JP7501864B2 - コリメートを行うカバー要素によって覆われたスキャンミラーを備えた送信器 - Google Patents

コリメートを行うカバー要素によって覆われたスキャンミラーを備えた送信器 Download PDF

Info

Publication number
JP7501864B2
JP7501864B2 JP2023040585A JP2023040585A JP7501864B2 JP 7501864 B2 JP7501864 B2 JP 7501864B2 JP 2023040585 A JP2023040585 A JP 2023040585A JP 2023040585 A JP2023040585 A JP 2023040585A JP 7501864 B2 JP7501864 B2 JP 7501864B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transmitter
mirror
cover element
laser beams
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2023040585A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2023078283A (ja
Inventor
シャラー ウーヴェ
ラーベ クリスティアン
Original Assignee
イエーノプティーク オプティカル システムズ ゲーエムベーハー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by イエーノプティーク オプティカル システムズ ゲーエムベーハー filed Critical イエーノプティーク オプティカル システムズ ゲーエムベーハー
Publication of JP2023078283A publication Critical patent/JP2023078283A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7501864B2 publication Critical patent/JP7501864B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B7/00—Microstructural systems ; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
    • B81B7/0032—Packages or encapsulation
    • B81B7/0067—Packages or encapsulation for controlling the passage of optical signals through the package
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06—Systems determining position data of a target
    • G01S17/42—Simultaneous measurement of distance and other co-ordinates
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4814—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of transmitters alone
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4814—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of transmitters alone
    • G01S7/4815—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of transmitters alone using multiple transmitters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4817—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements relating to scanning
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/491—Details of non-pulse systems
    • G01S7/4911—Transmitters
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/123—Multibeam scanners, e.g. using multiple light sources or beam splitters
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H01S5/0071—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping for beam steering, e.g. using a mirror outside the cavity to change the beam direction
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022—Mountings; Housings
    • H01S5/0225—Out-coupling of light
    • H01S5/02255—Out-coupling of light using beam deflecting elements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/4012—Beam combining, e.g. by the use of fibres, gratings, polarisers, prisms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/04—Optical MEMS
    • B81B2201/042—Micromirrors, not used as optical switches
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4811—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver
    • G01S7/4813—Housing arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

本発明は、ライダースキャナ（ＬＩＤＡＲスキャナ（ＬＩＤＡＲ：light detection and ranging））用の送信器にして、コリメートされたレーザー光線を用いて少なくとも１つの走査角度範囲を走査する送信器に関するものである。
個々の走査点がほぼ無限遠に結像される距離測定においては、個々の走査角度範囲は、２次元的な走査野（スキャンフィールド）の走査によって３次元的な拡がり（拡張）を有する、又は、１次元的な走査線（スキャンライン）の走査によって２次元的な拡がりを有する。
走査野或いは走査線の拡がりがスキャンミラーの最大の揺動角度により制限されている一方で、その深さは基本的に、一方では光線の強度が進行経路と共に指数関数的に減衰するというランベルト・ベールの法則によって決定されており、また他方では光線源の出力を制限する必要とされるレーザークラスによって制限されている。
大きな走査角度範囲は、例えば広い領域が空間内で空白なしに観察されるべきであるところで重要となる。これに関する使用分野は例えば、航空、船舶航行、軍事技術、又は、路上車両の自動走行（自律走行）であり得る。
それを用いて大きな走査角度を網羅することが出来る回転性のミラーをスキャンミラーとして使用する場合、例えば内部でミラー軸が支持されている複数のホルダーといった、複数の更なる個別の構成要素（個別部品）が必要とされる。回転に伴い生じる摩擦は、摩耗及びそれにより生じる滑りを導く。複数の個別の構成部材からなる構成グループは、今日では通常、一体的に（単一部材的に）製造された構成グループよりも製造に関してより労力がかかり、また従ってより高価である。それらは小型化がより困難であり、また通常より高重量である。
一体的に個体ジョイントを介して１つのフレームと接続されている複数のＭＥＭＳミラー（ＭＥＭＳ：Micro Electro Mechanic Systems）は、完全に消耗なしに機能し、その際、ＭＥＭＳミラーの中心点の周りで互いに１８０°ずれて配設されている２つの個体ジョイントは機械的に見て１つの回転軸を形成している。以下のような商用（市販）のＭＥＭＳミラーも存在する、即ち、１つの回転軸の周りでのみ揺動され得る、互いに垂直な２つの回転軸の周りで揺動され得る、又は、個別のサスペンション部（マウント部）を形成する３つ以上のジョイントの周りで揺動され得る、商用（市販）のＭＥＭＳミラーも存在する。その際フレームに対するＭＥＭＳミラーの揺動角度（偏向角度）は、個体ジョイント接続に基づいて、その都度、揺動されていないゼロ位置の周りで±約１０°に制限されている。摩擦のない駆動、高い値に到達可能なその駆動周波数、及び、昨今の比較的低い価格は、ＭＥＭＳミラーを目下、動的且つ小型でまた堅牢な装置にとって非常に魅力的なものとしている。
しかしながらライダースキャナ（ＬＩＤＡＲスキャナ）の送信器（トランスミッターデバイス）用のスキャンミラーとして複数のＭＥＭＳミラーを用いる場合は、制限された小さい揺動角度が欠点である。ＭＥＭＳミラーを介して反射されるレーザー光線にとっての最大の走査角度範囲は、最大の揺動角度の４倍からもたらされ、従って最大で約４０°の値を取る。個々のＭＥＭＳミラーの複数の走査角度範囲から、１つの合成されたより大きな角度領域を獲得するために、又は、互いに遠く離れて存在する複数の走査角度範囲をもたらすために、複数のＭＥＭＳミラーを用いることは自明であろう。しかしながらそれにより、一方では、装置のコンパクトさが損なわれる可能性があり、また他方では、複数のＭＥＭＳミラーをそれらの運動経過に関して同期させるために技術的な措置が取られなければならない可能性がある。その代わりに、複数のレーザー光線を異なる入射角度でＭＥＭＳミラーへ指向させること、そしてその結果、それらが、互いに隣り合う複数の個別の走査角度範囲にして１つの大きな走査角度範囲を組み立てる走査角度範囲を走査することは、ＭＥＭＳミラーの上流のカバー要素にして従来技術に従えば平坦プレートの形態でのみ知られているカバー要素が個々のレーザー光線に異なる影響を与えることが欠点となる可能性がある。更に、レーザー光線源のレーザー光線ごとに、１つのレーザー光源が必要とされることとなり、当該レーザー光源はそれぞれ、放射方向で下流に配置された１つのコリメーターを備えており、その際、複数のレーザー光線源はそれらの放射方向において互いに以下のように調整されていなければならないことになる、すなわち複数のレーザー光線が異なる特定の入射角でＭＥＭＳミラーに当たるように、調整されていなければならないことになる。
スキャンミラーがＭＥＭＳミラーであるかどうかとは無関係に、スキャンミラーがハウジング内に入れられており、またカバー要素によって覆われており、また従って保護されていることには、複数の理由があり得る。この場合知られている限りにおいて常に、カバー要素は、揺動されていないミラーに対して平行に又は傾斜して配設された透明な平坦プレートである。
カバー要素へ入射する１つのレーザー光線は、これは場合によってはスキャンミラーへ指向される複数のレーザー光線及びスキャンミラーでの反射の後のそれぞれのレーザー光線に関係するものであるが、それ故、平坦プレートへの入射角に応じて、レーザー光線の強度を位置に応じて多少低減させる多少のフレネルロス（フレネル損失）を被る。更に、カバー要素での望まれない反射が起こり得る。
特許文献１からは、送信ユニット（出射ユニット）を備えた光学的な対象物検知ユニットが知られており、当該対象物検知ユニットは、レーザー光線を発するための送信機、その中心点の周りで１つ又は２つの回動方向の周りで回動可能なマイクロミラー、及び、送信光線経路内でマイクロミラーの下流側にこれを覆うように配設されている送信レンズ、を含んでいる。メニスカスレンズとして設計されている送信レンズはこの場合、送信ユニットのハウジングのカバーとしても機能することが出来る。この場合の欠点は、レーザー光線がマイクロミラーに向かって送信レンズを介さずには案内され得ないのでマイクロミラーがそれ自体のみではハウジング内へ組み込まれ得ないことである。
特許文献２からは、少なくとも２つの切り替え位置にて回動可能なＭＥＭＳミラーにして、屈折率分布型レンズ（ＧＲＩＮレンズ）で覆われるＭＥＭＳミラーを有する照射装置（投影装置）が知られている。屈折率分布型レンズはそれぞれ、非常にポジティブに屈折的な平凸レンズ又は非常にポジティブに屈折的なメニスカスであり、その平坦面又は凹面はそれぞれ、ＭＥＭＳミラーに向けられて配置されている。屈折率分布型レンズを介して入射するおそらくは平行なレーザー光線束は、ＭＥＭＳミラー上へフォーカスされ、また、反射後に屈折率分布型レンズを新たに通過する際に場合によっては再度コリメートされる。一方では、ＭＥＭＳミラーが、屈折率分布型レンズの平坦面によって制限されて、非常に小さい回動領域しか有していないことが欠点であり、また他方では、場合によっては異なる入射角度から来る複数のレーザー光線が屈折率分布型レンズの平坦面又は凹面のそれぞれでの屈折に基づいてＭＥＭＳミラー上で同一の点に当たらないことが欠点である。
ＤＥ １０ ２０１２ ０２５ ２８１ Ａ１ ＤＥ １０ ２０１１ ００６ １５９ Ａ１
本発明の課題は、カバー要素によって保護されているスキャンミラーを有するライダースキャナ用の送信器にして、カバー要素にて可能な限り僅かなフレネルロスしか発生せず又望まれない反射が発生しない送信器を見出すことである。更に本送信器は、コンパクトな構成形態を有し、製造に関してアジャストメントは殆ど必要ない。
この課題は、請求項１の特徴を用いて解決される。有利な実施形態は請求項１に従属する下位請求項に記載されている。
本発明を以下に、複数の例示実施形態及び図面に基づいてより詳細に説明する。
送信器の第１の例示実施形態の原理図を示す。 送信器の第１の例示実施形態の原理図を示す。 送信器の第１の例示実施形態の原理図を示す。 送信器の第２の例示実施形態の原理図を示す。 送信器の第２の例示実施形態の原理図を示す。 送信器の第３の例示実施形態の原理図を示す。 送信器の第３の例示実施形態の原理図を示す。 送信器の第２の例示実施形態の構成を斜視図で示す。 送信器の第３の例示実施形態の構成を斜視図で示す。
本発明に従う送信器は、例えば図１ａから図１ｃから見て取れるように、全ての実施形態において、単独のレーザーダイオード１．１又は少なくとも２つのレーザーダイオード１．１、・・・１．ｎを含んでおり、当該レーザーダイオード１．１、・・・１．ｎのそれぞれは、光線軸Ａ１、・・・、Ａｎを有する及びファスト軸（速軸）ｆａ及びスロー軸（遅軸）ｓａにおいて異なる放射角を有するレーザー光線Ｓ１、・・・、Ｓｎを放射する。
送信器が少なくとも２つのレーザーダイオード１．１、・・・１．ｎを含むケースでは、これらは、それらのスロー軸ｓａの方向に並んで１つの列を形成するように配置されており、また、複数の光線軸Ａ１、・・・、Ａｎは互いに平行に延びている。それによりそれらは、光線軸が互いに１つの角度をなす配置の場合と比べて、互いにより狭めて配置され得て、また、角度位置を調整するためのアジャストメントは必要ない。
更に、送信器はその中心点ＭＰの周りで揺動可能なスキャンミラー２を含んでおり、当該スキャンミラー２は透明なカバー要素４を有するハウジング３の内部に配設されている。少なくとも１つのレーザー光線Ｓ１、・・・、Ｓｎの光線軸Ａ１、・・・、Ａｎは、以下のようにカバー要素４へ指向されている、すなわち、少なくとも１つのレーザー光線Ｓ１、・・・、Ｓｎが入射領域（入力領域）４．１内でカバー要素４を通過した後、光線軸Ａ１、・・・、Ａｎが中心点ＭＰに当たるように、そして、少なくとも１つのレーザー光線Ｓ１、・・・、Ｓｎがスキャンミラー２での反射の後、出射領域（出力領域）４．２内で新たにカバー要素４を通過するように、指向されている。
カバー要素４が、入射領域４．１に以下の構成要素を有していること、すなわち、少なくとも１つのレーザー光線Ｓ１、・・・、Ｓｎをファスト軸ｆａの方向で予めコリメート（プレコリメート）するためのトロイド形状の入射面（トロイダル入射面）５．１、レーザー光線Ｓ１、・・・、Ｓｎを中心点ＭＰへ偏向（転向、方向転換）させるための、少なくとも２つのレーザーダイオード１．１、・・・１．ｎに割り当てられたそれぞれ１つの第１のミラー面５．３１、・・・、５．３ｎ、及び、少なくとも１つのレーザー光線Ｓ１、・・・、Ｓｎをスロー軸ｓａの方向で予めコリメートするための少なくとも１つのトロイド形状の出射面（トロイダル出射面）５．２１、・・・、５．２ｎ、を有していることが、本発明にとって本質的である。トロイダル面（toroidal surface）としては、以下のような物体の表面又は物体の表面の一部分が理解され、当該物体は形状的には、平面的な図形を、当該図形自体と同一の平面内に存在する回転軸の周りで回転させることによってもたらされ得るものである。そのような物体は、トロイドとも称される。トロイドの重要な特殊例又は境界例は、トーラス（環状体、輪環体）、球、及び、円柱、並びに、任意の（また特には放物線状の）断面を有する柱体である。その種の特殊例又は境界例の表面及び表面の一部分は従って同様に、トロイダル面の例として見なされる。画像エラーを補正（修正）するために面を若干変更することは、当業者にはよく知られている。
トロイダルな（屈折性の又は反射性の）光学面は、一般的に、ビーム形状に対して互いに直行する２つの方向において異なった影響を与える。柱状レンズの特殊例又は境界例においては（当該レンズの断面形状はその場合球面である必要はない）、ビーム形状はある方向では影響を受けないままである。通常の球面レンズの特殊例又は境界例では、ビーム形状は両方向で同等に影響を受ける。
更に、カバー要素４が出射領域４．２では単一中心的な（単心的な、モノセントリックな）半球殻ＨＫの一部分によって形成されていること、及び、仮想の単一中心的な半球殻ＨＫ（以下単に半球殻ＨＫという）の曲率中心Ｋとスキャンミラー２の中心点ＭＰが一致するようにカバー要素４がスキャンミラー２を覆って配設されていること、が本発明にとって本質的である。「単一中心的」とは、半球殻ＨＫの両側の表面の曲率中心が一致することを意味している。曲率中心Ｋの位置及び中心点ＭＰの間の、製造上及び組み立て上もたらされる公差、長期ドリフト、並びに、公差偏差は、光線の質の悪化を導くが複数の制限内で許容可能である。
揺動されていないスキャンミラー２の垂線Ｌに対して少なくとも１つのレーザー光線Ｓ１、・・・、Ｓｎがスキャンミラー２に当たる入射角度α１、・・・αｎとは完全に独立して、当該レーザー光線Ｓ１、・・・、Ｓｎの光線軸Ａ１、・・・、Ａｎは、スキャンミラー２での反射後に、その位置とは無関係に、スキャンミラー２の揺動中に常に垂直に、出射領域４．２に形成された半球殻ＨＫの一部分へ当たる。
カバー要素４へ当たるレーザー光線Ｓ１、・・・、Ｓｎは、カバー要素４を通過する際、入射領域４．１内で一方では向きを変えられ、また他方ではレーザーダイオード１．１、・・・、１．ｎのファスト軸ｆａ及びスロー軸ｓａの方向で以下のように予めコリメートされる、すなわち、レーザー光線Ｓ１、・・・、Ｓｎが同一の小さい収束角でファスト軸ｆａ及びスロー軸ｓａの方向でスキャンミラー２の中心点ＭＰに当たり、また、カバー要素４を通過した後、出射領域４．２内で完全にコリメートされているように、予めコリメートされる。
有利にはカバー要素４は、１つの殻６、及び、図４に図示されているようにその中に取り付けられた１つの光学的ブロック５によって、形成される。同様に有利にはカバー要素４は、１つの殻６、及び、図５に図示されているようにそれに隣接する光学的ブロック５によって形成されていてもよい。その際、殻６には半球殻ＨＫの一部分が形成されており、また、光学的ブロック５にはトロイダル入射面５．１、少なくとも２つの第１のミラー面５．３１、・・・、５．３ｎ、及び少なくとも１つの出射面５．２１、・・・、５．２ｎが形成されている。
殻６は有利には半球殻ＨＫの一部である。
図１ａから図１ｃには、例として３つのレーザーダイオード１．１、１．２、１．３を有する第１の例示実施形態が、レーザーダイオード１．２から発せられるレーザー光線Ｓ２並びにレーザーダイオード１．１、１．２、１．３の光線軸Ａ１、Ａ２、Ａ３を含めて図示されている。レーザー光線Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３はトロイダル入射面５．１１での屈折によって、ファスト軸ｆａの方向で予めコリメートされる。トロイダル入射面５．１１はこの場合、円柱面である。
存在するレーザー光線Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３と同数だけ、第１のミラー面５．３１、５．３２、５．３３が設けられている。第１のミラー面５．３１、５．３２、５．３３は、互いに傾いた平坦面であり、その際、それらの大きさ、及び、それらの中心点の間隔、並びに隣り合う平坦面の間の傾斜角度は、それぞれレーザーダイオード１．１、１．２、１．３の間隔からもたらされる。３本のレーザー光線Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３のうち中央のレーザー光線Ｓ２が、ファスト軸ｆａが存在する１つの平面でのみ転向されるのに対し、外側の光線Ｓ１、Ｓ３はそれに対し垂直な平面においても転向され、その結果、３本全てのレーザー光線Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３がスキャンミラー２の中心点ＭＰへ入射する（当たる）。第１のミラー面５．３１、・・・、５．３ｎはその際、レーザー光線Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３のコリメーションには影響しない。第１のミラー面５．３１、５．３２、５．３３のそれぞれには、トロイダル出射面５．２１、５．２２、５．２３が割り当てられている。トロイダル出射面５．２１、５．２２、５．２３は、それぞれ円柱面であってもよく、また従って、スロー軸ｓａの方向でのみコリメートすることが可能であり、しかしながらそれらは好ましくは、スロー軸ｓａでまた追加的にファスト軸ｆａでコリメートするトロイダル面であり、その結果、入射面５．１は僅かな屈折力を有することが可能である。これに関し有利には、トロイダル入射面５．１でのレーザー光線Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の予めのコリメーションによって、レーザー光線Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３のファスト軸ｆａの方向での光線角度（放射角度）が、スロー軸ｓａの方向での光線角度に既に適合される場合には、複数の球面が設けられてもよい。予めコリメートされたレーザー光線Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３は、若干収束的でなければならない可能性があるが、それはその後に負の屈折力を有する出射領域４．２での屈折によって完全にコリメートされるためである。
図２ａ及び図２ｂに図示されている第２の例示実施形態は、入射領域４．１に第２のミラー面５．４が設けられていることによって、第１の例示実施形態とは異なっている。必要な空間を最小化するためまた入射面５．１及びレーザーダイオード１．１、１．２、１．３の位置を変更出来るように、第２のミラー面５．４はレーザー光線Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を折り返すためにのみ利用される。
図４には第２の例示実施形態の構成の斜視図が示されている。図４では、カバー要素４の形状が入射領域４．１及び出射領域４．２の外側で空間の必要性を最小化するために適合されたことが明確に見て取れる。
図３ａ及び図３ｂに図示されている第３の例示実施形態は、多数のレーザーダイオード１．１、・・・、１．ｎに対して、又は、複数の光線軸Ａ１、・・・、Ａｎの複数の間隔が設定されている場合に、格別に有利である。設けられているレーザーダイオード１．１、・・・、１．ｎと同数の第１のミラー面５．３１、・・・、５．３ｎに代えて、この場合は、ただ１つの第１のミラー面５．３１のみが存在しており、当該ただ１つの第１のミラー面５．３１は、焦点ＦＰＳを有する放物面状のミラー面（放物鏡面）ＰＳであって、また、それは以下のように配設されている、すなわち、当該焦点ＦＰＳが、この場合下流に配されている１つのトロイダル出射面５．２１の屈折力が理論的に無視されるならば、曲率中心Ｋ及び中心点ＭＰと一致することになるように、配設されている。複数のレーザーダイオード１．１、・・・、１．ｎがまた従って光線軸Ａ１、・・・、Ａｎが互いにどの程度の間隔を有しているかとは無関係に、光線軸Ａ１、・・・、Ａｎは、焦点ＦＰＳへまた従ってスキャンミラー２の中心点ＭＰへ反射される。放物面状のミラー面ＰＳはトロイダルな放物面状のミラー面であってもよく、それに伴い厳密に言えば１本の焦線がもたらされるが、当該焦線は全ての光線軸Ａ１、・・・、Ａｎが集合し焦点ＦＰＳとして理解される点を含んでいる。
トロイダル出射面５．２１は、このケースでは非球円柱面であり、その際、入射面５．１及び１つの出射面５．２１の円柱軸は互いに垂直な状態にある。
殻６及び光学的ブロック５は、個別に製造されていてもよく、また、好ましくは接着剤によって互いに接合されていてもよい。しかしながら有利にはそれらは１つの部材から一体的に製造されている。
１つのみのレーザーダイオード１．１を備える送信器は、図面には表されていない特殊なケースである。ただ１つのレーザー光線Ｓ１の１つの光線軸Ａ１はスキャンミラー２の中心点ＭＰへ直接指向され得るので、この場合は第１のミラー面５．３１は必要ない。次に入射領域４．１には、レーザー光線Ｓ１は入射面５．１及び出射面５．２１を介してのみ案内される。
本発明に従う送信器の全ての実施形態は、コリメーションのための全ビーム整形、及び、レーザーダイオード光線Ｓ１、・・・、Ｓｎのスキャンミラー２へ向かう光線偏向（光線の方向転換）がカバー要素４内で行われ、それに伴い、本送信器がアジャストメントの殆ど必要でないコンパクトな構造形態を有するという長所を有している。
１．１１、・・・、１．１ｎ レーザーダイオード
２ スキャンミラー
３ ハウジング
４ カバー要素
４．１ （カバー要素４の）入射領域
４．２ （カバー要素４の）出射領域
５ 光学的ブロック
５．１ （光学的ブロック５）の入射面
５．２１、・・・、５．２ｎ （光学的ブロック５）の出射面
５．３１、・・・、５．３ｎ （光学的ブロック５）の第１のミラー面
５．４ （光学的ブロック５）の第２のミラー面
６ 殻
Ｓ１、・・・、Ｓｎ レーザー光線
Ａ１、・・・、Ａｎ （レーザー光線Ｓ１、・・・、Ｓｎの）光線軸
ｆａ （レーザーダイオード１．１１、・・・、１．１ｎの）ファスト軸（速軸）
ｓａ （レーザーダイオード１．１１、・・・、１．１ｎの）スロー軸（遅軸）
ＭＰ （スキャンミラー２の）中心点
Ｌ 垂線
ＨＫ 単一中心的な半球殻
ＰＳ 放物面状のミラー面
ＦＰＳ 放物面状のミラー面の焦点
α１、・・・、αｎ 入射角度

Claims (7)

  1. －少なくとも２つのレーザーダイオード（１．１、・・・、１．ｎ）にしてそれぞれが光線軸（Ａ１、・・・、Ａｎ）及びファスト軸（ｆａ）及びスロー軸（ｓａ）での異なる放射角を有するレーザー光線（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）を放射する少なくとも２つのレーザーダイオード（１．１、・・・、１．ｎ）、及び
    －その中心点（ＭＰ）の周りで揺動可能なスキャンミラー（２）であって透明なカバー要素（４）を備えるハウジング（３）内部に配設されたスキャンミラー（２）を含む、
    送信器にして、
    前記少なくとも２つのレーザーダイオード（１．１、・・・、１．ｎ）はそれらのスロー軸（ｓａ）の方向で並んで、１つの列を形成して配設されており、また、前記光線軸（Ａ１、・・・、Ａｎ）が互いに平行に延びており、
    少なくとも２つの前記レーザー光線（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）の前記光線軸（Ａ１、・・・、Ａｎ）が以下のように前記カバー要素（４）へ向けられている、すなわち、前記光線軸（Ａ１、・・・、Ａｎ）が、少なくとも２つの前記レーザー光線（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）が入射領域（４．１）内で前記カバー要素（４）を通って通過した後に前記中心点（ＭＰ）に当たりまた少なくとも２つの前記レーザー光線（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）が前記スキャンミラー（２）での反射の後に出射領域（４．２）内で再度前記カバー要素（４）を横断するように、前記カバー要素（４）へ向けられている、
    送信器において、
    ・前記カバー要素（４）が前記入射領域（４．１）において、
    －前記ファスト軸（ｆａ）の方向でのみ少なくとも２つの前記レーザー光線（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）を予めコリメートするための円柱面の形状のトロイダル入射面（５．１）、及び
    －少なくとも２つの前記レーザー光線（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）を前記スロー軸（ｓａ）及び前記ファスト軸（ｆａ）の方向で予めコリメートするための少なくとも１つのトロイダル出射面（５．２１、・・・、５．２ｎ）、又は、
    －少なくとも２つの前記レーザー光線（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）を前記スロー軸（ｓａ）の方向でのみ予めコリメートするための円柱面の形状に形成された少なくとも１つの出射面（５．２１、・・・、５．２ｎ）、を有しており、
    前記ファスト軸（ｆａ）及び前記スロー軸（ｓａ）の方向で同一の小さい収束角を有する少なくとも２つの前記レーザー光線（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）が、前記スキャンミラー（２）の前記中心点（ＭＰ）へ向けられ、反射され、及び、前記カバー要素（４）を通過した後に負の屈折力を有する前記出射領域（４．２）内で完全にコリメートされること、及び、
    ・前記カバー要素（４）が、前記出射領域（４．２）にて、
    －曲率中心（Ｋ）の周りに単一中心的な半球殻（ＨＫ）の一部分を有し、前記半球殻（ＨＫ）は、前記半球殻（ＨＫ）の前記曲率中心（Ｋ）及び前記スキャンミラー（２）の前記中心点（ＭＰ）が一致するように前記スキャンミラー（２）を覆って配設されていること、
    を特徴とする送信器。
  2. 請求項１に記載の送信器において、
    前記カバー要素（４）が、１つの殻（６）及びこの殻（６）内に組み入れられた又は境を接している光学的ブロック（５）によって形成されており、その際前記殻（６）には前記単一中心的な半球殻（ＨＫ）の一部分が形成されており、
    また、前記光学的ブロック（５）には、
    －円柱面の形状のトロイダル入射面（５．１）、
    －それぞれの前記レーザー光線（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）を前記スキャンミラー（２）の前記中心点（ＭＰ）へ向けるために、前記少なくとも２つのレーザーダイオード（１．１、・・・、１．ｎ）にそれぞれ割り当てられたミラー面（５．３１、・・・、５．３ｎ）、及び、
    －少なくとも１つの前記トロイダル出射面（５．２１、・・・、５．２ｎ）、が形成されていること、
    を特徴とする送信器。
  3. 請求項１に記載の送信器において、
    前記殻（６）が単一中心的な前記半球殻（ＨＫ）の一部であること、
    を特徴とする送信器。
  4. 請求項２に記載の送信器において、
    少なくとも２つの前記レーザーダイオード（１．１、・・・、１．ｎ）にそれぞれ割り当てられた前記ミラー面が、互いに傾斜した平坦面を有する複数の第１のミラー面（５．３１、・・・、５．３ｎ）として形成されており、その結果、少なくとも２つの前記レーザー光線（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）が異なる角度分だけ転向されること、
    を特徴とする送信器。
  5. 請求項２に記載の送信器において、
    少なくとも２つの前記レーザーダイオード（１．１、・・・、１．ｎ）にそれぞれ割り当てられた前記ミラー面が、ちょうど１つの第１のミラー面（５．３１）として存在しており、当該第１のミラー面（５．３１）が放物面（ＰＳ）であり、その結果、少なくとも２つの前記レーザー光線（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）が異なる角度分だけ転向されること、
    を特徴とする送信器。
  6. 請求項２に記載の送信器において、
    前記光学的ブロック（５）が第２のミラー面（５．４）を有しており、それを用いて少なくとも２つの前記レーザー光線（Ｓ１、・・・、Ｓｎ）が折り返されること、
    を特徴とする送信器。
  7. 請求項１に記載の送信器において、
    前記カバー要素（４）が一体的に製造されていること、
    を特徴とする送信器。
JP2023040585A 2017-08-21 2023-03-15 コリメートを行うカバー要素によって覆われたスキャンミラーを備えた送信器 Active JP7501864B2 (ja)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE202017105001.7 2017-08-21
DE202017105001.7U DE202017105001U1 (de) 2017-08-21 2017-08-21 LIDAR-Scanner mit MEMS-Spiegel und wenigstens zwei Scanwinkelbereichen
DE102017123878.6A DE102017123878B4 (de) 2017-08-21 2017-10-13 Sendeeinrichtung mit einem durch ein kollimierendes Abdeckelement überdeckten Scanspiegel
DE102017123878.6 2017-10-13
PCT/DE2018/100682 WO2019037810A1 (de) 2017-08-21 2018-08-02 Sendeeinrichtung mit einem durch ein kollimierendes abdeckelement überdeckten scanspiegel
JP2020511150A JP2020531826A (ja) 2017-08-21 2018-08-02 コリメートを行うカバー要素によって覆われたスキャンミラーを備えた送信器

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020511150A Division JP2020531826A (ja) 2017-08-21 2018-08-02 コリメートを行うカバー要素によって覆われたスキャンミラーを備えた送信器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2023078283A JP2023078283A (ja) 2023-06-06
JP7501864B2 true JP7501864B2 (ja) 2024-06-18

Family

ID=60020715

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020511150A Pending JP2020531826A (ja) 2017-08-21 2018-08-02 コリメートを行うカバー要素によって覆われたスキャンミラーを備えた送信器
JP2020511243A Active JP7232818B2 (ja) 2017-08-21 2018-08-02 カバー要素によって覆われたスキャンミラーを備えたライダースキャナ用の送信器
JP2023040585A Active JP7501864B2 (ja) 2017-08-21 2023-03-15 コリメートを行うカバー要素によって覆われたスキャンミラーを備えた送信器

Family Applications Before (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020511150A Pending JP2020531826A (ja) 2017-08-21 2018-08-02 コリメートを行うカバー要素によって覆われたスキャンミラーを備えた送信器
JP2020511243A Active JP7232818B2 (ja) 2017-08-21 2018-08-02 カバー要素によって覆われたスキャンミラーを備えたライダースキャナ用の送信器

Country Status (8)

Country Link
US (2) US11522335B2 (ja)
EP (2) EP3673290B1 (ja)
JP (3) JP2020531826A (ja)
KR (2) KR102564681B1 (ja)
CN (2) CN111344593B (ja)
DE (3) DE202017105001U1 (ja)
IL (2) IL272802B2 (ja)
WO (2) WO2019037810A1 (ja)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102017213070A1 (de) * 2017-07-28 2019-01-31 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung einer MEMS Spiegelanordnung und MEMS Spiegelanordnung
CN107656258A (zh) * 2017-10-19 2018-02-02 深圳市速腾聚创科技有限公司 激光雷达及激光雷达控制方法
WO2019159802A1 (ja) * 2018-02-13 2019-08-22 パイオニア株式会社 制御装置、照射システム、制御方法、及びプログラム
EP3608625B1 (de) 2018-08-07 2023-10-25 Hexagon Technology Center GmbH Oct vermessung
US11726182B2 (en) * 2018-10-11 2023-08-15 GM Global Technology Operations LLC Multiple beam, single MEMS lidar
CN109270552B (zh) * 2018-11-07 2022-12-30 山东理工大学 一种直升机载激光雷达激光扫描姿态角稳定方法与装置
DE102018219475B4 (de) * 2018-11-15 2025-10-30 Robert Bosch Gmbh Optische Anordnung zum Aussenden mehrerer Lichtstrahlen mit verschiedenen Ausbreitungsrichtungen und LiDAR-Sensor
US11262575B2 (en) * 2019-03-01 2022-03-01 Beijing Voyager Technology Co., Ltd. MEMS package with double-sided mirror
US11493609B2 (en) 2019-03-01 2022-11-08 Beijing Voyager Technology Co., Ltd. MEMS device with integrated mirror position sensor
DE102019207073B4 (de) * 2019-05-15 2021-02-18 OQmented GmbH Bilderzeugungseinrichtung für ein scannendes Projektionsverfahren mit Bessel-ähnlichen Strahlen
EP3865895B1 (en) * 2020-02-17 2026-05-20 Leica Geosystems Tech A/S Construction machine equipped with a measurement system and construction site measurement system
US20230127991A1 (en) * 2020-03-26 2023-04-27 Wemems Co.,Ltd. Light scanner package and method for manufacturing same
KR102615202B1 (ko) * 2020-03-26 2023-12-19 주식회사 위멤스 광스캐너 패키지 및 제조 방법
DE102020113647A1 (de) 2020-05-20 2021-11-25 Blickfeld GmbH Optical System for Light Detection and Ranging, LIDAR
US11681048B2 (en) 2020-07-31 2023-06-20 Uatc, Llc Multi-channel light detection and ranging (LIDAR) unit having a telecentric lens assembly and single circuit board for emitters and detectors
US20220043124A1 (en) * 2020-08-07 2022-02-10 Uatc, Llc Light Detection and Ranging (LIDAR) System Having Transmit Optics for Pre-Collimation Steering
DE102020211784A1 (de) 2020-09-21 2022-03-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein Optische messvorrichtung zur ortsaufgelösten abstandsbestimmung
US12506326B2 (en) 2020-10-19 2025-12-23 Osram Opto Semiconductors Gmbh Laser package and method for operating a laser package
US12224551B2 (en) 2020-12-10 2025-02-11 Osram Opto Semiconductors Gmbh Laser package and projector with the laser package
DE102020216026A1 (de) 2020-12-16 2022-06-23 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Sendeeinheit für einen LIDAR-Sensor, LIDAR-Sensor und ein Verfahren zur Aussendung von Primärlicht in ein Sichtfeld mittels eines LIDAR-Sensors
DE102020216012A1 (de) 2020-12-16 2022-06-23 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Sendeeinheit für einen LIDAR-Sensor, ein LIDAR-Sensor und ein Verfahren zur Aussendung von Primärlicht in ein Sichtfeld mittels eines LIDAR-Sensors
DE102021200968A1 (de) 2021-02-03 2022-08-04 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung LiDAR-System sowie Mehrfachpolygonspiegel
US12380203B2 (en) * 2021-06-30 2025-08-05 Citrix Systems, Inc. Redirection of attachments based on risk and context
CN113985600A (zh) * 2021-11-04 2022-01-28 珩图科技(上海)有限公司 一种大尺寸mems微镜结构及制作方法
WO2024118865A1 (en) * 2022-12-01 2024-06-06 Vulcanforms Inc. Control of additive manufacturing systems including multiple laser energy sources
CN117784399A (zh) * 2024-02-28 2024-03-29 安徽瑞控信光电技术股份有限公司 一种阵列快反镜
CN121026001A (zh) * 2024-05-27 2025-11-28 空中客车简化股份公司 检测模块、检测装置、检测系统和检测方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080123170A1 (en) 2006-11-27 2008-05-29 Riegl Laser Measurement Systems Gmbh Scanning apparatus
JP2013241308A (ja) 2012-05-22 2013-12-05 Panasonic Corp 成形金型
WO2017033476A1 (ja) 2014-09-01 2017-03-02 三菱電機株式会社 波長結合外部共振器型レーザ装置

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3899145A (en) * 1973-07-20 1975-08-12 Us Navy Laser transmitting and receiving lens optics
JPS58192015A (ja) * 1982-05-04 1983-11-09 Toshiba Corp 複数光束走査装置
FR2682791B1 (fr) * 1991-10-18 1995-04-28 Thomson Csf Procede d'evitement des collisions entre aeronefs et ensemble optique destine a sa mise en óoeuvre.
EP0731417B1 (en) 1995-02-27 2004-07-14 Symbol Technologies, Inc. Scan module for optical scanner
JPH11109035A (ja) * 1997-10-08 1999-04-23 Nabco Ltd 物体検出装置
DE19939750C2 (de) 1999-08-21 2001-08-23 Laserline Ges Fuer Entwicklung Optische Anordnung zur Verwendung bei einer Laserdiodenanordnung sowie Laserdiodenanordnung mit einer solchen optischen Anordnung
JP2003021801A (ja) * 2001-07-10 2003-01-24 Canon Inc 画像表示装置
JP2004340880A (ja) * 2003-05-19 2004-12-02 Soatec Inc レーザ測定装置
DE10354780A1 (de) * 2003-11-21 2005-06-30 Schott Ag Refraktiv-diffraktive Hybridlinse, insbesondere zur Strahlformung von Hochleistungsdiodenlasern
DE10360950A1 (de) * 2003-12-23 2005-07-21 Sick Ag Optoelektronische Erfassungseinrichtung
DE202005015719U1 (de) * 2005-10-07 2005-12-08 Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg F/theta-Objektiv und Scannervorrichtung damit
EP1890168A1 (de) * 2006-08-18 2008-02-20 Leica Geosystems AG Laserscanner
JP5056362B2 (ja) * 2007-02-06 2012-10-24 株式会社デンソーウェーブ レーザレーダ装置
JP2009116151A (ja) * 2007-11-08 2009-05-28 Canon Inc 光偏向器、及びそれを用いた光学機器
JP2010060689A (ja) * 2008-09-02 2010-03-18 Panasonic Corp 光学反射素子ユニット
DE102008049477A1 (de) * 2008-09-29 2010-04-08 Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren und Vorrichtung zur Projektion mindestens eines Lichtstrahls
JP5257053B2 (ja) * 2008-12-24 2013-08-07 株式会社豊田中央研究所 光走査装置及びレーザレーダ装置
JP2010175488A (ja) * 2009-01-31 2010-08-12 Keyence Corp 光走査型光電スイッチ
US8038066B2 (en) * 2009-04-29 2011-10-18 Hand Held Products, Inc. Laser scanner with deformable lens
DE102011006159A1 (de) * 2011-03-25 2012-09-27 Osram Ag Gradientenlinse, Projektionsvorrichtung und Verfahren zum Projizieren von Licht
CN102914872B (zh) 2012-11-20 2015-06-03 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 半导体激光器椭圆光斑的整形和准直装置
DE102012025281A1 (de) * 2012-12-21 2014-06-26 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Optische Objekterfassungseinrichtung mit einem MEMS und Kraftfahrzeug mit einer solchen Erfassungseinrichtung
US9086273B1 (en) * 2013-03-08 2015-07-21 Google Inc. Microrod compression of laser beam in combination with transmit lens
JP2014186136A (ja) * 2013-03-22 2014-10-02 Denso Corp 鏡面を有する半導体装置
CN103543495B (zh) * 2013-08-05 2015-06-03 华中科技大学 一种图像采集和原位投影的光学装置
US8836922B1 (en) * 2013-08-20 2014-09-16 Google Inc. Devices and methods for a rotating LIDAR platform with a shared transmit/receive path
JP2016033529A (ja) * 2014-07-30 2016-03-10 リコー光学株式会社 光偏向器のカバー用光透過性部材、光偏向器、光学レンズ及び光学ミラー
JP6671629B2 (ja) 2015-03-18 2020-03-25 株式会社リコー 物体検出装置、センシング装置、及び移動体装置
DE102015110141A1 (de) * 2015-06-24 2016-12-29 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Sendeeinheit für eine optische Sensorvorrichtung
US10591600B2 (en) * 2015-11-30 2020-03-17 Luminar Technologies, Inc. Lidar system with distributed laser and multiple sensor heads

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080123170A1 (en) 2006-11-27 2008-05-29 Riegl Laser Measurement Systems Gmbh Scanning apparatus
JP2013241308A (ja) 2012-05-22 2013-12-05 Panasonic Corp 成形金型
WO2017033476A1 (ja) 2014-09-01 2017-03-02 三菱電機株式会社 波長結合外部共振器型レーザ装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2023078283A (ja) 2023-06-06
JP2020531911A (ja) 2020-11-05
US11764539B2 (en) 2023-09-19
EP3673291B1 (de) 2024-02-14
KR102564681B1 (ko) 2023-08-07
DE102017123875A1 (de) 2019-02-21
EP3673291A1 (de) 2020-07-01
JP7232818B2 (ja) 2023-03-03
EP3673290B1 (de) 2023-11-29
IL272802B (en) 2022-12-01
US20200355801A1 (en) 2020-11-12
CN111344593B (zh) 2025-06-24
WO2019037810A1 (de) 2019-02-28
CN111373278B (zh) 2024-11-08
KR20200040288A (ko) 2020-04-17
CN111373278A (zh) 2020-07-03
DE202017105001U1 (de) 2017-09-14
IL272802B2 (en) 2023-04-01
JP2020531826A (ja) 2020-11-05
DE102017123878B4 (de) 2020-06-18
IL272804B2 (en) 2023-04-01
IL272804A (en) 2020-04-30
KR102623745B1 (ko) 2024-01-10
KR20200041365A (ko) 2020-04-21
CN111344593A (zh) 2020-06-26
US11522335B2 (en) 2022-12-06
DE102017123878A1 (de) 2019-02-21
IL272802A (en) 2020-04-30
IL272804B (en) 2022-12-01
EP3673290A1 (de) 2020-07-01
WO2019037809A1 (de) 2019-02-28
US20200355798A1 (en) 2020-11-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11522335B2 (en) Transmitting device with a scanning mirror covered by a collimating cover element
JP7355171B2 (ja) 光学装置、これを用いた距離計測装置、及び移動体
KR101616635B1 (ko) 레이저 합성 광학 장치
KR20200016675A (ko) 광 스캐너 및 이를 포함하는 라이다 시스템
CN109870825A (zh) 一种基于mems振镜的准直系统及激光雷达
US20170235150A1 (en) Device for Shaping Laser Radiation
US20200150418A1 (en) Distance measurement device and mobile body
CN110537105B (zh) 光学扫描系统
JP2006505823A (ja) 光変換デバイス
US9441960B2 (en) Device for generating an optical dot pattern
JP3271995B2 (ja) 光学装置
CN112099241A (zh) 一种光束准直系统及方法、激光雷达
CN113126460A (zh) 一种激光扫描单元
CN119414365B (zh) 一种扫描模组及激光雷达
JP2002258185A (ja) ビーム合成方法・ビーム合成用プリズム・マルチビーム走査用光源装置・マルチビーム走査装置
CN121276482A (zh) 激光雷达系统
JP3439465B2 (ja) 光学装置
JPH10333067A (ja) マルチビーム走査光学系およびマルチビーム走査光学系用のカップリング光学系
JP2024061433A (ja) 光学センサ、受光モジュール

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230322

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230322

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240116

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240213

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240507

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240528

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7501864

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150