JP7723723B2 - センサ - Google Patents

Description

本発明はセンサに関する。

減速機等の機械装置は、歯車等の機械部品の損傷を抑制するために、潤滑油が貯められたハウジング内に収容される。このような機械装置の運転時に機械部品が摩耗すると、摩耗粉（例えば、鉄粉などの導体物質）が潤滑油内に混入する。この摩耗粉は、例えば、鉄粉等の導体物質である。機械部品の摩耗が進んで故障率曲線（バスタブ曲線）における摩耗故障期に入ると、潤滑油内に混入した摩耗粉の量が増加する。このため、潤滑油内の摩耗粉の量を検知するセンサにより、機械部品の予防保全を的確に行うことができる。

このようなセンサとして、例えば特許文献１には、自動車のトランスミッション等に装着され、オイル容器内のオイルの劣化や、オイルで潤滑される機械部品の摩耗程度等をチェックするオイルチェックセンサが開示されている。このセンサは、一対の電極と、オイル中に含まれる鉄粉等（導体物質）を吸着する磁石とを備えており、吸着された導体物質によって変化する一対の電極間の抵抗値に基づいて、オイル中の導体物質の量を検知する。

特開２００２－２８６６９７号公報

しかしながら、減速機等において検出する摩耗粉は、初期摩耗によって増加し、その後、ほぼ一定の通常運転を経た後、故障発生前に急激に増加する。本発明のセンサとしては、この故障前の摩耗粉量の増大を検知するが、減速機のサイズが大きい場合など、初期摩耗によって発生する摩耗粉量が多い場合、センサが誤動作して、本来検知すべき故障前の摩耗粉量の増大を検知できない場合がある。
また、センサの誤動作を防止して、故障前における検知により、減速機等を確実に停止・交換したいという要求がある。

さらに、減速機等の機械装置の製造時には、切削加工等によって発生した大粒子径の異物（例えば、切粉等）が当該機械装置の構成部材に付着し、潤滑油内に混入する可能性がある。このような大粒子径の異物がセンサに付着すると、摩耗粉がほとんど発生してなくとも一対の電極間が短絡する。このように、摩耗粉の量を検知するセンサにおいては、摩耗粉の量が少なくても、予期せずにセンサが作動する場合がある。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、異物の混入や、摩耗粉の発生量と動作設定量との違いによる予期しない作動を抑制することが可能なセンサを提供することであるという目的を達成しようとするものである。

本発明の第一態様に係るセンサは、
円柱状の外形を有し
前記円柱の軸方向に見て円形端面の第１の電極と、
前記第１の電極の前記円柱の径方向外側で前記第１の電極の表面に対して面一とされた端部を有する筒状の第２の電極と、
前記第１の電極と前記第２の電極との間に配置されて絶縁性を有し、前記第１の電極と前記第２の電極との端部を結ぶ検知面と同一面を有し前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔より小さい導体粒子を吸着することにより前記検知面に沿った前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗を変化させる吸着部と、
前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔より大きい寸法を有する大径導体片による前記第１の電極と前記第２の電極との短絡を抑制する短絡抑制部と、
を備え、
前記短絡抑制部は、前記第１の電極の周囲に沿って前記検知面から前記軸方向に突出するとともに、前記第１の電極および前記第２の電極の少なくとも一方に設けられた絶縁性を有する凸部であり、
前記軸方向からみて前記吸着部と前記凸部とが前記円柱の径方向に並んで配置される。 本発明のセンサは、
前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗の変化を検知する検知部を備える、ことができる。
本発明のセンサは、
前記短絡抑制部は、前記円柱の径方向の幅が、前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔と同一である、
ことができる。
本発明のセンサは、
前記円柱の軸方向に見て、前記短絡抑制部は環状を呈し、前記第１の電極の全周を囲むように形成されている、
ことができる。

本発明の第一態様に係るセンサは、
第１の電極と、
第２の電極と、
前記第１の電極と前記第２の電極との間に配置され、前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔より小さい導体粒子を吸着することにより前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗を変化させる吸着部と、
前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔より大きい寸法を有する大径導体片による前記第１の電極と前記第２の電極との短絡を抑制する短絡抑制部と、
を備える。
このセンサは、第１の電極と第２の電極との間の間隔より大きい寸法を有する大径導体片（すなわち、異物）による第１の電極と第２の電極との短絡を抑制する短絡抑制部を備えている。これにより、大径導体片による第１の電極と第２の電極との短絡が抑制されるので、予期しないセンサの作動を抑制することが可能である。

本発明のセンサは、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗の変化を検知する検知部を備える、ことができる。

本発明のセンサは、前記短絡抑制部は、前記第１の電極および前記第２の電極の少なくとも一方に設けられた絶縁性を有する凸部である、ことができる。
この構成によれば、大径導体片が吸着された場合であっても、第１の電極および第２の電極の少なくとも一方との電気的な接触が凸部によって抑制される。したがって、大径導体片による第１の電極と第２の電極との短絡が抑制され、予期しないセンサの作動を抑制することが可能である。

本発明のセンサは、前記吸着部に設けられた凸部である、ことができる。
このように、第１の電極と第２の電極との間に凸部が設けられていることにより、大径導体片が吸着された場合であっても、第１の電極および第２の電極の少なくとも一方との電気的な接触が抑制される。したがって、大径導体片による第１の電極と第２の電極との短絡が抑制され、予期しないセンサの作動を抑制することができる。

本発明のセンサは、前記短絡抑制部と前記吸着部とはワンピース構造を有する、ことができる。

本発明のセンサは、前記短絡抑制部と前記吸着部とは別部材である、ことができる。

本発明のセンサは、前記短絡抑制部は絶縁性を有する、ことができる。

本発明のセンサは、前記短絡抑制部は、前記第１の電極と前記第２の電極とが対向する方向に交差する方向に沿って延びるワイヤである、ことができる。
この構成によれば、大径導体片が吸着された場合であっても、第１の電極および第２の電極の少なくとも一方との電気的な接触がワイヤによって抑制される。したがって、大径導体片による第１の電極と第２の電極との短絡が抑制され、予期しないセンサの作動を抑制することが可能である。

本発明の第一態様に係るセンサは、一対の電極と、前記一対の電極の間に配置され、導体粒子を吸着することにより前記一対の電極の間の電気抵抗を変化させる吸着部とを含む複数の検知ユニットと、
設定された任意の数の前記検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に信号を出力する検知部と、を備える。

このセンサは複数の検知ユニットを備えており、検知部は、設定された任意の数の検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力する。これにより、たとえ大径導体片によって１つの検知ユニットにおいて電気抵抗が変化しても信号を出力しないように検知部を設定することができる。したがって、大径導体片による予期しないセンサの作動を抑制することが可能である。

本発明のセンサは、前記導体粒子が吸着されていない状態において、前記複数の検知ユニットのそれぞれにおける電気抵抗は同一である、ことができる。
この構成によれば、複数の検知ユニットのそれぞれに印加する電圧を同一にできるので、センサに印加する電圧を低くすることができる。

本発明のセンサは、前記複数の検知ユニットは、互いに並列に接続されている、ことができる。
この構成によれば、複数の検知ユニットが直列に接続された場合に比べて、それぞれの検知ユニットの一対の電極間に印加する電圧を低くすることができる。

本発明の第一態様に係るセンサは、第１の電極と、
第２の電極と、
前記第１の電極と前記第２の電極との間に配置され、導体粒子を吸着することにより前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗を変化させる吸着部と、
前記導体摩耗粉が所定量吸着されたことを検知する検知部と、
前記導体摩耗粉の吸着状態を調整して検知感度を変更する感度調整手段と、
を有することにより上記課題を解決した。

本発明のセンサによれば、感度調整手段によって導体摩耗粉の吸着状態を調整する。これにより、摩耗粉の吸着量が多かった場合でも、導体摩耗粉の吸着に応じてセンサの検知感度を調整して、確実な検知をおこなうことが可能となる。特に、センサの設置される減速機等のサイズが大きく、初期摩耗粉の発生量が多かった場合に、初期摩耗粉の吸着を制限する、あるいは、吸着量が多い場合の検出状態を変化するように設定して、確実な検知をおこなうことが可能となる。

本発明のセンサは、前記感度調整手段が、前記第1の電極と前記第２の電極間の距離を調整する手段である、ことができる。

本発明のセンサは、前記感度調整手段が、前記第1の電極と前記第２の電極との間に配置された絶縁体の壁であって、前記壁の高さの異なる前記絶縁体の群である、ことができる。

本発明のセンサは、前記感度調整手段が、前記第1の電極と前記第２の電極との間に配置された絶縁体であって、前記第1の電極と前記第２の電極間の前記絶縁体の厚さの異なる前記絶縁体の群である、ことができる。

本発明のセンサは、前記第1の電極が、前記第２の電極と同一面上に端部を有する、ことができる。

本発明のセンサは、前記感度調整手段が、少なくとも前記吸着部以外に前記導体摩耗粉を吸着する別吸着部である、ことができる。

本発明のセンサは、前記感度調整手段が、前記第1の電極および前記第２の電極の表面処理層を有する、ことができる。

本発明の第一態様に係るセンサは、有底筒状の外電極と、
前記外電極に有底内筒として配置される絶縁体と、
前記絶縁体の内部に配置される磁石と、
前記絶縁体の内部に配置されるとともに前記磁石よりも軸方向で前記外電極の開口側に位置する内電極と、
前記磁石により前記外電極および前記内電極を短絡するように導体摩耗粉が所定量吸着されたことを検知する検知部と、
前記導体摩耗粉の吸着状態を調整して検知感度を変更する感度調整手段と、
を有することにより上記課題を解決した。

本発明のセンサによれば、感度調整手段によって導体摩耗粉の吸着状態を調整する。これにより、摩耗粉の吸着量が多かった場合でも、導体摩耗粉の吸着に応じてセンサの検知感度を調整して、確実な検知をおこなうことが可能となる。特に、センサの設置される減速機等のサイズが大きく、初期摩耗粉の発生量が多かった場合に、初期摩耗粉の吸着を制限する、あるいは、吸着量が多い場合の検出状態を変化するように設定して、確実な検知をおこなうことが可能となる。

本発明のセンサは、前記絶縁体が、筒部と、シート状の底部と、
を有する、ことができる。

本発明のセンサは、前記内電極と前記磁石と前記絶縁体の底部と前記外電極の底部とを前記軸方向に貫通する締結部を有する、ことができる。

本発明によれば、予期しない作動を抑制して、動作確実性を向上可能なセンサを提供することができるという効果を奏することが可能となる。

本発明の第１実施形態に係るセンサを備える機械装置の一例を示す断面図である。 本発明の第１実施形態に係るセンサの上面図および断面図である。 変形例に係る短絡抑制部を有するセンサを示す上面図および断面図である。 変形例に係る短絡抑制部を有するセンサを示す上面図および断面図である。 変形例に係る短絡抑制部を有するセンサを示す上面図および断面図である。 変形例に係る短絡抑制部を有するセンサを示す上面図および断面図である。 本発明の第２実施形態に係るセンサを説明するための図である。 本発明に係るセンサの第３実施形態を示す断面図である。 本発明に係るセンサの第４実施形態を示す上面図である。 本発明に係るセンサの第５実施形態を示す断面図である。 本発明の第６実施形態に係るセンサを説明するための図である。 本発明の第７実施形態に係るセンサを説明するための図である。

以下、本発明に係るセンサの第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
なお、複数の図面において共通する構成要素には当該複数の図面を通じて同一の参照符号が付されている。各図面は、説明の便宜上、必ずしも正確な縮尺で記載されているとは限らない点に留意されたい。

図１は、本発明の一実施形態に係るセンサ５を備える機構１の一例を示す断面図である。機構１は、例えばロボットアーム等の可動部等であり、減速機２と、入力側に設けられたフランジ３と、サーボモータ４と、出力側の装置Ａ１と、を備えている。

減速機２は、フランジ３に取り付けられたケース２１と、サーボモータ４の出力軸２２に接続された入力軸２３と、出力側の装置Ａ１に接続された出力軸２４とを備えている。入力軸２３および出力軸２４は、ケース２１に対して軸ＡＸを中心として回転可能に支持されている。サーボモータ４の出力は、入力軸２３を介して減速機２に入力され、減速機２によって減速された後、出力軸２４を介して出力側の装置Ａ１に伝達される。これにより、出力側の装置Ａ１とフランジ３とは相対回転可能となっている。

フランジ３は筒状の部材であり、減速機２の少なくとも一部を収容する。また、フランジ３には、サーボモータ４が取り付けられる。軸ＡＸに沿った方向におけるフランジ３の一端の開口部は減速機２によって塞がれ、他端の開口部はサーボモータ４によって塞がれている。これにより、フランジ３には、密閉された中空部（空間Ｓ）が形成されている。空間Ｓ内には潤滑油が収容されており、フランジ３はオイルバスとしても機能する。

減速機２のケース２１内には、例えば歯車機構が収容されている。ケース２１内の空間は、フランジ３内の空間Ｓと連続している。減速機２が作動すると、ケース２１内の歯車機構の回転に伴い、ケース２１内の空間とフランジ３内の空間Ｓとの間で潤滑油の循環が生じる。この潤滑油の循環により、減速機２の内部で発生した摩耗粉（導体摩耗粉）等の導体物質がフランジ３内の空間Ｓに排出される。

空間Ｓ内には、潤滑油内に含まれる導体物質の量を検知するためのセンサ５が取り付けられている。センサ５は、例えば支持部材２５を介してフランジ３に固定される。センサ５は、磁石によって潤滑油内に含まれる導体物質を一対の電極間に集積させ、一対の電極間の電気抵抗の変化に基づいて潤滑油内の導体物質の量を検知する。センサ５が配置される位置は、例えばケース２１内でもよく、潤滑油が収容された空間内であれば機構１内の任意の場所に配置することができる。

次に、図２を参照して、センサ５の構造について詳細に説明する。図２は、本発明の第１実施形態に係るセンサの構成を概略的に示す図である。図２は、センサ５の上面図、および当該上面図のＡ－Ａ線に沿った断面を示している。

図２に示されるように、センサ５は略円柱状の外形を有しており、第１の電極６と、磁石７と、第２の電極８と、締結部材９と、吸着部１０とを備えている。図２に示されるように、センサ５の上面から見て第１の電極６は円形状であり、センサ５の中心部に配置されている。第２の電極８は有底円筒状の部材であり、第１の電極６と略平行に延びる底部８ａと、底部８ａに連続し、当該底部８ａに対して略垂直に延びる壁部（筒部）８ｂとを含む。

磁石７は、略円柱状を呈しており、第１の電極６と第２の電極８の底部８ａとの間に配置されている。第１の電極６、磁石７、および第２の電極８の底部８ａのそれぞれには、締結部材９（図示の実施形態ではボルト）が挿通される貫通孔がそれぞれ設けられている。この貫通孔に締結部材９が挿通されることにより、第１の電極６、磁石７、および第２の電極８は互いに固定されている。第１の電極６と第２の電極８とは互いに離間した状態で固定される。第１の電極６および第２の電極８は、例えば、鉄やフェライトコア、ケイ素鋼等の導電性を有する磁性材料によって構成される。磁石７は、例えば永久磁石であるが、永久磁石を用いずに、第１の電極６が磁石と電極とを兼ねる構成としてもよい。

吸着部１０は、第１の電極６と第２の電極８との間の空間を埋めるように設けられており、第１の電極６と第２の電極８との間に介在している。第１の電極６と第２の電極８の壁部８ｂとの間の間隔Ｘ１は、潤滑油内に含まれる導体物質の寸法よりも大きくなっている。一例として、導体物質の寸法は１．０μｍ～１００μｍ程度であり、間隔Ｘ１は初期摩耗鉄粉で短絡しない程度の距離にすることが好ましい。図示の実施形態では、磁石７は第１の電極６に接触し、吸着部１０によって囲まれている。吸着部１０は、例えば、樹脂等の絶縁性を有する非磁性材料によって構成されている。磁石７により、第１の電極６と第２の電極８との間には磁束線が形成される。これにより、潤滑油内に含まれる導体物質は吸着部１０の周辺に集積される。

センサ５は、大径導体片による第１の電極６と第２の電極８との短絡を抑制する短絡抑制部１０ａを備えている。ここで、大径導体片とは、例えば機構１（図１参照）の製造時の切削加工等によって発生した切粉等の異物であり、第１の電極６と第２の電極８との間の間隔Ｘ１より大きい寸法を有する導体粒子をいう。一例として、大径導体片の大きさは、２ｍｍ～５ｍｍ程度である。

図２に示される実施形態では、短絡抑制部１０ａは、吸着部１０に設けられた凸部であり、吸着部１０と一体に構成されている。すなわち、短絡抑制部１０ａと吸着部１０とはワンピース構造を有している。このため、短絡抑制部１０ａは、吸着部１０と同様に、例えば樹脂等の絶縁性を有する非磁性材料によって構成される。なお、吸着部１０と短絡抑制部１０ａとは別体であってもよい。図２の断面図において、短絡抑制部１０ａの幅は、第１の電極６と第２の電極８の壁部８ｂとの間の間隔Ｘ１と略同一である。センサ５の上面から見て、短絡抑制部１０ａは環状を呈しており、第１の電極６の全周を囲むように形成されている。

第１の電極６および第２の電極８には、それぞれ出力ライン（不図示）が接続されており、当該出力ラインを介して第１の電極６および第２の電極８は検知部５０（図１参照）と電気的に接続されている。

検知部５０は、第１の電極６と第２の電極８との間の電気抵抗の変化を検知する。検知部５０は、例えば、吸着部１０の周辺への導体物質の集積による電気抵抗の変化に基づき、機構１の部品の故障予知を行うセンサ駆動回路を含む。潤滑油内に含まれる導体物質が吸着部１０の周辺に集積されると、電圧が印加された第１の電極６と第２の電極８との間の電気抵抗が低下（または短絡）し、出力ラインの出力レベルが変化する。検知部５０は、この電気抵抗の変化を検出することで、機構１の部品の故障予知を行う。

なお、電気抵抗の低下には、非通電と通電によるオン、オフ信号も含まれ、非通電と通電との２つの状態を検知（以下、「デジタル検知」という）してもよい。検知部５０は、有線又は無線により、マニピュレータ等の上位制御装置（不図示）に接続されていてもよい。上位制御装置は、検知部５０からの信号を受信すると、所定の報知手段（例えば、表示装置や音声出力装置等）により、減速機２等のメンテナンスを促す警告を発するように構成することができる。

以上説明したように、センサ５は、第１の電極６と第２の電極８との間の間隔Ｘ１より大きい寸法を有する大径導体片による第１の電極６と第２の電極８との短絡を抑制する短絡抑制部１０ａを備えている。短絡抑制部１０ａは、吸着部１０に設けられた凸部である。このように、第１の電極６と第２の電極８との間に凸部が設けられていることにより、大径導体片が吸着部１０の周辺に吸着された場合であっても、第１の電極６および第２の電極８の少なくとも一方と大径導体片との電気的な接触が抑制される。したがって、大径導体片による第１の電極６と第２の電極８との短絡が抑制され、予期しないセンサ５の作動を抑制することができる。

また、センサ５の短絡抑制部１０ａと吸着部１０とは、ワンピース構造を有している。これにより、センサ５を構成する部品点数が減少するので、センサ５の製造を容易にすることができる。

次に、図３を参照して、センサ５の短絡抑制部の変形例について説明する。
図３に示されるように、変形例に係る短絡抑制部１１は、短絡抑制部１０ａと同様に、吸着部１０に設けられた凸部であり、吸着部１０と一体に構成されている。短絡抑制部１１は、短絡抑制部１０ａと同様に、例えば樹脂などの絶縁性を有する非磁性材料によって構成される。センサ５の上面から見て、短絡抑制部１１は環状を呈しており、第１の電極６の全周を囲むように形成されている。短絡抑制部１１が短絡抑制部１０ａと相違する点は、短絡抑制部１１の幅が、第１の電極６と第２の電極８の壁部８ｂとの間の間隔Ｘ１よりも小さい点である。

上記のように、間隔Ｘ１より小さい幅を有する短絡抑制部１１を備えるセンサ５においても、第１の電極６および第２の電極８の少なくとも一方と大径導体片との電気的な接触が抑制される。したがって、大径導体片による第１の電極６と第２の電極８との短絡が抑制され、予期しないセンサ５の作動を抑制することができる。

次に、図４を参照して、センサ５の短絡抑制部の他の変形例について説明する。
図４に示されるように、センサ５の短絡抑制部は複数に分割されていてもよい。図４に示される実施形態では、センサ５は３つの短絡抑制部１２ａ，１２ｂ、１２ｃを有している。複数の短絡抑制部１２ａ，１２ｂ、２ｃのそれぞれは、吸着部１０に設けられた凸部であり、吸着部１０と一体に構成されている。短絡抑制部１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、吸着部１０と同様に、例えば樹脂などの絶縁性を有する非磁性材料によって構成される。センサ５の上面から見て、複数の短絡抑制部１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、第１の電極６の周囲において、等間隔で互いに離間して配置されている。

上記のように、短絡抑制部が複数に分割されていても、短絡抑制部１２ａ，１２ｂ，１２ｃが設けられた場所においては、第１の電極６および第２の電極８の少なくとも一方と大径導体片との電気的な接触が抑制される。したがって、第１の電極６と第２の電極８との短絡が抑制され、予期しないセンサ５の作動を抑制することができる。

次に、図５を参照して、センサ５の短絡抑制部の更なる変形例について説明する。
図５に示されるように、センサ５の短絡抑制部は、第１の電極６と第２の電極８の壁部８ｂとが対向する方向に交差する方向に交差する方向に沿って延びるワイヤ１４であってもよい。ワイヤ１４は、複数の支持部１３によって支持されており、吸着部１０から離間して、当該吸着部１０に設けられている。

図５の実施形態では、複数の支持部１３のそれぞれは杭状の部材であり、その一端は吸着部１０の内部に埋め込まれた状態で固定されている。それぞれの支持部１３の他端には、ワイヤ１４が挿通される貫通孔が設けられている。この貫通孔にワイヤ１４が挿通されることにより、当該ワイヤ１４は吸着部１０から離間した状態で固定される。センサ５の上面からみて、複数の支持部１３は、第１の電極６の周方向において等間隔で互いに離間して配置されており、ワイヤ１４は、第１の電極６の全周を囲むように設けられている。ワイヤ１４を構成する材料は特に限定されず、金属等の導電性材料であってもよいし、樹脂等の絶縁性材料であってもよい。

上記のように、短絡抑制部がワイヤ１４である場合においても、ワイヤ１４によって第１の電極６および第２の電極８の少なくとも一方と大径導体片との電気的な接触が抑制される。したがって、第１の電極６と第２の電極８との短絡が抑制され、予期しないセンサ５の作動を抑制することができる。

次に、図６を参照して、センサ５の短絡抑制部の更なる変形例について説明する。
図６に示されるように、変形例に係る短絡抑制部１５は、第１の電極６および第２の電極８の少なくとも一方に設けられた絶縁性を有する凸部であってもよい。図示の実施形態では、短絡抑制部１５は、第２の電極８の壁部８ｂにおいて、壁部８ｂが吸着部１０と接する内縁に沿って設けられている。なお、短絡抑制部１５は、第１の電極６に設けられていてもよいし、第１の電極６および第２の電極のそれぞれに設けられていてもよい。

上記のように、短絡抑制部１５が第１の電極６および第２の電極８の少なくとも一方に設けられている場合であっても、短絡抑制部１０ａと同様に、第１の電極６および第２の電極８の少なくとも一方と大径導体片との電気的な接触が抑制される。したがって、第１の電極６と第２の電極８との短絡が抑制され、予期しないセンサ５の作動を抑制することができる。

以下、本発明に係るセンサの第２実施形態を、図面に基づいて説明する。
図７は、本実施形態におけるセンサを説明する図である。
本実施形態に係るセンサ３０は、上述した第１実施形態におけるセンサ５と同様に、潤滑油内に含まれる導体物質の量を検知するためのセンサである。

センサ３０は略円柱状の外形を有しており、複数の検知ユニットと、当該検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に信号を出力する検知部５０と、を備えている。
より具体的に、センサ３０は、中心電極３１と、複数の外側電極３２と、中心電極３１と外側電極３２との間に配置された吸着部３３と、磁石３４とを有している。複数の外側電極３２は、互いに絶縁されており、中心電極３１および１つの外側電極３２から成る一対の電極と、当該一対の電極の間に配置された吸着部３３とによって１つの検知ユニットが構成されている。

図示の実施形態では、センサ３０は４つの外側電極３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ，３２Ｄを有しており、４つの検知ユニットが構成されている。外側電極３２の数、および検知ユニットの数は特に限定されない。センサ３０の磁石３４は、一対の電極の間に磁束線を形成するので、潤滑油内に含まれる導体物質は吸着部３３に吸着される。このように、吸着部３３の付近に導体物質が集積されると、検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。導体粒子が吸着されていない状態において、複数の検知ユニットのそれぞれにおける電気抵抗は同一である。

中心電極３１および複数の外側電極３２のそれぞれには出力ラインが接続されており、当該出力ラインを介して複数の検知ユニットのそれぞれは検知部５０と電気的に接続されている。
本実施形態では、複数の検知ユニットは互いに並列に接続されており、中心電極３１と各外側電極３２との間には、同一の電圧源からの電圧が印加されている。検知部５０は、設定された任意の数の検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に信号を出力する。例えば、検知部５０は、２つ以上の検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合にマニピュレータ等の上位制御装置に信号を出力するように設定されてもよいし、全ての検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力するように設定されてもよい。

以上説明したように、センサ３０は複数の検知ユニットを備えており、検知部５０は、設定された任意の数の検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力する。これにより、たとえ大径導体片によって１つの検知ユニットにおいて電気抵抗が変化しても信号を出力しないように検知部５０を設定することができる。したがって、大径導体片による予期しないセンサの作動を抑制することが可能である。また、センサ３０によれば、検知部５０が信号を出力する条件を設定することができるので、１つのセンサ３０において信号が出力されるタイミングを、ユーザごとに要望が異なる最適な故障予知のタイミングに合わせることができる。

また、導体粒子が吸着されていない状態において、複数の検知ユニットのそれぞれにおける電気抵抗は同一である。これにより、センサ３０に印加する電圧を低くすることができる。

また、複数の検知ユニットは、互いに並列に接続されている。これにより、それぞれの検知ユニットの一対の電極間に印加する電圧を低くすることができる。

以下、本発明に係るセンサの第３実施形態を、図面に基づいて説明する。
図８は、本実施形態におけるセンサを示す断面図であり、本実施形態において、上述した各実施形態と異なるのは、吸着部に関する点である。なお、図８において、図示を省略した構成がある。

本実施形態におけるセンサ６０は、図８に示すように、略円柱状の外形を有しており、第１の電極（内電極）６１と、磁石６４と、第２の電極（外電極）６２と、締結部材（締結部）６９と、吸着部（絶縁体）６３と、ケース６５を備えている。
センサ６０の上面から見て第１の電極（内電極）６１は円形状であり、センサ６０の中心部に配置されている。第２の電極（外電極）６２は有底円筒形の部材であり、第１の電極（内電極）６１と略平行に延びる底部６２ａと、底部６２ａに連続して、当該底部６２ａに対して略垂直に延びる壁部（筒部）６２ｂとを有する。第１の電極（内電極）６１は、第２の電極（外電極）６２の開口に位置する。

磁石６４は、略円柱状（略円盤状）を呈しており、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２の底部６２ａとの間に配置されている。第１の電極（内電極）６１、磁石６４、および第２の電極（外電極）６２の底部６２ａのそれぞれには、締結部材（締結部）６９（図示の実施形態ではボルト）が挿通される貫通孔がそれぞれ設けられている。この貫通孔に締結部材（締結部）６９が挿通されることにより、第１の電極（内電極）６１、磁石６４、および第２の電極（外電極）６２が互いに固定されている。
磁石６４の外径は、第２の電極（外電極）６２の外径よりも小さく形成されている。

第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２とは互いに離間した状態で固定される。第１の電極（内電極）６１および第２の電極（外電極）６２は、例えば、鉄やフェライトコア、ケイ素鋼等の導電性を有する磁性材料によって構成される。磁石６４は、例えば永久磁石であるが、永久磁石を用いずに、第１の電極（内電極）６１が磁石と電極とを兼ねる構成としてもよい。

吸着部（絶縁体）６３は、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の空間を埋めるように設けられており、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間に介在している。
吸着部（絶縁体）６３は、第２の電極（外電極）６２の底部６２ａに沿った底部６３ａと、第２の電極（外電極）６２の壁部（筒部）６２ｂに沿った筒部６３ｂと、を有する。底部６３ａと筒部６３ｂとは別体とされる。底部６３ａは、シート状とされる。

吸着部（絶縁体）６３の底部６３ａは、例えば、絶縁紙として、その厚さを０．０５～１ｍｍとすることができる。吸着部（絶縁体）６３の底部６３ａは、筒部６３ｂの内径と略同一の外径である円形紙とすることができる。
さらに、底部６３ａは、筒部６３ｂの内径よりも大きい外径である円形紙とすることができる。このとき、底部６３ａは、筒部６３ｂの外径よりも小さい外径である円形紙とすることができる。さらに、底部６３ａは、筒部６３ｂの外径と同じ外径である円形紙とすることができる。

吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂには、その内面に、段差６３ｃが形成される。吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂは、段差６３ｃよりも第１の電極（内電極）６１側は、第１の電極（内電極）６１の外径と等しい内径寸法を有する。吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂは、段差６３ｃよりも磁石６４側は、磁石６４の外径と等しい内径寸法を有する。

吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂにおける端部の厚さ、つまり、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２の壁部６２ｂとの間の間隔Ｘ１は、潤滑油内に含まれる導体物質の寸法よりも大きくなっている。一例として、導体物質の寸法は１．０μｍ～１００μｍ程度であり、間隔Ｘ１は初期摩耗鉄粉で短絡しない程度の距離にすることが好ましい。図示の実施形態では、磁石６４は第１の電極（内電極）６１に接触し、吸着部（絶縁体）６３によって囲まれている。

吸着部（絶縁体）６３は、例えば、樹脂等の絶縁性を有する非磁性材料によって構成されている。磁石６４により、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間には磁束線が形成される。これにより、潤滑油内に含まれる導体物質は吸着部（絶縁体）６３の周辺に集積される。なお、潤滑油の循環する範囲が検出領域とされる。

本実施形態のセンサ６０は、第１の電極（内電極）６１の表面に対して略面一とされる第２の電極（外電極）６２の端部を結ぶ平面が、検知面６０ａとされる。すなわち、検知面６０ａにおいて、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間に、磁束線に対応して導体摩耗粉が吸着されて、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間を電気的に接続することで、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の抵抗値が変化することを検知するためである。
なお、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２の開口とが、面一でなくてもよい。

第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の沿面距離が長くなることによって、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の抵抗値が閾値まで低減するか短絡する状態まで吸着する導体摩耗粉の量が大きくなる。
また、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の沿面距離が短くなることによって、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の抵抗値が閾値まで低減するか短絡する状態まで吸着する導体摩耗粉の量が小さくなる。

本実施形態のセンサ６０は、導体摩耗粉の吸着状態を調整して検知感度を変更する感度調整手段を有する。
本実施形態において、感度調整手段は、吸着部（絶縁体）６３とされる。さらに、本実施形態において、感度調整手段は、吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂとされる。

本実施形態の吸着部（絶縁体）６３は、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との沿面距離を調節して、吸着部（絶縁体）６３で吸着する導体摩耗粉の量を調節することが可能である。
具体的には、図８に示すように、吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂが、検知面６０ａから突出する高さが変化した群を有する。
図８のセンサ６０Ａは、検知面６０ａと吸着部（絶縁体）６３Ａの筒部６３ｂの端部との高さＨＡが同じ、つまり、検知面６０ａと吸着部（絶縁体）６３Ａの筒部６３ｂが面一である。

図８のセンサ６０Ｂは、検知面６０ａに比べて、吸着部（絶縁体）６３Ｂの筒部６３ｂの端部が、高さＨＢだけ高い、つまり、検知面６０ａから吸着部（絶縁体）６３Ｂの筒部６３ｂが高さＨＢだけ突出している。
図８のセンサ６０Ｃは、検知面６０ａに比べて、吸着部（絶縁体）６３Ｃの筒部６３ｂの端部が、高さＨＣだけ高い、つまり、検知面６０ａから吸着部（絶縁体）６３Ｃの筒部６３ｂが高さＨＣだけ突出している。
図８のセンサ６０Ｄは、検知面６０ａに比べて、吸着部（絶縁体）６３Ｄの筒部６３ｂの端部が、高さＨＤだけ高い、つまり、検知面６０ａから吸着部（絶縁体）６３Ｄの筒部６３ｂが高さＨＤだけ突出している。

ここで、高さＨＡ，ＨＢ，ＨＣ，ＨＤの間の関係は、
ＨＡ（＝０）＜ＨＢ＜ＨＣ＜ＨＤ
として設定されている。

本実施形態のセンサ６０は、このような異なる値に設定された吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂの群を有し、この中から選択して組み立てることができる。
つまり、高さ（軸方向寸法）の異なる複数の吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂの群は、感度調整手段を構成する。
これにより、感度調整手段を選択することで、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の沿面距離を複数の値から選択することができる。

ここで、図８のセンサ６０Ａにおいて、吸着部（絶縁体）６３Ａの筒部６３ｂの端部で設定される第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の沿面距離を基準とする。

これに対して、図８のセンサ６０Ｂにおいて、吸着部（絶縁体）６３Ｂの筒部６３ｂの端部で設定される第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の沿面距離は、基準よりも長くなる。したがって、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の抵抗値が閾値まで低減するか短絡する状態まで吸着する導体摩耗粉の量を大きくすることができる。これにより、例えば、減速機２のサイズが大きい場合でも、減速機２における初期摩耗粉量の増大に影響されることなく、減速機２の故障検知を確実におこなうことができる。

さらに、図８のセンサ６０Ｃにおいて、吸着部（絶縁体）６３Ｃの筒部６３ｂの端部で設定される第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の沿面距離は、センサ６０Ｂよりも長くなる。したがって、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の抵抗値が閾値まで低減するか短絡する状態まで吸着する導体摩耗粉の量を大きくすることができる。これにより、減速機２のサイズがさらに大きい場合でも、減速機２における初期摩耗粉量の増大に影響されることなく、減速機２の故障検知を確実におこなうことができる。

さらに、図８のセンサ６０Ｄにおいて、吸着部（絶縁体）６３Ｄの筒部６３ｂの端部で設定される第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の沿面距離は、センサ６０Ｃよりも長くなる。したがって、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の抵抗値が閾値まで低減するか短絡する状態まで吸着する導体摩耗粉の量を大きくすることができる。これにより、減速機２のサイズがより一層大きい場合でも、減速機２における初期摩耗粉量の増大に影響されることなく、減速機２の故障検知を確実におこなうことができる。

このように、吸着部（絶縁体）６３の群から適宜選択することで、センサ６０のサイズを大きくすることなく、また、他の構成部品に影響を及ぼすことなく、減速機２の故障検知を確実におこなうことができる。
つまり、中心電極（内電極）６１、外側電極（外電極）６２、磁石６４、ケース６５、締結部材（締結部）６９をいずれも共通として、吸着部（絶縁体）６３のみを交換することで、異なる感度のセンサ６０とすることができる。

なお、上記の本実施形態においては、感度調整手段としての吸着部（絶縁体）６３の群を４種類としたが、これに限るものではなく、適宜設定することができる。

本実施形態におけるセンサ６０の組み立ては、次のようにおこなうことができる。

まず、ケース６５の内部に外側電極（外電極）６２をセットする。次いで、外側電極（外電極）６２の底部６２ａに吸着部（絶縁体）６３の底部６３ａを配置する。次いで、外側電極（外電極）６２に、選択した高さ寸法を有する吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂを挿入する。次いで、筒部６３ｂに、磁石６４を挿入し、さらに、中心電極（内電極）６１を挿入する。この状態で、締結部材（締結部）６９を貫通して締結・固定することで、センサ６０を組み立てる。

本実施形態におけるセンサ６０は、感度調整手段を有することで、検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。
具体的には、想定される導体摩耗粉の発生量が多い場合に対応して、感度調整手段を選択して、電極６１，６２間で摩耗粉が吸着される沿面距離を増大し、センサ６０の検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。また、想定される導体摩耗粉の発生量が少ない場合に対応して、感度調整手段を選択して、電極６１，６２間で摩耗粉が吸着される長さを減らし、センサ６０の検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。
これにより、減速機２における初期摩耗粉量の増大に影響されることなく、減速機２の故障検知を確実におこなうことができる。

減速機の型式(大きさ)の違いによって、初期摩耗で発生する鉄粉（摩耗粉）量には差があり、大型減速機の場合は初期摩耗鉄粉の量が多く、初期摩耗鉄粉によって、電極６１，６２間のセンサ電気ギャップが埋まって反応してしまい、誤動作する可能性がある。そのため、減速機型式に応じたセンサの雷気ギャップ設計を行う必要があるが、センサの直径方向の大型化を招くという問題がある。
これに対し、本実施形態におけるセンサ６０は、高さの異なる吸着部（絶縁体）６３からなる感度調整手段を有することで、直径方向への延伸と同じ効果が得られるため、センサ６０が大型化することがない。

以下、本発明に係るセンサの第４実施形態を、図面に基づいて説明する。
図９は、本実施形態におけるセンサを示す上面図であり、本実施形態において、上述した第３実施形態と異なるのは、吸着部および外電極に関する点である。なお、図９において、図示を省略した構成がある。

本実施形態におけるセンサ６０は、図９に示すように、略円柱状の外形を有しており、第１の電極（内電極）６１と、磁石６４と、第２の電極（外電極）６２と、締結部材（締結部）６９と、吸着部（絶縁体）６３と、ケース６５を備えている。
センサ６０の上面から見て第１の電極（内電極）６１は円形状であり、センサ６０の中心部に配置されている。第２の電極（外電極）６２は有底円筒形の部材であり、（内電極）６１と略平行に延びる底部６２ａと、底部６２ａに連続して、当該底部６２ａに対して略垂直に延びる壁部（筒部）６２ｂとを有する。

磁石６４は、略円柱状（略円盤状）を呈しており、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２の底部６２ａとの間に配置されている。第１の電極（内電極）６１、磁石６４、および第２の電極（外電極）６２の底部６２８ａのそれぞれには、締結部材（締結部）６９（図示の実施形態ではボルト）が挿通される貫通孔がそれぞれ設けられている。この貫通孔に締結部材（締結部）６９が挿通されることにより、第１の電極（内電極）６１、磁石６４、および第２の電極（外電極）６２が互いに固定されている。
磁石６４の外径は、第２の電極（外電極）６２の外径よりも小さく形成されている。

第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２とは互いに離間した状態で固定される。第１の電極（内電極）６１および第２の電極（外電極）６２は、例えば、鉄やフェライトコア、ケイ素鋼等の導電性を有する磁性材料によって構成される。磁石６４は、例えば永久磁石であるが、永久磁石を用いずに、第１の電極（内電極）６１が磁石と電極とを兼ねる構成としてもよい。

吸着部（絶縁体）６３は、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の空間を埋めるように設けられており、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間に介在している。
吸着部（絶縁体）６３は、第２の電極（外電極）６２の底部６２ａに沿った底部６３ａと、第２の電極（外電極）６２の壁部（筒部）６２ｂに沿った筒部６３ｂと、を有する。底部６３ａと筒部６３ｂとは別体とされる。底部６３ａは、シート状とされる。

吸着部（絶縁体）６３の底部６３ａは、例えば、絶縁紙として、その厚さを０．０５～１ｍｍとすることができる。吸着部（絶縁体）６３の底部６３ａは、筒部６３ｂの内径と略同一の外径である円形紙とすることができる。
さらに、底部６３ａは、筒部６３ｂの内径よりも大きい外径である円形紙とすることができる。このとき、底部６３ａは、筒部６３ｂの外径よりも小さい外径である円形紙とすることができる。さらに、底部６３ａは、筒部６３ｂの外径と同じ外径である円形紙とすることができる。

吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂには、その内面に、段差６３ｃが形成される。吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂは、段差６３ｃよりも第１の電極（内電極）６１側は、第１の電極（内電極）６１の外径と等しい内径寸法を有する。吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂは、段差６３ｃよりも磁石６４側は、磁石６４の外径と等しい内径寸法を有する。

吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂにおける端部の厚さ、つまり、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２の壁部６２ｂとの間の間隔Ｘ１は、潤滑油内に含まれる導体物質の寸法よりも大きくなっている。一例として、導体物質の寸法は１．０μｍ～１００μｍ程度であり、間隔Ｘ１は初期摩耗鉄粉で短絡しない程度の距離にすることが好ましい。図示の実施形態では、磁石６４は第１の電極（内電極）６１に接触し、吸着部（絶縁体）６３によって囲まれている。

吸着部（絶縁体）６３は、例えば、樹脂等の絶縁性を有する非磁性材料によって構成されている。磁石６４により、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間には磁束線が形成される。これにより、潤滑油内に含まれる導体物質は吸着部（絶縁体）６３の周辺に集積される。

本実施形態のセンサ６０は、第１の電極（内電極）６１の表面に対して略面一とされる第２の電極（外電極）６２の端部を結ぶ平面が、検知面６０ａとされる。すなわち、検知面６０ａにおいて、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間に、磁束線に対応して導体摩耗粉が吸着されて、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間を電気的に接続することで、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の抵抗値が変化することを検知するためである。

第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の沿面距離が長くなることによって、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の抵抗値が閾値まで低減するか短絡する状態まで吸着する導体摩耗粉の量が大きくなる。
また、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の沿面距離が短くなることによって、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の抵抗値が閾値まで低減するか短絡する状態まで吸着する導体摩耗粉の量が小さくなる。

本実施形態のセンサ６０は、導体摩耗粉の吸着状態を調整して検知感度を変更する感度調整手段を有する。
本実施形態において、感度調整手段は、吸着部（絶縁体）６３とされる。さらに、本実施形態において、感度調整手段は、吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂ、外側電極（外電極）６２、および、ケース６５とされる。

本実施形態の吸着部（絶縁体）６３は、大径導体片による第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との沿面距離を調節して、吸着する導体摩耗粉の量を調節することが可能である。
具体的には、図９に示すように、吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂの径方向厚さが変化した群を有する。
図９のセンサ６０Ｅは、検知面６０ａにおける第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２の壁部６２ｂとの間の間隔Ｘ１、つまり、検知面６０ａにおける筒部６３ｂの端部の厚さＸ１となる吸着部（絶縁体）６３Ｅを有する。
また、センサ６０Ｅは、吸着部（絶縁体）６３Ｅに対応する径寸法を有する外側電極（外電極）６２Ｅおよびケース６５Ｅを有する。

図９のセンサ６０Ｆは、検知面６０ａにおける第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２の壁部６２ｂとの間の間隔Ｘ２、つまり、検知面６０ａにおける筒部６３ｂの端部の厚さＸ２となる吸着部（絶縁体）６３Ｆを有する。
また、センサ６０Ｆは、吸着部（絶縁体）６３Ｆに対応する径寸法を有する外側電極（外電極）６２Ｆおよびケース６５Ｆを有する。
図９のセンサ６０Ｇは、検知面６０ａにおける第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２の壁部６２ｂとの間の間隔Ｘ３、つまり、検知面６０ａにおける筒部６３ｂの端部の厚さＸ２となる吸着部（絶縁体）６３Ｇを有する。
また、センサ６０Ｇは、吸着部（絶縁体）６３Ｇに対応する径寸法を有する外側電極（外電極）６２Ｇおよびケース６５Ｇを有する。

ここで、厚さＸ１，Ｘ２，Ｘ３の間の関係は、
Ｘ１＜Ｘ２＜Ｘ３
として設定されている。

本実施形態のセンサ６０は、このような異なる値に設定された吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂの群を有し、この中から選択して組み立てることができる。
つまり、厚さ（径方向寸法）の異なる複数の吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂの群は、感度調整手段を構成する。
これにより、感度調整手段を選択することで、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間の沿面距離を複数の値から選択することができる。

ここで、図９のセンサ６０Ｅにおいて、吸着部（絶縁体）６３Ｅの筒部６３ｂの端部で設定される第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２Ｅとの間の沿面距離を基準とする。

これに対して、図９のセンサ６０Ｆにおいて、吸着部（絶縁体）６３Ｆの筒部６３ｂの端部で設定される第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２Ｆとの間の沿面距離は、基準よりも長くなる。したがって、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２Ｆとの間の抵抗値が閾値まで低減するか短絡する状態まで吸着する導体摩耗粉の量を大きくすることができる。これにより、例えば、減速機２のサイズが大きい場合でも、減速機２における初期摩耗粉量の増大に影響されることなく、減速機２の故障検知を確実におこなうことができる。

さらに、図９のセンサ６０Ｇにおいて、吸着部（絶縁体）６３Ｇの筒部６３ｂの端部で設定される第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２Ｇとの間の沿面距離は、センサ６０Ｆよりも長くなる。したがって、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２Ｇとの間の抵抗値が閾値まで低減するか短絡する状態まで吸着する導体摩耗粉の量を大きくすることができる。これにより、減速機２のサイズがさらに大きい場合でも、減速機２における初期摩耗粉量の増大に影響されることなく、減速機２の故障検知を確実におこなうことができる。

このように、吸着部（絶縁体）６３の群から適宜選択することで、センサ６０の軸方向の大きさを大きくすることなく、また、中心電極（内電極）６１、磁石６４、締結部材（締結部）６９に影響を及ぼすことなく、減速機２の故障検知を確実におこなうことができる。
つまり、これらをいずれも共通として、吸着部（絶縁体）６３、外側電極（外電極）６２、ケース６５を交換することで、異なる感度のセンサ６０とすることができる。

なお、上記の本実施形態においては、感度調整手段としての吸着部（絶縁体）６３の群を３種類としたが、これに限るものではなく、適宜設定することができる。

本実施形態におけるセンサ６０の組み立ては、次のようにおこなうことができる。

まず、選択した径寸法を有するケース６５の内部に外側電極（外電極）６２をセットする。次いで、外側電極（外電極）６２の底部６２ａに、対応する径寸法の吸着部（絶縁体）６３の底部６３ａを配置する。次いで、外側電極（外電極）６２に、選択した径寸法を有する吸着部（絶縁体）６３の筒部６３ｂを挿入する。次いで、筒部６３ｂに、磁石６４を挿入し、さらに、中心電極（内電極）６１を挿入する。この状態で、締結部材（締結部）６９を貫通して締結・固定することで、センサ６０を組み立てる。
なお、選択した径寸法を有するケース６５、外側電極（外電極）６２、吸着部（絶縁体）６３の組は、あらかじめセットしておくこともできる。

本実施形態におけるセンサ６０は、感度調整手段を有することで、検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。
具体的には、想定される導体摩耗粉の発生量が多い場合に対応して、感度調整手段を選択して、電極６１，６２間で摩耗粉が吸着される沿面距離を増大し、センサ６０の検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。また、想定される導体摩耗粉の発生量が少ない場合に対応して、感度調整手段を選択して、電極６１，６２間で摩耗粉が吸着される長さを減らし、センサ６０の検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。
これにより、減速機２における初期摩耗粉量の増大に影響されることなく、減速機２の故障検知を確実におこなうことができる。

以下、本発明に係るセンサの第５実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１０は、本実施形態におけるセンサを示す断面図であり、本実施形態において、上述した第３および第４実施形態と異なるのは、電極に関する点である。なお、図１０において、図示を省略した構成がある。

本実施形態におけるセンサ６０は、図１０に示すように、第３および第４実施形態のセンサ６０とほぼ同じ構成とされる。
本実施形態におけるセンサ６０は、導体摩耗粉の吸着状態を調整して検知感度を変更する感度調整手段を有する。

本実施形態において、感度調整手段は、第１の電極（内電極）６１と、第２の電極（外電極）６２とされる。
本実施形態の第１の電極（内電極）６１には、表面処理層６１ｈが形成されている。本実施形態の第２の電極（外電極）６２には、表面処理層６２ｈが形成されている。

表面処理層６１ｈ，６２ｈは、いずれも、滑り性・非粘着性が良好で、かつ、導線性を有し、低付着性、平滑性、潤滑性を有している。
表面処理層６１ｈ，６２ｈは、例えば、フッ素樹脂複合無電解ニッケルめっき等によって、形成することができる。ここで、フッ素樹脂はポリテトラフルオロエチレン粒子等とすることができる。

表面処理層６１ｈ，６２ｈにより、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２とで吸着可能な摩耗粉の量を低減する可能性のあるスラッジが、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２と検知面６０ａに付着して、第１の電極（内電極）６１と第２の電極（外電極）６２との間で摩耗粉が吸着される量を減らしてしまうことを防止できる。
これにより、センサ６０の検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。なお、図１０において、スラッジが付着した状態を破線で示す。

表面処理層６１ｈ，６２ｈを設けない場合には、潤滑剤によって発生するスラッジが、センサの電極に堆積して絶縁皮膜が形成され、これが誤動作を発生する可能性がある。これに対して、本実施形態においては、表面処理層６１ｈ，６２ｈを形成したことで、表面処理層６１ｈ，６２ｈによる滑り性の向上と、これによる潤滑剤の流れの良好さと、によってスラッジの堆積が防止されて、安定したセンサ６０の故障予知の動作を期待できる。

以下、本発明に係るセンサの第６実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１１は、本実施形態におけるセンサを説明する図である。
本実施形態に係るセンサ６０は、上述した第２実施形態におけるセンサ３０と同様に、潤滑油内に含まれる導体物質の量を検知するためのセンサである。

センサ６０は略円柱状の外形を有しており、複数の検知ユニットと、当該検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に信号を出力するとともに漏電を防止する検知部７０と、を備えている。
より具体的に、センサ６０は、中心電極６１と、複数の外側電極６２と、中心電極６１と外側電極６２との間に配置された吸着部６３と、磁石６４とを有している。複数の外側電極６２は、互いに絶縁されており、中心電極６１および１つの外側電極６２から成る一対の電極と、当該一対の電極の間に配置された吸着部６３とによって１つの検知ユニットが構成されている。

図示の実施形態では、センサ６０は４つの外側電極６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄを有しており、４つの検知ユニットが構成されている。外側電極６２の数、および検知ユニットの数は特に限定されない。センサ６０の磁石６４は、一対の電極の間に磁束線を形成するので、潤滑油内に含まれる導体物質は吸着部６３に吸着される。このように、吸着部６３の付近に導体物質が集積されると、検知ユニットにおける電気抵抗が変化する。導体摩耗粒子が吸着されていない状態において、複数の検知ユニットのそれぞれにおける電気抵抗は同一である。

中心電極６１および複数の外側電極６２のそれぞれには出力ラインが接続されており、当該出力ラインを介して複数の検知ユニットのそれぞれは検知部７０と電気的に接続されている。

本実施形態では、複数の検知ユニットは互いに並列に接続されており、中心電極６１と各外側電極６２との間には、同一の電圧源からの電圧が印加されている。検知部７０は、設定された任意の数の検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に信号を出力する。例えば、検知部７０は、２つ以上の検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合にマニピュレータ等の上位制御装置に信号を出力するように設定されてもよいし、全ての検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力するように設定されてもよい。

あるいは、検知部７０は、設定された任意の検知ユニットを順番に切り替えて、当該検知ユニットにおいて電気抵抗が変化した場合に信号を出力する。
また、検知部７０は、上記のように、検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に信号を出力し、その後、センサ６０への検知電力をオフにするように設定されている。

具体的には、検知部７０は、上記のように、検知ユニットにおいて電気抵抗が低下した場合に故障表示を点灯する信号を出力し、その後、スイッチ７１を切断してセンサ６０への検知電力をオフにするように設定されている。つまり、センサ６０が鉄粉増加(ギャップ部抵抗値低下)を検知して減速機２を故障と判断した後は通電しない。

これにより、摩耗粉が堆積し続けて、センサ６０と減速機２あるいは、機構１が接触したとしても、漏電、感電を防ぐことができる。
したがって、センサ６０が減速機２の故障を伝達した後も、そのまま減速機２を使用し続けた場合であっても、減速機２内部では運転とともに鉄粉が発生し続け、センサ６０にも導体摩耗粉が堆積し続けることになり、センサ６０の寸法が鉄粉の堆によって拡大してゆく結果、センサ６０と機構１内の部品とが摩耗粉によって接触・通電し、漏電、感電を招く恐れを防止することができる。

以下、本発明に係るセンサの第７実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１２は、本実施形態におけるセンサを説明する図である。
本実施形態に係るセンサ６０は、上述した各実施形態におけるセンサ５，３０，６０と同様に、潤滑油内に含まれる導体物質の量を検知するためのセンサである。
本実施形態においては、図１２に示すように、空間Ｓ内において、センサ６０を覆うカバー６６が設けられる。カバー６６は、その内部にセンサ６０が収納されるとともに、センサ６０の検知面６０ａに対向する位置に、多数の貫通孔６７が形成されている。

貫通孔６７は、カバー６６の内部であるセンサ６０に対向する面側となる内側開口６７ｂに比べて、カバー６６の外部である空間Ｓ側となる外側開口６７ａのほうが拡径されている。つまり、貫通孔６７は、空間Ｓからカバー６６の内側に、導体摩耗粉が侵入する際に、縮径された貫通孔６７を通って、センサ６０へと到達する。カバー６６は、貫通孔６７の内側開口６７ｂと、センサ６０の検知面６０ａと、が離間するように配置される。カバー６６は、貫通孔６７以外は、その内部を密閉している。

これにより、機構１、減速機２の運転が激しく潤滑剤の流れが激しい場合でも、カバー６６によって、センサ６０を保護することができる。これにより、カバー６６内部に入った導体摩耗粉が外部の空間Ｓに再度放出されることを防止して、正確な吸着量を維持し、確実な故障予知をおこなうことができる。また、カバー６６から導体摩耗粉が再放出されることを防止して、機構１、減速機２への影響を低減することもできる。
なお、カバー６６はセンサ６０の軸方向視して、センサ６０の外径とほぼ等しい内径とすることもできる。

さらに、本実施形態によれば、摩耗粉の少ない減速機２の運転初期においては、カバー６６によって、センサ６０に一度に大量の摩耗粉が吸着されることなどを防止して、センサ６０の誤動作を防止することができる。さらに、摩耗粉の少ない減速機２の運転初期に比べて、減速機２の故障直前において、摩耗粉が大量に発生した場合には、貫通孔６７を通って充分な摩耗粉がセンサ６０に吸着されることで検知することができる。

なお、本発明においては、上記の各実施形態における個々の構成を適宜組み合わせて対応することも可能である。

さらに、本発明のセンサは、前記感度調整手段が、前記外電極の前記開口に対して前記軸方向高さの異なる前記絶縁体の群を有する、ことができる。
これにより、複数の軸方向高さを有する絶縁体から選択して、想定される導体摩耗粉の発生量に対応して、センサの検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。
具体的には、想定される導体摩耗粉の発生量が多い場合に対応して、軸方向高さの高い絶縁体を選択して、電極間で摩耗粉が吸着される長さを増大し、センサの検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。また、想定される導体摩耗粉の発生量が少ない場合に対応して、軸方向高さが低いか電極と面一の絶縁体を選択して、電極間で摩耗粉が吸着される長さを減らし、センサの検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。

本発明のセンサは、前記感度調整手段が、前記内電極の外径に対して前記外電極の前記開口に隣接する径方向厚さの異なる前記絶縁体および前記絶縁体の外径に対応する前記外電極の組からなる群を有する、ことができる。
これにより、複数の径方向厚さを有する絶縁体から選択して、想定される導体摩耗粉の発生量に対応して、センサの検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。
具体的には、想定される導体摩耗粉の発生量が多い場合に対応して、径方向厚さの大きい絶縁体を選択して、電極間で摩耗粉が吸着される長さを増大し、センサの検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。また、想定される導体摩耗粉の発生量が少ない場合に対応して、径方向厚さが小さい絶縁体を選択して、電極間で摩耗粉が吸着される長さを減らし、センサの検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。

本発明のセンサは、前記外電極が、前記内電極と面一である開口端部を有する、ことができる。

本発明のセンサは、前記感度調整手段が、前記磁石以外に設けられた別磁石を有する、ことができる。
この場合でも、複数の吸着量を有する別磁石の群から選択すること、あるいは、別磁石を設けないことができる。
これにより、想定される導体摩耗粉の発生量に対応して、別磁石により摩耗粉を吸着することで、電極間で摩耗粉が吸着される量を減らし、センサの検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。
具体的には、想定される導体摩耗粉の発生量が多い場合に対応して、強磁力または大きな別磁石を選択して、電極間で吸着される摩耗粉の量を削減し、センサの検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。また、想定される導体摩耗粉の発生量が少ない場合に対応して、磁力の弱いまたは小さな別磁石を選択するか、別磁石を設けないことで、電極間で吸着される摩耗粉が所定量となるように設定して、センサの検知感度を所定の状態に設定することが可能となる。

本発明のセンサは、前記感度調整手段が、前記外電極および前記内電極の表面処理層を有する、ことができる。
これにより、吸着可能な摩耗粉の量を低減する可能性のあるスラッジが電極の吸着面に付着して、電極間で摩耗粉が吸着される量を減らし、必要な検知感度を呈しないことを防止できる。
具体的には、表面処理層は、導電性を有し、低付着性、平滑性、潤滑性を有していればよい。

本発明のセンサは、前記感度調整手段が、少なくとも一対の電極と、前記一対の電極の間に配置される前記吸着部とを覆うカバーである、ことができる。

２…減速機
５，３０，６０…センサ
６，６１…第１の電極（内電極）
８，６２…第２の電極（外電極）
９，６９…締結部材（締結部）
１０，６３…吸着部（絶縁体）
７，６４…磁石
１０ａ，１１，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１５…短絡抑制部
１４…ワイヤ
３１…中心電極
３２（３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ）…外側電極
５０，７０…検知部
６０ａ…検知面
６１ｈ，６２ｈ…表面処理層
６６…カバー

Claims (4)

1. 円柱状の外形を有し
   前記円柱の軸方向に見て円形端面の第１の電極と、
   前記第１の電極の前記円柱の径方向外側で前記第１の電極の表面に対して面一とされた端部を有する筒状の第２の電極と、
   前記第１の電極と前記第２の電極との間に配置されて絶縁性を有し、前記第１の電極と前記第２の電極との端部を結ぶ検知面と同一面を有し前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔より小さい導体粒子を吸着することにより前記検知面に沿った前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗を変化させる吸着部と、
   前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔より大きい寸法を有する大径導体片による前記第１の電極と前記第２の電極との短絡を抑制する短絡抑制部と、
   を備え、
   前記短絡抑制部は、前記第１の電極の周囲に沿って前記検知面から前記軸方向に突出するとともに、前記第１の電極および前記第２の電極の少なくとも一方に設けられた絶縁性を有する凸部であり、
   前記第１の電極又は前記第２の電極の前記凸部が配置された端面の法線方向からみて前記吸着部と前記凸部とが前記円柱の径方向に並んで配置される、
   ことを特徴とするセンサ。
2. 前記第１の電極と前記第２の電極との間の電気抵抗の変化を検知する検知部を備える、請求項１に記載のセンサ。
3. 前記短絡抑制部は、前記円柱の径方向の幅が、前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隔と同一である、
   請求項１に記載のセンサ。
4. 前記円柱の軸方向に見て、前記短絡抑制部は環状を呈し、前記第１の電極の全周を囲むように形成されている、
   請求項１に記載のセンサ。