JP7737207B2 - インライン工程でガラス基板のエッジトリミングを行うための方法および装置 - Google Patents

Description

優先権主張と相互参照

本出願は、２０２０年１月２７日を出願日とする米国仮特許出願第６２／９６６２８８号の米国特許法第１１９条に基づく優先権の利益を主張するものであり、この仮出願のすべての開示内容は、本明細書の依拠するところとし、参照することによって本明細書の一部をなすものとする。

本開示は、インライン工程でガラス基板のエッジトリミングを行うための方法および装置に関するものである。また、本開示は、インラインのエッジトリミング工程におけるガラス基板の搬送に関するものでもある。

ガラス製の基板は連続したリボンから形成され、この連続したリボンは、後続の工程に回すため個々のガラスパネルに切り離される。顧客にはこのようにして作成された基板を納品することができ、顧客の側でこの基板を組み込んだフラットパネルディスプレイや光電池デバイスなどのさまざまな最終製品を製造することができる。しかし、既存の工程では、ガラス製造業者側でガラスリボンを形成してから、ガラス基板を最終製品に組み込むまでに、いくつかの個別の中間処理ステップを経て基板を移送する必要があるため、工程が非効率となったり高コストとなったりする場合があった。

そのような中間処理工程の一例に、エッジトリミング工程がある。エッジトリミング工程では、ガラス基板のエッジ部を基板から切り離すことにより、ガラス基板を最終製品に組み込むための所定最終寸法を有するガラス基板を作製することができる。

したがって、最終製品に組み込むための所定寸法を有する基板となるようにガラス基板をトリミングするために必要な時間、処理量、および／またはコストを低減するために、エッジトリミング工程を改良することが必要とされている。

本開示は、複数の基板を連続的に処理することを可能にするインライン構成での基板のエッジトリミングのための方法および装置を提供するものである。本方法および装置は、最小限の床面積で基板の搬送方向転換を行うことを可能にするとともに、既存または従来の方法よりもサイクルタイムを高速化することを可能にする搬送装置およびこれに関連する方法を含むことができる。

一態様では、本開示はガラス基板からエッジ部を切り離す方法を提供する。いくつかの実施形態によれば、そのような方法は、ガラス基板が割線引き装置に対して相対移動する際に、割線引き装置の割線引きツールがガラス基板に割線を引くように、割線引きツールをガラス基板に当てるステップと、割線に沿ってエッジ部をガラス基板から切り離すように、ガラス基板が切断装置の切断バーに対して相対移動する際に、切断バーをガラス基板に当てるステップと、を含む。

他の態様では、本開示は、ガラス基板からエッジ部を切り離す装置を提供する。いくつかの実施形態によれば、そのような切り離し装置は、ガラス基板に割線を引くように構成される割線引きツールを備える割線引き装置と、ガラス基板を支持するとともに、割線引きツールがガラス基板に割線を引く際に、ガラス基板を割線引き装置に対して相対移動させるように構成される割線引きコンベアと、を備える。また、本切り離し装置は、割線に沿ってエッジ部をガラス基板から切り離すように構成される切断バーを備える切断装置と、ガラス基板を支持するとともに、切断バーがエッジ部をガラス基板から切り離す際に、ガラス基板を切断装置に対して相対移動させるように構成される切断コンベアと、をさらに備える。

他の態様では、本開示は、エッジトリミング工程において基板の搬送方向転換を行う方法を提供する。いくつかの実施形態によれば、そのような方法は、第１のコンベアでガラス基板を第１の搬送方向に移動して移載ゾーンに入れるステップと、ガラス基板を、第１のコンベア上の第１の移載位置から、第１の移載位置とは異なる鉛直高さにある第２のコンベア上の第２の移載位置に移載するステップと、を含む。また、本方法は、ガラス基板を、第１の搬送方向とは異なる第２の搬送方向に移動して移載ゾーンから出すステップをさらに含む。

他の態様では、本開示は、本開示は、エッジトリミング工程において基板の方向転換を行う移載装置を提供する。いくつかの実施形態によれば、そのような移載装置は、ガラス基板を第１の搬送方向に移動させるための第１のコンベアを備える。第１のコンベアは、移載ゾーンに配置された第１の下流端を有することができる。また、本移載装置は、ガラス基板を第２の搬送方向に移動させるための第２のコンベアをさらに備える。第２のコンベアは、移載ゾーンの第１のコンベアの第１の下流端と重なる位置に配置された第２の上流端を有することができる。また、本移載装置は、移載ゾーンに配置され、リフトアクチュエータおよびリフタを備えるリフトユニットをさらに備える。リフトユニットは、リフタをガラス基板に接触させて、ガラス基板を第１のコンベアの第１の下流端にある第１の移載位置から、第２のコンベアの第２の上流端にある第２の移載位置へ移動させるように、リフタに接続することができる。

以下の詳細な説明を添付の図面と併せて読むことにより、本開示は最もよく理解されるであろう。なお、図面の種々の特徴は、一般的な慣行に従って図示されており、必ずしも縮尺通りではないことを特に注意されたい。むしろ、分かりやすくするために、種々の特徴は、任意に拡大または縮小した寸法で図示している。また、明細書および図面の全体を通して、同様の特徴は同様の参照番号で示すものとする。
いくつかの実施形態に係る例示的なエッジトリミング工程を示す平面視ブロック図 本開示のエッジトリミング工程に関連して使用され得る例示的な搬送システムを示す等角図 いくつかの実施形態に係る、図２に示す例示的な搬送システムを使用して移動させることができる例示的な基板を示す等角図 いくつかの実施形態に係る、基板を移載ゾーンに移動させるために使用することができる例示的なコンベアを示す等角図 いくつかの実施形態に係る、移載ゾーン内で基板を移動させるために使用することができる例示的なリフトユニットを示す等角図 いくつかの実施形態に係る、第１のコンベアから第２のコンベアに基板を移動させるように、図４Ａに示すリフトユニットを移載ゾーンに配置した状態を示す端面図 いくつかの実施形態に係る、基板を移載ゾーンから移動させるために使用することができる例示的なコンベアを示す等角図 いくつかの実施形態に係る、中央寄せゾーン内を通過して基板を移動させるために使用することができる例示的なコンベアを示す等角図 いくつかの実施形態に係る、中央寄せゾーンで使用することができる例示的な中央寄せ装置を示す等角図 いくつかの実施形態に係る、割線引きゾーンで使用することができる例示的なコンベアを示す等角図 いくつかの実施形態に係る、割線引きゾーンで使用することができる例示的な割線引き装置を示す等角図 いくつかの実施形態に係る、図９に示す割線引き装置の一部を示す等角図 いくつかの実施形態に係る、図９に示す割線引き装置の部品とすることができる例示的な押えロールユニットを示す等角図 いくつかの実施形態に係る、切断ゾーンで使用することができる例示的な切断装置および例示的なコンベアを示す等角図 いくつかの実施形態に係る、図１２に示す例示的な切断装置の一部を示す等角図 いくつかの実施形態に係る、図１２に示す切断装置の例示的な保持バーを示す等角図 いくつかの実施形態に係る、切断ゾーンにおいて図１４に示す保持バーが基板に接触している様子を示す側面図 いくつかの実施形態に係る、移載ゾーンで使用することができる他の例示的なリフト装置を示す等角図 いくつかの実施形態に係る、基板を移載ゾーンから移動させるために使用することができる例示的なコンベアを示す等角図 いくつかの実施形態に係る、基板からエッジ部を切り離す例示的な方法を示すフローチャート いくつかの実施形態に係る、基板の搬送方向転換を行う例示的な方法を示すフローチャート

以下の例示的な実施形態の説明は、添付の図面と併せて読まれることを意図しており、添付の図面は、本明細書全体の一部とみなされる。説明の中に、「下の（lower）」、「上の（upper）」、「水平の（horizontal）」、「鉛直の（vertical）」、「上方（above）」、「下方（below）」、「上へ（up）」、「下へ（down）」、「上（top）」、「下（bottom）」、およびその派生語（例えば、「水平に（horizontally）」、「下に（downwardly）」、「上に（upwardly）」など）のような相対的な用語がある場合、その用語は、その説明における向き、またはそのときに参照している図面に示す向きを指すものと解釈すべきである。これらの相対的な用語は、説明の便宜上のものであり、装置を特定の向きに構築または動作させることを要請するものではない。「接続（connected）」や「相互接続（interconnected）」などの取付けや連結に関する用語は、別段の明示的な記載がない限り、直接的な形および中間構造物を介在させた間接的な形のいずれかを問わず構造物を互いに固定または取り付ける関係、そして可動的な取付けや剛性的な取付けまたは可動的な関係や剛性的な関係を指すものとする。

以下の説明の目的上、下記の実施形態が代替的な変化形や代替的な実施形態を想定し得るものであることを理解されたい。また、本明細書に記載の特定の物品、組成物、および／または工程は例示的なものであり、限定的なものとみなすべきではないことも理解されたい。

本明細書において、文脈上明らかにそうでない場合を除き、「a」、「an」、及び「the（その／前記）」で示す単数形は、対応する複数形に対する言及も包摂し、特定の数値に言及している場合は、少なくとも当該特定の数値を含むものとする。ある値の前に「約（about）」をつけてその値を近似値として表現する場合、当然ながら、その特定の値自身によって構成される他の実施形態も存在することになる。本明細書において、「約Ｘ」（Ｘは数値）は、好ましくは、言及した値の±１０％（上下限値を含む）を指す。例えば、「約８」という表現は、好ましくは、７．２以上８．８以下の値を指す。本明細書に範囲が存在する場合、その全ての範囲は上下限値を含みかつ連結可能である。例えば、「１～５」の範囲が記載されている場合、この範囲は、「１～４」、「１～３」、「１～２」、「１～２および４～５」、「１～３および５」、「２～５」などの範囲を含むと解釈すべきである。さらに、選択肢が明確に列挙されている場合、例えば特許請求の範囲の否定的限定によって、そのように列挙された選択肢のいずれかを除外する場合があることを、そのような列挙が含意していると解釈することができる。例えば、「１～５」の範囲が記載されている場合、この範囲は、１、２、３、４、５のいずれかが否定的に除外される状況を包摂すると解釈される場合がある。したがって、「１～５」の記載は、「１および３～５、ただし２は含まない」（つまり簡単に言うと「において、２を含まない」）と解釈される場合がある。本明細書において明確に記載する構成要素、要素、属性、ステップはいずれも、そのような構成要素、要素、属性、ステップが選択肢として列挙されているか、または単独で記載されているか否かにかかわらず、特許請求の範囲から明示的に除外できることが意図されている。

本開示は、基板からエッジ部をトリミングするための方法および装置を提供するものである。そのような基板としては、ディスプレイや光電池デバイスなどのデバイス製造に使用されるように構成されたガラスパネルなどの透明基板とすることができる。基板は、中間サイズから、ディスプレイや光電池デバイスの組み立てなどのさらなる製造工程のための所定サイズであり得る最終サイズまでトリミングされる場合がある。本開示の方法および装置により、基板のトリミングをインラインで行うことが可能となる。本開示の目的上、インライン（inline）とは、トリミング工程とこれに付随する各搬送工程とを１つの連続した工程で行うことができ、バッファに基板をためたり、ある製造ラインから基板を取り出して別体のトリミング工程に供給したりする必要がない状態を意味する。このように、本開示の方法および装置により、既存のトリミング工程よりも少ない処理量で、より迅速に基板を処理することができる。また、本明細書でさらに説明するように、本開示の方法および装置は、既存のトリミングおよび搬送工程に比べて他にも利点も有している。

いくつかの実施形態では、基板は光学的に透明であり、ガラス製とすることができる。基板の例としてはガラスパネルが挙げられるが、これに限定されるものではない。本明細書において「ガラス基板（glass substrate）」または「ガラス（glass）」という用語は、別段の明示的な記載がない限り、全体または一部がガラスで作られた任意の物体を包摂するものと理解される。ガラス製品には、ガラスとガラス、ガラスと非ガラス材料、ガラスと結晶材料、ガラスと（非晶質相と結晶相を含む）ガラスセラミックのモノリシック基板または積層体も含まれる。

例示的なガラスとしては、アルミノケイ酸塩、アルカリアルミノケイ酸塩、ホウケイ酸塩、アルカリホウケイ酸塩、アルミノホウケイ酸塩、アルカリアルミノホウケイ酸塩などの適切なガラスを挙げることができるが、これらに限定されるものではない。限定を意図するものではないが、ガラスの例として、例えば、コーニング社（Corning Incorporated）製のＩＲＩＳ（商標）ガラス、ＧＯＲＩＬＬＡ（登録商標）ガラスも挙げられる。任意選択的に、ガラス基板に強化処理を施すこともできる。いくつかの実施形態では、ガラス基板物品内の熱膨張係数の不一致を利用して、圧縮応力領域と引張応力を示す中央領域とを作り出すことによって、ガラス基板を機械的に強化することができる。いくつかの実施形態では、ガラス転移点を上回る温度までガラスを加熱し、その後急冷することによって、ガラス基板を熱的に強化することもできる。いくつかの他の実施形態では、イオン交換によってガラス基板を化学的に強化することもできる。

図１を参照すると、エッジトリミング工程１００の平面図が示されている。エッジトリミング工程１００は、第１の処理ゾーン１０２と、第１の移載ゾーン１０４と、中央寄せゾーン１０６と、割線引きゾーン１０８と、切断ゾーン１１０と、第２の移載ゾーン１１２と、第２の処理ゾーン１１４とを含むことができる。これらのゾーンは、基板をあるゾーンから隣接するゾーンに移動させることができる１つ以上のコンベアを使用して連結することができる。例えば、第１のコンベアは、第１の処理ゾーン１０２から移載ゾーン１０４に基板を移動させることができる。基板を第１の処理ゾーン１０２から移載ゾーン１０４に移送する際、基板は、図示の第１の搬送方向Ａに移動することができる。基板を移載ゾーンから中央寄せゾーン１０６に移送する際、基板を中央寄せゾーン１０６から割線引きゾーン１０８に移送する際、基板を割線引きゾーンから切断ゾーン１１０に移送する際、基板を切断ゾーン１１０から第２の移載ゾーン１１２に移送する際、基板は第２の搬送方向Ｂに移動することができる。基板を第２の移載ゾーン１１２から第２の処理ゾーン１１４に移送する際、基板は第３の搬送方向Ｃに移動することができる。

図示のように、本例のエッジトリミング工程１００は、基板が搬送方向を転換するゾーンである移載ゾーンを２つ含むことができる。この例では、搬送方向Ａは搬送方向Ｂに対して垂直である。この例では、搬送方向Ｂは搬送方向Ｃに対して垂直である。他の例では、互いに他の相対角度をなすように搬送方向を位置づけることができる。他の例では、互いに鋭角をなすように搬送方向を位置づけることができる。さらに他の例では、互いに鈍角をなすように搬送方向を位置づけることができる。さらに他の例では、エッジトリミング工程１００が移載ゾーンを１つ含み、そこで基板の搬送方向転換を１回行うこともできる。

図１に示すエッジトリミング工程１００および各ゾーンは、工場のフロアスペースの制約もしくは限界に応じて、または所定の開始位置から所定の停止位置まで基板を移動させるという要件に従って、図示のように配置することができる。理解されるように、エッジトリミング工程１００のレイアウトは、他の工程または他の製造環境の制約の範囲内に収めるために必要または所望とされ得る他のレイアウトを有することもできる。

第１の処理ゾーン１０２と、第１の移載ゾーン１０４と、中央寄せゾーン１０６と、割線引きゾーン１０８と、切断ゾーン１１０と、第２の移載ゾーン１１２と、第２の処理ゾーン１１４とは、図示の順に連続して配置することができる。このような相対配置により、複数の基板がエッジトリミング工程１００を連続的に（すなわち、停止することなく）移動することができる。直結していない（すなわち別体の）トリミング工程に基板を移動させることなく、インラインで基板を最終サイズまでトリミングすることができる。そのため、既存または従来の製造工程に比べ、より早く、効率的に基板を最終サイズまでトリミングすることができる。

既存または従来の製造工程では、ガラス基板などの基板は、ガラス製作工程で製造することができる。ガラス製作工程では、フュージョンドロー法、フロートガラス法などの公知のガラス製作方法を用いて、適切なバッチ材料からガラスリボンおよび／またはガラス板を製作することができる。ガラスリボンやガラス板は、ガラスパネルやガラス基板に分割して、さらなる処理を施すことができる。そして、既存および／または従来のガラス製造工程では、ガラスパネルやガラス基板を中間サイズで出荷する場合があった。中間サイズのガラス基板は、最終サイズのガラス基板までトリミングされていない状態のガラス基板である。顧客がガラス基板を組み込んだ最終製品（例えば、ディスプレイ、ノートパソコン、タブレット端末など）を生産する際には、最終サイズのガラス基板が利用される。例えば、ガラス製造工程上の制約のためや、ガラス製造業者が１種類のガラス板から多種多様な最終サイズのガラス基板を生産する必要が生じてしまうことから、最終サイズまでのガラス基板のトリミングを、効率的かつ費用対効果の高いやり方でガラス製造業者側が行うことが叶わない可能性があった。こうした限界のため、ガラス製造業者が中間サイズのガラス基板を顧客に納品するケースも少なくなかった。その場合、顧客側が、中間サイズから所望の最終サイズにガラス基板をトリミングすることになる。

このような既存の従来型ガラス製造工程には、いくつかの欠点がある。１つの欠点は、ガラス製造業者から顧客にガラス基板が納品された後、顧客側が中間サイズのガラス基板をトリミングする必要があることである。ガラス基板を中間サイズから最終サイズにトリミングすることによって、最終製品のコストが上がってしまう恐れがある。また、行う処理の量が増えることで、品質上の問題や、破損の増加、顧客への損失が生じる可能性もある。さらに、顧客側でガラス基板をトリミングする場合、トリミングによりガラス基板から切り落とされるガラスを、ガラス製造業者がリサイクルなどの形で再利用することができない。トリミングによって生じるくずガラスは、ガラス製造業者側がガラス製造工程内で迅速かつ効果的に再利用することは叶わず、多くの場合、従来のリサイクル方法で処分されていた。

エッジトリミング工程１００などの本開示の方法および装置は、上述の欠点に対処することができるものである。例えば、エッジトリミング工程１００は、ガラス製造業者側のガラス製作工程の一部として組み込むことができるため、ガラス基板を最終サイズにトリミングしてから顧客に納品することが可能となる。そのため、既存または従来の方法では必要であった顧客の製造施設での処理やトリミングを顧客が行う必要がなくなる。また、例えばエッジトリミング工程１００でガラス基板から切り落とされるガラスを、ガラス製造業者が回収して、ガラス成形工程に再投入することも可能である。これらの改良点により、既存および／または従来の工程に比べて、効率、コスト、スピードの面でガラス基板製造を改良することができる。

図１を再び参照すると、第１の処理ゾーン１０２は、エッジトリミング工程１００上のある場所とすることができ、この第１の処理ゾーン１０２で、基板を後続の処理ゾーンに移動する前に必要または所望とされ得る任意の処理ステップを実行することができる。第１の処理ゾーン１０２は、例えば、品質管理工程、計量工程、または検査ステップとすることができる。例えば、ガラス成形工程から出た基板を、エッジトリミング工程１００に導入して、第１の処理ゾーン１０２を通過させることができる。

基板は、第１の処理ゾーン１０２から第１の移載ゾーン１０４内に移動することができる。第１の移載ゾーン１０４で、基板は、第１の搬送方向Ａから第２の搬送方向Ｂに方向転換することができる。詳しくは後述するが、基板は、所望の搬送速度を維持して第１の移載ゾーン１０４を通過しながら、第１の移載ゾーン１０４で方向転換することができる。

基板は、第１の移載ゾーン１０４から中央寄せゾーン１０６まで、そのまま第２の搬送方向Ｂに進むことができる。中央寄せゾーン１０６は、基板を中央位置に移動させる処理ステップを含むことができる。このステップは、エッジトリミング工程１００の完了後に基板を確実に所望の最終サイズとするために行われるものである。基板は、中央寄せゾーン１０６から割線引きゾーン１０８まで、そのまま第２の搬送方向Ｂに進むことができる。割線引きゾーン１０８では、割線引き装置で基板に割線を引くことができる。基板に対して、所望の基板最終サイズに対応する１本以上の割線を引くことができる。

基板は、割線引きゾーン１０８から切断ゾーン１１０まで、そのまま第２の搬送方向Ｂに進むことができる。切断ゾーン１１０では、切断装置で基板から基板のエッジ部を切り離すことができる。基板のエッジ部は、割線引きゾーン１０８で基板に引いた１本以上の割線に沿って基板から切り離すことができる。基板から切り離したエッジ部は、ガラス成形工程（図示せず）に再投入および／またはリサイクルするために捕捉および／または回収することができる。

基板は、切断ゾーン１１０から第２の移載ゾーン１１２内まで、そのまま第２の搬送方向に進むことができる。移載ゾーン１１２で、基板は、第２の搬送方向Ｂから第３の搬送方向Ｃに方向転換することができる。基板は、移載ゾーン１１２から第２の処理ゾーン１１４まで、そのまま第３の搬送方向Ｃに進むことができる。第２の処理ゾーン１１４は、品質管理ステップ、測定ステップ、包装ステップ、検査ステップ、または洗浄ステップなどの任意の適切な処理ステップとすることができる。

図１にさらに示すように、エッジトリミング工程１００は、エッジトリミングコントローラ１２０をさらに含むことができる。エッジトリミングコントローラ１２０は、第１の処理ゾーン１０２、第１の移載ゾーン１０４、中央寄せゾーン１０６、割線引きゾーン１０８、切断ゾーン１１０、第２の移載ゾーン１１２、および第２の処理ゾーン１１４のすべての装置および／またはコンベアに連結することができる。このように、エッジトリミングコントローラ１２０は、エッジトリミング工程１００内を通過する基板の処理速度を局所的にまたは遠隔で監視、制御および／または調整するように動作することができる。つまり、第１の処理ゾーン１０２と、第１の移載ゾーン１０４と、中央寄せゾーン１０６と、割線引きゾーン１０８と、切断ゾーン１１０と、第２の移載ゾーン１１２と、第２の処理ゾーン１１４とを同期して、エッジトリミング工程１００内を複数の基板が途切れなく連続的に移動するようにすることができる。

エッジトリミングコントローラ１２０は、コンピュータ、サーバ、ロジックコントローラ、ＰＬＣなどの任意の適切なコントローラとすることができる。エッジトリミングコントローラ１２０は、適切な有線接続または無線接続を用いて、第１の処理ゾーン１０２、第１の移載ゾーン１０４、中央寄せゾーン１０６、割線引きゾーン１０８、切断ゾーン１１０、第２の移載ゾーン１１２、および第２の処理ゾーン１１４に連結することができる。また、エッジトリミングコントローラ１２０を使用して、エッジトリミング工程１００の他の動作パラメータを制御および／または調整することもできる。

エッジトリミング工程１００は、ガラス製造施設のガラス成形工程および／またはガラス製作工程上で（または関連して）実施することができる、インラインのエッジトリミング工程である。エッジトリミング工程１００内を通過する基板は、上述の各ゾーンを連続的に通過することができ、これにより、費用対効果、効率性、信頼性の高い形で基板を最終サイズにトリミングしてから、基板を顧客に納品することが可能となる。

次に、図２を参照すると、図２には搬送システム２００が示されている。搬送システム２００は、上述のエッジトリミング工程１００に関連して使用することができる。搬送システム２００は、エッジトリミング工程１００を通過するように基板２３０を移動させるために使用できる種々の複数のコンベア一式の一例を示している。図示の例では、搬送システム２００は、基板２３０を、第１の搬送方向Ａ、第２の搬送方向Ｂ、第３の搬送方向Ｃの順に移動させることができる。

図２Ａに、基板２３０の一例を示す。基板２３０は、任意の適切な形状とすることができ、上述したようなガラス基板とすることができる。図示の例では、基板２３０は矩形の形状であり、厚さＴと、幅Ｗと、長さＬを有することができる。好適な例では、基板２３０は、約０．９ｍｍ～約２．３ｍｍの範囲内にある厚さＴを有するガラス基板である。他の例では、厚さＴを、例えば、約０．５ｍｍ～約６．０ｍｍの範囲内などの他の大きさとすることもできる。さらに他の例では、他の厚さＴも可能である。

好適な例では、基板２３０は、約２００ｍｍ～約３５０ｍｍの範囲内にある幅Ｗを有することができる。他の例では、幅Ｗを、約２２０ｍｍ～約２８０ｍｍの範囲内とすることもできる。さらに他の例では、他の幅Ｗも可能である。

好適な例では、基板２３０は、約５００ｍｍ～約７００ｍｍの範囲内にある長さＬを有することができる。他の例では、長さＬを、約５６０ｍｍ～約７５０ｍｍの範囲内とすることもできる。さらに他の例では、他の長さＬも可能である。

基板２３０は、幅Ｗに対する長さＬの比で特徴付けることもできる。いくつかの例では、幅Ｗに対する長さＬの比は約２である。他の例では、幅Ｗに対する長さＬの比は、約２以上である。さらに他の例では、幅Ｗに対する長さＬの比は、約３以上である。他の例では、基板２３０の長さＬと幅Ｗは、他の寸法比を有することもできる。

エッジトリミング工程１００は、基板２３０から１つ以上のエッジ部２３６、２３８をトリミングするように動作することができる。図２Ａに示す例では、基板２３０は、第１のエッジ２４６から距離Ｅ１だけ離れた位置に第１の割線２３２を有している。反対の側では、基板２３０は、第２のエッジ２４８から距離Ｅ２だけ離れた位置に第２の割線２３４を有している。エッジトリミング工程１００は、第１のエッジ部２３６を第１の割線２３２に沿って、第２のエッジ部２３８を第２の割線２３４に沿って、それぞれ基板２３０から切り離すように動作可能とすることができる。第１のエッジ部２３６および第２のエッジ部２３８が基板２３０から切り離されると、基板２３０の本体部２４０が残ることになる。割線２３２、２３４は、本体部２４０が所望の最終サイズを有するように、第１のエッジ２４６および第２のエッジ２４８に対して所望の位置に配置することができる。

第１の割線２３２は、第１のエッジ２４６から任意の適切な距離Ｅ１だけ離れた位置に配置することができ、第２の割線２３４は、第２のエッジ２４８から任意の適切な距離Ｅ２だけ離れた位置に配置することができる。一例では、距離Ｅ１およびＥ２は、約１０ｍｍ～約３０ｍｍの範囲内とすることができる。他の例では、距離Ｅ１およびＥ２は、少なくとも１０ｍｍとすることができる。さらに他の例では、距離Ｅ１およびＥ２は、約３０ｍｍ以下とすることができる。他の例では、エッジ部２３６および２３８は、他の適切な大きさを有することができる。

基板２３０は、搬送方向Ａ、ＢまたはＣに移動させてエッジトリミング工程１００を通過させることができる。図示のように、基板２３０が搬送方向Ｂに移動するとき、基板２３０が前エッジ２４２と後エッジ２４４を持つと考えられる。上述の通り、エッジトリミング工程１００は、効率的かつ費用対効果の高い速度で基板２３０を移動させるように動作することができる。エッジトリミング工程１００内の基板２３０の移動速度の指標の１つが、サイクルタイムである。エッジトリミング工程１００のサイクルタイムとは、各基板２３０がエッジトリミング工程１００の任意の１つのゾーンを通過するのに要する時間を意味する。いくつかの例では、エッジトリミング工程１００は、約１．８秒～約８．２秒のサイクルタイムを有することができる。他の例では、エッジトリミング工程１００のサイクルタイムは約２秒未満である。他の例では、エッジトリミング工程１００のサイクルタイムは約３秒未満である。さらに他の例では、エッジトリミング工程１００のサイクルタイムは約４秒未満である。これらのサイクルタイムは、既存および／または従来の方法と比べて大幅に改善されている。

図２を再び参照すると、搬送システム２００は、第１の移載コンベア２０２を備えることができる。第１の移載コンベア２０２は、基板２３０を第１の処理ゾーン２０４（例えば、計量ステーション）から第１の移載ゾーン２０８に向かって移動させることができる。図から分かるように、第１のコンベア２０２上にあるとき、基板２３０は第１の搬送方向Ａに移動することができる。第１の搬送方向Ａでは、基板２３０が第１のコンベア２０２上で横断方向の配置となるように基板２３０が移動している状態とすることができる。横断方向の向きにあるとき、基板２３０は、基板長辺（すなわち、長さＬの辺）が第１の搬送方向Ａに対して垂直な方向を向いた状態で移動する。

移載ゾーン２０８で、基板２３０は、第１の搬送方向Ａから第２の搬送方向Ｂに方向転換することができる。基板２３０が移載ゾーン２０８から第２の搬送方向Ｂに出る（離れる）ときに、第２のコンベア２０６が基板２３０を支持（保持）することができる。第２の搬送方向Ｂでは、基板２３０は第２のコンベア２０６上で長手方向の向きとすることができる。長手方向の向きにあるとき、基板２３０は、基板長辺（すなわち、長さＬの辺）が第２の搬送方向Ｂに平行な方向を向いた状態で移動する。

基板２３０は、そのまま第２の搬送方向Ｂに移動し続けて、中央寄せゾーン２１２で第２のコンベア２０６から中央寄せコンベア２１０に乗継ぐことができる。基板２３０は、そのまま第２の搬送方向Ｂに移動し続けて、割線引きゾーン２１４で中央寄せコンベア２１０から割線引きコンベア２１６に乗継ぐことができる。基板２３０は、そのまま割線引きゾーン２１４から切断ゾーン２２０に移動し続けて、割線引きコンベア２１６から切断コンベア２１８に乗継ぐことができる。切断コンベア２１８は、基板２３０を切断ゾーン２２０から第２の移載ゾーン２２４内に移動させることができる。基板２３０は、第２の移載ゾーン２２４において、切断コンベアから第３のコンベア２２２に移載され、Ｂ方向から第３の搬送方向Ｃに搬送方向を転換することができる。第３の搬送方向Ｃでは、基板２３０は、第１の搬送方向Ａに関して上述した横断方向の向きとすることができる。第３のコンベア２２２は、基板２３０を移載ゾーン２２４から第４のコンベア２２８に移動することができる。第４のコンベア２２８は、基板を第２の処理ゾーン２２６に移動させることができる。

ここで図３を参照すると、図３には第１のコンベア２０２の一例が示されている。第１のコンベア２０２は、基板２３０を第１の処理ゾーン２０４から第１の移載ゾーン２０８に移動させるように搬送システム２００に配置することができる。第１のコンベア２０２は、基板２３０を第１の搬送方向Ａに移動させることができる。

図示の例では、第１のコンベア２０２は、２条ベルト（dual belt）コンベアである。第１のコンベアは、第１のベルト３０６と第２のベルト３０８とを備えることができる。第１のベルト３０６および第２のベルト３０８を支持構造体３０４に接続することより、所望の高さで第１のベルト３０６および第２のベルト３０８を支持することができる。図示の例では、支持構造体３０４は、第１のベルト３０６および第２のベルト３０８を確実に支持することができる４つの脚部と複数の横梁とを備えている。他の例では、支持構造体３０４が他の構成を有することもできる。

第１のコンベア２０２は、モータ３１０を備えることができる。モータ３１０は、第１のベルト３０６および第２のベルト３０８に連結されて、第１のベルト３０６および第２のベルト３０８を所望の速度で移動させて、これにより、基板２３０を所望のとおりに移動させることができる。モータ３１０は、任意の適切なモータとすることができ、一例では、エッジトリミングコントローラ１２０によって電気的に制御可能な電気モータである。また、第１のコンベア２０２は、エンコーダ３１２をさらに備えることができる。エンコーダ３１２は、第１のベルト３０６および／または第２のベルト３０８の速度を測定および／または監視するために用いることができる任意の適切なエンコーダまたは他のセンサとすることができる。エンコーダ３１２は、エッジトリミングコントローラ１２０に連結することができ、これにより、例えば、第１のコンベア２０２の動作パラメータを監視することができる。

第１のコンベア２０２は、下流端３１６と上流端３１８とを有することができる。下流端３１６は、第１の移載ゾーン２０８に配置することができる。上流端３１８は、下流端３１６とは反対側の端に位置し、第１の処理ゾーン２０４またはその近傍に設置することができる。また、第１のコンベア２０２は、センサ３１４をさらに備えることができる。センサ３１４は、基板２３０が第１のコンベア２０２の下流端３１６近傍の第１の移載ゾーン２０８に移動した時を検出するために用いることができる近接センサなどの任意の適切なセンサとすることができる。

ここで、図４Ａを参照すると、図４Ａには第１のリフトユニット４００が示されている。第１のリフトユニット４００は、第１の移載ゾーン２０８内に配置することができ、第１のコンベア２０２の第１のベルト３０６と第２のベルト３０８との間に設置することができる。第１のリフトユニット４００は、基板２３０が第１のコンベア２０２に支持される第１の位置から、基板２３０が第２のコンベア２０６に支持（または保持）される第２の位置まで基板２３０を移動させるデバイスである。

第１のリフトユニット４００は、取付構造４０２と、リフタ４０６と、リフトアクチュエータ４０４とを備えることができる。取付構造４０２は、第１のリフトユニット４００を第１のコンベア２０２に取り付けるために用いることができるＬ型ブラケットなどの支持要素とすることができる。取付構造４０２は、例えば、第１のコンベア２０２の支持構造体３０４の横梁に接続することができる。他の例では、取付構造４０２は、第１の移載ゾーン２０８において第１のリフトユニット４００を支持する他の構成を有することもできる。

リフタ４０６は、アクチュエータ４０４に接続することができる。アクチュエータ４０４は、リフタ４０６を鉛直方向に移動させるように動作可能な適切な空気圧シリンダまたは電動シリンダなどのリニアアクチュエータとすることができる。リフタ４０６は、１つ以上のスペーサ４０８とバンパ４１０とを支持する平板とすることができる。図示の例では、リフタ４０６のそれぞれの角には、４つのスペーサ４０８が配置されている。バンパ４１０は、各スペーサ４０８の遠位端に接続することができる。スペーサ４０８は、デフレクタ４１４の最上部より高い鉛直高さにバンパ４１０を配置することができる細長い円筒形部材とすることができる。これにより、デフレクタ４１４が基板２３０に接触する前に、バンパ４１０が基板２３０に接触することができる。バンパ４１０は、基板２３０の損傷を防止する任意の適切な材料で作ることができる。いくつかの例では、バンパ４１０は、適切なプラスチック、ポリマー、天然ゴムまたは合成ゴムで作ることができる。他の例では、他の適切な材料を使用することもできる。

さらに図示するように、第１のリフトユニット４００は、デフレクタ４１４を備えることができる。デフレクタ４１４は、基板２３０が第１の移載ゾーン２０８にあるときに破損や粉砕などによって複数の破片に割れた場合に、そのような基板２３０の破片の軌道を変えるように動作することができる。アクチュエータ４０４によるリフタ４０６の動作やバンパ４１０は、そのような破壊の発生防止を意図したものとすることができるが、欠陥や意図しない動作によって、基板２３０が第１の移載ゾーン２０８にあるときという早過ぎる段階で基板２３０が破損してしまう場合がある。デフレクタ４１４には角度を付けることができ、それにより、そのような基板２３０が第１のリフトユニット４００に捕捉されないようにそのような基板２３０の軌道を変えることができる。デフレクタ４１４は、基板２３０の破片を床などの受け部に向かって誘導して、基板２３０の破片をリサイクルするなどの再利用を行うことができるようにする。

第１のリフトユニット４００は、センサ４１８を備えることもできる。センサ４１８は、基板２３０の位置および／またはリフタ４０６の位置を感知することができる近接センサなどの任意の適切なセンサとすることができる。センサ４１８は、例えば、基板２３０が第１の移載ゾーン２０８にあり、第１のコンベア２０２と接触する第１の位置から第２のコンベア２０６と接触する第２の位置へ移動できる状態となった時を特定するために使用することができる。

図４Ｂに示すように、第１のリフトユニット４００は、第１の移載ゾーン２０８内に移動してきた基板２３０Ｂの下方に位置するように配置することができる。第１の移載ゾーン２０８において、基板２３０Ｂは、第１のコンベア２０２の第１のベルト３０６および第２のベルト３０８に支持され得る。この第１の位置では、基板２３０Ｂは、第２のコンベア２０６のベルト５０２の下に位置してもいる。第１のコンベア２０２の上面は、第２のコンベア２０６のベルト５０２の下面から、鉛直方向に高さＨだけ離間することができる。基板２３０Ｂが第１の移載ゾーン２０８の第１の位置にあるとき、第１のリフトユニット４００は、基板２３０Ｂを第２のコンベア２０６のベルト５０２と接触する第２の位置まで上に移動させることができる。

基板２３０Ｂが第２のコンベアのベルト５０２に接触すると、基板２３０Ｂを第２のコンベアのベルト５０２に保持させることができる。第２のコンベア２０６のベルト５０２は、例えば、一連の穴を有するバキュームベルトとすることができる。これらのベルト５０２の穴から負圧をかけ、基板２３０Ｂを第２のコンベア２０６のベルト５０２の裏側に保持することができる。図４Ｂに示すように、第２のコンベア２０６のベルト５０２は、第２の搬送方向Ｂに動いている状態とすることができる。これにより、基板２３０は、移載ゾーン２０８で、第１の搬送方向Ａから第２の搬送方向Ｂに方向転換することができる。基板２３０は、第１のコンベア２０２上を第１の搬送方向Ａ（図４Ｂの紙面から出る方向）に移動して第１の移載ゾーン２０８に入り、第２のコンベア２０６上を第２の搬送方向Ｂ（図４Ｂの紙面右側に向かう方向）に移動して移載ゾーン２０８から出ることができる。

この基板２３０の搬送方向転換法が、既存および／または従来の移載工程からの１つの改良点である。上記の第１のコンベア２０２と第２のコンベア２０６との配置により、従来の方法よりも高速に複数の基板を移載ゾーン２０８に回すことができる。従来の方法では、連続する２枚の基板を移載ゾーン２０８で一度に１枚ずつしか処理することができなかった。一方、ここに説明、図示している構成では、連続する２枚の基板を、移載ゾーン２０８において異なる鉛直位置に配置することができるため、連続する２枚の基板が互いに干渉することなく重なり合うことができる。図には、第１の基板２３０Ａをベルト５０２で保持して、第２のコンベア２０６で移載ゾーン２０８から出すように移動している様子が示されている。このとき、第２の基板２３０Ｂも第１の移載ゾーン２０８内にある。そして、第１の基板２３０Ａの一部と第２の基板２３０Ｂの一部が互いに重なり合っている。しかし、第１の基板２３０Ａが第２の基板２３０Ｂから鉛直方向に離間しているため、第１の基板２３０Ａと第２の基板２３０Ｂとが互いに干渉することはない。

この配置の実現には、第１の移載ゾーン２０８における第１のコンベア２０２と第２のコンベア２０６の配置も貢献している。図２を再び参照すると、第１の移載ゾーン２０８において、第２のコンベア２０６の上流端が第１のコンベア２０２の下流端と重なり合うことができる。この例では、第２のコンベア２０６の上流端は、鉛直方向に離間して第１のコンベア２０２の下流端の上方に配置されている。したがって、基板２３０は、第１の移載ゾーン２０８内に移動すると、第１のリフトユニット４００によって第１のコンベア２０２から第２のコンベア２０６に持ち上げられるため、先に持ち上げられた基板２３０がまだ第１の移載ゾーン２０８に残っている状態でも、次の基板２３０が移載ゾーン２０８内に入り始めることができる。このようにして、第１の移載ゾーン２０８内で基板の移載を行うサイクルタイムを、既存および／または従来の移載方法よりも高速化することができる。

ここで図５を参照すると、図５には第２のコンベア２０６の一例が示されている。第２のコンベア２０６は、モータ５２０によって所望の搬送速度で駆動可能なベルト５０２を備えることができる。第２のコンベア２０６は、第１のブラケット５３８および第２のブラケット５４０で、搬送システム２００の所望の位置に固定することができる。第２のコンベア２０６はバキュームベルトコンベアとすることができ、ベルト５０２は一連の開口部５２６を有することができる。第２のコンベア２０６は、一連のエアアタッチメント５３０Ａ～５３０Ｆをさらに備えることができる。エアアタッチメントによって、第２のコンベア２０６に空気導管を取り付けることができ、これにより、ベルト５０２の複数の開口部５２６を介して、基板に負圧または正圧をかけることができる。このようにして、基板２３０をベルト５０２に吸着して、保持することができる。また、基板２３０をエアーでベルト５０２から取り外すこともできる。ベルト５０２は、図示のように、第２の搬送方向Ｂに移動することができる。

ベルト５０２は、モータ５２０によって任意の適切な速度で移動させられ、これにより、基板２３０を所望の速度で移動させることができる。第２のコンベア２０６は、ベルト５０２の上面５２２またはその近傍に配置されるエンコーダ５３２をさらに含むことができる。エンコーダ５３２は、ベルト５０２の速度を測定および／または監視することができる。モータ５２０、エンコーダ５３２などの第２のコンベア２０６の要素は、エッジトリミングコントローラ１２０に連結することができ、これにより、第２のコンベア２０６の動作を同期および／または制御することができる。

第１の移載ゾーン２０８を通過する基板の移動に関して上述したように、基板２３０は、ベルト５０２の下面５２４に保持することができる。基板２３０は、第２のコンベア２０６の上流端５４２またはその近傍でベルト５０２の下面５２４に接触するように持ち上げられることができる。そして、第２のコンベア２０６の下流端５４４に向かって第２の搬送方向Ｂに基板２３０を移動させることができる。第２のコンベアの下流端５４４またはその近傍で、基板をベルト５０２の下面５２４から取り外し、中央寄せコンベア２１０（図６）上に落下させることができる。

中央寄せコンベア２１０の一例を図６に示す。図示の通り、中央寄せコンベア２１０は、２条ベルトコンベアとすることができる。中央寄せコンベア２１０は、第１のベルト６０４と第２のベルト６０６とを備えることができる。中央寄せコンベア２１０は、モータ６０２とエンコーダ６０８とをさらに備えることができる。中央寄せコンベア２１０は、上述の第１のコンベア２０２と多くの点で同様とすることができる。モータ６０２およびエンコーダ６０８は、エッジトリミングコントローラ１２０（図１）に連結することができ、これにより、第１のベルト６０４および第２のベルト６０６の搬送速度を、監視、制御、および／または、搬送システム２００の他のコンベアと同期させることができる。中央寄せコンベア２１０は、支持構造体６１０上に支持することができる。

中央寄せコンベア２１０は、基板を移動して中央寄せ装置７００（図７）を通過させることができる。中央寄せ装置７００は、中央寄せコンベア２１０上で基板を中央寄せすることができる。理解されるように、第１のリフトユニット４００によって持ち上げられ、第２のコンベア２０６によって搬送され、中央寄せコンベア２１０上に放出された後の基板２３０は、所望の位置や向きには配置されていない場合がある。中央寄せ装置７００は、中央寄せコンベア２１０上で基板２３０が所望の位置および向きとなるように動かすことができる。

図示の例では、中央寄せ装置７００は、本体部７０２と、第１の側部７０４と、第２の側部７０８とを有することができる。中央寄せコンベア２１０の第１のベルト６０４および第２のベルト６０６の下に本体部７０２を配置して、第１の側部７０４と第２の側部７０８の間を基板２３０が通過するようにすることができる。第１の側部７０４は、第１の中央寄せロッド７３０と、第１の中央寄せバー７３２と、一対の中央寄せホイール７３４とを備えることができる。第１の側の調整装置７０６を使用して、第１の中央寄せバー７３２を第２の搬送方向Ｂに実質的に垂直な方向に動かすことができる。同様に、第２の側部７０８は、第２の中央寄せロッド７２０と、第２の中央寄せバー７２２と、一対の中央寄せホイール７２４とを備えることができる。第２の側の調整装置７１０を使用して、第２の中央寄せバー７２２を第２の搬送方向Ｂに実質的に垂直な方向に動かすことができる。したがって、第１の中央寄せバー７３２および第２の中央寄せバー７２２は、その間に配置される中央寄せコンベア２１０（図７に図示せず）に向かって内側に動くことができる。

第１の中央寄せバー７３２と第２の中央寄せバー７２２との間を通過する基板２３０が中央寄せコンベア２１０上で中央寄せされるように、第１の中央寄せバー７３２および第２の中央寄せバー７２２を中央寄せコンベア２１０に対して位置合わせすることができる。つまり、基板２３０が中央寄せコンベア２１０上で斜めに（skewed）配置されるなど、中央寄せコンベア２１０の中央からずれて配置されている場合、基板２３０のエッジが第１の一対のホイール７３４および／または第２の一対のホイール７２４に接触し、第１の一対のホイール７３４および／または第２の一対のホイール７２４によって、基板２３０を中央位置に押し込むことができる。他の例では、中央寄せ装置７００は、より多くのホイール７２４、７３４または複数組の中央寄せバー７２２、７３２を備えるなど、図示の構成とは異なる他の構成または図示の構成を変形した構成を有することもできる。

中央寄せコンベア２１０上で中央寄せされた後、基板２３０は、中央寄せコンベア２１０から割線引きコンベア２１６に移動することができる。図８には、割線引きコンベア２１６の一例が示されている。この例では、割線引きコンベア２１６は、一連の開口部８０８を有するベルト８０２を備えるバキュームコンベアである。また、割線引きコンベア２１６は、１つ以上のエアアタッチメント８１６Ａ～８１６Ｄを備えることができ、これにより、基板２３０がベルト８０２の上面８１２に配置されたときに開口部８０８を介して基板２３０に負圧をかけることができる。このようにして、割線引きゾーン２１４の通過中、割線引きコンベア２１６のベルト８０２に基板２３０を保持することができる。割線引きコンベア２１６は、サーボモータなどのモータ８０６を備えることができる。モータ８０６は、エッジトリミングコントローラ１２０に連結することができ、これにより、割線引きコンベア２１６の搬送速度を、監視、制御、および、搬送システム２００の他のコンベアと同期させることができる。

割線引きコンベア２１６は、割線引き装置９００を備え得る割線引きゾーン２１４を通過するように基板２３０を移動させることができる。割線引き装置９００は、基板２３０が割線引きコンベア２１６上を割線引き装置９００に対して相対移動する間に、基板２３０に割線を引くために使用することができる。割線引き装置９００は、第１の側部９０２と第２の側部９０４とを備えることができる。第１の側部９０２によって第１の割線２３２を、第２の側部９０４によって第２の割線２３４を、基板２３０上に引くことができる（図２Ａ）。割線引き装置９００の第１の側部９０２と第２の側部９０４とは、割線引きコンベア２１６に対して相対的に割線引きフレーム９０８上に固定することができる。割線引きフレーム９０８は剛性構造体とすることができ、割線引きコンベア２１６を所定の位置に支持することができる支持構造体にボルト止めなどの方法で固定することができる。

割線引き装置９００の第１の側部９０２および第２の側部９０４は、実質的に互いに同様であり、各側部は基板２３０の長手側に配置される。割線引き装置９００の第１の側部９０２は、第１の側のアクチュエータ９１０と、第１の側の割線引きツール９１２と、第１の側の支持ローラユニット９１４と、第１の側のバキュームアタッチメント９２０と、第１の側のセンサ９２２と、第１の側の調整装置９２４とを備えることができる。同様に、割線引き装置９００の第２の側部９０４は、第２の側のアクチュエータ９４６と、第２の側の割線引きツール９３２と、第２の側の支持ローラユニット９３４と、第２の側のバキュームアタッチメント９４０と、第２の側のセンサ９４２と、第２の側の調整装置９４４とを備えることができる。

第１の側の調整装置９２４と第２の側の調整装置９４４とは、割線引き装置９００の第１の側部９０２と第２の側部９０４とを、基板２３０の長手側に近づけたり離したりする方向（すなわち、割線引きコンベア２１６の中央部に近づけたり離したりする方向）に動かすことができる。このようにして、割線２３２、２３４の位置を、第１のエッジ２４６および第２のエッジ２４８に対して相対移動させることができる（図２Ａ）。このような調整により、（基板２３０から切り離すことになる）エッジ部２３６、２３８のサイズを、基板２３０の所望の最終サイズに応じて変化させることができる。第１の側の調整装置９２４および第２の側の調整装置９４４は、第１の側の調整装置９２４および／または第２の側の調整装置９４４が回転することにより、第１の側部９０２および／または第２の側部９０４が割線引きコンベア２１６に対して横方向に移動するように、ウォームネジ、ウォーム駆動、ねじロッド、リンクなどの適切な構造に連結することができる。他の例では、他の適切な調整機構を使用することもできる。

第１の側のセンサ９２２および第２の側のセンサ９４２は、近接センサなどの任意の適切なセンサとすることができる。第１の側のセンサ９２２および第２の側のセンサ９４２は、基板２３０が割線引きコンベア２１６上を割線引き装置９００に近づいてくるときに、基板２３０の前エッジ２４２（図２Ａ）を検出するように動作することができる。基板２３０の前エッジ２４２が第１の側の割線引きツール９１２および第２の側の割線引きツール９３２を通過したことを、第１の側のセンサ９２２および第２の側のセンサ９４２が検出および／または特定すると、第１の側のアクチュエータ９１０および第２の側のアクチュエータ９４６は、第１の側の割線引きツール９１２および第２の側の割線引きツール９３２を基板２３０に向かって下降させることができる。そして、第１の側の割線引きツール９１２および第２の側の割線引きツール９３２は、基板２３０に接触して、割線２３２、２３４を基板２３０に引くことができる。図示の例では、第１の側の割線引きツール９１２および第２の側の割線引きツール９３２に対して、基板２３０が相対移動する。第１の側の割線引きツール９１２および第２の側の割線引きツール９３２は静止状態で、基板２３０が移動するのである。このような動きにより、搬送システム２００の他のゾーンと協働して、割線引きゾーン２１４を連続的かつ同期的にインラインで複数の基板２３０を通過させることができる。

なお、前エッジ２４２が第１の側の割線引きツール９１２および第２の側の割線引きツール９３２を通過するまでは、第１の側の割線引きツール９１２および第２の側の割線引きツール９３２を基板２３０の上方に上昇した状態に維持することが好ましい。これにより、第１の側の割線引きツール９１２および第２の側の割線引きツール９３２が基板２３０の前エッジ２４２に接触することが防止される。もし、第１の側の割線引きツール９１２および／または第２の側の割線引きツール９３２が基板２３０の前エッジ２４２に接触すれば、欠けや欠陥、亀裂、破損などの望ましくない瑕疵が基板２３０に誘発される可能性がある。ただし、第１の側の割線引きツール９１２および第２の側の割線引きツール９３２は、できるだけ前エッジ２４２に近い基板２３０の表面の位置で基板に接触することが好ましい。いくつかの例では、第１の側の割線引きツール９１２および第２の側の割線引きツール９３２は、約１ｍｍ以下の長手方向距離だけ前エッジ２４２から離れた位置で基板２３０に接触する。他の例では、第１の側の割線引きツール９１２および第２の側の割線引きツール９３２は、約２ｍｍ以下の長手方向距離だけ前エッジ２４２から離れた位置で基板２３０に接触する。さらに他の例では、第１の側の割線引きツール９１２および第２の側の割線引きツール９３２が基板２３０に接触する位置を、切断装置（例えば、図１３）が割線２３２、２３４に沿って基板２３０からエッジ部を切り離す際に欠けなど欠陥が生じるのを防ぐという目的上適切な他の長手方向距離だけ前エッジ２４２から離れた位置とすることもできる。

図９にさらに示すように、割線引き装置９００の第１の側部９０２は、第１の側の支持ローラユニット９１４を備えることができ、割線引き装置９００の第２の側部９０４は、第２の側の支持ローラユニット９３４を備えることができる。第１の側の支持ローラユニット９１４は、基板２３０の反対側に位置する第２の側の支持ローラユニット９３４に対して対称的な配置とされる点を除けば、第２の側の支持ローラユニット９３４と実質的に同様とすることができる。簡潔にするため、以下では、第１の側の支持ローラユニット９１４を説明するが、第２の側の支持ホイール９３６を有する第２の側の支持ローラユニット９３４も同様の構造および機能を有し得ることを理解されたい。

第１の側の支持ローラユニット９１４は、第１の側の割線引きツール９１２の下方に配置することができる。第１の側の支持ローラユニット９１４は、第１の側の支持ホイール９１６を備えることができる。第１の側の支持ホイール９１６は、第１の側の割線引きツール９１２の下に位置することができる。基板２３０が割線引き装置９００を通過して移動するとき、第１の側の支持ホイール９１６は、基板２３０の下向きの面に接触することができる。第１の側の割線引きツール９１２が下降して基板２３０の上向きの面に接触すると、第１の側の支持ホイール９１６が、基板２３０の下向きの面を第１の側の割線引きツール９１２の下で支持することができる。したがって、基板２３０は、第１の側の割線引きツール９１２と第１の側の支持ホイール９１６との間を通過することができる。このように支持することにより、第１の側の割線引きツール９１２で基板２３０に割線を引く際に、基板２３０が望ましくない曲げ力などの応力を受けないようにしている。

ここで図１０を参照すると、図１０には、割線引き装置９００の第２の側部９０４の一部が示されている。図から分かるように、第２の側部９０４は、アクチュエータ９４６と、割線引きツール９３２と、第２の側のバキュームアタッチメント９４０と、第２の側の差油ユニット９３８とを備えることができる。アクチュエータ９４６は、第１の連結部９６０および第２の連結部９６２によって第２の側部の本体に接続することができる。第１の連結部９６０および第２の連結部９６２によって、アクチュエータ９４６が、割線引きツール９３２を基板２３０に向かって（すなわち、図１０の下方向に）動かすことが可能となる。アクチュエータ９４６は、リニアアクチュエータ、シリンダ、ソレノイドなどの任意の適切なアクチュエータとすることができる。第２の側の割線引きツール９３２は、割線引きホイールなどの任意の適切な割線引きツールとすることができる。

第２の側の差油ユニット９３８は、第２の側の割線引きツール９３２に接続することができる。第２の側の差油ユニット９３８は、第２の側の割線引きツール９３２や基板２３０の材料に適合する十分な量のオイルなどの潤滑剤と連通するか、またはそのような潤滑剤を収容することができる。第２の側の差油ユニット９３８は、割線を引いている間に第２の側の割線引きツール９３２が基板２３０に接触する位置またはその近傍で、第２の側の割線引きツール９３２にオイルなどの潤滑剤を送達することができる。このようにして、第２の側の差油ユニット９３８は、第２の側の割線引きツール９３２が基板２３０に接触して割線を引く際に生じる恐れのある不要な摩擦や熱などの好ましくない特性を最小化および／または防止することができる。

第２の側のバキュームアタッチメント９４０は、第２の側の割線引きツール９３２の上方に配置することができる。他の例では、第２の側のバキュームアタッチメント９４０を、他の位置に配置することもできる。第２の側のバキュームアタッチメント９４０によって、割線引き装置９００の第２の側部９０４にバキューム源を流体接続することが可能となる。例えば、第２の側のバキュームアタッチメント９４０の上側円筒部にバキューム源を接続することができる。第２の側のバキュームアタッチメント９４０の反対側には、延長ホースなどの適切な延長部を接続することができる。この延長ホースなどの適切な延長部は、第２の側の割線引きツール９３２の位置またはその近傍に向かって延在することができる。第２の側の割線引きツール９３２が基板２３０に接触すると、粉塵や切り屑などの残屑が生じる可能性がある。第２の側のバキュームアタッチメント９４０から延在可能な延長ホース（図示せず）によって、粉塵や切り屑などの残屑を基板２３０の表面から回収することができる。他の例では、他の適切なバキューム源や送風機などのデバイスを使用して、基板２３０から残屑の回収、清掃または除去を行うことができる。

ここで図９および図１１を参照すると、割線引き装置９００は、押えロールユニット９５０をさらに備えることができる。押えロールユニット９５０は、割線引き装置９００の中央領域に取り付けることができる。押えロールユニット９５０は、例えば、押えロールアーム９５２によって割線引きフレーム９０８に取り付けることができる。他の例では、他の適切な支持構造体を用いて、押えロールアーム９５２を割線引き装置９００上に配置することができる。押えロールユニット９５０は、基板２３０に対して安定化力を加えて、基板２３０が割線引き装置９００を通過する際に、振動などの望ましくない動きをしてしまうことを防止および／または最小化する働きをする。図示の通り、押えロールユニット９５０は、１本の押えロールバー９５４を備えている。押えロールバー９５４は、基板２３０が割線引き装置９００を通過して移動する際に押えロールバー（またはその要素）が基板２３０に接触して、安定化力を加えることができるように、割線引きコンベア２１６の表面またはその近傍に設置される。他の例では、押えロールユニット９５０は、基板２３０に安定化力を加えるために、２つ以上の押えロールバー９５４などの適切な構造を備えることができる。

図示の例では、押えロールバー９５４は、一連の押えロールホイール９７０を備えることができる。各押えロールホイール９７０は、指状延長部９７２によって押えロールバー９５４に接続することができる。各指状延長部９７２は旋回中心を有することができ、この旋回中心により、指状延長部９７２は、自身に取り付けられている押えロールホイール９７０を回転させて基板２３０に近づけたり遠ざけたりする（すなわち、図１１の上下方向に動かす）ことができる。また、コイルばね、板ばね、圧縮性バンパなどの付勢部材（図示せず）を用いて、各指状延長部９７２を基板２３０の方向に（すなわち、図１１の下方向に）付勢することができる。そして、基板２３０が割線引き装置９００を通過して移動するときに、押えロールホイール９７０が基板２３０に対して所望の安定化力を発揮することができるように、材料、ばね定数などの付勢部材の特性を選択することができる。図示の例では、押えロールユニット９５０は、６つの押えロールホイール９７０を備えている。他の例では、他の数の押えロールホイール９７０を使用したり、押え足、湾曲板ばねなどの他の押え部材を使用したりして、基板２３０に安定化力を加えることもできる。

割線引き装置９００を通過後、基板２３０を割線引きコンベア２１６が第２の搬送方向Ｂに移動させて、割線引きゾーン２１４を出て切断ゾーン２２０に向かわせることができる。切断ゾーン２２０で、割線引きコンベア２１６から切断コンベア２１８に基板２３０を移すことができる。図１２に一例を示すように、切断装置１２００は、切断コンベア２１８に対して所望の位置に取り付けることができる。切断装置１２００は、第１の切断アセンブリ１２２０と第２の切断アセンブリ１２３０とを備えることができる。第１の切断アセンブリ１２２０は、基板２３０の一方の側かつ切断コンベア２１８の一方の側に配置することができる。第２の切断アセンブリ１２３０は、切断コンベア２１８の反対側に配置することができる。

切断コンベア２１８は、任意の適切なコンベアとすることができ、図示の例では、２条ベルトコンベアである。この例では、切断コンベア２１８は、第１のベルト１２０８と第２のベルト１２１０とを備えることができる。第１のベルト１２０８および第２のベルト１２１０は、モータ１２０６に連結することができる。また、切断コンベア２１８は、第１のベルト１２０８および／または第２のベルト１２１０の搬送速度を監視および／または測定することができるエンコーダ（図示せず）をさらに備えることができる。モータ１２０６および／またはエンコーダ（および切断装置および／または切断コンベア２１８の他の要素）はエッジトリミングコントローラ１２０に連結することができ、これにより、切断コンベア２１８および／または切断装置１２００の動作を測定、監視および／または制御して搬送システム２００の他の要素と同期させることができる。

また、図示の例における切断コンベア２１８は、第１のコンベア調整装置１２０２と第２のコンベア調整装置１２０４とをさらに備えることができる。第１のコンベア調整装置１２０２は第１のベルト１２０８を、第２のコンベア調整装置１２０４は第２のベルト１２１０を、それぞれ動かすことができる。第１のコンベア調整装置１２０２および第２のコンベア調整装置１２０４は、任意の適切な連結機構または調節機構を用いて、第１のベルト１２０８および第２のベルト１２１０にそれぞれ連結することができる。いくつかの例では、第１のコンベア調整装置１２０２および第２のコンベア調整装置１２０４は、ウォームギア、ねじロッド、ラックおよびピニオン機構などの適切なデバイスに連結することができ、そのような適切なデバイスによって、第１のコンベア調整装置１２０２および／または第２のコンベア調整装置１２０４の回転に従って第１のベルト１２０８と第２のベルト１２１０を互いに近づけたり離したりするように動かすことができる。他の例では、第１のベルト１２０８と第２のベルト１２１０の間隔は、サーボ、電気モータ、アクチュエータなどを用いて電子的に制御、調整することができる。

基板２３０が切断装置１２００を通過して移動するときに、第１のベルト１２０８および第２のベルト１２１０が基板２３０の割線２３２、２３４（図２Ａ）またはその近傍の位置にくるように、第１のベルト１２０８と第２のベルト１２１０の間隔を調整することが望ましい場合がある。第１のベルト１２０８および第２のベルト１２１０は、基板２３０のエッジ部を切り離すときに、割線２３２、２３４の位置またはその近傍で基板２３０を支持することができる。

ここで図１３を参照すると、図１３には第１の切断アセンブリ１２２０の一例が示されている。理解されるように、第２の切断アセンブリ１２３０は、第１の切断アセンブリ１２２０と実質的に同様とすることができる。第２の切断アセンブリ１２３０は、第１の切断アセンブリ１２２０に対して対称的に配置、構成することができる。簡潔にするため、以下では、第１の切断アセンブリ１２２０を説明するが、第２の切断アセンブリ１２３０が同様の要素および同様の構成を備え得ることを理解されたい。

この例に示すように、第１の切断アセンブリ１２２０は、切断機調整装置１３０４と、第１の保持具アクチュエータ１３０６と、第１の保持バー１３０８と、第２の保持具アクチュエータ１３１０と、第２の保持バー１３１２と、切断機アクチュエータ１３１４と、切断バー１３１６とを備えることができる。切断機調整装置１３０４は、横断方向（すなわち、第２の搬送方向Ｂに垂直な方向）における保持バー１３０８、１３１２の位置および／または切断バー１３１６の位置を調整するために用いることができる任意の適切な調整機構とすることができる。切断機調整装置１３０４を使用して、例えば、保持バー１３０８、１３１２を割線２３２の基板内側に、切断バー１３１６を割線２３２の基板外側に配置することができる。さらに図示するように、第１の保持バー１３０８は、保持バー１３０８を切断機フレーム１３０２に対して相対移動することができる第１の保持具アタッチメント１３３０を用いてさらに調整することができ、第２の保持バー１３１２は、保持バー１３１２を切断機フレーム１３０２に対して相対移動することができる第２の保持具アタッチメント１３３２を用いてさらに調整することができる。

第１の切断アセンブリ１２２０を上述のような所定位置に調整すると、第１の保持バー１３０８および第２の保持バー１３１２を、基板２３０に近づけたり離したりする方向（すなわち、図１３の上下方向に）に動かすことができる。このとき、第１の保持具アクチュエータ１３０６で第１の保持バー１３０８を、第２の保持具アクチュエータ１３１０で第２の保持バー１３１２を、それぞれ動かすことができる。第１の保持具アクチュエータ１３０６および第２の保持具アクチュエータ１３１０は、リニアアクチュエータ、シリンダ、ソレノイドなどの任意の適切なアクチュエータとすることができる。

第１の保持バー１３０８および第２の保持バー１３１２はいずれも、基板２３０が切断装置１２００内を第２の搬送方向Ｂに移動する際に、基板２３０に接触することができる。第１の保持バー１３０８および／または第２の保持バー１３１２は、基板に接触して、基板２３０に安定化力を加えることができる。安定化力は、切断装置１２００における基板２３０の望ましくない振動などの動きを低減または最小化するために加えられる。

図示の例では、第１の切断アセンブリ１２２０は、切断ゾーン２２０において、２本の保持バー（すなわち、第１の保持バー１３０８および第２の保持バー１３１２）を基板２３０に接触させる。他の例では、第１の切断アセンブリ１２２０が使う保持バーの数を、２本より多い数または少ない数とすることができる。ただし、少なくとも２つの保持バーを備えることが望ましいと考えられる。これにより、個々の保持バーの調整がより容易および／または正確に行えるため、各保持バーの全長にわたって基板２３０に均一な安定化力を確実に加えることができる。

安定化力を加えるタイミングの後または同時に、切断機アクチュエータ１３１４で切断バー１３１６を動かすことができる。切断機アクチュエータ１３１４は、上述の保持具アクチュエータ１３０６、１３１０と同様のアクチュエータとすることができる。他の例では、切断機アクチュエータ１３１４は、保持具アクチュエータ１３０６、１３１０とは異なるシリンダ、リニアアクチュエータ、ソレノイドなどのアクチュエータとすることができる。切断機アクチュエータ１３１４は、基板２３０が切断装置１２００を通過する際に、切断バー１３１６を基板２３０に近づける方向（すなわち、図１３の下方向）に移動させることができる。切断機アクチュエータ１３１４は、切断バー１３１６を割線２３２またはその近傍で基板の上面に押し付けて、エッジ部２３６を基板の本体部２４０（図２Ａ）から切り離す（すなわち切断する）ことができる。このとき、基板２３０には、割線引き装置９００によって割線２３２が引かれているため、基板２３０の切断は、この割線２３２に沿って繰り返し効率的に行われることになる。

切断バー１３１６の長さは、少なくとも基板２３０の長さＬと同程度とすることができる。切断バー１３１６がこの相対寸法を有していれば、切断バー１３１６は基板２３０の全長Ｌに沿って切断力を加えることができる。また、切断バー１３１６は、切断バー１３１６の下縁に沿って配置される１つ以上の切断ホイール１３２２を有することができる。切断ホイール１３２２は、基板２３０に切断力を加えるときに、基板２３０の表面に接触することができる。切断機の切断動作は高速でおこなわれ得るが、切断ホイール１３２２によって、切断バー１３１６と基板２３０との間に発生する可能性のある摩擦を制限または最小化することができる。その結果、切断品質が向上し、エッジ部を切り離した後の基板２３０のエッジ状態が向上する。

図１４は、保持バー１３１２の一例を示す図である。保持バー１３１２は、上述の押えロールバー９５４と同様のものとすることができる。保持バー１３１２は、一連の保持ホイール１４０２を備えることができる。各保持ホイール１４０２は、保持指状部１４０４によって保持フレーム１４０６に接続することができる。保持指状部１４０４は、保持フレーム１４０６に対して相対的に回動することができ、基板２３０に近づく方向に保持指状部１４０４を付勢することができる。したがって、切断バー１３１６を基板２３０に当てる際に、保持ホイール１４０２を基板２３０に向かって付勢して基板に安定化力を加えることができる。

いくつかの例では、保持バー１３１２および／または切断バー１３１６は、基板２３０の上面に対して角度をつけることができる。図１５に示すように、保持バー１３１２（または切断バー１３１６）の下流端は、保持バー１３１２（または切断バー１３１６）の上流端よりも高い鉛直位置とすることができる。保持バー１３１２（または切断バー１３１６）は、基板２３０の上面に対して角度θをつけた配置とすることができる。この食付き角（lead-in angle）θは５度未満とすることができる。食付き角θによって、切断装置１２００内で基板２３０が振動したり動いたりしてしまうことを低減することができ、これにより、欠陥や、欠け、粉塵の形成、破損などの望ましくない効果を低減または制限することができる。

切断装置１２００内を基板２３０が通過する際には、基板２３０が第２の搬送方向Ｂに移動するのに合わせて、各切断バー１３１６を動かして基板２３０のエッジ部２３６、２３８に接触させることができる。したがって、搬送システム２００全体にわたって、複数の基板を連続的に移動させることができる。上述したように、多くの既存の従来型エッジトリミング工程では、基板２３０を形成する施設とは別の施設で、エッジ部２３６、２３８の切り離しを行っていた。一方、エッジトリミング工程１００では、基板形成を行う施設と同一の施設でエッジ部２３６、２３８の切り離しを行うことができる。このため、エッジ部２３６、２３８は、実質的に汚染のない状態であり、基板をさらに作るためにリサイクルおよび／または再利用を行うことが容易にできる状態である。したがって、エッジ部２３６、２３８は、切断ゾーン２２０で回収することができる。図示は省略するが、切断ゾーン２２０は受け部などの回収部を備えることができ、エッジ部２３６、２３８を基板２３０から切り離した後、そのような回収部の中に落下させることができる。これらの回収されたエッジ部２３６、２３８は、新たな基板２３０の溶融形成を行うべくリサイクルおよび／または再利用をすることができる。

エッジ部２３６、２３８を基板２３０から切り離した後、基板２３０は、切断装置１２００から出て切断コンベア２１８上の下流端１２１２に向かうように、第２の搬送方向に移動することができる。切断コンベア２１８の下流端１２１２は、第２の移載ゾーン２２４内に配置することができる。基板２３０は、第２の移載ゾーン２２４で、第２の搬送方向Ｂから第３の搬送方向Ｃに方向転換するように移動させることができる。この第２の移載ゾーン２２４での基板２３０の搬送方向転換を行う工程は、第１の移載ゾーン２０８に関して説明したものと同様の構造体や同様の工程を用いて実現することができる。

例えば、第２のリフトユニット１６００は、切断コンベア２１８の第１のベルト１２０８と第２のベルト１２１０との間に配置することができる。第２のリフトユニット１６００は、第２のリフトユニット１６００の方がより細い形状を有している点を除けば、第１のリフトユニット４００と多くの点で同様とすることができる。第２のリフトユニット１６００の形状の方がより細いのは、第２のリフトユニット１６００の場合、切断コンベア２１８上に長手方向の向きで配置されている（すなわち、基板２３０の長辺が搬送方向Ｂに平行な向きとされる）状態の基板２３０を、第１のベルト１２０８と第２のベルト１２１０の間から持ち上げることができるためである。

第２のリフトユニット１６００はリフト取付板１６０６を備えることができ、リフト取付板１６０６を用いて、第２のリフトユニット１６００を切断コンベア２１８に接続することができる。また、第２のリフトユニット１６００は、第２のリフト上昇機１６０２を基板２３０に近づける方向に移動可能な第２のリフトアクチュエータ１６０４をさらに備えることができる。複数のバンパ１６１６は、複数のスペーサ１６１４の遠位端に接続することができる。バンパ１６１６が基板２３０に接触して、基板２３０が切断コンベア２１８に接触する第１の位置から、基板２３０が第３のコンベア２２２（図１７）に保持される第２の位置まで基板２３０を移動させることができる。

図１７に示すように、第３のコンベア２２２は、第２のコンベア２０６と同様のバキュームベルトコンベアとすることができる。第３のコンベア２２２は、例えば、一連の開口部１７１２を有するベルト１７０２を備えることができる。第３のコンベア２２２は、一連のエアアタッチメント１７１４Ａ～１７１４Ｄをさらに備えることができる。エアアタッチメント１７１４Ａ～１７１４Ｄを介して空気源を取り付けることができ、これにより、ベルト１７０２の複数の開口部１７１２を介して負圧をかけて、基板２３０をベルト１７０２に保持することができる。このように、基板２３０をベルト１７０２の下面に保持することができる。つまり、第２のリフトユニット１６００で、基板２３０を切断コンベア２１８からベルト１７０２の下面まで持ち上げることができる。基板２３０はベルト１７０２の下面に保持されて第３の搬送方向Ｃに移動されて、第２の移載ゾーン２２４から出ることができる。

このような移載を行うことができるように、第２の移載ゾーン２２４において、第３のコンベア２２２の上流端１７２０が切断コンベア２１８の下流端１２１２に重なるように、第１のブラケット１７０６および第２のブラケット１７０８を用いて第３のコンベア２２２の上流端１７２０を配置することができる。第３のコンベア２２２は、モータ１７０４とエンコーダ１７１８とを備えることができる。モータ１７０４およびエンコーダ１７１８はエッジトリミングコントローラ１２０に連結することができ、これにより、第３のコンベア２２２および／または第２のリフトユニット１６００の動作を測定、監視および／または制御して搬送システム２００の他の要素と同期させることができる。

基板２３０は、第３の搬送方向Ｃに移動して、第２の移載ゾーン２２４から出て第４のコンベア２２８上に落下させることができる。第４のコンベア２２８は、基板２３０をさらに移動させて、第２の処理ゾーン２２６に入れるおよび／または通過させることができる２条ベルトコンベアなどの適切なコンベアとすることができる。

なお、上述のエッジトリミング工程１００および／または搬送システム２００の装置の細部や処理内容は、１つ以上の方法として実現することができる。図１８に示す例示的な方法は、基板からエッジ部を切り離す方法を例示するものである。例示的な方法１８００は、ステップ１８０２から始まる。ステップ１８０２では、割線引き装置が、基板の前エッジが割線引きツールを通過する時を特定することができる。一例では、割線引き装置９００は、第１の側のセンサ９２２または第２の側のセンサ９４２を用いて、基板２３０の前エッジ２４２がいつ割線引きツール９１２または９３２を通過したかを特定することができる。他の例では、他の適切なセンサや他の光学デバイスを使用することもできる。

ステップ１８０４では、基板が割線引きツールに対して相対移動する際に、割線引きツールを基板に当てることができる。上述の例では、割線引き装置９００は、第１の側のアクチュエータ９１０および／または第２の側のアクチュエータ９４６によって、第１の側の割線引きツール９１２および／または第２の側の割線引きツール９３２を動かして基板２３０に接触させ、基板２３０に割線２３２、２３４を引くことができる。割線引きコンベア２１６は、割線引きツール９１２、９３２が基板２３０に割線を引く間、基板２３０を割線引き装置９００に対して相対移動させることができる。

ステップ１８０６では、基板に割線引きツールを当てている間、押えロールユニットを基板に当てることができる。上述の例では、割線引き装置９００は、基板２３０が割線引きコンベア２１６上を割線引き装置９００に対して相対移動する際に、押えロールユニット９５０を所定の位置に保持して押えロールホイール９７０を基板２３０に接触させ、基板２３０に安定化力を加えることができる。

ステップ１８０８では、基板が切断バーに対して相対移動する際に、切断バーを基板に当て、割線に沿ってエッジ部を基板から切り離すことができる。上述の例では、切断装置１２００は、切断バー１３１６を割線２３２、２３４またはその近傍で基板２３０と接触するように移動させて、エッジ部２３６、２３８を割線２３２、２３４の位置で基板から切り離すことができる。このとき、基板２３０は、切断コンベア２１８上を切断装置１２００に対して相対移動している。

ステップ１８１０では、基板が切断バーに対して相対移動する際に、保持ユニットを基板に当てて、基板に安定化力を加えることができる。上述の例では、切断装置１２００は、第１の保持バー１３０８および／または第２の保持バー１３１２を基板２３０に接触するように動かして、基板２３０が切断コンベア２１８上を切断装置１２００に対して相対移動する際に基板２３０に安定化力を加えることができる。

理解されるように、方法１８００の各ステップは、他のステップを含むこともでき、基板２３０の複数の側に対して同時に実施することもできる。また、搬送システム２００内では、複数の基板２３０を連続的にインラインで移動させているため、方法１８００の各ステップは後続の基板２３０に対して繰り返し実施することができる。

他の例示的な方法として、基板の搬送方向転換を行う方法１９００を示す。方法１９００は、ステップ１９０２から始まる。ステップ１９０２では、第１のコンベアで基板を第１の搬送方向に移動して移載ゾーンに入れる。上記の例では、方法１９００は、例えば、第１の移載ゾーン２０８に適用することができる。また、方法１９００は、第２の移載ゾーン２２４にも適用することができる。ただし、簡潔にするため、方法１９００の説明は、第１の移載ゾーン２０８と関連させて行うこととする。ステップ１９０２では、例えば、第１のコンベア２０２によって基板２３０を第１の搬送方向Ａに移動して、移載ゾーン２０８に入れることができる。

ステップ１９０４では、第１のコンベア上の第１の移載位置から第２のコンベア上の第２の移載位置に基板を移載することができる。第１の移載位置と第２の移載位置とは、異なる鉛直高さとすることができる。上述の第１の移載ゾーン２０８の例では、第１のリフトユニット４００は、基板２３０を第１のコンベア２０２上の第１の位置から第２のコンベア２０６の下面上の第２の位置へ移動させることができる。第１のコンベア２０２上の基板２３０の位置は、第２のコンベア２０６上の基板２３０の位置と異なる鉛直高さにある。この例では、基板は、第１の位置から、第１の位置よりも上方にある第２の位置まで持ち上げられる。他の例では、逆の構成とすることもできる、つまり、基板２３０は、第１の位置から第２の位置に移動することができ、第２の位置を第１の位置よりも低い位置とすることができる。このような代替例では、基板を第１の位置から第２の位置へ落下させることができる。このような代替の構成では、例えば、第１のコンベア２０２と第２のコンベア２０６を入れ替えることができる。

ステップ１９０６では、基板を第２の搬送方向に移動して移載ゾーンから出す。第２の搬送方向は、第１の搬送方向と異なる方向とすることができる。上述した第１の移載ゾーン２０８の例では、第２のコンベア２０６によって基板２３０を第２の搬送方向Ｂに移動して、第１の移載ゾーン２０８から出すことができる。図示の例では、第１の搬送方向Ａと第２の搬送方向Ｂは互いに垂直となるように配置されている。他の例では、これらの搬送方向を、他の相対的な向きで配置することができる。

以上説明したように、本開示の装置および方法は、既存および／または従来のエッジトリミング工程および搬送工程に比べて大幅な改良を遂げている。本開示の方法および装置により、従来の方法では不可能であったサイクルタイムで、複数の基板を効率的かつ連続的にエッジトリミング工程内を通過させることができる。

本明細書に記載の方法及び工程の少なくとも一部は、コンピュータで実装される処理及びそれらの処理を実行する装置の形態で実現することができる。本開示の方法の少なくとも一部は、コンピュータプログラムコードを書き込んだ有形の非一時的な機械可読記憶媒体の形態で実現することができる。そのような媒体としては、例えば、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ＣＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤ－ＲＯＭ、ＢＤ－ＲＯＭ、ハードディスクドライブ、フラッシュメモリなどの非一時的な機械可読記憶媒体、またはこれらの媒体の任意の組み合わせを挙げることができる。そして、このコンピュータプログラムコードがコンピュータにロードされて実行されると、当該コンピュータは本方法を実施するための装置となる。また、本方法の少なくとも一部は、コンピュータプログラムコードがロードおよび／または実行されるコンピュータの形態で実現することができるが、その場合、当該コンピュータが本方法を実施するための装置となる。汎用プロセッサに実装する場合、コンピュータプログラムのコードセグメントによって、特定の論理回路が形成されるように当該プロセッサが設定される。これに代えて、本方法の少なくとも一部は、本方法を実施するための特定用途向け集積回路で形成されたデジタルシグナルプロセッサにおいて実現することもできる。

以上、例示的な実施形態に関連して主題を説明してきたが、本開示の主題はこれらに限定されるものではない。むしろ、添付の特許請求の範囲は、当業者によって実施され得る他の変化形および実施形態を含むように広く解釈すべきものである。

以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。

実施形態１
ガラス基板が割線引き装置に対して相対移動する際に、前記割線引き装置の割線引きツールが前記ガラス基板に割線を引くように、前記割線引きツールを前記ガラス基板に当てるステップと、
前記割線に沿ってエッジ部を前記ガラス基板から切り離すように、前記ガラス基板が切断装置の切断バーに対して相対移動する際に、前記切断バーを前記ガラス基板に当てるステップと、
を含むガラス基板からエッジ部を切り離す方法。

実施形態２
前記ガラス基板の前エッジが前記割線引きツールを通過したことをエッジセンサが検出した後に、前記ガラス基板を前記割線引きツールに接触させるステップをさらに含む、実施形態１に記載の方法。

実施形態３
押えロールユニットで前記ガラス基板に割線引き安定化力を加えるステップをさらに含む、実施形態１に記載の方法。

実施形態４
割線引きコンベアによって、前記ガラス基板を前記割線引き装置に対して相対移動させるステップをさらに含む、実施形態１に記載の方法。

実施形態５
前記割線引きツールを前記ガラス基板に当てるステップが、前記ガラス基板の前エッジが第１の割線引きツールおよび第２の割線引きツールを通過したことをエッジセンサが検出した後に、
前記ガラス基板の第１のエッジ部に前記第１の割線引きツールを当てるステップと、
前記ガラス基板の第２のエッジ部に前記第２の割線引きツールを当てるステップと、を含み、
前記第１のエッジ部は、前記ガラス基板上において前記第２のエッジ部の反対側に配置されている、実施形態１に記載の方法。

実施形態６
前記切断バーが、前記ガラス基板の前記エッジ部に接触する複数の切断ホイールを備える、実施形態１に記載の方法。

実施形態７
複数の保持ホイールで前記ガラス基板に切断安定化力を加えるステップをさらに含む、実施形態１に記載の方法。

実施形態８
前記切断バーを前記ガラス基板に当てるステップが、前記ガラス基板が前記切断バーに対して相対移動する際に、前記切断バーを前記ガラス基板の前記エッジ部に近づけるように動かすことを含む、実施形態１に記載の方法。

実施形態９
前記切断バーが、前記切断バーに対する前記ガラス基板の相対移動とは異なる方向である切断方向に移動する、実施形態８に記載の方法。

実施形態１０
切断コンベアによって、前記ガラス基板を前記切断バーに対して相対移動させるステップをさらに含む、実施形態１に記載の方法。

実施形態１１
前記切断コンベアが、前記割線の隣接位置でガラス基板を支持し、前記割線に近づいたり離れたりする方向に調整するように動作可能である、実施形態１０に記載の方法。

実施形態１２
前記方法が、移載ゾーンで、前記ガラス基板の搬送方向を第１の搬送方向から第２の搬送方向に転換するステップをさらに含み、
前記ガラス基板は、前記第１の搬送方向に移動するときには第１のコンベアによって支持され、前記第２の搬送方向に移動するときには第２のコンベアによって支持され、
前記ガラス基板は、前記移載ゾーンにおいて、前記第１のコンベアに支持されるときと前記第２のコンベアに支持されるときとで異なる鉛直位置に配置される、実施形態１に記載の方法。

実施形態１３
ガラス基板に割線を引くように構成される割線引きツールを備える割線引き装置と、
前記割線引きツールが前記ガラス基板に割線を引く際に、前記ガラス基板を前記割線引き装置に対して相対移動させるように構成される割線引きコンベアと、
前記割線に沿ってエッジ部を前記ガラス基板から切り離すように構成される切断バーを備える切断装置と、
前記切断バーが前記エッジ部を前記ガラス基板から切り離す際に、前記ガラス基板を前記切断装置に対して相対移動させるように構成される切断コンベアと、
を備えるエッジ切り離し装置。

実施形態１４
前記割線引き装置が、
前記ガラス基板が前記割線引き装置に近づいてくるときに前記ガラス基板の前エッジを検出するように構成されるエッジセンサと、
前記割線引きツールに接続される割線引きアクチュエータであって、前記ガラス基板の前記前エッジが前記割線引きツールを通過したと前記エッジセンサが検出した後に、前記割線引きツールを動かして前記ガラス基板に接触させるように動作可能である割線引きアクチュエータとをさらに備える、実施形態１３に記載のエッジ切り離し装置。

実施形態１５
前記割線引き装置が押えロールユニットをさらに備え、
前記押えロールユニットは、前記ガラス基板に割線引き安定化力を加えるように構成される複数の押えローラを備える、実施形態１３に記載のエッジ切り離し装置。

実施形態１６
前記切断バーが、前記ガラス基板の前記エッジ部に接触するように構成される複数の切断ホイールを備える、実施形態１３に記載のエッジ切り離し装置。

実施形態１７
前記切断装置が保持ユニットをさらに備え、
前記保持ユニットは、前記ガラス基板に切断安定化力を加えるように構成される複数の保持ホイールを備える、実施形態１３に記載のエッジ切り離し装置。

実施形態１８
前記切断装置は、前記切断バーに接続された切断機アクチュエータをさらに備え、
前記切断機アクチュエータは、前記切断コンベアの搬送方向とは異なる方向である切断方向に前記切断バーを動かすように構成される、実施形態１３に記載のエッジ切り離し装置。

実施形態１９
前記エッジ切り離し装置が、前記切断コンベアの下流に配置され、移載ゾーンにおいて前記切断コンベアの一部と重なる移載コンベアをさらに備え、
前記移載コンベアは、前記切断コンベアの第１の搬送方向とは異なる第２の搬送方向に前記ガラス基板を移動させるように構成され、
前記移載コンベアは、前記移載ゾーンにおいて前記切断コンベアとは異なる鉛直位置で前記ガラス基板を支持する、実施形態１３に記載のエッジ切り離し装置。

実施形態２０
ガラス基板を第１の搬送方向から第２の搬送方向に移載する方法であって、該方法が、
第１のコンベアでガラス基板を前記第１の搬送方向に移動して移載ゾーンに入れるステップと、
前記ガラス基板を、前記第１のコンベア上の第１の移載位置から、前記第１の移載位置とは異なる鉛直高さにある第２のコンベア上の第２の移載位置に移載するステップと、
前記ガラス基板を、前記第１の搬送方向とは異なる前記第２の搬送方向に移動して前記移載ゾーンから出すステップと、
を含む方法。

実施形態２１
前記第２の移載位置は、前記第１の移載位置の上方にある、実施形態２０に記載の方法。

実施形態２２
前記ガラス基板を第１の移載位置から第２の移載位置に移載するステップが、前記ガラス基板を前記第１のコンベアから前記第２のコンベアへ持ち上げるステップを含む、実施形態２０に記載の方法。

実施形態２３
前記ガラス基板を前記第２の搬送方向に移動するステップが、前記ガラス基板を前記第２のコンベアの下面上に保持するステップを含む、実施形態２０に記載の方法。

実施形態２４
前記ガラス基板は、第１の面と、第１の面とは反対側の第２の面とを有し、
前記第１のコンベアは、前記第１の面で前記ガラス基板を支持し、
前記第２のコンベアは、前記第２の面で前記ガラス基板を支持する、実施形態２０に記載の方法。

実施形態２５
前記方法が、第１のガラス基板の少なくとも一部が第２のガラス基板の少なくとも一部と鉛直方向に重なるように、前記第１のガラス基板を移動して前記移載ゾーンから出しながら、前記第２のガラス基板を移動して前記移載ゾーンに入れるステップをさらに含む、実施形態２０に記載の方法。

実施形態２６
ガラス基板を第１の搬送方向から第２の搬送方向に移載する搬送装置であって、該装置が、
前記ガラス基板を前記第１の搬送方向に移動させるように構成される第１のコンベアであって、移載ゾーンに配置された第１の下流端を有する第１のコンベアと、
前記ガラス基板を前記第２の搬送方向に移動させるように構成される第２のコンベアであって、前記移載ゾーンの前記第１のコンベアの前記第１の下流端と重なる位置に配置された第２の上流端を有する第２のコンベアと、
前記移載ゾーンに配置されたリフトユニットであって、
リフタと、
前記リフタを前記ガラス基板に接触させて、前記ガラス基板を前記第１のコンベアの前記第１の下流端にある第１の移載位置から、前記第２のコンベアの前記第２の上流端にある第２の移載位置へ移動させるように、前記リフタに接続されるリフトアクチュエータと、を備えるリフトユニットと、
を備える装置。

実施形態２７
前記第１の搬送方向が、前記第２の搬送方向とは異なる方向である、実施形態２６に記載の装置。

実施形態２８
前記第２のコンベアの前記第２の上流端は、前記第１のコンベアの前記第１の下流端の上方に配置される、実施形態２６に記載の装置。

実施形態２９
前記第１のコンベアが、前記ガラス基板の下向きの面を支持するベルトを備える、実施形態２６に記載の装置。

実施形態３０
前記第２のコンベアが、前記ガラス基板の上向きの面を支持するバキュームベルトを備える、実施形態２６に記載の装置。

１００ エッジトリミング工程
１０２、２０４ 第１の処理ゾーン
１０４、２０８ 第１の移載ゾーン
１０６、２１２ 中央寄せゾーン
１０８、２１４ 割線引きゾーン
１１０、２２０ 切断ゾーン
１１２、２２４ 第２の移載ゾーン
１１４、２２６ 第２の処理ゾーン
１２０ エッジトリミングコントローラ
２００ 搬送システム
２０２ 第１のコンベア（第１の移載コンベア）
２０６ 第２のコンベア
２１０ 中央寄せコンベア
２１６ 割線引きコンベア
２１８ 切断コンベア
２２２ 第３のコンベア
２２８ 第４のコンベア
２３０、２３０Ａ、２３０Ｂ 基板
２３２ 第１の割線
２３４ 第２の割線
２３６ 第１のエッジ部
２３８ 第２のエッジ部
２４０ 基板の本体部
２４２ 前エッジ
２４４ 後エッジ
２４６ 第１のエッジ
２４８ 第２のエッジ
３０４ 第１のコンベアの支持構造体
３０６ 第１のコンベアの第１のベルト
３０８ 第１のコンベアの第２のベルト
３１４、４１８ センサ
４００ 第１のリフトユニット
４０２ 取付構造
４０４ リフトアクチュエータ
４０６ リフタ
４０８、１６１４ スペーサ
４１０、１６１６ バンパ
４１４ デフレクタ
５０２ 第２のコンベアのベルト
６０４ 中央寄せコンベアの第１のベルト
６０６ 中央寄せコンベアの第２のベルト
６１０ 中央寄せコンベアの支持構造体
７００ 中央寄せ装置
７０２ 中央寄せ装置の本体部
７０４ 中央寄せ装置の第１の側部
７０６ 中央寄せ装置の第１の側の調整装置
７０８ 中央寄せ装置の第２の側部
７１０ 中央寄せ装置の第２の側の調整装置
７２０ 第２の中央寄せロッド
７２２ 第２の中央寄せバー
７２４ 第２の中央寄せホイール
７３０ 第１の中央寄せロッド
７３２ 第１の中央寄せバー
７３４ 第１の中央寄せホイール
８０２ 割線引きコンベアのベルト
９００ 割線引き装置
９０２ 割線引き装置の第１の側部
９０４ 割線引き装置の第２の側部
９０８ 割線引きフレーム
９１０ 割線引き装置の第１の側のアクチュエータ
９１２ 第１の側の割線引きツール
９１４ 第１の側の支持ローラユニット
９１６ 第１の側の支持ホイール
９２０ 第１の側のバキュームアタッチメント
９２２ 割線引き装置の第１の側のセンサ
９２４ 割線引き装置の第１の側の調整装置
９３２ 第２の側の割線引きツール
９３４ 第２の側の支持ローラユニット
９３６ 第２の側の支持ホイール
９３８ 第２の側の差油ユニット
９４０ 第２の側のバキュームアタッチメント
９４２ 割線引き装置の第２の側のセンサ
９４４ 割線引き装置の第２の側の調整装置
９４６ 割線引き装置の第２の側のアクチュエータ
９５０ 押えロールユニット
９５２ 押えロールアーム
９５４ 押えロールバー
９６０ 第１の連結部
９６２ 第２の連結部
９７０ 押えロールホイール
９７２ 指状延長部
１２００ 切断装置
１２０２ 切断コンベアの第１のコンベア調整装置
１２０４ 切断コンベアの第２のコンベア調整装置
１２０８ 切断コンベアの第１のベルト
１２１０ 切断コンベアの第２のベルト
１２２０ 第１の切断アセンブリ
１２３０ 第２の切断アセンブリ
１３０２ 切断機フレーム
１３０４ 切断機調整装置
１３０６ 第１の保持具アクチュエータ
１３０８ 第１の保持バー
１３１０ 第２の保持具アクチュエータ
１３１２ 第２の保持バー
１３１４ 切断機アクチュエータ
１３１６ 切断バー
１３２２ 切断ホイール
１３３０ 第１の保持具アタッチメント
１３３２ 第２の保持具アタッチメント
１４０２ 保持ホイール
１４０４ 保持指状部
１４０６ 保持フレーム
１６００ 第２のリフトユニット
１６０２ 第２のリフト上昇機
１６０４ 第２のリフトアクチュエータ
１６０６ リフト取付板
１７０２ 第３のコンベアのベルト

Claims (7)

1. ガラス基板に割線を引くように構成される割線引きツールを備える割線引き装置と、
   前記割線引きツールが前記ガラス基板に割線を引く際に、前記ガラス基板を前記割線引き装置に対して相対移動させるように構成される割線引きコンベアと、
   前記割線に沿ってエッジ部を前記ガラス基板から切り離すように構成される切断バーを備える切断装置と、
   前記切断バーが前記エッジ部を前記ガラス基板から切り離す際に、前記ガラス基板を前記切断装置に対して相対移動させるように構成される切断コンベアと、
   を備える、エッジ切り離し装置であって、
   前記切断バーは、前記切断バーの下流端が前記切断バーの上流端よりも高い鉛直位置を取るように、前記ガラス基板の上面に対して角度を付けて位置決めされている、エッジ切り離し装置。
2. 前記割線引き装置が、
   前記ガラス基板が前記割線引き装置に近づいてくるときに前記ガラス基板の前エッジを検出するように構成されるエッジセンサと、
   前記割線引きツールに接続される割線引きアクチュエータであって、前記ガラス基板の前記前エッジが前記割線引きツールを通過したと前記エッジセンサが検出した後に、前記割線引きツールを動かして前記ガラス基板に接触させるように動作可能である割線引きアクチュエータとをさらに備える、請求項１に記載のエッジ切り離し装置。
3. 前記割線引き装置が押えロールユニットをさらに備え、
   前記押えロールユニットは、前記ガラス基板に割線引き安定化力を加えるように構成される複数の押えローラを備える、請求項１に記載のエッジ切り離し装置。
4. 前記切断バーが、前記ガラス基板の前記エッジ部に接触するように構成される複数の切断ホイールを備える、請求項１に記載のエッジ切り離し装置。
5. 前記切断装置が保持ユニットをさらに備え、
   前記保持ユニットは、前記ガラス基板に切断安定化力を加えるように構成される複数の保持ホイールを備える、請求項１に記載のエッジ切り離し装置。
6. 前記切断装置は、前記切断バーに接続された切断機アクチュエータをさらに備え、
   前記切断機アクチュエータは、前記切断コンベアの搬送方向とは異なる方向である切断方向に前記切断バーを動かすように構成される、請求項１に記載のエッジ切り離し装置。
7. 前記エッジ切り離し装置が、前記切断コンベアの下流に配置され、移載ゾーンにおいて前記切断コンベアの一部と重なる移載コンベアをさらに備え、
   前記移載コンベアは、前記切断コンベアの第１の搬送方向とは異なる第２の搬送方向に前記ガラス基板を移動させるように構成され、
   前記移載コンベアは、前記移載ゾーンにおいて前記切断コンベアとは異なる鉛直位置で前記ガラス基板を支持する、請求項１に記載のエッジ切り離し装置。