JP7673249B2 - 絶縁液供給装置 - Google Patents

Description

本発明は、絶縁液供給装置に関するものであって、絶縁液の多列同時コーティングに適した絶縁液供給装置に関するものである。

本出願は、２０２２年３月１７日付の韓国特許出願第１０－２０２２－００３３４０２号に基づく優先権の利益を主張し、当該韓国特許出願の文献に開示されたすべての内容は、本明細書の一部として含まれる。

リチウム二次電池などには、集電体の表面に活物質および絶縁層が形成された電極が用いられる。このような電極は、スロットダイなどのコーティング装置を用いて活物質などを含む電極スラリーと絶縁性物質などを含む絶縁液の両者が電極合剤層の角の一部が重なるように集電体の表面に塗布して乾燥させることにより製造される。

絶縁液は、集電体上に塗布された電極スラリーの幅方向両縁上に塗布されるが、電極上に多列で電極スラリーを塗布する場合には、それに対応して絶縁液も多列で塗布することになる。多列同時コーティングのためには、図１のように、絶縁液を貯蔵している絶縁液タンクに対して複数の移送配管がスロットダイに並列に連結され、絶縁液の移送のためにそれぞれの移送配管毎に移送ポンプが備えられる。

上記図１のような絶縁液１０’供給装置によると、すべての移送ポンプ３００’が一定流量を圧送したとしても、絶縁液タンク１００’から移送ポンプ３００’までの距離、移送配管２００’の長さ、移送ポンプ３００’からスロットダイ４００’までの距離の差などに応じて、それぞれの移送配管２００’からスロットダイ４００’に伝達される絶縁液１０’の流量に差が生じ得る。例えば、圧力損失が最も大きい移送配管２００’から排出される絶縁液１０’の流量はかなり低下し得る。

さらに、実際の現場では、すべての移送ポンプが同じ流量の絶縁液を移送することも困難であるため、スロットダイから最終的に吐出される絶縁液の流量不均一性はさらに拡大され得る。このような流量不均一問題などを考慮して、各移送ポンプの排出流量を個別的に設定することも生産管理の側面で容易ではない。

韓国登録特許第１０－２０３５８２２号公報

本発明は、多列同時コーティング用スロットダイで絶縁液を供給する絶縁液供給装置において、移送される絶縁液の流量不均一問題を解決することにその目的がある。

本発明の他の目的および長所は、下記の説明によって理解されることができ、本発明の実施形態によってより明確に分かるものである。また、本発明の目的および長所は、特許請求の範囲に示した手段およびその組み合わせによって実現され得ることを容易に分かるものである。

上述の問題を解決するために、本発明によると、多列同時コーティング用スロットダイで絶縁液を供給する絶縁液供給装置であって、絶縁液を収容する絶縁液タンク、上記絶縁液タンクから移送された絶縁液を収容し、上記収容された絶縁液をスロットダイに伝達する円筒状の絶縁液ヘッダー、絶縁液が移送可能になるように、上記絶縁液タンクと絶縁液ヘッダーとの間を連結する移送配管、上記絶縁液ヘッダーとスロットダイとの間を連結する複数の供給配管、および上記移送配管に備えられ、上記絶縁液タンクの絶縁液が上記スロットダイに移送されるように圧力を提供する移送ポンプで構成され、上記供給配管は、上記絶縁液ヘッダーの上部に連結されることを特徴とする絶縁液供給装置が提供される。

具体的には、上記絶縁液ヘッダーは、スロットダイの幅方向に沿って延在して形成され得る。

また、上記絶縁液ヘッダーは、上記スロットダイと水平になるように延在して形成され得る。

また、上記供給配管は、上記絶縁液ヘッダーの最上部から導出されてスロットダイと連結され得る。

より具体的には、上記各供給配管は、上記絶縁液ヘッダーが延在して形成された方向に沿って配置され、上記絶縁液ヘッダーおよびスロットダイを連結し得る。

また、上記各供給配管の長さおよび内径はいずれも同一であり得る。

また、上記各供給配管における圧力損失はいずれも同一であり得る。

一方、上記絶縁液ヘッダーの圧力損失は、上記供給配管の圧力損失より小さいことがあり得る。

また、上記絶縁液ヘッダーおよび供給配管の圧力損失は、下記式１の条件を満たし得る。

［式１］
（ΔＰｈ／ｎ）＜ΔＰｓ＊５％

上記式１において、ｎは絶縁液ヘッダーに連結された移送配管の個数であり、上記ΔＰｈは絶縁液ヘッダー内部での圧力損失であり、上記ΔＰｓは供給配管１つの圧力損失値である。

また、上記移送配管は、上記絶縁液ヘッダーの下部に連結され得る。

一方、他の実施形態によると、上記移送配管は、絶縁液タンクと連結されるメイン移送配管、および上記メイン移送配管から分岐されて上記絶縁液ヘッダーと連結される補助移送配管で構成され得る。

具体的には、上記メイン移送配管から少なくとも２つ以上の補助移送配管が並列に分岐され、上記分岐された補助移送配管は上記絶縁液ヘッダーにそれぞれ連結され得る。

より具体的には、上記移送ポンプは、上記補助移送配管のそれぞれ備えられ得る。

本発明によると、絶縁液を吐出する複数の吐出口を一側に含み、絶縁液を収容する絶縁液ヘッダーと連結され、上記絶縁液ヘッダーと複数の供給配管に連結されて、各供給配管から絶縁液が供給されることを特徴とするスロットダイを提供する。

本発明によると、複数の配管を介してスロットダイに移送される絶縁液の流量偏差がほとんどないようにし得る。また、スロットダイから複数のノズルを介して吐出される各絶縁液の吐出圧力などを均一に維持することができる。

従来の多列同時コーティング用絶縁コーティング液供給装置である。 本発明の第１実施形態に係る絶縁液コーティング装置である。 本発明の第１実施形態に係る絶縁液コーティング装置の絶縁液ヘッダーの平面図である。 上記図３の絶縁液ヘッダーの断面図である。 本発明の第２実施形態に係る絶縁液コーティング装置である。 本発明の第３実施形態に係る絶縁液コーティング装置である。 本発明の第４実施形態に係る絶縁液コーティング装置である。

以下、添付した図面と様々な実施形態によって本発明の細部構成を詳細に説明する。以下に説明される実施形態は、本発明の理解を助けるために例示的に示したものであり、また添付された図面は、発明の理解を助けるために実際の縮尺で図示されたものではなく、一部の構成要素の寸法が誇張されて図示され得る。

本発明は、多様な変更を加えることができ、様々な形態を有することができるので、特定の実施形態を図面に例示し、本文に詳細に説明する。しかしながら、これは本発明を特定の開示形態に対して限定しようとするものではなく、本発明の思想および技術範囲に含まれるすべての変更、均等物または代替物を含むものとして理解されるものである。

本発明に係る絶縁液供給装置１００は、電極活物質の両側に絶縁液を同時に提供し得る多列同時コーティング用スロットダイ２００で絶縁液１０を供給する。すなわち、本発明は、絶縁液１０を複数の列で同時に吐出してコーティングするスロットダイ２００で絶縁液１０を供給する装置に関するものである。

具体的には、本発明の絶縁液供給装置１００は、絶縁液タンク１１０、絶縁液ヘッダー１２０、移送配管１３０、供給配管１４０および移送ポンプ１５０で構成され、上記絶縁液ヘッダー１２０によって絶縁液タンク１１０から移送された絶縁液１０を、上記供給配管１４０を介してスロットダイ２００に均一に伝達することを特徴とする。

以下、図２～図７を参照して本発明の絶縁液供給装置１００について説明する。

（第１実施形態）
図２は、本発明の第１実施形態に係る絶縁液供給装置１００を示したものであり、図３は、上記図２の絶縁液供給装置１００の絶縁液ヘッダー１２０の平面図を示したものであり、図４は、上記図３の絶縁液ヘッダー１２０の断面図である。

図２に図示されたように、本発明の第１実施形態に係る絶縁液供給装置１００は、絶縁液タンク１１０、絶縁液ヘッダー１２０、移送配管１３０、供給配管１４０および移送ポンプ１５０で構成される。

絶縁液タンク１１０は、コーティングに必要な絶縁液１０を収容し、上記収容されている絶縁液１０のうち一定量を排出してスロットダイ２００に伝達する。

上記絶縁液タンク１１０は、収容されている絶縁液１０を撹拌するための撹拌器などが追加で備えられ得、上記撹拌器は、インペラーおよび上記インペラーを駆動するための撹拌モーターで構成され得る。

上記絶縁液タンク１１０の下部には、絶縁液１０が排出される排出口（図示せず）を含み、上記排出口は、絶縁液１０の移動通路となる移送配管１３０と連結される。

絶縁液タンク１１０から排出される絶縁液１０は、外圧によってスロットダイ２００まで移動し得る。

本発明の絶縁液供給装置１００は、上記移送配管１３０に備えられた移送ポンプ１５０が上記外圧を提供し得る。すなわち、上記絶縁液タンク１１０に収容されている絶縁液１０は、移送ポンプ１５０が加えるポンピング圧力によって移送配管１３０を介して反対側に移動し得るようになる。

上記移送ポンプ１５０が提供するポンピング圧力によって移送される絶縁液１０の流量（流速）が変わり得る。また、移送配管１３０の長さおよび内径のサイズによって圧力損失の程度が変わり得る。すなわち、同じポンピング圧力が加わったとしても、移送配管１３０の長さおよび移送配管１３０の内径のサイズが絶縁液１０の流量（流速）に影響を及ぼし得る。

本発明に使用される多列同時コーティング用スロットダイ２００は、絶縁液１０を複数の列にそれぞれ吐出して絶縁層を形成する。したがって、上記スロットダイ２００は、複数の吐出口（またはノズル）（図示せず）が備えられ得、上記各吐出口は対応する吐出路２１０に連結される。

上記多列同時コーティング用スロットダイ２００は、一度の作動で複数の絶縁層を形成し得るため、工程の効率性が高いという長所がある。ただし、各吐出口を介して同時に吐出される絶縁液１０の流量（流速）が互いに異なる場合には、上記スロットダイ２００によって形成された絶縁層のローディング量が均一でないという問題が生じ得る。したがって、上記スロットダイ２００に形成された各吐出路２１０の内径および長さは、いずれも同一であることが好ましい。

絶縁液ヘッダー１２０は、絶縁液タンク１１０から移送された絶縁液１０を収容し、上記収容された絶縁液１０をスロットダイ２００に伝達する。

上記絶縁液ヘッダー１２０および絶縁液タンク１１０は、移送配管１３０により連結され、上記移送配管１３０を介して絶縁液タンク１１０に収容されている絶縁液１０が絶縁液ヘッダー１２０に移送され得る。

また、上記絶縁液ヘッダー１２０およびスロットダイ２００は、供給配管１４０により連結され、上記供給配管１４０を介して絶縁液ヘッダー１２０に収容されている絶縁液１０がスロットダイ２００に移送され得る。このとき、上記スロットダイ２００に連結される供給配管１４０は、具体的には、上記スロットダイ２００の吐出路２１０に連結される。すなわち、上記スロットダイ２００に連結される供給配管１４０の個数は、上記スロットダイ２００に形成された吐出路２１０の個数によって限定され得る。

上記絶縁液ヘッダー１２０は、内部の収容空間を介して移送される絶縁液１０の流量（流速）が安定的に維持され、圧力損失が最小化されるように円筒形であることが好ましい。

図２および図３に図示されたように、本発明の絶縁液ヘッダー１２０は、スロットダイ２００の幅方向Ｄに沿って延在して形成される。具体的には、上記絶縁液ヘッダー１２０はスロットダイ２００の上部に位置し、上記スロットダイ２００と水平を維持しながら延在して形成される。

上記絶縁液ヘッダー１２０と連結された各供給配管１４０は、上記絶縁液ヘッダー１２０が延在して形成された方向に沿って配置され得る。具体的に、上記複数の供給配管１４０は、所定の間隔を離隔して上記絶縁液ヘッダー１２０に順次連結される。このとき、各供給配管１４０を介して移送される絶縁液１０の流量が均一になるように、各供給配管１４０の長さおよび内径はいずれも同一であることが好ましい。すなわち、各供給配管１４０の規格を統一することにより、各供給配管１４０における圧力損失値が同一になるようにする。また、供給配管１４０は、その他に上記圧力損失に影響を及ぼし得るあらゆる因子、例えば、材質などが同一であることが好ましい。

上記絶縁液ヘッダー１２０は、図２に図示されたように、スロットダイ２００から所定の間隔を離隔した位置に備えられ得るが、これに限定される必要はなく、上記スロットダイ２００に付着されて備えられることもできる。

図４は、図３の絶縁液ヘッダー１２０の断面を示したものである。図３および図４を参照すると、上記絶縁液ヘッダー１２０は、下部に絶縁液１０が流入する流入口１２１が形成され、上部に絶縁液１０がスロットダイ２００に流出する流出口１２２が形成される。

絶縁液タンク１１０および絶縁液ヘッダー１２０を連結する移送配管１３０は、上記絶縁液ヘッダー１２０の流入口１２１と連結され、絶縁液ヘッダー１２０およびスロットダイ２００を連結する供給配管１４０は、上記絶縁液ヘッダー１２０の流出口１２２と連結される。このとき、上記移送配管１３０は絶縁液ヘッダー１２０の下部に連結され、上記供給配管１４０は絶縁液ヘッダー１２０の上部に連結される。

上記移送配管１３０は、絶縁液ヘッダー１２０の高さ（内径のサイズ）Ｈ１の半分以下の高さＨ２に連結されることが好ましく、絶縁液ヘッダー１２０の高さＨ１の３０％以下の高さ地点に連結されることがより好ましい。このように移送配管１３０、すなわち、流入口１２１が絶縁液ヘッダー１２０の低い位置に形成されるようにすることにより、絶縁液ヘッダー１２０内に生成された気泡（ガス）を絶縁液ヘッダー１２０の上部に移動させて除去する効果を得ることができる。

上記絶縁液ヘッダー１２０内に生成されたガスが円滑に排出されないと、上記残っているガスが絶縁液１０の流量（流速）を妨げたり、絶縁液１０が吐出されるときにローディング量が均一にならないようにしたりする原因となり得る。したがって、移送配管１３０を絶縁液ヘッダー１２０の下部に連結し、供給配管１４０を絶縁液ヘッダー１２０の上部に連結して、絶縁液１０の移送と共に小さなガスを随時、上記絶縁液ヘッダー１２０から除去する。このとき、上記ガス排出効果をより高めるために、上記供給配管１４０は、絶縁液ヘッダー１２０の最上部に連結されることが好ましい。

これに関連して、本発明の絶縁液供給装置１００は、上記絶縁液ヘッダー１２０の上部にガスを排出し得るガス排出バルブなどをさらに備え得る。すなわち、上記ガス排出バルブを介して、絶縁液ヘッダー１２０の内部に生成された空気などのガスを外部に排出し得る。

移送配管１３０を介して流入した絶縁液１０は、絶縁液ヘッダー１２０の内部収容空間を介して複数の供給配管１４０を介して同時に流出する。

本発明は、上記それぞれの供給配管１４０を介して流出する絶縁液１０の流量（流速）が一定になるように調節し、絶縁液１０がスロットダイ２００の各吐出口を介して均一に吐出されるようにすることに目的がある。

したがって、各供給配管１４０を介して移送される絶縁液１０の流量（流速）が均一になるように、絶縁液ヘッダー１２０で各流出口１２２が形成される高さはいずれも同一であることが好ましい。

また、本発明の絶縁液供給装置１００は、上記絶縁液ヘッダー１２０の圧力損失より、上記絶縁液ヘッダー１２０に連結された複数の供給配管１４０における圧力損失を極端に増加させることにより、移動される絶縁液１０の流量（流速）が、上記供給配管１４０内ではいずれも同一になるように調節した。例えば、同じ規格で同じ高さで絶縁液ヘッダー１２０と連結された供給配管１４０であるとしても、移送配管１３０、すなわち、絶縁液ヘッダー１２０の流入口１２１から離れた流出口１２２の距離に応じて、各供給配管１４０における絶縁液１０の流量差が発生し得る。

本発明の第１実施形態に係る絶縁液供給装置１００は、供給配管１４０における圧力損失を増加させるために上記供給配管１４０の形状を変形した。具体的に、図２および図４に図示されたように、上記供給配管１４０は、絶縁液ヘッダー１２０の上部から導出され、下方に方向転換してスロットダイ２００と連結されるＵ字型構造を有する。より好ましくは、上記供給配管１４０は、上記絶縁液ヘッダー１２０の上部から導出されてスロットダイ２００と連結される。

上記供給配管１４０が絶縁液ヘッダー１２０の上部のうち連結される位置によって、供給配管１４０における流量（流速）の差が生じ得る。例えば、上記供給配管１４０が絶縁液ヘッダー１２０の高さの６０％付近に連結される場合には、絶縁液ヘッダー１２０の流入口１２１付近の供給配管１４０に移送される絶縁液１０が、移送ポンプ１５０のポンピング圧力を相対的により強く受けることができる。この場合、当該供給配管１４０において、絶縁液１０の流量（流速）が他の供給配管１４０と異なるという問題が生じ得る。したがって、上記のような移送ポンプ１５０の相対的な影響を最小化するために、上記供給配管１４０は、絶縁液ヘッダー１２０の最上部に連結されることが好ましい。

本発明の絶縁液供給装置１００において、上記絶縁液ヘッダー１２０および供給配管１４０の圧力損失は、下記式１の条件を満たすことが好ましい。

［式１］
（ΔＰｈ／ｎ）＜ΔＰｓ×５％

上記式１において、ｎは絶縁液ヘッダー１２０に連結された移送配管１３０の個数であり、上記ΔＰｈは絶縁液ヘッダー１２０内部での圧力損失であり、上記ΔＰｓは供給配管１４０の圧力損失値である。

本発明の第１実施形態に係る絶縁液供給装置１００に含まれる絶縁液ヘッダー１２０および供給配管１４０は、上記式１を満たす範囲内で体積、形状、位置、内径および長さなどを調節することが好ましい。

（第２実施形態）
第２実施形態に係る絶縁液供給装置１００は、絶縁液ヘッダー１２０をスロットダイ２００の下部に位置するように配置したものである。

図５は、本発明の第２実施形態に係る絶縁液供給装置１００を示したものである。

図５に図示されたように、第２実施形態に係る絶縁液供給装置１００は、絶縁液ヘッダー１２０がスロットダイ２００の下部に位置するように配置し、供給配管１４０が上記絶縁液ヘッダー１２０の上部から導出されて、上記スロットダイ２００に連結される。

上記供給配管１４０が垂直に延在した形態であるため、移送される絶縁液１０が受ける抵抗が第１実施形態よりは小さいことがあり得る。したがって、上記第２実施形態に係る絶縁液供給装置１００の供給配管１４０の内径が、上記第１実施形態に係る絶縁液供給装置１００の供給配管１４０の内径より小さいことがあり得、また、供給配管１４０の長さが、上記第１実施形態に係る絶縁液供給装置１００の供給配管１４０の長さより長くなり得る。または、絶縁液ヘッダー１２０の体積、移送配管１３０の内径および長さなどを操作して、上記絶縁液ヘッダー１２０での圧力損失が、上記第１実施形態に係る絶縁液供給装置１００の絶縁液ヘッダー１２０での圧力損失より低くなるように操作され得る。

（第３実施形態）
第３実施形態に係る絶縁液供給装置１００は、絶縁液ヘッダー１２０がスロットダイ２００の後面に位置し、上記スロットダイ２００の下部に配置したものである。

図６は、本発明の第３実施形態に係る絶縁液供給装置１００を示したものである。

図６に図示されたように、第３実施形態に係る絶縁液供給装置１００の供給配管１４０が、上記絶縁液ヘッダー１２０の上部から垂直方向に導出され、再びスロットダイ２００の後面に向かって水平方向に折れて連結される。

このような構造の供給配管１４０は、上記第１実施形態よりは圧力損失が小さく、上記第２実施形態よりは圧力損失が大きいことがあり得る。

（第４実施形態）
本発明の絶縁液供給装置１００は、絶縁液１０が、それぞれ移送ポンプ１５０が備えられた複数の移送配管１３０を介して絶縁液ヘッダー１２０に供給され得る。すなわち、絶縁液１０が移送される経路を複数個に増加させ、上記各移送配管１３０に移送ポンプ１５０を備えることにより、短時間内に絶縁液１０の移送が可能になるようにしている。

図７は、本発明の第４実施形態に係る絶縁液供給装置１００である。

図７に図示されたように、本発明の第４実施形態に係る絶縁液供給装置１００は、絶縁液タンク１１０からスロットダイ２００まで複数の配管にそれぞれ連結された移送ポンプ１５０によって絶縁液１０が移送される。具体的に、上記移送配管１３０は、絶縁液タンク１１０と連結されるメイン移送配管１３１、および上記メイン移送配管１３１から分岐されて上記絶縁液ヘッダー１２０と連結される補助移送配管１３２で構成される。より具体的に、上記補助移送配管１３２は、上記メイン移送配管１３１から少なくても２つ以上が並列に分岐され得、上記分岐された各補助移送配管１３２が上記絶縁液ヘッダー１２０に連結される。この場合、移送ポンプ１５０は、上記補助移送配管１３２のそれぞれに備えられ得る。

図７を参照すると、１つのメイン移送配管１３１に３つの補助移送配管１３２が連結され、上記分岐された補助移送配管１３２に３つの移送経路が形成される。

絶縁液１０は、上記３つの移送経路を介して絶縁液ヘッダー１２０に移送され得るが、この場合、上記移送経路の距離の差により、各補助移送配管１３２毎に圧力損失が異なり得る。すなわち、上記複数の補助移送配管１３２は、状況に応じてそれぞれその長さが異なるように設計され得る。この場合、上記各補助移送配管１３２を介して移送される絶縁液１０の流量（流速）がそれぞれ異なる。

ただし、本発明の絶縁液供給装置１００は、各補助移送配管１３２を介して移送される絶縁液１０を絶縁液ヘッダー１２０という１つの空間に一時的に収容することにより上記差を一次的に緩衝する。また、二次的に供給配管１４０の圧力損失を極端に増加させることにより、複数個に連結された各供給配管１４０間では、絶縁液１０がいずれも同じ流量（流速）で移送され得る。

本発明の絶縁液供給装置１００は、絶縁液ヘッダー１２０構成を追加し、移送配管１３０の長さ差などにより発生する流量不均一現象を克服し得る。また、供給配管１４０の位置を限定することにより、上記絶縁液ヘッダー１２０構成により新たに発生し得る流量不均一現象などを克服し得る。

また、本発明の絶縁液供給装置１００は、上記供給配管１４０の圧力損失を意図的に増加させることにより、移送配管１３０および絶縁液ヘッダー１２０などにより発生する流量の差を相殺し、上記絶縁液ヘッダー１２０から各供給配管１４０に移送される絶縁液１０の流量が均一になるようにし得る効果を有する。

以上、図面と実施形態などにより本発明をより詳細に説明した。しかしながら、本明細書に記載された図面または実施形態などに記載された構成は、本発明の一実施形態に過ぎず、本発明の技術的思想をすべて表すものではないので、本出願時点においてこれらを代替し得る多様な均等物と変形例があり得ることを理解されたい。

１０’：（従来技術）絶縁液
１００’：（従来技術）絶縁液タンク
２００’：（従来技術）移送配管
３００’：（従来技術）移送ポンプ
４００’：（従来技術）スロットダイ
１０：絶縁液
１００：絶縁液供給装置
１１０：絶縁液タンク
１２０：絶縁液ヘッダー
１２１：流入口
１２２：流出口
１３０：移送配管
１３１：メイン移送配管
１３２：補助移送配管
１４０：供給配管
１５０：移送ポンプ
２００：スロットダイ
２１０：吐出路
Ｄ：幅方向

Claims (12)

1. 多列同時コーティング用のスロットダイで絶縁液を供給する絶縁液供給装置であって、
   絶縁液を収容する絶縁液タンクと、
   前記絶縁液タンクから移送された前記絶縁液を収容し、収容された前記絶縁液をスロットダイに伝達する円筒状の絶縁液ヘッダーと、
   前記絶縁液が移送可能になるように、前記絶縁液タンクと前記絶縁液ヘッダーとの間を連結する移送配管と、
   前記絶縁液ヘッダーと前記スロットダイとの間を連結する複数の供給配管と、
   前記移送配管に備えられ、前記絶縁液タンクの絶縁液が前記スロットダイに移送されるように圧力を与える移送ポンプとで構成され、
   前記供給配管は、前記絶縁液ヘッダーの上部に連結されており、
   前記絶縁液ヘッダーの圧力損失は、前記供給配管の圧力損失より小さい、絶縁液供給装置。
2. 前記絶縁液ヘッダーは、前記スロットダイの幅方向に沿って延在している、請求項１に記載の絶縁液供給装置。
3. 前記絶縁液ヘッダーは、前記スロットダイと水平になるように延在している、請求項１または２に記載の絶縁液供給装置。
4. 前記複数の供給配管は、前記絶縁液ヘッダーの最上部から導出されてスロットダイと連結されている、請求項１または２に記載の絶縁液供給装置。
5. 各供給配管は、前記絶縁液ヘッダーが延在している方向に沿って配置され、前記絶縁液ヘッダーと前記スロットダイを連結する、請求項２に記載の絶縁液供給装置。
6. 前記複数の供給配管の長さおよび内径はいずれも同一である、請求項１または２に記載の絶縁液供給装置。
7. 前記複数の供給配管における圧力損失はいずれも同一である、請求項１または２に記載の絶縁液供給装置。
8. 前記絶縁液ヘッダーの圧力損失および前記供給配管の圧力損失は、下記式１の条件を満たし、
   ［式１］
   （ΔＰｈ／ｎ）＜ΔＰｓ×５％
   前記式１において、ｎは絶縁液ヘッダーに連結された移送配管の個数であり、前記ΔＰｈは絶縁液ヘッダー内部での圧力損失であり、前記ΔＰｓは供給配管１つの圧力損失値である、請求項１または２に記載の絶縁液供給装置。
9. 前記移送配管は、前記絶縁液ヘッダーの下部に連結されている、請求項１または２に記載の絶縁液供給装置。
10. 前記移送配管は、前記絶縁液タンクと連結されるメイン移送配管、および前記メイン移送配管から分岐されて前記絶縁液ヘッダーと連結される補助移送配管で構成されている、請求項１または２に記載の絶縁液供給装置。
11. 前記メイン移送配管から２つ以上の補助移送配管が並列に分岐し、前記２つ以上の補助移送配管は前記絶縁液ヘッダーにそれぞれ連結される、請求項１０に記載の絶縁液供給装置。
12. 前記移送ポンプは、前記２つ以上の補助移送配管のそれぞれに備えられる、請求項１１に記載の絶縁液供給装置。

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