JP7628510B2 - 成形体ならびにその前駆体、製造方法および用途 - Google Patents
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Description
本開示の成形体は、樹脂と誘電体フィラーとを含み、かつ前記誘電体フィラーが凝集した領域である凝集部と、前記凝集部以外の領域である非凝集部(またはマトリックス部)とで形成された成形体であるが、このような構造を有する成形体(複合成形体)は、樹脂前駆体および誘電体フィラーを含む液状前駆体の一部の領域に活性エネルギーを付与して前記誘電体フィラーを凝集させる凝集工程を経ることにより得られる。本開示では、凝集工程において、活性エネルギーが付与された領域で前記樹脂前駆体が重合しつつ、前記誘電体フィラーが重合に伴って移動して凝集部を形成していると推測できる。誘電体フィラーは、配合の組み合わせや製造条件の選択によって、活性エネルギーの付与されていない領域に移動させることもでき、活性エネルギーの付与されている領域に移動させることもできる。
樹脂としては、活性エネルギーによって重合可能な樹脂であればよく、重合によって得られた樹脂は熱可塑性樹脂であってもよいが、誘電体フィラーを凝集させ易い点から、活性エネルギーによって硬化可能な硬化性樹脂の硬化物が好ましい。
成形体(または成形体を形成するための液状前駆体)は、前記樹脂を重合するための重合開始剤をさらに含んでいてもよい。重合開始剤は、樹脂の種類に応じて適宜選択でき、樹脂が硬化性樹脂の場合、ラジカル重合開始剤、カチオン重合開始剤、アニオン重合開始剤であってもよい。好ましい重合開始剤は、カチオン重合開始剤(酸発生剤)である。カチオン重合開始剤には、光酸発生剤および熱酸発生剤が含まれる。
誘電体フィラーとしては、慣用の誘電体フィラー(誘電体粒子または粒状誘電体)を利用できる。慣用の誘電体フィラーは、無機フィラー(または粒子)、有機フィラー(または粒子)に大別できる。
成形体(または成形体を形成するための液状前駆体)は、樹脂および誘電体フィラーに加えて、必要に応じ、慣用の添加剤などの他の成分をさらに含んでいてもよい。
成形体の凝集部は、前述のように、活性エネルギーの付与によって前記誘電体フィラーが成形体内部で均一に分散することなく凝集して形成された領域であるが、前記非凝集部(またはマトリックス部)との少なくとも界面近傍において、誘電体フィラーの存在割合が界面に向かって漸減する構造を有している。すなわち、凝集部は、凝集部の全領域において、誘電体フィラーが一定の割合で存在する均質な構造ではなく、凝集部と非凝集部との少なくとも界面近傍において、濃度が徐々に(直線的または曲線的に、あるいは連続的にまたは段階的に)減少する濃度勾配または傾斜構造を有している。特に、界面近傍の構造は、濃度勾配を有するものの、定型的ではないため、ミクロ的な構造の特定は不可能または極めて困難であり、実際的ではない。また、この構造特性を有することで、アンカー効果による界面強度の向上などの本開示に由来する特性を付与できる。このような構造は、デジタルマイクロスコープ(CCD観察像)などによって容易に観察でき、例えば、凝集部の断面または表面を200~1000倍程度の倍率で撮影したCCD写真において、凝集部での誘電体フィラーの存在割合(濃度)が不均一であることは容易に確認できる。
本開示の成形体の製造方法は、樹脂前駆体および誘電体フィラーを含む液状前駆体の一部の領域に活性エネルギーを付与して前記誘電体フィラーを凝集させる凝集工程を含む。凝集工程では、一部の領域に活性エネルギーが付与されることにより、樹脂前駆体が重合するととともに、成形体内部で均一に分散されていた誘電体フィラーは移動して液状前駆体内部の一部の領域に凝集する。誘電体フィラーが凝集する前記一部の領域は、活性エネルギーの付与されていない領域(未重合領域または未露光領域)、活性エネルギーの付与されている領域(重合領域または露光領域)のいずれかの領域である。本開示の方法では、配合の組み合わせや製造条件(特に、組み合わせる樹脂と誘電体フィラーの種類)を調整することにより、未重合領域、重合領域のいずれかに凝集させることができる。そのため、目的の凝集形態が決まれば、予め活性エネルギーの付与により、未重合領域、重合領域のいずれの領域に誘電体フィラーが移動する条件または組み合わせであるのか確認した後、未重合領域に移動する場合は目的の凝集形態に相当する領域以外の領域に活性エネルギーを付与し、逆に重合領域に移動する場合は目的の凝集形態に相当する領域に活性エネルギーを付与するだけで簡単に目的のパターンを形成できる。
(カチオン重合性化合物)
NPG:ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、四日市合成(株)製「エポゴーセー(登録商標)NPG(D)」、粘度8mPa・s(25℃、カタログ値)
EP1:CEL2021P:3,4-エポキシシクロヘキシルメチル(3,4-エポキシ)シクロヘキサンカルボキシレート、(株)ダイセル製「セロキサイド2021P」、粘度240mPa・s(25℃)
EP2:(3,4,3’,4’-ジエポキシ)ビシクロヘキシル、粘度60mPa・s(25℃)
(誘電体フィラー)
BaTiO3:チタン酸バリウム微粒子、(株)関東化学製、particle size 約100nm
(開始剤)
CPI-100P:光カチオン重合開始剤、サンアプロ(株)製「CPI(登録商標)-100P」。
(基材)
未処理ガラス:厚み1mm、松浪硝子(株)製「S9112」。
図3~4に示すパターン形状を有する以下のフォトマスク(No.1~7)
No.1:スクエアまたはスクエアドット、250μm×250μmサイズの正方形状遮光部が250μm間隔で縦横に規則的に配列したフォトマスク(東京プロセスサービス(株)製 5インチ ガラスマスク)
No.2:スクエアまたはスクエアドット、50μm×50μmサイズの正方形状遮光部が150μm間隔で縦横に規則的に配列したフォトマスク(東京プロセスサービス(株)製 5インチ ガラスマスク)
No.3:スクエアまたはスクエアドット、100μm×100μmサイズの正方形状遮光部が100μm間隔で縦横に規則的に配列したフォトマスク(東京プロセスサービス(株)製 5インチ ガラスマスク)
No.4:スクエアまたはスクエアドット、50μm×50μmサイズの正方形状遮光部が50μm間隔で縦横に規則的に配列したフォトマスク(東京プロセスサービス(株)製 5インチ ガラスマスク)
No.5:ラインまたはラインアンドスペース(L/S)、幅100μmのライン状遮光部が100μm間隔で規則的に配列したフォトマスク(東京プロセスサービス(株)製 5インチ ガラスマスク)
No.6:格子状、100μm×100μmサイズの正方形状透光部が100μm間隔で縦横に規則的に配列したフォトマスク(東京プロセスサービス(株)製 5インチ ガラスマスク)
No.7:スクエアまたはスクエアドット、100μm×100μmサイズの正方形状遮光部が市松模様状に規則的に配列したフォトマスク(東京プロセスサービス(株)製 5インチ ガラスマスク)。
バーコーター:第一理科(株)製 8φ×300mm
スポットUV装置:浜松ホトニクス(株)製「LC8」
デジタルマイクロスコープ:(株)ハイロックス製「KH-8700」
(硬化性)
以下の基準に従って得られたフィルムの硬化性を評価した。
△…UV照射(2または3段目)後に完全には硬化せず、アニール後全体硬化
×…アニール後も全体硬化せず。
デジタルマイクロスコープによるCCD観察像から、得られたフィルムにおける誘電体フィラーの制御性について、以下の基準に従って相対的に評価した。
○…非凝集部へのフィラー残留量 中
△…非凝集部へのフィラー残留量 大
×…マスクパターンの転写無し。
前処理工程として、誘電率を測定するフィルムに、イオンスパッタ装置((株)日立ハイテク製「MC1000」)で中心が同じになるように両面に、直径40mmの円形状で白金を蒸着させた。前処理したフィルムについて、以下の条件で誘電率(比誘電率)を測定し、対応する比較例に対する相対値を増加度とした。
規格:JIS C2138に準拠
誘電率測定装置:Cencept42(Novocontrol Technologies社製)
温湿度:23℃、50%RH
電極形状:ガードリングなしの円形電極(直径40mm)
電極配置:試験片の中心と電極の中心とを合わせて配置
試験電圧:1.0V
試験周波数:10Hz~1MHz。
(柔軟性)
得られたコーティング層を有するフィルムを直径5mmのガラス棒に巻き付けて、柔軟性を評価し、割れなかったものを「〇」とした。
表1に記載の割合で各成分を混合攪拌し、カチオン重合性化合物、誘電体フィラーおよび開始剤を含む液状前駆体を調製した。調製した液状前駆体を、バーコーターを用いてガラス基材上に塗工し、塗膜を形成した。得られた塗膜に対して、スポットUV装置を用い、表1に記載の条件(照度、照射時間)で、マスクを介することなく、紫外光(波長365nm)を照射した後、さらに照度を上げてマスクを介することなく、紫外光を照射し、表1に記載の膜厚のコーティング層を有するフィルムを調製した。
表1に記載の割合で各成分を混合攪拌し、カチオン重合性化合物、誘電体フィラーおよび開始剤を含む液状前駆体を調製した。調製した液状前駆体を、バーコーターを用いてガラス基材上に塗工し、塗膜を形成した。得られた塗膜に対して、スポットUV装置を用い、表1に記載の条件(照度、照射時間)で、マスクを介して紫外光(波長365nm)を照射した後(1段目)、次いでマスクを介することなく紫外光を速やかに照射し(2段目)、表1に記載の膜厚のコーティング層を有するフィルムを調製した。
表1に記載の割合で各成分を混合攪拌し、カチオン重合性化合物、誘電体フィラーおよび開始剤を含む液状前駆体を調製した。調製した液状前駆体を、バーコーターを用いてガラス基材上に塗工し、塗膜を形成した。得られた塗膜に対して、スポットUV装置を用い、表1に記載の条件(照度、照射時間)で、マスクを介して紫外光(波長365nm)を照射した後(1段目)、次いでマスクを介することなく紫外光を速やかに照射し(2段目)、さらに照度を上げてマスクを介することなく紫外光を照射し(3段目)、表1に記載の膜厚のコーティング層を有するフィルムを調製した。
表2に記載の割合で各成分を混合攪拌し、カチオン重合性化合物および開始剤を含む液状前駆体を調製した。調製した液状前駆体を、バーコーターを用いてガラス基材上に塗工し、塗膜を形成した。得られた塗膜に対して、スポットUV装置を用い、表2に記載の条件(照度、照射時間)で、マスクを介することなく、紫外光(波長365nm)を照射し、表2に記載の膜厚のコーティング層を有するフィルムを調製した。
表2に記載の割合で各成分を混合攪拌し、カチオン重合性化合物、誘電体フィラーおよび開始剤を含む液状前駆体を調製した。調製した液状前駆体を、バーコーターを用いてガラス基材上に塗工し、塗膜を形成した。得られた塗膜に対して、スポットUV装置を用い、表2に記載の条件(照度、照射時間)で、マスクを介することなく、紫外光(波長365nm)を照射した後、さらに照度を上げてマスクを介することなく、紫外光を照射し、表2に記載の膜厚のコーティング層を有するフィルムを調製した。
表2に記載の割合で各成分を混合攪拌し、カチオン重合性化合物、誘電体フィラーおよび開始剤を含む液状前駆体を調製した。調製した液状前駆体を、バーコーターを用いてガラス基材上に塗工し、塗膜を形成した。得られた塗膜に対して、スポットUV装置を用い、表2に記載の条件(照度、照射時間)で、マスクを介して紫外光(波長365nm)を照射した後(1段目)、次いでマスクを介することなく紫外光を速やかに照射し(2段目)、さらに照度を上げてマスクを介することなく紫外光を照射し(3段目)、表2に記載の膜厚のコーティング層を有するフィルムを調製した。
1a…中央域(中央部、中心部近傍または第1の領域)
1b…中間域(中間部、中間領域または第2の領域)
1c…周辺域(周辺部、界面近傍または第3の領域)
2…非凝集部
3…界面
4…凝集部の中心部
Claims (14)
- 樹脂と誘電体フィラーとを含み、
前記誘電体フィラーがチタン含有複合金属酸化物で形成された無機フィラーであり、
前記誘電体フィラーが凝集した領域である凝集部と、前記凝集部以外の領域である非凝集部とで形成され、かつ前記凝集部における誘電体フィラーの存在割合が、前記非凝集部との少なくとも界面近傍において、界面に向かって漸減する成形体。 - 樹脂が光硬化性樹脂の硬化物である請求項1記載の成形体。
- 光硬化性樹脂がカチオン重合性化合物である請求項2記載の成形体。
- 誘電体フィラーの割合が、樹脂100質量部に対して0.1~100質量部である請求項1~3のいずれか一項に記載の成形体。
- フィルム状である請求項1~4のいずれか一項に記載の成形体。
- 複数の凝集部がパターン形状を形成し、かつ前記複数の凝集部のうち少なくとも1つの凝集部が厚み方向に延びて貫通した形態に形成されている請求項5記載の成形体。
- 誘電フィルムである請求項1~6のいずれか一項に記載の成形体。
- 樹脂前駆体および誘電体フィラーを含む液状前駆体の一部の領域に活性エネルギーを付与して前記誘電体フィラーを凝集させて前駆成形体を得る凝集工程を含む請求項1~7のいずれか一項に記載の成形体の製造方法。
- 凝集工程を経た前駆成形体の未硬化の領域に活性エネルギーを付与して重合を完結させる重合完結工程を含む請求項8記載の製造方法。
- 液状前駆体が光酸発生剤を含み、活性エネルギーが活性光線である請求項8または9記載の製造方法。
- 請求項8~10のいずれか一項に記載の製造方法で得られた成形体。
- 光硬化性樹脂と誘電体フィラーとを含み、前記誘電体フィラーがチタン含有複合金属酸化物で形成された無機フィラーであり、前記誘電体フィラーが凝集した領域である凝集部と、前記凝集部以外の領域である非凝集部とを有する成形体を形成するための液状前駆体であって、光硬化性樹脂および誘電体フィラーを含む液状前駆体。
- 樹脂、セラミックスまたは金属で形成された基材と、請求項1~7および11のいずれか一項に記載の成形体とが接合された接合体。
- コンデンサである請求項13記載の接合体。
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