、１７５℃である。加熱時間の下限が、例えば、１分、好ましくは、５分、より好ましくは、１０分であり、また、上限が、例えば、１時間、好ましくは、３０分である。

すると、磁性シート８および複数の配線９は、磁性シート８の厚み方向および面方向の両側から、等しい圧力で、プレスされる。要するに、磁性シート８および複数の配線９は、等方圧プレスされる。

すると、磁性シート８は、複数の配線９を埋設するように、流動する。また、磁性シート８は、隣り合う配線９間に跨がる。さらに、磁性シート８の厚み方向一方面および他方面は、複数の配線９の周面に沿って湾曲する。

また、磁性シート８の周側面３８は、流動性柔軟シート６および第２離型シート７によって側方（外側）から内側に向けてプレスされる。そのため、磁性シート８の周側面３８が外側に流れ出ることが抑制される。

なお、上記した磁性シート８の流動は、第１型３および第２型４のヒータの加熱に基づく、Ｂステージの熱硬化性樹脂の流動、および、必要により配合される熱可塑性樹脂の流動に起因する。

上記したヒータのさらなる加熱によって、熱硬化性樹脂が、Ｃステージとなる。つまり、磁性粒子、および、熱硬化性樹脂の硬化体（Ｃステージ体）を含有する磁性層３０が形成される。

これによって、複数の配線９と、隣り合う配線９間に跨がるように、複数の配線９を被覆する磁性層３０とを備えるインダクタ１を製造する。

図６に示すように、その後、インダクタ１を、熱プレス装置２から取り出す。続いて、インダクタ１を外形加工する。例えば、配線９の長手方向の端部に対応する磁性層３０に、貫通孔４７を形成する。具体的には、貫通孔４７は、対応する磁性層３０および絶縁層９２を、レーザ、穿孔機などで除去することによって、形成される。貫通孔４７は、導線９１の厚み方向（磁性層３０の厚み方向）一方面を露出する。

その後、貫通孔４７に図示しない導電部材などを配置し、これと、はんだ、はんだペースト、銀ペーストなどの導電性接続材料とを介して、外部機器および導線９１を電気的に接続する。導電部材は、めっきを含む。

その後、必要により、リフロー工程において、導電部材および導電性接続材料をリフローする。

［一実施形態の作用効果］
そして、このインダクタ１の製造方法では、磁性シート８より大きい流動性柔軟シート６を介して、磁性シート８および複数の配線９を、熱プレス装置２によって等方的に熱プレスする（等方圧プレスする）。すると、磁性シート８の周側面３８が外側に流れることを流動性柔軟シート６によって抑制される。

また、磁性シート８が、隣り合う配線９の隙間に充填されながら、磁性層３０に隙間が形成されることを抑制できる。そのため、隣り合う配線９間の距離の変動を抑制できる。

その結果、所望の高いインダクタンスを有し、かつ、外部機器との接続信頼性に優れるインダクタ１を製造できる。

また、この製造方法によれば、図３に示すように、第４工程で、減圧空間８５を形成し、図４に示すように、第５工程では、外枠部材８１の内側の内枠部材５が第１型３にプレスして、減圧雰囲気の第２密閉空間４５を形成できる。その後、図６に示すように、第６工程では、減圧雰囲気下で、磁性シート８を熱プレスできるので、磁性層３０に隙間が形成されることをより一層有効に抑制することができる。例えば、その後のリフロー工程において発泡を抑制できる。

＜一実施形態の変形例＞
以下の変形例において、上記した一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、一実施形態およびその変形例を適宜組み合わせることができる。

変形例では、第２離型シート７および／または第１離型シート１４は、クッションフィルム１２を備えない。

好ましくは、一実施形態のように、第２離型シート７および第１離型シート１４は、いずれもクッションフィルム１２を備える。一実施形態であれば、図５に示すように、第６工程において、第１離型シート１４および第２離型シート７に含まれるクッションフィルム１２（図１および図２参照）によって、磁性シート８の厚み方向一方面および他方面が複数の配線９の周面に沿って湾曲することができる。そうすると、インダクタ１において、複数の配線９に電流が流れ、それに基づいて、複数の配線９の周方向に沿う磁界が発生するときに、上記した形状を有する磁性シート８によって、インダクタ１のインダクタンスを向上させることができる。

また、変形例では、第１離型シート１４を第１型３に対して配置しない。

他方、好ましくは、一実施形態のように、第１離型シート１４を第１型３に対して配置する。これにより、インダクタ１における磁性層３０が、第１型３の第１プレス面６１に対して固着したり、糊残りすること（汚染）を抑制できる。

図２の仮想線で示すように、第１離型シート１４の大きさを、厚み方向において外枠部材８１と対向するような大きさに変更することができる。この変形例の第４工程では、外枠部材８１が第１離型シート１４の周端部に接触（好ましくは、プレス）して、第１密閉空間８４、続いて、減圧空間８５を形成し、続いて、内枠部材５が第１離型シート１４の周端部をプレスして、減圧雰囲気下の第２密閉空間４５を形成する。

また、変形例では、第２離型シート７を配置しない。

他方、好ましくは、一実施形態のように、第２離型シート７を複数の配線９に対して配置する。これにより、インダクタ１における磁性層３０が、流動性柔軟シート６に対して固着したり、糊残りすること（汚染）を抑制できる。

複数の配線９のそれぞれは、例えば、図示しないが、断面視略矩形状などの断面視略多角形状を有することもできる。

第２工程は、第４工程を備えない。第２工程は、第３工程、第５工程および第６工程を順に備える。第５工程では、常圧雰囲気の第２密閉空間４５、内枠部材５によって形成される。第６工程では、常圧雰囲気で、磁性シート８および複数の配線９をプレスする。

好ましくは、第２工程は、第４工程を備える。第４工程によって、減圧空間８５が形成される、第５工程では、減圧雰囲気下の第２密閉空間４５を形成し、第６工程では、減圧雰囲気で磁性シート８をプレスできるので、磁性層３０に隙間が形成されることをより一層有効に抑制でき、さらに、リフロー工程における発泡を抑制できる。

＜第１態様～第３態様＞
以下の各態様において、上記した一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各態様は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、一実施形態、その変形例および各態様を適宜組み合わせることができる。

一実施形態では、１つの磁性シート８を熱プレスしているが、複数の磁性シート８を、それぞれ、または、一括して熱プレスすることもできる。以下、それらの具体的態様として、第１態様～第３態様を順に説明する。

［第１態様］
図７～図１０に示すように、第１態様は、第１磁性シート２１および複数の配線９を熱プレスしてインダクタ前駆体４０を作製する工程（図８参照）と、インダクタ前駆体４０および第２磁性シート２２を熱プレスする工程（図１０参照）とを備える。

インダクタ前駆体４０を作製するには、図７に示すように、まず、第１磁性シート２１を第１離型シート１４のプレス方向上流側面に配置する（一実施形態の第３工程に相当）。

第１磁性シート２１は、後述する第２磁性シート２２とともに、磁性層３０を形成するための準備シートである。第１磁性シート２１は、上記した磁性シート８が厚み方向において分割された分割シートでもある。第１磁性シート２１の材料は、上記と同様の磁性組成物である。

また、第１磁性シート２１の磁性組成物は、好ましくは、等方性を示す形状を有する磁性粒子を含有し、より好ましくは、略扁平形状を有する磁性粒子を含有する。
第１磁性シート２１において、上記した磁性粒子の容積割合の下限は、例えば、３０容積％、好ましくは、４５容積％であり、また、上限が、例えば、８５容積％、好ましくは、７５容積％である。

第１磁性シート２１における上記した磁性粒子の容積割合が上記した下限以上であれば、第１磁性シート２１が所望の比透磁率を確保することができる。

第１磁性シート２１における上記した磁性粒子の容積割合が上記した上限以下であれば、第１磁性シート２１における熱硬化性樹脂（さらには熱可塑性樹脂）の割合を高くでき、そのため、熱プレス時の第１磁性シート２１の流動性を向上させて、隣り合う配線９間に第１磁性シート２１が円滑に流れ込み、上記した隙間の形成を有効に抑制できる。また、熱プレスにおける第１磁性シート２１の流動時には、第１磁性シート２１の磁性組成物が、隣り合う配線９の互いの対向面９９（周面において、厚み方向一端面９５および他端面９６（後述）間の面であって、隣の配線９に面する側面）に対して円滑に回り込む。そのため、隣り合う配線９が外側に移動することを有効に抑制することができる。

第１磁性シート２１の厚みの下限は、例えば、１０μｍ、好ましくは、２０μｍであり、また、上限が、例えば、２０００μｍ、好ましくは、１０００μｍである。配線９の半径に対する第１磁性シート２１の厚みの比の下限は、例えば、０．０１、好ましくは、０．１であり、また、上限が、例えば、２．０、好ましくは、１．５である。

第１磁性シート２１の厚みおよび／または比が上記した下限以上であれば、隣り合う配線９間の隙間を確実に充填することできる。

第１磁性シート２１の厚みが上記した上限以下であれば、磁性層３０が複数の配線９の厚み方向一端面９５および他端面９６を露出させることができる。

第１磁性シート２１の比透磁率は、特に限定されず、インダクタ１の用途および目的に応じて、適宜設定され、例えば、５０以下、１超過である。なお、第１磁性シート２１の比透磁率は、周波数１０ＭＨｚで、インピーダンスアナライザによって測定される。後述する第２磁性シート２２の比透磁率も、上記と同様である。

その後、図８に示すように、一実施形態の第４工程（図３参照）、第５工程（図４参照）および第６工程（図８参照）を順に実施する。つまり、第１密閉空間８４を減圧して減圧空間８５を形成（図３参照）し、その後、第２密閉空間４５を形成して（図４参照）、その後、第１磁性シート２１および複数の配線９を熱プレスする（図８参照）。

とりわけ、熱プレス装置２を用いて、第１磁性シート２１および複数の配線９を熱プレス（等方圧プレス）すると、第１磁性シート２１は、複数の配線９のそれぞれの側方に回り込んだ後、隣り合う配線９間、および、最外側に位置する複数の配線９の外側に位置する。すると、前駆磁性層３１は、複数の配線９の、第１磁性シート２１における厚み方向一端面９５および他端面９６を露出する。なお、厚み方向一端面９５および他端面９６は、まだ、それぞれ、第２離型シート７および第１離型シート１４に接触している。

配線９の厚み方向一端面９５は、配線９の周面において、第１磁性シート２１の厚み方向の一端縁９７を含み、上記した一端縁９７と配線９の中心とを結ぶ線分を基準として、円周方向両方（時計回りの方向、および、反時計回りの方向）のそれぞれに、例えば、６０度、好ましくは、４５度、より好ましくは、３０度進んだ領域である。換言すれば、配線９の厚み方向一端面９５は、隣り合う配線９を結ぶ線分を基準として、配線９における一の周方向（配線９３に流れる電流に向かって発生する磁界の一方向）に、例えば、３０度以上、１５０度以下進んだ領域、好ましくは、４５度以上、１３５度以下進んだ領域、より好ましくは、６０度以上、１２０度以下進んだ領域である。なお、上記した一端縁９７は、配線９の周面において、プレス方向上流側端縁に相当する。

配線９の厚み方向他端面９６は、配線９の周面において、第１磁性シート２１の厚み方向の他端縁９８を含み、上記した他端縁９８と配線９の中心とを結ぶ線分を基準として、円周方向両方（時計回りの方向、および、反時計回りの方向）のそれぞれに、例えば、６０度、好ましくは、４５度、より好ましくは、３０度進んだ領域である。換言すれば、配線９の厚み方向他端面９６は、隣り合う配線９を結ぶ線分を基準として、配線９における他の周方向（配線９３に流れる電流に向かって発生する磁界の他方向）に、例えば、３０度以上、１５０度以下進んだ領域、好ましくは、４５度以上、１３５度以下進んだ領域、より好ましくは、６０度以上、１２０度以下進んだ領域である。なお、上記した他端縁９８は、配線９の周面において、プレス方向下流側端縁に相当する。一端縁９７および他端縁９８を結んだ直線上に、上記した配線９の中心が位置する。

上記した熱プレス（等方圧プレス）によって、隣り合う配線９間に跨がるが、配線９の厚み方向一端面９５および他端面９６を露出する（被覆しない）前駆磁性層３１が形成される。なお、前駆磁性層３１の全部は、複数の配線９が隣り合う方向に投影したときに、隣り合う配線９に包含される。前駆磁性層３１は、隣り合う配線９間の略中央部において、厚みが最も薄くなる薄肉部９４を含む。複数の配線９のそれぞれの半径に対する薄肉部９４の厚みの比の下限は、例えば、０．１、好ましくは、０．２であり、また、上限が、例えば、１．５である。

これによって、前駆磁性層３１および複数の配線９を備えるインダクタ前駆体４０を作製する。

なお、このインダクタ前駆体４０は、前駆磁性層３１の熱硬化性樹脂は、Ｃステージである。

続いて、図９に示すように、第２磁性シート２２、および、インダクタ前駆体４０を、熱プレス装置２を用いて熱プレスする。

具体的には、まず、上記したインダクタ前駆体４０を熱プレス装置２から取り出す。その後、第２磁性シート２２およびインダクタ前駆体４０を熱プレス装置２に再びセットする。具体的には、２つの第２磁性シート２２を、インダクタ前駆体４０の厚み方向（プレス方向）両側に配置する。

第２磁性シート２２は、第１磁性シート２１とともに、磁性層３０を形成するための準備シートである。第２磁性シート２２は、上記した磁性シート８が厚み方向において分割された分割シートでもある。

第２磁性シート２２の比透磁率は、インダクタ１の用途および目的に応じて、適宜設定され、下限が、例えば、１５、好ましくは、２０であり、また、上限が、例えば、２００以下、好ましくは、１５０、より好ましくは、７５である。

第１磁性シート２１の比透磁率に対する第２磁性シート２２の比透磁率の比の下限は、例えば、１超過、好ましくは、１．１、より好ましくは、１．５であり、また、上限が、例えば、３である。

第１磁性シート２１および第２磁性シート２２の比透磁率および／または比が上記した範囲にあれば、インダクタ１における直流重畳特性を向上できる。

２つの第２磁性シート２２のそれぞれは、単層または複層であり、好ましくは、複層である。具体的には、図９に示すように、２つの第２磁性シート２２のそれぞれは、第１シート５１、第２シート５２、第３シート５３、第４シート５４、第５シート５５、第６シート５６、第７シート５７、第８シート５８、および、第９シート５９を備える。

第１シート５１～第９シート５９は、例えば、下記式（１）を満足するように、磁性粒子の種類、形状および容積割合などを適宜変更する。
μ１＝μ２＝μ３＜μ４＝μ５＜μ６＝μ７＝μ８＝μ９ （１）
式（１）中、μ１～μ９は、以下の通りである。

μ１：第１シート５１の比透磁率
μ２：第２シート５２の比透磁率
μ３：第３シート５３の比透磁率
μ４：第４シート５４の比透磁率
μ５：第５シート５５の比透磁率
μ６：第６シート５６の比透磁率
μ７：第７シート５７の比透磁率
μ８：第８シート５８の比透磁率
μ９：第９シート５９の比透磁率
第１シート５１～第９シート５９の比透磁率が上記式（１）を満足すれば、インダクタ１における直流重畳特性を向上できる。

第１シート５１～第９シート５９の比透磁率が上記となるように、磁性組成物の処方を適宜設定して、第１シート５１～第９シート５９を作製する。

上記した各シートを、上記した磁性組成物から面方向に延びる板形状に形成する。

続いて、上記した２つの第２磁性シート２２によって、インダクタ前駆体４０を挟み込む。

便宜的に、複数の配線９のプレス方向上流側に配置されるシートを「一方のシート」と称呼し、複数の配線９のプレス方向下流側に配置されるシートを「他方のシート」と称呼する。例えば、一方の第１シート５１～第９シート５９と、他方の第１シート５１～第９シート５９とによって、インダクタ前駆体４０を挟み込む。

一方の第２磁性シート２２と、インダクタ前駆体４０と、他方の第２磁性シート２２とを備える前駆体積層体４１を作製する。

なお、前駆体積層体４１を予め作製し、これを、熱プレス装置２にセットすることができる。例えば、２つの平行平板を備える平板プレスによって、一方の第２磁性シート２２および他方の第２磁性シート２２とを、インダクタ前駆体４０に対して仮貼着（仮貼り）（仮固定）して、前駆体積層体４１を作製する。平行プレスの条件は、熱硬化性樹脂が完全硬化しないが、第２磁性シート２２とインダクタ前駆体４０とが粘着する（仮固定される）ような、加熱温度および加熱時間である。

上記した前駆体積層体４１を第１離型シート１４および第２離型シート７の間に配置する。

その後、前駆体積層体４１に対して、第４工程（図３参照）、第５工程（図４参照）および第６工程（図１０参照）を順に実施し、つまり、第１密閉空間８４を減圧して減圧空間８５を形成（図３参照）し、その後、第２密閉空間４５を形成して（図４参照）、前駆体積層体４１を熱プレスする（図１０参照）。

第１磁性シート２１を熱プレスするとき（図８参照）の第１回目の圧力Ｐ１と、第２磁性シート２２を含む前駆体積層体４１を熱プレスするとき（図１０参照）の第２回目の圧力Ｐ２とは、同一または相異なってもよい。好ましくは、第１回目の圧力Ｐ１より第２回目の圧力Ｐ２が高く、具体的には、第１回目の圧力Ｐ１に対する第２回目の圧力Ｐ２の比（Ｐ２／Ｐ１）の下限が、例えば、１．５、好ましくは、２、より好ましくは、２．５であり、また、上限が、例えば、２５、好ましくは、１５、より好ましくは、１０である。

比（Ｐ２／Ｐ１）が上記した下限以上であれば、複数の配線９の厚み方向一端面９５および他端面９６と、外側磁性層３７との間に隙間を生じることを有効に抑制できる。

比（Ｐ２／Ｐ１）が上記した上限以下であれば、隣り合う配線９間の間隔が広がることを有効に抑制できる。

これによって、磁性層３０が形成される。

なお、磁性層３０は、後述する内側磁性層３６および外側磁性層３７を含む。内側磁性層３６は、第１磁性シート２１と、第２磁性シート２２の第１シート５１～第３シート５３とから形成される。外側磁性層３７は、第２磁性シート２２の第４シート５４～第９シート５９から形成される。

磁性層３０では、上記した熱プレスによって、第２磁性シート２２（第１シート５１～第９シート５９）に対応する領域が、Ｃステージとなる。

そして、この方法では、まず、隙間の形成が十分に抑制されたインダクタ前駆体４０を確実に作製した後、第２磁性シート２２をインダクタ前駆体４０に配置して、これらを熱プレスできるので、隙間の形成がより一層十分に抑制されたインダクタ１を製造することができる。

［第１態様の変形例］
以下の変形例において、上記した第１態様と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、変形例は、特記する以外、第１態様と同様の作用効果を奏することができる。さらに、一実施形態、および、その変形例を適宜組み合わせることができる。

変形例では、インダクタ前駆体４０において、前駆磁性層３１は、複数の配線９の厚み方向一端面９５のみを露出し、他端面９６を被覆する。

［第２態様～第３態様］
第２態様～第３態様では、インダクタ前駆体４０を作製することなく、複数の配線９に、複数の磁性シート８を順にまたは一括して配置して、熱プレスする。

［第２態様］
第２態様では、図１１～図１３に示すように、２つの第１磁性シート２１および２つの第２磁性シート２２を備える複数の磁性シート８を準備する。

第２態様では、図１１～図１４に示すように、まず、複数の配線９に対して、２つの第１磁性シート２１で挟み、これらを熱プレス装置２で熱プレスし、その後、２つの第２磁性シート２２を挟む。

一方の第１磁性シート２１および一方の第２磁性シート２２は、３つ以上のシートでもよく、例えば、図１５Ａ～図１５Ｉに示すように、一方の第１シート５１～一方の第９シート５９を含んでもよい。他方の第１磁性シート２１および他方の第２磁性シート２２も、３つ以上のシートでもよく、例えば、他方の第１シート５１～他方の第９シート５９を含んでもよい。

第２態様では、図１１に示すように、まず、他方の第１磁性シート２１、複数の配線９、および、一方の第１磁性シート２１を第１離型シート１４および第２離型シート７の間に配置する（第３工程）。続いて、図１２に示すように、第４工程～第６工程を順に実施して、Ｃステージの内側磁性層３６を形成する。これによって、複数の配線９と、隣り合う複数の配線９間に跨がるように、複数の配線９を被覆する内側磁性層３６とを備えるインダクタ１を製造する。

続いて、このインダクタ１を熱プレス装置２から取り出す。その後、図１３に示すように、他方の第２磁性シート２２、インダクタ１および一方の第２磁性シート２２を第１離型シート１４および第２離型シート７の間に配置する（第３工程）。続いて、図１４に示すように、第４工程～第６工程を順に実施して、これらを熱プレスして、Ｃステージの外側磁性層３７を形成する。

これによって、内側磁性層３６および外側磁性層３７からなる磁性層３０が形成される。

なお、図１５Ａ～図１６に示すように、一方の第１磁性シート２１および一方の第２磁性シート２２が、一方の第１シート５１～一方の第９シート５９を含み、他方の第１磁性シート２１および他方の第２磁性シート２２が、他方の第１シート５１～他方の第９シート５９を含む場合には、図１５Ａに示すように、まず、熱プレス装置２において、他方の第１シート５１、複数の配線９および一方の第１シート５１をプレス方向上流側に向かって順に配置し（第３工程）、その後、それらを熱プレスしてインダクタ１を得（第４工程～第６工程）、かかるインダクタ１を熱プレス装置２から取り出す。

続いて、図１５Ｂに示すように、熱プレス装置２において、他方の第２シート５２、インダクタ１および一方の第２シート５２をプレス方向上流側に向かって順に配置し（第３工程）、その後、それらを熱プレスして、インダクタ１を得（第４工程～第６工程）、かかるインダクタ１を熱プレス装置２から取り出す。その後、図１５Ｃ～図１５Ｈに示すように、この処理を、第３シート５３～第９シート５９のそれぞれで繰り返す。

これによって、図１６に示すように、複数の配線９と、隣り合う複数の配線９間に跨がるように、複数の配線９を被覆する磁性層３０とを備えるインダクタ１を製造する。

磁性層３０は、例えば、第１シート５１～第３シート５３から形成される内側磁性層３６と、第４シート５４～第９シート５９から形成される外側磁性層３７とを含む。

［第３態様］
第３態様では、図１７～図１８に示すように、複数の配線９に対して、複数の磁性シート８をまとめて配置し、これらを熱プレス装置２を用いてまとめて熱プレスする。

図１７に示すように、例えば、２つの第１磁性シート２１および２つの第２磁性シート２２で複数の配線９を挟んだ積層体４８を準備する。

より具体的には、プレス方向上流側に向かって順に、他方の第２磁性シート２２、他方の第１磁性シート２１、複数の配線９、他方の第１磁性シート２１、および、他方の第２磁性シート２２を配置し、これらを平板プレスによって、互いに仮貼着して、積層体４８を作製する。

図１８に示すように、続いて、積層体４８を熱プレス装置２を用いて熱プレスする。

これによって、第１磁性シート２１および第２磁性シート２２がＣステージ化し、それぞれ、内側磁性層３６および外側磁性層３７を形成する。内側磁性層３６および外側磁性層３７からなる磁性層３０が形成される。

内側磁性層３６は、図１９に示す第１シート５１～第３シート５３から形成される。外側磁性層３７は、図１９に示す第４シート５４～第９シート５９から形成される。

［第２態様および第３態様の組合せ］
第２態様および第３態様を組合せることができる。例えば、一方の第１磁性シート２１および一方の第２磁性シート２２が３つのシートであり、他方の第１磁性シート２１および他方の第２磁性シート２２が３つのシートである場合に、複数の配線９の両側のそれぞれにおいて、まず、１つのシートを配置し、熱プレスした後、２つのシートを配置してこれらをまとめて熱プレスする。または、複数の配線９の両側のそれぞれにおいて、まず、２つのシートを配置し、これらをまとめて熱プレスした後、１つのシートを配置して熱プレスすることができる。

以下に調製例、実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。なお、本発明は、何ら調製例、実施例および比較例に限定されない。また、以下の記載において用いられる配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合割合（含有割合）、物性値、パラメータなど該当記載の上限（「以下」、「未満」として定義されている数値）または下限（「以上」、「超過」として定義されている数値）に代替することができる。

調製例１
（バインダーの調製）
エポキシ樹脂（主剤）２４．５質量部、フェノール樹脂（硬化剤）２４．５質量部、イミダゾール化合物（硬化促進剤）１質量部、アクリル樹脂（熱可塑性樹脂）５０質量部を混合して、バインダーを調製した。

実施例１
（第１態様に相当）
図１に示すように、まず、上記した熱プレス装置２としてドライラミネータ（日機装社製）を準備した（第１工程の実施）。

磁性粒子および調製例１のバインダーを、表１に記載の容積割合となるように配合および混合して、第１磁性シート２１と、第２磁性シート２２（第１シート５１～第９シート５９）とを、それぞれ、表１に記載の磁性粒子の種類、容積割合となるように、作製した。

半径が１３０μｍの配線９を複数準備した。

次いで、図７に示すように、第１離型シート１４、第１磁性シート２１、複数の配線９、第２離型シート７を、順に、第１型３の第１プレス面６１に配置した。隣り合う配線９間の距離Ｌ０は、２４０μｍであった。

その後、図３に示すように、外枠部材８１を第１型３に密着させて、第１密閉空間８４を形成した。続いて、真空ポンプ１６を駆動して、第１密閉空間８４を減圧して、減圧空間８５を形成した（第４工程）。減圧空間８５の気圧は２６６６Ｐａ（２０ｔｏｒｒ）であった。

その後、内枠部材５を、第１型３にプレスして、減圧空間８５より小さく、２６６６Ｐａの第２密閉空間４５を形成した（第５工程）。

その後、図８に示すように、第２型４を第１型３に近づけて、流動性柔軟シート６、第２離型シート７および第１離型シート１４を介して、磁性シート８および複数の配線９を熱プレスした（第６工程）。熱プレスの温度は、１７０℃、時間は、１５分である。熱プレスの圧力は、表１および表５の記載の通りである。

これによって、第１磁性シート２１の熱硬化性樹脂が硬化して、上記した形状を有する前駆磁性層３１が形成された。これにより、複数の配線９および前駆磁性層３１を備えるインダクタ前駆体４０を作製した。

その後、インダクタ前駆体４０を熱プレス装置２から取り出した。インダクタ前駆体４０において、複数の配線９の厚み方向一端面９５および他端面９６は、前駆磁性層３１から露出していた。薄肉部９４の厚みは、３５μｍであった。

併せて、第１離型シート１４を交換した。また、第２離型シート７も交換した。

続いて、図９に示すように、一方の第１シート５１～一方の第９シート５９と、他方の第１シート５１～他方の第９シート５９とによって、インダクタ前駆体４０を挟み込み、平板プレスによって、前駆体積層体４１を作製した。平板プレスの条件は、温度１１０℃、１分間、圧力０．９ＭＰａ（ゲージ圧で２ｋＮ）であった。

その後、前駆体積層体４１を、第１離型シート１４および第２離型シート７の間に配置し（第３工程）、図１０に示すように、熱プレス装置２によって熱プレスした（第４工程～第６工程）。熱プレスの温度は、１７０℃、時間は、１５分である。熱プレスの圧力は、表１および表５の記載の通りである。

これによって、複数の配線９と、隣り合う配線９間に跨がるように、複数の配線９を被覆する磁性層３０を備えるインダクタ１を製造した。

磁性層３０は、第１磁性シート２１と、第２磁性シート２２の第１シート５１～第３シート５３とから形成され、カルボニル鉄粉（球形状）を含有する内側磁性層３６と、第２磁性シート２２の第４シート５４～第９シート５９から形成され、Ｆｅ－Ｓｉ合金（扁平形状）を含有する外側磁性層３７とを備えていた。

実施例２
（第２態様に相当）
図１に示すように、まず、上記した熱プレス装置２としてドライラミネータ（日機装社製）を準備した（第１工程の実施）。

また、磁性粒子および調製例１のバインダーを、表２に記載の容積割合となるように配合および混合して、第１磁性シート２１および第２磁性シート２２（第１シート５１～第９シート５９）を、それぞれ、表２に記載の磁性粒子の種類、容積割合となるように、作製した。

半径が１３０μｍの配線９を複数準備した。

図１１および図１５Ａに示すように、その後、熱プレス装置２の第１離型シート１４および第２離型シート７の間に、他方の第１シート５１、複数の配線９および一方の第１シート５１をプレス方向上流側に向かって順に配置し（第３工程）、その後、それらを熱プレスしてインダクタ１を得（第４工程～第６工程）、かかるインダクタ１を熱プレス装置２から取り出した。なお、熱プレスの温度は、１７０℃、時間は、１５分である。熱プレスの圧力は、表２および表５の記載の通りである。

図１５Ｂに示すように、その後、第１離型シート１４を交換し、第２離型シート７を交換した後、かかる第１離型シート１４および第２離型シート７の間に、他方の第２シート５２、インダクタ１および一方の第２シート５２をプレス方向上流側に向かって順に配置し（第３工程）、その後、それらを熱プレスして、インダクタ１を得（第４工程～第６工程）、かかるインダクタ１を熱プレス装置２から取り出した。その後、図１５Ｃ～図１５Ｉに示すように、これらの処理を、第３シート５３～第９シート５９のそれぞれについて繰り返した。上記したいずれの熱プレスにおいても、熱プレスの温度が、１７０℃、時間は、１５分である。熱プレスの圧力は、表２および表５の記載の通りである。

これによって、図１６に示すように、複数の配線９と、隣り合う複数の配線９間に跨がるように、複数の配線９を被覆する磁性層３０とを備えるインダクタ１を製造した。

磁性層３０は、第１シート５１～第３シート５３とから形成され、カルボニル鉄粉（球形状）を含有する内側磁性層３６と、第４シート５４～第９シート５９から形成され、Ｆｅ－Ｓｉ合金（扁平形状）を含有する外側磁性層３７とを備えていた。

実施例３（第３態様に相当）
図１に示すように、まず、上記した熱プレス装置２としてドライラミネータ（日機装社製）を準備した（第１工程の実施）。

また、磁性粒子および調製例１のバインダーを、表３に記載の容積割合となるように配合および混合して、第１磁性シート２１および第２磁性シート２２（第１シート５１～第９シート５９を、それぞれ、表３に記載の磁性粒子の種類、容積割合となるように、作製した。

半径が１３０μｍの配線９を複数準備した。

図１９に示すように、その後、複数の配線９を、他方の第１シート５１～他方の第９シート５９と、一方の第１シート５１～一方の第９シート５９とで挟み、平板プレスによって、積層体４８を作製した。平板プレスの条件は、温度１１０℃、１分間、圧力０．９ＭＰａ（ゲージ圧で２ｋＮ）であった。積層体４８では、厚み方向一方側に向かって、他方の第９シート５９～他方の第１シート５１、複数の配線９、および、一方の第１シート５１～一方の第９シート５９が順に配置されている。

その後、積層体４８を、熱プレス装置２の第１離型シート１４および第２離型シート７の間に配置し（第３工程）、その後、図１８に示すように、積層体４８を熱プレスしてインダクタ１を得た（第４工程～第６工程）。なお、熱プレスの温度は、１７０℃、時間は、１５分である。熱プレスの圧力は、表３および表５の記載の通りである。

これによって、図１８に示すように、複数の配線９と、隣り合う複数の配線９間に跨がるように、複数の配線９を被覆する磁性層３０とを備えるインダクタ１を製造した。

磁性層３０は、第１シート５１～第３シート５３とから形成され、カルボニル鉄粉（球形状）を含有する内側磁性層３６と、第４シート５４～第９シート５９から形成され、Ｆｅ－Ｓｉ合金（扁平形状）を含有する外側磁性層３７とを備えていた。

実施例４（第３態様の変形例に相当）
平板プレスによるプレスを実施しなかった以外は、実施例３と同様に処理した。熱プレスの圧力は、表４および表５の記載の通りである。

比較例１
等方圧プレスに代えて平板プレスを実施し、平板プレスの圧力を実施例１よりも低く設定した以外は、実施例１と同様に処理した。つまり、等方圧プレスを実施せず、平板プレスの圧力を０．４ＭＰａに設定した。

比較例２
等方圧プレスに代えて平板プレスを実施し、平板プレスの圧力を実施例１よりも高く設定した以外は、実施例１と同様に処理した。つまり、等方圧プレスを実施せず、平板プレスの圧力を２．７ＭＰａに設定した。

比較例３
等方圧プレスに代えて平板プレスを実施し、平板プレスの圧力を実施例２よりも低く設定した以外は、実施例１と同様に処理した。つまり、等方圧プレスを実施せず、平板プレスの圧力を０．４ＭＰａに設定した。

比較例４
等方圧プレスに代えて平板プレスを実施し、平板プレスの圧力を実施例２よりも高く設定した以外は、実施例１と同様に処理した。つまり、等方圧プレスを実施せず、平板プレスの圧力を３．６ＭＰａに設定した。

比較例５
等方圧プレスに代えて平板プレスを実施し、平板プレスの圧力を実施例３よりも低く設定した以外は、実施例１と同様に処理した。つまり、等方圧プレスを実施せず、平板プレスの圧力を０．４ＭＰａに設定した。

比較例６
等方圧プレスに代えて平板プレスを実施し、平板プレスの圧力を実施例３よりも高く設定した以外は、実施例１と同様に処理した。つまり、等方圧プレスを実施せず、平板プレスの圧力を３．６ＭＰａに設定した。

＜評価＞
［磁性層の隙間］
各実施例および各比較例のインダクタ１の断面をＳＥＭ観察し、隣り合う配線９における磁性層３０に隙間があるか否かを確認した。下の基準に従って評価した。
×：隣り合う配線９の対向面９９の近傍の磁性層３０に隙間が観察された。
○：磁性層３０に上記した隙間が観察されなかった。

［複数の配線間の距離の変動］
各実施例および各比較例のインダクタ１の長手方向中央部を平面視し、インダクタ１において隣り合う配線９間の距離Ｌ１を測定した。また、熱プレス前の隣り合う配線９間の距離Ｌ０との関係から、下記の通り、評価した。
◎：１．０≦Ｌ１／Ｌ０＜１．１
○：１．１≦Ｌ１／Ｌ０＜１．３
×：１．３≦Ｌ１／Ｌ０
［作業性］
各実施例および各比較例のインダクタ１の製造方法の作業性を、以下の基準に従って評価した。
◎：仮貼りがなく、また、インダクタ前駆体を形成せず、さらに、複数の磁性シートに対応する複数の熱プレスがなかった。また、製造時間が最も短かった。そのため、極めて良好な作業性であった。
○：仮貼りがあるものの、また、インダクタ前駆体を形成せず、また、複数の磁性シートに対応する複数の熱プレスがなかった。「◎」評価に比べて製造時間が長かった。そのため、とても良好な作業性であった。
△：仮貼りがあり、インダクタ前駆体を形成するものの、複数の磁性シートに対応する複数の熱プレスがなかった。「○」評価に比べて製造時間が長かった。そのため、良好な作業性であった。
×：仮貼りがあり、インダクタ前駆体を形成し、複数の磁性シートに対応する複数の熱プレスがあった。また、「△」評価に比べて製造時間が長かった。そのため、作業性が低かった。

［外観］
各実施例および各比較例のインダクタ１の外観を、以下の基準に従って評価した。
×：ひび割れが観察された。
○：ひび割れが観察されなかった。

１ インダクタ
２ 熱プレス装置
３ 第１型
４ 第２型
５ 内枠部材
６ 流動性柔軟シート
８ 磁性シート
９ 配線
１２ クッションフィルム
１８ 一端面
１９ 他端面
２１ 第１磁性シート
２２ 第２磁性シート
３０ 磁性層
３１ 前駆磁性層
４０ インダクタ前駆体
４５ 密閉空間
６２ 第２プレス面
８１ 外枠部材
９５ 厚み方向一端面
９６ 厚み方向他端面

Claims (4)

1. 熱プレス装置を準備する第１工程であって、前記熱プレス装置は、第１型と、前記第１型とプレス方向に間隔が隔てられ、前記第１型より小さい第２型と、前記第２型の周りを囲い、前記第１型と前記プレス方向に間隔が隔てられ、前記第２型に対してプレス方向に移動可能な枠部材と、前記第２型における前記第１型に面するプレス面に配置される流動性柔軟シートとを備える前記第１工程と、
   前記熱プレス装置によって、磁性粒子および熱硬化性樹脂を含有し、前記流動性柔軟シートより小さい磁性シート、および、互いに間隔が隔てられる複数の配線を熱プレスすることにより、前記複数の配線と、隣り合う前記配線間に跨がるように、前記複数の配線を被覆し、前記磁性粒子および前記熱硬化性樹脂の硬化体を含有する磁性層とを備えるインダクタを製造する第２工程とを備え、
   前記第２工程は、
   前記磁性シートおよび前記複数の配線を、前記プレス方向に投影したときに前記流動性柔軟シートと重なるように、セットする第３工程と、
   前記枠部材を、前記第１型にプレスする第５工程と、
   前記第２型を前記第１型に近づけて、前記流動性柔軟シートおよび離型シートを介して前記磁性シートおよび前記複数の配線を熱プレスする第６工程と
   を備えることを特徴とする、インダクタの製造方法。
2. 前記熱プレス装置は、前記枠部材の周りを囲い、前記第１型と間隔が隔てられ、前記第１型に対して接触可能な減圧空間形成部材をさらに備え、
   前記第３工程の後、前記第５工程の前に、
   前記減圧空間形成部材を前記第１型に接触させて、減圧空間を形成する第４工程をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載のインダクタの製造方法。
3. 前記離型シートが、クッションフィルムを含むことを特徴とする、請求項１または２に記載のインダクタの製造方法。
4. 前記磁性シートは、第１磁性シートおよび第２磁性シートを備え、
   前記第２工程は、前記第１磁性シートを、前記熱プレス装置を用いて熱プレスして、隣り合う前記配線間に跨がるが、前記配線の厚み方向一端面を露出する第１磁性層を備えるインダクタ前駆体を作製する工程と、
   前記インダクタ前駆体、および、前記第２磁性シートを、前記熱プレス装置を用いて熱プレスして、前記配線の周面の全部を被覆する磁性層を形成する工程とを備えることを特徴とする、請求項１～３のいずれか一項に記載のインダクタの製造方法。