JP7517875B2 - チャックテーブル及び加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、チャックテーブル及び加工装置に関する。

研削砥石を用いてチャックテーブルの保持面に保持された被加工物を研削する研削装置を含む加工装置では、チャックテーブルをチャックテーブルの中心を軸に回転させつつ、研削砥石や研磨パッド等の加工具を接触させることにより加工が行われている。被加工物の加工中には被加工物の厚みが測定される。
被加工物の厚みは、保持面の高さと保持面に保持された被加工物の上面の高さとの差の計算によって算出される。そのため、被加工物の厚み測定では、保持面の高さの測定と被加工物の上面の高さの測定とを行う必要があり、特許文献１に開示のように保持面ハイトゲージと、上面ハイトゲージとの２つの測定器を備える厚み測定手段が用いられる。

従来のチャックテーブルの一例としての図１４に示すチャックテーブル９は、被加工物１４が保持される保持面９０と、保持面９０の高さの測定のために図示しない保持面ハイトゲージが位置付けられて高さが測定される環状の測定面９１とを備えている。被加工物１４の厚み測定では、保持面９０に被加工物１４が保持されている状態で図示しない上面ハイトゲージが被加工物１４の上面１４０に位置づけられるとともに、測定面９１に図示しない保持面ハイトゲージが位置付けられる。

特開２０２０－０４９５５７号公報

上記のような被加工物を保持する保持面の外側に環状の測定面を備えるチャックテーブルは大きくて重く、そのことが加工装置にチャックテーブルを取り付ける際やチャックテーブルを交換する際の作業負荷となっている。
したがって、加工装置に配設されるチャックテーブルにおいては、チャックテーブルの取り付け・交換等の作業を容易にするという課題がある。

本発明は、被加工物を保持する保持面を備えるチャックテーブルと、該チャックテーブルの中心を軸に回転させるテーブル回転部と、保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、該テーブル回転部によって回転する該被加工物の上面高さを非接触で測定する上面高さ測定器と、該上面高さ測定器により測定された値を用いて被加工物の厚みを算出する厚み算出部と、を少なくとも備える加工装置に用いられるチャックテーブルであって、該チャックテーブルは、基台と、該基台の上面に配設された保持部材とを備え、該保持面は、該保持部材の上面であって該基台の上面よりも高い位置にあり、該保持面の上方に上面高さ測定器が位置付けられている状態で、該テーブル回転部を用いて該チャックテーブルを回転させることにより該チャックテーブルに対して相対移動する該上面高さ測定器の測定軌道上、かつ該保持面でない位置に形成され該保持面に面一の測定面を備えるチャックテーブルである。
上記のチャックテーブルは、該上面高さ測定器が測定する測定軌道に複数の該保持面が配設されていることが望ましい。
上記のチャックテーブルは、該測定面と該保持面とを備えるサブチャックテーブルと、該サブチャックテーブルを連結する連結面を有する基台と、該基台の該連結面に形成される開口と、該サブチャックテーブルの被連結面に形成され該開口と該保持面とを連通する連通路と、を備えていることが望ましい。
本発明は、該チャックテーブルが装着され該保持面に被加工物を保持し該保持面の中心を軸に回転する保持手段と、被加工物の厚みを測定する厚み測定手段と、該被加工物を予め設定した所定の厚みに加工する加工手段とを備える加工装置であって、該厚み測定手段は、該保持面に保持された被加工物の上面高さおよび該測定面高さを非接触で測定する上面高さ測定器と、該保持手段の回転によって該上面高さ測定器の測定軌道上で測定した被加工物の上面高さと該測定面の高さとの差を被加工物の厚みとして算出する厚み算出部と、を備える加工装置である。

本発明のチャックテーブルは環状の測定面を要しないため、チャックテーブルを小型化することができ、チャックテーブルの軽量化を図ることができる。
また、サブチャックテーブルが基台の上に着脱可能に配設されている構成では、基台の上においてサブチャックテーブルを交換でき、軽量化も可能となっている。そして、サブチャックテーブルが交換可能であるため、容易にサイズ変更することができ、保持するワークの数も変更可能である。

加工装置の全体を表す斜視図である。 チャックテーブルの斜視図である。 チャックテーブルの平面図である。 チャックテーブルが回転した際の保持部材の回転軌跡を表す平面図である。 チャックテーブルの斜視図である。 チャックテーブルの平面図である。 チャックテーブルが回転した際の保持部材の回転軌跡を表す平面図である。 チャックテーブルの斜視図である。 チャックテーブルの平面図である。 チャックテーブルが回転した際の保持部材の回転軌跡を表す平面図である。 第２チャックテーブルの斜視図である。 第２基台の斜視図である。 （ａ）は表面が上側に向けられた状態のベース板を表す斜視図であり、（ｂ）は被連結面が上側に向けられた状態のベース板を表す斜視図である。 環状の測定面を備えるチャックテーブルを表す斜視図である。

図１に示す加工装置１は、加工手段３を用いてチャックテーブル２に保持された被加工物１４を研削加工する加工装置である。以下、加工装置１の構成について説明する。
加工装置１は、図１に示すように、Ｙ軸方向に延設されたベース１０と、ベース１０の＋Ｙ方向側に立設されたコラム１１とを備えている。

コラム１１の－Ｙ方向側の側面には、加工手段３を昇降可能に支持する加工送り手段４が配設されている。加工手段３は、例えばＺ軸方向の回転軸３５を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転駆動するスピンドルモータ３２と、スピンドル３０の下端に接続されたマウント３３と、マウント３３の下面に着脱可能に装着された研削ホイール３４とを備える研削手段である。

研削ホイール３４は、ホイール基台３４１とホイール基台３４１の下面に環状に配列された略直方体状の複数の研削砥石３４０とを備えている。研削砥石３４０の下面は、被加工物１４に接触する研削面３４２となっている。

スピンドルモータ３２を用いてスピンドル３０を回転させることにより、スピンドル３０に接続されたマウント３３及びマウント３３の下面に装着された研削ホイール３４が一体的に回転することとなる。

加工送り手段４は、Ｚ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に対して平行に配設された一対のガイドレール４１と、回転軸４５を軸にしてボールネジ４０を回転させるＺ軸モータ４２と、内部のナットがボールネジ４０に螺合して側部がガイドレール４１に摺接する昇降板４３と、昇降板４３に連結され加工手段３を支持するホルダ４４とを備えている。

Ｚ軸モータ４２によってボールネジ４０が駆動されて、ボールネジ４０が回転軸４５を軸にして回転すると、これに伴って、昇降板４３がガイドレール４１に案内されてＺ軸方向に昇降移動するとともに、ホルダ４４に保持されている加工手段３の研削ホイール３４がＺ軸方向に移動することとなる。

ベース１０の上にはチャックテーブル２が配設されている。ベース１０の内部には内部ベース１００が配設されており、内部ベース１００の上にはチャックテーブル２を水平方向（Ｙ軸方向）に移動させる水平移動手段５が配設されている。
水平移動手段５は、Ｙ軸方向の回転軸５５を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０に対して平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０に連結され回転軸５５を軸にしてボールネジ５０を回動させるＹ軸モータ５２と、底部のナットがボールネジ５０に螺合してガイドレール５１に沿ってＹ軸方向に移動する可動板５３とを備えている。
Ｙ軸モータ５２によりボールネジ５０が駆動されてボールネジ５０が回転軸５５を軸として回転すると、これに伴って可動板５３がガイドレール５１に案内されてＹ軸方向に移動することとなる。

可動板５３の上には、テーブル回転部２５が配設されている。テーブル回転部２５は、チャックテーブル２を回転可能に支持する回転部材２５０と、回転部材２５０の周りに配設された環状部材２５１とを備えている。環状部材２５１は回転部材２５０を回転可能な状態で支持している。
環状部材２５１の同一円周上における等間隔な位置には、例えば３つ（図１においては２つが示されている）の貫通孔２５６が形成されており、可動板５３の上には環状部材２５１を支持する３本（図１においては２本が示されている）の支持柱２５７が立設されている。それぞれの貫通孔２５６はそれぞれの支持柱２５７に貫通されており、支持柱２５７は可動板５３の上に固定されている。また、各々の支持柱２５７は例えば図示しない伸縮機構を有しており、各々の支持柱２５７がＺ軸方向に適宜伸縮することによってチャックテーブル２の傾きが調整される。

回転部材２５０は、例えば図示しないモータ等に連結されている。該モータを作動させて回転部材２５０を回転させることにより、チャックテーブル２をその中心２０００を軸にして回転させることが可能となっている。

また、水平移動手段５を用いて可動板５３がＹ軸方向に移動することにより、テーブル回転部２５及びチャックテーブル２が可動板５３と一体的にＹ軸方向に移動する構成となっている。

チャックテーブル２の周囲にはカバー２７及びカバー２７に伸縮自在に連結された蛇腹２８が配設されている。例えば、チャックテーブル２がＹ軸方向に移動すると、カバー２７がチャックテーブル２とともにＹ軸方向に移動して蛇腹２８が伸縮することとなる。

ベース１０の上における－Ｘ方向側には、テーブル回転部２５によって回転される被加工物１４の上面１４０の高さを非接触で測定する上面高さ測定器６が配設されている。
上面高さ測定器６は、例えばレーザー光線を投光して反射された反射光を測定することにより該レーザー光線が投光された部分の高さを測定するレーザー式の高さ測定器である。

チャックテーブル２は、図２に示すように略円板状の基台２０と、基台２０の上面２００に配設された略直方体状の３枚の保持部材２１とを備えている。図３には、チャックテーブル２の平面図が示されている。３枚の保持部材２１は、例えばその全てがＹ軸方向に対して平行に配列されており、３枚のうちの真ん中の１枚が基台２０の径方向奥側（＋Ｙ方向側）にややずらされて配設されている。
保持部材２１の上面は、板状の被加工物１４が保持される保持面２１０である。３つの保持面２１０の各々に被加工物１４を保持させることができる。

チャックテーブル２の基台２０の上かつ保持面２１０の上でない位置には、凸部２３が形成されている。凸部２３は、例えば基台２０の上面２００における径方向手前側（－Ｙ方向側）に配設されている。
図４には、保持部材２１の保持面２１０に被加工物１４が保持された状態でチャックテーブル２の中心２０００を軸にしてチャックテーブル２を回転させたときの被加工物１４の位置をチャックテーブル２が３０度回転する毎に描画して重ね合わせた図が示されている。凸部２３は、被加工物１４が保持面２１０に保持されている状態でテーブル回転部２５を用いてチャックテーブル２をその中心２０００を軸にして回転させることにより描かれる被加工物１４の軌跡のうちの最も外側の部分を円形に繋ぎ合わせた第１最大軌跡２９１の内側かつ、最も内側の部分を円形に繋ぎ合わせた第１最小軌跡２８１の外側の位置に設けられている。

凸部２３の上面は、上面高さ測定器６によってその高さが測定される測定面２３０である。測定面２３０の高さと保持面２１０の高さとは例えば同一であり、測定面２３０の高さを測定することによって保持面２１０の高さを認識することができる。
あるいは、保持面２１０と測定面２３０とは面一に形成されておらず、測定面２３０の高さと保持面２１０の高さとの間に所定の差が設けられていてもよい。この構成において、測定面２３０は保持面２１０に保持された加工された被加工物１４の上面より低く形成されている。また、この構成においては、測定面２３０の高さを測定し、測定された測定面２３０の高さに所定の差を適宜足し引きすることによって保持面２１０の高さを認識することが可能である。

また、図４には測定面２３０及び３つの保持面２１０を通るような軌道のうちの１つである第１測定軌道２４１が示されている。第１測定軌道２４１は、被加工物１４の厚みの測定の際にチャックテーブル２に対して相対移動する上面高さ測定器６の移動経路である。上面高さ測定器６が第１測定軌道２４１の上の一点の上方に位置づけられた状態で、テーブル回転部２５を用いてチャックテーブル２を回転させることにより、上面高さ測定器６が第１測定軌道２４１上を通ることとなる。

図２に戻って基台２０について説明する。基台２０の径方向最外周側には－Ｚ方向側に凹んだ凹部２２が形成されている。凹部２２の上面には複数のねじ穴２２３が形成されている。
基台２０は、ねじ穴２２３に対応する図示しないねじによって、図１に示した回転部材２５０の上端に設けられた図示しないチャックベースにねじ留めされて装着される。加工装置１においては、チャックテーブル２の基台２０が該チャックベースに装着されることによりテーブル回転部２５とチャックテーブル２とが一体化されて保持手段が構成される。該ねじを取り外すことによって、基台２０は該チャックベースに対して着脱可能である。

各々の保持部材２１の保持面２１０は、図示しない吸引源に接続されている。保持面２１０に被加工物１４が載置された状態で該吸引源を作動させて、生みだされた吸引力を保持面２１０に伝達することにより、被加工物１４を保持面２１０に吸引保持することができる。

上面高さ測定器６には、図１に示すように厚み算出部７が接続されている。厚み算出部７は、ＣＰＵやメモリ等を備える計算機を有しており、上面高さ測定器６によって測定された被加工物１４の上面１４０の高さと測定面２３０の高さとの差を厚み算出部７において計算することによって、被加工物１４の厚みを算出することができる。
上面高さ測定器６と厚み算出部７とによって、被加工物１４の厚みを測定する厚み測定手段が構成されている。

加工装置１を用いて、被加工物１４の厚みを算出しながら被加工物１４を研削加工する際の加工装置１の動作について説明する。
加工装置１を用いて被加工物１４を研削加工する際には、まず、３枚の被加工物１４をチャックテーブル２の保持面２１０に載置する。そして、チャックテーブル２に接続されている図示しない吸引源を作動させて、生み出された吸引力を保持面２１０に伝達する。これにより、３枚の被加工物１４が保持面２１０に吸引保持される。

被加工物１４が保持面２１０に吸引保持されている状態で、水平移動手段５を用いてチャックテーブル２を適宜の距離だけ＋Ｙ方向に移動させる。これにより、チャックテーブル２が加工手段３の下方に位置付けられるとともに、上面高さ測定器６が図２に示した第１測定軌道２４１の上方に位置づけられる。

次に、テーブル回転部２５を用いてチャックテーブル２を回転させて保持面２１０に保持されている被加工物１４を回転させるとともに、スピンドルモータ３２を用いて回転軸３５を軸にして研削砥石３４０を回転させる。
上面高さ測定器６が第１測定軌道２４１の上に位置づけられている状態で、チャックテーブル２が回転すると、上面高さ測定器６が第１測定軌道２４１上における被加工物１４の上面１４０の上と、基台２０の上面２００の上と、測定面２３０の上とに繰り返し位置付けられる。上面高さ測定器６が被加工物１４の上面１４０の上に位置づけられているときには被加工物１４の上面１４０の高さが測定される。また、上面高さ測定器６が測定面２３０の上に位置づけられているときには測定面２３０の高さが測定されて、保持面２１０の高さが認識される。そして、測定された被加工物１４の上面１４０の高さの情報と測定面２３０の高さ情報とはそれぞれ厚み算出部７に伝達され、厚み算出部７において両者の差が計算される。これにより、被加工物１４の厚みが算出される。

被加工物１４が回転しており、かつ、研削砥石３４０が回転軸３５を軸にして回転している状態で、加工送り手段４を用いて加工手段３を－Ｚ方向に下降させる。研削砥石３４０を－Ｚ方向に下降させることにより、研削砥石３４０の研削面３４２が被加工物１４の上面１４０に接触する。
研削面３４２が被加工物１４の上面１４０に接触している状態で、さらに研削砥石３４０を－Ｚ方向に下降させていくことにより被加工物１４が研削される。
被加工物１４が研削されていくと、厚み算出部７において算出される被加工物１４の厚みが減少していく。

被加工物１４が所定の厚みに研削されたら被加工物１４の研削加工を終了し、加工送り手段４を用いて加工手段３を＋Ｚ方向に移動させて研削砥石３４０を被加工物１４の上面１４０から離間させた後、被加工物１４をチャックテーブル２の保持面２１０から搬出する。

図１４に示した従来のチャックテーブル９は、厚み測定の際に測定機器が位置付けられる環状の測定面９１を備えているのに対して、図２に示したチャックテーブル２はそのような環状の測定面を備えていない。従って、チャックテーブル２を小型化して、軽量化することができる。

チャックテーブル２の基台２０の上に配設される保持部材２１の位置・数等は、上記の内容に限定されない。
例えば、図５に示すように３枚の保持部材２１は、基台２０の上面２００に、各々の短辺のＹ軸方向の位置が一致している状態でＸ軸方向に平行に配列される構成であってもよい。図６には、そのときのチャックテーブル２の平面図が示されている。また、図７には、チャックテーブル２に被加工物１４が保持された状態でチャックテーブル２の基台２０の中心２０００を軸にしてチャックテーブル２を回転させたときの被加工物１４の位置を、チャックテーブル２が４５度回転する毎に描画して重ね合わせた図が示されている。
この構成では、凸部２３は、被加工物１４の回転軌跡のうちの最も外側の部分を円形に繋ぎ合わせた第２最大軌跡２９２の内側かつ、最も内側の部分を円形に繋ぎ合わせた第２最小軌跡２８２の外側の位置に設けられている。
そして、３つの保持部材２１の各々の保持面２１０と、基台２０の上面２００とを通る軌道の一つとして第２測定軌道２４２が定められており、被加工物１４の厚み測定の際には、上面高さ測定器６が第２測定軌道２４２の上に位置づけられる。

また、図８に示すようにチャックテーブル２の基台２０の上には、４枚の保持部材２１が配設される構成でもよい。この場合においても、各々の保持部材２１の保持面２１０に被加工物１４が保持された状態でチャックテーブル２がその中心２０００を軸にして回転した際に描かれる被加工物１４の最大軌跡の内側、かつ最小軌跡の外側に測定面２３０が設けられている。そして、４枚の保持部材２１の各々の保持面２１０と測定面２３０とを通る軌道の一つとして第３測定軌道２４３が定められており、被加工物１４の厚み測定の際には、上面高さ測定器６が第３測定軌道２４３の上に位置づけられる。この構成では、４枚の保持部材２１の保持面２１０の各々に被加工物１４を保持することにより、最大４枚の被加工物１４を同時に研削加工できる。

また、図９に示すようにチャックテーブル２の基台２０の上に１枚の保持部材２１が配設される構成でもよい。図１０には、保持部材２１に被加工物１４が保持された状態でチャックテーブル２の基台２０の中心２０００を軸にしてチャックテーブル２を回転させたときの被加工物１４の被加工物１４の位置を、チャックテーブル２が４５度回転する毎に描画して重ね合わせた図が示されている。この構成では、凸部２３は、被加工物１４の回転軌跡のうちの最も外側の部分を円形に繋ぎ合わせた第４最大軌跡２９４の内側かつ、最も内側の部分を円形に繋ぎ合わせた第４最小軌跡２８４の外側の位置に設けられている。そして、保持部材２１の保持面２１０と、基台２０の上面２００とを通る軌道の一つとして第４測定軌道２４４が定められており、被加工物１４の厚み測定の際には、上面高さ測定器６が第４測定軌道２４４の上に位置づけられる。

また、上記のように基台２０の上面２００に凸部２３を設けて凸部２３の上面を測定面２３０とするかわりに、基台２０の上面２００を測定面とする構成であってもよい。この構成では、例えば予め基台２０の上面２００の高さと保持面２１０の高さとの差を求めておき、測定された基台２０の上面２００の高さに該差の分を足したり引いたりすることにより、保持面２１０の高さを認識することができる。

なお、基台２０の上面２００に配設される保持部材は板状の保持部材２１に限定されるものではない。例えば、円板状の被加工物を研削加工するときには、基台２０の上面２００に保持部材２１にかえて円板状の保持部材を配設することによって効率的に研削加工することができる。

加工装置１は、チャックテーブル２にかえて、図１１に示すような第２チャックテーブル８を備えるものであってもよい。第２チャックテーブル８は、略円板状の第２基台８４と、第２基台８４に着脱可能に連結されたサブチャックテーブル８０とを備えている。
第２基台８４は、図１２に示すようにサブチャックテーブル８０を連結する連結面８４０を有しており、連結面８４０の中央には開口８４１が形成されている。
また、第２基台８４の径方向最外周側には、－Ｚ方向側に凹んだ凹部８４２が形成されており、凹部８４２の上面には複数のねじ穴８４３が形成されている。第２基台８４は、ねじ穴８４３に対応する図示しないねじによって、例えば前述のチャックベースにねじ留めされることによって装着される。該ねじを取り外すことによって、第２基台８４は該チャックベースに対して着脱可能である。

サブチャックテーブル８０は、図１３（ａ）に示すように略正方形状に形成されたベース板８２と、ベース板８２の表面８２０に配設された略直方体状の３枚の第２保持部材８１とを備えている。３枚の第２保持部材８１は、例えばその全てがＹ軸に対して平行に配列されており、３枚のうちの真ん中の１枚が第２基台８４の径方向奥側（＋Ｙ方向側）にややずらされて配設されている。第２保持部材８１の上面は、被加工物１４が保持される保持面８１０である。

また、ベース板８２の表面８２０には、凸部８３が形成されている。凸部８３は、チャックテーブル２がその中心２０００を軸にして回転する際に第２保持部材８１が描く最大軌跡の内側かつ最小軌跡の外側に設けられている。凸部８３の上面は測定面８３０である。
この構成では、３つの第２保持部材８１の各々の保持面８１０の上方と測定面８３０の上方とを通る軌道の一つとして第５測定軌道２４５が定められており、被加工物１４の厚み測定の際には、上面高さ測定器６が第５測定軌道２４５の上に位置づけられることとなる。

例えば、保持面８１０と測定面８３０とは面一に形成されており、測定面８３０の高さを測定することによって保持面８１０の高さを認識することが可能となっている。
あるいは、保持面８１０と測定面８３０とは面一に形成されておらず、測定面８３０の高さと保持面８１０の高さとの間に所定の差が設けられていてもよい。この構成においては、測定面８３０の高さを測定し、測定された測定面８３０の高さに所定の差を加算または減算することによって保持面８１０の高さを認識することができる。

図１３（ｂ）には、ベース板８２の表面８２０の反対面である被連結面８２１が＋Ｚ方向側に向けられた状態が示されている。ベース板８２の被連結面８２１には、開口８４１と保持面８１０とを連通する連通路８２２が形成されている。連通路８２２は、例えば図示のような隣り合わせに形成された２つの矩形部分と該２つの矩形部分に跨るようにして形成された円形部分とを有している。
第２基台８４にサブチャックテーブル８０を連結する際には、図１３（ａ）に示すようにサブチャックテーブル８０の表面８２０が＋Ｚ方向側に向けられた状態で、図１２に示した第２基台８４の開口８４１に図１３（ｂ）に示す連通路８２２の中心部分８２２０が一致するように第２基台８４の連結面８４０にサブチャックテーブル８０を載置する。
そして、第２基台８４にサブチャックテーブル８０が載置された状態で、連結面８４０の開口８４１に接続された図示しない吸引手段を作動させる。これにより、生みだされた吸引力が連通路８２２に伝達されて第２基台８４にサブチャックテーブル８０が連結される。また、該吸引力はサブチャックテーブル８０に配設されている第２保持部材８１の保持面８１０まで伝達される。従って、この状態で保持面８１０に被加工物１４を載置することにより、保持面８１０に被加工物１４を吸引保持することができる。
なお、連結面８４０には、例えば開口８４１を通り径方向に延在するような図示しない溝が形成されていてもよい。該溝が形成されている場合には、開口８４１からサブチャックテーブル８０の被連結面８２１に対してより効率的に吸引力を伝達して、サブチャックテーブル８０を第２基台８４に容易に連結することが可能となる。

第２チャックテーブル８においてもチャックテーブル２と同様に、上面高さ測定器６が位置付けられる環状の測定面を備えないため小型化することができ、加工装置自体の小型化を図ることができる。
また、従来は被加工物１４の大きさや数に合わせてチャックテーブルの基台を交換していたのに対して、第２チャックテーブル８は、研削しようとする被加工物１４の大きさや数に合わせてサブチャックテーブル８０の交換を行う。従って、容易に交換することが可能であり好適である。

なお、サブチャックテーブル８０に配設される保持部材は、板状の第２保持部材８１に限定されるものではない。例えば、円板状の被加工物を研削加工するときには、円板状の保持部材を配設することによって効率的に研削加工することができる。

また、加工装置１は図１に示した研削ホイール３４を備える研削装置に限定されず、例えば研削ホイール３４にかえて図示しない研磨パッド等を備える研磨装置であってもよい。

１：加工装置 １０：ベース １００：内部ベース ２：チャックテーブル
２０：基台 ２００：基台の上面 ２１：保持部材 ２１０：保持面 ２２：凹部
２２３：ねじ穴 ２３：凸部 ２３０：測定面
２５：テーブル回転部 ２５０：回転部材 ２５１：環状部材 ２５６：貫通孔
２５７：支持柱 ３：加工手段 ３０：スピンドル ３１：スピンドルハウジング
３２：スピンドルモータ ３３：マウント ３４：研削ホイール
３４０：研削砥石 ３４１：ホイール基台 ３４２：研削面 ３５：回転軸
４：加工送り手段 ４０：ボールネジ ４１：ガイドレール ４２：Ｚ軸モータ
４３：昇降板 ４４：ホルダ ４５：回転軸
５：水平移動手段 ５０：ボールネジ ５１：ガイドレール ５２：Ｙ軸モータ
５３：可動板 ５５：回転軸 ６：上面高さ測定器 ７：厚み算出部
８：第２チャックテーブル ８０：サブチャックテーブル ８１：第２保持部材
８１０：保持面 ８２：ベース板 ８２０：ベース板の表面 ８２１：被連結面
８２２：連通路 ８３：凸部 ８３０：測定面 ８４：第２基台 ８４０：第２基台の上面
８４１：開口 ８４２：凹部 ８４３：ねじ穴
２４１：第１測定軌道 ２４２：第２測定軌道 ２４３：第３測定軌道
２４４：第４測定軌道 ２４５：第５測定軌道
２８１：第１最小軌跡 ２８２：第２最小軌跡 ２８４：第４最小軌跡
２９１：第１最大軌跡 ２９２：第２最大軌跡 ２９４：第４最大軌跡
９：チャックテーブル ９０：保持面 ９１：測定面

Claims (4)

1. 被加工物を保持する保持面を備えるチャックテーブルと、
   該チャックテーブルの中心を軸に回転させるテーブル回転部と、
   該保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、
   該テーブル回転部によって回転する該被加工物の上面の高さを非接触で測定する上面高さ測定器と、
   該上面高さ測定器により測定された値を用いて被加工物の厚みを算出する厚み算出部と、を少なくとも備える加工装置に用いられるチャックテーブルであって、
   該チャックテーブルは、基台と、該基台の上面に配設された保持部材とを備え、
   該保持面は、該保持部材の上面であって該基台の上面よりも高い位置にあり、
   該保持面の上方に該上面高さ測定器が位置付けられている状態で、該テーブル回転部を用いて該チャックテーブルを回転させることにより該チャックテーブルに対して相対移動する該上面高さ測定器の測定軌道上、かつ該保持面でない位置に形成され該保持面に面一の測定面を備えるチャックテーブル。
2. 該上面高さ測定器が測定する測定軌道に複数の該保持面が配設された請求項１記載のチャックテーブル。
3. 該測定面と該保持面とを備えるサブチャックテーブルと、
   該サブチャックテーブルを連結する連結面を有する基台と、
   該基台の該連結面に形成される開口と、
   該サブチャックテーブルの被連結面に形成され、該開口と該保持面とを連通する連通路と、を備える請求項１記載のチャックテーブル。
4. 請求項１記載のチャックテーブルが装着され該保持面に被加工物を保持し該保持面の中心を軸に回転する保持手段と、
   被加工物の厚みを測定する厚み測定手段と、
   該被加工物を予め設定した所定の厚みに加工する加工手段と、
   を備える加工装置であって、
   厚み測定手段は、
   該保持面に保持された被加工物の上面高さおよび該測定面高さを非接触で測定する上面高さ測定器と、該保持手段の回転によって該上面高さ測定器の測定軌道上で測定した被加工物の上面高さと該測定面の高さとの差を被加工物の厚みとして算出する厚み算出部と、を備える加工装置。

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