JP7720210B2 - 動圧軸受及びこれを備えた流体動圧軸受装置 - Google Patents

Description

本発明は、動圧軸受及びこれを備えた流体動圧軸受装置に関する。

流体動圧軸受装置は、軸受部材とその内周に挿入された軸部材との相対回転により、軸部材の外周面と軸受部材の内周面との間のラジアル軸受隙間に生じる流体膜の圧力を高め、この圧力（動圧作用）で軸部材を相対回転自在に非接触支持するものである。流体動圧軸受装置は、回転精度及び静粛性に優れるという特性から、ＨＤＤのディスク駆動装置のスピンドルモータ、レーザビームプリンタのポリゴンスキャナモータ、電子機器の冷却用のファンモータ等の回転軸支持用として好適に使用される。

流体動圧軸受装置の軸受部材の内周面には、ラジアル軸受隙間の潤滑流体の圧力を積極的に高める動圧溝を形成することがある。動圧溝を形成する方法としては、円筒状の焼結体の内周面に動圧溝を型成形する、いわゆる動圧溝サイジングが知られている。この動圧溝サイジングでは、焼結体の内周にサイジングピンを挿入した状態で、焼結体を上パンチと下パンチとで軸方向に圧迫しながらダイの内周に圧入することで、焼結体の内周面をサイジングピンの外周面に形成された成形型に押し付ける。これにより、焼結体の内周面に成形型の形状が転写され、動圧溝が形成される（例えば、特許文献１を参照）。

特開平１１－１８２５５０号公報

内周面に動圧溝が形成された軸受部材（以下、「動圧軸受」と言う。）を有する流体動圧軸受装置では、動圧溝深さとラジアル軸受隙間の幅とが１：１である場合に最も効率よく動圧が発生することが知られている。一方、ラジアル軸受隙間の幅が小さいと、軸部材が動圧軸受に対して傾斜した際に、軸部材が動圧軸受の軸方向端部に接触する可能性がある。そのため、動圧溝深さとラジアル軸受隙間の幅を１：１で維持しながら、動圧溝深さをできるだけ深くして、ラジアル軸受隙間の幅を大きくすることで、軸部材と動圧軸受との接触のリスクを低減する必要がある。

しかし、上記のように焼結体の内周面をサイジングコアに押し付けて動圧溝を成形する場合、焼結体のスプリングバック量が足りないと、十分な動圧溝深さを確保することができない。図６に、焼結体の内径Ｄ１と外径Ｄ２との比Ｄ２／Ｄ１と、そのときの動圧溝深さとの関係を示す。このグラフから分かるように、焼結体の内外径比Ｄ２／Ｄ１が大きくなるほど、すなわち、焼結体の半径方向の肉厚が大きくなるほど、動圧溝深さが小さくなっている。従って、動圧溝深さを深くする場合、焼結体の内外径比Ｄ２／Ｄ１を小さくすることが好ましい。

しかし、焼結体の内外径比を小さくすると、動圧溝サイジングにおいて以下のような問題が生じる。動圧溝サイジングでは、焼結体を軸方向両側及び外径側から圧縮する。焼結体の内外径比が大きい（すなわち、半径方向の肉厚が厚い）場合、軸方向の圧縮力に対する剛性が高いため、軸方向両側からの圧縮力は焼結体の内周面にほとんど伝わらず、外径側からの圧縮が支配的となる。一方、焼結体の内外径比が小さい（すなわち、半径方向の肉厚が薄い）場合、軸方向の圧縮力に対する剛性が低いため、特に軸方向両端付近において軸方向の圧縮力が焼結体の内周面に伝わりやすくなる。その結果、焼結体の軸方向端部の密度が、軸方向中央よりも高くなる。特に、ダイの内周に焼結体を押し込む上パンチ側では、焼結体の密度が高くなりやすい（図７参照）。

上記のように、焼結体の密度（すなわち圧縮率）が軸方向位置によって異なると、密度が高い部位では動圧溝深さが深くなり、密度が低い部位では動圧溝深さが浅くなる。このように、動圧溝深さが軸方向でばらつくことにより、所望の軸受剛性が得られない恐れがある。

また、焼結体の密度（すなわち圧縮率）が軸方向位置によって異なることで、図８に示すように、焼結体の内周面の母線形状（軸方向断面のプロファイル）が崩れ、密度の低い軸方向中央部が内径側に迫り出す。このように、内周面の母線形状が崩れると、ラジアル軸受隙間の幅が軸方向で異なるため、所望の軸受剛性が得られない恐れがある。

そこで、本発明は、焼結体の動圧溝深さを深くした動圧軸受において、所望の軸受剛性を得ることを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明は、内周面に動圧溝が成形された円筒状の焼結体を備えた動圧軸受において、前記焼結体の内径Ｄ１と外径Ｄ２との比Ｄ２／Ｄ１が２．５以下であり、前記焼結体を軸方向に３等分した３つの部分の相対密度の差が３％以内である動圧軸受を提供する。

このように、動圧軸受の内外径比Ｄ２／Ｄ１を小さくする（２．５以下にする）ことで、すなわち、動圧軸受の肉厚を薄くすることで、動圧溝深さを深くすることができる。このような薄肉の焼結体の密度を軸方向で略均一化することにより、具体的には、焼結体を軸方向に３等分した３つの部分の相対密度の差を３％以内に収めることにより、焼結体の軸方向の密度差に起因する動圧溝深さのバラつきや、内周面の母線形状の崩れを抑えることができる。

上記の焼結体の軸方向長さを４ｍｍ以下に抑えれば、動圧溝の成形時に焼結体に加わる軸方向の圧縮力が内周面の軸方向全域に伝わりやすくなるため、焼結体の密度の軸方向位置によるバラつきを抑えることができる。

上記のように焼結体の密度を軸方向で略均一にすることで、焼結体の内周面の軸方向端部におけるダレ（外径側への後退）を抑えることができる。具体的に、動圧軸受の内周面のうち、前記動圧溝よりも内径側に盛り上がった丘部の内径面の最小径部と最大径部との半径差を２μｍ以下に抑えることができる。

焼結体の密度を軸方向で完全に均一にすることは難しいため、焼結体の軸方向中央部の密度は軸方向端部の密度よりも若干低くなる。そのため、密度が低い動圧軸受の軸方向中央部では、製品ごとに動圧溝深さがばらつきやすい。そこで、深さがばらつきやすい軸方向中央部の動圧溝を省略してもよい。このとき、例えばヘリングボーン形状の動圧溝を軸方向に離間した２箇所に設けることで、軸方向中央部に動圧溝の無い円筒面を設けることが考えられるが、この場合、動圧軸受の軸方向寸法が大きくなるため、密度を軸方向で均一化することが難しくなる。

そこで、軸方向２箇所に設けたヘリングボーン形状の動圧溝のうち、軸方向中央側の動圧溝を省略することで、円筒面を形成してもよい。具体的には、焼結体の内周面に、軸方向に離間した２箇所に設けられた一対の環状丘部と、各環状丘部から軸方向外側に向けて延びる複数の傾斜丘部と、複数の傾斜丘部の周方向間に設けられた動圧溝と、前記一対の環状丘部の軸方向間の全域に設けられ、環状丘部の内径よりも大径な円筒面とを形成してもよい。このように、焼結体の軸方向中央部（一対の環状丘部の軸方向間）の傾斜丘部及び動圧溝を省略することで、製品ごとの動圧溝深さのばらつきを抑えて、動圧軸受の性能を安定させることができる。

上記の動圧軸受と、前記動圧軸受の内周に挿入された軸部材と、前記動圧軸受の内周面と前記軸部材との間のラジアル軸受隙間に生じる潤滑膜の動圧作用で前記軸部材を相対回転自在に非接触支持するラジアル軸受部とを備えた流体動圧軸受装置は、軸部材を安定的に支持することができる。

以上のように、焼結体の半径方向の肉厚を薄くすることで動圧溝深さを深くすることができると共に、焼結体の密度を軸方向で略均一にすることで、動圧溝深さのバラつきや、内周面の母線形状の崩れが抑えられるため、所望の軸受剛性を得ることができる。

ファンモータの断面図である。 流体動圧軸受装置の断面図である。 本発明の一実施形態に係る動圧軸受の断面図である。 サイジング工程を示す断面図であり、（Ａ）は焼結体をダイに圧入する前の状態を示し、（Ｂ）は焼結体をダイに圧入した状態を示す。 他の実施形態に係る動圧軸受の断面図である。 動圧軸受の内外径比と動圧溝深さとの関係を示すグラフである。 動圧軸受の軸方向位置による密度の違いを示すグラフである。 動圧軸受の内周面の母線形状を示す図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

図１に、ファンモータの一例を概念的に示す。同図に示すファンモータは、例えばノート型パソコンやタブレット型端末などの携帯情報機器に組み込まれ、ＣＰＵ等の発熱源を冷却するための気流を発生させるものである。このファンモータは、流体動圧軸受装置１と、モータの静止側を構成するモータベース５と、流体動圧軸受装置１の軸部材２に固定されたロータ３と、ロータ３に取り付けられた羽根４と、径方向のギャップを介して対向配置されたステータ６ａ及びマグネット６ｂとを備える。ステータ６ａは流体動圧軸受装置１のハウジング７に取り付けられ、マグネット６ｂはロータ３に取り付けられている。ステータ６ａのコイルに通電すると、ステータ６ａとマグネット６ｂとの間の電磁力で、軸部材２及び軸部材２に固定されたロータ３が一体回転する。ロータ３が回転するのに伴い、ロータ３に取り付けられた羽根４の形態等に応じて軸方向、あるいは径方向外向きの気流が発生する。

図２に示すように、流体動圧軸受装置１は、軸部材２と、ハウジング７と、本発明の一実施形態に係る動圧軸受としての軸受スリーブ８と、シール部材９とを備える。ハウジング７の内部空間には、潤滑油が充填される。なお、以下では、説明の便宜上、軸方向で軸部材２がハウジング７から突出した側（図２の上側）を「上側」、その反対側（図２の下側）を「下側」と言うが、流体動圧軸受装置１の使用時の姿勢を限定する趣旨ではない。

軸部材２は、ステンレス鋼等の高剛性の金属材料で作製される。軸部材２の外周面２ａには凹凸のない平滑な円筒面が形成される。軸部材２の下端には凸球面２ｂが形成される。軸部材２の上端にはロータ３が固定される。

ハウジング７は、筒部７ａと、筒部７ａの下端開口部を閉塞する底部７ｂとを有する。図示例では、筒部７ａと底部７ｂが樹脂又は金属材料で一体に形成されている。底部７ｂの上側端面７ｂ１の外周には、上側端面７ｂ１よりも上方に配された肩面７ｂ２が設けられる。筒部７ａの外周面７ａ２には、ステータ６ａ及びモータベース５が固定されている。

図示例では、ハウジング７の内底面（底部７ｂの上端面）７ｂ１上にスラストプレート１０が設けられる。スラストプレート１０は、ハウジング７の形成材料よりも摺動性に優れた材料で円板状に形成される。スラストプレート１０の上端面で軸部材２の下端の凸球面２ｂが接触支持される。尚、スラストプレート１０は省略してもよく、その場合、ハウジング７の内底面７ｂ１で軸部材２の凸球面２ｂが接触支持される。

シール部材９は、樹脂又は金属材料で環状に形成され、ハウジング７の筒部７ａの内周面７ａ１の上端部に固定されている。シール部材９の下端面９ｂは軸受スリーブ８の上端面８ｂに当接している。シール部材９の内周面９ａは、対向する軸部材２の外周面２ａとの間に環状のシール空間Ｓを形成する。

なお、この流体動圧軸受装置１は、ハウジング７の内部に潤滑油と空気とが混在した、いわゆるパーシャルフィルタイプであるが、これに限らず、ハウジング７の内部空間全域を潤滑油で満たした、いわゆるフルフィルタイプであってもよい。フルフィルタイプの場合、シール空間が断面くさび形状を成し、潤滑油の油面が常にシール空間Ｓの軸方向範囲内に保持される。

軸受スリーブ８は、例えば銅及び鉄を主成分とする多孔質の焼結体で円筒状に形成される。軸受スリーブ８は、焼結体の内部気孔に潤滑油を含浸させた含油状態でハウジング７の内周に固定されている。図示例では、軸受スリーブ８が、下端面８ｃをハウジング７の底部７ｂの肩面７ｂ２に当接させた状態でハウジング７の筒部７ａの内周に固定されている。軸受スリーブ８は、圧入、接着又は圧入接着（圧入と接着の併用）等により筒部７ａの内周面７ａ１に固定される。この他、軸受スリーブ８をハウジング７の内周に隙間嵌めした後、シール部材９とハウジング７の肩面７ｂ２とで軸方向両側から挟持することにより、軸受スリーブ８を筒部７ａの内周に固定することもできる。

軸受スリーブ８の内周面８ａには、図３に示すように、動圧溝Ｇ１と、動圧溝Ｇ１よりも内径側に盛り上がった丘部（クロスハッチング領域）とが形成される。本実施形態では、軸方向に隣接した２箇所に、ヘリングボーン形状の動圧溝Ｇ１が形成される。具体的には、焼結体の内周面８ａに、軸方向に離間した２箇所に設けられた環状丘部Ｇ２と、各環状丘部Ｇ２から軸方向両側に延びる複数の傾斜丘部Ｇ３と、複数の傾斜丘部Ｇ３の周方向間に設けられた複数の動圧溝Ｇ１とが形成される。環状丘部Ｇ２と、その軸方向両側に設けられた傾斜丘部Ｇ３とは連続しており、これらの内径面が同一円筒面上に配される。図示例では、一対の環状丘部Ｇ２の軸方向間に設けられた傾斜丘部Ｇ３が連続しており、これらの内径面が同一円筒面上に配される。また、一対の環状丘部Ｇ２の軸方向間に設けられた動圧溝Ｇ１が連続しており、これらの底面が同一円筒面上に配される。軸受スリーブ８の内周面８ａは、動圧溝Ｇ１の底面、環状丘部Ｇ２及び傾斜丘部Ｇ３の内径面を含む全域が、金型を押し付けて成形された成形面となっている。

軸受スリーブ８の外周面８ｄには、軸方向溝８ｄ１が形成される。軸受スリーブ８の上端面８ｂには、半径方向溝８ｂ１と環状溝８ｂ２が形成される。軸受スリーブ８の下端面８ｃには、半径方向溝８ｃ１が形成される。環状溝８ｂ２は、軸受スリーブ８をハウジング７に組み付ける際に上下方向（すなわち、回転方向）を識別するために設けられる。軸方向溝８ｄ１及び半径方向溝８ｂ１、８ｃ１は、流体動圧軸受装置１において、ハウジング７の底部７ｂが面する空間と大気とを連通する連通路を形成する（図２参照）。なお、特に必要がなければ、半径方向溝８ｂ１、８ｃ１、環状溝８ｂ２、及び軸方向溝８ｄ１のうち、何れかあるいは全てを省略してもよい。

軸受スリーブ８の内径Ｄ１は、例えばφ４ｍｍ以下、好ましくは２ｍｍ以下、より好ましくはφ１．５ｍｍ以下とされる。軸受スリーブ８の外径Ｄ２は、例えばφ７ｍｍ以下、好ましくは４ｍｍ以下とされる。軸受スリーブ８の内径Ｄ１と外径Ｄ２との比Ｄ２／Ｄ１は、２．５以下、好ましくは２．０以下、より好ましくは１．８以下とされる。軸受スリーブ８の軸方向寸法Ｌは、４ｍｍ以下、好ましくは３ｍｍ以下とされる。

焼結体からなる軸受スリーブ８の相対密度（真密度に対する密度比）は８０～９５％とされる。軸受スリーブ８の密度は軸方向で略均一とされる。具体的には、仮に、軸受スリーブ８を軸方向に３等分し（図３の点線参照）、３つの分割体（部分）８Ａ、８Ｂ、８Ｃを形成した場合、これらの分割体８Ａ、８Ｂ、８Ｃの相対密度の差は３％以内、好ましくは２％以内とされる。また、軸受スリーブ８の密度は半径方向でも略均一とされる。そのため、軸受スリーブ８の軸方向と直交する断面の気孔率は、半径方向で略一定となっている。具体的には、軸受スリーブ８の軸方向と直交する断面において、外周面８ｄ付近、半径方向中央、内周面８ａ付近の３か所で気孔率（表面開口率）を測定したとき、これらの気孔率の差が１％以下となっている。なお、軸受スリーブ８の相対密度は、ＪＩＳ Ｚ ２５０１に記載された方法により、内部に油を含浸しないドライ状態で測定する。また、気孔率については、測定したい箇所の写真を撮影し、その写真を画像処理により二値化（気孔部以外は白、気孔部は黒）し、黒色部分（気孔）の面積と視野全体の面積との比率を気孔率とした。気孔率の測定に用いた機材及び撮影条件は、以下のとおりである。
［使用機材］
・顕微鏡：Ｎｉｋｏｎ ＥＣＬＩＰＳＥ ＭＥ６００
・カメラヘッド：Ｎｉｋｏｎ ＤＳ－Ｆｉ２
・撮影ソフト：ＮＩＳ－Ｅｌｅｍｎｅｔｓ Ｄ
・解析ソフト：ＱｕｉｃＫ Ｇｒａｉｎ Ｓｔａｎｄ
・露光調整紙：ＱＰカード１０１
［撮影条件］
・露光時間：１０ｍｓ
・アナログゲイン：１．０Ｘ
・測定倍率：１００倍

軸受スリーブ８の内周面の母線形状（軸方向断面形状）は、軸方向と略平行になっている。そのため、軸受スリーブ８の内周面８ａの丘部（環状丘部Ｇ２及び傾斜丘部Ｇ３）の内径面は、略同一円筒面状に配されている。具体的に、丘部の内径面の最小径部と最大径部との半径差が２μｍ以内、好ましくは１μｍ以内となっている。

以上の構成を有する流体動圧軸受装置１において、軸部材２が回転すると、軸部材２の外周面２ａと軸受スリーブ８の内周面８ａとの間にラジアル軸受隙間が形成される。そして、軸受スリーブ８の内周面８ａに形成された動圧溝Ｇ１により、ラジアル軸受隙間に生じる油膜の圧力が高められ、この圧力（動圧作用）により軸部材２をラジアル方向に支持するラジアル軸受部Ｒが形成される。また、軸部材２の下端の凸球面２ｂがハウジング７の底部７ｂ上に載置したスラストプレート１０の上端面と摺動接触することにより、軸部材２をスラスト方向に支持（接触支持）するスラスト軸受部Ｔが形成される。

以下、軸受スリーブ８の製造方法を説明する。

軸受スリーブ８は、圧縮成形工程、焼結工程及びサイジング工程を順に経ることで製造される。

圧縮成形工程では、金属粉末を主原料とする原料粉末を圧縮成形することにより、図３の軸受スリーブ８と略同形状の円筒状の圧粉体を成形する。圧粉体の内周面は、凹凸のない平滑な円筒面状とされる。圧粉体の外周面、上端面、及び下端面には、それぞれ軸方向溝８ｄ１、半径方向溝８ｂ１及び環状溝８ｂ２、半径方向溝８ｃ１が成形される。原料粉末としては、金属粉末（例えば、銅粉末と鉄粉末の混合粉末、あるいは銅鉄系の合金粉末）を主原料とし、これに、成形助剤や固体潤滑剤等の各種充填剤を添加・混合した混合粉末が使用される。

焼結工程では、所定の焼結温度で圧粉体を加熱することにより、隣接する金属粉末の粒子同士が固相焼結又は液相焼結あるいはこれらの双方により結合した焼結体（図示省略）を得る。

サイジング工程では、図４に示すサイジング金型３０により、焼結体２８の内周面２８ａに動圧溝を型成形する。具体的には、図４（Ａ）に示すように、焼結体２８の内周にサイジングコア３１を極微小な隙間を介して挿入すると共に、焼結体２８の軸方向幅を上下パンチ３２，３３で拘束する。この状態を維持しながら、図４（Ｂ）に示すように、焼結体２８をダイ３４の内周に圧入することにより、焼結体２８が軸方向両側及び外周から圧迫される。これにより、焼結体２８の内周面２８ａが、サイジングコア３１の外周面に形成された成形型３１ａに押し付けられ、焼結体２８の内周面２８ａに成形型３１ａの形状が転写されて動圧溝Ｇ１及び丘部Ｇ２、Ｇ３（図３参照）が成形される。

その後、焼結体２８、サイジングコア３１、及び上下パンチ３２，３３を上昇させ、ダイ３４の内周から焼結体２８及びサイジングコア３１を取り出す。このとき、焼結体２８の内周面２８ａがスプリングバックにより拡径し、サイジングコア３１の外周面の成形型３１ａから剥離する。その後、内周面に動圧溝Ｇ１、環状丘部Ｇ２、及び傾斜丘部Ｇ３が成形された焼結体２８（すなわち、軸受スリーブ８）の内周からサイジングコア３１を引き抜く。

本実施形態の焼結体２８は半径方向の肉厚が薄い。具体的には、焼結体２８の内径Ｄ１と外径Ｄ２との比Ｄ２／Ｄ１が２．５以下である。この場合、ダイ３４による内径向きの圧縮力が焼結体２８の内周面に伝わりやすいため、焼結体２８の内周面に成形される動圧溝Ｇ１の深さを深く形成することが可能となる。

また、本実施形態では、焼結体２８の軸方向寸法Ｌが４ｍｍ以下に抑えられているため、上下パンチ３２、３３による軸方向の圧迫力が、焼結体２８の軸方向両端だけでなく、軸方中央部にも伝わりやすい。これにより、焼結体２８を軸方向で均一に圧迫することができるため、焼結体２８の密度を軸方向で均一化することができる。その結果、焼結体２８の内周面に成形される動圧溝Ｇ１の深さを軸方向で均一にすることができると共に、焼結体２８の内周面の母線形状の崩れを抑えることができる。

上記のような手順で製造された軸受スリーブ８の内部気孔に、例えば真空含浸等の手法で潤滑油が含浸される。そして、ハウジング７の内周に軸受スリーブ８及びシール部材９を固定した後、所定量の潤滑油を注入し、その後、軸受スリーブ８の内周に軸部材２を挿入することで、流体動圧軸受装置１が完成する。

本発明は上記の実施形態に限られない。以下、本発明の他の実施形態を説明するが、上記の実施形態と同様の点については説明を省略する。

図５に示す軸受スリーブ８は、一対の環状丘部Ｇ２の軸方向間の動圧溝Ｇ１及び傾斜丘部Ｇ３を省略した点で、上記の実施形態と異なる。この軸受スリーブ８では、内周面８ａのうち、一対の環状丘部Ｇ２の軸方向間の全域に円筒面８ａ１が形成される。円筒面８ａ１の内径は、環状丘部Ｇ２の内径よりも大きく、例えば、動圧溝Ｇ１の底面と同一円筒面上に連続して設けられる。サイジング工程（図４参照）において、上下パンチ３２、３３による軸方向の圧迫力は焼結体２８の軸方向中央に伝わりにくいため、焼結体２８の軸方向寸法を抑えても、軸方向中央の密度は軸方向両端の密度よりも若干低くなる。そこで、密度が相対的に低い軸方向中央部の動圧溝Ｇ１及び傾斜丘部Ｇ３を省略することで、動圧作用は低下するものの、製品ごとの動圧溝深さのバラつき、すなわち製品ごとの軸受剛性のバラつきを抑えることができるため、製品の信頼性が高められる。

本発明に係る動圧軸受は、上記のように内部に潤滑油を含浸させた焼結含油軸受に限らず、潤滑油を含浸させないドライ状態でも使用することができる。また、上記の流体動圧軸受装置１は、ファンモータに限らず、ＨＤＤのディスク駆動装置のスピンドルモータや、レーザビームプリンタのポリゴンスキャナモータに適用することができる。

１ 流体動圧軸受装置
２ 軸部材
７ ハウジング
８ 軸受スリーブ（動圧軸受）
８Ａ、８Ｂ、８Ｃ 分割体（３つの部分）
８ａ１ 円筒面
２８ 焼結体
３０ サイジング金型
３１ サイジングコア
３２，３３ 上下パンチ
３４ ダイ
Ｇ１ 動圧溝
Ｇ２ 環状丘部
Ｇ３ 傾斜丘部
Ｒ ラジアル軸受部
Ｔ スラスト軸受部

Claims (5)

1. 内周面に動圧溝が成形された円筒状の焼結体を備えた動圧軸受において、
   前記焼結体の内径Ｄ１が１．５ｍｍ以下であり、
   前記焼結体の内径Ｄ１と外径Ｄ２との比Ｄ２／Ｄ１が２．５以下であり、
   前記焼結体を軸方向に３等分した３つの部分のうち、軸方向中央の部分の密度が軸方向両端の部分の密度よりも低く、
   前記３つの部分の相対密度の差が３％以内である動圧軸受。
2. 前記焼結体の軸方向長さが４ｍｍ以下である請求項１に記載の動圧軸受。
3. 前記焼結体の内周面のうち、前記動圧溝よりも内径側に盛り上がった丘部の内径面の最小径部と最大径部との半径差が２μｍ以下である請求項１に記載の動圧軸受。
4. 前記焼結体の内周面に、軸方向に離間した２箇所に設けられた一対の環状丘部と、各環状丘部から軸方向外側に向けて延びる複数の傾斜丘部と、前記複数の傾斜丘部の周方向間に設けられた前記動圧溝と、前記一対の環状丘部の軸方向間の全域に設けられ、環状丘部の内径よりも大径な円筒面とが形成された請求項１～３の何れか１項に記載の動圧軸受。
5. 請求項１～４の何れか１項に記載の動圧軸受と、前記動圧軸受の内周に挿入された軸部材と、前記動圧軸受の内周面と前記軸部材との間のラジアル軸受隙間に生じる潤滑膜の動圧作用で前記軸部材を相対回転自在に非接触支持するラジアル軸受部とを備えた流体動圧軸受装置。