JP7617735B2 - 測定ユニット - Google Patents

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Description

本発明は、測定ユニットに関するものである。
従来、半導体集積回路や液晶パネルなどの検査対象の導通状態検査または動作特性検査では、検査装置に接続するケーブル、ケーブルの検査装置側と反対側の端部に接続される接続部材が用いられている（例えば、特許文献１を参照）。ケーブルは、中心にシグナル導体、シグナル導体を覆う誘電体、および、誘電体を覆うグランド導体を有する。接続部材は、シグナル導体と接続する中心接触子と、グランド導体と接触する側方接触子とを有する。
特許第４６７８９９３号公報
しかしながら、特許文献１に記載の構成では、ケーブルの端部を斜めにカットして接続部材と接続している。この接続部分では、伝送線路が、同軸線路から、いわゆるコプレナ線路に代わり、線路変更によってノイズがのりやすくなっていた。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ノイズを抑制することができる測定ユニットを提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る測定ユニットは、アース用の電位を導通する線路の一部を形成し、一端側の表面が平面をなすグランド部と、測定用の信号を導通する線路の一部を形成し、端部が、前記グランド部の前記平面と同一平面上に表出するシグナル部と、前記グランド部と前記シグナル部との間に設けられる絶縁性の誘電部と、長手軸に沿って伸縮自在な導電性の第１のコンタクトプローブであって、前記シグナル部に接触する第１のコンタクトプローブと、長手軸に沿って伸縮自在な導電性の第２のコンタクトプローブであって、前記グランド部に接触する第２のコンタクトプローブと、を備えることを特徴とする。
また、本発明に係る測定ユニットは、上記発明において、グランド板と、前記グランド板に接続する同軸ケーブルと、を備え、前記同軸ケーブルは、前記シグナル部の前記線路の一部を形成するシグナル導体と、前記シグナル導体の外周に設けられる誘電体と、前記誘電体の外周に設けられるグランド導体と、を有し、前記シグナル導体が前記シグナル部を構成し、前記誘電体が前記誘電部を構成し、前記グランド導体および前記グランド板が前記グランド部を構成する、ことを特徴とする。
また、本発明に係る測定ユニットは、上記発明において、前記グランド板には、前記グランド導体が挿通される貫通孔が形成される、ことを特徴とする。
また、本発明に係る測定ユニットは、上記発明において、前記グランド板には、前記誘電体が挿通される貫通孔が形成され、前記グランド導体は、前記グランド板の表面と電気的に接続する、ことを特徴とする。
また、本発明に係る測定ユニットは、上記発明において、グランド板と、前記グランド板に接続する同軸ケーブルと、を備え、前記グランド板は、前記シグナル部の前記線路の一部を形成するシグナル中継部と、前記シグナル中継部の外周を覆うグランド板側誘電体と、を有し、前記同軸ケーブルは、前記シグナル部の前記線路の一部を形成し、前記シグナル中継部と電気的に接続するシグナル導体と、前記シグナル導体の外周に設けられるケーブル側誘電体と、前記ケーブル側誘電体の外周に設けられ、前記グランド板の前記シグナル中継部および前記グランド板側誘電体とは異なる位置において電気的に接続するグランド導体と、を有し、前記シグナル中継部および前記シグナル導体が前記シグナル部を構成し、前記グランド板側誘電体および前記ケーブル側誘電体が前記誘電部を構成し、前記グランド導体および前記グランド板が前記グランド部を構成する、ことを特徴とする。
また、本発明に係る測定ユニットは、上記発明において、前記グランド板には、複数の前記同軸ケーブルが接続される、ことを特徴とする。
また、本発明に係る測定ユニットは、上記発明において、前記シグナル部の前記線路を形成するシグナル導体と、前記シグナル導体の外周に設けられ、前記誘電部を構成する誘電体と、前記誘電体の外周に設けられ、前記グランド部を構成するグランド導体とを備える同軸ケーブル、を備え、前記グランド導体は、前記シグナル導体および前記誘電体に沿って延びる筒状部と、前記筒状部の一端部に設けられ、平板状をなす平板部と、を有し、前記シグナル導体および前記誘電体の端面は、前記平板部の表面と同一平面上に位置する、ことを特徴とする。
また、本発明に係る測定ユニットは、上記発明において、前記シグナル導体、前記誘電体および前記筒状部を複数組有する、ことを特徴とする。
また、本発明に係る測定ユニットは、上記発明において、前記グランド部、前記シグナル部および前記誘電部を有する第１の接続部と、前記グランド部、前記シグナル部および前記誘電部を有する第２の接続部であって、前記第１の接続部に対向して設けられる第２の接続部と、を備え、前記第１および第２のコンタクトプローブは、一端が前記第１の接続部と接触し、他端が前記第２の接続部と接触する、ことを特徴とする。
本発明によれば、ノイズを抑制することができるという効果を奏する。
図１は、本発明の一実施の形態に係る測定システムの構成を示す図である。 図２は、図１に示す測定システムの一部の構成を説明するための図である。 図３は、プローブホルダに収容されるプローブの詳細な構成を示す図である。 図４は、プローブとグランド板との接続態様を説明するための図である。 図５は、図４の一部を拡大した図である。 図６は、グランド板および同軸ケーブルの構成を説明するための図である。 図７は、変形例１に係るグランド板および同軸ケーブルの構成を説明するための図である。 図８は、変形例２に係るグランド板および同軸ケーブルの構成を説明するための図である。 図９は、変形例３に係る同軸ケーブルの構成を説明するための図である。 図１０は、変形例４に係る同軸ケーブルの構成を説明するための図である。 図１１は、変形例４に係る同軸ケーブルとプローブとの接触態様の一例を示す斜視図である。
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための形態（以下、「実施の形態」という）を説明する。なお、図面は模式的なものであって、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なる場合があり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる場合がある。
（実施の形態）
図１は、本発明の一実施の形態に係る測定システムの構成を示す図である。図２は、図１に示す測定システムの一部の構成を説明するための図である。図２は、測定ユニット１において、後述するプローブホルダ３を除いた構成を示している。測定システムは、測定ユニット１と、測定対象に対して信号を入出力する測定装置１００と、測定ユニット１と測定装置１００とを接続する接続ケーブル１１０、１２０とを備える。
測定ユニット１は、コンタクトプローブ２（以下、単に「プローブ２」という）と、プローブ２を収容するプローブホルダ３と、第１グランド板４と、第２グランド板５と、第１同軸線部６と、第２同軸線部７とを備える。
図３は、プローブホルダに収容されるプローブの詳細な構成を示す図である。プローブ２は、導電性を有し、長手方向の両端で第１グランド板４および第２グランド板５と接続する。プローブ２は、導電性材料を用いて形成され、第１グランド板４に接触する第１プランジャ２１と、第２グランド板５に接触する第２プランジャ２２と、第１プランジャ２１と第２プランジャ２２との間に設けられて当該プローブ２を伸縮自在に連結するコイルばね２３とを備える。プローブ２を構成する第１プランジャ２１および第２プランジャ２２、ならびにコイルばね２３は同一の軸線を有している。
プローブホルダ３は、樹脂、マシナブルセラミック、シリコンなどの絶縁性材料を用いて形成され、図３の上面側に位置する第１部材３１と下面側に位置する第２部材３２とが積層されてなる。第１部材３１および第２部材３２には、複数のプローブ２を収容するためのホルダ孔３３および３４がそれぞれ同数ずつ形成され、プローブ２を収容するホルダ孔３３および３４は、互いの軸線が一致するように形成されている。ホルダ孔３３および３４の形成位置は、プローブ２の配置パターンに応じて定められる。
プローブホルダ３が第１グランド板４および第２グランド板５の間に配置された際には、グランド板からの接触荷重により、コイルばね２３は長手方向に沿って圧縮された状態となる。
続いて、プローブ２と、第１グランド板４および第２グランド板５との接続態様について説明する。図４は、プローブとグランド板との接続態様を説明するための図である。図５は、図４の一部を拡大した図である。図６は、グランド板および同軸ケーブルの構成を説明するための図である。図６の（ａ）は、第２グランド板５と同軸ケーブル７１とが接続した構成の断面図を示す。図６の（ｂ）は、第２グランド板５を、同軸ケーブル７１が接続する側と反対側からみた平面図を示す。なお、図６では、第２グランド板５と同軸ケーブル７１との接続について図示しているが、第１グランド板４と同軸ケーブル６１との接続も同様の構成である。
第１グランド板４は、導電性の材料を用いて形成され、板状をなす。第１グランド板４には、板厚方向に貫通する貫通孔４ａが形成される（図２参照）。貫通孔４ａは、後述する同軸ケーブル６１の外周の径と略同等の径で延びる孔である。なお、略同等には、同一と、製造上の誤差による若干異なる程度の差とを含む。
第２グランド板５は、導電性の材料を用いて形成され、板状をなす。第２グランド板５には、板厚方向に貫通する貫通孔５ａが形成される。貫通孔５ａは、後述する同軸ケーブル７１の外周の径と略同等の径で延びる孔である。
第１グランド板４および第２グランド板５は、例えば、銅、ニッケルまたはステンレス等からなる。第１グランド板４および第２グランド板５は、後述するグランド導体６４、７４と同じ材料で形成されてもよい。
第１同軸線部６は、同軸ケーブル６１を備える。同軸ケーブル６１は、ケーブル保持部材６０によって保持される。また、同軸ケーブル６１の接続ケーブル１１０に接続する側と反対側の端部は、第１グランド板４の貫通孔４ａに挿入される。同軸ケーブル６１は、貫通孔４ａに圧入されてもよいし、はんだ付け等によって固着されてもよいし、これらを組み合わせて固定してもよい。
同軸ケーブル６１は、測定装置１００からの信号の伝送するシグナル導体６２と、シグナル導体６２の外周に設けられる絶縁性の誘電体６３と、誘電体６３の外周に設けられるグランド導体６４とを有する（図２参照）。シグナル導体６２、誘電体６３およびグランド導体６４は、同軸構造をなしている。誘電体６３およびグランド導体６４は、それぞれ筒状をなす。グランド導体６４は、銅、ニッケルまたはステンレス等からなる。このため、同軸ケーブル６１は、いわゆるセミリジットケーブルと同じ構成となる。本実施の形態では、シグナル導体がシグナル部を構成し、誘電体が誘電部を構成する。
同軸ケーブル６１は、第１グランド板４側の端部が、当該第１グランド板４の表面において、貫通孔４ａから露出する。この際、同軸ケーブル６１の端面と、第１グランド板４の同軸ケーブル６１の端面が表出する側の表面とは、同一平面上に位置する。また、第１グランド板４は、グランド導体６４と電気的に接続することによって、グランド部を形成する。グランド部は、アース用の電位を導通する線路の一部を形成するものである。
第２同軸線部７は、同軸ケーブル７１を備える。同軸ケーブル７１は、ケーブル保持部材７０によって保持される。また、同軸ケーブル７１の接続ケーブル１２０に接続する側と反対側の端部は、第２グランド板５の貫通孔５ａに挿入される。同軸ケーブル７１は、貫通孔５ａに圧入されてもよいし、はんだ付け等によって固着されてもよいし、これらを組み合わせて固定してもよい。
同軸ケーブル７１は、測定装置１００からの信号の伝送するシグナル導体７２と、シグナル導体７２の外周に設けられる誘電体７３と、誘電体７３の外周に設けられるグランド導体７４とを有する。シグナル導体７２、誘電体７３およびグランド導体７４は、同軸構造をなしている。誘電体７３およびグランド導体７４は、それぞれ筒状をなす。グランド導体７４は、銅、ニッケルまたはステンレス等からなる。このため、同軸ケーブル７１は、いわゆるセミリジットケーブルと同じ構成となる。
同軸ケーブル７１は、第２グランド板５側の端部が、当該第２グランド板５の表面において、貫通孔５ａから露出する。この際、同軸ケーブル７１の端面と、第２グランド板５の同軸ケーブル７１の端面が表出する側の表面とは、同一平面上に位置する。また、第２グランド板５は、グランド導体７４と電気的に接続することによって上述したようなグランド部を形成する。
本実施の形態において、同軸ケーブル６１、７１は、それぞれ三つのプローブ２と接触する。ここで、第１グランド板４および同軸ケーブル６１によって第１の接続部が構成され、第２グランド板５および同軸ケーブル７１によって第２の接続部が構成される。なお、測定システムは、第１および第２の接続部の少なくとも一方を備えていればよく、他方は公知の接続態様を採用してもよい。
各プローブ２は、一端（ここでは第１プランジャ２１）が、第１グランド板４において表出する同軸ケーブル６１の端部において、シグナル導体６２およびグランド導体６４のいずれか一つと接触する。図４、５では、一つのプローブ２がシグナル導体６２と接触し、他の二つのプローブ２がグランド導体６４と接触する。他方、同軸ケーブル７１も同様に、シグナル導体６２と接触するプローブ２がシグナル導体７２と接触し、グランド導体６４と接触する、他の二つのプローブ２がグランド導体７４と接触する。この際、同軸ケーブル６１、７１の長手方向と、プローブ２の長手方向とは、中心軸が一致するか、または平行に延びる。
図では、シグナル導体６２、７２と接触するプローブ２（第１のコンタクトプローブ）をプローブ２Ｓ、グランド導体６４、７４と接触するプローブ２（第２のコンタクトプローブ）をプローブ２Ｇとする。なお、プローブ２Ｇは、グランド導体６４、７４に限らず、第１グランド板４の表面、第２グランド板５の表面に接触してもよい。
ここで、プローブ２間の最小ピッチは、グランド導体の内周の半径となる。例えば、同軸ケーブルの端面におけるグランド導体の中央部にプローブ２を接触させる場合、プローブ２間のピッチは、（グランド導体の外周の径＋内周の径）÷２÷２によって求まる。
以上説明した本発明の実施の形態では、同軸ケーブルのシグナル導体、および、グランド導体とグランド板とによって形成されるグランド部の端面が同一平面上に位置し、このシグナル導体およびグランド部に対し、複数のプローブを接触させてシグナル線路およびグランド線路を導通させるようにした。本実施の形態によれば、同軸線路を維持することができるため、従来のような線路の形態変化がなく、その結果、ノイズを抑制することができる。
また、上述した実施の形態では、同軸ケーブルに接続する複数のプローブ２が個別に設けられるため、プローブ２のピッチやグランド部に接続するプローブ２Ｇの本数や配置を自由に設定することができる。このため、測定ユニット１は、接続形態に限定されずに、多種の測定に用いることができる。
なお、上述した実施の形態では、一本の同軸ケーブルを用いた構成について説明したが、グランド板に複数の貫通孔を設けて、当該グランド板が、複数の同軸ケーブルを保持する構成とすることが可能である。
（変形例１）
図７は、変形例１に係るグランド板および同軸ケーブルの構成を説明するための図である。図７の（ａ）は、第２グランド板と同軸ケーブルとが接続した構成の断面図を示す。図７の（ｂ）は、第２グランド板を、同軸ケーブルが接続する側と反対側からみた平面図を示す。本変形例１にかかる測定ユニットは、上述した第２グランド板５に代えて第２グランド板５Ａ、同軸ケーブル７１に代えて同軸ケーブル７１Ａが設けられる。以下、上述した実施の形態と同様の構成については説明を省略する。
同軸ケーブル７１Ａは、シグナル導体７２および誘電体７３と、誘電体７３の外周に設けられるグランド導体７４Ａとを有する。シグナル導体７２、誘電体７３およびグランド導体７４Ａは、同軸構造をなしている。グランド導体７４Ａは、銅、ニッケルまたはステンレス等からなる。このため、同軸ケーブル７１Ａは、いわゆるセミリジットケーブルと同じ構成となる。
グランド導体７４Ａは、第２グランド板５Ａと接続する側の端部において、シグナル導体７２および誘電体７３と比して、第２グランド板５Ａの厚さ分短くなっている。このため、グランド導体７４Ａは、第２グランド板５Ａと接続する側の端部において、誘電体７３の外周を露出させる。
第２グランド板５Ａは、導電性の材料を用いて形成され、板状をなす。第２グランド板５Ａには、板厚方向に貫通する貫通孔５ｂが形成される。貫通孔５ｂは、誘電体７３の外周の径と略同等の径で延びる孔である。
同軸ケーブル７１Ａは、誘電体７３が貫通孔５ｂに挿入されることによって第２グランド板５Ａに接続する。同軸ケーブル７１Ａは、誘電体７３を貫通孔５ｂに圧入してもよいし、はんだ付け等によって誘電体７３を第２グランド板５Ａに固着してもよいし、これらを組み合わせて固定してもよい。この際、グランド導体７４Ａは、第２グランド板５Ａの表面に当接する。これにより、第２グランド板５Ａとグランド導体７４Ａとが電気的に接続する。なお、グランド導体７４Ａと第２グランド板５Ａとをはんだ付け等によって固着して両者を電気的に接続してもよい。
同軸ケーブル７１Ａは、シグナル導体７２および誘電体７３の端部が、当該第２グランド板５Ａの表面において、貫通孔５ｂから露出する。この際、シグナル導体７２および誘電体７３の端面と、第２グランド板５Ａの同軸ケーブル７１Ａの端面が表出する側の表面とは、同一平面上に位置する。
プローブ２Ｓは、貫通孔５ｂから表出するシグナル導体７２に接触する。一方、プローブ２Ｇは、第２グランド板５Ａの表面に接触する。
以上説明した本変形例１においても、同軸ケーブルのシグナル導体、および、グランド導体とグランド板とによって形成されるグランド部の端面が同一平面上に位置し、このシグナル導体およびグランド部に対し、複数のプローブを接触させてシグナル線路およびグランド線路を導通させるようにした。本変形例１によれば、同軸線路を維持することができるため、従来のような線路の形態変化がなく、その結果、ノイズを抑制することができる。また、変形例１は、実施の形態と同様に、プローブ２の配置の自由度が高く、種々の測定に対応させることができる。
（変形例２）
図８は、変形例２に係るグランド板および同軸ケーブルの構成を説明するための図である。図８の（ａ）は、第２グランド板と同軸ケーブルとが接続した構成の断面図を示す。図８の（ｂ）は、第２グランド板を、同軸ケーブルが接続する側と反対側からみた平面図を示す。本変形例１にかかる測定ユニットは、上述した第２グランド板５に代えて第２グランド板５Ｂ、同軸ケーブル７１に代えて同軸ケーブル７１Ｂが設けられる。以下、上述した実施の形態と同様の構成については説明を省略する。
同軸ケーブル７１Ｂは、測定装置１００からの信号の伝送する第１シグナル導体７２Ａ（シグナル導体）と、第１シグナル導体７２Ａの外周に設けられる第１誘電体７３Ａ（ケーブル側誘電体）と、第１誘電体７３Ａの外周に設けられるグランド導体７４Ａとを有する。第１シグナル導体７２Ａ、第１誘電体７３Ａおよびグランド導体７４Ａは、同軸構造をなし、第２グランド板５Ｂに接続する側の各端面が、同一平面上に位置する。
第２グランド板５Ｂは、導電性の材料を用いて形成され、板状をなす。第２グランド板５Ｂは、第２シグナル導体５１（シグナル中継部）と、第２シグナル導体５１の外周を覆う第２誘電体５２（グランド板側誘電体）とを有する。本変形例２では、第１シグナル導体７２Ａおよび第２シグナル導体５１によってシグナル部を構成し、第１誘電体７３Ａおよび第２誘電体５２によって誘電部を構成する。
第２グランド板５Ｂには、板厚方向に貫通する貫通孔５ｂが形成される。貫通孔５ｂは、第２誘電体５２の外周の径と略同等の径で延びる孔である。第２シグナル導体５１および第２誘電体５２は、第２誘電体５２が貫通孔５ｂに固定される。この際、第２シグナル導体５１および第２誘電体５２の端面は、第２グランド板５Ｂの本体部の表面と同一平面上に位置する。
なお、第２シグナル導体５１と第１シグナル導体７２Ａとは、同一の径であることが好ましい。また、第２誘電体５２と第１誘電体７３Ａとは、同一の径であることが好ましい。さらに、第１誘電体７３Ａおよび第２誘電体５２は、同じ材料を用いて構成してもよいし、互いに異なる材料を用いて構成してもよい。
同軸ケーブル７１Ｂは、第１シグナル導体７２Ａを第２シグナル導体５１に当接させた状態で固定することによって第２グランド板５Ｂに接続する。この際、グランド導体７４Ａは、第２グランド板５Ｂの表面に当接する。これにより、第２グランド板５Ｂとグランド導体７４Ａとが電気的に接続する。なお、第１シグナル導体７２Ａと第２シグナル導体５１とをはんだ付け等によって固着して両者を電気的に接続してもよい。また、第２グランド板５Ｂとグランド導体７４Ａとをはんだ付け等によって固着して両者を電気的に接続してもよい。
また、プローブ２Ｓは、第２シグナル導体５１の第１シグナル導体７２Ａが当接する側と反対側に当接して電気的に接続する。プローブ２Ｇは、第２グランド板５Ｂの表面のうち、グランド導体７４Ａが当接する側と反対側の表面に当接して電気的に接続する。
以上説明した本変形例２においても、同軸ケーブルのシグナル導体、および、グランド導体とグランド板とによって形成されるグランド部の端面が同一平面上に位置し、このシグナル導体およびグランド部に対し、複数のプローブを接触させてシグナル線路およびグランド線路を導通させるようにした。本変形例２によれば、同軸線路を維持することができるため、従来のような線路の形態変化がなく、その結果、ノイズを抑制することができる。また、変形例２は、実施の形態と同様に、プローブ２の配置の自由度が高く、種々の測定に対応させることができる。
（変形例３）
図９は、変形例３に係る同軸ケーブルの構成を説明するための図である。図９の（ａ）は、同軸ケーブルの断面図を示す。図９の（ｂ）は、同軸ケーブルの平面図を示す。本変形例３にかかる測定ユニットは、上述した第２グランド板５有さず、同軸ケーブル７１に代えて同軸ケーブル７１Ｃが設けられる。以下、上述した実施の形態と同様の構成については説明を省略する。
同軸ケーブル７１Ｃは、上述したシグナル導体７２および誘電体７３と、誘電体７３の外周を覆うグランド導体７４Ｂとを有する。シグナル導体７２、誘電体７３およびグランド導体７４Ｂは、同軸構造をなしている。
グランド導体７４Ｂは、同軸ケーブル７１Ｃ（誘電体７３）の長手方向に沿って延びる筒状部７４１と、筒状部７４１の一端部に設けられ、平板状をなす平板部７４２とを有する。この際、シグナル導体７２および誘電体７３の端面のうち、平板部７４２の表面に露出する側の端面と、平板部７４２の表面とは、同一平面上に位置する。本変形例３では、グランド導体７４Ｂがグランド部を構成する。
プローブ２Ｓは、平板部７４２から表出するシグナル導体７２に接触する。一方、プローブ２Ｇは、平板部７４２の表面に接触する。
以上説明した本変形例３においても、同軸ケーブルのシグナル導体の端面、および、グランド導体（平板部）の表面が同一平面上に位置し、このシグナル導体およびグランド導体に対し、複数のプローブを接触させてシグナル線路およびグランド線路を導通させるようにした。本変形例３によれば、同軸線路を維持することができるため、従来のような線路の形態変化がなく、その結果、ノイズを抑制することができる。また、変形例３は、実施の形態と同様に、プローブ２の配置の自由度が高く、種々の測定に対応させることができる。
（変形例４）
図１０は、変形例４に係る同軸ケーブルの構成を説明するための図である。図１０の（ａ）は、同軸ケーブルの断面図を示す。図１０の（ｂ）は、同軸ケーブルの平面図を示す。本変形例４にかかる測定ユニットは、上述した第２グランド板５を有さず、同軸ケーブル７１に代えて同軸ケーブル７１Ｄが設けられる。以下、上述した実施の形態と同様の構成については説明を省略する。
同軸ケーブル７１Ｄは、上述したシグナル導体７２および誘電体７３と、誘電体７３の外周を覆うグランド導体７４Ｃとを有する。
グランド導体７４Ｃは、誘電体７３を覆う第１筒状部７４３と、第１筒状部７４３が覆う誘電体７３とは異なる誘電体７３を覆う第２筒状部７４４と、第１筒状部７４３および第２筒状部７４４の一端部に設けられ、平板状をなす平板部７４５とを有する。この際、シグナル導体７２および誘電体７３の端面のうち、平板部７４５の表面に露出する側の端面と、平板部７４５の表面とは、同一平面上に位置する。
本変形例４では、二つのプローブ２Ｓと、三つのプローブ２Ｇとが設けられる。図１１は、変形例４に係る同軸ケーブルとプローブとの接触態様の一例を示す斜視図である。一方のプローブ２Ｓは、平板部７４５から表出する一方のシグナル導体７２に接触する。他方のプローブ２Ｓは、平板部７４５から表出する他方のシグナル導体７２に接触する。また、プローブ２Ｇのうちの一つは、プローブ２Ｓ間（内側）に位置し、平板部７４５の表面に接触する。残りの二つのプローブ２Ｇは、二つのプローブ２Ｓに対して外側にそれぞれ位置し、平板部７４５の表面に接触する。
なお、プローブ２Ｇは、図１１に示す配置や、配設数に限らず、種々の変更が可能である。例えば、二つのプローブ２Ｓ間に設けられるプローブ２Ｇを有しない構成としてもよい。
以上説明した本変形例４においても、同軸ケーブルのシグナル導体の端面、および、グランド導体（平板部）の表面が同一平面上に位置し、このシグナル導体およびグランド導体に対し、複数のプローブを接触させてシグナル線路およびグランド線路を導通させるようにした。本変形例４によれば、同軸線路を維持することができるため、従来のような線路の形態変化がなく、その結果、ノイズを抑制することができる。また、変形例３は、実施の形態と同様に、プローブ２の配置の自由度が高く、種々の測定に対応させることができる。
なお、上述した変形例１～４では、第２グランド板、および該第２グランド板に接続する同軸ケーブルの構成や、第２グランド板を有しない構成について説明したが、第１グランド板、該第１グランド板に接続する同軸ケーブルの構成に対しても適用可能であり、プローブ２が同軸ケーブルと接続する態様は、上述した構成のうちのいずれかを採用できる。この際、同一の構成を組み合わせてもよいし、互いに異なる構成を組み合わせてもよい。
ここまで、本発明を実施するための形態を説明してきたが、本発明は上述した実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。例えば、グランド板は、プローブ２Ｇとグランド板との導通をはかることができれば、一部が絶縁性を有する構成であってもよい。
また、ここで説明したコンタクトプローブの構成はあくまでも一例に過ぎず、従来知られているさまざまな種類のプローブを適用することが可能である。例えば、上述したようなプランジャとコイルばねとで構成されるものに限らず、パイプ部材を備えるプローブ、ポゴピン、中実の導電性部材、導電性のパイプ、ワイヤーや、電気接点同士を接続する接続端子（コネクタ）でもよいし、これらのプローブを適宜組み合わせてもよい。
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含みうるものであり、特許請求の範囲により特定される技術的思想を逸脱しない範囲内において種々の設計変更等を施すことが可能である。
以上説明したように、本発明に係る測定ユニットは、ノイズを抑制するのに好適である。
１ 測定ユニット
２ コンタクトプローブ（プローブ）
３ プローブホルダ
４ 第１グランド板
５ 第２グランド板
６ 第１同軸線部
７ 第２同軸線部
２１ 第１プランジャ
２２ 第２プランジャ
２３ コイルばね
３１ 第１部材
３２ 第２部材
５１ 第２シグナル導体
５２ 第２誘電体
６１、７１、７１Ａ～７１Ｄ 同軸ケーブル
６２、７２ シグナル導体
６３、７３ 誘電体
６４、７４、７４Ａ～７４Ｃ グランド導体
７２Ａ 第１シグナル導体
７３Ａ 第１誘電体

Claims (8)

  1. アース用の電位を導通する線路の一部を形成し、一端側の表面が平面をなす第１のグランド部、測定用の信号を導通する線路の一部を形成し、端部が、前記第１のグランド部の前記平面と同一平面上に表出する第１のシグナル部、ならびに、前記第１のグランド部と前記第１のシグナル部との間に設けられ、端部が、前記第１のグランド部および前記第１のシグナル部の前記平面と同一平面上に表出する絶縁性の第１の誘電部を有する第１の接続部と、
    アース用の電位を導通する線路の一部を形成し、一端側の表面が平面をなす第２のグランド部、測定用の信号を導通する線路の一部を形成し、端部が、前記第２のグランド部の前記平面と同一平面上に表出する第２のシグナル部、ならびに、前記第２のグランド部と前記第２のシグナル部との間に設けられ、端部が、前記第２のグランド部および前記第２のシグナル部の前記平面と同一平面上に表出する絶縁性の第２の誘電部を有する第２の接続部と、
    長手軸に沿って伸縮自在な導電性の第１のコンタクトプローブであって、一端が、前記第１の接続部の前記平面において前記第１のシグナル部に接触し、他端が、前記第２の接続部の前記平面において前記第２のシグナル部に接触する第１のコンタクトプローブと、
    長手軸に沿って伸縮自在な導電性の第２のコンタクトプローブであって、一端が、前記第１の接続部の前記平面において前記第１のグランド部に接触し、他端が、前記第２の接続部の前記平面において前記第２のグランド部に接触する第２のコンタクトプローブと、
    を備えることを特徴とする測定ユニット。
  2. 第１のグランド板と、
    前記第１のグランド板に接続する第１の同軸ケーブルと、
    第２のグランド板と、
    前記第２のグランド板に接続する第２の同軸ケーブルと、
    を備え、
    前記第１の同軸ケーブルは、
    前記第１のシグナル部の前記線路の一部を形成する第１のシグナル導体と、
    前記第１のシグナル導体の外周に設けられる第１の誘電体と、
    前記第１の誘電体の外周に設けられる第１のグランド導体と、
    を有し、
    前記第２の同軸ケーブルは、
    前記第２のシグナル部の前記線路の一部を形成する第２のシグナル導体と、
    前記第２のシグナル導体の外周に設けられる第２の誘電体と、
    前記第２の誘電体の外周に設けられる第２のグランド導体と、
    を有し、
    前記第１のシグナル導体が前記第１のシグナル部を構成し、
    前記第１の誘電体が前記第１の誘電部を構成し、
    前記第１のグランド導体および前記第１のグランド板が前記第１のグランド部を構成し、
    前記第２のシグナル導体が前記第２のシグナル部を構成し、
    前記第２の誘電体が前記第２の誘電部を構成し、
    前記第２のグランド導体および前記第２のグランド板が前記第２のグランド部を構成する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の測定ユニット。
  3. 前記第１のグランド板には、前記第１のグランド導体が挿通される第１の貫通孔が形成され、
    前記第２のグランド板には、前記第２のグランド導体が挿通される第２の貫通孔が形成される、
    ことを特徴とする請求項２に記載の測定ユニット。
  4. 前記第１のグランド板には、前記第１の誘電体が挿通される第１の貫通孔が形成され、
    前記第１のグランド導体は、前記第１のグランド板の表面と電気的に接続し、
    前記第２のグランド板には、前記第２の誘電体が挿通される第２の貫通孔が形成され、
    前記第２のグランド導体は、前記第２のグランド板の表面と電気的に接続する、
    ことを特徴とする請求項２に記載の測定ユニット。
  5. 第１のグランド板と、
    前記第１のグランド板に接続する第１の同軸ケーブルと、
    第２のグランド板と、
    前記第２のグランド板に接続する第２の同軸ケーブルと、
    を備え、
    前記第１のグランド板は、
    前記第１のシグナル部の前記線路の一部を形成する第１のシグナル中継部と、
    前記第１のシグナル中継部の外周を覆う第１のグランド板側誘電体と、
    を有し、
    前記第２のグランド板は、
    前記第２のシグナル部の前記線路の一部を形成する第２のシグナル中継部と、
    前記第２のシグナル中継部の外周を覆う第２のグランド板側誘電体と、
    を有し、
    前記第１の同軸ケーブルは、
    前記第１のシグナル部の前記線路の一部を形成し、前記第１のシグナル中継部と電気的に接続する第１のシグナル導体と、
    前記第１のシグナル導体の外周に設けられる第１のケーブル側誘電体と、
    前記第１のケーブル側誘電体の外周に設けられ、前記第１のグランド板の前記第１のシグナル中継部および前記第１のグランド板側誘電体とは異なる位置において電気的に接続する第１のグランド導体と、
    を有し、
    前記第２の同軸ケーブルは、
    前記第２のシグナル部の前記線路の一部を形成し、前記第２のシグナル中継部と電気的に接続する第２のシグナル導体と、
    前記第２のシグナル導体の外周に設けられる第２のケーブル側誘電体と、
    前記第２のケーブル側誘電体の外周に設けられ、前記第２のグランド板の前記第２のシグナル中継部および前記第２のグランド板側誘電体とは異なる位置において電気的に接続する第２のグランド導体と、
    を有し、
    前記第１のシグナル中継部および前記第１のシグナル導体が前記第１のシグナル部を構成し、
    前記第１のグランド板側誘電体および前記第１のケーブル側誘電体が前記第１の誘電部を構成し、
    前記第１のグランド導体および前記第１のグランド板が前記第１のグランド部を構成し、
    前記第２のシグナル中継部および前記第２のシグナル導体が前記第２のシグナル部を構成し、
    前記第２のグランド板側誘電体および前記第２のケーブル側誘電体が前記第２の誘電部を構成し、
    前記第２のグランド導体および前記第２のグランド板が前記第２のグランド部を構成する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の測定ユニット。
  6. 前記第１のグランド板には、複数の前記第１の同軸ケーブルが接続され、
    前記第２のグランド板には、複数の前記第２の同軸ケーブルが接続される、
    ことを特徴とする請求項２～５のいずれか一つに記載の測定ユニット。
  7. 前記第１のシグナル部の前記線路を形成する第１のシグナル導体と、前記第１のシグナル導体の外周に設けられ、前記第１の誘電部を構成する第１の誘電体と、前記第１の誘電体の外周に設けられ、前記第１のグランド部を構成する第１のグランド導体とを備える第１の同軸ケーブルと、
    前記第２のシグナル部の前記線路を形成する第２のシグナル導体と、前記第２のシグナル導体の外周に設けられ、前記第２の誘電部を構成する第２の誘電体と、前記第２の誘電体の外周に設けられ、前記第２のグランド部を構成する第２のグランド導体とを備える第２の同軸ケーブルと、
    を備え、
    前記第１のグランド導体は、
    前記第１のシグナル導体および前記第１の誘電体に沿って延びる第１の筒状部と、
    前記第１の筒状部の一端部に設けられ、平板状をなす第１の平板部と、
    を有し、
    前記第１のシグナル導体および前記第１の誘電体の端面は、前記第１の平板部の表面と同一平面上に位置し、
    前記第２のグランド導体は、
    前記第２のシグナル導体および前記第２の誘電体に沿って延びる第２の筒状部と、
    前記第２の筒状部の一端部に設けられ、平板状をなす第２の平板部と、
    を有し、
    前記第２のシグナル導体および前記第２の誘電体の端面は、前記第２の平板部の表面と同一平面上に位置する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の測定ユニット。
  8. 前記第１のシグナル導体、前記第１の誘電体および前記第１の筒状部を複数組有し、
    前記第２のシグナル導体、前記第２の誘電体および前記第２の筒状部を複数組有する、
    ことを特徴とする請求項７に記載の測定ユニット。
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